JP2002062938A - Fluid pressure regulating device - Google Patents

Fluid pressure regulating device

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JP2002062938A
JP2002062938A JP2000251603A JP2000251603A JP2002062938A JP 2002062938 A JP2002062938 A JP 2002062938A JP 2000251603 A JP2000251603 A JP 2000251603A JP 2000251603 A JP2000251603 A JP 2000251603A JP 2002062938 A JP2002062938 A JP 2002062938A
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JP
Japan
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pressure
fluid
fluid pressure
solenoid valve
valve
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Application number
JP2000251603A
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Japanese (ja)
Inventor
Naoto Inayama
直人 稲山
Toru Inohara
徹 猪原
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00Control of fluid pressure
    • G05D16/20Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G05D16/2026Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means
    • G05D16/2046Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a single pressure from a plurality of converging pressures
    • G05D16/2053Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a single pressure from a plurality of converging pressures the plurality of throttling means comprising only a first throttling means acting on a higher pressure and a second throttling means acting on a lower pressure, e.g. the atmosphere
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    • G05D16/2093Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
    • G05D16/2095Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using membranes within the main valve

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid pressure regulating device capable of governing a high fluid pressure supplied from a fluid pressure supplying source and delivering it to a fluid pressure-operated equipment side. SOLUTION: This device comprises a supply valve element 34a for interrupting the communication of a feed port 24 to a pressure governing port 28 by being seated on a seat part 46 under the effect of a pilot pressure controlled by an air supplying solenoid valve 76 and/or an exhaust gas solenoid valve 82, and a pressure reducing mechanism 64 for reducing the pressure of the pressure fluid supplied from the feed port 24 to a prescribed pressure and delivering it to the air supply solenoid valve 76 and/or the exhaust gas solenoid valve 82 side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧力によって
作動する流体圧機器に対し、調整された所定の流体圧力
を供給することが可能な流体圧力調整装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid pressure regulating device capable of supplying a regulated predetermined fluid pressure to a fluid pressure device operated by fluid pressure.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、例えば、真空圧力の作用下に
吸着用パッド等の吸着手段を用いてワークを吸着・搬送
することが行われている。前記吸着用パッドに対して真
空ポンプから真空圧力を供給する場合、真空ポンプと吸
着用パッドとの間には、真空ポンプからの真空圧力を所
定の値に調整して吸着用パッドに供給する、例えば、真
空レギュレータ等の真空圧力調整装置が設けられる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a work has been suctioned and conveyed using suction means such as a suction pad under the action of vacuum pressure. When supplying a vacuum pressure from a vacuum pump to the suction pad, between the vacuum pump and the suction pad, the vacuum pressure from the vacuum pump is adjusted to a predetermined value and supplied to the suction pad, For example, a vacuum pressure adjusting device such as a vacuum regulator is provided.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、流体圧作動
機器の用途・種類に対応して高い流体圧力(正圧)が必
要とされる場合があり、流体圧力供給源から供給された
高い流体圧力(正圧)を所定の流体圧力に減圧して流体
圧作動機器側に導出する流体圧力調整装置が要求されて
いる。
In some cases, a high fluid pressure (positive pressure) is required depending on the use and type of the fluid pressure operating device, and a high fluid pressure supplied from a fluid pressure supply source is required. There is a demand for a fluid pressure adjusting device that reduces (positive pressure) to a predetermined fluid pressure and guides the fluid pressure to the fluid pressure operating device side.

【0004】本発明は、前記の要求に鑑みてなされたも
のであり、流体圧力供給源から供給された高い流体圧力
を調圧して流体圧作動機器側に導出することが可能な流
体圧力調整装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned needs, and has a fluid pressure adjusting device capable of regulating a high fluid pressure supplied from a fluid pressure supply source and leading the fluid pressure to a fluid pressure operating device. The purpose is to provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体圧力によって作動する流体圧機器
に対し、減圧調整された所定の流体圧力を供給する流体
圧力調整装置であって、流体圧力供給源に接続される供
給ポートと、流体圧作動機器に接続される調圧ポートと
を有するハウジングと、制御機構によって制御されたパ
イロット圧の作用下に、前記ハウジングの内部に軸線方
向に沿って変位自在に設けられ、着座部に着座すること
により、前記供給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮
断する弁体と、前記供給ポートから供給された圧力流体
の圧力を所定の圧力に減圧して制御機構側に導出する減
圧機構と、を備えることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention is a fluid pressure regulating apparatus for supplying a fluid pressure device operated by fluid pressure to a predetermined fluid pressure which is regulated under reduced pressure. A housing having a supply port connected to a fluid pressure supply source and a pressure regulating port connected to a fluid pressure operating device, and an axis line inside the housing under the action of a pilot pressure controlled by a control mechanism. A valve body that is provided so as to be displaceable along a direction and seats on a seating portion to cut off communication between the supply port and the pressure adjustment port; and a pressure of a pressure fluid supplied from the supply port by a predetermined amount. And a pressure reducing mechanism for reducing the pressure to a pressure and leading the pressure to a control mechanism.

