JP2002092967A - Manufacture of disk and its device - Google Patents

Manufacture of disk and its device

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JP2002092967A
JP2002092967A JP2000285438A JP2000285438A JP2002092967A JP 2002092967 A JP2002092967 A JP 2002092967A JP 2000285438 A JP2000285438 A JP 2000285438A JP 2000285438 A JP2000285438 A JP 2000285438A JP 2002092967 A JP2002092967 A JP 2002092967A
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JP
Japan
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disk
disk substrate
cleaning
stacker
manufacturing
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Pending
Application number
JP2000285438A
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Japanese (ja)
Inventor
Riyouko Kitano
亮子 北野
Akihiro Yokoyama
明広 横山
Masaru Miki
勝 見喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kitano Engineering Co Ltd
Original Assignee
Kitano Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Kitano Engineering Co Ltd filed Critical Kitano Engineering Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a disk producing method by which a large number of CDs are efficiently produced. SOLUTION: A prescribed front surface processing is performed to a molded disk substrate W along a series of process line. A sputtering process for forming a thin film on the disk substrate W and first and second cleaning processes before and after the sputtering process are provided. When one of the sputtering process and the processes before/after it stops, a working state is kept running as a whole process while compensating the process which has stopped. CD production can be normally and continuously continued even when some part in the process line stops by providing a buffer unit in a proper place of the process line of this kind of disk producing facilities.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク(特にCD−RW)を製造するためのディスク製造方
法および装置に関するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a disc manufacturing method and apparatus for manufacturing a compact disc (particularly, CD-RW).

【0002】[0002]

【従来の技術】CDの製造には極めて多くの工程があ
り、各工程に対応する製造設備が必要とされている。ま
た、CD製造ラインにおいてその一部を自動化し、製造
効率の向上を図ろうとしている。
2. Description of the Related Art There are an extremely large number of steps in the manufacture of a CD, and a manufacturing facility corresponding to each step is required. Also, a part of the CD manufacturing line is automated to improve manufacturing efficiency.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のCD製造方法も
しくは装置において、複数の設備は一定のシーケンスに
従って作動する。製造ラインの一部で故障等が発生した
場合、故障した設備を正常稼動状態に復旧させるが、精
密かつ複雑な装置を使用しているため復旧には多くの手
間と時間がかかる。特に自動化が行なわれている場合に
あっては、故障した設備のみならず、製造ライン全体が
停止してしまうことがある。そのため製造ラインとして
連続的な製造ができない。従来では、コンピュータに任
せているため設備故障等に迅速に対処するのが難しく、
常に連続して製造が可能な製造ラインを構成するのが容
易でなかった。
In a conventional CD manufacturing method or apparatus, a plurality of facilities operate according to a fixed sequence. When a failure or the like occurs in a part of the production line, the failed equipment is restored to a normal operation state. However, since a precise and complicated device is used, the restoration takes a lot of trouble and time. In particular, when automation is performed, not only the failed equipment but also the entire production line may stop. Therefore, continuous production cannot be performed as a production line. In the past, it was difficult to quickly deal with equipment failures etc. because it was left to the computer,
It has not been easy to construct a manufacturing line that can always be manufactured continuously.

【0004】本発明はかかる実状に鑑み、CDを常に連
続的な製造が可能である効率的なディスク製造方法およ
び装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide an efficient disk manufacturing method and apparatus capable of always manufacturing a CD continuously.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】かくして、本発明者は、
このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、工
程ライン中のある位置にバッファを設けることにより上
記の諸問題点を解決することができることを見出し、こ
の知見に基づいて本発明を完成させたものである。
Means for Solving the Problems Thus, the present inventor has:
As a result of intensive studies on the background of such problems, it was found that the above problems could be solved by providing a buffer at a certain position in the process line, and the present invention was completed based on this finding. It was made.

【0006】すなわち、本発明は、(1)、成形された
ディスク基板に対して一連の工程ラインに沿って所定の
表面処理を施すためのディスク製造方法であって、ディ
スク基板に薄膜を形成するスパッタリング工程と、この
スパッタリング工程の前後の第1および第2のクリーニ
ング工程とを含み、スパッタリング工程或いはその前ま
たは後の工程のいずれかが停止した場合、その停止した
工程を補償しながら、工程全体として連続した稼動状態
が維持されることを特徴とするディスク製造方法に存す
る。
That is, the present invention provides (1) a disk manufacturing method for subjecting a formed disk substrate to a predetermined surface treatment along a series of process lines, wherein a thin film is formed on the disk substrate. Including a sputtering step and first and second cleaning steps before and after the sputtering step, when the sputtering step or any of the steps before or after the step is stopped, the entire step is compensated for while the step stopped is compensated. And a continuous operating state is maintained.

