JP2002162252A - Rotary position detector - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、回転体の回転位
置を検出する回転位置検出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotational position detecting device for detecting a rotational position of a rotating body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】種々の回転機器で使用される回転位置検
出装置として、従来からよく知られたものに、エンコー
ダとレゾルバがある。前者は、例えば、光学式の場合、
ガラス板に多数のスリットを設け、これを挟んで発光部
と受光部を設け、この受光の有無によりスリットの有無
を検出する構成で、回転に伴って検出されるスリットの
数をカウントすることで回転位置を検出するものであ
る。また、後者は、固定子側に設けられた巻線と回転子
側の鉄心部分により磁気回路を構成し、これのインダク
タンスが回転子位置により変化することを利用してこの
インダクタンス値から回転位置を検出するものである。2. Description of the Related Art Encoders and resolvers have been well known as rotary position detecting devices used in various types of rotary devices. The former is, for example, in the case of optical type,
A glass plate is provided with a number of slits, a light-emitting part and a light-receiving part are sandwiched between the slits, and the presence or absence of this light is detected to detect the presence or absence of the slit. By counting the number of slits detected with rotation This is to detect the rotational position. In the latter, a winding circuit provided on the stator side and a core portion on the rotor side constitute a magnetic circuit, and the rotation position is determined from this inductance value by utilizing the fact that the inductance of the winding changes with the rotor position. It is to detect.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の回転位置検出装
置、例えば、上掲前者のエンコーダでは、ガラス板など
でスリット板を構成するため機械強度に劣る他、デジタ
ル値として出力されるため、絶対位置を検出するために
は、複数のスリット列とそれに対応する複数のセンサ
（発受光部）を設け、これらの組み合わせで位置検出す
る必要があり装置が複雑となるという問題がある。ま
た、上掲後者のレゾルバでは、その検出の巻線自体が大
きく装置が大形化するという問題がある。In the conventional rotational position detecting device, for example, the encoder of the former, the slit plate is constituted by a glass plate or the like, so that the mechanical strength is inferior. In order to detect the position, it is necessary to provide a plurality of slit rows and a plurality of sensors (light emitting and receiving sections) corresponding to the slit rows, and to detect the position by a combination of these, and there is a problem that the apparatus becomes complicated. Also, the latter resolver has a problem that the detection winding itself is large and the device is large.
【０００４】この発明は以上のような問題点を解消する
ためになされたもので、機械的に丈夫で信頼性が高く、
小形で絶対位置の検出が可能な回転位置検出装置を得る
ことを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and is mechanically robust and highly reliable.
It is an object of the present invention to obtain a small-sized rotary position detecting device capable of detecting an absolute position.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る回転位置検出装置は、回転中、常に互いに向き合うよ
うに、回転部と固定部とのいずれか一方に被検体を他方
にセンサを取り付け、上記センサの出力を上記回転部の
回転位置に変換する変換部を備えた回転位置検出装置に
おいて、上記被検体は、環状に形成された、上記センサ
との対向面の上記センサからの距離が上記回転部の回転
位置に応じて変化する外形を有し、上記センサは、上記
被検体の対向面との距離を検出するものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting apparatus including a rotating part and a fixed part, and a sensor mounted on one of the rotating part and the fixed part so as to always face each other during rotation. In the rotation position detection device provided with a conversion unit that converts an output of the sensor into a rotation position of the rotation unit, the subject is formed in an annular shape, and a distance from the sensor to a surface facing the sensor is opposite to the sensor. Has an outer shape that changes in accordance with the rotational position of the rotating unit, and the sensor detects a distance between the subject and the opposing surface.
【０００６】この発明の請求項２に係る回転位置検出装
置は、被検体は、この被検体のセンサとの対向面が、回
転部の回転軸と平行でかつ上記回転軸と鎖交するように
上記回転部に取り付けられ、上記センサは、上記対向面
に向き合うように固定部に取り付けられたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, wherein the object is arranged such that a surface of the object facing the sensor is parallel to the rotation axis of the rotating section and interlinks with the rotation axis. The sensor is attached to the rotating portion, and the sensor is attached to the fixed portion so as to face the facing surface.
【０００７】また、請求項３に係る回転位置検出装置
は、被検体は、この被検体のセンサとの対向面が、回転
部の回転軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交するように上
記回転部に取り付けられ、上記センサは、上記対向面に
向き合うように固定部に取り付けられたものである。Further, in the rotation position detecting device according to the third aspect, the object is arranged such that a surface of the object facing the sensor is perpendicular to the rotation axis of the rotating unit and interlinks with the rotation axis. The sensor is attached to the rotating unit, and the sensor is attached to the fixed unit so as to face the facing surface.
【０００８】また、請求項４に係る回転位置検出装置
は、被検体は、この被検体のセンサとの対向面が、回転
部の回転軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交するように固
定部に取り付けられ、上記センサは、上記対向面に向き
合うよう上記回転部に取り付けられたものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the rotational position detecting device, the object is fixed such that a surface of the object facing the sensor is perpendicular to the rotation axis of the rotating unit and intersects with the rotation axis. The sensor is attached to the rotating unit so as to face the facing surface.
【０００９】また、請求項５に係る回転位置検出装置
は、被検体は、回転部の１／Ｎ（Ｎは正の整数）回転分
である区分回転の範囲で、センサからその対向面までの
距離が一意に決定されるように構成されたものである。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, wherein the object is moved from the sensor to the opposing surface within a range of a divisional rotation corresponding to 1 / N (N is a positive integer) rotation of the rotating part. The configuration is such that the distance is uniquely determined.
【００１０】また、請求項６に係る回転位置検出装置
は、Ｎ≧２で設定する被検体およびセンサを設ける場
合、上記被検体およびセンサとは別に、回転部の回転位
置が、どの区分回転の範囲にあるかを判別するための判
別用被検体と、この判別用被検体の対向面に対向する判
別用センサを備えたものである。According to a sixth aspect of the present invention, in the case where an object and a sensor set with N ≧ 2 are provided, the rotation position of the rotating unit is set to any one of the rotations separately from the object and the sensor. It is provided with a discriminating subject for discriminating whether the object is within the range, and a discriminating sensor opposed to a surface facing the discriminating subject.
【００１１】また、請求項７に係る回転位置検出装置
は、被検体は、センサからその対向面までの距離が回転
部の回転に対して連続的に変化するように構成したもの
である。Further, in the rotation position detecting device according to a seventh aspect, the object is configured such that the distance from the sensor to the opposing surface changes continuously with the rotation of the rotating unit.
【００１２】また、請求項８に係る回転位置検出装置
は、センサおよび被検体とは別に、校正用センサと、こ
の校正用センサからその対向面までの距離が回転部の回
転に対して一定となるよう構成した校正用被検体とを備
え、上記センサからの出力をｖａ、上記校正用センサか
らの出力をｖｂとしたとき、下記（１）式で求められる
ｖｏｕｔを出力とすることにより、温度変化等による出
力比例誤差および被検体の取り付け位置誤差等による出
力オフセット誤差を抑制するようにしたものである。 ｖｏｕｔ＝（ｖａ−ｖｂ）／ｖｂ ・・・（１）[0012] In addition, the rotational position detecting device according to the present invention is characterized in that, apart from the sensor and the subject, the calibration sensor and the distance from the calibration sensor to the opposing surface are constant with respect to the rotation of the rotating unit. When the output from the sensor is va and the output from the calibration sensor is vb, vout obtained by the following equation (1) is used as an output, and An output proportional error due to a change or the like and an output offset error due to an error in the mounting position of the subject are suppressed. vout = (va−vb) / vb (1)
【００１３】また、請求項９に係る回転位置検出装置
は、被検体を導電体で構成し、高周波電源で駆動され上
記被検体に高周波磁界を印加するコイルでセンサを構成
し、上記コイルから見たインピーダンスの変化から上記
被検体の対向面からセンサまでの距離を検出するもので
ある。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, wherein the object is constituted by a conductor, and a sensor is constituted by a coil which is driven by a high frequency power supply and applies a high frequency magnetic field to the object. The distance from the opposing surface of the subject to the sensor is detected from the change in impedance.
【００１４】また、請求項１０に係る回転位置検出装置
は、センサを、被検体の対向面にレーザ光を発信するレ
ーザ発光部と上記対向面からの反射光の受光位置を検出
する光位置検出部とで構成し、上記受光位置の変化から
上記被検体の対向面からセンサまでの距離を検出するも
のである。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, wherein the sensor comprises a laser light emitting portion for transmitting a laser beam to the facing surface of the subject and a light position detecting device for detecting a light receiving position of the reflected light from the facing surface. And detecting the distance from the opposing surface of the subject to the sensor based on the change in the light receiving position.
【００１５】また、請求項１１に係る回転位置検出装置
は、センサを、被検体の対向面に超音波を発信する超音
波発振部と上記超音波が上記対向面に反射して戻ってく
るまでの時間を測定する超音波受信部とで構成し、上記
時間の変化から上記被検体の対向面からセンサまでの距
離を検出するものである。According to another aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, comprising: a sensor for transmitting an ultrasonic wave to an opposing surface of a subject; and an ultrasonic oscillator for reflecting the ultrasonic wave to the opposing surface. And an ultrasonic receiver for measuring the time of the subject, and detects the distance from the facing surface of the subject to the sensor from the change in the time.
【００１６】また、請求項１２に係る回転位置検出装置
は、センサを、トランスのコイルと鎖交し一端が被検体
の対向面に当接可能な可動鉄心部とこの可動鉄心部の上
記対向面への接触を保持するバネ部とで構成し、上記コ
イルの出力の変化から上記被検体の対向面からセンサま
での距離を検出するものである。According to a twelfth aspect of the present invention, in the rotation position detecting device, the sensor is linked to a coil of the transformer and one end of which can abut on the opposing surface of the subject and the opposing surface of the movable core. And a spring for holding contact with the object, and detects a distance from the facing surface of the subject to the sensor from a change in output of the coil.
【００１７】また、請求項１３に係る回転位置検出装置
は、被検体の対向面の面粗さを３μｍＲｍａｘ以下とし
たものである。According to a thirteenth aspect of the present invention, the rotational position detecting device has a surface roughness of the opposing surface of the subject of 3 μmRmax or less.
【００１８】また、請求項１４に係る回転位置検出装置
は、被検体の対向面の粗さを、その回転角度に応じて漸
次変化させたものである。Further, in the rotation position detecting device according to a fourteenth aspect, the roughness of the opposing surface of the subject is gradually changed according to the rotation angle.
【００１９】また、請求項１５に係る回転位置検出装置
は、複数のセンサを設けるとともに、１つの被検体が有
する複数の面を対向面として、この対向面を上記センサ
に対向させたものである。A rotational position detecting device according to a fifteenth aspect is provided with a plurality of sensors, wherein a plurality of surfaces of one subject are opposed to each other, and the opposed surfaces are opposed to the sensors. .
【００２０】また、請求項１６に係る回転位置検出装置
は、センサおよび被検体とは別に、回転回数の総和を検
出するための検出手段を設け、有限回の回転に対する回
転角度の総和の絶対値を検出するものである。Further, the rotation position detecting device according to claim 16 is provided with a detection means for detecting the total number of rotations separately from the sensor and the subject, and the absolute value of the total rotation angle with respect to a finite number of rotations is provided. Is to be detected.
【００２１】また、請求項１７に係る回転位置検出装置
は、センサは回転部に取り付け、上記センサの回転に応
じて被検体の位置が上記回転部の軸と平行な方向へ移動
する移動機構に上記被検体を取り付け、上記センサの回
転に応じて上記被検体の対向面とセンサとの距離が漸次
変化するように上記被検体の対向面までの高さを変化さ
せたものである。According to a seventeenth aspect of the present invention, in the moving mechanism, the sensor is attached to the rotating part, and the position of the subject moves in a direction parallel to the axis of the rotating part according to the rotation of the sensor. The subject is attached, and the height to the facing surface of the subject is changed so that the distance between the facing surface of the subject and the sensor gradually changes according to the rotation of the sensor.
