JP2002055062A - X-ray ct - Google Patents

X-ray ct

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JP2002055062A JP2000243549A JP2000243549A JP2002055062A JP 2002055062 A JP2002055062 A JP 2002055062A JP 2000243549 A JP2000243549 A JP 2000243549A JP 2000243549 A JP2000243549 A JP 2000243549A JP 2002055062 A JP2002055062 A JP 2002055062A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray CT which does not require that a center-position calibration jig and a sample be changed over for mounting. SOLUTION: A sample base 10 with the calibration jig is mounted on a rotating table 3a, and the sample 11 is set in the center. The rotating table 3a which is installed at a sample base 3 is raised and lowered, and tungsten wires 10a, which are embedded in a material of satisfactory X-ray transmissivity in the upper part and the lower part are situated in an X-ray beam height. The rotating table 3a is turned and scanned, and the deviation of a rotation center position is detected by a detector 6 to be stored. The sample 11 is situated in the X-ray beam height, the rotating table 3a is turned and scanned, and data is acquired in a data processor 7 from the detector 6. When a tomogram is reconstituted on the basis of the obtained data, spatial coordinates are deviated by a data value indicating the deviation of the rotation center position, a convolution computing operation and a back-projection computing operation are conducted, the calibration of the rotation center position is performed automatically by software, and the tomogram is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線CT装置に係
わり、特に、非破壊X線検査装置の回転中心位置を校正
する治具を用い、試料を回転してX線管とそれに対向し
て配置された検出器からのデータを位置校正するX線C
T装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray CT apparatus, and more particularly to a jig for calibrating the center of rotation of a non-destructive X-ray inspection apparatus. X-ray C to calibrate the position of data from detectors placed
It relates to a T device.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線管と検出器が一体となって被検体を
中心にして回転をし、投影データを収集して被検体の断
層画像を得るX線CT装置が、医用分野で一般に広く使
われている。この場合、撮影領域を一度に覆うだけの広
がりを持つ扇状のX線ビーム(通常30〜50度)が用
いられ、検出器は円弧状に緻密に配列された数百にも及
ぶ検出器素子群で構成されている。そして、検出器は被
検体を挟んでX線管に対向して配置され検出器素子の数
に対応した放射状に分布するX線通路が得られる。撮影
は、X線管と検出器が一体となって被検体の周りを36
0度回転する時に、一定角度毎に投影データを得て、D
AS(データ収集ユニット)に取り入れ、高速演算処理
装置で演算し、画像再構成を行い、表示装置で断層像を
表示し、同時に磁気ディスク装置にそのデータを保存し
ている。この場合、被検体は静止した状態でX線管と検
出器が回転する機構であるが、工業用の非破壊X線検査
装置として使用されるX線CT装置として、X線管と検
出器が固定された状態で非破壊検査物を360度回転さ
せるX線CT装置がある
2. Description of the Related Art An X-ray CT apparatus in which an X-ray tube and a detector integrally rotate around an object to collect projection data to obtain a tomographic image of the object is widely used in the medical field. It is used. In this case, a fan-shaped X-ray beam (usually 30 to 50 degrees) having a width enough to cover the imaging area at a time is used, and the detector is a group of several hundred detector elements densely arranged in an arc. It is composed of Then, the detectors are arranged to face the X-ray tube with the subject interposed therebetween, and X-ray passages radially distributed corresponding to the number of detector elements are obtained. In imaging, the X-ray tube and detector are integrated to
When rotated by 0 degrees, the projection data is obtained for each fixed angle, and D
The data is taken into an AS (data collection unit), operated by a high-speed processing unit, image reconstruction is performed, a tomographic image is displayed on a display device, and the data is stored in a magnetic disk device at the same time. In this case, the X-ray tube and the detector rotate while the subject is stationary, but the X-ray tube and the detector are used as an X-ray CT device used as an industrial nondestructive X-ray inspection device. There is an X-ray CT device that rotates the nondestructive inspection object 360 degrees in a fixed state

