JP2002210339A - Ozone water former - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン水生成装置
に関し、特に、排出酸素の利用対策に係るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ozone water generating apparatus, and more particularly to a measure for utilizing discharged oxygen.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、オゾン水生成装置には、特開
２０００−１５３１３９号公報に開示されているよう
に、オゾン発生器と気液混合分離装置とオゾン分解器と
を備えたものが知られている。この種のオゾン水生成装
置では、ガス供給源から供給された酸素をオゾン発生器
での放電によってオゾンに転化させ、原水と混合させて
気液混合分離装置に貯溜させると共に、気液混合分離装
置に貯溜されたオゾン水を利用側に供給して、殺菌、洗
浄、脱臭等を行っている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ozone water generating apparatus including an ozone generator, a gas-liquid mixing / separating apparatus, and an ozone decomposer as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-153139 is known. Have been. In this type of ozone water generating apparatus, oxygen supplied from a gas supply source is converted into ozone by discharging in an ozone generator, mixed with raw water and stored in a gas-liquid mixing / separating apparatus, and a gas-liquid mixing / separating apparatus is used. Is supplied to the user side to sterilize, wash, deodorize, etc.
【０００３】一方、水に溶解しきらない余剰ガスは、気
液混合分離装置の上部から抜いて、オゾン分解器におい
て余剰ガス中のオゾンを酸素に還元することより、無害
化して外部に排出している。On the other hand, surplus gas that cannot be completely dissolved in water is withdrawn from the upper part of the gas-liquid mixing / separation apparatus, and is detoxified and discharged outside by reducing ozone in the surplus gas to oxygen in an ozone decomposer. ing.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記オ
ゾン水生成装置において、還元した酸素を外部に排出す
るのは、非常に無駄であるにも拘わらず、排出した酸素
の利用については何ら考慮されていなかった。However, in the above-mentioned ozone water generating apparatus, although it is very wasteful to discharge the reduced oxygen to the outside, utilization of the discharged oxygen is considered at all. Did not.
【０００５】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、従来は外部に排出されていた酸素を有効利用す
ることを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to effectively utilize oxygen which has been conventionally discharged to the outside.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、オゾン水から
分離され、オゾンが分解された余剰ガスをガス供給源
（10）から供給される原料ガスに混合するようにしたも
のである。According to the present invention, surplus gas separated from ozone water and decomposed into ozone is mixed with a source gas supplied from a gas supply source (10).
【０００７】具体的に、第１の解決手段は、ガス供給源
（10）から供給された原料ガスに含まれる酸素からオゾ
ンを生成するオゾン発生手段（50）を備え、該オゾン発
生手段（50）が生成したオゾンを原水に溶解させてオゾ
ン水を生成するオゾン水生成装置を前提として、上記オ
ゾン水から分離され、オゾンが還元された酸素を含む余
剰ガスを上記ガス供給源（10）からの原料ガスと共に上
記オゾン発生手段（50）に供給する。Specifically, a first solution is to provide an ozone generating means (50) for generating ozone from oxygen contained in a raw material gas supplied from a gas supply source (10). As a premise of an ozone water generator that dissolves ozone generated in the raw water to generate ozone water, surplus gas containing oxygen, which is separated from the ozone water and reduced in ozone, is supplied from the gas supply source (10). The raw material gas is supplied to the ozone generating means (50).
【０００８】また、第２の解決手段は、ガス供給源（1
0）と、該ガス供給源（10）から供給された原料ガスに
含まれる酸素からオゾンを生成するオゾン発生手段（5
0）と、該オゾン発生手段（50）が生成したオゾンを原
水に溶解させて成るオゾン水から未溶解ガスを分離する
気液分離手段（61）と、該気液分離手段（61）が分離し
た未溶解ガス中のオゾンを酸素に還元する還元手段（8
2）と、該還元手段（82）でオゾンが還元された酸素を
含む余剰ガスを上記ガス供給源（10）から上記オゾン発
生手段（50）に供給する原料ガスに混合させる再利用手
段（78）とを備えている。The second solution is a gas supply source (1
0) and ozone generating means (5) for generating ozone from oxygen contained in the raw material gas supplied from the gas supply source (10).
0), gas-liquid separation means (61) for separating undissolved gas from ozone water formed by dissolving ozone generated by the ozone generation means (50) in raw water, and gas-liquid separation means (61). Reducing means to reduce ozone in the undissolved gas to oxygen (8
2) and a recycling means (78) for mixing an excess gas containing oxygen whose ozone has been reduced by the reducing means (82) from the gas supply source (10) to the source gas supplied to the ozone generating means (50). ).
【０００９】また、第３の解決手段は、上記第２の解決
手段において、再利用手段（78）は、還元手段（82）に
接続された戻し配管（83）と、ガス供給源（10）をオゾ
ン発生手段（50）に接続するガス供給配管（62）と上記
戻し配管（83）とが接続されて、還元手段（82）でオゾ
ンが還元された酸素を含む余剰ガスをガス供給源（10）
からの原料ガスに混合させるエゼクタ（64）とを備えて
いる。A third solution is the second solution, wherein the recycling means (78) includes a return pipe (83) connected to the reducing means (82) and a gas supply source (10). Is connected to a gas supply pipe (62) connecting the ozone generation means (50) to the return pipe (83), and the excess gas containing oxygen whose ozone has been reduced by the reduction means (82) is supplied to a gas supply source ( Ten)
And an ejector (64) for mixing the raw material gas with the ejector.
【００１０】また、第４の解決手段は、上記第２又は第
３の解決手段において、ガス供給源（10）とオゾン発生
手段（50）とを接続するガス供給配管（62）には、再利
用手段（78）との接続部の下流にガスに含まれる水分を
除去する除湿手段（65）が配置されている。[0010] A fourth solution is that in the second or the third solution, a gas supply pipe (62) connecting the gas supply source (10) and the ozone generation means (50) is reconnected. Downstream of the connection with the utilization means (78), a dehumidification means (65) for removing moisture contained in the gas is arranged.
【００１１】また、第５の解決手段は、上記第２から第
４の何れか１つの解決手段において、再利用手段（78）
は、余剰ガスを大気中に排出可能に構成されると共に、
原料ガスに混合させる余剰ガスに大気が流入するのを防
止する流入防止手段（86）を備えている。According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the second to fourth aspects, the reusing means (78)
Is constructed so that surplus gas can be discharged into the atmosphere,
An inflow prevention means (86) for preventing the atmosphere from flowing into the surplus gas mixed with the source gas is provided.
