JP2002182842A - Ultrasonic wave touch panel system - Google Patents

Ultrasonic wave touch panel system

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JP2002182842A
JP2002182842A JP2000384621A JP2000384621A JP2002182842A JP 2002182842 A JP2002182842 A JP 2002182842A JP 2000384621 A JP2000384621 A JP 2000384621A JP 2000384621 A JP2000384621 A JP 2000384621A JP 2002182842 A JP2002182842 A JP 2002182842A
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JP
Japan
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piezoelectric
input
output
piezoelectric substrate
electrode
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JP2000384621A
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Inventor
Koji Toda
耕司 戸田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect a contact position with high sensitivity when a surface acoustic wave comes into contact with a propagated non-piezoelectric plate. SOLUTION: Fifteen first surface acoustic wave propagation paths are formed between interdigital electrodes Tx1 to Tx5 for input and electrode groups Gx1 to Gx5 on the top edge surface of the non-piezoelectric plate 1 by applying an input electric signal to two adjacent interdigital electrodes for input at the same time. Similarly, fifteen second surface acoustic wave propagation paths are formed between interdigital electrodes Ty1 to Ty5 for input and electrode groups Gy1 to Gy5. When the point of intersection between a first surface acoustic wave propagation path and a second surface acoustic wave propagation path is touched, first and second delay electric signals appear at one terminal among terminals Ux1 to Ux3 and at one terminal among terminals Uy1 to Uy3 respectively. The contact position can be discriminated from the phases of the first and second delay electric signals.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波が伝搬
された非圧電板に接触すると、その接触位置が判別され
る超音波タッチパネルシステムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic touch panel system in which when a non-piezoelectric plate on which a surface acoustic wave is propagated comes into contact, the contact position is determined.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のタッチパネルは、くさび型トラン
スデューサや圧電薄膜トランスデューサを含むものが一
般的であった。くさび型トランスデューサは非圧電板に
間接的に弾性振動を起こさせる機能を有し、圧電薄膜ト
ランスデューサは非圧電板に直接弾性振動を起こさせる
機能を有する。いずれにせよこのような従来のタッチパ
ネルは、非圧電板上を接触することにより非圧電板上の
超音波が消失して出力電気信号が検出されなくなるとい
うことを利用したもので、出力電気信号が検出されなく
なった出力用トランスデューサの配置から接触位置を判
別している。従って、従来のタッチパネルは、常にすべ
ての入力用トランスデューサを駆動させておく必要があ
ることから、駆動電圧や消費電力に問題を有するだけで
なく、複雑な回路構成を必要とする。
2. Description of the Related Art A conventional touch panel generally includes a wedge type transducer and a piezoelectric thin film transducer. The wedge-type transducer has a function of indirectly causing an elastic vibration on a non-piezoelectric plate, and the piezoelectric thin-film transducer has a function of directly causing an elastic vibration on a non-piezoelectric plate. In any case, such a conventional touch panel is based on the fact that the ultrasonic wave on the non-piezoelectric plate disappears due to the contact on the non-piezoelectric plate and the output electric signal is not detected. The contact position is determined from the arrangement of the output transducer that is no longer detected. Therefore, the conventional touch panel needs to always drive all the input transducers, so that not only has a problem in driving voltage and power consumption, but also requires a complicated circuit configuration.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、非圧
電板を接触することにより現れる遅延電気信号を検出す
ることにより接触位置を高感度で判別できる超音波タッ
チパネルシステムを提供することにある。また本発明の
さらなる目的は、低電圧および低消費電力駆動で、回路
構成が簡単で、接触に対する応答速度が速く、大量生産
が可能で、小型軽量で、耐久性に優れた超音波タッチパ
ネルシステムを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ultrasonic touch panel system capable of detecting a contact position with high sensitivity by detecting a delayed electric signal appearing when a non-piezoelectric plate is touched. . A further object of the present invention is to provide an ultrasonic touch panel system that is low-voltage and low-power-consumption driven, has a simple circuit configuration, has a high response speed to contact, can be mass-produced, is small, lightweight, and has excellent durability. To provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の超音波
タッチパネルシステムは、非圧電板と、第1および第2
超音波伝搬手段と、第1および第2信号処理手段と、信
号分析器から成る超音波タッチパネルシステムであっ
て、前記第1超音波伝搬手段は少なくとも2つの入力用
すだれ状電極Txi (i=1, 2,…, m)と、少なくとも2つの
電極群Gxi (i=1,2,…, m)と、第1および第2圧電基板
と、少なくとも2つの端子Uxj (j=1, 2,…, n)から成
り、前記電極群Gxiの隣り合う2つの一方は少なくとも
2つの出力用すだれ状電極Rxaj (j=1, 2,…, n)から成
り、もう一方は少なくとも2つの出力用すだれ状電極Rx
bj (j=1, 2,…, n)から成り、前記出力用すだれ状電極R
xajおよびRxbjは、電極指の方向が互いに逆であり、前
記端子Uxjは、前記出力用すだれ状電極Rxajにそれぞれ
接続されるとともに、前記出力用すだれ状電極Rxbjにそ
れぞれ接続され、前記第2超音波伝搬手段は少なくとも
2つの入力用すだれ状電極Tyi (i=1, 2,…, m)と、少な
くとも2つの電極群Gyi (i=1, 2,…, m)と、第3および
第4圧電基板と、少なくとも2つの端子Uyj (j=1, 2,
…, n)から成り、前記電極群Gyiの隣り合う2つの一方
は少なくとも2つの出力用すだれ状電極Ryaj(j=1, 2,
…, n)から成り、もう一方は少なくとも2つの出力用す
だれ状電極Rybj(j=1, 2,…, n)から成り、前記出力用す
だれ状電極RyajおよびRybjは、電極指の方向が互いに逆
であり、前記端子Uyjは、前記出力用すだれ状電極Ryaj
にそれぞれ接続されるとともに、前記出力用すだれ状電
極Rybjにそれぞれ接続され、前記入力用すだれ状電極Tx
i、前記電極群Gxi、前記入力用すだれ状電極Tyiおよび
前記電極群Gyiは前記非圧電板の上端面の第1、第2、
第3および第4縁部にそれぞれ設けられ、前記第1、第
2、第3および第4圧電基板は、前記入力用すだれ状電
極Txi、前記電極群Gxi、前記入力用すだれ状電極Tyiお
よび前記電極群Gyiの上にそれぞれ設けられ、前記第1
信号処理手段は第5圧電基板と、その第5圧電基板に設
けられた第1、第2および第3電極対と、第1同期パル
ス発生器から成り、前記第2信号処理手段は第6圧電基
板と、その第6圧電基板に設けられた第4、第5および
第6電極対と、第2同期パルス発生器から成り、前記信
号分析器は前記第1および第2信号処理手段と接続さ
れ、前記入力用すだれ状電極Txiの隣り合う2つに第1
入力電気信号が印加されることにより、前記第1圧電基
板に第1弾性表面波が励振され、前記第1弾性表面波
は、前記非圧電板の前記上端面を介して前記第2圧電基
板に伝搬され、前記出力用すだれ状電極RxajおよびRxbj
の各々において第1出力電気信号に変換され、前記入力
用すだれ状電極Tyiの隣り合う2つに第2入力電気信号
が印加されることにより、前記第3圧電基板に第2弾性
表面波が励振され、前記第2弾性表面波は、前記非圧電
板の前記上端面を介して前記第4圧電基板に伝搬され、
前記出力用すだれ状電極RyajおよびRybjの各々において
第2出力電気信号に変換され、前記非圧電板の前記上端
面を接触することにより前記端子Uxjの1つおよび前記
端子Uyjの1つにそれぞれ現れる第1および第2遅延電
気信号は、前記信号分析器によって直接検出されるとと
もに、前記第1および第2信号処理手段を経由した後に
前記信号分析器によって検出され、前記非圧電板の前記
上端面における接触位置は、前記信号分析器によって検
出される前記第1および第2遅延電気信号の位相により
判別される。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an ultrasonic touch panel system comprising: a non-piezoelectric plate;
An ultrasonic touch panel system comprising an ultrasonic wave propagation means, first and second signal processing means, and a signal analyzer, wherein the first ultrasonic wave propagation means has at least two interdigital transducers Txi (i = 1 , 2,..., M), at least two electrode groups Gxi (i = 1, 2,..., M), first and second piezoelectric substrates, and at least two terminals Uxj (j = 1, 2,. , n), and one of two adjacent electrodes of the electrode group Gxi is composed of at least two output IDTs (x = 1, 2,..., n), and the other is at least two output IDTs. Electrode Rx
bj (j = 1, 2,..., n), and the output interdigital transducer R
xaj and Rxbj have opposite electrode finger directions, and the terminals Uxj are respectively connected to the output IDTs Rxaj and connected to the output IDTs Rxbj, respectively, and the second The sound wave propagation means includes at least two interdigital transducers Tyi (i = 1, 2,..., M), at least two electrode groups Gyi (i = 1, 2,. A piezoelectric substrate and at least two terminals Uyj (j = 1, 2,
, N), and two adjacent ones of the electrode group Gyi have at least two IDT electrodes Ryaj (j = 1, 2,
, N) and the other comprises at least two output interdigital transducers Rybj (j = 1, 2,..., N), and the output interdigital transducers Ryaj and Rybj are arranged such that the directions of the electrode fingers are mutually different. On the contrary, the terminal Uyj is connected to the output IDT Ryaj.
And each is connected to the output IDT Rybj, and the input IDT Tx
i, the electrode group Gxi, the input IDT Tyi, and the electrode group Gyi are the first, second,
The first, second, third, and fourth piezoelectric substrates are provided at third and fourth edges, respectively, and the first, second, third, and fourth piezoelectric substrates include the input IDT Txi, the electrode group Gxi, the input IDT Tyi, and the input IDT. The first group is provided on each of the electrode groups Gyi.
The signal processing means includes a fifth piezoelectric substrate, first, second, and third pairs of electrodes provided on the fifth piezoelectric substrate, and a first synchronization pulse generator. The second signal processing means includes a sixth piezoelectric substrate. The signal analyzer comprises a substrate, fourth, fifth, and sixth pairs of electrodes provided on the sixth piezoelectric substrate, and a second synchronization pulse generator, wherein the signal analyzer is connected to the first and second signal processing means. , The first two of the interdigital transducers Txi
When an input electric signal is applied, a first surface acoustic wave is excited on the first piezoelectric substrate, and the first surface acoustic wave is transmitted to the second piezoelectric substrate via the upper end surface of the non-piezoelectric plate. Propagated, said output interdigital transducers Rxaj and Rxbj
Is converted into a first output electric signal, and a second input electric signal is applied to two adjacent input interdigital transducers Tyi, whereby a second surface acoustic wave is excited on the third piezoelectric substrate. The second surface acoustic wave is propagated to the fourth piezoelectric substrate via the upper end surface of the non-piezoelectric plate,
Each of the output interdigital transducers Ryaj and Rybj is converted into a second output electric signal, and appears at one of the terminals Uxj and one of the terminals Uyj by contacting the upper end surface of the non-piezoelectric plate, respectively. The first and second delayed electric signals are directly detected by the signal analyzer, and detected by the signal analyzer after passing through the first and second signal processing means, and the upper end surface of the non-piezoelectric plate Is determined by the phases of the first and second delayed electric signals detected by the signal analyzer.

