JP2002125357A - Power supply apparatus and system employing the apparatus - Google Patents

Power supply apparatus and system employing the apparatus

Info

Publication number
JP2002125357A
JP2002125357A JP2000315178A JP2000315178A JP2002125357A JP 2002125357 A JP2002125357 A JP 2002125357A JP 2000315178 A JP2000315178 A JP 2000315178A JP 2000315178 A JP2000315178 A JP 2000315178A JP 2002125357 A JP2002125357 A JP 2002125357A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piston
power supply
air
pressure
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000315178A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiko Hara
靖彦 原
Original Assignee
Yamatake Corp
株式会社山武
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamatake Corp, 株式会社山武 filed Critical Yamatake Corp
Priority to JP2000315178A priority Critical patent/JP2002125357A/en
Publication of JP2002125357A publication Critical patent/JP2002125357A/en
Application status is Pending legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K35/00Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit
    • H02K35/04Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit with moving coil systems and stationary magnets
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K35/00Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit
    • H02K35/02Generators with reciprocating, oscillating or vibrating coil system, magnet, armature or other part of the magnetic circuit with moving magnets and stationary coil systems

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power supply apparatus which consumes little air, has high reliability, and has high conversion efficiency, and to provide a system employing the apparatus. SOLUTION: This power supply apparatus comprises a pneumatic actuator unit 11, composed of a cylinder 13 and a piston 14 and a power generating unit 12, which converts the linear motion of the piston 14 into a relative motion between a coil 38 and a magnetic circuit 44. The coil 38 is attached to the tip of the piston 14 via a bobbin 41 and the magnetic circuit 44 comprises a yoke 37, a pole piece 39 and a magnet 40. The piston 14 is moved straight reciprocated in a straight line by supplying of compressed air.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電源供給装置に関し、特に石油化学プラント等の現場に設置される各種の計器やコントローラ等に用いて好適な電源供給装置およびそれを用いたシステムに関する。 The present invention relates to relates to a power supply device, and more particularly to various instruments and controllers such systems using suitable power supply and it used to be installed in the field such as petrochemical plants.

【0002】 [0002]

【従来の技術】一般に、石油化学プラント等においては可燃性ガス等の引火の機会を作らないようにするため、 In general, because in the petrochemical plant or the like to avoid creating an opportunity of ignition, such as combustible gas,
防爆基準を満たした電気式計器または電気回路部分を持たない空気式計器が用いられる。 Pneumatic instrument is used that does not have an electric meter or electrical parts that meet explosion proof standards.

【0003】近年は空気式計器に比べて低価格、高精度、高機能な電気式計器の普及がめざましいが、依然として空気式計器が使用されることも多い。 [0003] In recent years, low price compared to the pneumatic instrument, high precision, but the spread of high-performance electric meter is remarkable, still often pneumatic instrument is used. その理由は、 The reason is,
電気式計器はその導入のための電源ケーブルの敷設コストがかかり、メンテナンス時の取り扱いや設置場所の変更等の作業が非常に面倒であるのに対し、空気式計器の場合はバルブ駆動のための圧縮空気配管が近くにあるのが常であり、またリプレースの場合は現場に敷設されている計装用の空気源をそのまま使えばよく、敷設のためのコストが小さく、また構造上引火の危険はないのでメンテナンス時の扱いや設置場所の変更等の作業も容易であるからである。 Electric meter takes installation cost of the power supply cable for the introduction, the work of change of handling and installation place of maintenance is very cumbersome hand, in the case of a pneumatic instrument for valve drive a the compressed air piping near the normally, also in the case of replacement may be used as the air source of instrumentation which is laid site, small cost for laying, also the risk of structural flammable since there is because it is easy to work such as a change of handling and installation location at the time of maintenance.

【0004】しかしながら、空気式計器は、価格、精度、機能の面で電気式計器に比べて劣るため、電源供給装置を内蔵することにより電源ケーブルを敷設しなくても使用できるようにした現場型の電気式計器が切望されている。 However, pneumatic instruments, the price, precision, since inferior to electric instruments in terms of function, the field type that is to be also used without laying power cables by incorporating the power supply device electric meter has been coveted.

【0005】例えば、特開平2−50299号公報には、空気タービンと、この空気タービンの出力軸に連結された発電機とを備え、空気タービンを高圧の空気によって駆動し、発電機によって発生した電力を荷重変換部へ供給するようにした耐圧防爆型の電子式計重機が開示されている。 [0005] For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-50299, includes an air turbine, and the air turbine linked generator to the output shaft, the air turbine driven by high pressure air, generated by the generator electronic meter heavy equipment explosion-proof is disclosed which is adapted to supply to the load converting unit power. また、特開昭62−185531号公報には、エアモータによって発電機を駆動し、発電機によって発生した電力を制御機器に供給するようにした電源供給装置が開示されている。 Further, in JP-A-62-185531, drives a generator by the air motor, the power supply device is disclosed which is adapted to supply the power generated in the controlled device by the generator. このように従来の電源供給装置は、いずれも現場の空気源から供給される圧縮空気のエネルギーを回転力に変換して発電機を駆動し、電力を発生させるようにしている。 Thus, the conventional power supply device, both a generator driven by converting the energy of the compressed air supplied from the air source site to the rotational force, and so as to generate power.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、石油化学プラント等における計器類は、一旦導入すると数年〜十数年連続して運転することがあるため、電源供給装置として、第1に空気消費量が少ないことが要求される。 [SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, instrument in petrochemical plants, etc., because it can be operated continuously once the years to ten years the introduction, as a power supply apparatus, air consumption in the first it is required is small. すなわち、空気消費量が多いとランニングコストが嵩むだけでなく、コンプレッサーの増設も必要になり、結局電源ケーブルを敷設するより高くついてしまうからである。 That is, not that there are many air consumption only increase the running cost, expansion of the compressor is also required, because thereby with higher than ultimately laying power cables.
第2に信頼性が高いことが要求される。 It has high reliability is required to the second. すなわち、メンテナンスを頻繁に行うと結局電源ケーブルを敷設するよりコストが嵩むだけでなく、故障するとプラントの運転停止を招くおそれがあるからである。 That is, not only costly than laying eventually power cable Frequent maintenance, there is a fear of causing a shutdown of the plant if failure.

【0007】このような観点から上記した従来の電源供給装置を検討すると、以下の理由により上記要求を満たしておらず、未だ製品化に到っていない。 [0007] Considering the conventional power supply apparatus described above from this point of view, does not meet the above requirements for the following reasons, not yet reached the market. すなわち、回転駆動型の空気式アクチュエータを大別すると、回転力を圧力エネルギーで得る容積型(エアモータ)と、 That is, when roughly classified into pneumatic actuator of the rotary-driven displacement to obtain the rotational force by the pressure energy (air motor),
回転力を空気の速度と圧力エネルギーで得る速度型(空気タービン)に分けることができる。 The rotational force can be divided into the speed-type obtained in velocity and pressure energy of the air (air turbine). なお、上記特許公開公報に開示された電源供給装置においては、エアモータまたは空気タービンの構成が明らかではないが、次のような構成のものを適用可能と思われる。 Note that in the power supply device disclosed in the above patent publication, although there is no clear structure of the air motor or air turbine, is believed to be applicable to those having the following structure. 容積型のエアモータとしては、図18に示すベーン型空気圧モータが一般的である。 The air motor of the positive displacement, vane type pneumatic motor shown in FIG. 18 is common. この空気圧モータは、高圧側と低圧側が密閉された状態でエネルギー変換を行うので、変換効率(発電量/空気消費量)が高いという利点がある。 The pneumatic motor is, since the energy conversion in the state in which the high pressure side and the low pressure side is closed, the conversion efficiency (power generation amount / air consumption) there is an advantage that high. しかしながら、ベーン型空気圧モータの場合は、容積が変化する膨張室101を確実に密閉するためにばね102を用いてベーン103をシリンダ104の内壁に圧接する必要があるので、部品点数が増加し、またベーンの先端とポンプ室壁の摺動部の摩耗が避けられず、信頼性が低いという問題がある。 However, in the case of a vane air motor, it is necessary to press the vane 103 on the inner wall of the cylinder 104 with the spring 102 in order to reliably seal the expansion chamber 101 the volume is changed, the number of parts is increased, the wear of the sliding portion of the tip and the pump chamber walls of the vane can not be avoided, there is a problem of low reliability. なお、ここで「密閉」という言葉を用いているが、実際には完全な密閉を実現しているわけではなく、多少の空気の漏れは存在する。 It should be noted that, although here are using the word "closed" does not mean that to achieve a complete sealing in fact, the leakage of some of the air is present. 本明細書における「密閉」は、アクチュエータの駆動周期に比べて隙間を通して圧力が平衡になる瞬間が十分に遅いことを意味するものとする。 "Sealed" in the present specification, the pressure through the gap in comparison with the driving cycle of the actuator is intended to mean that is sufficiently slow moment when equilibrium.

【0008】空気タービンの場合は、図19に示すように回転軸110にタービン翼車111を取付け、ノズル112から圧縮空気を羽根113に吹き付けてタービン翼車111を回転させるものであるため、摺動部分だけで圧接部分がなく、またベーン型に比べて部品点数および摩耗が少なく信頼性が高いという利点がある。 [0008] For the case of air turbine, attached to the turbine wheel 111 to the rotation shaft 110 as shown in FIG. 19, which rotates the turbine wheel 111 is sprayed from the nozzle 112 the compressed air to the blades 113, sliding no just part pressed moving parts, also has the advantage of high less reliable components and wear in comparison with the vane. しかしながら、高圧側と低圧側が密閉されない状態でエネルギー変換が行われるので、変換効率が容積型に比べて低く、空気消費量が多い(数10NL/min程度)という問題がある。 However, since the energy conversion in the state in which the high pressure side and the low pressure side is not sealed is performed, the conversion efficiency is lower than the displacement, there is a problem that air consumption is large (several 10 NL / min).

