JP2002181659A - Light source device - Google Patents

Light source device

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JP2002181659A
JP2002181659A JP2000381108A JP2000381108A JP2002181659A JP 2002181659 A JP2002181659 A JP 2002181659A JP 2000381108 A JP2000381108 A JP 2000381108A JP 2000381108 A JP2000381108 A JP 2000381108A JP 2002181659 A JP2002181659 A JP 2002181659A
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JP
Japan
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light
source device
light source
light emitting
emitting element
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Withdrawn
Application number
JP2000381108A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Uemura
博 植村
Tadayuki Sugimori
忠之 杉森
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Sharp Corp
Inter Action KK
Original Assignee
Sharp Corp
Inter Action KK
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Publication date
Application filed by Sharp Corp, Inter Action KK filed Critical Sharp Corp
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Publication of JP2002181659A publication Critical patent/JP2002181659A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small size light source device capable of light irradiation with high power and easily obtaining the light having a desired color (wavelength). SOLUTION: A plurality of LEDs 20, each emitting either one of three primary colors of light, that is, the light of red color, blue color, or green color, are respectively attached to a main attachment section 11 of photodetector attachment table 10 constructed in a form of a spherical surface. The light emitted from each LED 20 attached to the photodetector attachment table 10 is converged by a condenser 40 and diffused or irregularly reflected by a diffusion plate 50.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、撮像素子であるイ
メージセンサ素子の検査等に使用される光源装置に関す
る。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a light source device used for inspection of an image sensor element as an image pickup element.

【0002】[0002]

【従来の技術】特開平2−90645号公報には、撮像
素子の検査装置が開示されている。この検査装置では、
撮像素子に対して光を均一に照射して、撮像素子に流れ
る電流を測定することにより、撮像素子が正常に動作す
るかを検査するようになっている。
2. Description of the Related Art Japanese Patent Laying-Open No. 2-90645 discloses an inspection device for an image sensor. In this inspection device,
By irradiating light uniformly to the image sensor and measuring a current flowing through the image sensor, it is checked whether the image sensor operates normally.

【0003】このような検査装置に使用される光源装置
としては、通常、発光源として、発光色が太陽光に近い
ハロゲンランプが使用されている。しかしながら、ハロ
ゲンランプは、駆動電流が変化すると、発せられる光の
色温度が変化するために、検査に必要な色(波長)の光
を得ることが容易でないという問題がある。検査に必要
な色(波長)の光を得るためには、ハロゲンランプに対
して一定の電流を供給して所定の発光状態とし、ハロゲ
ンランプから照射される光を、NDフィルタおよび色フ
ィルタを切り替える必要、あるいは、アイリス機構によ
る制御の必要がある。
[0003] As a light source device used in such an inspection apparatus, a halogen lamp whose emission color is close to sunlight is usually used as a light source. However, the halogen lamp has a problem that it is not easy to obtain light of a color (wavelength) required for inspection because the color temperature of emitted light changes when the drive current changes. In order to obtain light of a color (wavelength) required for inspection, a constant current is supplied to the halogen lamp to set a predetermined light emitting state, and light emitted from the halogen lamp is switched between the ND filter and the color filter. It needs to be controlled by an iris mechanism.

【0004】しかしながら、このように、所定の色の光
を得るために機械的な制御を行う場合には、複雑な機構
が必要になるために装置が大型化し、しかも、制御に時
間がかかるという問題がある。また、ハロゲンランプを
光源装置として使用する場合には、ハロゲンランプの寿
命が短いために、頻繁に交換しなければならず、経済性
が損なわれるとともに、その交換作業が煩わしいという
問題もある。
However, when mechanical control is performed to obtain light of a predetermined color as described above, a complicated mechanism is required, so that the size of the apparatus is increased, and control is time-consuming. There's a problem. Further, when a halogen lamp is used as a light source device, the life of the halogen lamp is short, so that the halogen lamp has to be replaced frequently, which causes a problem that economic efficiency is impaired and replacement work is troublesome.

