JP2002055044A - Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the same - Google Patents
Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the sameInfo
- Publication number
- JP2002055044A JP2002055044A JP2000239934A JP2000239934A JP2002055044A JP 2002055044 A JP2002055044 A JP 2002055044A JP 2000239934 A JP2000239934 A JP 2000239934A JP 2000239934 A JP2000239934 A JP 2000239934A JP 2002055044 A JP2002055044 A JP 2002055044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electromagnetic wave
- laser
- light
- scattered light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は分光分析装置および
レーザラマン分光分析装置、これを用いた分光分析法に
係わり、特に検出器の周辺部を適宜マスキング可能に
し、また、強度算出にピークの微分強度を用いる分光分
析装置およびレーザラマン分光分析装置、これを用いた
分光分析法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectrophotometer and a laser Raman spectrometer, and a spectroscopic method using the same. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a spectroscopic analyzer and a laser Raman spectroscopic analyzer using the same, and a spectroscopic analysis method using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】石英ガラス中に存在するＨ２は、フォト
マスク材における耐レーザ光特性等に影響を与える。こ
れらＨ２が存在する物質にレーザ光を照射するＨ２のラ
マン散乱光が生じるが、このＨ２のラマン散乱光は、４
１３５ｃｍ−１付近に明瞭なピークができることから、
一般にレーザラマン分光分析法は石英ガラス中のＨ２の
濃度管理法として使用されている。H 2 present in the Background of the Invention in the quartz glass has an effect on resistance to the laser beam characteristics in the photomask material. While Raman scattering light H 2 for irradiating a laser beam to the material which they H 2 is likely to occur, Raman scattered light of the H 2 is 4
Since a clear peak is formed around 135 cm −1 ,
Generally laser Raman spectroscopy is used as concentration control method of H 2 in the quartz glass.
【０００３】一般に種々の分析装置を用いて定量的な評
価を行う場合、測定対象物が微量なほど、ノイズやバッ
クグラウンドの影響を受けやすく、測定値の正確さや再
現性が悪くなる。これはレーザラマン分光分析法による
石英ガラス中に含有されるＨ ２の定量においても例外で
はない。すなわち、ラマン散乱光の光路上における光学
的なずれや、試料以外の散乱光による光学的な汚染によ
るＳ／Ｂ（ｓｉｇｎａｌ／Ｂａｃｋ Ｇｒｏｕｎｄ）比
の低下等が生じる。[0003] In general, quantitative evaluations are performed using various analyzers.
When performing measurements, the smaller the amount of measurement
Is sensitive to background,
Possibility deteriorates. This is based on laser Raman spectroscopy
H contained in quartz glass 2Is an exception
There is no. That is, the optics on the optical path of Raman scattered light
Deviation or optical contamination due to scattered light other than the sample.
S / B (signal / Back Ground) ratio
Is reduced.
【０００４】また、レーザラマン分光分析法を用いて測
定されるスペクトルのピークは、図９に示すような形状
をしているが、ピーク強度の算出には、ピーク面積や高
さが用いられており、測定対象が微量の場合はピーク自
体が小さくなり、バックグランドの影響によるピーク変
形やノイズの影響による強度増加が生じやすくなる。こ
のため、強度の算出にピークの面積や高さを使用するこ
とは、微量ピーク分析時において、正確さや再現性を悪
化させる大きな要因となる。The peak of a spectrum measured by laser Raman spectroscopy has a shape as shown in FIG. 9, but the peak area and height are used to calculate the peak intensity. On the other hand, when the amount of the object to be measured is very small, the peak itself becomes small, and the peak is likely to be deformed due to the background and the intensity is increased due to the influence of noise. For this reason, the use of the peak area or height for calculating the intensity is a major factor in deteriorating the accuracy and reproducibility during trace peak analysis.
【０００５】一方、半導体製造用等に用いられるガラス
部材の高純度化要求に伴ない、Ｈ２の含有が微量な石英
ガラス製品が開発され、この微量なＨ２を測定するため
のレーザラマン分光分析法にも高精度化が要求されてい
る。On the other hand, due to the increasing purity requirements of the glass members used in semiconductor manufacture, etc., containing the H 2 it is developed small amount of quartz glass products, laser Raman spectroscopy to measure the small amount of H 2 The law also requires higher precision.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】そこで、試料以外の電
磁波からの汚染によるＳ／Ｂ比の低下を防止できる分光
分析法およびラマン散乱光の光路上における光学的なず
れや、試料以外の散乱光による光学的な汚染によるＳ／
Ｂ比の低下を防止できるレーザラマン分光分析装置が要
望されていた。Therefore, a spectroscopic analysis method capable of preventing a decrease in the S / B ratio due to contamination from electromagnetic waves other than the sample, an optical shift on the optical path of the Raman scattered light, and a scattered light other than the sample. S / due to optical contamination by
There has been a demand for a laser Raman spectrometer capable of preventing the B ratio from lowering.
