JP2002055358A - Liquid crystal display device and method of manufacture thereof - Google Patents

Liquid crystal display device and method of manufacture thereof

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JP2002055358A
JP2002055358A JP2000241737A JP2000241737A JP2002055358A JP 2002055358 A JP2002055358 A JP 2002055358A JP 2000241737 A JP2000241737 A JP 2000241737A JP 2000241737 A JP2000241737 A JP 2000241737A JP 2002055358 A JP2002055358 A JP 2002055358A
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JP
Japan
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liquid crystal
transparent conductive
radiation noise
conductive film
crystal display
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Application number
JP2000241737A
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Japanese (ja)
Inventor
Kaori Aoyama
かおり 青山
Ikuji Konishi
郁二 小西
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device at a low cost without damaging an antireflection function imparted to the display surface of a polarizing plate. SOLUTION: The liquid crystal display device is provided with a liquid crystal display panel 11 having a liquid crystal layer provided between a facing glass substrate 2 provided on the display surface side and a TFT glass substrate 1 opposed thereto and a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise, formed on the display surface of the facing glass substrate 2 and having >=40 nm and <=160 nm film thickness.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、不要輻射ノイズの
遮断機能を備えた液晶表示装置およびその製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device having a function of blocking unnecessary radiation noise and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルは、一般に相対する2枚
のガラス基板に形成された電極と、両ガラス基板間に狭
持された液晶材とを基本構成要素として備える。この液
晶表示パネルでは、各画素電極毎に表示内容に応じた電
圧が印加され、これによって液晶がオン・オフし、ある
いはその中間の状態を示すことにより表示を行なう。こ
のとき、対向電極側においてもその駆動方法にしたがっ
て電圧変化を行う。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display panel generally includes, as basic components, electrodes formed on two glass substrates facing each other and a liquid crystal material sandwiched between the two glass substrates. In this liquid crystal display panel, a voltage corresponding to the display content is applied to each pixel electrode, whereby the liquid crystal is turned on / off, or displays an intermediate state. At this time, the voltage is changed on the counter electrode side in accordance with the driving method.

【0003】例えば、TFT液晶表示パネルでは、1ラ
イン毎および1フィールド毎に反転する電圧により駆動
されるが、TFT素子が設けられているTFT側基板の
駆動電圧、すなわちTFT側基板に接続されたドライバ
ーICの電源電圧を下げる目的から、対向電極も液晶の
しきい値電圧に近い電圧で交流駆動されている。
For example, a TFT liquid crystal display panel is driven by a voltage that is inverted every line and every field, but is driven by a driving voltage of a TFT-side substrate provided with TFT elements, that is, connected to the TFT-side substrate. For the purpose of lowering the power supply voltage of the driver IC, the counter electrode is also AC driven at a voltage close to the threshold voltage of the liquid crystal.

【0004】上記のような対向電極の電圧変化により、
従来、液晶表示装置では、不要な輻射ノイズが発生し、
周辺の機器に影響を与えるものとなっている。特に、近
年液晶表示装置を使用したカーナビゲーションシステム
や車載用ディスプレイが普及してきており、これらを搭
載した車両においては、カーアンテナと液晶表示装置と
の距離を十分に確保できない場合、上記輻射ノイズによ
り、例えばAMラジオ放送の受信に大きな妨害を受けて
いる。
[0004] By the voltage change of the counter electrode as described above,
Conventionally, in a liquid crystal display device, unnecessary radiation noise occurs,
It affects peripheral devices. In particular, in recent years, car navigation systems and in-vehicle displays using liquid crystal display devices have become widespread, and in vehicles equipped with these, if the distance between the car antenna and the liquid crystal display device cannot be sufficiently ensured, the above-mentioned radiated noise causes For example, reception of AM radio broadcasts is greatly hindered.

【0005】このように、車のデザイン等の制約によ
り、アンテナの位置を液晶表示装置から十分遠ざけるこ
とができない場合には、次のような対策が講じられてい
る。 (1)液晶表示装置の表示面側偏光板、即ち表偏光板の
表示面(前面)に透明導電性フィルムを設ける。 (2)液晶表示装置の表偏光板の表示面に透明導電薄膜
を設ける。このような構成は、例えば特開平5−150
214号に開示されている。その構成は、図6に示すも
のとなる。
As described above, when the antenna position cannot be sufficiently moved away from the liquid crystal display device due to restrictions in the design of the car, the following measures are taken. (1) A transparent conductive film is provided on the display surface side polarizing plate of the liquid crystal display device, that is, on the display surface (front surface) of the front polarizing plate. (2) A transparent conductive thin film is provided on the display surface of the front polarizing plate of the liquid crystal display device. Such a configuration is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-150.
No. 214. The configuration is as shown in FIG.

【0006】図6に示す液晶表示装置は、液晶表示パネ
ル51、バックライト(図示せず)および駆動回路(図
示せず)等を含む液晶モジュール52を備えている。液
晶モジュール52は、表示面に表偏光板52aを備え、
裏面に裏偏光板52bを備えている。さらに、この液晶
モジュール52の前面側(表示面側)には、上記の輻射
ノイズを吸収するための輻射ノイズ遮断用透明導電膜
(透明導電性フィルム)54が設けられている。透明電
極54には、グランドに接続された接地用端子55が接
続される。これにより、上記の輻射ノイズ信号が透明電
極54にて吸収され、接地用端子55を介してグランド
に流される。
The liquid crystal display device shown in FIG. 6 includes a liquid crystal display panel 51, a liquid crystal module 52 including a backlight (not shown), a driving circuit (not shown), and the like. The liquid crystal module 52 includes a front polarizing plate 52a on a display surface,
A back polarizing plate 52b is provided on the back surface. Further, on the front side (display surface side) of the liquid crystal module 52, a transparent conductive film (transparent conductive film) 54 for blocking the radiation noise for absorbing the radiation noise is provided. A ground terminal 55 connected to the ground is connected to the transparent electrode 54. As a result, the radiation noise signal is absorbed by the transparent electrode 54 and flows to the ground via the ground terminal 55.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
構成では、次のような問題点が生じる。即ち、液晶表示
パネルの表偏光板52aには、通常、表示面の反射率を
低下させて表示機能を高めるために、多層膜による反射
防止処理が施されている。したがって、上記従来の構成
において、表偏光板52aに上記反射防止処理が施され
ている場合には、表偏光板52aの上に設けられた輻射
ノイズ遮断用透明導電膜(透明導電性フィルム)54の
反射により、表偏光板52aの反射防止機能が損なわれ
ることになる。
However, the above-described conventional configuration has the following problems. That is, the front polarizing plate 52a of the liquid crystal display panel is usually subjected to an antireflection treatment using a multilayer film in order to reduce the reflectance of the display surface and enhance the display function. Therefore, in the above-described conventional configuration, when the anti-reflection treatment is performed on the front polarizing plate 52a, the transparent conductive film (transparent conductive film) 54 for shielding radiation noise provided on the front polarizing plate 52a. , The antireflection function of the front polarizing plate 52a is impaired.

【0008】また、表偏光板52aの上に輻射ノイズ遮
断用透明導電膜(透明導電性フィルム)54を設ける
と、上記の接地用端子55等、この輻射ノイズ遮断用透
明導電膜(透明導電性フィルム)54を外部の接地端子
等と電気的に接続する構造が別途必要がとなるため、製
造コストが高くなるといった問題点を有している。
Further, when a transparent conductive film (transparent conductive film) 54 for shielding radiation noise is provided on the front polarizing plate 52a, the transparent conductive film (transparent conductive film) for shielding radiation noise such as the grounding terminal 55 is provided. Since a structure for electrically connecting the (film) 54 to an external ground terminal or the like is required separately, there is a problem that the manufacturing cost is increased.

【0009】したがって、本発明は、偏光板の表示面に
反射防止処理が行われている場合に、それによる反射防
止機能を損なうことがなく、かつ低コストの構成とでき
る液晶表示装置およびその製造方法の提供を目的として
いる。
Therefore, the present invention provides a liquid crystal display device having a low-cost structure without impairing the antireflection function due to the antireflection treatment performed on the display surface of the polarizing plate, and its manufacture. It is intended to provide a method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、表示面側に設けられた前基板とこれに対向する後基
板との間に液晶層が設けられた液晶表示パネルと、前記
の前基板における表示面に形成され、膜厚が40nm以
上、160nm以下である輻射ノイズ遮断用透明導電膜
とを備えていることを特徴としている。
A liquid crystal display device according to the present invention comprises a liquid crystal display panel having a liquid crystal layer provided between a front substrate provided on a display surface side and a rear substrate opposed thereto. A transparent conductive film for blocking radiation noise, which is formed on the display surface of the front substrate and has a thickness of 40 nm or more and 160 nm or less, is provided.