【0005】前述した公報には、光源としてLEDを使
用し、LEDから照射される光を、曇りガラスおよびセ
ルフォックレンズを介して、ウエハ上に形成された撮像
素子に均一に照射する構成が開示されている。このよう
に、光源としてLEDを使用することにより、ハロゲン
ランプを使用する場合のように、装置が大型化するおそ
れがなく、また、経済性等も改善される。
The above-mentioned publication discloses a configuration in which an LED is used as a light source and light emitted from the LED is uniformly applied to an image pickup device formed on a wafer via frosted glass and a selfoc lens. Have been. As described above, by using the LED as the light source, there is no possibility that the device is increased in size as in the case of using a halogen lamp, and the economic efficiency is improved.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記公
報に開示された装置では、光源としてLEDを使用して
いるものの、LEDから照射される光の色(波長)を変
化させることができず、撮像素子の検査に必要な色(波
長)の光を得ることができないという問題がある。ま
た、LEDから照射される光を、直接、曇りガラスによ
って均一にしているために、光を効率よく集光すること
ができないという問題もある。
However, in the device disclosed in the above publication, although the LED is used as a light source, the color (wavelength) of light emitted from the LED cannot be changed, and the image pickup is not performed. There is a problem that light of a color (wavelength) necessary for element inspection cannot be obtained. Further, since the light emitted from the LED is directly made uniform by the frosted glass, there is a problem that the light cannot be efficiently collected.

【0007】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、小型であって、高出力で光を照射
することができ、さらには、所望する色(波長)の光を
容易に得ることができる光源装置を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to solve such a problem. It is an object of the present invention to be able to irradiate light with a small size and a high output, and further to emit light of a desired color (wavelength). An object of the present invention is to provide a light source device that can be easily obtained.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の光源装置は、そ
れぞれが、光の三原色である赤色、青色、緑色の光のい
ずれかを出射する複数の発光素子が、球面状に構成され
た発光素子取付台の取付本体部にそれぞれ取り付けられ
ていることを特徴とする。
According to a light source device of the present invention, a plurality of light emitting elements each emitting one of the three primary colors of light, red, blue and green, are formed in a spherical shape. It is characterized in that it is mounted on the mounting body of the element mounting base.

【0009】前記発光素子取付台に取り付けられた各発
光素子から照射される光が、集光レンズによって集光さ
れる。
Light emitted from each light emitting element attached to the light emitting element mounting base is condensed by a condenser lens.

【0010】前記集光レンズによって集光された光が拡
散板によって拡散される。
The light condensed by the condenser lens is diffused by a diffusion plate.

【0011】前記各発光素子から出射されるそれぞれの
色の光が前記発光素子取付台の全体から均一に出射され
るように、それぞれの色の光を出射する発光素子は、発
光素子取付台の全体にわたってほぼ均等に分布してい
る。
The light-emitting elements that emit light of the respective colors are arranged so that the light of each color emitted from each of the light-emitting elements is uniformly emitted from the entire light-emitting element mount. It is almost evenly distributed throughout.

【0012】緑色、赤色、青色の光をそれぞれ出射する
各発光素子の個数の割合が、ほぼ1:2:3になってい
る。
The ratio of the number of light emitting elements that emit green, red, and blue light, respectively, is approximately 1: 2: 3.

【0013】前記発光素子がLEDである。The light emitting element is an LED.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】図1は、本発明の光源装置の実施の形態の
一例を示す断面図、図2は、その光源装置の概略構成を
示す模式図である。この光源装置は、複数の発光素子で
あるLED20が取り付けられたドーム状の発光素子取
付台10と、この発光素子取付台10に取り付けられた
集光レンズ枠30とを有している。集光レンズ枠30に
は、発光素子取付枠10に取り付けられた各LED20
からそれぞれ照射される光を集光する集光レンズ40が
取り付けられている。また、本発明の光源装置には、集
光レンズ31にて集光された光を均一に拡散させる拡散
板50も設けられている。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a light source device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the light source device. This light source device has a dome-shaped light emitting element mounting base 10 on which LEDs 20 as a plurality of light emitting elements are mounted, and a condenser lens frame 30 mounted on the light emitting element mounting base 10. Each of the LEDs 20 mounted on the light emitting element mounting frame 10 is
A condenser lens 40 for condensing the light irradiated from each of them is attached. Further, the light source device of the present invention is also provided with a diffusion plate 50 for uniformly diffusing the light condensed by the condenser lens 31.