【００２２】また、請求項１８に係る回転位置検出装置
は、センサと被検体の間の距離ｄ（ｍ）に対する上記セ
ンサの出力関数ｆ（ｄ）（Ｖ）を予め把握し、上記被検
体の形状関数ｄ（θ）とこの形状関数ｄ（θ）に対する
センサの出力ｇ（θ）の関係が下記（２）式となるよう
な形状関数ｄ（θ）を求め、この求めた形状関数ｄ
（θ）に基づき、被検体の形状を決定したものである。 ｇ（θ）＝ｇ（ｆ（ｄ）、ｄ（θ））＝Ａ・θ＋Ｂ ・・・（２） （ここで、ＡおよびＢは定数、θはある基準位置からの
機械角度（ｄｅｇ）である）Further, the rotational position detecting device according to claim 18 grasps in advance the output function f (d) (V) of the sensor with respect to the distance d (m) between the sensor and the subject, and A shape function d (θ) is obtained such that the relationship between the shape function d (θ) and the output g (θ) of the sensor with respect to the shape function d (θ) is expressed by the following equation (2).
The shape of the subject is determined based on (θ). g (θ) = g (f (d), d (θ)) = A · θ + B (2) where A and B are constants, and θ is a mechanical angle (deg) from a certain reference position. is there)
【００２３】また、請求項１９に係る回転位置検出装置
は、回転中、常に互いに向き合うように、回転部と固定
部とのいずれか一方に被検体を他方にセンサを取り付
け、上記センサの出力を上記回転部の回転位置に変換す
る変換部を備えた回転位置検出装置において、上記被検
体は、環状に形成された、上記センサとの対向面の面粗
さが上記回転部の回転位置に応じて変化する外形を有
し、上記センサは、上記被検体の対向面の面粗さに基づ
き、上記被検体の対向面との距離を検出するものであ
る。According to a nineteenth aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting apparatus, wherein a subject is attached to one of a rotating part and a fixed part and a sensor is attached to the other so as to always face each other during rotation. In the rotation position detection device provided with a conversion unit that converts the rotation position of the rotation unit, the object may be formed in an annular shape, and a surface roughness of a surface facing the sensor may be determined according to a rotation position of the rotation unit. The sensor detects a distance from the facing surface of the subject based on the surface roughness of the facing surface of the subject.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態１における回転位置検出装置を装着したモ
ータの断面図である。図において、１は回転軸２とこれ
に固着された回転コア３とからなる回転部としての回転
子、４は固定子フレーム５とこれに固着された固定子コ
ア６および固定子コイル７とからなる固定部としての固
定子である。８は回転軸２に取り付けられた被検体、９
は被検体８と常に互いに向き合うように、固定子フレー
ム５に取り付けられたセンサで、この被検体８とセンサ
９については更に後段で詳述する。１０はセンサ９の近
傍に取り付けられた温度センサ、１１はセンサ９および
温度センサ１０からの信号を入力して回転位置信号に変
換する信号変換部である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a cross-sectional view of a motor equipped with a rotation position detecting device according to Embodiment 1 of the present invention. In the drawing, reference numeral 1 denotes a rotor as a rotating portion including a rotating shaft 2 and a rotating core 3 fixed thereto, and 4 denotes a stator frame 5 and a stator core 6 and a stator coil 7 fixed thereto. This is a stator as a fixing part. Reference numeral 8 denotes a subject attached to the rotating shaft 2, 9
Is a sensor attached to the stator frame 5 so as to always face the subject 8. The subject 8 and the sensor 9 will be described in more detail later. Reference numeral 10 denotes a temperature sensor attached near the sensor 9, and reference numeral 11 denotes a signal conversion unit which receives signals from the sensor 9 and the temperature sensor 10 and converts the signals into a rotational position signal.
【００２５】図２は被検体８の単体を示す斜視図であ
る。中央の円筒状空洞部に回転軸２が貫通する。８Ａは
被検体８の外周に環状に形成された、センサ９との対向
面である。FIG. 2 is a perspective view showing a single body of the subject 8. The rotating shaft 2 penetrates the central cylindrical cavity. Reference numeral 8A denotes an annular surface formed around the subject 8 and facing the sensor 9.
【００２６】図３は、この回転位置検出装置の動作を説
明するため、被検体８とセンサ９とを回転軸２の方向か
ら見た図である。ここで、被検体８は例えば鉄などの導
電体で構成され、センサ９は高周波電源である高周波発
振回路１２と被検体８に高周波磁界を印加する高周波コ
イル１３とからなる。そして、高周波コイル１３から見
たインピーダンスが被検体８との距離に応じて変化する
現象を利用し、センサ９はこのインピーダンスの変化か
ら被検体８までの距離を検出する。一方、被検体８の対
向面８Ａは、ある基準角度位置Ｏからの機械角度θ（ｄ
ｅｇ）に対して、半径（軸中心からの距離）Ｒ（θ）が
（１）式となるよう加工されている。 Ｒ（θ）＝Ｒ０−ｋ・θ（ｍ） ・・・（１）FIG. 3 is a view of the subject 8 and the sensor 9 viewed from the direction of the rotating shaft 2 for explaining the operation of the rotational position detecting device. Here, the subject 8 is made of a conductor such as iron, for example, and the sensor 9 includes a high-frequency oscillation circuit 12 that is a high-frequency power supply and a high-frequency coil 13 that applies a high-frequency magnetic field to the subject 8. The sensor 9 detects the distance to the subject 8 from the change in the impedance using a phenomenon in which the impedance viewed from the high-frequency coil 13 changes according to the distance to the subject 8. On the other hand, the facing surface 8A of the subject 8 has a mechanical angle θ (d
eg), the radius (distance from the axis center) R (θ) is processed so as to satisfy the expression (1). R (θ) = R0−k · θ (m) (1)
【００２７】被検体８の回転中心位置からセンサ９まで
の距離をＲｓ（ｍ）とすると、回転子１が角度θだけ回
転した位置における被検体８の対向面８Ａとセンサ９と
の距離ｄ（θ）（ｍ）は下記（２）式で表される。ｄ
（θ）＝Ｒｓ−Ｒ（θ） ＝（Ｒｓ−Ｒ０）＋ｋ・θ（ｍ） ・・・（２）Assuming that the distance from the rotation center position of the subject 8 to the sensor 9 is Rs (m), the distance d () between the facing surface 8A of the subject 8 and the sensor 9 at the position where the rotor 1 is rotated by the angle θ. θ) (m) is represented by the following equation (2). d
(Θ) = Rs−R (θ) = (Rs−R0) + k · θ (m) (2)
【００２８】（２）式から回転位置θは下記（３）式で
求まる。 θ＝ｄ（θ）／ｋ−（Ｒｓ−Ｒ０）／ｋ（ｄｅｇ） ・・・（３） 即ち、信号変換部１１は、上記（３）式に基づき、セン
サ９からの出力信号ｄ（θ）を回転位置信号θに変換し
て出力する。図４は両信号の関係を示す特性図である。
なお、センサ９の出力には温度の影響が無視できない場
合があるので、温度センサ１０がその温度を検出して、
信号変換部１１においてセンサ９の出力の温度補正を行
う。From the equation (2), the rotational position θ is obtained by the following equation (3). θ = d (θ) / k− (Rs−R0) / k (deg) (3) That is, the signal converter 11 outputs the output signal d (θ) from the sensor 9 based on the above equation (3). ) Is converted into a rotational position signal θ and output. FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the two signals.
In some cases, the influence of the temperature on the output of the sensor 9 cannot be ignored, so the temperature sensor 10 detects the temperature,
The signal converter 11 corrects the temperature of the output of the sensor 9.
【００２９】以上のように、この実施の形態１における
回転位置検出装置では、被検体８は金属導電材で構成す
れば足り、丈夫で耐環境性にも優れ非接触式であること
等から信頼性が高い。また、高周波コイル１３は従来の
レゾルバ方式のものに比較して小型であり、装置全体と
して小型化が可能になるとともに安価で量産性に優れて
いる。As described above, in the rotational position detecting device according to the first embodiment, it is sufficient that the subject 8 is made of a metal conductive material, and it is reliable because it is durable, has excellent environmental resistance, and is a non-contact type. High in nature. Further, the high-frequency coil 13 is smaller in size than the conventional resolver type, so that the size of the entire device can be reduced, and it is inexpensive and excellent in mass productivity.
【００３０】なお、以上では、距離ｄが回転角度θの一
次の関数となる、換言すれば、上記（１）式におけるｋ
を定数とした場合を示したが、回転角度θに対して距離
ｄが一意に決定されるように構成すれば必ずしも一次の
関数でなくてもよい。In the above, the distance d is a linear function of the rotation angle θ, in other words, k in the above equation (1).
Is shown as a constant, but it is not necessarily a linear function as long as the distance d is uniquely determined with respect to the rotation angle θ.
【００３１】また、図１では、被検体８の対向面８Ａ
が、回転子１の回転軸２と平行でかつ回転軸２と鎖交す
るように、被検体８を回転軸２に取り付け、センサ９は
被検体８の対向面８Ａと向き合って回転軸２の径方向に
おける対向面８Ａまでの距離を検出するよう固定子フレ
ーム５に取り付けている。しかし、被検体８およびセン
サ９の位置関係は以上のものに限られるものではなく、
被検体８を例えば図５に示す形状で製作し、これを図６
に示すように、取り付ける構成としてもよい。即ち、被
検体８の対向面８Ａが回転軸２と直角でかつ回転軸２と
鎖交するように、被検体８を回転子１の回転コア３に取
り付け、センサ９は被検体８の対向面８Ａと向き合って
回転軸２の軸方向における対向面８Ａまでの距離を検出
するよう固定子フレーム５に取り付けている。In FIG. 1, the facing surface 8A of the subject 8 is shown.
Is mounted on the rotating shaft 2 so as to be parallel to the rotating shaft 2 of the rotor 1 and interlink with the rotating shaft 2, and the sensor 9 faces the facing surface 8 </ b> A of the subject 8 and It is attached to the stator frame 5 so as to detect the distance to the facing surface 8A in the radial direction. However, the positional relationship between the subject 8 and the sensor 9 is not limited to the above.
The subject 8 is manufactured, for example, in the shape shown in FIG.
As shown in FIG. That is, the subject 8 is attached to the rotating core 3 of the rotor 1 such that the facing surface 8A of the subject 8 is perpendicular to the rotating shaft 2 and intersects with the rotating shaft 2, and the sensor 9 is mounted on the facing surface of the subject 8. It is attached to the stator frame 5 so as to detect the distance to the facing surface 8A in the axial direction of the rotating shaft 2 facing the rotating shaft 2A.
【００３２】更に、図示は省略するが、図６で被検体８
とセンサ９との取付位置を入れ替えた構成としてもよ
い。即ち、図５で示す、被検体８の対向面８Ａが回転軸
２と直角でかつ回転軸２と鎖交するように、被検体８を
固定子４の固定子フレーム５に取り付け、センサ９は被
検体８の対向面８Ａと向き合って回転軸２の軸方向にお
ける対向面８Ａまでの距離を検出するよう回転子１の回
転コア３に取り付ける。但し、このケースでは、センサ
９の出力は、例えば、スリップリング等を介して固定側
に導出する必要がある。また、高周波発信回路１２の出
力は一般に正弦波状のものが用いられるが、これを矩形
波状としても同様に検出可能であることがわかった。す
なわち、高周波発信回路１２の出力は正弦波状のものに
限るのではなく、矩形波状のものを使用してもよい。Although not shown in FIG.
A configuration in which the mounting positions of the sensor 9 and the sensor 9 are replaced may be adopted. That is, the subject 8 is attached to the stator frame 5 of the stator 4 such that the facing surface 8A of the subject 8 is perpendicular to the rotation axis 2 and interlinks with the rotation axis 2 as shown in FIG. It is attached to the rotating core 3 of the rotor 1 so as to face the facing surface 8A of the subject 8 and detect the distance to the facing surface 8A in the axial direction of the rotating shaft 2. However, in this case, the output of the sensor 9 needs to be led to the fixed side via, for example, a slip ring. In general, a sine wave output is used as the output of the high frequency transmission circuit 12, but it has been found that the output can be similarly detected even when the output is a rectangular wave. That is, the output of the high-frequency transmission circuit 12 is not limited to a sinusoidal wave, but may be a rectangular wave.