【００１２】すなわち、上記第１の解決手段では、オゾ
ン水から分離されたオゾンが還元された酸素を含む余剰
ガスをガス供給源（10）からの原料ガスと共にオゾン発
生手段（50）に供給する。オゾン発生手段（50）は、原
料ガスに含まれる酸素及び余剰ガスに含まれる酸素から
オゾンを生成する。That is, in the first solution, the surplus gas containing oxygen reduced from ozone separated from the ozone water is supplied to the ozone generating means (50) together with the raw material gas from the gas supply source (10). . The ozone generating means (50) generates ozone from oxygen contained in the source gas and oxygen contained in the surplus gas.
【００１３】また、上記第２の解決手段では、気液分離
手段（61）で分離された未溶解ガスに含まれるオゾンを
還元手段（82）によって酸素に還元する。再利用手段
（78）が、還元手段（82）でオゾンが還元された酸素を
含む余剰ガスをガス供給源（10）からの原料ガスに混合
し、オゾン発生手段（50）が、混合されたガスに含まれ
る酸素からオゾンを生成する。[0013] In the second solution, ozone contained in the undissolved gas separated by the gas-liquid separation means (61) is reduced to oxygen by a reduction means (82). The recycling means (78) mixes the surplus gas containing oxygen from which the ozone has been reduced by the reducing means (82) with the raw material gas from the gas supply source (10), and the ozone generating means (50) Ozone is generated from oxygen contained in the gas.
【００１４】また、上記第３の解決手段では、上記第２
の解決手段において、還元手段（82）でオゾンが還元さ
れた酸素を含む余剰ガスが戻し配管（83）を流れ、エゼ
クタ（64）でガス供給源（10）からの原料ガスに混合さ
れる。[0014] In the third solution, the second solution is used.
In the solution of (1), an excess gas containing oxygen from which ozone has been reduced by the reducing means (82) flows through the return pipe (83), and is mixed with the source gas from the gas supply source (10) by the ejector (64).
【００１５】また、上記第４の解決手段では、上記第２
又は第３の解決手段において、除湿手段（65）が、ガス
供給配管（62）を流れるガスに含まれる水分を除去し、
オゾン発生手段（50）が、水分が除去されたガス中の酸
素からオゾンを生成する。[0015] In the fourth solution, the second solution may be used.
Alternatively, in the third solution means, the dehumidifying means (65) removes water contained in the gas flowing through the gas supply pipe (62),
Ozone generating means (50) generates ozone from oxygen in the gas from which water has been removed.
【００１６】また、上記第５の解決手段では、上記第２
から第４の何れか１つの解決手段において、再利用手段
（78）は、余剰ガスを大気中に排出することができ、再
利用手段（78）の流入防止手段（86）が、原料ガスに混
合させる余剰ガスに大気が流入するのを防止する。[0016] In the fifth solution means, the second solution
In any one of the fourth to fourth solutions, the recycling means (78) can discharge the surplus gas to the atmosphere, and the inflow prevention means (86) of the recycling means (78) Prevent the air from flowing into the surplus gas to be mixed.
【００１７】[0017]
【発明の効果】従って、上記解決手段によれば、オゾン
が還元された酸素を含む余剰ガスをガス供給源（10）か
ら供給される原料ガスに混合させるようにしたために、
無駄に排出していた酸素を有効利用することができると
共に、同じ量のオゾンを発生させるのに必要なガス供給
源（10）の酸素供給量を減らすことができる。従って、
例えば、ガス供給源（10）として酸素ボンベを使用する
場合には、酸素ボンベの使用時間を長くすることがで
き、使用時間の制約を緩和することができると共に、コ
ストの低減を図ることができる。また、例えば、ガス供
給源（10）として、大気中の窒素を吸着剤に吸着させる
ことにより高濃度酸素を生成する酸素濃縮機を使用する
場合には、酸素濃縮機のランニングコストを低減させる
ことができると共に、窒素の吸着に使用する吸着剤の劣
化を抑制させることにより、吸着剤の寿命を延ばすこと
ができる。また、例えば、ガス供給源（10）として、主
に酸素を透過させる酸素富化膜を使用する場合には、酸
素富化膜の劣化を抑制させることにより、酸素富化膜の
寿命を延ばすことができる。Therefore, according to the above-mentioned solution, the surplus gas containing the reduced oxygen of ozone is mixed with the raw material gas supplied from the gas supply source (10).
The wastefully discharged oxygen can be effectively used, and the amount of oxygen supplied from the gas supply source (10) required to generate the same amount of ozone can be reduced. Therefore,
For example, when an oxygen cylinder is used as the gas supply source (10), the use time of the oxygen cylinder can be lengthened, the restriction on the use time can be eased, and the cost can be reduced. . Further, for example, when an oxygen concentrator that generates high-concentration oxygen by adsorbing nitrogen in the atmosphere to an adsorbent is used as the gas supply source (10), the running cost of the oxygen concentrator should be reduced. In addition, the life of the adsorbent can be extended by suppressing the deterioration of the adsorbent used for nitrogen adsorption. Further, for example, when an oxygen-enriched film that mainly transmits oxygen is used as the gas supply source (10), the life of the oxygen-enriched film is extended by suppressing the deterioration of the oxygen-enriched film. Can be.
【００１８】また、上記第３の解決手段によれば、還元
手段（82）でオゾンが還元された酸素を含む余剰ガスを
ガス供給源（10）からの原料ガスにエゼクタ（64）で混
合させるようにしたために、余剰ガスと原料ガスとを確
実に混合させることができる。According to the third solution, the excess gas containing oxygen whose ozone has been reduced by the reducing means (82) is mixed with the raw material gas from the gas supply source (10) by the ejector (64). With this arrangement, the surplus gas and the source gas can be reliably mixed.
【００１９】また、上記第４の解決手段によれば、水分
を除去したガス中の酸素からオゾンを生成するようにし
たために、オゾンへの転化効率を向上させることができ
る。According to the fourth solution, ozone is generated from oxygen in the gas from which moisture has been removed, so that the efficiency of conversion to ozone can be improved.