【0005】請求項2に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記第1、第2、第3および第4圧電基板が一
体化されて1つの窓枠構造が形成される。
In an ultrasonic touch panel system according to a second aspect, the first, second, third and fourth piezoelectric substrates are integrated to form one window frame structure.

【0006】請求項3に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記第1、第2、第3、第4、第5および第6
圧電基板が圧電セラミックで成り、前記圧電セラミック
の分極軸の方向はその厚さ方向と平行である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the ultrasonic touch panel system according to the first, second, third, fourth, fifth and sixth aspects.
The piezoelectric substrate is made of piezoelectric ceramic, and the direction of the polarization axis of the piezoelectric ceramic is parallel to the thickness direction.

【0007】請求項4に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記非圧電板が透明な材質で成る。
According to a fourth aspect of the present invention, the non-piezoelectric plate is made of a transparent material.

【0008】請求項5に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記第1、第2、第3および第4圧電基板の厚
さが前記入力用すだれ状電極TxiおよびTyiの電極周期長
よりも小さく、前記非圧電板の厚さが前記電極周期長の
3倍よりも大きい。
The ultrasonic touch panel system according to claim 5, wherein the thickness of the first, second, third and fourth piezoelectric substrates is smaller than the electrode cycle length of the input interdigital transducers Txi and Tyi, The thickness of the non-piezoelectric plate is greater than three times the electrode cycle length.

【0009】請求項6に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記非圧電板自身に伝搬する弾性表面波の位相
速度が前記第1、第2、第3および第4圧電基板自身に
伝搬する弾性表面波の位相速度よりも速い。
According to a sixth aspect of the present invention, in the ultrasonic touch panel system, the phase velocity of the surface acoustic wave propagating to the non-piezoelectric plate itself is transmitted to the first, second, third and fourth piezoelectric substrates themselves. Faster than the phase velocity of the waves.

【0010】請求項7に記載の超音波タッチパネルシス
テムは、前記入力用すだれ状電極TxiおよびTyiにそれぞ
れ接続する第1および第2スイッチが備えられている。
An ultrasonic touch panel system according to a seventh aspect of the present invention includes first and second switches connected to the input interdigital transducers Txi and Tyi, respectively.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の超音波タッチパネルシス
テムは非圧電板と、第1および第2超音波伝搬手段と、
第1および第2信号処理手段と、信号分析器から成る簡
単な構造を有する。第1超音波伝搬手段は少なくとも2
つの入力用すだれ状電極Txi (i=1, 2,…, m)と、少なく
とも2つの電極群Gxi (i=1, 2,…, m)と、第1および第
2圧電基板と、少なくとも2つの端子Uxj (j=1, 2,…,
n)から成る。電極群Gxiの隣り合う2つの一方は少なく
とも2つの出力用すだれ状電極Rxaj (j=1, 2,…, n)か
ら成り、もう一方は少なくとも2つの出力用すだれ状電
極Rxbj (j=1, 2,…, n)から成る。出力用すだれ状電極R
xajおよびRxbjは、電極指の方向が互いに逆である。端
子Uxjは、出力用すだれ状電極Rxajにそれぞれ接続され
るとともに、出力用すだれ状電極Rxbjにそれぞれ接続さ
れている。第2超音波伝搬手段は少なくとも2つの入力
用すだれ状電極Tyi (i=1, 2,…, m)と、少なくとも2つ
の電極群Gyi (i=1, 2,…, m)と、第3および第4圧電基
板と、少なくとも2つの端子Uyj (j=1, 2,…, n)から成
る。電極群Gyiの隣り合う2つの一方は少なくとも2つ
の出力用すだれ状電極Ryaj (j=1, 2,…, n)から成り、
もう一方は少なくとも2つの出力用すだれ状電極Rybj
(j=1, 2,…, n)から成る。出力用すだれ状電極Ryajおよ
びRybjは、電極指の方向が互いに逆である。端子Uyj
は、出力用すだれ状電極Ryajにそれぞれ接続されるとと
もに、出力用すだれ状電極Rybjにそれぞれ接続されてい
る。入力用すだれ状電極Txi、電極群Gxi、入力用すだれ
状電極Tyiおよび電極群Gyiは非圧電板の上端面の第1、
第2、第3および第4縁部にそれぞれ設けられている。
第1、第2、第3および第4圧電基板は、入力用すだれ
状電極Txi、電極群Gxi、入力用すだれ状電極Tyiおよび
電極群Gyiの上にそれぞれ設けられている。第1信号処
理手段は第5圧電基板と、その第5圧電基板に設けられ
た第1、第2および第3電極対と、第1同期パルス発生
器から成る。第2信号処理手段は第6圧電基板と、その
第6圧電基板に設けられた第4、第5および第6電極対
と、第2同期パルス発生器から成る。信号分析器は第1
および第2信号処理手段と接続されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ultrasonic touch panel system according to the present invention comprises a non-piezoelectric plate, first and second ultrasonic wave propagation means,
It has a simple structure consisting of first and second signal processing means and a signal analyzer. The first ultrasonic wave propagation means has at least two
One input interdigital transducer Txi (i = 1, 2,..., M), at least two electrode groups Gxi (i = 1, 2,..., M), first and second piezoelectric substrates, Terminals Uxj (j = 1, 2, ...,
n). One of two adjacent electrode groups Gxi is composed of at least two output IDTs Rxaj (j = 1, 2,..., N), and the other is at least two output IDTs Rxbj (j = 1, 2). 2, ..., n). Output IDT R
xaj and Rxbj have opposite electrode finger directions. The terminals Uxj are respectively connected to the output IDTs Rxaj and also connected to the output IDTs Rxbj. The second ultrasonic wave propagation means includes at least two interdigital transducers Tyi (i = 1, 2,..., M), at least two electrode groups Gyi (i = 1, 2,. And a fourth piezoelectric substrate, and at least two terminals Uyj (j = 1, 2,..., N). Two adjacent ones of the electrode group Gyi include at least two output IDTs Ryaj (j = 1, 2,..., N),
The other has at least two output interdigital transducers Rybj
(j = 1, 2,..., n). The directions of the output interdigital electrodes Ryaj and Rybj are opposite to each other. Terminal Uyj
Are connected to the output interdigital electrodes Rybj, respectively, and are connected to the output interdigital electrodes Rybj, respectively. The input interdigital transducer Txi, the electrode group Gxi, the input interdigital transducer Tyi and the electrode group Gyi are the first on the upper end face of the non-piezoelectric plate,
They are provided on the second, third and fourth edges, respectively.
The first, second, third, and fourth piezoelectric substrates are provided on the input IDT Txi, the electrode group Gxi, the input IDT Tyi, and the electrode group Gyi, respectively. The first signal processing means includes a fifth piezoelectric substrate, first, second, and third electrode pairs provided on the fifth piezoelectric substrate, and a first synchronization pulse generator. The second signal processing means includes a sixth piezoelectric substrate, fourth, fifth, and sixth electrode pairs provided on the sixth piezoelectric substrate, and a second synchronous pulse generator. Signal analyzer is the first
And the second signal processing means.