【0007】そして、(2)、第1および第2のクリー
ニング工程に対応してそれぞれ、ディスク基板をスタッ
カーにスタックする第1および第2のバッファ工程を有
し、停止工程に応じて工程ラインに対してディスク基板
をスタックまたは供給するこディスク製造方法に存す
る。
(2) There are first and second buffering steps for stacking the disk substrates on the stacker corresponding to the first and second cleaning steps, respectively, and the process line is provided in response to the stopping step. On the other hand, the present invention resides in a disk manufacturing method for stacking or supplying disk substrates.

【0008】そしてまた、(3)、第1のクリーニング
工程以降の工程が停止した場合、その後の第1のバッフ
ァ装置のスタッカーにスタックし、第1のクリーニング
工程の前の検査工程以前の工程が停止した場合、第1の
バッファ装置のスタッカーにスタックされているディス
ク基板を第1のクリーニング工程に供給するディスク製
造方法に存する。
Further, (3) when the steps after the first cleaning step are stopped, the steps are stacked on the stacker of the first buffer device, and the steps before the inspection step before the first cleaning step are performed. When stopped, the present invention resides in a disk manufacturing method for supplying a disk substrate stacked on a stacker of a first buffer device to a first cleaning step.

【0009】そしてまた、(4)、第2のクリーニング
工程以降の工程が停止した場合、その後の第2のバッフ
ァ装置のスタッカーにスタックし、第2のクリーニング
工程の前のスパッタリング工程以前の工程が停止した場
合、第2のバッファ装置のスタッカーにスタックされて
いるディスク基板を第2のクリーニング工程に供給する
ディスク製造方法に存する。
(4) When the steps after the second cleaning step are stopped, the steps are stacked on the stacker of the second buffer device, and the steps before the sputtering step before the second cleaning step are performed. When stopped, the present invention resides in a disk manufacturing method for supplying a disk substrate stacked on a stacker of a second buffer device to a second cleaning step.

【0010】そしてまた、(5)、バッファ工程におい
てディスク基板をスタッカーにスタックする際、ディス
ク基板相互間にスペーサが介挿されるディスク製造方法
に存する。
(5) A disk manufacturing method in which a spacer is interposed between disk substrates when stacking disk substrates on a stacker in a buffer step.

【0011】そしてまた、(6)、第2のクリーニング
工程の後に、ディスク基板表面に所定樹脂を塗布する樹
脂オーバコート工程と、コートされた樹脂を硬化させる
樹脂硬化工程と、を含んでいるディスク製造方法に存す
る。
(6) A disk including a resin overcoating step of applying a predetermined resin to the disk substrate surface after the second cleaning step, and a resin curing step of curing the coated resin. Lies in the manufacturing method.

【0012】そしてまた、(7)、成形されたディスク
基板に対して一連の工程ラインに沿って所定の表面処理
を施すためのディスク製造装置であって、ディスク基板
成形装置と、成形されたディスク基板を冷却する冷却装
置と、ディスク基板を清浄するクリーニング装置と、デ
ィスク基板に薄膜を形成するスパッタリング装置と、ク
リーニング装置に対応して、ディスク基板をスタッカー
にスタックし、或いはディスク基板を供給するバッファ
装置と、ディスク基板表面に所定樹脂をオーバコートす
る樹脂コーティング装置と、を備えたディスク製造装置
に存する。
(7) A disk manufacturing apparatus for subjecting a formed disk substrate to a predetermined surface treatment along a series of process lines, comprising: a disk substrate forming apparatus; A cooling device for cooling the substrate, a cleaning device for cleaning the disk substrate, a sputtering device for forming a thin film on the disk substrate, and a buffer for stacking the disk substrate on the stacker or supplying the disk substrate corresponding to the cleaning device. An apparatus and a resin coating apparatus for overcoating the surface of a disk substrate with a predetermined resin.

【0013】そしてまた、(8)、冷却装置は、除電エ
アをディスク基板に吹付けるエア噴射装置と、除電エア
をディスク基板に吹付ける際ディスク基板を所定ピッチ
で搬送する搬送装置とを備えているディスク製造装置に
存する。
(8) The cooling device includes an air ejecting device for blowing the static elimination air onto the disk substrate, and a transport device for transporting the disk substrate at a predetermined pitch when blowing the static elimination air onto the disk substrate. Existing disk manufacturing equipment.

【0014】そしてまた、(9)、バッファ装置は、デ
ィスク基板をスタッカーにスタックする際、ディスク基
板相互間にスペーサを介挿するスペーサ挿着装置を備え
ているディスク製造装置に存する。
Further, (9) the buffer device exists in a disk manufacturing apparatus provided with a spacer insertion device for inserting a spacer between the disk substrates when stacking the disk substrates on the stacker.