【0006】この場合、前記減圧機構として、保持部材
の内部に係着されたばね部材と、前記ばね部材の端部に
係着されて変位自在な弁棒とを設け、ばね部材のばね力
と圧力流体の圧力とが均衡することにより、弁棒によっ
て供給ポートに連通する連通路が閉塞されるようにする
とよい。
In this case, as the pressure reducing mechanism, a spring member engaged inside the holding member and a displaceable valve rod engaged at the end of the spring member are provided, and the spring force and pressure of the spring member are provided. It is preferable that the communication path communicating with the supply port is closed by the valve stem by balancing the pressure of the fluid.

【0007】また、前記制御機構として給気用電磁弁と
排気用電磁弁とを用い、前記給気用電磁弁および排気用
電磁弁に減圧機構によって減圧された圧力流体を供給す
るとよい。
Further, it is preferable that a solenoid valve for air supply and a solenoid valve for exhaust are used as the control mechanism, and a pressure fluid reduced by a pressure reducing mechanism is supplied to the solenoid valve for air supply and the solenoid valve for exhaust.

【0008】本発明によれば、供給ポートに高い圧力流
体(正圧)が供給された場合であっても、減圧機構によ
って圧力流体の圧力が所定の圧力に減圧されるため、パ
イロット圧を制御する制御機構(給気用電磁弁および排
気用電磁弁)には、減圧された圧力流体を導入すること
ができる。
According to the present invention, even when a high pressure fluid (positive pressure) is supplied to the supply port, the pressure of the pressure fluid is reduced to a predetermined pressure by the pressure reducing mechanism, so that the pilot pressure is controlled. The depressurized pressure fluid can be introduced to the control mechanism (the supply air valve and the discharge electromagnetic valve).

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明に係る流体圧力調整装置に
ついて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しな
がら以下詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a fluid pressure adjusting device according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0010】図1において、参照数字10は、本発明の
実施の形態に係る流体圧力調整装置を示す。
In FIG. 1, reference numeral 10 indicates a fluid pressure adjusting device according to an embodiment of the present invention.

【0011】この流体圧力調整装置10は、基本的に
は、略直方体状を呈するボデイ部12と、前記ボデイ部
12の上部に一体的に連結されるボンネット14とから
構成される。前記ボンネット14の上部には、リード線
16を介して、例えば、図示しないコントローラ等に接
続されるコネクタ18が設けられる。なお、前記ボデイ
部12およびボンネット14は、ハウジングとして機能
するものである。
The fluid pressure adjusting device 10 basically includes a substantially rectangular parallelepiped body portion 12 and a bonnet 14 integrally connected to an upper portion of the body portion 12. A connector 18 connected to, for example, a controller (not shown) via a lead wire 16 is provided above the hood 14. The body 12 and the hood 14 function as a housing.

【0012】ボデイ部12は、例えば、アルミニウム等
の金属製材料からなり、一体的に積層された第1乃至第
3ブロック体20a〜20cを有する。前記第1ブロッ
ク体20aの相互に対向する両側面には、流体圧力供給
源22に接続される供給ポート24と高い流体圧力を必
要とする流体圧作動機器26に接続される調圧ポート2
8とが所定間隔離間して同軸状に形成されている。前記
供給ポート24と調圧ポート28との間には、該供給ポ
ート24と調圧ポート28とを連通させる連通路30が
形成される。
The body part 12 is made of a metal material such as aluminum, for example, and has first to third block bodies 20a to 20c integrally laminated. On opposite side surfaces of the first block body 20a, a supply port 24 connected to a fluid pressure supply source 22 and a pressure regulating port 2 connected to a fluid pressure operating device 26 requiring high fluid pressure are provided.
8 are formed coaxially with a predetermined spacing therebetween. A communication path 30 is formed between the supply port 24 and the pressure adjustment port 28 to communicate the supply port 24 and the pressure adjustment port 28.

