JP2002048725A - Chip appearance inspection device - Google Patents

Chip appearance inspection device

Info

Publication number
JP2002048725A
JP2002048725A JP2000238914A JP2000238914A JP2002048725A JP 2002048725 A JP2002048725 A JP 2002048725A JP 2000238914 A JP2000238914 A JP 2000238914A JP 2000238914 A JP2000238914 A JP 2000238914A JP 2002048725 A JP2002048725 A JP 2002048725A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip component
chip
flow path
imaging
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000238914A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takuya Hara
卓也 原
Toru Ishii
徹 石井
Kazuhiro Unno
和弘 海野
Yasuaki Mizuno
保明 水野
Hiroyuki Murakami
浩之 村上
Shinobu Kawase
忍 川瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Fine Technologies Co Ltd filed Critical Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority to JP2000238914A priority Critical patent/JP2002048725A/en
Publication of JP2002048725A publication Critical patent/JP2002048725A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To properly photograph a chip part in a photographing space by means of a camera stably at a high speed. SOLUTION: This chip appearance inspection device A is constructed of an upstream side flow passage 11 matching the cross sectional shape of the chip part, a downstream side flow passage 12 facing the upstream side flow passage 11 via the photographing space R and allowing passage of the chip part, a pressure differential transferring means (suction pipe 31) transferring the chip part from the upstream side flow passage 11 to the downstream side flow passage 12 via the photographing space R by means of a pressure difference, the camera 13c arranged in accordance with the photographing space R for taking a picture of the chip part just when it popped out from the upstream side flow passage 11 to the photographing space R, and a selection mechanism A2 selecting the chip part based on the photographic result by means of the camera 13c.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ部品の外観
を検査し、その結果に応じてチップ部品を選別するチッ
プ外観検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of chip parts and selecting chip parts according to the result.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のチップ外観検査装置は、例えば、
特開平8−247740号公報または特開平11−13
2758号公報に示されていて、回転するテーブル上ま
たは直線状に移動するベルト・テーブル上にチップ部品
を載せて移動させ、これをカメラにて撮像し、その撮像
結果に基づく検査結果に応じてチップ部品を選別する機
構が採用されている。
2. Description of the Related Art A conventional chip appearance inspection apparatus is, for example,
JP-A-8-247740 or JP-A-11-13
No. 2,758, the chip component is placed on a rotating table or a linearly moving belt table and moved, and is imaged with a camera. A mechanism for selecting chip components is employed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来のチップ外観検査装置においては、チップ部品をテー
ブル上に載せて撮像するものであるため、チップ部品と
テーブルの界面が撮像に影響を及ぼす。また、チップ部
品を選別する機構が複雑であるため、トラブルが発生し
易く、安定した検査・選別が行えないおそれがある。
In the above-described conventional chip appearance inspection apparatus, since the chip component is mounted on the table and the image is taken, the interface between the chip component and the table affects the image taking. Further, since the mechanism for selecting chip components is complicated, troubles are likely to occur, and stable inspection and selection may not be performed.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記した課題
に対処すべく、当該チップ外観検査装置を、チップ部品
の断面形状に合わせた上流側流路と、この上流側流路に
対して撮像空間を隔てて対向し前記チップ部品が流通可
能な下流側流路と、前記上流側流路から前記撮像空間を
通して前記下流側流路に前記チップ部品を圧力差を利用
して移送する圧力差移送手段と、前記撮像空間に対応し
て配置され前記上流側流路から前記撮像空間に飛び出た
瞬間の前記チップ部品を撮像するカメラと、このカメラ
による撮像結果に基づいて前記チップ部品を選別する選
別機構を備える構成としたこと(請求項1に係る発明)
に特徴がある。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a chip appearance inspection apparatus which includes an upstream flow path adapted to a cross-sectional shape of a chip component, and an upstream flow path. A downstream flow path opposed to the imaging space through which the chip component can flow, and a pressure difference for transferring the chip component from the upstream flow path to the downstream flow path through the imaging space to the downstream flow path using a pressure difference. A transfer unit, a camera arranged corresponding to the imaging space and imaging the chip component at the moment when the chip component jumps out of the upstream channel into the imaging space, and selecting the chip component based on an imaging result by the camera. A configuration having a sorting mechanism (the invention according to claim 1)
There is a feature.

【0005】この場合において、前記選別機構が、前記
下流側流路の流出側に対応して設けられた供給ステーシ
ョンと、この供給ステーションに対して所定の周方向ピ
ッチにて順次設けられた複数の選別ステーションを有し
て、前記チップ部品が前記供給ステーションにて1個搬
入された後に1ピッチ回転し、前記カメラによる撮像結
果に基づく検査結果に応じて該当する選別ステーション
にて前記チップ部品を搬出する機構であること(請求項
2に係る発明)が望ましい。
In this case, the sorting mechanism includes a supply station provided corresponding to the outflow side of the downstream flow path and a plurality of supply stations sequentially provided at a predetermined circumferential pitch with respect to the supply station. Having a sorting station, the chip component is rotated by one pitch after being loaded at the supply station, and the chip component is unloaded at a corresponding sorting station according to an inspection result based on an image captured by the camera. (The invention according to claim 2).