【００３３】また、被検体８とセンサ９との設置位置
は、上記各例で示した、モータの端部に限られるもので
はなく、例えばモータ中央部でもよいし、回転子１と連
結された別体としてもよい。なお、実験の結果、過電流
センサを用いた場合に、センサ対向面の面粗さが３μｍ
Ｒｍａｘ以下とすることで、安定したセンサ出力が得ら
れることがわかった。また、高周波発振回路１２の出力
は一般に正弦波状のものが用いられるが、これを矩形波
状としても同様に検出可能であることがわかった。すな
わち、高周波発振回路１２の出力は正弦波状のものに限
るのではなく、矩形波状のものを使用してもよい。The positions where the subject 8 and the sensor 9 are installed are not limited to the ends of the motor shown in each of the above examples, but may be, for example, the center of the motor or connected to the rotor 1. It may be separate. As a result of the experiment, when the overcurrent sensor was used, the surface roughness of the sensor facing surface was 3 μm.
It has been found that a stable sensor output can be obtained by setting Rmax or less. In general, the output of the high-frequency oscillation circuit 12 is a sine wave, but it has been found that the output can be similarly detected even if the output is a rectangular wave. That is, the output of the high-frequency oscillation circuit 12 is not limited to a sinusoidal wave, but may be a rectangular wave.
【００３４】実施の形態２．先の実施の形態１において
は、被検体８とセンサ９との距離は、回転子１の絶対位
置（機械角）と対応していた。言い換えれば、回転子１
の機械的な１回転３６０（ｄｅｇ）に対して、距離が一
意に決定されるような構成となっている。ところで、例
えばモータにおいて、速度やトルクを制御したいが、位
置決定制御を行う必要はない場合には、回転子１の絶対
位置情報は必要でなく、電気角の情報のみがあればよ
い。即ち、電気角３６０（ｄｅｇ）に相当する１極対ご
とに信号を出力できればよい。これによって、機械角か
ら電気角への変換部を省略することができる。Embodiment 2 In the first embodiment, the distance between the subject 8 and the sensor 9 corresponds to the absolute position (mechanical angle) of the rotor 1. In other words, rotor 1
The configuration is such that the distance is uniquely determined for one mechanical rotation 360 (deg). By the way, for example, when it is desired to control the speed and the torque of the motor, but it is not necessary to perform the position determination control, the absolute position information of the rotor 1 is not necessary, and only the information of the electric angle is sufficient. That is, it is only necessary to output a signal for each pole pair corresponding to the electrical angle of 360 (deg). This makes it possible to omit the conversion unit from mechanical angle to electrical angle.
【００３５】図７は、この実施の形態２における被検体
８を回転軸２の軸方向から見た図で、同図（ａ）は４極
（２極対）機の場合、同図（ｂ）は８極（４極対）機の
場合に使用するものである。例えば、同図（ａ）の２極
対の場合は、回転軸２の１／２回転分である区分回転の
範囲で、被検体８の対向面８Ａからセンサ９までの距離
が一意に決定されるよう形成されている。FIG. 7 is a view of the subject 8 according to the second embodiment viewed from the axial direction of the rotary shaft 2. FIG. 7A shows the case of a four-pole (two-pole pair) machine, and FIG. ) Is used for an 8-pole (4-pole pair) machine. For example, in the case of the two-pole pair in FIG. 7A, the distance from the facing surface 8A of the subject 8 to the sensor 9 is uniquely determined within the range of the segmented rotation that is １ ／ of the rotation axis 2. It is formed so that.
【００３６】また、この区分回転の範囲での対向面８Ａ
とセンサ９との距離を同一とすると、極対の増加ととも
にセンサ９の分解能が上昇する。即ち、モータの極対数
をＰとすると、同一のセンサ性能の条件下で電気角の角
度分解能が実施の形態１の場合に比べてＰ倍になる。図
８は、８極（４極対）機の場合の回転角度に対するセン
サ９の出力信号を示したものである。The facing surface 8A in the range of the segmented rotation
When the distance between the sensor 9 and the sensor 9 is the same, the resolution of the sensor 9 increases as the number of pole pairs increases. That is, assuming that the number of pole pairs of the motor is P, the angular resolution of the electrical angle is P times that of the first embodiment under the same sensor performance conditions. FIG. 8 shows the output signal of the sensor 9 with respect to the rotation angle in the case of an 8-pole (4-pole pair) machine.
【００３７】実施の形態３．図９は、この発明の実施の
形態３における回転位置検出装置を装着したモータの断
面図である。ここでは、被検体とセンサとの組を２つ用
いることにより、精度を向上しつつ絶対位置の検出を可
能としている。即ち、一方の被検体８１は図１０（ａ）
に示すように、電気角検出用に構成され、他方の被検体
８２は図１０（ｂ）に示すように、極対判別用に構成さ
れている。この極対判別用のセンサ９２の出力信号特性
を図１１に示す。両センサ９１、９２は相互に干渉しな
いように取り付けられ、信号変換部１１は両センサ９
１、９２の信号を入力することにより、精度（分解能）
が高く絶対位置の検出が可能な回転位置検出装置を得る
ことができる。なお、被検体とセンサとの組数は２つに
限定されるものではなく、この組数を増やすことにより
分解能を更に向上させることができる。Embodiment 3 FIG. 9 is a cross-sectional view of a motor to which a rotation position detecting device according to Embodiment 3 of the present invention is mounted. Here, by using two pairs of the subject and the sensor, it is possible to detect the absolute position while improving the accuracy. That is, one subject 81 is the same as that shown in FIG.
As shown in FIG. 10, the other object 82 is configured for pole pair determination, as shown in FIG. 10B. FIG. 11 shows the output signal characteristics of the sensor 92 for pole pair determination. The two sensors 91 and 92 are mounted so as not to interfere with each other, and the signal conversion unit 11
Accuracy (resolution) by inputting 1, 92 signals
And a rotational position detecting device capable of detecting an absolute position. The number of pairs of the subject and the sensor is not limited to two, and the resolution can be further improved by increasing the number of pairs.
【００３８】実施の形態４．図１２は、この発明の実施
の形態４における回転位置検出装置で採用する被検体８
３を示す図である。先の実施の形態１の図２（図３）で
示す被検体８を使用した場合のセンサ９の出力信号特性
は、図４に示すように、出力信号（センサと被検体との
距離）が急変化する不連続点が存在し、この付近で位置
情報が不安定になる可能性がある。この実施の形態４で
は、図１２に示す２種類の被検体８３、８４を使用し、
この不連続点をなくして連続的に変化する出力信号特性
を得ている。Embodiment 4 FIG. FIG. 12 shows an object 8 employed in the rotational position detecting device according to the fourth embodiment of the present invention.
FIG. As shown in FIG. 4, the output signal characteristic of the sensor 9 when the subject 8 shown in FIG. 2 (FIG. 3) of the first embodiment is used is such that the output signal (the distance between the sensor and the subject) is There is a suddenly changing discontinuous point, and there is a possibility that the position information becomes unstable near this point. In the fourth embodiment, two types of subjects 83 and 84 shown in FIG.
This discontinuous point is eliminated to obtain a continuously changing output signal characteristic.
【００３９】即ち、一方の被検体８３には図１２（ａ）
に示した構成のものを用いることで、図１３に示すよう
な滑らかな（出力信号特性の微分係数が連続関数とな
る）信号波形が得られる。そして、絶対位置を検出する
ため、図１２（ｂ）に示す極対判別用の被検体８４を併
用する。これによって不連続点がなくなり、安定した回
転位置検出が可能となる。That is, FIG.
By using the configuration shown in (1), a smooth signal waveform (the differential coefficient of the output signal characteristic becomes a continuous function) as shown in FIG. 13 can be obtained. Then, in order to detect the absolute position, the subject 84 for pole pair determination shown in FIG. This eliminates discontinuous points and enables stable rotation position detection.
【００４０】実施の形態５．図１４は、この発明の実施
の形態５における回転位置検出装置において、先に例示
した各種被検体と併用する被検体８５を示す図である。
先の実施の形態１では、温度変化による出力変動を、温
度センサ１０を用いて補正していたが、出力変動要因と
しては、温度変化のほかに工作時の取り付け位置の誤差
の影響も考えられ、これが回転位置検出誤差につながる
恐れがある。この実施の形態５は、図１４に示す校正用
被検体８５およびこれとの間の距離（ここでは、角度に
かかわらず一定値となる）を検出する校正用センサ９５
（図示省略）を、先の実施の形態例で説明した通常の被
検体、センサの組とは別に設けることで、上記した誤差
の補償を行うものである。Embodiment 5 FIG. 14 is a diagram showing a subject 85 used together with the various subjects described above in the rotational position detecting device according to the fifth embodiment of the present invention.
In the first embodiment, the output fluctuation due to the temperature change is corrected using the temperature sensor 10. However, as the factor of the output fluctuation, the influence of the error of the mounting position at the time of machining may be considered in addition to the temperature change. This may lead to a rotational position detection error. In the fifth embodiment, a calibration sensor 95 for detecting a calibration subject 85 shown in FIG. 14 and a distance between the calibration subject 85 (here, a constant value regardless of the angle).
(Not shown) is provided separately from the normal set of the subject and the sensor described in the above embodiment to compensate for the above-described error.
【００４１】即ち、通常のセンサ９の出力を、 ｖａ＝ｖ１・ｆ（θ） ・・・（４） と表現すると、実際には温度変化等による出力比例誤差
係数ｋｔが係り、また、取り付け位置誤差等による出力
オフセット誤差ｖｅｒｒが加算されるので、これら誤差
を考慮した出力は下記（５）式で表されることになる。 ｖａ＝ｋｔ・（ｖ１・ｆ（θ）＋ｖｅｒｒ） ・・・（５）That is, if the normal output of the sensor 9 is expressed as va = v1 · f (θ) (4), the output proportional error coefficient kt due to a temperature change or the like is actually involved. Since an output offset error verr due to an error or the like is added, an output in which these errors are considered is expressed by the following equation (5). va = kt · (v1 · f (θ) + verr) (5)
【００４２】これに対し、通常のセンサ９と同一仕様を
もつ校正用センサ９５を用いて得られる出力ｖｂは、両
組の被検体、センサ組が、その温度依存性および取り付
け位置誤差が同等になるよう調整されているので、一定
値ｖ２を用いて下記（６）式で表される。 ｖｂ＝ｋｔ・（ｖ２＋ｖｅｒｒ） ・・・（６） ここで、ｖ２》ｖｅｒｒとなるように調整しておけば、
下記（７）式で示す信号処理を行うことにより、温度誤
差や取り付け位置誤差等に影響されない正確で安定した
出力ｖｏｕｔが得られる。 ｖｏｕｔ＝（ｖａ−ｖｂ）／ｖｂ ≒（ｖ１／ｖ２）・ｆ（θ）−１ ・・・（７）On the other hand, the output vb obtained by using the calibration sensor 95 having the same specification as that of the normal sensor 9 indicates that the object and the sensor set of both sets have the same temperature dependency and the same mounting position error. Since it is adjusted so as to be expressed by the following equation (6), the constant value v2 is used. vb = kt · (v2 + verr) (6) Here, if it is adjusted so that v2 >> verr,
By performing the signal processing represented by the following equation (7), an accurate and stable output vout that is not affected by a temperature error, a mounting position error, or the like can be obtained. vout = (va−vb) / vb ≒ (v1 / v2) · f (θ) −1 (7)
【００４３】実施の形態６．以下では、この発明に係る
回転位置検出装置に使用するセンサの変形例について説
明する。図１５はこの発明の実施の形態６における回転
位置検出装置のセンサ９６の検出原理を示す図である。
図において、１４は駆動回路、１５は半導体レーザ、１
６は投光レンズ、１７は受光レンズ、１８は光位置検出
素子、１９は信号増幅回路である。半導体レーザ１５か
ら出たレーザ光は、投光レンズ１６を経て被検体８の対
向面８Ａで反射し、受光レンズ１７を通過して光位置検
出素子１８の一点に焦点を結ぶ。Embodiment 6 FIG. Hereinafter, a modified example of the sensor used in the rotational position detecting device according to the present invention will be described. FIG. 15 is a diagram illustrating a detection principle of the sensor 96 of the rotational position detection device according to the sixth embodiment of the present invention.
