JP2002228841A - Chirped grating type optical filter and method for manufacturing the same - Google Patents

Chirped grating type optical filter and method for manufacturing the same

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JP2002228841A
JP2002228841A JP2001027291A JP2001027291A JP2002228841A JP 2002228841 A JP2002228841 A JP 2002228841A JP 2001027291 A JP2001027291 A JP 2001027291A JP 2001027291 A JP2001027291 A JP 2001027291A JP 2002228841 A JP2002228841 A JP 2002228841A
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grating
wavelength
chirped
optical filter
core
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Hideaki Arai
英明 荒井
Akishi Hongo
晃史 本郷
Shinobu Sato
佐藤  忍
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Hitachi Cable Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chirped grating type optical fiber which can be easily manufactured, has flat wavelength characteristics and can be precisely adjusted for the wavelength dependence of the transmittance, and to provide a method for manufacturing the filter. SOLUTION: The optical filter can be easily designed and the transmittance characteristics depending on the wavelength can be arbitrarily controlled by dividing the whole chirped grating 11 into a plurality of regions A1, A2, A3, etc., so as to make use of the characteristics of a chirped fiber grating in which the Bragg wavelength varies and by making one-to-one correspondence between the transmittance at the center Bragg wavelength of each region and the amplitude of the chirped grating 11 in each region A1, A2, A3, etc. Moreover, since the coupling between the ground level modes propagating the core is used, the temperature dependence is reduced to 0.01 nm/ deg.C. In the manufacture of the grating 11, a method using excimer laser light 12, a phase mask 14 or the like can be used similarly in the manufacture of a narrow band fiber grating. This means no requirement for large changes in the manufacture techniques.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チャープトグレー
ティング型光フィルタ及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chirped grating type optical filter and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】EDFA(erbium−doped
faiber amplifaier:エルビウム添加
光ファイバ増幅器)の利得等化器にはさまざまなタイプ
のものがある。
2. Description of the Related Art EDFA (erbium-doped)
There are various types of gain equalizers for fiber amplifiers (erbium-doped optical fiber amplifiers).

【0003】例えば長周期ファイバグレーティングを用
いた利得等化器がある(春本、茂原、金森:長周期グレ
ーティングの透過特性リップル抑圧、1998年電子情
報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会論文誌、
C−3−50,p.184)。
For example, there is a gain equalizer using a long-period fiber grating (Harumoto, Mobara, Kanamori: Transmission characteristics ripple suppression of a long-period grating, Transactions of the 1998 IEICE Electronics Society Conference,
C-3-50, p. 184).

【0004】図10(a)はEDFA及び従来の利得等
化器のブロック図であり、図10(b)は図10(a)
のEDFAの利得波長特性図であり、図10(c)は図
10(a)の利得等化器の波長透過率特性図であり、図
10(d)は図10(a)の出力スペクトルを示す図で
ある。図10(b)、(d)において横軸が波長軸を示
し、縦軸が利得軸を示し、図10(c)において横軸が
波長軸を示し、縦軸が透過率軸を示している。また図1
0(c)おいて曲線L1は前段の利得等化器の波長透過
率特性を示し、曲線L2は中段の利得等化器の波長透過
率特性を示し、曲線L3は後段の利得等化器の波長透過
率特性を示している。
FIG. 10A is a block diagram of an EDFA and a conventional gain equalizer, and FIG. 10B is a block diagram of FIG.
FIG. 10C is a graph showing the wavelength transmittance of the gain equalizer of FIG. 10A, and FIG. 10D is a graph showing the output spectrum of FIG. 10A. FIG. 10 (b) and 10 (d), the horizontal axis indicates the wavelength axis, the vertical axis indicates the gain axis, and in FIG. 10 (c), the horizontal axis indicates the wavelength axis, and the vertical axis indicates the transmittance axis. . FIG.
At 0 (c), curve L1 shows the wavelength transmittance characteristic of the gain equalizer at the preceding stage, curve L2 shows the wavelength transmittance characteristic of the gain equalizer at the middle stage, and curve L3 shows the wavelength transmittance characteristic of the gain equalizer at the subsequent stage. 3 shows wavelength transmittance characteristics.

【0005】ここで、長周期グレーティングとは、周期
が300μm〜500μmの屈折率変調型のグレーティ
ングであり、コアを伝搬する基底モードとクラッドへ漏
洩するクラッドモードとの間の結合を起こし、損失の波
長依存性を制御するものである。
Here, the long-period grating is a grating of a refractive index modulation type having a period of 300 μm to 500 μm, which causes a coupling between a fundamental mode propagating in the core and a cladding mode leaking to the cladding, resulting in loss of loss. It controls the wavelength dependence.

【0006】図10(a)に示す利得等化器1は長周期
ファイバグレーティング2、3、4を多段に接続してE
DFA5の利得等化を行っている。
A gain equalizer 1 shown in FIG. 10 (a) has a long-period fiber grating 2, 3, 4 connected in multiple stages, and
DFA5 gain equalization is performed.

【0007】このようにしてEDFA5の利得等化を行
うと共に、一本の光ファイバ中に複数の波長の光を伝搬
させ、伝送容量を飛躍的に増大させる光波長多重伝送の
開発が活発に行われているが、EDFA5を波長多重伝
送システムに適用する場合、増幅時における信号波長間
での利得の違いが問題となる。
As described above, while the gain of the EDFA 5 is equalized, light of a plurality of wavelengths is propagated in one optical fiber, and the development of the optical wavelength division multiplexing transmission which drastically increases the transmission capacity is actively developed. However, when the EDFA 5 is applied to a wavelength division multiplexing transmission system, a difference in gain between signal wavelengths during amplification becomes a problem.

【0008】例えば石英ガラスにErを添加したEDF
A5の波長に対する利得特性は、一般に1532nm及
び1552nm付近に利得のピークを有する双峰型にな
る。石英ガラスにAlを共添加すると1552nmのピ
ークが広がり1545〜1560nmの帯域で利得の平
坦化がある程度可能となる。
For example, EDF in which Er is added to quartz glass
The gain characteristic with respect to the wavelength of A5 is generally a bimodal type having gain peaks near 1532 nm and 1552 nm. When Al is co-added to quartz glass, the peak at 1552 nm widens, and the gain can be flattened to some extent in the band of 1545 to 1560 nm.

【0009】しかし、1532nmピークは依然存在
し、30nm以上のEDFA5の利得波長帯域での完全
な平坦化は困難である。特にEDFA5が多段に接続さ
れて使用される長距離伝送システムの場合には利得の違
いが顕著に現れ、信号波長によっては伝送特性に大きな
影響を及ぼす。
However, the peak of 1532 nm still exists, and it is difficult to completely flatten the EDFA 5 in the gain wavelength band of 30 nm or more. Particularly, in the case of a long-distance transmission system in which the EDFAs 5 are connected in multiple stages, the difference in gain appears remarkably, and greatly affects the transmission characteristics depending on the signal wavelength.

【0010】従って、なんらかの方法で信号間の利得差
を補正する必要がある。
[0010] Therefore, it is necessary to correct the gain difference between the signals by some method.

【0011】この利得の波長依存性を低減する、いわゆ
る利得等化器を実現する方法として、長周期ファイバグ
レーティングが検討されている。
As a method of realizing a so-called gain equalizer for reducing the wavelength dependence of the gain, a long-period fiber grating has been studied.

【0012】屈折率変化の周期が数十μm〜数百μmと
比較的長い場合、光ファイバのコア中を伝搬する光の中
で数1式
When the period of the change in the refractive index is relatively long, from several tens of μm to several hundreds of μm, the following equation is used in the light propagating in the core of the optical fiber.

【0013】[0013]

【数1】λ=(ng−ncl)Λ の条件を満たす波長λの光は、コアを伝搬するモード
(導波モード)からクラッドモードに結合する。
The light having the wavelength λ satisfying the condition of λ = (ng−ncl) す る is coupled from the mode (guiding mode) propagating through the core to the cladding mode.

【0014】ここで、ngは導波モードに対する実効屈
折率、nclは結合するクラッドモードに対する実効屈
折率、Λは屈折率変化の周期である。
Here, ng is the effective refractive index for the waveguide mode, ncl is the effective refractive index for the coupled cladding mode, and Λ is the period of change in the refractive index.

【0015】クラッドモードに結合した光は、光ファイ
バのコーティング樹脂層等に吸収され減衰する。このよ
うに長周期ファイバグレーティングは特定の波長の光を
光ファイバのコア外に放出することで損失を生じさせ、
不要な反射戻り光も発生せず、比較的広い帯域(10〜
数十nm)の光を阻止する透過型の光フィルタとして機
能する。
The light coupled to the cladding mode is absorbed by the coating resin layer of the optical fiber and attenuated. Thus, a long-period fiber grating emits light of a specific wavelength out of the core of an optical fiber, causing loss,
Unnecessary reflected return light is not generated, and a relatively wide band (10 to 10)
It functions as a transmission type optical filter that blocks light of several tens of nm).

