JP2002156744A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002156744A5 JP2002156744A5 JP2000350606A JP2000350606A JP2002156744A5 JP 2002156744 A5 JP2002156744 A5 JP 2002156744A5 JP 2000350606 A JP2000350606 A JP 2000350606A JP 2000350606 A JP2000350606 A JP 2000350606A JP 2002156744 A5 JP2002156744 A5 JP 2002156744A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000350606A JP2002156744A (ja) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000350606A JP2002156744A (ja) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002156744A JP2002156744A (ja) | 2002-05-31 |
| JP2002156744A5 true JP2002156744A5 (ja) | 2008-03-13 |
Family
ID=18823803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000350606A Pending JP2002156744A (ja) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002156744A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4697615B2 (ja) * | 2008-01-21 | 2011-06-08 | Ｎｅｃエンジニアリング株式会社 | チップ収容トレイ |
| JP5722760B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2015-05-27 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル製造用キット |
| WO2016121635A1 (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社ニコン | マスクケース、保管装置及び方法、搬送装置及び方法、並びに露光装置 |
| KR102172722B1 (ko) * | 2018-12-26 | 2020-11-02 | 주식회사 에프에스티 | 초극자외선 리소그라피용 펠리클의 검사에 사용되는 캡슐 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2595993B2 (ja) * | 1987-10-09 | 1997-04-02 | 株式会社ニコン | 露光用原板作成装置及び方法 |
| JP3242693B2 (ja) * | 1992-05-15 | 2001-12-25 | 富士通株式会社 | ペリクル貼り付け装置 |
| JPH0683042A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-25 | Nikon Corp | フレームの貼着装置 |
| JPH0714428U (ja) * | 1993-08-12 | 1995-03-10 | 株式会社ヤマザキ電機 | ガラス基板類の連続熱処理装置 |
| JP3552178B2 (ja) * | 1995-09-27 | 2004-08-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板収納カセット、インターフェイス機構および基板処理装置 |
| JPH09106066A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Nikon Corp | ペリクルライナーの剥離方法 |
| JP3718074B2 (ja) * | 1999-03-05 | 2005-11-16 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
-
2000
- 2000-11-17 JP JP2000350606A patent/JP2002156744A/ja active Pending