【0013】なお、前記第1ブロック体20aには、底
面部に形成された孔部を閉塞する閉塞部材32が螺入さ
れ、前記閉塞部材32には後述する供給用弁体34aが
摺動する突起部36が形成されている。前記突起部36
には、供給用弁体34aの摺動部位を気密に保持するシ
ール部材38が装着されている。
A closing member 32 for closing a hole formed in the bottom surface is screwed into the first block body 20a, and a supply valve 34a described later slides in the closing member 32. A projection 36 is formed. The protrusion 36
Is provided with a seal member 38 for keeping the sliding portion of the supply valve element 34a airtight.

【0014】第2ブロック体20bの略中央部には図示
しない通路を介して大気に連通する室40が形成され、
前記室40には、ピストン42が摺動自在に設けられ
る。前記ピストン42には下方側に向かって突出するピ
ストンロッド44が連結され、前記ピストンロッド44
の一端部は、供給用弁体34aの上部に当接するように
設けられている。前記供給用弁体34aの上部側の外周
面には、ゴム等の弾性材料によって形成され、着座部4
6に着座してシールするシール部材48が装着されてい
る。なお、前記ピストン42の外周面には、環状溝を介
してOリング50が装着されている。
A chamber 40 communicating with the atmosphere through a passage (not shown) is formed at a substantially central portion of the second block body 20b.
A piston 42 is slidably provided in the chamber 40. A piston rod 44 protruding downward is connected to the piston 42, and the piston rod 44
Is provided so as to contact the upper part of the supply valve element 34a. On the outer peripheral surface on the upper side of the supply valve body 34a, an elastic material such as rubber is used.
A seal member 48 that sits on and seals is mounted. An O-ring 50 is mounted on the outer peripheral surface of the piston 42 via an annular groove.

【0015】この場合、前記供給用弁体34aは、第1
ばね部材52のばね力の作用下に着座部46に着座して
供給ポート24と調圧ポート28との連通が遮断された
弁閉状態となるように、常時、付勢されている。一方、
第1ばね部材52のばね力に抗してピストンロッド44
が供給用弁体34aを下方側に向かって押圧することに
よりシール部材48が着座部46から離間し、供給ポー
ト24と調圧ポート28とが連通路30を介して連通す
る弁開状態となる。
In this case, the supply valve body 34a is
Under the action of the spring force of the spring member 52, the valve is constantly urged so as to be seated on the seat portion 46 so that the communication between the supply port 24 and the pressure adjustment port 28 is shut off and the valve is closed. on the other hand,
The piston rod 44 resists the spring force of the first spring member 52.
Presses the supply valve body 34a downward, the seal member 48 is separated from the seat portion 46, and the valve is in an open state in which the supply port 24 and the pressure regulating port 28 communicate with each other through the communication passage 30. .

【0016】また、ピストンロッド44の中間部には、
前記供給用弁体34aと線対称に配置された排気用弁体
34bが設けられる。なお、前記排気用弁体34bは、
供給用弁体34aと略同一の構成要素によって構成さ
れ、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略す
る。
In the middle of the piston rod 44,
An exhaust valve body 34b is provided which is arranged symmetrically with the supply valve body 34a. The exhaust valve body 34b is
The supply valve element 34a is constituted by substantially the same components as those of the supply valve element 34a.

【0017】この排気用弁体34bは、第1ばね部材5
2のばね力に抗してピストンロッド44が上昇し該ピス
トンロッド44の外周面に係止されたリング体53が一
体的に上昇することにより、シール部材48が着座部4
6から離間して弁開状態となる。従って、排気用弁体3
4bが弁開状態となることにより、調圧ポート28側の
圧力流体が通路55を介して外部に排気される。
The exhaust valve body 34b is connected to the first spring member 5
As the piston rod 44 rises against the spring force of 2 and the ring 53 locked on the outer peripheral surface of the piston rod 44 rises integrally, the sealing member 48
6, the valve is opened. Therefore, the exhaust valve body 3
When the valve 4b is opened, the pressure fluid on the pressure adjustment port 28 side is exhausted to the outside via the passage 55.