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
に、一般にEDFAの利得特性は、1532nm及び1
552nm付近に利得のピークを有する双峰型である
が、実際の長距離伝送システムにおいては、利得特性が
それぞれ異なるEDFAが多段に接続される。そのた
め、信号光の波長に対する光出力特性は伝送システムに
よって異なり、個々の伝送システムに適したより複雑な
フィルタ特性を備えた利得等化器を挿入しなければなら
ない。
As described above, the gain characteristic of an EDFA is generally 1532 nm and 1 dB.
Although it is a bimodal type having a gain peak near 552 nm, in an actual long distance transmission system, EDFAs having different gain characteristics are connected in multiple stages. Therefore, the optical output characteristics with respect to the wavelength of the signal light differ depending on the transmission system, and a gain equalizer having a more complicated filter characteristic suitable for each transmission system must be inserted.

【0017】長周期ファイバグレーティングの透過スペ
クトルは、滑らかに変化する特性を有している。そのた
め、透過損失特性の異なる長周期ファイバグレーティン
グを複数縦列に接続し、その重ね合わせた透過損失スペ
クトルが伝送システム内の利得偏差を平坦化するよう
に、すなわち逆特性スペクトルを持つように設計、製造
しなければならない。
The transmission spectrum of a long-period fiber grating has a characteristic that changes smoothly. Therefore, long-period fiber gratings with different transmission loss characteristics are connected in multiple columns, and the superimposed transmission loss spectra are designed and manufactured so as to flatten the gain deviation in the transmission system, that is, to have the inverse characteristic spectrum. Must.

【0018】縦列接続の長周期グレーティングにおいて
は、前段のグレーティングで発生したクラッドモードが
十分減衰せず、後段のグレーティングに再結合する場合
がある。この場合、全透過特性は個々の長周期グレーテ
ィングの透過率の積とはならず、複雑な特性を示す。こ
のように複数の長周期ファイバグレーティングを組合わ
せ、所望の損失スペクトル特性を実現するには、設計だ
けでなく製造工程もかなり複雑になり、フィルタ特性の
制御が難しい。
In a long-period grating connected in cascade, the cladding mode generated in the preceding grating may not be sufficiently attenuated and may be recombined with the latter grating. In this case, the total transmission characteristic is not the product of the transmittances of the individual long-period gratings, but shows a complicated characteristic. In order to realize a desired loss spectrum characteristic by combining a plurality of long-period fiber gratings in this way, not only the design but also the manufacturing process becomes considerably complicated, and it is difficult to control the filter characteristic.

【0019】また、長周期グレーティングの特性は、ク
ラッドに被覆されるコーティング層の光学特性に敏感に
影響を受ける。特に、クラッド層の屈折率とコーティン
グ層の屈折率とが近接する場合、透過損失は小さくなり
クラッド周囲の環境に大きく依存する。そのため、コー
ティング層を除去したままグレーティングを形成し、リ
コートしないで使用する場合が多い。このようにリコー
トしないで用いなければならない長周期グレーティング
は、機械的信頼性に問題があるだけでなく、光学特性が
外部環境に影響を受けやすい構造になっている。
The characteristics of the long-period grating are sensitively affected by the optical characteristics of the coating layer coated on the cladding. In particular, when the refractive index of the cladding layer and the refractive index of the coating layer are close to each other, the transmission loss is small and largely depends on the environment around the cladding. Therefore, in many cases, a grating is formed without removing the coating layer and used without recoating. Such a long-period grating that must be used without recoating not only has a problem in mechanical reliability but also has a structure whose optical characteristics are easily affected by an external environment.

【0020】さらに長周期型ファイバグレーティングの
温度依存性は、コアを伝搬する導波モードとクラッドモ
ードとの間の実効屈折率差(ng−ncl)の温度依存
性が支配的となり、波長の温度係数は約0.05nm/
℃程度ある。
Further, the temperature dependence of the long-period fiber grating is dominated by the temperature dependence of the effective refractive index difference (ng-ncl) between the guided mode and the clad mode propagating in the core, and The coefficient is about 0.05 nm /
There is about ° C.

【0021】一方、反射型狭帯域フィルタとして用いら
れている短周期ファイバグレーティングの温度係数は、
石英ガラスの屈折率の温度依存性が支配的となるため、
通常0.01nm/℃程度である。
On the other hand, the temperature coefficient of the short-period fiber grating used as a reflection type narrow band filter is
Since the temperature dependence of the refractive index of quartz glass becomes dominant,
Usually, it is about 0.01 nm / ° C.

【0022】このように長周期型ファイバグレーティン
グにおける温度依存性は短周期型ファイバグレーティン
グと比較すると約5倍程大きく、温度依存性の低減が強
く求められているという問題があった。
As described above, the temperature dependency of the long-period type fiber grating is about five times larger than that of the short-period type fiber grating, and there is a problem that reduction of the temperature dependency is strongly required.

【0023】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、製造が容易で平坦な波長特性を有し、きめの細かい
透過率波長依存性の調整が可能なチャープトグレーティ
ング型光フィルタ及びその製造方法を提供することにあ
る。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to provide a chirped grating type optical filter which is easy to manufacture, has a flat wavelength characteristic, and allows fine adjustment of transmittance wavelength dependency. It is to provide a manufacturing method.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のチャープトグレーティング型光フィルタは、
光ファイバか、あるいは光導波路のコアの入力側から出
力側に向かってブラッグ波長が増加するチャープトグレ
ーティング型光フィルタにおいて、グレーティング全体
が複数の領域に分割され、各領域の中心で各ブラッグ波
長における透過率とその領域のグレーティングの振幅と
が1対1対応しているものである。
To achieve the above object, a chirped grating type optical filter according to the present invention comprises:
In a chirped grating type optical filter in which the Bragg wavelength increases from the input side to the output side of the optical fiber or the core of the optical waveguide, the entire grating is divided into a plurality of regions, and the center of each region corresponds to the Bragg wavelength. The transmittance and the amplitude of the grating in that region have a one-to-one correspondence.

【0025】本発明のチャープトグレーティング型光フ
ィルタは、光ファイバか、あるいは光導波路のコアに屈
折率の変化の周期が長手方向に徐々に変化するグレーテ
ィングが形成され、長手方向の屈折率変調の大きさが局
所的に変化しているものである。
In the chirped grating type optical filter of the present invention, a grating in which the period of change of the refractive index gradually changes in the longitudinal direction is formed in the optical fiber or the core of the optical waveguide. The size is locally changed.

【0026】上記構成に加え本発明のチャープトグレー
ティング型光フィルタは、使用波長帯域内に対応するグ
レーティング形成部の平均屈折率が一定であるのが好ま
しい。
In addition to the above configuration, in the chirped grating type optical filter of the present invention, it is preferable that the average refractive index of the grating forming portion corresponding to the used wavelength band is constant.

【0027】上記構成に加え本発明のチャープトグレー
ティング型光フィルタは、グレーティングの屈折率変調
が光増幅器を通過する光信号の波長に対する出力の変動
を打ち消すように変化しており、グレーティング透過後
の光信号の波長に対する出力が平坦化されるのが好まし
い。
In addition to the above-described configuration, the chirped grating type optical filter of the present invention has a refractive index modulation of the grating that changes so as to cancel the fluctuation of the output with respect to the wavelength of the optical signal passing through the optical amplifier. Preferably, the output for the wavelength of the optical signal is flattened.

【0028】上記構成に加え本発明のチャープトグレー
ティング型光フィルタは、グレーティングが、光増幅媒
体を添加した光ファイバか、あるいは光導波路のコアに
形成されているのが好ましい。
In addition to the above configuration, in the chirped grating type optical filter of the present invention, it is preferable that the grating is formed in an optical fiber to which an optical amplification medium is added or in a core of an optical waveguide.

【0029】上記構成に加え本発明のチャープトグレー
ティング型光フィルタは、グレーティングの前段にグレ
ーティングで発生する反射戻り光を除去するアイソレー
タが挿入されているのが好ましい。
In addition to the above configuration, the chirped grating type optical filter of the present invention is preferably provided with an isolator for removing reflected return light generated by the grating at a stage preceding the grating.

