JP2002103156A - Automatic polishing disk attaching and detaching device - Google Patents

Automatic polishing disk attaching and detaching device

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JP2002103156A
JP2002103156A JP2000302866A JP2000302866A JP2002103156A JP 2002103156 A JP2002103156 A JP 2002103156A JP 2000302866 A JP2000302866 A JP 2000302866A JP 2000302866 A JP2000302866 A JP 2000302866A JP 2002103156 A JP2002103156 A JP 2002103156A
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JP
Japan
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robot arm
turntable
movable body
polishing machine
polishing
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Application number
JP2000302866A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiromitsu Saito
弘光 斉藤
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attach and detach a polishing disk to and from a polishing machine with a simple device and in short time. SOLUTION: An automatic polishing disk attaching and detaching device uses a holding part 7 for holding a polishing disk 3 releasably at the tip of a robot arm 6 to attach and detach the polishing disk 3 to and from a turntable 2 stopped in an arbitrary eccentric rotational position of a polishing machine 1. A moving means 11 is disposed between the robot arm 6 and the holding part 7 to move the holding part 7 in X- and Y-directions relatively to the robot arm 6 in accordance with external force. A V-guide 24 is provided so as to abut a peripheral side 2a of the turntable 2 to apply external force to the moving means 11 and guide the holding part 7 to an attachment and detachment position. The moving means 11 comprises X- and Y-moving bodies 22 and 17 movable respectively in the X- and Y-directions relatively to the robot arm 6, an X-spring 23 for urging the X-moving body positively in the X-direction, and Y-springs 18a and 18b for urging the Y-moving body to a neutral position.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は研磨盤自動着脱装置
に係り、特に、研磨機の任意の偏心回転位置で停止する
ターンテーブルに研磨盤を自動的に着脱する研磨盤自動
着脱装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic polishing machine attaching / detaching apparatus, and more particularly to an automatic polishing machine attaching / detaching apparatus for automatically attaching / detaching a polishing machine to / from a turntable stopped at an arbitrary eccentric rotation position of the polishing machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に示すように、研磨機1は、その上
面部にターンテーブル2を備え、そのターンテーブル2
上に円盤状の研磨盤3を着脱自在に装着させ、研磨盤3
を回転させるようになっている。ターンテーブル2に
は、研磨盤3の直径より僅かに大きく且つ研磨盤3の厚
さより浅い装着穴4が設けられ、この装着穴4に研磨盤
3が嵌合装着される。ターンテーブル2と共に研磨盤3
が回転され、研磨盤3の上面に研磨対象物(図示せず)
が押し付けられて研磨が行われるが、均一に研磨するた
め、図6に示すように、ターンテーブル2は、その直径
の1/4程度偏心されて回転されるようになっている。
これによって研磨盤3も偏心回転され、研磨の均一化が
達成される。ターンテーブル2の回転中心をOで示す。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a polishing machine 1 has a turntable 2 on an upper surface thereof.
The disc-shaped polishing plate 3 is detachably mounted on the top, and the polishing plate 3
Is to be rotated. The turntable 2 is provided with a mounting hole 4 slightly larger than the diameter of the polishing disk 3 and shallower than the thickness of the polishing disk 3, and the polishing disk 3 is fitted and mounted in the mounting hole 4. Polishing machine 3 with turntable 2
Is rotated, and an object to be polished (not shown) is placed on the upper surface of the polishing plate 3.
Is pressed to perform polishing, but in order to polish uniformly, as shown in FIG. 6, the turntable 2 is configured to be eccentrically rotated by about 1/4 of its diameter.
Thus, the polishing plate 3 is also eccentrically rotated, and uniform polishing is achieved. The center of rotation of the turntable 2 is indicated by O.

【0003】研磨対象物の仕上げ粗さに応じて研磨盤3
が適宜交換され、特に鏡面状に仕上げる場合は研磨盤3
が粗い砥粒のものから細かい砥粒のものまで数段階に分
かれて交換される。このため研磨盤3の着脱が必要とな
ってくる。
[0003] The polishing machine 3 according to the finish roughness of the object to be polished.
Is appropriately replaced, and especially when finishing to a mirror surface,
Are replaced in several stages from coarse abrasive grains to fine abrasive grains. For this reason, it is necessary to attach and detach the polishing machine 3.