【0015】本発明によれば、ディスク基板に薄膜を形
成するスパッタリング工程と、このスパッタリング工程
の前後の第1および第2のクリーニング工程とを含み、
また第1および第2のクリーニング工程に対応してそれ
ぞれ、ディスク基板をスタッカーにスタックする第1お
よび第2のバッファ工程を有する。スパッタリング工程
或いはその前または後にある工程のいずれかが停止した
場合、バッファ装置により停止工程に応じて工程ライン
に対してディスク基板をスタックまたは供給する。この
ように停止した工程を補償しながら、工程全体として稼
動状態を維持することができるため、実質的に製造ライ
ンが停止することなく、ディスクを製造することが可能
になる。
According to the present invention, the method includes a sputtering step of forming a thin film on a disk substrate, and first and second cleaning steps before and after the sputtering step.
Also, the method includes first and second buffering steps for stacking the disk substrates on the stacker, respectively, corresponding to the first and second cleaning steps. When the sputtering process or any of the processes before or after the sputtering process is stopped, the disk device is stacked or supplied to the process line by the buffer device according to the stopping process. Since the operating state of the entire process can be maintained while compensating for the stopped process, a disk can be manufactured without substantially stopping the manufacturing line.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明によ
るディスク製造方法および装置の好適な実施の形態を説
明する。図1および図2は、この実施形態におけるディ
スク製造装置の全体概略構成例を示している。この装置
は、成形されたディスク基板に対して一連の工程ライン
に沿って所定の表面処理が施されるように構成されてい
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a disk manufacturing method and apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show an example of the overall schematic configuration of a disk manufacturing apparatus according to this embodiment. This apparatus is configured to perform a predetermined surface treatment on a formed disk substrate along a series of process lines.

【0017】このディスク製造装置は、ディスク基板を
成形する成形機10と、成形されたディスク基板を冷却
する冷却装置11と、ディスク基板を清浄するクリーニ
ング装置12(第1のクリーニング装置12A,第2の
クリーニング装置12B)、ディスク基板に薄膜を形成
するスパッタリング装置13と、第1のクリーニング装
置12Aに対応して、ディスク基板をスタッカーにスタ
ックし或いはディスク基板を供給する第1のバッファ装
置14と、第2のクリーニング装置12Bに対応してデ
ィスク基板をスタッカーにスタックし或いはディスク基
板を供給する第2のバッファ装置15と、ディスク基板
表面に所定樹脂をオーバコートする樹脂コーティング装
置16と、を備える。
This disk manufacturing apparatus includes a molding machine 10 for molding a disk substrate, a cooling device 11 for cooling the molded disk substrate, and a cleaning device 12 for cleaning the disk substrate (a first cleaning device 12A and a second cleaning device 12A). Cleaning device 12B), a sputtering device 13 for forming a thin film on the disk substrate, a first buffer device 14 for stacking the disk substrate on the stacker or supplying the disk substrate corresponding to the first cleaning device 12A, A second buffer device 15 for stacking the disk substrate on the stacker or supplying the disk substrate corresponding to the second cleaning device 12B, and a resin coating device 16 for overcoating the surface of the disk substrate with a predetermined resin are provided.

【0018】また、取出し機構17は成形機10からデ
ィスク基板を取り出すための装置、第1の反転機構18
はディスク基板を90°反転させる装置、第2の反転機
構19はディスク基板を同様に90°反転させる装置、
ディスクの受渡し移載機構20はディスク基板を受け取
って次の場所に移すための装置、検査装置21(21
A,21B)はディスクの良否を検査する装置である。
The take-out mechanism 17 is a device for taking out a disk substrate from the molding machine 10, and a first reversing mechanism 18 is provided.
Is a device for inverting the disc substrate by 90 °, a second reversing mechanism 19 is a device for inverting the disc substrate similarly by 90 °,
The disk transfer / transfer mechanism 20 is a device for receiving a disk substrate and moving it to the next location, an inspection device 21 (21
A, 21B) is an apparatus for inspecting the quality of a disk.

【0019】ここで、第1のクリーニング装置12は、
供給ピッチ送り機構22を備える。また、第1のバッフ
ァ装置14は、良品をスタックする良品スタッカー23
とスペーサリフタ24と供給移載機構25と不良品をス
タックする不良品スタッカー26とを有する。スパッタ
供給移載機構27はディスク基板をスパッタリング装置
13に移すための装置である。第2のバッファ装置15
は、良品をスタックするスタッカー28とスペーサリフ
タ29とバッファ移載機構30とを有する。
Here, the first cleaning device 12
A supply pitch feed mechanism 22 is provided. In addition, the first buffer device 14 includes a non-defective stacker 23 for stacking non-defective products.
, A spacer lifter 24, a supply / transfer mechanism 25, and a defective stacker 26 for stacking defective products. The sputter supply / transfer mechanism 27 is a device for transferring the disk substrate to the sputtering device 13. Second buffer device 15
Has a stacker 28 for stacking non-defective products, a spacer lifter 29, and a buffer transfer mechanism 30.