【0009】本発明の目的とするところは、空気消費量が少なく信頼性および変換効率の高い電源供給装置およびそれを用いたシステムを提供することにある。 [0009] It is an object of the present invention is to provide a system employing a high power supply and it a less reliable and conversion efficiency air consumption.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために第1の発明に係る電源供給装置は、シリンダとピストンとを備え、圧縮空気の供給によって前記ピストンを直線往復運動させる空気圧アクチュエータ部と、前記ピストンの直線往復運動をコイルと磁気回路の相対往復運動に変換して発電を行う発電部とを備えたものである。 Means for Solving the Problems The power supply device according to a first invention to achieve the above object, a cylinder and a piston, a pneumatic actuator portion to linearly reciprocate the piston by the supply of compressed air , in which a power generating unit for generating electric power by converting a linear reciprocating motion of the piston relative reciprocation of the coil and the magnetic circuit.

【0011】第2の発明に係る電源供給装置は上記第1 [0011] Power supply apparatus according to the second aspect of the present invention the first
の発明において、シリンダとピストンとの間に静圧空気軸受を設けたものである。 In the present invention, it is provided with a static pressure air bearing between the cylinder and the piston.

【0012】第3の発明に係る電源供給装置は上記第1 [0012] Power supply apparatus according to a third aspect of the present invention the first
の発明において、シリンダとピストンとの間に動圧空気軸受を設けたものである。 In the present invention, it is provided with a dynamic pressure air bearing between the cylinder and the piston.

【0013】第4の発明に係るシステムは、上記第1、 [0013] The fourth system according to the invention, the first,
第2または第3の発明に記載の電源供給装置と、この電源供給装置から電力が供給される被供給側装置とを備えたものである。 And a power supply device according to the second or third invention, in which a the inlet side device to which power is supplied from the power supply device.

【0014】第1の発明においては、高圧側と低圧側が密閉された状態でエネルギー変換が行われるので、エネルギー変換効率が高く、空気消費量が少ない。 [0014] In the first invention, since the energy conversion in the state in which the high pressure side and the low pressure side is closed is performed, the energy conversion efficiency is high, less air consumption. また、容積が変化するシリンダ内室の密閉は、シリンダとピストンの摺接によって得るため、部品点数および摩耗が少ない。 Further, sealing of the cylinder chamber volume is changed, to obtain the sliding of the cylinder and the piston, the number of parts and less wear. 第2の発明においては、静圧空気軸受を用いているので、ピストンがシリンダに直接接触せず、摩擦、摩耗が殆ど生じない。 In a second aspect of the present invention, because of the use of static pressure air bearing, the piston does not directly contact the cylinder, friction, wear hardly occurs. 第3の発明においては、動圧空気軸受を用いているので、ピストンがシリンダに直接接触せず、摩擦、摩耗が殆ど生じない。 In a third aspect of the present invention, because of the use of dynamic air bearings, piston does not directly contact the cylinder, friction, wear hardly occurs. 第4の発明においては、電源供給装置が被供給側装置に電力を供給する。 In a fourth aspect of the present invention supplies power power supply apparatus to the inlet side device. 被供給側装置としては、防爆基準を満たした電気式計器または電気回路部分を持たない空気式計器が用いられる。 The the inlet side device, pneumatic meter is used with no electric meter or electrical parts that meet explosion proof standards.

【0015】 [0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be described in detail based on the embodiment according to the present invention with reference to the drawings. 図1は本発明を現場型圧力計に適用したシステムの一実施の形態を示す断面図、図2は同電源供給装置の断面図、図3は電源供給回路を示す図、図4は発電部の電気回路図である。 Figure 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a system according to the present invention in the field manometer, FIG. 2 is a sectional view of the power supply apparatus, FIG. 3 illustrating a power supply circuit, 4 the power generation unit it is an electric circuit diagram of a. 図1において、符号1で示すものはLPG等の圧力流体を送給する配管、2は圧力流体の圧力を計測する圧力計(被供給側装置)である。 In Figure 1, reference numeral 1 is a pipe for feeding the pressure fluid, such as LPG, 2 is a pressure gauge for measuring the pressure of the pressure fluid (the inlet side apparatus).

【0016】前記圧力計2は、従来周知のもので、耐圧防爆型の容器3、圧力センサ4、電子制御回路5、液晶表示装置6等を備え、前記配管1内の圧力流体をバルブ7を介して前記圧力センサ4に導いてその圧力を検出し、その検出信号を電子制御回路5によって増幅、演算処理することにより、液晶表示装置6に表示させたり、 [0016] The pressure gauge 2 is of a conventionally known, Explosion-proof container 3, the pressure sensor 4, the electronic control circuit 5 includes a liquid crystal display device 6 or the like, the valve 7 the pressure fluid in the pipe 1 via detects the pressure leading to the pressure sensor 4, amplifies the detection signal by the electronic control circuit 5, by computation processing, or is displayed on the liquid crystal display device 6,
外部の制御機器に伝送するようにしている。 It is to be transmitted to the external control device. また、圧力計2は、前記圧力センサ4に電力を供給する電源供給装置8と、その電源供給回路9を備え、これらによってシステムを構成している。 The pressure gauge 2 includes a power supply device 8 supplies power to the pressure sensor 4 provided with the power supply circuit 9, and these by configure the system.

【0017】図2において、前記電源供給装置8は、空気圧アクチュエータ部11と、発電部12とで構成されている。 [0017] In FIG. 2, the power supply unit 8, a pneumatic actuator portion 11, and a power generation unit 12. 空気圧アクチュエータ部11は、シリンダ13 Pneumatic actuator 11, the cylinder 13
と、このシリンダ13内にオイルレスベアリング15 If, oilless bearings 15 to the cylinder 13
(15a〜15d)を介して摺動自在に嵌挿されたピストン14とからなり、図1に示すように前記容器3の外壁に防爆基準を満たした状態で固定されている。 (15 a to 15 d) through a consist slidably inserted a piston 14. is fixed in a state filled with explosion-proof standards on the outer wall of the container 3 as shown in FIG.

【0018】前記シリンダ13は、両端が開放する筒状のシリンダ本体13Aと、このシリンダ本体13Aの一端面13aに複数個のボルト16によって固定されたカバー13Bとからなり、他端面13bに前記発電部12 [0018] The cylinder 13 is composed of a tubular cylinder body 13A having both ends opened, and a cover 13B which is fixed by a plurality of bolts 16 to one end surface 13a of the cylinder body 13A, the power generation on the other end face 13b part 12
が取付けられている。 It is attached. シリンダ本体13Aは、内径が異なる大径孔17と小径孔18を有し、大径孔17が前記カバー13Bによって閉塞され、周面には大径孔17に連通する空気供給口19と、小径孔18に連通する排気口20が形成されている。 Cylinder body 13A has an inner diameter has a different large diameter hole 17 and small-diameter hole 18, is closed by the large diameter hole 17, wherein the cover 13B, the circumferential surface and the air supply port 19 communicating with the large-diameter hole 17, a small diameter exhaust port 20 communicating with the hole 18 is formed. 空気供給口19は、圧縮空気配管21(図1)にパイプ22を介して接続されており、圧力Ps(例えば、=200[KPa])の圧縮空気が常時供給されている。 Air supply port 19, the compressed air pipe 21 is connected through a pipe 22 (FIG. 1), compressed air at a pressure Ps (for example, = 200 [KPa]) is always supplied. 排気口20は大気に開放されている。 Exhaust port 20 is open to the atmosphere.

【0019】前記大径孔17と小径孔18の内周には、 [0019] inner periphery of the large diameter hole 17 and small-diameter hole 18,
長さが異なる2つのオイルレスベアリング15aと15 Two oilless bearing 15a whose length is different from the 15
b、15cと15dがそれぞれ嵌め込まれ固定されている。 b, 15c and 15d are fixed fitted respectively. 2つのオイルレスベアリング15a,15bは、大径孔17に離間して組み込まれることにより、対向端面間に形成された隙間24によって前記大径孔17と空気供給口19を連通させている。 Two oilless bearings 15a, 15b, by being incorporated in spaced large-diameter hole 17, and communicates with the large diameter hole 17 and the air supply port 19 by the gap 24 formed between the opposite end faces. この隙間24は、空気供給口19の穴径より十分小さく設定されている。 The gap 24 is set to be sufficiently smaller than the hole diameter of the air supply ports 19. 同じく、2つのオイルレスベアリング15c,15dは、小径孔18に離間して組み込まれることにより、対向端面間に形成された隙間25によって前記小径孔18と排気口20を連通させている。 Similarly, two oil-less bearings 15c, 15d, by being incorporated in spaced small diameter hole 18, and communicates the small-diameter hole 18 and the exhaust port 20 by the gap 25 formed between the opposite end faces. この隙間25は、排気口20 This gap 25, the exhaust port 20
の穴径より十分に大きく設定されている。 It is set sufficiently larger than the hole diameter. なお、オイルレスベアリング15としては、含油燒結金属、内周面を弗素樹脂等の摩擦係数が小さい材料によってコーティングした筒状の軸受等が用いられる。 As the oilless bearings 15, oil-containing sintered metal, the inner peripheral surface a cylindrical bearing or the like coated with material having a small coefficient of friction such as fluororesin is used.