【０００７】また、測定対象が微量でスペクトルのピー
ク自体が小さな場合にも、正確かつ再現性よく測定が行
える分光分析法およびレーザラマン分光分析法が要望さ
れていた。[0007] Further, there has been a demand for a spectroscopic analysis method and a laser Raman spectroscopic analysis method capable of performing accurate and reproducible measurement even when the measurement target is a trace amount and the spectrum itself is small.
【０００８】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、試料以外の電磁波からの汚染によるＳ／Ｂ比の
低下を防止できる分光分析法およびラマン散乱光の光路
上における光学的なずれや、試料以外の散乱光による光
学的な汚染によるＳ／Ｂ比の低下を防止できるレーザラ
マン分光分析装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a spectral analysis method capable of preventing a decrease in the S / B ratio due to contamination from electromagnetic waves other than a sample, and an optical shift on the optical path of Raman scattered light. It is another object of the present invention to provide a laser Raman spectrometer capable of preventing a decrease in S / B ratio due to optical contamination by scattered light other than a sample.
【０００９】また、測定対象が微量でスペクトルのピー
ク自体が小さな場合にも、正確かつ再現性よく測定が行
える分光分析法およびレーザラマン分光分析法を提供す
ることを目的とする。Another object of the present invention is to provide a spectroscopic analysis method and a laser Raman spectroscopic analysis method capable of performing accurate and reproducible measurement even when the measurement target is a very small amount and the spectrum itself is small.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、試料に特定波長の電
磁波を照射する電磁波発生装置と、この電磁波発生装置
から発する電磁波が照射され、試料を透過もしくは反射
された電磁波、または、試料から散乱する電磁波を検出
する電磁波検出器とを有する分光分析装置において、前
記電磁波検出器の周辺部を適宜マスキング状態にできる
ようにしたことを特徴とする分光分析装置であることを
要旨としている。Means for Solving the Problems According to the first aspect of the present invention, which has been made to achieve the above object, an electromagnetic wave generator for irradiating a sample with an electromagnetic wave of a specific wavelength, and an electromagnetic wave emitted from the electromagnetic wave generator are irradiated. An electromagnetic wave detector that detects an electromagnetic wave transmitted or reflected by a sample or an electromagnetic wave scattered from a sample, wherein a peripheral portion of the electromagnetic wave detector can be appropriately masked. The gist of the present invention is that the spectroscopic analyzer is described as follows.
【００１１】本願請求項２の発明は、試料にレーザ光を
照射し特定の波長を持つレーザ装置と、このレーザ装置
から発するレーザ光が照射され試料から発する散乱光を
受ける遮光フィルタと、このフィルタからの光を分光す
る分光器と、この分光器で分光された光を検出する光検
出器とを有するレーザラマン分光分析装置において、光
検出器の周辺部を適宜マスキング状態にできるようにし
たことを特徴とするレーザラマン分光分析装置であるこ
とを要旨としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser device that irradiates a sample with laser light and has a specific wavelength, a laser light emitted from the laser device and receives a scattered light emitted from the sample, and a light-shielding filter. In a laser Raman spectroscopic analyzer having a spectroscope that splits light from the light source and a photodetector that detects light split by the spectroscope, the peripheral portion of the photodetector can be appropriately masked. The gist of the invention is that it is a laser Raman spectroscopic analyzer.
【００１２】本願請求項３の発明では、上記電磁波また
は光検出器はＣＣＤであることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の分光分析装置であることを要旨としてい
る。[0012] In the invention of claim 3 of the present application, the gist is that the electromagnetic wave or photodetector is a CCD, which is the spectroscopic analyzer according to claim 1 or 2.
【００１３】本願請求項４の発明は、特定波長の電磁波
を試料に照射し、試料から出る電磁波のスペクトルを用
い、測定対象成分のピークの微分強度により定量的な評
価を行うことを特徴とする分光分析法であることを要旨
としている。[0013] The invention of claim 4 of the present application is characterized in that a sample is irradiated with an electromagnetic wave of a specific wavelength, and quantitative evaluation is performed by using the spectrum of the electromagnetic wave emitted from the sample and the differential intensity of the peak of the component to be measured. The gist is spectroscopic analysis.