【0030】本発明のチャープトグレーティング型光フ
ィルタは、光ファイバか、あるいは光導波路のコアの入
力側から出力側に向かってブラッグ波長が増加するチャ
ープトグレーティング型光フィルタにおいて、入力側の
ブラッグ波長が使用帯域の中の最も短い波長と同等か、
あるいは短く、出力側のブラッグ波長が使用帯域の中の
最も長い波長と同等か、あるいは長く、上記チャープト
グレーティングの振幅が光の伝搬方向に変調され、使用
波長帯域に含まれるブラッグ波長を有するグレーティン
グの振幅変調度がブラッグ波長における所望の透過率だ
けで決定されるものである。
The chirped grating type optical filter according to the present invention is a chirped grating type optical filter in which the Bragg wavelength increases from the input side to the output side of the optical fiber or the core of the optical waveguide. Is equal to the shortest wavelength in the band used,
Alternatively, a grating having a Bragg wavelength on the output side that is equal to or longer than the longest wavelength in the operating band, or the amplitude of the chirped grating is modulated in the light propagation direction, and has a Bragg wavelength included in the operating wavelength band. Is determined only by the desired transmittance at the Bragg wavelength.

【0031】本発明のチャープトグレーティング型光フ
ィルタの製造方法は、光ファイバか、あるいは光導波路
のコアの入力側から出力側に向かってブラッグ波長を増
加させるチャープトファイバグレーティングフィルタの
製造方法において、長手方向に複数の領域に分割された
位相マスクをコア上に平行に配置し、その位相マスクを
通してレーザ光を照射してコアにグレーティングを形成
し、各領域の中心で各ブラッグ波長における所望の透過
率が得られるようにレーザ照射量を調整するものであ
る。
A method of manufacturing a chirped grating type optical filter according to the present invention is directed to a method of manufacturing a chirped fiber grating filter for increasing a Bragg wavelength from an input side to an output side of an optical fiber or a core of an optical waveguide. A phase mask divided into a plurality of regions in the longitudinal direction is arranged in parallel on the core, and a laser beam is irradiated through the phase mask to form a grating on the core. The laser irradiation amount is adjusted so as to obtain the rate.

【0032】本発明のチャープトグレーティング型光フ
ィルタの製造方法は、光ファイバか、あるいは光導波路
のコアの入力側から出力側に向かってブラッグ波長を増
加させるチャープトグレーティング型光フィルタの製造
方法において、形状がコアの光伝搬軸に沿って変化した
アパーチャーにレーザ光を通過させて所望のグレーティ
ング振幅変調を行った後、アパーチャーにより切り出さ
れたレーザ光を集光レンズでコアに集光させるものであ
る。
The method of manufacturing a chirped grating type optical filter of the present invention is directed to a method of manufacturing a chirped grating type optical filter for increasing a Bragg wavelength from an input side to an output side of an optical fiber or a core of an optical waveguide. After passing the laser beam through the aperture whose shape has changed along the light propagation axis of the core and performing the desired grating amplitude modulation, the laser beam cut out by the aperture is focused on the core by a focusing lens. is there.

【0033】本発明によれば、ブラッグ波長が変化する
チャープトファイバグレーティングの特性を生かし、グ
レーティング全体を複数の領域に分割し、各領域の中心
のブラッグ波長における透過率と各領域におけるグレー
ティングの振幅を1対1対応させることにより、設計が
容易になり透過率波長特性を自由に制御することができ
る。また、コアを伝搬する基底モード間での結合を利用
しているため、温度依存性も0.01nm/℃になる。
さらにチャープトグレーティングの製造には狭帯域ファ
イバグレーティングの製造と同様、エキシマレーザ、位
相マスク等を用いる方法が適用可能であり、製造技術の
大幅な変更の必要がない。
According to the present invention, taking advantage of the characteristics of a chirped fiber grating in which the Bragg wavelength changes, the entire grating is divided into a plurality of regions, and the transmittance at the center Bragg wavelength of each region and the amplitude of the grating in each region Is made one-to-one, design becomes easy and the transmittance wavelength characteristic can be freely controlled. Further, since the coupling between the fundamental modes propagating in the core is used, the temperature dependency is 0.01 nm / ° C.
Further, as in the manufacture of the narrow band fiber grating, a method using an excimer laser, a phase mask, or the like can be applied to the manufacture of the chirped grating, and there is no need to largely change the manufacturing technology.

【0034】本発明によれば、屈折率の変化の周期が長
手方向に徐々に変化する短周期のいわゆるチャープグレ
ーティングを用い、長手方向の屈折率変調の大きさを局
所的に変化させることにより、所望の透過損失スペクト
ル特性が得られる。グレーティングが形成されても利用
波長帯域内で光伝送路の平均屈折率を一定にすることに
より、透過損失スペクトルが急峻に変化するフィルタ特
性が要求される場合でもスペクトル特性に不要なリップ
ルが発生するのが抑制され、所望のフィルタ特性を忠実
に実現することができる。光増幅器を通過して伝送する
光信号の波長に対する出力の変動を打ち消すようにグレ
ーティングの屈折率変調を変化させ、グレーティング透
過後の波長に対する光出力を平坦化させることができ
る。光増幅媒体を添加した光ファイバか、あるいは平面
光導波路に、直接グレーティングを形成し、光増幅器能
を有する伝送路と一体化させて個々の光増幅器ごとに利
得特性の平坦化を図ることにより、利得等化器を有する
光増幅器を得ることができ、デバイスの小型化が可能に
なる。グレーティングの前段にアイソレータを挿入する
ことにより、グレーティング部によって発生する不要な
反射光を除去し、光増幅器の利得特性の変動への影響を
抑制することができる。
According to the present invention, a so-called chirp grating having a short period in which the period of change of the refractive index gradually changes in the longitudinal direction is used, and the magnitude of the refractive index modulation in the longitudinal direction is locally changed. Desired transmission loss spectral characteristics are obtained. Even if a grating is formed, by keeping the average refractive index of the optical transmission line constant within the used wavelength band, unnecessary ripples are generated in the spectral characteristics even when filter characteristics in which the transmission loss spectrum changes sharply are required. Is suppressed, and a desired filter characteristic can be faithfully realized. By changing the refractive index modulation of the grating so as to cancel the fluctuation of the output with respect to the wavelength of the optical signal transmitted through the optical amplifier, the optical output with respect to the wavelength after passing through the grating can be flattened. By forming a grating directly on an optical fiber to which an optical amplification medium is added, or on a planar optical waveguide, and integrating it with a transmission line having optical amplifier capability to flatten the gain characteristics of each optical amplifier, An optical amplifier having a gain equalizer can be obtained, and the size of the device can be reduced. By inserting an isolator before the grating, unnecessary reflected light generated by the grating unit can be removed, and the influence on the gain characteristics of the optical amplifier can be suppressed.

【0035】本発明によれば、ブラッグ波長が使用帯域
を含む領域で変化するチャープトグレーティングの振幅
を光伝搬軸方向に変調し、グレーティングのブラッグ波
長における所望のフィルタ透過率とグレーティングの振
幅変調度とを1対1対応させることにより、設計製造が
容易になり、透過率の細かい制御が容易となる。コアを
伝搬する基底モード間での結合を利用しているため、温
度依存性が0.01nm/℃になる。チャープトグレー
ティングの製造には狭帯域ファイバブラッググレーティ
ングの製造と同様、エキシマレーザ、位相マスク等を用
いる方法が適用可能であり、製造技術の大幅な変更がな
い。
According to the present invention, the amplitude of the chirped grating whose Bragg wavelength changes in a region including the used band is modulated in the direction of the light propagation axis, and the desired filter transmittance and the amplitude modulation degree of the grating at the Bragg wavelength of the grating are obtained. Is made one-to-one, design and manufacture are facilitated, and fine control of transmittance is facilitated. Since the coupling between the fundamental modes propagating through the core is used, the temperature dependency becomes 0.01 nm / ° C. As in the manufacture of the narrow band fiber Bragg grating, a method using an excimer laser, a phase mask or the like can be applied to the manufacture of the chirped grating, and there is no significant change in the manufacturing technology.

【0036】[0036]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0037】図1(a)は本発明のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタの一実施の形態を示す構造図であ
り、図1(b)は図1(a)に示したチャープトグレー
ティング型光フィルタの領域とブラッグ波長及びグレー
ティング振幅との関係を示す図であり、図1(c)は図
1(a)に示したチャープトグレーティング型光フィル
タの波長の領域と波長及び透過率との関係を示す図であ
る。図1(b)において、横軸がブラッグ波長軸であ
り、縦軸がグレーティング振幅軸である。図1(c)に
おいて、横軸が波長軸であり、縦軸が透過率軸である。
FIG. 1A is a structural view showing one embodiment of a chirped grating type optical filter of the present invention, and FIG. 1B is a chirped grating type optical filter shown in FIG. 1A. FIG. 1C is a diagram showing the relationship between the Bragg wavelength and the grating amplitude, and FIG. 1C shows the relationship between the wavelength region and the wavelength and the transmittance of the chirped grating type optical filter shown in FIG. FIG. In FIG. 1B, the horizontal axis is the Bragg wavelength axis, and the vertical axis is the grating amplitude axis. In FIG. 1C, the horizontal axis is the wavelength axis, and the vertical axis is the transmittance axis.

