JP2002208192A - Recording/reproducing device and recording/reproducing method - Google Patents

Recording/reproducing device and recording/reproducing method

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JP2002208192A
JP2002208192A JP2001000468A JP2001000468A JP2002208192A JP 2002208192 A JP2002208192 A JP 2002208192A JP 2001000468 A JP2001000468 A JP 2001000468A JP 2001000468 A JP2001000468 A JP 2001000468A JP 2002208192 A JP2002208192 A JP 2002208192A
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JP
Japan
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recording
reproducing
voltage
probe
recording layer
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JP2001000468A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeaki Itsuji
健明 井辻
Shunichi Shito
俊一 紫藤
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Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a recording/reproducing device and a recording/reproducing method capable of easily coping with the parallel process of plural probes, improving the throughput in the recording/reproducing operation, performing the higher speed and stable recording/reproducing operation, and also capable of making the device compact and reducing the cost. SOLUTION: The recording/reproducing device or method is provided with the plural probes, a lower electrode and a recording layer between them having the respectively different current responsive waveform to the voltage for the unrecorded state and the recorded state, and the recording/reproducing of information is carried out by impression of voltage to the recording layer through impression of the voltage for recording/reproducing. The current value flowing into the recording layer is detected by the voltage impressed on the recording layer from the probe side, then the voltage impressed on the probe in controlled at the probe side by monitoring the detected current value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録再生装置及び
記録再生方法に関するものである。The present invention relates to a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】現在、ビット情報を記録する方法として
は、磁気テープや磁気ディスクを用いた磁気的記録方法
や、半導体素子を用いた電気的記録方法などがある。ま
た、記録すべき情報量の増大に伴って、大容量化、高速
化及び誤り率の低減化の要求が強くなってきている。2. Description of the Related Art At present, methods for recording bit information include a magnetic recording method using a magnetic tape or a magnetic disk, and an electric recording method using a semiconductor element. Further, with an increase in the amount of information to be recorded, a demand for a large capacity, a high speed, and a low error rate has been increasing.

【０００３】このような状況の中で、有機薄膜が金属電
極で挟まれた金属−有機絶縁膜−金属構造を有し、電圧
電流のスイッチング特性に対してメモリ効果をもつ素子
（ＭＩＭ素子）が開発されている［特開昭６３−０９６
９５６号公報］。このようなＭＩＭ素子においては、金
属電極間に適当なパルス電圧を印加することによって、
素子の導電率を可逆的に変化させることが可能である。
したがって、このスイッチング現象を利用することによ
り情報をＭＩＭ素子に記録することができる。Under these circumstances, an element (MIM element) having a metal-organic insulating film-metal structure in which an organic thin film is sandwiched between metal electrodes and having a memory effect on the switching characteristics of voltage and current is known. [JP-A-63-096]
No. 956]. In such an MIM element, by applying an appropriate pulse voltage between metal electrodes,
It is possible to reversibly change the conductivity of the device.
Therefore, information can be recorded on the MIM element by utilizing this switching phenomenon.

【０００４】また、近年、探針と試料とを近接させ、そ
の時に生じる物理現象（トンネル現象、原子間力等）を
利用して、物質表面及び表面近傍の電子構造を直接観察
できる走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が開発され、単
結晶、非結晶を問わず様々な物理量の実空間像を高い分
解能で測定できるようになっている。産業分野において
は、ＳＰＭの原子あるいは分子サイズの高分解能を有す
る原理に着目し、特開昭６３−１６１５５２号公報及び
特開昭６３−１６１５５３号公報に開示されているよう
に、媒体に記録層を用いることによる情報記録再生装置
への応用、実用化が精力的に進められている。また上述
のような装置への応用に際しては、そのスループット向
上のために、複数のプローブ（プローブアレイ）の並列
処理（マルチ化）が必要であり、その方面についても開
発が進んでいる。Further, in recent years, a scanning probe has been used in which a probe and a sample are brought close to each other, and the physical structure (tunnel phenomenon, atomic force, etc.) generated at that time can be used to directly observe the electronic structure on the surface of the material and the vicinity of the surface. Microscopes (SPM) have been developed to enable real-space images of various physical quantities, whether single-crystal or non-crystal, to be measured with high resolution. In the industrial field, attention has been paid to the principle of high resolution of the atomic or molecular size of SPM, and as disclosed in JP-A-63-161552 and JP-A-63-161553, a recording layer is formed on a medium. The use and practical application to information recording / reproducing devices by using a computer have been energetically advanced. In addition, when applied to the above-described apparatus, parallel processing (multiplication) of a plurality of probes (probe arrays) is required in order to improve the throughput, and development in this direction is also progressing.

【０００５】図４は、従来の記録再生装置の構成図であ
る。ここでは、記録・再生用電圧発生回路４０４を用い
て、プローブ電極４０１と下部電極４０３の間に所定の
電圧値とパルス幅を有する記録用パルスを印加し、記録
層４０２の導電率を変化させることで記録ビットを形成
する。また、再生時には記録・再生用電圧発生回路４０
４を用いて所定電圧を印加し、記録層４０２に流れる電
流値を電流アンプ４０５で計測することで記録ビットの
再生を行っている。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional recording / reproducing apparatus. Here, a recording pulse having a predetermined voltage value and a predetermined pulse width is applied between the probe electrode 401 and the lower electrode 403 by using the recording / reproducing voltage generation circuit 404 to change the conductivity of the recording layer 402. Thus, a recording bit is formed. During reproduction, the recording / reproducing voltage generation circuit 40 is used.
4, a predetermined voltage is applied, and the current flowing through the recording layer 402 is measured by the current amplifier 405 to reproduce the recorded bit.

【０００６】ところで、このような従来のものにおけ
る、所定の電圧値、パルス幅を印加する構成では、記録
層４０２の状態によって記録ビットの形成が正確に行わ
れる場合と、行われない場合とがあり、記録誤りの発生
率が大きくなるという問題点がある。さらに、記録ビッ
トが正確に形成された後も、所定のパルス幅だけ電圧が
印加されるため記録層４０２には過大な電流が流れて、
記録層４０２を構成する素子を損傷させてしまうという
問題点もあった。By the way, in such a conventional configuration in which a predetermined voltage value and a pulse width are applied, there are cases where a recording bit is formed accurately and cases where it is not performed depending on the state of the recording layer 402. Yes, there is a problem that the recording error rate increases. Further, even after the recording bit is accurately formed, a voltage is applied by a predetermined pulse width, so that an excessive current flows through the recording layer 402,
There is also a problem that the elements constituting the recording layer 402 are damaged.

【０００７】そのため、これらの問題点を解決する方法
の一つとして、特開平０７−００７１９７号公報では、
図１のような構成及び装置を提案している。ここではま
ず記録・再生用電圧発生回路１０６を用いて所定の電圧
値を有するバイアスを記録層１０２に印加する。その
際、記録層１０２とプローブ電極１０１に流れる電流を
電流アンプ１０４、印加電圧制御回路１０５でリアルタ
イムにモニタして記録・再生用電圧発生回路１０６から
下部電極１０３に印加されている電圧をコントロールし
ている。Therefore, as one of the methods for solving these problems, Japanese Patent Laid-Open Publication No.
A configuration and apparatus as shown in FIG. 1 are proposed. Here, first, a bias having a predetermined voltage value is applied to the recording layer 102 using the recording / reproducing voltage generation circuit 106. At this time, the current flowing through the recording layer 102 and the probe electrode 101 is monitored in real time by the current amplifier 104 and the applied voltage control circuit 105 to control the voltage applied to the lower electrode 103 from the recording / reproducing voltage generation circuit 106. ing.

【０００８】この記録・再生用電圧発生回路１０６の動
作を図５に示す。図中の（Ｉ）は記録・再生用電圧発生
回路１０６の出力電圧で、（II）は記録層１０２とプロ
ーブ電極１０１に流れる電流を電流アンプ１０４で増幅
した値を示したものである。＜ｔ1＞点において記録・
再生用電圧発生回路１０６を用いて記録層１０２に＜Ｖ
O＞なる電圧が印加されると、記録層１０２、プローブ
電極１０１には記録層１０２の導電率に応じた電流が流
れる。この電流は電流アンプ１０４で増幅されて＜ＩL
＞となる。この状態を保ったまま電圧を印加し続ける
と、＜ｔ2＞点において、記録層１０２上の下部電極１
０３とプローブ電極１０１に挟まれた部分の導電率が変
化して、電流＜ＩH＞が電流アンプ１０４から検出され
る。この＜ｔ2＞点は記録層１０２に印加する電圧に対
して動的に変化する。この時印加電圧制御回路１０５で
は、任意の電流値＜Ｉth＞を超えた電流値が電流アンプ
１０４から検出されると（記録ビットが形成された）、
記録・再生用電圧制御回路１０６に対して＜ｔ3＞のよ
うに記録層１０２への電圧印加を停止するように命令を
行う。The operation of the recording / reproducing voltage generating circuit 106 is shown in FIG. In the drawing, (I) shows the output voltage of the recording / reproducing voltage generation circuit 106, and (II) shows the value obtained by amplifying the current flowing through the recording layer 102 and the probe electrode 101 by the current amplifier 104. Recorded at point <t 1 >
<V is applied to the recording layer 102 using the reproducing voltage generation circuit 106.
When a voltage of O > is applied, a current flows through the recording layer 102 and the probe electrode 101 according to the conductivity of the recording layer 102. This current is amplified by the current amplifier 104 and <I L
>. When the voltage is continuously applied while maintaining this state, the lower electrode 1 on the recording layer 102 is obtained at the point <t 2 >.
03 and the conductivity of the portion sandwiched between the probe electrode 101 change, and the current <I H > is detected from the current amplifier 104. This <t 2 > point dynamically changes with respect to the voltage applied to the recording layer 102. At this time, in the applied voltage control circuit 105, when a current value exceeding an arbitrary current value <I th > is detected from the current amplifier 104 (record bit is formed),
A command is issued to the recording / reproducing voltage control circuit 106 to stop the voltage application to the recording layer 102 as shown in <t 3 >.