【００１４】本願請求項５の発明は、レーザ光を試料に
照射し、試料から発する散乱光からラマン散乱光に濾過
し、このラマン散乱光を分光し、分光したラマン散乱光
を波長毎に検出し、ラマン散乱光のスペクトルを用い
て、測定対象成分のピークの微分強度を求め、試料に含
まれる成分物質の定量分析を行うことを特徴とするレー
ザラマン分光分析法であることを要旨としている。According to a fifth aspect of the present invention, a sample is irradiated with a laser beam, scattered light emitted from the sample is filtered into Raman scattered light, the Raman scattered light is separated, and the separated Raman scattered light is detected for each wavelength. The gist is to provide a laser Raman spectroscopic analysis method in which the differential intensity of the peak of the component to be measured is determined using the spectrum of the Raman scattered light, and the component substance contained in the sample is quantitatively analyzed.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わるレーザラマ
ン分光分析装置の実施形態について図面に基づき説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a laser Raman spectrometer according to the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１６】図１に示すように、本発明に係わるレーザ
ラマン分光分析装置１は、試料Ｓにレーザ光を照射し特
定の波長を持つレーザ装置２と、レーザ光が照射された
試料Ｓから発する散乱光を受ける遮光フィルタ３と、ス
リット４を介して集める分光器５と、この分光器５で分
光された光を検出する光検出器、例えばＣＣＤ６とを有
している。As shown in FIG. 1, a laser Raman spectrometer 1 according to the present invention irradiates a sample S with a laser beam and irradiates the sample S with a specific wavelength, and a scatterer emitted from the sample S irradiated with the laser beam. It has a light-blocking filter 3 that receives light, a spectroscope 5 that collects light via a slit 4, and a photodetector that detects light separated by the spectroscope 5, for example, a CCD 6.
【００１７】このＣＣＤ６はＣＣＤコントローラ７を介
してコンピュータ８に接続されており、ＣＣＤ６の任意
の部位の検知情報をＣＣＤコントローラ７を介してコン
ピュータ８に送ることができるようになっており、周辺
部、例えば両端部６ｅからの情報の送信を遮断して、両
端部６ｅからの情報をコンピュータ８に送らない状態に
し、両端部６ｅにマスキングをしたと同じ状態にするこ
とができる。The CCD 6 is connected to a computer 8 via a CCD controller 7 so that detection information of an arbitrary portion of the CCD 6 can be sent to the computer 8 via the CCD controller 7, For example, it is possible to cut off the transmission of information from both ends 6e, to prevent the information from both ends 6e from being sent to the computer 8, and to achieve the same state as when both ends 6e are masked.
【００１８】次に本発明に係わるレーザラマン分光分析
法等による測定方法について説明する。Next, a measuring method by laser Raman spectroscopy or the like according to the present invention will be described.
【００１９】図２は本発明に係わるレーザラマン分光分
析法による溶存水素量の測定フロー図で、最初に石英ガ
ラス塊から柱状試料の原型を切り出し、この試料の表面
および裏面を研削した後、精密研磨（光学研磨処理）
し、試料Ｓを作製する。FIG. 2 is a flow chart for measuring the amount of dissolved hydrogen by laser Raman spectroscopy according to the present invention. First, a prototype of a columnar sample is cut out from a quartz glass block, and the front and back surfaces of the sample are ground and then precision polished. (Optical polishing treatment)
Then, a sample S is prepared.
【００２０】図１に示すようなレーザラマン分光分析装
置１に、試料Ｓレーザ光が９０°散乱するように試料Ｓ
をセットする（Ｐ１）。In the laser Raman spectroscopy analyzer 1 as shown in FIG.
Is set (P1).
【００２１】次にレーザ装置２からレーザ光を試料Ｓの
側面に照射する（Ｐ２）。Next, the side of the sample S is irradiated with laser light from the laser device 2 (P2).
【００２２】試料Ｓから発する散乱光を遮光フィルタ３
に送り、この遮光フィルタ３により、弾性散乱光を除去
して、レーザ光の波長と異なる波長のラマン散乱光をス
リット４に送り、このスリット４で光学的汚染の一部を
除去し、ラマン散乱光の断面を設定した大きさにする。
スリット通過後のラマン散乱光を分光器１３に送り、こ
の分光器１３で波長毎、例えば図９に示すように、
Ｈ２：４１３０ｃｍ−１に分光する（Ｐ３）。The scattered light emitted from the sample S is shielded by the light shielding filter 3.
