JP2002040319A - Polygon mirror system - Google Patents
Polygon mirror systemInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数または１種類
のレーザ光を使用する多面鏡システムにより、レーザ光
が鏡間で往復する光路を発生させ、この光路に原子、分
子、液体、固体、プラズマ、粒子ビーム等を導入して光
励起、光電離、光解離、光分解、光合成、光生成、光分
析等を行う装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polygon mirror system using a plurality of or one kind of laser light to generate an optical path in which laser light reciprocates between mirrors. The present invention relates to an apparatus for performing photoexcitation, photoionization, photodissociation, photodecomposition, photosynthesis, light generation, optical analysis, and the like by introducing plasma, a particle beam, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザ光を蓄える方法において、多数の
曲面鏡間に光を往復させ、その光路を重ねることによっ
て、光強度の強い空間や時間領域を作り、光と、ガス
流、加速された粒子ビームあるいは液体・固体物質との
相互作用を強めることを可能とするために、多面鏡シス
テムを利用する方法が考えられる。2. Description of the Related Art In a method of storing laser light, light is reciprocated between a large number of curved mirrors and the optical paths are overlapped to create a space or a time region where the light intensity is high. In order to be able to enhance the interaction with the particle beam or liquid / solid material, a method using a polygon mirror system is conceivable.
【０００３】図４は従来の多面鏡システムの構成を示す
図であって、（Ａ）は多数の曲面鏡を備えた支持プレー
トの構成を示す正面図、（Ｂ）は相対する１対の支持プ
レート間を往復する光路を示す側面図である。図４
（Ａ）に示したように、相対する１対の支持プレート３
には、それぞれ所定の円周上に多数の曲面鏡１が配置さ
れ、同一円周上にレーザ光入・出射用の穴６が形成され
ている。また、前記曲面鏡１にはそれぞれ姿勢調整機構
２０が配設され、各曲面鏡１ごとに光軸調整（アライメ
ント）を行えるように構成されている。FIG. 4 is a view showing the configuration of a conventional polygon mirror system. FIG. 4A is a front view showing the configuration of a support plate provided with a large number of curved mirrors, and FIG. It is a side view which shows the optical path which reciprocates between plates. FIG.
As shown in (A), a pair of opposing support plates 3
Are provided with a large number of curved mirrors 1 on a predetermined circumference, and holes 6 for laser beam input / emission are formed on the same circumference. The curved mirrors 1 are each provided with a posture adjusting mechanism 20 so that the optical axis can be adjusted (aligned) for each curved mirror 1.
【０００４】このような構成を有する従来の多面鏡シス
テムにおいては、多数の曲面鏡１を配置した１対の支持
プレート３を向かい合わせて配置し、２枚の支持プレー
ト３，３間でレーザ光を往復させ、その往復毎に曲面鏡
を代え、その光路をずらすことにより、光路の包絡面に
より、その軸上に光の強い領域、光の柱を作ることがで
きるように構成されている。In a conventional polygon mirror system having such a configuration, a pair of support plates 3 on which a large number of curved mirrors 1 are disposed are arranged to face each other, and a laser beam is applied between the two support plates 3. Is reciprocated, the curved mirror is changed for each reciprocation, and the optical path is shifted, so that a strong light area and a light column can be formed on the axis by the envelope of the optical path.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような構成を有する従来の多面鏡システムには、以下
に述べるような問題点があった。すなわち、図４（Ａ）
に示したように、従来の多面鏡システムでは、多数の曲
面鏡１のそれぞれに姿勢調整機構２０を設け、１個づつ
光軸調整（アライメント）を実施していたため、光軸ず
れを自動補正するシステムを組む場合には、それぞれの
曲面鏡ごとにレーザ光位置を検知するセンサを設ける必
要があり、曲面鏡の２倍の数の軸を制御しなければなら
なかった。例えば、図４（Ａ）に示したように、一つの
支持プレート３に曲面鏡１が７個配設されている場合に
は、センサが１４個、制御軸数が２８個となっていた。However, the conventional polygon mirror system having the above-described configuration has the following problems. That is, FIG.