【0003】図3に非破壊X線検査装置としてのX線C
T装置の側面図を示す。非破壊検査物(図3では中心位
置校正治具2)は、試料台3に設けられたモータ4で一
定の速度で回転する回転台3aにセットされる。その非
破壊検査物を挟んで、X線管1とそれに対向して検出器
6を配置し、散乱X線入射を防御するために水平方向に
開口度可変のX線用のスリット5を検出器6の前面に備
えている。この場合、X線管1と検出器6は固定で、非
破壊検査物が回転台3aの上で所定の速度で回転してい
る。非破壊検査物の回転軸はX線管1と検出器6の中心
を結ぶ線上にセットされる。このような各部の配置であ
れば前記の医用のX線CT装置と原理が同じである。
FIG. 3 shows an X-ray C as a nondestructive X-ray inspection apparatus.
1 shows a side view of a T device. The non-destructive inspection object (center position calibration jig 2 in FIG. 3) is set on a rotating table 3 a rotated at a constant speed by a motor 4 provided on the sample table 3. An X-ray tube 1 and a detector 6 are arranged opposite to the non-destructive inspection object, and a slit 5 for an X-ray having a variable aperture in the horizontal direction is provided to prevent the incidence of scattered X-rays. 6 on the front. In this case, the X-ray tube 1 and the detector 6 are fixed, and the nondestructive inspection object is rotating at a predetermined speed on the turntable 3a. The rotation axis of the non-destructive inspection object is set on a line connecting the X-ray tube 1 and the center of the detector 6. With such an arrangement of each unit, the principle is the same as that of the medical X-ray CT apparatus described above.

【0004】回転する非破壊検査物の検出器6からのX
線透過信号は、プリアンプを通してデータ処理装置7に
送られる。データ処理装置7は、A/D変換器、DAS
(データ収集ユニット)、高速演算処理装置、コントロ
ーラ、CPU、磁気ディスク等から構成され、取り入れ
たデータから画像再構成を行い、モニタ8上に非破壊検
査物の水平方向の断層画像を表示する。そして、回転台
3aの高さを変えて非破壊検査物の回転走査を行えば、
各層の断層像が得られる。X線管1からのX線が回転す
る非破壊検査物を透過して検出器6に投影され、そのX
線透過信号から画像を再構成する方法として、コンボル
ーションバックプロジェクション(CBP)法が使われ
ている。CPB法はコンボルーション(畳込み)演算と
バックプロジェクション(逆投影)演算の2つの段階を
得て画像再構成をおこなっている。図3のモニタ8に
は、非破壊検査物が回転しているときの走査中の検出器
6でのスリット5の水平方向の強度信号を縦軸に表示し
たものである。走査が終了すればモニタ8上に断層像が
表示される。
The X from the detector 6 of the rotating nondestructive inspection object is
The line transmission signal is sent to the data processing device 7 through the preamplifier. The data processing device 7 includes an A / D converter, a DAS
(Data collection unit), a high-speed processing unit, a controller, a CPU, a magnetic disk, and the like. An image is reconstructed from the acquired data, and a horizontal tomographic image of the nondestructive inspection object is displayed on the monitor 8. Then, by rotating the non-destructive inspection object by changing the height of the turntable 3a,
A tomographic image of each layer is obtained. X-rays from the X-ray tube 1 penetrate the rotating nondestructive inspection object and are projected on the detector 6,
As a method of reconstructing an image from a line transmission signal, a convolution back projection (CBP) method is used. The CPB method obtains two stages of a convolution (convolution) operation and a back projection (backprojection) operation to perform image reconstruction. On the monitor 8 of FIG. 3, the vertical axis indicates the intensity signal in the horizontal direction of the slit 5 of the detector 6 during scanning when the nondestructive inspection object is rotating. When the scanning is completed, a tomographic image is displayed on the monitor 8.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来のX線CT装置
は、以上のように構成されているが、画像再構成のソフ
トは、所定位置に装置がセットされているとして、取込
みデータがデータ処理装置7側に格納される。したがっ
てこれらの条件を満足するように装置のチェックが必要
となる。そして、チェックをした後、ソフト上で画像再
構成時に座標のずれ分を補正し演算するか、又は、ハー
ド上でX線管1と検出器6を移動させるか、試料台3を
移動させて、回転中心に試料をセットし、走査して画像
再構成することが必要である。チェックをして校正しな
ければ、画像再構成したものがアーチファクトを生じた
り、鮮明な画像にならなかったり、または、崩れた画像
になったりすることがある。そのため、従来の装置は、
回転台3a上に、X線透過性の良い材料、例えばアクリ
ライト樹脂でできた円柱上のブロックに、中央に垂直に
金属線、例えばタングステン線2aなどが埋設された中
心位置校正治具2をセットし回転走査して、タングステ
ン線2aが装置の回転中心に一致しているか否かのチェ
ックを行い、一致していなければ、試料台3を移動させ
たり、または、X線管1と検出器6を移動させて、回転
中心を一致させるか、または、ソフト上で座標のずれ値
を投入してから、その後に非破壊検査物を回転台3a上
にセットし、走査してデータを収集し、画像再構成をし
てX線画像を得ていた。上記のような作業を検査前に行
うために、中心位置校正治具2を毎回セットしチェック
後に取外し、それから非破壊検査物を回転台3aにセッ
トしなければならないという煩わしい問題がある。
The conventional X-ray CT apparatus is constructed as described above. However, the software for image reconstruction assumes that the apparatus is set at a predetermined position and that the acquired data is processed by data processing. It is stored on the device 7 side. Therefore, it is necessary to check the apparatus so as to satisfy these conditions. Then, after the check, the coordinate deviation is corrected and calculated at the time of image reconstruction on the software, or the X-ray tube 1 and the detector 6 are moved on the hardware, or the sample table 3 is moved. It is necessary to set a sample at the center of rotation and scan to reconstruct an image. Unless checked and calibrated, the reconstructed image may produce artifacts, not a clear image, or a distorted image. Therefore, the conventional device,
On the turntable 3a, a center position calibration jig 2 in which a metal wire, for example, a tungsten wire 2a, is embedded vertically in the center of a block on a column made of a material having good X-ray permeability, for example, acrylite resin, is mounted. It is set and rotationally scanned to check whether the tungsten wire 2a coincides with the rotation center of the apparatus. If not coincident, the sample stage 3 is moved or the X-ray tube 1 and the detector are detected. 6 is moved to make the rotation centers coincide, or after inputting a coordinate shift value on software, a non-destructive inspection object is set on the turntable 3a, and data is collected by scanning. Then, an X-ray image was obtained by image reconstruction. In order to perform the above operation before the inspection, there is a troublesome problem that the center position calibration jig 2 must be set every time, removed after checking, and then the nondestructive inspection object must be set on the turntable 3a.