【0006】[0006]

【発明の作用・効果】本発明によるチップ外観検査装置
(請求項1に係る発明)においては、上流側流路により
移動方向及び姿勢を定められたチップ部品を上流側流路
から撮像空間に飛び出た瞬間にカメラで撮像するもので
あり、そのときにはチップ部品の姿勢が安定しているた
め、チップ部品を姿勢が安定した状態で撮像することが
できる。また、撮像空間にて飛翔中のチップ部品をカメ
ラで撮像するものであるため、周囲環境の影響や背景の
影響(界面の影響)を除外することができて、チップ部
品を的確に撮像することができる。また、撮像部の構成
が、チップ部品の断面形状に合わせた上流側流路と、こ
れに対して撮像空間を隔てて対向する下流側流路と、上
流側流路から撮像空間を通して下流側流路にチップ部品
を圧力差を利用して移送する圧力差移送手段とからなる
シンプルな構成であるため、高速で安定した撮像を行う
ことができる。
In the chip appearance inspection apparatus according to the present invention (the invention according to claim 1), a chip component whose moving direction and posture are determined by the upstream flow path is projected from the upstream flow path into the imaging space. An image is taken with a camera at the moment when the chip component has a stable posture at that time, so that the chip component can be imaged in a stable posture. In addition, since the chip components that are flying in the imaging space are imaged by the camera, the effects of the surrounding environment and the background (the effects of the interface) can be excluded, and the chip components can be accurately imaged. Can be. Further, the configuration of the imaging unit is such that the upstream flow path conforming to the cross-sectional shape of the chip component, the downstream flow path facing the flow path through the imaging space, and the downstream flow path from the upstream flow path through the imaging space. Since it has a simple configuration including a pressure difference transfer unit that transfers a chip component to a road by utilizing a pressure difference, high-speed and stable imaging can be performed.

【0007】また、本発明によるチップ外観検査装置
(請求項2に係る発明)においては、チップ部品を選別
する選別機構が、下流側流路の流出側に対応して設けら
れた供給ステーションと、この供給ステーションに対し
て所定の周方向ピッチにて順次設けられた複数の選別ス
テーションを有して、チップ部品が供給ステーションに
て1個搬入された後に1ピッチ回転し、カメラによる撮
像結果に基づく検査結果に応じて該当する選別ステーシ
ョンにてチップ部品を搬出する機構であるため、各ステ
ーションを同一円周上に配置することができて、当該選
別機構をコンパクトに構成することができる。また、供
給ステーションに上述した圧力差移送手段を設けること
により、上流側流路から撮像空間を通して下流側流路に
移送されるチップ部品を供給ステーションにまで移送す
ることができて、カメラの撮像タイミングに基づいて選
別機構でのピッチ回転タイミングを設定することができ
る。
Further, in the chip appearance inspection apparatus according to the present invention (the invention according to claim 2), a selection mechanism for selecting chip components includes a supply station provided corresponding to the outflow side of the downstream flow path, The supply station has a plurality of sorting stations sequentially provided at a predetermined circumferential pitch. After one chip component is carried in at the supply station, the chip part rotates one pitch, and the chip component is rotated based on a result of imaging by a camera. Since the mechanism is a mechanism that unloads chip components at a sorting station corresponding to the inspection result, the stations can be arranged on the same circumference, and the sorting mechanism can be made compact. Further, by providing the above-described pressure difference transfer means in the supply station, the chip components transferred from the upstream flow path to the downstream flow path through the imaging space can be transferred to the supply station, and the imaging timing of the camera can be improved. , The pitch rotation timing in the selection mechanism can be set.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面に基づいて説明する。図1及び図2に示した本発明に
よるチップ外観検査装置Aは、周知の振動式パーツフィ
ーダBとともにベースCに組付けられている。また、チ
ップ外観検査装置Aは、パーツフィーダBの搬出口Ba
に対応して配置されていて、撮像部A1と選別機構A2
を備えている。なお、パーツフィーダBの搬出口Baに
は、0.5mm角で1.0mm長のチップ部品Wが一列
に整列した状態で順次搬送されるようになっている(図
4参照)。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The chip appearance inspection apparatus A according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 is mounted on a base C together with a well-known vibrating parts feeder B. In addition, the chip appearance inspection device A is provided with
, And the imaging unit A1 and the sorting mechanism A2
It has. Note that chip components W of 0.5 mm square and 1.0 mm length are sequentially conveyed to the carry-out exit Ba of the parts feeder B in a state of being aligned in a line (see FIG. 4).

【0009】撮像部A1は、図1〜図3に示したよう
に、上流側流路11と、下流側流路12と、上下左右4
個のCCDカメラ13a,13b,13c,13dと、
4個の照明(ストロボ)14a,14b,14c,14
dと、一対の光電センサ15a,15bを備えるととも
に、選別機構A2での圧力差移送手段をも兼ねる圧力差
移送手段としての吸引パイプ31を備えている。なお、
CCDカメラ13a,13b,13c,13dと、照明
(ストロボ)14a,14b,14c,14dと、光電
センサ15a,15bは、それぞれ制御装置(図示省
略)に接続されていて、連携作動するようになってい
る。
As shown in FIGS. 1 to 3, the imaging unit A1 includes an upstream flow path 11, a downstream flow path 12,
CCD cameras 13a, 13b, 13c, 13d,
Four illuminations (strobes) 14a, 14b, 14c, 14
d, a pair of photoelectric sensors 15a and 15b, and a suction pipe 31 as a pressure difference transfer means also serving as a pressure difference transfer means in the sorting mechanism A2. In addition,
The CCD cameras 13a, 13b, 13c, and 13d, the illuminations (strobes) 14a, 14b, 14c, and 14d, and the photoelectric sensors 15a and 15b are connected to a control device (not shown) and operate in cooperation. ing.