【0012】本発明の超音波タッチパネルシステムにお
いて、もしも第1入力電気信号が入力用すだれ状電極Tx
iの隣り合う2つに同時に印加されると、第1圧電基板
に第1弾性表面波が励振される。このとき、第1圧電基
板が圧電セラミックで成り、その圧電セラミックの分極
軸の方向がその厚さ方向と平行であることから、第1圧
電基板には第1弾性表面波が効率よく励振される。さら
に、もしも第1弾性表面波の位相速度が非圧電板自身を
伝搬する弾性表面波のレイリー波の位相速度とほぼ等し
い場合には、第1入力電気信号が高率よく第1弾性表面
波に変換される。第1弾性表面波は、非圧電板の上端面
を伝わって、非圧電板の内部に漏洩されることなく第2
圧電基板に伝搬される。第1弾性表面波が非圧電板の内
部に漏洩されないのは、第1に、第1圧電基板の厚さが
入力用すだれ状電極Txiの電極周期長よりも小さいこ
と、第2に、非圧電板の厚さが入力用すだれ状電極Txi
の電極周期長の3倍よりも大きいこと、そして第3に、
非圧電板自身を伝搬する第1弾性表面波の位相速度が第
1圧電基板自身を伝搬する第1弾性表面波の位相速度よ
りも大きいことに因る。第2圧電基板に伝搬された第1
弾性表面波は、出力用すだれ状電極RxajおよびRxbjの各
々において第1出力電気信号に変換される。このとき、
出力用すだれ状電極Rxajでの第1出力電気信号と、出力
用すだれ状電極Rxbjでの第1出力電気信号とでは互いに
位相が逆転している。従って、すべての端子Uxjに電気
信号が現れることはない。このようにして、入力用すだ
れ状電極Txiと電極群Gxiの間に全部で(i×j)個の第1
弾性表面波伝搬路が形成される。同様にして、もしも第
2入力電気信号が入力用すだれ状電極Tyiの隣り合う2
つに同時に印加されると、第3圧電基板に第2弾性表面
波が励振される。第2弾性表面波は、非圧電板の前記上
端面を介して第4圧電基板に伝搬され、出力用すだれ状
電極RyajおよびRybjの各々において第2出力電気信号に
変換される。このようにして、入力用すだれ状電極Tyi
と電極群Gyiの間に全部で(i×j)個の第2弾性表面波
伝搬路が形成される。
In the ultrasonic touch panel system according to the present invention, if the first input electric signal is the input IDT,
When the voltage is simultaneously applied to two adjacent i's, the first surface acoustic wave is excited on the first piezoelectric substrate. At this time, since the first piezoelectric substrate is made of piezoelectric ceramic and the direction of the polarization axis of the piezoelectric ceramic is parallel to the thickness direction, the first surface acoustic wave is efficiently excited on the first piezoelectric substrate. . Further, if the phase velocity of the first surface acoustic wave is substantially equal to the phase velocity of the Rayleigh wave of the surface acoustic wave propagating in the non-piezoelectric plate itself, the first input electric signal is highly efficiently converted to the first surface acoustic wave. Is converted. The first surface acoustic wave travels along the upper end surface of the non-piezoelectric plate, and is not leaked into the non-piezoelectric plate.
Propagated to the piezoelectric substrate. The first surface acoustic wave is not leaked into the non-piezoelectric plate because, first, the thickness of the first piezoelectric substrate is smaller than the electrode period length of the input interdigital transducer Txi. The thickness of the plate is the interdigital transducer Txi for input.
Greater than three times the electrode period length, and thirdly,
This is because the phase velocity of the first surface acoustic wave propagating through the non-piezoelectric plate itself is higher than the phase velocity of the first surface acoustic wave propagating through the first piezoelectric substrate itself. The first transmitted to the second piezoelectric substrate
The surface acoustic wave is converted into a first output electric signal at each of the output IDTs Rxaj and Rxbj. At this time,
The first output electric signal at the output interdigital transducer Rxaj and the first output electric signal at the output interdigital transducer Rxbj have opposite phases. Therefore, no electric signal appears at all terminals Uxj. In this way, a total of (i × j) first electrodes are provided between the input interdigital transducer Txi and the electrode group Gxi.
A surface acoustic wave propagation path is formed. Similarly, if the second input electric signal is adjacent to the input IDT
Simultaneously, the second surface acoustic wave is excited in the third piezoelectric substrate. The second surface acoustic wave is propagated to the fourth piezoelectric substrate via the upper end surface of the non-piezoelectric plate, and is converted into a second output electric signal at each of the output IDTs Ryaj and Rybj. In this manner, the input interdigital transducer Tyi
A total of (i × j) second surface acoustic wave propagation paths are formed between and the electrode group Gyi.

【0013】もしも非圧電板の上端面のどこにも接触し
なければ、端子UxjおよびUyjのどこにも遅延電気信号は
現れない。しかしながら、非圧電板の上端面のどこかに
接触することにより、端子Uxjの1つに第1遅延電気信
号が現われ、端子Uyjの1つに第2遅延電気信号が現
れ、これらの第1および第2遅延電気信号は信号分析器
で検出される。第1遅延電気信号は信号分析器に到達す
るのと同時に、第1電極対と、第1同期パルス発生器1
3を介して第2電極対に到達する。第1遅延電気信号が
第1および第2電極対に印加されると、第5圧電基板に
第3および第4弾性表面波がそれぞれ励振される。ここ
で、第4弾性表面波は第1同期パルス発生器からの同一
極性のパルス信号によって励振される。第3および第4
弾性表面波は第3電極対に到達し、結果として、第1遅
延電気信号は第1合成バースト信号に変換される。第1
合成バースト信号の振幅状態は信号分析器において判別
される。同様にして、第2遅延電気信号が第4および第
5電極対に印加されると、第6圧電基板に第5および第
6弾性表面波がそれぞれ励振される。第5弾性表面波が
第6電極対に到達するのと同時に、第6弾性表面波は第
2同期パルス発生器を介して第6電極対に到達する。結
果として、第2遅延電気信号は第2合成バースト信号に
変換され、信号分析器においてその振幅状態が判別され
る。このようにして、第1および第2弾性表面波伝搬路
の交点に対応する接触位置が第1および第2遅延電気信
号の位相から判別できる。
If there is no contact with any part of the upper end surface of the non-piezoelectric plate, no delayed electric signal appears anywhere on the terminals Uxj and Uyj. However, by contacting somewhere on the upper end surface of the non-piezoelectric plate, a first delayed electric signal appears at one of the terminals Uxj, and a second delayed electric signal appears at one of the terminals Uyj. The second delayed electrical signal is detected by a signal analyzer. The first delayed electrical signal reaches the signal analyzer at the same time as the first electrode pair and the first synchronization pulse generator 1.
3 and reach the second pair of electrodes. When the first delayed electric signal is applied to the first and second electrode pairs, third and fourth surface acoustic waves are excited on the fifth piezoelectric substrate, respectively. Here, the fourth surface acoustic wave is excited by a pulse signal of the same polarity from the first synchronous pulse generator. Third and fourth
The surface acoustic wave reaches the third pair of electrodes, and as a result, the first delayed electric signal is converted into a first composite burst signal. First
The amplitude state of the composite burst signal is determined in a signal analyzer. Similarly, when the second delayed electric signal is applied to the fourth and fifth electrode pairs, the fifth and sixth surface acoustic waves are excited on the sixth piezoelectric substrate, respectively. At the same time as the fifth surface acoustic wave reaches the sixth electrode pair, the sixth surface acoustic wave reaches the sixth electrode pair via the second synchronous pulse generator. As a result, the second delayed electric signal is converted into a second synthesized burst signal, and its amplitude state is determined in the signal analyzer. In this manner, the contact position corresponding to the intersection of the first and second surface acoustic wave propagation paths can be determined from the phases of the first and second delayed electric signals.

【0014】本発明の超音波タッチパネルシステムで
は、第1、第2、第3および第4圧電基板が一体化され
て1つの窓枠構造となることが可能である。このような
構造を採用することにより、製造工程を簡略化すること
ができる。
In the ultrasonic touch panel system according to the present invention, the first, second, third and fourth piezoelectric substrates can be integrated into one window frame structure. By adopting such a structure, the manufacturing process can be simplified.

【0015】本発明の超音波タッチパネルシステムで
は、入力用すだれ状電極TxiおよびTyiにそれぞれ接続す
る第1および第2スイッチが備えられた構造が可能であ
る。このような構造を採用することにより、回路構成を
簡単にできる。
In the ultrasonic touch panel system of the present invention, a structure including first and second switches connected to the input IDTs Txi and Tyi is possible. By employing such a structure, the circuit configuration can be simplified.