【0006】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、中心位置校正治具を毎回セットし、回
転中心位置をチェック後に取外し、それから非破壊検査
物を回転台にセットして行うのでなく、自動で、画像再
構成時にソフト上でずれ補正演算を行うか、または、装
置の位置をハード上で矯正することができるX線CT装
置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and sets the center position calibration jig every time, removes the center of rotation after checking it, and then sets the nondestructive inspection object on the turntable. An object of the present invention is to provide an X-ray CT apparatus that can automatically perform a shift correction calculation on software at the time of image reconstruction or correct the position of the apparatus on hardware at the time of image reconstruction.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のX線CT装置は、回転するテーブル上の試
料を中心に、X線管とそれに対向してX線検出器を配置
し、回転して得られた試料のX線透過データからその断
層像を再構成するX線CT装置において、試料をセット
する空間の上下の中心に、金属線を垂直に埋設したX線
透過性の良いブロックからなる中心位置校正治具付き試
料台と、その試料台を上方及び下方に移動させることが
できる昇降機構と、その昇降機構により前記金属線をX
線走査位置に移動させ試料台を回転することによって2
本の前記金属線のX線像位置の移動ずれを検出記憶する
回路とを設け、試料を回転走査して得られたデータから
断層像を再構成する時に前記移動ずれのデータ値だけ空
間座標をずらせて畳込み演算と逆投影演算を行い回転中
心の校正を自動でできるようにしたものである。
In order to achieve the above object, an X-ray CT apparatus according to the present invention comprises an X-ray tube and an X-ray detector opposed to the sample centered on a rotating table. Then, in an X-ray CT apparatus that reconstructs a tomographic image from X-ray transmission data of a sample obtained by rotation, a metal wire is vertically embedded in the upper and lower centers of the space in which the sample is set. Table with a center position calibration jig consisting of a good block, a lifting mechanism capable of moving the sample table upward and downward, and the metal wire X
By moving to the line scanning position and rotating the sample stage, 2
A circuit for detecting and storing a displacement of the X-ray image position of the metal wire, and when reconstructing a tomographic image from data obtained by rotationally scanning the sample, spatial coordinates are calculated by the data value of the displacement. The convolution operation and the back projection operation are performed with a shift so that the calibration of the center of rotation can be automatically performed.

【0008】また、請求項2のX線CT装置は、試料を
回転する前記テーブルを前記移動ずれデータにより自動
的に回転中心位置に移動させる移動機構とを設け、試料
を回転中心にして走査することができるものである。
Further, the X-ray CT apparatus according to claim 2 is provided with a moving mechanism for automatically moving the table for rotating the sample to the rotation center position based on the displacement data, and performs scanning with the sample as the center of rotation. Is what you can do.