【0011】上記の構成によれば、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜は、表示側偏光板(表偏光板)の表面ではな
く、前基板における表示面に形成されているので、表偏
光板の表面に反射防止処理が施されている場合に、前記
の輻射ノイズ遮断用透明導電膜によって表偏光板の反射
防止機能が損なわれることがない。
According to the above structure, the transparent conductive film for shielding radiation noise is formed not on the surface of the display-side polarizing plate (front polarizing plate) but on the display surface of the front substrate. When the anti-reflection treatment is performed on the surface polarizer, the anti-reflection function of the front polarizer is not impaired by the radiation noise blocking transparent conductive film.

【0012】さらに、透明導電薄膜は、前基板の表示面
(前面)に直接形成されているので、液晶表示パネルか
らの不要輻射ノイズに対して高い防止機能を備えること
ができる。
Further, since the transparent conductive thin film is formed directly on the display surface (front surface) of the front substrate, the transparent conductive thin film can have a high protection function against unnecessary radiation noise from the liquid crystal display panel.

【0013】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、膜
厚が40nm以上に設定されているので、液晶表示装置
の製造時に、前基板に形成された輻射ノイズ遮断用透明
導電膜が他の物と接触した際の摩擦によって損傷し、さ
らには剥がれる事態、傷を受けることにより抵抗値が過
度に上昇し、不要輻射ノイズの吸収機能が著しく低下す
る事態、あるいは液晶表示装置の製造工程中のエッチン
グ処理により剥がれる事態等を防止することができる。
さらに、膜厚が40nm未満では、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜の成膜面の汚れが光の干渉により強調されて表
示品位を落とす事態が生じるが、膜厚が40nm以上と
なっているので、このような事態も防止することができ
る。
Further, since the radiation noise blocking transparent conductive film is set to have a film thickness of 40 nm or more, the radiation noise blocking transparent conductive film formed on the front substrate during manufacture of the liquid crystal display device is made of another material. Damage due to friction when it comes into contact with the device, further peeling, excessive damage due to scratching, the ability to absorb unnecessary radiation noise is significantly reduced, or etching during the manufacturing process of the liquid crystal display device It is possible to prevent a situation such as peeling due to processing.
Further, when the film thickness is less than 40 nm, the contamination on the film forming surface of the transparent conductive film for shielding radiation noise is emphasized by light interference and the display quality deteriorates. However, since the film thickness is 40 nm or more, Such a situation can also be prevented.

【0014】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、膜
厚が160nm以下に設定されているので、表示の際の
光の透過率を良好な範囲に維持でき、輻射ノイズ遮断用
透明導電膜によって液晶表示装置の表示機能が低下する
事態を防止することができる。
Further, since the radiation noise blocking transparent conductive film is set to have a thickness of 160 nm or less, the light transmittance at the time of display can be maintained in a good range, and the radiation noise blocking transparent conductive film can be used. A situation in which the display function of the liquid crystal display device is reduced can be prevented.

【0015】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、前
基板の表示面(前面)に形成され、液晶表示パネルに含
まれた構成となっている。したがって、輻射ノイズ遮断
用透明導電膜をグランド電位と接続するのに、液晶表示
装置が本来的に通常備える導電性の筐体等を利用でき、
別の接地用部材が不要となる。これにより、コストアッ
プを抑制することができる。
Further, the transparent conductive film for shielding radiation noise is formed on the display surface (front surface) of the front substrate, and has a configuration included in the liquid crystal display panel. Therefore, in order to connect the radiation noise blocking transparent conductive film to the ground potential, a conductive casing or the like originally provided in the liquid crystal display device can be used,
No additional grounding member is required. Thereby, cost increase can be suppressed.

【0016】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の面抵抗が300Ω/cm2 以下である
構成としてもよい。
In the above liquid crystal display device, the radiation noise blocking transparent conductive film may have a sheet resistance of 300 Ω / cm 2 or less.

【0017】上記の構成によれば、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜は、面抵抗が300Ω/cm2 以下であるの
で、不要輻射ノイズについての良好な遮断機能を備える
ことができる。
According to the above configuration, since the transparent conductive film for shielding radiation noise has a sheet resistance of 300 Ω / cm 2 or less, it can have a good blocking function for unnecessary radiation noise.

【0018】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の面抵抗が60Ω/cm2 以下である構
成としてもよい。
In the liquid crystal display device described above, the radiation noise blocking transparent conductive film may have a sheet resistance of 60 Ω / cm 2 or less.

【0019】上記の構成によれば、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜は、面抵抗が60Ω/cm 2 以下であるので、
さらにAM帯のノイズをより良好に遮断することができ
る。
According to the above configuration, the radiation noise shielding transparent is provided.
The bright conductive film has a sheet resistance of 60Ω / cm. TwoSince
Furthermore, AM band noise can be better blocked.
You.

【0020】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の前面に偏光板が設けられている構成と
してもよい。
The above liquid crystal display device may have a configuration in which a polarizing plate is provided on the front surface of the transparent conductive film for blocking radiation noise.

【0021】上記の構成によれば、液晶表示パネルの前
基板の表示面側に偏光板を設ける構成において、偏光板
の表面には輻射ノイズ遮断用透明導電膜が形成されない
ので、偏光板に対しては、反射防止処理を従来通りその
前面にのみ行なえばよい。したがって、偏光板の製造方
法を変更する必要がなく、偏光板、すなわち液晶表示装
置の生産性低下やコストアップを抑制することができ
る。
According to the above configuration, in the configuration in which the polarizing plate is provided on the display surface side of the front substrate of the liquid crystal display panel, the transparent conductive film for shielding radiation noise is not formed on the surface of the polarizing plate. In other words, the anti-reflection treatment may be performed only on the front surface as in the related art. Therefore, there is no need to change the manufacturing method of the polarizing plate, and it is possible to suppress a decrease in productivity and an increase in cost of the polarizing plate, that is, the liquid crystal display device.

【0022】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜がITOからなる構成としてもよい。I
TOは、抵抗抗かつ高透過の特徴を有し、比較的安価で
あるので、輻射ノイズ遮断用透明導電膜としての使用に
適する。
In the above liquid crystal display device, the transparent conductive film for shielding radiation noise may be made of ITO. I
TO has characteristics of resistance and high transmission and is relatively inexpensive, so that it is suitable for use as a transparent conductive film for shielding radiation noise.

【0023】本発明の液晶表示装置の製造方法は、表示
面側に設けられた前基板とこれに対向する後基板との間
に液晶層が設けられた液晶表示パネルを有する液晶表示
装置の製造方法において、前記の前基板における表示面
に、膜厚が40nm以上、160nm以下の輻射ノイズ
遮断用透明導電膜を形成し、その後、前記の前基板にお
ける前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜の形成面とは反対
側の面に、エッチングを含む処理、例えばブラックマト
リクス用メタルの形成処理を行うことを特徴としてい
る。
According to the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, a liquid crystal display device having a liquid crystal display panel having a liquid crystal layer between a front substrate provided on a display surface side and a rear substrate opposed thereto is provided. In the method, a radiation noise blocking transparent conductive film having a thickness of 40 nm or more and 160 nm or less is formed on the display surface of the front substrate, and then, the radiation noise blocking transparent conductive film forming surface of the front substrate is formed. On the other side, a process including etching, for example, a process of forming a metal for a black matrix is performed.