In the figure, 14 is a drive circuit, 15 is a semiconductor laser, 1
6 is a light projecting lens, 17 is a light receiving lens, 18 is an optical position detecting element, and 19 is a signal amplifying circuit. The laser light emitted from the semiconductor laser 15 is reflected by the facing surface 8A of the subject 8 through the light projecting lens 16, passes through the light receiving lens 17, and is focused on one point of the light position detecting element 18.
【００４４】測定対象物である被検体８との距離が変化
するごとにこの焦点も移動するので、その焦点位置を検
出することにより距離が測定できる。この方式の場合、
センサ部の構成がやや複雑になるが、被検体は導電体に
限定されず、その材料の選択範囲が広がる利点がある。
例えば、樹脂成形品で構成すれば、高精度でかつ量産性
の良い被検体が得られる。非接触であるため信頼性が高
いことは実施の形態１の高周波磁界を利用した方式と同
様である。Since the focal point also moves each time the distance to the subject 8 to be measured changes, the distance can be measured by detecting the focal position. In this case,
Although the configuration of the sensor unit is slightly complicated, the subject is not limited to the conductor, and there is an advantage that the selection range of the material is widened.
For example, if it is made of a resin molded product, an object with high accuracy and good mass productivity can be obtained. High reliability due to non-contact is the same as the method using the high-frequency magnetic field of the first embodiment.
【００４５】実施の形態７．図１６は、この発明の実施
の形態７における回転位置検出装置のセンサ９６の検出
原理を示す図である。図において、２０は超音波発振
部、２１は超音波受信部である。超音波発振部２０から
出た超音波が測定対象物である被検体８の対向面８Ａに
反射して戻ってくるまでの時間を検出し、これと音速と
から距離Ｌを測定する。この方式の場合も実施の形態６
と同様に、センサ部の構成がやや複雑になるという欠点
があるが、被検体は導電体に限定されず、被検体の材料
の選択範囲が広がる。また、非接触であるため信頼性が
高いこと、温度による変動を補正するのが望ましいこと
は実施の形態１と同様である。Embodiment 7 FIG. 16 is a diagram illustrating a detection principle of the sensor 96 of the rotational position detection device according to the seventh embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 20 denotes an ultrasonic oscillator, and 21 denotes an ultrasonic receiver. The time until the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic oscillation unit 20 is reflected by the facing surface 8A of the subject 8 to be measured and returns is detected, and the distance L is measured from this and the sound speed. In the case of this method as well, Embodiment 6
Similarly to the above, there is a disadvantage that the configuration of the sensor unit is slightly complicated, but the subject is not limited to the conductor, and the range of selection of the material of the subject is widened. Also, as in the first embodiment, it is desirable to have high reliability due to non-contact and to correct fluctuation due to temperature.
【００４６】実施の形態８．図１７は、この発明の実施
の形態８における回転位置検出装置のセンサ９７を示す
図、図１８はその検出原理を示す図である。図におい
て、２２は１次コイル２３および２次コイル２４を有す
るトランス、２５は各コイル２３、２４の軸方向に移動
可能に構成された可動鉄心部で、その一端はバネ部２６
の張力により測定対象物である被検体８の対向面８Ａに
常に当接するよう保たれている。Embodiment 8 FIG. FIG. 17 is a diagram showing a sensor 97 of the rotational position detecting device according to the eighth embodiment of the present invention, and FIG. 18 is a diagram showing the principle of its detection. In the figure, reference numeral 22 denotes a transformer having a primary coil 23 and a secondary coil 24; 25, a movable iron core configured to be movable in the axial direction of each of the coils 23, 24;
Is maintained so as to always come into contact with the opposing surface 8A of the subject 8 which is the measurement object by the tension of.
【００４７】１次コイル２３に交流電圧を印加した場
合、２次コイル２４のそれぞれに出力される電圧は、可
動鉄心部２５の軸方向位置によって変化することから、
この２つの２次コイル２４の電圧差出力から被検体８ま
での距離を検出することができる。この方式の場合、可
動式の接触部分が存在するため長期信頼性という点では
やや不利であるが、可動部の具体的な移動動作を観測す
るので、確実な測定が可能となる。When an AC voltage is applied to the primary coil 23, the voltage output to each of the secondary coils 24 changes according to the axial position of the movable iron core 25.
The distance to the subject 8 can be detected from the voltage difference output of the two secondary coils 24. This method is somewhat disadvantageous in terms of long-term reliability due to the presence of a movable contact portion, but allows a reliable measurement because a specific moving operation of the movable portion is observed.
【００４８】実施の形態９．本実施の形態は、被検体の
対向面での面粗さによって過電流センサの出力が変化す
ることを利用し、図２に示した被検体８の対向面８Ａの
粗さを工夫した例である。Embodiment 9 FIG. This embodiment is an example in which the roughness of the facing surface 8A of the subject 8 shown in FIG. 2 is devised by utilizing the fact that the output of the overcurrent sensor changes depending on the surface roughness of the facing surface of the subject. is there.
【００４９】例えば、センサと被検体８の対向面８Ａと
の距離を設置スペースが狭いなどのために離すことがで
きないような場合、距離が遠い部分での面粗さを粗くす
ることで過電流が流れにくくなり、センサ出力として
は、距離が実際よりも離れているかのような信号が出力
される。このように、被検体８の対向面８Ａの一部分に
おける面粗さを変更することにより、出力信号の補正
（リニアリティの向上など）を行うことができる。For example, in the case where the distance between the sensor and the facing surface 8A of the subject 8 cannot be increased due to a small installation space or the like, the surface roughness at a portion where the distance is long is increased so that the overcurrent is reduced. Is difficult to flow, and a signal is output as a sensor output as if the distance is longer than the actual distance. As described above, by changing the surface roughness of a part of the facing surface 8A of the subject 8, it is possible to correct the output signal (for example, to improve the linearity).
【００５０】さらに、物理的な空隙長が一定のままで
も、面粗さを漸次変化させることにより、回転角の検出
が可能である。例えば、図１４に示したような形状の被
検体８５を用い、面粗さを周方向に漸次変化させること
で、角度情報と面粗さ情報とが対応することになり、こ
れを用いて角度情報を検出することができる。Further, even if the physical gap length is kept constant, the rotation angle can be detected by gradually changing the surface roughness. For example, by using an object 85 having a shape as shown in FIG. 14 and gradually changing the surface roughness in the circumferential direction, the angle information and the surface roughness information correspond to each other. Information can be detected.
【００５１】本実施の形態においては、過電流センサを
用いる例について示したが、それに限られるものではな
く、例えばレーザ光を用い、被検体の対向面の面粗さに
よりレーザ光の反射率が変化することを利用して回転角
度の検出が可能になる。In this embodiment, an example in which an overcurrent sensor is used has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, a laser beam is used, and the reflectance of the laser beam depends on the surface roughness of the facing surface of the subject. Using the change, the rotation angle can be detected.
【００５２】実施の形態１０．図１９は、本発明の実施
の形態１０における被検体を示す斜視図である。同図に
示したように、本実施の形態は、被検体８６の対向面８
６Ａを一面のみではなく複数面とした例であり、同図は
３つの対向面８６Ａそれぞれのセンサとの距離が回転角
度に応じて変化する例である。このような構成とした被
検体８６に対し、例えば、上面および側面の２面に対し
て２つのセンサを配置し、この２つのセンサの出力信号
を平均化処理することで、コンパクトな形状を保ちつ
つ、測定の信頼度を向上することができる。Embodiment 10 FIG. FIG. 19 is a perspective view showing a subject according to Embodiment 10 of the present invention. As shown in the figure, in the present embodiment, the opposing surface 8 of the subject 86 is
6A is an example in which not only one surface but also a plurality of surfaces are shown, and FIG. 6A is an example in which the distance between each of the three opposing surfaces 86A and the sensor changes according to the rotation angle. For example, two sensors are arranged on the upper surface and the side surface of the subject 86 having such a configuration, and the output signals of the two sensors are averaged to maintain a compact shape. In addition, the reliability of the measurement can be improved.
【００５３】図１９では、３つの対向面８６Ａをセンサ
の検出面とした場合に、いずれも回転角度に応じてセン
サの出力信号が変化する例を示したが、例えば、図２に
示した被検体８を用い、上面と側面をセンサの検出面と
すれば、側面で回転角度信号を、上面で温度補償用の基
準信号を得ることができ、１つの被検体８で両方の出力
信号を得ることができる。FIG. 19 shows an example in which the output signal of the sensor changes in accordance with the rotation angle when the three opposing surfaces 86A are used as the detection surfaces of the sensor. If the specimen 8 is used and the upper surface and the side surface are the detection surfaces of the sensor, a rotation angle signal can be obtained on the side surface and a reference signal for temperature compensation can be obtained on the upper surface, and both output signals can be obtained by one subject 8. be able to.
【００５４】実施の形態１１．図２０は、この発明の実
施の形態１１における回転位置検出装置を装着したアク
チュエータの断面図である。本実施の形態は、１回転以
上であるが連続回転しない（例えば、２回転＝７２０゜
しか回転しないなど）アクチュエータの絶対位置検出を
行う例であり、図において、２７は回転子１の内径側に
設けられたスクリュー型の雌ねじ、２８は雌ねじ２７と
螺合するスクリュー型の雄ねじ２９が設けられた可動
部、３０は可動部の端面、９８，９９は固定子４側のフ
レーム５内壁に取り付けられたセンサである。Embodiment 11 FIG. FIG. 20 is a cross-sectional view of an actuator to which a rotational position detecting device according to Embodiment 11 of the present invention is mounted. This embodiment is an example in which the absolute position of the actuator is detected more than one rotation but does not continuously rotate (for example, only two rotations = 720 °), and in FIG. , A movable portion provided with a screw-type male screw 29 screwed with the female screw 27, 30 is an end face of the movable portion, and 98 and 99 are attached to the inner wall of the frame 5 on the stator 4 side. Sensor.
【００５５】本実施の形態の動作を図２０を用いて説明
する。回転子１のスクリュー型の雌ねじ２７が回転する
と、スクリュー型の雌ねじ２７と螺合するスクリュー型
の雄ねじ２９が設けられた可動部２８が左右に移動す
る。このようなアクチュエータのような移動機構を駆動
するモータは、連続して多数回を回り続けることはな
く、数回転程度の限られた範囲で駆動される。この場
合、アクチュエータの駆動範囲の全領域にわたり位置検
出を行うため、２つのセンサ９８，９９を用いる。１回
転の中での回転角度検出には、実施の形態１と同様の被
検体８とセンサ９８を用いる。回転角度検出とは別に、
アクチュエータが今何周目を回っているかを判断するた
めの簡単な判断手段として、左右に移動する可動部２８
の端面３０を被検体の対向面とし、可動部の端面３０と
対向するセンサ９９を設け、端面３０とセンサ９９との
距離により、回転回数を検出する。このように、２つの
センサ９８，９９の出力信号を組み合わせることによっ
て、３６０゜以上の絶対角度検出が可能になる。The operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. When the screw-type female screw 27 of the rotor 1 rotates, the movable part 28 provided with the screw-type male screw 29 screwed with the screw-type female screw 27 moves left and right. A motor for driving a moving mechanism such as an actuator does not continuously rotate many times, but is driven within a limited range of about several rotations. In this case, two sensors 98 and 99 are used to perform position detection over the entire driving range of the actuator. A subject 8 and a sensor 98 similar to those in the first embodiment are used for detecting a rotation angle in one rotation. Apart from the rotation angle detection,
As a simple judgment means for judging how many laps the actuator is currently rotating, a movable portion 28 that moves left and right
The end surface 30 of the movable object is provided as a facing surface of the subject, and a sensor 99 is provided to face the end surface 30 of the movable part. The number of rotations is detected based on the distance between the end surface 30 and the sensor 99. Thus, by combining the output signals of the two sensors 98 and 99, it is possible to detect an absolute angle of 360 ° or more.
【００５６】実施の形態１２．図２１は、この発明の実
施の形態１２における回転位置検出装置を装着したアク
チュエータの断面図であり、図２２は、図２１の被検体
を示す斜視図である。本実施の形態は、実施の形態１１
と同様、１回転以上であるが連続回転しない（例えば、
２回転＝７２０゜しか回転しないなど）アクチュエータ
の絶対位置検出を行う例であるが、センサを１つだけ設
ける場合である。Embodiment 12 FIG. FIG. 21 is a sectional view of an actuator to which a rotational position detecting device according to Embodiment 12 of the present invention is mounted, and FIG. 22 is a perspective view showing the subject shown in FIG. This embodiment corresponds to the eleventh embodiment.