【0016】[0016]

【実施例】図1は本発明の超音波タッチパネルシステム
に含まれるパネル部の一実施例を示す平面図である。超
音波タッチパネルシステムは第1および第2超音波伝搬
手段、第1および第2信号処理手段、非圧電板1、信号
分析器2、第1スイッチ3および第2スイッチ4から成
る。第1超音波伝搬手段は第1圧電基板5、第2圧電基
板6、入力用すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx3, Tx4およびTx
5、電極群Gx1, Gx2,Gx3, Gx4およびGx5、そして端子Ux
1, Ux2およびUx3から成る。電極群Gx1, Gx3およびGx5の
各々は、出力用すだれ状電極Rxa1, Rxa2およびRxa3から
成る。電極群Gx2およびGx4の各々は、出力用すだれ状電
極Rxb1, Rxb2およびRxb3から成る。第2超音波伝搬手段
は第3圧電基板7、第4圧電基板8、入力用すだれ状電
極Ty1, Ty2, Ty3, Ty4およびTy5、電極群Gy1, Gy2, Gy
3, Gy4およびGy5、そして端子Uy1, Uy2およびUy3から成
る。電極群Gy1, Gy3,およびGy5の各々は、出力用すだれ
状電極Rya1, Rya2およびRya3から成る。電極群Gy2およ
びGy4の各々は、出力用すだれ状電極Ryb1, Ryb2およびR
yb3から成る。入力用すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx3, Tx4
およびTx5、電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4およびGx5、入力
用すだれ状電極Ty1, Ty2, Ty3, Ty4およびTy5、電極群G
y1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5は、非圧電板1の上端面の
第1、第2、第3および第4縁部にそれぞれ設けられて
いる。第1圧電基板5は入力用すだれ状電極Tx1, Tx2,
Tx3, Tx4およびTx5の上に設けられ、第2圧電基板6は
電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4およびGx5の上に設けられ、
第3圧電基板7は入力用すだれ状電極Ty1, Ty2, Ty3, T
y4およびTy5の上に設けられ、第4圧電基板8は電極群G
y1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5の上に設けられている。こ
のとき、第1圧電基板5、第2圧電基板6、第3圧電基
板7および第4圧電基板8の代わりに、それらが一体化
されることにより形成される1つの窓枠構造型の圧電基
板を使用することができる。非圧電板1、第1圧電基板
5、第2圧電基板6、第3圧電基板7、第4圧電基板
8、入力用すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx3,Tx4, Tx5, Ty1,
Ty2, Ty3, Ty4およびTy5、電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4,
Gx5, Gy1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5はパネル部を形成
する。図1では第1圧電基板5、第2圧電基板6、第3
圧電基板7および第4圧電基板8は描かれていない。非
圧電板1は透明なガラス板で成り、非圧電板1自身を伝
搬する弾性表面波の位相速度は第1圧電基板5自身を伝
搬する弾性表面波の位相速度よりも速い。入力用すだれ
状電極Tx1, Tx2, Tx3, Tx4, Tx5, Ty1, Ty2, Ty3, Ty4
およびTy5、電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4, Gx5, Gy1, Gy
2, Gy3, Gy4およびGy5は、それぞれアルミニウム薄膜で
成る。第1圧電基板5、第2圧電基板6、第3圧電基板
7および第4圧電基板8は圧電セラミックで成り、その
圧電セラミックの分極軸の方向はその厚さ方向と平行で
ある。
FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a panel section included in an ultrasonic touch panel system according to the present invention. The ultrasonic touch panel system includes first and second ultrasonic wave propagation means, first and second signal processing means, a non-piezoelectric plate 1, a signal analyzer 2, a first switch 3 and a second switch 4. The first ultrasonic wave propagation means includes a first piezoelectric substrate 5, a second piezoelectric substrate 6, input IDTs Tx1, Tx2, Tx3, Tx4 and Tx.
5, electrode group Gx1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5, and terminal Ux
1, consisting of Ux2 and Ux3. Each of the electrode groups Gx1, Gx3 and Gx5 is made up of output interdigital electrodes Rxa1, Rxa2 and Rxa3. Each of the electrode groups Gx2 and Gx4 is made up of output interdigital electrodes Rxb1, Rxb2 and Rxb3. The second ultrasonic wave propagation means includes a third piezoelectric substrate 7, a fourth piezoelectric substrate 8, input IDTs Ty1, Ty2, Ty3, Ty4, and Ty5, and electrode groups Gy1, Gy2, Gy.
3, consisting of Gy4 and Gy5, and terminals Uy1, Uy2 and Uy3. Each of the electrode groups Gy1, Gy3, and Gy5 is composed of output interdigital electrodes Rya1, Rya2, and Rya3. Each of the electrode groups Gy2 and Gy4 is an output interdigital electrode Ryb1, Ryb2 and R
Consists of yb3. Input IDTs Tx1, Tx2, Tx3, Tx4
And Tx5, electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5, input IDTs Ty1, Ty2, Ty3, Ty4 and Ty5, electrode group G
y1, Gy2, Gy3, Gy4 and Gy5 are provided on the first, second, third and fourth edges of the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1, respectively. The first piezoelectric substrate 5 has IDT electrodes Tx1, Tx2,
The second piezoelectric substrate 6 is provided on Tx3, Tx4 and Tx5, and the second piezoelectric substrate 6 is provided on the electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5,
The third piezoelectric substrate 7 has IDT electrodes Ty1, Ty2, Ty3, T for input.
The fourth piezoelectric substrate 8 is provided on y4 and Ty5, and the electrode group G
It is provided on y1, Gy2, Gy3, Gy4 and Gy5. At this time, instead of the first piezoelectric substrate 5, the second piezoelectric substrate 6, the third piezoelectric substrate 7, and the fourth piezoelectric substrate 8, one window frame type piezoelectric substrate formed by integrating them is provided. Can be used. Non-piezoelectric plate 1, first piezoelectric substrate 5, second piezoelectric substrate 6, third piezoelectric substrate 7, fourth piezoelectric substrate 8, input IDTs Tx1, Tx2, Tx3, Tx4, Tx5, Ty1,
Ty2, Ty3, Ty4 and Ty5, electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4,
Gx5, Gy1, Gy2, Gy3, Gy4 and Gy5 form a panel part. In FIG. 1, a first piezoelectric substrate 5, a second piezoelectric substrate 6, a third
The piezoelectric substrate 7 and the fourth piezoelectric substrate 8 are not shown. The non-piezoelectric plate 1 is made of a transparent glass plate, and the phase velocity of the surface acoustic wave propagating on the non-piezoelectric plate 1 itself is faster than the phase velocity of the surface acoustic wave propagating on the first piezoelectric substrate 5 itself. Input IDTs Tx1, Tx2, Tx3, Tx4, Tx5, Ty1, Ty2, Ty3, Ty4
And Ty5, electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4, Gx5, Gy1, Gy
2, Gy3, Gy4 and Gy5 are each made of an aluminum thin film. The first piezoelectric substrate 5, the second piezoelectric substrate 6, the third piezoelectric substrate 7, and the fourth piezoelectric substrate 8 are made of piezoelectric ceramic, and the direction of the polarization axis of the piezoelectric ceramic is parallel to the thickness direction.

【0017】図2はパネル部の部分拡大平面図である。
図2では非圧電板1に設けられた電極群Gx1およびGx2の
みが描かれている。前にも述べたように、入力用すだれ
状電極Tx1に対応する電極群Gx1は出力用すだれ状電極Rx
a1, Rxa2およびRxa3から成り、入力用すだれ状電極Tx2
に対応する電極群Gx2は出力用すだれ状電極Rxb1, Rxb2
およびRxb3から成る。入力用すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx
3, Tx4, Tx5, Ty1, Ty2,Ty3, Ty4およびTy5は同様な構
造を有し、電極周期長は400μmである。電極群Gx1, Gx
2, Gx3, Gx4, Gx5, Gy1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5は同
様な構造を有し、電極周期長は400μmである。しかしな
がら、出力用すだれ状電極Rxa1, Rxa2およびRxa3と、出
力用すだれ状電極Rxb1, Rxb2およびRxb3とでは、電極指
の方向が互いに逆である。同様にして、出力用すだれ状
電極Rya1, Rya2およびRya3と、出力用すだれ状電極Ryb
1, Ryb2およびRyb3とでは、電極指の方向が互いに逆で
ある。
FIG. 2 is a partially enlarged plan view of the panel portion.
FIG. 2 shows only the electrode groups Gx1 and Gx2 provided on the non-piezoelectric plate 1. As described above, the electrode group Gx1 corresponding to the input IDT Tx1 is the output IDT Rx.
a1, Rxa2 and Rxa3, and the input IDT Tx2
The electrode group Gx2 corresponding to the output IDTs Rxb1 and Rxb2
And Rxb3. Input IDTs Tx1, Tx2, Tx
3, Tx4, Tx5, Ty1, Ty2, Ty3, Ty4 and Ty5 have a similar structure, and the electrode cycle length is 400 μm. Electrode group Gx1, Gx
2, Gx3, Gx4, Gx5, Gy1, Gy2, Gy3, Gy4 and Gy5 have a similar structure, and the electrode period length is 400 μm. However, the directions of the electrode fingers of the output interdigital electrodes Rxa1, Rxa2, and Rxa3 are opposite to those of the output interdigital electrodes Rxb1, Rxb2, and Rxb3. Similarly, the output interdigital electrodes Rya1, Rya2 and Rya3 and the output interdigital electrode Ryb
In 1, Ryb2 and Ryb3, the directions of the electrode fingers are opposite to each other.

