JP2002117516A - Structure for connecting and packaging magnetic head slider, and its manufacturing method - Google Patents

Structure for connecting and packaging magnetic head slider, and its manufacturing method

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JP2002117516A
JP2002117516A JP2000314424A JP2000314424A JP2002117516A JP 2002117516 A JP2002117516 A JP 2002117516A JP 2000314424 A JP2000314424 A JP 2000314424A JP 2000314424 A JP2000314424 A JP 2000314424A JP 2002117516 A JP2002117516 A JP 2002117516A
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tape
electrode
suspension
mounting
connection
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JP2000314424A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Serizawa
弘二 芹沢
Masaaki Okunaka
正昭 奥中
Ichiro Miyano
一郎 宮野
Masaaki Matsumoto
真明 松本
Yukimori Umagoe
幸守 馬越
Kazuma Miura
一真 三浦
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package structure and a manufacturing method by which high package density, cost reduction and high throughput are realized, and to provide a low-temperature connecting structure and method for the future. SOLUTION: The assembling man-hours are reduced by tape feeding, and the throughput is improved by the simultaneous connection of slider units. Reliability is secured by flexible connection made by a connecting structure using a tape. Microfabrication is achieved by the technology of forming a circuit pattern on the tape, and recognition accuracy is improved by a transparent tape. A connection temperature is reduced by connection made by using ultraviolet rays or the like.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録装置に用
いられる磁気ヘッドの構造に係わり、特にディスクの信
号の入出力用のスライダ素子と配線一体型のサスペンシ
ョンの微細且つ高効率の組立を行うための構造、及びそ
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of a magnetic head used in a magnetic recording apparatus, and more particularly to a fine and highly efficient assembly of a slider integrated with a slider element for input / output of a disk signal and a wiring. And a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置はパーソナルコンピュ
ータ等に代表される情報機器の小形、高機能化などに伴
い、小形化、高記録密度化及び低コスト化が必須の状況
にある。
2. Description of the Related Art With the miniaturization and high functionality of information devices represented by personal computers and the like, magnetic disk devices are in a situation where miniaturization, high recording density and low cost are essential.

【0003】図1にディスク装置のイメージ図を示す
が、円盤状のディスクには読み込み、書き出しをセンシ
ングするスライダ素子とそれを支えるサスペンションが
突き出た構造になっている。
FIG. 1 shows an image diagram of a disk device. A disk-shaped disk has a structure in which a slider element for sensing reading and writing and a suspension for supporting the slider element are projected.

【0004】このサスペンション部分を拡大して示した
のが図2である。サスペンションは板バネ構造になって
おり、先端部分にスライダ素子が実装されている。この
ような構造をとる理由は、センシングにはディスクとス
ライダの間隔をマイクロメータレベルに制御する必要が
あるためで、高速で回転するディスクの風圧などに対し
て安定に浮上している必要がある。
FIG. 2 is an enlarged view of the suspension portion. The suspension has a leaf spring structure, and a slider element is mounted on a tip portion. The reason for adopting such a structure is that it is necessary to control the distance between the disk and the slider to a micrometer level for sensing, and it is necessary to stably float against the wind pressure of the disk rotating at a high speed. .

【0005】しかし近年記録密度の向上に伴い、この間
隔は益々狭くなる傾向にあり、スライダからの信号の入
出力の方法が問題になってきた。即ち図2に示した如
く、従来は細い絶縁被覆ワイヤなどを用いて直接スライ
ダ素子にワイヤボンディングするのが一般的な方法であ
ったが、ワイヤの剛性、重量などがスライダ全体のバネ
特性に影響を与え、ひいては浮上特性に悪影響を与える
ことが懸念されている。このため図3に示したように、
サスペンション上にポリイミド樹脂などで絶縁処理を施
し、その上に回路パターンを形成し、さらに接続用の電
極部を除いて絶縁保護膜を設けた、いわゆる配線一体型
サスペンションが登場した。このため接続構造やその方
法を新たに開発する必要があった。
[0005] However, in recent years, as the recording density has been improved, this interval tends to be further narrowed, and a method of inputting / outputting a signal from a slider has become a problem. In other words, as shown in FIG. 2, conventionally, wire bonding was directly performed on the slider element using a thin insulated wire, but the rigidity and weight of the wire affect the spring characteristics of the entire slider. And, consequently, adversely affect the flying characteristics. Therefore, as shown in FIG.
A so-called wiring-integrated suspension has appeared, in which a suspension is insulated with a polyimide resin or the like, a circuit pattern is formed thereon, and an insulating protective film is provided except for a connection electrode portion. Therefore, it was necessary to newly develop a connection structure and a method thereof.