As in the case of one or more rotations, but not continuous rotation (for example,
In this example, the absolute position of the actuator is detected, but only one sensor is provided.
【００５７】センサを１つだけしか設けない場合、１回
転までの範囲はこれまでに説明した方式で対応可能であ
るが、１回転を越える分については、それが何周目にあ
たるかが判別できないため、上掲の実施の形態１１では
複数のセンサを設けた。In the case where only one sensor is provided, the range up to one rotation can be dealt with by the method described above, but it is not possible to determine the number of rotations exceeding one rotation. Therefore, in Embodiment 11 described above, a plurality of sensors are provided.
【００５８】センサ１つで検出できるようにするため、
図２１に示したように、被検体８６をアクチュエータの
可動部２８に取り付け、センサ９を回転子１につながっ
た回転部に取り付け、図２２に示したように、被検体８
６をソフトクリームのような構造、すなわち、センサ９
の回転に応じてセンサ９が対向する対向面８６Ａの軸方
向位置が漸次変化するとともに、センサ９が対向する対
向面８６Ａの高さ（センサとの距離）もセンサ９の回転
に応じて変化する構造とした。この構造によれば、セン
サ９の回転角度と回転数に応じてセンサ９と対向面８６
Ａとの距離が変化するので、実際にアクチュエータが回
転する角度範囲ににわたって１つのセンサのみで３６０
゜以上の絶対角度検出が可能になる。To enable detection with one sensor,
As shown in FIG. 21, the subject 86 is attached to the movable part 28 of the actuator, the sensor 9 is attached to the rotating part connected to the rotor 1, and as shown in FIG.
6 is a soft cream-like structure, that is, the sensor 9
In accordance with the rotation of the sensor 9, the axial position of the facing surface 86 A facing the sensor 9 gradually changes, and the height (distance from the sensor) of the facing surface 86 A facing the sensor 9 also changes according to the rotation of the sensor 9. Structured. According to this structure, the sensor 9 and the facing surface 86 are set in accordance with the rotation angle and the rotation speed of the sensor 9.
Since the distance to A changes, 360 ° with only one sensor over the angular range where the actuator actually rotates.
Absolute angle detection of ゜ or more becomes possible.
【００５９】実施の形態１３．実施の形態１〜１２で
は、距離センサの出力特性（距離と出力信号との関係）
が線形である場合を仮定して説明してきた。すなわち、
センサの出力特性が線形ではないことが予め分かってい
る場合には、これを変換部側で補正して用いる場合の説
明であった。Embodiment 13 FIG. In Embodiments 1 to 12, Output Characteristics of Distance Sensor (Relationship Between Distance and Output Signal)
Has been described assuming that is linear. That is,
In the description above, when it is known in advance that the output characteristic of the sensor is not linear, this is corrected and used on the conversion unit side.
【００６０】本実施の形態においては、距離センサの出
力特性が非線形であることが分かっている場合に、あら
かじめ被検体の形状を工夫することで出力特性を線形と
した場合である。図２３に示したように、被検体とセン
サの距離ｄ（ｍ）に対するセンサ出力電圧をｆ（ｄ）
（Ｖ）とし、被検体の形状関数ｄ（θ）とこれに対する
センサ出力ｇ（θ）（Ｖ）の関係が下記（８）式となる
ような形状関数ｄ（θ）を求め、この関数に基づいて被
検体の形状を決定し、加工する。 ｇ（θ）＝ｇ（ｆ（ｄ）、ｄ（θ）） ＝Ａ・θ＋Ｂ（Ａ、Ｂは定数） ・・・（８） ここで、θはある基準位置からの機械角度（ｄｅｇ）で
ある。この被検体を用いた場合の角度θと出力電圧ｇ
（θ）（Ｖ）の関係を図２４に示す。θに対してほぼ線
形となり、変換部での非線形処理が不要となるため、安
価なセンサを実現できる。また、高精度な角度検出が必
要な場合には、変換部のメモリに補正項を設け、簡単な
非線形処理を併用することで、センサの個体差を吸収す
ることもできる。In the present embodiment, when the output characteristics of the distance sensor are known to be nonlinear, the output characteristics are made linear by contriving the shape of the subject in advance. As shown in FIG. 23, the sensor output voltage with respect to the distance d (m) between the subject and the sensor is represented by f (d).
(V), a shape function d (θ) is obtained such that the relationship between the shape function d (θ) of the object and the sensor output g (θ) (V) with respect to the function is expressed by the following equation (8). The shape of the subject is determined and processed based on the shape. g (θ) = g (f (d), d (θ)) = A · θ + B (A and B are constants) (8) where θ is a mechanical angle (deg) from a certain reference position. is there. Angle θ and output voltage g when using this subject
FIG. 24 shows the relationship between (θ) and (V). Since it becomes almost linear with respect to θ, and non-linear processing in the conversion unit becomes unnecessary, an inexpensive sensor can be realized. If highly accurate angle detection is required, a correction term can be provided in the memory of the conversion unit, and simple difference processing can be used together to absorb individual differences between sensors.
【００６１】なお、この発明の回転位置検出装置に採用
するセンサとしては、上掲各実施の形態で説明した方式
のものに限られるものではないことは当然である。更
に、被検体の形状も、上掲のものに限られるものではな
い。The sensor employed in the rotational position detecting device of the present invention is not limited to the type described in each of the above embodiments. Further, the shape of the subject is not limited to those described above.
【００６２】[0062]
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１に係
る回転位置検出装置は、回転中、常に互いに向き合うよ
うに、回転部と固定部とのいずれか一方に被検体を他方
にセンサを取り付け、上記センサの出力を上記回転部の
回転位置に変換する変換部を備えた回転位置検出装置に
おいて、上記被検体は、環状に形成された、上記センサ
との対向面の上記センサからの距離が上記回転部の回転
位置に応じて変化する外形を有し、上記センサは、上記
被検体の対向面との距離を検出するので、小形で信頼性
の高い回転位置検出装置を提供することができる。As described above, the rotational position detecting device according to the first aspect of the present invention has a sensor on one of the rotating part and the fixed part and a sensor on the other so as to always face each other during rotation. In the rotation position detection device provided with a conversion unit that converts the output of the sensor to the rotation position of the rotation unit, the subject is formed in an annular shape, from the sensor on the surface facing the sensor. Provided is a small and highly reliable rotational position detecting device, which has an outer shape in which a distance changes according to the rotational position of the rotating portion, and the sensor detects a distance from the opposing surface of the subject. Can be.
【００６３】また、請求項２に係る回転位置検出装置
は、被検体は、この被検体のセンサとの対向面が回転部
の回転軸と平行でかつ上記回転軸と鎖交するように、上
記回転部に取り付けられ、上記センサは上記対向面に向
き合うよう固定部に取り付けられたので、被検体の取付
が容易で、センサ出力の精度が高くその取り出しも容易
となる。Further, in the rotation position detecting device according to the second aspect, the object is arranged such that a surface of the object facing the sensor is parallel to the rotation axis of the rotating section and interlinks with the rotation axis. Since the sensor is attached to the rotating portion and the sensor is attached to the fixed portion so as to face the facing surface, the subject can be easily attached, the output of the sensor is high, and the sensor can be easily taken out.
【００６４】また、請求項３に係る回転位置検出装置
は、その被検体の、センサとの対向面が、回転部の回転
軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交するように、上記被検
体は上記回転部に取り付け、上記センサは上記対向面に
向き合うよう固定部に取り付けたので、被検体の取り付
けが容易で、センサ出力の精度が高くその取り出しも容
易となる。Further, in the rotation position detecting device according to the third aspect, the object may be arranged such that a surface of the object facing the sensor is perpendicular to the rotation axis of the rotating unit and interlinks with the rotation axis. Is mounted on the rotating part and the sensor is mounted on the fixed part so as to face the opposing surface, so that the subject can be easily mounted, the output of the sensor is high, and the sensor can be easily taken out.
【００６５】また、請求項４に係る回転位置検出装置
は、被検体は、この被検体のセンサとの対向面が回転部
の回転軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交するように固定
部に取り付けられ、上記センサは、上記対向面に向き合
うよう上記回転部に取り付けられたので、被検体とセン
サとによる距離検出が確実になされる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the rotational position detecting device, wherein the object is fixed to the fixed part such that a surface of the object facing the sensor is perpendicular to the rotation axis of the rotation part and intersects with the rotation axis. The sensor is attached to the rotating part so as to face the facing surface, so that the distance between the subject and the sensor can be reliably detected.
【００６６】また、請求項５に係る回転位置検出装置
は、被検体は、回転部の１／Ｎ（Ｎは正の整数）回転分
である区分回転の範囲で、センサからその対向面までの
距離が一意に決定されるよう構成したので、モータ等へ
適用した場合には、機械角から電気角への変換が不要と
なり、また、位置検出の分解能の向上が期待できる。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the rotational position detecting device, wherein the object is moved from the sensor to the opposing surface in a range of the divisional rotation corresponding to 1 / N (N is a positive integer) rotation of the rotating part. Since the distance is uniquely determined, when applied to a motor or the like, conversion from a mechanical angle to an electrical angle becomes unnecessary, and an improvement in the resolution of position detection can be expected.
【００６７】また、請求項６に係る回転位置検出装置
は、Ｎ≧２で設定する被検体およびセンサを設ける場
合、上記被検体およびセンサとは別に、回転部の回転位
置が、どの区分回転の範囲にあるかを判別するための判
別用被検体と、この判別用被検体の対向面に対向する判
別用センサを備えたので、分解能が高く、しかも絶対位
置の検出が可能となる。In the rotation position detecting device according to the sixth aspect, when an object and a sensor set with N ≧ 2 are provided, the rotation position of the rotating unit is set separately from the object and the sensor. Since the determination object for determining whether the object is within the range and the identification sensor facing the opposite surface of the determination object are provided, the resolution is high and the absolute position can be detected.
【００６８】また、請求項７に係る回転位置検出装置
は、被検体は、センサからその対向面までの距離が回転
部の回転に対して連続的に変化するように構成したの
で、安定した回転位置検出が可能となる。Further, in the rotational position detecting device according to the seventh aspect, the object is configured such that the distance from the sensor to the opposing surface changes continuously with respect to the rotation of the rotating part, so that the stable rotation of the object is achieved. Position detection becomes possible.
【００６９】また、請求項８に係る回転位置検出装置
は、センサおよび被検体とは別に、校正用センサと、こ
の校正用センサからその対向面までの距離が回転部の回
転に対して一定となるよう構成した校正用被検体とを備
え、上記センサからの出力をｖａ、上記校正用センサか
らの出力をｖｂとしたとき、下記（１）式で求められる
ｖｏｕｔを出力とすることにより、温度変化等による出
力比例誤差および被検体の取り付け位置誤差等による出
力オフセット誤差を抑制するようにしたものであるの
で、より正確な回転位置検出が可能となる。 ｖｏｕｔ＝（ｖａ−ｖｂ）／ｖｂ ・・・（１）In addition, in the rotation position detecting device according to the present invention, separately from the sensor and the subject, the calibration sensor and the distance from the calibration sensor to the facing surface are fixed with respect to the rotation of the rotating unit. When the output from the sensor is va and the output from the calibration sensor is vb, vout obtained by the following equation (1) is used as an output, and Since an output proportional error due to a change or the like and an output offset error due to a mounting position error of the subject or the like are suppressed, more accurate rotation position detection is possible. vout = (va−vb) / vb (1)
【００７０】また、請求項９に係る回転位置検出装置
は、被検体を導電体で構成し、高周波電源で駆動され上
記被検体に高周波磁界を印加するコイルでセンサを構成
し、上記コイルから見たインピーダンスの変化から上記
被検体の対向面からセンサまでの距離を検出するので、
非接触式で構造的に丈夫で信頼性の高い回転位置検出装
置を提供することができる。Further, in the rotational position detecting device according to the ninth aspect, the subject is constituted by a conductor, and a sensor is constituted by a coil which is driven by a high frequency power supply and applies a high frequency magnetic field to the subject. Since the distance from the facing surface of the subject to the sensor is detected from the change in impedance,
It is possible to provide a non-contact, structurally robust and highly reliable rotational position detecting device.