【0024】上記の構成によれば、前基板における表示
面に輻射ノイズ遮断用透明導電膜を形成し、その後、エ
ッチングを含む処理を行う製造方法において、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜の膜厚を40nm以上、160nm
以下としているので、前記エッチングの際に輻射ノイズ
遮断用透明導電膜が剥がれる事態を防止することができ
る。また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜によって光の透
過率が低下し、液晶表示装置の表示機能が低下する事態
を防止することができる。
According to the above structure, in the manufacturing method in which the transparent conductive film for blocking radiation noise is formed on the display surface of the front substrate, and then the processing including etching is performed, the thickness of the transparent conductive film for blocking radiation noise is reduced. 40 nm or more, 160 nm
Since the following conditions are satisfied, it is possible to prevent the radiation noise blocking transparent conductive film from peeling off during the etching. In addition, it is possible to prevent a situation in which the transmittance of light is reduced by the transparent conductive film for shielding radiation noise and the display function of the liquid crystal display device is reduced.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図1ない
し図5に基づいて以下に説明する。本発明の実施の一形
態における液晶表示装置は、図2に示す液晶表示パネル
11を備えている。この液晶表示パネル11は、TFT
(Thin Film Transistor) が形成されているTFTガラ
ス基板(後基板)1、対向ガラス基板(前基板)2、お
よびこれらの間に挟持された液晶層3を基本構成として
形成されている。TFTガラス基板1における対向ガラ
ス基板2との対向面には、画素電極4が設けられ、対向
ガラス基板2におけるTFTガラス基板1との対向面に
は、対向電極5が設けられている。また、TFTガラス
基板1と対向ガラス基板2との間には、上記液晶層3を
封止するためのシール部材6が配されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. A liquid crystal display device according to one embodiment of the present invention includes a liquid crystal display panel 11 shown in FIG. The liquid crystal display panel 11 has a TFT
A TFT glass substrate (rear substrate) 1 on which a (Thin Film Transistor) is formed, a counter glass substrate (front substrate) 2, and a liquid crystal layer 3 sandwiched therebetween are formed as a basic configuration. A pixel electrode 4 is provided on a surface of the TFT glass substrate 1 facing the counter glass substrate 2, and a counter electrode 5 is provided on a surface of the counter glass substrate 2 facing the TFT glass substrate 1. In addition, a sealing member 6 for sealing the liquid crystal layer 3 is disposed between the TFT glass substrate 1 and the opposing glass substrate 2.

【0026】上記対向ガラス基板2におけるTFTガラ
ス基板1側の面とは反対側面、即ち対向ガラス基板2の
液晶表示パネル11における表示側面には、輻射ノイズ
遮断用透明導電膜7がほぼ全面に設けられている。この
輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、例えばITO(Indi
um Tin Oxide) 膜からなり、蒸着によって形成されてい
る。
On the side opposite to the surface of the opposite glass substrate 2 on the side of the TFT glass substrate 1, that is, on the display side of the liquid crystal display panel 11 of the opposite glass substrate 2, a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is provided on almost the entire surface. Have been. This transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is made of, for example, ITO (Indi
um Tin Oxide) film and formed by vapor deposition.

【0027】上記液晶表示パネル11を備えた液晶表示
装置は、図1に示す構成となっている。同図において、
上記液晶表示パネル11には、これを駆動するためのド
ライバIC(駆動回路)8が接続されている。
The liquid crystal display device provided with the liquid crystal display panel 11 has a configuration shown in FIG. In the figure,
A driver IC (drive circuit) 8 for driving the liquid crystal display panel 11 is connected to the liquid crystal display panel 11.

【0028】また、上記対向ガラス基板2上に形成され
た透明電極膜7の上には、表偏光板12が貼着されてい
る。同様に、上記TFTガラス基板1における対向ガラ
ス基板2側の面とは反対側の面には、裏偏光板13が貼
着されている。
On the transparent electrode film 7 formed on the facing glass substrate 2, a front polarizing plate 12 is adhered. Similarly, a back polarizing plate 13 is adhered to the surface of the TFT glass substrate 1 opposite to the surface facing the opposing glass substrate 2.

【0029】上記の表偏光板12は、輻射ノイズ遮断用
透明導電膜7、即ち対向ガラス基板2よりも若干小さい
大きさに形成されている。このため、輻射ノイズ遮断用
透明導電膜7の端部は表偏光板12に覆われず露出して
いる。この露出部7aの幅は例えば1mm程度である。
露出部7aには、導電両面粘着テープ14を介して金属
ケース(導電性ケース)15が貼着されている。この金
属ケース15は、液晶表示装置に組み込まれる際、何ら
かの導電性部材を介して接地、即ちグランドと接続され
るようになっている。したがって、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜7は、導電両面粘着テープ14および金属ケー
ス15を介して接地される。
The front polarizing plate 12 is formed to be slightly smaller than the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise, that is, the counter glass substrate 2. For this reason, the end of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is exposed without being covered by the front polarizing plate 12. The width of the exposed portion 7a is, for example, about 1 mm.
A metal case (conductive case) 15 is adhered to the exposed portion 7 a via a conductive double-sided adhesive tape 14. When the metal case 15 is incorporated in a liquid crystal display device, the metal case 15 is connected to the ground, that is, to the ground via some conductive member. Therefore, the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is grounded via the conductive double-sided adhesive tape 14 and the metal case 15.

【0030】上記の構成において、液晶表示パネル11
の製造方法について説明する。液晶表示パネル11を製
造する際には、まず、TFTガラス基板1と対向ガラス
基板2とを形成する。そして、これらTFTガラス基板
1と対向ガラス基板2との対向面に配光膜を形成し、配
向処理を行う。
In the above configuration, the liquid crystal display panel 11
A method of manufacturing the device will be described. When manufacturing the liquid crystal display panel 11, first, the TFT glass substrate 1 and the opposing glass substrate 2 are formed. Then, a light distribution film is formed on the opposing surface of the TFT glass substrate 1 and the opposing glass substrate 2, and an alignment process is performed.

【0031】また、対向ガラス基板2には、ITO膜を
スパッタ蒸着することにより、表示面に輻射ノイズ遮断
用透明導電膜7を形成し、その反対面に対向電極5を形
成する。また、ブラックマトリクス用メタル蒸着基板と
なる対向ガラス基板2に、ブラックマトリクス用メタル
をパターニングし、カラーフィルタの形成を行う。
Further, a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is formed on the display surface by sputtering and depositing an ITO film on the opposite glass substrate 2, and an opposite electrode 5 is formed on the opposite surface. Further, a metal for a black matrix is patterned on an opposite glass substrate 2 serving as a metal deposition substrate for a black matrix to form a color filter.

【0032】その後、TFTガラス基板1と対向ガラス
基板2とを貼り合わせ、各々のパネルサイズに裁断した
後に液晶層3となる液晶材を注入し、封止処理する。
Thereafter, the TFT glass substrate 1 and the opposing glass substrate 2 are bonded to each other, cut into respective panel sizes, and then a liquid crystal material to be the liquid crystal layer 3 is injected and sealed.

【0033】輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の材料とし
ては、低抵抗かつ高透過(光の透過率が高)の特徴を持
ち、比較的安価なITO膜が望ましい。
As a material for the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise, a relatively inexpensive ITO film having characteristics of low resistance and high transmission (high light transmittance) is desirable.

【0034】ここで、本願発明者は、輻射ノイズ遮断用
透明導電膜7の膜厚および面抵抗について研究を重ね、
それらの好ましい値を得た。以下、これについて説明す
る。
Here, the inventor of the present application has repeated research on the film thickness and sheet resistance of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise.
Those favorable values were obtained. Hereinafter, this will be described.

【0035】輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、膜厚を
薄くして、40nm未満とした場合、ブラックマトリッ
クスのパターニング時にエッチング処理により剥がれ易
くなる。即ち、このエッチング処理はウエットエッチン
グであり、対向ガラス基板2をエッチング液に浸して処
理するので、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は膜厚が4
0nm未満のように薄いと剥がれることになる。
When the thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is reduced to less than 40 nm, the transparent conductive film 7 is easily peeled off by an etching process during patterning of the black matrix. That is, this etching process is a wet etching process in which the opposing glass substrate 2 is immersed in an etching solution, so that the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise has a thickness of 4 mm.
If it is thin such as less than 0 nm, it will come off.

【0036】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、
40nm未満である場合、対向ガラス基板2の配向膜形
成・配向処理工程、対向ガラス基板2とTFTガラス基
板1との貼り合わせ工程、対向ガラス基板2の分断工
程、検査工程での搬送、位置合わせの際等において、対
向ガラス基板2における輻射ノイズ遮断用透明導電膜7
の成膜面が製造装置やその他の部材等と接触した場合に
損傷し、さらには膜剥がれを生じ易くなる。また、輻射
ノイズ遮断用透明導電膜7は、上記のように損傷した場
合、その抵抗値が著しく上昇し、所望の不要輻射の遮断
防止機能が得られなくなる。
The transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is
If the thickness is less than 40 nm, an alignment film forming / alignment process of the opposite glass substrate 2, a bonding process of the opposite glass substrate 2 and the TFT glass substrate 1, a dividing process of the opposite glass substrate 2, and a transfer and alignment in an inspection process In the case of, for example, the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise in the opposite glass substrate 2
When the film-forming surface of the film comes into contact with a manufacturing apparatus, other members, or the like, the film is damaged, and the film is easily peeled off. In addition, when the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is damaged as described above, its resistance value is significantly increased, and a desired function of preventing unnecessary radiation from being blocked cannot be obtained.