【０００９】このように上記した特開平０７−００７１
９７号公報に記載のものでは、記録ビットが形成される
まで記録層への電圧印加を行い、記録ビットが形成され
るとすぐに印加を停止している。このことにより、電圧
印加により電圧に対する電流応答波形が変化する記録層
に、情報を確実に記録することを実現している。同時
に、記録層に必要以上の電流が記録層を構成する素子に
流れることを防止するために、記録層を構成する素子に
損傷を与えないことを実現している。As described above, Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-0071
In the device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 97-297, a voltage is applied to the recording layer until a recording bit is formed, and the application is stopped as soon as the recording bit is formed. As a result, it is possible to reliably record information on the recording layer in which the current response waveform to the voltage changes with the application of the voltage. At the same time, in order to prevent an unnecessary current from flowing through the recording layer, the element constituting the recording layer is not damaged.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記したように情報を
確実に記録し、同時に、記録層を構成する素子を保護す
る上記従来のものにおける手法は、下部電極に印加され
た記録パルスをコントロールすることで実現している。
また、前述したように、スループット向上の目的で、複
数のプローブ（プローブアレイ）の並列処理（マルチ
化）を行うことについても、開発が進められてきてい
る。しかしなら、前述した情報量の増大に伴う大容量
化、高速化等に応えるためには、さらなる合理的な手法
が要請される。As described above, in the above-mentioned conventional method for reliably recording information and at the same time protecting elements constituting a recording layer, the recording pulse applied to the lower electrode is controlled. It is realized by.
In addition, as described above, development of parallel processing (multiplication) of a plurality of probes (probe arrays) for the purpose of improving throughput has been promoted. However, in order to respond to the above-mentioned increase in the amount of information and increase in the speed and the like, an even more rational method is required.

【００１１】そこで、本発明は、容易に複数のプローブ
の並列処理に対応することができ、記録・再生における
さらなるスループットの向上が可能になり、より高速か
つ安定な記録・再生を行うことができ、また装置のコン
パクト化、コストダウンが可能となる記録再生装置及び
記録再生方法を提供することを目的としている。Therefore, the present invention can easily cope with the parallel processing of a plurality of probes, further improve the throughput in recording / reproduction, and perform higher-speed and stable recording / reproduction. It is another object of the present invention to provide a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method capable of reducing the size and cost of the apparatus.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、つぎの（１）〜（１６）のように構成し
た記録再生装置及び記録再生方法を提供するものであ
る。 （１）複数のプローブと、下部電極と、これらの間に非
記録状態と記録状態とで電圧に対する電流応答波形が異
なる記録層を備え、該記録層に記録・再生用電圧印加手
段により電圧を印加し、情報を記録・再生する記録再生
装置において、前記下部電極に電圧を印加する手段と、
前記プローブ側から前記記録層に印加された電圧により
該記録層に流れる電流値を検出し、該検出された電流値
をモニタすることによって該プローブに印加される電圧
を該プローブ側でコントロールする手段と、を有するこ
とを特徴とする記録再生装置。 （２）前記プローブの電荷を、アースに放出する手段が
付加されていることを特徴とする上記（１）に記載の記
録再生装置。 （３）前記プローブの電荷をアースに放出する手段は、
スイッチで構成されていることを特徴とする上記（２）
に記載の記録再生装置。 （４）前記記録・再生用電圧印加手段が、ＤＣ電源であ
ることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記
載の記録再生装置。 （５）前記記録・再生用電圧印加手段が、矩形波電源で
あることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに
記載の記録再生装置。 （６）前記プローブに印加される電圧をコントロールす
る手段が、スイッチと抵抗で構成されていることを特徴
とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の記録再生
装置。 （７）前記プローブに印加される電圧をコントロールす
る手段が、スイッチで構成されていることを特徴とする
上記（１）〜（５）のいずれかに記載の記録再生装置。 （８）前記記録層に流れる電流値を検出する手段は、そ
の入力側がアースに仮想接地されている電流入力プリア
ンプによって構成されていることを特徴とする上記
（１）〜（７）のいずれかに記載の記録再生装置。 （９）複数のプローブと、下部電極と、これらの間に非
記録状態と記録状態とで電圧に対する電流応答波形が異
なる記録層を備え、該記録層に記録・再生用電圧の印加
により電圧を印加し、情報を記録・再生する記録再生方
法において、前記プローブ側から前記記録層に印加され
た電圧により該記録層に流れる電流値を検出し、該検出
された電流値をモニタすることによって該プローブに印
加される電圧を該プローブ側でコントロールすることを
特徴とする記録再生方法。 （１０）前記プローブの電荷を、アースに放出すること
を特徴とする上記（９）に記載の記録再生方法。 （１１）前記プローブの電荷のアースへの放出が、スイ
ッチによっ行われることを特徴とする上記（１０）に記
載の記録再生方法。 （１２）前記記録・再生用電圧の印加が、ＤＣ電源によ
って行われることを特徴とする上記（９）〜（１１）の
いずれかに記載の記録再生方法。 （１３）前記記録・再生用電圧の印加が、矩形波電源に
よって行われることを特徴とする上記（９）〜（１１）
のいずれかに記載の記録再生方法。 （１４）前記プローブに印加される電圧のコントロール
が、スイッチと抵抗によって行われることを特徴とする
上記（９）〜（１３）のいずれかに記載の記録再生方
法。 （１５）前記プローブに印加される電圧のコントロール
が、スイッチによって行われることを特徴とする上記
（９）〜（１３）のいずれかに記載の記録再生方法。 （１６）前記記録層に流れる電流値の検出は、その入力
側がアースに仮想接地されている電流入力プリアンプに
よって行われることを特徴とする上記（９）〜（１５）
のいずれかに記載の記録再生方法。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method having the following constitutions (1) to (16) in order to solve the above-mentioned problems. (1) A plurality of probes, a lower electrode, and a recording layer having a different current response waveform to a voltage between a non-recording state and a recording state between the probe and the lower electrode, and applying a voltage to the recording layer by a recording / reproducing voltage applying means. In a recording / reproducing apparatus for recording and reproducing information by applying a voltage, means for applying a voltage to the lower electrode,
Means for detecting a current value flowing through the recording layer from a voltage applied to the recording layer from the probe side, and controlling the voltage applied to the probe at the probe side by monitoring the detected current value. And a recording / reproducing apparatus comprising: (2) The recording / reproducing apparatus according to the above (1), further comprising means for discharging the electric charge of the probe to the ground. (3) The means for discharging the electric charge of the probe to the ground includes:
(2) characterized by comprising a switch
The recording / reproducing apparatus according to claim 1. (4) The recording / reproducing apparatus according to any one of (1) to (3), wherein the recording / reproducing voltage applying means is a DC power supply. (5) The recording / reproducing apparatus according to any one of (1) to (3), wherein the recording / reproducing voltage applying means is a rectangular wave power supply. (6) The recording / reproducing apparatus according to any one of (1) to (5), wherein the means for controlling the voltage applied to the probe comprises a switch and a resistor. (7) The recording / reproducing apparatus according to any one of (1) to (5), wherein the means for controlling the voltage applied to the probe comprises a switch. (8) The means for detecting the value of the current flowing through the recording layer is constituted by a current input preamplifier whose input side is virtually grounded to ground. The recording / reproducing apparatus according to claim 1. (9) A plurality of probes, a lower electrode, and a recording layer having a different current response waveform to a voltage between a non-recording state and a recording state between the probe and the lower electrode. In the recording / reproducing method of applying and recording / reproducing information, a current value flowing through the recording layer is detected by a voltage applied to the recording layer from the probe side, and the detected current value is monitored. A recording / reproducing method, wherein a voltage applied to a probe is controlled on the probe side. (10) The recording / reproducing method according to (9), wherein the electric charge of the probe is discharged to the ground. (11) The recording / reproducing method according to (10), wherein the discharge of the electric charge of the probe to the ground is performed by a switch. (12) The recording / reproducing method according to any one of (9) to (11), wherein the application of the recording / reproducing voltage is performed by a DC power supply. (13) The above (9) to (11), wherein the application of the recording / reproducing voltage is performed by a rectangular wave power supply.
The recording / reproducing method according to any one of the above. (14) The recording / reproducing method according to any one of (9) to (13), wherein the control of the voltage applied to the probe is performed by a switch and a resistor. (15) The recording / reproducing method according to any one of (9) to (13), wherein the control of the voltage applied to the probe is performed by a switch. (16) The value of the current flowing through the recording layer is detected by a current input preamplifier whose input side is virtually grounded to ground.
The recording / reproducing method according to any one of the above.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態においては、
上記した構成を適用することによって、例えば、その下
部電極を共通にして、プローブ側から記録パルスを印加
するという合理的な手法を構成することが可能となる。
より具体的には、複数のプローブを用いて、非記録状態
と記録状態とで電圧に対する電流応答波形が異なる記録
層に、記録用電圧を印加して記録層を記録状態とするこ
とにより、記録層に情報を記録する記録再生装置または
方法を構成するに際して、予め下部電極を所定の電圧で
プルアップする手段と、記録層に流れる電流変化を監視
する手段と、複数のプローブを構成する各プローブに設
けられたスイッチを用いて、プローブ毎に記録層に印加
される電圧をコントロールするように構成することがで
きる。そして、これにより、容易に複数のプローブの並
列処理に対応することができ、記録・再生におけるさら
なるスループットの向上が可能になり、より高速かつ安
定な記録・再生を行うことができ、また装置のコンパク
ト化、コストダウンが可能となる記録再生装置及び記録
再生方法を実現することができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In an embodiment of the present invention,
By applying the above-described configuration, for example, it is possible to configure a rational method of applying a recording pulse from the probe side using the lower electrode in common.
More specifically, by using a plurality of probes, a recording voltage is applied to a recording layer having a different current response waveform with respect to a voltage between a non-recording state and a recording state, and the recording layer is brought into a recording state, thereby performing recording. When configuring a recording / reproducing apparatus or method for recording information on a layer, means for pulling up a lower electrode in advance with a predetermined voltage, means for monitoring a change in current flowing through a recording layer, and each probe constituting a plurality of probes , The voltage applied to the recording layer can be controlled for each probe by using the switch provided in the recording medium. As a result, it is possible to easily cope with the parallel processing of a plurality of probes, to further improve the throughput in recording / reproducing, to perform faster and more stable recording / reproducing, and to improve the apparatus. It is possible to realize a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method capable of reducing the size and cost.