【0018】第2ブロック体20bと第3ブロック体2
0cとの間には、該第2ブロック体20bと第3ブロッ
ク体20cによって外周縁部が挟持されたダイヤフラム
54が介装され、前記ダイヤフラム54の上部側には、
該ダイヤフラム54と第3ブロック体20cの凹部56
とによってパイロット室58が形成されている。前記ダ
イヤフラム54には、上面側と下面側との間で該ダイヤ
フラム54を挟持する一組のディスク部材60a、60
bが設けられ、下側のディスク部材60bの下面部にピ
ストン42が固着されている。
The second block 20b and the third block 2
0c, a diaphragm 54 whose outer peripheral edge is sandwiched by the second block body 20b and the third block body 20c is interposed, and on the upper side of the diaphragm 54,
The diaphragm 54 and the concave portion 56 of the third block body 20c
Thus, a pilot chamber 58 is formed. The diaphragm 54 has a pair of disk members 60a, 60 that sandwich the diaphragm 54 between the upper surface and the lower surface.
The piston 42 is fixed to the lower surface of the lower disk member 60b.

【0019】従って、パイロット室58に供給される圧
力流体の作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク
部材60a、60b、およびピストン42が上下方向に
沿って一体的に変位するように設けられている。
Accordingly, the diaphragm 54, a pair of disk members 60a and 60b, and the piston 42 are provided so as to be integrally displaced along the vertical direction under the action of the pressure fluid supplied to the pilot chamber 58. I have.

【0020】第2ブロック体20bには、供給ポート2
4に連通する第1連通路62を介して導入される圧力流
体の圧力を所定圧力に減圧する減圧機構64が設けられ
ている。この減圧機構64は、図2に示されるように、
第2ブロック体20bのねじ孔に嵌合され、内部に第2
ばね部材66の一端部が係着された第1保持部材68
と、前記第2ばね部材66の他端部が係着され、前記第
2ばね部材66のばね力によって第1連通路62を閉塞
する方向に向かって、常時、付勢された弁棒70と、前
記弁棒70が略水平方向に沿って変位自在に内嵌された
第2保持部材72とを有する。
The second block 20b has a supply port 2
A pressure reducing mechanism 64 is provided for reducing the pressure of the pressure fluid introduced via the first communication passage 62 communicating with the pressure control unit 4 to a predetermined pressure. As shown in FIG. 2, this pressure reducing mechanism 64
The second block body 20b is fitted in the screw hole,
First holding member 68 to which one end of spring member 66 is engaged
The other end of the second spring member 66 is engaged with the valve stem 70 which is constantly biased in a direction in which the first communication passage 62 is closed by the spring force of the second spring member 66. A second holding member 72 in which the valve stem 70 is displaceably fitted along a substantially horizontal direction.

【0021】前記弁棒70の一端部には、第2ばね部材
66のばね力の作用下に第1連通路62を閉塞するシー
ル部材74が装着されている。
A seal member 74 for closing the first communication passage 62 under the action of the spring force of the second spring member 66 is attached to one end of the valve stem 70.

【0022】従って、第1連通路62を介して導入され
る圧力流体の流体圧力が第2ばね部材66のばね力と均
衡することにより、弁棒70のシール部材74が第1連
通路62を閉塞して前記第1連通路62を流通する圧力
流体の圧力を所定の流体圧力に減圧することができる。
Accordingly, when the fluid pressure of the pressure fluid introduced through the first communication passage 62 is balanced with the spring force of the second spring member 66, the seal member 74 of the valve rod 70 The pressure of the pressurized fluid flowing through the first communication passage 62 after being closed can be reduced to a predetermined fluid pressure.

【0023】前記減圧機構64には、所定の流体圧力に
減圧された圧力流体を後述する給気用電磁弁76に供給
する第2連通路78が接続されている。
The pressure reducing mechanism 64 is connected to a second communication passage 78 for supplying a pressure fluid depressurized to a predetermined fluid pressure to an air supply solenoid valve 76 described later.