【0037】そこで、本液晶表示装置においては、輻射
ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚を40nm以上とし、
上記のような場合における輻射ノイズ遮断用透明導電膜
7の剥がれを防止するようにしている。なお、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜7の上に表偏光板12が貼着された
後では、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7が表偏光板12
によって保護されるので、上記の機械的な接触等による
輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の損傷を防止できる。
Therefore, in the present liquid crystal display device, the thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is set to 40 nm or more,
In this case, the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is prevented from peeling off. After the front polarizing plate 12 is adhered on the radiation noise blocking transparent conductive film 7, the radiation noise blocking transparent conductive film 7 becomes the front polarizing plate 12.
Therefore, it is possible to prevent the radiation conductive film 7 from being damaged by the above-mentioned mechanical contact or the like.

【0038】また、本液晶表示装置では、上記のよう
に、対向ガラス基板2の表示面に輻射ノイズ遮断用透明
導電膜7を形成し、その上に表偏光板12を貼着してい
る。したがって、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7が薄
く、40nm未満の場合、表偏光板12のリワーク工程
において表偏光板12を剥離する際に、輻射ノイズ遮断
用透明導電膜7も同時に剥がれる事態を生じる。このよ
うな事態を防止するためにも、輻射ノイズ遮断用透明導
電膜7の膜厚は40nm以上とする。
In the present liquid crystal display device, as described above, the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is formed on the display surface of the opposite glass substrate 2, and the front polarizing plate 12 is adhered thereon. Therefore, when the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is thin and less than 40 nm, the radiation noise blocking transparent conductive film 7 may be peeled off at the same time when the front polarizing plate 12 is peeled off in the rework process of the front polarizing plate 12. . In order to prevent such a situation, the thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is set to 40 nm or more.

【0039】なお、表偏光板12のリワーク工程とは、
表偏光板12の貼着後に検査において不合格となった場
合に、その表偏光板12を剥がし、再度別の表偏光板1
2を貼着する工程である。
The rework process of the front polarizing plate 12 is as follows.
If the inspection fails after the front polarizing plate 12 is adhered, the front polarizing plate 12 is peeled off, and another front polarizing plate 1 is again removed.
2 is a step of sticking.

【0040】一方、光学特性の面から、対向ガラス基板
2の表示面に設けられる輻射ノイズ遮断用透明導電膜7
は、所定の透過率を確保しなければならない。したがっ
て、この点から、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚
は、160nm以下とすることが必要である。この点に
関してさらに以下に説明する。
On the other hand, from the viewpoint of optical characteristics, the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise provided on the display surface of the opposite glass substrate 2 is used.
Must ensure a predetermined transmittance. Therefore, from this point, it is necessary that the film thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 be 160 nm or less. This will be further described below.

【0041】輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の各膜厚と
可視光付近の光の透過率との関係を図3に示す。同図か
ら分かるように、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、膜
厚が160nmを越えると、波長545nmの光の透過
率が大幅に低下し、90%未満になっている。この結
果、液晶表示装置は、表示が暗くなり、明るさの仕様を
満たさなくなる。
FIG. 3 shows the relationship between the thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise and the transmittance of light near visible light. As can be seen from the figure, when the film thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 exceeds 160 nm, the transmittance of light having a wavelength of 545 nm is greatly reduced to less than 90%. As a result, the display of the liquid crystal display device becomes dark and does not satisfy the specification of brightness.

【0042】即ち、液晶表示装置のバックライトは、赤
(R)、緑(G)、青(B)の蛍光体を有し、発光して
いる。各蛍光体は、610nm、545nm、435n
mにピーク波長を有している。一方、カラーフィルタ
は、R、G、Bの各色のピーク波長に適合するように設
計されており、視感度補正を行った場合には緑(G)の
透過率が高くなる。したがって、緑(G)の発光ピーク
波長である545nm付近の透過率が低くなると、液晶
表示装置の明るさが損なわれることになる。このため、
必要な透過率を90%としている。即ち、波長545n
mの光の透過率が90%未満になると、液晶表示装置
は、表示が暗くなり、明るさの仕様を満たさなくなる。
したがって、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚は、
90%以上の透過率が得られる160nm以下とするこ
とが必要である。
That is, the backlight of the liquid crystal display has red (R), green (G), and blue (B) phosphors and emits light. Each phosphor is 610 nm, 545 nm, 435 n
m has a peak wavelength. On the other hand, the color filter is designed so as to match the peak wavelength of each of the R, G, and B colors, and when the visibility is corrected, the transmittance of green (G) increases. Therefore, when the transmittance around 545 nm, which is the emission peak wavelength of green (G), becomes low, the brightness of the liquid crystal display device is impaired. For this reason,
The required transmittance is 90%. That is, the wavelength 545n
When the transmittance of the light of m is less than 90%, the display of the liquid crystal display device becomes dark, and does not satisfy the brightness specification.
Therefore, the film thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is
It is necessary that the thickness be 160 nm or less at which a transmittance of 90% or more is obtained.

【0043】また、光学特性の面から、輻射ノイズ遮断
用透明導電膜7は、膜厚を40nm未満にすると、輻射
ノイズ遮断用透明導電膜7の成膜面の汚れが光の干渉に
より強調され、表示品位を落とす結果となる。
Also, from the viewpoint of optical characteristics, when the thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is less than 40 nm, the contamination on the surface on which the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is formed is enhanced by light interference. As a result, the display quality deteriorates.

【0044】以上の観点から、本液晶表示装置において
は、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚は、40nm
以上160nm以下とする。
From the above viewpoint, in the present liquid crystal display device, the thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is 40 nm.
At least 160 nm.

【0045】また、不要輻射ノイズの遮断機能の面か
ら、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は低抵抗であること
が必要となる。例えば、現在、カーナビゲーション用と
して広く用いられている7インチサイズの液晶表示装置
の場合、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の面抵抗値は3
00Ω/cm2 以下であれば、ノイズ遮断の効果が現わ
れる。さらに、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の面抵抗
を60Ω/cm2 以下とすることにより、AM帯のノイ
ズをより良好に遮断することができる。
In view of the function of blocking unnecessary radiation noise, the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise needs to have a low resistance. For example, in the case of a 7-inch liquid crystal display device that is widely used for car navigation at present, the sheet resistance value of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 3
If it is not more than 00 Ω / cm 2 , the effect of blocking noise will appear. Further, by setting the sheet resistance of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 to 60Ω / cm 2 or less, it is possible to more effectively block AM band noise.

【0046】ここで、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の
面抵抗と不要輻射ノイズの遮断効果との関係を図4に示
す。同図は、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の面抵抗が
10Ωのときを100%として示している。同図より、
輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の面抵抗が300Ω/c
2 を越えた場合には、ノイズ遮断効果が70%以下と
なる。この場合、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、不
要輻射ノイズ遮断膜としての効果がなくなる。
FIG. 4 shows the relationship between the sheet resistance of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise and the effect of blocking unnecessary radiation noise. The figure shows 100% when the sheet resistance of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is 10Ω. From the figure,
The sheet resistance of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 300Ω / c.
If it exceeds m 2 , the noise blocking effect will be 70% or less. In this case, the radiation noise blocking transparent conductive film 7 has no effect as an unnecessary radiation noise blocking film.

【0047】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の面
抵抗と膜厚との関係を図5に示す。輻射ノイズ遮断用透
明導電膜7において、面抵抗が300Ω/cm2 では、
膜厚が上記下限値の40nmであり、面抵抗の低下に伴
い、膜厚は増加する。したがって、図5から、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜7の面抵抗の条件と膜厚の条件とが
互いに満たされることが分かる。
FIG. 5 shows the relationship between the sheet resistance and the thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise. When the sheet resistance of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 300 Ω / cm 2 ,
The film thickness is the lower limit of 40 nm, and the film thickness increases as the sheet resistance decreases. Therefore, it is understood from FIG. 5 that the condition of the sheet resistance and the condition of the film thickness of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise are satisfied with each other.