【００１４】つぎに、本発明の実施の形態における記録
再生装置について、図を用いて説明する。図２は、本実
施の形態における基本構成図である。図２において、記
録層２０３はスイッチング現象を有する有機薄膜であ
る。この記録層２０３は下部電極２０４とプローブ電極
２０２に挟まれることにより、ＭＩＭ素子を形成してい
る。このＭＩＭ素子には下部電極２０４側から、記録・
再生用電圧発生回路２０５より所定のＤＣ電圧が印加さ
れている。Next, a recording / reproducing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a basic configuration diagram in the present embodiment. In FIG. 2, the recording layer 203 is an organic thin film having a switching phenomenon. The recording layer 203 forms an MIM element by being sandwiched between the lower electrode 204 and the probe electrode 202. This MIM element is used for recording / recording from the lower electrode 204 side.
A predetermined DC voltage is applied from the reproduction voltage generation circuit 205.

【００１５】プローブアレイ２０１はプローブ電極２０
２が複数配置されたものである。これらのプローブ電極
２０２には、それぞれＺ方向制御機構２０８が備えられ
ており、プローブ探針と記録層２０３との間に生じる物
理現象を参照して近接するように制御されている。本実
施例では、物理現象として原子間力を利用した。このプ
ローブ電極２０２の構成を図７に示す。プローブ電極２
０２は導電性金属被膜７０２で覆われている。これは、
記録層に流れる電流を電流アンプ２０７で検出するため
である。記録層２０３とプローブ電極２０２の探針を近
接させるという距離制御は、レバー７０３の先端にレー
ザー照射装置７０４を用いてレーザーを照射し、その反
射光からレバー７０３のたわみを光センサ７０５、ＡＦ
Ｍ信号検出回路７０６を用いて検出し、たわみ量が一定
（距離が一定）になるようにＺ方向制御機構２０８にフ
ィードバックさせて行っている。各プローブ電極２０２
には電流アンプ２０７と印加電圧制御回路２０６が付随
している。電流アンプ２０７は一般的な電流入力プリア
ンプを使用している。The probe array 201 has the probe electrode 20
2 is a plurality. Each of these probe electrodes 202 is provided with a Z-direction control mechanism 208, which is controlled so as to approach by referring to a physical phenomenon occurring between the probe probe and the recording layer 203. In this embodiment, an atomic force is used as a physical phenomenon. FIG. 7 shows the configuration of the probe electrode 202. Probe electrode 2
02 is covered with a conductive metal film 702. this is,
This is because the current flowing through the recording layer is detected by the current amplifier 207. The distance control of bringing the probe of the probe electrode 202 close to the recording layer 203 is performed by irradiating the tip of the lever 703 with a laser using a laser irradiator 704, and detecting the deflection of the lever 703 from the reflected light by the optical sensor 705 and AF.
Detection is performed using the M signal detection circuit 706, and feedback is performed to the Z direction control mechanism 208 so that the deflection amount is constant (the distance is constant). Each probe electrode 202
Is associated with a current amplifier 207 and an applied voltage control circuit 206. The current amplifier 207 uses a general current input preamplifier.

【００１６】印加電圧制御回路２０６はスイッチとスイ
ッチ制御回路で構成されている。スイッチ制御回路は図
１１のようにコンパレータ１１０１とＰＬＤ（Ｐｒｏｇ
ｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｄｅｖｉｃｅ）１１０
２で構成されている。コンパレータ１１０１では、任意
の基準電流値（図５＜Ｉｔｈ＞）と記録層２０３からの
応答電流を比較して、記録層２０３上に情報が記録され
たかどうかを判断している。ＰＬＤ１１０２では、この
コンパレータ１１０１の出力を参照して、スイッチをコ
ントロールするロジックプログラムが実装されている。
このスイッチをコントロールすることによって、記録層
２０３への電圧の印加をコントロールし情報の記録を行
っている。再生時には、記録・再生用電圧発生回路２０
５から所定のＤＣ電圧を印加する。印加電圧制御回路２
０６を用いて記録層２０３にＤＣ電圧を印加し、各プロ
ーブ電極２０２毎に電流アンプ２０７を用いて記録層２
０３上の導電率の変化を検出して再生を行う。The applied voltage control circuit 206 comprises a switch and a switch control circuit. The switch control circuit includes a comparator 1101 and a PLD (Prog) as shown in FIG.
ramble Logic Device) 110
2 is comprised. The comparator 1101 compares an arbitrary reference current value (<Ith> in FIG. 5) with a response current from the recording layer 203 to determine whether or not information has been recorded on the recording layer 203. In the PLD 1102, a logic program for controlling switches with reference to the output of the comparator 1101 is implemented.
By controlling this switch, the application of voltage to the recording layer 203 is controlled to record information. At the time of reproduction, the recording / reproduction voltage generation circuit 20
5 to apply a predetermined DC voltage. Applied voltage control circuit 2
06, a DC voltage is applied to the recording layer 203, and a current amplifier 207 is used for each probe electrode 202 to record the recording layer 2.
Reproduction is performed by detecting a change in the electrical conductivity on the substrate 03.

【００１７】[0017]

【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 ［実施例１］図３に、本発明の実施例１の構成を示す。
記録層３０２として非記録状態と記録状態の導電率が異
なるＬＢ膜を使用した。この記録層３０２に下部電極３
０３とＰｔ金属でコートしたプローブ電極３０４で挟む
ことでＭＩＭ素子を形成した。プローブ電極３０４と記
録層３０２の距離制御は、ＡＦＭの原理を利用し、具体
的には各プローブ電極３０４にあるＺ方向制御機構３０
６を用いて近接あるいは接触している状態に制御した。Embodiments of the present invention will be described below. [Embodiment 1] FIG. 3 shows the configuration of Embodiment 1 of the present invention.
As the recording layer 302, an LB film having different conductivity in a non-recording state and a recording state was used. This recording layer 302 has a lower electrode 3
The MIM element was formed by sandwiching the probe electrode 304 and a probe electrode 304 coated with Pt metal. The distance between the probe electrode 304 and the recording layer 302 is controlled by using the principle of the AFM.
6 was used to control the state of proximity or contact.

【００１８】下部電極３０３は記録・再生用ＤＣ電源３
０７によりＤＣ電圧がプルアップされており、具体的に
は９〜１０［Ｖ］の電圧を印加した。ただし、この電圧
値に限定されるものではない。プローブ電極３０４は印
加電圧制御スイッチ３１０を介して記録・再生用ＤＣ電
源３０７へ接続されている。本実施例では印加電圧制御
スイッチ３１０に市販のアナログスイッチを使用した。
このアナログスイッチは可能な限りリーク電流が小さい
（スイッチＯＦＦ時の抵抗が高い）ことが望ましい。本
実施例では、この印加電圧制御スイッチ３１０をＯＮ・
ＯＦＦすることで記録層３０２への電圧印加をコントロ
ールした。The lower electrode 303 is a recording / reproducing DC power source 3
07, the DC voltage was pulled up. Specifically, a voltage of 9 to 10 [V] was applied. However, the present invention is not limited to this voltage value. The probe electrode 304 is connected to a recording / reproducing DC power supply 307 via an applied voltage control switch 310. In this embodiment, a commercially available analog switch is used as the applied voltage control switch 310.
It is desirable that this analog switch has as small a leak current as possible (high resistance when the switch is OFF). In this embodiment, the applied voltage control switch 310 is turned ON / OFF.
By turning it off, the voltage application to the recording layer 302 was controlled.