【0018】図3はパネル部の断面図である。非圧電板
1の厚さは1.5 mmである。第1圧電基板5、第2圧電基
板6、第3圧電基板7および第4圧電基板8の厚さは15
0μmである。
FIG. 3 is a sectional view of the panel portion. The thickness of the non-piezoelectric plate 1 is 1.5 mm. The thickness of the first piezoelectric substrate 5, the second piezoelectric substrate 6, the third piezoelectric substrate 7, and the fourth piezoelectric substrate 8 is 15
0 μm.

【0019】図4は超音波タッチパネルシステムの一実
施例を示す構成図である。非圧電板1、第1圧電基板
5、第2圧電基板6、第3圧電基板7および第4圧電基
板8は図4には描かれていない。端子Ux1, Ux2およびUx
3は、出力用すだれ状電極Rxa1,Rxa2およびRxa3にそれぞ
れ接続されるとともに、出力用すだれ状電極Rxb1, Rxb2
およびRxb3にそれぞれ接続されている。端子Uy1, Uy2お
よびUy3は、出力用すだれ状電極Rya1, Rya2およびRya3
にそれぞれ接続されるとともに、出力用すだれ状電極Ry
b1, Ryb2およびRyb3にそれぞれ接続されている。第1信
号処理手段は第5圧電基板9、第1電極対10、第2電
極対11、第3電極対12および第1同期パルス発生器
13から成る。第1電極対10、第2電極対11および
第3電極対12は第5圧電基板9に設けられている。第
2信号処理手段は第6圧電基板14、第4電極対15、
第5電極対16、第6電極対17および第2同期パルス
発生器18から成る。第4電極対15、第5電極対16
および第6電極対17は第6圧電基板14に設けられて
いる。信号分析器2は第1および第2信号処理手段と接
続されている。第5圧電基板9および第6圧電基板14
は圧電セラミックで成り、その圧電セラミックの分極軸
の方向はその厚さ方向と平行である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing an embodiment of the ultrasonic touch panel system. The non-piezoelectric plate 1, the first piezoelectric substrate 5, the second piezoelectric substrate 6, the third piezoelectric substrate 7, and the fourth piezoelectric substrate 8 are not shown in FIG. Terminals Ux1, Ux2 and Ux
3 is connected to the output interdigital electrodes Rxa1, Rxa2 and Rxa3, respectively, and the output interdigital electrodes Rxb1 and Rxb2
And Rxb3. The terminals Uy1, Uy2 and Uy3 are connected to the output interdigital electrodes Rya1, Rya2 and Rya3.
And the output interdigital electrode Ry
b1, Ryb2 and Ryb3, respectively. The first signal processing means includes a fifth piezoelectric substrate 9, a first electrode pair 10, a second electrode pair 11, a third electrode pair 12, and a first synchronous pulse generator 13. The first electrode pair 10, the second electrode pair 11, and the third electrode pair 12 are provided on the fifth piezoelectric substrate 9. The second signal processing means includes a sixth piezoelectric substrate 14, a fourth electrode pair 15,
It comprises a fifth electrode pair 16, a sixth electrode pair 17, and a second synchronization pulse generator 18. Fourth electrode pair 15, fifth electrode pair 16
The sixth electrode pair 17 is provided on the sixth piezoelectric substrate 14. The signal analyzer 2 is connected to the first and second signal processing means. Fifth piezoelectric substrate 9 and sixth piezoelectric substrate 14
Is made of a piezoelectric ceramic, and the direction of the polarization axis of the piezoelectric ceramic is parallel to its thickness direction.

【0020】図4の超音波タッチパネルシステムにおい
て、もしも第1入力電気信号が入力用すだれ状電極Tx1
とTx2に第1スイッチ3を介して同時に印加されると、
第1圧電基板5に第1弾性表面波が励振される。第1弾
性表面波は、非圧電板1の上端面を伝わって、非圧電板
1の内部に漏洩されることなく第2圧電基板6に伝搬さ
れる。第2圧電基板6に伝搬された第1弾性表面波は、
電極群Gx1に含まれる出力用すだれ状電極Rxa1, Rxa2お
よびRxa3と、電極群Gx2に含まれる出力用すだれ状電極R
xb1, Rxb2およびRxb3のそれぞれにおいて第1出力電気
信号に変換される。このとき、電極群Gx1の出力用すだ
れ状電極Rxa1, Rxa2およびRxa3での第1出力電気信号
と、電極群Gx2の出力用すだれ状電極Rxb1, Rxb2およびR
xb3での第1出力電気信号は、互いに位相が逆転してい
る。従って、端子Ux1, Ux2およびUx3に電気信号が現れ
ることはない。一般的には、第1入力電気信号が入力用
すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx3, Tx4およびTx5の隣り合う
2つに同時に印加されると、第1圧電基板5に第1弾性
表面波が励振される。第1弾性表面波は、非圧電板1の
上端面を伝わって第2圧電基板6に伝搬され、電極群Gx
1, Gx2, Gx3, Gx4およびGx5の隣り合う2つに含まれる
出力用すだれ状電極Rxa1, Rxa2, Rxa3, Rxb1, Rxb2およ
びRxb3で第1出力電気信号に変換される。このようにし
て、入力用すだれ状電極Tx1, Tx2, Tx3, Tx4およびTx5
と、電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4およびGx5の間に全部で
15個の第1弾性表面波伝搬路が形成される。
In the ultrasonic touch panel system of FIG. 4, if the first input electric signal is the IDT Tx1 for input.
And Tx2 are applied simultaneously via the first switch 3,
A first surface acoustic wave is excited in the first piezoelectric substrate 5. The first surface acoustic wave propagates along the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1 and propagates to the second piezoelectric substrate 6 without leaking into the non-piezoelectric plate 1. The first surface acoustic wave propagated to the second piezoelectric substrate 6 is:
The output interdigital electrodes Rxa1, Rxa2, and Rxa3 included in the electrode group Gx1, and the output interdigital electrodes R included in the electrode group Gx2
Each of xb1, Rxb2 and Rxb3 is converted into a first output electric signal. At this time, the first output electric signals at the output interdigital transducers Rxa1, Rxa2, and Rxa3 of the electrode group Gx1, and the output interdigital transducers Rxb1, Rxb2, and Rx of the electrode group Gx2.
The first output electrical signals at xb3 are out of phase with each other. Therefore, no electric signal appears at the terminals Ux1, Ux2 and Ux3. Generally, when the first input electric signal is simultaneously applied to two adjacent ones of the IDT electrodes Tx1, Tx2, Tx3, Tx4 and Tx5, the first surface acoustic wave is excited in the first piezoelectric substrate 5. Is done. The first surface acoustic wave propagates along the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1 and propagates to the second piezoelectric substrate 6, and the electrode group Gx
The output interdigital electrodes Rxa1, Rxa2, Rxa3, Rxb1, Rxb2 and Rxb3 included in two adjacent ones of 1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5 are converted into a first output electric signal. Thus, the input IDTs Tx1, Tx2, Tx3, Tx4 and Tx5
Thus, a total of 15 first surface acoustic wave propagation paths are formed between the electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5.

【0021】もしも第2入力電気信号が入力用すだれ状
電極Ty1, Ty2, Ty3, Ty4およびTy5の隣り合う2つに同
時に印加されると、第3圧電基板7に第2弾性表面波が
励振される。第2弾性表面波は、非圧電板1の上端面を
伝わって第4圧電基板8に伝搬され、電極群Gy1, Gy2,
Gy3, Gy4およびGy5の隣り合う2つに含まれる出力用す
だれ状電極Rya1, Rya2, Rya3, Ryb1, Ryb2およびRyb3で
第2出力電気信号に変換される。このようにして、入力
用すだれ状電極Ty1, Ty2, Ty3, Ty4およびTy5と、電極
群Gy1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5の間に全部で15個の
第2弾性表面波伝搬路が形成される。
If the second input electric signal is simultaneously applied to the adjacent two of the input IDTs Ty1, Ty2, Ty3, Ty4 and Ty5, a second surface acoustic wave is excited on the third piezoelectric substrate 7. You. The second surface acoustic wave propagates along the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1 to the fourth piezoelectric substrate 8, and is applied to the electrode groups Gy1, Gy2,
The output interdigital electrodes Rya1, Rya2, Rya3, Ryb1, Ryb2 and Ryb3 included in two adjacent ones of Gy3, Gy4 and Gy5 are converted into the second output electric signal. In this way, a total of 15 second surface acoustic wave propagation paths are formed between the input IDTs Ty1, Ty2, Ty3, Ty4, and Ty5 and the electrode groups Gy1, Gy2, Gy3, Gy4, and Gy5. You.