【0038】本チャープトグレーティング型光フィルタ
20は、光ファイバ10にチャープトグレーティング1
1が形成されたものである(図1(a))。このチャー
プトグレーティング11は複数の領域A1、A2、A
3、…に分割されており、各グレーティングの振幅は各
領域A1、A2、A3、…の中心でのブラッグ波長とグ
レーティング振幅との関係(図1(b))で表されるよ
うに変調されている。各領域A1、A2、A3、…の中
心でのブラッグ波長とグレーティング振幅との関係と所
望の透過率特性(図1(c))との横軸は対応してい
る。チャープトグレーティング11は、ブラッグ波長で
の所望の透過率によりそのブラッグ波長を有する領域の
振幅を決定するという設計法に基づいて製造したもので
ある。
The chirped grating type optical filter 20 includes a chirped grating 1
1 is formed (FIG. 1A). The chirped grating 11 has a plurality of areas A1, A2, A
, And the amplitude of each grating is modulated as represented by the relationship between the Bragg wavelength and the grating amplitude at the center of each region A1, A2, A3,... (FIG. 1B). ing. The horizontal axis of the relationship between the Bragg wavelength and the grating amplitude at the center of each of the regions A1, A2, A3,... Corresponds to the desired transmittance characteristic (FIG. 1C). The chirped grating 11 is manufactured based on a design method in which the amplitude of a region having the Bragg wavelength is determined by a desired transmittance at the Bragg wavelength.

【0039】図2(a)は図1(a)に示したチャープ
トグレーティング型光フィルタの製造方法を適用した装
置の概念図であり、図2(b)は図2(a)に示した装
置を用いたときの光ファイバの領域と照射時間との関係
を示す図であり、図2(c)は図2(a)に示した装置
を用いた時の光ファイバの領域と波長との関係を示す図
である。図2(b)において横軸が位置軸であり、縦軸
が照射時間軸である。図2(c)において横軸が波長軸
であり、縦軸が透過率軸である。
FIG. 2A is a conceptual diagram of an apparatus to which the method for manufacturing a chirped grating type optical filter shown in FIG. 1A is applied, and FIG. 2B is a view shown in FIG. FIG. 2C is a diagram showing the relationship between the region of the optical fiber and the irradiation time when the device is used, and FIG. 2C shows the relationship between the region of the optical fiber and the wavelength when the device shown in FIG. It is a figure showing a relation. In FIG. 2B, the horizontal axis is the position axis, and the vertical axis is the irradiation time axis. In FIG. 2C, the horizontal axis is the wavelength axis, and the vertical axis is the transmittance axis.

【0040】図2(a)において、12はエキシマレー
ザ光(紫外レーザ光でもよい)、13はエキシマレーザ
光12を光ファイバ10側に折り曲げると共に、光ファ
イバ10の長手方向に沿って移動自在な可動反射ミラ
ー、14は光ファイバ10と平行に配置される位相マス
クである。
In FIG. 2A, reference numeral 12 denotes an excimer laser beam (which may be an ultraviolet laser beam), and reference numeral 13 denotes a beam which bends the excimer laser beam 12 toward the optical fiber 10 and is movable along the longitudinal direction of the optical fiber 10. The movable reflection mirror 14 is a phase mask arranged in parallel with the optical fiber 10.

【0041】エキシマレーザ光12は分割された領域A
1、A2、A3、…と略同等のビーム直径を有する。こ
のエキシマレーザ光12が可動反射ミラー13で反射さ
れ、位相マスク14を通過した後、光ファイバ10に照
射される。可動反射ミラー13のスキャンスピードで各
領域へのエキシマレーザ光12の照射量が調整される。
所望の透過率特性(図2(c))を得るため、図2
(b)に示すような照射時間で照射を行う。チャープト
グレーティング11の形成後に位相マスク14を取り去
り、平均屈折率が伝搬軸方向に一定になるようにエキシ
マレーザ光12を照射する処理を行う。
The excimer laser beam 12 is divided into the divided areas A
Have substantially the same beam diameter as 1, A2, A3,... The excimer laser light 12 is reflected by the movable reflection mirror 13, passes through the phase mask 14, and irradiates the optical fiber 10. The irradiation amount of the excimer laser beam 12 to each area is adjusted by the scanning speed of the movable reflection mirror 13.
To obtain desired transmittance characteristics (FIG. 2C), FIG.
Irradiation is performed for an irradiation time as shown in FIG. After the formation of the chirped grating 11, the phase mask 14 is removed, and a process of irradiating the excimer laser beam 12 so that the average refractive index becomes constant in the propagation axis direction is performed.

【0042】図3(a)は図1(a)に示した利得等化
器とEDFAとの接続図、図3(b)は図3(a)に示
したEDFAの波長利得特性図、図3(c)は図3
(a)に示した利得等化器の波長透過率特性図、図3
(d)は図3(a)の出力スペクトルを示す波長利得特
性図である。図3(b)〜(d)において横軸は波長軸
であり、図3(b)、(d)において縦軸は利得軸、図
3(c)において縦軸は透過率軸である。
FIG. 3 (a) is a connection diagram between the gain equalizer and the EDFA shown in FIG. 1 (a), and FIG. 3 (b) is a wavelength gain characteristic diagram of the EDFA shown in FIG. 3 (a). 3 (c) is FIG.
FIG. 3 is a wavelength transmittance characteristic diagram of the gain equalizer shown in FIG.
FIG. 3D is a wavelength gain characteristic diagram showing the output spectrum of FIG. 3B to 3D, the horizontal axis is the wavelength axis, in FIGS. 3B and 3D, the vertical axis is the gain axis, and in FIG. 3C, the vertical axis is the transmittance axis.

【0043】図10に示した従来例では3段の長周期グ
レーティングが必要であるのに対して、本チャープトグ
レーティング型光フィルタ20は長周期グレーティング
11が1段でよく構成が簡単になっていることが分か
る。また、本チャープトグレーティング型光フィルタ2
0はきめ細かな透過率波長依存性の制御が可能なので、
EDFA5の利得の波長依存性だけでなく、システム中
に挿入されるフィルタやカプラ等の部品による損失波長
依存性をキャンセルし、波長平坦化が可能である。
While the conventional example shown in FIG. 10 requires a three-stage long-period grating, the chirped grating type optical filter 20 has only one long-period grating 11 and has a simple structure. You can see that there is. The chirped grating type optical filter 2
0 allows fine control of transmittance wavelength dependence.
Not only the wavelength dependence of the gain of the EDFA 5 but also the loss wavelength dependence due to components such as filters and couplers inserted into the system can be canceled and the wavelength can be flattened.

【0044】以上において本実施の形態では、ブラッグ
波長が変化するチャープトグレーティングの特性を生か
し、グレーティング全体を複数の領域に分割し、各領域
の中心のブラッグ波長における透過率とその領域のグレ
ーティングの振幅とを1対1対応させることにより、設
計が簡単になり、透過率波長特性を自在に制御すること
ができる。また、コアを伝搬する基底モード間での結合
を利用しているため温度依存性を0.01nm/℃にで
きる。さらにチャープトグレーティングの製造には狭帯
域ファイバブラッググレーティングの製造と同様に、エ
キシマレーザ、位相マスクなどを用いる方法が適用可能
であり、製造技術の大幅な変更の必要がない。
As described above, in the present embodiment, the entire grating is divided into a plurality of regions by making use of the characteristics of the chirped grating in which the Bragg wavelength changes, and the transmittance at the Bragg wavelength at the center of each region and the grating in that region are determined. By making the amplitude correspond one-to-one, the design becomes simple, and the transmittance-wavelength characteristic can be freely controlled. Further, since the coupling between the fundamental modes propagating through the core is used, the temperature dependency can be set to 0.01 nm / ° C. In addition, a method using an excimer laser, a phase mask, or the like can be applied to the production of a chirped grating, similarly to the production of a narrow-band fiber Bragg grating, and there is no need to significantly change the production technique.

【0045】図4(a)は本発明のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタの他の実施の形態を示す構造図であ
り、図4(b)は図4(a)に示した光フィルタの長手
方向の位置と誘起屈折率との関係を示す図であり、図4
(c)は図4(a)に示した光フィルタの波長と透過損
失との関係を示す図である。図4(b)において横軸が
位置軸であり、縦軸が誘起屈折率軸である。図4(c)
において横軸が波長軸であり、縦軸が透過損失軸であ
る。
FIG. 4A is a structural view showing another embodiment of the chirped grating type optical filter of the present invention, and FIG. 4B is a longitudinal direction of the optical filter shown in FIG. 4A. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the position of the laser beam and the induced refractive index.
FIG. 5C is a diagram illustrating a relationship between the wavelength and the transmission loss of the optical filter illustrated in FIG. In FIG. 4B, the horizontal axis is the position axis, and the vertical axis is the induced refractive index axis. FIG. 4 (c)
In, the horizontal axis is the wavelength axis, and the vertical axis is the transmission loss axis.