【0048】上記の構成によれば、液晶表示装置で生じ
た輻射ノイズは、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7によっ
て吸収され、その周辺部の露出部7aおよび導電両面粘
着テープ14を介して、グランド電位を有する金属ケー
ス15(導電性ケース)に放散される。
According to the above configuration, the radiation noise generated in the liquid crystal display device is absorbed by the radiation noise blocking transparent conductive film 7, and is grounded through the exposed portion 7 a at the periphery and the conductive double-sided adhesive tape 14. Dissipated to the metal case 15 (conductive case) having a potential.

【0049】これにより、本液晶表示装置では、液晶表
示装置からの不要輻射ノイズを透明導電膜7により抑制
することができる。したがって、液晶表示装置が例えば
自動車に搭載され、この液晶表示装置とAMラジオのア
ンテナとの距離を十分に確保できない場合であっても、
不要輻射ノイズがAMラジオの受信状態に悪影響を及ぼ
す事態を抑制することができる。
Thus, in the present liquid crystal display device, unnecessary radiation noise from the liquid crystal display device can be suppressed by the transparent conductive film 7. Therefore, even when the liquid crystal display device is mounted on an automobile, for example, and the distance between the liquid crystal display device and the antenna of the AM radio cannot be sufficiently secured,
A situation in which unnecessary radiation noise adversely affects the AM radio reception state can be suppressed.

【0050】この場合、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7
は、膜厚を40nm以上、160nm以下としているの
で、液晶表示装置の製造工程において、他の物との接触
やエッチング工程において剥がれる事態を抑制できる。
また、光の透過率の過度の低下を防止し、良好な表示品
位を確保できる。
In this case, the radiation noise shielding transparent conductive film 7 is used.
Has a film thickness of not less than 40 nm and not more than 160 nm, so that it is possible to prevent the liquid crystal display device from coming into contact with other objects or peeling off in the etching process in the manufacturing process.
In addition, it is possible to prevent an excessive decrease in light transmittance, and to secure a good display quality.

【0051】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、
対向ガラス基板2と表偏光板12との間において、対向
ガラス基板2の表示面(前面)に形成され、液晶表示パ
ネル11に含まれた構成となっている。したがって、輻
射ノイズ遮断用透明導電膜7をグランド電位と接続する
のに、液晶表示装置が本来的に備える金属ケース15を
利用でき、別の接地用部材が不要である。これにより、
コストアップを抑制することができる。
The transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is
Between the opposing glass substrate 2 and the front polarizing plate 12, it is formed on the display surface (front surface) of the opposing glass substrate 2 and included in the liquid crystal display panel 11. Therefore, to connect the radiation noise blocking transparent conductive film 7 to the ground potential, the metal case 15 originally included in the liquid crystal display device can be used, and another grounding member is not required. This allows
Cost increase can be suppressed.

【0052】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、
面抵抗を300Ω/cm2 以下としているので、良好な
ノイズ遮断機能を備えることができる。
The transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is
Since the sheet resistance is 300 Ω / cm 2 or less, a good noise cutoff function can be provided.

【0053】また、本液晶表示装置は、対向ガラス基板
2と表偏光板12との間に輻射ノイズ遮断用透明導電膜
7が設けられた構成、即ち、対向ガラス基板2の前面
(表示面)に直接、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7が設
けられた構成であるから、不要輻射ノイズについて高い
防止機能を備えることができる。また、反射防止処理は
従来どおり表偏光板12の前面にのみ行なえばよいの
で、偏光板の製造方法を変更する必要がない。従って、
偏光板、すなわち液晶表示装置の生産性低下やコストア
ップを抑制することができる。
Further, the present liquid crystal display device has a configuration in which the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is provided between the opposing glass substrate 2 and the front polarizing plate 12, that is, the front surface (display surface) of the opposing glass substrate 2. Since the transparent conductive film 7 for directly blocking radiation noise is provided on the device, a high function of preventing unnecessary radiation noise can be provided. Further, since the anti-reflection treatment may be performed only on the front surface of the front polarizing plate 12 as in the related art, there is no need to change the manufacturing method of the polarizing plate. Therefore,
It is possible to suppress a decrease in productivity and an increase in cost of the polarizing plate, that is, the liquid crystal display device.

【0054】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を有
する保護パネルを別途液晶表示装置の前面に設けた場合
には、液晶表示装置の前面にゴミやちりが溜まり、液晶
表示装置の製造工程の作業性が低下するとともに、液晶
表示装置の使用中において表示品位が低下するが、本液
晶表示装置ではこのような事態を回避することができ
る。
Further, when a protective panel having the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is separately provided on the front surface of the liquid crystal display device, dust and dirt accumulate on the front surface of the liquid crystal display device, and the manufacturing process of the liquid crystal display device becomes difficult. Although the workability is reduced and the display quality is reduced during use of the liquid crystal display device, such a situation can be avoided in the present liquid crystal display device.

【0055】また、上記保護パネルを設けた場合には、
液晶表示装置の厚みが厚くなり、その商品性が損なわれ
ることになるが、本液晶表示装置では、このような事態
も回避することができる。
When the above-mentioned protection panel is provided,
Although the thickness of the liquid crystal display device is increased and its commercial value is impaired, such a situation can be avoided in the present liquid crystal display device.

【0056】次に、本発明の実施例の液晶表示装置と、
これら実施例の液晶表示装置とは輻射ノイズ遮断用透明
導電膜7の有無や形成位置が異なる液晶表示装置とにつ
いて、不要輻射ノイズの遮断機能を調べた結果について
以下に説明する。
Next, a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention,
The results obtained by examining the function of blocking unnecessary radiation noise from the liquid crystal display devices of these embodiments with respect to liquid crystal display devices different in the presence / absence and formation position of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise will be described below.

【0057】ここでは、本発明の実施例の液晶表示装置
として、膜厚が40nm、100nmの輻射ノイズ遮断
用透明導電膜7を有する各液晶表示パネル11を異なる
手順にて作成した実施例1〜3の液晶表示装置を使用し
た。また、比較例(リファレンス)として、厚み30〜
50μmの透明導電性フィルムを表偏光板12の表示面
上に設けた各液晶表示装置を使用した。さらに、輻射ノ
イズ遮断用透明導電膜7を備えていない液晶表示装置
(ノーマル)を使用した。
Here, as the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, each of the liquid crystal display panels 11 having the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise having a thickness of 40 nm and 100 nm was prepared by different procedures. The liquid crystal display device of No. 3 was used. Further, as a comparative example (reference), a thickness of 30 to
Each liquid crystal display device provided with a 50 μm transparent conductive film on the display surface of the front polarizing plate 12 was used. Further, a liquid crystal display device (normal) not provided with the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise was used.

【0058】(実施例1)本実施例の液晶表示装置で
は、ブラックマトリクス用メタル蒸着基板となる対向ガ
ラス基板2に対し、まず、そのメタル蒸着面とは反対側
の面(表示面となるガラス面)に、ITO薄膜をスパッ
タ蒸着することにより、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7
を形成した。
(Embodiment 1) In the liquid crystal display device of this embodiment, first, a surface opposite to the metal deposition surface (a glass to be a display surface) is placed on the opposite glass substrate 2 serving as a metal deposition substrate for black matrix. Surface), an ITO thin film is sputter-deposited on the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise.
Was formed.

【0059】次に、対向ガラス基板2のメタル蒸着面
に、ブラックマトリクス用メタルをパターニングし、カ
ラーフィルタを形成し、その後、対向電極5を形成し
た。
Next, a metal for a black matrix was patterned on the metal deposition surface of the opposite glass substrate 2 to form a color filter, and thereafter, an opposite electrode 5 was formed.

【0060】なお、この製造方法の場合には、前述のよ
うに、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の形成後のブラッ
クマトリックスのパターニング時にエッチング処理を行
うので、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7が薄いと剥がれ
ることになる。したがって、輻射ノイズ遮断用透明導電
膜7の厚みは40nm以上必要となる。
In the case of this manufacturing method, as described above, since the etching process is performed at the time of patterning the black matrix after the formation of the radiation noise blocking transparent conductive film 7, the radiation noise blocking transparent conductive film 7 is formed. If it is thin, it will come off. Therefore, the thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 needs to be 40 nm or more.

【0061】上記の手順により、輻射ノイズ遮断用透明
導電膜7の膜厚が40nmと100nmとの液晶表示装
置を作成し、この液晶表示装置について、周波数0〜1
10MHz(全領域)、70〜110MHz(FM領
域)、500〜1000kHz(AM領域)の各周波数
帯域における不要輻射ノイズの遮断機能を評価した。ま
た、その評価結果を、前記リファレンスおよびノーマル
のものと比較した。
According to the above procedure, a liquid crystal display device in which the radiation noise blocking transparent conductive film 7 has a film thickness of 40 nm and 100 nm was prepared.
The blocking function of unnecessary radiation noise in each frequency band of 10 MHz (all regions), 70 to 110 MHz (FM region), and 500 to 1000 kHz (AM region) was evaluated. In addition, the evaluation results were compared with the reference and normal ones.

