JP2002039181A - Static pressure gas bearing spindle - Google Patents

Static pressure gas bearing spindle

Info

Publication number
JP2002039181A
JP2002039181A JP2000217579A JP2000217579A JP2002039181A JP 2002039181 A JP2002039181 A JP 2002039181A JP 2000217579 A JP2000217579 A JP 2000217579A JP 2000217579 A JP2000217579 A JP 2000217579A JP 2002039181 A JP2002039181 A JP 2002039181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
main shaft
spindle
hydrostatic gas
thrust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000217579A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shoji Fujii
章二 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP2000217579A priority Critical patent/JP2002039181A/en
Publication of JP2002039181A publication Critical patent/JP2002039181A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent, using a simple means, fragments of a bearing sleeve from scattering even if the sleeve is chipped when exerted with great impact on contact with a bearing. SOLUTION: The static pressure gas bearing spindle comprises a main spindle 1, a journal bearing part 7 for rotatably and radially supporting the main spindle 1 against housings 5 and 6, and thrust bearing parts 8 and 9 positioned in opposite relationship on both sides of a thrust plate 2 provided collectively with the main spindle 1, the thrust bearing parts axially supporting the main spindle 1. A compressed gas is ejected into the journal bearing part 7 and the thrust bearing parts 8 and 9 whereby the main spindle 1 is kept out of contact. The journal bearing part 7 opposite to the main spindle 1 is formed from a self- lubricating brittle material such as graphite or ceramics, and a closure means such as a wall 30 is provided to prevent exposure of the journal bearing part 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は静圧気体軸受スピン
ドルに関し、例えば、穴加工機、精密加工機、静電塗装
機などに組み込まれ、主軸を静圧気体軸受で非接触支持
する静圧気体軸受スピンドルに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydrostatic gas bearing spindle, for example, a hydrostatic gas which is incorporated in a hole drilling machine, a precision processing machine, an electrostatic coating machine, etc., and in which a main shaft is supported in a non-contact manner by a hydrostatic gas bearing. Related to bearing spindle.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は、駆動手段にエアタービンを用い
た静圧気体軸受スピンドルの従来例を示す。このスピン
ドルは、主軸1のスラスト板2の外周に設けられた複数
の凹部3に、それら凹部3と対向する部位に配設された
タービンノズル4から圧縮空気を吹き付けることにより
主軸1を回転させるものである。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a conventional example of a hydrostatic gas bearing spindle using an air turbine as a driving means. This spindle rotates the main shaft 1 by blowing compressed air to a plurality of concave portions 3 provided on the outer periphery of a thrust plate 2 of the main shaft 1 from a turbine nozzle 4 provided at a portion facing the concave portions 3. It is.

【0003】主軸1およびその主軸1に連設されたスラ
スト板11は、ハウジング5,6に形成されたジャーナ
ル軸受部7及びスラスト軸受部8,9によりハウジング
5,6に対して非接触で回転自在に支持されている。
A main shaft 1 and a thrust plate 11 connected to the main shaft 1 are rotated in a non-contact manner with respect to the housings 5 and 6 by journal bearings 7 and thrust bearings 8 and 9 formed in the housings 5 and 6. It is freely supported.

【0004】また、ジャーナル軸受部7およびスラスト
軸受部8は、ほぼ円筒状のハウジング5に、自己潤滑性
に優れた黒鉛などの脆性材料により形成された軸受スリ
ーブ10が、焼嵌め、圧入又は接着などの適宜の手段に
より嵌合固定されて構成されている。同様に、スラスト
軸受部9は、前記ハウジング5の端部に一体に結合され
た円形蓋状のハウジング6に、自己潤滑性に優れた黒鉛
などの脆性材料により形成された軸受板11が、焼嵌
め、圧入又は接着などの適宜の手段により嵌合固定され
て構成されている。これらジャーナル軸受部7およびス
ラスト軸受部8,9の軸受スリーブ10および軸受板1
1には、複数の微細なジャーナル軸受ノズル12および
スラスト軸受ノズル13,14が配設されている。
The journal bearing portion 7 and the thrust bearing portion 8 are formed by shrink-fitting, press-fitting or bonding a bearing sleeve 10 made of a brittle material such as graphite having excellent self-lubricating properties to a substantially cylindrical housing 5. It is configured to be fitted and fixed by appropriate means such as. Similarly, the thrust bearing portion 9 is formed by mounting a bearing plate 11 made of a brittle material having excellent self-lubricating properties, such as graphite, on a circular lid-shaped housing 6 integrally joined to the end of the housing 5. It is configured to be fitted and fixed by appropriate means such as fitting, press-fitting or adhesion. The bearing sleeve 10 and the bearing plate 1 of the journal bearing 7 and the thrust bearings 8 and 9
1, a plurality of fine journal bearing nozzles 12 and thrust bearing nozzles 13 and 14 are provided.