【0020】前記ピストン14は、前記大径孔17を2 [0020] The piston 14, the large-diameter hole 17 2
つの室(膨張室)27A,27Bに仕切るピストン本体14Aと、前記小径孔18を貫通するロッド14Bとからなり、中心孔28と、2つの小孔29,30を有している。 One chamber (expansion chamber) 27A, and a piston body 14A which partitions to 27B, consists of a rod 14B extending through the small diameter hole 18, a central hole 28, has two small holes 29, 30. 中心孔28は、ピストン本体14Aの背面中央に開口し、奥端がロッド14Bの長手方向中間部にまで延在する不貫通孔からなり、奥端側において前記2つの小孔29,30が連通している。 Center hole 28 is open to the rear center of the piston body 14A, the rear end is made of non-through holes extending to the longitudinal direction intermediate portion of the rod 14B, communicating with the two small holes 29, 30 at the rear end side doing. 小孔29,30は、ロッド14Bの軸線と直交する径方向の孔からなり、前記オイルレスベアリング15cの長さより若干短い間隔をおいて形成されている。 Small holes 29 and 30 consists of radial holes perpendicular to the axis of the rod 14B, it is formed at a slightly shorter distance than the length of the oil-less bearing 15c. ピストン本体14Aとロッド14 Piston body 14A and the rod 14
Bの連結部には、環状溝31が形成されている。 The connecting portion of the B, the annular groove 31 is formed.

【0021】前記発電部12は、前記シリンダ本体13 [0021] The power generating unit 12, the cylinder body 13
Aの他端面13bに複数個のボルト33によって固定された筒状のヨークホルダ34と、このヨークホルダ34 A cylindrical yoke holder 34 fixed by a plurality of bolts 33 to the other end face 13b of the A, the yoke holder 34
のシリンダ13側とは反対側の開口部に嵌合され複数個のねじ36によって固定された筒状のヨーク37と、このヨーク37の内部に組み込まれたコイル38、ポールピース39およびマグネット40等で構成されている。 The cylinder 13 side is fitted into the opening opposite to the cylindrical yoke 37 fixed by a plurality of screws 36, the coil 38 is incorporated inside the yoke 37, the pole piece 39 and the magnet 40 or the like in is configured.

【0022】前記コイル38は、全長がlの導線をボビン41の先端部外周に巻回して形成され、前記電源供給回路9にケーブル42を介して電気的に接続されている。 [0022] The coil 38 has an overall length is formed by winding a conductor wire of l at the tip outer periphery of the bobbin 41, it is electrically connected via a cable 42 to the power supply circuit 9. 前記ボビン41は、取付けねじ43によって前記ロッド14Bの先端面に固定されている。 The bobbin 41 is fixed to the front end surface of the rod 14B by mounting screws 43.

【0023】前記ポールピース39とマグネット40 In one embodiment of the invention, the pole piece 39 and the magnet 40
は、前記ヨーク37とともに磁気回路44を形成するもので、前記ボビン41の内径より小さい外径を有する円板状に形成されて積層され、ヨーク37の内部中央に固定されている。 , The one that forms a magnetic circuit 44 with the yoke 37, the stacked formed in a disc shape having an outer diameter smaller than the inner diameter of the bobbin 41 is fixed to the inside center of the yoke 37. ヨーク37の内周とポールピース39、 Inner and pole piece 39 of the yoke 37,
マグネット40の外周との間には、前記コイル38およびボビン41が非接触で挿入可能な隙間45が形成されており、この隙間45には磁束密度Bの磁界が形成されている。 Between the outer periphery of the magnet 40, the coil 38 and the bobbin 41 is insertable gap 45 is formed in a non-contact, magnetic flux density B is formed in the gap 45. マグネット40は、一端面がS極に、他端面がN極になるように着磁されている。 Magnet 40 has one end face to the S pole, the other end face are magnetized so that the N pole. なお、マグネット4 It should be noted that the magnet 4
0の磁束を図中に破線で示す。 The magnetic flux of 0 shown by a broken line in FIG.

【0024】このような構造からなる電源供給装置8において、ピストン14を圧縮空気によって直線往復運動させると、コイル38も磁気回路44に対して進退するため、電磁誘導作用によりコイル38に起電力e O (交流)が発生する。 [0024] In the power supply device 8 having such a structure, when the linearly reciprocating motion of the piston 14 by the compressed air, to advance and retreat with respect to the coil 38 is also a magnetic circuit 44, the electromotive force e in the coil 38 by electromagnetic induction action O (alternating current) is generated. そして、この起電力e Oは、電源供給回路9によって直流に変換され、前記電子制御回路5や外部の制御機器に供給される。 Then, the electromotive force e O is converted to a DC by a power supply circuit 9 is supplied to the electronic control circuit 5 and the external control devices.

【0025】図3に電源供給回路9の一例を示す。 [0025] Figure 3 shows an example of a power supply circuit 9. 同図において、符号50で示すものはマッチングトランス、 In the drawings, reference numeral 50 is a matching transformer,
51は整流ブリッジ、52は三端子レギュレータ、53 51 rectifying bridge, 52 three terminal regulator, 53
はコンデンサで、マッチングトランス50の入力端子A,Bが前記発電部12に前記ケーブル42(図2)を介して接続され、出力端子C,Dに前記電子制御回路5 The capacitor, an input terminal A of the matching transformer 50, B are connected via the cable 42 (FIG. 2) in the power generation unit 12, the electronic control circuit 5 output terminal C, and D
や外部の制御機器が接続されている。 And an external control device is connected. 入力端子A,Bに交流を入力すると、出力端子C,Dから直流出力を得られるものである。 Input terminals A, when to enter the AC B, the output terminal C, is obtained a direct current output from the D.

【0026】図4に電気回路の構成図を示す。 [0026] FIG. 4 shows a configuration diagram of an electrical circuit. 同図において、L,Rは発電部12の内部のインピーダンスと抵抗である。 In the figure, L, R is the resistance and internal impedance of the power generation unit 12. なお、図においては、入力端子A,B以降の負荷を、抵抗R lとして示している。 In the figure, an input terminal A, since B load, shown as resistor R l.

【0027】次に、空気圧アクチュエータ部11の動作を図5に基づいてさらに詳述する。 Next, further detail on the basis of FIG. 5 the operation of the pneumatic actuator portion 11. 図5(a)は、ピストン14が左方へ最大ストローク移動した状態を示す。 5 (a) shows a state where the piston 14 has a maximum stroke movement to the left.
この状態において、ピストン14はカバー13Bの内面と近接して対向し、第1の室27aの体積(V)を最小に、第2の室27bの体積(V1)を最大にしている。 In this state, the piston 14 is opposed in close proximity to the inner surface of the cover 13B, volume (V) to the minimum of the first chamber 27a, is the volume of the second chamber 27b of (V1) to the maximum.
また、空気供給口19と一方の小孔29が連通し、他方の小孔30がオイルレスベアリング15cによって閉塞している。 Further, through one of the small holes 29 and the air supply port 19 is communicated, other small hole 30 is closed by the oil-less bearing 15c. この状態において、圧縮空気は空気供給口1 In this state, compressed air is air supply port 1
9に供給されると、オイルレスベアリング15aと15 When fed to 9, oilless bearings 15a and 15
bの隙間24を通って第2の室27bに入り、また小孔29および中心孔28を通って第1の室27aに入る(このときの圧縮空気の質量流量をGとする)。 Through b gap 24 into the second chamber 27b, also within the first chamber 27a through the small holes 29 and the central hole 28 (the mass flow rate of the compressed air at this time it is G).

【0028】供給圧力Psの圧縮空気が第1の室27a The compressed air supply pressure Ps is the first chamber 27a
に供給されると、第1の室27a内部の圧力Pcと第2 When supplied to the pressure Pc inside the first chamber 27a second
の室27b内部の圧力P'cとが供給圧力Psになり、 And pressure P'c inside of the chamber 27b of is the supply pressure Ps,
ピストン本体14Aのカバー13B側受圧面積Acは、 Cover 13B side pressure receiving area Ac of the piston body 14A is
ロッド14B側受圧面積Asより大きいため(Ac>A For larger rod 14B side pressure-receiving area As (Ac> A
s)、カバー側受圧面により大きな力が加わる。 s), a large force by the cover-side pressure receiving surface is applied. このため、ピストン14は大きさがPs(Ac−As)−Pa Therefore, the piston 14 is magnitude Ps (Ac-As) -Pa
・Aaの右向きの力を受けて右方へ移動する(図5 · In response to the right of the power of the Aa to move to the right (Figure 5
(b))。 (B)). ただし、Aaはピストンの大気に露出している側の端部の面積、Paは大気圧である。 However, Aa is the area of ​​the end on the side exposed to the atmosphere of the piston, Pa is atmospheric pressure. ピストン14 Piston 14
の移動(変位X)に伴い、小孔29がシリンダ13の大径孔17側から小径孔18側に移動してオイルレスベアリング15cにより閉塞されると、第1の室27aへの圧縮空気の供給が絶たれる。 Of with the movement (displacement X), the small hole 29 is closed by the oilless bearing 15c moves to the small-diameter hole 18 side from the large diameter hole 17 of the cylinder 13, the compressed air to the first chamber 27a supply is cut off. しかし、ピストン14は慣性によって移動し続け、小孔30が図5(c)に示すようにオイルレスベアリング15cと15dの隙間25と一致すると、第1の室27a内の圧縮空気が中心孔28 However, the piston 14 continues to move by inertia, the small hole 30 is coincident with gap 25 of the oilless bearings 15c and 15d as shown in FIG. 5 (c), first compressed air central hole in chamber 27a 28
−小孔30−隙間25−排気口20を通って大気中に排出される(流量G)。 - is discharged into the atmosphere through the small hole 30 to the gap 25 exhaust port 20 (flow G). このため、第1の室27aの圧力Pcは徐々に低下して大気圧Paとなる。 Therefore, the pressure Pc in the first chamber 27a becomes the atmospheric pressure Pa is gradually decreased.