【0009】本発明のX線CT装置は上記のように構成
されており、中央に試料がセットできる空間と、その試
料の上部と下部の中心の2箇所に、金属線、例えばタン
グステン線を垂直に埋設したX線透過性の良いブロッ
ク、例えばアクリライト樹脂ブロックを、回転テーブル
にセットし、上下の金属線を中心位置校正治具とし、試
料を中央にセットした状態で、回転中心位置を上下で、
チェックすることができる。その移動ずれのデータによ
り、試料を回転走査して得られたデータから断層像を再
構成する時に、前記移動ずれのデータ値だけ空間座標を
ずらせて畳込み演算と逆投影演算を行い回転中心の校正
を自動ですることができる。また、本発明のX線CT装
置は、試料を回転する前記テーブルを移動させる移動機
構を設け、前記移動ずれデータから自動的に回転中心位
置に前記テーブルを移動させることができ、試料を回転
中心にして走査することができる。これにより、治具の
取外しをすることなく、試料の上と下の2箇所で回転中
心をチェックし、自動で校正することができ、作業の手
間が省けて、試料の断層像を得ることができる。
The X-ray CT apparatus according to the present invention is configured as described above. A metal wire, for example, a tungsten wire is vertically inserted into a space in which a sample can be set at the center and two centers, that is, the upper and lower centers of the sample. A block with good X-ray permeability, for example, an acrylite resin block, embedded in the sample, is set on a rotary table, the upper and lower metal wires are used as center position calibration jigs, and the sample is set at the center. so,
You can check. When reconstructing a tomographic image from data obtained by rotationally scanning the sample using the data of the displacement, when the spatial coordinates are shifted by the data value of the displacement, a convolution operation and a back projection operation are performed, and the rotation center is calculated. Calibration can be done automatically. Further, the X-ray CT apparatus of the present invention is provided with a moving mechanism for moving the table for rotating the sample, the table can be automatically moved to the rotation center position from the movement deviation data, And can be scanned. Thus, the center of rotation can be checked at the upper and lower portions of the sample and calibration can be automatically performed without removing the jig, so that a tomographic image of the sample can be obtained without labor and time.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明のX線CT装置の一実施例
を図1、図2を参照しながら説明する。図1は本発明の
X線CT装置の構成を示す図である。図2は校正治具付
き試料台10の斜視図を示す。本X線CT装置は、モー
タ4で試料11を載せる回転台3aを回転しその回転台
3aを上下に昇降できる昇降機構とX線管1と検出器6
を結ぶ線に対し垂直方向に移動できる移動機構を備えた
試料台3と、回転台3a上の試料11を中心にしてX線
管1と、それに対向して配置された検出器6と、回転中
心位置を校正するために回転中心軸上に試料11をセッ
トすることのできる空間とその上方と下方の2箇所にタ
ングステン線10aを埋設したX線透過性の良いブロッ
クからなる中心位置合せ用の校正治具付き試料台10
と、前記昇降機構によりタングステン線10aをX線走
査位置に移動させ試料台3を回転することによって2本
の前記タングステン線10aのX線像位置の移動ずれを
検出記憶する回路と、試料11を回転走査して得られた
データから断層像を再構成する時に前記移動ずれのデー
タ値だけ空間座標をずらせて畳込み演算と逆投影演算を
行い回転中心の校正を自動で行うデータ処理装置7と、
回転走査時にスリット5を通して検出器6で検出される
水平方向検出信号を及び回転走査終了後にデータ処理装
置7で画像再構成された断層像を表示するモニタ8とか
ら構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the X-ray CT apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the X-ray CT apparatus of the present invention. FIG. 2 shows a perspective view of the sample table 10 with a calibration jig. The X-ray CT apparatus includes an elevating mechanism, an X-ray tube 1, and a detector 6, which can rotate a rotating table 3 a on which a sample 11 is placed by a motor 4 and move the rotating table 3 a up and down.
A sample stage 3 having a moving mechanism that can move in a direction perpendicular to a line connecting the X-ray tube 1, a X-ray tube 1 around a sample 11 on a turntable 3 a, a detector 6 disposed opposite to the X-ray tube 1, A space for setting the sample 11 on the rotation center axis for calibrating the center position, and a block having good X-ray permeability in which a tungsten wire 10a is buried in two places above and below the space for center alignment. Sample table with calibration jig 10
And a circuit for detecting and storing a shift in the X-ray image position of the two tungsten lines 10a by moving the tungsten line 10a to the X-ray scanning position by the elevating mechanism and rotating the sample stage 3, and the sample 11 When reconstructing a tomographic image from data obtained by rotational scanning, a data processing device 7 that shifts spatial coordinates by the data value of the displacement and performs convolution operation and backprojection operation to automatically calibrate the center of rotation; ,
A monitor 8 displays a horizontal direction detection signal detected by the detector 6 through the slit 5 at the time of rotational scanning and a tomographic image reconstructed by the data processor 7 after the rotational scanning is completed.

