JP2002083407A - Magnetoresistive magnetic head - Google Patents

Magnetoresistive magnetic head

Info

Publication number
JP2002083407A
JP2002083407A JP2000273530A JP2000273530A JP2002083407A JP 2002083407 A JP2002083407 A JP 2002083407A JP 2000273530 A JP2000273530 A JP 2000273530A JP 2000273530 A JP2000273530 A JP 2000273530A JP 2002083407 A JP2002083407 A JP 2002083407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
substrate
auxiliary substrate
main substrate
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000273530A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihisa Obata
明久 小幡
Kenkichi Inada
健吉 稲田
Noboru Hotta
昇 堀田
Shiyuuzou Sasajima
崇三 笹嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2000273530A priority Critical patent/JP2002083407A/en
Publication of JP2002083407A publication Critical patent/JP2002083407A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MR head provided with an auxiliary substrate strong to electrostatic breakdown. SOLUTION: In, the magnetoresistive magnetic head provided with an auxiliary substrate, its main substrate and the auxiliary substrate are grounded to the same conductive member as a ground potential. A conductive material having a specific resistance value smaller than the main substrate and the auxiliary substrate is formed on at least a part excluding a head sliding surface, the main substrate and the auxiliary substrate are electrically connected to each other, and a similar effect is provided even when at least one of the main substrate and the auxiliary substrate is set at a ground potential. As a specific method of electrically connecting the main substrate and the auxiliary substrate to each other, a conductive material is formed on in a step part for regulating a sliding width by using a thin film forming technology such as a sputtering method, a deposition method.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体との
摺動により磁気記録媒体からの信号を検出する、補助基
板を具備した磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、加工
工程での研磨テープとの摺動、信号の記録・再生時の磁
気テープ等の記録媒体との摺動の際に発生する静電気を
除去するように構成された、補助基板を具備した磁気抵
抗効果型磁気ヘッド装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetoresistive head provided with an auxiliary substrate for detecting a signal from a magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium. The present invention relates to a magnetoresistive effect type magnetic head device having an auxiliary substrate, which is configured to remove static electricity generated when sliding with a recording medium such as a magnetic tape during recording / reproducing of signals. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスクの分野では再生ヘッ
ドとして磁気抵抗効果型磁気ヘッド(Magneto Resistiv
eヘッド、以下MRヘッドと略す)が用いられている。MR
ヘッドは、磁界の強さに応じて電気抵抗値が変化する磁
気抵抗効果素子(以下、MR素子と略す)を用いた再生ヘ
ッドである。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of magnetic disks, a magneto-resistive effect type magnetic head (Magneto Resistiv
e head, hereinafter abbreviated as MR head). MR
The head is a reproducing head using a magnetoresistive element (hereinafter, abbreviated as MR element) whose electric resistance changes according to the strength of a magnetic field.

【0003】MRヘッドは、適用するMR素子の面から大別
すると、異方性磁気抵抗効果を利用したAMRヘッド(Ani
sotropic Magneto Resistiveヘッド)、巨大磁気抵抗効
果を利用したGMRヘッド(Giant Magneto Resistiveヘッ
ド)、トンネル磁気抵抗効果を利用したTMRヘッド(Tun
nel Magneto Resistiveヘッド)等があり、現在、磁気
ディスクの分野では、GMRヘッドを搭載した製品が主流
となっており、更なる高記録密度化を目的とした高感度
であるTMRヘッドの研究が盛んである。
[0003] MR heads can be roughly classified from the aspect of the MR element to which they are applied.
sotropic Magneto Resistive head), GMR head using giant magnetoresistive effect (Giant Magneto Resistive head), TMR head using tunnel magnetoresistive effect (Tun
nel Magneto Resistive heads), and in the field of magnetic disks, products equipped with GMR heads are currently the mainstream, and research on TMR heads with high sensitivity for the purpose of further increasing the recording density is active. It is.