【0029】一方、第2の室27bは、ピストン14の右方への移動に伴い体積が徐々に減少する。 On the other hand, the second chamber 27b, the volume with the rightward movement of the piston 14 is gradually reduced. また、ピストン本体14Aが隙間24を閉塞することにより、空気供給口19と遮断される。 Further, the piston body 14A is by closing the gap 24, is shut off from the air supply port 19. このため、第2の室27bの内圧P'cは徐々に高くなり(P'c>Pc)、この内圧P'cによってピストン14を左方へ移動復帰させる(図5(c))。 Therefore, the internal pressure of the second chamber 27b P'c increases gradually (P'c> Pc), is moved returning the piston 14 to the left by the pressure P'c (FIG 5 (c)). ピストン14が左方へ一定ストローク移動すると、小孔29,30はオイルレスベアリング1 When the piston 14 is fixed stroke movement to the left, the small holes 29 and 30 oilless bearing 1
5cによってともに閉塞される(図5(d))。 Are both closed by 5c (FIG. 5 (d)). さらにピストン14が移動すると、小孔29は第2の室27b Further the piston 14 is moved, the small hole 29 and the second chamber 27b
に連通する。 Communicating with. このため、空気供給口19に供給される圧縮空気は、小孔29−中心孔28を通って第1の室27 Therefore, the compressed air supplied to the air supply port 19, the first chamber through the small holes 29-center hole 28 27
aに徐々に供給されるようになるが、第1の室27aの圧力Pcが第2の室27bの圧力P'cより高くなるまでは慣性によって移動し続け、図5(a)に示す元の位置に復帰する。 Becomes a gradually supplied to a, until the pressure Pc in the first chamber 27a is higher than the pressure P'c the second chamber 27b continues to move by inertia, from which shown in FIG. 5 (a) to return to the position. 空気供給口19には圧縮空気が常時供給されているので、ピストン14は上記した直線往復運動を連続して行うことにより、前記コイル38を磁気回路44に対して繰り返し往復移動させる。 Since the air supply opening 19 the compressed air is always supplied, the piston 14 by continuously performing linear reciprocating motion described above, is repeated reciprocating the coil 38 to the magnetic circuit 44. したがって、発電部12はピストン14の変位速度dx/dtに比例し、その比例定数をC Therefore, the power generation unit 12 is proportional to the displacement speed dx / dt of the piston 14, the proportional constant C eとする起電力e Oを発生し、電流iを負荷R l (電源供給回路9や制御機器)に供給する。 The electromotive force e O occurs to e, for supplying a current i to the load R l (power supply circuit 9 and the control devices). このとき、磁界中でコイル38に電流iが流れることにより、この電流iに比例する電磁力C i・iが発生し、ピストン14の動きを妨げる方向に作用する(C i At this time, by a current i flows in the coil 38 in the magnetic field, the electromagnetic force is proportional to the current i C i · i is generated, which acts to hinder the movement of the piston 14 (C i
は比例定数)。 It is a proportional constant). したがって、上記のピストン14の自励振動は、この電磁力C i・iの影響を含んだ動作となっている。 Therefore, the self-excited vibration of the piston 14 has a operation including the influence of the electromagnetic force C i · i.

【0030】このような電源供給装置8においては、直線往復型の空気圧アクチュエータ部11を備えているので、高圧側の室(第1の室27a)と低圧側の室(第2 [0030] In such a power supply device 8 is provided with the pneumatic actuator portion 11 of the linear reciprocating, the high-pressure side chamber (first chamber 27a) and the low pressure side of the chamber (second
の室27b)を密閉した状態でエネルギー変換を行うことができる。 It is possible to perform energy conversion in a state in which the chamber 27b) was sealed. したがって、エネルギーの変換効率が高く、空気消費量を少なくすることができる。 Therefore, it is possible to energy conversion efficiency is high, to reduce the air consumption. ここで「密閉」とは、完全な密閉ではなく、摺動部から多少の空気の漏れが存在するが、アクチュエータの駆動周期に比べて隙間を通して圧力が平衡になる瞬間が十分に遅いことを意味するものとする。 Here, "closed" is not completely closed, but the leakage of some of the air from the sliding portion is present, means moment is sufficiently slow that the pressure through the gap is balanced as compared with the driving cycle of the actuator It shall be.

【0031】また、第1、第2の室27a,27bの密閉は、ピストン14とオイルレスベアリング15との摺接摺動によって実現することができるため、ばね等の別部材で押し付けたりする必要がなく、図18に示した従来のベーンをシリンダ内壁に圧接するベーン型空気圧モータに比べて部品点数およびシリンダ13またはピストン14との摺動部の摩耗が少なく、信頼性の高い空気圧アクチュエータを構成することできる。 Further, the first, second chambers 27a, 27b seal, since it is possible to realize the sliding contact sliding between the piston 14 and the oil-less bearing 15, necessary or pressed by another member such as a spring no less sliding portion of the wear of the components and the cylinder 13 or the piston 14 than the conventional vane to vane air motor pressed against the cylinder inner wall as shown in FIG. 18, constituting a highly reliable pneumatic actuator able to.

【0032】図6は空気圧アクチュエータ部の第2の実施の形態を示す断面図、図7は図6のVII −VII 線断面図、図8(a)〜(d)は空気圧アクチュエータ部の動作を示す図である。 [0032] FIG. 6 is a sectional view showing a second embodiment of the pneumatic actuator portion, 7 VII -VII line cross-sectional view of FIG. 6, FIG. 8 (a) ~ (d) the operation of the pneumatic actuator portion It illustrates. なお、図中図2、図3に示した構成部材と同一のものについては同一符号をもって示し、その説明を適宜省略する。 In the drawing, FIG. 2 shows with the same reference numerals the same as the components shown in FIG. 3, and their description will not be repeated.

【0033】この実施の形態においては、静圧空気軸受を用いてピストン14を軸支している。 [0033] In this embodiment, axially supports the piston 14 using a static pressure air bearing. シリンダ13 Cylinder 13
は、両端開放の筒体からなるシリンダ本体13Aと、シリンダ本体13Aの各端面に固定されたカバー13B, Includes a cylinder body 13A made of a cylindrical body of open ends, a cover 13B which is fixed to the end face of the cylinder body 13A,
13Cとで構成されている。 It is composed of a 13C. シリンダ本体13Aは、内径が一定の中心孔62を有し、周面に1つの空気供給口19と、2つの排気口20A,20Bが前記中心孔62 Cylinder body 13A has an inner diameter has a certain center hole 62, and one air supply opening 19 to the peripheral surface, two exhaust ports 20A, 20B is the center hole 62
に連通して形成されている。 It is formed in communication with the. 空気供給口19は、シリンダ本体13Aの中央に形成され、第1、第2の排気口2 Air supply port 19 is formed in the center of the cylinder body 13A, first, second exhaust ports 2
0A,20Bは、前記空気供給口19を挟んでその両側に形成されている。 0A, 20B are formed on both sides of the air supply port 19.

【0034】また、中心孔62には、4つのオイルレスベアリング15a〜15dが互いに離間して固定されており、これらベアリングの対向端面間に環状の隙間63 Further, the center hole 62, four oilless bearing 15a~15d and are spaced and fixed to one another, an annular gap between the opposite end surfaces of the bearings 63
a〜63cが形成されている。 a~63c is formed. オイルレスベアリング1 Oil-less bearings 1
5aと15bとの間の隙間63aは、第1の排気口20 Gap 63a between the 5a and 15b, the first exhaust port 20
Aと連通し、オイルレスベアリング15bと15cとの間の隙間63bは、空気供給口19と連通し、オイルレスベアリング15cと15dとの間の隙間63cは、第2の排気口20Bと連通している。 It communicates with the A, the gap 63b between the oilless bearing 15b and 15c is in communication with the air supply opening 19, the gap 63c between the oilless bearings 15c and 15d communicates with the second exhaust port 20B ing. 隙間63a,63c Gap 63a, 63c
は、第1、第2の排気口20A,20Bの穴径と略同一の幅を有し、隙間63bは空気供給口19の穴径より十分に大きな幅を有している。 A first, a second exhaust port 20A, the hole diameter of 20B and substantially the same width, the gap 63b has a sufficiently large width than the diameter of the air supply ports 19.