【0004】これは図4に示すような研磨盤自動着脱装
置により行われる。この装置はロボット5と、ロボット
5から延出され先端が三次元的に移動可能なロボットア
ーム6と、そのロボットアーム6の先端に取り付けられ
研磨盤3を着脱自在に把持する把持部7とから構成され
る。研磨盤3の装着ないし取り付けは、把持部7で研磨
盤3を径方向外側から把持してターンテーブル2の真上
に移動させ、そのまま垂直に下ろして装着穴4に嵌め込
み、把持を解除して行う。逆に、研磨盤3の取り外し
は、把持部7をターンテーブル2上の研磨盤3の位置に
移動させ、研磨盤3を把持し、そのまま真上に上昇させ
て行う。
[0004] This is performed by a polishing machine automatic attachment / detachment device as shown in FIG. The apparatus comprises a robot 5, a robot arm 6 extending from the robot 5 and having a three-dimensionally movable tip, and a gripper 7 attached to the tip of the robot arm 6 for detachably gripping the polishing plate 3. Be composed. The mounting or mounting of the polishing plate 3 is performed by holding the polishing plate 3 from the outside in the radial direction with the holding portion 7 and moving it directly above the turntable 2, lowering it vertically, fitting it into the mounting hole 4, releasing the grip. Do. Conversely, the removal of the polishing plate 3 is performed by moving the grip portion 7 to the position of the polishing plate 3 on the turntable 2, holding the polishing plate 3, and ascending the polishing plate 3 directly above.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、ターンテーブ
ル2及び研磨盤3が図6に示すような任意の偏心回転位
置で停止し得るため、研磨盤3の着脱を行う度に把持部
7を異なる着脱位置に正確に位置合わせしなければなら
ず、着脱が煩雑であった。
However, since the turntable 2 and the polishing table 3 can be stopped at an arbitrary eccentric rotation position as shown in FIG. 6, the grip portion 7 is changed every time the polishing table 3 is attached or detached. It has to be accurately aligned with the attachment / detachment position, and attachment / detachment is complicated.

【0006】一方、画像処理を用いてターンテーブル2
の位置を認識し、把持部7の位置合わせを行う方法もあ
るが、これだとタクトタイムが増大し、装置が高価にな
ってしまうなど弊害が多い。
On the other hand, a turntable 2 using image processing is used.
There is also a method of recognizing the position of the gripper and performing the positioning of the gripping portion 7, but this has many disadvantages such as an increase in the tact time and an increase in the cost of the apparatus.

【0007】そこで、本発明は、簡単な装置で短時間に
研磨盤の着脱が行える研磨盤自動着脱装置を提供するこ
とにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a polishing machine automatic attaching / detaching device which can attach / detach the polishing machine in a short time with a simple device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、ロボットアー
ムの先端に研磨盤を着脱自在に把持する把持部を設け、
研磨機の任意の偏心回転位置で停止するターンテーブル
に上記研磨盤を着脱する研磨盤自動着脱装置であって、
上記ロボットアームと上記把持部との間に、外力に応じ
て上記把持部を上記ロボットアームに対し上記ターンテ
ーブルの面方向に沿うXY方向に相対移動させる移動手
段を設け、上記ターンテーブルの外周側面に当接して上
記移動手段に外力を付与し、上記把持部を着脱位置に案
内するV型ガイドを設けたものである。
According to the present invention, a grip portion for detachably gripping a polishing machine is provided at the tip of a robot arm,
A polishing machine automatic attaching and detaching device for attaching and detaching the polishing machine to a turntable that stops at any eccentric rotation position of the polishing machine,
Moving means is provided between the robot arm and the gripping part for moving the gripping part relative to the robot arm in the X and Y directions along the surface direction of the turntable in response to an external force. And a V-shaped guide for applying an external force to the moving means by contacting the moving means and guiding the gripping portion to the attaching / detaching position.