【0046】ここで、光ファイバ(あるいは平面光導波
路)のコアに形成された屈折率の変化の周期が長手方向
に徐々に変化する、いわゆるチャープグレーティングの
フィルタ特性を示す帯域は、グレーティングのチャープ
率(単位長さ当たりのグレーティングピッチの変化量)
によって決定され、1nm以下の狭帯域から数十nmの
広帯域まで実現することができる。チャープグレーティ
ングにおいては、グレーティングが書き込まれる長手方
向の位置がそれぞれ波長に対応する。すなわち、グレー
ティング周期が短い部分では短波長の光を反射し、グレ
ーティング周期が長い部分では長波長の光を反射する。
Here, the band showing the filter characteristic of the so-called chirp grating, in which the period of the change of the refractive index formed in the core of the optical fiber (or the planar optical waveguide) gradually changes in the longitudinal direction, is the chirp rate of the grating. (Change in grating pitch per unit length)
And can be realized from a narrow band of 1 nm or less to a wide band of several tens nm. In a chirped grating, the position in the longitudinal direction where the grating is written corresponds to each wavelength. That is, light having a short wavelength is reflected in a portion having a short grating period, and light having a long wavelength is reflected in a portion having a long grating period.

【0047】本実施の形態は、チャープグレーティング
を用い、さらに長手方向に屈折率変調の大きさを変化さ
せたものである。
In this embodiment, a chirp grating is used, and the magnitude of the refractive index modulation is changed in the longitudinal direction.

【0048】本チャープトグレーティング型光フィルタ
20aは、光ファイバ(平面光導波路等)10の光伝送
路(コア)内に、長手方向において屈折率の変化の周期
が変化するチャープトグレーティング11aが形成され
ている。そのチャープ率及びグレーティング長は使用す
るフィルタ特性の帯域によって決定される。
In the chirped grating type optical filter 20a, a chirped grating 11a whose refractive index changes in the longitudinal direction is formed in the optical transmission line (core) of the optical fiber (plane optical waveguide or the like) 10 in the longitudinal direction. Have been. The chirp rate and grating length are determined by the band of the filter characteristic used.

【0049】本チャープトグレーティング型光フィルタ
20aでは、使用するフィルタ特性の帯域をEDFAの
利得帯域である1525nm〜1565nmとし、チャ
ープトグレーティング長を50mmとした。さらに図4
(b)に示すように、所望するフィルタ特性に従って、
チャープトグレーティング11aの誘起屈折率変調の大
きさを変化させた。図4(b)の誘起屈折率変調の分布
は一例であるが、このように誘起屈折率変調を有するチ
ャープグレーティングを形成すれば図4(c)に示すよ
うに屈折率変調周期の短い部分は短波長領域に対応し、
屈折率周期の長い部分は長波長領域に対応した透過損失
特性を示すことになる。
In the chirped grating type optical filter 20a, the band of the filter characteristics to be used is 1525 nm to 1565 nm, which is the gain band of the EDFA, and the chirped grating length is 50 mm. FIG. 4
As shown in (b), according to a desired filter characteristic,
The magnitude of the induced refractive index modulation of the chirped grating 11a was changed. The distribution of the induced refractive index modulation in FIG. 4B is an example, but if a chirped grating having the induced refractive index modulation is formed as described above, as shown in FIG. For short wavelength region,
A portion having a long refractive index period shows transmission loss characteristics corresponding to a long wavelength region.

【0050】従って、この屈折率変調の大きさを任意に
変化させることによって、所望の透過特性を有するチャ
ープトグレーティング型光フィルタを容易に形成するこ
とができる。
Therefore, by arbitrarily changing the magnitude of the refractive index modulation, a chirped grating type optical filter having desired transmission characteristics can be easily formed.

【0051】また、本実施の形態では図4(b)の破線
で示すように誘起屈折率の平均値は利用波長帯域内で一
定になるようになっている。一般に屈折率変調の大きさ
を長手方向に変化させると、平均屈折率の分布が生じ、
ファブリペロー共振によって多重反射が生じ不要なリッ
プルが発生するために急峻なスペクトル特性を実現する
ことができない。この不要なリップルを避けるため、本
実施の形態では屈折率変調の大きさが長手方向に変化す
るグレーティングを形成しても利用波長帯域内で平均屈
折率が一定になるようになっている。
In this embodiment, as shown by the broken line in FIG. 4B, the average value of the induced refractive index is constant within the wavelength band to be used. Generally, when the magnitude of the refractive index modulation is changed in the longitudinal direction, an average refractive index distribution occurs,
Because of Fabry-Perot resonance, multiple reflections occur and unnecessary ripples occur, steep spectral characteristics cannot be realized. In order to avoid this unnecessary ripple, in the present embodiment, even if a grating whose refractive index modulation changes in the longitudinal direction is formed, the average refractive index is constant within the wavelength band used.

【0052】図5は図4(a)に示したチャープグレー
ティングを形成するためのグレーティング形成方法の説
明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a grating forming method for forming the chirped grating shown in FIG.

【0053】本グレーティング形成方法によるチャープ
トグレーティング11aの形成は、紫外光誘起屈折率変
化を利用するものである。すなわち本グレーティング形
成方法は、ゲルマニウムの添加された石英ガラスに紫外
レーザ光を照射すると屈折率が上昇する現象を利用する
ものである。例えば、ゲルマニウムの添加された光ファ
イバ(あるいは平面光導波路)10aに位相マスク14
を介してエキシマレーザ光15を照射することにより容
易に形成できる。紫外レーザであるエキシマレーザ光1
5を位相マスク14に入射すると、位相マスク14の出
射側に±1次回折光が発生してこれらの回折光が互いに
干渉して干渉パターンを形成する。この干渉パターンの
周期は位相マスク14の周期によって決定され、この周
期を適切に設計することで、グレーティング周期に等し
い紫外光の干渉パターンを得ることができる。
The formation of the chirped grating 11a by the present grating forming method utilizes ultraviolet light-induced change in refractive index. That is, the present grating forming method utilizes a phenomenon in which the refractive index increases when ultraviolet laser light is applied to quartz glass to which germanium is added. For example, a phase mask 14 is attached to an optical fiber (or a planar optical waveguide) 10a doped with germanium.
It can be easily formed by irradiating the excimer laser beam 15 through the substrate. Excimer laser light 1 which is an ultraviolet laser
When 5 enters the phase mask 14, ± 1st-order diffracted lights are generated on the exit side of the phase mask 14, and these diffracted lights interfere with each other to form an interference pattern. The period of this interference pattern is determined by the period of the phase mask 14, and by appropriately designing this period, an interference pattern of ultraviolet light equal to the grating period can be obtained.

【0054】そこで、光ファイバや光導波路等の光伝送
路を位相マスク14の真下に配置すれば、エキシマレー
ザ光によって光伝搬領域であるコアに誘起された屈折率
変化を利用して所望のピッチを有するグレーティングを
形成することができる。
Therefore, if an optical transmission line such as an optical fiber or an optical waveguide is arranged directly below the phase mask 14, a desired pitch can be obtained by utilizing a change in the refractive index induced by the excimer laser light in the core which is a light propagation region. Can be formed.

【0055】本実施の形態では、前述した所望のフィル
タ特性が得られるチャープ率を有する位相マスク14を
用いた。また、グレーティングの誘起屈折率変調の大き
さは、照射ビームの強度か、あるいは照射時間によって
制御することができる。
In the present embodiment, the phase mask 14 having a chirp ratio that can obtain the desired filter characteristics described above is used. The magnitude of the induced refractive index modulation of the grating can be controlled by the intensity of the irradiation beam or the irradiation time.

【0056】図5に示したグレーティング形成装置を用
いてエキシマレーザ光15のビームを位相マスク14上
で可動反射ミラー13によって長手方向にスキャンし、
スキャン速度を制御することにより局所的に照射時間を
変化させて、光ファイバ10aに書き込まれるグレーテ
ィングの誘起屈折率変調の大きさを制御した。
The beam of the excimer laser beam 15 is scanned in the longitudinal direction on the phase mask 14 by the movable reflection mirror 13 using the grating forming apparatus shown in FIG.
The magnitude of the induced refractive index modulation of the grating written in the optical fiber 10a was controlled by locally changing the irradiation time by controlling the scanning speed.

