JP2002231052A - Complex particles for dielectric substance, dielectric substance forming composition, and electronic part - Google Patents

Complex particles for dielectric substance, dielectric substance forming composition, and electronic part

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信幸 伊藤
Hideaki Masuko
英明 増子
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable to form a dielectric layer with low dielectric loss tangent of 0.1 or less, and high dielectric constant of 30 or more, at low heating temperature of 500 deg.C or less. SOLUTION: The dielectric substance forming composition is able to form a dielectric substance with low dielectric loss tangent of 0.1 or less and high dielectric constant of 30 or more, at low heating temperature of 500 deg.C or less, which is composed of at least one resin component of either the complex particles for dielectric substance covered by conductive metal or its compound, or conductive organic compound or conductive inorganic material; or a polymerized compound and a polymer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明は、誘電体用複合粒子、この
誘電体用複合粒子を含む誘電体形成用組成物、この組成
物を含む電着用水性分散液または誘電体ペースト、前記
組成物、電着用水性分散液または誘電体ペーストから形
成される高誘電率フィルム、およびこの高誘電率フィル
ムを含む電子部品に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite particle for a dielectric, a composition for forming a dielectric containing the composite particle for a dielectric, an aqueous dispersion or a dielectric paste for electrodeposition containing the composition, the composition, The present invention relates to a high dielectric constant film formed from an aqueous electrodeposition liquid dispersion or a dielectric paste, and an electronic component including the high dielectric constant film.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】近年、多層プリント配線基板等に
高誘電率の層を設け、この層をコンデンサ等に利用する
技術が知られている。この高誘電率の層は、たとえば、
熱硬化性樹脂からなる有機溶剤溶液に高誘電率の無機粉
末を添加したものを、熱硬化性樹脂の脆さを補うために
ガラス繊維等の繊維強化材に含浸させ、溶剤を焼成など
により飛散させて硬化させる等の方法により調製されて
いる。しかしながら、従来の方法では、通常、たとえば
30以上あるいは50以上などの高い誘電率を有する層
を得ることは困難であった。
2. Description of the Related Art In recent years, a technique has been known in which a layer having a high dielectric constant is provided on a multilayer printed wiring board or the like, and this layer is used for a capacitor or the like. This high dielectric constant layer can be, for example,
An organic solvent solution containing a thermosetting resin and an inorganic powder with a high dielectric constant added is impregnated into a fiber reinforcing material such as glass fiber to compensate for the brittleness of the thermosetting resin, and the solvent is scattered by firing or the like. It is prepared by a method such as curing after curing. However, it is usually difficult to obtain a layer having a high dielectric constant of, for example, 30 or more or 50 or more by the conventional method.

【0003】また、各種の無機粉末を用いて高誘電率の
誘電体層を得る試みもなされ、たとえば、ポリスチレン
に無機粉末としてFe34、あるいはZnO+カーボン
などを添加すると、高い誘電率の誘電体層を得ることが
できることが知られている。しかしこのような系では、
誘電率を高くすることができても、得られる誘電体層の
誘電正接が大きくなるため、交流電場における誘電体層
での発熱が大きくなり、誘電体のフィルムを設けた多層
プリント配線基板等の劣化、熱応力による接合部の破断
等の不良の原因となり、半導体基板の信頼性、耐久性が
低下し易いという問題点があった。
Attempts have also been made to obtain a dielectric layer having a high dielectric constant by using various inorganic powders. For example, when Fe 3 O 4 or ZnO + carbon is added as an inorganic powder to polystyrene, a dielectric layer having a high dielectric constant is obtained. It is known that a body layer can be obtained. But in such a system,
Even if the dielectric constant can be increased, the dielectric loss tangent of the obtained dielectric layer is increased, so that the heat generated in the dielectric layer in an AC electric field is increased, such as in a multilayer printed wiring board provided with a dielectric film. There is a problem that deterioration and thermal stress may cause a failure such as breakage of a joint portion, and the reliability and durability of the semiconductor substrate are easily reduced.

【0004】一方、高い誘電率を得るためには、通常、
高誘電率の無機粉末を高温で加熱焼成して誘電体層を形
成する方法が知られている。しかしながらこの方法は、
たとえば1000℃程度の高温で焼成する必要があるた
め、配線基板上に電子部品が装着されている状態で誘電
体層を設ける場合には適用できず、種々の半導体基板の
製造プロセスに汎用的に適用できないという問題点があ
った。
On the other hand, to obtain a high dielectric constant, usually,
A method of forming a dielectric layer by heating and baking an inorganic powder having a high dielectric constant at a high temperature is known. However, this method
For example, since it is necessary to bake at a high temperature of about 1000 ° C., it cannot be applied to a case where a dielectric layer is provided in a state where an electronic component is mounted on a wiring board, and is generally used for various semiconductor substrate manufacturing processes. There was a problem that it could not be applied.

【0005】このため、低温焼成により、高い誘電率
で、熱損失の小さい誘電体層を提供するとともに、この
ような誘電体層を提供しうる無機粒子、組成物の出現が
望まれていた。そこで、本発明者らは、前記問題を解決
すべく鋭意研究し、特定の無機粒子の表面の一部あるい
は全体に、導電性の金属あるいは有機化合物が被覆され
た粒子を含む粒子と、樹脂成分とからなる組成物を用い
ることにより、500℃以下という低温での焼成が可能
で、高誘電率かつ低誘電正接の誘電体を形成することが
できることを見出し、本発明を完成するに至った。
[0005] For this reason, it has been desired to provide a dielectric layer having a high dielectric constant and a small heat loss by firing at a low temperature, and the appearance of inorganic particles and compositions capable of providing such a dielectric layer. Therefore, the present inventors have intensively studied to solve the above-mentioned problem, and a part or the entire surface of a specific inorganic particle, a particle containing a particle coated with a conductive metal or an organic compound, and a resin component It has been found that by using a composition consisting of the following, calcination can be performed at a low temperature of 500 ° C. or less, and a dielectric having a high dielectric constant and a low dielectric loss tangent can be formed, and the present invention has been completed.

【0006】[0006]

【発明の目的】本発明は、前記のような従来技術に伴う
問題を解決しようとするものであって、熱損失が小さ
く、低温焼成可能な高誘電率の誘電体層を形成できるよ
うな無機粒子、誘電体形成用組成物、およびこの組成物
から形成された高誘電率フィルム、この高誘電率フィル
ムを備えた電子部品を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems associated with the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide an inorganic material capable of forming a dielectric layer having a small heat loss and a high dielectric constant which can be fired at a low temperature. It is an object of the present invention to provide particles, a composition for forming a dielectric, a high dielectric constant film formed from the composition, and an electronic component provided with the high dielectric constant film.

【0007】[0007]

【発明の概要】本発明に係る誘電体用複合粒子は、誘電
率が30以上である無機粒子の表面の一部または全体
に、導電性の金属もしくはその化合物または導電性の有
機化合物もしくは導電性の無機物が被覆されていること
を特徴としている。前記無機粒子は、チタン系金属酸化
物からなることが好ましい。また、前記チタン系金属酸
化物は、複酸化物であることが好ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION A composite particle for a dielectric according to the present invention comprises a conductive metal or a compound thereof, a conductive organic compound or a conductive organic compound on a part or the whole of the surface of an inorganic particle having a dielectric constant of 30 or more. Characterized by being coated with an inorganic substance. The inorganic particles are preferably made of a titanium-based metal oxide. Further, the titanium-based metal oxide is preferably a double oxide.

【0008】前記誘電体用複合粒子の平均粒子径は、1
0μm以下であることが好ましい。本発明に係る誘電体
形成用組成物は、500℃以下の加熱で、誘電率が30
以上、誘電正接が0.1以下の誘電体を形成することが
可能であり、誘電率が30以上である無機粒子の表面の
一部または全体に、導電性の金属もしくはその化合物ま
たは導電性の有機化合物もしくは導電性の無機物が被覆
されている誘電体用複合粒子と、重合性化合物および重
合体の少なくとも一方からなる樹脂成分とからなること
を特徴としている。
[0008] The average particle diameter of the composite particles for a dielectric is 1
It is preferably 0 μm or less. The dielectric-forming composition according to the present invention has a dielectric constant of 30 when heated to 500 ° C. or lower.
As described above, it is possible to form a dielectric material having a dielectric loss tangent of 0.1 or less, and a conductive metal or a compound thereof or a conductive metal on a part or the entire surface of the inorganic particles having a dielectric constant of 30 or more. It is characterized by comprising dielectric composite particles coated with an organic compound or a conductive inorganic substance, and a resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer.

【0009】前記誘電体形成用組成物を500℃以下で
加熱して得られる誘電体は、誘電率が50以上、誘電正
接が0.1以下であることが好ましい。前記無機粒子
は、チタン系金属酸化物からなることが好ましい。ま
た、前記チタン系金属酸化物は、チタン系複酸化物であ
ることが好ましい。前記誘電体用複合粒子の平均粒子径
は、10μm以下であることが好ましい。
The dielectric obtained by heating the composition for forming a dielectric at 500 ° C. or lower preferably has a dielectric constant of 50 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less. The inorganic particles are preferably made of a titanium-based metal oxide. Further, it is preferable that the titanium-based metal oxide is a titanium-based double oxide. The average particle size of the composite particles for a dielectric is preferably 10 μm or less.

【0010】前記誘電体用複合粒子と、前記重合性化合
物および重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分との
体積比(誘電体用複合粒子の体積/重合性化合物および
重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分の体積)は、
5/95〜80/20であることが好ましい。前記誘電
体形成用組成物は、さらに、充填剤を含有してもよい。
The volume ratio of the composite particles for dielectric material to the resin component comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer (volume of composite particles for dielectric material / the resin comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer) Component volume)
It is preferably 5/95 to 80/20. The dielectric forming composition may further contain a filler.

【0011】本発明に係る誘電体ペーストは、前記誘電
体形成用組成物を含有するペーストである。この場合、
前記樹脂成分は重合性化合物である熱硬化性樹脂であ
り、前記重合体は熱可塑性樹脂であることが好ましい。
本発明に係る電着用水性分散液は、前記誘電体形成用組
成物を含有する水性分散液である。この場合、前記重合
性化合物および重合体の少なくとも一方からなる樹脂成
分は、電着可能な有機粒子であることが好ましい。ま
た、前記有機粒子は、ポリイミド系樹脂からなり、該有
機粒子の表面に電荷を有することが好ましい。
The dielectric paste according to the present invention is a paste containing the composition for forming a dielectric. in this case,
Preferably, the resin component is a thermosetting resin that is a polymerizable compound, and the polymer is a thermoplastic resin.
The aqueous dispersion for electrodeposition according to the present invention is an aqueous dispersion containing the composition for forming a dielectric. In this case, the resin component composed of at least one of the polymerizable compound and the polymer is preferably an electrodepositable organic particle. Further, it is preferable that the organic particles are made of a polyimide resin and have a charge on the surface of the organic particles.

【0012】本発明に係る高誘電率フィルムは、前記誘
電体形成用組成物を用いて形成されることを特徴として
いる。また、本発明の高誘電率フィルムは、前記誘電体
ペーストまたは電着用水性分散液を用いて形成されるこ
とを特徴としている。本発明に係る誘電体の製造方法
は、誘電率が30以上である無機粒子の表面の一部また
は全体に、導電性の金属もしくはその化合物または導電
性の有機化合物もしくは導電性の無機物が被覆されてい
る誘電体用複合粒子と、重合性化合物および重合体の少
なくとも一方からなる樹脂成分とを含有する組成物を、
500℃以下で加熱して、誘電率が30以上、誘電正接
が0.1以下の誘電体を得ることを特徴としている。
[0012] The high dielectric constant film according to the present invention is characterized in that it is formed using the composition for forming a dielectric. The high dielectric constant film of the present invention is characterized by being formed using the dielectric paste or the aqueous dispersion for electrodeposition. In the method for producing a dielectric according to the present invention, a part or all of the surface of the inorganic particles having a dielectric constant of 30 or more is coated with a conductive metal or a compound thereof or a conductive organic compound or a conductive inorganic substance. Dielectric composite particles that are, a composition containing a resin component consisting of at least one of a polymerizable compound and a polymer,
It is characterized in that a dielectric having a dielectric constant of 30 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less is obtained by heating at 500 ° C. or less.

【0013】本発明に係る電子部品は、前記高誘電率フ
ィルムを含むことを特徴としている。
An electronic component according to the present invention is characterized by including the high dielectric constant film.

【0014】[0014]

【発明の具体的説明】以下、本発明について具体的に説
明する。 [誘電体用複合粒子]無機粒子 本発明において使用する無機粒子は、誘電率が30以上
であり、好ましくは50以上、さらに好ましくは70以
上である。誘電率は高い分には問題なく、上限値は限定
されないが、たとえば、30000程度であってもよ
い。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described specifically. [Composite Particles for Dielectric] Inorganic Particles The inorganic particles used in the present invention have a dielectric constant of 30 or more, preferably 50 or more, more preferably 70 or more. Although the dielectric constant is high, there is no problem, and the upper limit is not limited. For example, it may be about 30,000.

【0015】このような無機粒子としては、金属酸化物
からなるものが好ましく用いられ、特にチタン系金属酸
化物が好ましい。ここで、「チタン系金属酸化物」とは
チタン元素と酸素元素とを必須元素として含む化合物を
いう。このようなチタン系金属酸化物としては、結晶構
造を構成する金属元素としてチタンを単一で含むチタン
系単一金属酸化物と、金属元素としてチタンおよび他の
金属元素を含むチタン系複酸化物とを好ましく用いるこ
とができる。
As such inorganic particles, those composed of metal oxides are preferably used, and titanium-based metal oxides are particularly preferred. Here, “titanium-based metal oxide” refers to a compound containing a titanium element and an oxygen element as essential elements. As such a titanium-based metal oxide, a titanium-based single metal oxide containing titanium as a single metal element constituting a crystal structure, and a titanium-based double oxide containing titanium and other metal elements as a metal element Are preferably used.

【0016】前記チタン系単一金属酸化物としては、た
とえば、二酸化チタン系金属酸化物が挙げられる。この
ような二酸化チタン系金属酸化物としては、アナターゼ
構造またはルチル構造の二酸化チタン系金属酸化物が挙
げられる。前記チタン系複酸化物としては、たとえば、
チタン酸バリウム系、チタン酸鉛系、チタン酸ストロン
チウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム
系、チタン酸ネオジウム系、チタン酸カルシウム系等の
金属酸化物が挙げられる。
The titanium-based single metal oxide includes, for example, a titanium dioxide-based metal oxide. Examples of such a titanium dioxide-based metal oxide include titanium dioxide-based metal oxides having an anatase structure or a rutile structure. Examples of the titanium-based double oxide include:
Metal oxides such as barium titanate, lead titanate, strontium titanate, bismuth titanate, magnesium titanate, neodymium titanate, and calcium titanate can be used.

【0017】なお、前記「二酸化チタン系金属酸化物」
とは、二酸化チタンのみを含む系、または二酸化チタン
に他の少量の添加物を含む系を意味し、主成分である二
酸化チタンの結晶構造が保持されているものであり、他
の系の金属酸化物についても同様である。また、前記
「チタン系複酸化物」とは、チタン系単一金属酸化物
と、少なくとも1種の他の金属元素からなる金属酸化物
とが複合して生ずる酸化物であり、構造の単位としてオ
キソ酸のイオンが存在しないものをいう。
The above-mentioned "titanium dioxide-based metal oxide"
The term refers to a system containing only titanium dioxide or a system containing a small amount of other additives to titanium dioxide, which retains the crystal structure of the main component, titanium dioxide, and a metal of another system. The same applies to oxides. In addition, the “titanium-based composite oxide” is an oxide formed by combining a titanium-based single metal oxide and a metal oxide composed of at least one other metal element. Oxic acid ion does not exist.

【0018】本発明においては、このような無機粒子を
構成するチタン系金属酸化物としては、チタン系単一金
属酸化物のうちでは、ルチル構造の二酸化チタン系金属
酸化物が好ましく、チタン系複酸化物のうちでは、チタ
ン酸バリウム系金属酸化物を好ましく用いることができ
る。これらのうちでは、チタン酸バリウム系金属酸化物
を特に好ましく用いることができる。
In the present invention, as the titanium-based metal oxide constituting such inorganic particles, among the titanium-based single metal oxides, a titanium dioxide-based metal oxide having a rutile structure is preferable. Among the oxides, barium titanate-based metal oxides can be preferably used. Among these, a barium titanate-based metal oxide can be particularly preferably used.

【0019】また、水性媒体への分散性を向上させるた
め、前記無機粒子の表面をシリカ、アルミナ等で変性し
た粒子も好適に用いることができる。このような無機粒
子の平均粒子径は、好ましくは10μm以下、さらに好
ましくは5μm以下、より好ましくは1μm以下、特に
好ましくは0.7μm以下であることが望ましい。平均
粒子径が10μmを超えると、膜厚を薄くした場合に誘
電体層の組成が不均一になりやすくなることがある。平
均粒子径の下限は特に限定されないが、通常は0.02
μm以上である。本発明の無機粒子の形状は、特に制限
されるものではないが、球状、粒状、板状、麟片状、ウ
ィスカー状、棒状、フィラメント状などの形状が挙げら
れる。これらの形状のうち、球状、粒状、片状、鱗片状
であることが好ましい。これらの形状の無機粒子は、一
種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることが
できる。誘電体用複合粒子 本発明に用いる誘電体用複合粒子は、前記の無機粒子の
表面の一部または全体が、導電性の金属もしくはそれら
の化合物、または導電性の有機化合物もしくは導電性の
無機物で被覆されている。
In order to improve the dispersibility in an aqueous medium, particles obtained by modifying the surface of the inorganic particles with silica, alumina or the like can also be used preferably. The average particle diameter of such inorganic particles is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, more preferably 1 μm or less, and particularly preferably 0.7 μm or less. If the average particle diameter exceeds 10 μm, the composition of the dielectric layer may be likely to be non-uniform when the film thickness is reduced. Although the lower limit of the average particle size is not particularly limited, it is usually 0.02.
μm or more. The shape of the inorganic particles of the present invention is not particularly limited, but examples include spherical, granular, plate-like, scale-like, whisker-like, rod-like, and filament-like shapes. Among these shapes, it is preferable that the shape is spherical, granular, flaky, or scaly. These inorganic particles can be used alone or in combination of two or more. The composite particles for a dielectric used in the present invention are partially or entirely the surface of the inorganic particles, a conductive metal or a compound thereof, or a conductive organic compound or a conductive inorganic material. Coated.