【0011】中心位置合せ用の校正治具付き試料台10
は、図2に示すように中央に試料11をセットできる空
間を有する半円筒形のX線透過性の良い材料、例えばア
クリライト樹脂からなる半円筒部10dと、その試料を
セットできる空間の上下にタングステン線10aを中心
軸に垂直に埋設したX線透過性の良い材料、例えばアク
リライト樹脂からなるブロック10b及び10cとを一
体として縦方向に形成したものである。試料台3は、内
部にモータ4を備え、上部に回転台3aを設けて、所定
の速度で回転し、そして、回転台3aを上下に昇降する
ことができる昇降機能を備えている。さらに、X線管1
と検出器6を結ぶ線に対して直角方向に移動することが
できる移動機構を備えている。この移動機構はデータ処
理装置7からの回転中心位置のずれ値と連動して移動す
ることができる。スリット5は、試料11で発生した散
乱線を除去するために検出器6の前面に置かれる。検出
器6は、シンチレータとフォトダイオードからなる検出
器素子を水平方向に円弧状または平面状に配列したも
の、また、X線変換層を有する半導体素子からなる検出
器、また、イメージインテンシファイアとTVカメラを
組み合わせ、A/D変換して信号を取りこむもの、何れ
のものでも良い。データ処理装置7は、A/D変換器、
DAS(データ収集ユニット)、高速演算処理装置、コ
ントローラ、CPU、磁気ディスク等から構成され、校
正治具付き試料台10によって検出された回転中心位置
のずれ値を記憶装置に記憶し、試料11を回転走査して
得られたデータから断層像を再構成する時に前記回転中
心のずれのデータ値だけ空間座標をずらせて畳込み演算
と逆投影演算を行い回転中心の校正をソフトによって自
動で行うことができる。モニタ8は、試料11を回転走
査中は、水平方向の検出信号の強度を縦軸に表示し、回
転走査後、取り入れたデータから画像再構成が行われ、
モニタ8上に試料11の水平方向の断層画像を表示す
る。
Sample table 10 with calibration jig for center alignment
As shown in FIG. 2, a semi-cylindrical material 10d made of a material having good X-ray permeability, for example, acrylite resin having a space in the center of which a sample 11 can be set, and upper and lower spaces In this case, a material having good X-ray transparency, for example, blocks 10b and 10c made of an acrylite resin are vertically formed integrally with a tungsten wire 10a buried perpendicular to the central axis. The sample table 3 has a motor 4 inside, a rotary table 3a provided on the upper portion, rotates at a predetermined speed, and has a lifting function capable of moving the rotary table 3a up and down. Further, the X-ray tube 1
A moving mechanism capable of moving in a direction perpendicular to a line connecting the sensor and the detector 6. This moving mechanism can move in conjunction with a shift value of the rotation center position from the data processing device 7. The slit 5 is placed on the front of the detector 6 to remove scattered radiation generated in the sample 11. The detector 6 is a detector in which detector elements each including a scintillator and a photodiode are arranged in an arc shape or a plane in a horizontal direction, a detector including a semiconductor element having an X-ray conversion layer, and an image intensifier. Any of a combination of a TV camera and A / D conversion to capture a signal may be used. The data processing device 7 includes an A / D converter,
A DAS (Data Acquisition Unit), a high-speed arithmetic processing unit, a controller, a CPU, a magnetic disk, and the like are stored. The shift value of the rotation center position detected by the sample table 10 with the calibration jig is stored in a storage device, and the sample 11 is stored. When reconstructing a tomographic image from data obtained by rotational scanning, the spatial coordinates are shifted by the data value of the rotational center shift, convolution operation and back projection operation are performed, and calibration of the rotational center is automatically performed by software. Can be. The monitor 8 displays the intensity of the detection signal in the horizontal direction on the vertical axis during the rotational scanning of the sample 11, and after the rotational scanning, an image is reconstructed from the acquired data.
A horizontal tomographic image of the sample 11 is displayed on the monitor 8.