【0057】また、本実施の形態では、前述の図4
(b)の破線で示したように利用波長帯域内での平均屈
折率が均一になるようにした。これはグレーティング書
込みによる屈折率上昇変化分をキャンセルするように、
位相マスク14を外し長手方向にスキャンする速度を制
御して、逆特性の屈折率分布を生じさせ、平均屈折率の
均一化を図ったものである。このスキャン速度制御によ
り、透過損失スペクトルが急峻に変化するフィルタ特性
が要求される場合でも、スペクトル特性に不要なリップ
ルが発生するのを抑制し、所望のフィルタ特性を忠実に
実現することができる。
Also, in the present embodiment, the aforementioned FIG.
As shown by the dashed line in (b), the average refractive index within the used wavelength band was made uniform. This is to cancel the change in the refractive index rise due to the writing of the grating.
By controlling the speed of scanning in the longitudinal direction with the phase mask 14 removed, a refractive index distribution having reverse characteristics is generated, and the average refractive index is made uniform. By this scan speed control, even when filter characteristics in which the transmission loss spectrum changes sharply are required, generation of unnecessary ripples in the spectrum characteristics can be suppressed, and desired filter characteristics can be faithfully realized.

【0058】図6(a)は図4(a)に示したチャープ
トグレーティング型光フィルタの適用例を示す模式図で
あり、図6(b)は図6(a)に示した光増幅器の利得
特性図であり、図6(c)は図6(a)に示したチャー
プトグレーティング型光フィルタの透過特性図であり、
図6(c)は図6(a)に示した光増幅器の利得平坦化
後の出力特性図である。図6(b)〜(c)において横
軸は波長軸であり、図6(b)において縦軸は利得軸で
あり、図6(c)において縦軸は透過率軸であり、図6
(d)において縦軸は光出力軸である。
FIG. 6A is a schematic diagram showing an application example of the chirped grating type optical filter shown in FIG. 4A, and FIG. 6B is a diagram showing the optical amplifier of the optical amplifier shown in FIG. FIG. 6C is a transmission characteristic diagram of the chirped grating type optical filter shown in FIG.
FIG. 6C is an output characteristic diagram of the optical amplifier shown in FIG. 6A after gain flattening. 6B to 6C, the horizontal axis is the wavelength axis, the vertical axis is the gain axis in FIG. 6B, and the vertical axis is the transmittance axis in FIG. 6C.
In (d), the vertical axis is the light output axis.

【0059】図6(a)は本発明のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタ20aを用いてEDFA5の波長に
対する利得の変動を打ち消すように挿入したものであ
る。このようなチャープトグレーティング型光フィルタ
20aを用いることにより、グレーティング透過後の波
長に対する各光信号出力が平坦化される。
FIG. 6 (a) shows an insertion using the chirped grating type optical filter 20a of the present invention so as to cancel the fluctuation of the gain with respect to the wavelength of the EDFA 5. By using such a chirped grating type optical filter 20a, the output of each optical signal with respect to the wavelength after transmission through the grating is flattened.

【0060】また、本実施の形態では通常の光ファイバ
だけでなく、光増幅媒体を添加した光ファイバEDF
か、あるいは平面光導波路に形成された光導波路EDW
にも同様に形成できる。これはこれらの光増幅媒体を添
加した光伝送路もコア領域にはゲルマニウムが添加され
ているため、エキシマレーザ光により容易に屈折率変化
を誘起させることができるためである。
In this embodiment, not only a normal optical fiber but also an optical fiber EDF added with an optical amplification medium is used.
Or an optical waveguide EDW formed on a planar optical waveguide
Can be similarly formed. This is because the refractive index change can be easily induced by excimer laser light because germanium is added to the core region of the optical transmission line to which the optical amplification medium is added.

【0061】このような光増幅媒体を添加した光伝送路
に直接本グレーティング型光フィルタを形成すれば、利
得等化器を有する光増幅器を実現することができる。
If the present grating type optical filter is formed directly on the optical transmission line to which such an optical amplifying medium is added, an optical amplifier having a gain equalizer can be realized.

【0062】また、本実施の形態ではグレーティング部
で反射される戻り光の影響を除去するために、グレーテ
ィング前段にアイソレータを挿入した。このアイソレー
タの挿入により、反射戻り光による光増幅器の動作が不
安定になることが回避される。
Further, in this embodiment, an isolator is inserted before the grating in order to eliminate the influence of the return light reflected by the grating. This insertion of the isolator prevents the operation of the optical amplifier from becoming unstable due to the reflected return light.

【0063】以上において、EDFAの有する利得の波
長特性と逆の損失波長特性を有するファイバグレーティ
ングをEDFAの出力に挿入することにより、全体とし
ては利用波長領域で平坦な波長特性を有する光伝送系を
実現することができる。このような利得等化器として機
能する本グレーティング型光フィルタは、薄膜フィルタ
や長周期グレーティングと比較すると、低損失であり温
度依存性が少ない任意のフィルタ特性を容易に実現で
き、小型化できる。
In the above, by inserting a fiber grating having a loss wavelength characteristic opposite to the gain wavelength characteristic of the EDFA into the output of the EDFA, an optical transmission system having a flat wavelength characteristic in the use wavelength region as a whole is obtained. Can be realized. The present grating type optical filter functioning as such a gain equalizer can easily realize any filter characteristics with low loss and little temperature dependency as compared with a thin film filter or a long period grating, and can be downsized.

【0064】図7(a)は本発明のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタの他の実施の形態を示す構造図であ
り、図7(b)は図7(a)に示した光フィルタのグレ
ーティングの振幅変調の様子を示す図であり、図7
(c)は図7(a)に示した光フィルタの透過率波長依
存性を示す図である。図7(b)において横軸が位置軸
であり、縦軸が光誘起屈折率軸である。図7(c)にお
いて横軸が波長軸であり、縦軸が透過率軸である。
FIG. 7A is a structural view showing another embodiment of the chirped grating type optical filter of the present invention, and FIG. 7B is a diagram showing the grating of the optical filter shown in FIG. 7A. FIG. 7 is a diagram showing a state of amplitude modulation, and FIG.
FIG. 8C is a diagram illustrating the transmittance wavelength dependence of the optical filter illustrated in FIG. In FIG. 7B, the horizontal axis is the position axis, and the vertical axis is the photo-induced refractive index axis. In FIG. 7C, the horizontal axis is the wavelength axis, and the vertical axis is the transmittance axis.

【0065】図7(a)に示すチャープトグレーティン
グ型光フィルタ20bは、光ファイバ10bにチャープ
トグレーティング11bが形成されたものである。チャ
ープトグレーティング11bの周期は530nm程度で
ある(図はあくまでもイメージ図であり、周期等は正確
ではない。)。ブラッグ波長は入力側から出力側(図で
は左から右へ)に向かって1520nmから1570n
mへと変化している。ここで、チャープトグレーティン
グ11bの振幅は光フィルタに所望される透過率に合わ
せて伝搬軸方向に変調されているが、平均の屈折率は伝
搬軸方向に一定になっている。図7(c)にグレーティ
ング振幅変調が反映されているのが分かる。
The chirped grating type optical filter 20b shown in FIG. 7A is obtained by forming a chirped grating 11b on an optical fiber 10b. The period of the chirped grating 11b is about 530 nm (the figure is only an image diagram, and the period is not accurate). The Bragg wavelength ranges from 1520 nm to 1570 n from the input side to the output side (left to right in the figure).
m. Here, the amplitude of the chirped grating 11b is modulated in the propagation axis direction according to the transmittance desired for the optical filter, but the average refractive index is constant in the propagation axis direction. FIG. 7C shows that the grating amplitude modulation is reflected.

【0066】図8(a)は本発明のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタの製造方法の他の実施の形態を示す
説明図であり、図8(b)は図8(a)に示したアパー
チャーの平面図である。
FIG. 8A is an explanatory view showing another embodiment of the method for manufacturing a chirped grating type optical filter according to the present invention, and FIG. 8B is a diagram showing the aperture of the aperture shown in FIG. It is a top view.

【0067】この製造方法は一般に行われているファイ
バブラッグの製造方法の一つである位相マスク法を応用
したものである。すなわちエキシマレーザ光15を位相
マスク14の真下に配置された光ファイバ10cに照射
するものである。
This manufacturing method is an application of the phase mask method, which is one of the generally used methods of manufacturing a fiber Bragg. That is, the excimer laser light 15 is irradiated onto the optical fiber 10c disposed directly below the phase mask 14.

【0068】本製造方法の特徴は、エキシマレーザ光1
5の光路途中にアパーチャー16と集光レンズ(シリン
ドリカルレンズ)17とを挿入することにより、光ファ
イバ10cの伝搬軸方向に照射されるエキシマレーザ光
15のパワーを変化させることにある。
The feature of this manufacturing method is that the excimer laser beam 1
By inserting an aperture 16 and a condenser lens (cylindrical lens) 17 in the middle of the optical path 5, the power of the excimer laser light 15 irradiated in the propagation axis direction of the optical fiber 10c is changed.