【0010】上流側流路11は、図3、図4及び図5に
示したように、チップ部品Wの断面形状に合わせた形状
(0.5mm角より僅かに大きい矩形形状)に形成され
ていて、流入側端部にてパーツフィーダBの搬出口Ba
に僅かな隙間Sで対向している。隙間Sは、空気の取り
込み口でもあって、1.0mm以下(チップ部品Wの長
さ以下)で0.5mm程度の隙間であり、パーツフィー
ダBの搬出口Baから送り込まれるチップ部品Wが上流
側流路11に自動的に搬入されるようになっている。
As shown in FIGS. 3, 4 and 5, the upstream flow path 11 is formed in a shape (rectangular shape slightly larger than 0.5 mm square) corresponding to the cross-sectional shape of the chip component W. At the inflow side end, the outlet Ba of the parts feeder B
At a small gap S. The gap S is also an air intake port, and is a gap of about 0.5 mm at 1.0 mm or less (less than the length of the chip component W), and the chip component W sent from the outlet Ba of the parts feeder B is upstream. It is automatically carried into the side channel 11.

【0011】下流側流路12は、上流側流路11に対し
て撮像空間Rを隔てて対向していて、流入側半分が流入
側に向けて拡開するテーパ孔形状に形成され、また流出
側半分がストレート孔形状に形成されており、チップ部
品Wが流通可能となっている。撮像空間Rは密閉空間で
あり、吸引パイプ31に空気が吸引されることによって
生じる上流側流路11から下流側流路12への空気流れ
は撮像空間Rにて直線的であり、撮像空間Rでは層流が
形成されるようになっている。上流側流路11への空気
流れは、隙間Sを通して空気が上流側流路11の流入口
に吸引されることにより生じ、上流側流路11の流入口
にパーツフィーダBの搬出口Baからチップ部品Wが送
り込まれているときには、チップ部品Wを上流側流路1
1の流出口に向けて移送する。
The downstream flow path 12 is opposed to the upstream flow path 11 with the imaging space R interposed therebetween. The downstream flow path 12 is formed in a tapered hole shape in which one half of the inflow side expands toward the inflow side. The side half is formed in a straight hole shape, and the chip component W can be distributed. The imaging space R is a closed space, and the air flow from the upstream flow path 11 to the downstream flow path 12 caused by the suction of air into the suction pipe 31 is linear in the imaging space R, In, a laminar flow is formed. The air flow to the upstream flow path 11 is generated by the air being sucked into the inlet of the upstream flow path 11 through the gap S, and the air flows into the inlet of the upstream flow path 11 from the outlet Ba of the parts feeder B to the chip. When the component W is being fed, the chip component W is transferred to the upstream channel 1.
Transfer to the 1 outlet.

【0012】各CCDカメラ13a,13b,13c,
13dは、チップ部品Wの長手方向外観4面を同時に撮
像すべく、撮像空間Rに対応して十字に配置されてい
て、上流側流路11の出口に設けた一対の光電センサ1
5a,15bがチップ部品Wの通過を検出するのをトリ
ガとして、4個の照明(ストロボ)14a,14b,1
4c,14dが同時に照射することにより、上流側流路
11から撮像空間Rに飛び出た瞬間のチップ部品Wを撮
像するようになっている。また、各CCDカメラ13
a,13b,13c,13dによる撮像結果は、制御装
置(図示省略)に送られて、同制御装置(図示省略)に
より演算処理され、これによってチップ部品Wが合格
品、判別不能品または不合格品と判定されるようになっ
ている。
Each of the CCD cameras 13a, 13b, 13c,
13d is a pair of photoelectric sensors 1 arranged at a cross corresponding to the imaging space R and provided at the exit of the upstream side flow path 11 so as to simultaneously image the four external appearances in the longitudinal direction of the chip component W.
Triggering the detection of the passage of the chip component W by the reference numerals 5a and 15b triggers four illuminations (strobes) 14a, 14b and 1
By irradiating the chips 4c and 14d simultaneously, an image of the chip component W at the moment when the chip component W jumps into the imaging space R from the upstream channel 11 is taken. In addition, each CCD camera 13
The imaging results obtained by a, 13b, 13c, and 13d are sent to a control device (not shown), and are processed by the control device (not shown). Product.

【0013】選別機構A2は、図3、図6及び図7に示
したように、CCDカメラ13a,13b,13c,1
3dによる撮像結果に基づいて制御装置(図示省略)に
より作動を制御されてチップ部品Wを選別するものであ
り、ロータ21と、このロータ21を所定のピッチ(具
体的には1ピッチ45度)にて図3の反時計方向に回転
駆動する駆動装置22と、1本の吸引パイプ31と3本
の吐出パイプ32,33,34を備えていて、8個のス
テーションST1〜ST8を有している。
As shown in FIGS. 3, 6, and 7, the sorting mechanism A2 includes CCD cameras 13a, 13b, 13c, 1
The operation is controlled by a control device (not shown) based on the imaging result by 3d to select the chip components W. The rotor 21 and the rotor 21 are arranged at a predetermined pitch (specifically, 45 degrees per pitch). 3 includes a driving device 22 that rotates in the counterclockwise direction in FIG. 3, one suction pipe 31, and three discharge pipes 32, 33, and 34, and has eight stations ST1 to ST8. I have.