【００１９】印加電圧制御スイッチ３１０の制御はスイ
ッチ制御回路３１１が行った。スイッチ制御回路３１１
は記録層３０２から出力される電流値を比較するコンパ
レータと、コンパレータの出力を参照して印加電圧制御
スイッチ３１０を実際に制御するＰＬＤで構成した。実
際の動作については後述する。コンパレータとしては一
般的なコンパレータ専用ＯＰアンプを使用した。また、
ＰＬＤも市販のものを使用した。記録層３０２に流れる
電流の測定は電流入力プリアンプ３０９が行った。電流
入力プリアンプ３０９は抵抗器３０８を介してブローブ
電極３０４と接続させた。電流入力プリアンプ３０９は
市販のＯＰアンプで構成される一般的な回路構成を用い
た。そのため、電流入力プリアンプの入力側はアースに
仮想接地になっている。使用するＯＰアンプのオフセッ
ト電流、もしくはバイアス電流は可能な限り小さいもの
が望ましい。抵抗器３０８には４．７［ＭΩ］の金属被
膜抵抗を使用したが、この抵抗値に限定されるものでは
なく、必要に応じて変化させてもよい。The switch control circuit 311 controls the applied voltage control switch 310. Switch control circuit 311
Is composed of a comparator for comparing the current value output from the recording layer 302 and a PLD for actually controlling the applied voltage control switch 310 with reference to the output of the comparator. The actual operation will be described later. A general comparator-dedicated OP amplifier was used as the comparator. Also,
A commercially available PLD was also used. The current flowing through the recording layer 302 was measured by the current input preamplifier 309. The current input preamplifier 309 was connected to the probe electrode 304 via the resistor 308. As the current input preamplifier 309, a general circuit configuration including a commercially available OP amplifier was used. Therefore, the input side of the current input preamplifier is virtually grounded to ground. It is desirable that the offset current or bias current of the OP amplifier used is as small as possible. Although a metal film resistance of 4.7 [MΩ] was used for the resistor 308, the resistance is not limited to this value and may be changed as needed.

【００２０】つぎに、記録時の動作について図３、図９
を用いて説明する。図９において、（Ｉ）は記録用ＴＲ
ＩＧＧＥＲ信号、（II）は記録層３０２に印加される電
圧、（III）は電流入力プリアンプ３０９に入力される
応答電流、である。記録層３０２に情報を記録するとき
は、各プローブ電極３０４に付随するスイッチ制御回路
３１１のＰＬＤに記録用ＴＲＩＧＧＥＲ信号（図９
（Ｉ））を入力する。逆に記録する必要がない時は、こ
の記録用ＴＲＩＧＧＥＲ信号を入力しない。これらの入
力、非入力の情報はすべてパーソナルコンピュータ（以
下ＰＣ）３１２上で処理し、各スイッチ制御回路３１１
に対してすべて同じタイミングで行った。プローブアレ
イ３０１の各プローブ電極３０４に接続されている印加
電圧制御スイッチ３１０は、無記録時において常に閉じ
て（ＯＮ状態）いる。Next, the operation at the time of recording will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In FIG. 9, (I) is a recording TR.
The IGGER signal, (II) is a voltage applied to the recording layer 302, and (III) is a response current input to the current input preamplifier 309. When information is recorded on the recording layer 302, a recording TRIGGER signal (FIG. 9) is sent to the PLD of the switch control circuit 311 associated with each probe electrode 304.
(I)) is input. Conversely, when it is not necessary to record, this TRIGGER signal for recording is not inputted. These input and non-input information are all processed on a personal computer (PC) 312, and each switch control circuit 311
All performed at the same timing. The applied voltage control switch 310 connected to each probe electrode 304 of the probe array 301 is always closed (ON state) during no recording.

【００２１】電流入力プリアンプ３０９の構成例を図１
７に示す。ここでは（Ｉ）のようにＯＰアンプと抵抗器
で構成されたものや、（II）のように抵抗器で電流−電
圧変換したものを、所定の値（Ａ倍）に増幅するものな
どがある。これらの例のように、電流入力プリアンプ３
０９の入力側は常にアースに接地されており、そのため
にプローブ電極３０４に印加される電圧を変化させるこ
とが可能となる。印加電圧制御スイッチ３１０として今
回使用したアナログスイッチのＯＮ抵抗は４５［Ω］と
抵抗器３０８（４．７［ＭΩ］）に比べて十分小さい。
そのため、記録・再生用ＤＣ電源３０７から印加された
電圧はプローブ電極３０４、抵抗器３０８に印加され
る。つまり、記録層３０２を挟む上下の電極の電圧値が
それぞれ等しくなり、記録層３０２には電圧が印加され
ない。この時、電流入力プリアンプの入力側には、記録
・再生用ＤＣ電源３０７から印加された電圧と抵抗器３
０８の抵抗値で規定される電流＜Ｉ0＞が流れる。ここ
ではおよそ２［μＡ］の電流値が観測された。FIG. 1 shows a configuration example of the current input preamplifier 309.
It is shown in FIG. In this case, as shown in (I), an amplifier constituted by an OP amplifier and a resistor, or as shown in (II), a current-voltage converted by a resistor is amplified to a predetermined value (A times). is there. As in these examples, the current input preamplifier 3
09 is always grounded to the ground, so that the voltage applied to the probe electrode 304 can be changed. The ON resistance of the analog switch used this time as the applied voltage control switch 310 is 45 [Ω], which is sufficiently smaller than the resistor 308 (4.7 [MΩ]).
Therefore, the voltage applied from the recording / reproducing DC power supply 307 is applied to the probe electrode 304 and the resistor 308. That is, the voltage values of the upper and lower electrodes sandwiching the recording layer 302 become equal, and no voltage is applied to the recording layer 302. At this time, the voltage applied from the recording / reproducing DC power supply 307 and the resistor 3 are connected to the input side of the current input preamplifier.
A current <I 0 > defined by a resistance value of 08 flows. Here, a current value of about 2 [μA] was observed.

【００２２】＜ｔ1＞点において、ＰＣ３１２より記録
の命令がスイッチ制御回路３１１に出されると、印加電
圧制御スイッチ３１０は開く（ＯＦＦ状態）。本実施例
で使用した印加電圧制御スイッチ３１０のリーク電流は
±０．０１［ｎＡ］と極めて低いものを使用したため、
抵抗器３０８の抵抗値に比べてＯＦＦ抵抗値は極めて高
い。記録・再生用ＤＣ電源３０７から印加された電圧は
印加電圧制御スイッチ３１０に印加され、プローブ電極
３０４には印加されない。この結果、記録層３０２を挟
む上下電極に電位差が生じて記録層３０２に電圧が印加
され、記録を開始する。また、記録層３０２には電流＜
ＩL＞が流れる。ここではおよそ０．１［ｎＡ］の電流
値が観測された。本実施例では、コンパレータに入力す
る基準電流値＜Ｉｔｈ＞として５００〜８００［ｎＡ］
の電流値を設定した。記録層３０２への電圧印加状態を
保持すると、＜ｔ2＞点で記録層３０２の導電率が変化
し＜Ｉｔｈ＞を超えた電流値＜ＩH＞が流れ、記録ビッ
トが形成される。At point <t 1 >, when a recording command is issued from the PC 312 to the switch control circuit 311, the applied voltage control switch 310 is opened (OFF state). Since the leakage current of the applied voltage control switch 310 used in this embodiment was as extremely low as ± 0.01 [nA],
The OFF resistance value is extremely higher than the resistance value of the resistor 308. The voltage applied from the recording / reproducing DC power supply 307 is applied to the applied voltage control switch 310 and is not applied to the probe electrode 304. As a result, a potential difference occurs between the upper and lower electrodes sandwiching the recording layer 302, a voltage is applied to the recording layer 302, and recording starts. In addition, a current <
I L > flows. Here, a current value of about 0.1 [nA] was observed. In this embodiment, the reference current value <Ith> input to the comparator is 500 to 800 [nA].
Was set. When the state of voltage application to the recording layer 302 is maintained, the conductivity of the recording layer 302 changes at the point <t 2 >, and a current value <I H > exceeding <Ith> flows to form a recording bit.

【００２３】記録層３０２上に記録ビットが形成される
と、スイッチ制御回路３１１は印加電圧制御スイッチ３
１０を閉じて（ＯＮ状態）、＜ｔ3＞点のように記録層
３０２への電圧印加を停止するように命令を行う。この
ことにより、記録層３０２を構成する素子に、必要以上
の電流が流れることを防止している。また、＜ｔ4＞点
では記録ビットが形成できない場合であっても、記録層
３０２への電圧印加を停止する。本実施例では、この＜
ｔ4＞点として、１［ｍｓｅｃ］を設定した。記録ビッ
トの再生は、記録・再生用ＤＣ電源３０７から所定の電
圧を印加し、各プローブ電極３０４に付随するそれぞれ
の印加電圧制御スイッチ３１０を開いた（ＯＦＦ）状態
で行った。また、この再生電圧として、本実施例では３
〜４［Ｖ］の電圧を印加した。ただし、この電圧値に限
定されるものではない。以上のような構成及び動作を行
う装置を作製し、ＸＹステージ３０５でＸＹ方向に走査
をしながら複数のプローブ電極を用いて記録・再生実験
を行ったところ、各プローブ電極ともに安定な記録・再
生動作を行っていることを確認した。When a recording bit is formed on the recording layer 302, the switch control circuit 311
10 is closed (ON state), and a command is issued to stop the application of the voltage to the recording layer 302 at the point <t 3 >. This prevents an unnecessary current from flowing through the elements constituting the recording layer 302. Further, even when the recording bit cannot be formed at the point <t 4 >, the application of the voltage to the recording layer 302 is stopped. In this embodiment, this <
1 [msec] was set as t 4 > point. The reproduction of the recording bit was performed in a state where a predetermined voltage was applied from the recording / reproducing DC power supply 307 and the applied voltage control switches 310 attached to the respective probe electrodes 304 were opened (OFF). In this embodiment, the reproduction voltage is 3
A voltage of ~ 4 [V] was applied. However, the present invention is not limited to this voltage value. A device for performing the above-described configuration and operation was manufactured, and recording and reproduction experiments were performed using a plurality of probe electrodes while scanning in the XY directions on the XY stage 305. I confirmed that it was working.