【0022】図4の超音波タッチパネルシステムでは、
もしも非圧電板1の上端面のどこにも接触しなければ、
端子Ux1, Ux2, Ux3, Uy1, Uy2およびUy3のどこにも遅延
電気信号は現れない。しかしながら、非圧電板1の上端
面のどこかに接触することにより、端子Ux1, Ux2および
Ux3のうちの1つに第1遅延電気信号が現われ、端子Uy
1, Uy2およびUy3のうちの1つに第2遅延電気信号が現
れる。これらの第1および第2遅延電気信号は信号分析
器2で検出される。たとえば、入力用すだれ状電極Tx2
と電極群Gx2の出力用すだれ状電極Rxb3との間の第1弾
性表面波伝搬路と、入力用すだれ状電極Ty1と電極群Gy1
の出力用すだれ状電極Rya2との間の第2弾性表面波伝搬
路の交点を接触すると、端子Ux3に第1遅延電気信号が
現われ、端子Uy2に第2遅延電気信号が現れる。但し、
このとき第1入力電気信号は入力用すだれ状電極Tx2お
よびTx3に印加され、第2入力電気信号は入力用すだれ
状電極Ty1およびTy2に印加されていたものとする。この
場合、端子Ux3に現れる第1遅延電気信号は、電極群Gx3
の出力用すだれ状電極Rxa3での第1出力電気信号に対応
するものであり、端子Uy2に現れる第2遅延電気信号
は、電極群Gy2の出力用すだれ状電極Ryb2での第2出力
電気信号に対応するものである。なぜならば、入力用す
だれ状電極Tx2と電極群Gx2の出力用すだれ状電極Rxb3と
の間の第1弾性表面波と、入力用すだれ状電極Ty1と電
極群Gy1の出力用すだれ状電極Rya2との間の第2弾性表
面波は、これら第1および第2弾性表面波にそれぞれ対
応する第1および第2弾性表面波伝搬路の交点を接触す
ることにより消失してしまうからである。
In the ultrasonic touch panel system shown in FIG.
If it does not contact anywhere on the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1,
No delayed electrical signal appears anywhere at terminals Ux1, Ux2, Ux3, Uy1, Uy2 and Uy3. However, by contacting somewhere on the upper end surface of the non-piezoelectric plate 1, the terminals Ux1, Ux2 and
A first delayed electrical signal appears on one of the Ux3 terminals Uy3
A second delayed electrical signal appears on one of 1, Uy2 and Uy3. These first and second delayed electric signals are detected by the signal analyzer 2. For example, the input IDTx2
A first surface acoustic wave propagation path between the electrode group Gx2 and the output interdigital electrode Rxb3, and the input interdigital electrode Ty1 and the electrode group Gy1.
Contacting the intersection of the second surface acoustic wave propagation path with the output interdigital transducer Rya2, a first delayed electric signal appears at the terminal Ux3, and a second delayed electric signal appears at the terminal Uy2. However,
At this time, it is assumed that the first input electric signal is applied to the IDT electrodes Tx2 and Tx3, and the second input electric signal is applied to the IDT electrodes Ty1 and Ty2. In this case, the first delayed electric signal appearing at the terminal Ux3 is the electrode group Gx3
The second delayed electrical signal appearing at the terminal Uy2 corresponds to the first output electrical signal at the output interdigital transducer Rxa3, and the second output electrical signal at the output interdigital transducer Ryb2 of the electrode group Gy2. Corresponding. This is because the first surface acoustic wave between the input IDT Tx2 and the output IDT Rxb3 of the electrode group Gx2, and the input IDT Ty1 and the output IDT Rya2 of the electrode group Gy1. This is because the intervening second surface acoustic waves disappear by contacting the intersections of the first and second surface acoustic wave propagation paths corresponding to the first and second surface acoustic waves, respectively.

【0023】第1遅延電気信号の位相状態を判別するた
めに、第1信号処理手段が用いられている。第1遅延電
気信号は信号分析器2に到達するのと同時に、第1電極
対10と、第1同期パルス発生器13を介して第2電極
対11に到達する。第1遅延電気信号が第1電極対10
および第2電極対11に印加されると、第5圧電基板9
に第3および第4弾性表面波がそれぞれ励振される。こ
こで、第4弾性表面波は第1同期パルス発生器13から
の同一極性のパルス信号によって励振される。第3およ
び第4弾性表面波は第3電極対12に到達し、結果とし
て、第1遅延電気信号は第1合成バースト信号に変換さ
れる。第1合成バースト信号は、信号分析器2に到達す
ることにより振幅状態が判別される。第1合成バースト
信号の振幅状態により、電極群Gx1, Gx2, Gx3, Gx4およ
びGx5の隣り合う2つのうちのどちらが端子Ux1, Ux2お
よびUx3のうちの1つに現れる第1遅延電気信号に関与
しているかが分かる。
First signal processing means is used to determine the phase state of the first delayed electric signal. The first delayed electric signal reaches the signal analyzer 2 and, at the same time, reaches the second electrode pair 11 via the first electrode pair 10 and the first synchronization pulse generator 13. When the first delayed electric signal is the first electrode pair 10
When applied to the second electrode pair 11, the fifth piezoelectric substrate 9
Then, the third and fourth surface acoustic waves are excited. Here, the fourth surface acoustic wave is excited by a pulse signal of the same polarity from the first synchronous pulse generator 13. The third and fourth surface acoustic waves reach the third electrode pair 12, and as a result, the first delayed electric signal is converted into a first composite burst signal. The amplitude state of the first synthesized burst signal is determined by reaching the signal analyzer 2. Depending on the amplitude state of the first combined burst signal, which of the two adjacent ones of the electrode groups Gx1, Gx2, Gx3, Gx4 and Gx5 is involved in the first delayed electric signal appearing at one of the terminals Ux1, Ux2 and Ux3 You know

【0024】同様にして、第2遅延電気信号の位相状態
を判別するために、第2信号処理手段が用いられてい
る。第2遅延電気信号が第4電極対15および第5電極
対16に印加されると、第6圧電基板14に第5および
第6弾性表面波がそれぞれ励振される。第5弾性表面波
が第6電極対17に到達するのと同時に、第6弾性表面
波は第2同期パルス発生器18を介して第6電極対17
に到達する。結果として、第2遅延電気信号は第2合成
バースト信号に変換され、信号分析器2においてその振
幅状態が判別される。第2合成バースト信号の振幅状態
により、電極群Gy1, Gy2, Gy3, Gy4およびGy5の隣り合
う2つのうちのどちらが端子Uy1, Uy2およびUy3のうち
の1つに現れる第2遅延電気信号に関与しているかが分
かる。このようにして、第1および第2弾性表面波伝搬
路の交点に対応する接触位置が第1および第2遅延電気
信号の位相から判別できる。
Similarly, a second signal processing means is used to determine the phase state of the second delayed electric signal. When the second delayed electric signal is applied to the fourth electrode pair 15 and the fifth electrode pair 16, fifth and sixth surface acoustic waves are excited on the sixth piezoelectric substrate 14, respectively. At the same time that the fifth surface acoustic wave reaches the sixth electrode pair 17, the sixth surface acoustic wave is transmitted via the second synchronization pulse generator 18 to the sixth electrode pair 17.
To reach. As a result, the second delayed electric signal is converted into a second synthesized burst signal, and the signal analyzer 2 determines its amplitude state. Depending on the amplitude state of the second combined burst signal, which of two adjacent ones of the electrode groups Gy1, Gy2, Gy3, Gy4 and Gy5 is involved in the second delayed electric signal appearing at one of the terminals Uy1, Uy2 and Uy3. You know In this manner, the contact position corresponding to the intersection of the first and second surface acoustic wave propagation paths can be determined from the phases of the first and second delayed electric signals.

【0025】図5は電気機械結合係数k2とfd値との関係
を示す特性図である。但し、fd値は第1弾性表面波の周
波数fと第1圧電基板5の厚さdとの積を示し、k2値は第
1圧電基板5の異なる2つの電気的境界条件下、すなわ
ち電気的開放および短絡状態での位相速度差から算出さ
れる。また、非圧電板1を伝搬する横波の速度は3,091
m/s、縦波の速度は5,592 m/sである。第1圧電基板5を
伝搬する横波および縦波の速度はそれぞれ2,450 m/sお
よび4,390 m/sであることから、非圧電板1における横
波および縦波の速度は、第1圧電基板5におけるそれら
の速度のほぼ1.3倍であることがわかる。図5より、fd
値が1.3 MHzmmのときに1次モードのk2値が最大値の4.7
%を示すことが分かる。すなわち、1次モードの弾性表
面波が最も効率よく第1圧電基板5に励振され、そのと
きのfd値は1.3 MHzmmであることが分かる。
FIG. 5 is a characteristic diagram showing the relationship between the electromechanical coupling coefficient k 2 and the fd value. However, fd value represents the product of the thickness d of the frequency f of the first surface acoustic wave first piezoelectric substrate 5, k 2 values two electrical boundary conditions of different first piezoelectric substrate 5, namely electric It is calculated from the phase velocity difference between the target open state and the short circuit state. The speed of the transverse wave propagating through the non-piezoelectric plate 1 is 3,091
m / s and longitudinal wave velocity is 5,592 m / s. Since the velocities of the transverse and longitudinal waves propagating through the first piezoelectric substrate 5 are 2,450 m / s and 4,390 m / s, respectively, the velocities of the transverse and longitudinal waves in the non-piezoelectric plate 1 are the same as those in the first piezoelectric substrate 5. It can be seen that the speed is almost 1.3 times as fast as the speed. From FIG. 5, fd
4.7 k 2 value of the primary mode when the value is 1.3 MHzmm is maximum
%. That is, it is understood that the first-order mode surface acoustic wave is most efficiently excited by the first piezoelectric substrate 5, and the fd value at that time is 1.3 MHzmm.