【0024】ボンネット14の内部には、第3ブロック
体20cに連結される樹脂製の連結プレート80を介し
て給気用電磁弁76と排気用電磁弁82とが所定間隔離
間して配設されている。前記給気用電磁弁76は、パイ
ロット室58に供給されるパイロット圧を制御する給気
弁として機能し、前記排気用電磁弁82は、給気用電磁
弁76に供給された圧力流体を外部に排気する排気弁と
して機能するものである。なお、制御機構として機能す
る前記給気用電磁弁76および排気用電磁弁82は、図
示しない電磁コイルに対してコントローラから電流信号
が導出されることにより、図示しない弁体が吸引されて
オン状態となる。
Inside the bonnet 14, a supply air solenoid valve 76 and an exhaust air solenoid valve 82 are disposed at a predetermined distance from each other via a resin connection plate 80 connected to the third block body 20c. ing. The air supply solenoid valve 76 functions as an air supply valve for controlling the pilot pressure supplied to the pilot chamber 58, and the exhaust solenoid valve 82 controls the pressure fluid supplied to the air supply solenoid valve 76 to the outside. It functions as an exhaust valve for exhausting air. The air supply solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82 functioning as a control mechanism are turned on when a current signal is derived from a controller for an electromagnetic coil (not shown) to draw a valve body (not shown). Becomes

【0025】前記給気用電磁弁76と排気用電磁弁82
との間には、調圧ポート28に連通する図示しないフィ
ードバック通路を介して流体圧作動機器26側に供給さ
れる圧力流体の圧力を検知する半導体圧力センサ84が
配設され、前記半導体圧力センサ84の検出信号は、電
気回路基板86a、86bおよびコネクタ18を介して
図示しないコントローラに導出される。前記コントロー
ラでは、予め設定された流体圧力と検出信号に対応する
流体圧力とを比較し、その偏差が零となるようにフィー
ドバック制御がなされる。なお、前記半導体圧力センサ
84として、高圧対応の半導体圧力センサを用いるとよ
い。
The air supply solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82
And a semiconductor pressure sensor 84 for detecting the pressure of the pressure fluid supplied to the fluid pressure operating device 26 via a feedback passage (not shown) communicating with the pressure adjustment port 28. The detection signal at 84 is led to a controller (not shown) via the electric circuit boards 86a and 86b and the connector 18. The controller compares a preset fluid pressure with a fluid pressure corresponding to the detection signal, and performs feedback control such that the deviation becomes zero. In addition, as the semiconductor pressure sensor 84, a high-pressure-compatible semiconductor pressure sensor may be used.

【0026】この場合、コネクタ18を介して図示しな
いコントローラから出力される制御信号によってそれぞ
れ給気用電磁弁76および排気用電磁弁82を付勢・滅
勢することにより、第3連通路88を介してパイロット
室58に供給されるパイロット圧が制御される。
In this case, the third communication passage 88 is formed by energizing and deactivating the air supply solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82 by control signals output from a controller (not shown) via the connector 18. The pilot pressure supplied to the pilot chamber 58 via the controller is controlled.

【0027】本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装
置10は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。
The fluid pressure adjusting device 10 according to the embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, the operation and effect of the device will be described.

【0028】まず、チューブ等を介して供給ポート24
に流体圧力供給源22を接続し、一方、調圧ポート28
に、高い流体圧力が必要とされる流体圧作動機器26を
接続しておく。また、図1に示されるように、供給用弁
体34aが着座部46に着座して弁閉状態となっている
状態を初期位置として説明する。
First, the supply port 24 is connected via a tube or the like.
The fluid pressure supply 22 is connected to the
Is connected to a hydraulic operating device 26 which requires a high fluid pressure. Further, as shown in FIG. 1, a state in which the supply valve body 34a is seated on the seat portion 46 and is in the valve closed state will be described as an initial position.

【0029】本実施の形態では、流体圧力供給源22か
ら供給ポート24に、例えば、2.5〜3.0MPaの
流体圧力を有するアシストガスが供給されるように設定
されている。なお、アシストガスとしては、例えば、酸
素、窒素ガス、エアー等が用いられる。
In this embodiment, an assist gas having a fluid pressure of, for example, 2.5 to 3.0 MPa is set to be supplied from the fluid pressure supply source 22 to the supply port 24. In addition, as the assist gas, for example, oxygen, nitrogen gas, air, or the like is used.