【００２４】［実施例２］図８に、本発明の実施例２の
構成を示す。記録層８０２として非記録状態と記録状態
の導電率が異なるＬＢ膜を使用した。この記録層８０２
に下部電極８０３とＰｔ金属でコートしたプローブ電極
８０４で挟むことでＭＩＭ素子を形成した。プローブ電
極８０４と記録層８０２の距離制御は、ＡＦＭの原理を
利用し、具体的には各プローブ電極８０４にあるＺ方向
制御機構８０６を用いて近接あるいは接触している状態
で行った。下部電極８０３は記録・再生用ＤＣ電源８０
７によりＤＣ電圧がプルアップされており、具体的には
９〜１０［Ｖ］の電圧を印加した。ただし、この電圧値
に限定されるものではない。[Embodiment 2] FIG. 8 shows the configuration of Embodiment 2 of the present invention. As the recording layer 802, an LB film having different conductivity in a non-recording state and a recording state was used. This recording layer 802
Was sandwiched between a lower electrode 803 and a probe electrode 804 coated with Pt metal to form a MIM element. The distance between the probe electrode 804 and the recording layer 802 was controlled using the principle of AFM, specifically, in a state of being close to or in contact with the Z-direction control mechanism 806 of each probe electrode 804. The lower electrode 803 is a recording / reproducing DC power supply 80.
7, the DC voltage was pulled up. Specifically, a voltage of 9 to 10 [V] was applied. However, the present invention is not limited to this voltage value.

【００２５】記録層８０２に流れる電流の測定は電流入
力プリアンプ８０９が行った。電流入力プリアンプ８０
９は印加電圧制御スイッチ８０８を介してプローブ電極
８０４と接続させた。電流入力プリアンプ８０９は市販
のＯＰアンプで構成される一般的な回路構成を用いた。
そのため、電流入力プリアンプの入力側は常にアースに
接地している。使用するＯＰアンプのオフセット電流、
もしくはバイアス電流は可能な限り小さいものが望まし
い。また、本実施例では印加電圧制御スイッチ８０８に
市販のアナログスイッチを使用した。このアナログスイ
ッチは可能な限りリーク電流が小さい（スイッチＯＦＦ
時の抵抗が高い）ことが望ましい。この印加電圧制御ス
イッチ８０８を用いて記録層８０２への電圧印加をコン
トロールした。The current flowing through the recording layer 802 was measured by a current input preamplifier 809. Current input preamplifier 80
No. 9 was connected to the probe electrode 804 via the applied voltage control switch 808. As the current input preamplifier 809, a general circuit configuration including a commercially available OP amplifier was used.
Therefore, the input side of the current input preamplifier is always grounded. Offset current of OP amplifier used,
Alternatively, it is desirable that the bias current be as small as possible. In this embodiment, a commercially available analog switch is used as the applied voltage control switch 808. This analog switch has the lowest possible leakage current (switch OFF
High resistance at the time). The application of the voltage to the recording layer 802 was controlled using the applied voltage control switch 808.

【００２６】印加電圧制御スイッチ８０８の制御はスイ
ッチ制御回路８１０が行った。スイッチ制御回路８１０
は記録層８０２から出力される電流値を比較するコンパ
レータと、コンパレータの出力を参照して印加電圧制御
スイッチ８０８を実際に制御するＰＬＤで構成した。実
際の動作については後述する。コンパレータとしては一
般的なコンパレータ専用ＯＰアンプを使用した。また、
ＰＬＤも市販のものを使用した。The control of the applied voltage control switch 808 was performed by the switch control circuit 810. Switch control circuit 810
Is composed of a comparator for comparing the current value output from the recording layer 802 and a PLD for actually controlling the applied voltage control switch 808 with reference to the output of the comparator. The actual operation will be described later. A general comparator-dedicated OP amplifier was used as the comparator. Also,
A commercially available PLD was also used.

【００２７】つぎに、記録時の動作について図８、図１
０を用いて説明する。図１０において、（Ｉ）は記録用
ＴＲＩＧＧＥＲ信号、（II）は記録層８０２に印加され
る電圧、（III）は電流入力プリアンプ８０９に入力さ
れる応答電流である。記録層８０２に情報を記録すると
きは、各プローブ電極８０４に付随するスイッチ制御回
路８１０のＰＬＤに記録用ＴＲＩＧＧＥＲ信号（図１０
（Ｉ））を入力する。逆に記録する必要がない時は、こ
の記録用ＴＲＩＧＧＥＲ信号を入力しない。これらの入
力、非入力の情報はすべてＰＣ８１１上で処理し、各ス
イッチ制御回路８１０に対して同じタイミングで行っ
た。プローブアレイ８０１の各プローブ電極８０４に接
続されている印加電圧制御スイッチ８０８は、無記録時
において常に開いている（ＯＦＦ状態）。また、電流入
力プリアンプ８０９の入力側はアースに仮想接地であ
る。本実施例で使用した印加電圧制御スイッチ８０８の
リーク電流は±０．０１［ｎＡ］と極めて低いものを使
用したためＯＦＦ抵抗値は極めて高い。記録・再生用Ｄ
Ｃ電源８０７から印加された電圧は印加電圧制御スイッ
チ８０８に印加され、プローブ電極８０４、記録層８０
２には印加されない。Next, the operation at the time of recording will be described with reference to FIGS.
Explanation will be made using 0. In FIG. 10, (I) is a TRIGGER signal for recording, (II) is a voltage applied to the recording layer 802, and (III) is a response current input to the current input preamplifier 809. When information is recorded on the recording layer 802, a recording TRIGGER signal (FIG. 10) is sent to the PLD of the switch control circuit 810 associated with each probe electrode 804.
(I)) is input. Conversely, when it is not necessary to record, this TRIGGER signal for recording is not inputted. These input and non-input information are all processed on the PC 811 and are performed on each switch control circuit 810 at the same timing. The applied voltage control switch 808 connected to each probe electrode 804 of the probe array 801 is always open (OFF state) during non-recording. The input side of the current input preamplifier 809 is a virtual ground to the ground. Since the leakage current of the applied voltage control switch 808 used in this embodiment is as low as ± 0.01 [nA], the OFF resistance value is extremely high. D for recording / playback
The voltage applied from the C power supply 807 is applied to an applied voltage control switch 808, and the probe electrode 804 and the recording layer 80 are applied.
2 is not applied.

【００２８】＜ｔ1＞点において、ＰＣ８１１より記録
の命令がスイッチ制御回路８１０に出されると、印加電
圧制御スイッチ８０８は閉じる。印加電圧制御スイッチ
８０８として今回使用したアナログスイッチのＯＮ抵抗
は４５［Ω］と十分小さいため、記録・再生用ＤＣ電源
８０７から印加された電圧は記録層８０２に印加され、
記録を開始する。また、記録層８０２には電流＜ＩL＞
が流れる。ここではおよそ０．１［ｎＡ］の電流値が観
測された。記録層８０２への電圧印加状態を保持する
と、＜ｔ2＞点で記録層８０２の導電率が変化し＜Ｉｔ
ｈ＞を超えた電流値＜ＩH＞が流れ、記録ビットが形成
される。本実施例では、この基準電流値＜Ｉｔｈ＞とし
て５００〜８００［ｎＡ］の電流値を設定した。At point <t 1 >, when a recording command is issued from the PC 811 to the switch control circuit 810, the applied voltage control switch 808 is closed. Since the ON resistance of the analog switch used this time as the applied voltage control switch 808 is sufficiently small at 45 [Ω], the voltage applied from the recording / reproducing DC power supply 807 is applied to the recording layer 802,
Start recording. Further, the current <I L >
Flows. Here, a current value of about 0.1 [nA] was observed. When the state of voltage application to the recording layer 802 is maintained, the conductivity of the recording layer 802 changes at the point <t 2 > and <It
h>, a current value <I H > that exceeds h> flows, and a recording bit is formed. In this embodiment, a current value of 500 to 800 [nA] is set as the reference current value <Ith>.

【００２９】記録層８０２上に記録ビットが形成される
と、スイッチ制御回路８１０は印加電圧制御スイッチ８
０８を開いて（ＯＦＦ）、再び＜ｔ3＞点のように記録
層８０２への電圧印加を停止するように命令を行う。こ
のことにより、記録層８０２を構成する素子に、必要以
上の電流が流れることを防止している。また、＜ｔ4＞
点では記録ビットが形成できない場合であっても、記録
層８０２への電圧印加を停止する。本実施例では、この
＜ｔ4＞点として、１［ｍｓｅｃ］を設定した。When a recording bit is formed on the recording layer 802, the switch control circuit 810 switches the applied voltage control switch 8
08 is opened (OFF), and a command is again issued to stop the voltage application to the recording layer 802 at the point <t 3 >. This prevents an unnecessary current from flowing through the elements constituting the recording layer 802. Also, <t 4 >
Even when the recording bit cannot be formed at the point, the application of the voltage to the recording layer 802 is stopped. In this embodiment, 1 [msec] is set as the <t 4 > point.