【0016】図3は、発光素子取付台10の平面図、図
4は、その発光素子取付台10の断面図である。発光素
子取付台10は、一定の曲率半径を有する球面状の取付
本体部11と、この取付本体部11の外周縁部に、全周
にわたってリング状に設けられたフランジ部12とを有
している。球面状の取付本体部11は、例えば、取付本
体部11の内周面の曲率半径が79.6mm、外周面の
曲率半径が82.6mmの一定の厚さになっており、取
付本体部11にて形成される球面の中心O側の部分は開
口している。取付本体部11の開口部分の内径は、12
0mm程度の円形になっている。取付本体部11の開口
部分は、リング状のフランジ部12と同一平面内に配置
されている。
FIG. 3 is a plan view of the light emitting element mounting base 10, and FIG. 4 is a sectional view of the light emitting element mounting base 10. The light emitting element mounting base 10 has a spherical mounting main body 11 having a constant radius of curvature, and a flange 12 provided on the outer peripheral edge of the mounting main body 11 in a ring shape over the entire circumference. I have. For example, the spherical mounting body 11 has a constant thickness such that the radius of curvature of the inner peripheral surface of the mounting main body 11 is 79.6 mm and the radius of curvature of the outer peripheral surface is 82.6 mm. The portion on the center O side of the spherical surface formed by is opened. The inner diameter of the opening of the mounting body 11 is 12
It has a circular shape of about 0 mm. The opening of the mounting body 11 is arranged in the same plane as the ring-shaped flange 12.

【0017】球面状の取付本体部11には、多数の素子
取付孔11aが形成されている。取付本体部11の中央
部には、1つの素子取付孔11aが貫通状態で設けられ
ている。そして、この中央部の素子取付孔11aに対し
て一定のピッチで設けられた7つの同心円上に、それぞ
れ所定数の素子取付孔11aが周方向に一定の間隔をあ
けて、それぞれが貫通状態で設けられている。
A large number of element mounting holes 11a are formed in the spherical mounting body 11. One element mounting hole 11a is provided in the center of the mounting main body 11 in a penetrating state. Then, a predetermined number of element mounting holes 11a are respectively provided at predetermined intervals in the circumferential direction on seven concentric circles provided at a constant pitch with respect to the element mounting holes 11a at the central portion, and each is in a penetrating state. Is provided.

【0018】取付本体部11の中央部に設けられた素子
取付孔11aに最も近接した第1同心円C1は、その同
心円C1と球面状の取付本体部11の中心Oとによって
得られる円錐の頂点における断面角度(以下、頂点角度
とする)が、12°になるように、従って、その1/2
が6°になるように形成されている。第1同心円C1に
隣接する第2同心円C2は、この第2同心円C2と球面
の中心Oとによって得られる円錐の頂点角度の1/2
と、第1同心円C1に対応する円錐の頂点角度の1/2
との差が6°になるように設けられている。以下、隣接
する各同心円にて得られるそれぞれの円錐の頂点角度の
1/2の差が6°になるように、第3同心円C3〜第7
同心円C7が、それぞれ形成されている。
The first concentric circle C1 closest to the element mounting hole 11a provided at the center of the mounting main body 11 is located at the vertex of a cone obtained by the concentric circle C1 and the center O of the spherical mounting main body 11. The cross-sectional angle (hereinafter referred to as a vertex angle) is set to 12 °, and therefore, a half thereof
Is 6 °. The second concentric circle C2 adjacent to the first concentric circle C1 is の of the vertex angle of the cone obtained by the second concentric circle C2 and the center O of the spherical surface.
And 1/2 of the vertex angle of the cone corresponding to the first concentric circle C1
Is set to be 6 °. Hereinafter, the third concentric circles C3 to C7 are set so that the difference of 1/2 of the vertex angle of each cone obtained in each adjacent concentric circle becomes 6 °.
Concentric circles C7 are respectively formed.