As described above, in the conventional polygon mirror system, the posture adjusting mechanism 20 is provided for each of the large number of curved mirrors 1 and the optical axis adjustment (alignment) is performed one by one. Therefore, the optical axis deviation is automatically corrected. When constructing a system, it is necessary to provide a sensor for detecting the laser beam position for each curved mirror, and it is necessary to control twice as many axes as the curved mirror. For example, as shown in FIG. 4A, when seven curved mirrors 1 are provided on one support plate 3, the number of sensors is 14 and the number of control axes is 28.
【０００６】また、プロセス応用としては、この多面鏡
システムを真空容器内に配置するのが一般的であるた
め、各曲面鏡１の姿勢調整をリモート操作にする必要が
あり、構成が複雑になるだけでなく、コストも増大して
いた。さらに、周囲の温度変化に伴い、真空容器の微小
変形による光軸ずれの影響も極力少なくすることが望ま
れていた。Further, as a process application, since the polygon mirror system is generally arranged in a vacuum vessel, it is necessary to remotely control the attitude of each curved mirror 1, which complicates the configuration. Not only that, the cost was also increasing. Further, it has been desired that the influence of the optical axis shift due to the minute deformation of the vacuum container be reduced as much as possible with the change in the surrounding temperature.
【０００７】本発明は、上述したような従来技術の問題
点を解決するために提案されたものであり、その目的
は、多面鏡システムの光軸アライメントを容易にすると
共に、リモートアライメントシステムを組む場合に、大
幅なコストダウンを図ることができる多面鏡システムを
提供することにある。The present invention has been proposed to solve the problems of the prior art as described above, and has as its object to facilitate the alignment of the optical axis of a polygon mirror system and to assemble a remote alignment system. In such a case, it is an object of the present invention to provide a polygon mirror system capable of achieving a great cost reduction.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、所定個数のミラーを円
周上に固定配置した一対の多面鏡プレートを、回転とあ
おりの２軸の姿勢調整機構を介して、相対する１対の支
持プレート上に対向配置し、前記回転とあおりの２軸の
回転中心が前記ミラーを配置した円の中心に一致するよ
うに構成したことを特徴とするものである。上記の構成
を有する請求項１に記載の発明によれば、多面鏡プレー
ト毎に回転とあおりの姿勢調整機構を設け、調整の回転
中心はミラーを配置した円周の中心位置とすることによ
り、光軸調整の軸数を最小化し、アライメントを容易に
できる。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a pair of polygon mirror plates having a predetermined number of mirrors fixedly arranged on a circumference are rotated and tilted. The two-axis attitude adjusting mechanism is arranged so as to be opposed to a pair of support plates facing each other, and the rotation center of the two axes of rotation and tilt is aligned with the center of a circle on which the mirror is arranged. It is characterized by the following. According to the invention as set forth in claim 1 having the above configuration, a rotation and tilt attitude adjustment mechanism is provided for each polygon mirror plate, and the center of rotation of the adjustment is set at the center position of the circumference where the mirror is arranged. The number of axes for optical axis adjustment can be minimized, and alignment can be facilitated.
【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の多面鏡システムにおいて、前記ミラーが、前記多面鏡
プレートにそれぞれ所定の角度および精度で固定配置さ
れていることを特徴とするものである。上記の構成を有
する請求項２に記載の発明によれば、各多面鏡プレート
上のそれぞれの曲面鏡のアライメントレス化を達成する
ことができる。According to a second aspect of the present invention, in the polygonal mirror system according to the first aspect, the mirror is fixedly arranged on the polygonal mirror plate at a predetermined angle and accuracy. It is. According to the second aspect of the invention having the above configuration, it is possible to achieve alignmentlessness of each curved mirror on each polygon mirror plate.