【0030】図1に示されるような初期位置において、
流体圧力供給源22の付勢作用下に高圧な圧力流体を供
給ポート24に供給する。前記供給ポート24に供給さ
れた高圧な圧力流体は、第1連通路62を介して減圧機
構64に導入され、第2ばね部材66のばね力と均衡し
て弁棒70のシール部材74が着座部に着座するまで、
減圧作用が営まれる。
In the initial position as shown in FIG.
A high-pressure fluid is supplied to the supply port 24 under the action of the fluid pressure supply 22. The high-pressure fluid supplied to the supply port 24 is introduced into the pressure reducing mechanism 64 through the first communication passage 62, and is balanced with the spring force of the second spring member 66 so that the seal member 74 of the valve stem 70 is seated. Until you sit in the club
Decompression action is performed.

【0031】すなわち、第1連通路62を介して導入さ
れた高圧な圧力流体は、第2ばね部材66のばね力と均
衡するまで減圧され、さらに、前記第2ばね部材66の
ばね力と圧力流体の圧力とが均衡することにより、弁棒
70のシール部材74が着座部に着座して第1連通路6
2が閉塞される。
That is, the high-pressure fluid introduced through the first communication passage 62 is decompressed until it is balanced with the spring force of the second spring member 66, and the spring force and pressure of the second spring member 66 are further reduced. When the pressure of the fluid is balanced, the seal member 74 of the valve rod 70 is seated on the seat portion and the first communication passage 6
2 is closed.

【0032】減圧された圧力流体は、第2連通路78を
介して給気用電磁弁76および排気用電磁弁82に導入
され、図示しないコントローラから出力される制御信号
(オン/オフ信号)によって給気用電磁弁76および/
または排気用電磁弁82をそれぞれオン/オフ制御する
ことにより、パイロット圧が所定の圧力に制御される。
The decompressed pressure fluid is introduced into the air supply solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82 through the second communication passage 78, and is controlled by a control signal (on / off signal) output from a controller (not shown). Supply air solenoid valve 76 and / or
Alternatively, the pilot pressure is controlled to a predetermined pressure by performing on / off control of the exhaust electromagnetic valve 82, respectively.

【0033】前記給気用電磁弁76および/または排気
用電磁弁82によって制御されたパイロット圧は、第3
連通路88を介してダイヤフラム54の上部側に設けら
れたパイロット室58に供給される。前記パイロット圧
の作用下に、ダイヤフラム54、一組のディスク部材6
0a、60b、ピストン42およびピストンロッド44
が一体的に下降する。ピストンロッド44が下降するこ
とにより、供給用弁体34aは、第1ばね部材52のば
ね力に抗して下方側に向かって変位し、シール部材38
が着座部46から離間することにより弁開状態となる
(図3参照)。
The pilot pressure controlled by the supply electromagnetic valve 76 and / or the exhaust electromagnetic valve 82 is equal to the third pressure.
The air is supplied to a pilot chamber 58 provided on the upper side of the diaphragm 54 through a communication passage 88. Under the action of the pilot pressure, the diaphragm 54, the set of disc members 6
0a, 60b, piston 42 and piston rod 44
Descends integrally. When the piston rod 44 descends, the supply valve body 34a is displaced downward against the spring force of the first spring member 52, and the sealing member 38
Is separated from the seat 46 to be in a valve-open state (see FIG. 3).

【0034】従って、供給ポート24に供給された圧力
流体は、供給用弁体34aのシール部材48と着座部4
6とのクリアランスを介して所定の圧力流体に減圧され
た後、調圧ポート28から流体圧作動機器26側に圧力
流体が供給される。
Accordingly, the pressurized fluid supplied to the supply port 24 is supplied to the sealing member 48 of the supply valve body 34a and the seat 4
After the pressure is reduced to a predetermined pressure fluid through the clearance with the pressure regulator 6, the pressure fluid is supplied from the pressure adjustment port 28 to the fluid pressure operating device 26 side.

【0035】なお、流体圧作動機器26側に供給される
圧力流体の圧力は、図示しないフィードバック通路を介
して半導体圧力センサ84に導入され、半導体圧力セン
サ84から出力される検出信号に基づいてフィードバッ
ク制御がなされる。
The pressure of the pressure fluid supplied to the fluid pressure operating device 26 is introduced into the semiconductor pressure sensor 84 via a feedback path (not shown), and is fed back based on a detection signal output from the semiconductor pressure sensor 84. Control is exercised.