【0019】第1同心円C1上には、6個の素子取付孔
11aが、周方向に一定の間隔をあけて配置されてい
る。従って、第1同心円C1上に配置される各素子取付
孔11aは、第1同心円C1に対して中心角60°のピ
ッチで設けられている。第2同心円C2上には、12個
の素子取付孔11aが、周方向に一定の間隔をあけて配
置されており、従って、第2同心円C2上に配置される
各素子取付孔11aは、第2同心円C2に対して中心角
30°のピッチで設けられている。
On the first concentric circle C1, six element mounting holes 11a are arranged at regular intervals in the circumferential direction. Accordingly, the element mounting holes 11a arranged on the first concentric circle C1 are provided at a pitch of a central angle of 60 ° with respect to the first concentric circle C1. On the second concentric circle C2, twelve element mounting holes 11a are arranged at regular intervals in the circumferential direction. Therefore, each element mounting hole 11a disposed on the second concentric circle C2 is The two concentric circles C2 are provided at a pitch of a central angle of 30 °.

【0020】同様に、第3同心円C3上には、18個の
素子取付孔11aが、第3同心円C3に対して中心角2
0°のピッチで設けられており、第4同心円C4上に
は、24個の素子取付孔11aが、第4同心円C4に対
して中心角15°のピッチで設けられている。さらに、
第5同心円C5上には、30個の素子取付孔11aが、
第5同心円C5に対して中心角12°のピッチで設けら
れ、第6同心円C6上には、36個の素子取付孔11a
が、第6同心円C6に対して中心角10°のピッチで設
けられ、第7同心円C7上には、40個の素子取付孔1
1aが、第7同心円C7に対して中心角9°のピッチで
設けられている。
Similarly, on the third concentric circle C3, eighteen element mounting holes 11a have a center angle of 2 with respect to the third concentric circle C3.
The four concentric circles C4 are provided with 24 element mounting holes 11a at a pitch of a central angle of 15 ° with respect to the fourth concentric circle C4. further,
On the fifth concentric circle C5, 30 element mounting holes 11a are provided.
It is provided at a pitch of a central angle of 12 ° with respect to the fifth concentric circle C5, and 36 element mounting holes 11a are provided on the sixth concentric circle C6.
Are provided at a pitch of a central angle of 10 ° with respect to the sixth concentric circle C6, and 40 element mounting holes 1 are provided on the seventh concentric circle C7.
1a are provided at a pitch of a central angle of 9 ° with respect to the seventh concentric circle C7.

【0021】従って、素子取付台10の取付本体部11
には、167個の素子取付孔11aが設けられている。
Accordingly, the mounting body 11 of the element mounting base 10
Are provided with 167 element mounting holes 11a.

【0022】各素子取付孔11aには、LED20が、
それぞれの発光方向を、取付本体部11の球面における
中心Oに向くように挿入された状態で取り付けられてい
る。各LED20は、それぞれ、光の三原色である緑
色、赤色、青色のいずれかの光を発するようになってい
る。取付本体部11に設けられる緑色、赤色、青色の各
LEDは、各LED20から発せられる色の光スペクト
ルが均等になるように、緑色、赤色、青色の各LEDの
個数の割合が、ほぼ1:2:3とされ、本実施の形態で
は、緑色、赤色、青色の各LEDの個数が、28:5
6:73とされている。なお、緑色、赤色、青色光を出
射するLED20は、取付本体部11の全体にわたって
ほぼ均等になるように分布されており、各LED20か
ら出射されるそれぞれの色の光が、取付本体部11の全
体にわたってほぼ均一になっている。
An LED 20 is provided in each element mounting hole 11a.
Each light emitting direction is attached in a state of being inserted so as to face the center O of the spherical surface of the attaching main body 11. Each LED 20 emits any one of the three primary colors of light, green, red, and blue. The green, red, and blue LEDs provided in the mounting main body 11 have a ratio of the numbers of the green, red, and blue LEDs of approximately 1: 1, so that the light spectrum of the color emitted from each of the LEDs 20 is uniform. In this embodiment, the number of each of the green, red, and blue LEDs is 28: 5.
6:73. Note that the LEDs 20 that emit green, red, and blue light are distributed so as to be substantially uniform over the entire mounting main body 11, and light of each color emitted from each LED 20 is emitted from the mounting main body 11. It is almost uniform throughout.