【0035】また、前記シリンダ本体13Aの内周面には、2つの環状溝64A,64Bが前記隙間63bの両側に位置するように形成されている。 Further, the inner peripheral surface of the cylinder body 13A has two annular grooves 64A, 64B are formed so as to be positioned on opposite sides of the gap 63 b. これらの環状溝6 These annular grooves 6
4A,64Bは、シリンダ本体13Aの肉厚内に軸線方向に形成した孔65に連通孔66,67を介して連通している。 4A, 64B are communicated via a communication hole 66 into the hole 65 formed axially in the wall thickness of the cylinder body 13A. 孔65は、シリンダ本体13Aの他端面13b Hole 65, the other end surface 13b of the cylinder body 13A
に形成された不貫通孔からなり、前記空気供給口19に連通している。 Consists not through-hole formed in and communicates with the air supply port 19. 前記連通孔66,67は、それぞれシリンダ本体13Aの半径方向に形成され、内端が前記環状溝64A,64Bにそれぞれ連通し、外端が前記孔65 The communication hole 66 and 67, are formed in the radial direction of the cylinder body 13A, respectively, the annular groove 64A is an inner end, respectively communicate to 64B, the outer end hole 65
に連通している。 And it communicates with.

【0036】前記オイルレスベアリング15b,15c [0036] The oil-less bearing 15b, 15c
の対向側端部付近には、前記各環状溝64A,64Bに連通する8個の連通孔68,69がそれぞれ周方向に略等間隔おいて形成されている。 In the vicinity of the opposite end portions, said each annular groove 64A, eight communication holes 68 and 69 communicating with the 64B are formed substantially kept equal intervals in each circumferential direction. これらの連通孔68,6 These communication holes 68,6
9は、環状溝64A,64B側が大径、ピストン14側が小径に形成されている。 9, annular grooves 64A, 64B side the large-diameter piston 14 side is formed smaller in diameter.

【0037】前記カバー13B,13Cのうち一方のカバー13Bは円板状に形成され、シリンダ本体13Aの一端開口部を気密に閉塞している。 [0037] The cover 13B, one of the cover 13B of 13C is formed in a disk shape, and closing one end opening of the cylinder body 13A in an airtight manner. 他方のカバー13C Other cover 13C
はリング状に形成されることにより、ピストン14のロッド14Bがオイルレスベアリング15eを介して貫通する中心孔70を有している。 By being formed in a ring shape, a rod 14B of the piston 14 has a central hole 70 which penetrates through the oil-less bearing 15e. また、カバー13Cの内周面中央には、環状溝71が形成されている。 At the center inner peripheral surface of the cover 13C, the annular groove 71 is formed. 環状溝7 The annular groove 7
1は前記シリンダ本体13A内に形成した前記孔65に連通孔72を介して連通している。 1 communicates via a communication hole 72 into the hole 65 formed in the cylinder body 13A. 前記オイルレスベアリング15eの周面には前記環状溝71に連通する8つの連通孔73が周方向に等間隔おいて形成されている。 The oilless on the peripheral surface of the bearing 15e are formed in advance at equal intervals on the eight communication holes 73 circumferentially communicating with the annular groove 71.

【0038】前記ピストン14は、前記シリンダ本体1 [0038] The piston 14, the cylinder body 1
3Aの内部を第1、第2の室27a,27bに仕切るピストン本体14Aと、前記カバー13Cの中心孔70を貫通するロッド14Bとからなり、このロッド14Bの外端に図2に示した発電部12が取付けられている。 The first internal 3A, made from a second chamber 27a, and the piston body 14A which partitions to 27b, a rod 14B extending through the central hole 70 of the cover 13C, as shown on the outer end of the rod 14B in FIG. 2 Power part 12 is attached. ピストン本体14Aの内部には、前記空気供給口19と第1の室27aとの連通と、第1の室27aと第2の排気口20Bとの連通を切り替える第1の切替通路75と、 Inside the piston body 14A, and the air supply port 19 and the communication between the first chamber 27a, the first switching path 75 to switch the communication between the first chamber 27a and the second exhaust port 20B,
前記空気供給口19と第2の室27bとの連通と、第1 And the air supply port 19 and the communication between the second chamber 27b, the first
の排気口20Aと第2の室27bの連通を切り替える第2の切替通路76が形成されている。 Exhaust port 20A and the second switching path 76 to switch the communication of the second chamber 27b is formed. 第1の切替通路7 First switching passage 7
5は一端がピストン本体14Aの背面側(カバー13B 5 the rear side of the end piston body 14A (the cover 13B
側)受圧面に開口し、他端が周面に開口している。 Open to the side) pressure receiving surface and the other end opened to the circumferential surface. 第2 The second
の切替通路76は、一端が発電部側受圧面に開口し、他端が周面に開口している。 Switching passage 76 has one end opened to the power generation section side pressure receiving surface and the other end opened to the circumferential surface.

【0039】次に空気圧アクチュエータの動作を図8に基づいて説明する。 [0039] will be described based on the operation of the pneumatic actuator in FIG. ピストン14が図8(a)に示す最も左に移動した状態において、空気供給口19と第1の室27aは第1の切替通路75を介して連通し、第1の排気口20Aと第2の室27bは第2の切替通路76を介して連通している。 In a state where the piston 14 is moved to the leftmost shown in FIG. 8 (a), an air supply opening 19 first chamber 27a communicates through a first switching path 75, a first exhaust port 20A second the chamber 27b communicates via the second switching path 76. また、第2の室27bは第2の排気口20Bと連通し、大気に開放されている。 The second chamber 27b communicates with the second exhaust port 20B, and is open to the atmosphere. この状態において、圧縮空気は空気供給口19より第1の切替通路75を通って第1の室27aに供給されるため、第1 In this state, compressed because air is supplied to the first chamber 27a through the first switching path 75 from the air supply port 19, the first
の室27aの内圧が第2の室27bの内圧(大気圧)より高くなり、ピストン14を右方へ移動させる(同図(b))。 The internal pressure of the chamber 27a is the internal pressure of the second chamber 27b becomes higher than (the atmospheric pressure) to move the piston 14 to the right (FIG. (B)). 一定ストローク移動すると、第1、第2の排気口20A,20Bはピストン本体14Aによって閉塞され、第1の切替通路75がオイルレスベアリング15 When a certain stroke movement, first, second exhaust ports 20A, 20B is closed by the piston body 14A, the first switching path 75 is oilless bearing 15
cによって閉塞され、第2の切替通路76がオイルレスベアリング15bによって閉塞される(同図(b))。 Is closed by c, the second switching path 76 is closed by the oilless bearing 15b (FIG. (B)).
したがって、第1の室27aへの圧縮空気の供給は断たれる。 Thus, the supply of compressed air to the first chamber 27a is cut off. しかし、ピストン14は慣性によってなおも移動し続けるため、第1の室27aが第1の切替通路75を介して第1の排気口20Aと連通し、第2の切替通路7 However, since the piston 14 to continue to still moved by inertia, the first chamber 27a communicates with the first exhaust port 20A via the first switching path 75, the second switching path 7
6が隙間63bを介して空気供給口19と連通する。 6 is communicated with the air supply port 19 through the gap 63 b. したがって、第1の室27aの内圧は徐々に低下し、第2 Therefore, the internal pressure of the first chamber 27a gradually decreases, the second
の室27bの内圧は徐々に高くなる。 Internal pressure gradually increases in the chamber 27b. ピストン14が右方へ最大ストローク移動すると(同図(c))、第1の室27aは第1、第2の排気口20A,20Bに連通するため大気に開放される。 When the piston 14 is maximum stroke moves to the right (FIG. (C)), the first chamber 27a is opened to the atmosphere to communicate with the first, second exhaust ports 20A, 20B. 一方、第2の室27bは、供給空気Psの供給によって内圧が高くなるため、ピストン14を左方へ移動復帰させる(同図(d))。 On the other hand, the second chamber 27b, since the internal pressure is increased by the supply of supply air Ps, moving returning the piston 14 to the left (FIG. (D)). ピストン14が左方へ移動する途中において、第1の切替通路75は第1の室27aと空気供給口19を連通させる。 In the course of the piston 14 is moved to the left, the first switching path 75 communicates the first chamber 27a and the air supply port 19.
また、第2の切替通路76は空気供給口19と第2の室27bとの連通を遮断し、第2の室27bが第2の排気口20Bに連通する。 The second switching path 76 is cut off the communication between the air supply port 19 and the second chamber 27b, a second chamber 27b communicates with the second exhaust port 20B. したがって、第1の室27aに圧縮空気が第1の切替通路75を通って供給されるようになるが、第1の室27aの圧力が第2の室27bの圧力より高くなるまでは慣性によって移動し続け、(a)図に示す初期位置に復帰する。 Therefore, although compressed air to the first chamber 27a is to be supplied through the first switching path 75, until the pressure in the first chamber 27a is higher than the pressure of the second chamber 27b by inertial It continues to move to return to the initial position shown in (a) FIG. そして、ピストン14はこのような直線往復運動を繰り返し連続して行う。 Then, the piston 14 is performed continuously by repeating such linear reciprocating motion.