【００３０】記録ビットの再生は、記録・再生用ＤＣ電
源８０７から所定の電圧を印加し、各プローブ電極８０
４に付随するそれぞれの印加電圧制御スイッチ８０８を
閉じた（ＯＮ）状態で行った。また、この再生電圧とし
て、本実施例では３〜４［Ｖ］の電圧を印加した。ただ
し、この電圧値に限定されるものではない。以上のよう
な構成及び動作を行う装置を作製し、ＸＹステージ８０
５でＸＹ方向に走査をしながら複数のプローブ電極を用
いて記録・再生実験を行ったところ、各プローブ電極と
もに安定な記録・再生動作を行っていることを確認し
た。To reproduce a recording bit, a predetermined voltage is applied from a recording / reproducing DC power supply 807 and each probe electrode 80
The test was performed in a state where the applied voltage control switches 808 associated with No. 4 were closed (ON). In this embodiment, a voltage of 3 to 4 [V] is applied as the reproducing voltage. However, the present invention is not limited to this voltage value. An apparatus for performing the above configuration and operation is manufactured, and the XY stage 80
A recording / reproducing experiment was performed using a plurality of probe electrodes while scanning in the XY directions in 5, and it was confirmed that each of the probe electrodes performed stable recording / reproducing operations.

【００３１】［実施例３］実施例１のような構成をとる
ことにより、プローブ電極側からの良好な記録・再生を
行うことが可能になり、かつプローブ電極を複数配置す
ることによって、スループットを向上させることが実現
できた。ところで、これらのプローブ電極とアース（Ｇ
ＮＤ）、あるいはプローブ電極に付随する各素子、また
はプローブ電極や付随する各素子をつなぐ配線とＧＮＤ
間には、少なからず容量成分が存在している。[Embodiment 3] By adopting the configuration as in Embodiment 1, it is possible to perform good recording / reproducing from the probe electrode side, and to reduce the throughput by arranging a plurality of probe electrodes. The improvement could be realized. By the way, these probe electrodes and ground (G
ND), or each element attached to the probe electrode, or a wiring connecting the probe electrode and each associated element to GND
Not a small amount of a capacity component exists between them.

【００３２】図１６はこの容量成分の充放電の動作を示
したものである。ここで（Ｉ）は＜ｔ1＞点でＰＣから
記録開始の命令が出された時の電流入力プリアンプの入
力側に流れる電流波形であり、（II）はその時記録層に
印加される電圧の波形である。ここで容量成分の充放電
が終了する＜ｔ2＞点（実施例１ではおよそ２００［μ
ｓｅｃ］）を短時間に制御することによってさらなる記
録速度の高速化が期待できる。FIG. 16 shows the operation of charging and discharging the capacitance component. Here, (I) is a current waveform flowing to the input side of the current input preamplifier when a recording start command is issued from the PC at the point <t 1 >, and (II) is a voltage waveform applied to the recording layer at that time. It is a waveform. Here, the charging / discharging of the capacitance component is completed at the point <t 2 > (about 200 μm in the first embodiment).
sec]) can be expected to further increase the recording speed by controlling in a short time.

【００３３】そこで本実施例では、この容量成分による
充放電の影響を軽減できる構成を提案する。本実施例の
構成は、図６のように実施例１に記録用高速アクセサリ
６１３をプローブ電極６０４に付加させたものである。
また、記録用高速アクセサリ６１３は図１４のように電
荷放出用スイッチ１４０１と保護抵抗１４０２とで構成
されている。電荷放出用スイッチ１４０１としては市販
のアナログスイッチを使用した。保護抵抗１４０２には
２００［Ω］の金属被膜抵抗器を使用した。ただし、こ
の抵抗値に限定されるものではない。Therefore, this embodiment proposes a configuration capable of reducing the influence of charging and discharging due to the capacitance component. In the configuration of the present embodiment, a high-speed recording accessory 613 is added to the probe electrode 604 in the first embodiment as shown in FIG.
The high-speed recording accessory 613 includes a charge discharging switch 1401 and a protection resistor 1402 as shown in FIG. As the charge discharging switch 1401, a commercially available analog switch was used. As the protection resistor 1402, a 200 [Ω] metal film resistor was used. However, it is not limited to this resistance value.

【００３４】以下に、これらの動作について説明する。
ここで、基本的な記録・再生の動作は実施例１と同様で
ある。ただし、本実施例においては、図１８（II）のよ
うに記録用ＭＡＳＫ信号をスイッチ制御回路６１１と記
録用高速アクセサリ６１３に入力している。記録用ＭＡ
ＳＫ信号が有効な間は、電流入力プリアンプ６０９にい
かなる信号が入力されても、状態を保持し続ける。ＰＣ
６１２よりスイッチ制御回路６１１に記録用ＭＡＳＫ信
号が入力されている間、同様の信号を用いて、記録用高
速アクセサリ６１３を構成する電荷放出用スイッチ１４
０１を閉じた（ＯＮ）状態にし、一時的にプローブ電極
６０４をアースと接地させた。より正確には、プローブ
電極６０４をアースに接地させる場合、本実施例の構成
であるとアース時において回路がショート状態になって
しまうため、この解決策として保護抵抗１４０２を電荷
放出用スイッチ１４０１とアースの間に挿入した。この
ようにして容量成分に蓄積された電荷を一時的にアース
に放出することによって、充放電の時間を１［μｓｅ
ｃ］まで短縮させることができた。Hereinafter, these operations will be described.
Here, the basic recording / reproducing operation is the same as in the first embodiment. However, in the present embodiment, the recording MASK signal is input to the switch control circuit 611 and the recording high-speed accessory 613 as shown in FIG. MA for recording
As long as the SK signal is valid, the state is maintained regardless of what signal is input to the current input preamplifier 609. PC
While the recording MASK signal is being input from the switch control circuit 612 to the switch control circuit 611, the charge discharging switch 14 constituting the recording high-speed accessory 613 is used by using the same signal.
01 was closed (ON), and the probe electrode 604 was temporarily grounded. More precisely, when the probe electrode 604 is grounded to the ground, the circuit of this embodiment is short-circuited at the time of grounding. Therefore, as a solution, the protection resistor 1402 is connected to the charge discharging switch 1401. Inserted between grounds. By temporarily discharging the charge accumulated in the capacitance component to the ground in this manner, the charge / discharge time can be reduced to 1 μsec.
c].

【００３５】以上のような構成及び動作を行う装置を作
製し、ＸＹステージ６０５でＸＹ方向に走査をしながら
複数のプローブ電極を用いて記録・再生実験を行ったと
ころ、各プローブ電極ともに高速かつ安定な記録・再生
動作を行っていることを確認した。An apparatus having the above-described configuration and operation was manufactured, and recording and reproduction experiments were performed using a plurality of probe electrodes while scanning in the XY directions on the XY stage 605. It was confirmed that stable recording / reproducing operation was performed.

【００３６】［実施例４］実施例２のような構成をとる
ことにより、プローブ電極側からの良好な記録・再生を
行うことが可能になり、かつプローブ電極を複数配置す
ることによって、スループットを向上させることが実現
できた。ところで、これらのプローブ電極とアース（Ｇ
ＮＤ）、あるいはブローブ電極に付随する各素子、また
はプローブ電極や付随する各素子をつなぐ配線とＧＮＤ
間には、少なからず容量成分が存在している。[Embodiment 4] By adopting the configuration as in Embodiment 2, it becomes possible to perform good recording / reproduction from the probe electrode side, and to reduce the throughput by arranging a plurality of probe electrodes. The improvement could be realized. By the way, these probe electrodes and ground (G
ND) or each element attached to the probe electrode, or a wiring connecting the probe electrode and each associated element to GND
Not a small amount of a capacity component exists between them.

【００３７】この容量成分による充放電時間を短縮する
ことによって、さらなる高速化が望める。そこで本実施
例では、この容量成分に蓄積された電荷の影響を軽減で
きる構成を提案する。本実施例の構成は、図１２のよう
に実施例２に記録用高速アクセサリ１２１２をプローブ
電極１２０４に付加させたものである。また、記録用高
速アクセサリ１２１２としては市販のアナログスイッチ
を使用した。By shortening the charging / discharging time due to this capacitance component, a further increase in speed can be expected. Therefore, the present embodiment proposes a configuration that can reduce the influence of the charge accumulated in the capacitance component. In the configuration of this embodiment, a high-speed recording accessory 1212 is added to the probe electrode 1204 in the second embodiment as shown in FIG. As the high-speed accessory for recording 1212, a commercially available analog switch was used.