【0014】ロータ21は、図6に示したように、サポ
ート23に密封状態で回転可能に組付けられていて、周
方向にて等間隔に設けられて径外方に向けて開口し下流
側流路12の内周部に選択的に連通する8個の収容凹部
21aと、これら各収容凹部21aの内周部にそれぞれ
連通する8個の径方向通気孔21bと、これら各通気孔
21bの内周部に上端にてそれぞれ連通する8個の軸方
向通気孔21cを有していて、各収容凹部21aと各径
方向通気孔21b間には空気の流通を許容しチップ部品
Wの通過を阻止して受け止める目の細かい網(図示省
略)が設けられている。
As shown in FIG. 6, the rotor 21 is rotatably mounted on the support 23 in a sealed state, is provided at equal intervals in the circumferential direction, opens radially outward, and Eight receiving recesses 21a selectively communicating with the inner peripheral portion of the flow channel 12, eight radial vent holes 21b respectively communicating with the inner peripheral portions of the respective receiving concave portions 21a, and The inner peripheral portion has eight axial ventilation holes 21c communicating with each other at the upper end, and allows air to flow between each housing recess 21a and each radial ventilation hole 21b to allow passage of the chip component W. A fine mesh (not shown) for blocking and receiving is provided.

【0015】各ステーションST1〜ST8は、図3に
示したように、周方向にて等間隔(45度間隔)に設け
られていて、下流側流路12の流出側に対応して設けら
れているステーションST1は、供給ステーションであ
り、この供給ステーションST1に対して図3の反時計
方向に90度間隔で順次設けられている3個のステーシ
ョンST3(供給ステーションST1から反時計方向に
90度の位置),ST5(供給ステーションST1から
反時計方向に180度の位置),ST7(供給ステーシ
ョンST1から反時計方向に270度の位置)は、合格
品選別ステーション、判別不能品選別ステーション、不
合格品選別ステーションである。
As shown in FIG. 3, the stations ST1 to ST8 are provided at equal intervals (45 ° intervals) in the circumferential direction, and are provided corresponding to the outflow side of the downstream flow path 12. The station ST1 is a supply station, and three stations ST3 (90 degrees counterclockwise from the supply station ST1) are sequentially provided with respect to the supply station ST1 at intervals of 90 degrees in the counterclockwise direction in FIG. Positions), ST5 (position 180 degrees counterclockwise from supply station ST1), ST7 (position 270 degrees counterclockwise from supply station ST1) are acceptable product sorting station, indistinguishable product sorting station, rejected product It is a sorting station.

【0016】供給ステーションST1では、図3に示し
たように、ロータ21に設けた軸方向通気孔21cが下
端にてサポート23に設けた縦方向通気孔23aに一致
して連通するようになっている。合格品選別ステーショ
ンST3では、ロータ21に設けた軸方向通気孔21c
が下端にてサポート23に設けた縦方向通気孔23bに
一致して連通するようになっている。判別不能品選別ス
テーションST5では、ロータ21に設けた軸方向通気
孔21cが下端にてサポート23に設けた縦方向通気孔
23cに一致して連通するようになっている。不合格品
選別ステーションST7では、ロータ21に設けた軸方
向通気孔21cが下端にてサポート23に設けた縦方向
通気孔23dに一致して連通するようになっている。
In the supply station ST1, as shown in FIG. 3, the axial ventilation holes 21c provided in the rotor 21 coincide with and communicate with the vertical ventilation holes 23a provided in the support 23 at the lower end. I have. In the accepted product selection station ST3, the axial vent 21c provided in the rotor 21
At the lower end thereof correspond to and communicate with the vertical ventilation holes 23b provided in the support 23. In the indistinguishable product sorting station ST5, the axial ventilation holes 21c provided in the rotor 21 coincide with and communicate with the vertical ventilation holes 23c provided in the support 23 at the lower end. In the rejected product selection station ST7, the axial ventilation holes 21c provided in the rotor 21 coincide with and communicate with the vertical ventilation holes 23d provided in the support 23 at the lower end.

【0017】サポート23の縦方向通気孔23aは、図
6及び図7に示したように、下端にてサポート23に設
けた横方向通気孔23eに連通していて、横方向通気孔
23eには吸引パイプ31が接続されている。サポート
23の縦方向通気孔23bは、図7に示したように、下
端にてサポート23に設けた横方向通気孔23fに連通
していて、横方向通気孔23fには吐出パイプ32が接
続されている。サポート23の縦方向通気孔23cは、
図7に示したように、下端にてサポート23に設けた横
方向通気孔23gに連通していて、横方向通気孔23g
には吐出パイプ33が接続されている。サポート23の
縦方向通気孔23dは、図7に示したように、下端にて
サポート23に設けた横方向通気孔23hに連通してい
て、横方向通気孔23hには吐出パイプ34が接続され
ている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the vertical ventilation hole 23a of the support 23 communicates with the horizontal ventilation hole 23e provided in the support 23 at the lower end. The suction pipe 31 is connected. As shown in FIG. 7, the vertical ventilation holes 23b of the support 23 communicate with the horizontal ventilation holes 23f provided in the support 23 at the lower end, and the discharge pipe 32 is connected to the horizontal ventilation holes 23f. ing. The vertical ventilation hole 23c of the support 23 is
As shown in FIG. 7, the lower end communicates with the lateral ventilation hole 23g provided in the support 23, and the lateral ventilation hole 23g
Is connected to a discharge pipe 33. As shown in FIG. 7, the vertical ventilation hole 23d of the support 23 communicates with a horizontal ventilation hole 23h provided in the support 23 at the lower end, and a discharge pipe 34 is connected to the horizontal ventilation hole 23h. ing.