【0040】この場合、本実施の形態においては、図6 [0040] In this case, the present embodiment, FIG. 6
に示すように、空気供給口19に供給される圧縮空気の一部を孔65−連通孔66,67−環状溝68,69を介してオイルレスベアリング15a〜15dとピストン本体14Aとの隙間に供給すると当時に、孔65−連通孔72−環状溝71を介してオイルレスベアリング15 As shown in a part of the compressed air supplied to the air supply port 19 through the hole 65 and the communication hole 66,67- annular groove 68, 69 in the gap between the oil-less bearing 15a~15d and the piston body 14A at that time is supplied, the oilless bearing 15 through the hole 65 and hole 72-annular groove 71
eとロッド14Bとの隙間に供給し、この空気によって静圧空気軸受を構成しているので、ピストン14をオイルレスベアリング15a〜15eに対して非接触状態で軸支でき、ピストン14やオイルレスベアリング15a Fed into the gap between the e and the rod 14B, since constitute the aerostatic bearing by the air, the piston 14 can be rotatably supported in a non-contact state with respect to the oilless bearing 15a to 15e, the piston 14 and oilless bearing 15a
〜15eの摩耗を解消することができる。 It is possible to eliminate the wear of ~15E. したがって、 Therefore,
上記した実施の形態に比べて信頼性を一層向上させることができる。 The reliability can be further improved as compared to the embodiment described above.

【0041】図9は空気圧アクチュエータ部の第3の実施の形態を示す断面図である。 FIG. 9 is a sectional view showing a third embodiment of the pneumatic actuator portion. この実施の形態は、シリンダ本体13Aの他端側(発電部側)開口部を排気口2 This embodiment, the other end of the cylinder body 13A (power side) openings outlet 2
0とし、オイルレスベアリング15の数を2つ少なくした点が図2に示した実施の形態と異なり、その他の構造は略同一である。 0, and unlike the embodiment that has the number of oilless bearing 15 two small shown in FIG. 2, other structures are substantially the same.

【0042】このような構造においては、シリンダ13 [0042] In this structure, the cylinder 13
の長さを短縮することができ、小型の空気圧アクチュエータ部とすることができる。 It is possible to shorten the length of, can be a small pneumatic actuator unit.

【0043】図10は空気圧アクチュエータ部の第4の実施の形態を示す断面図である。 [0043] FIG. 10 is a sectional view showing a fourth embodiment of the pneumatic actuator portion. この実施の形態は、シリンダ本体13Aに空気供給口19と空気軸受用の排気口81を設け、カバー13Cの中心孔70を駆動用排気口20とし、オイルレスベアリングの代わりにピストン本体14Aとロッド14Bの外周にラビリンスシール8 This embodiment, the air supply port 19 and exhaust port 81 of the air bearing provided in the cylinder body 13A, a center hole 70 of the cover 13C and the driving outlet 20, the piston body 14A and the rod instead of oilless bearings labyrinth seal 8 on the outer periphery of the 14B
2を設け、これによって動圧空気軸受を形成したものである。 2 is provided, whereby is obtained by forming a dynamic pressure air bearing. また、シリンダ本体13Aの穴径を全長にわたって同一にし、ピストン14の内部に一端がシリンダ本体14Aの背面に開口し他端が周面に開口する孔83を設け、この孔83によって第1、第2の室27a,27b Further, the same over the entire length of the diameter of the cylinder body 13A, a hole 83 inside the one open end to open the other end peripheral surface on the rear of the cylinder body 14A of the piston 14 is provided, first by the hole 83, the 2 of the chamber 27a, 27b
を連通させている。 And to communicate with each other.

【0044】このような構造においては、動圧空気軸受を用いているので、オイルレスベアリングが不要で、部品点数を削減することができる。 [0044] In such a structure, because of the use of dynamic pressure air bearing, oil-less bearings is not required, it is possible to reduce the number of parts. また、ピストン14をシリンダ13に対して非接触状態で軸支でき、これらの摩耗を解消することができる。 Further, the piston 14 can be rotatably supported in a non-contact state with respect to the cylinder 13, it is possible to eliminate these wear.

【0045】図11は発電部の第2の実施の形態を示す断面図である。 [0045] Figure 11 is a sectional view showing a second embodiment of the power generation unit. この実施の形態は、ヨーク37の内周に固定コイル90を設け、コイル38の移動に伴って固定コイル90に起電力を発生させ、ケーブル42によって電源供給回路9に供給するようにしている。 This embodiment is a provided fixed coil 90 on the inner periphery of the yoke 37, along with the movement of the coil 38 to generate electromotive force in the stationary coil 90, and then supplied to the power supply circuit 9 by a cable 42. その他の構造は、図2に示した発電部12と同一である。 Other structure is the same as the power generating unit 12 shown in FIG.

【0046】図12は発電部の第3の実施の形態を示す断面図である。 [0046] FIG. 12 is a sectional view showing a third embodiment of the power generation unit. この実施の形態は、ヨーク37を両端開放の円筒体に形成し、その内周に2つの固定コイル90 This embodiment forms a yoke 37 to the cylindrical body of the open ends, two fixed coils 90 around the inner periphery
A,90Bを軸線方向に離間させて配設し、ピストン1 A, by separating the 90B axially disposed, the piston 1
4の先端に前記ヨーク37とともに磁気回路を形成する2つのポールピース39およびマグネット40を配設している。 The yoke 37 with four of the tip are provided two pole pieces 39 and the magnet 40 forming a magnetic circuit. ポールピース39はマグネット40の両磁極面にそれぞれ固定されている。 Pole pieces 39 are fixed to both pole faces of the magnet 40. すなわち、この実施の形態は、コイル90A,90Bを固定し、ポールピース39 That is, this embodiment, fixed coil 90A, the 90B, the pole piece 39
とマグネット40を往復移動させることにより、固定コイル90A,90Bに起電力を発生させるようにしたものである。 And by reciprocating the magnet 40, the fixed coil 90A, it is obtained so as to generate an electromotive force 90B.

【0047】図13は発電部の第4の実施の形態を示す断面図である。 [0047] Figure 13 is a sectional view showing a fourth embodiment of the power generation unit. この実施の形態は、磁気回路44を構成するヨーク37、ポールピース39およびマグネット4 This embodiment includes a yoke 37 constituting a magnetic circuit 44, the pole piece 39 and the magnet 4
0を一体的に結合して取付けねじ43によりピストン1 0 piston 1 by attaching screws 43 to integrally couple the
4の先端面に取付け、コイル38のボビン41を容器3 Attached to the tip end face 4 of the container 3 and the bobbin 41 of the coil 38
(図1)に固定し、磁気回路44をピストン14によって往復移動させることにより、コイル38に起電力を発生させるようにしたものである。 Fixed (FIG. 1), by reciprocating the magnetic circuit 44 piston 14 is obtained by so as to generate an electromotive force in the coil 38.

【0048】本発明に係る電源供給装置は前例がないので、製品を設計するに当たっての指針が不明である。 [0048] Since the present invention the power supply device is unprecedented in accordance with, guidance in designing the product is unknown. そこで、設計指針を得るために以下の通りの動作解析を行った。 Therefore, we Analysis of following in order to obtain a design guideline. 動作解析にあたっては、図2に示した電源供給装置を製作し、その各変数を用いて非線形モデルを得た。 In operation analysis, to manufacture a power supply apparatus shown in FIG. 2, to obtain a non-linear model using the respective variable.
この非線形モデルは、図14に示す基礎式によって示されるものである。 The nonlinear model is represented by the basic formulas shown in Figure 14. なお、Φはピストン14の往復運動方向と水平面とのなす角である(ピストン14が水平の場合はΦ=0)。 Incidentally, [Phi is the angle between the reciprocating direction and the horizontal plane of the piston 14 (= 0 if the piston 14 is horizontal [Phi). また、比例定数C eおよびC iは、理論的にはBlに等しくなる(Bは磁束密度、lはコイル等の導体長さ)。 Further, the proportionality constant C e and C i is equal to Bl theoretically (B is the magnetic flux density, l is the conductor length of the coil, etc.).

【0049】この非線形モデルが適正かどうかを検証するため、基礎式に基づく計算結果(2次のルンゲクッタ法を使用)と、実際に試作した製品による計測結果とを対比した。 [0049] For this reason the non-linear model to verify whether proper, and based on the basic equations calculation result (second-order using the Runge-Kutta method), was comparing the measurement result by the actual prototype product.

【0050】図15にその計測結果と非線形シミュレーションとの対比を示す。 [0050] Figure 15 shows a comparison between the measurement result and the non-linear simulation. 図中、実線は実際に計測した結果、破線は図14に示す非線形モデルの数式を用いて数値計算により算出した結果である。 In the figure, the result solid line of actual measurement and the broken line shows the result of calculation by numerical calculation using the equations of the nonlinear model shown in FIG. 14. 図15に示す通り、 As shown in FIG. 15,
数値計算結果は実測値に良く一致しており、上記のモデル化が適正に行われていることが判った。 Numerical results are well consistent with the measured values, it was found that the modeling is performed properly.

【0051】非線形モデルを数値計算することで、空気圧アクチュエータの応答の様相は得ることができるが、 [0051] By numerical nonlinear model calculation can be obtain aspects of the response of the pneumatic actuator,
振動数、振幅等の振動状態とピストンの質量、供給圧力等の諸パラメータとの関係は不明確である。 Frequency, vibrational state and the piston of the mass of the amplitude, etc., of the factors parameters such as supply pressure is unclear. そこで、非線形モデルの扱いを容易にすることを目的として、適正な平衡点を与えて線形化を行う。 Therefore, for the purpose of facilitating the handling of non-linear models, it performs linearization gives proper balance point.

【0052】平衡化を [0052] The equilibration

【数1】 [Number 1] のようにとる。 Take as.

【0053】圧力は運動方程式より加速度がゼロとなる圧力、変位は充填・放出工程の切換えが起こる位置をもって平衡値とする。 [0053] The pressure is the pressure which becomes acceleration zero than motion equation, displacement and equilibrium value with a position where the switching of the filling and discharge process takes place. 平衡値に対する変化をΔによって表すと、線形化の基礎式は以下のようになる。 Expressed by the changes to the equilibrium value delta, basic linearization equation is as follows.