【0062】その結果、表1に示すように、不要輻射ノ
イズの遮断機能において、輻射ノイズ遮断用透明導電膜
7を備えた液晶表示装置は、リファレンスのものも含
め、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を備えていないノー
マルのものよりも良好となった。また、輻射ノイズ遮断
用透明導電膜7の膜厚が100nmのものは、AM領域
(500〜1000kHz)においてさらに良好な不要
輻射ノイズ遮断機能が得られた。
As a result, as shown in Table 1, in the unnecessary radiation noise blocking function, the liquid crystal display device provided with the radiation noise blocking transparent conductive film 7 includes the radiation noise blocking transparent conductive film including the reference one. 7 was better than the normal one that did not have 7. When the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise had a thickness of 100 nm, a more excellent function of blocking unnecessary radiation noise was obtained in the AM region (500 to 1000 kHz).

【0063】ここで、本実施例においては、輻射ノイズ
遮断用透明導電膜7と対向電極5との形成順序として、
まず、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を形成し、その
後、対向電極5を形成している。以下、この形成手順の
利点について説明する。
In this embodiment, the order of forming the radiation noise blocking transparent conductive film 7 and the counter electrode 5 is as follows.
First, a radiation noise blocking transparent conductive film 7 is formed, and thereafter, a counter electrode 5 is formed. Hereinafter, advantages of this forming procedure will be described.

【0064】輻射ノイズ遮断用透明導電膜7となるIT
O膜は、干渉により下地の汚れを強調するというデメリ
ットを有している。輻射ノイズ遮断用透明導電膜7は、
液晶表示装置の表示面側に位置しており、上記デメリッ
トの影響は大きい。しかしながら、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜7は、これを対向電極5よりも先に形成する手
順の場合、洗浄直後の対向ガラス基板2に成膜すること
ができる。この場合には、輻射ノイズ遮断用透明導電膜
7の下地、即ち対向ガラス基板2の汚れや、成膜面に異
物が存在することによる成膜むら等が生じ難く、表示品
位が低下する事態を抑制可能である。
IT to be a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise
The O film has a disadvantage that the stain on the base is emphasized by interference. The transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is
Since it is located on the display surface side of the liquid crystal display device, the above-mentioned disadvantages have a great effect. However, when the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is formed before the counter electrode 5, the transparent conductive film 7 can be formed on the counter glass substrate 2 immediately after cleaning. In this case, it is difficult to cause stains on the base of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise, that is, the counter glass substrate 2, unevenness in film formation due to the presence of foreign matter on the film formation surface, and the like, resulting in deterioration of display quality. It can be suppressed.

【0065】これに対し、対向ガラス基板2にカラーフ
ィルタを形成し、対向ガラス基板2を形成した後、輻射
ノイズ遮断用透明導電膜7を成膜する手順の場合、対向
ガラス基板2における輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の
成膜面に、カラーフィルタ形成工程でのエッチング等に
よる残渣が存在する可能性がある。そして、この残渣が
存在する場合には、下地の汚れや輻射ノイズ遮断用透明
導電膜7の成膜むらが生じ、表示品位の低下を招来す
る。一方、このような事態を抑制するために、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜7の成膜前に対向ガラス基板2を洗
浄した場合には、工数増を招来する。
On the other hand, in the procedure in which a color filter is formed on the opposite glass substrate 2, the opposite glass substrate 2 is formed, and then the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is formed, the radiation noise on the opposite glass substrate 2 is reduced. There is a possibility that a residue due to etching or the like in the color filter forming step may be present on the deposition surface of the blocking transparent conductive film 7. If such a residue is present, contamination of the base and unevenness in the formation of the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise occur, which leads to a reduction in display quality. On the other hand, if the opposing glass substrate 2 is cleaned before forming the radiation noise blocking transparent conductive film 7 in order to suppress such a situation, the number of steps will be increased.

【0066】さらに、対向ガラス基板2の一方の面に輻
射ノイズ遮断用透明導電膜7を形成し、他方の面に対向
電極5を形成する場合においては、これら両者のうち、
先に形成されたものの方が、対向ガラス基板2の搬送の
際等において、傷が生じ易くなる。ここで、輻射ノイズ
遮断用透明導電膜7と対向電極5とが傷を受けた場合の
液晶表示装置における影響を比較する。対向電極5が傷
を受けた場合には、画素部同士の導通が遮断されること
になり、画素部の点灯不良が生じる。一方、輻射ノイズ
遮断用透明導電膜7が傷を受けた場合、多少の傷では、
その不要輻射ノイズの遮断機能にほとんど影響しない。
したがって、このような点からも、上記両者の形成手順
としては、先に輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を形成
し、その後、対向電極5を形成することが好ましい。
When the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is formed on one surface of the opposite glass substrate 2 and the opposite electrode 5 is formed on the other surface,
The one formed earlier is more likely to be damaged when the opposing glass substrate 2 is transported or the like. Here, the effects on the liquid crystal display device when the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise and the counter electrode 5 are damaged will be compared. If the opposing electrode 5 is damaged, conduction between the pixel portions is interrupted, and lighting failure of the pixel portion occurs. On the other hand, if the transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is damaged,
It hardly affects the function of blocking unnecessary radiation noise.
Therefore, from such a point as well, it is preferable to form the radiation noise blocking transparent conductive film 7 first, and then form the counter electrode 5 as the procedure for forming both.

【0067】(実施例2)本実施例の液晶表示装置で
は、対向ガラス基板2に3色のカラーフィルタおよびブ
ラックマトリックスを形成し、さらに対向電極5を形成
し、その後、これらの形成面とは反対側の対向ガラス基
板2の表示面に、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を形成
した。なお、この液晶表示装置は、実施例1の液晶表示
装置とは形成手順が異なるものの、構造は同一である。
(Embodiment 2) In the liquid crystal display device of this embodiment, a color filter and a black matrix of three colors are formed on a counter glass substrate 2 and a counter electrode 5 is further formed. A transparent conductive film 7 for shielding radiation noise was formed on the display surface of the opposite glass substrate 2 on the opposite side. The liquid crystal display device has the same structure as the liquid crystal display device of the first embodiment, although the forming procedure is different.

【0068】上記の手順により、輻射ノイズ遮断用透明
導電膜7の膜厚が40nmと100nmとの液晶表示装
置を作成し、この液晶表示装置について、同様に、各周
波数帯域における不要輻射ノイズの遮断機能を評価し
た。
According to the above-described procedure, a liquid crystal display device in which the thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 40 nm and 100 nm is prepared, and this liquid crystal display device is similarly blocked for unnecessary radiation noise in each frequency band. Function was evaluated.

【0069】その結果、表1に示すように、実施例1の
場合と同様、本実施例の液晶表示装置は、ノーマルのも
のと比較して、良好な不要輻射ノイズ遮断機能が得ら
れ、特に、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚が10
0nmのものは、AM領域(500〜1000kHz)
においてさらに良好となった。
As a result, as shown in Table 1, similar to the case of the first embodiment, the liquid crystal display device of the present embodiment has a better unnecessary radiation noise blocking function than the normal type. The thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 10
In the case of 0 nm, the AM region (500 to 1000 kHz)
Was even better.

【0070】(実施例3)本実施例の液晶表示装置で
は、対向ガラス基板2に、まず、3色のカラーフィルタ
およびブラックマトリックスを形成し、次に、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜7および対向電極5用の輻射ノイズ
遮断用透明導電膜を形成した。また、まず、3色のカラ
ーフィルタおよびブラックマトリックスを形成し、次
に、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7を形成し、その後、
対向電極5用の透明導電膜を形成した。
(Embodiment 3) In the liquid crystal display device of this embodiment, first, a color filter of three colors and a black matrix are formed on the opposing glass substrate 2, and then the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise and the opposing glass are formed. A radiation noise blocking transparent conductive film for the electrode 5 was formed. Further, first, a color filter of three colors and a black matrix are formed, and then, a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise is formed.
A transparent conductive film for the counter electrode 5 was formed.