【0009】ここで、上記移動手段が、上記ロボットア
ームに対しX方向に相対移動可能なX可動体と、このX
可動体を、上記ロボットアーム側から上記ターンテーブ
ル側に向かうX方向に付勢するXバネと、上記ロボット
アームに対しY方向に相対移動可能なY可動体と、この
Y可動体をY方向の中立位置に付勢するYバネとを備
え、上記X可動体と上記Y可動体との一方が上記ロボッ
トアーム側に、他方が上記把持部側に取り付けられるの
が好ましい。
Here, the moving means comprises an X movable body movable in the X direction relative to the robot arm,
An X spring for urging the movable body in the X direction from the robot arm side toward the turntable side, a Y movable body movable relative to the robot arm in the Y direction, and a Y movable body in the Y direction. It is preferable that a Y spring is provided to bias the neutral position, and one of the X movable body and the Y movable body is attached to the robot arm side and the other is attached to the grip section side.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0011】図1乃至図3に本実施形態の研磨盤自動着
脱装置を示す。なお研磨機1、ロボット5、ロボットア
ーム6及び把持部7の構成は従来同様である。補足すれ
ば、把持部7は、基部8と、基部8に支持されて開閉可
能な一対の把持部材9とを備えてなり、把持部材9に当
接片10が計四ヶ所内向きに取り付けられ、研磨盤3の
外周側面3aを径方向外側の四隅から挟んで把持する。
当接片9の先端部は研磨盤3の外周側面3aの形状に倣
って斜めに切り欠かれている。またターンテーブル2に
装着された研磨盤3において、そのターンテーブル2上
に突出した上端部分を把持できるよう、少なくとも当接
片9は当該突出長より薄い厚さに形成されている。
FIG. 1 to FIG. 3 show an automatic attaching / detaching apparatus for a polishing machine according to this embodiment. The configurations of the polishing machine 1, the robot 5, the robot arm 6, and the gripper 7 are the same as those in the related art. Supplementally, the holding portion 7 includes a base portion 8 and a pair of holding members 9 supported by the base portion 8 and capable of opening and closing, and the contact pieces 10 are attached to the holding member 9 inward at four places in total. Then, the outer peripheral side surface 3a of the polishing machine 3 is gripped from four corners on the outer side in the radial direction.
The tip of the contact piece 9 is notched obliquely according to the shape of the outer peripheral side surface 3 a of the polishing plate 3. Further, in the polishing plate 3 mounted on the turntable 2, at least the contact piece 9 is formed to have a thickness smaller than the protruding length so that an upper end portion protruding above the turntable 2 can be gripped.

【0012】ここで、図示するように、ターンテーブル
2の面方向(ターンテーブル2の回転中心Oと垂直な面
の方向)に沿う互いに直交する方向をX方向及びY方向
とする。そしてこれらXY方向に垂直な方向をZ方向と
する。各方向の+方向は矢印で示す通りである。ロボッ
トアーム6側から研磨機1側に向かう方向が+X方向、
上方に向かう方向が+Z方向である。
Here, as shown in the figure, directions orthogonal to each other along the surface direction of the turntable 2 (the direction of a surface perpendicular to the rotation center O of the turntable 2) are defined as an X direction and a Y direction. A direction perpendicular to these XY directions is defined as a Z direction. The + direction in each direction is as indicated by an arrow. The direction from the robot arm 6 side to the polishing machine 1 side is + X direction,
The upward direction is the + Z direction.

【0013】ロボットアーム6と把持部7との間には、
外力に応じて把持部7をロボットアーム6に対しXY方
向に相対移動させる移動手段11が設けられる。移動手
段11はXステージ12とYステージ13とからなり、
Yステージ13がXステージ12の上方に位置される。
Between the robot arm 6 and the gripper 7,
Moving means 11 is provided for moving the gripper 7 relative to the robot arm 6 in the X and Y directions according to an external force. The moving means 11 includes an X stage 12 and a Y stage 13,
The Y stage 13 is located above the X stage 12.

【0014】Yステージ13は、ロボットアーム6の先
端に固定されY方向に延出される平面視コ字状のYフレ
ーム14と、Yフレーム14の両端の端壁15,15に
掛け渡されY方向に延出される断面多角形(ここでは四
角)のYガイドロッド16と、Yガイドロッド16が挿
通されてこれに沿ってスライド移動可能なY可動体17
と、Y可動体17及び端壁15,15間に圧縮状態で配
置され、Yガイドロッド16の外周側に嵌合支持される
一対のYバネ18a,18bとから構成される。Yバネ
18a,18bはここではコイルスプリングで構成され
る。
The Y stage 13 is fixed to the end of the robot arm 6 and extends in the Y direction in a U-shape in plan view. A Y guide rod 16 having a polygonal cross section (square in this case) extending therethrough, and a Y movable body 17 through which the Y guide rod 16 is inserted and slidably movable.
And a pair of Y springs 18a, 18b arranged in a compressed state between the Y movable body 17 and the end walls 15, 15, and fitted and supported on the outer peripheral side of the Y guide rod 16. Here, the Y springs 18a and 18b are constituted by coil springs.