【００３８】以下に、これらの動作について説明する。
ここで、基本的な記録・再生の動作は実施例２と同様で
ある。ただし、本実施例においては、図１５（II）のよ
うに記録用ＭＡＳＫ信号をスイッチ制御回路１２１０と
記録用高速アクセサリ１２１２に入力している。記録用
ＭＡＳＫ信号が有効な間は、電流入力プリアンプ１２０
９にいかなる信号が入力されても、状態を保持し続け
る。記録用ＭＡＳＫ信号が記録用高速アクセサリ１２１
２に入力されている間、記録用高速アクセサリ１２１２
を構成する電荷放出用スイッチ１４０１は閉じた（Ｏ
Ｎ）状態になり、一時的にプローブ電極１２０４をアー
スと接地させた。このようにして容量成分に蓄積された
電荷を記録毎にアースに放出することによって、プロー
ブ電極に蓄積される電荷を最小限に抑えることが可能に
なる。Hereinafter, these operations will be described.
Here, the basic recording / reproducing operation is the same as in the second embodiment. However, in this embodiment, a recording MASK signal is input to the switch control circuit 1210 and the recording high-speed accessory 1212 as shown in FIG. While the recording MASK signal is valid, the current input preamplifier 120
No matter what signal is input to 9, the state is maintained. MASK signal for recording is high-speed accessory for recording 121
, While the high-speed accessory for recording 1212
Is closed (O).
N), and the probe electrode 1204 was temporarily grounded. By discharging the charge accumulated in the capacitance component to the ground each time recording is performed, the charge accumulated in the probe electrode can be minimized.

【００３９】以上のような構成及び動作を行う装置を作
製し、ＸＹステージ１２０５でＸＹ方向に走査をしなが
ら複数のプローブ電極を用いて記録・再生実験を行った
ところ、各プローブ電極ともに連続的な安定記録及び再
生動作を行っていることを確認した。An apparatus for performing the above-described configuration and operation was manufactured, and recording and reproduction experiments were performed using a plurality of probe electrodes while scanning in the XY directions on an XY stage 1205. It was confirmed that stable recording and reproduction operations were performed.

【００４０】［実施例５］実施例１のような構成をとる
ことにより、プローブ電極側からの良好な記録・再生を
行うことが可能になり、かつプローブ電極を複数配置す
ることによって、スループットを向上させることが実現
できた。ところで、これらのプローブ電極とアース（Ｇ
ＮＤ）、あるいはプローブ電極に付随する各素子、また
はプローブ電極や付随する各素子をつなぐ配線とＧＮＤ
間には、少なからず容量成分が存在している。[Embodiment 5] By adopting the configuration as in Embodiment 1, it is possible to perform good recording / reproduction from the probe electrode side, and the throughput is improved by arranging a plurality of probe electrodes. The improvement could be realized. By the way, these probe electrodes and ground (G
ND), or each element attached to the probe electrode, or a wiring connecting the probe electrode and each associated element to GND
Not a small amount of a capacity component exists between them.

【００４１】この容量成分による充放電時間を短縮する
ことによって、さらなる高速化が望める。そこで本実施
例では、この容量成分による充放電の影響を軽減できる
構成を提案する。本実施例の構成は、図１３のように実
施例１において、記録再生用発生回路２０５として用い
た記録・再生用ＤＣ電源の代わりに、記録・再生用矩形
波電源１３０７を使用している。記録・再生用矩形波電
源１３０７では、０（ＧＮＤ）［Ｖ］と記録用の所望の
電圧Ｖ0［Ｖ］を矩形波として下部電極１３０３及び印
加電圧制御スイッチ１３１０に印加している。By shortening the charge / discharge time due to this capacitance component, a further increase in speed can be expected. Therefore, in the present embodiment, a configuration that can reduce the influence of charging and discharging due to the capacitance component is proposed. The configuration of the present embodiment uses a recording / reproduction rectangular wave power supply 1307 instead of the recording / reproduction DC power supply used as the recording / reproduction generation circuit 205 in the first embodiment as shown in FIG. In the recording / reproducing rectangular wave power supply 1307, 0 (GND) [V] and a desired recording voltage V 0 [V] are applied to the lower electrode 1303 and the applied voltage control switch 1310 as a rectangular wave.

【００４２】以下に、これらの動作について説明する。
まず記録・再生用矩形波電源１３０７を用いて下部電極
１３０３及び印加電圧制御スイッチ１３１０に記録用の
所望の電圧Ｖ0［Ｖ］を印加する。その上で、実施例１
と同様の方法で記録を行っている。記録層１３０２に記
録ビットが形成され、ＰＣ１３１２よりスイッチ制御回
路１３１１に入力されている記録用ＴＲＩＧＧＥＲ信号
（図９（Ｉ）＜ｔ4＞点）を過ぎると、記録・再生用矩
形波電源１３０７は下部電極１３０３及び印加電圧制御
スイッチ１３１０に０（ＧＮＤ）［Ｖ］を印加する。こ
の時、印加電圧制御スイッチ１３１０は閉じている（Ｏ
Ｎ状態）ため、プローブ電極１３０４に付随する各素子
はすべてアースに接地され、容量成分に蓄積された電荷
は放出される。その後、再び記録・再生用矩形波電源１
３０７を用いて下部電極１３０３及び印加電圧制御スイ
ッチ１３１０に記録用の所望の電圧Ｖ0［Ｖ］を印加し
て記録を行うというように、これら一連の動作を連続的
に行う。このようにして容量成分に蓄積された電荷を一
時的にアースに放出することによって、充放電の時間を
１［μｓｅｃ］まで短縮させることができた。Hereinafter, these operations will be described.
First, a desired recording voltage V 0 [V] is applied to the lower electrode 1303 and the applied voltage control switch 1310 using the recording / reproducing rectangular wave power supply 1307. Then, Example 1
Recording is performed in the same manner as described above. When a recording bit is formed on the recording layer 1302 and the recording TRIGGER signal (point <t 4 > in FIG. 9 (I)) input from the PC 1312 to the switch control circuit 1311 passes, the recording / reproducing rectangular wave power supply 1307 is turned on. 0 (GND) [V] is applied to the lower electrode 1303 and the applied voltage control switch 1310. At this time, the applied voltage control switch 1310 is closed (O
Therefore, all the elements associated with the probe electrode 1304 are grounded to ground, and the electric charge accumulated in the capacitance component is released. After that, the recording / reproducing rectangular wave power supply 1
A series of these operations are continuously performed such that a desired voltage V 0 [V] for recording is applied to the lower electrode 1303 and the applied voltage control switch 1310 using 307 to perform recording. By temporarily discharging the charge accumulated in the capacitance component to the ground in this way, the charging / discharging time could be reduced to 1 [μsec].

【００４３】以上のような構成及び動作を行う装置を作
製し、ＸＹステージ１３０５でＸＹ方向に走査をしなが
ら複数のプローブ電極を用いて記録・再生実験を行った
ところ、各プローブ電極ともに高速かつ安定な記録・再
生動作を行っていることを確認した。An apparatus for performing the above-described configuration and operation was manufactured, and recording and reproduction experiments were performed using a plurality of probe electrodes while scanning in the XY directions on the XY stage 1305. It was confirmed that stable recording / reproducing operation was performed.

【００４４】[0044]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、上記したように印加電圧をプローブ側でコントロー
ルするように構成することによって、容易に複数のプロ
ーブの並列処理に対応でき、記録・再生における安定的
なスループットの向上が可能になる。また、本発明によ
れば、各プローブの容量成分に蓄積された電荷を放出さ
せるように構成し、あるいは下部電極に矩形波を有する
電圧を印加し、各プローブの容量成分に蓄積された電荷
を放出させるるように構成することによって、より高速
かつ安定な記録・再生を行うことが可能になり、さらな
るスループットの向上が可能になる。また、本発明によ
れば、記録層への電圧印加をプローブ側に設けられたス
イッチによって制御するように構成することによって、
専用の波形発生機構が必要なくなり、装置のコンパクト
化、コストダウンが可能になる。As described above, according to the present invention, by controlling the applied voltage on the probe side as described above, it is possible to easily cope with the parallel processing of a plurality of probes and to perform recording. -It is possible to stably improve the throughput in reproduction. Further, according to the present invention, the charge accumulated in the capacitance component of each probe is configured to be released, or a voltage having a rectangular wave is applied to the lower electrode, and the charge accumulated in the capacitance component of each probe is released. With the configuration in which the light is emitted, higher-speed and stable recording / reproduction can be performed, and the throughput can be further improved. Further, according to the present invention, by applying a voltage to the recording layer by controlling the switch provided on the probe side,
This eliminates the need for a dedicated waveform generation mechanism, and makes it possible to reduce the size and cost of the apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】従来の電流制限記録装置の構成を示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional current limit recording device.

【図２】本発明の実施の形態における記録再生装置の構
成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a recording / reproducing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図３】本発明の実施例１における記録再生装置の構成
を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a recording / reproducing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図４】従来の記録再生装置の構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a conventional recording / reproducing apparatus.

【図５】従来の電流制限記録装置の動作を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing the operation of a conventional current limit recording device.

【図６】本発明の実施例３における記録再生装置の構成
を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図７】本発明の実施の形態における記録再生装置のプ
ローブ電極の構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a probe electrode of the recording / reproducing apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図８】本発明の実施例２における記録再生装置の構成
を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of a recording / reproducing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図９】本発明の実施例１における記録再生装置の動作
を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the recording / reproducing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図１０】本発明の実施例２における記録再生装置の動
作を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining an operation of the recording / reproducing apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図１１】本発明の実施の形態における記録再生装置の
スイッチ制御回路の構成を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a configuration of a switch control circuit of the recording / reproducing apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図１２】本発明の実施例４における記録再生装置の構
成を示す図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration of a recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の実施例５における記録再生装置の構
成を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a recording / reproducing apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の実施例３における記録再生装置の記
録用高速アクセサリの構成を示す図である。FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration of a high-speed recording accessory of a recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の実施例４における記録再生装置の動
作を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining an operation of the recording / reproducing apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の実施例３を説明するための容量成分
の充放電の動作を示す図である。FIG. 16 is a diagram illustrating a charge / discharge operation of a capacitance component for explaining a third embodiment of the present invention.