【0020】前記導電性の金属としては、たとえば、
金、銀、銅、錫、白金、パラジウム、ルテニウム、Fe、
Ni、Co、Ge、Si、Zn、Ti、Mg、Alなどから選ばれる少な
くとも1種の金属を用いることができる。金属として
は、これらの合金を用いることもできる。前記導電性の
金属の化合物としては、前記導電性の金属の窒化物を用
いることができる。
As the conductive metal, for example,
Gold, silver, copper, tin, platinum, palladium, ruthenium, Fe,
At least one metal selected from Ni, Co, Ge, Si, Zn, Ti, Mg, Al and the like can be used. These alloys can also be used as the metal. As the conductive metal compound, a nitride of the conductive metal can be used.

【0021】前記導電性の有機化合物としては、TCN
Q(7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン)、ポリピロー
ル、ポリアニリン、ポリチオフェンなどから選ばれる少
なくとも1種の化合物を用いることができる。前記導電
性の無機物としては、カーボン、黒鉛などから選ばれる
少なくとも1種のものを用いることができる。
As the conductive organic compound, TCN is used.
At least one compound selected from Q (7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane), polypyrrole, polyaniline, polythiophene and the like can be used. As the conductive inorganic substance, at least one selected from carbon, graphite, and the like can be used.

【0022】本発明に用いる誘電体用複合粒子に含有さ
れる前記無機粒子の割合は、誘電体用複合粒子の全重量
に対して、好ましくは70〜99重量%、さらに好まし
くは85〜95重量%、特に好ましくは80〜90重量
%の量で含まれていることが望ましい。また、導電性の
金属または導電性の有機化合物の割合は、好ましくは1
〜30重量%、さらに好ましくは5〜15重量%、特に
好ましくは10〜20重量%の量で含まれていることが
望ましい。
The ratio of the inorganic particles contained in the composite particles for dielectric used in the present invention is preferably 70 to 99% by weight, more preferably 85 to 95% by weight, based on the total weight of the composite particles for dielectric. %, Particularly preferably 80 to 90% by weight. The ratio of the conductive metal or conductive organic compound is preferably 1
It is desirable that it is contained in an amount of from 30 to 30% by weight, more preferably from 5 to 15% by weight, particularly preferably from 10 to 20% by weight.

【0023】無機粒子成分の割合が99重量%を超える
と、誘電体にしたときに高い誘電率が得られなくなるこ
とがある。また、無機粒子成分の割合が70重量%未満
の場合には誘電体の絶縁性が悪くなることがある。本発
明に用いられる誘電体用複合粒子の平均粒子径は、好ま
しくは10μm以下、さらに好ましくは5μm以下、よ
り好ましくは1μm以下、特に好ましくは0.7μm以
下であることが望ましい。平均粒子径が10μmを超え
ると、膜厚を薄くした場合に誘電体層の組成が不均一に
なりやすくなることがある。なお、誘電体用複合粒子の
平均粒径は、膜厚を薄くしても誘電体層の組成が均一に
なるようにするため、特に1μm以下であることが好ま
しい。平均粒子径の下限は特に限定されないが、通常は
0.02μm以上である。
If the proportion of the inorganic particle component exceeds 99% by weight, a high dielectric constant may not be obtained when the dielectric material is used. When the proportion of the inorganic particle component is less than 70% by weight, the insulating properties of the dielectric may be deteriorated. The average particle diameter of the composite particles for a dielectric used in the present invention is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, more preferably 1 μm or less, and particularly preferably 0.7 μm or less. If the average particle diameter exceeds 10 μm, the composition of the dielectric layer may be likely to be non-uniform when the film thickness is reduced. The average particle size of the composite particles for a dielectric is preferably 1 μm or less in order to make the composition of the dielectric layer uniform even when the film thickness is reduced. The lower limit of the average particle diameter is not particularly limited, but is usually 0.02 μm or more.

【0024】このような本発明に用いる誘電体用複合粒
子は公知の方法を用いて調製することができ、限定され
ない。たとえば、メッキ等により無機粒子の表面に導電
性の金属を被膜する場合には、化学メッキなどの無電解
メッキなどにより行うことができる。また、たとえば、
ガスアトマイズ法などの公知の方法により、無機粒子の
表面に導電性の金属や有機化合物を合金状態あるいは複
合化して被覆することもできる。さらに、ガスアトマイ
ズ法により調製した誘電体用複合粒子は、たとえば公知
の合金製造方法を用いて、粒子表面付近の前記導電性成
分を高濃度にして、粒子表面の酸化を抑えることもでき
る。
The composite particles for a dielectric used in the present invention can be prepared by a known method and are not limited. For example, when a conductive metal is coated on the surface of the inorganic particles by plating or the like, it can be performed by electroless plating such as chemical plating. Also, for example,
By a known method such as a gas atomizing method, the surface of the inorganic particles can be coated with a conductive metal or an organic compound in an alloy state or in a composite state. Furthermore, in the composite particles for a dielectric prepared by the gas atomization method, the oxidation of the particle surface can be suppressed by increasing the concentration of the conductive component near the particle surface using, for example, a known alloy manufacturing method.

【0025】具体的には、1〜40重量%の金属成分で
被覆した無機粒子からなる誘電体用複合粒子を、分級機
によって平均粒度1〜10μmの粉末を採取し、その粉
末を用いて純水中にて超音波分散を施し、十分に表面を
浸水させた後、1〜10容積%の硫酸浴中において表面
のCu分のみを溶出させることにより誘電体用複合粒子
を得ることができる。
More specifically, composite particles for dielectrics consisting of inorganic particles coated with a metal component of 1 to 40% by weight are collected by a classifier to obtain a powder having an average particle size of 1 to 10 μm. After ultrasonically dispersing in water and sufficiently immersing the surface, only the Cu content on the surface is eluted in a 1 to 10% by volume sulfuric acid bath to obtain composite particles for a dielectric.

【0026】また、たとえば、粒子が微細あるいは片状
形状であっても、誘電体用複合粒子の表面付近に導電性
成分を多く含有した複合粒子を製造することもできる。
このような誘電体用複合粒子には、無機粒子に対して3
〜50重量%のカーボンを加え、粉砕加工しながら機械
的に磁性体粉にカーボンを付着させることができる(メ
カノケミカル法)。
Also, for example, even if the particles are fine or flaky, composite particles containing a large amount of conductive components near the surface of the dielectric composite particles can be produced.
In such composite particles for dielectrics, 3 to inorganic particles are used.
5050% by weight of carbon can be added and carbon can be mechanically attached to the magnetic powder while being pulverized (mechanochemical method).

【0027】さらに、前記導電性金属と無機粒子を高温
のプラズマガス中で溶融し、さらに急冷凝固することに
よっても、誘電体用複合粒子の表面付近の導電性成分の
濃度を、平均濃度より高めることができる。平均粒子径
が0.1〜10μm径程度の誘電体用複合粒子の微粉末
を得る場合、微粉末状の無機粒子を、不活性雰囲気中で
流体ジェット・ミル処理して一次粒子に分散し、該分散
処理して得た無機粒子を不活性雰囲気中で減圧加熱処理
し、該加熱処理した無機粒子を、スパッタリング源とし
ての導電性成分を納めた回転容器に仕込み、該容器を一
定方向に回転させて無機粒子の流動層を形成し、容器を
回転した状態で導電性成分をスパッタリングすることに
より被覆(コーティング)材料を流動無機粒子に被覆
し、被覆済微粉末を、不活性ガス導入と真空排気を組み
合わせることによって真空掃除機の原理で前記回転容器
から取り出すことにより、前記平均粒径の範囲内で、無
機粒子の表面に導電性成分が強固かつ均一に被覆された
誘電体用複合粒子を得ることもできる。
Further, the concentration of the conductive component in the vicinity of the surface of the composite particles for a dielectric material can be made higher than the average concentration by melting the conductive metal and the inorganic particles in a high-temperature plasma gas and then rapidly solidifying them. be able to. When obtaining fine powder of composite particles for a dielectric material having an average particle diameter of about 0.1 to 10 μm, the inorganic particles in a fine powder form are dispersed into primary particles by fluid jet milling in an inert atmosphere, The inorganic particles obtained by the dispersion treatment are heat-treated under reduced pressure in an inert atmosphere, and the heat-treated inorganic particles are charged into a rotating container containing a conductive component as a sputtering source, and the container is rotated in a certain direction. Then, a fluidized bed of inorganic particles is formed, and a coating (coating) material is coated on the fluidized inorganic particles by sputtering a conductive component while rotating the container, and the coated fine powder is introduced with an inert gas and vacuum. By taking out from the rotating container on the principle of a vacuum cleaner by combining exhaust, within the range of the average particle diameter, the surface of the inorganic particles is coated with a conductive component firmly and uniformly for a dielectric material. It can also be obtained if particles.

【0028】[誘電体形成用組成物]本発明に係る誘電
体形成用組成物は、前記誘電体用複合粒子と、重合性化
合物または重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分と
からなる。このような誘電体形成用組成物は、該組成物
を500℃以下で加熱することにより、誘電率が30以
上、誘電正接が0.1以下の誘電体あるいは誘電体を形
成することができる組成物である。
[Dielectric Forming Composition] The dielectric forming composition according to the present invention comprises the dielectric composite particles and a resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer. Such a composition for forming a dielectric can be formed by heating the composition at 500 ° C. or lower to form a dielectric or a dielectric having a dielectric constant of 30 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less. Things.

【0029】なお、本明細書において、誘電率、誘電正
接は、JIS K6481(周波数1MHz)に記載の方法により測
定した値である。また、前記誘電体形成用組成物は、さ
らに、必要に応じ、その他の充填剤を含有することがで
きる。本発明では、前記誘電体用複合粒子と、前記重合
性化合物および重合体の少なくとも一方からなる樹脂成
分との体積比(誘電体用複合粒子の体積/重合性化合物
および重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分の体
積)は、好ましくは5/95〜80/20、さらに好ま
しくは10/90〜60/40であることが望ましい。
誘電体用複合粒子の割合が5体積%未満であると、高誘
電率の誘電体を得ることが困難になることがある。ま
た、誘電体用複合粒子の割合が80体積%を超えると、
誘電体がフィルム状である場合に該フィルムの成膜性が
悪くなることがある。
In this specification, the dielectric constant and the dielectric loss tangent are values measured by the method described in JIS K6481 (frequency 1 MHz). Further, the composition for forming a dielectric may further contain other fillers as necessary. In the present invention, the volume ratio of the composite particles for a dielectric to the resin component comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer (volume of the composite particles for a dielectric / consisting of at least one of the polymerizable compound and the polymer) The volume of the resin component) is preferably 5/95 to 80/20, and more preferably 10/90 to 60/40.
If the ratio of the composite particles for a dielectric is less than 5% by volume, it may be difficult to obtain a dielectric having a high dielectric constant. When the ratio of the composite particles for a dielectric exceeds 80% by volume,
When the dielectric is in the form of a film, the film-forming property of the film may be deteriorated.

【0030】また本発明では、前記誘電体用複合粒子
と、前記重合性化合物および重合体の少なくとも一方か
らなる樹脂成分との重量比(誘電体用複合粒子の重量/
重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる樹
脂成分の重量)は、好ましくは60/40〜95/5、
さらに好ましくは70/30〜90/10であることが
望ましい。誘電体用複合粒子の割合が60重量%未満で
あると、高誘電率の誘電体を得ることが困難になること
がある。また、誘電体用複合粒子の割合が95重量%を
超えると、誘電体がフィルム状である場合に該フィルム
の成膜性が悪くなることがある。
In the present invention, the weight ratio of the composite particles for dielectric material to the resin component comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer (weight of the composite particles for dielectric material /
Weight of the resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer) is preferably 60/40 to 95/5,
More preferably, the ratio is 70/30 to 90/10. If the ratio of the composite particles for a dielectric is less than 60% by weight, it may be difficult to obtain a dielectric having a high dielectric constant. If the ratio of the composite particles for a dielectric exceeds 95% by weight, the film-forming property of the film may be deteriorated when the dielectric is in the form of a film.

【0031】樹脂成分 本発明で用いることができる樹脂成分は、重合性化合物
または重合体の少なくとも一方からなる。ここで「重合
性化合物」とは、重合性基を有する化合物を指し、完全
硬化前の前駆的重合体、重合性オリゴマー、単量体など
を含む化合物を意味する。また、「重合体」とは、実質
的に重合反応が完了した化合物を意味する。ただし、加
熱、湿気などによりこの重合体を誘電層形成後に架橋さ
せることも可能である。
Resin Component The resin component that can be used in the present invention comprises at least one of a polymerizable compound and a polymer. Here, the “polymerizable compound” refers to a compound having a polymerizable group, and means a compound including a precursor polymer, a polymerizable oligomer, a monomer, and the like before complete curing. The term “polymer” means a compound in which a polymerization reaction has been substantially completed. However, it is also possible to crosslink the polymer after the formation of the dielectric layer by heating, moisture and the like.

【0032】本発明では、誘電体形成用組成物を、後述
する(1)誘電体ペーストとして用いるか、(2)電着用水性
分散液として用いるかにより、好ましい樹脂成分が異な
るので、以下に詳細に説明する。(1)誘電体ペースト用の樹脂成分(樹脂成分(1)) 本発明の誘電体ペーストは、誘電体形成用組成物を含み
必要に応じ、有機溶剤を含むことができる。すなわち、
誘電体形成用組成物がペースト状の場合にはそのままで
誘電体ペーストとして用いることができ、また、構成す
る樹脂成分を有機溶剤に溶解させ、これに誘電体用複合
粒子を分散させて、ペースト状にして用いることもでき
る。このような本発明の誘電体形成用組成物を誘電体ペ
ーストとして用いる場合の樹脂成分は、一定条件下に、
誘電体ペーストの半導体のプリント配線基板等への接着
を損なわなければよく、特に限定されない。
In the present invention, the preferred resin component differs depending on whether the dielectric composition is used as (1) a dielectric paste or (2) an aqueous dispersion for electrodeposition, which will be described later. Will be described. (1) Resin Component for Dielectric Paste (Resin Component (1)) The dielectric paste of the present invention contains a composition for forming a dielectric and can contain an organic solvent as required. That is,
When the dielectric forming composition is in the form of a paste, it can be used as it is as a dielectric paste, and the constituent resin component is dissolved in an organic solvent, and the dielectric composite particles are dispersed therein, and the paste is formed. Can also be used. When the composition for forming a dielectric material of the present invention is used as a dielectric paste, a resin component may be used under certain conditions.
The dielectric paste is not particularly limited as long as it does not impair the adhesion of the semiconductor to the printed wiring board or the like.

【0033】このような樹脂成分としては、ペーストを
対象基板等に印刷後加熱により、樹脂成分を硬化させて
用いる熱硬化タイプ(A1)の樹脂成分と、加熱により
樹脂を焼成させることが可能な熱可塑性タイプ(A2)
の樹脂成分とを好ましく用いることができる。これらは
単独で、または併用して用いることができる。また、重
合性化合物と重合体のいずれも樹脂成分として用いる場
合には、重合性化合物が熱硬化性樹脂、重合体が熱可塑
性樹脂であることが好ましい。このような組み合わせで
樹脂を併用すると、加熱に伴う樹脂成分の僅かな収縮を
低減させることができ、フィルム等として回路基板上に
誘電体層を形成する際にも、位置精度に優れたフィルム
を得ることができる。以下にこれらの樹脂成分をさらに
詳しく説明する。(A1)樹脂成分(熱硬化タイプ) 熱硬化タイプの樹脂成分としては、(A1−a)重量平
均分子量(ゲルパーミエーション法によるポリスチレン
換算の重量平均分子量をいう。以下同じ)が300〜
5,000の範囲内にあるエポキシ樹脂および/または
(A1−b)一分子中にエチレン性二重結合およびエポ
キシ基を有する化合物(以下「化合物(P)」ともい
う)に由来する構成単位を有し、かつ重量平均分子量が
10,000〜500,000の範囲内にあるエポキシ
基含有重合体を含むものであることが好ましい。
As such a resin component, it is possible to print a paste on a target substrate or the like and then heat the resin component by heating to cure the resin component, and to bake the resin by heating. Thermoplastic type (A2)
And the resin component (1) can be preferably used. These can be used alone or in combination. When both the polymerizable compound and the polymer are used as the resin component, the polymerizable compound is preferably a thermosetting resin, and the polymer is preferably a thermoplastic resin. When resins are used together in such a combination, slight shrinkage of the resin component due to heating can be reduced, and even when a dielectric layer is formed on a circuit board as a film, a film having excellent positional accuracy can be obtained. Obtainable. Hereinafter, these resin components will be described in more detail. (A1) Resin component (thermosetting type) As the thermosetting type resin component, (A1-a) a weight average molecular weight (referred to as a polystyrene equivalent weight average molecular weight by a gel permeation method; hereinafter the same) is 300 to 300.
Structural units derived from an epoxy resin within the range of 5,000 and / or a compound having an ethylenic double bond and an epoxy group in one molecule (hereinafter also referred to as “compound (P)”). It is preferable to have an epoxy group-containing polymer having a weight average molecular weight in the range of 10,000 to 500,000.

【0034】このうち、熱硬化タイプの樹脂成分として
は、前記エポキシ樹脂(A1−a)およびエポキシ基含
有共重合体(A1−b)の双方を含むものが好ましい。 (A1−a)エポキシ樹脂 前記エポキシ樹脂(A1−a)としては、1分子中に2
個以上のエポキシ基を有することが好ましく、たとえ
ば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールAD型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等が挙げ
られる。
Of these, the thermosetting resin component preferably contains both the epoxy resin (A1-a) and the epoxy group-containing copolymer (A1-b). (A1-a) Epoxy resin As the epoxy resin (A1-a), 2 per molecule is used.
It is preferable to have at least two epoxy groups, for example, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol AD epoxy resin, alicyclic epoxy resin, etc. No.

【0035】これらのエポキシ樹脂のうち、室温(25
℃)〜200℃の範囲内の加熱温度において、1分〜2
4時間の加熱時間で硬化するものが好ましく、100℃
〜180℃の範囲内の加熱温度において、10分〜12
時間の加熱時間で硬化するものがより好ましい。このよ
うな条件で加熱硬化することにより、生産性が向上する
とともに、プリント配線回路基板等に対する加熱の影響
も少なくなる。
Of these epoxy resins, room temperature (25
° C) to 200 ° C for 1 minute to 2 hours.
It is preferable that the resin be cured by heating for 4 hours.
10 minutes to 12 hours at a heating temperature in the range of
It is more preferable that the resin be cured by heating for a long time. By heating and curing under such conditions, productivity is improved, and the influence of heating on the printed wiring circuit board and the like is reduced.