【0015】この構成によれば、Y可動体17がロボッ
トアーム6に対しY方向に相対移動可能となり、Y可動
体17がYバネ18a,18bによりY方向の中立位置
に付勢(センタリング)される。そして通常は、Y可動
体17がYステージ13の中央にて静止される。
According to this configuration, the Y movable body 17 can be moved relative to the robot arm 6 in the Y direction, and the Y movable body 17 is biased (centered) to the neutral position in the Y direction by the Y springs 18a and 18b. You. Usually, the Y movable body 17 is stopped at the center of the Y stage 13.

【0016】Xステージ12は、一部の相違点を除いて
Yステージ13をZ軸回りに90°回転させた構成とな
っている。即ち、Xステージ12は、Y可動体17の下
側に固定されX方向に延出される平面視コ字状のXフレ
ーム19と、Xフレーム19の両端の端壁20a,20
bを掛け渡されX方向に延出される断面多角形(ここで
は四角)のXガイドロッド21と、Xガイドロッド21
が挿通されてこれに沿ってスライド移動可能なX可動体
22と、X可動体22及び−X側の端壁20aの間に圧
縮状態で配置され、Xガイドロッド21の外周側に嵌合
支持されるXバネ23とから構成される。Xバネ23も
ここではコイルスプリングで構成される。
The X stage 12 has a configuration in which the Y stage 13 is rotated by 90 ° around the Z axis except for some differences. That is, the X stage 12 is fixed to the lower side of the Y movable body 17 and extends in the X direction in a U-shape in plan view, and the end walls 20 a and 20 at both ends of the X frame 19.
b, and the X guide rod 21 having a polygonal cross section (square in this case) and extending in the X direction.
Is inserted in a compressed state between the X movable body 22 slidable along the X movable body 22 and the end wall 20 a on the −X side, and is fitted and supported on the outer peripheral side of the X guide rod 21. And an X spring 23. The X spring 23 is also formed of a coil spring here.

【0017】この構成によれば、X可動体22がロボッ
トアーム6に対しX方向に相対移動可能となり、X可動
体22がXバネ23により+X側に付勢される。そして
通常は、X可動体22が+X側の端壁20bに当接され
てXステージ12の最も+X側に静止される。
According to this configuration, the X movable body 22 can move relative to the robot arm 6 in the X direction, and the X movable body 22 is urged to the + X side by the X spring 23. Normally, the X movable body 22 abuts on the end wall 20b on the + X side, and stands still at the most + X side of the X stage 12.

【0018】X可動体22の下面部に、把持部7の基部
8が固定され、この基部8から把持部材9が+X側に延
出される。
The base 8 of the grip 7 is fixed to the lower surface of the X movable body 22, and the grip 9 extends from the base 8 to the + X side.

【0019】さらに、移動手段11には、ターンテーブ
ル2の外周側面2aに当接可能なV型ガイド24が設け
られる。V型ガイド24は、そのVの頂点付近となる部
分が把持部7の基部8の下面に固定される。そして+X
側に向かって90°の角度をもって開きつつ+X側に延
出する。V型ガイド24は一対の断面四角形の棒状の部
材で構成される。
Further, the moving means 11 is provided with a V-shaped guide 24 which can contact the outer peripheral side surface 2a of the turntable 2. The V-shaped guide 24 has a portion near the apex of the V fixed to the lower surface of the base 8 of the grip 7. And + X
While extending at an angle of 90 ° toward the side, and extending to the + X side. The V-shaped guide 24 is constituted by a pair of rod-shaped members having a rectangular cross section.