【0020】また、樹脂コーティング装置16は、ディ
スク基板に紫外線硬化型樹脂を塗布するためのオーバコ
ート装置31と紫外線照射用テーブル機構32と紫外線
照射装置33とを有する。
The resin coating device 16 includes an overcoat device 31 for applying an ultraviolet-curable resin to the disk substrate, an ultraviolet irradiation table mechanism 32, and an ultraviolet irradiation device 33.

【0021】さらに、印字装置34はインクジェット等
の方法によりディスク基板にロットナンバ等の所定の情
報を印字する装置、ディスク移載機構35はディスク基
板をある位置から他の位置へ移す装置、不良品スタッカ
ー36は不良品をスタックする装置、スペーサリフタ3
7は、スペーサをスタックポールに装着してディスク基
板同士の接触を防止するための装置、完成品スタッカー
38は完成品であるディスク基板をスタックしておくた
めの装置、スペーサ収納スタッカー39はスペーサをス
タックしておく装置である。
Further, a printing device 34 is a device for printing predetermined information such as a lot number on a disk substrate by a method such as ink-jet printing, and a disk transfer mechanism 35 is a device for moving the disk substrate from one position to another position. Stacker 36 is a device for stacking defective products, spacer lifter 3
7 is a device for mounting spacers on a stack pole to prevent contact between disk substrates, a finished product stacker 38 is a device for stacking finished disk substrates, and a spacer storage stacker 39 is a device for stacking spacers. It is a device to be stacked.

【0022】つぎに、上記構成でなる本発明装置におけ
る作用を説明する。まず、成形機10で成形されたディ
スク基板Wは図3のように、ディスク取出し機構17に
よって成形機10から反転機構18を介して冷却装置1
1側(2点鎖線)へ移載される。
Next, the operation of the apparatus of the present invention having the above configuration will be described. First, as shown in FIG. 3, the disc substrate W formed by the molding machine 10 is cooled by the disc removing mechanism 17 from the molding machine 10 via the reversing mechanism 18 by the cooling device 1.
It is transferred to one side (two-dot chain line).

【0023】つぎに、冷却装置11は図4のように、除
電エアをディスク基板Wに吹付けるエア噴射装置40
と、除電エアをディスク基板Wに吹付ける際ディスク基
板Wを所定ピッチで搬送する搬送装置41とを備えてい
る。搬送装置41は往路と復路を有し、その間にディス
ク基板Wを往路から復路に移し変えるための中間移載機
構42を含んでいる。基板Wは搬送装置41によって全
体として「コ」の字状に搬送される。搬送装置41の搬
送機構は、たとえばボールスクリューのねじ部にディス
ク基板Wを装着して、そのねじの回転により搬送するも
のであってもよい。
Next, as shown in FIG. 4, the cooling device 11 includes an air injection device 40 for blowing static elimination air onto the disk substrate W.
And a transfer device 41 for transferring the disk substrate W at a predetermined pitch when blowing the static elimination air onto the disk substrate W. The transfer device 41 has a forward path and a return path, and includes an intermediate transfer mechanism 42 for transferring the disk substrate W from the forward path to the return path. The substrate W is transported by the transport device 41 as a whole in a U-shape. The transfer mechanism of the transfer device 41 may be, for example, a type in which the disk substrate W is mounted on a screw portion of a ball screw, and the disk substrate W is transferred by rotating the screw.

【0024】エア噴射装置40は往路と復路の搬送装置
41に対応して一対設けられ、複数列設されたノズル4
3からディスク基板Wに除電エアを吹付ける。冷却装置
11により多数のディスク基板Wを効率よく冷却・清浄
することができる。
The air injection devices 40 are provided in a pair corresponding to the forward and backward transport devices 41, and the nozzles 4 arranged in a plurality of rows are provided.
From 3, static elimination air is blown to the disk substrate W. The cooling device 11 can efficiently cool and clean many disk substrates W.

【0025】つぎに、ディスク基板Wは、第2の反転機
構19とディスク受渡し移載機構20によって検査装置
21Aに移載される。検査装置21Aは図5のように、
たとえばディスク基板Wの上下からカメラ44によって
画像認識し、その良否を検査する。この検査結果で良品
は、つぎの第1のクリーニング装置12Aに送られる。
Next, the disk substrate W is transferred to the inspection device 21A by the second reversing mechanism 19 and the disk transfer / transfer mechanism 20. The inspection device 21A is as shown in FIG.
For example, an image is recognized by the camera 44 from above and below the disk substrate W, and the quality is inspected. Non-defective products are sent to the next first cleaning device 12A based on the inspection result.