The light shielding filter 3 removes elastic scattered light, and sends Raman scattered light having a wavelength different from the wavelength of the laser light to the slit 4. The cross section of light is set to the set size.
The Raman scattered light after passing through the slit is sent to the spectroscope 13, and the spectroscope 13 uses the spectroscope 13 for each wavelength, for example, as shown in FIG.
H 2 : Disperse into 4130 cm −1 (P3).
【００２３】分光されたラマン散乱光を波長毎に検出
し、Ｈ２のラマン散乱光強度を求め、コンピュータ８の
記憶装置に記憶する（Ｐ４）。[0023] The Raman scattered light is spectrally detected for each wavelength, determine the Raman scattered light intensity of H 2, is stored in the storage device of the computer 8 (P4).
【００２４】このとき、ＣＣＤコントローラ７の働き
で、ＣＣＤ６の両端部６ｅからの情報の送信を遮断し
て、両端部６ｅからの情報がコンピュータ８に送られな
い状態になっている。At this time, the transmission of information from both ends 6e of the CCD 6 is interrupted by the operation of the CCD controller 7, and the information from both ends 6e is not sent to the computer 8.
【００２５】従って、ラマン散乱光の光路上における光
学的なずれや、試料Ｓ以外の散乱光による光学的な汚染
は減じられ、Ｓ／Ｂ比は向上する。Therefore, optical shift of the Raman scattered light on the optical path and optical contamination by scattered light other than the sample S are reduced, and the S / B ratio is improved.
【００２６】次に測定プロセスＰ４においてラマン散乱
光強度と内部標準から水素濃度を測定する（Ｐ５）。Next, in the measurement process P4, the hydrogen concentration is measured from the Raman scattered light intensity and the internal standard (P5).
【００２７】この微量なＨ２の濃度を測定（定量）に
は、ピーク強度の算出に微分強度を使用して行う。ここ
で用いる微分強度は、ピーク両側の傾きの差からその強
度を求める方法である。このように、ピーク強度の算出
に微分強度を使用することにより、バックグラウンド
の影響（傾斜、うねり等）の低減、ノイズの影響の低
減、分析精度の向上、分析感度の向上が図れる。The measurement (quantification) of the concentration of the minute amount of H 2 is performed by using the differential intensity for calculating the peak intensity. The differential intensity used here is a method of obtaining the intensity from the difference between the slopes on both sides of the peak. As described above, by using the differential intensity for the calculation of the peak intensity, it is possible to reduce the influence of the background (slope, undulation, etc.), reduce the influence of noise, improve the analysis accuracy, and improve the analysis sensitivity.
【００２８】なお、上述した実施形態においては、ＣＣ
Ｄの両端部のマスキングが可能なレーザラマン分光分析
装置を用いて測定する例を説明したが、本発明に係わる
分光分析装置は、紫外可視分光分析装置、原子吸光分析
装置、赤外分光分析装置、Ｘ線分光分析装置、マイクロ
波分析装置のほか、多くの分光分析装置にも応用でき
る。In the above-described embodiment, CC
Although an example in which measurement is performed using a laser Raman spectrometer capable of masking both ends of D has been described, the spectrometer according to the present invention is an ultraviolet-visible spectrometer, an atomic absorption spectrometer, an infrared spectrometer, It can be applied to many spectroscopic analyzers in addition to the X-ray spectrometer and the microwave analyzer.
【００２９】また、上述した実施形態においては、得ら
れた測定対象成分ピークの強度算出に微分強度を用いる
レーザラマン分光法について説明したが、上記のような
多くの分光分析法にも応用できる。Further, in the above-described embodiment, the laser Raman spectroscopy using the differential intensity for calculating the intensity of the obtained peak of the component to be measured has been described. However, the present invention can be applied to many spectral analysis methods as described above.
【００３０】[0030]
【実施例】［試験１］ 試験方法：図１に示すような本発明に係わるレーザラマ
ン分光分析装置を用いて、石英ガラス中に含まれるＨ２
について、Ｈ２ピークのＳ／Ｂ比を調べ（実施例１）、
従来のレーザラマン分光分析装置を用いたＨ２ピークの
Ｓ／Ｂ比（従来例１）と比較した。EXAMPLES [Test 1] Test method: H 2 contained in quartz glass was measured using a laser Raman spectrometer according to the present invention as shown in FIG.
, The S / B ratio of the H 2 peak was examined (Example 1),
This was compared with the S / B ratio of the H 2 peak using a conventional laser Raman spectrometer (conventional example 1).
【００３１】試験結果：結果を表１に示す。Test results: The results are shown in Table 1.