【0023】発光素子取付台10のフランジ部12に
は、4つのビス孔12aが、周方向に等しい間隔をあけ
て配置されている。
In the flange portion 12 of the light emitting element mounting base 10, four screw holes 12a are arranged at equal intervals in the circumferential direction.

【0024】図1に示すように、発光素子取付台10に
は、レンズ枠30が取り付けられている。レンズ枠30
は、発光素子取付台10の取付本体部11における開口
部分を覆うように、フランジ部12に突き合わされて、
フランジ部12の各ビス孔12a内にそれぞれ挿入され
たビス13によって、発光素子取付台10に一体になる
ように取り付けられている。
As shown in FIG. 1, a lens frame 30 is mounted on the light emitting element mounting base 10. Lens frame 30
Are abutted against the flange portion 12 so as to cover the opening portion of the mounting body portion 11 of the light emitting element mounting base 10,
Screws 13 inserted into the screw holes 12a of the flange portion 12 are attached to the light emitting element mounting base 10 so as to be integrated.

【0025】レンズ枠30の中央部には、発光素子取付
台10に取り付けられた各LED20から照射される光
を集光する集光レンズ40が、発光素子取付台10の取
付本体部11に対向して保持されている。集光レンズ4
0は、一方の面が平坦になった凸レンズによって構成さ
れており、平坦面が発光素子取付台10の遠方側に配置
されて、球面状に構成された取付本体部11内に凸部が
嵌合するように保持されている。
At the center of the lens frame 30, a condenser lens 40 for condensing light emitted from each LED 20 attached to the light emitting element mounting base 10 faces the mounting main body 11 of the light emitting element mounting base 10. And are held. Condensing lens 4
Reference numeral 0 denotes a convex lens having one flat surface, and the flat surface is disposed on the far side of the light emitting element mounting base 10, and the convex portion is fitted in the mounting main body 11 having a spherical shape. Are held together.

【0026】各LED20から照射された光は、集光レ
ンズ40によって、拡散板50に集光されるようになっ
ている。拡散板50は、集光レンズ40から適当な間隔
をあけた状態で、集光レンズ40と平行になるように、
図示しない保持手段によって保持されている。集光レン
ズ40にて集光された光は、拡散板50によって、拡散
または乱反射して、拡散板50から均一な光として照射
される。
The light emitted from each LED 20 is condensed on a diffusion plate 50 by a condenser lens 40. The diffusing plate 50 is arranged at an appropriate distance from the condenser lens 40 so as to be parallel to the condenser lens 40.
It is held by holding means (not shown). The light condensed by the condenser lens 40 is diffused or irregularly reflected by the diffusion plate 50, and is emitted from the diffusion plate 50 as uniform light.

【0027】このような構成の光源装置は、発光素子取
付台10に取り付けられた各LED20から発せられた
光が、集光レンズ40によって集光されて、拡散板50
によって均一な光とされて照射される。発光素子取付台
10に取り付けられ各LED20は、それぞれ、光の三
原色である緑色、赤色、青色のいずれかの光を照射する
ようになっているために、各LED20の発光をそれぞ
れ制御することにより、所望の色(波長)の光を得るこ
とができる。従って、本発明の光源装置は、照射される
光の色を容易に制御することができる。
In the light source device having such a configuration, the light emitted from each LED 20 mounted on the light emitting element mounting base 10 is condensed by the condensing lens 40,
The light is emitted as uniform light. Each LED 20 attached to the light-emitting element mounting base 10 emits any one of the three primary colors of light, green, red, and blue, so that by controlling the emission of each LED 20, respectively. Light of a desired color (wavelength) can be obtained. Therefore, the light source device of the present invention can easily control the color of the emitted light.