【0012】次に、本X線CT装置の操作について説明
する。最初に回転台3a上に校正治具付き試料台10を
セットする。そして、その校正治具付き試料台10の中
央の空間に試料11をセットする。次に、回転台3aを
上昇させ、校正治具付き試料台10の下方に埋設された
タングステン線10aを、X線ビームの走査位置の高さ
まで移動させる。そして回転台3aを所定の速度で回転
させ、タングステン線10aの回転中心ずれを検出し、
そのデータを記憶回路に記憶させる。次に、回転台3a
を下降させ、校正治具付き試料台10の上方に埋設され
たタングステン線10aを、X線ビームの走査位置の高
さまで移動させる。そして、回転台3aを所定の速度で
回転させ、タングステン線10aの回転中心ずれを検出
し、そのデータを記憶回路に記憶させる。そして、両方
の回転中心のずれを平均し、その回転中心ずれ値を記憶
回路に記憶させる。次に、回転台3aを上昇させ、試料
11の検査すべき断層面の高さを、X線ビームの走査位
置の高さまで移動させる。そして、回転台3aを所定の
速度で回転させ、断層面のデータを検出器6から、デー
タ処理装置7に取りこみ、そのデータから断層像を再構
成する時に、前記回転中心ずれ値だけ空間座標をずらせ
て畳込み演算と逆投影演算を行い回転中心の校正を自動
で行い、断層像をモニタ8上に表示する。
Next, the operation of the present X-ray CT apparatus will be described. First, the sample table 10 with the calibration jig is set on the turntable 3a. Then, the sample 11 is set in the center space of the sample table 10 with the calibration jig. Next, the turntable 3a is raised, and the tungsten wire 10a embedded below the sample table 10 with the calibration jig is moved to the height of the scanning position of the X-ray beam. Then, the turntable 3a is rotated at a predetermined speed to detect a rotational center shift of the tungsten wire 10a,
The data is stored in the storage circuit. Next, the turntable 3a
To move the tungsten wire 10a buried above the sample table 10 with the calibration jig to the height of the scanning position of the X-ray beam. Then, the turntable 3a is rotated at a predetermined speed, the rotation center deviation of the tungsten wire 10a is detected, and the data is stored in the storage circuit. Then, the deviation of both rotation centers is averaged, and the rotation center deviation value is stored in the storage circuit. Next, the turntable 3a is raised, and the height of the tomographic plane of the sample 11 to be inspected is moved to the height of the scanning position of the X-ray beam. Then, the turntable 3a is rotated at a predetermined speed, the data of the tomographic plane is taken in from the detector 6 to the data processing device 7, and when reconstructing a tomographic image from the data, the spatial coordinates are calculated by the rotation center deviation value. The convolution operation and the back projection operation are performed while being shifted, the rotation center is calibrated automatically, and the tomographic image is displayed on the monitor 8.

【0013】上記の実施例では、回転中心のずれによる
校正を、演算するソフトを用いて、データ処理装置7で
行っているが、回転中心のずれによる校正は、直接ハー
ドを移動させて、回転中心を矯正する方法でも良い。直
接ハードを矯正する方法は、試料11をセットした校正
治具付き試料台10を装着している回転台3aを備えた
試料台3を、X線管1と検出器6を結ぶ線に対し直角に
移動させる方法と、X線管1と検出器6を平行して移動
させる方法がある。何れの方法も校正治具付き試料台1
0のタングステン線10aで検出した回転中心のずれ値
に基づいて、データ処理装置7からの信号で、ハードを
自動的に移動させる機構を備えて行われる。
In the above embodiment, the calibration based on the shift of the center of rotation is performed by the data processing device 7 using the software for calculation, but the calibration based on the shift of the center of rotation is performed by directly moving the hardware and rotating the hardware. A method of correcting the center may be used. The method of directly correcting the hardware is as follows. The sample table 3 provided with the rotating table 3a on which the sample table 10 with the calibration jig on which the sample 11 is set is mounted is perpendicular to the line connecting the X-ray tube 1 and the detector 6. And a method of moving the X-ray tube 1 and the detector 6 in parallel. In any case, sample table 1 with calibration jig
Based on the shift value of the rotation center detected by the zero tungsten wire 10a, a signal from the data processing device 7 is used to provide a mechanism for automatically moving the hardware.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明のX線CT装置は上記のように構
成されており、試料をセットする空間の上下の中心に、
金属線を垂直に埋設したX線透過性の良いブロックから
なる中心位置校正治具付き試料台を、回転台に載せて昇
降し、2本の金属線による回転走査で回転中心のずれ値
を検出し、試料位置の高さで回転走査して得られたデー
タから断層像を再構成する時に、前記移動ずれのデータ
値だけ空間座標をずらせて畳込み演算と逆投影演算を行
い回転中心の校正を自動で行うことができる。これによ
り、治具の取外しをすることなく、ソフトで自動校正す
ることができ、作業の手間を省くことができる。また、
中心位置校正治具付き試料台を載せる回転台を、X線管
と検出器中心を結ぶ線に対して直角に、2本の金属線に
よる回転走査で得られた回転中心のずれ値だけ自動的に
移動させて、回転中心で試料のデータを収集する方法
や、また、回転台を移動させる替わりに、X線管と検出
器を平行に回転中心のずれ値だけ移動させる機構で行う
こともできる。これにより、治具の取外しをすることな
く、ハードで直接回転中心を矯正することができ、作業
の手間を省くことができる。
The X-ray CT apparatus according to the present invention is configured as described above, and is located at the upper and lower centers of the space for setting the sample.
A sample table with a center position calibration jig consisting of a block with good X-ray transparency in which a metal wire is buried vertically is placed on a turntable and moved up and down, and a rotational scan with two metal wires is used to detect the deviation value of the center of rotation. Then, when reconstructing a tomographic image from data obtained by rotationally scanning at the height of the sample position, the spatial coordinates are shifted by the data value of the displacement and convolution operation and back projection operation are performed to calibrate the rotation center. Can be performed automatically. Thereby, the automatic calibration can be performed by software without removing the jig, and the labor of the operation can be saved. Also,
The rotating table on which the sample stage with the center position calibration jig is placed is automatically set at right angles to the line connecting the X-ray tube and the center of the detector by the shift value of the rotating center obtained by rotating scanning with two metal wires. And a mechanism that moves the X-ray tube and detector in parallel by the shift value of the center of rotation instead of moving the turntable by moving the sample to the center of rotation. . Thus, the center of rotation can be directly corrected by hardware without removing the jig, and the labor of the operation can be saved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のX線CT装置の一実施例を示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of an X-ray CT apparatus of the present invention.