【００３２】実施例１は、従来例１に比べてＨ２ピーク
のＳ／Ｂ比が約２倍に増加していることがわかった。[0032] Example 1 was found to S / B ratio of H 2 peak as compared with the conventional example 1 is increased to about twice.
【００３３】[0033]
【表１】 [Table 1]
【００３４】［試験２］本発明に係わるレーザラマン分
光分析方法におけるピーク強度の算出に微分強度を使用
し、その効果を確認する。なお、Ｈ２ピークの微分強度
は４１４０〜４１５５ｃｍ−１および４１４０〜４１５
５ｃｍ−１における微分ピークの平均の差から求めた。[Test 2] The differential intensity is used to calculate the peak intensity in the laser Raman spectroscopic analysis method according to the present invention, and its effect is confirmed. Incidentally, the differential intensity of H 2 peaks 4140～4155Cm -1 and from 4140 to 415
It was determined from the difference between the averages of the differential peaks at 5 cm -1 .
【００３５】（１）：バックグラウンドの影響調査 試験方法：バックグラウンドの影響を調査するために、
Ｈ２付近のバックグラウンドの形状に大きく影響するＯ
Ｈ濃度と強度算出法別に求めた各測定値との関係を調べ
た。ＯＨ濃度が異なる２種類の石英ガラスに水素濃度を
振ったＨ２ピークを添加したスペクトルにつき、面積
（従来例２）および微分強度（実施例２）により求めた
ピーク強度からＨ２濃度を算出する実験を行った。(1): Investigation of the influence of the background Test method: In order to investigate the influence of the background,
O significantly affect the shape of the background in the vicinity of H 2
The relationship between the H concentration and each measured value determined for each intensity calculation method was examined. Spectrum OH concentration was added two different H 2 peaks shook the hydrogen concentration in the quartz glass per calculates the concentration of H 2 from the peak intensity obtained by the area (conventional example 2) and differential intensity (Example 2) An experiment was performed.
【００３６】試験結果：結果を図３および図４に示す。Test results: The results are shown in FIGS. 3 and 4.
【００３７】図３および図４に示すように、従来例２に
より求めた定量値は、ＯＨ濃度の増加により減少した
が、実施例２を使用したものはほとんど近似した結果が
得られた。このことから、ピーク強度の算出に微分強度
を用いる方法はバックグラウンドの影響をほとんど受け
ないで測定できることが実証された。As shown in FIGS. 3 and 4, the quantitative value obtained by the conventional example 2 decreased with an increase in the OH concentration, but the result obtained by using the example 2 was almost similar. From this, it was proved that the method using the differential intensity for the calculation of the peak intensity can be measured almost without being affected by the background.
【００３８】（２）ノイズの影響調査 ノイズによる影響調査として、ノイズの存在するＨ２ピ
ーク（従来例３）とこのスペクトルからノイズを消去し
たＨ２ピーク（実施例３）との比較を行った。[0038] (2) The impact study due Survey noise Noise was compared with present H 2 peak noise (Conventional Example 3) and H 2 peak erasing the noise from the spectrum (Example 3) .
【００３９】試験結果：結果を表２に示す。Test results: The results are shown in Table 2.
【００４０】[0040]
【表２】 [Table 2]
【００４１】表２に示すように、従来例３のｐｅａｋ／
ｎｏｉｓｅ比が６．５６％であったのに対し、実施例３
の場合は３．７１％と半分近くの値を示した。As shown in Table 2, peak / peak of Conventional Example 3 was used.
Example 3 where the noise ratio was 6.56%
In the case of, the value was 3.71%, which is almost half.
【００４２】このことから、微分強度によりピーク強度
を算出する方法を使用することで、測定する際のノイズ
の影響が半分に減少できることが立証された。From this, it was proved that the influence of noise at the time of measurement can be reduced to half by using the method of calculating the peak intensity from the differential intensity.
【００４３】（３）高精度化試験：Ｈ２定量における高
精度化試験として、標準試料のピークをベースに作成し
た、仮想のＨ２微量ピークの定量を行った（実施例
４）。[0043] (3) High precision test: as a high-precision test in H 2 quantification, created a peak of the standard sample on the base, was quantified virtual H 2 trace peak (Example 4).
【００４４】試験結果：結果を図５および図６に示す。Test results: The results are shown in FIGS.