【0026】ここで、第1のクリーニング装置12Aに
よる第1のクリーニング工程以降の工程が停止した場
合、良品は第1のバッファ装置14のスタッカー23に
スタックされ、第1のクリーニング工程の前の検査工程
以前の工程が停止した場合、今度は、スタッカー23に
スタックされているディスク基板Wを供給移載機構25
によってクリーニング装置12A(第1のクリーニング
工程)に供給する。良品をスタッカー23にスタックす
る場合、スペーサリフタ(スペーサ挿着装置)24によ
ってスペーサ45(図7参照)がスタックポールに装着
されてディス基板相互間に介挿される。このようにスペ
ーサを介在させることにより、ディスク基板W同士が直
接接触するのを防止することができる。なお、不良品を
不良品スタッカー26にスタックする場合には、スペー
サは挿着されない。
Here, when the processes after the first cleaning process by the first cleaning device 12A are stopped, the non-defective products are stacked on the stacker 23 of the first buffer device 14 and inspected before the first cleaning process. When the process before the process is stopped, this time, the disk substrate W stacked on the stacker 23 is supplied to the supply transfer mechanism 25.
To the cleaning device 12A (first cleaning step). When stacking good products on the stacker 23, the spacer 45 (see FIG. 7) is mounted on the stack pole by the spacer lifter (spacer insertion device) 24 and inserted between the disc substrates. By thus interposing the spacer, it is possible to prevent the disk substrates W from directly contacting each other. When a defective product is stacked on the defective product stacker 26, the spacer is not inserted.

【0027】クリーニング装置12は図6のように、デ
ィスク基板Wの回転・支持機構46とクリーンエアの噴
出し機構47とこれらを覆うフード48を含んでいる。
回転・支持機構46によって回転するディスク基板Wに
対して、クリーンエアの噴出し機構47からクリーンエ
アを吹き付けることで、つぎのスパッタリング工程のた
めのクリーニングが行なわれる。
As shown in FIG. 6, the cleaning device 12 includes a mechanism 46 for rotating and supporting the disk substrate W, a mechanism 47 for blowing clean air, and a hood 48 for covering these.
The cleaning for the next sputtering process is performed by blowing clean air from the clean air ejection mechanism 47 onto the disk substrate W rotated by the rotation / support mechanism 46.

【0028】つぎに、クリーニング装置12Aによりク
リーニングされたディスク基板Wは、スパッタ供給移載
機構27によってスパッタリング装置13に移載され
る。このスパッタリング装置13ではディスク基板Wに
4層の薄膜が形成される。ここで使用されるスパッタリ
ング装置13は、公知のものが使用できる。スパッタリ
ング工程後、ディスク基板Wは再びクリーニング装置1
2B(第2のクリーニング工程)に送られる。
Next, the disk substrate W cleaned by the cleaning device 12A is transferred to the sputtering device 13 by the sputter supply / transfer mechanism 27. In this sputtering apparatus 13, four thin films are formed on the disk substrate W. As the sputtering device 13 used here, a known device can be used. After the sputtering process, the disk substrate W is again cleaned with the cleaning device 1
2B (second cleaning step).

【0029】ここで、クリーニング装置12Bによる第
2のクリーニング工程以降の工程が停止した場合、良品
はバッファ装置15のスタッカー28にスタックされ、
第2のクリーニング工程の前のスパッタリング工程以前
の工程が停止した場合、第2のバッファ装置のスタッカ
ー28にスタックされているディスク基板Wをバッファ
移載機構30によって第2のクリーニング工程に供給す
る。良品をスタッカー28にスタックする場合、スペー
サリフタ29によって図7の斜視図及び正面図に示すよ
うに、ディスク基板相互間にスペーサ45が介挿され
る。
Here, when the processes after the second cleaning process by the cleaning device 12B are stopped, the non-defective products are stacked on the stacker 28 of the buffer device 15, and
When the step before the sputtering step before the second cleaning step is stopped, the disk substrate W stacked on the stacker 28 of the second buffer device is supplied to the second cleaning step by the buffer transfer mechanism 30. When stacking non-defective products on the stacker 28, the spacer 45 is interposed between the disk substrates by the spacer lifter 29 as shown in the perspective view and the front view of FIG.

【0030】第2のクリーニング工程の後、樹脂コーテ
ィング装置16においてまず、図8のようにオーバコー
ト装置31によってディスク基板Wに紫外線硬化型樹脂
Mを塗布する。この場合、ディスク基板Wは高速回転し
ながら、紫外線硬化型樹脂Mが塗布される。つぎに、紫
外線照射装置33において図9のように、紫外線照射ラ
ンプ49でディスク基板Wを照射する際、紫外線照射用
テーブル機構32によってディスク基板Wを回転させ
る。
After the second cleaning step, in the resin coating device 16, first, the ultraviolet curing resin M is applied to the disk substrate W by the overcoat device 31 as shown in FIG. In this case, the ultraviolet curing resin M is applied while the disk substrate W rotates at a high speed. Next, as shown in FIG. 9, when irradiating the disk substrate W with the ultraviolet irradiation lamp 49 in the ultraviolet irradiation device 33, the disk substrate W is rotated by the ultraviolet irradiation table mechanism 32.