【0071】即ち、本実施例においては、輻射ノイズ遮
断用透明導電膜7の形成を、次の2通りの手順にて行っ
た。 まず、対向ガラス基板2に3色のカラーフィルタおよ
びブラックマトリックスを形成し、次に、輻射ノイズ遮
断用透明導電膜7と対向電極5用の透明導電膜とを同時
に蒸着により形成した。 まず、対向ガラス基板2に3色のカラーフィルタおよ
びブラックマトリックスを形成し、次に、輻射ノイズ遮
断用透明導電膜7を形成し、その後、対向電極5用の透
明導電膜を形成した。
That is, in the present embodiment, the formation of the radiation noise blocking transparent conductive film 7 was performed in the following two procedures. First, a color filter and a black matrix of three colors were formed on the opposing glass substrate 2, and then a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise and a transparent conductive film for the counter electrode 5 were simultaneously formed by vapor deposition. First, a color filter and a black matrix of three colors were formed on the opposite glass substrate 2, a transparent conductive film 7 for shielding radiation noise was formed, and then a transparent conductive film for the opposite electrode 5 was formed.

【0072】なお、本実施例の液晶表示装置は、実施例
1の液晶表示装置とは形成手順が異なるものの、構造は
同一である。
The liquid crystal display device of the present embodiment is different from the liquid crystal display device of the first embodiment in the forming procedure, but has the same structure.

【0073】上記の各手順により、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜7の膜厚が40nmと100nmとの液晶表示
装置を作成し、この液晶表示装置について、同様に、各
周波数帯域における不要輻射ノイズの遮断機能を評価し
た。
By the above-described procedures, a liquid crystal display device in which the thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 40 nm and 100 nm is prepared, and this liquid crystal display device is similarly subjected to unnecessary radiation noise in each frequency band. The blocking function was evaluated.

【0074】その結果、表1に示すように、実施例1の
場合と同様、本実施例の液晶表示装置は、ノーマルのも
のと比較して、良好な不要輻射ノイズ遮断機能が得ら
れ、特に、輻射ノイズ遮断用透明導電膜7の膜厚が10
0nmのものは、AM領域(500〜1000kHz)
においてさらに良好となった。
As a result, as shown in Table 1, similar to the case of the first embodiment, the liquid crystal display device of the present embodiment has a better unnecessary radiation noise blocking function than the normal type. The thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is 10
In the case of 0 nm, the AM region (500 to 1000 kHz)
Was even better.

【0075】[0075]

【表1】 [Table 1]

【0076】表1の結果より、輻射ノイズ遮断用透明導
電膜7の形成順序が異なる実施例1〜3の液晶表示装
置、およびリファレンスの液晶表示装置において、良好
かつ同レベルの不要輻射ノイズ遮断機能が得られた。ま
た、実施例1〜3において、輻射ノイズ遮断用透明導電
膜7の膜厚が100nmの液晶表示装置では、AM領域
においてさらに良好な不要輻射ノイズ遮断機能が得られ
た。
From the results shown in Table 1, in the liquid crystal display devices of Examples 1 to 3 and the reference liquid crystal display device in which the order of forming the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise is good, and the same level of unnecessary radiation noise blocking function is used. was gotten. Further, in Examples 1 to 3, in the liquid crystal display device in which the thickness of the transparent conductive film 7 for blocking radiation noise was 100 nm, a better unnecessary radiation noise blocking function was obtained in the AM region.

【0077】[0077]

【発明の効果】以上のように、本発明の液晶表示装置
は、表示面側に設けられた前基板とこれに対向する後基
板との間に液晶層が設けられた液晶表示パネルと、前記
の前基板における表示面に形成され、膜厚が40nm以
上、160nm以下である輻射ノイズ遮断用透明導電膜
とを備えている構成である。
As described above, the liquid crystal display device of the present invention comprises a liquid crystal display panel in which a liquid crystal layer is provided between a front substrate provided on the display surface side and a rear substrate opposed thereto. And a transparent conductive film for blocking radiation noise formed on the display surface of the front substrate having a thickness of 40 nm or more and 160 nm or less.

【0078】上記の構成によれば、透明導電薄膜は、前
基板の表示面(前面)に直接形成されているので、液晶
表示パネルからの不要輻射ノイズに対して高い防止機能
を備えることができる。
According to the above configuration, since the transparent conductive thin film is formed directly on the display surface (front surface) of the front substrate, it can have a high protection function against unnecessary radiation noise from the liquid crystal display panel. .

【0079】さらに、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、
表偏光板の表面ではなく、前基板における表示面に形成
されているので、表偏光板の表面に反射防止処理が施さ
れている場合に、前記の輻射ノイズ遮断用透明導電膜に
よって表偏光板の反射防止機能が損なわれることがな
い。
Further, the transparent conductive film for shielding radiation noise
Since it is formed not on the surface of the front polarizing plate but on the display surface of the front substrate, the anti-reflection treatment is applied to the surface of the front polarizing plate. The anti-reflection function of the is not impaired.

【0080】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、膜
厚が40nm以上に設定されているので、液晶表示装置
の製造時に、前基板に形成された輻射ノイズ遮断用透明
導電膜が他の物と接触した際の摩擦によって損傷し、さ
らには剥がれる事態、傷を受けることにより抵抗値が過
度に上昇し、不要輻射ノイズの吸収機能が著しく低下す
る事態、あるいは液晶表示装置の製造工程中のエッチン
グ処理により剥がれる事態等を防止することができる。
さらに、膜厚が40nm未満では、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜の成膜面の汚れが光の干渉により強調されて表
示品位を落とす事態が生じるが、膜厚が40nm以上と
なっているので、このような事態も防止することができ
る。
Further, since the radiation noise blocking transparent conductive film is set to have a thickness of 40 nm or more, the radiation noise blocking transparent conductive film formed on the front substrate during manufacturing of the liquid crystal display device is made of another material. Damage due to friction when it comes into contact with the device, further peeling, excessive damage due to scratching, the ability to absorb unnecessary radiation noise is significantly reduced, or etching during the manufacturing process of the liquid crystal display device It is possible to prevent a situation such as peeling due to processing.
Further, when the film thickness is less than 40 nm, the contamination on the film forming surface of the transparent conductive film for shielding radiation noise is emphasized by light interference and the display quality deteriorates. However, since the film thickness is 40 nm or more, Such a situation can also be prevented.

【0081】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、膜
厚が160nm以下に設定されているので、表示の際の
光の透過率を良好な範囲に維持でき、輻射ノイズ遮断用
透明導電膜によって液晶表示装置の表示機能が低下する
事態を防止することができる。
The radiation noise blocking transparent conductive film has a thickness set to 160 nm or less, so that the light transmittance at the time of display can be maintained in a favorable range. A situation in which the display function of the liquid crystal display device is reduced can be prevented.

【0082】また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜は、前
基板の表示面(前面)に形成され、液晶表示パネルに含
まれた構成となっている。したがって、輻射ノイズ遮断
用透明導電膜をグランド電位と接続するのに、液晶表示
装置が本来的に通常備える導電性の筐体等を利用でき、
別の接地用部材が不要となる。これにより、コストアッ
プを抑制することができる。
The transparent conductive film for shielding radiation noise is formed on the display surface (front surface) of the front substrate, and has a configuration included in the liquid crystal display panel. Therefore, in order to connect the radiation noise blocking transparent conductive film to the ground potential, a conductive casing or the like originally provided in the liquid crystal display device can be used,
No additional grounding member is required. Thereby, cost increase can be suppressed.

【0083】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の面抵抗が300Ω/cm2 以下である
構成としてもよい。
In the above liquid crystal display device, the transparent conductive film for shielding radiation noise may have a surface resistance of 300 Ω / cm 2 or less.

【0084】上記の構成によれば、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜は、面抵抗が300Ω/cm2 以下であるの
で、不要輻射ノイズについての良好な遮断機能を備える
ことができる。
According to the above configuration, since the transparent conductive film for shielding radiation noise has a sheet resistance of 300 Ω / cm 2 or less, it can have a good blocking function for unnecessary radiation noise.

【0085】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の面抵抗が60Ω/cm2 以下である構
成としてもよい。
In the liquid crystal display device described above, the transparent conductive film for shielding radiation noise may have a surface resistance of 60 Ω / cm 2 or less.

【0086】上記の構成によれば、輻射ノイズ遮断用透
明導電膜は、面抵抗が60Ω/cm 2 以下であるので、
さらにAM帯のノイズをより良好に遮断することができ
る。
According to the above configuration, the radiation noise shielding transparent is provided.
The bright conductive film has a sheet resistance of 60Ω / cm. TwoSince
Furthermore, AM band noise can be better blocked.
You.