【0036】このように、パイロット室58に供給され
る圧力流体の圧力によってダイヤフラム54と一体的に
ピストン42およびピストンロッド44を上下方向に沿
って変位させることにより、供給用弁体34aの開閉作
用によって減圧効果が営まれる。
As described above, the piston 42 and the piston rod 44 are vertically displaced integrally with the diaphragm 54 by the pressure of the pressurized fluid supplied to the pilot chamber 58, thereby opening and closing the supply valve body 34a. The decompression effect is performed by this.

【0037】すなわち、パイロット室58に導入された
パイロット圧の作用下に、ダイヤフラム54および一組
のディスク部材60a、60bには一体的に下方側に向
かって押圧する力が付与され、このダイヤフラム54お
よび一組のディスク部材60a、60bを下方側に向か
って押圧する力と第1ばね部材52のばね力とが平衡す
ることにより、供給用弁体34aが着座部46に着座し
て弁閉状態となり、予め設定された所望の流体圧力が調
圧ポート28を介して流体圧作動機器26に供給され
る。
That is, under the action of the pilot pressure introduced into the pilot chamber 58, a force is applied to the diaphragm 54 and the pair of disk members 60a and 60b so as to be pressed downward integrally. When the force pressing the pair of disc members 60a and 60b downward and the spring force of the first spring member 52 are balanced, the supply valve body 34a is seated on the seat portion 46 to close the valve. Thus, a predetermined desired fluid pressure is supplied to the fluid pressure operating device 26 through the pressure adjusting port 28.

【0038】本実施の形態では、供給ポート24に高い
圧力流体(正圧)が供給された場合であっても、減圧機
構64によって圧力流体の圧力が減圧されるため、パイ
ロット圧を制御する給気用電磁弁76および排気用電磁
弁82には、通常の流体圧力からなる圧力流体を導入す
ることができる。従って、給気用電磁弁76および排気
用電磁弁82として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用い
る必要がなく、通常の電磁弁を使用することができ、し
かも、大きな設計変更等をすることなく既存の構造をそ
のまま利用することができるという利点がある。
In this embodiment, even when a high pressure fluid (positive pressure) is supplied to the supply port 24, the pressure of the pressure fluid is reduced by the pressure reducing mechanism 64, so that the pilot pressure is controlled. A pressure fluid having a normal fluid pressure can be introduced into the pneumatic solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82. Therefore, it is not necessary to use specially-designed high-pressure solenoid valves as the air supply solenoid valve 76 and the exhaust solenoid valve 82, and it is possible to use ordinary solenoid valves, and to make major design changes. There is an advantage that the existing structure can be used as it is.

【0039】また、減圧機構64をボデイ部12内に一
体的に組み込んで構成しているため、装置全体が大型化
することがなく、設置スペースの有効利用を図ることが
できる。
Further, since the pressure reducing mechanism 64 is integrally incorporated in the body portion 12, the whole apparatus does not become large and the installation space can be effectively used.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明に係る流体圧力調整装置によれ
ば、以下の効果が得られる。
According to the fluid pressure adjusting device of the present invention, the following effects can be obtained.

【0041】すなわち、供給ポートに高い圧力流体(正
圧)が供給された場合であっても、減圧機構によって圧
力流体の圧力が所定の圧力に減圧されるため、パイロッ
ト圧を制御する制御機構(給気用電磁弁および排気用電
磁弁)に対し、減圧された圧力流体を導入することがで
きる。
That is, even when a high pressure fluid (positive pressure) is supplied to the supply port, the pressure of the pressure fluid is reduced to a predetermined pressure by the pressure reducing mechanism. The decompressed pressure fluid can be introduced into the air supply solenoid valve and the exhaust solenoid valve).