【0031】つぎに、印字装置34によって、図10の
ようにディスク基板Wの適所(好適にはディスクシピン
ドル孔の周囲)にロットナンバ等の所定の情報を印字す
る。つぎに、検査装置21Bによって完成品ディスクの
最終検査が行なわれる。完成品ディスクの良不良に応じ
て、不良品は図11のように不良品スタッカー36のス
タックポール50に収納される。また、良品は図12の
ように、完成品スタッカー38のスタックポール51に
収納される。この場合、スペーサリフタ37によって、
スタッカー39にあるスペーサ52が、図のようにスペ
ーサ収納スタックポール51に装着され、ディスク基板
相互間にスペーサが介挿される。
Next, as shown in FIG. 10, predetermined information such as a lot number is printed at an appropriate position on the disk substrate W (preferably around the disk spindle hole) by the printing device 34. Next, the final inspection of the finished disk is performed by the inspection device 21B. In accordance with the quality of the finished product disk, the defective product is stored in the stack pole 50 of the defective product stacker 36 as shown in FIG. The non-defective product is stored in the stack pole 51 of the finished product stacker 38 as shown in FIG. In this case, the spacer lifter 37
The spacer 52 on the stacker 39 is mounted on the spacer storage stack pole 51 as shown in the figure, and the spacer is inserted between the disk substrates.

【0032】以上の工程により完成品としてのCDが得
られる。この場合、上述したようにスパッタリング工程
或いはその前後の工程のいずれかが停止した場合、バッ
ファ装置14,15により停止工程に応じて工程ライン
に対してディスク基板Wをスタックし、或いは供給する
ことで工程全体として停止することなく稼動状態を維持
することができる。
Through the above steps, a CD as a finished product is obtained. In this case, when the sputtering process or any of the processes before and after the sputtering process is stopped as described above, the disk devices W are stacked or supplied to the process line by the buffer devices 14 and 15 according to the stopping process. The operating state can be maintained without stopping the entire process.

【0033】なお、本発明は上記実施形態にのみ限定さ
れるものでなく、本発明の範囲内で種々の変形等が可能
である。たとえば、2つのバッファ装置14,15を設
けた例を説明したが、装置全体の工程数の増減に応じて
バッファ装置を適宜増減してもよく、いずれの場合も実
質的に同等な作用効果を得ることができる。また、検査
装置は、適宜増減可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, although an example in which two buffer devices 14 and 15 are provided has been described, the number of buffer devices may be appropriately increased or decreased according to the increase or decrease in the number of steps of the entire device. Obtainable. The number of inspection devices can be increased or decreased as appropriate.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、こ
の種のディスク製造装置において工程ライン適所にバッ
ファ装置を設けることにより、工程ライン中で停止個所
が生じた場合でもCDを常に連続的に稼働することがで
き効率的な生産が可能である。
As described above, according to the present invention, by providing a buffer device at an appropriate position on a process line in a disk manufacturing apparatus of this kind, a CD can be continuously reproduced even when a stop point occurs in the process line. And efficient production is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の実施形態における装置の全体
構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of an apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の実施形態における装置の全体
構成を示す側面図である。
FIG. 2 is a side view showing the overall configuration of the apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図3】図3は、本発明の実施形態におけるディスク取
出し機構まわりを示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a periphery of a disk ejection mechanism according to the embodiment of the present invention.

【図4】図4は、本発明の実施形態における冷却装置ま
わりを示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a periphery of a cooling device according to the embodiment of the present invention.

【図5】図5は、本発明の実施形態における検査装置ま
わりを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing the periphery of an inspection device according to the embodiment of the present invention.

【図6】図6は、本発明の実施形態におけるクリーニン
グ装置まわりを示す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a periphery of a cleaning device according to the embodiment of the present invention.

【図7】図7は、本発明の実施形態における良品ディス
クスタッカーまわりを示す図であり、(A)は斜視図、
及び(B)は正面図である。
FIGS. 7A and 7B are views showing a periphery of a good disk stacker according to the embodiment of the present invention, FIG.
(B) is a front view.

【図8】図8は、本発明の実施形態における樹脂コーテ
ィング装置のオーバコート装置まわりを示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing the periphery of an overcoating device of the resin coating device according to the embodiment of the present invention.

【図9】図9は、本発明の実施形態における樹脂コーテ
ィング装置の紫外線照射装置まわりを示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating the vicinity of an ultraviolet irradiation device of the resin coating device according to the embodiment of the present invention.