【0028】また、発光効率に優れた多数のLED20
を使用しているために、発熱量が少なく、また、各LE
D20がそれぞれ高寿命であるために、長期にわたって
安定的に使用することができる。、さらには、各LED
20を長期にわたって交換する必要がないために、低コ
ストであり、さらには、各LRD20を交換するための
作業回数が少なく、メンテナンス性に優れている。
In addition, a large number of LEDs 20 having excellent luminous efficiency
Is used, the calorific value is small, and each LE
Since each of D20 has a long life, it can be stably used for a long time. And each LED
Since it is not necessary to replace the LRDs 20 for a long period of time, the cost is low, the number of operations for replacing each LRD 20 is small, and the maintenance is excellent.

【0029】発光素子取付台10は、各LED20が取
り付けられる取付本体部11が球面状になっており、多
数のLED20を所定の方向に向けて効率よく配置する
ことができる。従って、光源装置全体を小型化すること
ができる。しかも、球面状の取付本体部11に球面の中
心部に向かって取り付けられた各LED20から照射さ
れる光を、集光レンズ40によって集光するようになっ
ているために、集光率も著しく向上し、光を高出力で照
射することができる。
In the light emitting element mounting base 10, the mounting main body 11 to which each LED 20 is mounted has a spherical shape, and a large number of LEDs 20 can be efficiently arranged in a predetermined direction. Therefore, the entire light source device can be downsized. In addition, since the light emitted from each LED 20 mounted on the spherical mounting body 11 toward the center of the spherical surface is condensed by the condensing lens 40, the light condensing rate is also remarkable. It is possible to irradiate light with high output.

【0030】さらに、集光レンズ40にて集光される光
を、拡散板50によって拡散することにより、光均一度
の高い光を出射することができる。
Further, the light condensed by the condenser lens 40 is diffused by the diffusion plate 50, so that light with high light uniformity can be emitted.

【0031】従って、本発明の光源装置は、撮像素子の
検査装置における光源として好適に使用することができ
る。
Therefore, the light source device of the present invention can be suitably used as a light source in an inspection device for an image sensor.

【0032】[0032]

【発明の効果】このように、本発明の光源装置は、発光
素子取付台の球面状に形成された取付本体部に多数の発
光素子が取り付けられているために、小型であって、光
を高出力で照射することができ、さらには、所望する色
(波長)の光を容易に得ることができる
As described above, the light source device of the present invention is small in size because a large number of light emitting elements are mounted on the spherical mounting body of the light emitting element mounting base. Irradiation can be performed with high output, and light of a desired color (wavelength) can be easily obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光源装置の実施の形態の一例を示す断
面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an example of an embodiment of a light source device of the present invention.

【図2】その光源装置の概略構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the light source device.

【図3】その光源装置に使用される発光素子取付台の平
面図である。
FIG. 3 is a plan view of a light emitting element mounting base used in the light source device.

【図4】その発光素子取付台の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of the light emitting element mounting base.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 発光素子取付台 11 取付本体部 11a 素子取付孔 12 フランジ部 20 LED 30 レンズ枠 40 集光レンズ 50 拡散板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light emitting element mounting base 11 Mounting main body part 11a Element mounting hole 12 Flange part 20 LED 30 Lens frame 40 Condensing lens 50 Diffusing plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉森 忠之 東京都世田谷区下馬1−39−11 セントパ レス下馬401 Fターム(参考) 2G086 EE01 4M106 AA07 AB09 BA04 CA17 DH01 DH12 DH31 DH38 DH39 5C061 BB03 CC01  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tadayuki Sugimori 1-39-11 Shimouma, Setagaya-ku, Tokyo Saint Palace Shimouma 401 F term (reference) 2G086 EE01 4M106 AA07 AB09 BA04 CA17 DH01 DH12 DH31 DH38 DH39 5C061 BB03 CC01