【0042】従って、給気用電磁弁および排気用電磁弁
として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用いる必要がな
く、通常の電磁弁を使用することができ、しかも、大き
な設計変更等をすることなく既存の構造をそのまま利用
することができるという効果が得られる。
Therefore, it is not necessary to use specially-designed high-pressure solenoid valves as the supply and exhaust solenoid valves, and it is possible to use ordinary solenoid valves, and to make major design changes. An effect is obtained that the existing structure can be used as it is without any change.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装置の
軸線方向に沿った縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view along an axial direction of a fluid pressure adjusting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の流体圧力調整装置を構成する減圧機構の
拡大縦断面図である。
FIG. 2 is an enlarged longitudinal sectional view of a pressure reducing mechanism constituting the fluid pressure adjusting device of FIG.

【図3】図1に示す弁閉状態から供給用弁体が弁開状態
に変化した動作説明図である。
FIG. 3 is an operation explanatory diagram in which a supply valve element changes from a valve closed state to a valve open state shown in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…流体圧力調整装置 12…ボデイ部 14…ボンネット 20a〜20c…ブ
ロック体 22…流体圧力供給源 24…供給ポート 26…流体圧作動機器 28…調圧ポート 30、62、78、88…連通路 34a…供給用弁体 34b…排気用弁体 42…ピストン 44…ピストンロッド 46…着座部 52、66…ばね部材 54…ダイヤフラム 58…パイロット室 60a、60b…デ
ィスク部材 64…減圧機構 68、72…保持部
材 70…弁棒 76…給気用電磁弁 82…排気用電磁弁 84…半導体圧力セ
ンサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Fluid pressure adjusting device 12 ... Body part 14 ... Bonnet 20a-20c ... Block body 22 ... Fluid pressure supply source 24 ... Supply port 26 ... Fluid pressure operating device 28 ... Pressure regulating port 30, 62, 78, 88 ... Communication path 34a ... supply valve element 34b ... exhaust valve element 42 ... piston 44 ... piston rod 46 ... seating part 52, 66 ... spring member 54 ... diaphragm 58 ... pilot chamber 60a, 60b ... disk member 64 ... pressure reducing mechanism 68, 72 ... Holding member 70: Valve stem 76: Solenoid valve for air supply 82: Solenoid valve for exhaust 84: Semiconductor pressure sensor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】流体圧力によって作動する流体圧機器に対
し、減圧調整された所定の流体圧力を供給する流体圧力
調整装置であって、 流体圧力供給源に接続される供給ポートと、流体圧作動
機器に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、 制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下に、
前記ハウジングの内部に軸線方向に沿って変位自在に設
けられ、着座部に着座することにより、前記供 給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体と、 前記供給ポートから供給された圧力流体の圧力を所定の
圧力に減圧して制御機構側に導出する減圧機構と、 を備えることを特徴とする流体圧力調整装置。
1. A fluid pressure regulating device for supplying a fluid pressure device operated by fluid pressure to a predetermined fluid pressure reduced and regulated, comprising: a supply port connected to a fluid pressure supply source; A housing having a pressure regulating port connected to the equipment, and under the action of a pilot pressure controlled by a control mechanism,
A valve body is provided inside the housing so as to be displaceable in the axial direction, and is seated on a seating portion to cut off communication between the supply port and the pressure regulating port. A pressure reducing mechanism that reduces the pressure of the pressure fluid to a predetermined pressure and guides the pressure to a control mechanism side.
【請求項2】請求項1記載の装置において、 前記減圧機構は、保持部材の内部に係着されたばね部材
と、前記ばね部材の端部に係着されて変位自在に設けら
れた弁棒とを有し、ばね部材のばね力と圧力流体の圧力
とが均衡することにより、弁棒によって供給ポートに連
通する連通路が閉塞されることを特徴とする流体圧力調
整装置。
2. The device according to claim 1, wherein the pressure reducing mechanism includes a spring member fixed inside the holding member, and a valve rod fixed to an end of the spring member and provided to be displaceable. And a communication passage communicating with the supply port by the valve rod is closed by balancing the spring force of the spring member and the pressure of the pressure fluid.
【請求項3】請求項1または2記載の装置において、 前記制御機構は、給気用電磁弁と排気用電磁弁とを含
み、前記給気用電磁弁および排気用電磁弁には、減圧機
構によって減圧された圧力流体が供給されることを特徴
とする流体圧力調整装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the control mechanism includes an air supply solenoid valve and an exhaust solenoid valve, and the air supply solenoid valve and the exhaust solenoid valve include a pressure reducing mechanism. A fluid pressure adjusting device, wherein a pressure fluid reduced in pressure is supplied.
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