【００７１】また、請求項１０に係る回転位置検出装置
は、センサを、被検体の対向面にレーザ光を発信するレ
ーザ発光部と上記対向面からの反射光の受光位置を検出
する光位置検出部とで構成し、上記受光位置の変化から
上記被検体の対向面からセンサまでの距離を検出するの
で、被検体には樹脂成形品等も採用でき、精度、量産性
に優れ、非接触式で信頼性の高い回転位置検出装置を提
供することができる。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a rotational position detecting device, comprising: a sensor for detecting a light emitting position for transmitting a laser beam to the opposing surface of the subject and detecting a light receiving position of the reflected light from the opposing surface; Since the distance from the facing surface of the subject to the sensor is detected from the change in the light receiving position, a resin molded product or the like can be used for the subject, which is excellent in accuracy and mass productivity, and is a non-contact type. And a highly reliable rotational position detecting device can be provided.
【００７２】また、請求項１１に係る回転位置検出装置
は、センサを、被検体の対向面に超音波を発信する超音
波発振部と上記超音波が上記対向面に反射して戻ってく
るまでの時間を測定する超音波受信部とで構成し、上記
時間の変化から上記被検体の対向面からセンサまでの距
離を検出するので、被検体の材料選択の自由度が大き
く、非接触式で信頼性の高い回転位置検出装置を提供す
ることができる。Further, in the rotation position detecting device according to the eleventh aspect, the sensor includes an ultrasonic oscillation unit for transmitting an ultrasonic wave to the facing surface of the subject and the ultrasonic wave until the ultrasonic wave is reflected back to the facing surface. And the ultrasonic receiving unit that measures the time of the subject, and detects the distance from the facing surface of the subject to the sensor from the change in the time, so that the degree of freedom in selecting the material of the subject is large, and the non-contact type is used. A highly reliable rotation position detection device can be provided.
【００７３】また、請求項１２に係る回転位置検出装置
は、センサを、トランスのコイルと鎖交し一端が被検体
の対向面に当接可能な可動鉄心部とこの可動鉄心部の上
記対向面への接触を保持するバネ部とで構成し、上記コ
イルの出力の変化から上記被検体の対向面からセンサま
での距離を検出するので、位置検出が確実になされる回
転位置検出装置を提供することができる。According to a twelfth aspect of the present invention, in the rotation position detecting device, the sensor comprises a movable core portion linked to the coil of the transformer and one end of which can abut on the opposing surface of the subject, and the opposing surface of the movable core portion. A rotation position detecting device configured to detect a distance from the opposing surface of the subject to the sensor based on a change in output of the coil from a change in output of the coil, so that position detection is reliably performed. be able to.
【００７４】また、請求項１３に係る回転位置検出装置
は、被検体の対向面の面粗さを３μｍＲｍａｘ以下とし
たので、安定したセンサ出力を得ることができる。Further, in the rotational position detecting device according to the thirteenth aspect, since the surface roughness of the opposing surface of the subject is set to 3 μmRmax or less, a stable sensor output can be obtained.
【００７５】また、請求項１４に係る回転位置検出装置
は、被検体の対向面の粗さを、その回転角度に応じて漸
次変化させたものであるので、センサの出力信号の直線
性を向上するなどの補正をすることができる。Further, in the rotation position detecting device according to the fourteenth aspect, the roughness of the opposing surface of the subject is gradually changed according to the rotation angle, so that the linearity of the output signal of the sensor is improved. It can make corrections such as
【００７６】また、請求項１５に係る回転位置検出装置
は、複数のセンサを設けるとともに、１つの被検体が有
する複数の面を対向面として、この対向面を上記センサ
に対向させたものであるので、１つの被検体で回転位置
の検出および補正をすることができる。A rotational position detecting device according to a fifteenth aspect is provided with a plurality of sensors, wherein a plurality of surfaces of one subject are opposed to each other, and the opposed surfaces are opposed to the sensors. Therefore, the rotation position can be detected and corrected by one subject.
【００７７】また、請求項１６に係る回転位置検出装置
は、センサおよび被検体とは別に、回転回数の総和を検
出するための検出手段を設け、有限回の回転に対する回
転角度の総和の絶対値を検出するので、３６０゜以上の
絶対回転角を検出することができる。Further, the rotation position detecting device according to claim 16 is provided with detection means for detecting the total number of rotations separately from the sensor and the subject, and the absolute value of the total rotation angle with respect to the finite number of rotations is provided. Is detected, an absolute rotation angle of 360 ° or more can be detected.
【００７８】また、請求項１７に係る回転位置検出装置
は、センサは回転部に取り付け、上記センサの回転に応
じて被検体の位置が上記回転部の軸と平行な方向へ移動
する移動機構を設け、上記センサの回転に応じて上記被
検体の対向面とセンサとの距離が漸次変化するように上
記被検体の対向面までの高さを変化させたので、１つの
センサと被検体で３６０゜以上の絶対回転角を検出する
ことができる。Further, in the rotational position detecting device according to the seventeenth aspect, the sensor is attached to the rotating part, and the moving mechanism moves the position of the subject in a direction parallel to the axis of the rotating part according to the rotation of the sensor. And the height of the sensor to the opposing surface of the subject is changed so that the distance between the sensor and the opposing surface of the subject gradually changes according to the rotation of the sensor.絶 対 Absolute rotation angles greater than can be detected.
【００７９】また、請求項１８に係る回転位置検出装置
は、センサと被検体の間の距離ｄ（ｍ）に対する上記セ
ンサの出力関数ｆ（ｄ）（Ｖ）を予め把握し、上記被検
体の形状関数ｄ（θ）とこの形状関数ｄ（θ）に対する
センサの出力ｇ（θ）の関係が下記（２）式となるよう
な形状関数ｄ（θ）を求め、この求めた形状関数ｄ
（θ）に基づき、被検体の形状を決定したものであるの
で、センサの出力信号の直線性を向上するなどの補正を
することができる。 ｇ（θ）＝ｇ（ｆ（ｄ）、ｄ（θ））＝Ａ・θ＋Ｂ ・・・（２） （ここで、ＡおよびＢは定数、θはある基準位置からの
機械角度（ｄｅｇ）である）Further, the rotational position detecting device according to claim 18 grasps in advance the output function f (d) (V) of the sensor with respect to the distance d (m) between the sensor and the subject, and A shape function d (θ) is obtained such that the relationship between the shape function d (θ) and the output g (θ) of the sensor with respect to the shape function d (θ) is expressed by the following equation (2).
Since the shape of the subject is determined based on (θ), correction such as improvement of the linearity of the output signal of the sensor can be performed. g (θ) = g (f (d), d (θ)) = A · θ + B (2) where A and B are constants, and θ is a mechanical angle (deg) from a certain reference position. is there)
【００８０】また、請求項１９に係る回転位置検出装置
は、回転中、常に互いに向き合うように、回転部と固定
部とのいずれか一方に被検体を他方にセンサを取り付
け、上記センサの出力を上記回転部の回転位置に変換す
る変換部を備えた回転位置検出装置において、上記被検
体は、環状に形成された、上記センサとの対向面の面粗
さが上記回転部の回転位置に応じて変化する外形を有
し、上記センサは、上記被検体の対向面の面粗さに基づ
き、上記被検体の対向面との距離を検出するものである
ので、小形で信頼性の高い回転位置検出装置を提供する
ことができる。Further, in the rotation position detecting device according to the nineteenth aspect, the subject is attached to one of the rotating part and the fixed part and the sensor is attached to the other so as to always face each other during rotation, and the output of the sensor is detected. In the rotation position detection device provided with a conversion unit that converts the rotation position of the rotation unit, the object may be formed in an annular shape, and a surface roughness of a surface facing the sensor may be determined according to a rotation position of the rotation unit. The sensor has a small and highly reliable rotational position because the sensor detects the distance from the opposing surface of the subject based on the surface roughness of the opposing surface of the subject. A detection device can be provided.
【図１】 この発明の実施の形態１における回転位置検
出装置を装着したモータの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a motor to which a rotation position detecting device according to Embodiment 1 of the present invention is mounted.
【図２】 図１の被検体８単体を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a single object 8 of FIG. 1;
【図３】 図１の回転位置検出装置の検出動作を説明す
るための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a detecting operation of the rotational position detecting device of FIG. 1;
【図４】 図１の回転位置検出装置の出力信号特性を示
す図である。FIG. 4 is a diagram showing output signal characteristics of the rotational position detecting device of FIG.
【図５】 被検体８の他の構成例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing another configuration example of the subject 8;
【図６】 図５の被検体８を使用した回転位置検出装置
を装置したモータの断面図である。6 is a sectional view of a motor provided with a rotational position detecting device using the subject 8 of FIG.
【図７】 この発明の実施の形態２における回転位置検
出装置の被検体８を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a subject 8 of the rotational position detecting device according to the second embodiment of the present invention.
【図８】 図７の被検体８を使用した回転位置検出装置
の出力信号特性を示す図である。8 is a diagram showing output signal characteristics of a rotational position detecting device using the subject 8 of FIG. 7;
【図９】 この発明の実施の形態３における回転位置検
出装置を装着したモータの断面図である。FIG. 9 is a sectional view of a motor to which a rotational position detecting device according to Embodiment 3 of the present invention is mounted.
【図１０】 図９の回転位置検出装置に使用する被検体
８１、８２を示す図である。FIG. 10 is a view showing subjects 81 and 82 used in the rotational position detecting device of FIG.
【図１１】 図１０の被検体８２を使用した回転位置検
出装置の出力信号特性を示す図である。11 is a diagram showing output signal characteristics of a rotational position detecting device using the subject 82 of FIG.
【図１２】 この発明の実施の形態４における回転位置
検出装置に使用する被検体８３、８４を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing subjects 83 and 84 used in a rotational position detecting device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１３】 図１２の被検体８３を使用した回転位置検
出装置の出力信号特性を示す図である。13 is a diagram showing output signal characteristics of a rotational position detecting device using the subject 83 in FIG.
【図１４】 この発明の実施の形態５における回転位置
検出装置に使用する被検体８５を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a subject 85 used in a rotational position detecting device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１５】 この発明の実施の形態６における回転位置
検出装置に使用するセンサ９５を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a sensor 95 used in a rotational position detecting device according to Embodiment 6 of the present invention.
【図１６】 この発明の実施の形態７における回転位置
検出装置に使用するセンサ９６を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a sensor 96 used in a rotational position detecting device according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１７】 この発明の実施の形態８における回転位置
検出装置に使用するセンサ９７を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a sensor 97 used for a rotational position detecting device according to Embodiment 8 of the present invention.
【図１８】 図１７のセンサ９７の動作を説明する図で
ある。18 is a diagram illustrating the operation of the sensor 97 in FIG.
【図１９】 この発明の実施の形態１０における回転位
置検出装置の被検体を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing a subject of a rotational position detecting device according to Embodiment 10 of the present invention.
【図２０】 この発明の実施の形態１１における回転位
置検出装置を装着したアクチュエータの断面図である。FIG. 20 is a sectional view of an actuator to which a rotational position detecting device according to Embodiment 11 of the present invention is mounted.
【図２１】 この発明の実施の形態１２における回転位
置検出装置を装着したアクチュエータの断面図である。FIG. 21 is a sectional view of an actuator to which a rotational position detecting device according to Embodiment 12 of the present invention is mounted.
【図２２】 図２１の被検体８６単体を示す斜視図であ
る。FIG. 22 is a perspective view showing a test subject 86 alone shown in FIG. 21;
【図２３】 被検体とセンサとの距離に対するセンサ出
力信号電圧と位置角度との関係を示す図である。FIG. 23 is a diagram illustrating a relationship between a sensor output signal voltage and a position angle with respect to a distance between a subject and a sensor.
【図２４】 形状関数に基づいて決定した被検体を用い
た場合の位置角度とセンサ出力信号電圧との関係を示す
図である。FIG. 24 is a diagram illustrating a relationship between a position angle and a sensor output signal voltage when an object determined based on a shape function is used.