【0006】これに対し、図4、図5、図6などが提案
され、一部は実用化されている。しかしいずれの方法も
以下に示すように一長一短がある。
On the other hand, FIGS. 4, 5 and 6 have been proposed and some of them have been put to practical use. However, each method has advantages and disadvantages as described below.

【0007】図4の方法はAuワイヤボンディング法で
ある。これはスライダ素子電極側を一般の半導体素子の
接続に用いられているようにAuワイヤでボールボンド
し、ワークを90度回転させ、サスペンション側をステ
ィッチボンディングする方法であり、ボンディング方向
が90度である点を除くと半導体などで多用されている
方式と基本的には同じであり、接続の信頼性は高いこと
が予想される。しかし、ボンディング方向が90度異な
ることから、装置の複雑化する、スループットが上がら
ない等のコスト上の問題点がある。
FIG. 4 shows an Au wire bonding method. This is a method in which the slider element electrode side is ball-bonded with an Au wire as used for connection of a general semiconductor element, the work is rotated by 90 degrees, and the suspension side is stitch-bonded. Except for a certain point, the method is basically the same as the method frequently used in semiconductors and the like, and it is expected that connection reliability is high. However, since the bonding directions are different by 90 degrees, there are problems in cost such as complexity of the apparatus and increase in throughput.

【0008】図5の方法は、図4と同じAuのワイヤボ
ンディングを利用した方法であるが、ボールを45度方
向からボンディングして、一回のボンディングでスライ
ダとサスペンションの両方を接続する方法であり、図4
の方法と比較すればスループットは格段に優れている。
しかし90度傾いた面に45度方向から同時接続するこ
とになり、両方の電極面の清浄度の違いや、超音波出力
の均一付加が必要であり、ボンディングの信頼性確保が
難しいなどの問題点がある。
The method shown in FIG. 5 uses the same Au wire bonding as that shown in FIG. 4, but uses a method in which a ball is bonded from a 45 ° direction and both the slider and the suspension are connected by a single bonding. Yes, FIG. 4
The throughput is much better than that of the above method.
However, simultaneous connection from a 45-degree direction to a surface inclined at 90 degrees results in a difference in the cleanliness of both electrode surfaces and the need for uniform addition of ultrasonic output, making it difficult to ensure bonding reliability. There is a point.

【0009】一方図6の方法はサスペンション側のパタ
ーンの先端を片持ち梁状に浮かした構造とし、スライダ
を押しつけて90度立ち上がらせた状態でリードボンデ
ィングする方法であり、半導体パッケージのTCP(T
ape Carrier package)の技術を応
用したものである。
On the other hand, the method shown in FIG. 6 is a method in which the tip of the pattern on the suspension side is made to float in a cantilever shape, and the slider is pressed and raised 90 degrees to perform lead bonding.
This is an application of the technology of A. Carrier package.

【0010】この方法ではスループット、信頼性とも良
好であると考えられるがサスペンションの加工費の大幅
増加が考えられコストアップになるなどの実用上の問題
点がある。
Although this method is considered to be good in both throughput and reliability, there is a practical problem that the processing cost of the suspension is greatly increased and the cost is increased.

【0011】以上の如くいずれの方法も問題点を抱えて
おり、これらを総合的に解決できる新たな接合構造と方
式の考案が望まれていた。
As described above, all the methods have problems, and there has been a demand for a new joint structure and method which can solve these problems comprehensively.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の高密度
実装化、低コスト高スループットを実現する実装構造と
製造方法及び将来を見込んだ低温度接続構造と方法を合
わせて解決することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a mounting structure and a manufacturing method for realizing the above-mentioned high-density mounting, low cost and high throughput, and a low temperature connection structure and a method for the future. And