【0036】前記エポキシ樹脂(A1−a)の重量平均
分子量は、300〜5,000の範囲内であることが好
ましく、400〜2,000の範囲内の値であることが
より好ましい。重量平均分子量がこのような範囲にある
と、誘電体形成用組成物における加熱硬化後の機械強度
と、生産性とのバランスをより良好にすることができ
る。前記エポキシ樹脂の重量平均分子量が300未満と
なると、加熱硬化後の機械強度が劣ることがある。ま
た、重量平均分子量が5,000を超えると、誘電体形
成用組成物の調製の際、均一に溶解させるのに時間がか
かり生産性に劣ることがある。
The weight average molecular weight of the epoxy resin (A1-a) is preferably in the range of 300 to 5,000, more preferably in the range of 400 to 2,000. When the weight average molecular weight is in such a range, the balance between the mechanical strength of the composition for forming a dielectric after heat curing and the productivity can be further improved. If the weight average molecular weight of the epoxy resin is less than 300, the mechanical strength after heat curing may be poor. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 5,000, it takes a long time to uniformly dissolve the composition for forming the dielectric material, and the productivity may be poor.

【0037】前記エポキシ樹脂(A1−a)の添加量
は、誘電体用複合粒子100重量部に対して、1〜20
重量部の範囲内の値であることが好ましく、5〜15重
量部の範囲内の値であることがより好ましい。前記エポ
キシ樹脂(A1−a)の添加量が1重量部未満となる
と、誘電体形成用組成物の加熱硬化後の機械強度が不足
することがあり、前記エポキシ樹脂(A1−a)の添加
量が20重量部を超えると、(誘電体形成用組成物の誘
電率の低下が大きくなることがある。) (A1−b)エポキシ基含有重合体 前記エポキシ基含有重合体(A1−b)としては、一分
子中にエチレン性二重結合およびエポキシ基を有する化
合物(P)に由来する単位を有する特定の重量平均分子
量の重合体であれば、その種類は特に制限されるもので
はない。
The amount of the epoxy resin (A1-a) is from 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the dielectric composite particles.
The value is preferably in the range of parts by weight, more preferably in the range of 5 to 15 parts by weight. If the amount of the epoxy resin (A1-a) is less than 1 part by weight, the mechanical strength of the composition for forming a dielectric after heat curing may be insufficient, and the amount of the epoxy resin (A1-a) may be insufficient. Exceeds 20 parts by weight (the decrease in the dielectric constant of the dielectric-forming composition may be large.) (A1-b) Epoxy group-containing polymer The epoxy group-containing polymer (A1-b) Is not particularly limited as long as it is a polymer having a specific weight average molecular weight having a unit derived from the compound (P) having an ethylenic double bond and an epoxy group in one molecule.

【0038】このようなエポキシ基含有重合体(A1−
b)としては、化合物(P)の単独重合体、あるいは化
合物(P)と化合物(P)以外の他の単量体との共重合
体であることが好ましい。前記化合物(P)としては、
たとえば、エポキシ基含有(メタ)アクリレート類ある
いはエポキシ基含有ビニル化合物が挙げられる。
Such an epoxy group-containing polymer (A1-
Preferably, b) is a homopolymer of the compound (P) or a copolymer of the compound (P) and a monomer other than the compound (P). As the compound (P),
For example, epoxy group-containing (meth) acrylates or epoxy group-containing vinyl compounds may be used.

【0039】エポキシ基含有(メタ)アクリレートとし
ては、たとえば、(メタ)アクリル酸グリシジル、α−
エチル(メタ)アクリル酸グリシジル、α−n−プロピ
ル(メタ)アクリル酸グリシジル、α−n−ブチル(メ
タ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシブチル
(メタ)アクリレート、3,4−エポキシヘプチル(メ
タ)アクリレート、α−エチル−6,7−エポキシヘプ
チル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
Examples of the epoxy group-containing (meth) acrylate include glycidyl (meth) acrylate and α-
Glycidyl ethyl (meth) acrylate, glycidyl α-n-propyl (meth) acrylate, glycidyl α-n-butyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 3,4-epoxyheptyl ( (Meth) acrylate, α-ethyl-6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate, and the like.

【0040】エポキシ基含有ビニル化合物としては、た
とえば、アリルグリシジルエーテル、ビニルグリシジル
エーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m
−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベン
ジルグリシジルエーテル、3−ビニルシクロヘキセンオ
キサイドなどが挙げられる。これらは1種単独で、また
は二種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the epoxy group-containing vinyl compound include allyl glycidyl ether, vinyl glycidyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether,
-Vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, 3-vinylcyclohexene oxide and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

【0041】これらのエポキシ基含有単量体のうちで
は、特に、(メタ)アクリル酸グリシジル、α−エチル
(メタ)アクリル酸グリシジルが好ましい。前記のよう
な化合物(P)に由来する構成単位は、エポキシ基含有
重合体(A1−b)中に、好ましくは10〜100重量
%、さらに好ましくは20〜100重量%の量で存在す
ることが望ましい。
Among these epoxy group-containing monomers, glycidyl (meth) acrylate and glycidyl α-ethyl (meth) acrylate are particularly preferred. The structural unit derived from the compound (P) as described above is present in the epoxy group-containing polymer (A1-b) in an amount of preferably 10 to 100% by weight, more preferably 20 to 100% by weight. Is desirable.

【0042】このような化合物(P)に由来する構成単
位が、10重量%未満となると、熱硬化性樹脂との反応
性が著しく低下することがある。また、前記エポキシ基
含有重合体(A1−b)としては、化合物(P)と、化
合物(P)以外のエポキシ基を含有しないビニル基含有
化合物、(メタ)アクリルアミド化合物、(メタ)アク
リル酸エステル等のモノマーの単独重合体あるいは二種
以上の共重合体も用いることができる。
When the content of the structural unit derived from the compound (P) is less than 10% by weight, the reactivity with the thermosetting resin may be significantly reduced. Further, as the epoxy group-containing polymer (A1-b), a compound (P), a vinyl group-containing compound containing no epoxy group other than the compound (P), a (meth) acrylamide compound, and a (meth) acrylate ester A homopolymer or a copolymer of two or more kinds of such monomers can also be used.

【0043】このようなエポキシ基を含有しないビニル
基含有化合物としては、たとえば、ヒドロキシスチレ
ン、イソプロペニルフェノール、スチレン、α−メチル
スチレン、p−メチルスチレン、クロロスチレン、p−
メトキシスチレン、ビニルピロリドン、ビニルカプロラ
クタム、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙
げられる。
Examples of such a vinyl group-containing compound that does not contain an epoxy group include hydroxystyrene, isopropenylphenol, styrene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, chlorostyrene, and p-methylstyrene.
Examples include methoxystyrene, vinylpyrrolidone, vinylcaprolactam, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.

【0044】(メタ)アクリルアミド化合物としては、
たとえば、アクリルアミド、メタクリルアミド、N,N
−ジメチルアクリルアミド等が挙げられる。さらに、
(メタ)アクリル酸エステルとしては、たとえば、メチ
ル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレー
ト、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル
(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル
(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アク
リレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソ
ボロニル(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル
(メタ)アクリレート等が挙げられる。
As the (meth) acrylamide compound,
For example, acrylamide, methacrylamide, N, N
-Dimethylacrylamide and the like. further,
Examples of the (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, Examples include benzyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, and tricyclodecanyl (meth) acrylate.

【0045】これらのうち、特に、スチレン、アクリロ
ニトリル、ヒドロキシスチレン、メチル(メタ)アクリ
レート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートが好
ましい。前記エポキシ基含有重合体(A1−b)の重量
平均分子量は、10,000〜500,000以内の範
囲内であることが好ましく、さらに好ましくは20,0
00〜400,000、特に好ましくは30,000〜
300,000の範囲内の値であることが望ましい。エ
ポキシ基含有重合体(A1−b)の重量平均分子量がこ
のような範囲にあると、誘電体形成用組成物における加
熱時のだれ防止と、塗布性とのバランスがより良好とな
る。
Of these, styrene, acrylonitrile, hydroxystyrene, methyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate are particularly preferred. The weight average molecular weight of the epoxy group-containing polymer (A1-b) is preferably in the range of 10,000 to 500,000, more preferably 20,000.
00 to 400,000, particularly preferably 30,000 to
Desirably, the value is in the range of 300,000. When the weight average molecular weight of the epoxy group-containing polymer (A1-b) is in such a range, the balance between the sagging prevention during heating and the applicability of the composition for forming a dielectric becomes better.

【0046】エポキシ基含有重合体(A1−b)の重量
平均分子量が10,000未満となると、加熱硬化時の
粘度が急激に低下し、十分なだれ防止性が得られず、ま
た硬化後の接着強度が乏しいことがある。一方、重量平
均分子量が500,000を超えると、誘電体形成用組
成物の粘度が過度に増加し、塗布性が低下することがあ
る。
When the weight-average molecular weight of the epoxy group-containing polymer (A1-b) is less than 10,000, the viscosity at the time of heat curing is rapidly reduced, and sufficient dripping prevention is not obtained. May have poor strength. On the other hand, if the weight average molecular weight exceeds 500,000, the viscosity of the composition for forming a dielectric substance may excessively increase, and the coatability may decrease.

【0047】前記エポキシ基含有重合体(A1−b)の
製造方法は特に制限されるものではないが、たとえば、
ラジカル発生剤を添加して、前記化合物(P)と、必要
に応じて前記他の単量体とをラジカル重合することによ
り得ることができる。このようなラジカル発生剤として
は、たとえば、ジアシルパーオキサイド類、ケトンパー
オキサイド類、ハイドロパーオキサイド類、ジアルキル
パーオキサイド類、パーオキシエステル類、アゾ系化合
物、過硫酸塩を単独または二種以上の組み合わせて用い
ることができる。より具体的には、たとえば、過酸化ベ
ンゾイル、ラウリルパーオキサイド、2,2′−アゾビ
スイソブチロニトリロ、4,4′−アゾビス(4−シア
ノ吉草酸)などが挙げられる。
The method for producing the epoxy group-containing polymer (A1-b) is not particularly limited.
It can be obtained by adding a radical generator and radically polymerizing the compound (P) and, if necessary, the other monomer. Such radical generators include, for example, diacyl peroxides, ketone peroxides, hydroperoxides, dialkyl peroxides, peroxyesters, azo compounds, persulfates alone or in combination of two or more. They can be used in combination. More specifically, for example, benzoyl peroxide, lauryl peroxide, 2,2'-azobisisobutyronitrilo, 4,4'-azobis (4-cyanovaleric acid) and the like can be mentioned.

【0048】また、必要に応じて亜硫酸水素ナトリウ
ム、ピロ亜硫酸ナトリウムなどの無機還元剤、ナフテン
酸コバルト、ジメチルアニリンなどの有機還元剤を併用
することも好ましい。このように組み合わせて使用する
ことにより、ラジカル反応をより短時間に行わせること
ができる。さらに、ヨウ素含有フッ素化合物を、1種単
独で、または前記有機過酸化物、アゾ系化合物もしくは
過硫酸塩と併用して用いることもできる。
It is also preferable to use an inorganic reducing agent such as sodium hydrogen sulfite and sodium pyrosulfite, and an organic reducing agent such as cobalt naphthenate and dimethylaniline, if necessary. By using such a combination, the radical reaction can be performed in a shorter time. Further, the iodine-containing fluorine compound may be used alone or in combination with the organic peroxide, azo compound or persulfate.

【0049】なお、ラジカル発生剤の添加量は、たとえ
ば、化合物(P)を含む単量体100重量部に対して、
0.1〜10重量部の範囲内の値であることが好まし
い。また、前記エポキシ基含有重合体(A1−b)を製
造する際に、連鎖移動剤を添加することも好ましい。連
鎖移動剤を使用することにより、前記エポキシ基含有重
合体(A1−b)の重量平均分子量の調整がより容易と
なる。
The amount of the radical generator is, for example, based on 100 parts by weight of the monomer containing the compound (P).
The value is preferably in the range of 0.1 to 10 parts by weight. It is also preferable to add a chain transfer agent when producing the epoxy group-containing polymer (A1-b). The use of the chain transfer agent makes it easier to adjust the weight average molecular weight of the epoxy group-containing polymer (A1-b).

【0050】このような連鎖移動剤としては、たとえ
ば、四塩化炭素、クロロホルム、および四臭化炭素等の
ハロゲン化炭化水素類、n−ヘキシルメルカプタン、n
−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、
t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール類、チオプ
ロピオン酸等のメルカプタン類、ジメチルキサントンゲ
ンジサルファイド、ジイソプロピルキサントンゲンジサ
ルファイド等のキサントンゲン類、テルピノーレン、α
−メチルスチレンダイマー等が挙げられる。
Examples of such a chain transfer agent include halogenated hydrocarbons such as carbon tetrachloride, chloroform, and carbon tetrabromide, n-hexyl mercaptan, and n-hexyl mercaptan.
-Octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan,
t-dodecyl mercaptan, thioglycols, mercaptans such as thiopropionic acid, etc.
-Methylstyrene dimer and the like.

【0051】また、前記ラジカル重合を行う際は、ジオ
キサン、THFなどの非プロトン性極性溶媒、酢酸エチ
ルなどのエステル類、メチルエチルケトンなどのケトン
類等の溶媒中で行うことが望ましい。前記エポキシ基含
有重合体(A1−b)の添加量は、たとえば、誘電体用
複合粒子100重量部に対して、好ましくは1〜15重
量部、さらに好ましくは2〜10重量部の範囲内の値で
あることが望ましい。添加量がこのような範囲にある
と、誘電体形成用組成物における加熱硬化時のだれ防止
と、誘電性とのバランスをより良好とすることができ
る。
The radical polymerization is preferably performed in a solvent such as an aprotic polar solvent such as dioxane and THF, an ester such as ethyl acetate, and a ketone such as methyl ethyl ketone. The amount of the epoxy group-containing polymer (A1-b) is, for example, preferably 1 to 15 parts by weight, more preferably 2 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the composite particles for a dielectric. Desirably a value. When the amount of addition is in such a range, it is possible to prevent the sagging during the heat curing of the composition for forming a dielectric and to achieve a better balance between the dielectric properties.

【0052】前記エポキシ基含有重合体(A1−b)の
添加量が1重量部未満となると、誘電体形成用組成物に
おける加熱硬化時のだれ防止効果が発揮されないことが
ある。また、前記エポキシ基含有重合体(A1−b)の
添加量が15重量部を超えると、相対的に誘電体用複合
粒子の添加割合が減少して、得られる誘電体の誘電性が
低下する場合がある。(A2)樹脂成分(熱可塑性タイプ) 熱可塑性タイプの樹脂成分(A2)としては、たとえば
(メタ)アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノ
ボラック樹脂、ポリエステル樹脂などが挙げられる。こ
のうち、下記のモノマー(M1)とモノマー(M2)と
の共重合体等のアクリル樹脂を好ましく用いることがで
きる。
If the amount of the epoxy group-containing polymer (A1-b) is less than 1 part by weight, the composition for forming a dielectric may not have the effect of preventing sagging during heat curing. On the other hand, when the amount of the epoxy group-containing polymer (A1-b) exceeds 15 parts by weight, the ratio of the composite particles for a dielectric decreases relatively, and the dielectric property of the obtained dielectric decreases. There are cases. (A2) Resin component (thermoplastic type) Examples of the thermoplastic type resin component (A2) include (meth) acrylic resin, hydroxystyrene resin, novolak resin, polyester resin and the like. Among them, an acrylic resin such as a copolymer of the following monomer (M1) and monomer (M2) can be preferably used.

【0053】前記モノマー(M1)としては、たとえ
ば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル
酸、コハク酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン
酸、メサコン酸、ケイ皮酸などのカルボキシル基含有モ
ノマー類;(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、
(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)
アクリル酸3−ヒドロキシプロピルなどの水酸基含有モ
ノマー類;o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシス
チレン、p−ヒドロキシスチレンなどのフェノール性水
酸基含有モノマー類などに代表されるモノマー類を挙げ
ることができる。
Examples of the monomer (M1) include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, succinic acid, crotonic acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid, and cinnamic acid. 2-hydroxyethyl (meth) acrylate,
2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (meth)
Examples include hydroxyl group-containing monomers such as 3-hydroxypropyl acrylate; and phenolic hydroxyl group-containing monomers such as o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, and p-hydroxystyrene.

【0054】前記モノマー(M2)としては、たとえ
ば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エ
チル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸
ベンジル、グリシジル(メタ)アクリレート、ジシクロ
ペンタニル(メタ)アクリレートなどのモノマー(M
1)以外の(メタ)アクリル酸エステル類;スチレン、
α−メチルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー類;
ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン類などに代表
されるモノマー(M1)と共重合可能なモノマー類を挙
げることができる。
Examples of the monomer (M2) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, and dicyclopentane. Monomers such as nil (meth) acrylate (M
(Meth) acrylic esters other than 1); styrene,
aromatic vinyl monomers such as α-methylstyrene;
Monomers that can be copolymerized with the monomer (M1) represented by conjugated dienes such as butadiene and isoprene can be exemplified.

【0055】樹脂成分(A2)の重量平均分子量は、1
0,000〜1,000,000の範囲内であることが
好ましく、さらに好ましくは20,000〜500,0
00、特に好ましくは30,000〜300,000の
範囲内の値であることが望ましい。重量平均分子量がこ
のような範囲にあると、たとえば、本発明の誘電体形成
用組成物をペーストとして用いる場合、誘電体ペースト
印刷後のだれ防止と、塗布性とのバランスをより良好と
することができる。
The weight average molecular weight of the resin component (A2) is 1
It is preferably in the range of 000 to 1,000,000, more preferably 20,000 to 500,000.
00, particularly preferably in the range of 30,000 to 300,000. When the weight-average molecular weight is in such a range, for example, when the composition for forming a dielectric material of the present invention is used as a paste, prevention of dripping after printing of the dielectric paste and better balance between applicability and the like. Can be.

【0056】樹脂成分(A2)の重量平均分子量が1
0,000未満となると、誘電性ペースト印刷後に十分
な、だれ防止性が得られないことがある。一方、重量平
均分子量が1,000,000を超えると、誘電体形成
用組成物の粘度が過度に増加し、塗布性が低下すること
がある。前記樹脂成分(A2)の製造方法は特に制限さ
れるものではないが、前記エポキシ基含有重合体(A1
−b)と同様なラジカル発生剤や連鎖移動剤を使用し
て、前記モノマーを重合して得ることができる。
The weight average molecular weight of the resin component (A2) is 1
If it is less than 000, sufficient dripping prevention may not be obtained after printing the dielectric paste. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 1,000,000, the viscosity of the composition for forming a dielectric may increase excessively, and the coatability may decrease. Although the method for producing the resin component (A2) is not particularly limited, the epoxy group-containing polymer (A1
It can be obtained by polymerizing the above monomer using the same radical generator or chain transfer agent as in -b).

【0057】前記樹脂成分(A2)の添加量は、たとえ
ば、誘電体用複合粒子100重量部に対して、1〜30
重量部の範囲内の値であることが好ましく、さらに好ま
しくは2〜15重量部の範囲内の値であることが望まし
い。添加量がこのような範囲にあると、たとえば、誘電
体ペーストの印刷性と、誘電性とのバランスをより良好
とすることができる。
The amount of the resin component (A2) to be added is, for example, 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the dielectric composite particles.
The value is preferably in the range of parts by weight, more preferably in the range of 2 to 15 parts by weight. When the amount is in such a range, for example, the balance between the printability of the dielectric paste and the dielectric properties can be improved.