【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の多面鏡システムにおいて、前記多面鏡プレートと前記
支持プレートの中心に穴を明けたことを特徴とするもの
である。上記の構成を有する請求項３に記載の発明によ
れば、電子ビーム等の軌道上に多面鏡システムを配置
し、レーザ光の集光位置で光反応を起こすことができ
る。According to a third aspect of the present invention, in the polygon mirror system according to the first aspect, a hole is formed at the center between the polygon mirror plate and the support plate. According to the third aspect of the present invention having the above configuration, the polygonal mirror system can be arranged on the trajectory of the electron beam or the like, and a photoreaction can be caused at the condensing position of the laser beam.
【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
の多面鏡システムにおいて、前記相対する１対の支持プ
レートを、３本以上のロッドで固定し、前記ロッドの長
さで支持プレートの間隔を調整するように構成したこと
を特徴とするものである。上記の構成を有する請求項４
に記載の発明によれば、光軸ずれの起こりにくいシステ
ムを提供できる。According to a fourth aspect of the present invention, in the polygon mirror system according to the first aspect, the pair of opposed support plates are fixed by three or more rods, and the length of the support plate is set to the length of the rods. Are adjusted to adjust the interval between the two. Claim 4 having the above configuration.
According to the invention described in (1), it is possible to provide a system in which optical axis shift is unlikely to occur.
【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の多面鏡システムにおいて、前記ロッドが、線膨張係数
の小さい材料から構成されていることを特徴とするもの
である。上記の構成を有する請求項５に記載の発明によ
れば、周囲の温度変化に対してアライメントずれの起こ
りにくいシステムを提供できる。According to a fifth aspect of the present invention, in the polygon mirror system according to the fourth aspect, the rod is made of a material having a small linear expansion coefficient. According to the fifth aspect of the present invention having the above configuration, it is possible to provide a system in which misalignment hardly occurs due to a change in ambient temperature.
【００１３】請求項６に記載の発明は、請求項４に記載
の多面鏡システムにおいて、前記相対する１対の支持プ
レートが３つの支持点で支持され、第１の支持点は回転
のみ自由な支持点、第２の支持点は回転と前記ロッドに
垂直方向にのみ自由な支持点、第３の支持点は回転と前
記ロッドに平行方向にのみ自由な支持点とされているこ
とを特徴とするものである。上記の構成を有する請求項
６に記載の発明によれば、真空容器の温度変化による微
小変形の影響を受けにくい多面鏡システムを達成でき
る。According to a sixth aspect of the present invention, in the polygon mirror system according to the fourth aspect, the pair of opposing support plates are supported at three support points, and the first support point is free to rotate only. The support point, the second support point is a support point that is free only in the rotation and the direction perpendicular to the rod, and the third support point is a free support point only in the direction parallel to the rotation and the rod. Is what you do. According to the invention described in claim 6 having the above configuration, it is possible to achieve a polygon mirror system that is not easily affected by minute deformation due to a temperature change of the vacuum vessel.