【0004】一方、記録媒体に磁気テープを用いたテー
プストリーマの分野では、回転ドラムに搭載された磁気
ヘッドを磁気テープに対し斜めに走査することで信号の
記録・再生を行うヘリカルスキャン方式が用いられてい
るシステムがある。これらに用いられている磁気ヘッド
は、記録ヘッドとしては、高飽和磁束密度を有する金属
磁性膜とフェライトを組み合わせた、いわゆる複合型磁
気ヘッドや高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を非磁性
基板上に積層構造とした、いわゆる積層型磁気ヘッドが
主として用いられ、再生ヘッドとしては、フェライトヘ
ッドや多層膜構造を採る複合型磁気ヘッド、積層型磁気
ヘッドなどの電磁誘導型磁気ヘッド、いわゆるインダク
ティブヘッドが用いられている。しかし、近年の高記録
密度化と高転送レート化の要求を実現するためには、従
来のインダクティブヘッドより高い出力の得られる前述
のMRヘッドを再生ヘッドとして使用することが必要であ
り、MRヘッドを磁気テープシステムに適用する研究開発
が盛んに行われている。例えば、電子情報通信学会技術
研究報告(MR99−70,1999−12,p.21−p.27)ではAMRヘッ
ドを用いた、「回転ドラム搭載型MRヘッドの高密度記録
再生特性」という題目で報告がなされている。この報告
のMRヘッドは、従来磁気ディスク装置に用いられている
シールド型磁気ヘッド構造を採り、上部で接合される補
助基板とから構成されている。このように補助基板を接
合することで、ヘッドの摺動面形状を従来のインダクテ
ィブヘッドと略同等の形状とすることができ、テープと
ヘッドの摺動の問題も既存の技術が適用できる。
On the other hand, in the field of a tape streamer using a magnetic tape as a recording medium, a helical scan method in which a magnetic head mounted on a rotating drum scans a magnetic tape obliquely to record / reproduce a signal is used. There are systems that are. The magnetic heads used for these are, as a recording head, a so-called composite type magnetic head combining a metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density and ferrite, or a metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density on a non-magnetic substrate. A so-called laminated magnetic head having a laminated structure is mainly used, and as a reproducing head, an electromagnetic induction type magnetic head such as a ferrite head, a composite magnetic head employing a multilayer film structure, a laminated magnetic head, etc., a so-called inductive head. Used. However, in order to realize the recent demand for higher recording density and higher transfer rate, it is necessary to use the above-mentioned MR head, which can obtain higher output than the conventional inductive head, as a reproducing head. The research and development of applying this to magnetic tape systems has been actively conducted. For example, in the Technical Report of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (MR99-70, 1999-12, p.21-p.27), an AMR head was used under the title `` High-density recording / reproduction characteristics of a rotating drum-mounted MR head. '' Reports have been made. The MR head reported in this report adopts a shielded magnetic head structure conventionally used in a magnetic disk drive, and is composed of an auxiliary substrate joined at an upper portion. By joining the auxiliary substrate in this manner, the sliding surface shape of the head can be made substantially the same as that of the conventional inductive head, and the existing technology can be applied to the problem of sliding between the tape and the head.

【0005】MRヘッドはこれまで説明してきたように再
生ヘッドとしては従来のインダクティブ型の磁気ヘッド
よりもその感度に優れている。しかし、周知のようにMR
素子は静電気に対して弱く、MR素子部の静電破壊を防止
することが重要である。MRヘッドの静電破壊に対する対
策として、例えば、特開平6−251338号公報に開示され
ているように、導電性基板に形成された磁気抵抗効果型
の薄膜磁気回路と導電性基板の電位を接地電位に維持す
ることが有効であることが示されている。
As described above, the MR head has a higher sensitivity as a reproducing head than a conventional inductive magnetic head. However, as is well known, MR
The element is susceptible to static electricity, and it is important to prevent the electrostatic discharge of the MR element. As a countermeasure against electrostatic breakdown of the MR head, for example, as disclosed in JP-A-6-251338, the potential of the magnetoresistive thin-film magnetic circuit formed on the conductive substrate and the potential of the conductive substrate are grounded. It has been shown that it is effective to maintain the potential.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】MRヘッドとテープ媒体
を組み合わせたシステムでは、ヘッド加工時の円筒研削
工程、研磨テープによる摺動面形成研磨工程、また実走
行状態でのテープとの摺動等、砥石や研磨テープ、媒体
である磁気テープと接触する。円筒研削工程では、MR素
子まで研磨しなくても差し支えないが、研磨テープによ
る摺動面形成研磨または実走行状態ではMRヘッドと研磨
テープまたは磁気テープの接触摺動は避けられない。こ
のため、テープに蓄積された電荷が磁気抵抗効果型磁気
ヘッド内に飛び込み、MR素子部が損傷を受けるという、
いわゆる静電破壊が発生しMRヘッドの歩留まりを低下さ
せるという問題があることがわかった。
In a system in which an MR head and a tape medium are combined, a cylindrical grinding process at the time of head processing, a polishing surface forming and polishing process using a polishing tape, and a sliding operation with the tape in an actual running state. It comes into contact with whetstones, polishing tapes, and magnetic tape as a medium. In the cylindrical grinding process, the MR element may not be polished, but the sliding of the MR head and the polishing tape or the magnetic tape is inevitable in the polishing of forming the sliding surface with the polishing tape or in the actual running state. For this reason, the charge accumulated on the tape jumps into the magnetoresistive head and the MR element is damaged.
It has been found that there is a problem that so-called electrostatic breakdown occurs and lowers the yield of the MR head.