１ 回転子、４ 固定子、８，８１，８２，８３，８
４，８５，８６ 被検体、９，９１，９２，９３，９
４，９５，９６，９７，９８，９９ センサ、１１ 信
号変換部、１２ 高周波発振回路、１３ 高周波コイ
ル、１５ 半導体レーザ、１８ 光位置検出素子、２０
超音波発振部、２１ 超音波受信部、２２ トラン
ス、２５ 可動鉄心部、２６ バネ部、２７ スクリュ
ー型の雌ねじ、２８ 可動部、２９ スクリュー型の雄
ねじ、３０ 可動部の端面。1 rotor, 4 stators, 8, 81, 82, 83, 8
4,85,86 subject, 9,91,92,93,9
4, 95, 96, 97, 98, 99 sensor, 11 signal conversion unit, 12 high-frequency oscillation circuit, 13 high-frequency coil, 15 semiconductor laser, 18 optical position detecting element, 20
Ultrasonic oscillator, 21 Ultrasonic receiver, 22 Transformer, 25 Movable iron core, 26 Spring, 27 Screw-type female screw, 28 Movable part, 29 Screw-type male screw, 30 End face of movable part.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｄ 5/20 Ｇ０１Ｄ 5/20 Ｋ 5/30 5/30 Ｆ // Ｇ０１Ｂ 7/34 １０２ Ｇ０１Ｂ 7/34 １０２Ｚ Ｆターム(参考） 2F063 AA35 AA43 BD16 CB01 DA01 DA02 DA05 EA03 GA08 GA13 GA36 GA67 GA68 GA69 JA01 JA04 KA01 KA02 KA03 KA05 2F065 AA06 AA39 FF11 GG06 HH04 HH12 JJ01 JJ08 2F068 AA06 AA31 FF12 FF25 2F077 AA42 CC02 FF22 FF31 JJ01 JJ04 JJ06 JJ22 LL04 LL10 MM16 VV01 2F103 BA01 BA32 BA37 CA01 CA02 DA01 DA04 DA13 EA03 EA12 EB02 EB32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G01D 5/20 G01D 5/20 K 5/30 5 / 30F // G01B 7/34 102 G01B 7/34 102Z F-term (reference) 2F063 AA35 AA43 BD16 CB01 DA01 DA02 DA05 EA03 GA08 GA13 GA36 GA67 GA68 GA69 JA01 JA04 KA01 KA02 KA03 KA05 2F065 AA06 AA39 FF11 GG06 HH04 HH12 JJ01 JJ08 2F068 AFF12 JJ01 FF08 LL04 LL10 MM16 VV01 2F103 BA01 BA32 BA37 CA01 CA02 DA01 DA04 DA13 EA03 EA12 EB02 EB32
Claims (19)
転部と固定部とのいずれか一方に被検体を他方にセンサ
を取り付け、上記センサの出力を上記回転部の回転位置
に変換する変換部を備えた回転位置検出装置において、 上記被検体は、環状に形成された、上記センサとの対向
面の上記センサからの距離が上記回転部の回転位置に応
じて変化する外形を有し、 上記センサは、上記被検体の対向面との距離を検出する
ことを特徴とする回転位置検出装置。1. A conversion unit for attaching a subject to one of a rotating unit and a fixed unit and a sensor to the other so as to always face each other during rotation, and converting an output of the sensor to a rotational position of the rotating unit. In the rotation position detection device, the subject has an outer shape formed in an annular shape, and a distance from the sensor on a surface facing the sensor that changes in accordance with a rotation position of the rotation unit. A rotational position detecting device, wherein the sensor detects a distance between the subject and the opposing surface.
面が、回転部の回転軸と平行でかつ上記回転軸と鎖交す
るように上記回転部に取り付けられ、上記センサは、上
記対向面に向き合うように固定部に取り付けられたこと
を特徴とする請求項１記載の回転位置検出装置。2. The subject is attached to the rotating part such that a surface of the subject facing the sensor is parallel to the rotating axis of the rotating part and intersects with the rotating axis. The rotational position detecting device according to claim 1, wherein the rotational position detecting device is attached to the fixed portion so as to face the facing surface.
面が、回転部の回転軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交す
るように上記回転部に取り付けられ、上記センサは、上
記対向面に向き合うように固定部に取り付けられたこと
を特徴とする請求項１記載の回転位置検出装置。3. The subject is attached to the rotating part such that a surface of the subject facing the sensor is perpendicular to the rotating axis of the rotating part and intersects with the rotating axis. The rotational position detecting device according to claim 1, wherein the rotational position detecting device is attached to the fixed portion so as to face the facing surface.
面が、回転部の回転軸と直角でかつ上記回転軸と鎖交す
るように固定部に取り付けられ、上記センサは、上記対
向面に向き合うよう上記回転部に取り付けられたことを
特徴とする請求項１記載の回転位置検出装置。4. An object is attached to a fixed part such that a surface of the object facing the sensor is perpendicular to the rotation axis of the rotating part and intersects with the rotation axis. The rotation position detection device according to claim 1, wherein the rotation position detection device is attached to the rotation unit so as to face the surface.
数）回転分である区分回転の範囲で、センサからその対
向面までの距離が一意に決定されるように構成されたこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の回
転位置検出装置。5. The object is configured such that the distance from the sensor to its opposing surface is uniquely determined within a range of a division rotation corresponding to 1 / N (N is a positive integer) rotation of the rotation unit. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 4, wherein:
設ける場合、上記被検体およびセンサとは別に、回転部
の回転位置が、どの区分回転の範囲にあるかを判別する
ための判別用被検体と、この判別用被検体の対向面に対
向する判別用センサを備えたことを特徴とする請求項５
記載の回転位置検出装置。6. When a subject and a sensor set with N ≧ 2 are provided, separately from the subject and the sensor, a discriminating unit for discriminating in which section rotation range the rotational position of the rotating unit is located. 6. The apparatus according to claim 5, further comprising: a subject and a discrimination sensor facing a surface of the discrimination subject.
The rotational position detection device according to claim 1.
距離が回転部の回転に対して連続的に変化するように構
成したことを特徴とする請求項６記載の回転位置検出装
置。7. The rotational position detecting device according to claim 6, wherein the object is configured such that the distance from the sensor to the opposing surface changes continuously with the rotation of the rotating unit.
ンサと、この校正用センサからその対向面までの距離が
回転部の回転に対して一定となるよう構成した校正用被
検体とを備え、上記センサからの出力をｖａ、上記校正
用センサからの出力をｖｂとしたとき、下記（１）式で
求められるｖｏｕｔを出力とすることにより、温度変化
等による出力比例誤差および被検体の取り付け位置誤差
等による出力オフセット誤差を抑制するようにしたこと
を特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の回転
位置検出装置。 ｖｏｕｔ＝（ｖａ−ｖｂ）／ｖｂ ・・・（１）8. A sensor for calibration is provided separately from the sensor and the subject, and a calibration subject configured such that the distance from the calibration sensor to the opposing surface is constant with respect to the rotation of the rotating unit. When the output from the sensor is va and the output from the calibration sensor is vb, vout obtained by the following equation (1) is used as the output, so that an output proportional error due to a temperature change or the like and the mounting of the subject are obtained. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 7, wherein an output offset error due to a position error or the like is suppressed. vout = (va−vb) / vb (1)
駆動され上記被検体に高周波磁界を印加するコイルでセ
ンサを構成し、上記コイルから見たインピーダンスの変
化から上記被検体の対向面からセンサまでの距離を検出
することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記
載の回転位置検出装置。9. A sensor is constituted by an object constituted by a conductor, a coil driven by a high-frequency power supply and applying a high-frequency magnetic field to the object, and a sensor facing the object based on a change in impedance seen from the coil. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 8, wherein a distance from the sensor to the sensor is detected.
を発信するレーザ発光部と上記対向面からの反射光の受
光位置を検出する光位置検出部とで構成し、上記受光位
置の変化から上記被検体の対向面からセンサまでの距離
を検出することを特徴とする請求項１ないし８のいずれ
かに記載の回転位置検出装置。10. A sensor comprising: a laser light emitting unit for transmitting laser light to a facing surface of an object; and a light position detecting unit for detecting a light receiving position of reflected light from the facing surface. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 8, wherein a distance from the sensor to a sensor from the facing surface of the subject is detected.
発信する超音波発振部と上記超音波が上記対向面に反射
して戻ってくるまでの時間を測定する超音波受信部とで
構成し、上記時間の変化から上記被検体の対向面からセ
ンサまでの距離を検出することを特徴とする請求項１な
いし８のいずれかに記載の回転位置検出装置。11. A sensor comprising: an ultrasonic oscillating unit for transmitting an ultrasonic wave to an opposing surface of a subject; and an ultrasonic receiving unit for measuring a time until the ultrasonic wave is reflected by the opposing surface and returns. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 8, wherein the rotational position detecting device is configured to detect a distance from a facing surface of the subject to a sensor from the change in time.
一端が被検体の対向面に当接可能な可動鉄心部とこの可
動鉄心部の上記対向面への接触を保持するバネ部とで構
成し、上記コイルの出力の変化から上記被検体の対向面
からセンサまでの距離を検出することを特徴とする請求
項１ないし８のいずれかに記載の回転位置検出装置。12. A sensor comprising a movable core portion linked to a coil of a transformer and one end of which is in contact with a facing surface of a subject, and a spring portion for holding the movable core portion in contact with the facing surface. The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 8, wherein a distance from a facing surface of the subject to a sensor is detected from a change in output of the coil.
ａｘ以下としたことを特徴とする請求項１記載の回転位
置検出装置。13. The surface roughness of the opposing surface of the subject is 3 μmRm.
The rotational position detecting device according to claim 1, wherein the rotational position is equal to or less than ax.
度に応じて漸次変化させたことを特徴とする請求項１記
載の回転位置検出装置。14. The rotational position detecting device according to claim 1, wherein the roughness of the facing surface of the subject is gradually changed according to the rotation angle.
の被検体が有する複数の面を対向面として、この対向面
を上記センサに対向させたことを特徴とする請求項１な
いし８、１３、１４のいずれかに記載の回転位置検出装
置。15. The apparatus according to claim 1, wherein a plurality of sensors are provided, and a plurality of surfaces of one subject are set as opposing surfaces, and the opposing surfaces oppose the sensors. The rotational position detecting device according to any one of the above.
数の総和を検出するための検出手段を設け、有限回の回
転に対する回転角度の総和の絶対値を検出することを特
徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の回転位置
検出装置。16. A method according to claim 1, further comprising: detecting means for detecting a total number of rotations, separately from the sensor and the subject, and detecting an absolute value of a total rotation angle for a finite number of rotations. 9. The rotational position detecting device according to any one of claims 8 to 8.
サの回転に応じて被検体の位置が上記回転部の軸と平行
な方向へ移動する移動機構に上記被検体を取り付け、上
記センサの回転に応じて上記被検体の対向面とセンサと
の距離が漸次変化するように上記被検体の対向面までの
高さを変化させたことを特徴とする請求項１記載の回転
位置検出装置。17. A sensor is attached to a rotating part, and the subject is attached to a moving mechanism that moves the position of the subject in a direction parallel to the axis of the rotating part in accordance with the rotation of the sensor. 2. The rotational position detecting device according to claim 1, wherein the height of the object to the opposing surface of the subject is changed so that the distance between the sensor and the opposing surface of the object gradually changes.