【００２０】また、上記第５の解決手段によれば、不要
な余剰ガスを大気中に排出することができる一方で、余
剰ガスに大気が流入するのを防止するようにしたため
に、原料ガスに混合させる余剰ガスの酸素濃度が低下す
るのを防止することができる。Further, according to the fifth solution, unnecessary surplus gas can be discharged into the atmosphere, while the air is prevented from flowing into the surplus gas. It is possible to prevent the oxygen concentration of the surplus gas to be mixed from decreasing.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２２】図１に示すように、本実施形態に係るオゾ
ン水生成装置は、ガス供給源（10）、オゾン発生器（5
0）、気液混合用エゼクタ（60）、気液分離タンク（6
1）、オゾン分解器（82）、再利用手段（78）、及びコ
ントローラ（90）を備えている。ガス供給源（10）は、
酸素を含む原料ガスを供給するためのものであり、酸素
ボンベが使用されている。As shown in FIG. 1, an ozone water generating apparatus according to the present embodiment comprises a gas supply source (10), an ozone generator (5).
0), gas-liquid mixing ejector (60), gas-liquid separation tank (6
1) It is equipped with an ozone decomposer (82), a recycling means (78), and a controller (90). The gas source (10)
This is for supplying a source gas containing oxygen, and an oxygen cylinder is used.
【００２３】上記ガス供給源（10）は、ガス供給配管で
ある原料ガス通路（62）を介してオゾン発生器（50）の
入口側に接続されている。原料ガス通路（62）には、ガ
ス供給源（10）からオゾン発生器（50）に向かって順
に、原料側電磁弁（63）と乾燥筒（65）とが設けられて
いる。原料側電磁弁（63）を開閉すると、ガス供給源
（10）からの原料ガスの流れが断続される。乾燥筒（6
5）は、乾燥剤としてのシリカゲルが充填され、通過す
る原料ガスから水分を吸着除去する除湿手段を構成して
いる。The gas supply source (10) is connected to the inlet side of the ozone generator (50) via a raw material gas passage (62) which is a gas supply pipe. The raw material gas passage (62) is provided with a raw material side solenoid valve (63) and a drying cylinder (65) in order from the gas supply source (10) to the ozone generator (50). When the material side solenoid valve (63) is opened and closed, the flow of the material gas from the gas supply source (10) is interrupted. Drying cylinder (6
5) constitutes a dehumidifying means which is filled with silica gel as a desiccant and adsorbs and removes moisture from the passing raw material gas.
【００２４】オゾン発生器（50）の出口側は、オゾン通
路（66）を介して気液混合用エゼクタ（60）に接続され
ている。オゾン通路（66）には、オゾン発生器（50）か
ら気液混合用エゼクタ（60）に向かって順に、チェック
弁（67）と、第１水滴除去筒（68）とが設けられてい
る。チェック弁（67）は、オゾン発生器（50）から気液
混合用エゼクタ（60）に向かうガスの流通だけを許容す
る。第１水滴除去筒（68）は、気液混合用エゼクタ（6
0）からオゾン発生器（50）に逆流したガスから水滴を
除去し、オゾン発生器（50）に水分が流入するのを防止
するためのものである。The outlet side of the ozone generator (50) is connected to a gas-liquid mixing ejector (60) via an ozone passage (66). The ozone passage (66) is provided with a check valve (67) and a first water drop removing cylinder (68) in order from the ozone generator (50) to the gas-liquid mixing ejector (60). The check valve (67) allows only gas flow from the ozone generator (50) to the gas-liquid mixing ejector (60). The first water drop removing cylinder (68) is a gas-liquid mixing ejector (6).
Water droplets are removed from the gas that has flowed back from 0) to the ozone generator (50) to prevent water from flowing into the ozone generator (50).
【００２５】上記気液分離タンク（61）には、水通路
（70）が接続されている。この水通路（70）は、その始
端が水道等の原水源に接続され、終端が気液分離タンク
（61）に接続されている。また、水通路（70）には、始
端から終端に向かって順に、ガス分離器（71）と、原水
流量計（76）と、気液混合用エゼクタ（60）とが設けら
れている。A water passage (70) is connected to the gas-liquid separation tank (61). The water passage (70) has a starting end connected to a raw water source such as a tap water and an end connected to a gas-liquid separation tank (61). In the water passage (70), a gas separator (71), a raw water flow meter (76), and a gas-liquid mixing ejector (60) are provided in order from the start end to the end.
【００２６】上記ガス分離器（71）は、密閉容器状に形
成されている。ガス分離器（71）の内部には、ガス分離
膜（72）によって仕切られた水側空間（73）とガス側空
間（74）とが形成されている。水側空間（73）には、原
水である水道水が水通路（70）を通じて導入される。ガ
ス側空間（74）には、真空ポンプ（75）が配管接続され
ている。ガス分離膜（72）は、フッ素系の機能膜又は高
分子から成るガス分離膜で構成され、原水に溶け込んで
いる酸素や二酸化炭素等の既溶解ガスを透過させる。The gas separator (71) is formed in a closed container shape. Inside the gas separator (71), a water-side space (73) and a gas-side space (74) separated by a gas separation membrane (72) are formed. Tap water, which is raw water, is introduced into the water-side space (73) through the water passage (70). A vacuum pump (75) is connected to the gas side space (74) by piping. The gas separation membrane (72) is constituted by a fluorine-based functional membrane or a gas separation membrane made of a polymer, and allows dissolved gases such as oxygen and carbon dioxide dissolved in raw water to pass therethrough.
【００２７】上記原水流量計（76）は、水通路（70）を
通じて気液混合用エゼクタ（60）へ供給される原水の流
量を検出する。The raw water flow meter (76) detects the flow rate of raw water supplied to the gas-liquid mixing ejector (60) through the water passage (70).
【００２８】上述のように、気液混合用エゼクタ（60）
には、オゾン通路（66）と水通路（70）とが接続されて
いる。この気液混合用エゼクタ（60）は、オゾン通路
（66）を通じて送り込まれるオゾンを水通路（70）を通
じて送り込まれる原水に混合し、オゾンを原水に溶解さ
せてオゾン水を生成するように構成されている。As described above, the gas-liquid mixing ejector (60)
Is connected to an ozone passage (66) and a water passage (70). The gas-liquid mixing ejector (60) is configured to mix ozone sent through the ozone passage (66) with raw water sent through the water passage (70) and dissolve ozone in the raw water to generate ozone water. ing.