【0007】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
で、その目的は静電破壊に強い、補助基板を具備したMR
ヘッドを提供するところにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an MR with an auxiliary substrate which is resistant to electrostatic breakdown.
Is to provide the head.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、補助基板を具
備したMRヘッドのヘッド加工工程での歩留まり改善、ヘ
ッド信頼性に関して実験的に詳細に検討した結果から導
き出されたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been derived from the results of detailed examinations on the improvement of the yield and the head reliability in the head processing step of an MR head having an auxiliary substrate.

【0009】つまり、従来の磁気ディスクに用いられて
いる静電気対策を行ったMRヘッドと、補助基板を具備し
たMRヘッドでは、テープ等の摺動に対する静電破壊の耐
力が異なることが明らかとなった。
In other words, it is clear that the MR head provided with an auxiliary substrate and having a countermeasure against static electricity used in a conventional magnetic disk and the MR head provided with an auxiliary substrate have different resistance to electrostatic breakdown against sliding of a tape or the like. Was.

【0010】補助基板は主基板上に形成されたMR素子部
の完成後に、保護膜形成面側に接合されるため電気的に
浮いた状態であり、補助基板が帯電した場合にその電荷
は補助基板と接合している保護膜を通して主基板に抜け
る電流経路を採ると考えられる。実験的に検証した結
果、補助基板を電気的に浮かしたMRヘッドでMR抵抗値が
増大する等の不良が多く発生することが明らかとなっ
た。
After the completion of the MR element formed on the main substrate, the auxiliary substrate is electrically floated because it is bonded to the protective film forming surface side. It is considered that a current path that passes through the protective film joined to the substrate to the main substrate is employed. As a result of an experimental verification, it has been clarified that many defects such as an increase in the MR resistance value occur in the MR head in which the auxiliary substrate is electrically floated.

【0011】このことから、補助基板の帯電を防止する
ことが補助基板を具備するMRヘッドの歩留まりおよび信
頼性の向上につながることが分かる。
From this, it can be seen that preventing charging of the auxiliary substrate leads to improvement in yield and reliability of the MR head having the auxiliary substrate.

【0012】具体的には、該主基板と該補助基板が接地
電位である同一の導電性部材に接地されていることを特
徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドで実現される。この
ようにすることで、補助基板と主基板の電位差がなくな
りそれぞれの基板に流入した電荷がMR素子部を通過する
ことがなくなる。
More specifically, the present invention is realized by a magnetoresistive magnetic head characterized in that the main substrate and the auxiliary substrate are grounded to the same conductive member at a ground potential. By doing so, the potential difference between the auxiliary substrate and the main substrate is eliminated, and the charge flowing into each substrate does not pass through the MR element portion.

【0013】また、接地部材としては、接地電位である
ヘッドベースが好適であり、必要に応じてヘッドベース
のMRヘッド接合部分の形状を補助基板側に凸となる形状
とすることで補助基板とヘッドベースが確実に接合され
有効である。
As the grounding member, a head base having a ground potential is preferable. If necessary, the MR head joint portion of the head base is formed to have a shape protruding toward the auxiliary substrate side, so that the head substrate can be connected to the auxiliary substrate side. The head base is securely joined and effective.

【0014】また、ヘッド摺動面を除く少なくとも一部
分に主基板及び補助基板より比抵抗値の小さい導電性材
料が形成され、主基板と補助基板を電気的接続するとと
もに、主基板または補助基板の少なくとも一方が接地電
位となっている場合も同様の効果が得られる。主基板と
補助基板を電気的に接続する具体的な手法として、摺動
幅を規制する段差部にスパッタリング法や蒸着法或いは
めっき法等の薄膜形成技術を用いて導電性材料が形成す
ることが有効である。
A conductive material having a lower specific resistance than the main substrate and the auxiliary substrate is formed on at least a part except for the head sliding surface to electrically connect the main substrate and the auxiliary substrate. The same effect can be obtained when at least one of them is at the ground potential. As a specific method of electrically connecting the main substrate and the auxiliary substrate, a conductive material is formed on a step portion that regulates a sliding width by using a thin film forming technique such as a sputtering method, an evaporation method, or a plating method. It is valid.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を詳細に説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

【0016】図1は本発明の第1の実施の形態の磁気ヘ
ッド装置1の一例であり、図2に示す補助基板を具備し
たMRヘッド2の主基板と補助基板がヘッドベース3に直接
接地されてなり、更にヘッドベースが接地電位である構
造となっている。本実施例はヘリカルスキャン方式を採
る磁気記録再生装置への適用例である。
FIG. 1 shows an example of a magnetic head device 1 according to a first embodiment of the present invention. A main substrate and an auxiliary substrate of an MR head 2 having an auxiliary substrate shown in FIG. In addition, the head base is structured to be at the ground potential. This embodiment is an example of application to a magnetic recording / reproducing apparatus employing a helical scan method.

【0017】図2において、10は主基板であり、11は主
基板10に形成された記録ヘッドと再生ヘッドを含むヘッ
ド部、12はヘッド部11を保護するために形成された保護
膜、13は補助基板で、14は電極端子、15は摺動幅規制溝
である。
In FIG. 2, 10 is a main substrate, 11 is a head portion including a recording head and a reproducing head formed on the main substrate 10, 12 is a protective film formed for protecting the head portion 11, 13 Is an auxiliary substrate, 14 is an electrode terminal, and 15 is a sliding width regulating groove.

【0018】図3にヘッド部11の拡大図を示す。図3に
おいては、図2に示した保護膜12を割愛した。図3にお
いて、10は主基板であり、21は主基板上に形成された下
地膜、22は下部磁気シールド膜、23は上部磁気シールド
膜である。24はMR素子であり、25はMR素子24の両側に接
続された電極である。また、26は記録ヘッドの上部コ
ア、27は記録ヘッドのコイル、28は記録ギャップであ
る。
FIG. 3 is an enlarged view of the head section 11. As shown in FIG. 3, the protective film 12 shown in FIG. 2 is omitted. In FIG. 3, 10 is a main substrate, 21 is a base film formed on the main substrate, 22 is a lower magnetic shield film, and 23 is an upper magnetic shield film. Reference numeral 24 denotes an MR element, and reference numeral 25 denotes electrodes connected to both sides of the MR element 24. 26 is an upper core of the recording head, 27 is a coil of the recording head, and 28 is a recording gap.

【0019】次に本発明のMRヘッド装置の製造方法を図
4〜図6を用いて説明する。
Next, a method of manufacturing the MR head device of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0020】まず図4に示すようにヘッド部11と保護膜
が形成されている主基板10と補助基板13を樹脂等の接着
剤を用いて接合し、ボンディングブロック41を得る。こ
こでは、図2に示した電極端子14は図示していない。次
に図5に示すように、摺動幅規制溝51を所定の摺動幅が
得られるように、ダイサーやワイヤソウ等の切削装置を
用いて形成し、摺動幅規制溝51を備えたボンディングブ
ロック52を得る。続いてボンディングブロック52の摺動
面に曲面加工を施し、図6に示した仮想線61に従って切
断することで、前記図2に示したヘッドチップ2を得
る。これをヘッドベース3に接地接合することで、前記
図1に示した磁気ヘッド装置1を得る。ここでは摺動幅
規制溝を加工してからヘッドの曲面加工を行ったが、ボ
ンディングブロック41に曲面加工を施した後に摺動幅規
制溝加工を行っても差し支えない。
First, as shown in FIG. 4, the head portion 11, the main substrate 10 on which the protective film is formed, and the auxiliary substrate 13 are joined using an adhesive such as a resin to obtain a bonding block 41. Here, the electrode terminals 14 shown in FIG. 2 are not shown. Next, as shown in FIG. 5, the sliding width regulating groove 51 is formed using a cutting device such as a dicer or a wire saw so as to obtain a predetermined sliding width, and the bonding provided with the sliding width regulating groove 51 is performed. Get block 52. Subsequently, the sliding surface of the bonding block 52 is subjected to a curved surface processing and cut along the imaginary line 61 shown in FIG. 6 to obtain the head chip 2 shown in FIG. This is ground-bonded to the head base 3 to obtain the magnetic head device 1 shown in FIG. Here, the curved surface processing of the head is performed after forming the sliding width regulating groove, but the sliding width regulating groove may be processed after the curved surface processing is performed on the bonding block 41.

【0021】また、補助基板の大きさ(MRハイト方向の
長さ)は、主基板の接合面の各種端子板の位置と大き
さ、また各種端子板にワイヤ等を接続する作業性により
制約を受ける。補助基板の大きさ(MRハイト方向の長
さ)が十分に得られない場合は、図7、図8に示すよう
にヘッドベースのMRヘッド接合部分の形状を補助基板側
に凸となる形状の突起部を設けることが有効である。ま
た、ワイヤ誘導溝70を備えることで、補助基板がヘッド
ベースに確実に接地されるとともに、補助基板の下部か
ら端子板に接続されたワイヤをヘッドベースの端子板
(図示せず)まで容易に引き出すことができ、ワイヤ接
続作業の作業効率の向上にもつながる。
The size (length in the MR height direction) of the auxiliary substrate is restricted by the position and size of various terminal plates on the joint surface of the main substrate and the workability of connecting wires and the like to the various terminal plates. receive. If the size of the auxiliary substrate (length in the MR height direction) cannot be obtained sufficiently, as shown in FIGS. It is effective to provide a projection. Further, by providing the wire guide groove 70, the auxiliary substrate is reliably grounded to the head base, and the wires connected to the terminal plate from the lower portion of the auxiliary substrate can be easily connected to the terminal plate (not shown) of the head base. It can be pulled out, which leads to improvement in the work efficiency of the wire connection work.

【0022】このように構成された補助基板を具備した
MRヘッドでは、静電気によるMRヘッドの損傷を防止する
ことができる。
An auxiliary substrate having the above configuration is provided.
With the MR head, damage to the MR head due to static electricity can be prevented.

【0023】本実施例においては、記録ヘッドとMRヘッ
ドを組み合わせた構成のヘッドを例にして説明したが、
MRヘッドのみの再生専用ヘッドの場合でも同様の効果が
得られる。
In the present embodiment, a head having a configuration in which a recording head and an MR head are combined has been described as an example.
The same effect can be obtained even in the case of a read-only head including only the MR head.

【0024】図9は本発明の第2の実施の形態の磁気ヘ
ッド装置1’の一例であり、図10に示す補助基板を具
備したMRヘッド2’の主基板がヘッドベース3に直接接
地されてなり、更にヘッドベースが接地電位である構造
となっている。本実施例はヘリカルスキャン方式を採る
磁気記録再生装置への適用例である。
FIG. 9 shows an example of a magnetic head device 1 'according to a second embodiment of the present invention. The main substrate of an MR head 2' having an auxiliary substrate shown in FIG. And the head base has a structure of a ground potential. This embodiment is an example of application to a magnetic recording / reproducing apparatus employing a helical scan method.

【0025】図10において、図2と同じ部位には同一
の番号を記してある。補助基板を具備したMRヘッド2’
は、摺動幅規制溝15に導電性材料71が形成されており、
主基板と補助基板が電気的に接続されている。
In FIG. 10, the same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. MR head 2 'with auxiliary substrate
Has a conductive material 71 formed in the sliding width regulating groove 15,
The main board and the auxiliary board are electrically connected.

【0026】次に本発明のMRヘッド装置の製造方法を図
11〜図12を用いて説明する。
Next, a method of manufacturing an MR head device according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0027】図5に示す摺動幅規制溝を施したボンディ
ングブロック52を得るまでの工程は第1の実施の形態と
同様である。次に、この摺動幅規制溝を施したボンディ
ングブロック52の摺動幅規制溝の内部に基板材料より比
抵抗の小さい導電性材料71をスパッタや蒸着等の薄膜形
成設備を用いて作成し、図11に示すようなボンディン
グブロック72を得る。続いて、図12に示した用に曲面
加工を行った後に仮想線61で切断することで、図10に
示したヘッドチップ2’を得る。このヘッドチップをヘ
ッドベースに貼り付けることで図9に示すヘッド装置
1’が得られる。
The steps up to obtaining the bonding block 52 provided with the sliding width regulating groove shown in FIG. 5 are the same as in the first embodiment. Next, a conductive material 71 having a lower specific resistance than the substrate material is formed inside the sliding width regulating groove of the bonding block 52 provided with the sliding width regulating groove using thin film forming equipment such as sputtering or vapor deposition. A bonding block 72 as shown in FIG. 11 is obtained. Subsequently, the head chip 2 'shown in FIG. 10 is obtained by performing the curved surface processing as shown in FIG. The head device shown in FIG. 9 is attached by attaching this head chip to a head base.
1 'is obtained.

【0028】図9のヘッド装置のでは、主基板と補助基
板が導電性の材料で同電位となっていることから、主基
板若しくは補助基板の少なくとも一方がヘッドベースと
接地接合されていることで静電気に対する耐力の大きな
磁気ヘッド装置が得られる。
In the head device shown in FIG. 9, since the main substrate and the auxiliary substrate are made of a conductive material and have the same potential, at least one of the main substrate and the auxiliary substrate is grounded to the head base. A magnetic head device having a high resistance to static electricity can be obtained.

【0029】このように構成された補助基板を具備した
MRヘッドでは、静電気によるMRヘッドの損傷を防止する
ことができる。
An auxiliary substrate having such a configuration is provided.
With the MR head, damage to the MR head due to static electricity can be prevented.

【0030】本実施例においては、記録ヘッドとMRヘッ
ドを組み合わせた構成のヘッドを例にして説明したが、
MRヘッドのみの再生専用ヘッドの場合でも同様の効果が
得られる。
In the present embodiment, a head having a configuration in which a recording head and an MR head are combined has been described as an example.
The same effect can be obtained even in the case of a read-only head including only the MR head.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、磁気記録媒体との
摺動により磁気記録媒体からの信号を検出する磁気抵抗
効果型磁気ヘッドが、MR素子部が形成されている主基板
と補助基板を具備してなり、MR素子部が主基板と補助基
板により挟まれて一体に接合されており、ヘッド摺動面
が摺動幅規制溝により規制されて成る磁気抵抗効果型磁
気ヘッドがヘッドベースに一体に接合されてなる磁気抵
抗効果型ヘッド装置において、該主基板と該補助基板が
接地電位である同一の導電性部材に接地されていること
を特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド装置は静電気に
対する耐力が大幅に改善される。
As described above, the magneto-resistive magnetic head for detecting a signal from the magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium uses the main substrate on which the MR element is formed and the auxiliary substrate. The MR element part is sandwiched between the main substrate and the auxiliary substrate and integrally joined, and the magnetoresistive effect type magnetic head whose head sliding surface is regulated by the sliding width regulating groove is attached to the head base. In a magnetoresistive head device integrally joined, the main substrate and the auxiliary substrate are grounded to the same conductive member having a ground potential. The proof stress against is greatly improved.

【0032】また、補助基板を具備した磁気抵抗効果型
磁気ヘッドがヘッドベースと一体に結合されており、ヘ
ッドベースと磁気抵抗効果型磁気ヘッドの接合部のヘッ
ドベース形状が該補助基板方向に凸なる形状であること
を特徴とする磁気ヘッド装置では、補助基板とヘッドベ
ースが確実に接地接合でき、静電気に対する耐力が改善
される。
Also, a magnetoresistive head having an auxiliary substrate is integrally connected to the head base, and the head base at the joint between the head base and the magnetoresistive head is convex in the direction of the auxiliary substrate. In the magnetic head device characterized in that the auxiliary substrate and the head base can be reliably ground-bonded, and the resistance to static electricity is improved.

【0033】また、該摺動幅規制溝に該主基板及び該補
助基板より抵抗値の低い導電性材料が形成されており、
該主基板または該補助基板の少なくとも一方が接地電位
となっている場合でも同様に静電気に対する耐力が向上
する。
Further, a conductive material having a lower resistance than the main substrate and the auxiliary substrate is formed in the sliding width regulating groove,
Even when at least one of the main substrate and the auxiliary substrate is at the ground potential, the resistance to static electricity is similarly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態のMRヘッドの概略
図。
FIG. 1 is a schematic diagram of an MR head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】補助基板を具備した第1の実施の形態のMRヘッ
ドの概略図。
FIG. 2 is a schematic diagram of an MR head according to a first embodiment including an auxiliary substrate.

【図3】ヘッド部の拡大図。FIG. 3 is an enlarged view of a head unit.

【図4】第1の実施の形態におけるMRヘッドの製造方法
の説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram of the method for manufacturing the MR head according to the first embodiment.

【図5】第1の実施の形態におけるMRヘッドの製造方法
の説明図。
FIG. 5 is an explanatory diagram of the method for manufacturing the MR head according to the first embodiment.

【図6】第1の実施の形態におけるMRヘッドの製造方法
の説明図。
FIG. 6 is an explanatory diagram of the method for manufacturing the MR head according to the first embodiment.

【図7】MRヘッドがヘッドベースに一体に接合されたM
Rヘッドの説明図。
FIG. 7 shows an M in which an MR head is integrally joined to a head base.
FIG.

【図8】MRヘッドがヘッドベースに一体に接合されたM
Rヘッドの説明図。
FIG. 8 shows an M in which an MR head is integrally joined to a head base.
FIG.

【図9】本発明の第2の実施の形態のMRヘッドの概略
図。
FIG. 9 is a schematic diagram of an MR head according to a second embodiment of the present invention.

【図10】補助基板を具備した第2の実施の形態のMRヘ
ッドの概略図。
FIG. 10 is a schematic view of an MR head according to a second embodiment including an auxiliary substrate.

【図11】第2の実施の形態におけるMRヘッドの製造方
法の説明図。
FIG. 11 is an explanatory diagram of the method for manufacturing the MR head according to the second embodiment.

【図12】第2の実施の形態におけるMRヘッドの製造方
法の説明図。
FIG. 12 is an explanatory diagram of the method for manufacturing the MR head according to the second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…本発明の磁気ヘッド装置、1’…本発明の磁気ヘッド
装置、2…MRヘッド、2’…摺動幅規制溝に導電性材料を
形成したMRヘッド、3…ヘッドベース、3’…補助基板側
に凸形状を有するヘッドベース、3’’…補助基板側に
凸形状を有するヘッドベース、10…主基板、11…ヘッド
部、12…保護膜、13…補助基板、14…電極端子、15…摺
動幅着規制溝、21…下地膜、22…下部磁気シールド膜、
23…上部磁気シールド膜、24…MR素子部、25…電極、26
…記録ヘッドの上部コア、27…記録ヘッドのコイル、28
…記録ギャップ、41…ボンディングブロック、51…摺動
幅規制溝、52…摺動幅規制溝加工後のボンディングブロ
ック、61…仮想線、70…ワイヤ誘導溝、71…導電性材
料、72…導電性材料形成後のボンディングブロック。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head device of this invention, 1 '... Magnetic head device of this invention, 2 ... MR head, 2' ... MR head which formed conductive material in the sliding width | variety restricting groove, 3 ... Head base, 3 '... Head base having a convex shape on the auxiliary substrate side, 3 '' ... Head base having a convex shape on the auxiliary substrate side, 10 ... Main substrate, 11 ... Head part, 12 ... Protective film, 13 ... Auxiliary substrate, 14 ... Electrode terminals , 15: groove for restricting sliding width, 21: base film, 22: lower magnetic shield film,
23: Upper magnetic shield film, 24: MR element part, 25: Electrode, 26
... upper core of recording head, 27 ... coil of recording head, 28
… Recording gap, 41… bonding block, 51… sliding width regulating groove, 52… bonding block after processing the sliding width regulating groove, 61… virtual line, 70… wire guiding groove, 71… conductive material, 72… conductive Bonding block after formation of conductive material.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀田 昇 茨城県ひたちなか市稲田1410番地 株式会 社日立製作所デジタルメディア製品事業部 内 (72)発明者 笹嶋 崇三 茨城県ひたちなか市稲田1410番地 株式会 社日立製作所デジタルメディア製品事業部 内 Fターム(参考) 5D034 AA02 BA02 BA18 BA19 BB12 BB20 CA07 DA07 5D093 AB03 BA20 BB01 BB04 CA07 5D111 AA11 AA12 AA19 BB01 BB09 BB50 FF01 HH16 JJ22 KK06 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Noboru Hotta 1410 Inada, Hitachinaka-shi, Ibaraki Co., Ltd. Digital Media Products Division, Hitachi, Ltd. Hitachi Digital Media Products Division F term (reference) 5D034 AA02 BA02 BA18 BA19 BB12 BB20 CA07 DA07 5D093 AB03 BA20 BB01 BB04 CA07 5D111 AA11 AA12 AA19 BB01 BB09 BB50 FF01 HH16 JJ22 KK06

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気記録媒体との摺動により前記磁気記
録媒体からの信号を検出する磁気抵抗効果型磁気ヘッド
であって、 磁気抵抗効果素子部と、主基板と、補助基板とを備え、 前記磁気抵抗効果素子部は、前記主基板と前記補助基板
に挟持されて一体に接合され、 前記主基板および前記補助基板が接地電位とされる導電
性部材に接続されていることを特徴とする磁気抵抗効果
型磁気ヘッド。
1. A magnetoresistive magnetic head for detecting a signal from a magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium, comprising: a magnetoresistive element unit; a main substrate; and an auxiliary substrate. The magnetoresistive element portion is sandwiched between the main substrate and the auxiliary substrate and integrally joined, and the main substrate and the auxiliary substrate are connected to a conductive member that is set to a ground potential. Magnetoresistive magnetic head.
【請求項2】 磁気記録媒体との摺動により前記磁気記
録媒体からの信号を検出する磁気抵抗効果型磁気ヘッド
であって、 主基板と、前記主基板よりも外形寸法が小さい補助基板
と、前記主基板と前記補助基板に挟持されて一体に接合
された磁気抵抗効果素子部と、導電性部材であるヘッド
ベースと、を備え、 前記ヘッドベースは、その上部に凸状の突起部を有し、 前記主基板は、前記ヘッドベースに接続され、前記補助
基板は、前記突起部においてのみ前記ヘッドベースと接
続され、前記ヘッドベースは接地電位とされることを特
徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
2. A magnetoresistive magnetic head for detecting a signal from a magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium, comprising: a main substrate; an auxiliary substrate having an outer dimension smaller than the main substrate; A head base as a conductive member, the head base having a convex protrusion on an upper part thereof; The main substrate is connected to the head base, the auxiliary substrate is connected to the head base only at the protrusion, and the head base is set to a ground potential. head.
【請求項3】 磁気記録媒体との摺動により前記磁気記
録媒体からの信号を検出する磁気抵抗効果型磁気ヘッド
であって、 磁気抵抗効果素子部と、主基板と、補助基板とを備え、 前記磁気抵抗効果素子部は、前記主基板と前記補助基板
に挟持されて一体に接合され、 前記磁気記録媒体と摺動するヘッド摺動面を除く少なく
とも一部分に前記主基板及び前記補助基板より比抵抗値
の小さい導電性材料が形成され、前記主基板と前記補助
基板を電気的に接続するとともに、前記主基板または前
記補助基板の少なくとも一方が接地電位とされる他の導
電性部材に、接続されることを特徴とする磁気抵抗効果
型磁気ヘッド。
3. A magnetoresistive effect type magnetic head for detecting a signal from the magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium, comprising: a magnetoresistive element portion; a main substrate; and an auxiliary substrate. The magnetoresistive element section is sandwiched and integrally joined between the main substrate and the auxiliary substrate, and has at least a portion except for a head sliding surface that slides with the magnetic recording medium, in comparison with the main substrate and the auxiliary substrate. A conductive material having a small resistance value is formed, and the main substrate and the auxiliary substrate are electrically connected to each other, and at least one of the main substrate and the auxiliary substrate is connected to another conductive member having a ground potential. A magnetoresistive effect type magnetic head.
【請求項4】 前記補助基板を有した前記磁気抵抗効果
型磁気ヘッドにおける摺動幅を規制する凹状の段差部を
有しており、前記段差部に導電性材料が形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに
記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
4. A method according to claim 1, wherein the magnetic head having the auxiliary substrate has a concave step portion for regulating a sliding width in the magnetoresistive head, and a conductive material is formed on the step portion. 4. The magneto-resistance effect type magnetic head according to claim 1, wherein:
JP2000273530A 2000-09-05 2000-09-05 Magnetoresistive magnetic head Pending JP2002083407A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000273530A JP2002083407A (en) 2000-09-05 2000-09-05 Magnetoresistive magnetic head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000273530A JP2002083407A (en) 2000-09-05 2000-09-05 Magnetoresistive magnetic head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002083407A true JP2002083407A (en) 2002-03-22

Family

ID=18759450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000273530A Pending JP2002083407A (en) 2000-09-05 2000-09-05 Magnetoresistive magnetic head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002083407A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7100266B2 (en) Method of forming a beveled writing pole of a perpendicular writing element
KR100245658B1 (en) Magnetoresistance effect magnetic head method of fabricating the same
US6266216B1 (en) Inductive/MR composite type thin-film magnetic head with NLTS reduction
WO1993008562A2 (en) Magneto-resistive head
JPH11312310A (en) Head assembly and suspension
JP2008059705A (en) Cpp (current perpendicular to plane) magnetic head and its manufacturing method, head suspension assembly, and magnetic recording device
US20080198507A1 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
US6671137B2 (en) Magnetoresistive head including earth members
JP2002083407A (en) Magnetoresistive magnetic head
EP0482642B1 (en) Composite magnetoresistive thin-film magnetic head
JP2942086B2 (en) Method of manufacturing magnetoresistive thin film magnetic head
JPH1145423A (en) Magnetic head slider and magnetic head assembly
JP2000048321A (en) Perpendicular magnetic recording head
JPH05109026A (en) Magnetoresistance effect type magnetic head
JP2000285422A (en) Head gimbals assembly and its manufacture
JPH10269533A (en) Perpendicular magnetic recording composite head
JPH10283617A (en) Composite head for perpendicular magnetic recording
JP2780483B2 (en) Magnetoresistive magnetic head
JPH08221718A (en) Magnetic head
JP3510165B2 (en) Yoke type MR read magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic recording / reproducing apparatus
JPH05334629A (en) Magneto-resistance effect type head
GB2294354A (en) A thin film magnetic head with inclined poles
JPH0554340A (en) Composite magnetic head
JPH05217125A (en) Thin film magnetic head
JPH06203332A (en) Compoite type thin-film magnetic head