【図2】 本発明のX線CT装置の校正治具付き試料台
10を示す図である。
FIG. 2 is a view showing a sample table 10 with a calibration jig of the X-ray CT apparatus of the present invention.

【図3】 従来のX線CT装置を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a conventional X-ray CT apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…X線管 2…中心位置校正治具 2a…タングステン線 3…試料台 3a…回転台 4…モータ 5…スリット 6…検出器 7…データ処理装置 8…モニタ 9…水平方向検出信号 10…校正治具付き試料台 10a…タングステン線 10b…ブロック 10c…ブロック 10d…半円筒部 11…試料 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray tube 2 ... Center position calibration jig 2a ... Tungsten wire 3 ... Sample stand 3a ... Rotating stand 4 ... Motor 5 ... Slit 6 ... Detector 7 ... Data processing device 8 ... Monitor 9 ... Horizontal direction detection signal 10 ... Sample table with calibration jig 10a ... Tungsten wire 10b ... Block 10c ... Block 10d ... Semi-cylindrical part 11 ... Sample

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回転するテーブル上の試料を中心に、X線
管とそれに対向してX線検出器を配置し、回転して得ら
れた試料のX線透過データからその断層像を再構成する
X線CT装置において、試料をセットする空間の上下の
中心に、金属線を垂直に埋設したX線透過性の良いブロ
ックからなる中心位置校正治具付き試料台と、その試料
台を上方及び下方に移動させることができる昇降機構
と、その昇降機構により前記金属線をX線走査位置に移
動させ試料台を回転することによって2本の前記金属線
のX線像位置の移動ずれを検出記憶する回路とを設け、
試料を回転走査して得られたデータから断層像を再構成
する時に前記移動ずれのデータ値だけ空間座標をずらせ
て畳込み演算と逆投影演算を行い回転中心の校正を自動
でできるようにしたことを特徴とするX線CT装置。
An X-ray tube and an X-ray detector are arranged opposite to a sample on a rotating table, and its tomographic image is reconstructed from X-ray transmission data of the sample obtained by rotation. In the X-ray CT apparatus, a sample table with a center position calibration jig composed of a block with good X-ray transparency in which a metal wire is buried vertically is provided at the upper and lower centers of a space in which a sample is set, and the sample table is moved upward and downward. An elevating mechanism which can be moved downward, and the elevating mechanism moves the metal wire to the X-ray scanning position and rotates the sample stage to detect and store the displacement of the X-ray image positions of the two metal wires. And a circuit that performs
When reconstructing a tomographic image from data obtained by rotationally scanning a sample, the spatial coordinates are shifted by the data value of the displacement to perform convolution operation and backprojection operation so that the center of rotation can be automatically calibrated. An X-ray CT apparatus characterized by the above-mentioned.
【請求項2】回転するテーブル上の試料を中心に、X線
管とそれに対向してX線検出器を配置し、回転して得ら
れた試料のX線透過データからその断層像を再構成する
X線CT装置において、試料をセットする空間の上下の
中心に、金属線を垂直に埋設したX線透過性の良いブロ
ックからなる中心位置校正治具付き試料台と、その試料
台を上方及び下方に移動させることができる昇降機構
と、その昇降機構により前記金属線をX線走査位置に移
動させ試料台を回転することによって2本の前記金属線
のX線像位置の移動ずれを検出記憶する回路と、試料を
回転する前記テーブルを前記移動ずれデータにより自動
的に回転中心位置に移動させる移動機構とを設け、試料
を回転中心にして走査することができることを特徴とす
るX線CT装置。
2. An X-ray tube and an X-ray detector are arranged opposite to a sample on a rotating table, and a tomographic image is reconstructed from X-ray transmission data of the sample obtained by rotation. In the X-ray CT apparatus, a sample table with a center position calibration jig composed of a block with good X-ray transparency in which a metal wire is buried vertically is provided at the upper and lower centers of a space in which a sample is set, and the sample table is moved upward and downward. An elevating mechanism which can be moved downward, and the elevating mechanism moves the metal wire to the X-ray scanning position and rotates the sample stage to detect and store the displacement of the X-ray image positions of the two metal wires. An X-ray CT apparatus provided with a circuit for performing the scanning and a moving mechanism for automatically moving the table for rotating the sample to the center of rotation based on the displacement data. .