【0005】給気口15より供給された圧縮空気は、空
気通路16,17,18を経由して円周溝19,20に
供給され、軸受スリーブ10のジャーナル軸受部7のジ
ャーナル軸受ノズル12から軸受面に噴出し、このジャ
ーナル軸受部7で主軸1を半径方向に支持する。
[0005] The compressed air supplied from the air supply port 15 is supplied to the circumferential grooves 19 and 20 through the air passages 16, 17 and 18, and from the journal bearing nozzle 12 of the journal bearing portion 7 of the bearing sleeve 10. The journal is jetted onto the bearing surface, and the main shaft 1 is radially supported by the journal bearing portion 7.

【0006】一方、円周溝19からは、軸受スリーブ1
0のスラスト軸受ノズル13からスラスト軸受部8の軸
受面に噴出される。また、給気口15より供給された圧
縮空気は、空気通路16から円周溝21にも供給され、
軸受板11のスラスト軸受ノズル14からスラスト軸受
部9の軸受面に噴出される。このようにしてスラスト軸
受部8,9で主軸1を軸方向に支持する。
On the other hand, the bearing sleeve 1 extends from the circumferential groove 19.
The thrust bearing nozzle 13 is jetted to the bearing surface of the thrust bearing portion 8. The compressed air supplied from the air supply port 15 is also supplied from the air passage 16 to the circumferential groove 21,
It is jetted from the thrust bearing nozzle 14 of the bearing plate 11 to the bearing surface of the thrust bearing 9. Thus, the main shaft 1 is axially supported by the thrust bearing portions 8 and 9.

【0007】ハウジング5には、焼嵌め、圧入又は接着
などの適宜の手段により固定リング22が固着されてい
る。この固定リング22には、スラスト板2の各凹部3
と対向する部位で固定リング22の内周に沿ってほぼ接
線方向に開口した複数のタービンノズル4が貫通形成さ
れてエアタービンを構成している。
A fixing ring 22 is fixed to the housing 5 by an appropriate means such as shrink fitting, press fitting or bonding. Each of the recesses 3 of the thrust plate 2 is
A plurality of turbine nozzles 4 which are opened substantially tangentially along the inner periphery of the fixing ring 22 at a portion opposed to the above, penetrate and form an air turbine.

【0008】給気口23から供給された圧縮空気は、空
気通路24,25および円周溝26を経由して、固定リ
ング22のタービンノズル4から主軸1のスラスト板2
の凹部3に向かってほぼ接線方向に噴出される。この噴
出された圧縮空気は、主軸1に回転力を与えて排気口2
7からハウジング5の外部へ排出される。この主軸1の
端部(図中の右端)に工具やワークが取り付けられ、加
工や検査などの作業が行われる。
The compressed air supplied from the air supply port 23 passes through the air passages 24 and 25 and the circumferential groove 26 from the turbine nozzle 4 of the fixed ring 22 to the thrust plate 2 of the main shaft 1.
Are ejected substantially tangentially toward the concave portion 3 of FIG. The jetted compressed air applies a rotational force to the main shaft 1 to generate an exhaust port 2.
7 is discharged to the outside of the housing 5. A tool or a work is attached to an end (the right end in the figure) of the main shaft 1, and operations such as machining and inspection are performed.

【0009】図6は、駆動手段に電動機を用いた静圧気
体軸受スピンドルの他の従来例を示す。この静圧気体軸
受スピンドルの基本構成は、図5のスピンドルと同一で
あるため、同一部分には同一参照符号を付す。
FIG. 6 shows another conventional example of a hydrostatic gas bearing spindle using an electric motor as a driving means. Since the basic configuration of this hydrostatic gas bearing spindle is the same as that of the spindle of FIG. 5, the same parts are denoted by the same reference numerals.

【0010】主軸1およびその主軸1に連設されたスラ
スト板2は、ハウジング5,6に形成されたジャーナル
軸受部7及びスラスト軸受部8,9によりハウジング
5,6に対して非接触で回転自在に支持されている。
A main shaft 1 and a thrust plate 2 connected to the main shaft 1 are rotated in a non-contact manner with respect to the housings 5 and 6 by journal bearings 7 and thrust bearings 8 and 9 formed on the housings 5 and 6. It is freely supported.