【0069】アパーチャー16は白抜きの部分16aの
みエキシマレーザ光15を透過するようになっている。
アパーチャー16はアルミ板を加工して作製したもので
あり、アパーチャー16の白抜き部分(貫通孔)16a
の形状を変更することができる。グレーティング振幅は
照射されるエキシマレーザ光15のパワーによって制御
可能なため、容易に振幅変調を制御することができる。
グレーティング形成後に位相マスク14を取り去り、ア
パーチャー16の白抜き部分16aと反対のビームパワ
ー分布を与えるアパーチャー(図示せず。)を用いて平
均屈折率を伝搬軸方向に一定にする処理を行った。
The aperture 16 is configured to transmit the excimer laser light 15 only in the white portion 16a.
The aperture 16 is formed by processing an aluminum plate, and a white portion (through hole) 16a of the aperture 16 is formed.
Can be changed. Since the grating amplitude can be controlled by the power of the irradiated excimer laser beam 15, the amplitude modulation can be easily controlled.
After the grating was formed, the phase mask 14 was removed, and an aperture (not shown) giving a beam power distribution opposite to that of the white portion 16a of the aperture 16 was used to make the average refractive index constant in the propagation axis direction.

【0070】なお、チャープトグレーティング型光フィ
ルタの製造にアパーチャー16を用いる代わりに狭帯域
フィルタ用ファイバブラッググレーティングの作製で一
般に行われているビームスキャン法でも可能である。ビ
ームスキャン法とは、光ファイバの伝搬軸方向にビーム
径1mm程度のUV光をスキャンして、スキャン速度等
を変化させることによりアポダイゼーションを行う方法
である。なお、エキシマレーザ光の代わりに他の紫外レ
ーザを用いてもよい。
Instead of using the aperture 16 for manufacturing a chirped grating type optical filter, a beam scanning method generally used for manufacturing a fiber Bragg grating for a narrow band filter is also possible. The beam scanning method is a method of performing apodization by scanning UV light having a beam diameter of about 1 mm in the direction of the propagation axis of an optical fiber and changing a scanning speed or the like. Note that another ultraviolet laser may be used instead of the excimer laser light.

【0071】図9(a)は図7(a)に示したチャープ
トグレーティング型光フィルタを利得等化器としてED
FAに接続したときの利得等化の説明図であり、図9
(a)は利得等化器とEDFAとの接続図、図9(b)
はEDFAの波長利得特性図、図9(c)は利得等化器
の波長透過率特性図、図9(d)は出力スペクトルを示
す図である。
FIG. 9A shows an ED using the chirped grating type optical filter shown in FIG. 7A as a gain equalizer.
FIG. 9 is an explanatory diagram of gain equalization when connected to an FA.
FIG. 9A is a connection diagram between a gain equalizer and an EDFA, and FIG.
FIG. 9C is a diagram illustrating a wavelength gain characteristic of the EDFA, FIG. 9C is a diagram illustrating a wavelength transmittance characteristic of the gain equalizer, and FIG. 9D is a diagram illustrating an output spectrum.

【0072】従来は図10に示すように3段の長周期グ
レーティングが必要であったが、本チャープトグレーテ
ィング型光フィルタ20bは1段ですむため構成が簡単
になっている。また、きめ細かな透過率波長依存性の制
御が可能なので、EDFA5の利得の波長依存性だけで
なく、システム中に挿入されるフィルタやカプラなどの
部品による損失波長依存性をキャンセルし、波長平坦化
が可能である。
Conventionally, as shown in FIG. 10, a three-stage long-period grating was required. However, the chirped grating type optical filter 20b requires only one stage, so that the configuration is simplified. In addition, fine control of transmittance wavelength dependence is possible, which cancels not only wavelength dependence of gain of EDFA5 but also loss wavelength dependence due to components such as filters and couplers inserted in the system, and flattens wavelength. Is possible.

【0073】以上において本実施の形態によれば、チャ
ープトグレーティングの振幅を光伝搬軸方向に変調し、
グレーティングのブラッグ波長における所望のフィルタ
透過率とグレーティングの振幅変調度を1対1対応させ
ることにより、設計製造が容易になり、透過率の細かい
制御も可能となる。コアを伝搬する基底モード間での結
合を利用しているため温度依存性を0.01nm/℃に
することができる。チャープトグレーティングの作製に
は狭帯域ファイバブラッググレーティングの作製と同
様、エキシマレーザ、位相マスク等を用いる方法が適用
可能であり、作製技術の大幅な変更がない。
As described above, according to the present embodiment, the amplitude of the chirped grating is modulated in the light propagation axis direction.
By making the desired filter transmittance at the Bragg wavelength of the grating correspond to the amplitude modulation degree of the grating on a one-to-one basis, design and manufacture become easy, and fine control of the transmittance becomes possible. Since the coupling between the fundamental modes propagating through the core is used, the temperature dependency can be set to 0.01 nm / ° C. A method using an excimer laser, a phase mask, or the like can be applied to the production of the chirped grating similarly to the production of the narrow-band fiber Bragg grating, and there is no significant change in the production technique.

【0074】[0074]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.

【0075】製造が容易で平坦な波長特性を有し、きめ
の細かい透過率波長依存性の調整が可能なチャープトグ
レーティング型光フィルタ及びその製造方法の提供を実
現することができる。
It is possible to provide a chirped grating type optical filter which is easy to manufacture, has a flat wavelength characteristic, and allows fine adjustment of transmittance wavelength dependence, and a method of manufacturing the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明のチャープトグレーティング型
光フィルタの一実施の形態を示す構造図であり、(b)
は(a)に示したチャープトグレーティング型光フィル
タの領域とブラッグ波長及びグレーティング振幅との関
係を示す図であり、(c)は(a)に示したチャープト
グレーティング型光フィルタの波長の領域と波長及び透
過率との関係を示す図である。
FIG. 1A is a structural view showing one embodiment of a chirped grating type optical filter of the present invention, and FIG.
4A is a diagram showing a relationship between the region of the chirped grating optical filter shown in FIG. 5A and the Bragg wavelength and the grating amplitude, and FIG. 5C is a diagram showing the wavelength region of the chirped grating optical filter shown in FIG. FIG. 4 is a diagram showing a relationship between wavelength, and transmittance.

【図2】(a)は図1(a)に示したチャープトグレー
ティング型光フィルタの製造方法を適用した装置の概念
図であり、(b)は(a)に示した装置を用いたときの
光ファイバの領域と照射時間との関係を示す図であり、
(c)は(a)に示した装置を用いた時の光ファイバの
領域と波長との関係を示す図である。
2A is a conceptual diagram of an apparatus to which the method for manufacturing a chirped grating type optical filter shown in FIG. 1A is applied, and FIG. 2B is a diagram when the apparatus shown in FIG. It is a diagram showing the relationship between the area of the optical fiber and the irradiation time,
(C) is a diagram showing the relationship between the region of the optical fiber and the wavelength when the device shown in (a) is used.

【図3】(a)は図1(a)に示した利得等化器とED
FAとの接続図、(b)は(a)に示したEDFAの波
長利得特性図、(c)は(a)に示した利得等化器の波
長透過率特性図、(d)は(a)の出力スペクトルを示
す波長利得特性図である。
FIG. 3 (a) shows a gain equalizer and an ED shown in FIG. 1 (a).
(B) is a wavelength gain characteristic diagram of the EDFA shown in (a), (c) is a wavelength transmittance characteristic diagram of the gain equalizer shown in (a), and (d) is (a) 3 is a wavelength gain characteristic diagram showing an output spectrum of FIG.

【図4】(a)は本発明のチャープトグレーティング型
光フィルタの他の実施の形態を示す構造図であり、
(b)は(a)に示した光フィルタの長手方向の位置と
誘起屈折率との関係を示す図であり、(c)は(a)に
示した光フィルタの波長と透過損失との関係を示す図で
ある。
FIG. 4A is a structural view showing another embodiment of the chirped grating type optical filter of the present invention;
(B) is a diagram showing the relationship between the position in the longitudinal direction of the optical filter shown in (a) and the induced refractive index, and (c) is the relationship between the wavelength of the optical filter shown in (a) and the transmission loss. FIG.

【図5】図4(a)に示したチャープグレーティングを
形成するためのグレーティング形成方法の説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a grating forming method for forming the chirped grating shown in FIG.

【図6】(a)は図4(a)に示したチャープトグレー
ティング型光フィルタの適用例を示す模式図であり、
(b)は(a)に示した光増幅器の利得特性図であり、
(c)は(a)に示したチャープトグレーティング型光
フィルタの透過特性図であり、(c)は(a)に示した
光増幅器の利得平坦化後の出力特性図である。
6A is a schematic diagram showing an application example of the chirped grating type optical filter shown in FIG. 4A;
(B) is a gain characteristic diagram of the optical amplifier shown in (a),
(C) is a transmission characteristic diagram of the chirped grating type optical filter shown in (a), and (c) is an output characteristic diagram after gain flattening of the optical amplifier shown in (a).