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】導電性ポリマー、低融点
金属、あるいは異方性導電材料などを用いた接続用パタ
ーンを透明テープ上に形成し、スライダ毎の一括接続と
テープ状での自動供給を前提にして、低温度接続、高ス
ループットを達成し、しかもテープの製造にはフレキシ
ブルプリント配線や、TCP技術の簡単な応用により、
高密度、低コストの接続構造、プロセスおよびこれを用
いた磁気ディスク装置を提供する。
A connecting pattern using a conductive polymer, a low-melting metal, or an anisotropic conductive material is formed on a transparent tape, and the sliders are collectively connected and automatically supplied in a tape form. Based on the premise of achieving low-temperature connection and high-throughput, tape manufacturing is based on flexible printed wiring and simple application of TCP technology.
A high-density, low-cost connection structure and process and a magnetic disk drive using the same are provided.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】<実施例1>図7に本発明の一実
施例を示す。ポリプロピレン製の50μm厚さの透明テ
ープの一方の面に18μm厚さの銅箔でスライダ素子側
の電極とサスペンション側の電極を結ぶようにパターン
を形成した。また同一面に厚さ約20μmの厚さでポリ
アニリンを主材とする接着層を設けた。
<Embodiment 1> FIG. 7 shows an embodiment of the present invention. A pattern was formed on one surface of a transparent tape made of polypropylene having a thickness of 50 μm using a copper foil having a thickness of 18 μm so as to connect the electrode on the slider element side and the electrode on the suspension side. An adhesive layer having a thickness of about 20 μm and containing polyaniline as a main material was provided on the same surface.

【0015】図8に実装のプロセスフローを示した。先
ずこのテープをスライダの電極形成面の幅(この場合
1.5mm)に打ち抜き、図7のようにパターン形成面
を電極側と位置合わせし(透明なので位置合わせが簡
単)、ツールを用いて、約100℃でスライダ及びサス
ペンションに押しつけた。これによりテープは仮接着さ
れる。ついで紫外線ランプで45度方向から約20秒照
射し接続を完了した。このまま約1日放置すれば常温で
硬化が起こり、十分な接続強度が得られる。
FIG. 8 shows a process flow of the mounting. First, this tape is punched out to the width of the electrode forming surface of the slider (1.5 mm in this case), and the pattern forming surface is aligned with the electrode side as shown in FIG. At about 100 ° C., it was pressed against the slider and the suspension. Thereby, the tape is temporarily bonded. Subsequently, the connection was completed by irradiating with an ultraviolet lamp from a 45 degree direction for about 20 seconds. If left as it is for about one day, curing occurs at room temperature, and sufficient connection strength can be obtained.

【0016】本試料を−50℃〜125℃の温度サイク
ルで1000サイクル以上の寿命があることを確認し十
分な信頼性を有することを確認した。また接続後8時間
以内であれば、硬化が不十分なためテープとスライダを
交換する、いわゆる不良品の取り替え(リワーク)が可
能である。
It was confirmed that the sample had a life of 1000 cycles or more at a temperature cycle of -50 ° C. to 125 ° C., and that the sample had sufficient reliability. In addition, if it is within 8 hours after the connection, the tape and the slider are replaced because the curing is insufficient, so-called replacement (rework) of a defective product is possible.

【0017】テープはリール状で供給可能であり、従来
のテープキャリアパッケージの接続工程と類似している
ので、自動化は容易で高スループットが実現できる。ま
たテープ材質は一般のテープキャリアがポリイミドであ
るのに比較して安価なポリエチレンなどを用いることが
可能である。また透明テープであることを利用すれば、
テープを介しての位置合わせが可能であり、認識系の装
置コストは安価に押さえられ、全体として低コスト化が
可能である。
The tape can be supplied in the form of a reel and is similar to the conventional tape carrier package connection process, so that automation is easy and high throughput can be realized. As the tape material, it is possible to use polyethylene or the like which is less expensive than a general tape carrier made of polyimide. If you use the transparent tape,
Positioning can be performed via a tape, the cost of the recognition system can be kept low, and overall cost can be reduced.

【0018】接合温度は本実施例では100℃が最高温
度であるが、材料的な改良を行えば、さらに低温化が可
能であり、素子の耐熱性に応じた接続が可能である。
The maximum bonding temperature is 100 ° C. in the present embodiment. However, if the material is improved, the temperature can be further reduced, and the connection can be made according to the heat resistance of the element.