【００２９】上記気液分離タンク（61）には、気液混合
用エゼクタ（60）からオゾン水が送り込まれる。気液分
離タンク（61）は、送り込まれたオゾン水から未溶解ガ
スを分離する気液分離手段を構成している。この未溶解
ガスは、オゾンや未反応の酸素から成る。気液分離タン
ク（61）の底部には、オゾン水通路（77）が接続され、
上端部には、未溶解ガス通路（80）が接続されている。
気液分離タンク（61）に貯留するオゾン水は、オゾン水
通路（77）を通って利用側へ供給される。Ozone water is fed into the gas-liquid separation tank (61) from a gas-liquid mixing ejector (60). The gas-liquid separation tank (61) constitutes gas-liquid separation means for separating undissolved gas from the supplied ozone water. This undissolved gas is composed of ozone and unreacted oxygen. An ozone water passage (77) is connected to the bottom of the gas-liquid separation tank (61).
An undissolved gas passage (80) is connected to the upper end.
The ozone water stored in the gas-liquid separation tank (61) is supplied to the use side through an ozone water passage (77).
【００３０】上記未溶解ガス通路（80）は、その始端が
気液分離タンク（61）の上端部に接続され、終端がオゾ
ン分解器（80）に接続されている。この未溶解ガス通路
（80）は、未溶解ガスを気液分離タンク（61）から排出
するためのものである。未溶解ガス通路（80）には、第
２水滴除去筒（81）が設けられている。第２水滴除去筒
（81）は、オゾン分解器（80）に水滴が流入することに
より、オゾン分解性能が低下するのを防止するために、
未溶解ガスから水滴を取り除くためのものである。The undissolved gas passage (80) is connected at the beginning to the upper end of the gas-liquid separation tank (61) and at the end to the ozone decomposer (80). The undissolved gas passage (80) is for discharging the undissolved gas from the gas-liquid separation tank (61). A second water drop removing cylinder (81) is provided in the undissolved gas passage (80). The second water drop removing cylinder (81) is used to prevent the ozone decomposing performance from being reduced due to the flow of water drops into the ozone decomposing device (80).
It is for removing water droplets from undissolved gas.
【００３１】上記オゾン分解器（82）は、オゾンを分解
するための触媒が充填され、気液分離タンク（61）で分
離された未溶解ガスに含まれるオゾンを酸素に還元する
還元手段を構成している。The ozone decomposer (82) constitutes a reducing means filled with a catalyst for decomposing ozone and reducing ozone contained in undissolved gas separated in the gas-liquid separation tank (61) to oxygen. are doing.
【００３２】上記再利用手段（78）は、オゾン分解器
（82）で未溶解ガス中のオゾンが還元された酸素を含む
余剰ガスを、ガス供給源（10）からオゾン発生器（50）
に供給する原料ガスに混合させるためのものであり、戻
し配管である還流通路（83）とガス混合用エゼクタ（6
4）とを備えている。ガス混合用エゼクタ（64）は、上
記原料ガス通路（62）における原料側電磁弁（63）と乾
燥筒（65）との間に配置されている。[0032] The recycling means (78) is provided with an ozone generator (50) which supplies surplus gas containing oxygen obtained by reducing ozone in undissolved gas in the ozone decomposer (82) from a gas supply source (10).
The gas is supplied to the feed gas to be supplied to the gas supply port.
4) and The gas mixing ejector (64) is disposed between the raw material side solenoid valve (63) and the drying cylinder (65) in the raw material gas passage (62).
【００３３】上記還流通路（83）は、その始端がオゾン
分解器（82）の下流端に接続され、終端がガス混合用エ
ゼクタ（64）に接続されている。還流通路（83）は、必
要に応じて、オゾンが分解された後の余剰ガスをガス混
合用エゼクタ（64）へ送り返すためのものであり、還流
側電磁弁（84）が設けられている。上記ガス混合用エゼ
クタ（64）は、還流通路（83）からの余剰ガスを原料ガ
スに混入するためのものである。The reflux passage (83) has a start end connected to the downstream end of the ozone decomposer (82), and an end connected to the gas mixing ejector (64). The return passage (83) is for returning the excess gas after the ozone is decomposed to the gas mixing ejector (64) as necessary, and is provided with a return-side solenoid valve (84). The gas mixing ejector (64) is for mixing excess gas from the reflux passage (83) into the source gas.
【００３４】また、上記再利用手段（78）は、排出通路
（85）と逆止弁（86）とを備えている。排出通路（85）
は、始端が、還流通路（83）におけるオゾン分解器（8
2）と還流側電磁弁（84）との間に接続され、終端が大
気開放されている。排出通路は、不要な余剰ガスを大気
中に排出するためのものである。逆止弁（86）は、排出
通路に設けられている。逆止弁（86）は、流入防止手段
を構成し、原料ガスに混入される余剰ガスに大気が流入
するのを防止するためのものである。つまり、再利用手
段（78）は、不要な余剰ガスを大気中に排出することが
できると共に、原料ガスに混合させる余剰ガスに大気が
流入するのを防止するように構成されている。The reusing means (78) includes a discharge passage (85) and a check valve (86). Discharge passage (85)
Starts with the ozone decomposer (8
It is connected between 2) and the return-side solenoid valve (84), and the end is open to the atmosphere. The discharge passage is for discharging unnecessary surplus gas to the atmosphere. The check valve (86) is provided in the discharge passage. The check valve (86) constitutes an inflow prevention means, and is for preventing the atmosphere from flowing into the surplus gas mixed with the raw material gas. That is, the recycling means (78) is configured to discharge unnecessary surplus gas to the atmosphere and to prevent the atmosphere from flowing into the surplus gas to be mixed with the source gas.