【００１４】請求項７に記載の発明は、請求項１に記載
の多面鏡システムにおいて、出力光の一部を分光し、そ
の光の位置をセンサでモニターし、その分光光位置が常
に一定の位置にくるように、前記１対の多面鏡プレート
の姿勢調整機構をコンピューター制御するように構成し
たことを特徴とするものである。上記の構成を有する請
求項７に記載の発明によれば、周囲の温度変化等により
光軸ずれが発生しても、自動的にアライメントずれを補
正するシステムを提供できる。According to a seventh aspect of the present invention, in the polygon mirror system according to the first aspect, a part of the output light is dispersed, the position of the light is monitored by a sensor, and the position of the spectral light is always constant. The position adjusting mechanism of the pair of polygon mirror plates is controlled by a computer so as to be located at a position. According to the seventh aspect of the present invention having the above configuration, it is possible to provide a system for automatically correcting an alignment shift even if an optical axis shift occurs due to a change in ambient temperature or the like.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る多面鏡システ
ムの実施の形態（以下、実施形態という）について、図
１乃至図３を参照して具体的に説明する。なお、図４に
示した従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説
明は省略する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a polygon mirror system according to the present invention (hereinafter, referred to as embodiments) will be specifically described with reference to FIGS. The same members as those of the conventional type shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００１６】（１）第１実施形態 （構成）図１は、本実施形態における支持プレート内の
構成を示す正面図である。すなわち、所定の円周上に多
数の曲面鏡１を配置した多面鏡プレート２が、水平方向
調整機構４及び垂直方向調整機構５を介して支持プレー
ト３に取り付けられ、この多面鏡プレート２の姿勢を２
軸で調整できるようになっている。また、多面鏡プレー
ト２に配設された曲面鏡１は、多面鏡プレート２に対し
てそれぞれ所定の角度および位置精度で固定配置されて
いる。さらに、支持プレート３と多面鏡プレート２の中
心には穴８が明けられており、また、前記所定の円周上
（ミラーサークル上）の１点にもレーザ光入・出射用の
穴６が明けられている。(1) First Embodiment (Configuration) FIG. 1 is a front view showing a configuration inside a support plate in the present embodiment. That is, a polygon mirror plate 2 having a large number of curved mirrors 1 arranged on a predetermined circumference is attached to a support plate 3 via a horizontal adjustment mechanism 4 and a vertical adjustment mechanism 5, and the posture of the polygon mirror plate 2 is set. 2
Adjustable by axis. The curved mirror 1 disposed on the polygon mirror plate 2 is fixedly arranged at a predetermined angle and position accuracy with respect to the polygon mirror plate 2. Further, a hole 8 is formed at the center of the support plate 3 and the polygon mirror plate 2, and a hole 6 for inputting and emitting laser light is also provided at one point on the predetermined circumference (on the mirror circle). It has been opened.
【００１７】図２は、本実施形態における多面鏡システ
ムの全体構成を示す斜視図である。すなわち、相対する
１対の支持プレート３，３間が、それぞれ支持プレート
の四隅に取り付けられた４本のロッド７で固定され、両
支持プレート３，３の間隔はロッド７の長さで調整され
ている。なお、このロッド７の材料としては、インバー
等の線膨張係数の小さいものを用いることが望ましい。FIG. 2 is a perspective view showing the overall configuration of the polygon mirror system according to the present embodiment. That is, the pair of opposing support plates 3 is fixed by four rods 7 attached to the four corners of the support plate, and the interval between the two support plates 3 is adjusted by the length of the rod 7. ing. It is desirable to use a material having a small linear expansion coefficient such as invar as a material of the rod 7.
【００１８】また、上記１対の支持プレートユニットは
３点で支持されており、一方の支持プレート３ａには、
第１の支持点ａ及び第２の支持点ｂが設けられ、他方の
支持プレート３ｂには、第３の支持点ｃが設けられてい
る。なお、前記第１の支持点ａは回転のみ自由な支持
点、第２の支持点ｂは回転とロッドに垂直方向のみ自由
な支持点、第３の支持点ｃは回転とロッドに平行方向に
のみ自由な支持点とされたトラス構造となっている。The pair of support plate units are supported at three points, and one of the support plates 3a has
A first support point a and a second support point b are provided, and a third support point c is provided on the other support plate 3b. The first support point a is a support point free only for rotation, the second support point b is a support point free only for rotation and a direction perpendicular to the rod, and the third support point c is a support point free for rotation and parallel to the rod. It has a truss structure with only free support points.
【００１９】（作用・効果）以上のような構成を有する
本実施形態の多面鏡システムの作用・効果は以下の通り
である。すなわち、曲面鏡１を機械精度で多面鏡プレー
ト２に固定配置することにより、個々のアライメントが
不要となり、多面鏡プレート２の回転とあおりの２軸の
調整だけで光軸アライメントが可能となる。これにより
アライメント作業時間の大幅な短縮と簡略化が可能とな
る。また、支持プレート３と多面鏡プレート２の中心に
穴８を明けることにより、電子ビーム等の軌道上に多面
鏡システムを配置し、レーザ光の集光位置で光反応を起
こすことができる。(Operation / Effect) The operation / effect of the polygon mirror system of the present embodiment having the above configuration is as follows. That is, since the curved mirror 1 is fixedly arranged on the polygon mirror plate 2 with mechanical accuracy, individual alignment is not required, and the optical axis alignment can be performed only by adjusting the two axes of rotation and tilt of the polygon mirror plate 2. This makes it possible to greatly shorten and simplify the alignment operation time. By drilling a hole 8 at the center between the support plate 3 and the polygon mirror plate 2, the polygon mirror system can be arranged on the trajectory of an electron beam or the like, and a photoreaction can be caused at the laser beam focusing position.