【0019】<実施例2>図9に本発明の一実施例を示
す。ポリプロピレン製の50μm厚さの透明テープの一
方の面に18μm厚さの銅箔でスライダ素子側の電極と
サスペンション側の電極を結ぶようにパターンを形成し
た。さらに同一の面に厚さ15μmの異方性導電シート
を貼り付けた。この異方性導電シートは市販のテープ中
に導電粒子を分散したものを用いた。図10に実装のプ
ロセスを示した。実施例1と同様に位置合わせした後、
150℃に加熱したツールを押し充てて接続した。
<Embodiment 2> FIG. 9 shows an embodiment of the present invention. A pattern was formed on one surface of a transparent tape made of polypropylene having a thickness of 50 μm using a copper foil having a thickness of 18 μm so as to connect the electrode on the slider element side and the electrode on the suspension side. Further, an anisotropic conductive sheet having a thickness of 15 μm was attached to the same surface. The anisotropic conductive sheet used was a commercially available tape in which conductive particles were dispersed. FIG. 10 shows the mounting process. After alignment in the same manner as in Example 1,
A tool heated to 150 ° C. was pressed and connected.

【0020】導電粒子は凸形状の電極部で押しつけら
れ、接続を得ることが出来た。
The conductive particles were pressed by the convex electrode portions, and a connection was obtained.

【0021】本実施例でも実施例1と同様の信頼性試験
を行い、十分な信頼度を確認した。本実施例の最高温度
は150℃であるが、異方性導電シートの開発は急ピッ
チで進んでおり、進行状況により今後は、さらに低温度
プロセスを構築出来ると考えられる。
In this embodiment, a reliability test similar to that of the first embodiment was performed, and sufficient reliability was confirmed. Although the maximum temperature in this example is 150 ° C., the development of anisotropic conductive sheets is progressing at a rapid pace, and it is considered that a lower temperature process can be constructed in the future depending on the progress.

【0022】<実施例3>図11に本発明の一実施例を
示す。ポリプロピレン製の50μm厚さの透明テープの
一方の面に18μm厚さの銅箔でスライダ素子側の電極
とサスペンション側の電極を結ぶようにパターンを形成
した。さらにこのパターン上にSn−Bi系はんだ(融
点136℃)をめっき法により厚さ5μm形成した。図
12に実装のプロセスを示した。実施例1と同様に位置
合わせした後、150℃に加熱したツールを押し充てて
接続した。
<Embodiment 3> FIG. 11 shows an embodiment of the present invention. A pattern was formed on one surface of a transparent tape made of polypropylene having a thickness of 50 μm using a copper foil having a thickness of 18 μm so as to connect the electrode on the slider element side and the electrode on the suspension side. Further, a Sn-Bi solder (melting point: 136 [deg.] C.) was formed on this pattern by plating to a thickness of 5 [mu] m. FIG. 12 shows the mounting process. After the alignment was performed in the same manner as in Example 1, a tool heated to 150 ° C. was pressed and connected.

【0023】接続はAu電極とはんだの接続であり、フ
ラックスは用いる必要は無く、洗浄は不要である。
The connection is a connection between the Au electrode and the solder, there is no need to use a flux, and no cleaning is required.

【0024】本実施例でも実施例1と同様の信頼性試験
を行い、十分な信頼度を確認した。本実施例の最高温度
は150℃であるが、ウッドメタル(融点50〜60
℃)などを用いれば、さらに低温度プロセスを構築出来
る。但し使用温度、信頼度の兼ね合いで方式を選択する
必要がある。
In this embodiment, a reliability test similar to that of the first embodiment was performed, and sufficient reliability was confirmed. Although the maximum temperature of the present embodiment is 150 ° C.,
C.) can be used to construct a lower temperature process. However, it is necessary to select a method in consideration of the operating temperature and reliability.

【0025】<実施例4>図13には、上記接続構造と
は異なった一実施例を示した。ポリプロピレン製の50
μm厚さの透明テープの一方の面に18μm厚さの銅箔
でスライダ素子側の電極とサスペンション側の電極を結
ぶようにパターンを形成し、さらに同一の面に厚さ15
μmの異方性導電シートを貼り付けた。
<Embodiment 4> FIG. 13 shows an embodiment different from the above connection structure. 50 made of polypropylene
A pattern is formed on one surface of a transparent tape having a thickness of 18 μm with a copper foil having a thickness of 18 μm so as to connect the electrode on the slider element side and the electrode on the suspension side.
A μm anisotropic conductive sheet was attached.