【図10】図10は、本発明の実施形態における印字さ
れたディスク基板を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a printed disk substrate according to the embodiment of the present invention.

【図11】図11は、本発明の実施形態における不良品
ディスクスタッカーまわりを示す斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view showing a periphery of a defective disk stacker according to the embodiment of the present invention.

【図12】図12は、本発明の実施形態における良品デ
ィスクスタッカーまわりを示す正面図である。
FIG. 12 is a front view showing the periphery of a good disk stacker according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…成形機 11…冷却装置 12(12A,12B)…クリーニング装置 13…スパッタリング装置 14,15…バッファ装置 16…樹脂コーティング装置 17…取出し機構 18…第1の反転機構 19…第2の反転機構 20…ディスク受渡し移載機構 21(21A,21B)…検査装置 22…供給ピッチ送り機構 23…良品スタッカー 24…スペーサリフタ 25…供給移載機構 26…不良品スタッカー 27…スパッタ供給移載機構 28…スタッカー 29…スペーサリフタ 30…バッファ移載機構 31…オーバコート装置 32…紫外線照射用テーブル機構 33…紫外線照射装置 34…印字装置 35…ディスク移載機構 36…不良品スタッカー 37…スペーサリフタ 38…完成品スタッカー 39…スペーサ収納スタッカー 40…エア噴射装置 41…搬送装置 42…中間移載機構 43…ノズル 44…カメラ 45…スペーサ 46…回転・支持機構 47…クリーンエアの噴出し機構 48…フード 49…紫外線照射ランプ 50…スタックポール 51…スタックポール 52…スペーサ W…ディスク基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Molding machine 11 ... Cooling device 12 (12A, 12B) ... Cleaning device 13 ... Sputtering device 14, 15 ... Buffer device 16 ... Resin coating device 17 ... Take-out mechanism 18 ... 1st inversion mechanism 19 ... 2nd inversion mechanism DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Disk delivery / transfer mechanism 21 (21A, 21B) ... Inspection apparatus 22 ... Supply pitch feed mechanism 23 ... Good stacker 24 ... Spacer lifter 25 ... Supply / transfer mechanism 26 ... Defective product stacker 27 ... Sputter supply / transfer mechanism 28 ... Stacker 29 ... Spacer lifter 30 ... Buffer transfer mechanism 31 ... Overcoating device 32 ... Ultraviolet irradiation table mechanism 33 ... Ultraviolet irradiation device 34 ... Printer 35 ... Disk transfer mechanism 36 ... Defective product stacker 37 ... Spacer lifter 38 ... Completion Product stacker 39… Spacer storage stacker 4 ... Air injection device 41 ... Conveying device 42 ... Intermediate transfer mechanism 43 ... Nozzle 44 ... Camera 45 ... Spacer 46 ... Rotation / support mechanism 47 ... Clean air ejection mechanism 48 ... Hood 49 ... Ultraviolet irradiation lamp 50 ... Stack pole 51 ... Stack pole 52 ... Spacer W ... Disk board

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 見喜 勝 徳島県小松島市田野町字月の輪98番地の1 北野エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 5D121 AA03 AA04 AA05 EE03 EE19 EE21 EE24 FF01 GG18 GG28 JJ03 JJ05 JJ08  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Masaru Miki 1 at 98, Tsunowa, Tanomachi, Tanomachi, Komatsushima, Tokushima F-term in Kitano Engineering Co., Ltd. (Reference) 5D121 AA03 AA04 AA05 EE03 EE19 EE21 EE24 FF01 GG18 GG28 JJ03 JJ05 JJ08