【００３５】上記コントローラ（90）は、原料側電磁弁
（63）及び還流側電磁弁（84）の開閉操作を行うように
構成されている。運転開始時には、気液分離タンク（6
1）で分離された未溶解ガス及びオゾン分解器（82）で
オゾンが還元された酸素を含む余剰ガスの酸素濃度が低
下しているために、コントローラ（90）は、運転開始か
ら所定時間が経過するまでの初期運転において、原料側
電磁弁（63）を開放すると共に還流側電磁弁（84）を閉
鎖することにより、酸素濃度が低下している不要な余剰
ガスを大気中に排出させるように構成されている。所定
時間は、例えば、１分間とされている。The controller (90) is configured to open and close the raw material side solenoid valve (63) and the recirculation side solenoid valve (84). At the start of operation, the gas-liquid separation tank (6
Since the oxygen concentration of the undissolved gas separated in 1) and the surplus gas containing oxygen whose ozone has been reduced in the ozone decomposer (82) has been reduced, the controller (90) sets a predetermined time from the start of operation. Until the elapse of the initial operation, by opening the raw-material-side solenoid valve (63) and closing the recirculation-side solenoid valve (84), unnecessary excess gas having a reduced oxygen concentration is discharged into the atmosphere. Is configured. The predetermined time is, for example, one minute.
【００３６】また、コントローラ（90）は、上記初期運
転後の通常運転において、還流側電磁弁（84）を開放す
ると共に、必要に応じて原料側電磁弁（63）の開閉操作
を行うように構成されている。つまり、原料側電磁弁
（63）の開閉操作を行い、原料ガスと余剰ガスとを混合
させることで、必要なオゾン量を得るのに必要なガス供
給源（10）からの酸素供給量を減らすことができる。In the normal operation after the initial operation, the controller (90) opens the recirculation-side solenoid valve (84) and opens and closes the material-side solenoid valve (63) as necessary. It is configured. That is, by opening and closing the raw material side solenoid valve (63) and mixing the raw material gas and the surplus gas, the amount of oxygen supplied from the gas supply source (10) required to obtain the required amount of ozone is reduced. be able to.
【００３７】上記オゾン発生器（50）は、図２及び図３
に示すように、本体容器（51）と、一対の放熱部（54）
と、４枚の放電電極（56）とを備え、放電により、供給
された原料ガスに含まれる酸素からオゾンを発生させる
オゾン発生手段を構成している。The ozone generator (50) is shown in FIGS.
As shown in the figure, a main body container (51) and a pair of heat radiating portions (54)
And four discharge electrodes (56), and constitutes ozone generating means for generating ozone from oxygen contained in the supplied source gas by discharging.
【００３８】本体容器（51）は、直方体の容器状に形成
されている。本体容器（51）には、その一方の端部に入
口ポート（52）が設けられ、他方の端部に出口ポート
（53）が設けられている。入口ポート（52）を介して、
原料ガス通路（62）が本体容器（51）の内部に連通して
いる。また、出口ポート（53）を介して、オゾン通路
（66）が本体容器（51）の内部に連通している。The main body container (51) is formed in a rectangular parallelepiped container shape. The main body container (51) is provided with an inlet port (52) at one end and an outlet port (53) at the other end. Through the inlet port (52)
The source gas passage (62) communicates with the inside of the main body container (51). The ozone passage (66) communicates with the inside of the main container (51) via the outlet port (53).
【００３９】放熱部（54）は、本体容器（51）の上面部
と下面部とに１つずつ設けられている。放熱部（54）に
は、長方形板状のフィン（55）が多数立設されている。
この放熱部（54）は、いわゆるヒートシンク状に形成さ
れている。The heat radiating section (54) is provided on each of the upper surface and the lower surface of the main body container (51). A large number of rectangular plate-shaped fins (55) are erected on the heat radiating portion (54).
The heat radiating portion (54) is formed in a so-called heat sink shape.
【００４０】４枚の放電電極（56）は、本体容器（51）
の内部空間に設けられている。そのうち２枚の放電電極
（56）は、本体容器（51）の上面部に沿って並べられる
一方、残りの２枚の放電電極（56）は、本体容器（51）
の下面部に沿って並べられている。放電電極（56）は、
それぞれが交流電源に接続されている。そして、各放電
電極（56）において放電が行われ、本体容器（51）に導
入された原料ガス中の酸素からオゾンが発生する。The four discharge electrodes (56) are connected to the main container (51).
Is provided in the internal space. Two of the discharge electrodes (56) are arranged along the upper surface of the main container (51), while the remaining two discharge electrodes (56) are connected to the main container (51).
Are arranged along the lower surface. The discharge electrode (56)
Each is connected to an AC power supply. Then, discharge is performed in each discharge electrode (56), and ozone is generated from oxygen in the raw material gas introduced into the main body container (51).
【００４１】−運転動作− 上記オゾン水生成装置の運転動作について説明する。先
ず、通常運転における動作について説明し、その次に、
初期運転における動作について説明する。-Operating operation- The operating operation of the above ozone water generating apparatus will be described. First, the operation in the normal operation will be described, and then,
The operation in the initial operation will be described.
【００４２】通常運転において、還流側電磁弁（84）が
開放されると共に、原料側電磁弁（63）が必要に応じて
開閉動作を行う。ガス供給源（10）から供給された高濃
度酸素の原料ガスが、原料側電磁弁（63）を通過してガ
ス混合用エゼクタ（64）へ導入される。還流側電磁弁
（84）が開放されているために、原料側電磁弁（63）が
開放されているときには、ガス混合用エゼクタ（64）に
おいて、原料ガスと余剰ガスとが混合される。つまり、
原料側電磁弁（63）が開閉動作を行うので、必要なオゾ
ン量を得るのに必要なガス供給源（10）からの酸素供給
量を減らすことができる。ガス混合用エゼクタ（64）か
ら出た原料ガスは、原料ガス通路（62）を流れ、乾燥筒
（65）で減湿された後にオゾン発生器（50）へ送られ
る。In the normal operation, the recirculation side solenoid valve (84) is opened, and the raw material side solenoid valve (63) opens and closes as required. The high-concentration oxygen source gas supplied from the gas supply source (10) passes through the source-side solenoid valve (63) and is introduced into the gas mixing ejector (64). Since the recirculation side solenoid valve (84) is open, when the source side solenoid valve (63) is open, the source gas and excess gas are mixed in the gas mixing ejector (64). That is,
Since the raw material side solenoid valve (63) performs the opening / closing operation, the amount of oxygen supplied from the gas supply source (10) required to obtain the required amount of ozone can be reduced. The raw material gas discharged from the gas mixing ejector (64) flows through the raw material gas passage (62), and is sent to the ozone generator (50) after being dehumidified in the drying cylinder (65).
【００４３】オゾン発生器（50）へ送られた原料ガス
は、入口ポート（52）を通って本体容器（51）の内部へ
導入される。放電電極（56）は、所定電圧で所定周波数
の電圧が印加されて放電を行う。原料ガス中の酸素が放
電電極（56）に接触した状態で放電を行うと、酸素から
オゾンが生成される。そして、放電により生成されたオ
ゾンを含むオゾンガスが、出口ポート（53）を通じてオ
ゾン通路（66）へ送り出される。尚、この状態で、オゾ
ンガスには、生成したオゾンと未反応の酸素とが混在し
ている。オゾン発生器（50）からオゾン通路（66）へ送
り出されたオゾンガスは、チェック弁（67）と第１水滴
除去筒（68）を通って気液混合用エゼクタ（60）へ導入
される。The raw material gas sent to the ozone generator (50) is introduced into the main body container (51) through the inlet port (52). The discharge electrode (56) discharges when a voltage of a predetermined frequency is applied at a predetermined voltage. When a discharge is performed in a state where oxygen in the source gas is in contact with the discharge electrode (56), ozone is generated from the oxygen. Then, ozone gas including ozone generated by the discharge is sent out to the ozone passage (66) through the outlet port (53). In this state, the generated ozone and the unreacted oxygen are mixed in the ozone gas. The ozone gas sent from the ozone generator (50) to the ozone passage (66) is introduced into the gas-liquid mixing ejector (60) through the check valve (67) and the first water drop removing cylinder (68).
【００４４】一方、原水としての水道水は、水通路（7
0）を流れてガス分離器（71）の水側空間（73）へ導入
される。ガス分離器（71）のガス側空間（74）は、真空
ポンプ（75）によって減圧されている。水側空間（73）
の原水に溶解する酸素や二酸化炭素等の既溶解ガスは、
ガス分離膜（72）を透過してガス側空間（74）へ移動し
て外部へ排気される。水側空間（73）において既溶解ガ
スを削減された原水は、原水流量計（76）を通って気液
混合用エゼクタ（60）へ供給される。気液混合用エゼク
タ（60）へ供給される原水の流量が、原水流量計（76）
によって検出されている。On the other hand, tap water as raw water is supplied to a water passage (7
0) and is introduced into the water side space (73) of the gas separator (71). The gas side space (74) of the gas separator (71) is depressurized by the vacuum pump (75). Water side space (73)
Dissolved gases such as oxygen and carbon dioxide dissolved in raw water
The gas passes through the gas separation membrane (72), moves to the gas side space (74), and is exhausted to the outside. The raw water from which the dissolved gas has been reduced in the water side space (73) is supplied to the gas-liquid mixing ejector (60) through the raw water flow meter (76). The flow rate of raw water supplied to the gas-liquid mixing ejector (60) is determined by the raw water flow meter (76).
Has been detected by
【００４５】気液混合用エゼクタ（60）では、供給され
た原水が比較的高い流速で流れ、この高流速の原水の流
れに引き込まれるかたちで、原水にオゾンガスが混入さ
れる。原水とオゾンガスを混合すると、オゾンガス中の
オゾンが原水に溶解してオゾン水が生成する。In the gas-liquid mixing ejector (60), the supplied raw water flows at a relatively high flow rate, and ozone gas is mixed into the raw water in such a manner as to be drawn into the high flow rate of the raw water. When raw water and ozone gas are mixed, ozone in the ozone gas is dissolved in the raw water to generate ozone water.
【００４６】オゾン水とオゾンガスとの混合物は、気液
混合用エゼクタ（60）から気液分離タンク（61）へ送ら
れる。気液分離タンク（61）では、オゾン水からオゾン
と未反応の酸素とを含む未溶解ガスが分離される。分離
されたオゾン水は、オゾン水通路（77）を通って利用側
へ供給される。The mixture of ozone water and ozone gas is sent from the gas-liquid mixing ejector (60) to the gas-liquid separation tank (61). In the gas-liquid separation tank (61), undissolved gas containing ozone and unreacted oxygen is separated from the ozone water. The separated ozone water is supplied to the use side through an ozone water passage (77).
【００４７】一方、気液分離タンク（61）で分離された
未溶解ガスは、未溶解ガス通路（80）へ流入する。未溶
解ガス通路（80）へ流入した未溶解ガスは、第２水滴除
去筒（81）で水滴を除去された後にオゾン分解器（82）
へ導入される。オゾン分解器（82）では、未溶解ガスに
含まれるオゾンが酸素に還元される。オゾン分解器（8
2）で未溶解ガス中のオゾンが還元された酸素を含む余
剰ガスは、還流通路（83）へ流入し、ガス混合用エゼク
タ（64）へ導入されて原料ガスに混入される。つまり、
余剰ガスに含まれる酸素が、原料ガスと混合されて、オ
ゾンの原料として再利用される。On the other hand, the undissolved gas separated in the gas-liquid separation tank (61) flows into the undissolved gas passage (80). The undissolved gas that has flowed into the undissolved gas passage (80) is subjected to removal of water droplets by the second water droplet removal cylinder (81), and then to an ozone decomposer (82).
Is introduced to In the ozone decomposer (82), ozone contained in the undissolved gas is reduced to oxygen. Ozone decomposer (8
The surplus gas containing oxygen in which the ozone in the undissolved gas is reduced in 2) flows into the reflux passage (83), is introduced into the gas mixing ejector (64), and is mixed into the raw material gas. That is,
Oxygen contained in the surplus gas is mixed with the source gas and reused as a source of ozone.