【0054】<運動方程式> [0054] <equation of motion>

【数2】 [Number 2]

【0055】<質量保存則> [0055] <law of conservation of mass>

【数3】 [Number 3]

【0056】<状態方程式> [0056] <state equation>

【数4】 [Number 4]

【0057】<エネルギー方程式(断熱変化)> [0057] <energy equation (adiabatic change)>

【数5】 [Number 5]

【0058】<流量式> [0058] <flow rate formula>

【数6】 [6]

【0059】<誘導起電力> [0059] <induced electromotive force>

【数7】 [Equation 7]

【0060】<キルヒホッフの電圧則> [0060] <Kirchhoff's voltage law>

【数8】 [Equation 8]

【0061】<運動方程式> [0061] <equation of motion>

【数9】 [Equation 9]

【0062】これらの基礎式にラプラス変換を施し、ブロック線図として示すと、図16のようになる。 [0062] subjected to a Laplace transform to these basic equations, when expressed as a block diagram, it is shown in Figure 16.

【0063】また、図16におけるリレー要素の詳細を図17に示す。 [0063] Further, FIG. 17 shows details of the relay elements in FIG.

【0064】波形は2回のリレーの切換えで1周期T= [0064] waveform in the switching of the two relay 1 period T =
2π/ωとなる周期的波形となる。 A periodic waveform to be 2π / ω. 図17におけるγ γ in Figure 17
は、1回目の切換えが起こる間での時間が1周期に対して何処に位置するかを示す係数である。 Is the time between the first switching occurs is a coefficient indicating whether the position where for one cycle. 例えば、1回目の切換えが半周期で起きれば、γ=0.5である。 For example, first switchover if Okire half cycle, a gamma = 0.5.

【0065】線形部の伝達係数Zp(s)は、 [0065] transfer coefficient of the linear portion Zp (s) is

【数10】 [Number 10] となる。 To become. ここで、R'=R l +rC'=C eiである。 Here, an R '= R l + rC' = C e C i.

【0066】また、リレー要素出力(外部接続圧力)から回路に流れる電流までの伝達関数Z i (s)を求めると、 [0066] Further, when obtaining the relay element output transfer from (external connection pressure) until the current flowing through the circuit function Z i (s),

【数11】 [Number 11] となる。 To become.

【0067】〔フーリエ級数展開を用いた解析〕発電部はブロック線図から判るように1次遅れ形として表されるが、本装置における時定数L/R'=L(R l +r) [0067] While [Fourier series expansion Analysis Using] power generating unit is expressed as a first-order lag type As can be seen from the block diagram, the time constant of the device L / R '= L (R l + r)
を計算すると、0.53[ms]と非常に小さいことが判る。 Calculating the, it can be seen that very small as 0.53 [ms]. これは、本装置におけるインダクタンスが回路インピーダンスに比べて非常に小さいことに起因する。 This inductance in the apparatus due to the very small compared to the circuit impedance. この時定数が空気圧アクチュエータの応答速度に対して十分に速いことからこれを無視し、発電部の1次遅れ要素のゲインであるC'/R'によって置き換える。 This time constant is ignored by the fact sufficiently fast with respect to the response speed of the pneumatic actuator, replaced by C '/ R' is a gain of the first-order lag element of the power generation unit.

【0068】これにより、線形部ピストン変位までの伝達関数、および発生電流までの伝達関数は、 [0068] Thus, a transfer function of a transfer function, and generates a current of up to a linear portion piston displacement,

【数12】 [Number 12]

【数13】 [Number 13] と簡略化される。 It is simplified with.

【0069】得られた伝達関数を用いて、フーリエ級数展開を用いた解析法で振動状態(振動数、振幅、発生電圧振幅)を求める。 [0069] Using the obtained transfer function, the vibration state in the analysis method using the Fourier series expansion (frequency, amplitude, generated voltage amplitude) is obtained. 図16に示すリレー要素出力波形をフーリエ級数に展開すると、 When the relay element output waveform shown in FIG. 16 deployed to Fourier series,

【数14】 [Number 14] となる。 To become.

【0070】ピストン変位はゲインZ p0 (ω)、位相θ [0070] The piston displacement gain Z p0 (ω), the phase θ
p (ω)を用いることで、 By using the p (ω),

【数15】 [Number 15] となる。 To become.

【0071】自励振動の発生条件は、各切換え時間において変位が等しく、ここではゼロとなる条件より次式で表される。 [0071] Condition of self-excited vibration, the displacement at each switching time is equal, here represented by the following formula from the condition becomes zero.

【数16】 [Number 16]

【0072】また、図16より判るように、1回目と2 [0072] In addition, as can be seen from FIG. 16, first time and the second
回目の切替時点において運動の方向が逆となることも自励振動の発生条件となる。 The direction of movement is reversed at the switching point of the round eyes also a generation condition of self-excited vibration. この切換方向の条件は、ピストン速度を用いるので、 Since the conditions of the switching direction is used piston speed,

【数17】 [Number 17]

【0073】(15)式のフーリエ級数の高調波成分を無視して基本調波成分のみを用い、自励振動の発生条件にこれを代入することで、振動数、振幅が次式で表される。 [0073] (15) using only the fundamental harmonic components ignore the harmonic components of the Fourier series of expression, by substituting this into generation condition of self-excited vibration, frequency, amplitude is represented by the following formula that.

【0074】フーリエ級数展開を用いた解析結果(振動数、振幅) [0074] Fourier series expansion analysis using the results (frequency, amplitude)

【数18】 [Number 18]

【数19】 [Number 19]

【0075】一方、電流までの伝達関数(13)式のゲインZ i0は、 [0075] On the other hand, the gain Z i0 of the transfer function (13) until the current is

【数20】 [Number 20] となる。 To become.

【0076】この(20)式に(18)式の振動数を代入し、入力となる外部接続圧力の振幅((14)式より) [0076] The (20) by substituting the frequency of expression (18), the amplitude of the input external connection pressure ((14) from the equation)

【数21】 [Number 21] を乗じることで電流振幅 Current amplitude by multiplying the

【数22】 [Number 22] が得られる。 It is obtained.

【0077】オームの法則(i=e R /R l )より、これに外部負荷抵抗R lを乗じることで実験にて測定データとなる電圧振幅 [0077] Ohm's law (i = e R / R l ) than the voltage amplitude to be measured data at experiments in this by multiplying the external load resistance R l

【数23】 [Number 23] が次式で得られる。 There is obtained by the following equation. 負荷抵抗における電圧振幅 Voltage amplitude at the load resistor

【数24】 [Number 24]

【0078】上記した発電を考慮したアクチュエータのモデル解析結果からして、電源供給装置の一部として空気圧アクチュエータを設計する際には、下記に示す3つの主要特性の線形近似式 [0078] In the model analysis results of an actuator in consideration of the power generation as described above, when designing a pneumatic actuator as part of the power supply device, a linear approximation equation of the three major characteristics shown below

【数25】 [Number 25]

【数26】 [Number 26]

【数27】 [Number 27] を利用して、要求発電量に対して供給空気消費量が必要最小限になるようにアクチュエータを設計するための指針とする。 Utilizing, and guidance for designing the actuator as supplied air consumption is the minimum necessary for the request power generation amount.

【0079】上記式に用いた記号を表1に示す。 [0079] Table 1 shows the symbols used in the formula. 各使用記号に対して添字を付して特定の変数を示す場合がある。 It may indicate specific variables are denoted by the subscript for each use symbols.

【表1】 [Table 1]

【0080】なお、上記した実施の形態においては圧力計に適用した例を示したが、本発明はこれに限らず現場型の差圧・圧力発信器等にも適用実施し得ることはもちろんである。 [0080] Incidentally, in the above-described embodiment shows an example of application of the pressure gauge, but the present invention can be applied implemented field type differential-pressure transmitter or the like is not limited to this of course is there.

【0081】 [0081]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る電源供給装置およびそれを用いたシステムは、シリンダとピストンとからなり、圧縮空気の供給によって前記ピストンを直線往復運動させる空気圧アクチュエータ部と、前記ピストンの直線往復運動をコイルと磁気回路の相対往復運動に変換して発電を行う発電部とで構成したので、高圧側と低圧側を密閉した状態でエネルギー変換を行うことができ、少ない空気消費量で高いエネルギー変換効率を得ることができる。 System using the power supply device and the same according to the present invention, as described above, according to the present invention is composed of a cylinder and a piston, a pneumatic actuator portion to linearly reciprocate the piston by the supply of compressed air, the since the linear reciprocating motion of the piston is constituted by a power generating unit for generating electric power by converting the relative reciprocating movement of the coil and the magnetic circuit, it is possible to perform the energy conversion while sealing a high pressure side and low pressure side, less air consumption it is possible to obtain a high energy conversion efficiency in an amount. また、構造が簡単で部品点数および摩耗が少なく、高い信頼性を得ることができる。 Further, it is possible to structure the number of parts and wear easy less, to obtain a high reliability.

【0082】また、本発明は、シリンダとピストンとの間に静圧空気軸受を設けたので、ピストンをシリンダに対して非接触で直線往復運動させることができる。 [0082] The present invention also is provided with the static pressure air bearing between the cylinder and the piston can be linearly reciprocated in a non-contact piston relative to the cylinder. したがって、摩耗がなく、高い信頼性を得ることができる。 Therefore, wear no, it is possible to obtain high reliability.