【0011】また、ジャーナル軸受部7およびスラスト
軸受部8は、ほぼ円筒状のハウジング5に、自己潤滑性
に優れた黒鉛などの脆性材料により形成された軸受スリ
ーブ10が、焼嵌め、圧入又は接着などの適宜の手段に
より嵌合固定されて構成されている。同様に、スラスト
軸受部9は、前記ハウジング5の端部に一体に結合され
た円形蓋状のハウジング6に、自己潤滑性に優れた黒鉛
などの脆性材料により形成された軸受板11が、焼嵌
め、圧入又は接着などの適宜の手段により嵌合固定され
て構成されている。これらジャーナル軸受部7およびス
ラスト軸受部8,9の軸受スリーブ10および軸受板1
1には、複数の微細なジャーナル軸受ノズル12および
スラスト軸受ノズル13,14が配設されている。
The journal bearing portion 7 and the thrust bearing portion 8 are formed by shrink-fitting, press-fitting or bonding a bearing sleeve 10 made of a brittle material such as graphite having excellent self-lubricating properties to a substantially cylindrical housing 5. It is configured to be fitted and fixed by appropriate means such as. Similarly, the thrust bearing portion 9 is formed by mounting a bearing plate 11 made of a brittle material having excellent self-lubricating properties, such as graphite, on a circular lid-shaped housing 6 integrally joined to the end of the housing 5. It is configured to be fitted and fixed by appropriate means such as fitting, press-fitting or adhesion. The bearing sleeve 10 and the bearing plate 1 of the journal bearing 7 and the thrust bearings 8 and 9
1, a plurality of fine journal bearing nozzles 12 and thrust bearing nozzles 13 and 14 are provided.

【0012】給気口15より供給された圧縮空気は、空
気通路16,17,18を経由して円周溝19,20に
供給され、軸受スリーブ10のジャーナル軸受部7のジ
ャーナル軸受ノズル12から軸受面に噴出し、このジャ
ーナル軸受部7で主軸1を半径方向に支持する。
The compressed air supplied from the air supply port 15 is supplied to the circumferential grooves 19 and 20 via the air passages 16, 17 and 18, and from the journal bearing nozzle 12 of the journal bearing portion 7 of the bearing sleeve 10. The journal is jetted onto the bearing surface, and the main shaft 1 is radially supported by the journal bearing portion 7.

【0013】一方、円周溝19からは、軸受スリーブ1
0のスラスト軸受ノズル13からスラスト軸受部8の軸
受面に圧縮空気が噴出される。また、給気口15より供
給された圧縮空気は、空気通路16から円周溝21にも
供給され、軸受板11のスラスト軸受ノズル14からス
ラスト軸受部9の軸受面に噴出される。このようにして
スラスト軸受部8,9で主軸1を軸方向に支持する。
On the other hand, the bearing sleeve 1 extends from the circumferential groove 19.
Compressed air is ejected from the thrust bearing nozzle 13 of No. 0 to the bearing surface of the thrust bearing portion 8. The compressed air supplied from the air supply port 15 is also supplied to the circumferential groove 21 from the air passage 16 and is jetted from the thrust bearing nozzle 14 of the bearing plate 11 to the bearing surface of the thrust bearing 9. Thus, the main shaft 1 is axially supported by the thrust bearing portions 8 and 9.

【0014】ハウジング5の中央付近には固定子(ステ
ータ)28が配置され、主軸1の対応する位置に形成さ
れた回転子(ロータ)29とで電動機が構成されてい
る。この電動機では、固定子28への通電により、回転
子29が形成された主軸1に回転力が付与される。この
主軸1の端部(図中の右端)に工具やワークが取り付け
られ、加工や検査などの作業が行われる。
A stator (stator) 28 is disposed near the center of the housing 5, and a motor is constituted by a rotor (rotor) 29 formed at a position corresponding to the main shaft 1. In this electric motor, a rotating force is applied to the main shaft 1 on which the rotor 29 is formed by energizing the stator 28. A tool or a work is attached to an end (the right end in the figure) of the main shaft 1, and operations such as machining and inspection are performed.

【0015】前記従来例では、軸受スリーブ10および
軸受板11を通気性のない材料で形成し、軸受隙間に圧
縮気体を供給するための微細なノズルを設けた自成絞り
型静圧気体軸受を適用した例を示したが、軸受スリーブ
10および軸受板11を通気性のある多孔質の黒鉛やセ
ラミックで形成し、多孔質材の微細な空孔を通して圧縮
気体を供給する多孔質絞り型静圧気体軸受も同様に使用
されている。
In the above-mentioned conventional example, a self-contained throttle-type hydrostatic gas bearing in which the bearing sleeve 10 and the bearing plate 11 are formed of a material having no air permeability and a fine nozzle for supplying a compressed gas to the bearing gap is provided. Although an example of application is shown, the bearing sleeve 10 and the bearing plate 11 are formed of porous graphite or ceramic having air permeability, and a porous throttle type static pressure for supplying a compressed gas through fine pores of a porous material. Gas bearings have been used as well.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ハウジング
5,6の主軸先端側にジャーナル軸受部7が形成された
静圧気体軸受スピンドルの場合、ハウジング形状が単純
化できるため、図5および図6に示すようにハウジング
5の前端面に軸受スリーブ10が露出した構造(図中、
露出部aで示す)となるのが一般的である。また、軸受
スリーブ10には、軸受接触時の耐焼付き性を向上させ
る目的で、自己潤滑性に優れた黒鉛などの脆性材料が近
年賞用されている。
By the way, in the case of a hydrostatic gas bearing spindle in which a journal bearing portion 7 is formed at the leading end side of the main shafts of the housings 5 and 6, since the housing shape can be simplified, FIGS. As shown, a structure in which a bearing sleeve 10 is exposed on the front end surface of a housing 5 (in the drawing,
(Indicated by an exposed portion a). In addition, brittle materials such as graphite having excellent self-lubricating properties have been recently awarded for the bearing sleeve 10 in order to improve seizure resistance at the time of contact with the bearing.