【００４８】続いて、上記オゾン水生成装置の初期運転
における動作について説明する。運転を開始する際に
は、原料側電磁弁（63）を開放すると共に、還流側電磁
弁（84）を閉鎖する。ガス供給源（10）から供給された
高濃度酸素の原料ガスが、原料側電磁弁（63）及びガス
混合用エゼクタ（64）を通過する。このとき、還流側電
磁弁（84）が閉鎖されているために、原料ガスと余剰ガ
スとは混合されない。ガス混合用エゼクタ（64）を出た
原料ガスは、上記通常運転での動作同様に、乾燥筒（6
5）で除湿されてオゾン発生器（50）でオゾンが生成さ
れ、気液混合用エゼクタ（60）で原水に溶解されてオゾ
ン水となり、気液分離タンク（61）に流入する。気液分
離タンク（61）において、オゾン水から分離された未溶
解ガスは、第２水滴除去筒（81）を通過して、オゾン分
解器（82）に導入され、ガス中のオゾンが酸素に分解さ
れる。初期運転において、余剰ガスは、残留空気が含ま
れて酸素濃度が低下しており、再利用には適さない不要
の余剰ガスとなっている。そして、オゾンが分解された
不要の余剰ガスは、還流側電磁弁（84）が閉鎖されてい
るために、還流通路（83）に流入することなく、排出通
路（85）を通して、大気中に排出される。Next, the operation of the above-mentioned ozone water generator in the initial operation will be described. When starting the operation, the raw material side solenoid valve (63) is opened and the recirculation side solenoid valve (84) is closed. The high-concentration oxygen source gas supplied from the gas supply source (10) passes through the source-side solenoid valve (63) and the gas mixing ejector (64). At this time, since the recirculation-side solenoid valve (84) is closed, the source gas and the surplus gas are not mixed. The raw material gas discharged from the gas mixing ejector (64) is supplied to the drying cylinder (6) in the same manner as in the normal operation described above.
Dehumidified in 5), ozone is generated in the ozone generator (50), dissolved in raw water in the gas-liquid mixing ejector (60) to become ozone water, and flows into the gas-liquid separation tank (61). The undissolved gas separated from the ozone water in the gas-liquid separation tank (61) passes through the second water drop removing cylinder (81) and is introduced into the ozone decomposer (82), and the ozone in the gas is converted into oxygen. Decomposed. In the initial operation, the surplus gas contains residual air and has a low oxygen concentration, and is an unnecessary surplus gas that is not suitable for reuse. Unnecessary excess gas from which ozone has been decomposed is discharged to the atmosphere through the discharge passage (85) without flowing into the return passage (83) because the return-side solenoid valve (84) is closed. Is done.
【００４９】そして、運転の開始後、例えば、１分が経
過すると、還流側電磁弁（84）を開放して、上記通常運
転を行う。Then, for example, when one minute elapses after the start of the operation, the recirculation-side solenoid valve (84) is opened to perform the normal operation.
【００５０】−実施形態の効果− 本実施形態によれば、オゾンが還元された酸素を含む余
剰ガスをガス供給源（10）から供給される原料ガスに混
合させるようにしたために、無駄に排出していた酸素を
有効利用することができると共に、同じ量のオゾンを発
生させるのに必要なガス供給源（10）からの酸素量を減
らすことができる。従って、酸素ボンベの使用時間を長
くすることができ、使用時間の制約を緩和することがで
きると共に、コストの低減を図ることができる。-Effects of the Embodiment- According to the present embodiment, since the surplus gas containing the reduced oxygen of the ozone is mixed with the raw material gas supplied from the gas supply source (10), the waste gas is exhausted. It is possible to effectively use the oxygen that has been used, and to reduce the amount of oxygen from the gas supply (10) required to generate the same amount of ozone. Therefore, the use time of the oxygen cylinder can be extended, the restriction on the use time can be eased, and the cost can be reduced.
【００５１】また、オゾン分解器（82）でオゾンが還元
された酸素を含む余剰ガスをガス供給源（10）からの原
料ガスにエゼクタ（64）で混合させるようにしたため
に、余剰ガスと原料ガスとを確実に混合させることがで
きる。Further, since the excess gas containing oxygen whose ozone is reduced by the ozone decomposer (82) is mixed with the raw material gas from the gas supply source (10) by the ejector (64), the excess gas and the raw material gas are mixed. Gas and gas can be reliably mixed.
【００５２】また、水分を除去したガス中の酸素からオ
ゾンを生成するようにしたために、オゾンへの転化効率
を向上させることができる。Also, since ozone is generated from oxygen in the gas from which water has been removed, the efficiency of conversion to ozone can be improved.
【００５３】また、不要な余剰ガスを大気中に排出する
ことができる一方で、余剰ガスに大気が流入するのを防
止するようにしたために、原料ガスに混合させる余剰ガ
スの酸素濃度が低下するのを防止することができる。Further, while unnecessary surplus gas can be discharged into the atmosphere, the flow of air into the surplus gas is prevented, so that the oxygen concentration of the surplus gas mixed with the source gas decreases. Can be prevented.
【００５４】＜発明のその他の実施の形態＞上記実施形
態において、ガス供給源（10）は、空気中の窒素をゼオ
ライト等の吸着剤に吸着させることで酸素濃度の高い原
料ガスを生成し、高酸素濃度の原料ガスを供給する酸素
濃縮機を備える構成にしてもよい。この場合には、ガス
供給源（10）の酸素供給量を減らすことができるため
に、酸素濃縮機のランニングコストを低減させることが
できると共に、窒素を吸着させる吸着剤の劣化を抑制さ
せることにより、吸着剤の寿命を延ばすことができる。<Other Embodiments of the Invention> In the above embodiment, the gas supply source (10) generates a source gas having a high oxygen concentration by adsorbing nitrogen in the air onto an adsorbent such as zeolite. It may be configured to include an oxygen concentrator that supplies a source gas having a high oxygen concentration. In this case, since the oxygen supply amount of the gas supply source (10) can be reduced, the running cost of the oxygen concentrator can be reduced, and the deterioration of the adsorbent for adsorbing nitrogen can be suppressed. , The life of the adsorbent can be extended.
【００５５】また、上記実施形態において、ガス供給源
（10）は、主に酸素を透過させる酸素富化膜を備え、該
酸素富化膜が主に酸素を透過することで高酸素濃度の原
料ガスを生成し、高酸素濃度の原料ガスを供給する構成
にしてもよい。この場合には、酸素富化膜の劣化を抑制
させることにより、酸素富化膜の寿命を延ばすことがで
きる。In the above embodiment, the gas supply source (10) is provided with an oxygen-enriched film that mainly allows oxygen to permeate, and the oxygen-enriched film mainly allows oxygen to permeate, so that the material having a high oxygen concentration can be obtained. A configuration may be adopted in which a gas is generated and a source gas having a high oxygen concentration is supplied. In this case, the life of the oxygen-enriched film can be extended by suppressing the deterioration of the oxygen-enriched film.