【0058】前記樹脂成分(A2)の添加量が1重量部
未満となると、たとえば、誘電体ペーストを均一に塗布
できない場合がある。一方、前記樹脂成分(A2)の添
加量が30重量部を超えると、樹脂成分を加熱して焼成
する時に有機物残さが発生し誘電性が低下する場合があ
る。(2)電着用水性分散液に用いる樹脂成分(樹脂成分(2)) 本発明に係る誘電体形成用組成物を、電着用水性分散液
に含有させて用いる場合、樹脂成分(2)としては、ポリ
イミド系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリ
エステル系樹脂、フッ素系樹脂およびシリコン系樹脂か
ら選択される一種または二種以上からなることが好まし
い。また、これらの樹脂に加えてさらに他の成分を含ん
でもよい。さらに、これらの樹脂は互いに、あるいは他
の成分と化学的に結合されていてもよい。
If the amount of the resin component (A2) is less than 1 part by weight, for example, the dielectric paste may not be applied uniformly. On the other hand, when the addition amount of the resin component (A2) exceeds 30 parts by weight, an organic residue may be generated when the resin component is heated and fired, and the dielectric property may be reduced. (2) The resin component used in the aqueous dispersion for electrodeposition (resin component (2)) When the dielectric composition according to the present invention is used by being contained in the aqueous dispersion for electrodeposition, the resin component (2) And one or more selected from polyimide resin, epoxy resin, acrylic resin, polyester resin, fluorine resin and silicon resin. Further, other components may be further contained in addition to these resins. Further, these resins may be chemically bonded to each other or to other components.

【0059】このような樹脂成分は、電着用水性分散液
中で用いる場合は、粒子形状の有機粒子であることが好
ましい。重合性化合物および重合体の少なくとも一方か
らなる樹脂成分である有機粒子の表面は、電着を可能と
するために電荷を有することが好ましく、この表面電荷
はアニオン型でもカチオン型でもよいが、電着時の電極
酸化を防止するためにはカチオン型であることが好まし
い。
When such a resin component is used in the aqueous dispersion for electrodeposition, the resin component is preferably organic particles in the form of particles. The surface of the organic particles, which is a resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer, preferably has a charge in order to enable electrodeposition, and the surface charge may be anionic or cationic. In order to prevent electrode oxidation at the time of attachment, it is preferable to use a cationic type.

【0060】このうち、本発明においては、電着により
機械的特性、化学的特性および電気的特性に優れた高誘
電率のフィルムを形成できることから、ポリイミド系樹
脂を主成分とする有機粒子を用いることが特に好まし
い。なお、「ポリイミド系樹脂」とは、前述の通り、た
とえば、電着後の加熱などにより硬化可能な前駆的重合
体(たとえばポリアミック酸など。)、ポリイミド系樹
脂の形成に用いられる単量体、オリゴマー、ポリイミド
樹脂の形成に用いられる単量体と他の単量体との共重合
体樹脂またはその前駆的重合体、ポリイミド樹脂または
その前駆的重合体と他の化合物との反応物などをも含む
ことを意味している。
Among them, in the present invention, organic particles having a polyimide resin as a main component are used because a high dielectric constant film having excellent mechanical properties, chemical properties and electrical properties can be formed by electrodeposition. Is particularly preferred. As described above, the “polyimide resin” includes, for example, a precursor polymer (for example, polyamic acid or the like) curable by heating after electrodeposition, a monomer used for forming the polyimide resin, Oligomers, copolymer resins of monomers and other monomers used in the formation of polyimide resins or their precursor polymers, and also reactants of polyimide resins or their precursor polymers with other compounds and the like Means to include.

【0061】充填剤 本発明の誘電体形成用組成物は、誘電体用複合粒子およ
び樹脂成分の他に、さらに、充填剤を含有することがで
きる。このような充填剤として、誘電率を向上させる添
加剤としては、アセチレンブラック、ケッチェンブラッ
クなどのカーボン微粉、黒鉛微粉などの導電性微粒子、
炭化ケイ素微粉などの半導体性の微粒子などが挙げられ
る。これらの誘電率向上用の充填剤を添加する場合に
は、誘電体用複合粒子に対し、好ましくは0〜10重量
%、さらに好ましくは0.5〜10重量%、特に好まし
くは1〜5重量%の量を使用することが望ましい。
Filler The dielectric-forming composition of the present invention can further contain a filler in addition to the dielectric composite particles and the resin component. As such a filler, as an additive for improving the dielectric constant, acetylene black, carbon fine powder such as Ketjen black, conductive fine particles such as graphite fine powder,
Semiconductor fine particles such as silicon carbide fine powder are exemplified. When these fillers for improving the dielectric constant are added, the amount is preferably 0 to 10% by weight, more preferably 0.5 to 10% by weight, particularly preferably 1 to 5% by weight, based on the composite particles for a dielectric. It is desirable to use% amounts.

【0062】その他添加剤 本発明に係る誘電体形成用組成物は、前記以外の化合物
として、さらに、硬化剤、ガラス粉末、カップリング
剤、高分子添加剤、反応性希釈剤、重合禁止剤、重合開
始助剤、レベリング剤、濡れ性改良剤、界面活性剤、可
塑剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、無機充
填剤、防カビ剤、調湿剤、染料溶解剤、緩衝溶液、キレ
ート剤、難燃化剤等を含んでいてもよい。これらの添加
剤は、1種単独で、または二種以上を組合せて用いるこ
とができる。 (1)硬化剤 樹脂成分(A1)を硬化する際は硬化剤を添加すること
が好ましい。このような硬化剤としては、種類は特に制
限されるものではないが、たとえば、エポキシ樹脂の硬
化剤として、アミン類、ジシアンジアミド、二塩基酸ジ
ヒドラジド、イミダゾール類などが挙げられる。
Other Additives The composition for forming a dielectric according to the present invention further comprises, as compounds other than the above, a curing agent, a glass powder, a coupling agent, a polymer additive, a reactive diluent, a polymerization inhibitor, Polymerization initiation aid, leveling agent, wetting improver, surfactant, plasticizer, ultraviolet absorber, antioxidant, antistatic agent, inorganic filler, antifungal agent, humidity control agent, dye dissolving agent, buffer solution , A chelating agent, a flame retardant, and the like. These additives can be used alone or in combination of two or more. (1) Curing agent When curing the resin component (A1), it is preferable to add a curing agent. The type of such a curing agent is not particularly limited, and examples thereof include amines, dicyandiamide, dibasic acid dihydrazide, and imidazoles as epoxy resin curing agents.

【0063】このような硬化剤を添加することにより、
エポキシ樹脂の熱硬化を効率的に行うことができる。ま
た、硬化剤の添加量についても、特に制限されるもので
はないが、たとえば、樹脂成分(A1)100重量部に
対して、硬化剤の添加量は1〜30重量部の範囲内であ
ることが好ましい。
By adding such a curing agent,
The thermosetting of the epoxy resin can be performed efficiently. The amount of the curing agent is not particularly limited. For example, the amount of the curing agent is in the range of 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin component (A1). Is preferred.

【0064】硬化剤の使用量が1重量部未満であると、
たとえば、エポキシ樹脂に対する硬化性が著しく低下す
ることがある。一方、硬化剤の使用量が30重量部を超
えると、反応性を制御することが困難となり、エポキシ
樹脂における保存安定性が低下することがある。前記熱
硬化タイプの樹脂成分(A1)を使用するときは、必要
に応じて、硬化促進剤を使用することもできる。このよ
うな硬化促進剤の種類は、特に制限されるものではない
が、たとえば、有機ボロン、三級アミン類、イミダゾー
ルおよびこれらの塩等が挙げられる。これらは、特にエ
ポキシ樹脂の硬化促進剤として好ましい。
When the amount of the curing agent is less than 1 part by weight,
For example, the curability to an epoxy resin may be significantly reduced. On the other hand, if the amount of the curing agent exceeds 30 parts by weight, it becomes difficult to control the reactivity, and the storage stability of the epoxy resin may be reduced. When the thermosetting resin component (A1) is used, a curing accelerator can be used, if necessary. The type of such a curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include organic boron, tertiary amines, imidazole, and salts thereof. These are particularly preferred as curing accelerators for epoxy resins.

【0065】このような硬化促進剤を使用する場合、そ
の使用量は、樹脂成分100重量部に対して、好ましく
は0.1〜10重量部、さらに好ましくは0.5〜5重
量部の範囲にあることが望ましい。 (2)カップリング剤 本発明の誘電体形成用組成物は、カップリング剤が添加
されていてもよい。カップリング剤を添加することによ
り、プリント配線基板等の基材に対する塗布性が向上す
るとともに、耐湿性が著しく向上するため、長期間にわ
たって、優れた密着力等を得ることができる。
When such a curing accelerator is used, its amount is preferably 0.1 to 10 parts by weight, more preferably 0.5 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin component. Is desirable. (2) Coupling agent The dielectric-forming composition of the present invention may contain a coupling agent. The addition of the coupling agent improves the applicability to a substrate such as a printed wiring board, and significantly improves the moisture resistance, so that excellent adhesion and the like can be obtained over a long period of time.

【0066】このようなカップリング剤としては、シラ
ン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、
チタネート系カップリング剤およびジルコネート系カッ
プリング剤から選択される少なくとも一つのカップリン
グ剤が挙げられる。これらのカップリング剤のうちで
は、比較的少量の添加で優れた耐湿性の向上効果等が得
られることから、シラン系カップリング剤を添加するこ
とが好ましい。
Examples of such a coupling agent include a silane coupling agent, an aluminum coupling agent,
At least one coupling agent selected from titanate-based coupling agents and zirconate-based coupling agents is included. Among these coupling agents, it is preferable to add a silane coupling agent since an excellent effect of improving moisture resistance and the like can be obtained by adding a relatively small amount.

【0067】また、シラン系カップリング剤の種類につ
いても、特に制限されるものではないが、たとえば、γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジ
メトキシシラン、γ−アミノプロピルジメチルメトキシ
シラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、n
−デシルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらは
一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いること
ができる。
The type of the silane coupling agent is not particularly limited, either.
-Aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropyldimethylmethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane , N
-Decyltrimethoxysilane and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

【0068】カップリング剤の添加量は、樹脂成分
(A)100重量部に対して、好ましくは0.1〜10
重量部、さらに好ましくは0.5〜5重量部の範囲内で
あることが望ましい。添加量が0.1重量部未満となる
と、添加効果が発揮されないことがある。一方、添加量
が10重量部を超えると、カップリング剤が自己縮合
し、誘電体形成用組成物の保存安定性が低下することが
ある。
The amount of the coupling agent added is preferably 0.1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin component (A).
It is desirable that the amount is in the range of 0.5 parts by weight, more preferably 0.5 to 5 parts by weight. If the amount is less than 0.1 part by weight, the effect of addition may not be exhibited. On the other hand, when the addition amount exceeds 10 parts by weight, the coupling agent self-condenses, and the storage stability of the dielectric-forming composition may decrease.

【0069】[誘電体ペースト]本発明の誘電体ペース
トは、誘電体形成用組成物を含み必要に応じ、有機溶剤
を含むことができる。すなわち、本発明の誘電体形成用
組成物を含有する誘電体ペーストは、誘電体形成用組成
物がペースト状を示すときはそのまま用いることができ
る。また、必要に応じ、誘電体形成用組成物に含まれる
樹脂成分を、有機溶剤などに溶解させるとともに、これ
に誘電体用複合粒子を分散させて用いることができる。
[Dielectric Paste] The dielectric paste of the present invention contains a composition for forming a dielectric, and may contain an organic solvent if necessary. That is, the dielectric paste containing the dielectric-forming composition of the present invention can be used as it is when the dielectric-forming composition shows a paste. Further, if necessary, the resin component contained in the dielectric-forming composition can be dissolved in an organic solvent or the like, and the dielectric composite particles can be dispersed therein before use.

【0070】本発明の誘電体形成用組成物を誘電体ペー
ストとして用いる場合には、前記樹脂成分(1)を用い
ることが好ましい。溶剤は公知の有機溶剤を用いること
ができ、特に制限されるものではないが、たとえば、エ
チレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチ
レングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレング
リコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチル
エーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテ
ル類;プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピ
レングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコー
ルジプロピルエーテル、プロピレングリコールジブチル
エーテル等のプロピレングリコールジアルキルエーテル
類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテ
ート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテ
ート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルア
セテート類;エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等の
セロソルブ類、エチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル等のカルビトール類;エチルカルビト−ルアセテー
ト、ブチルカルビトールアセテート等のカルビトールア
セテート類;乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸n−プロピ
ル、乳酸イソプロピル等の乳酸エステル類;酢酸エチ
ル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブ
チル、酢酸イソブチル、酢酸n−アミル、酢酸イソアミ
ル、プロピオン酸イソプロピル、プロピオン酸n−ブチ
ル、プロピオン酸イソブチル等の脂肪族カルボン酸エス
テル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキ
シプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチ
ル、ピルビン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素類;2−ヘプタノン、3−
ヘプタノン、4−ヘプタノン、シクロヘキサノン等のケ
トン類;N−ジメチルホルムアミド、N−メチルアセト
アミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピ
ロリドン等のアミド類;γ−ブチロラクン等のラクトン
類を挙げることができる。これらの溶剤は、一種単独で
使用することも好ましいが、あるいは二種以上を混合し
て使用することも好ましい。このような有機溶剤の使用
量は、得られる誘電体ペーストの粘度が後述する範囲と
なるよう有機溶剤の種類等に応じ適宜定めればよく、限
定されないが、誘電体形成用組成物に対して、好ましく
は1〜50重量部、さらに好ましくは3〜30重量部の
量であることが望ましい。
When the dielectric composition of the present invention is used as a dielectric paste, it is preferable to use the resin component (1). As the solvent, a known organic solvent can be used and is not particularly limited. For example, ethylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate and ethylene glycol monoethyl ether acetate; propylene glycol monomethyl ether; Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether and propylene glycol monobutyl ether; propylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dipropyl ether and propylene glycol dibutyl ether And propylene glycol monomethyl -Propylene glycol monoalkyl ether acetates such as ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate; cellosolves such as ethyl cellosolve and butyl cellosolve; Tolls; carbitol acetates such as ethyl carbitol acetate and butyl carbitol acetate; lactate esters such as methyl lactate, ethyl lactate, n-propyl lactate and isopropyl lactate; ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate and acetic acid n-butyl, isobutyl acetate, n-amyl acetate, isoamyl acetate, isopropyl propionate, n-butyl propionate, Aliphatic carboxylic acid esters such as isobutyl lopionate; and others such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl pyruvate, and ethyl pyruvate Esters of toluene;
Aromatic hydrocarbons such as xylene; 2-heptanone, 3-
Ketones such as heptanone, 4-heptanone and cyclohexanone; amides such as N-dimethylformamide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; lactones such as γ-butyrolactone. . These solvents are preferably used alone or as a mixture of two or more. The amount of such an organic solvent used may be appropriately determined according to the type of the organic solvent and the like so that the viscosity of the obtained dielectric paste falls within the range described below, and is not limited. The amount is preferably 1 to 50 parts by weight, more preferably 3 to 30 parts by weight.

【0071】このような誘電体ペーストは、誘電体用複
合粒子と、樹脂成分と、必要に応じて充填剤、添加剤、
有機溶剤とを、混合機等を用いて均一に混合攪拌して調
製することができる。このような混合撹拌に用いる混合
機としては、ボールミル、プロペラミキサー、ハイシェ
アミキサー、撹拌脱泡装置、三本ロール、Vブレンダ
ー、ニーダー、マイクロフルイダイザー等が挙げられ
る。
Such a dielectric paste comprises a dielectric composite particle, a resin component, and if necessary, a filler, an additive,
It can be prepared by uniformly mixing and stirring with an organic solvent using a mixer or the like. Examples of the mixer used for such mixing and stirring include a ball mill, a propeller mixer, a high shear mixer, a stirring and defoaming device, a three-roll, a V blender, a kneader, a microfluidizer, and the like.

【0072】また、誘電体ペーストを構成する材料を混
合するに際して、混合機内の温度が上昇する場合があ
る。その場合には、冷却装置等を用いて、たとえば60
℃以内の温度に保持することが好ましい。混合機内の温
度が60℃を超えると、樹脂成分の一部が反応して、硬
化することがある。また、このような組成物の混練調製
により得られる、誘電体ペーストの粘度は、1,000
〜1,000,000mPa・s(測定温度25℃、以
下同様である。)の範囲内の値に調製されることが好ま
しい。誘電体ペーストの粘度が1,000mPa・s未
満であると、誘電体用複合粒子が沈降したり、塗布した
際に、だれが生じやすくなることがある。一方、粘度が
1,000,000mPa・sを超えると、均一に塗布
することが困難となることがある。
Further, when mixing the materials constituting the dielectric paste, the temperature inside the mixer may increase. In that case, for example, using a cooling device or the like,
It is preferable to keep the temperature within ° C. If the temperature in the mixer exceeds 60 ° C., some of the resin components react and may be cured. The viscosity of the dielectric paste obtained by kneading and preparing such a composition is 1,000.
It is preferably adjusted to a value within the range of 1,1,000,000 mPa · s (measuring temperature 25 ° C., the same applies hereinafter). If the viscosity of the dielectric paste is less than 1,000 mPa · s, the dielectric composite particles may be settled or may be easily dripped when applied. On the other hand, if the viscosity exceeds 1,000,000 mPa · s, it may be difficult to apply uniformly.

【0073】誘電体ペーストの粘度は、さらに好ましく
は10,000〜600,000mPa・s、特に好ま
しくは30,000〜400,000mPa・sの範囲
内の値であることが望ましい。粘度がこのような範囲に
あると、誘電体ペーストの塗布性や、誘電体用複合粒子
の分散性がより良好となる。 [電着用水性分散液]水性エマルジョン 本発明で用いられる電着用水性分散液は、前記誘電体形
成用組成物と、水性媒体とからなる。このような電着用
水性分散液は、通常、前記樹脂成分(2)の前記有機粒子
が水性媒体に分散した水性エマルジョンを調製し、この
水性エマルジョンと前記誘電体用複合粒子とを混合して
得られる。そこでまず、水性エマルジョンについて説明
する。なお、本明細書において「水性媒体」とは水を含
有する媒体を意味し、この水性媒体中における水の含有
率は通常1重量%以上、好ましくは5重量%以上である
ことが望ましい。
The viscosity of the dielectric paste is more preferably in the range of 10,000 to 600,000 mPa · s, and particularly preferably in the range of 30,000 to 400,000 mPa · s. When the viscosity is in such a range, the applicability of the dielectric paste and the dispersibility of the composite particles for the dielectric will be better. [Aqueous Dispersion for Electroplating] Aqueous Emulsion The aqueous dispersion for electrodeposition used in the present invention comprises the above-mentioned composition for forming a dielectric and an aqueous medium. Such an aqueous dispersion for electrodeposition is usually obtained by preparing an aqueous emulsion in which the organic particles of the resin component (2) are dispersed in an aqueous medium, and mixing this aqueous emulsion with the composite particles for a dielectric. Can be Therefore, the aqueous emulsion will be described first. In this specification, the term "aqueous medium" means a medium containing water, and the content of water in the aqueous medium is usually 1% by weight or more, preferably 5% by weight or more.