【0026】図14には接続のプロセスを示した。先ず
サスペンションに位置合わせ後、接続を行う。この接続
方法は実施例2と同一である。この状態でスライダ素子
を搭載し固定する。さらにテープを折り曲げ、スライダ
素子側電極に同様のプロセスで接続する。この構造では
接続工程が2段階となるが、サスペンション側の配線設
計の自由度がます利点がある。
FIG. 14 shows the connection process. First, after alignment with the suspension, connection is made. This connection method is the same as in the second embodiment. In this state, the slider element is mounted and fixed. Further, the tape is bent and connected to the slider element side electrode by the same process. In this structure, although the connection process is performed in two stages, there is an advantage that the degree of freedom in wiring design on the suspension side is further increased.

【0027】本実施例でも実施例1と同様の信頼性試験
を行い、十分な信頼度を確認した。
In this embodiment, a reliability test similar to that of the first embodiment was performed, and sufficient reliability was confirmed.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明により、接続用テープを用いるこ
とで、自動化が容易になリ、スループットも向上する。
また接続温度を従来のワイヤボンド方式と比較して低く
設定でき、素子の耐熱性の低下傾向に対応できる。接続
ピッチもテープの製作能力の範囲で接続でき、狭ピッチ
化にも十分対応できる。さらにテープは基本的にフレキ
シブルであり、接続後の信頼性、特に温度サイクル等に
は強い。
According to the present invention, the use of the connecting tape facilitates automation and improves the throughput.
Further, the connection temperature can be set lower than that of the conventional wire bonding method, and it is possible to cope with the tendency of the heat resistance of the element to decrease. The connection pitch can be connected within the range of the tape manufacturing capability, and it can sufficiently cope with a narrow pitch. Furthermore, the tape is basically flexible, and has high reliability after connection, especially in a temperature cycle.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用する磁気ディスク装置の簡単な概
念図。
FIG. 1 is a simple conceptual diagram of a magnetic disk drive to which the present invention is applied.

【図2】従来のスライダを中心にした構造図。FIG. 2 is a structural view centering on a conventional slider.

【図3】本発明を適用する配線一体型サスペンションの
構造例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a structural example of a wiring-integrated suspension to which the present invention is applied.

【図4】従来技術の90度ワイヤボンディング方式を説
明する図。
FIG. 4 is a diagram illustrating a conventional 90-degree wire bonding method.

【図5】従来技術の45度方向からの同時接続方式(ボ
ールボンド方式)を説明する図。
FIG. 5 is a diagram illustrating a simultaneous connection method (ball bond method) from a 45-degree direction according to the related art.

【図6】従来技術のパターンリード立ち上げ方式を説明
する図。
FIG. 6 is a view for explaining a conventional pattern read start-up method.

【図7】本発明による接続構造例(導電性ポリマ方式)
を示す図。
FIG. 7 shows an example of a connection structure according to the present invention (conductive polymer method).
FIG.

【図8】導電性ポリマ方式による接続プロセス例を説明
する図。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a connection process using a conductive polymer method.

【図9】本発明による接続構造例(異方性導電シート方
式)を示す図。
FIG. 9 is a diagram showing a connection structure example (anisotropic conductive sheet system) according to the present invention.

【図10】異方性導電シート方式による接続プロセス例
を説明する図。
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a connection process using an anisotropic conductive sheet method.

【図11】本発明による接続構造例(低融点金属方式)
を示す図。
FIG. 11 is an example of a connection structure according to the present invention (low-melting metal method).
FIG.

【図12】低融点金属方式による接続プロセス例を説明
する図。
FIG. 12 is a view for explaining an example of a connection process using a low melting point metal method.

【図13】本発明によるサスペンション裏面からの接続
構造例を示す図。
FIG. 13 is a diagram showing an example of a connection structure from the back surface of the suspension according to the present invention.