【００２０】さらに、支持プレート３を４本の線膨張係
数の小さなロッド７で固定することにより、ロッド７の
長さを調整することで、一対の支持プレート３，３の間
隔を管理することが可能となり、温度変化に対して光軸
ずれの起こりにくいシステムを達成できる。Further, by fixing the support plate 3 with four rods 7 having a small linear expansion coefficient, the distance between the pair of support plates 3 and 3 can be controlled by adjusting the length of the rod 7. This makes it possible to achieve a system in which the optical axis shift is less likely to occur due to a temperature change.
【００２１】また、相対する１対の支持プレートが３つ
の支持点で支持されたトラス構造とされているが、固定
ベースが温度変化等により微小変形した場合に、支持プ
レート３の面方向のずれに対しては第２の支持点ｂで調
整し、ロッド７方向のずれに対しては第３の支持点ｃで
調整することができるため、固定ベースの微小変化の影
響を多面鏡システムに伝えることなく、アライメントず
れの起こりにくいシステムが達成できる。Further, the truss structure has a pair of opposing support plates supported by three support points. However, when the fixed base is slightly deformed due to a temperature change or the like, the support plate 3 shifts in the plane direction. Can be adjusted at the second support point b, and the displacement in the direction of the rod 7 can be adjusted at the third support point c, so that the influence of a minute change in the fixed base is transmitted to the polygon mirror system. Thus, a system in which misalignment hardly occurs can be achieved.
【００２２】（２）第２実施形態 （構成）図３は、本実施形態におけるシステム構成図を
示したものである。すなわち、レーザ発振器１１から出
たレーザ光は多面鏡ユニット１２を収納した真空容器１
３に導かれ、多面鏡ユニット１２で光反応を行った後、
真空容器１３の外に設けられたビームスプリッター１４
で分光され、その一方がセンサ１５に導かれるように構
成されている。なお、初期設定として、光軸アライメン
トが合っている状態で、レーザ光がセンサ１５の中心に
当たるように配置しておく。(2) Second Embodiment (Configuration) FIG. 3 shows a system configuration diagram in the present embodiment. That is, the laser light emitted from the laser oscillator 11 is applied to the vacuum vessel 1 containing the polygon mirror unit 12.
After being led to 3 and performing a photoreaction with the polygon mirror unit 12,
Beam splitter 14 provided outside vacuum vessel 13
, One of which is guided to the sensor 15. Note that, as an initial setting, the laser beam is arranged so as to hit the center of the sensor 15 in a state where the optical axis is aligned.
【００２３】そして、前記センサ１５によりモニターさ
れたレーザ光の位置情報がコンピュータ１６に送られ、
その情報がアクチュエータコントローラ１７にフィード
バックされ、さらに、信号ケーブル１８を介して、真空
容器１３内に収納された多面鏡ユニット１２を構成する
一対の支持プレート３，３に送られるように構成され、
常にレーザ光がセンサ１５の中心にくるように、多面鏡
プレート２の姿勢をリモート制御できるようになってい
る。The position information of the laser beam monitored by the sensor 15 is sent to a computer 16 and
The information is fed back to the actuator controller 17, and further sent to a pair of support plates 3, 3 constituting the polygon mirror unit 12 housed in the vacuum vessel 13 via a signal cable 18,
The posture of the polygon mirror plate 2 can be remotely controlled so that the laser beam always comes to the center of the sensor 15.