【００５６】また、上記実施形態において、ガス供給源
（10）は、酸素ボンベの酸素と空気とを混合させ、酸素
濃度を調整した原料ガスを供給する構成にしてもよい。
この場合においても、酸素ボンベの使用時間を長くする
ことができ、使用時間の制約を緩和することができると
共に、コストの低減を図ることができる。In the above embodiment, the gas supply source (10) may be configured to mix oxygen and air in an oxygen cylinder and supply a source gas having an adjusted oxygen concentration.
Also in this case, the use time of the oxygen cylinder can be lengthened, the restriction on the use time can be eased, and the cost can be reduced.
【００５７】また、第１及び第２の発明において、上記
実施形態におけるガス混合用エゼクタ（64）を省略する
構成にしてもよい。In the first and second inventions, the gas mixing ejector (64) in the above embodiment may be omitted.
【００５８】また、第１、第２及び第３の発明におい
て、上記実施形態における乾燥筒（65）を省略する構成
にしてもよい。In the first, second and third inventions, the drying cylinder (65) in the above embodiment may be omitted.
【００５９】また、第１から第４の何れかの発明におい
て、排出通路（85）を省略し、全ての余剰ガスを還流通
路（83）に流して原料ガスに混合させる構成にしてもよ
い。In any one of the first to fourth inventions, the discharge passage (85) may be omitted, and all surplus gas may be caused to flow through the recirculation passage (83) to be mixed with the source gas.
【図１】実施形態に係るオゾン水生成装置の概略構成図
である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ozone water generation device according to an embodiment.
【図２】実施形態に係るオゾン発生器の概略斜視図であ
る。FIG. 2 is a schematic perspective view of the ozone generator according to the embodiment.
【図３】実施形態に係るオゾン発生器の放電電極の配置
を示す概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing an arrangement of discharge electrodes of the ozone generator according to the embodiment.
（10） ガス供給源 （50） オゾン発生器 （61） 気液分離タンク （62） 原料ガス通路 （64） ガス混合用エゼクタ （65） 乾燥筒 （78） 再利用手段 （82） オゾン分解器 （83） 還流通路 （86） 逆止弁 (10) Gas supply source (50) Ozone generator (61) Gas-liquid separation tank (62) Source gas passage (64) Ejector for gas mixing (65) Drying cylinder (78) Recycling means (82) Ozone decomposer ( 83) Recirculation passage (86) Check valve
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３１ Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３１Ｒ ５４０ ５４０Ｂ ５５０ ５５０Ｄ ５６０ ５６０Ｚ 1/78 1/78 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C02F 1/50 531 C02F 1/50 531R 540 540B 550 550D 560 560Z 1/78 1/78
Claims (5)
スに含まれる酸素からオゾンを生成するオゾン発生手段
（50）を備え、該オゾン発生手段（50）が生成したオゾ
ンを原水に溶解させてオゾン水を生成するオゾン水生成
装置において、 上記オゾン水から分離され、オゾンが還元された酸素を
含む余剰ガスを上記ガス供給源（10）からの原料ガスと
共に上記オゾン発生手段（50）に供給することを特徴と
するオゾン水生成装置。An ozone generating means (50) for generating ozone from oxygen contained in a source gas supplied from a gas supply source (10), and the ozone generated by the ozone generating means (50) is dissolved in raw water. An ozone water generating apparatus that generates ozone water by causing the ozone generation means (50) to remove excess gas containing oxygen separated from the ozone water and reduced in ozone together with a raw material gas from the gas supply source (10); Ozone water generator characterized in that it is supplied to an ozone water generator.
酸素からオゾンを生成するオゾン発生手段（50）と、 該オゾン発生手段（50）が生成したオゾンを原水に溶解
させて成るオゾン水から未溶解ガスを分離する気液分離
手段（61）と、 該気液分離手段（61）が分離した未溶解ガス中のオゾン
を酸素に還元する還元手段（82）と、 該還元手段（82）でオゾンが還元された酸素を含む余剰
ガスを上記ガス供給源（10）から上記オゾン発生手段
（50）に供給する原料ガスに混合させる再利用手段（7
8）とを備えていることを特徴とするオゾン水生成装
置。2. A gas supply source (10), an ozone generating means (50) for generating ozone from oxygen contained in a source gas supplied from the gas supply source (10), and the ozone generating means (50) Gas-liquid separation means (61) for separating undissolved gas from ozone water formed by dissolving ozone generated in raw water, and reducing ozone in undissolved gas separated by the gas-liquid separation means (61) to oxygen A reducing means (82) for reducing the amount of ozone, and an excess gas containing oxygen from which ozone has been reduced by the reducing means (82) is mixed with a raw material gas supplied from the gas supply source (10) to the ozone generating means (50). Usage method (7
8) An ozone water generator characterized by comprising:
ス供給配管（62）と上記戻し配管（83）とが接続され
て、還元手段（82）でオゾンが還元された酸素を含む余
剰ガスをガス供給源（10）からの原料ガスに混合させる
エゼクタ（64）とを備えていることを特徴とするオゾン
水生成装置。3. The recycle means (78) according to claim 2, wherein the return pipe (83) connected to the reduction means (82) and the gas supply source (10) are connected to the ozone generation means (50). An ejector connected to the gas supply pipe (62) and the return pipe (83) to mix an excess gas containing oxygen whose ozone has been reduced by the reduction means (82) with the source gas from the gas supply source (10). (64) An ozone water generation device characterized by comprising:
ガス供給配管（62）には、再利用手段（78）との接続部
の下流にガスに含まれる水分を除去する除湿手段（65）
が配置されていることを特徴とするオゾン水生成装置。4. A gas supply pipe (62) for connecting a gas supply source (10) and an ozone generation means (50) to a downstream side of a connection part with a reuse means (78) according to claim 2 or 3. Dehumidifying means for removing water contained in gas (65)
The ozone water generation device, wherein is disposed.
成されると共に、原料ガスに混合させる余剰ガスに大気
が流入するのを防止する流入防止手段（86）を備えてい
ることを特徴とするオゾン水生成装置。5. The recycle means (78) according to any one of claims 2 to 4, wherein the recycle means (78) is configured to be able to discharge the surplus gas into the atmosphere, and that the air flows into the surplus gas to be mixed with the source gas. An ozone water generation device comprising an inflow prevention means (86) for preventing the occurrence of water.
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