【図14】サスペンション裏面からの接続プロセス例を
説明する図。
FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a connection process from the back surface of the suspension.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、2…アクチュエータ、3…磁気ヘッ
ド、4…スライダ、5…サスペンション、6…ワイヤ、
7…被覆チューブ、8…配線一体型サスペンション、9
…スライダ側電極、10…サスペンション側電極、11
…Auワイヤ、12…Auボール、13…サスペンショ
ン側電極パターン、14…透明テープ、15…テープ側
パターン、16…導電性ポリマ、17…接着剤、18…
異方性導電シート、19…ツール、20…Au、21…
Cu−Ni、22…Cu、23…Sn−Bi、24…レ
ジスト。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 2 ... Actuator, 3 ... Magnetic head, 4 ... Slider, 5 ... Suspension, 6 ... Wire,
7 ... Coated tube, 8 ... Wiring integrated suspension, 9
... Slider side electrode, 10 ... Suspension side electrode, 11
... Au wire, 12 ... Au ball, 13 ... Suspension side electrode pattern, 14 ... Transparent tape, 15 ... Tape side pattern, 16 ... Conductive polymer, 17 ... Adhesive, 18 ...
Anisotropic conductive sheet, 19 ... tool, 20 ... Au, 21 ...
Cu-Ni, 22 Cu, 23 Sn-Bi, 24 resist.

フロントページの続き (72)発明者 宮野 一郎 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 松本 真明 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 馬越 幸守 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 三浦 一真 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 5D042 NA02 PA01 QA01 TA04 TA05 TA06 TA10 Continued on the front page (72) Inventor Ichiro Miyano 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Hitachi, Ltd.Production Technology Laboratory (72) Inventor Masaaki Matsumoto 2880 Kozu, Kozuhara, Odawara-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. Within the Storage System Division (72) Inventor Yukimori Magoshi 2880 Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Prefecture Within the Hitachi Storage Systems Division (72) Inventor Kazuma Miura 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. 5D042 NA02 PA01 QA01 TA04 TA05 TA06 TA10