【0083】さらに、本発明は、シリンダとピストンとの間に動圧空気軸受を設けたので、ピストンをシリンダに対して非接触で直線往復運動させることができる。 [0083] Furthermore, the present invention is provided with the dynamic pressure air bearing between the cylinder and the piston, the piston can be linearly reciprocated in a non-contact with respect to the cylinder. したがって、摩耗がなく、高い信頼性を得ることができる。 Therefore, wear no, it is possible to obtain high reliability.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 本発明を現場型圧力計に適用したシステムの一実施の形態を示す断面図である。 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a system in which the present invention is applied to the field-type pressure gauge.

【図2】 同電源供給装置の断面図である。 2 is a cross-sectional view of the power supply device.

【図3】 電源供給回路を示す図である。 3 is a diagram illustrating a power supply circuit.

【図4】 発電部の電気回路図である。 Figure 4 is an electrical circuit diagram of the power generation unit.

【図5】 (a)〜(d)は空気圧アクチュエータ部の動作を示す図である。 [5] (a) ~ (d) are diagrams showing the operation of the pneumatic actuator portion.

【図6】 空気圧アクチュエータ部の第2の実施の形態を示す断面図である。 6 is a sectional view showing a second embodiment of the pneumatic actuator portion.

【図7】 図6のVII −VII 線断面図である。 7 is a VII -VII line cross-sectional view of FIG.

【図8】 (a)〜(d)は空気圧アクチュエータ部の動作を示す図である。 8 (a) ~ (d) are diagrams showing the operation of the pneumatic actuator portion.

【図9】 空気圧アクチュエータ部の第3の実施の形態を示す断面図である。 9 is a sectional view showing a third embodiment of the pneumatic actuator portion.

【図10】 空気圧アクチュエータ部の第4の実施の形態を示す断面図である。 10 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment of the pneumatic actuator portion.

【図11】 発電部の第2の実施の形態を示す断面図である。 11 is a sectional view showing a second embodiment of the power generation unit.

【図12】 発電部の第3の実施の形態を示す断面図である。 12 is a sectional view showing a third embodiment of the power generation unit.

【図13】 発電部の第4の実施の形態を示す断面図である。 13 is a sectional view showing a fourth embodiment of the power generation unit.

【図14】 非線形モデルを示す図表である。 14 is a table showing the non-linear model.

【図15】 実測値と数値計算結果を示す図である。 15 is a graph showing measured values ​​and numerical results.

【図16】 非線形モデルを線形化して得られたブロック線図である。 16 is a block diagram obtained by a nonlinear model linearized.

【図17】 リレーブロックの詳細を示す図である。 FIG. 17 is a diagram showing the details of the relay block.

【図18】 ベーン型空気圧モータの断面図である。 18 is a cross-sectional view of the vane-type air motor.

【図19】 空気タービンの断面図である。 19 is a cross-sectional view of the air turbine.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2…圧力計、8…電源供給装置、11…空気圧アクチュエータ部、12…発電部、13…シリンダ、14…ピストン、37…ヨーク、38…コイル、39…ポールピース、40…マグネット、44…磁気回路。 2 ... pressure gauge, 8 ... power supply device, 11 ... pneumatic actuator portion, 12 ... Power unit, 13 ... cylinder, 14 ... piston, 37 ... York, 38 ... coil, 39 ... pole piece, 40 ... magnet, 44 ... magnetic circuit.

Claims (4)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 シリンダとピストンとを備えて圧縮空気の供給によって前記ピストンを直線往復運動させる空気圧アクチュエータ部と、前記ピストンの直線往復運動をコイルと磁気回路の相対往復運動に変換して発電を行う発電部とを具備したことを特徴とする電源供給装置。 And 1. A pneumatic actuator unit to linearly reciprocate the piston by the supply of compressed air and a cylinder and a piston, the power generation by converting the linear reciprocating motion of the piston relative reciprocation of the coil and the magnetic circuit power supply apparatus being characterized in that includes a power generation unit that performs.
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電源供給装置において、 シリンダとピストンとの間に静圧空気軸受を設けたことを特徴とする電源供給装置。 2. A power supply device according to claim 1, the power supply apparatus characterized in that a static pressure air bearing between the cylinder and the piston.
  3. 【請求項3】 請求項1記載の電源供給装置において、 シリンダとピストンとの間に動圧空気軸受を設けたことを特徴とする電源供給装置。 3. A power supply device according to claim 1, the power supply apparatus characterized in that a dynamic pressure air bearing between the cylinder and the piston.
  4. 【請求項4】 請求項1,2または3記載の電源供給装置と、この電源供給装置から電力が供給される被供給側装置とを備えたことを特徴とするシステム。 4. A system comprising: the power supply device according to claim 1, wherein, a the supply-side device to which power is supplied from the power supply device.
JP2000315178A 2000-10-16 2000-10-16 Power supply apparatus and system employing the apparatus Pending JP2002125357A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000315178A JP2002125357A (en) 2000-10-16 2000-10-16 Power supply apparatus and system employing the apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000315178A JP2002125357A (en) 2000-10-16 2000-10-16 Power supply apparatus and system employing the apparatus
PCT/JP2001/008979 WO2002033811A1 (en) 2000-10-16 2001-10-12 Power supply device and system with the device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002125357A true JP2002125357A (en) 2002-04-26

Family

ID=18794324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000315178A Pending JP2002125357A (en) 2000-10-16 2000-10-16 Power supply apparatus and system employing the apparatus

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2002125357A (en)
WO (1) WO2002033811A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009098970A1 (en) * 2008-02-07 2009-08-13 Takaitsu Kobayashi Linear generator
JP2015061481A (en) * 2013-09-20 2015-03-30 スミダコーポレーション株式会社 Electromagnetic generator and linear motion actuator mounted with the same
JP2018504580A (en) * 2015-01-15 2018-02-15 浙江大学Zhejiang University 3D standard shaking table based on hydrostatic gas floating decoupling device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2439411B (en) 2007-04-27 2008-07-23 Perpetuum Ltd An electromechanical generator for converting mechanical vibrational energy into electrical energy
DE102010054878A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Samson Aktiengesellschaft Electropneumatic field device
GB2541485B (en) * 2016-04-14 2017-08-23 Libertine Fpe Ltd Actuator module

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61503000A (en) * 1981-08-17 1986-12-18
JPH05176501A (en) * 1991-12-25 1993-07-13 Honda Eng Co Ltd Reciprocating vibration generator

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009098970A1 (en) * 2008-02-07 2009-08-13 Takaitsu Kobayashi Linear generator
CN103023207A (en) * 2008-02-07 2013-04-03 小林隆逸 Linear generator
US8610320B2 (en) 2008-02-07 2013-12-17 Takaitsu Kobayashi Linear generator having a fluid pressure cylinder structure
US8680724B2 (en) 2008-02-07 2014-03-25 Takaitsu Kobayashi Linear generator having a fluid pressure cylinder structure
KR20150045536A (en) * 2008-02-07 2015-04-28 다카이쓰 고바야시 Linear generator
KR101876256B1 (en) 2008-02-07 2018-08-02 다카이쓰 고바야시 Linear generator
JP2015061481A (en) * 2013-09-20 2015-03-30 スミダコーポレーション株式会社 Electromagnetic generator and linear motion actuator mounted with the same
JP2018504580A (en) * 2015-01-15 2018-02-15 浙江大学Zhejiang University 3D standard shaking table based on hydrostatic gas floating decoupling device

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002033811A1 (en) 2002-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5398554A (en) Coriolis flowmeter with natural frequency adjusting means engaged with the counterbalancing conduit
US4420983A (en) Mass flow measurement device
CA2487835C (en) Speed and fluid flow controller
US3218851A (en) Mass flowmeter systems
US4847556A (en) Eddy current clearance transducing system
Lu et al. Desired compensation adaptive robust control of a linear-motor-driven precision industrial gantry with improved cogging force compensation
RU2276397C2 (en) Self-centering magnetic assembly for device for measuring linear displacement
Tsubone et al. Flow characteristics of dc wire-non-parallel plate electrohydrodynamic gas pumps
JP4441627B2 (en) Pressure sensor dynamic calibration apparatus and dynamic calibration method
CA2485458C (en) Gas turbine engine with active tip clearance control
US4457179A (en) Differential pressure measuring system
Selden et al. Comparison of force balance calibration techniques for the nano-Newton range
US20110020156A1 (en) Gaseous fluid pump
US7245101B2 (en) System and method for monitoring and control
JP2006500557A (en) Detection and measurement of two-phase fluid flow
JP2002539380A (en) Rotation - operating blur - controllable air device and a control method thereof include magnetic field response media key
US6882924B2 (en) Valve flow control system and method
Aenis et al. Active magnetic bearings for the identification and fault diagnosis in turbomachinery
Brooks Design and development of flow based electro-rheological devices
Wang et al. Electromagnetic energy harvesting from flow induced vibration
JP2003121332A (en) Apparatus and method for determining viscosity of fluid
Zhu et al. Rotordynamic performance of flexure pivot hydrostatic gas bearings for oil-free turbomachinery
Wittig et al. Scaling effects on leakage losses in labyrinth seals
US20070185661A1 (en) Measurement method and arrangement
US9394895B2 (en) Multi-range on-site full-automatic pressure calibration instrument