【図１７】本発明の実施例１における記録再生装置の電
流入力プリアンプの構成例を示す図である。FIG. 17 is a diagram illustrating a configuration example of a current input preamplifier of the recording / reproducing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図１８】本発明の実施例３における記録再生装置の動
作を説明するための図である。FIG. 18 is a diagram for explaining an operation of the recording / reproducing device according to the third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０１、２０２、３０４、４０１、６０４、８０４、１
２０４、１３０４：プローブ電極 １０２、２０３、３０２、４０２、６０２、８０２、１
２０２、１３０２：記録層 １０３、２０４、３０３、４０３、６０３、８０３、１
２０３、１３０３：下部電極 １０４、２０７、４０５：電流アンプ １０５、２０６：印加電圧制御回路 １０６、２０５、４０４：記録・再生用電圧発生回路 ２０１、３０１、６０１、８０１、１２０１、１３０
１：プローブアレイ ３０５、６０５、８０５、１２０５、１３０５：ＸＹス
テージ ２０８、３０６、６０６、８０６、１２０６、１３０
６：Ｚ方向制御機構 ３０７、６０７、８０７、１２０７：記録・再生用ＤＣ
電源 ３０８、６０８、１３０８：抵抗器 ３０９、６０９、８０９、１２０９、１３０９：電流入
力プリアンプ ３１０、６１０、８０８、１２０８、１３１０：印加電
圧制御スイッチ ３１１、６１１、８１０、１２１０、１３１１：スイッ
チ制御回路 ３１２、６１２、８１１、１２１１、１３１２：ＰＣ ６１３、１２１２：記録用高速アクセサリ ７０１：探針 ７０２：導電性金属被膜 ７０３：レバー ７０４：レーザー照射装置 ７０５：光センサ ７０６：ＡＦＭ信号検出回路 １１０１：コンパレータ １１０２：ＰＬＤ １３０７：記録・再生用矩形波電源 １４０１：電荷放出用スイッチ １４０２：保護抵抗101, 202, 304, 401, 604, 804, 1
204, 1304: probe electrodes 102, 203, 302, 402, 602, 802, 1
202, 1302: recording layers 103, 204, 303, 403, 603, 803, 1
203, 1303: lower electrode 104, 207, 405: current amplifier 105, 206: applied voltage control circuit 106, 205, 404: recording / reproducing voltage generation circuit 201, 301, 601, 801, 1201, 130
1: Probe array 305, 605, 805, 1205, 1305: XY stage 208, 306, 606, 806, 1206, 130
6: Z-direction control mechanism 307, 607, 807, 1207: DC for recording / reproduction
Power supply 308, 608, 1308: resistor 309, 609, 809, 1209, 1309: current input preamplifier 310, 610, 808, 1208, 1310: applied voltage control switch 311, 611, 810, 1210, 1311: switch control circuit 312 , 612, 811, 1211, 1312: PC 613, 1212: High-speed accessory for recording 701: Probe 702: Conductive metal coating 703: Lever 704: Laser irradiation device 705: Optical sensor 706: AFM signal detection circuit 1101: Comparator 1102 : PLD 1307: Rectangular wave power supply for recording / reproduction 1401: Switch for discharging electric charge 1402: Protection resistor

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】複数のプローブと、下部電極と、これらの
間に非記録状態と記録状態とで電圧に対する電流応答波
形が異なる記録層を備え、該記録層に記録・再生用電圧
印加手段により電圧を印加し、情報を記録・再生する記
録再生装置において、 前記下部電極に電圧を印加する手段と、 前記プローブ側から前記記録層に印加された電圧により
該記録層に流れる電流値を検出し、該検出された電流値
をモニタすることによって該プローブに印加される電圧
を該プローブ側でコントロールする手段と、 を有することを特徴とする記録再生装置。A plurality of probes, a lower electrode, and a recording layer between which a current response waveform with respect to a voltage differs between a non-recording state and a recording state, wherein the recording layer is provided with a recording / reproducing voltage applying means. In a recording / reproducing apparatus for applying a voltage and recording / reproducing information, a means for applying a voltage to the lower electrode, and detecting a current value flowing through the recording layer by a voltage applied to the recording layer from the probe side A means for controlling the voltage applied to the probe by monitoring the detected current value on the probe side. 【請求項２】前記プローブの電荷を、アースに放出する
手段が付加されていることを特徴とする請求項１に記載
の記録再生装置。2. A recording / reproducing apparatus according to claim 1, further comprising means for discharging the electric charge of said probe to the ground. 【請求項３】前記プローブの電荷をアースに放出する手
段は、スイッチで構成されていることを特徴とする請求
項２に記載の記録再生装置。3. The recording / reproducing apparatus according to claim 2, wherein the means for discharging the electric charge of the probe to the ground comprises a switch. 【請求項４】前記記録・再生用電圧印加手段が、ＤＣ電
源であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項
に記載の記録再生装置。4. The recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein said recording / reproducing voltage applying means is a DC power supply. 【請求項５】前記記録・再生用電圧印加手段が、矩形波
電源であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１
項に記載の記録再生装置。5. The recording / reproducing voltage application means is a rectangular wave power supply.
The recording / reproducing device according to the item. 【請求項６】前記プローブに印加される電圧をコントロ
ールする手段が、スイッチと抵抗で構成されていること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の記録
再生装置。6. The recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the means for controlling the voltage applied to the probe comprises a switch and a resistor. 【請求項７】前記プローブに印加される電圧をコントロ
ールする手段が、スイッチで構成されていることを特徴
とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の記録再生装
置。7. The recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the means for controlling the voltage applied to the probe comprises a switch. 【請求項８】前記記録層に流れる電流値を検出する手段
は、その入力側がアースに仮想接地されている電流入力
プリアンプによって構成されていることを特徴とする請
求項１〜７のいずれか１項に記載の記録再生装置。8. The apparatus according to claim 1, wherein said means for detecting a value of a current flowing through said recording layer comprises a current input preamplifier whose input side is virtually grounded to the ground. The recording / reproducing device according to the item. 【請求項９】複数のプローブと、下部電極と、これらの
間に非記録状態と記録状態とで電圧に対する電流応答波
形が異なる記録層を備え、該記録層に記録・再生用電圧
の印加により電圧を印加し、情報を記録・再生する記録
再生方法において、 前記プローブ側から前記記録層に印加された電圧により
該記録層に流れる電流値を検出し、該検出された電流値
をモニタすることによって該プローブに印加される電圧
を該プローブ側でコントロールすることを特徴とする記
録再生方法。9. A plurality of probes, a lower electrode, and a recording layer between which a current response waveform with respect to a voltage differs between a non-recording state and a recording state, wherein a recording / reproducing voltage is applied to the recording layer. In a recording / reproducing method for recording / reproducing information by applying a voltage, a current value flowing through the recording layer is detected by a voltage applied to the recording layer from the probe side, and the detected current value is monitored. And a voltage applied to the probe is controlled on the probe side. 【請求項１０】前記プローブの電荷を、アースに放出す
ることを特徴とする請求項９に記載の記録再生方法。10. The recording / reproducing method according to claim 9, wherein said probe charges are discharged to ground. 【請求項１１】前記プローブの電荷のアースへの放出
が、スイッチによっ行われることを特徴とする請求項１
０に記載の記録再生方法。11. The method according to claim 1, wherein the charge of the probe is discharged to the ground by a switch.
0. The recording / reproducing method according to 0. 【請求項１２】前記記録・再生用電圧の印加が、ＤＣ電
源によって行われることを特徴とする請求項９〜１１の
いずれか１項に記載の記録再生方法。12. The recording / reproducing method according to claim 9, wherein the application of the recording / reproducing voltage is performed by a DC power supply. 【請求項１３】前記記録・再生用電圧の印加が、矩形波
電源によって行われることを特徴とする請求項９〜１１
のいずれか１項に記載の記録再生方法。13. The method according to claim 9, wherein said recording / reproducing voltage is applied by a rectangular wave power supply.
The recording / reproducing method according to any one of the above items. 【請求項１４】前記プローブに印加される電圧のコント
ロールが、スイッチと抵抗によって行われることを特徴
とする請求項９〜１３のいずれか１項に記載の記録再生
方法。14. The recording / reproducing method according to claim 9, wherein the control of the voltage applied to the probe is performed by a switch and a resistor. 【請求項１５】前記プローブに印加される電圧のコント
ロールが、スイッチによって行われることを特徴とする
請求項９〜１３のいずれか１項に記載の記録再生方法。15. The recording / reproducing method according to claim 9, wherein the control of the voltage applied to the probe is performed by a switch. 【請求項１６】前記記録層に流れる電流値の検出は、そ
の入力側がアースに仮想接地されている電流入力プリア
ンプによって行われることを特徴とする請求項９〜１５
のいずれか１項に記載の記録再生方法。16. The method according to claim 9, wherein the detection of the value of the current flowing through the recording layer is performed by a current input preamplifier whose input side is virtually grounded to the ground.
The recording / reproducing method according to any one of the above items.
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