【0026】図6は非圧電板1と第1圧電基板5との層
状構造体を伝搬する弾性表面波の速度分散曲線を示す特
性図である。各モードのk2値の最大値は図5から得られ
たもので、図6においては●印で示されている。各々の
●印での位相速度はほぼ2,980 m/sであり、この値は非
圧電板1自身を伝搬するレイリー波の位相速度2,850 m/
sとほぼ等しいことが分かる。
FIG. 6 is a characteristic diagram showing a velocity dispersion curve of a surface acoustic wave propagating through the layered structure of the non-piezoelectric plate 1 and the first piezoelectric substrate 5. The maximum value of the k 2 value in each mode is obtained from FIG. 5 and is indicated by a black circle in FIG. The phase velocity at each mark ● is approximately 2,980 m / s, which is the phase velocity of the Rayleigh wave propagating through the non-piezoelectric plate 1 itself at 2,850 m / s.
It turns out that it is almost equal to s.

【0027】図7は、非圧電板1と第1圧電基板5との
層状構造体を伝搬する1次モードの弾性表面波の変位分
布を示す特性図である。層状構造体の深さはd値で規格
化されており、変位は最大値を1として規格化されてい
る。弾性表面波の垂直成分は実線で、水平成分は破線で
示されている。図7より、垂直成分も水平成分も非圧電
板1と第1圧電基板5との境界付近に存在することが分
かる。すなわち、両成分とも非圧電板1の深部には漏洩
されないことが分かる。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing a displacement distribution of a first-order mode surface acoustic wave propagating through the layered structure of the non-piezoelectric plate 1 and the first piezoelectric substrate 5. The depth of the layered structure is normalized by the d value, and the displacement is normalized by setting the maximum value to 1. The vertical component of the surface acoustic wave is indicated by a solid line, and the horizontal component is indicated by a broken line. FIG. 7 shows that both the vertical component and the horizontal component exist near the boundary between the non-piezoelectric plate 1 and the first piezoelectric substrate 5. That is, it is understood that both components are not leaked to the deep part of the non-piezoelectric plate 1.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明の超音波タッチパネルシステムは
非圧電板と、第1および第2超音波伝搬手段と、第1お
よび第2信号処理手段と、信号分析器から成り、小型軽
量で、デバイス構成が簡単で、回路構成も簡単である。
従って、大量生産が可能である。また、非圧電板として
ガラス板などが可能なことから、耐久性にも優れ、使用
頻度の多さや煩雑な使用にも対応しうる。
The ultrasonic touch panel system according to the present invention comprises a non-piezoelectric plate, first and second ultrasonic wave propagating means, first and second signal processing means, and a signal analyzer, and is small and lightweight. The configuration is simple, and the circuit configuration is also simple.
Therefore, mass production is possible. Further, since a glass plate or the like can be used as the non-piezoelectric plate, it has excellent durability, and can cope with frequent use and complicated use.

【0029】本発明の超音波タッチパネルシステムで
は、非圧電板の上端面を接触することにより、端子Uxj
の1つに第1遅延電気信号が現われ、端子Uyjの1つに
第2遅延電気信号が現れる。これらの第1および第2遅
延電気信号は信号分析器で直接検出されるとともに、第
1および第2信号処理手段を経由して信号分析器に到達
する。このようにして第1および第2遅延電気信号それ
ぞれの位相状態が明らかになり、これらの位相から接触
位置を高感度で判別することが可能になる。
In the ultrasonic touch panel system of the present invention, the terminals Uxj
A first delayed electrical signal appears at one of the terminals, and a second delayed electrical signal appears at one of the terminals Uyj. These first and second delayed electric signals are directly detected by the signal analyzer and reach the signal analyzer via the first and second signal processing means. In this way, the phase state of each of the first and second delayed electric signals becomes clear, and it becomes possible to determine the contact position with high sensitivity from these phases.

【0030】本発明の超音波タッチパネルシステムで
は、第1、第2、第3および第4圧電基板が一体化され
て1つの窓枠構造となることが可能である。このような
構造を採用することにより、製造工程を簡略化すること
ができる。
In the ultrasonic touch panel system of the present invention, the first, second, third and fourth piezoelectric substrates can be integrated into one window frame structure. By adopting such a structure, the manufacturing process can be simplified.

【0031】本発明の超音波タッチパネルシステムで
は、入力用すだれ状電極TxiおよびTyiにそれぞれ接続す
る第1および第2スイッチが備えられた構造が可能であ
る。このような構造を採用することにより、回路構成を
簡単にできる。
In the ultrasonic touch panel system of the present invention, a structure including first and second switches connected to the input IDTs Txi and Tyi, respectively, is possible. By employing such a structure, the circuit configuration can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の超音波タッチパネルシステムに含まれ
るパネル部の一実施例を示す平面図。
FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a panel unit included in an ultrasonic touch panel system of the present invention.

【図2】パネル部の部分拡大平面図。FIG. 2 is a partially enlarged plan view of a panel unit.

【図3】パネル部の断面図。FIG. 3 is a sectional view of a panel unit.

【図4】超音波タッチパネルシステムの一実施例を示す
構成図。
FIG. 4 is a configuration diagram showing one embodiment of an ultrasonic touch panel system.

【図5】電気機械結合係数k2とfd値との関係を示す特性
図。
[5] characteristic diagram showing the relationship between the electromechanical coupling factor k 2 and fd value.

【図6】非圧電板1と第1圧電基板5との層状構造体を
伝搬する弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図。
FIG. 6 is a characteristic diagram showing a velocity dispersion curve of a surface acoustic wave propagating through a layered structure of the non-piezoelectric plate 1 and the first piezoelectric substrate 5.

【図7】非圧電板1と第1圧電基板5との層状構造体を
伝搬する1次モードの弾性表面波の変位分布を示す特性
図。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing a displacement distribution of a first-order mode surface acoustic wave propagating through a layered structure of the non-piezoelectric plate 1 and the first piezoelectric substrate 5.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非圧電板 2 信号分析器 3 第1スイッチ 4 第2スイッチ 5 第1圧電基板 6 第2圧電基板 7 第3圧電基板 8 第4圧電基板 9 第5圧電基板 10 第1電極対 11 第2電極対 12 第3電極対 13 第1同期パルス発生器 14 第6圧電基板 15 第4電極対 16 第5電極対 17 第6電極対 18 第2同期パルス発生器 Tx1, Tx2, Tx3, Tx4, Tx5 入力用すだれ状電極 Gx1, Gx2, Gx3, Gx4, Gx5 電極群 Ux1, Ux2, Ux3 端子 Rxa1, Rxa2, Rxa3, Rxb1, Rxb2, Rxb3 出力用すだれ
状電極 Ty1, Ty2, Ty3, Ty4, Ty5 入力用すだれ状電極 Gy1, Gy2, Gy3, Gy4, Gy5 電極群 Uy1, Uy2, Uy3 端子 Rya1, Rya2, Rya3, Ryb1, Ryb2, Ryb3 出力用すだれ
状電極
REFERENCE SIGNS LIST 1 non-piezoelectric plate 2 signal analyzer 3 first switch 4 second switch 5 first piezoelectric substrate 6 second piezoelectric substrate 7 third piezoelectric substrate 8 fourth piezoelectric substrate 9 fifth piezoelectric substrate 10 first electrode pair 11 second electrode Pair 12 Third electrode pair 13 First synchronous pulse generator 14 Sixth piezoelectric substrate 15 Fourth electrode pair 16 Fifth electrode pair 17 Sixth electrode pair 18 Second synchronous pulse generator Tx1, Tx2, Tx3, Tx4, Tx5 Input IDT electrodes Gx1, Gx2, Gx3, Gx4, Gx5 Electrode group Ux1, Ux2, Ux3 terminals Rxa1, Rxa2, Rxa3, Rxb1, Rxb2, Rxb3 Electrodes Gy1, Gy2, Gy3, Gy4, Gy5 Electrode group Uy1, Uy2, Uy3 terminals Rya1, Rya2, Rya3, Ryb1, Ryb2, Ryb3 Interdigital electrodes