【0020】ロボットアーム6及び把持部7は、通常の
ロボット同様、油圧、空圧又は電気等で作動される。把
持部7において、把持部材9はX方向に延出され、互い
に平行を保ったままY方向に動作して開閉する。
The robot arm 6 and the gripper 7 are operated by hydraulic pressure, pneumatic pressure, electric power, or the like, similarly to a normal robot. In the grip portion 7, the grip member 9 extends in the X direction, and operates in the Y direction while being parallel to each other to open and close.

【0021】次に、本実施形態の作用を説明する。Next, the operation of the present embodiment will be described.

【0022】研磨盤3の取り付けに際しては、まず図3
に示すように、把持部7で把持された研磨盤3が図示の
如き待機位置に位置される。このとき研磨盤3は、X方
向についてはターンテーブル2より−X側に位置され、
Y方向についてはターンテーブル2の回転中心Oと同心
に位置され、Z方向についてはターンテーブル2より若
干高い位置に位置される。
When mounting the polishing machine 3, first, FIG.
As shown in FIG. 5, the polishing plate 3 held by the holding portion 7 is located at a standby position as shown in the figure. At this time, the polishing machine 3 is positioned on the −X side of the turntable 2 in the X direction,
In the Y direction, it is located concentrically with the rotation center O of the turntable 2, and in the Z direction, it is located slightly higher than the turntable 2.

【0023】この状態から、把持部7が+X方向に前進
される。すると任意の偏心位置に停止しているターンテ
ーブル2の外周側面2aに、まずV型ガイド24の少な
くとも一方の内側面24aが当接する。前進が進むにつ
れV型ガイド24の内側面24aがターンテーブル2の
外周側面2a上を滑り動き、このときV型ガイド24が
ターンテーブル2から外力ないし反力を受ける。この外
力ないし反力が、把持部7の基部8、X可動体22、X
フレーム19、Y可動体17へと順に伝わり、特にX可
動体22とY可動体17とをX方向及びY方向に移動さ
せる。これによりターンテーブル2の偏心ズレ量が次第
に吸収されていく。そして最終的には、図1及び図2に
示すように、V型ガイド24の両方の内側面24aがタ
ーンテーブル2の外周側面2aにこれを挟むように当接
する。これによって研磨盤3とターンテーブル2との中
心同士が一致し、研磨盤3のXY方向の位置合わせが完
了する。このように、V型ガイド24は、ターンテーブ
ル2の外周側面2aに当接して移動手段11に外力を付
与し、把持部7を着脱位置(ターンテーブル2の真上)
に案内する。
From this state, the grip 7 is advanced in the + X direction. Then, at least one inner side surface 24a of the V-shaped guide 24 first contacts the outer side surface 2a of the turntable 2 stopped at an arbitrary eccentric position. As the vehicle advances, the inner surface 24a of the V-shaped guide 24 slides on the outer peripheral surface 2a of the turntable 2, and at this time, the V-shaped guide 24 receives an external force or reaction force from the turntable 2. This external force or reaction force is applied to the base 8 of the grip 7, the X movable body 22, X
It is transmitted to the frame 19 and the Y movable body 17 in order, and in particular, moves the X movable body 22 and the Y movable body 17 in the X direction and the Y direction. As a result, the eccentric displacement of the turntable 2 is gradually absorbed. Finally, as shown in FIGS. 1 and 2, both inner side surfaces 24 a of the V-shaped guide 24 abut on the outer side surface 2 a of the turntable 2 so as to sandwich the same. Thus, the centers of the polishing table 3 and the turntable 2 coincide with each other, and the positioning of the polishing table 3 in the XY directions is completed. As described above, the V-shaped guide 24 comes into contact with the outer peripheral side surface 2a of the turntable 2 to apply an external force to the moving means 11 and to place the grip portion 7 in the attaching / detaching position (directly above the turntable 2).
To guide.

【0024】この後、把持部7を僅かに下降させて把持
を解除すれば、研磨盤3が装着穴4に嵌合され、研磨盤
3の取り付けが完了する。
Thereafter, when the grip 7 is slightly lowered to release the grip, the polishing disc 3 is fitted into the mounting hole 4, and the mounting of the polishing disc 3 is completed.