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれが、光の三原色である赤色、青
色、緑色の光のいずれかを出射する複数の発光素子が、
球面状に構成された発光素子取付台の取付本体部にそれ
ぞれ取り付けられていることを特徴とする光源装置。
1. A plurality of light-emitting elements each emitting one of three primary colors of light, red, blue, and green,
A light source device, wherein the light source device is mounted on a mounting main body of a light emitting element mounting base having a spherical shape.
【請求項2】 前記発光素子取付台に取り付けられた各
発光素子から照射される光が、集光レンズによって集光
される請求項1に記載の光源装置。
2. The light source device according to claim 1, wherein light emitted from each of the light emitting elements mounted on the light emitting element mounting base is condensed by a condenser lens.
【請求項3】 前記集光レンズによって集光された光が
拡散板によって拡散される請求項2に記載の光源装置。
3. The light source device according to claim 2, wherein the light condensed by the condenser lens is diffused by a diffusion plate.
【請求項4】 前記各発光素子から出射されるそれぞれ
の色の光が前記発光素子取付台の全体から均一に出射さ
れるように、それぞれの色の光を出射する発光素子は、
発光素子取付台の全体にわたってほぼ均等に分布してい
る請求項1に記載の光源装置。
4. A light emitting element that emits light of each color so that light of each color emitted from each light emitting element is uniformly emitted from the entire light emitting element mounting base.
The light source device according to claim 1, wherein the light source device is substantially uniformly distributed over the entire light emitting element mounting base.
【請求項5】 緑色、赤色、青色の光をそれぞれ出射す
る各発光素子の個数の割合が、ほぼ1:2:3になって
いる請求項1に記載の光源装置。
5. The light source device according to claim 1, wherein the ratio of the numbers of the respective light emitting elements that emit green, red, and blue light, respectively, is approximately 1: 2: 3.
【請求項6】 前記発光素子がLEDである請求項1に
記載の光源装置。
6. The light source device according to claim 1, wherein the light emitting element is an LED.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005070021A (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Yokogawa Electric Corp Light source device for inspection
JP2006053121A (en) * 2004-07-13 2006-02-23 Yokogawa Electric Corp Light source device for inspection
WO2016125234A1 (en) * 2015-02-02 2016-08-11 株式会社イクス Light-emitting device, calibration factor calculation method, and calibration method for captured image of object to be inspected

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005070021A (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Yokogawa Electric Corp Light source device for inspection
JP2006053121A (en) * 2004-07-13 2006-02-23 Yokogawa Electric Corp Light source device for inspection
JP4631408B2 (en) * 2004-07-13 2011-02-16 横河電機株式会社 Light source device for inspection
WO2016125234A1 (en) * 2015-02-02 2016-08-11 株式会社イクス Light-emitting device, calibration factor calculation method, and calibration method for captured image of object to be inspected
WO2016125643A1 (en) * 2015-02-02 2016-08-11 株式会社イクス Light-emitting device, method for calculating calibration factor, and method for calibrating captured image of object to be inspected
CN107211094A (en) * 2015-02-02 2017-09-26 宜客斯股份有限公司 The bearing calibration of the shooting image of light-emitting device, the computational methods of correction coefficient and check object thing
JPWO2016125643A1 (en) * 2015-02-02 2017-11-09 株式会社イクス Light emitting device, method for calculating calibration coefficient, and method for calibrating captured image of inspection object
US10145538B2 (en) 2015-02-02 2018-12-04 Iix Inc. Light-emitting apparatus, calibration coefficient calculation method, and method for calibrating captured image of examination target item
CN107211094B (en) * 2015-02-02 2020-03-10 宜客斯股份有限公司 Light emitting device, method for calculating correction coefficient, and method for correcting captured image of inspection object

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