【0018】吸引パイプ31は、減圧装置(図示省略)
に接続されていて、減圧装置(図示省略)にて設定した
負圧(適宜調整可能な負圧)にて常に吸引されるように
なっている。各吐出パイプ32,33,34は、それぞ
れ切換弁(図示省略)を介して加圧装置(図示省略)に
接続されていて、加圧装置(図示省略)にて設定した正
圧(適宜調整可能な正圧)の空気(加圧空気)が各切換
弁(図示省略)を介して選択的に供給されるようになっ
ている。
The suction pipe 31 is a pressure reducing device (not shown).
, And is always sucked at a negative pressure (a negative pressure that can be appropriately adjusted) set by a pressure reducing device (not shown). Each of the discharge pipes 32, 33, and 34 is connected to a pressurizing device (not shown) via a switching valve (not shown), and has a positive pressure (appropriately adjustable) set by the pressurizing device (not shown). (Positive pressure) air (pressurized air) is selectively supplied via each switching valve (not shown).

【0019】各切換弁(図示省略)は、CCDカメラ1
3a,13b,13c,13dによる撮像結果が送られ
る制御装置(図示省略)により作動を制御されるように
なっていて、CCDカメラ13a,13b,13c,1
3dによって撮像されたチップ部品Wの検査結果に応じ
て、以下の各作動が得られるようになっている。CCD
カメラ13a,13b,13c,13dによって撮像さ
れたチップ部品Wが合格品であると判定された場合に
は、同チップ部品Wが合格品選別ステーションST3に
搬送されたときに吐出パイプ32に加圧空気が供給され
て、同チップ部品Wが図3のOK位置に向けて搬出され
る。
Each switching valve (not shown) is a CCD camera 1
The operation is controlled by a control device (not shown) to which the imaging results by 3a, 13b, 13c, 13d are sent, and the CCD cameras 13a, 13b, 13c, 1
The following operations are obtained according to the inspection result of the chip component W imaged in 3d. CCD
When it is determined that the chip component W imaged by the cameras 13a, 13b, 13c, and 13d is a pass product, the discharge pipe 32 is pressurized when the chip component W is transported to the pass product selection station ST3. The air is supplied, and the chip component W is carried out toward the OK position in FIG.

【0020】また、CCDカメラ13a,13b,13
c,13dによって撮像されたチップ部品Wが判別不能
品であると判定された場合には、同チップ部品Wが判別
不能品選別ステーションST5に搬送されたときに吐出
パイプ33に加圧空気が供給されて、同チップ部品Wが
図3のGRAY位置に向けて搬出される。また、CCD
カメラ13a,13b,13c,13dによって撮像さ
れたチップ部品Wが不合格品であると判定された場合に
は、同チップ部品Wが不合格品選別ステーションST7
に搬送されたときに吐出パイプ34に加圧空気が供給さ
れて、同チップ部品Wが図3のNG位置に向けて搬出さ
れるようになっている。なお、図3のOK位置、GRA
Y位置及びNG位置には、それぞれトレイ(図示省略)
が設置されて使用される。
The CCD cameras 13a, 13b, 13
If it is determined that the chip component W imaged by c and 13d is an indistinguishable product, pressurized air is supplied to the discharge pipe 33 when the chip component W is transported to the indistinguishable product sorting station ST5. Then, the chip component W is carried out toward the GRAY position in FIG. Also, CCD
When it is determined that the chip component W imaged by the cameras 13a, 13b, 13c, 13d is a rejected product, the chip component W is rejected product selection station ST7.
When conveyed, the pressurized air is supplied to the discharge pipe 34, and the chip component W is carried out toward the NG position in FIG. Note that the OK position in FIG.
A tray (not shown) is provided at each of the Y position and the NG position.
Is installed and used.

【0021】また、選別機構A2においては、一対の光
電センサ15a,15bがチップ部品Wの通過を検出し
た後に設定時間(光電センサ15a,15b間を通過し
たチップ部品Wが、撮像空間Rと下流側流路12を通過
してロータ21の収容凹部21aに至り、収容凹部21
aにて網で受け止められるに要する時間より僅かに長い
時間)が経過した時点(チップ部品Wが供給ステーショ
ンST1にて1個搬入された後)において、制御装置
(図示省略)により作動を制御される駆動装置22がロ
ータ21を1ピッチ回転(45度回転)するようになっ
ている。
Further, in the sorting mechanism A2, after the pair of photoelectric sensors 15a and 15b detect the passage of the chip component W, a set time (the chip component W passing between the photoelectric sensors 15a and 15b moves to the imaging space R and the downstream side). After passing through the side flow path 12 and reaching the housing recess 21 a of the rotor 21, the housing recess 21 a
The operation is controlled by a control device (not shown) at a point in time when a time slightly longer than the time required to be received by the net at a is passed (after one chip component W is carried in at the supply station ST1). The driving device 22 rotates the rotor 21 by one pitch (rotates 45 degrees).

【0022】上記のように構成した本実施形態のチップ
外観検査装置Aにおいては、1個のチップ部品Wがパー
ツフィーダBの搬出口Baから選別機構A2の供給ステ
ーションST1にあるロータ21の収容凹部21aに吸
引移送されると同時に、同チップ部品Wが撮像空間Rに
てCCDカメラ13a,13b,13c,13dにより
撮像されるといった作動と、選別機構A2の供給ステー
ションST1にあるロータ21の収容凹部21aに1個
のチップ部品Wが収容された状態にてロータ21が駆動
装置22によって45度回転されるといった作動が連続
的に繰り返され、またCCDカメラ13a,13b,1
3c,13dによって撮像されたチップ部品Wの検査結
果に応じて、同チップ部品Wが合格品選別ステーション
ST3、判別不能品選別ステーションST5または不合
格品選別ステーションST7にて排出されるといった作
動が得られる。
In the chip appearance inspection apparatus A of this embodiment configured as described above, one chip component W is received from the carry-out port Ba of the parts feeder B by the accommodation recess of the rotor 21 at the supply station ST1 of the selection mechanism A2. At the same time when the chip component W is suctioned and transferred to the storage space 21a, the chip component W is imaged by the CCD cameras 13a, 13b, 13c, and 13d in the imaging space R. The operation in which the rotor 21 is rotated 45 degrees by the driving device 22 in a state where one chip component W is accommodated in 21a is continuously repeated, and the CCD cameras 13a, 13b, 1
According to the inspection result of the chip parts W imaged by 3c and 13d, an operation is obtained in which the chip parts W are discharged at the accepted goods sorting station ST3, the unidentifiable goods sorting station ST5, or the rejected goods sorting station ST7. Can be

【0023】ところで、本実施形態のチップ外観検査装
置Aにおいては、上流側流路11により移動方向及び姿
勢を定められたチップ部品Wを上流側流路11から撮像
空間Rに飛び出た瞬間にCCDカメラ13a,13b,
13c,13dで撮像するものであり、そのときにはチ
ップ部品Wの姿勢が安定しているため、チップ部品Wを
姿勢が安定した状態で撮像することができる。
In the chip appearance inspection apparatus A of this embodiment, the CCD component W whose moving direction and orientation is determined by the upstream flow path 11 jumps out of the upstream flow path 11 into the imaging space R at the moment when the CCD Cameras 13a, 13b,
Images are taken at 13c and 13d. At that time, since the attitude of the chip component W is stable, it is possible to image the chip component W in a state where the attitude is stable.

【0024】また、撮像空間Rにて飛翔中のチップ部品
WをCCDカメラ13a,13b,13c,13dで撮
像するものであるため、周囲環境の影響や背景の影響
(界面の影響)を除外することができて、チップ部品W
を的確に撮像することができる。また、撮像部A1の構
成が、チップ部品Wの断面形状に合わせた上流側流路1
1と、これに対して撮像空間Rを隔てて対向する下流側
流路12と、上流側流路11から撮像空間Rを通して下
流側流路12にチップ部品を吸引して移送する圧力差移
送手段としての吸引パイプ31とからなるシンプルな構
成であるため、高速で安定した撮像を行うことができ
る。
Since the chip components W flying in the imaging space R are imaged by the CCD cameras 13a, 13b, 13c and 13d, the influence of the surrounding environment and the influence of the background (the influence of the interface) are excluded. Can be a chip component W
Can be accurately imaged. Further, the configuration of the imaging unit A1 is such that the upstream-side flow path 1 conforms to the cross-sectional shape of the chip component W.
1, a downstream flow path 12 opposed thereto with an imaging space R interposed therebetween, and a pressure difference transfer means for sucking and transferring chip components from the upstream flow path 11 to the downstream flow path 12 through the imaging space R. Since the suction pipe 31 has a simple configuration, high-speed and stable imaging can be performed.

【0025】また、本実施形態のチップ外観検査装置A
においては、チップ部品Wを選別する選別機構A2が、
下流側流路12の流出側に対応して設けられた供給ステ
ーションST1と、この供給ステーションST1に対し
て所定の周方向ピッチにて順次設けられた複数の選別ス
テーションST2〜ST8を有して、チップ部品Wが供
給ステーションST1にて1個搬入された後に1ピッチ
回転し、CCDカメラ13a,13b,13c,13d
による撮像結果に基づく検査結果に応じて該当する選別
ステーションST3,ST5またはST7にてチップ部
品Wを搬出する機構であるため、各ステーションST1
〜ST8を同一円周上に配置することができて、当該選
別機構A2をコンパクトに構成することができる。
Further, the chip appearance inspection apparatus A of this embodiment
In, the sorting mechanism A2 for sorting chip components W
A supply station ST1 provided corresponding to the outflow side of the downstream flow path 12, and a plurality of sorting stations ST2 to ST8 sequentially provided at a predetermined circumferential pitch with respect to the supply station ST1, After one chip component W is carried in at the supply station ST1, the chip component W is rotated by one pitch, and the CCD cameras 13a, 13b, 13c, and 13d are rotated.
Is a mechanism for unloading the chip component W at the corresponding sorting station ST3, ST5 or ST7 according to the inspection result based on the imaging result of each station ST1.
To ST8 can be arranged on the same circumference, and the sorting mechanism A2 can be made compact.