【0074】水性エマルジョンは、水とともに、必要に
応じ他の媒体を含有することができる。必要に応じ水と
共に使用される他の媒体としては、たとえば、前記ポリ
アミック酸、ポリイミドの製造に使用される非プロトン
性極性溶媒、エステル類、ケトン類、フェノール類、ア
ルコール類などが挙げられる。以下、主としてポリイミ
ド系樹脂からからなる有機粒子の水性エマルジョン(以
下、「ポリイミド系樹脂エマルジョン」という。)、主
としてエポキシ系樹脂からなる有機粒子の水性エマルジ
ョン(以下、「エポキシ系樹脂エマルジョン」とい
う。)、主としてアクリル系樹脂からなる有機粒子の水
性エマルジョン(以下、「アクリル系樹脂エマルジョ
ン」という。)、主としてポリエステル系樹脂からなる
有機粒子の水性エマルジョン(以下、「ポリエステル系
樹脂エマルジョン」という。)、主としてフッ素系樹脂
からなる有機粒子の水性エマルジョン(以下、「フッ素
系樹脂エマルジョン」という。)および主としてシリコ
ン系樹脂からなる有機粒子の水性エマルジョン(以下、
「シリコン系樹脂エマルジョン」という。)の製造方法
について説明する。 (i)ポリイミド系樹脂エマルジョンの製造方法 本発明で用いられる前記有機粒子がポリイミド系樹脂か
らなる場合には、機械的特性、化学的特性および電気的
特性に優れたポリイミド系の高誘電率フィルムを形成で
きる。このようなポリイミド系フィルムを電着により作
製する方法としては下記の二種類の方法を好ましく用い
ることができる。
The aqueous emulsion may contain other media as necessary together with water. Other media used with water as needed include, for example, the polyamic acids, aprotic polar solvents used in the production of polyimides, esters, ketones, phenols, alcohols and the like. Hereinafter, an aqueous emulsion of organic particles mainly composed of a polyimide resin (hereinafter, referred to as "polyimide resin emulsion"), and an aqueous emulsion of organic particles mainly composed of an epoxy resin (hereinafter, referred to as "epoxy resin emulsion"). Aqueous emulsion of organic particles mainly composed of acrylic resin (hereinafter, referred to as "acrylic resin emulsion"), aqueous emulsion of organic particles mainly composed of polyester resin (hereinafter, referred to as "polyester resin emulsion"), mainly An aqueous emulsion of organic particles composed of a fluororesin (hereinafter, referred to as "fluorine resin emulsion") and an aqueous emulsion of organic particles composed mainly of a silicon resin (hereinafter, referred to as "emulsion").
It is called "silicone resin emulsion". ) Will be described. (I) Method for Producing Polyimide-Based Resin Emulsion When the organic particles used in the present invention are made of a polyimide-based resin, a polyimide-based high dielectric constant film having excellent mechanical properties, chemical properties and electrical properties is prepared. Can be formed. As a method for producing such a polyimide-based film by electrodeposition, the following two methods can be preferably used.

【0075】(B)有機溶媒可溶性のポリイミドと、
(C)親水性ポリマーとからなる有機粒子を含むポリイ
ミド系樹脂エマルジョンを電着液として、この有機粒子
を電着する方法。 (D)ポリアミック酸と、(E)疎水性化合物とから
なる有機粒子を含むポリイミド系樹脂エマルジョンを電
着液としてこの有機粒子を電着し、電着されたポリアミ
ック酸を加熱により脱水閉環する方法。
(B) an organic solvent-soluble polyimide,
(C) A method in which a polyimide resin emulsion containing organic particles composed of a hydrophilic polymer is used as an electrodeposition liquid, and the organic particles are electrodeposited. A method in which a polyimide resin emulsion containing organic particles composed of (D) a polyamic acid and (E) a hydrophobic compound is used as an electrodeposition liquid and the organic particles are electrodeposited, and the electrodeposited polyamic acid is dehydrated and closed by heating. .

【0076】これらの方法において使用するポリイミド
系樹脂エマルジョンを製造する方法としては、前記の
方法については特開平11−49951号公報に記載の
方法が、また前記の方法について特開平11−609
47号公報に記載の方法を用いることができる。前記
の方法において使用するポリイミド系樹脂エマルジョン
の製造方法についてさらに詳しく説明する。
As a method for producing a polyimide resin emulsion used in these methods, the above-mentioned method is described in JP-A-11-49951, and the above-mentioned method is described in JP-A-11-609.
The method described in JP-A-47-47 can be used. The method for producing the polyimide resin emulsion used in the above method will be described in more detail.

【0077】「(B)有機溶媒可溶性のポリイミド」の
合成法は特に限定されるものではないが、たとえば、有
機極性溶媒中、テトラカルボン酸二無水物とジアミン化
合物とを混合して重縮合させて、ポリアミック酸を得た
のち、該ポリアミック酸を加熱イミド化法または化学イ
ミド化法により脱水閉環反応させることにより、ポリイ
ミドを合成することができる。また、テトラカルボン酸
二無水物とジアミン化合物との重縮合を多段階で行うこ
とにより、ブロック構造を有するポリイミドを合成する
ことも可能である。
The method for synthesizing "(B) polyimide soluble in an organic solvent" is not particularly limited. For example, tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound are mixed and polycondensed in an organic polar solvent. After obtaining a polyamic acid, a polyimide can be synthesized by subjecting the polyamic acid to a dehydration ring-closing reaction by a heat imidization method or a chemical imidization method. In addition, a polyimide having a block structure can be synthesized by performing polycondensation of a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in multiple stages.

【0078】この有機溶媒可溶性のポリイミドは、たと
えば、カルボキシル基、アミノ基、水酸基、スルホン酸
基、アミド基、エポキシ基、イソシアネート基等の反応
性基(a)を1種以上有することが好ましい。反応性基
(a)を有するポリイミドの合成方法としては、たとえ
ば、ポリアミック酸の合成に使用されるカルボン酸二無
水物、ジアミン化合物、カルボン酸一無水物、モノアミ
ン化合物等の反応原料として、反応性基(a)を有する
化合物を使用し、脱水閉環反応後に反応性基(a)を残
存させる方法等を挙げることができる。
The organic solvent-soluble polyimide preferably has, for example, one or more reactive groups (a) such as a carboxyl group, an amino group, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, an amide group, an epoxy group, and an isocyanate group. As a method for synthesizing a polyimide having a reactive group (a), for example, a reactive raw material such as a carboxylic acid dianhydride, a diamine compound, a carboxylic acid monoanhydride, or a monoamine compound used for the synthesis of polyamic acid may be used. Examples of the method include using a compound having the group (a) and leaving the reactive group (a) after the dehydration ring closure reaction.

【0079】「(C)親水性ポリマー」は、親水性基と
して、たとえば、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、
スルホン酸基、アミド基等を1種以上有し、水に対する
20℃の溶解度が、通常、0.01g/100g以上、
好ましくは0.05g/100g以上である親水性ポリ
マーからなる。前記親水性基に加えて、前記(B)成分
中の反応性基(a)と反応しうる反応性基(b)を1種
以上有することが好ましい。このような反応性基(b)
としては、たとえば、エポキシ基、イソシアネート基、
カルボキシル基のほか、前記親水性基と同様の基等を挙
げることができる。このような親水性ポリマーは、親水
性基および/または反応性基(b)を有するモノビニル
単量体を単独重合または共重合させるか、あるいはこれ
らのモノビニル単量体と他の単量体とを共重合させるこ
とにより得ることができる。
The “(C) hydrophilic polymer” includes, as a hydrophilic group, an amino group, a carboxyl group, a hydroxyl group,
It has one or more sulfonic acid groups, amide groups and the like, and the solubility in water at 20 ° C. is usually 0.01 g / 100 g or more,
It is preferably composed of a hydrophilic polymer of 0.05 g / 100 g or more. In addition to the hydrophilic group, it is preferable to have at least one reactive group (b) capable of reacting with the reactive group (a) in the component (B). Such a reactive group (b)
As, for example, an epoxy group, an isocyanate group,
In addition to the carboxyl group, the same groups as the above-mentioned hydrophilic groups can be exemplified. Such a hydrophilic polymer is obtained by homopolymerizing or copolymerizing a monovinyl monomer having a hydrophilic group and / or a reactive group (b), or combining these monovinyl monomers with other monomers. It can be obtained by copolymerization.

【0080】この(B)有機溶媒可溶性のポリイミドと
(C)親水性ポリマーとを、反応性基(a)と親水性ポ
リマー中の反応性基(b)とが適切な反応性を有する組
み合わせとなるように選択し、該ポリイミドと該親水性
ポリマーとを、たとえば有機溶媒中にて溶液状態で混合
して、必要に応じて加熱しつつ、反応させたのち、この
反応溶液と水性媒体とを混合し、場合により有機溶媒の
少なくとも一部を除去することにより、該ポリイミドと
該親水性ポリマーとが相互に結合して同一粒子内に含有
される有機粒子からなるポリイミド系樹脂エマルジョン
を得ることができる。
This (B) polyimide soluble in an organic solvent and (C) a hydrophilic polymer are combined with a combination in which the reactive group (a) and the reactive group (b) in the hydrophilic polymer have appropriate reactivity. The polyimide and the hydrophilic polymer are mixed in a solution state, for example, in an organic solvent, and heated and reacted as necessary, and then the reaction solution is mixed with an aqueous medium. By mixing and removing at least a part of the organic solvent in some cases, the polyimide and the hydrophilic polymer are mutually bonded to obtain a polyimide resin emulsion composed of organic particles contained in the same particle. it can.

【0081】次に、前記の方法において使用するポリ
イミド系樹脂エマルジョンの製造方法についてさらに詳
しく説明する。ポリイミドの前駆体である「(D)ポリ
アミック酸」の合成法は、特に限定されるものではない
が、たとえば、有機極性溶媒中、テトラカルボン酸二無
水物とジアミン化合物との重縮合反応によりポリアミッ
ク酸を得ることができる。また、テトラカルボン酸二無
水物とジアミン化合物との重縮合反応を多段階で行うこ
とにより、ブロック構造を有するポリアミック酸を合成
することも可能である。なお、ポリアミック酸を脱水閉
環させることにより部分的にイミド化したポリアミック
酸も使用可能である。
Next, the method for producing the polyimide resin emulsion used in the above method will be described in more detail. The method for synthesizing “(D) polyamic acid”, which is a precursor of polyimide, is not particularly limited. For example, a polyamic acid is prepared by a polycondensation reaction between a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in an organic polar solvent. An acid can be obtained. In addition, a polyamic acid having a block structure can be synthesized by performing a polycondensation reaction between a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in multiple stages. Note that a polyamic acid partially imidized by dehydrating and cyclizing the polyamic acid can also be used.

【0082】一方、「(E)疎水性化合物」は、前記ポ
リアミック酸中の少なくともアミド酸基と反応しうる基
(以下、「反応性基」という。)を有する化合物であ
る。この反応性基としては、たとえば、エポキシ基、イ
ソシアナト基、カルボジイミド基、水酸基、メルカプト
基、ハロゲン基、アルキルスルホニル基、アリールスル
ホニル基、ジアゾ基、カルボニル基等を挙げることがで
きる。これらの反応性基は、疎水性化合物中に1種以上
存在することができる。なお、「疎水性」とは、水に対
する20℃の溶解度が、通常、0.05g/100g未
満、好ましくは0.01/100g未満、さらに好まし
くは0.005g/100g未満であることを意味す
る。
On the other hand, “(E) hydrophobic compound” is a compound having a group capable of reacting with at least an amic acid group in the polyamic acid (hereinafter referred to as “reactive group”). Examples of the reactive group include an epoxy group, an isocyanato group, a carbodiimide group, a hydroxyl group, a mercapto group, a halogen group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a diazo group, and a carbonyl group. One or more of these reactive groups can be present in the hydrophobic compound. The term “hydrophobic” means that the solubility in water at 20 ° C. is generally less than 0.05 g / 100 g, preferably less than 0.01 / 100 g, and more preferably less than 0.005 g / 100 g. .

【0083】このような疎水性化合物としては、たとえ
ば、エポキシ化ポリブタジエン、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ナフタレン系エポキシ樹脂、フルオレン系
エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、グリシジル
エステル型エポキシ樹脂、アリルグリシジルエーテル、
グリシジル(メタ)アクリレート、1,3,5,6−テ
トラグリシジル−2,4−ヘキサンジオール、N,N,
N’,N’,−テトラグリシジル−m−キシレンジアミ
ン、トリレンジイソシアネート、ジシクロヘキシルカル
ボジイミド、ポリカルボジイミド、コレステロール、ベ
ンジルアルコールp−トルエンスルホン酸エステル、ク
ロロ酢酸エチル、トリアジントリチオール、ジアゾメタ
ン、ジアセトン(メタ)アクリルアミド等から選択され
る1種または2種以上を使用することができる。
Examples of such a hydrophobic compound include epoxidized polybutadiene, bisphenol A type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, allyl glycidyl ether,
Glycidyl (meth) acrylate, 1,3,5,6-tetraglycidyl-2,4-hexanediol, N, N,
N ', N',-tetraglycidyl-m-xylenediamine, tolylenediisocyanate, dicyclohexylcarbodiimide, polycarbodiimide, cholesterol, benzyl alcohol p-toluenesulfonic acid ester, ethyl chloroacetate, triazinetrithiol, diazomethane, diacetone (meth) One or more selected from acrylamide and the like can be used.

【0084】このポリアミック酸(D)と疎水性化合物
(E)とを、たとえば、有機溶媒中にて溶液状態で混合
して反応させたのち、この反応溶液を水性媒体と混合
し、場合により有機溶媒の少なくとも一部を除去するこ
とにより、ポリアミック酸と疎水性化合物とを同一粒子
内に含む有機粒子からなるポリイミド系樹脂エマルジョ
ンを得ることができる。
The polyamic acid (D) and the hydrophobic compound (E) are mixed and reacted in, for example, an organic solvent in a solution state, and the reaction solution is mixed with an aqueous medium. By removing at least a part of the solvent, it is possible to obtain a polyimide resin emulsion composed of organic particles containing a polyamic acid and a hydrophobic compound in the same particle.

【0085】なお、前記およびの方法において用い
られるテトラカルボン酸二無水物は特に限定されるもの
ではなく、たとえば、ブタンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二
無水物、3,3’,4,4’−ジシクロヘキシルテトラ
カルボン酸二無水物、2,3,5−トリカルボキシシク
ロペンチル酢酸二無水物、1,3,3a,4,5,9A
−ヘキサヒドロ−5−(テトラヒドロ−2,5−ジオキ
ソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]−フラン−
1,3−ジオン等の脂肪族テトラカルボン酸二無水物あ
るいは脂環式テトラカルボン酸二無水物;ピロメリット
酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニ
ルスルホンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族テトラ
カルボン酸二無水物等を挙げることができる。これらの
テトラカルボン酸二無水物は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
The tetracarboxylic dianhydride used in the above method and the above method is not particularly limited. For example, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride Anhydride, 3,3 ′, 4,4′-dicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9A
-Hexahydro-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-
Aliphatic tetracarboxylic dianhydride such as 1,3-dione or alicyclic tetracarboxylic dianhydride; pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride And 3,3 ', 4,4'-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride and other aromatic tetracarboxylic dianhydrides. These tetracarboxylic dianhydrides can be used alone or in combination of two or more.

【0086】また、前記およびの方法において用い
られるジアミン化合物は特に限定されるものではなく、
たとえば、p−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミ
ノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノ
フェノキシ)フェニル]プロパン等の芳香族ジアミン
類;1,1−メタキシリレンジアミン、1,3−プロパ
ンジアミン、テトラメチレンジアミン、4,4’−メチ
レンビス(シクロヘキシルアミン)等の脂肪族ジアミン
あるいは脂環式ジアミン類;2,3−ジアミノピリジ
ン、2,4−ジアミノ−6−ジメチルアミノ−1,3,
5−トリアジン、2,4−ジアミノ−5−フェニルチア
ゾール、ビス(4−アミノフェニル)フェニルアミン等
の、分子内に2つの第一級アミノ基および該第一級アミ
ノ基以外の窒素原子を有するジアミン類;モノ置換フェ
ニレンジアミン類;ジアミノオルガノシロキサン等を挙
げることができる。これらのジアミン化合物は、一種単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。 (ii)エポキシ系樹脂エマルジョンの製造方法 エポキシ系樹脂エマルジョンの製造方法は特に限定され
るものではなく、従来公知の方法、たとえば特開平9−
235495号公報、同9−208865号公報に記載
の方法などにより製造することができる。 (iii)アクリル系樹脂エマルジョンの製造方法 アクリル系樹脂エマルジョンの製造方法は特に限定され
るものではないが、たとえば、通常の乳化重合法により
製造できる。単量体としては一般的なアクリル系および
/またはメタクリル系単量体から選択される一種または
二種以上を用いればよい。このとき、有機粒子を電着可
能とするために、アミノ基、アミド基、フォスフォノ基
などのカチオン性基を有する単量体、またはカルボキシ
ル基、スルホン酸基等などのアニオン性基を有する単量
体を共重合させることが好ましく、その共重合量は使用
する単量体全体に対して5〜80重量%、より好ましく
は10〜50重量%とすることが好ましい。前記アミノ
基を有する単量体の具体例としては、ジメチルアミノエ
チルアクリレート、ジメチルアミノプロピルアクリルア
ミドなどを好ましく用いることができる。 (iv)ポリエステル系樹脂エマルジョンの製造方法 ポリエステル系樹脂エマルジョンの製造方法は特に限定
されるものではなく、従来公知の方法、たとえば特開昭
57−10663号公報、同57−70153号公報、
同58−174421号公報に記載の方法などによれば
よい。 (v)フッ素系樹脂エマルジョンの製造方法 フッ素系樹脂エマルジョンの製造方法は特に限定される
ものではなく、従来公知の方法、たとえば特開平7−2
68163号公報に記載の方法などによればよい。 (vi)シリコン系樹脂エマルジョンの製造方法 シリコン系樹脂エマルジョンの製造方法は特に限定され
るものではなく、従来公知の方法、たとえば特開平10
−60280号公報に記載の方法などによればよい。電着用水性分散液 本発明の電着用水性分散液は、前述のとおり前記誘電体
形成用組成物が水性媒体中に分散したものであり、前記
誘電体形成用組成物に含まれる前記樹脂成分の有機粒子
により、電着が可能となるものである。なお、水性媒体
の意味は上述と同様である。
The diamine compound used in the above method is not particularly limited.
For example, aromatic diamines such as p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane; 1,1-metaxylylenediamine; Aliphatic diamines or alicyclic diamines such as 3-propanediamine, tetramethylenediamine, and 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine); 2,3-diaminopyridine, 2,4-diamino-6-dimethylamino-1 , 3,
Has two primary amino groups and a nitrogen atom other than the primary amino groups in the molecule, such as 5-triazine, 2,4-diamino-5-phenylthiazole, bis (4-aminophenyl) phenylamine, etc. Diamines; mono-substituted phenylenediamines; diaminoorganosiloxane, and the like. These diamine compounds can be used alone or in combination of two or more. (Ii) Production method of epoxy resin emulsion The production method of the epoxy resin emulsion is not particularly limited, and a conventionally known method, for example, a method disclosed in
It can be produced by the methods described in JP-A-235495 and JP-A-9-208865. (iii) Method for Producing Acrylic Resin Emulsion The method for producing the acrylic resin emulsion is not particularly limited, but for example, it can be produced by a usual emulsion polymerization method. As the monomer, one or more kinds selected from general acrylic and / or methacrylic monomers may be used. At this time, in order to make the organic particles electrodepositable, a monomer having a cationic group such as an amino group, an amide group or a phosphono group, or a monomer having an anionic group such as a carboxyl group or a sulfonic acid group is used. The copolymer is preferably copolymerized, and the copolymerization amount is preferably from 5 to 80% by weight, more preferably from 10 to 50% by weight, based on the whole monomers used. As specific examples of the monomer having an amino group, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminopropylacrylamide and the like can be preferably used. (Iv) Method for producing polyester-based resin emulsion The method for producing the polyester-based resin emulsion is not particularly limited, and conventionally known methods, for example, JP-A-57-10663 and JP-A-57-70153,
The method described in JP-A-58-174421 may be used. (V) Method for producing a fluorine-based resin emulsion The method for producing a fluorine-based resin emulsion is not particularly limited, and a conventionally known method, for example, JP-A-7-2
The method described in Japanese Patent No. 68163 may be used. (vi) Production method of silicone resin emulsion The production method of silicone resin emulsion is not particularly limited.
The method described in JP-A-60-60280 may be used. Aqueous dispersion for electrodeposition The aqueous dispersion for electrodeposition according to the present invention is obtained by dispersing the dielectric-forming composition in an aqueous medium as described above, and includes the resin component contained in the dielectric-forming composition. The organic particles enable electrodeposition. The meaning of the aqueous medium is the same as described above.