【図7】(a)は本発明のチャープトグレーティング型
光フィルタの他の実施の形態を示す構造図であり、
(b)は(a)に示した光フィルタのグレーティングの
振幅変調の様子を示す図であり、(c)は(a)に示し
た光フィルタの透過率波長依存性を示す図である。
FIG. 7A is a structural diagram showing another embodiment of the chirped grating type optical filter of the present invention;
(B) is a diagram showing a state of amplitude modulation of the grating of the optical filter shown in (a), and (c) is a diagram showing a transmittance wavelength dependence of the optical filter shown in (a).

【図8】(a)は本発明のチャープトグレーティング型
光フィルタの製造方法の他の実施の形態を示す説明図で
あり、(b)は(a)に示したアパーチャーの平面図で
ある。
FIG. 8A is an explanatory view showing another embodiment of the method for producing a chirped grating optical filter of the present invention, and FIG. 8B is a plan view of the aperture shown in FIG.

【図9】(a)は図7(a)に示したチャープトグレー
ティング型光フィルタを利得等化器としてEDFAに接
続したときの利得等化の説明図であり、(a)は利得等
化器とEDFAとの接続図、(b)はEDFAの波長利
得特性図、(c)は利得等化器の波長透過率特性図、
(d)は出力スペクトルを示す図である。
9A is an explanatory diagram of gain equalization when the chirped grating type optical filter shown in FIG. 7A is connected to an EDFA as a gain equalizer, and FIG. (B) is a wavelength gain characteristic diagram of the EDFA, (c) is a wavelength transmittance characteristic diagram of the gain equalizer,
(D) is a diagram showing an output spectrum.

【図10】(a)はEDFA及び従来の利得等化器のブ
ロック図であり、(b)は(a)のEDFAの利得波長
特性図であり、(c)は(a)の利得等化器の波長透過
率特性図であり、(d)は(a)の出力スペクトルを示
す図である。
10A is a block diagram of an EDFA and a conventional gain equalizer, FIG. 10B is a gain wavelength characteristic diagram of the EDFA of FIG. 10A, and FIG. 10C is a gain equalization of FIG. It is a figure which shows the output spectrum of (a) of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 光ファイバ 11 チャープトグレーティング 20 チャープトグレーティング型光フィルタ Reference Signs List 10 optical fiber 11 chirped grating 20 chirped grating type optical filter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 忍 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 Fターム(参考) 2H038 BA25 2H049 AA02 AA33 AA45 AA59 AA66 2H050 AA01 AC84 AD00  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Shinobu Sato 5-1-1 Hidakacho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture F-term in Opto-Systems Research Laboratory, Hitachi Cable, Ltd. 2H038 BA25 2H049 AA02 AA33 AA45 AA59 AA66 2H050 AA01 AC84 AD00

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ファイバか、あるいは光導波路のコア
の入力側から出力側に向かってブラッグ波長が増加する
チャープトグレーティング型光フィルタにおいて、グレ
ーティング全体が複数の領域に分割され、各領域の中心
で各ブラッグ波長における透過率とその領域のグレーテ
ィングの振幅とが1対1対応していることを特徴とする
チャープトグレーティング型光フィルタ。
In a chirped grating type optical filter in which a Bragg wavelength increases from an input side to an output side of an optical fiber or a core of an optical waveguide, the entire grating is divided into a plurality of regions, and the center of each region is divided into a plurality of regions. Wherein the transmittance at each Bragg wavelength and the amplitude of the grating in the region correspond to each other on a one-to-one basis.
【請求項2】 光ファイバか、あるいは光導波路のコア
に屈折率の変化の周期が長手方向に徐々に変化するグレ
ーティングが形成され、長手方向の屈折率変調の大きさ
が局所的に変化していることを特徴とするチャープトグ
レーティング型光フィルタ。
2. A grating in which the period of change of the refractive index gradually changes in the longitudinal direction in the optical fiber or the core of the optical waveguide, and the magnitude of the refractive index modulation in the longitudinal direction changes locally. A chirped grating type optical filter.
【請求項3】 使用波長帯域内に対応するグレーティン
グ形成部の平均屈折率が一定である請求項2に記載のチ
ャープトグレーティング型光フィルタ。
3. The chirped grating type optical filter according to claim 2, wherein the average refractive index of the grating forming portion corresponding to the used wavelength band is constant.
【請求項4】 上記グレーティングの屈折率変調が光増
幅器を通過する光信号の波長に対する出力の変動を打ち
消すように変化しており、グレーティング透過後の光信
号の波長に対する出力が平坦化される請求項2に記載の
チャープトグレーティング型光フィルタ。
4. The method according to claim 1, wherein the refractive index modulation of the grating is changed so as to cancel the fluctuation of the output with respect to the wavelength of the optical signal passing through the optical amplifier, and the output with respect to the wavelength of the optical signal after passing through the grating is flattened. Item 3. A chirped grating optical filter according to item 2.
【請求項5】 上記グレーティングが、光増幅媒体を添
加した光ファイバか、あるいは光導波路のコアに形成さ
れている請求項2に記載のチャープトグレーティング型
光フィルタ。
5. The chirped grating type optical filter according to claim 2, wherein the grating is formed in an optical fiber to which an optical amplification medium is added or in a core of an optical waveguide.
【請求項6】 上記グレーティングの前段に上記グレー
ティングで発生する反射戻り光を除去するアイソレータ
が挿入されている請求項2に記載のチャープトグレーテ
ィング型光フィルタ。
6. The chirped grating optical filter according to claim 2, wherein an isolator for removing reflected return light generated in the grating is inserted in a stage preceding the grating.
【請求項7】 光ファイバか、あるいは光導波路のコア
の入力側から出力側に向かってブラッグ波長が増加する
チャープトグレーティング型光フィルタにおいて、入力
側のブラッグ波長が使用帯域の中の最も短い波長と同等
か、あるいは短く、出力側のブラッグ波長が使用帯域の
中の最も長い波長と同等か、あるいは長く、上記チャー
プトグレーティングの振幅が光の伝搬方向に変調され、
使用波長帯域に含まれるブラッグ波長を有するグレーテ
ィングの振幅変調度が上記ブラッグ波長における所望の
透過率だけで決定されることを特徴とするチャープトグ
レーティング型光フィルタ。
7. A chirped grating type optical filter in which the Bragg wavelength increases from the input side to the output side of the optical fiber or the core of the optical waveguide, wherein the Bragg wavelength on the input side is the shortest wavelength in the used band. Equal or shorter, the Bragg wavelength on the output side is equal to or longer than the longest wavelength in the band used, the amplitude of the chirped grating is modulated in the propagation direction of light,
A chirped grating type optical filter, wherein an amplitude modulation degree of a grating having a Bragg wavelength included in a used wavelength band is determined only by a desired transmittance at the Bragg wavelength.
【請求項8】 光ファイバか、あるいは光導波路のコア
の入力側から出力側に向かってブラッグ波長を増加させ
るチャープトファイバグレーティングフィルタの製造方
法において、長手方向に複数の領域に分割された位相マ
スクを上記コア上に平行に配置し、その位相マスクを通
してレーザ光を照射して上記コアにグレーティングを形
成し、各領域の中心で各ブラッグ波長における所望の透
過率が得られるようにレーザ照射量を調整するチャープ
トグレーティング型光フィルタの製造方法。
8. A method of manufacturing a chirped fiber grating filter for increasing a Bragg wavelength from an input side to an output side of an optical fiber or a core of an optical waveguide, wherein a phase mask divided into a plurality of regions in a longitudinal direction. Are arranged in parallel on the core, a laser beam is irradiated through the phase mask to form a grating on the core, and the laser irradiation amount is adjusted so that a desired transmittance at each Bragg wavelength is obtained at the center of each region. Manufacturing method of chirped grating type optical filter to be adjusted.
【請求項9】 光ファイバか、あるいは光導波路のコア
の入力側から出力側に向かってブラッグ波長を増加させ
るチャープトグレーティング型光フィルタの製造方法に
おいて、形状が上記コアの光伝搬軸に沿って変化したア
パーチャーにレーザ光を通過させて所望のグレーティン
グ振幅変調を行った後、上記アパーチャーにより切り出
されたレーザ光を集光レンズで上記コアに集光させるこ
とを特徴とするチャープトグレーティング型光フィルタ
の製造方法。
9. A method of manufacturing a chirped grating type optical filter for increasing a Bragg wavelength from an input side to an output side of an optical fiber or a core of an optical waveguide, wherein the shape is along the light propagation axis of the core. A chirped grating type optical filter, characterized in that, after performing a desired grating amplitude modulation by passing a laser beam through the changed aperture, the laser beam cut out by the aperture is focused on the core by a focusing lens. Manufacturing method.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100417157B1 (en) * 2001-05-10 2004-02-05 한국과학기술연구원 Optical grating coder for use in optical code division multiple access, fabricating method and apparatus therefor
CN102768418A (en) * 2012-07-06 2012-11-07 华中科技大学 Optical filter and optical filtering method based on linear chirped fiber Bragg grating

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