【0087】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜の前面に偏光板が設けられている構成と
してもよい。
The liquid crystal display device described above may have a structure in which a polarizing plate is provided on the front surface of the radiation noise blocking transparent conductive film.

【0088】上記の構成によれば、液晶表示パネルの前
基板の表示面側に偏光板を設ける構成において、偏光板
の表面には輻射ノイズ遮断用透明導電膜が形成されない
ので、偏光板に対しては、反射防止処理を従来通りその
前面にのみ行なえばよい。したがって、偏光板の製造方
法を変更する必要がなく、偏光板、すなわち液晶表示装
置の生産性低下やコストアップを抑制することができ
る。
According to the above configuration, in the configuration in which the polarizing plate is provided on the display surface side of the front substrate of the liquid crystal display panel, the transparent conductive film for shielding radiation noise is not formed on the surface of the polarizing plate. In other words, the anti-reflection treatment may be performed only on the front surface as in the related art. Therefore, there is no need to change the manufacturing method of the polarizing plate, and it is possible to suppress a decrease in productivity and an increase in cost of the polarizing plate, that is, the liquid crystal display device.

【0089】上記の液晶表示装置は、前記輻射ノイズ遮
断用透明導電膜がITOからなる構成としてもよい。I
TOは、抵抗抗かつ高透過の特徴を有し、比較的安価で
あるので、輻射ノイズ遮断用透明導電膜としての使用に
適する。
In the above liquid crystal display device, the transparent conductive film for shielding radiation noise may be made of ITO. I
TO has characteristics of resistance and high transmission and is relatively inexpensive, so that it is suitable for use as a transparent conductive film for shielding radiation noise.

【0090】本発明の液晶表示装置の製造方法は、表示
面側に設けられた前基板とこれに対向する後基板との間
に液晶層が設けられた液晶表示パネルを有する液晶表示
装置の製造方法において、前記の前基板における表示面
に、膜厚が40nm以上、160nm以下の輻射ノイズ
遮断用透明導電膜を形成し、その後、前記の前基板にお
ける前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜の形成面とは反対
側の面に、エッチングを含む処理を行うことを特徴とし
ている。
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is directed to a method of manufacturing a liquid crystal display device having a liquid crystal display panel having a liquid crystal layer provided between a front substrate provided on a display surface side and a rear substrate opposed thereto. In the method, a radiation noise blocking transparent conductive film having a thickness of 40 nm or more and 160 nm or less is formed on the display surface of the front substrate, and then, the radiation noise blocking transparent conductive film forming surface of the front substrate is formed. On the other side, a process including etching is performed.

【0091】上記の構成によれば、前基板における表示
面に輻射ノイズ遮断用透明導電膜を形成し、その後、エ
ッチングを含む処理を行う製造方法において、輻射ノイ
ズ遮断用透明導電膜の膜厚を40nm以上、160nm
以下としているので、前記エッチングの際に輻射ノイズ
遮断用透明導電膜が剥がれる事態を防止することができ
る。また、輻射ノイズ遮断用透明導電膜によって光の透
過率が低下し、液晶表示装置の表示機能が低下する事態
を防止することができる。
According to the above configuration, in the manufacturing method in which the transparent conductive film for shielding radiation noise is formed on the display surface of the front substrate and then the processing including etching is performed, the thickness of the transparent conductive film for shielding radiation noise is reduced. 40 nm or more, 160 nm
Since the following conditions are satisfied, it is possible to prevent the radiation noise blocking transparent conductive film from peeling off during the etching. In addition, it is possible to prevent a situation in which the transmittance of light is reduced by the transparent conductive film for shielding radiation noise and the display function of the liquid crystal display device is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態における液晶表示装置を
示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した液晶表示装置が備える液晶表示パ
ネルを示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a liquid crystal display panel included in the liquid crystal display device shown in FIG.

【図3】図1に示した輻射ノイズ遮断用透明導電膜の各
膜厚における光の波長と光の透過率との関係を示すグラ
フである。
FIG. 3 is a graph showing a relationship between a light wavelength and a light transmittance at each film thickness of the radiation noise blocking transparent conductive film shown in FIG.

【図4】図1に示した輻射ノイズ遮断用透明導電膜にお
ける面抵抗とノイズ遮断効果との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 4 is a graph showing a relationship between a sheet resistance and a noise blocking effect in the radiation noise blocking transparent conductive film shown in FIG.

【図5】図1に示した輻射ノイズ遮断用透明導電膜にお
ける膜厚と面抵抗との関係を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a film thickness and a sheet resistance in the radiation noise blocking transparent conductive film shown in FIG.

【図6】従来の液晶表示装置の構成を示す側面図であ
る。
FIG. 6 is a side view showing a configuration of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 TFTガラス基板(後基板) 2 対向ガラス基板(前基板) 3 液晶層 4 画素電極 5 対向電極 7 輻射ノイズ遮断用透明導電膜 11 液晶表示パネル 12 表偏光板 13 裏偏光板 REFERENCE SIGNS LIST 1 TFT glass substrate (rear substrate) 2 opposing glass substrate (front substrate) 3 liquid crystal layer 4 pixel electrode 5 opposing electrode 7 transparent conductive film for shielding radiation noise 11 liquid crystal display panel 12 front polarizer 13 back polarizer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H091 FA37X FA50X FB06 FC03 FC25 FC29 GA16 LA30 2H092 GA64 KB05 MA04 MA35 NA25 NA30 PA06 5C094 AA43 AA44 AA45 BA03 BA43 CA19 DA13 EA04 EA05 EA07 EB02 ED15 JA08 JA11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H091 FA37X FA50X FB06 FC03 FC25 FC29 GA16 LA30 2H092 GA64 KB05 MA04 MA35 NA25 NA30 PA06 5C094 AA43 AA44 AA45 BA03 BA43 CA19 DA13 EA04 EA05 EA07 EB02 ED15 JA08 JA11

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表示面側に設けられた前基板とこれに対向
する後基板との間に液晶層が設けられた液晶表示パネル
と、 前記の前基板における表示面に形成され、膜厚が40n
m以上、160nm以下である輻射ノイズ遮断用透明導
電膜とを備えていることを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display panel having a liquid crystal layer provided between a front substrate provided on a display surface side and a rear substrate opposed thereto, and a liquid crystal display panel formed on the display surface of the front substrate and having a film thickness. 40n
a transparent conductive film for shielding radiation noise of not less than m and not more than 160 nm.
【請求項2】前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜の面抵抗
が300Ω/cm2 以下であることを特徴とする請求項
1に記載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the transparent conductive film for blocking radiation noise has a sheet resistance of 300 Ω / cm 2 or less.
【請求項3】前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜の面抵抗
が60Ω/cm2 以下であることを特徴とする請求項1
に記載の液晶表示装置。
3. The radiation noise blocking transparent conductive film has a sheet resistance of 60 Ω / cm 2 or less.
3. The liquid crystal display device according to 1.
【請求項4】前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜の前面に
偏光板が設けられていることを特徴とする請求項1に記
載の液晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a polarizing plate is provided on a front surface of the radiation noise blocking transparent conductive film.
【請求項5】前記輻射ノイズ遮断用透明導電膜がITO
からなることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装
置。
5. The transparent conductive film for shielding radiation noise is made of ITO.
The liquid crystal display device according to claim 1, comprising:
【請求項6】表示面側に設けられた前基板とこれに対向
する後基板との間に液晶層が設けられた液晶表示パネル
を有する液晶表示装置の製造方法において、 前記の前基板における表示面に、膜厚が40nm以上、
160nm以下の輻射ノイズ遮断用透明導電膜を形成
し、その後、前記の前基板における前記輻射ノイズ遮断
用透明導電膜の形成面とは反対側の面に、エッチングを
含む処理を行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。
6. A method of manufacturing a liquid crystal display device having a liquid crystal display panel having a liquid crystal layer provided between a front substrate provided on a display surface side and a rear substrate facing the front substrate, wherein the display on the front substrate is performed. The surface has a film thickness of 40 nm or more,
Forming a radiation noise blocking transparent conductive film of 160 nm or less, and thereafter, performing a process including etching on a surface of the front substrate opposite to the surface on which the radiation noise blocking transparent conductive film is formed. Of manufacturing a liquid crystal display device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008262201A (en) * 2007-04-11 2008-10-30 Boe Hydis Technology Co Ltd Color filter substrate for liquid crystal display and method of fabricating same

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