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非圧電板と、第1および第2超音波伝搬
手段と、第1および第2信号処理手段と、信号分析器か
ら成る超音波タッチパネルシステムであって、前記第1
超音波伝搬手段は少なくとも2つの入力用すだれ状電極
Txi (i=1, 2,…,m)と、少なくとも2つの電極群Gxi (i=
1, 2,…, m)と、第1および第2圧電基板と、少なくと
も2つの端子Uxj (j=1, 2,…, n)から成り、前記電極群
Gxiの隣り合う2つの一方は少なくとも2つの出力用す
だれ状電極Rxaj (j=1, 2,…, n)から成り、もう一方は
少なくとも2つの出力用すだれ状電極Rxbj (j=1, 2,…,
n)から成り、前記出力用すだれ状電極RxajおよびRxbj
は、電極指の方向が互いに逆であり、前記端子Uxjは、
前記出力用すだれ状電極Rxajにそれぞれ接続されるとと
もに、前記出力用すだれ状電極Rxbjにそれぞれ接続さ
れ、前記第2超音波伝搬手段は少なくとも2つの入力用
すだれ状電極Tyi (i=1, 2,…, m)と、少なくとも2つの
電極群Gyi (i=1, 2,…, m)と、第3および第4圧電基板
と、少なくとも2つの端子Uyj (j=1, 2,…, n)から成
り、前記電極群Gyiの隣り合う2つの一方は少なくとも
2つの出力用すだれ状電極Ryaj (j=1, 2,…, n)から成
り、もう一方は少なくとも2つの出力用すだれ状電極Ry
bj (j=1, 2,…, n)から成り、前記出力用すだれ状電極R
yajおよびRybjは、電極指の方向が互いに逆であり、前
記端子Uyjは、前記出力用すだれ状電極Ryajにそれぞれ
接続されるとともに、前記出力用すだれ状電極Rybjにそ
れぞれ接続され、前記入力用すだれ状電極Txi、前記電
極群Gxi、前記入力用すだれ状電極Tyiおよび前記電極群
Gyiは前記非圧電板の上端面の第1、第2、第3および
第4縁部にそれぞれ設けられ、前記第1、第2、第3お
よび第4圧電基板は、前記入力用すだれ状電極Txi、前
記電極群Gxi、前記入力用すだれ状電極Tyiおよび前記電
極群Gyiの上にそれぞれ設けられ、前記第1信号処理手
段は第5圧電基板と、その第5圧電基板に設けられた第
1、第2および第3電極対と、第1同期パルス発生器か
ら成り、前記第2信号処理手段は第6圧電基板と、その
第6圧電基板に設けられた第4、第5および第6電極対
と、第2同期パルス発生器から成り、前記信号分析器は
前記第1および第2信号処理手段と接続され、前記入力
用すだれ状電極Txiの隣り合う2つに第1入力電気信号
が印加されることにより、前記第1圧電基板に第1弾性
表面波が励振され、前記第1弾性表面波は、前記非圧電
板の前記上端面を介して前記第2圧電基板に伝搬され、
前記出力用すだれ状電極RxajおよびRxbjの各々において
第1出力電気信号に変換され、前記入力用すだれ状電極
Tyiの隣り合う2つに第2入力電気信号が印加されるこ
とにより、前記第3圧電基板に第2弾性表面波が励振さ
れ、前記第2弾性表面波は、前記非圧電板の前記上端面
を介して前記第4圧電基板に伝搬され、前記出力用すだ
れ状電極RyajおよびRybjの各々において第2出力電気信
号に変換され、前記非圧電板の前記上端面を接触するこ
とにより前記端子Uxjの1つおよび前記端子Uyjの1つに
それぞれ現れる第1および第2遅延電気信号は、前記信
号分析器によって直接検出されるとともに、前記第1お
よび第2信号処理手段を経由した後に前記信号分析器に
よって検出され、前記非圧電板の前記上端面における接
触位置は、前記信号分析器によって検出される前記第1
および第2遅延電気信号の位相により判別される超音波
タッチパネルシステム。
1. An ultrasonic touch panel system comprising a non-piezoelectric plate, first and second ultrasonic wave propagation means, first and second signal processing means, and a signal analyzer, wherein the first
The ultrasonic wave propagation means has at least two interdigital transducers
Txi (i = 1, 2, ..., m) and at least two electrode groups Gxi (i =
1, 2,..., M), first and second piezoelectric substrates, and at least two terminals Uxj (j = 1, 2,.
Two adjacent ones of Gxi are composed of at least two output interdigital transducers Rxaj (j = 1, 2,..., N), and the other is at least two output interdigital transducers Rxbj (j = 1, 2, …,
n), the output IDTs Rxaj and Rxbj
The directions of the electrode fingers are opposite to each other, and the terminal Uxj is
Connected to the output interdigital transducer Rxaj, respectively, and connected to the output interdigital transducer Rxbj, respectively, the second ultrasonic wave propagating means includes at least two input interdigital transducers Tyi (i = 1, 2, , M), at least two electrode groups Gyi (i = 1, 2,..., M), third and fourth piezoelectric substrates, and at least two terminals Uyj (j = 1, 2,..., N). One of the two adjacent electrode groups Gyi consists of at least two output interdigital transducers Ryaj (j = 1, 2,..., N), and the other has at least two output interdigital transducers Ryj.
bj (j = 1, 2,..., n), and the output interdigital transducer R
yaj and Rybj have opposite electrode finger directions, and the terminals Uyj are respectively connected to the output IDTs Ryaj and connected to the output IDTs Rybj and the input IDTs, respectively. Electrode Txi, the electrode group Gxi, the input IDT Tyi and the electrode group
Gyi is provided at first, second, third and fourth edges of an upper end surface of the non-piezoelectric plate, respectively, and the first, second, third and fourth piezoelectric substrates are provided with the input interdigital transducer. Txi, the electrode group Gxi, the input interdigital transducer Tyi, and the electrode group Gyi. The first signal processing means is provided on a fifth piezoelectric substrate, and the first signal processing means is provided on the fifth piezoelectric substrate. , A second and a third pair of electrodes, and a first synchronization pulse generator, wherein the second signal processing means comprises a sixth piezoelectric substrate and fourth, fifth and sixth electrodes provided on the sixth piezoelectric substrate. The signal analyzer is connected to the first and second signal processing means, and a first input electric signal is applied to two adjacent ones of the input IDTs. As a result, the first surface acoustic wave is excited on the first piezoelectric substrate, and the first Sexual surface wave is propagated through the upper end surface of the non-piezoelectric plate to said second piezoelectric substrate,
Each of the output interdigital transducers Rxaj and Rxbj is converted into a first output electrical signal,
When a second input electric signal is applied to two adjacent Tyi, a second surface acoustic wave is excited on the third piezoelectric substrate, and the second surface acoustic wave is applied to the upper end surface of the non-piezoelectric plate. Is transmitted to the fourth piezoelectric substrate, and is converted into a second output electric signal at each of the output IDTs Ryaj and Rybj, and by contacting the upper end surface of the non-piezoelectric plate, the terminal Uxj The first and second delayed electrical signals appearing at one and one of the terminals Uyj, respectively, are directly detected by the signal analyzer and after passing through the first and second signal processing means. And the contact position on the upper end surface of the non-piezoelectric plate is the first position detected by the signal analyzer.
And an ultrasonic touch panel system determined by the phase of the second delayed electric signal.
【請求項2】 前記第1、第2、第3および第4圧電基
板が一体化されて1つの窓枠構造が形成される請求項1
に記載の超音波タッチパネルシステム。
2. The window frame structure according to claim 1, wherein said first, second, third and fourth piezoelectric substrates are integrated.
The ultrasonic touch panel system according to 1.
【請求項3】 前記第1、第2、第3、第4、第5およ
び第6圧電基板が圧電セラミックで成り、前記圧電セラ
ミックの分極軸の方向はその厚さ方向と平行である請求
項1または2に記載の超音波タッチパネルシステム。
3. The piezoelectric substrate according to claim 1, wherein said first, second, third, fourth, fifth, and sixth piezoelectric substrates are made of piezoelectric ceramic, and a direction of a polarization axis of said piezoelectric ceramic is parallel to a thickness direction thereof. 3. The ultrasonic touch panel system according to 1 or 2.
【請求項4】 前記非圧電板が透明な材質で成る請求項
1,2または3に記載の超音波タッチパネルシステム。
4. The ultrasonic touch panel system according to claim 1, wherein said non-piezoelectric plate is made of a transparent material.
【請求項5】 前記第1、第2、第3および第4圧電基
板の厚さが前記入力用すだれ状電極TxiおよびTyiの電極
周期長よりも小さく、前記非圧電板の厚さが前記電極周
期長の3倍よりも大きい請求項1,2,3または4に記
載の超音波タッチパネルシステム。
5. A thickness of said first, second, third and fourth piezoelectric substrates is smaller than an electrode cycle length of said input IDTs Txi and Tyi, and a thickness of said non-piezoelectric plate is smaller than said electrode. 5. The ultrasonic touch panel system according to claim 1, wherein the period is longer than three times the cycle length.
【請求項6】 前記非圧電板自身に伝搬する弾性表面波
の位相速度が前記第1、第2、第3および第4圧電基板
自身に伝搬する弾性表面波の位相速度よりも速い請求項
1,2,3,4または5に記載の超音波タッチパネルシ
ステム。
6. The phase velocity of the surface acoustic wave propagating to the non-piezoelectric plate itself is faster than the phase velocity of the surface acoustic wave propagating to the first, second, third, and fourth piezoelectric substrates themselves. , 2, 3, 4 or 5.
【請求項7】 前記入力用すだれ状電極TxiおよびTyiに
それぞれ接続する第1および第2スイッチが備えられた
請求項1,2,3,4,5または6に記載の超音波タッ
チパネルシステム。
7. The ultrasonic touch panel system according to claim 1, further comprising first and second switches connected to the input interdigital transducers Txi and Tyi, respectively.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7152482B2 (en) 2002-10-01 2006-12-26 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Piezoelectric sensor and input device including same

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