【００４５】図５および図６に示すように、面積から求
めた定量値（従来例４）は設定したピーク濃度からかな
り外れた値であったが、微分強度を使用した場合（実施
例４）はピーク濃度に近似した値が得られた。このこと
から、ピーク強度の算出に微分強度を用いる方法は、微
量Ｈ２定量における高精度化に有効なことが立証され
た。As shown in FIGS. 5 and 6, the quantitative value obtained from the area (conventional example 4) was considerably out of the set peak concentration, but when the differential intensity was used (example 4). A value close to the peak concentration was obtained. From this, it was proved that the method of using the differential intensity for the calculation of the peak intensity was effective for improving the accuracy of the trace H 2 quantification.
【００４６】（４）高感度化試験 本発明に係わるレーザラマン分光分析方法におけるピー
ク強度の算出に本発明に係わる微分強度を使用すること
により、どれくらい高感度化したのかを確認する（実施
例５）。(4) Higher Sensitivity Test Using the differential intensity according to the present invention for calculating the peak intensity in the laser Raman spectroscopic analysis method according to the present invention, it is confirmed how much higher sensitivity has been achieved (Example 5). .
【００４７】試験結果：結果を図７および図８に示す。Test results: The results are shown in FIG. 7 and FIG.
【００４８】図７および図８に示すように、面積により
算出した場合（従来例５）は、仮想ピーク濃度の減少に
伴って、ピーク濃度と測定値との差は広がる傾向を示し
た。一方、実施例５はピークの検出が可能な５ｅ１６ｍ
ｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３よりも１桁以上低い５ｅ１６
ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３までのＨ２ピークを仮想濃
度ピークと近似した値で測定することができた。As shown in FIGS. 7 and 8, when the calculation was made based on the area (conventional example 5), the difference between the peak concentration and the measured value tended to increase as the virtual peak concentration decreased. On the other hand, in Example 5, the peak can be detected by 5e16m.
5e16, which is one order of magnitude lower than olecules / cm 3
The H 2 peak up to moleculars / cm 3 could be measured with a value approximating the hypothetical concentration peak.
【００４９】このことから、ピーク強度の算出に微分強
度を使用することで、従来の方法よりも分析感度を１桁
以上向上できることが実証された。From this, it has been proved that the analysis sensitivity can be improved by one digit or more compared to the conventional method by using the differential intensity for the calculation of the peak intensity.
【００５０】[0050]
【発明の効果】本発明に係わる分光分析装置によれば、
試料以外の散乱光による光学的な汚染によるＳ／Ｂ比の
低下を防止できる分光分析装置を提供することができ
る。According to the spectroscopic analyzer according to the present invention,
It is possible to provide a spectroscopic analyzer that can prevent a decrease in the S / B ratio due to optical contamination by scattered light other than the sample.
【００５１】すなわち、電磁波検出器の周辺部を適宜マ
スキングすることにより、微量物質のＳ／Ｂ比は従来に
比べ著しく増加する。That is, by appropriately masking the peripheral portion of the electromagnetic wave detector, the S / B ratio of a trace substance is significantly increased as compared with the related art.
【００５２】また、光検出器の周辺部を適宜マスキング
状態にできるようにしたレーザラマン分光分析装置であ
るので、ラマン散乱光の光路上における光学的なずれ
や、試料以外の散乱光による光学的な汚染によるＳ／Ｂ
比の低下を防止できる。Further, since the laser Raman spectrometer is designed so that the peripheral portion of the photodetector can be appropriately set in a masking state, the optical shift of the Raman scattered light on the optical path and the optical shift due to the scattered light other than the sample are caused. S / B due to contamination
The ratio can be prevented from lowering.
【００５３】また、電磁波または光検出器はＣＣＤであ
るので、効果的に試料以外の散乱光による光学的な汚染
によるＳ／Ｂ比の低下を防止できる分光分析装置を提供
することができる。Further, since the electromagnetic wave or photodetector is a CCD, it is possible to provide a spectroscopic analyzer capable of effectively preventing a decrease in the S / B ratio due to optical contamination by scattered light other than the sample.
【００５４】また、本発明に係わる分光分析法によれ
ば、測定対象が微量で測定対象成分ピーク自体が小さな
場合にも、正確かつ再現性よく測定が行える分光分析法
を提供できる。Further, according to the spectroscopic analysis method of the present invention, it is possible to provide a spectroscopic analysis method capable of performing accurate and reproducible measurement even when the measurement object is a very small amount and the measurement object component peak itself is small.