【0026】また、供給ステーションST1に上述した
圧力差移送手段としての吸引パイプ31が設けられてい
て、上流側流路11から撮像空間Rを通して下流側流路
12に吸引移送されるチップ部品Wを供給ステーション
ST1にまで吸引移送することができて、CCDカメラ
13a,13b,13c,13dの撮像タイミングに基
づいて選別機構A2でのピッチ回転タイミングを設定す
ることができる。このため、チップ部品Wが供給ステー
ションST1に移送されたことを検出する必要が無い。
The supply station ST1 is provided with the above-mentioned suction pipe 31 as a pressure difference transfer means, and the chip component W sucked and transferred from the upstream flow path 11 to the downstream flow path 12 through the imaging space R. The suction transfer can be performed to the supply station ST1, and the pitch rotation timing in the selection mechanism A2 can be set based on the imaging timing of the CCD cameras 13a, 13b, 13c, and 13d. Therefore, there is no need to detect that the chip component W has been transferred to the supply station ST1.

【0027】上記実施形態においては、4個のCCDカ
メラ13a,13b,13c,13dにより、チップ部
品Wの長手方向外観4面を同時に撮像するように実施し
たが、チップ部品Wの長手方向外観の少なくとも1面を
カメラにて撮像するようにして実施することも可能であ
る。また、上記実施形態においては、空気を吸引するこ
とで圧力差を生じさせ、この圧力差を利用してチップ部
品Wを吸引移送するようにしたが、送出側の圧力を高め
て圧力差を生じさせ、この圧力差を利用してチップ部品
Wを排出移送するようにしてもよい。
In the above embodiment, the four CCD cameras 13a, 13b, 13c, and 13d are used to simultaneously image the four external appearances of the chip component W in the longitudinal direction. It is also possible to implement at least one surface with a camera. In the above embodiment, the pressure difference is generated by sucking air, and the chip component W is suction-transferred by using the pressure difference. However, the pressure difference is generated by increasing the pressure on the sending side. Then, the chip component W may be discharged and transferred using the pressure difference.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明によるチップ外観検査装置の一実施形
態を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a chip appearance inspection apparatus according to the present invention.

【図2】 図1に示したチップ外観検査装置の撮像部を
示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing an imaging unit of the chip appearance inspection device shown in FIG.

【図3】 図1に示したチップ外観検査装置の要部拡大
平面図である。
FIG. 3 is an enlarged plan view of a main part of the chip appearance inspection device shown in FIG. 1;

【図4】 図1及び図3に示した上流側流路とパーツフ
ィーダの搬出口との関係を示す拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a relationship between an upstream side flow path shown in FIGS. 1 and 3 and an outlet of a parts feeder.

【図5】 図4に示した上流側流路の流出側端面図であ
る。
FIG. 5 is an outflow side end view of an upstream side flow path shown in FIG. 4;

【図6】 図1及び図3に示したチップ外観検査装置に
おける選別機構の縦断側面図である。
FIG. 6 is a vertical sectional side view of a sorting mechanism in the chip appearance inspection device shown in FIGS. 1 and 3.

【図7】 図6の7−7線に沿った横断平面図である。FIG. 7 is a cross-sectional plan view taken along line 7-7 of FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…上流側流路、12…下流側流路、13a,13
b,13c,13d…CCDカメラ、14a,14b,
14c,14d…照明(ストロボ)、15a,15b…
光電センサ、21…ロータ、21a…収容凹部、21b
…径方向通気孔、21c…軸方向通気孔、22…駆動装
置、23…サポート、23a〜23h…通気孔、31…
吸引パイプ、32,33,34…吐出パイプ、ST1…
供給ステーション、ST3…合格品選別ステーション、
ST5…判別不能品選別ステーション、ST7…不合格
品選別ステーション、R…撮像空間、A…チップ外観検
査装置、A1…撮像部、A2…選別機構、B…パーツフ
ィーダ、Ba…パーツフィーダの搬出口、W…チップ部
品。
11: Upstream flow path, 12: Downstream flow path, 13a, 13
b, 13c, 13d ... CCD camera, 14a, 14b,
14c, 14d ... lighting (strobe), 15a, 15b ...
Photoelectric sensor, 21 ... rotor, 21a ... accommodation recess, 21b
... radial vent, 21c ... axial vent, 22 ... drive, 23 ... support, 23a to 23h ... vent, 31 ...
Suction pipe, 32, 33, 34 ... discharge pipe, ST1 ...
Supply station, ST3 ... Successful goods sorting station,
ST5: Unidentifiable product sorting station, ST7: Rejected product sorting station, R: Imaging space, A: Chip visual inspection device, A1: Imaging unit, A2: Sorting mechanism, B: Parts feeder, Ba: Loading exit of parts feeder , W ... chip parts.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 海野 和弘 静岡県浜松市青屋町283 ヤマハファイン テック株式会社内 (72)発明者 水野 保明 静岡県浜松市青屋町283 ヤマハファイン テック株式会社内 (72)発明者 村上 浩之 静岡県浜松市青屋町283 ヤマハファイン テック株式会社内 (72)発明者 川瀬 忍 静岡県浜松市青屋町283 ヤマハファイン テック株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA49 CC25 DD06 DD11 DD12 FF04 GG03 GG08 JJ03 JJ05 JJ26 PP11 QQ31 TT03 2G051 AA61 AB20 BB02 BC02 CA04 CA08 CB01 CD01 CD06 CD07 DA01 DA13  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kazuhiro Umino 283 Aoyamachi, Aoyacho, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Inside (72) Inventor Yasuaki Mizuno 283 Aoyamachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Inside Yamaha Fine Tech Co., Ltd. 72) Inventor Hiroyuki Murakami 283 Aoyacho, Hamamatsu-shi, Shizuoka Prefecture Inside Yamaha Fine Tech Co., Ltd. (72) Inventor Shinobu Kawase 283 Aoyacho, Hamamatsu-shi, Shizuoka Prefecture Yamaha Fine Tech Co., Ltd. F-term (reference) 2F065 AA49 CC25 DD06 DD11 DD12 FF04 GG03 GG08 JJ03 JJ05 JJ26 PP11 QQ31 TT03 2G051 AA61 AB20 BB02 BC02 CA04 CA08 CB01 CD01 CD06 CD07 DA01 DA13