【００２４】（作用・効果）以上のような構成を有する
本実施形態の多面鏡システムの作用・効果は以下の通り
である。すなわち、上述したように従来の多面鏡ユニッ
トでは、それぞれの曲面鏡１を姿勢調整していたため、
光軸ずれを自動補正するシステムを組む場合は、それぞ
れの曲面鏡ごとにレーザ光位置を検知するセンサを設け
る必要があり、曲面鏡の２倍の数の軸を制御しなければ
ならなかった。(Operation / Effect) The operation / effect of the polygon mirror system of the present embodiment having the above configuration is as follows. That is, as described above, in the conventional polygon mirror unit, the posture of each curved mirror 1 is adjusted, so that
When a system for automatically correcting the optical axis deviation is set up, it is necessary to provide a sensor for detecting the laser beam position for each curved mirror, and it is necessary to control twice as many axes as the curved mirror.
【００２５】これに対して、本実施形態の多面鏡システ
ムでは、多面鏡ユニットの光軸ずれは出口光の位置ずれ
を検知すれば良く、センサは１個、制御軸数は４個（２
軸×２）で済むため、ハード費用の大幅なコストダウン
が可能となる。また、制御ソフトのアルゴリズムも非常
に単純となり、信頼性の高いシステムを組むことができ
る。これにより、周囲の温度変化等により光軸ずれが発
生しても、自動的にアライメントずれを補正することが
できるシステムを達成できる。On the other hand, in the polygonal mirror system of the present embodiment, the optical axis deviation of the polygonal mirror unit only needs to detect the positional deviation of the exit light, and the number of control axes is four (2).
Since the number of axes is only 2), it is possible to significantly reduce hardware costs. Also, the algorithm of the control software becomes very simple, and a highly reliable system can be constructed. As a result, it is possible to achieve a system that can automatically correct the alignment deviation even if the optical axis deviation occurs due to a change in ambient temperature or the like.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多面鏡システムの光軸アライメントを容易にすると共
に、リモートアライメントシステムを組む場合に、大幅
なコストダウンを図ることができる多面鏡システムを提
供することができる。As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a polygon mirror system that facilitates optical axis alignment of the polygon mirror system and can greatly reduce the cost when assembling a remote alignment system.
【図１】本発明に係る多面鏡システムの第１実施形態に
おける支持プレート内の構成を示す正面図FIG. 1 is a front view showing a configuration inside a support plate in a first embodiment of a polygon mirror system according to the present invention.
【図２】第１実施形態における多面鏡システムの全体構
成を示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing an overall configuration of a polygon mirror system according to the first embodiment.
【図３】本発明に係る多面鏡システムの第２実施形態に
おけるシステム構成図FIG. 3 is a system configuration diagram of a polygon mirror system according to a second embodiment of the present invention.
【図４】従来の多面鏡システムの構成を示す図であっ
て、（Ａ）は支持プレートの構成を示す正面図、（Ｂ）
は相対する１対の支持プレート間を往復する光路を示す
側面図4A and 4B are diagrams showing a configuration of a conventional polygon mirror system, wherein FIG. 4A is a front view showing a configuration of a support plate, and FIG.
Is a side view showing an optical path reciprocating between a pair of opposing support plates.
１…曲面鏡 ２…多面鏡プレート ３…支持プレート ４…水平方向調整機構 ５…垂直方向調整機構 ６…レーザ光入・出射用穴 ７…ロッド ８…穴 １１…レーザ発振器 １２…多面鏡ユニット １３…真空容器 １４…ビームスプリッター １５…センサ １６…コンピューター １７…アクチュエータコントローラ １８…信号ケーブル ２０…姿勢調整機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Curved mirror 2 ... Polygon mirror plate 3 ... Support plate 4 ... Horizontal direction adjustment mechanism 5 ... Vertical direction adjustment mechanism 6 ... Hole for laser beam input / output 7 ... Rod 8 ... Hole 11 ... Laser oscillator 12 ... Polygon mirror unit 13 ... Vacuum container 14 ... Beam splitter 15 ... Sensor 16 ... Computer 17 ... Actuator controller 18 ... Signal cable 20 ... Position adjustment mechanism
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Claims (7)
た一対の多面鏡プレートを、回転とあおりの２軸の姿勢
調整機構を介して、相対する１対の支持プレート上に対
向配置し、前記回転とあおりの２軸の回転中心が前記ミ
ラーを配置した円の中心に一致するように構成したこと
を特徴とする多面鏡システム。1. A pair of polygon mirror plates, each having a predetermined number of mirrors fixedly arranged on a circumference, are opposed to a pair of support plates facing each other via a biaxial attitude adjustment mechanism for rotation and tilt. A polygonal mirror system, wherein the center of rotation of the two axes of rotation and tilting coincides with the center of a circle on which the mirror is arranged.
れぞれ所定の角度および精度で固定配置されていること
を特徴とする請求項１に記載の多面鏡システム。2. The polygon mirror system according to claim 1, wherein the mirror is fixedly arranged on the polygon mirror plate at a predetermined angle and accuracy, respectively.
の中心に穴を明けたことを特徴とする請求項１に記載の
多面鏡システム。3. The polygon mirror system according to claim 1, wherein a hole is formed in the center between the polygon mirror plate and the support plate.
本以上のロッドで固定し、前記ロッドの長さで支持プレ
ートの間隔を調整するように構成したことを特徴とする
請求項１に記載の多面鏡システム。4. The method according to claim 1, wherein the pair of opposing support plates is
2. The polygon mirror system according to claim 1, wherein the polygon mirror is fixed with at least two rods, and the distance between the support plates is adjusted by the length of the rod. 3.
から構成されていることを特徴とする請求項４に記載の
多面鏡システム。5. The polygon mirror system according to claim 4, wherein the rod is made of a material having a small coefficient of linear expansion.
の支持点で支持され、第１の支持点は回転のみ自由な支
持点、第２の支持点は回転と前記ロッドに垂直方向にの
み自由な支持点、第３の支持点は回転と前記ロッドに平
行方向にのみ自由な支持点とされていることを特徴とす
る請求項４に記載の多面鏡システム。6. The pair of opposing support plates are supported at three support points, a first support point is a support point that is free to rotate only, and a second support point is only in a direction perpendicular to the rotation and the rod. The polygon mirror system according to claim 4, wherein the free support point and the third support point are free support points only in a direction parallel to the rotation and the rod.
センサでモニターし、その分光光位置が常に一定の位置
にくるように、前記１対の多面鏡プレートの姿勢調整機
構をコンピューター制御するように構成したことを特徴
とする請求項１に記載の多面鏡システム。7. A part of the output light is dispersed, a position of the light is monitored by a sensor, and a posture adjusting mechanism of the pair of polygon mirror plates is arranged so that the position of the divided light is always at a fixed position. The polygon mirror system according to claim 1, wherein the polygon mirror system is configured to be controlled by a computer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000220151A JP2002040319A (en) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | Polygon mirror system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000220151A JP2002040319A (en) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | Polygon mirror system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002040319A true JP2002040319A (en) | 2002-02-06 |
Family
ID=18714805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000220151A Pending JP2002040319A (en) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | Polygon mirror system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002040319A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10113955B2 (en) | 2015-11-25 | 2018-10-30 | Unisearch Associates Inc. | Gas cell for absorption spectroscopy |
| EP2993461B1 (en) * | 2014-09-07 | 2019-12-18 | Unisearch Associates Inc. | Gas cell assembly for absorption spectroscopy |
-
2000
- 2000-07-21 JP JP2000220151A patent/JP2002040319A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2993461B1 (en) * | 2014-09-07 | 2019-12-18 | Unisearch Associates Inc. | Gas cell assembly for absorption spectroscopy |
| US10113955B2 (en) | 2015-11-25 | 2018-10-30 | Unisearch Associates Inc. | Gas cell for absorption spectroscopy |
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