【００５５】すなわち、ピーク強度の算出に微分強度を
使用することで、ノイズやバックグラウンドの影響が減
少し、分析強度が飛躍的に向上する。さらに、これに付
随して分析感度も向上し、ピ一クの確認が困難な濃度に
対しても対応が可能になった。That is, by using the differential intensity for the calculation of the peak intensity, the influence of noise and background is reduced, and the analysis intensity is dramatically improved. In addition, the sensitivity of the analysis has been improved, and it has become possible to cope with a concentration in which it is difficult to confirm the peak.
【００５６】また、本発明に係わるレーザラマン分光分
析法による測定方法によれば、測定対象が微量でラマン
散乱光のピーク自体が小さな場合にも、正確かつ再現性
よく測定が行える。Further, according to the measuring method based on the laser Raman spectroscopy according to the present invention, the measurement can be performed accurately and with good reproducibility even when the measurement target is very small and the peak of the Raman scattered light itself is small.
【図１】本発明に係わるレーザラマン分光分析装置の概
念図。FIG. 1 is a conceptual diagram of a laser Raman spectroscopic analyzer according to the present invention.
【図２】本発明に係わるレーザラマン分光分析法による
溶存水素量の測定フロー図。FIG. 2 is a flow chart for measuring the amount of dissolved hydrogen by laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図３】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
たＯＨ濃度による測定値の変化を示す試験結果図。FIG. 3 is a test result diagram showing a change in measured value depending on OH concentration using laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図４】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
たＯＨ濃度による測定値の変化を示す試験結果図。FIG. 4 is a test result diagram showing a change in a measured value depending on the OH concentration using the laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図５】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
たピーク強度算出方法の違いによる測定値の変化を示す
試験結果図。FIG. 5 is a test result diagram showing changes in measured values due to differences in peak intensity calculation methods using laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図６】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
たピーク強度算出方法の違いによる測定値の変化を示す
試験結果図。FIG. 6 is a test result diagram showing changes in measured values due to differences in peak intensity calculation methods using laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図７】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
た高感度化試験の結果図。FIG. 7 is a diagram showing a result of a high sensitivity test using laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図８】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
た高感度化試験の結果図。FIG. 8 is a diagram showing a result of a high sensitivity test using laser Raman spectroscopy according to the present invention.
【図９】レーザラマン分光分析法により検出されるレー
ザラマン散乱光のＨ２のピーク図。FIG. 9 is an H 2 peak diagram of laser Raman scattered light detected by laser Raman spectroscopy.
１ レーザラマン分光分析装置 ２ レーザ装置 ３ 遮光フィルタ ４ スリット ５ 分光器 ６ ＣＣＤ ６ｅ 両端部 ７ ＣＣＤコントローラ ８ コンピュータ Ｓ 試料 Reference Signs List 1 laser Raman spectroscopic analyzer 2 laser device 3 light shielding filter 4 slit 5 spectroscope 6 CCD 6e both ends 7 CCD controller 8 computer S sample
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G020 AA03 BA02 BA15 CA04 CB23 CC26 CC42 CD04 CD13 CD24 CD32 CD36 2G043 AA06 BA17 CA05 EA03 FA05 JA01 JA02 KA01 KA09 LA03 MA01 NA01 2G059 AA01 BB08 CC02 EE03 EE12 GG01 JJ01 JJ25 JJ30 KK04 LL04 MM01 NN01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference) 2G020 AA03 BA02 BA15 CA04 CB23 CC26 CC42 CD04 CD13 CD24 CD32 CD36 2G043 AA06 BA17 CA05 EA03 FA05 JA01 JA02 KA01 KA09 LA03 MA01 NA01 2G059 AA01 BB08 CC02 EE03 EE30 GG01JJ04 GG01 MM01 NN01
Claims (5)
波発生装置と、この電磁波発生装置から発する電磁波が
照射され、試料を透過もしくは反射された電磁波、また
は、試料から散乱する電磁波を検出する電磁波検出器と
を有する分光分析装置において、前記電磁波検出器の周
辺部を適宜マスキング状態にできるようにしたことを特
徴とする分光分析装置。An electromagnetic wave generator for irradiating a sample with an electromagnetic wave of a specific wavelength, an electromagnetic wave emitted from the electromagnetic wave generator, and an electromagnetic wave transmitted or reflected by the sample or an electromagnetic wave scattered from the sample. A spectroscopic analyzer having a detector, wherein a peripheral portion of the electromagnetic wave detector can be appropriately masked.