【0025】研磨盤3の取り外しは前記と逆の手順を踏
めばよい。このときも把持部7をターンテーブル2に近
付けていくとき、ターンテーブル2の偏心ズレ量がX可
動体22とY可動体17との移動により吸収されること
から、正確な位置合わせが短時間で達成される。
The removal of the polishing plate 3 may be performed in the reverse order. Also in this case, when the gripper 7 is moved closer to the turntable 2, the amount of eccentric displacement of the turntable 2 is absorbed by the movement of the X movable body 22 and the Y movable body 17, so that accurate positioning can be performed in a short time. Is achieved in.

【0026】ターンテーブル2の偏心量をeとすると、
X可動体22とY可動体17との可動範囲は少なくとも
2e必要であり、実際には余裕αを含めた2e+αとす
る。
Assuming that the amount of eccentricity of the turntable 2 is e,
The movable range between the X movable body 22 and the Y movable body 17 needs to be at least 2e, and is actually 2e + α including the margin α.

【0027】図7に示すように、ターンテーブル2の回
転中心Oを原点としてXY座標を定めた場合、ターンテ
ーブル2が(+e,0)の位置にあるときにはXバネ2
3が若干量α1 (<α)圧縮されて位置合わせが完了す
る。同様に、ターンテーブル2が(0,+e)の位置に
あるときには一方のYバネ18aがe圧縮されると共
に、他方のYバネ18bがe伸長されて位置合わせが完
了する。逆にターンテーブル2が(0,−e)の位置に
あるときには一方のYバネ18aがe伸長されると共
に、他方のYバネ18bがe圧縮されて位置合わせが完
了する。さらにターンテーブル2が(−e,0)の位置
にあるときにはXバネ23が2e+α1 圧縮されて位置
合わせが完了する。これから分かるように、ロボットア
ーム6のXY方向の動作としては、上記が達成されるよ
うな一定位置に先端を移動させるだけでよい。あとは移
動手段11とV型ガイド24との協同作用によって、あ
らゆる偏心回転位置にあるターンテーブル2に対し把持
部7を自動的に位置合わせできる。
As shown in FIG. 7, when the XY coordinates are determined with the rotation center O of the turntable 2 as the origin, when the turntable 2 is at the (+ e, 0) position, the X spring 2
3 is slightly compressed by α 1 (<α), and the alignment is completed. Similarly, when the turntable 2 is at the position (0, + e), one Y spring 18a is e-compressed, and the other Y spring 18b is e-elongated, thereby completing the alignment. Conversely, when the turntable 2 is at the position (0, -e), one of the Y springs 18a is extended by e and the other Y spring 18b is compressed by e to complete the alignment. Further, when the turntable 2 is at the position of (−e, 0), the X spring 23 is compressed by 2e + α 1 to complete the alignment. As can be seen, the movement of the robot arm 6 in the XY directions only requires moving the tip to a fixed position where the above is achieved. Then, by the cooperative action of the moving means 11 and the V-shaped guide 24, the gripper 7 can be automatically positioned with respect to the turntable 2 at any eccentric rotation position.

【0028】このように、本実施形態によれば、ターン
テーブル2の偏心ズレ量に応じた自動位置合わせを達成
できることから、ロボットアーム6を一定位置に移動さ
せるだけでも把持部7及び研磨盤3を正確に位置合わせ
でき、研磨盤の着脱を短時間で容易に行うことができ
る。しかもこれを機械的構成によって行うことから装置
が極めて簡単で低コストとなる。
As described above, according to the present embodiment, since the automatic positioning according to the amount of eccentric displacement of the turntable 2 can be achieved, the gripping portion 7 and the polishing machine 3 can be moved only by moving the robot arm 6 to a predetermined position. Can be accurately positioned, and the polishing disc can be easily attached and detached in a short time. Moreover, since this is performed by a mechanical configuration, the apparatus is extremely simple and low in cost.