【0087】電着用水性分散液に含まれる誘電体用複合
粒子と有機粒子との体積比は、5/95〜80/20の
範囲であることが好ましく、10/90〜60/40で
あることがより好ましい。誘電体用複合粒子の割合が5
体積%未満では、高誘電率の誘電体層(フィルム)を得
ることが困難である。一方、無機粒子の割合が80体積
%を超える場合には、フィルムの成膜性が不足するため
好ましくない。
The volume ratio between the composite particles for dielectric and the organic particles contained in the aqueous dispersion for electrodeposition is preferably in the range of 5/95 to 80/20, and preferably in the range of 10/90 to 60/40. Is more preferred. The ratio of the composite particles for dielectric is 5
If it is less than the volume percentage, it is difficult to obtain a dielectric layer (film) having a high dielectric constant. On the other hand, when the proportion of the inorganic particles exceeds 80% by volume, the film-forming properties of the film become insufficient, which is not preferable.

【0088】電着用水性分散液のpHは、好ましくは2
〜10、より好ましくは3〜9、電着用水性分散液の固
形分濃度は、好ましくは1〜50重量%、より好ましく
は5〜20重量、電着用水性分散液の20℃における粘
度は、好ましくは1〜100mPa・sであることが望
ましい。pH、固形分濃度または粘度が前記範囲を外れ
ると、誘電体用複合粒子あるいは有機粒子の分散性等が
低下して貯蔵安定性が不足したり、あるいは取り扱い時
や使用時の作業性が低下する場合がある。
The pH of the aqueous dispersion for electrodeposition is preferably 2
-10, more preferably 3-9, the solid concentration of the electrodeposition aqueous dispersion is preferably 1-50% by weight, more preferably 5-20% by weight, and the viscosity of the electrodeposition aqueous dispersion at 20 ° C is preferably Is preferably 1 to 100 mPa · s. When the pH, the solid content concentration or the viscosity is out of the above range, the dispersibility of the composite particles for dielectric or the organic particles is reduced, and the storage stability is insufficient, or the workability at the time of handling or use is reduced. There are cases.

【0089】このような電着用水性分散液は、前記誘
電体用複合粒子の水分散液と前記有機粒子の水分散液と
を混合する、前記有機粒子の水分散液中に前記誘電体
用複合粒子を添加混合するなどの方法により調製するこ
とができる。このうちの方法を用いることが好まし
い。また、前記有機粒子の水分散液と混合する前におけ
る前記誘電体用複合粒子の水分散液のpHは、これらの
混合時の安定性を向上させるために、硝酸、硫酸、水酸
化カリウム等を用いてpH2〜10に調製することが好
ましい。
Such an aqueous dispersion for electrodeposition is prepared by mixing an aqueous dispersion of the composite particles for a dielectric and an aqueous dispersion of the organic particles. The aqueous dispersion of the organic particles is mixed in the aqueous dispersion of the organic particles. It can be prepared by a method such as adding and mixing particles. It is preferable to use one of these methods. Further, before mixing with the aqueous dispersion of the organic particles, the pH of the aqueous dispersion of the composite particles for a dielectric is adjusted to include nitric acid, sulfuric acid, potassium hydroxide, or the like in order to improve the stability at the time of mixing. It is preferable to adjust the pH to 2 to 10 using the same.

【0090】本発明の電着用水性分散液は、二層分離や
粘度の著しい変化等を起こすことなく貯蔵可能な期間が
20℃において5日間以上、より好ましくは7日間以
上、さらに好ましくは10日間以上、特に好ましくは1
4日以上となる貯蔵安定性を有するものとすることがで
きる。なお、本発明の電着用水性分散液は、前記有機粒
子および前記誘電体用複合粒子に加えて、下記一般式
(1)
The aqueous dispersion for electrodeposition according to the present invention can be stored at 20 ° C. for at least 5 days, more preferably at least 7 days, even more preferably at least 10 days without causing two-layer separation or significant change in viscosity. Above, particularly preferably 1
The storage stability can be 4 days or more. In addition, the aqueous dispersion for electrodeposition according to the present invention has the following general formula (1) in addition to the organic particles and the composite particles for a dielectric.

【0091】[0091]

【化1】 Embedded image

【0092】(式中、R1は水素原子または炭素数1〜
8の一価の有機基を示し、R2は炭素数1〜5のアルキ
ル基、炭素数1〜6のアシル基またはフェニル基を示
し、nは1または2の整数である。R1およびR2は同一
であってもよいし、異なっていてもよい。)で表される
オルガノシラン、このオルガノシランの有する加水分解
性基の一部または全部が加水分解された加水分解物およ
びこの加水分解物が部分的に脱水縮合した部分縮合物か
ら選択される少なくとも一種(以下、「オルガノシラン
縮合物等」という。)を含有してもよい。このようなオ
ルガノシラン縮合物等を含む電着用水性分散液から形成
されたフィルムは、特に電着後に加熱硬化させた場合
に、フィルム中でオルガノシラン縮合物等が架橋するこ
とにより、得られるフィルムを機械的特性、化学的特性
硬度および電気的特性に優れたものとすることができ
る。
(Wherein R 1 is a hydrogen atom or a group having 1 to 1 carbon atoms)
8 represents a monovalent organic group, R 2 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an acyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, and n is an integer of 1 or 2. R 1 and R 2 may be the same or different. ), At least one selected from a hydrolyzate obtained by partially or entirely hydrolyzing a hydrolyzable group of the organosilane and a partial condensate obtained by partially dehydrating and condensing the hydrolyzate. One type (hereinafter, referred to as “organosilane condensate”) may be contained. A film formed from an aqueous dispersion for electrodeposition containing such an organosilane condensate, and the like, is obtained by crosslinking the organosilane condensate in the film, particularly when heat-cured after electrodeposition. Has excellent mechanical properties, chemical properties hardness and electrical properties.

【0093】前記一般式(1)中、R1の炭素数1〜8
の有機基としては、直鎖または分岐を有するアルキル
基、ハロゲン置換されたアルキル基、ビニル基、フェニ
ル基及び3,4−エポキシシクロヘキシルエチル基等を
挙げることができる。なお、R 1はカルボニル基を有し
ていてもよい。なお、R1は炭素数1〜4のアルキル基
またはフェニル基であることが好ましい。
In the general formula (1), R11-8 carbon atoms
As the organic group of, a linear or branched alkyl
Group, halogen-substituted alkyl group, vinyl group, phenyl
A 3,4-epoxycyclohexylethyl group, etc.
Can be mentioned. Note that R 1Has a carbonyl group
May be. Note that R1Is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms
Alternatively, it is preferably a phenyl group.

【0094】前記一般式(1)中、R2の炭素数1〜5
のアルキル基または炭素数1〜6のアシル基としては、
メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル
基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、
tert−ブチル基、n−ペンチル基、アセチル基、プ
ロピオニル基、ブチリル基等が挙げられる。なお、R2
は炭素数1〜4のアルキル基であることが好ましい。
In the general formula (1), R 2 has 1 to 5 carbon atoms.
As an alkyl group or an acyl group having 1 to 6 carbon atoms,
Methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group,
Examples thereof include a tert-butyl group, an n-pentyl group, an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. Note that R 2
Is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

【0095】好ましく使用されるオルガノシランの例と
しては、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキ
シシラン、イソブチルトリメトキシシラン及びフェニル
トリエトキシシランが挙げられる。これらのオルガノシ
ランは、1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用
してもよい。前記「オルガノシラン縮合物等」は、本発
明の電着用水性分散液中において、前記有機粒子と複合
体粒子を形成していることが好ましい。この「複合体粒
子」とは、前記有機粒子を構成する化合物とオルガノシ
ラン縮合物等とが化学的に結合したもの、前記有機粒子
の表面または内部にオルガノシラン縮合物等が吸着した
ものなどを指す。
Examples of preferably used organosilanes include dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, isobutyltrimethoxysilane and phenyltriethoxysilane. One of these organosilanes may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. The “organosilane condensate” or the like preferably forms complex particles with the organic particles in the aqueous dispersion for electrodeposition of the present invention. The `` composite particles '' include those in which a compound constituting the organic particles and an organosilane condensate are chemically bonded, and those in which an organosilane condensate is adsorbed on the surface or inside of the organic particles. Point.

【0096】このオルガノシラン縮合物等の使用量は、
前記有機粒子を100重量部に対して、好ましくは0.
1〜500重量部、さらに好ましくは0.5〜250重
量部であることが望ましい。オルガノシラン縮合物等の
使用量が0.1重量部未満では所望の効果が得られない
場合があり、一方500重量部を超える場合にはフィル
ムの密着性などが低下する傾向にある。
The amount of the organosilane condensate used is as follows:
The organic particles are preferably used in an amount of 0.1 to 100 parts by weight.
It is desirable that the amount be 1 to 500 parts by weight, more preferably 0.5 to 250 parts by weight. If the amount of the organosilane condensate is less than 0.1 part by weight, the desired effect may not be obtained. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, the adhesiveness of the film tends to decrease.

【0097】このような複合体粒子は、下記または
の方法等によって製造することができる。なお、これら
の方法を組み合わせてもよい。 前記有機粒子のエマルジョンに前記オルガノシランを
添加し、オルガノシランの少なくとも一部を前記有機粒
子に吸収させた後、このオルガノシランの加水分解反応
および縮合反応を進行させる。
Such composite particles can be produced by the following method or the like. Note that these methods may be combined. After the organosilane is added to the emulsion of the organic particles and at least a part of the organosilane is absorbed by the organic particles, a hydrolysis reaction and a condensation reaction of the organosilane are allowed to proceed.

【0098】水系媒体に分散された前記オルガノシラ
ン縮合物等の存在下で前記有機粒子を生成させる反応を
行う。前記の方法で、オルガノシランを有機粒子に吸
収させるには、エマルジョン中にオルガノシランを添加
して十分に攪拌するなどの方法によればよい。このと
き、添加したオルガノシランの10重量%以上(より好
ましくは30重量%以上)を粒子に吸収させることが好
ましい。吸収が不十分な段階でオルガノシランの加水分
解・縮合反応が進んでしまうのを避けるために、反応系
のpHを通常4〜10、好ましくは5〜10、さらに好
ましくは6〜8に調製することができる。オルガノシラ
ンを有機粒子に吸収させるための処理温度は70℃以下
とすることが好ましく、より好ましくは50℃以下、さ
らに好ましくは0〜30℃である。処理時間は通常5〜
180分であり、20〜60分程度とすることが好まし
い。
The reaction for forming the organic particles is carried out in the presence of the organosilane condensate or the like dispersed in an aqueous medium. In order to allow the organosilane to be absorbed by the organic particles by the above method, a method of adding the organosilane to the emulsion and stirring the emulsion sufficiently may be used. At this time, it is preferable that the particles absorb 10% by weight or more (more preferably 30% by weight or more) of the added organosilane. The pH of the reaction system is usually adjusted to 4 to 10, preferably 5 to 10, and more preferably 6 to 8, in order to prevent the hydrolysis / condensation reaction of the organosilane from proceeding at an insufficient absorption stage. be able to. The treatment temperature for absorbing the organosilane into the organic particles is preferably 70 ° C. or lower, more preferably 50 ° C. or lower, and further preferably 0 to 30 ° C. Processing time is usually 5-
It is 180 minutes, and preferably about 20 to 60 minutes.

【0099】吸収されたオルガノシランを加水分解・縮
合させる際の温度は、通常30℃以上、好ましくは50
〜100℃、より好ましくは70〜90℃であり、好ま
しい重合時間は0.3〜15時間、より好ましくは1〜
8時間である。また、前記の方法においては、前記オ
ルガノシランを、ホモミキサーまたは超音波混合機等を
用いて、アルキルベンゼンスルホン酸等の強酸性乳化剤
の水溶液中で混合し、加水分解・縮合させることによっ
て、水系媒体に分散されたオルガノシラン縮合物等が得
られる。このオルガノシラン縮合物等の存在下で、好ま
しくは乳化重合により前記有機粒子を生成させればよ
い。
The temperature at which the absorbed organosilane is hydrolyzed and condensed is usually at least 30 ° C., preferably at least 50 ° C.
To 100 ° C, more preferably 70 to 90 ° C, and the preferred polymerization time is 0.3 to 15 hours, more preferably 1 to
8 hours. Further, in the above method, the organosilane is mixed in an aqueous solution of a strongly acidic emulsifier such as an alkylbenzenesulfonic acid using a homomixer or an ultrasonic mixer, and the mixture is hydrolyzed and condensed to form an aqueous medium. Thus, an organosilane condensate and the like are obtained. In the presence of the organosilane condensate or the like, the organic particles may be formed preferably by emulsion polymerization.

【0100】[誘電体、高誘電率フィルム]本発明に係
る誘電体形成用組成物は、そのままで、あるいは必要に
応じて添加剤を添加して、一定温度以下で加熱して得ら
れる高誘率の誘電体の製造に用いることができる。また
誘電体形成用組成物は、前記誘電体ペーストで、あるい
は前記電着用水性分散液として、必要に応じて従来公知
の添加剤を配合して、一定温度以下で加熱して得られる
高誘電率の誘電体の製造に用いることができる。また、
このような誘電体の形状は用いる用途により異なり特に
限定されないが、本発明に係る誘電体形成用組成物は、
薄膜形状の高誘電率フィルムとして用いることが好まし
い。誘電体または高誘電率フィルムの製造方法 本発明の誘電体は、本発明の誘電体形成用組成物を、5
00℃以下の温度で加熱して得ることができ、加熱温度
は、好ましくは100〜500℃、さらに好ましくは1
50〜300℃あることが望ましい。以下に、高誘電率
フィルムを製造する方法について、さらに詳しく説明す
る。 (1)誘電体ペーストを用いて高誘電率フィルムを形成
する場合 誘電体ペーストを用いて高誘電率フィルムを形成するに
は、たとえば、スクリーン印刷などの印刷法により、誘
電体ペーストをプリント配線基板等上に印刷し、オーブ
ン等を用いて、加熱することにより誘電体形成用組成物
を硬化あるいは焼成させ、バンプ、回路基板のパターン
が形成されたフィルムを得ることができる。
[Dielectric, High Dielectric Film] The dielectric forming composition according to the present invention may be obtained as it is or by adding additives as needed and heating at a certain temperature or lower. Can be used for the production of dielectrics with high efficiency. Further, the composition for forming a dielectric material may be a high dielectric constant obtained by blending a conventionally known additive as needed with the dielectric paste or as the aqueous dispersion for electrodeposition and heating at a certain temperature or lower. Can be used for the production of a dielectric material. Also,
The shape of such a dielectric is not particularly limited depending on the application to be used, but the composition for forming a dielectric according to the present invention includes:
It is preferable to use it as a thin film of a high dielectric constant film. Method for Producing Dielectric or High Dielectric Constant Film The dielectric of the present invention comprises the dielectric composition of the present invention,
It can be obtained by heating at a temperature of 00 ° C or less, and the heating temperature is preferably 100 to 500 ° C, more preferably 1 to 500 ° C.
Desirably, the temperature is 50 to 300 ° C. Hereinafter, a method for producing a high dielectric constant film will be described in more detail. (1) When forming a high dielectric constant film using a dielectric paste To form a high dielectric constant film using a dielectric paste, for example, the dielectric paste is printed on a printed wiring board by a printing method such as screen printing. Or the like, and by heating in an oven or the like, the dielectric forming composition is cured or baked to obtain a film on which patterns of bumps and circuit boards are formed.

【0101】誘電体形成用組成物を熱硬化させる場合
は、前記熱硬化タイプの樹脂成分(A1)を用いて行う
ことができる。誘電体形成用組成物を加熱により焼結さ
せる場合は、前記樹脂成分(A2)を用いることが好ま
しい。このような加熱温度は、500℃以下で行うこと
が可能であり、好ましくは100〜500℃、さらに好
ましくは150〜300℃で行うことが望ましい。加熱
時間は、好ましくは1分〜24時間、さらに好ましくは
10分〜12時間の範囲で行うことが望ましい。
The thermosetting of the dielectric forming composition can be carried out using the thermosetting resin component (A1). When sintering the dielectric-forming composition by heating, it is preferable to use the resin component (A2). Such heating can be performed at a temperature of 500 ° C. or less, preferably 100 to 500 ° C., and more preferably 150 to 300 ° C. The heating time is preferably in the range of 1 minute to 24 hours, more preferably 10 minutes to 12 hours.

【0102】誘電体形成用組成物を加熱して硬化あるい
は焼結する場合、加熱方法としては、たとえば、オーブ
ン、赤外線ランプ、ホットプレート等により加熱するこ
とができる。 (2)電着用水性分散液を用いて高誘電率フィルムを形
成する場合 本発明の電着用水性分散液は、そのまま、あるいはこれ
を希釈または濃縮して、また必要に応じて従来公知の添
加剤を適宜配合して、高誘電率フィルムの形成に用いる
ことができる。この電着用水性分散液を用いた通常の電
着方法により、電着用水性分散液中の誘電体用複合粒子
および有機粒子を電極表面等に電着させて高誘電率フィ
ルムを製造することができる。
In the case of heating and curing or sintering the dielectric-forming composition, the heating method can be, for example, an oven, an infrared lamp, a hot plate or the like. (2) In the case of forming a high dielectric constant film using the aqueous dispersion for electrodeposition The aqueous dispersion for electrodeposition of the present invention may be used as it is, or may be diluted or concentrated. Can be appropriately blended and used for forming a high dielectric constant film. By a normal electrodeposition method using the electrodeposition aqueous dispersion, the dielectric composite particles and the organic particles in the electrodeposition aqueous dispersion can be electrodeposited on an electrode surface or the like to produce a high dielectric constant film. .

【0103】本発明の高誘電率フィルムを製造するにあ
たっては、電着された粒子の樹脂成分をさらに加熱硬化
させることが望ましい。加熱硬化の条件は、500℃以
下、好ましくは100〜500℃、より好ましくは15
0〜300℃で行うことが望ましい。加熱時間は、好ま
しくは5分〜24時間、さらに好ましくは10分〜12
時間の範囲で行うことが望ましい。誘電体または高誘電率フィルムの物性 このような本発明の誘電体形成用組成物から得られる誘
電体または高誘電率フィルムは、誘電率が30以上、好
ましくは100以上、さらに好ましくは150以上、特
に好ましくは200以上であり、誘電正接が0.1以
下、好ましくは0.08以下、さらに好ましくは0.0
6以下であることが望ましい。なお、誘電正接の下限は
特に限定されない。
In producing the high dielectric constant film of the present invention, it is desirable to further heat and cure the resin component of the electrodeposited particles. The conditions for heat curing are 500 ° C. or less, preferably 100 to 500 ° C., more preferably 15 ° C.
It is desirable to carry out at 0 to 300 ° C. The heating time is preferably 5 minutes to 24 hours, more preferably 10 minutes to 12 hours.
It is desirable to perform within the time range. Physical properties of dielectric or high dielectric constant film A dielectric or high dielectric constant film obtained from the dielectric forming composition of the present invention has a dielectric constant of 30 or more, preferably 100 or more, more preferably 150 or more, Particularly preferably, it is 200 or more, and the dielectric loss tangent is 0.1 or less, preferably 0.08 or less, more preferably 0.08 or less.
It is desirably 6 or less. The lower limit of the dielectric loss tangent is not particularly limited.

【0104】また、このような誘電体または高誘電率フ
ィルムの体積抵抗率は好ましくは1011Ω・cm以上、
より好ましくは1012Ω・cm以上のものとすることが
できる。なお、この高誘電率フィルムの厚さは、好まし
くは50μm以下、より好ましくは30μm以下である
ことが望ましい。フィルム厚さの下限は特に限定されな
いが、通常は1μm以上である。
The volume resistivity of such a dielectric or high dielectric constant film is preferably 10 11 Ω · cm or more.
More preferably, it can be 10 12 Ω · cm or more. The thickness of the high dielectric constant film is preferably 50 μm or less, more preferably 30 μm or less. The lower limit of the film thickness is not particularly limited, but is usually 1 μm or more.

【0105】[電子部品]本発明の高誘電率フィルム
は、500℃以下という温度で加熱焼成して得ることが
でき、誘電率が30以上かつ誘電正接が0.1以下であ
り、薄膜で静電容量の大きなコンデンサ等を形成するこ
とができる。また、この高誘電率フィルムを備えたプリ
ント回路基板、半導体パッケージ、コンデンサ、高周波
用アンテナ等の電子部品は、小型でかつ高密度のものと
することができる。
[Electronic parts] The high dielectric constant film of the present invention can be obtained by heating and baking at a temperature of 500 ° C. or less, has a dielectric constant of 30 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less, and is a thin and static film. A capacitor or the like having a large capacitance can be formed. Further, electronic components such as a printed circuit board, a semiconductor package, a capacitor, and a high-frequency antenna provided with the high dielectric constant film can be small and have high density.

【0106】[0106]

【発明の効果】本発明の誘電体用複合粒子を用いると、
前記のように500℃以下という低温の加熱温度で、し
かも0.1以下という低い誘電正接かつ30以上という
高い誘電率の誘電体または高誘電率フィルムを形成する
ことができる。また、本発明の高誘電率フィルムは、誘
電性ペーストや電着用水性分散液を用いてスクリーン印
刷や電着により作製することができるので、印刷条件や
電着条件の調製等により膜厚制御が容易であり、形成性
に優れ基体への追随性にも優れる。
According to the composite particles for a dielectric of the present invention,
As described above, a dielectric or a high dielectric constant film having a low dielectric tangent of 0.1 or less and a high dielectric constant of 30 or more can be formed at a low heating temperature of 500 ° C. or less. Further, since the high dielectric constant film of the present invention can be produced by screen printing or electrodeposition using a dielectric paste or an aqueous dispersion for electrodeposition, the film thickness can be controlled by adjusting printing conditions and electrodeposition conditions. It is easy, has excellent formability, and has excellent followability to substrates.

【0107】さらに、電着液によるフィルム形成法では
選択的に高誘電率フィルムを形成させることができ、フ
ォトリソグラフィーや印刷法等に比べて安価で高精度に
高誘電率フィルムを作成できる。本発明の高誘電率フィ
ルムは、薄膜で高誘電率であるので、プリント回路基
板、半導体パッケージ、コンデンサ、高周波用アンテナ
等の電子部品等において好適に利用される。
Further, a film having a high dielectric constant can be selectively formed by a film forming method using an electrodeposition liquid, and a high dielectric constant film can be formed at a lower cost and with higher precision than a photolithography or printing method. Since the high dielectric constant film of the present invention is a thin film and has a high dielectric constant, it is suitably used for electronic parts such as printed circuit boards, semiconductor packages, capacitors, and high frequency antennas.

【0108】本発明の電子部品は、前記高誘電率フィル
ムを備えることから、小型化、薄膜化することができ
る。
Since the electronic component of the present invention has the high dielectric constant film, it can be reduced in size and thickness.

【0109】[0109]

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら制限される
ものではない。なお、以下において、特記しない限り
「部」および「%」は重量基準である。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following, “parts” and “%” are based on weight unless otherwise specified.

【0110】[0110]

【実施例1】[誘電体用複合粒子(1)の製造]チタン
酸バリウム粒子(商品名「HPAT−1」、富士チタン
株式会社製、平均粒子径 0.6μm、誘電率200
0)を真空中で、銀を蒸着法でチタン酸バリウム表面に
銀コートした誘電体用複合粒子(1)を得た。
Example 1 [Production of dielectric composite particles (1)] Barium titanate particles (trade name “HPAT-1”, manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd., average particle diameter 0.6 μm, dielectric constant 200)
The composite particles (1) were obtained by depositing silver on the surface of barium titanate by silver vapor deposition in a vacuum of 0).

【0111】蒸着前後の重量変化から、チタン酸バリウ
ムに銀が10%付着していることが分かった。また、粉
体のSEM観察から、粒子表面に銀の微粒子が付着して
いることを確認した。
From the weight change before and after the deposition, it was found that 10% of silver had adhered to barium titanate. In addition, from SEM observation of the powder, it was confirmed that fine silver particles were attached to the particle surface.

【0112】[0112]

【実施例2】[誘電体用複合粒子(2)の製造]チタン
酸バリウム粒子(商品名「AT−02」、堺化学株式会
社製、平均粒子径0.2μm、誘電率2000)100
部とケッチェンブラック6部を予備混合し、ハイブリダ
イザー(奈良機械製)によってメカノケミカル法でチタ
ン酸バリウムの表面にケッチェンブラックが付着した誘
電体用複合粒子(2)を得た。
Example 2 [Production of dielectric composite particles (2)] Barium titanate particles (trade name “AT-02”, manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., average particle diameter 0.2 μm, dielectric constant 2000) 100
And 6 parts of Ketjen Black were preliminarily mixed, and a hybridizer (manufactured by Nara Machinery) was used to obtain dielectric composite particles (2) having Ketjen Black adhered to the surface of barium titanate by a mechanochemical method.

【0113】得られた粉体のSEM観察から、粒子表面
にカーボンの微粒子が付着していることを確認した。ま
た、SIMSによりチタン酸バリウム表面にカーボンが
重量比換算で5%付着していることを確認した。
From the SEM observation of the obtained powder, it was confirmed that carbon fine particles had adhered to the particle surface. Further, it was confirmed by SIMS that 5% of carbon was attached to the barium titanate surface in terms of weight ratio.

【0114】[0114]

【実施例3】[誘電体用複合粒子(3)の製造]酸化チ
タン粒子(商品名「TTO−55」、石原産業株式会社
製、平均粒子径0.2μm、誘電率110)に無電解リ
ン−ニッケルメッキ法により、表面にニッケルをコート
して、誘電体用複合粒子(3)を得た。
Example 3 Production of Composite Particles (3) for Dielectric Material Titanium oxide particles (trade name “TTO-55”, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., average particle diameter 0.2 μm, dielectric constant 110) were electroless phosphorous -The surface was coated with nickel by a nickel plating method to obtain composite particles (3) for a dielectric.

【0115】得られた粉体のSEM観察から、粒子表面
にニッケルの微粒子が付着していることを確認した。ま
た、SIMSによりチタン酸バリウム表面にニッケルが
重量比換算で20%付着していることを確認した。
From the SEM observation of the obtained powder, it was confirmed that nickel fine particles had adhered to the particle surface. Further, it was confirmed by SIMS that nickel adhered to the barium titanate surface in a weight ratio of 20%.

【0116】[0116]

【実施例4】[誘電体用複合粒子(4)の製造]チタン
酸バリウム粒子(商品名「HPAT−1」、富士チタン
株式会社製、平均粒子径 0.6μm、誘電率200
0)100部と銀微粒子(真空冶金株式会社製、平均粒
子径 0.05μm)10部を予備混合し、ハイブリダ
イザー(奈良機械製)によってメカノケミカル法でチタ
ン酸バリウムの表面に銀が付着した誘電体用複合粒子
(4)を得た。
Example 4 [Production of dielectric composite particles (4)] Barium titanate particles (trade name “HPAT-1”, manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd., average particle diameter 0.6 μm, dielectric constant 200)
0) 100 parts and 10 parts of silver fine particles (manufactured by Vacuum Metallurgy Co., Ltd., average particle size: 0.05 μm) were preliminarily mixed, and silver was attached to the surface of barium titanate by a mechanochemical method using a hybridizer (manufactured by Nara Machinery). Thus, composite particles (4) for a dielectric were obtained.

【0117】得られた粉体のSEM観察から、粒子表面
に銀の微粒子が付着していることを確認した。また、S
IMSによりチタン酸バリウム表面に銀が重量比換算で
8%付着していることを確認した。
From the SEM observation of the obtained powder, it was confirmed that fine silver particles adhered to the particle surface. Also, S
It was confirmed by IMS that 8% of silver was adhered to the barium titanate surface in terms of weight ratio.

【0118】[0118]

【合成例1】[重合体の調製:熱硬化樹脂(エポキシ基
含有重合体)の製造)]反応容器内に、メタクリル酸グ
リシジル(GMAと略記する。)25gと、アクリロニ
トリル(ANと略記する。)10gと、メチルメタクリ
レート(MMAと略記する。)15gと、ジオキサン
(DOXと略記する。)50gとを混合して、均一な反
応原料溶液とした。
[Synthesis Example 1] [Preparation of polymer: production of thermosetting resin (epoxy group-containing polymer)] In a reaction vessel, 25 g of glycidyl methacrylate (abbreviated as GMA) and acrylonitrile (abbreviated as AN). 10), 15 g of methyl methacrylate (abbreviated as MMA) and 50 g of dioxane (abbreviated as DOX) were mixed to obtain a uniform reaction raw material solution.

【0119】この反応原料溶液に対して、30分間、窒
素バブリングを実施した後、重合開始剤としての2,2
−アゾビスイソブチロニトリル(AIANと略記す
る。)1.9gを添加した。窒素バブリングを継続しな
がら、反応容器内の温度を70℃に昇温した。そのまま
の温度で、7時間重合反応を継続した。得られた反応溶
液と、多量のヘキサンとを混合し、重合体を凝固させた
後、この重合体を採取して、ジオキサンに再溶解させ
た。このヘキサンによる凝固と、ジオキサンによる再溶
解の操作を5回繰り返し、未反応モノマーを除去した。
次いで、70℃、減圧の条件でジオキサンを飛散させ、
白色のエポキシ基含有重合体を得た。この重合体の重量
平均分子量を、GPC(ゲルパーミエーションクロマト
グラフィー)を用いて測定したところ、110,000
であった。
The reaction solution was subjected to nitrogen bubbling for 30 minutes, followed by 2,2
1.9 g of azobisisobutyronitrile (abbreviated as AIAN) were added. The temperature inside the reaction vessel was raised to 70 ° C. while continuing nitrogen bubbling. The polymerization reaction was continued for 7 hours at the same temperature. The obtained reaction solution and a large amount of hexane were mixed to coagulate the polymer, and then the polymer was collected and redissolved in dioxane. The operation of coagulation with hexane and re-dissolving with dioxane was repeated five times to remove unreacted monomers.
Next, dioxane was scattered under the condition of 70 ° C. and reduced pressure,
A white epoxy group-containing polymer was obtained. The weight average molecular weight of this polymer was measured using GPC (gel permeation chromatography) and found to be 110,000.
Met.

【0120】[0120]

【合成例2】[有機粒子エマルジョンの調製:ポリイミ
ド系樹脂エマルジョン]テトラカルボン酸二無水物とし
て3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカル
ボン酸二無水物32.29g(90ミリモル)および
1,3,3a,4,5,9A−ヘキサヒドロ−5(テト
ラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト
[1,2−c]−フラン−1,3−ジオン3.00g
(10ミリモル)、ジアミン化合物として2,2−ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン3
6.95g(90ミリモル)およびオルガノシロキサン
LP7100(商品名、信越化学(株)製)2.49g
(10ミリモル)を、N−メチル−2−ピロリドン45
0gに溶解して、室温で12時間反応させた。その後、
この反応溶液に、ピリジン32gおよび無水酢酸71g
を添加し、100℃で3時間脱水閉環反応を行った。次
いで、反応溶液を減圧留去して精製し、固形分10%の
ポリイミド溶液を得た。
Synthesis Example 2 [Preparation of Organic Particle Emulsion: Polyimide Resin Emulsion] 32.29 g (90 mmol) of 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride as tetracarboxylic dianhydride and 3.00 g of 1,3,3a, 4,5,9A-hexahydro-5 (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,3-dione
(10 mmol), 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane 3 as a diamine compound
6.95 g (90 mmol) and 2.49 g of organosiloxane LP7100 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
(10 mmol) was added to N-methyl-2-pyrrolidone 45
0 g and reacted at room temperature for 12 hours. afterwards,
32 g of pyridine and 71 g of acetic anhydride were added to the reaction solution.
Was added and a dehydration ring closure reaction was performed at 100 ° C. for 3 hours. Next, the reaction solution was distilled off under reduced pressure and purified to obtain a polyimide solution having a solid content of 10%.

【0121】ジエチレングリコールモノエチルエーテル
100部を入れた反応容器を、窒素ガス雰囲気下で85
℃に保持し、この反応容器に、n−ブチルアクリレート
65部、ジメチルアミノエチルアクリレート30部、グ
リシジルメタアクリレート5部およびアゾビスイソブチ
ロニトリル1部からなる混合液を5時間かけて連続的に
添加しつつ、撹拌下で溶液重合を行なった。滴下終了
後、85℃でさらに2時間撹拌を続けて、溶液重合を完
結させ、固形分50%のアクリルポリマー溶液を得た。
A reaction vessel containing 100 parts of diethylene glycol monoethyl ether was placed under a nitrogen gas atmosphere at 85
C., and a mixture of 65 parts of n-butyl acrylate, 30 parts of dimethylaminoethyl acrylate, 5 parts of glycidyl methacrylate and 1 part of azobisisobutyronitrile was continuously added to the reaction vessel over 5 hours. While adding, solution polymerization was performed under stirring. After completion of the dropwise addition, stirring was further continued at 85 ° C. for 2 hours to complete the solution polymerization to obtain an acrylic polymer solution having a solid content of 50%.

【0122】ポリイミド溶液50部(固形分)とアクリ
ルポリマー溶液30部(固形分)とエピコート828
(油化シェルエポキシ社製の商品名)20部を混合し、
70℃で3時間反応させた後、酢酸3部を徐々に添加し
て混合し、pH調整を行った。次いで、蒸留水1000
部を徐々に添加しつつ強く撹拌して、ポリイミド系樹脂
を主成分とする有機粒子のカチオン性エマルジョンを得
た。
50 parts (solid content) of a polyimide solution, 30 parts (solid content) of an acrylic polymer solution, and Epicoat 828
20 parts (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
After reacting at 70 ° C. for 3 hours, 3 parts of acetic acid was gradually added and mixed to adjust the pH. Then, distilled water 1000
Then, the mixture was vigorously stirred while gradually adding parts, thereby obtaining a cationic emulsion of organic particles containing a polyimide resin as a main component.

【0123】[0123]

【合成例3】[有機粒子エマルジョンの調製:エポキシ
系樹脂エマルジョン]トリレンジイソシアネートと2−
エチルヘキサノールからなるブロックイソシアネート4
6.3部と、エピコート828(油化シェルエポキシ社
製の商品名)とジエチルアミンとを反応させて得られた
エポキシアミン付加物89.3部とを混合し、pH調節
剤として酢酸3.8部を加えた。これを、イオン交換水
1200部中に攪拌しながら投入することによって、エ
ポキシ系樹脂前駆体を主成分とする有機粒子のカチオン
性エマルジョンを得た。
[Synthesis Example 3] [Preparation of organic particle emulsion: epoxy resin emulsion] Tolylene diisocyanate and 2-
Blocked isocyanate composed of ethylhexanol 4
6.3 parts, 89.3 parts of an epoxyamine adduct obtained by reacting Epikote 828 (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co.) with diethylamine were mixed, and 3.8 parts of acetic acid was used as a pH adjuster. Parts were added. This was poured into 1200 parts of ion-exchanged water with stirring to obtain a cationic emulsion of organic particles containing an epoxy resin precursor as a main component.

【0124】[0124]

【実施例5】[誘電体ペーストの調製]熱硬化性樹脂と
してエポキシ樹脂であるエピコート1004(平均分子
量1600、油化シェルエポキシ(株)製)8重量部、
および合成例1で得られたエポキシ基含有重合体 3重
量部を酢酸ブチルセロソルブ60重量部に対して溶解さ
せ、均一な樹脂溶液とした。この樹脂溶液に対して、実
施例1で得られた誘電体用複合粒子(1)を100重量
部と、アセチレンブラック8部を加えた。そして、3本
ロールを用いてこれらの誘電体ペースト組成物材料を1
時間混練し、誘電体ペーストとした。この誘電体ペース
トの粘度は50000mPa・sであった。
Example 5 [Preparation of dielectric paste] 8 parts by weight of Epicoat 1004 (average molecular weight: 1600, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.) which is an epoxy resin as a thermosetting resin,
And 3 parts by weight of the epoxy group-containing polymer obtained in Synthesis Example 1 was dissolved in 60 parts by weight of butyl cellosolve acetate to obtain a uniform resin solution. To this resin solution, 100 parts by weight of the dielectric composite particles (1) obtained in Example 1 and 8 parts of acetylene black were added. Then, using a three-roll mill, these dielectric paste composition materials
The mixture was kneaded for a time to obtain a dielectric paste. The viscosity of this dielectric paste was 50,000 mPa · s.

【0125】[0125]

【実施例6】[電着用水性分散液の調製]実施例1で得
られた誘電体用複合粒子(1)を15重量部、アセチレ
ンブラック0.2重量部を、イソプロピルアルコール8
5重量部にホモミキサーで混合した後、超音波分散処理
を行って、凝集物のない誘電体用複合粒子の分散液(固
形分15%)を得た。
Example 6 [Preparation of aqueous dispersion for electrodeposition] 15 parts by weight of the dielectric composite particles (1) obtained in Example 1, 0.2 parts by weight of acetylene black, and isopropyl alcohol 8
After mixing with 5 parts by weight using a homomixer, an ultrasonic dispersion treatment was performed to obtain a dispersion liquid (solid content: 15%) of the composite particles for a dielectric substance having no aggregate.

【0126】さらに、前記分散液100重量部に合成例
2で得られたポリイミド系樹脂を主成分とする有機粒子
のカチオン性エマルジョン40部を混合して電着用水性
分散液を調製した。
Further, an aqueous dispersion for electrodeposition was prepared by mixing 100 parts by weight of the dispersion with 40 parts of a cationic emulsion of organic particles containing the polyimide resin as a main component obtained in Synthesis Example 2.

【0127】[0127]

【実施例7】[電着用水性分散液の調製]実施例4で得
られた誘電体用複合粒子(4)を15重量部、アセチレ
ンブラック0.1重量部を、イソプロピルアルコール8
5重量部にホモミキサーで混合した後、超音波分散処理
を行って、凝集物のない誘電体用複合粒子の分散液(固
形分15%)を得た。
[Example 7] [Preparation of aqueous dispersion for electrodeposition] 15 parts by weight of the dielectric composite particles (4) obtained in Example 4 and 0.1 part by weight of acetylene black were added to isopropyl alcohol 8
After mixing with 5 parts by weight using a homomixer, an ultrasonic dispersion treatment was performed to obtain a dispersion liquid (solid content: 15%) of the composite particles for a dielectric substance having no aggregate.

【0128】さらに、前記分散液100重量部に合成例
2で得られたポリイミド系樹脂を主成分とする有機粒子
のカチオン性エマルジョン40部を混合して電着用水性
分散液を調製した。
Further, an aqueous dispersion for electrodeposition was prepared by mixing 100 parts by weight of the dispersion with 40 parts of a cationic emulsion of organic particles containing the polyimide resin as a main component obtained in Synthesis Example 2.

【0129】[0129]

【実施例8】[電着用水性分散液の調製]実施例2で得
られた誘電体用複合粒子(2)を15重量部、炭化珪素
(平均粒子径0.1μm)0.1重量部を、イソプロピ
ルアルコール85重量部にホモミキサーで混合した後、
超音波分散処理を行って、凝集物のない誘電体用複合粒
子の分散液(固形分15%)を得た。
Example 8 [Preparation of an aqueous dispersion for electrodeposition] 15 parts by weight of the dielectric composite particles (2) obtained in Example 2 and 0.1 part by weight of silicon carbide (average particle diameter: 0.1 μm) were added. After mixing with 85 parts by weight of isopropyl alcohol with a homomixer,
By performing an ultrasonic dispersion treatment, a dispersion liquid (solid content: 15%) of the composite particles for a dielectric substance without an aggregate was obtained.

【0130】更に、前記分散液100重量部に合成例3
で得られたエポキシ系樹脂を主成分とする有機粒子のカ
チオン性エマルジョン20部を混合して電着用水性分散
液を調製した。
Further, Synthesis Example 3 was added to 100 parts by weight of the dispersion.
20 parts of a cationic emulsion of organic particles containing an epoxy resin as a main component obtained in the above was mixed to prepare an aqueous dispersion for electrodeposition.

【0131】[0131]

【比較例1】実施例5において、実施例1で得られた誘
電体用複合粒子(1)の代わりに、チタン酸バリウム粒
子(富士チタン株式会社製、商品名「HPAT−1」、
平均粒子径 0.6μm、誘電率2000)を用いる以
外は全く同様にしてペースト組成物を得た。
Comparative Example 1 In Example 5, barium titanate particles (trade name “HPAT-1”, manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) were used instead of the dielectric composite particles (1) obtained in Example 1.
A paste composition was obtained in exactly the same manner except that an average particle diameter of 0.6 μm and a dielectric constant of 2000) were used.

【0132】[0132]

【比較例2】実施例6において、実施例1で得られた誘
電体用複合粒子(1)の代わりに、チタン酸バリウム粒
子(富士チタン株式会社製、商品名「HPAT−1」、
平均粒子径 0.6μm、誘電率2000)を用いる以
外は全く同様にして水性分散液を調製した。フィルムの形成および性能評価 スクリーン印刷法による塗布 前記実施例5および比較例1の誘電体ペーストをスクリ
ーン印刷機で銅箔上に印刷した。100℃、10分でプ
リベークした後、オーブンにて150℃、30分加熱硬
化させた。電磁膜厚計で膜厚を測定したところ、誘電体
フィルムの厚み20μmの均一な塗膜が得られた。 電着法による塗布 前記実施例6〜8および比較例2の電着用水性分散液中
に、それぞれ陰極としての銅板および対向電極としての
SUS板を配置し、100Vの定電圧法により陰極側の
銅板上に粒子を電着させた。その後、100℃で10分
加熱し、さらに実施例6〜7と比較例2は250℃で3
0分間、実施例8は150℃で30分間加熱して厚さ1
0μmの誘電体フィルムを得た。
Comparative Example 2 In Example 6, barium titanate particles (trade name “HPAT-1”, manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) were used instead of the composite particles for dielectric material (1) obtained in Example 1.
An aqueous dispersion was prepared in exactly the same manner except that an average particle diameter of 0.6 μm and a dielectric constant of 2000) were used. Film Formation and Performance Evaluation Application by Screen Printing Method The dielectric pastes of Example 5 and Comparative Example 1 were printed on a copper foil with a screen printer. After pre-baking at 100 ° C. for 10 minutes, it was cured by heating in an oven at 150 ° C. for 30 minutes. When the film thickness was measured with an electromagnetic film thickness meter, a uniform coating of a dielectric film having a thickness of 20 μm was obtained. Coating by electrodeposition method In the aqueous dispersions for electrodeposition of Examples 6 to 8 and Comparative Example 2, a copper plate as a cathode and a SUS plate as a counter electrode were respectively disposed, and a copper plate on the cathode side by a constant voltage method of 100 V. The particles were electrodeposited on top. Thereafter, the mixture was heated at 100 ° C. for 10 minutes.
Example 8 was heated for 30 minutes at 150 ° C.
A 0 μm dielectric film was obtained.

【0133】実施例5〜8および比較例1、2を経て製
造したフィルムの性能を下記方法により評価した。結果
を表1に示す。 〔誘電率、誘電正接および体積抵抗率〕JIS K64
81に準拠して測定した。
The performances of the films produced through Examples 5 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated by the following methods. Table 1 shows the results. [Dielectric constant, dielectric loss tangent and volume resistivity] JIS K64
81.

【0134】誘電率、誘電正接は周波数1MHzの測定
値である。 〔耐湿熱性(HAST試験)〕硬化フィルムについて、
121℃、湿度100%、2気圧の条件下で、72時間
耐湿熱性試験を行って、試験の前後で赤外線分光測定を
実施し、その変化の程度により、耐湿熱性を下記基準で
評価した。
The permittivity and the dielectric loss tangent are measured values at a frequency of 1 MHz. [Heat and moisture resistance (HAST test)]
A moist heat resistance test was performed for 72 hours under the conditions of 121 ° C., 100% humidity, and 2 atmospheres, and infrared spectroscopy was performed before and after the test.

【0135】 ○・・・変化がなく耐性が認められる ×・・・変化が大きく耐性が認められない・ ・ ・: No change and resistance is observed X: change is large and resistance is not observed

【0136】[0136]

【表1】 [Table 1]

【0137】表1から判るように、実施例5〜8から得
られたフィルムはいずれも電気的特性が良好であった。
有機粒子としてポリイミドを用いた実施例6、7では、
特に体積抵抗率の高いフィルムが得られた。一方、本発
明の範囲外の比較例1、比較例2は誘電正接が劣った。
As can be seen from Table 1, all of the films obtained from Examples 5 to 8 had good electrical characteristics.
In Examples 6 and 7 using polyimide as the organic particles,
In particular, a film having a high volume resistivity was obtained. On the other hand, Comparative Examples 1 and 2 outside the range of the present invention were inferior in dielectric loss tangent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09C 3/08 C09D 5/44 Z C09D 5/44 H01B 3/12 303 H01B 3/12 303 304 304 H01G 4/20 H01G 4/20 C09D 5/00 Z // C09D 5/00 179/08 Z 179/08 C04B 35/00 Y Fターム(参考) 4G030 AA10 AA16 AA60 AA61 BA09 4J037 AA21 AA22 CA02 CA03 CC16 CC21 CC23 CC24 CC28 DD05 EE03 EE08 EE28 FF11 4J038 CD091 CG001 DB001 DD001 DJ021 HA216 KA08 KA15 MA08 MA10 NA17 PA04 5E082 FF05 FG06 5G303 AA10 AB06 AB07 BA04 BA08 BA12 CA01 CA09 CB03 CB35 CC01 DA01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C09C 3/08 C09D 5/44 Z C09D 5/44 H01B 3/12 303 H01B 3/12 303 304 304 H01G 4 / 20 H01G 4/20 C09D 5/00 Z // C09D 5/00 179/08 Z 179/08 C04B 35/00 Y F term (reference) 4G030 AA10 AA16 AA60 AA61 BA09 4J037 AA21 AA22 CA02 CA03 CC16 CC21 CC23 CC24 CC28 DD05 EE03 EE08 EE28 FF11 4J038 CD091 CG001 DB001 DD001 DJ021 HA216 KA08 KA15 MA08 MA10 NA17 PA04 5E082 FF05 FG06 5G303 AA10 AB06 AB07 BA04 BA08 BA12 CA01 CA09 CB03 CB35 CC01 DA01

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 誘電率が30以上である無機粒子の表面
の一部または全体に、導電性の金属もしくはその化合物
または導電性の有機化合物もしくは導電性の無機物が被
覆されていることを特徴とする誘電体用複合粒子。
An inorganic particle having a dielectric constant of 30 or more is partially or entirely coated with a conductive metal or a compound thereof, a conductive organic compound or a conductive inorganic substance. Composite particles for dielectrics.
【請求項2】 前記無機粒子が、チタン系金属酸化物か
らなることを特徴とする請求項1に記載の誘電体用複合
粒子。
2. The composite particles for a dielectric according to claim 1, wherein the inorganic particles are made of a titanium-based metal oxide.
【請求項3】 前記チタン系金属酸化物が、複酸化物で
あることを特徴とする請求項2に記載の誘電体用複合粒
子。
3. The composite particle according to claim 2, wherein the titanium-based metal oxide is a double oxide.
【請求項4】 前記誘電体用複合粒子の平均粒子径が、
10μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のい
ずれかに記載の誘電体用複合粒子。
4. An average particle diameter of the composite particles for a dielectric,
The composite particle for a dielectric according to any one of claims 1 to 3, wherein the particle size is 10 µm or less.
【請求項5】 500℃以下の加熱で、誘電率が30以
上、誘電正接が0.1以下の誘電体を形成することが可
能であり、 誘電率が30以上である無機粒子の表面の一部または全
体に、導電性の金属もしくはその化合物または導電性の
有機化合物もしくは導電性の無機物が被覆されている誘
電体用複合粒子と、 重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる樹
脂成分とからなることを特徴とする誘電体形成用組成
物。
5. It is possible to form a dielectric having a dielectric constant of 30 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less by heating at a temperature of 500 ° C. or less. Part or the whole, a conductive metal or a compound thereof, a conductive organic compound or a conductive inorganic compound, and a composite particle for a dielectric, and a resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer. A composition for forming a dielectric, comprising:
【請求項6】 前記誘電体形成用組成物を500℃以下
で加熱して得られる誘電体の誘電率が50以上、誘電正
接が0.1以下であることを特徴とする請求項5に記載
の誘電体形成用組成物。
6. The dielectric according to claim 5, wherein the dielectric obtained by heating the composition for forming a dielectric has a dielectric constant of 50 or more and a dielectric loss tangent of 0.1 or less. A composition for forming a dielectric.
【請求項7】 前記無機粒子が、チタン系金属酸化物か
らなることを特徴とする請求項5または6に記載の誘電
体形成用組成物。
7. The dielectric composition according to claim 5, wherein the inorganic particles are made of a titanium-based metal oxide.
【請求項8】 前記チタン系金属酸化物が、チタン系複
酸化物であることを特徴とする請求項7に記載の誘電体
形成用組成物。
8. The composition for forming a dielectric according to claim 7, wherein the titanium-based metal oxide is a titanium-based double oxide.
【請求項9】 前記誘電体用複合粒子の平均粒子径が、
10μm以下であることを特徴とする請求項5〜8のい
ずれかに記載の誘電体形成用組成物。
9. An average particle diameter of the dielectric composite particles,
The dielectric composition according to any one of claims 5 to 8, wherein the thickness is 10 µm or less.
【請求項10】 前記誘電体用複合粒子と、前記重合性
化合物および重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分
との体積比(誘電体用複合粒子の体積/重合性化合物お
よび重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分の体積)
が、5/95〜80/20であることを特徴とする請求
項5〜9のいずれかに記載の誘電体形成用組成物。
10. A volume ratio of the dielectric composite particles and a resin component comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer (volume of the dielectric composite particles / at least one of the polymerizable compound and the polymer). Volume of resin component)
Is 5/95 to 80/20, The composition for forming a dielectric according to any one of claims 5 to 9, wherein
【請求項11】 前記誘電体形成用組成物が、さらに、
充填剤を含有することを特徴とする請求項5〜10のい
ずれかに記載の誘電体形成用組成物。
11. The composition for forming a dielectric, further comprising:
The dielectric-forming composition according to any one of claims 5 to 10, further comprising a filler.
【請求項12】 請求項5〜11のいずれかに記載の誘
電体形成用組成物を含有する誘電体ペースト。
12. A dielectric paste containing the composition for forming a dielectric according to claim 5. Description:
【請求項13】 前記樹脂成分が重合性化合物である熱
硬化性樹脂であり、前記重合体が熱可塑性樹脂であるこ
とを特徴とする請求項12に記載の誘電体ペースト。
13. The dielectric paste according to claim 12, wherein the resin component is a thermosetting resin that is a polymerizable compound, and the polymer is a thermoplastic resin.
【請求項14】 請求項5〜11のいずれかに記載の誘
電体形成用組成物を含有する電着用水性分散液。
14. An aqueous dispersion for electrodeposition comprising the dielectric-forming composition according to claim 5. Description:
【請求項15】 前記重合性化合物および重合体の少な
くとも一方からなる樹脂成分が、電着可能な有機粒子で
あることを特徴とする請求項14に記載の電着用水性分
散液。
15. The aqueous dispersion for electrodeposition according to claim 14, wherein the resin component comprising at least one of the polymerizable compound and the polymer is an electrodepositable organic particle.
【請求項16】 前記有機粒子が、ポリイミド系樹脂か
らなり、該有機粒子の表面に電荷を有することを特徴と
する請求項15に記載の電着用水性分散液。
16. The aqueous dispersion for electrodeposition according to claim 15, wherein the organic particles are made of a polyimide resin, and have a charge on the surface of the organic particles.
【請求項17】 請求項5〜11のいずれかに記載の誘
電体形成用組成物を用いて形成される高誘電率フィル
ム。
17. A high-dielectric-constant film formed by using the composition for forming a dielectric according to claim 5. Description:
【請求項18】 請求項12または13に記載の誘電体
ペーストを用いて形成される高誘電率フィルム。
18. A high dielectric constant film formed using the dielectric paste according to claim 12.
【請求項19】 請求項14〜16のいずれかに記載の
電着用水性分散液を用いて形成される高誘電率フィル
ム。
19. A high dielectric constant film formed by using the aqueous dispersion for electrodeposition according to claim 14. Description:
【請求項20】 誘電率が30以上である無機粒子の表
面の一部または全体に、導電性の金属もしくはその化合
物または導電性の有機化合物もしくは導電性の無機物が
被覆されている誘電体用複合粒子と、重合性化合物およ
び重合体の少なくとも一方からなる樹脂成分とを含有す
る組成物を、500℃以下で加熱して、誘電率が30以
上、誘電正接が0.1以下の誘電体を得ることを特徴と
する誘電体の製造方法。
20. A dielectric composite in which a conductive metal or a compound thereof, a conductive organic compound or a conductive inorganic material is coated on a part or the entire surface of an inorganic particle having a dielectric constant of 30 or more. A composition containing particles and a resin component comprising at least one of a polymerizable compound and a polymer is heated at 500 ° C. or lower to obtain a dielectric having a dielectric constant of 30 or higher and a dielectric loss tangent of 0.1 or lower. A method for producing a dielectric, comprising:
【請求項21】 請求項17〜19のいずれかに記載の
高誘電率フィルムを含むことを特徴とする電子部品。
21. An electronic component comprising the high dielectric constant film according to claim 17. Description:
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