対する上記センサの出力関数ｆ（ｄ）（Ｖ）を予め把握
し、上記被検体の形状関数ｄ（θ）とこの形状関数ｄ
（θ）に対するセンサの出力ｇ（θ）の関係が下記
（２）式となるような形状関数ｄ（θ）を求め、この求
めた形状関数ｄ（θ）に基づき、被検体の形状を決定し
たことを特徴とする請求項１ないし１７のいずれかに記
載の回転位置検出装置。 ｇ（θ）＝ｇ（ｆ（ｄ）、ｄ（θ））＝Ａ・θ＋Ｂ ・・・（２） （ここで、ＡおよびＢは定数、θはある基準位置からの
機械角度（ｄｅｇ）である）18. An output function f (d) (V) of the sensor with respect to a distance d (m) between the sensor and the subject is grasped in advance, and the shape function d (θ) of the subject and the shape function d
A shape function d (θ) is obtained such that the relation of the sensor output g (θ) to (θ) is given by the following equation (2), and the shape of the subject is determined based on the obtained shape function d (θ). The rotational position detecting device according to any one of claims 1 to 17, wherein: g (θ) = g (f (d), d (θ)) = A · θ + B (2) where A and B are constants, and θ is a mechanical angle (deg) from a certain reference position. is there)
回転部と固定部とのいずれか一方に被検体を他方にセン
サを取り付け、上記センサの出力を上記回転部の回転位
置に変換する変換部を備えた回転位置検出装置におい
て、上記被検体は、環状に形成された、上記センサとの
対向面の面粗さが上記回転部の回転位置に応じて変化す
る外形を有し、上記センサは、上記被検体の対向面の面
粗さに基づき、上記被検体の対向面との距離を検出する
ことを特徴とする回転位置検出装置。19. During rotation, always face each other,
In one of the rotating part and the fixed part, the subject is attached with a sensor on the other, and in a rotation position detection device including a conversion unit that converts an output of the sensor into a rotation position of the rotation unit, the subject is Formed annularly, the surface roughness of the surface facing the sensor has an outer shape that changes according to the rotational position of the rotating unit, and the sensor is based on the surface roughness of the surface facing the subject, A rotational position detecting device for detecting a distance between the subject and an opposing surface.
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|---|---|
| JP (1) | JP4549548B2 (en) |
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502381A (en) * | 2002-10-07 | 2006-01-19 | ムービング マグネット テクノロジーズ （ソシエテ アノニム） | Variable reluctance position sensor |
| JP2006138788A (en) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Toyota Motor Corp | Magnetic encoder and position detection method using the same |
| US7116098B1 (en) | 2006-02-16 | 2006-10-03 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | System providing limit switch function with simultaneous absolute position output |
| JP2008087579A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Tokai Rika Co Ltd | Shift device |
| JP2008286746A (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | Angle detector |
| WO2009066574A1 (en) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Sumida Corporation | Rotation angle detecting sensor |
| US7607979B2 (en) | 2004-01-20 | 2009-10-27 | Konami Gaming Incorporated | Disk, displayed symbol identifier of mechanical slot machine, and mechanical slot machine |
| WO2010022657A1 (en) * | 2008-08-27 | 2010-03-04 | 奇瑞汽车股份有限公司 | Method for measuring rotor angular position of permanent-magnet synchronous motor and position sensor |
| JP2011196869A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | Linear and rotary encoder, linear and rotary motor and linear and rotary motor system |
| JP2012231648A (en) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Aisan Ind Co Ltd | Motor rotor and motor |
| KR101399211B1 (en) | 2013-12-26 | 2014-06-27 | 주식회사 리얼게인 | A sensor performance test apparatus and a control method thereof |
| KR101518605B1 (en) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 주식회사 포스코 | measurement device for rotational movement |
| WO2015165456A1 (en) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method for identifying the position of a rotor of an electric motor, target for determining the position of a rotor of the electric motor and electric motor |
| WO2016129051A1 (en) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 中国電力株式会社 | Strain measurement method and strain measurement system |
| WO2016140149A1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-09 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Position detection device |
| WO2016157757A1 (en) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 株式会社デンソー | Variable valve system |
| US9716821B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus, image pickup system, method of controlling image pickup apparatus, and storage medium |
| JP2017154191A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 株式会社セーコウ | Punching system, control method thereof, sheet processing device and image forming device |
| CN107401975A (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-28 | 法国大陆汽车公司 | For carrying out the linear response formula position sensor of angular surveying to the mechanical part of rotation |
| JP6316478B1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-04-25 | 山佐株式会社 | Game machine |
| JP2019020402A (en) * | 2017-07-13 | 2019-02-07 | ローズマウント・エアロスペース・インコーポレーテッドＲｏｓｅｍｏｕｎｔ Ａｅｒｏｓｐａｃｅ Ｉｎｃ． | Magnetic position sensing system, magnetic position sensing system manufacturing method, and rotor position estimation method |
| CN109990738A (en) * | 2019-04-24 | 2019-07-09 | 昆山野人精密机械自动化有限公司 | A kind of indexing separator running accuracy detection device |
| US20190264764A1 (en) * | 2016-08-02 | 2019-08-29 | Trw Automotive U.S. Llc | Brake pad wear sensor |
| CN110307789A (en) * | 2019-07-19 | 2019-10-08 | 哈尔滨工业大学 | One kind being based on maglev float circumferential direction angular displacement controllable device |
| CN111561899A (en) * | 2020-04-29 | 2020-08-21 | 维沃移动通信有限公司 | Folding angle detection method and electronic equipment |
| EP3760559A1 (en) * | 2019-07-05 | 2021-01-06 | KONE Corporation | Measurement arrangement and method of monitoring rotation speed of a component of an elevator, escalator, moving walkway or moving ramp |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750012U (en) * | 1980-09-08 | 1982-03-20 | ||
| JPH05500707A (en) * | 1989-07-01 | 1993-02-12 | テルディクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | High resolution absolute encoder |
| JPH0618285A (en) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Tokai Rika Co Ltd | Detecting apparatus for rotating angle |
| JPH0628620U (en) * | 1992-09-08 | 1994-04-15 | 東芝エンジニアリング株式会社 | Detector |
| JPH0656714U (en) * | 1993-01-08 | 1994-08-05 | シチズン時計株式会社 | Multi-turn absolute position detector |
| JPH06265370A (en) * | 1993-03-11 | 1994-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | Optical rotation-angle detection apparatus |
| JPH0717863U (en) * | 1993-09-07 | 1995-03-31 | 住友建機株式会社 | Rotation angle detector for construction machinery |
| JPH07239242A (en) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Nippon Soken Inc | Rotational angle detecting device |
-
2001
- 2001-01-26 JP JP2001017767A patent/JP4549548B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750012U (en) * | 1980-09-08 | 1982-03-20 | ||
| JPH05500707A (en) * | 1989-07-01 | 1993-02-12 | テルディクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | High resolution absolute encoder |
| JPH0618285A (en) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Tokai Rika Co Ltd | Detecting apparatus for rotating angle |
| JPH0628620U (en) * | 1992-09-08 | 1994-04-15 | 東芝エンジニアリング株式会社 | Detector |
| JPH0656714U (en) * | 1993-01-08 | 1994-08-05 | シチズン時計株式会社 | Multi-turn absolute position detector |
| JPH06265370A (en) * | 1993-03-11 | 1994-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | Optical rotation-angle detection apparatus |
| JPH0717863U (en) * | 1993-09-07 | 1995-03-31 | 住友建機株式会社 | Rotation angle detector for construction machinery |
| JPH07239242A (en) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Nippon Soken Inc | Rotational angle detecting device |
Cited By (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502381A (en) * | 2002-10-07 | 2006-01-19 | ムービング マグネット テクノロジーズ （ソシエテ アノニム） | Variable reluctance position sensor |
| US7607979B2 (en) | 2004-01-20 | 2009-10-27 | Konami Gaming Incorporated | Disk, displayed symbol identifier of mechanical slot machine, and mechanical slot machine |
| JP2006138788A (en) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Toyota Motor Corp | Magnetic encoder and position detection method using the same |
| US7116098B1 (en) | 2006-02-16 | 2006-10-03 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | System providing limit switch function with simultaneous absolute position output |
| JP2008087579A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Tokai Rika Co Ltd | Shift device |
| JP2008286746A (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | Angle detector |
| WO2009066574A1 (en) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Sumida Corporation | Rotation angle detecting sensor |
| JP5226694B2 (en) * | 2007-11-20 | 2013-07-03 | スミダコーポレーション株式会社 | Eddy current rotation angle detection sensor |
| WO2010022657A1 (en) * | 2008-08-27 | 2010-03-04 | 奇瑞汽车股份有限公司 | Method for measuring rotor angular position of permanent-magnet synchronous motor and position sensor |
| JP2011196869A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | Linear and rotary encoder, linear and rotary motor and linear and rotary motor system |
| JP2012231648A (en) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Aisan Ind Co Ltd | Motor rotor and motor |
| KR101518605B1 (en) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 주식회사 포스코 | measurement device for rotational movement |
| KR101399211B1 (en) | 2013-12-26 | 2014-06-27 | 주식회사 리얼게인 | A sensor performance test apparatus and a control method thereof |
| US9716821B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus, image pickup system, method of controlling image pickup apparatus, and storage medium |
| JP2017516990A (en) * | 2014-04-30 | 2017-06-22 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー． カー・ゲーＳｃｈａｅｆｆｌｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＡＧ ＆ Ｃｏ． ＫＧ | Method for identifying rotor position of electric motor, target for determining rotor position of electric motor, and electric motor |
| US10119838B2 (en) | 2014-04-30 | 2018-11-06 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method for identifying the position of a rotor of an electric motor, target for determining the position of a rotor of the electric motor and electric motor |
| CN106256083A (en) * | 2014-04-30 | 2016-12-21 | 舍弗勒技术股份两合公司 | Method for detecting the rotor position of an electric motor, target for determining the rotor position of an electric motor, and electric motor |
| WO2015165456A1 (en) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method for identifying the position of a rotor of an electric motor, target for determining the position of a rotor of the electric motor and electric motor |
| WO2016129051A1 (en) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 中国電力株式会社 | Strain measurement method and strain measurement system |
| JPWO2016129051A1 (en) * | 2015-02-10 | 2017-04-27 | 中国電力株式会社 | Strain measuring method and strain measuring system |
| EP3267157A4 (en) * | 2015-03-05 | 2018-10-17 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Position detection device |
| CN107407578A (en) * | 2015-03-05 | 2017-11-28 | 日立汽车系统株式会社 | position detecting device |
| US20180080801A1 (en) * | 2015-03-05 | 2018-03-22 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Position detection device |
| JPWO2016140149A1 (en) * | 2015-03-05 | 2017-06-22 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Position detection device |
| WO2016140149A1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-09 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Position detection device |
| WO2016157757A1 (en) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 株式会社デンソー | Variable valve system |
| US10502101B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-12-10 | Denso Corporation | Variable valve system |
| JP2017154191A (en) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 株式会社セーコウ | Punching system, control method thereof, sheet processing device and image forming device |
| CN107401975A (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-28 | 法国大陆汽车公司 | For carrying out the linear response formula position sensor of angular surveying to the mechanical part of rotation |
| US20190264764A1 (en) * | 2016-08-02 | 2019-08-29 | Trw Automotive U.S. Llc | Brake pad wear sensor |
| JP2018175447A (en) * | 2017-04-13 | 2018-11-15 | 山佐株式会社 | Game machine |
| JP6316478B1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-04-25 | 山佐株式会社 | Game machine |
| JP2019020402A (en) * | 2017-07-13 | 2019-02-07 | ローズマウント・エアロスペース・インコーポレーテッドＲｏｓｅｍｏｕｎｔ Ａｅｒｏｓｐａｃｅ Ｉｎｃ． | Magnetic position sensing system, magnetic position sensing system manufacturing method, and rotor position estimation method |
| JP7122182B2 (en) | 2017-07-13 | 2022-08-19 | ローズマウント・エアロスペース・インコーポレーテッド | MAGNETIC POSITION DETECTION SYSTEM, MANUFACTURING METHOD OF MAGNETIC POSITION DETECTION SYSTEM, AND METHOD OF ESTIMATING POSITION OF ROTATING BODY |
| CN109990738A (en) * | 2019-04-24 | 2019-07-09 | 昆山野人精密机械自动化有限公司 | A kind of indexing separator running accuracy detection device |
| EP3760559A1 (en) * | 2019-07-05 | 2021-01-06 | KONE Corporation | Measurement arrangement and method of monitoring rotation speed of a component of an elevator, escalator, moving walkway or moving ramp |
| CN114026434A (en) * | 2019-07-05 | 2022-02-08 | 通力股份公司 | Device for measuring the rotational speed of a component of an elevator, escalator, moving walkway or moving ramp and method for monitoring |
| US12103817B2 (en) | 2019-07-05 | 2024-10-01 | Kone Corporation | Measurement arrangement and method of monitoring rotation speed of a component of an elevator, escalator, moving walkway or moving ramp |
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