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 板バネに配線と接続用電極を形成してな
る配線一体型のサスペンションとスライダ素子の電極を
接続する構造において、透明テープ上に形成した接続用
パターンを介して接続することを特徴とした実装構造。
In a structure for connecting a wiring-integrated suspension formed by forming a wiring and a connection electrode to a leaf spring and an electrode of a slider element, the connection is made via a connection pattern formed on a transparent tape. Characteristic mounting structure.
【請求項2】 請求項1に記載した実装構造において、
スライダ素子の電極面とサスペンション側の電極が互い
に垂直に位置し、これを接続する透明テープが90度折
り曲げて接続されていることを特徴とした実装構造。
2. The mounting structure according to claim 1, wherein:
A mounting structure wherein an electrode surface of a slider element and an electrode on a suspension side are perpendicular to each other, and a transparent tape connecting the electrodes is bent at 90 degrees and connected.
【請求項3】 請求項2に記載した実装構造において、
スライダ素子を搭載したサスペンション面と同一の面に
サスペンション側の電極が形成され、テープ上の接続用
パターンを該電極と対抗させて形成し、接続用パターン
を有しないテープ面を中心側にして、90度折り曲げて
接続したことを特徴とする実装構造。
3. The mounting structure according to claim 2, wherein
An electrode on the suspension side is formed on the same surface as the suspension surface on which the slider element is mounted, and a connection pattern on the tape is formed in opposition to the electrode, with the tape surface having no connection pattern on the center side, A mounting structure characterized by being bent at 90 degrees and connected.
【請求項4】 請求項2に記載した実装構造において、
スライダ素子を搭載したサスペンション面と反対側の面
にサスペンション側の電極が形成され、接続用パターン
を有するテープ面を中心側にして、90度折り曲げて接
続したことを特徴とする実装構造。
4. The mounting structure according to claim 2, wherein
A mounting structure characterized in that a suspension-side electrode is formed on a surface opposite to a suspension surface on which a slider element is mounted, and the connection is made by bending the tape surface having a connection pattern to the center side by 90 degrees.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載した実装
に用いる透明テープにおいて、片側の面には導電性を有
し紫外線によって絶縁体化する例えばポリアニリンなど
を含む接着層を2〜20μmの厚さで設け、接着層の下
あるいはテープの反対面に紫外線遮光用のパターンを形
成したことを特徴とするテープ構造。
5. The transparent tape used for mounting according to claim 1, wherein an adhesive layer containing, for example, polyaniline, which has conductivity and is made into an insulator by ultraviolet rays, is provided on one surface of the transparent tape. A tape structure, wherein a pattern for blocking ultraviolet light is formed below the adhesive layer or on the opposite surface of the tape.
【請求項6】 請求項5に記載したテープを用いて実装
する方法において、折り曲げ形状に加工したツールをテ
ープを介してスライダ素子及びサスペンションに押し充
て接着した後、紫外線をテープを介して照射し、硬化及
び絶縁処理したことを特徴とする実装方法。
6. A method for mounting using a tape according to claim 5, wherein the tool processed into a bent shape is pressed and adhered to the slider element and the suspension via the tape, and then irradiated with ultraviolet rays via the tape. A mounting method characterized by being cured and insulated.
【請求項7】 請求項1〜4のいずれかに記載した実装
に用いる透明テープにおいて、スライダ素子電極及びサ
スペンションの電極に対抗するテープ面に接続用の金属
パターンを儲け、さらにこのテープ面上に紫外線硬化型
の接着層を形成したことを特徴とするテープ構造。
7. A transparent tape used for mounting according to any one of claims 1 to 4, wherein a metal pattern for connection is provided on a tape surface opposed to a slider element electrode and an electrode of a suspension, and further, on this tape surface. A tape structure having an ultraviolet-curable adhesive layer formed thereon.
【請求項8】 請求項7に記載したテープを用いて実装
する方法において、折り曲げ形状に加工したツールをテ
ープを介してスライダ素子及びサスペンションに押し充
て接着した後、紫外線をテープを介して照射し、硬化し
たことを特徴とする実装方法。
8. A method for mounting using a tape according to claim 7, wherein the tool processed into a bent shape is pressed and adhered to the slider element and the suspension via the tape, and then irradiated with ultraviolet rays via the tape. , A mounting method characterized by being cured.
【請求項9】 請求項1〜4のいずれかに記載した実装
に用いる透明テープにおいて、スライダ素子電極及びサ
スペンションの電極に対抗するテープ面に接続用の金属
パターンを儲け、さらにこのテープ面上に異方性の導電
膜を形成したことを特徴とするテープ構造。
9. The transparent tape used for mounting according to claim 1, wherein a metal pattern for connection is provided on a tape surface opposing the slider element electrode and the electrode of the suspension, and further on the tape surface. A tape structure characterized by forming an anisotropic conductive film.
【請求項10】 請求項1〜4のいずれかに記載した実
装に用いる透明テープにおいて、スライダ素子電極及び
サスペンションの電極に対抗するテープ面に接続用の金
属パターンを儲け、このパターン上の全部又は電極との
接続部に、融点が150℃以下の例えばSnとBi,I
nなどとの合金層を2〜15μm形成したことを特徴と
するテープ構造。
10. The transparent tape used for mounting according to any one of claims 1 to 4, wherein a metal pattern for connection is provided on a tape surface opposing the slider element electrode and the electrode of the suspension, and all or all of the metal pattern on the pattern is provided. For example, when the melting point is 150 ° C. or less, for example, Sn and Bi, I
A tape structure, wherein an alloy layer with n or the like is formed at 2 to 15 μm.
【請求項11】 請求項9又は10に記載したテープを
用いて実装する方法において、折り曲げ構造に加工した
ツールをテープを介してスライダ素子及びサスペンショ
ンに押し充て、加熱、加圧により接続したことを特徴と
する実装方法。
11. A method for mounting using a tape according to claim 9 or 10, wherein the tool processed into a bent structure is pressed against the slider element and the suspension via the tape and connected by heating and pressing. Characteristic mounting method.
【請求項12】 請求項5、7、9又は10に記載した
テープにおいて、テープ上に一つのスライダに対応した
パターンを基本単位として基本単位の繰り返しにより、
複数のパターンを形成したことを特徴とするテープ構
造。
12. The tape according to claim 5, 7, 9 or 10, wherein a pattern corresponding to one slider is used as a basic unit on the tape, and the basic unit is repeated.
Tape structure characterized by forming a plurality of patterns.
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