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 成形されたディスク基板に対して一連の
工程ラインに沿って所定の表面処理を施すためのディス
ク製造方法であって、 ディスク基板に薄膜を形成するスパッタリング工程と、
このスパッタリング工程の前後の第1および第2のクリ
ーニング工程とを含み、 スパッタリング工程或いはその前または後の工程のいず
れかが停止した場合、その停止した工程を補償しなが
ら、工程全体として連続した稼動状態が維持されること
を特徴とするディスク製造方法。
1. A disk manufacturing method for subjecting a formed disk substrate to a predetermined surface treatment along a series of process lines, comprising: a sputtering step of forming a thin film on the disk substrate;
The first and second cleaning steps before and after the sputtering step, and when the sputtering step or any of the steps before or after the step is stopped, the continuous operation is performed as a whole while compensating for the stopped step. A method for manufacturing a disk, wherein a state is maintained.
【請求項2】 第1および第2のクリーニング工程に対
応してそれぞれ、ディスク基板をスタッカーにスタック
する第1および第2のバッファ工程を有し、停止工程に
応じて工程ラインに対してディスク基板をスタックまた
は供給することを特徴とする請求項1に記載のディスク
製造方法。
2. The method according to claim 1, further comprising: first and second buffer steps for stacking the disk substrates on a stacker corresponding to the first and second cleaning steps, respectively. 2. The method according to claim 1, wherein the disk is stacked or supplied.
【請求項3】 第1のクリーニング工程以降の工程が停
止した場合、その後の第1のバッファ装置のスタッカー
にスタックし、第1のクリーニング工程の前の検査工程
以前の工程が停止した場合、第1のバッファ装置のスタ
ッカーにスタックされているディスク基板を第1のクリ
ーニング工程に供給することを特徴とする請求項2に記
載のディスク製造方法。
3. When a step after the first cleaning step is stopped, the stack is stacked on the stacker of the first buffer device thereafter, and when a step before the inspection step before the first cleaning step is stopped, The disk manufacturing method according to claim 2, wherein the disk substrate stacked on the stacker of the one buffer device is supplied to the first cleaning step.
【請求項4】 第2のクリーニング工程以降の工程が停
止した場合、その後の第2のバッファ装置のスタッカー
にスタックし、第2のクリーニング工程の前のスパッタ
リング工程以前の工程が停止した場合、第2のバッファ
装置のスタッカーにスタックされているディスク基板を
第2のクリーニング工程に供給することを特徴とする請
求項2に記載のディスク製造方法。
4. When a step after the second cleaning step is stopped, the stack is stacked on the stacker of the second buffer device thereafter, and when a step before the sputtering step before the second cleaning step is stopped, The disk manufacturing method according to claim 2, wherein the disk substrate stacked on the stacker of the second buffer device is supplied to the second cleaning step.
【請求項5】 バッファ工程においてディスク基板をス
タッカーにスタックする際、ディスク基板相互間にスペ
ーサが介挿されることを特徴とする請求項2〜4のいず
れかに記載のディスク製造方法。
5. The disk manufacturing method according to claim 2, wherein a spacer is interposed between the disk substrates when stacking the disk substrates on the stacker in the buffering step.
【請求項6】 第2のクリーニング工程の後に、ディス
ク基板表面に所定樹脂を塗布する樹脂オーバコート工程
と、コートされた樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、を
含んでいることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに
記載のディスク製造方法。
6. The method according to claim 1, further comprising: after the second cleaning step, a resin overcoating step of applying a predetermined resin to the surface of the disk substrate, and a resin curing step of curing the coated resin. Item 6. The disk manufacturing method according to any one of Items 2 to 5.
【請求項7】 成形されたディスク基板に対して一連の
工程ラインに沿って所定の表面処理を施すためのディス
ク製造装置であって、 ディスク基板成形装置と、 成形されたディスク基板を冷却する冷却装置と、 ディスク基板を清浄するクリーニング装置と、 ディスク基板に薄膜を形成するスパッタリング装置と、 クリーニング装置に対応して、ディスク基板をスタッカ
ーにスタックし、或いはディスク基板を供給するバッフ
ァ装置と、 ディスク基板表面に所定樹脂をオーバコートする樹脂コ
ーティング装置と、を備えたことを特徴とするディスク
製造装置。
7. A disk manufacturing apparatus for performing a predetermined surface treatment on a formed disk substrate along a series of process lines, comprising: a disk substrate forming apparatus; and a cooling device for cooling the formed disk substrate. Device, a cleaning device for cleaning the disk substrate, a sputtering device for forming a thin film on the disk substrate, a buffer device for stacking the disk substrate on the stacker or supplying the disk substrate corresponding to the cleaning device, and a disk substrate A disk manufacturing apparatus, comprising: a resin coating device for overcoating a predetermined resin on the surface.
【請求項8】 冷却装置は、除電エアをディスク基板に
吹付けるエア噴射装置と、除電エアをディスク基板に吹
付ける際ディスク基板を所定ピッチで搬送する搬送装置
とを備えていることを特徴とする請求項7に記載のディ
スク製造装置。
8. A cooling device comprising: an air ejecting device that blows static elimination air onto a disk substrate; and a transport device that transports the disk substrate at a predetermined pitch when blowing the static elimination air onto the disk substrate. The disk manufacturing apparatus according to claim 7, wherein:
【請求項9】 バッファ装置は、ディスク基板をスタッ
カーにスタックする際、ディスク基板相互間にスペーサ
を介挿するスペーサ挿着装置を備えていることを特徴と
する請求項7または8に記載のディスク製造装置。
9. The disk according to claim 7, wherein the buffer device includes a spacer insertion device that inserts a spacer between the disk substrates when stacking the disk substrates on the stacker. manufacturing device.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002065463A1 (en) * 2001-02-16 2002-08-22 Origin Electric Company, Limited Optical disk producing device and producing method
WO2005057569A1 (en) * 2003-12-09 2005-06-23 Kitano Co., Ltd. Cool air cooling device for optical disks
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