つレーザ装置と、このレーザ装置から発するレーザ光が
照射され試料から発する散乱光を受ける遮光フィルタ
と、このフィルタからの光を分光する分光器と、この分
光器で分光された光を検出する光検出器とを有するレー
ザラマン分光分析装置において、光検出器の周辺部を適
宜マスキング状態にできるようにしたことを特徴とする
レーザラマン分光分析装置。2. A laser device having a specific wavelength by irradiating a sample with laser light, a light-shielding filter receiving laser light emitted from the laser device and receiving scattered light emitted from the sample, and dispersing light from the filter. In a laser Raman spectroscopic analyzer having a spectroscope and a photodetector for detecting light separated by the spectrometer, a laser Raman spectroscopic analyzer characterized in that a peripheral portion of the photodetector can be appropriately masked. apparatus.
ることを特徴とする請求項１または２に記載の分光分析
装置。3. The spectroscopic analyzer according to claim 1, wherein the electromagnetic wave or light detector is a CCD.
から出る電磁波のスペクトルを用い、測定対象成分のピ
ークの微分強度により定量的な評価を行うことを特徴と
する分光分析法。4. A spectroscopic analysis method comprising irradiating a sample with an electromagnetic wave of a specific wavelength, and performing quantitative evaluation based on a differential intensity of a peak of a component to be measured using a spectrum of the electromagnetic wave emitted from the sample.
る散乱光からラマン散乱光に濾過し、このラマン散乱光
を分光し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出し、ラ
マン散乱光のスペクトルを用いて、測定対象成分のピー
クの微分強度を求め、試料に含まれる成分物質の定量分
析を行うことを特徴とするレーザラマン分光分析法。5. A method for irradiating a sample with laser light, filtering scattered light emitted from the sample into Raman scattered light, separating the Raman scattered light, detecting the separated Raman scattered light for each wavelength, and detecting the Raman scattered light. A laser Raman spectroscopy method characterized in that a differential intensity of a peak of a component to be measured is determined using a spectrum and a component substance contained in a sample is quantitatively analyzed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239934A JP2002055044A (en) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239934A JP2002055044A (en) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002055044A true JP2002055044A (en) | 2002-02-20 |
Family
ID=18731390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000239934A Pending JP2002055044A (en) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002055044A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526774A (en) * | 2003-06-02 | 2006-11-24 | テラビュー リミテッド | Method and apparatus for quantitative analysis using terahertz radiation |
-
2000
- 2000-08-08 JP JP2000239934A patent/JP2002055044A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526774A (en) * | 2003-06-02 | 2006-11-24 | テラビュー リミテッド | Method and apparatus for quantitative analysis using terahertz radiation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Ekins | Pharmaceutical applications of Raman spectroscopy | |
| CA1127865A (en) | Method and device for analysis with color identification test paper | |
| JP6357661B2 (en) | Terahertz spectroscopy system | |
| Ayyalasomayajula et al. | Quantitative analysis of slurry sample by laser-induced breakdown spectroscopy | |
| CN103499391B (en) | Spectral measurement system | |
| JPH0231820B2 (en) | ||
| CN103499393B (en) | The measuring method of spectrum | |
| Li et al. | A novel baseline-correction method for standard addition based derivative spectra and its application to quantitative analysis of benzo (a) pyrene in vegetable oil samples | |
| JP3754581B2 (en) | Analysis method for multi-component organic solutions | |
| US7539282B2 (en) | XRF analyzer | |
| US20090273778A1 (en) | Surface enhanced resonant raman spectroscopy | |
| RU2657333C1 (en) | Integrated scintillation method of investigation of a substance with its introduction into plasma | |
| Ludwig et al. | Self-absorption in resonance Raman and Rayleigh scattering: a numerical solution | |
| US20060164638A1 (en) | Near-field film-thickness measurement apparatus | |
| JP2002055044A (en) | Spectrometric analysis apparatus and laser raman spectrometric analysis device, and spectrometric analysis method using the same | |
| JP3422725B2 (en) | An analyzer that simultaneously performs Raman spectroscopy and particle size distribution measurement | |
| WO2001036943A1 (en) | Method for estimating measurement of absorbance and apparatus for estimating measurement of absorbance | |
| JP6414407B2 (en) | Raman spectroscopic device and electronic device | |
| CN114424048A (en) | Evidence obtaining detector and system thereof | |
| JPH0414298B2 (en) | ||
| CN2874483Y (en) | X-fluorescence sulfur detector | |
| EP1521947A2 (en) | Scatter spectra method for x-ray fluorescent analysis with optical components | |
| RU2212029C1 (en) | Way of analysis of liquid biological medium in process of monitoring | |
| CN217425171U (en) | Multipurpose self-compensating optical path equipment | |
| EP4206654A1 (en) | Method and system for raman spectroscopy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |