JP2002079682A - Ink jet recording head and method of manufacturing the same - Google Patents
Ink jet recording head and method of manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドの製造方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head and a method for manufacturing the ink jet recording head.
【0002】[0002]
【従来の技術】インクジェット記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と
種々の記録媒体に対して記録することが可能であり、ま
た記録時における騒音が実質的に皆無であるといった諸
特徴を有する。このような点から、プリンタ、ワードプ
ロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装
置として広く採用されている。2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus is a recording apparatus of a so-called non-impact recording system, capable of high-speed recording and recording on various recording media, and has substantially no noise during recording. It has various features such as From such a point, it has been widely adopted as a device carrying a recording mechanism such as a printer, a word processor, a facsimile, a copying machine, and the like.
【0003】このインクジェット記録には、代表的な方
法として電気熱変換素子を用いた方法があり、微小な吐
出口からインク液滴を吐出させ、記録紙に対し記録を行
うものである。一般に、液滴を形成するためのインクジ
ェット記録ヘッドと、このヘッドに対して記録液を供給
する供給系から構成される。電気熱変換素子を用いたイ
ンクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室に
設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることに
より記録液に熱エネルギを与え、その時の記録液の相変
化により生ずる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡圧力を
記録液滴の吐出に利用したものである。As a typical method of the ink jet recording, there is a method using an electrothermal conversion element, in which ink droplets are discharged from minute discharge ports to perform recording on recording paper. In general, the head includes an ink jet recording head for forming droplets and a supply system for supplying a recording liquid to the head. In an ink jet recording head using an electrothermal transducer, an electrothermal transducer is provided in a pressurized chamber, and thermal energy is given to a recording liquid by applying an electric pulse serving as a recording signal to the recording medium, thereby causing a phase change of the recording liquid at that time. The bubble pressure at the time of bubbling (at the time of boiling) of the recording liquid caused by the above is used for discharging the recording liquid droplets.
【0004】このようなインクジェット記録ヘッドは、
電気熱変換素子に対する記録液の吐出方向によって、電
気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を
吐出させる“エッジシュータ”方式と、電気熱変換素子
が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる
“サイドシュータ”方式とに大別される。[0004] Such an ink jet recording head is
An “edge shooter” system in which the recording liquid is discharged in parallel to the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged, depending on the discharge direction of the recording liquid to the electrothermal conversion elements, It is broadly classified into a "side shooter" type in which a recording liquid is ejected vertically.
【0005】インクジェット記録装置において、高画質
/高精細記録への要求から、多色化/処理液などを使用
する形態が増えてきている。その一方で、記録装置自体
は小型化が要求されている。[0005] In the ink jet recording apparatus, the use of a multi-color / processing liquid or the like is increasing due to a demand for high image quality / high definition recording. On the other hand, the recording apparatus itself is required to be downsized.
【0006】このため、記録ヘッド部と液体収容部とが
一体化されたインクジェットカートリッジが用いられ、
さらに、カートリッジに用いられる容器についても、複
数種類の液体を収容することが可能な、複数の液体収容
部を一体化した容器が用いられるようになってきてい
る。このようなカートリッジでは、複数の異なる種類の
液体を吐出することができるように、記録ヘッド部には
複数のインク供給路が設けられている。また、記録ヘッ
ドの形態としては、インク吐出口列を複数有する形態も
ある。For this reason, an ink jet cartridge in which a recording head unit and a liquid storage unit are integrated is used.
Further, as a container used for a cartridge, a container that can store a plurality of types of liquids and is integrated with a plurality of liquid storage units has been used. In such a cartridge, the recording head unit is provided with a plurality of ink supply paths so that a plurality of different types of liquids can be ejected. Further, as a form of the recording head, there is a form having a plurality of ink ejection port arrays.
【0007】一方、カートリッジを、記録ヘッド部と、
記録ヘッド部と一体化したホルダと、ホルダから着脱自
在な容器として構成するものもある。この場合、1つの
ホルダに収容される液体の種類は複数であるが、液体収
容部は単色毎に外れる、あるいは複数種類が一体化して
外れるなど、使用形態に応じて利用されている。On the other hand, a cartridge is provided with a recording head unit,
There are also holders that are integrated with the recording head unit and containers that are detachable from the holder. In this case, there are a plurality of types of liquid stored in one holder, but the liquid storage portion is used depending on the usage form, such as being removed for each single color, or a plurality of types being integrally removed.
【0008】このような複数種類の液体を一体的に収容
可能な容器およびホルダに対する記録ヘッド部の結合形
態としては、ホルダ部に設けられた複数のインク導入管
が密集しているため、供給部の密閉性を確実に保持する
ために、従来は、電気熱交換素子が設けられた記録ヘッ
ド部とホルダ部の流路形成部材に形成されたインク流路
とを位置合わせして接着剤等により貼り合わせ、その
後、流路形成部材を固定してからインク導入管の周りに
封止剤を流し込み固着させるといった、単なる封止剤を
利用して封止する構成が一般的であった。[0008] As a form of connection of the recording head unit to the container and the holder capable of integrally storing a plurality of types of liquids, a plurality of ink introduction tubes provided in the holder unit are densely arranged. Conventionally, in order to reliably maintain the airtightness of the ink jet head, the recording head portion provided with the electric heat exchange element is aligned with the ink flow path formed in the flow path forming member of the holder portion by using an adhesive or the like. In general, a configuration is used in which sealing is performed using a simple sealing agent, such as laminating and then fixing the flow path forming member, and then pouring and sealing the sealing agent around the ink introduction tube.
【0009】一方、記録ヘッド部のインク供給路とホル
ダ部の流路形成部材を結合させる方法として、上述の封
止剤を利用する構成の他に、特開平10−119314
号公報などに開示されているような、弾性部材を介して
結合する方法もある。On the other hand, as a method of connecting the ink supply path of the recording head section and the flow path forming member of the holder section, in addition to the above-described structure using a sealant, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-119314.
There is also a method of coupling via an elastic member as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H10-15095.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来のインクジェット記録ヘッドには、以下に述べる
ような問題点があった。However, these conventional ink jet recording heads have the following problems.
【0011】まず、記録ヘッド部のインク供給路とホル
ダ部の流路形成部材を結合させるのに、封止剤を利用し
て封止する結合方法では、ホルダ部の流路形成部材が、
例えば、ノリル等の樹脂材料で形成されている場合、初
期的には問題がないが、封止剤と樹脂材料の封止強度が
不充分のため、記録検査工程における漏れによりインク
ジェット記録ヘッドの中に空気だまりが発生し、吐出口
内にインクが供給されなくなるインク落ちの原因となる
ことがあった。また、封止剤の塗布量を管理することが
難しく、多少塗布量が減少した場合も、初期的には問題
がないが、記録検査工程における漏れによりインクジェ
ット記録ヘッドの中に空気だまりが発生し、インク落ち
の原因となることがあった。First, in the joining method of using a sealant to couple the ink supply path of the recording head section and the flow path forming member of the holder section, the flow path forming member of the holder section includes:
For example, when formed of a resin material such as Noryl, there is no problem at the beginning, but the sealing strength between the sealing agent and the resin material is insufficient, so that the leakage in the recording inspection process causes the inside of the ink jet recording head to fail. In some cases, an air pocket is generated, and ink is not supplied into the ejection openings, causing ink to drop. Also, it is difficult to control the amount of the sealant applied, and even if the amount of the sealant is slightly reduced, there is no problem at first at the initial stage. In some cases, this may cause ink drop.
【0012】一方、記録ヘッド部のインク供給路とホル
ダ部の流路形成部材とを結合させるのに、ゴム等の弾性
部材を介して結合する結合方法では、弾性部材として用
いられるゴム等に付着したゴミを完全に除去するのが困
難であり、記録ヘッド部の、インク吐出口、ノズルおよ
びインク液室にゴミが侵入し、吐出不良を起こすという
問題があった。また、ゴムに付着したオイル等の不純物
を完全に除去することが難しく、残ってしまった不純物
により電気熱交換素子の表面を汚染し、吐出不良を起こ
すという問題があった。さらに、長期間で見ると、弾性
部材の一部がインク路内に溶出することでインクの凝集
を来す場合もあった。On the other hand, when the ink supply path of the recording head section and the flow path forming member of the holder section are connected via an elastic member such as rubber, the ink is not adhered to rubber or the like used as the elastic member. It is difficult to completely remove the contaminated dust, and there is a problem that dust enters the ink discharge ports, nozzles, and ink liquid chambers of the recording head unit, and causes discharge failure. Further, it is difficult to completely remove impurities such as oil adhering to the rubber, and there is a problem that the remaining impurities contaminate the surface of the electrothermal exchange element and cause ejection failure. In addition, when viewed over a long period of time, a part of the elastic member may elute into the ink path to cause aggregation of the ink.
【0013】そこで、本発明の目的は、上述した問題点
を解消し、記録ヘッド部のインク供給路とホルダ部の流
路形成部材の封止性が問題なく、かつ、弾性部材に付着
したゴミやオイル等により吐出不良を起こすことなく、
これにより、信頼性が高く、インクの発泡を安定化して
記録品位が改善されたインクジェット記録ヘッドおよび
該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること
にある。Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to provide no problem in sealing the ink supply path of the recording head section and the flow path forming member of the holder section, and to remove dust adhering to the elastic member. Without causing discharge failure due to oil or oil,
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an ink jet recording head which has high reliability, stabilizes the foaming of the ink to improve the recording quality, and a method for manufacturing the ink jet recording head.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出す
る吐出口と、前記吐出口よりインクを吐出するための電
気熱交換素子が設けられた第1の基板と、前記第1の基
板上に、前記電気熱交換素子に対応して設けられたイン
ク用溝へインクを送るためのインク供給路が設けられた
第2の基板と、前記第2の基板上の前記インク供給路へ
インクを送るための流路が設けられた流路形成部材と、
前記インク供給路と前記流路とが連通する連通部を外部
に対して封止するために、前記第2の基板と前記流路形
成部材との接合部に設けられた弾性部材とを有するイン
クジェット記録ヘッドにおいて、前記連通部を外部に対
して封止するため、前記弾性部材と、前記第2の基板
と、前記流路形成部材の前記流路の外周部とにより形成
された空間に接着剤が充填されていることを特徴とす
る。In order to achieve the above object, an ink jet recording head according to the present invention comprises a discharge port for discharging ink and an electrothermal exchange element for discharging ink from the discharge port. A second substrate provided with an ink supply path for sending ink to an ink groove provided on the first substrate corresponding to the electric heat exchange element; A flow path forming member provided with a flow path for sending ink to the ink supply path on the substrate,
An ink jet head having an elastic member provided at a joint between the second substrate and the flow path forming member to seal a communication part where the ink supply path and the flow path communicate with each other; In the recording head, an adhesive is provided in a space formed by the elastic member, the second substrate, and an outer peripheral portion of the flow path of the flow path forming member in order to seal the communication section from the outside. Is filled.
【0015】上記の通り構成された本発明のインクジェ
ット記録ヘッドは、弾性部材と、第2の基板と、流路形
成部材の流路の外周部とにより形成された空間に接着剤
が充填されているため、弾性部材と接着剤との両方で連
通部を外部に対して封止することとなり封止強度が高め
られる。よって、第2の基板と、流路形成部材の流路の
外周部との接触部からインクが漏洩する、あるいは、接
触部から流路内に空気が混入することを防止できること
となる。また、上述の空間内に接着剤が充填されること
で、接触部からインクが漏洩したとしても、接触するの
は接着剤であるため、弾性部材がインクに直接接触する
ことはなく、よって、弾性部材に付着したオイル等の不
純物に起因する吐出不良、あるいは、弾性部材の一部が
インク路内に溶出することによるインクの凝集等を防止
することができる。In the ink jet recording head according to the present invention, the space formed by the elastic member, the second substrate, and the outer periphery of the flow path of the flow path forming member is filled with an adhesive. Therefore, the communication portion is sealed from the outside with both the elastic member and the adhesive, and the sealing strength is increased. Therefore, it is possible to prevent the ink from leaking from the contact portion between the second substrate and the outer peripheral portion of the flow channel of the flow channel forming member, or to prevent air from entering the flow channel from the contact portion. In addition, even if ink is leaked from the contact portion by filling the space with the adhesive, the elastic member does not come into direct contact with the ink because the adhesive is in contact with the ink. Discharge failure due to impurities such as oil attached to the elastic member, or aggregation of ink due to elution of a part of the elastic member into the ink path can be prevented.
【0016】さらに、弾性部材には、空間へと連通する
切り欠きが形成されているものであってもよいし、第2
の基板には、空間へと連通する充填溝が形成されている
ものであってもよい。Further, the elastic member may be formed with a notch communicating with the space,
The substrate may be provided with a filling groove communicating with the space.
【0017】また、インク吐出用の熱エネルギを発生す
るための電気熱変換体を備えているものであってもよい
し、特に、電気熱変換体によって印加される熱エネルギ
により、インクに生ずる膜沸騰を利用して吐出口よりイ
ンクを吐出させるものであってもよい。Further, an electrothermal converter for generating thermal energy for discharging ink may be provided. In particular, a film generated in ink by thermal energy applied by the electrothermal converter may be provided. The ink may be discharged from the discharge port using boiling.
【0018】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、本発明のインクジェット記録ヘッドを製造する
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記連
通部を外部に対して封止するため、前記第2の基板と、
前記流路形成部材の前記流路の外周部との接触部に接着
剤を充填する工程を含むことを特徴とする。The method for manufacturing an ink jet recording head according to the present invention is a method for manufacturing an ink jet recording head for manufacturing the ink jet recording head according to the present invention, wherein the communication portion is sealed to the outside. Board and
The method includes a step of filling an adhesive in a contact portion of the flow path forming member with an outer peripheral portion of the flow path.
【0019】上記の通りの本発明のインクジェット記録
ヘッドの製造方法によると、第2の基板と、流路形成部
材の流路の外周部との接触部に接着剤を充填するため、
弾性部材と接着剤との両方で連通部を外部に対して封止
するため、封止強度の高いインクジェット記録ヘッドを
製造することができ、接触部からインクが漏洩する、あ
るいは、接触部から流路内に空気が混入することを防止
できる。According to the method of manufacturing an ink jet recording head of the present invention as described above, the adhesive is filled in the contact portion between the second substrate and the outer periphery of the flow path of the flow path forming member.
Since the communicating portion is sealed to the outside with both the elastic member and the adhesive, an ink jet recording head having high sealing strength can be manufactured, and ink leaks from the contact portion or the ink flows from the contact portion. Air can be prevented from entering the road.
【0020】また、空間に接着剤を充填する工程を含む
ものであってもよい。Further, the method may include a step of filling the space with an adhesive.
【0021】さらに、弾性部材の切り欠きから空間へと
接着剤を充填させる工程を含むものであってもよいし、
第2の基板に形成された充填溝から空間へと接着剤を充
填させる工程を含むものであってもよい。Further, the method may include a step of filling the space from the cutout of the elastic member with an adhesive,
The method may include a step of filling the space from the filling groove formed in the second substrate with an adhesive.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】(第1の実施形態)図1に本実施
形態の記録ヘッドカートリッジの分解斜視図を、図2に
インクタンクを搭載した状態の本実施形態の記録ヘッド
カートリッジの側断面図をそれぞれ示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) FIG. 1 is an exploded perspective view of a recording head cartridge of the present embodiment, and FIG. 2 is a side sectional view of the recording head cartridge of the present embodiment with an ink tank mounted. The figures are shown respectively.
【0023】図1に示すように、不図示のインクジェッ
ト記録装置のキャリッジに着脱自在に搭載され、X方向
に往復走査される記録ヘッドカートリッジ11は、イン
クを吐出する複数の吐出口16からなるインク吐出口列
108が形成された、第1の基板101および第2の基
板102からなる記録素子基板12を有するインクジェ
ット記録ヘッド516を備える。また、記録ヘッドカー
トリッジ11のホルダ部1001は、記録素子基板12
にインクを供給するためのインクタンク109を着脱自
在に搭載する。本実施形態の記録ヘッドカートリッジ1
1は、6色のインクを収納する6つのインクタンク10
9を搭載可能な例が示されている。なお、インクタンク
109に収納される6色のインクの色としては、黒以外
の色であるカラーインクと、黒のインクとが収納される
ものであってもよい。As shown in FIG. 1, a recording head cartridge 11 which is removably mounted on a carriage of an ink jet recording apparatus (not shown) and is reciprocally scanned in the X direction comprises an ink discharge port 16 for discharging ink. An ink jet recording head 516 having a recording element substrate 12 composed of a first substrate 101 and a second substrate 102, on which an ejection port array 108 is formed, is provided. The holder 1001 of the recording head cartridge 11 is
An ink tank 109 for supplying ink to the printer is detachably mounted. Recording head cartridge 1 of the present embodiment
Reference numeral 1 denotes six ink tanks 10 for storing six color inks.
9 can be mounted. In addition, as the colors of the six inks stored in the ink tank 109, a color ink other than black and a black ink may be stored.
【0024】電気配線テープ31は、第1の基板101
に対してインクを吐出するための電気信号を印加するも
のであり、第1の基板101を組み込むための開口部
と、第1の基板101の電極部に対応する素子基板用電
極端子と、この電気配線テープ31の端部に位置し、イ
ンクジェット記録装置からの電気信号を受け取るための
外部信号入力端子32を有した電気コンタクト基板30
と電気的接続を行うためのコンタクト基板用電極端子と
を有しており、コンタクト基板用電極端子と素子基板用
電極端子は、図示しないが、連続した銅箔の配線パター
ンでつながっている。The electric wiring tape 31 is connected to the first substrate 101.
An electric signal for discharging ink to the first substrate 101, an opening for incorporating the first substrate 101, an electrode terminal for an element substrate corresponding to the electrode portion of the first substrate 101, An electric contact board 30 having an external signal input terminal 32 for receiving an electric signal from the ink jet recording apparatus, which is located at an end of the electric wiring tape 31.
And a contact board electrode terminal for making electrical connection with the electrode board. The contact board electrode terminal and the element board electrode terminal are connected by a continuous copper foil wiring pattern (not shown).
【0025】第1の基板101は、通常シリコンウェハ
上に電気熱変換素子層および配線等がフォトリソグラフ
ィ技術によってパターニングされ、ノズル壁、吐出口1
6を感光性樹脂によって作成し、異方性エッチングによ
って記録液供給口を形成し、切断によって外形が形成さ
れる。The first substrate 101 is usually formed by patterning an electrothermal conversion element layer, wiring, and the like on a silicon wafer by photolithography, and forming a nozzle wall, a discharge port 1 and the like.
6, a recording liquid supply port is formed by anisotropic etching, and an outer shape is formed by cutting.
【0026】第1の基板101と電気配線テープ31と
は、熱硬化接着樹脂を塗布後、第1の基板101の電極
部と、電気配線テープ31の電極端子を、ヒートツール
にて一括で加熱加圧し、熱硬化接着樹脂を硬化させるこ
とにより、電気的に一括接続される。After the first substrate 101 and the electric wiring tape 31 are coated with a thermosetting adhesive resin, the electrode portions of the first substrate 101 and the electrode terminals of the electric wiring tape 31 are collectively heated by a heat tool. By applying pressure and hardening the thermosetting adhesive resin, they are electrically connected collectively.
【0027】第2の基板102は、例えば、厚さ0.5
〜1.0mmのアルミナ材料で形成されている。なお、
第2の基板102の素材は、アルミナに限られることな
く、第1の基板101の材料の熱伝導率と同等もしくは
同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。The second substrate 102 has, for example, a thickness of 0.5
It is formed of an alumina material of about 1.0 mm. In addition,
The material of the second substrate 102 is not limited to alumina, and may be made of a material having a thermal conductivity equal to or higher than the thermal conductivity of the material of the first substrate 101.
【0028】また、第2の基板102には、第1の基板
101に6色のインクを供給するための6つのインク供
給路104が形成されている。第1の基板101の不図
示の6つのインク供給口は、第1の基板101が、第2
の基板102に対して位置精度良く接着固定されること
で、各インク供給路104に連通する。接着に用いられ
る接着剤は例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化
接着剤であり、第2の基板102上に電気熱交換素子形
状で、しかも、隣り合うインク供給路間にエアーパスが
発生しない様に塗布される。In the second substrate 102, six ink supply paths 104 for supplying six colors of ink to the first substrate 101 are formed. Six ink supply ports (not shown) of the first substrate 101 correspond to the second substrate
Is fixed to the substrate 102 with high positional accuracy and communicates with each ink supply path 104. The adhesive used for the bonding is, for example, a thermosetting adhesive mainly composed of an epoxy resin, has an electric heat exchange element shape on the second substrate 102, and does not generate an air path between adjacent ink supply paths. Applied.
【0029】流路形成部材103には、一端が6つのイ
ンクタンク109にそれぞれ連通し、他端が第2の基板
102のインク供給路104に連通する、6つの流路1
10が形成されている。The flow path forming member 103 has one end communicating with the six ink tanks 109 and the other end communicating with the ink supply path 104 of the second substrate 102.
10 are formed.
【0030】弾性部材105は、図3に示すように、第
2の基板102と流路形成部材103との接合部120
に設けられている。As shown in FIG. 3, the elastic member 105 is provided at a joint 120 between the second substrate 102 and the flow path forming member 103.
It is provided in.
【0031】接着剤106は、弾性部材105と、第2
の基板102と、流路形成部材103の外周部121と
で形成される空間207内に充填されることで、第2の
基板102と、流路形成部材103の外周部121との
接触部122を封止している。The adhesive 106 is made of the elastic member 105 and the second
Is filled in the space 207 formed by the first substrate 102 and the outer peripheral portion 121 of the flow path forming member 103, so that the contact portion 122 between the second substrate 102 and the outer peripheral portion 121 of the flow path forming member 103 is filled. Is sealed.
【0032】これら弾性部材105および接着剤106
により、流路形成部材103に形成された6つの流路1
10と、第2の基板102に形成されたインク供給路1
04とは、外部に対して封止されて連通している。The elastic member 105 and the adhesive 106
As a result, the six flow paths 1 formed in the flow path forming member 103
10 and the ink supply path 1 formed in the second substrate 102
04 is sealed and communicated with the outside.
【0033】ホルダ部1001は、例えば、樹脂成形に
より形成される。樹脂材料には、形状的剛性を向上させ
るためにガラスフィラーを5〜40%混入した樹脂材料
を使用することが望ましい。流路形成部材103もホル
ダ部1001と同じ材料を使用することが望ましく、流
路形成部材103はホルダ部1001に超音波溶着によ
って接着されている。The holder section 1001 is formed by, for example, resin molding. It is desirable to use a resin material mixed with 5 to 40% of a glass filler in order to improve shape rigidity. The channel forming member 103 is desirably made of the same material as the holder 1001, and the channel forming member 103 is bonded to the holder 1001 by ultrasonic welding.
【0034】図4は本実施形態の弾性部材を示す図であ
り、図4(a)は第2の基板密着面側からみた上面図、
図4(b)は図4(a)のA−A’線断面図、図4
(c)は図4(a)のB−B’線断面図である。FIG. 4 is a view showing the elastic member of the present embodiment, and FIG. 4A is a top view as seen from the second substrate contact surface side.
FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
FIG. 4C is a sectional view taken along line BB ′ of FIG.
【0035】弾性部材105は、6つの流路110およ
びインク供給路104に対応する6つの孔202が独立
して形成されている。孔202は、流路形成部材103
の凸部111に対して位置決めするための小径部209
と、四方に接着剤106の充填口となる切り欠き201
が形成された、後述する空間207を形成するための、
小径部209より内径の大きい大径部210とからな
る。In the elastic member 105, six holes 202 corresponding to the six flow paths 110 and the ink supply paths 104 are independently formed. The hole 202 is formed in the channel forming member 103.