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チップ部品の断面形状に合わせた上流側
流路と、この上流側流路に対して撮像空間を隔てて対向
し前記チップ部品が流通可能な下流側流路と、前記上流
側流路から前記撮像空間を通して前記下流側流路に前記
チップ部品を圧力差を利用して移送する圧力差移送手段
と、前記撮像空間に対応して配置され前記上流側流路か
ら前記撮像空間に飛び出た瞬間の前記チップ部品を撮像
するカメラと、このカメラによる撮像結果に基づいて前
記チップ部品を選別する選別機構を備えてなるチップ外
観検査装置。
An upstream flow path adapted to a cross-sectional shape of the chip component; a downstream flow path opposed to the upstream flow path via an imaging space and through which the chip component can flow; A pressure difference transfer unit that transfers the chip component using a pressure difference from the flow path to the downstream flow path through the imaging space, and a pressure difference transfer unit that is disposed corresponding to the imaging space and from the upstream flow path to the imaging space; A chip visual inspection device comprising: a camera for imaging the chip component at the moment when the chip component pops out; and a selection mechanism for selecting the chip component based on an imaging result of the camera.
【請求項2】 請求項1記載のチップ外観検査装置にお
いて、前記選別機構が、前記下流側流路の流出側に対応
して設けられた供給ステーションと、この供給ステーシ
ョンに対して所定の周方向ピッチにて順次設けられた複
数の選別ステーションを有して、前記チップ部品が前記
供給ステーションにて1個搬入された後に1ピッチ回転
し、前記カメラによる撮像結果に基づく検査結果に応じ
て該当する選別ステーションにて前記チップ部品を搬出
する機構であることを特徴とするチップ外観検査装置。
2. The chip visual inspection device according to claim 1, wherein said sorting mechanism is provided at a supply station corresponding to an outflow side of said downstream flow path, and a predetermined circumferential direction with respect to said supply station. It has a plurality of sorting stations sequentially provided at a pitch, rotates one pitch after the chip component is carried in one at the supply station, and corresponds to an inspection result based on an imaging result by the camera. A chip appearance inspection device, which is a mechanism for carrying out the chip component at a sorting station.
JP2000238914A 2000-08-07 2000-08-07 Chip appearance inspection device Pending JP2002048725A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000238914A JP2002048725A (en) 2000-08-07 2000-08-07 Chip appearance inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000238914A JP2002048725A (en) 2000-08-07 2000-08-07 Chip appearance inspection device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002048725A true JP2002048725A (en) 2002-02-15

Family

ID=18730541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000238914A Pending JP2002048725A (en) 2000-08-07 2000-08-07 Chip appearance inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002048725A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3846532B2 (en) Tablet side surface inspection device and tablet appearance inspection device using the side surface inspection device
TW200902955A (en) Appearance inspecting apparatus
TW200900682A (en) Apparatus for transferring subject to be inspected and appearance inspecting apparatus
JP2004233295A (en) Minute object inspection device
JP2000266521A (en) Visual inspection device
KR20140044700A (en) Apparatus for inspecting appearance of drugs
JP6978970B2 (en) Printing equipment and printing method
JP4121319B2 (en) Polyhedral inspection feeder
JP2000097865A (en) Appearance inspecting device for tablet
TW202103807A (en) Granular material processing device and granular material processing method
JP2019063746A (en) Hue selector
TW202023517A (en) Granular material transporting apparatus and granular material treating apparatus
JP3464990B2 (en) Small object inspection equipment
JP2002048725A (en) Chip appearance inspection device
JP4176390B2 (en) Transport device
TW202110416A (en) Transport processing device and transport processing method
JP7336000B2 (en) Particulate matter processing device and particulate matter processing method
JP2004138429A (en) Visual inspection device of flat tablet
JP7023216B2 (en) Tablet printing equipment
JP2000213922A (en) Visual inspection device for micro substance
KR102257955B1 (en) Apparatus for inspecting appearance of small articles
JP2000162136A (en) Granular body inspecting processing device
JP2007263913A (en) Visual inspection device for tablet or like
JPH10170446A (en) Mechanism for changing attitude of tablet and visual inspection apparatus for tablet
JP6804571B2 (en) Granule processing equipment and granular material processing method