【0029】なお、本発明の実施の形態は上述のものに
限られない。上記実施形態ではX可動体を把持部側に、
Y可動体をロボットアーム側に取り付けたが、これらは
逆でも構わない。また、移動手段については様々な変形
例が可能で、上述のような直交運動機構のほか回転運動
を利用したもの、コイルスプリングのほかゴム等の弾性
体を利用したもの等が可能である。
The embodiment of the present invention is not limited to the above. In the above embodiment, the X movable body is placed on the gripper side,
Although the Y movable body is attached to the robot arm side, these may be reversed. Also, various modifications of the moving means are possible, such as those using rotary motion in addition to the above-described orthogonal motion mechanism, those using elastic bodies such as rubber in addition to coil springs, and the like.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、研磨盤の
着脱を簡単な装置で短時間に行えるという効果が発揮さ
れる。
In summary, according to the present invention, the effect that the polishing disk can be attached and detached in a short time with a simple device is exhibited.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態を示し、把持部及び研磨盤の
位置合わせ完了後の様子を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention and showing a state after positioning of a gripper and a polishing board is completed.

【図2】同正面図である。FIG. 2 is a front view of the same.

【図3】本発明の実施形態を示し、把持部及び研磨盤の
位置合わせ完了前の様子を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing the embodiment of the present invention and showing a state before the positioning of the gripper and the polishing board is completed.

【図4】従来のロボットを示し、(a) は平面図、(b) は
正面図である。
4A and 4B show a conventional robot, wherein FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a front view.

【図5】研磨盤を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a polishing machine.

【図6】ターンテーブルが偏心回転する様子を示す平面
図である。
FIG. 6 is a plan view showing how the turntable rotates eccentrically.

【図7】本実施形態に係る位置合わせの諸態様を示す概
略平面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view showing various aspects of alignment according to the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 研磨機 2 ターンテーブル 2a 外周側面 3 研磨盤 6 ロボットアーム 7 把持部 11 移動手段 17 Y可動体 18a,18b Yバネ 22 X可動体 23 Xバネ 24 V型ガイド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polishing machine 2 Turntable 2a Outer side surface 3 Polishing machine 6 Robot arm 7 Grasping part 11 Moving means 17 Y movable body 18a, 18b Y spring 22 X movable body 23 X spring 24 V guide

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ロボットアームの先端に研磨盤を着脱自
在に把持する把持部を設け、研磨機の任意の偏心回転位
置で停止するターンテーブルに上記研磨盤を着脱する研
磨盤自動着脱装置であって、上記ロボットアームと上記
把持部との間に、外力に応じて上記把持部を上記ロボッ
トアームに対し上記ターンテーブルの面方向に沿うXY
方向に相対移動させる移動手段を設け、上記ターンテー
ブルの外周側面に当接して上記移動手段に外力を付与
し、上記把持部を着脱位置に案内するV型ガイドを設け
たことを特徴とする研磨盤自動着脱装置。
1. A polishing machine automatic attachment / detachment device wherein a holding portion for detachably holding a polishing machine is provided at a tip of a robot arm, and the polishing machine is attached to and detached from a turntable stopped at an arbitrary eccentric rotation position of the polishing machine. Between the robot arm and the gripping portion, the gripping portion is moved along the surface direction of the turntable with respect to the robot arm in accordance with an external force.
Polishing means for providing a moving means for relatively moving in the direction, applying an external force to the moving means in contact with the outer peripheral side surface of the turntable, and providing a V-shaped guide for guiding the gripping portion to a detachable position. Automatic panel attachment / detachment device.
【請求項2】 上記移動手段が、上記ロボットアームに
対しX方向に相対移動可能なX可動体と、該X可動体
を、上記ロボットアーム側から上記ターンテーブル側に
向かうX方向に付勢するXバネと、上記ロボットアーム
に対しY方向に相対移動可能なY可動体と、該Y可動体
をY方向の中立位置に付勢するYバネとを備え、上記X
可動体と上記Y可動体との一方が上記ロボットアーム側
に、他方が上記把持部側に取り付けられる請求項1記載
の研磨盤自動着脱装置。
2. The moving means, wherein the X movable body is relatively movable in the X direction with respect to the robot arm, and biases the X movable body in the X direction from the robot arm toward the turntable. An X spring, a Y movable body that is relatively movable in the Y direction with respect to the robot arm, and a Y spring that biases the Y movable body to a neutral position in the Y direction.
2. The automatic polishing machine attaching / detaching apparatus according to claim 1, wherein one of the movable body and the Y movable body is attached to the robot arm side, and the other is attached to the grip portion side.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111491759A (en) * 2017-12-20 2020-08-04 菲比瑞卡马基纳莱有限公司 Method and apparatus for abrasive element replacement in a machine for working surfaces
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