Small diameter portion 209 for positioning with respect to convex portion 111
Notches 201 on all sides that serve as filling ports for adhesive 106
Is formed, for forming a space 207 described later,
The large diameter portion 210 has a larger inner diameter than the small diameter portion 209.
【0036】弾性部材105の材質は、耐インク性の有
無は問わないが、ある程度剛性があるものが望ましく、
流路形成部材103と弾性部材105が完全に密着し、
さらに、第2の基板102と流路形成部材103が結合
した際にも、切り欠き201の形状が変形しないものが
好適である。The material of the elastic member 105 may or may not be ink-resistant, but preferably has some rigidity.
The flow path forming member 103 and the elastic member 105 are completely adhered,
Further, it is preferable that the shape of the notch 201 is not deformed even when the second substrate 102 and the flow path forming member 103 are combined.
【0037】次に、インクジェット記録ヘッド516と
ホルダ部1001との結合、すなわち、第2の基板10
2と流路形成部材103との結合に関して、図5に示す
フローチャートを用いて説明する。Next, the connection between the ink jet recording head 516 and the holder section 1001, that is, the second substrate 10
The connection between the second member 2 and the flow path forming member 103 will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
【0038】まず、流路形成部材103の各流路110
を形成している6つの独立した凸部111に対応するよ
うに、小径部209の端面である第1の端面204側を
向けて弾性部材105を配置する(ステップ51)。First, each channel 110 of the channel forming member 103
The elastic member 105 is arranged so as to face the first end surface 204, which is the end surface of the small-diameter portion 209, so as to correspond to the six independent convex portions 111 forming the step (step 51).
【0039】次に、流路形成部材103の凸部111に
弾性部材105を第1の端面204側からはめ込み、弾
性部材105の第1の端面204を流路形成部材103
の突き当て面112に密着させる(ステップ52)。Next, the elastic member 105 is fitted into the convex portion 111 of the flow path forming member 103 from the first end surface 204 side, and the first end surface 204 of the elastic member 105 is connected to the flow path forming member 103.
(Step 52).
【0040】次に、流路形成部材103と第2の基板1
02とを密着させる(ステップ53)。その際、流路形
成部材103、および弾性部材105の、大径部210
の端面である第2の端面206をしっかりと第2の基板
102に密着させる。Next, the flow path forming member 103 and the second substrate 1
02 (step 53). At this time, the large diameter portion 210 of the flow path forming member 103 and the elastic member 105
The second end surface 206, which is the end surface of the second substrate 102, is firmly adhered to the second substrate 102.
【0041】次に、弾性部材105と、流路形成部材1
03と、第2の基板102との間に生じた空間207内
に、切り欠き201より図6に示すようにディスペンサ
208等で接着剤106を流し込み(ステップ54)、
その後接着剤106を硬化させる(ステップ55)。接
着剤106は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化
し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性の
ある接着剤が望ましく、例えば、吸湿硬化型のシリコー
ン接着剤等が好適である。Next, the elastic member 105 and the flow path forming member 1
As shown in FIG. 6, the adhesive 106 is poured from the notch 201 into the space 207 generated between the second substrate 102 and the second substrate 102 by a dispenser 208 or the like (step 54).
Thereafter, the adhesive 106 is cured (step 55). The adhesive 106 is desirably an ink-resistant, flexible at room temperature, and a flexible adhesive that can withstand a difference in linear expansion between different materials. For example, a moisture-absorbing-curable silicone adhesive or the like is preferable. It is suitable.
【0042】インクタンク109からのインクは、流路
形成部材103に形成された流路110、および第2の
基板102に形成されたインク供給路104を介し、電
気熱交換素子に対応する不図示のインク溝が形成された
第1の基板101へと供給される。The ink from the ink tank 109 passes through a flow path 110 formed in the flow path forming member 103 and an ink supply path 104 formed in the second substrate 102, and is not shown in FIG. Is supplied to the first substrate 101 on which the ink groove is formed.
【0043】以上のようにして構成されたインクジェッ
ト記録ヘッドは、インクジェット記録装置から、電気配
線テープ31を介して第1の基板101に形成された各
電気熱変換素子に電気エネルギを入力することで、これ
ら各電気熱変換素子に接するインクに急峻な体積変化
(気泡の発生)を伴う状態変化を生じさせ、この液体の
状態変化に基づく作用力によって吐出口16からインク
を吐出し、この吐出されたインクを不図示の被記録媒体
上に付着させて画像形成を行う。The ink jet recording head constructed as described above inputs electric energy from the ink jet recording apparatus to each electrothermal converting element formed on the first substrate 101 via the electric wiring tape 31. Then, a state change accompanied by a steep volume change (generation of bubbles) is caused in the ink in contact with each of the electrothermal conversion elements, and the ink is discharged from the discharge port 16 by an action force based on the state change of the liquid, and the ink is discharged. The formed ink is attached to a recording medium (not shown) to form an image.
【0044】以上説明したように、本実施形態のインク
ジェット記録ヘッドは、インクに直接接触する可能性が
あるのは、耐インク性を有する接着剤106であり、弾
性部材105がインクに接触することがない構造を有す
る。これにより、弾性部材105に付着したゴミや不純
物、あるいはゴムの溶出によるインクの吐出不良を抑制
することができる。また、接着剤106と弾性部材10
5とにより密着強度を高めて流路110とインク供給路
104とを連通させているため、インクの供給路内に空
気が混入するのを防止することができる。 (第2の実施形態)次に、図7(a)に本実施形態の弾
性部材の上面図を、図7(b)に図7(a)のC−C’
線断面図をそれぞれ示す。As described above, in the ink jet recording head according to the present embodiment, it is the adhesive 106 having ink resistance that may come into direct contact with the ink that the elastic member 105 comes into contact with the ink. There is no structure. Accordingly, it is possible to suppress ink ejection failure due to elution of dust, impurities, or rubber attached to the elastic member 105. Further, the adhesive 106 and the elastic member 10
5, the communication strength between the flow path 110 and the ink supply path 104 is increased to prevent air from being mixed into the ink supply path. Second Embodiment Next, FIG. 7A is a top view of the elastic member of the present embodiment, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG.
Line sectional views are respectively shown.
【0045】なお、本実施形態の弾性部材が取り付けら
れるインクジェット記録ヘッドの構造は、各インク供給
路の配列ピッチが狭い以外は、基本的に第1の実施形態
で説明したインクジェット記録ヘッドと同様であるた
め、本実施形態での説明は、弾性部材305に関する符
号以外は、第1の実施形態で用いた符号を用いる。The structure of the ink jet recording head to which the elastic member of the present embodiment is attached is basically the same as the ink jet recording head described in the first embodiment, except that the arrangement pitch of each ink supply path is narrow. Therefore, in the description of the present embodiment, the reference numerals used in the first embodiment are used except for the reference numerals related to the elastic member 305.
【0046】第1の実施形態の弾性部材105と同様に
本実施形態の弾性部材305も、流路形成部材103の
凸部111に対して位置決めをするための小径部309
と、接着剤注入用の切り欠き301が形成された、接着
剤の充填が可能な空間を形成するための大径部310と
が形成されている。Like the elastic member 105 of the first embodiment, the elastic member 305 of the present embodiment also has a small-diameter portion 309 for positioning with respect to the projection 111 of the flow path forming member 103.
And a large-diameter portion 310 in which a notch 301 for injecting the adhesive is formed and which forms a space in which the adhesive can be filled.
【0047】一方、本実施形態の弾性部材305の各孔
302を構成する壁面のうち隣接する孔同士の壁面は、
インクジェット記録ヘッドの小型化に伴う、狭いピッチ
で配列されたインク供給路に対応するため、互いに独立
せずに一体化された共通壁307で構成されている。ま
た、共通壁307に形成された共通切り欠き301a
は、隣接する孔302同士を連通させている。このた
め、ディスペンサ等により、接着剤を充填させる際に、
一つの切り欠き301から接着剤を充填することによ
り、共通切り欠き301aを介して全ての孔302に接
着剤を行き渡らせることができることとなり、製造工程
の簡略化を図ることができる。On the other hand, among the wall surfaces constituting each hole 302 of the elastic member 305 of this embodiment, the wall surfaces of adjacent holes are
In order to cope with ink supply paths arranged at a narrow pitch accompanying the downsizing of the ink jet recording head, it is constituted by a common wall 307 which is integrated independently of each other. Also, a common notch 301a formed in the common wall 307
Are used to connect adjacent holes 302 with each other. Therefore, when filling the adhesive with a dispenser or the like,
By filling the adhesive from one notch 301, the adhesive can be distributed to all the holes 302 via the common notch 301a, and the manufacturing process can be simplified.
【0048】なお、本実施形態の弾性部材305は、イ
ンクジェット記録ヘッドのインク供給路の狭ピッチ化に
対応した構成以外、すなわち、インクに直接接触する可
能性があるのは、耐インク性を有する接着剤であること
や、弾性部材305の材質等は基本的に第1の実施形態
で示した弾性部材105と同様である。The elastic member 305 of this embodiment has a property other than the structure corresponding to the narrow pitch of the ink supply path of the ink jet recording head, that is, the possibility that the elastic member 305 comes into direct contact with the ink has ink resistance. The adhesive, the material of the elastic member 305, and the like are basically the same as those of the elastic member 105 shown in the first embodiment.
【0049】以上説明したように本実施形態のインクジ
ェット記録ヘッドは、インクに直接接触する可能性があ
るのは、耐インク性を有する接着剤であり、弾性部材3
05がインクに接触することがない構造を有する。これ
により、本実施形態も第1の実施形態と同様に弾性部材
305に付着したゴミや不純物、あるいはゴムの溶出に
よるインクの吐出不良を抑制することができる。また、
接着剤と弾性部材305とにより密着強度を高めて流路
110とインク供給路104とを連通させているため、
インクの供給路内に空気が混入するのを防止することが
できる。As described above, in the ink jet recording head according to the present embodiment, it is the adhesive having ink resistance that may come into direct contact with the ink, and the elastic member 3
05 does not come into contact with the ink. Thus, in the present embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to suppress ink ejection failure due to elution of dust, impurities, or rubber attached to the elastic member 305. Also,
Since the adhesive strength is increased by the adhesive and the elastic member 305 to allow the flow path 110 and the ink supply path 104 to communicate with each other,
It is possible to prevent air from being mixed into the ink supply path.
【0050】さらに、本実施形態の場合、インクジェッ
ト記録ヘッドの小型化のための各インク供給路の狭ピッ
チ化に対応するだけでなく、共通切り欠き301aが形
成されていることにより、接着剤の充填工程の簡略化を
図ることができる。 (第3の実施形態)次に、図8に、本実施形態の流路形
成部材に形成された流路と第2の基板に形成されたイン
ク供給路との接合部の拡大側断面図を、また、図9に図
8に示した第2の基板の上面図を示す。Further, in the case of the present embodiment, not only does the ink supply path have a narrow pitch for downsizing the ink jet recording head, but also the common notch 301a is formed, so that the adhesive The filling step can be simplified. (Third Embodiment) Next, FIG. 8 is an enlarged sectional side view of a joint between a flow path formed in a flow path forming member of the present embodiment and an ink supply path formed in a second substrate. FIG. 9 shows a top view of the second substrate shown in FIG.
【0051】本実施形態の弾性部材505には、第1お
よび第2の実施形態で示した弾性部材105、305の
ように切り欠き201、301が形成されていない。そ
れ以外の構成は基本的に同様であるため詳細の説明は省
略する。The elastic member 505 of this embodiment is not formed with the cutouts 201 and 301 like the elastic members 105 and 305 shown in the first and second embodiments. The rest of the configuration is basically the same, and a detailed description is omitted.
【0052】なお、本実施形態では、第2の実施形態で
示したものと同様の、狭ピッチ化されたインク供給路が
形成されたインクジェット記録ヘッド、およびこれに対
応する弾性部材を例として示すがこれに限定されるもの
ではない。In the present embodiment, as an example, an ink jet recording head in which an ink supply path having a narrower pitch is formed and an elastic member corresponding to the same are shown as in the second embodiment. However, the present invention is not limited to this.
【0053】第2の基板402には、接着剤406を注
入するための注入部408を有する充填溝407が形成
されている。この充填溝407は、注入部408から注
入された接着剤406を流路形成部材403の凸部41
1と弾性部材505との間に形成される空間へと導く溝
である。また、この充填溝407は、連通溝409によ
り隣接する充填溝407に連通している。このため、デ
ィスペンサ等により、接着剤を充填させる際に、一つの
注入部408から接着剤を充填することにより、連通溝
409を介して全ての充填溝407に接着剤を行き渡ら
せることができることとなり、第2の実施形態と同様
に、製造工程の簡略化を図ることができる。A filling groove 407 having an injection portion 408 for injecting the adhesive 406 is formed in the second substrate 402. The filling groove 407 is used to transfer the adhesive 406 injected from the injection section 408 to the projection 41 of the flow path forming member 403.
This is a groove that leads to a space formed between the elastic member 505 and the elastic member 505. The filling groove 407 communicates with an adjacent filling groove 407 through a communication groove 409. For this reason, when the adhesive is filled by a dispenser or the like, by filling the adhesive from one injection portion 408, the adhesive can be spread to all the filling grooves 407 via the communication groove 409. As in the second embodiment, the manufacturing process can be simplified.
【0054】弾性部材505は、図9にハッチングで示
すように、弾性部材505の、第2の基板402の第2
の基板側密着面402aに対向する面で、充填溝407
に対する部分以外が、第2の基板側密着面402aに密
着している。As shown by hatching in FIG. 9, the elastic member 505 is formed by the second member 402 of the second substrate 402 of the elastic member 505.
The surface facing the substrate-side contact surface 402a of the
Is in close contact with the second substrate-side contact surface 402a.
【0055】なお、本実施形態では、接着剤を充填する
ための切り欠きが形成されていない弾性部材505を例
に説明したが、これに限定されるものではなく、接着剤
の充填速度をさらに上げるために切り欠きが形成されて
いる弾性部材505を用いるものであってもよい。In this embodiment, the elastic member 505 having no cutout for filling the adhesive has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. An elastic member 505 provided with a notch for raising may be used.
【0056】以上説明したように本実施形態のインクジ
ェット記録ヘッドは、インクに直接接触する可能性があ
るのは、耐インク性を有する接着剤406であり、弾性
部材505がインクに接触することがない構造を有す
る。これにより、本実施形態も第1および第2の実施形
態と同様に弾性部材505に付着したゴミや不純物、あ
るいはゴムの溶出によるインクの吐出不良を抑制するこ
とができる。また、接着剤406と弾性部材305とに
より密着強度を高めて流路410とインク供給路404
とを連通させているため、インクの供給路内に空気が混
入するのを防止することができる。As described above, in the ink jet recording head according to the present embodiment, it is the adhesive 406 having ink resistance that may come into direct contact with the ink, and the elastic member 505 may come into contact with the ink. No structure. Thus, in the present embodiment, similarly to the first and second embodiments, it is possible to suppress ink ejection failure due to elution of dust, impurities, or rubber attached to the elastic member 505. Further, the adhesive strength is increased by the adhesive 406 and the elastic member 305 so that the flow path 410 and the ink supply path 404 are increased.
Are communicated with each other, so that air can be prevented from entering the ink supply path.
【0057】また、第2の実施形態と同様に本実施形態
も、インクジェット記録ヘッドの小型化のための各イン
ク供給路の狭ピッチ化に対応するだけでなく、連通溝4
09が形成されていることにより、接着剤の充填工程の
簡略化を図ることができる。Also, like the second embodiment, this embodiment not only corresponds to the narrow pitch of each ink supply path for downsizing the ink jet recording head, but also the communication groove 4.
With the formation of 09, the filling step of the adhesive can be simplified.
【0058】[0058]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第2の基板と、流路形成部材の流路の外周部との接触部
に接着剤を充填するため、弾性部材と接着剤との両方で
連通部を外部に対して封止するため、封止強度が上が
る。また、弾性部材と、第2の基板と、流路形成部材の
流路の外周部とで形成される空間に接着剤が充填される
ことで弾性部材がインクに直接接触することはなく、よ
って、弾性部材に付着したオイル等の不純物に起因する
吐出不良、あるいは、弾性部材の一部がインク路内に溶
出することによるインクの凝集等を防止することができ
る。As described above, according to the present invention,
In order to fill the contact portion between the second substrate and the outer peripheral portion of the flow path of the flow path forming member with an adhesive, both the elastic member and the adhesive seal the communication portion with the outside, so that the sealing is performed. The stopping strength increases. Further, since the space formed by the elastic member, the second substrate, and the outer peripheral portion of the flow path of the flow path forming member is filled with the adhesive, the elastic member does not come into direct contact with the ink. In addition, it is possible to prevent ejection failure due to impurities such as oil adhered to the elastic member, or to prevent aggregation of ink due to elution of a part of the elastic member into the ink path.
【0059】以上によりインクジェット記録ヘッドの信
頼性を高めることができるとともに、インクの発泡が安
定し、記録品位を向上させることができる。As described above, the reliability of the ink jet recording head can be improved, the foaming of the ink is stabilized, and the recording quality can be improved.
【図1】本発明の記録ヘッドカートリッジの一例の分解
斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of an example of a recording head cartridge of the present invention.
【図2】インクタンクを搭載した状態の、図1に示した
記録ヘッドカートリッジの側断面図である。FIG. 2 is a side sectional view of the recording head cartridge shown in FIG. 1 in a state where an ink tank is mounted.
【図3】流路形成部材と第2の基板との接合部の拡大側
断面図である。FIG. 3 is an enlarged side sectional view of a joint between a flow path forming member and a second substrate.
【図4】本発明の第1の実施形態による弾性部材の上面
図、A−A’線断面図、およびB−B’線断面図であ
る。FIG. 4 is a top view, an AA ′ line sectional view, and a BB ′ line sectional view of the elastic member according to the first embodiment of the present invention.
【図5】第2の基板と流路形成部材との結合の工程を説
明するフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating a process of coupling a second substrate and a flow path forming member.
【図6】ディスペンサによる接着剤の注入方法を説明す
る図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a method of injecting an adhesive by a dispenser.
【図7】本発明の第2の実施形態による弾性部材の上面
図、およびA−A’線断面図である。FIG. 7 is a top view of an elastic member according to a second embodiment of the present invention, and a sectional view taken along line AA ′.
【図8】本発明の第3の実施形態のインクジェット記録
ヘッドの、流路形成部材と第2の基板との接合部の拡大
側断面図である。FIG. 8 is an enlarged side sectional view of a joint between a flow path forming member and a second substrate of an ink jet recording head according to a third embodiment of the present invention.
【図9】本発明の第3の実施形態の第2の基板の上面図
である。FIG. 9 is a top view of a second substrate according to the third embodiment of the present invention.
11 記録ヘッドカートリッジ 12 記録素子基板 16 吐出口 30 電気コンタクト基板 31 電気配線テープ 32 外部信号入力端子 101 第1の基板 102、402 第2の基板 102a、402a 第2の基板側密着面 103、403 流路形成部材 104、404 インク供給路 105、305 弾性部材 106、406 接着剤 107 配線基板 108 インク吐出口列 109 インクタンク 110、410 流路 111、411 凸部 112 突き当て面 120 接合部 121 外周部 122 接触部 201、301 切り欠き 202、302 孔 204、304 第1の端面 206、306 第2の端面 207 空間 208 ディスペンサ 209、309 小径部 210、310 大径部 301a 共通切り欠き 307 共通壁 407 充填溝 408 注入部 409 連通溝 516 インクジェット記録ヘッド 1001 ホルダ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Recording head cartridge 12 Recording element substrate 16 Discharge port 30 Electric contact substrate 31 Electric wiring tape 32 External signal input terminal 101 First substrate 102, 402 Second substrate 102a, 402a Second substrate side contact surface 103, 403 Path forming member 104, 404 Ink supply path 105, 305 Elastic member 106, 406 Adhesive 107 Wiring board 108 Ink ejection port array 109 Ink tank 110, 410 Flow path 111, 411 Convex part 112 Butt surface 120 Joint part 121 Outer part 122 Contact part 201, 301 Notch 202, 302 Hole 204, 304 First end face 206, 306 Second end face 207 Space 208 Dispenser 209, 309 Small diameter part 210, 310 Large diameter part 301a Common notch 307 Common wall 407 Filling Groove 4 8 injection unit 409 communicating groove 516 ink jet recording head 1001 holder portion
Claims (9)
よりインクを吐出するための電気熱交換素子が設けられ
た第1の基板と、前記第1の基板上に、前記電気熱交換
素子に対応して設けられたインク用溝へインクを送るた
めのインク供給路が設けられた第2の基板と、前記第2
の基板上の前記インク供給路へインクを送るための流路
が設けられた流路形成部材と、前記インク供給路と前記
流路とが連通する連通部を外部に対して封止するため
に、前記第2の基板と前記流路形成部材との接合部に設
けられた弾性部材とを有するインクジェット記録ヘッド
において、 前記連通部を外部に対して封止するため、前記弾性部材
と、前記第2の基板と、前記流路形成部材の前記流路の
外周部とにより形成された空間に接着剤が充填されてい
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。A first substrate provided with a discharge port for discharging ink, an electric heat exchange element for discharging ink from the discharge port, and the electric heat exchange element on the first substrate. A second substrate provided with an ink supply path for sending ink to an ink groove provided corresponding to the second substrate;
A flow path forming member provided with a flow path for sending ink to the ink supply path on the substrate, and sealing a communication portion where the ink supply path and the flow path communicate with each other to the outside. An ink jet recording head having an elastic member provided at a joint between the second substrate and the flow path forming member, wherein the elastic member includes: 2. An ink jet recording head, wherein an adhesive is filled in a space formed by the second substrate and an outer peripheral portion of the flow path of the flow path forming member.
る切り欠きが形成されている請求項1に記載のインクジ
ェット記録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a cutout communicating with the space is formed in the elastic member.
する充填溝が形成されている請求項1または2に記載の
インクジェット記録ヘッド。3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a filling groove communicating with the space is formed in the second substrate.
めの電気熱変換体を備えている請求項1ないし3のいず
れか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。4. The ink jet recording head according to claim 1, further comprising an electrothermal converter for generating thermal energy for discharging ink.
エネルギにより、インクに生ずる膜沸騰を利用して吐出
口よりインクを吐出させる請求項4に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。5. The ink jet recording head according to claim 4, wherein the ink is ejected from an ejection port using film boiling generated in the ink by the heat energy applied by the electrothermal transducer.
インクジェット記録ヘッドを製造するインクジェット記
録ヘッドの製造方法であって、 前記連通部を外部に対して封止するため、前記第2の基
板と、前記流路形成部材の前記流路の外周部との接触部
に接着剤を充填する工程を含むことを特徴とするインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。6. A method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 1, wherein said communication portion is sealed to the outside. Filling a contact portion between the substrate and the outer peripheral portion of the flow path of the flow path forming member with an adhesive.
含む請求項6に記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。7. The method according to claim 6, further comprising the step of filling the space with the adhesive.
間へと前記接着剤を充填させる工程を含む請求項6また
は7に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。8. The method according to claim 6, further comprising a step of filling the adhesive from the notch of the elastic member into the space.
から前記空間へと前記接着剤を充填させる工程を含む請
求項6ないし8のいずれか1項に記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。9. The method according to claim 6, further comprising a step of filling the adhesive from the filling groove formed in the second substrate into the space. .
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