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106515A (en) * 2003-09-29 2005-04-21 Shimadzu Corp X-ray ct system
JP2005233760A (en) * 2004-02-19 2005-09-02 Toshiba It & Control Systems Corp Tomosynthesis device
WO2005119174A1 (en) * 2004-05-26 2005-12-15 Werth Messtechnik Gmbh Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object
JP2009505083A (en) * 2005-08-16 2009-02-05 カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Measuring apparatus and method for computed tomography
CN103487448A (en) * 2012-06-11 2014-01-01 株式会社岛津制作所 X-ray examination device
CN108051456A (en) * 2017-11-27 2018-05-18 中国电子科技集团公司第十三研究所 X-CT system measured materials
DE102019000247A1 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Mitutoyo Corporation X-RAY CT MEASURING DEVICE AND CALIBRATION METHOD THEREFOR
DE102019000216A1 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Mitutoyo Corporation An X-ray CT measuring apparatus and method of preventing interference therefrom
JP2019158534A (en) * 2018-03-12 2019-09-19 株式会社ミツトヨ X-ray ct apparatus for measurement and method for generating fault image
CN110554148A (en) * 2019-09-23 2019-12-10 核工业理化工程研究院 Sample scanning device for nondestructive measurement of materials
US10545102B2 (en) 2016-11-02 2020-01-28 Mitutoyo Corporation Coordinate alignment tool for coordinate measuring device and measuring X-ray CT apparatus

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106515A (en) * 2003-09-29 2005-04-21 Shimadzu Corp X-ray ct system
JP2005233760A (en) * 2004-02-19 2005-09-02 Toshiba It & Control Systems Corp Tomosynthesis device
JP4537090B2 (en) * 2004-02-19 2010-09-01 東芝Itコントロールシステム株式会社 Tomosynthesis equipment
WO2005119174A1 (en) * 2004-05-26 2005-12-15 Werth Messtechnik Gmbh Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object
JP2008500521A (en) * 2004-05-26 2008-01-10 ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー Coordinate measuring apparatus and measuring method of measurement object
JP2009505083A (en) * 2005-08-16 2009-02-05 カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Measuring apparatus and method for computed tomography
CN103487448A (en) * 2012-06-11 2014-01-01 株式会社岛津制作所 X-ray examination device
US10545102B2 (en) 2016-11-02 2020-01-28 Mitutoyo Corporation Coordinate alignment tool for coordinate measuring device and measuring X-ray CT apparatus
CN108051456A (en) * 2017-11-27 2018-05-18 中国电子科技集团公司第十三研究所 X-CT system measured materials
DE102019000247A1 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Mitutoyo Corporation X-RAY CT MEASURING DEVICE AND CALIBRATION METHOD THEREFOR
DE102019000216A1 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Mitutoyo Corporation An X-ray CT measuring apparatus and method of preventing interference therefrom
US10753887B2 (en) 2018-01-19 2020-08-25 Mitutoyo Corporation X-ray CT measuring apparatus and interference prevention method thereof
JP2019158534A (en) * 2018-03-12 2019-09-19 株式会社ミツトヨ X-ray ct apparatus for measurement and method for generating fault image
CN110554148A (en) * 2019-09-23 2019-12-10 核工业理化工程研究院 Sample scanning device for nondestructive measurement of materials
CN110554148B (en) * 2019-09-23 2024-03-29 核工业理化工程研究院 Sample scanning device for nondestructive measurement of materials

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