【0017】しかしながら、黒鉛などの脆性材料は衝撃
に対して強くなく、軸受接触時に大きな衝撃を受けた場
合、軸受スリーブ10、特にその角部が欠損することも
考えられる。特に、高速回転時の接触は衝撃が大きくて
軸受スリーブ10が欠損する可能性が高くなる虞があ
る。
However, a brittle material such as graphite is not strong against an impact, and if a large impact is received at the time of contact with the bearing, the bearing sleeve 10, particularly its corners may be damaged. In particular, the contact at the time of high-speed rotation has a large impact, and there is a possibility that the possibility that the bearing sleeve 10 is broken increases.

【0018】前述したように従来の静圧気体軸受スピン
ドルでは、ハウジング5の前端面に軸受スリーブ10が
露出しているため、軸受スリーブ10が欠損した場合に
その破片が周囲に飛散することになる。この軸受スリー
ブ10の露出部aは、ジャーナル軸受端であり、このジ
ャーナル軸受端は、過負荷あるいは大きな不釣合いが生
じた場合、接触の可能性が高い箇所であり、従来構造で
は、欠損の可能性が高い部分が露出していることにな
る。軸受スリーブ10が欠損し、その破片が飛散した場
合、被加工物あるいは作業対象物を使用不能にする可能
性がある。
As described above, in the conventional hydrostatic gas bearing spindle, since the bearing sleeve 10 is exposed at the front end face of the housing 5, when the bearing sleeve 10 is broken, fragments thereof scatter around. . The exposed portion a of the bearing sleeve 10 is a journal bearing end, and this journal bearing end is a place where there is a high possibility of contact when overload or large imbalance occurs. That is, the high-potential portion is exposed. When the bearing sleeve 10 is broken and its fragments are scattered, there is a possibility that the workpiece or the work object cannot be used.

【0019】そこで、本発明は前記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、軸受接触時に
大きな衝撃を受けた場合、軸受スリーブが欠損してもそ
の破片が飛散することを簡易な手段により抑止し得る構
造を具備した静圧気体軸受スピンドルを提供することに
ある。
Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is that when a large impact is applied at the time of contact with a bearing, even if the bearing sleeve is broken, fragments thereof are scattered. Is to provide a hydrostatic gas bearing spindle having a structure capable of suppressing the above by simple means.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の技術的手段として、請求項1の発明は、主軸と、その
主軸を固定部材に対して回転自在に支持する軸受部と、
この軸受部に圧縮気体を噴出させることにより、主軸を
非接触状態に保持した静圧気体軸受スピンドルにおい
て、前記主軸に対向する軸受部を自己潤滑性を有する脆
性材料で形成し、この軸受部が外部に露出しないように
閉塞手段を設けたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a main shaft, a bearing portion rotatably supporting the main shaft with respect to a fixed member, and
By injecting compressed gas into this bearing, in a hydrostatic gas bearing spindle holding the main shaft in a non-contact state, the bearing facing the main shaft is formed of a brittle material having self-lubricating properties. A closing means is provided so as not to be exposed to the outside.

【0021】請求項1の発明のように、自己潤滑性を有
する脆性材料で形成された軸受部が外部に露出しないよ
うに閉塞手段を設けたことにより、軸受接触時に大きな
衝撃を受けた場合、軸受スリーブが欠損してもその破片
が飛散することはない。
According to the first aspect of the present invention, when the bearing portion made of a brittle material having self-lubricating properties is provided with a closing means so as not to be exposed to the outside, when a large impact is received at the time of contact with the bearing, Even if the bearing sleeve is broken, the fragments are not scattered.

【0022】具体的な構造として、請求項2の発明は、
前記主軸と、その主軸を固定部材に対して回転自在に径
方向に支持するジャーナル軸受部と、主軸に連設された
スラスト板の両側に対向配置して主軸を軸方向に支持す
るスラスト軸受部とを具備した静圧気体軸受スピンドル
である。
As a specific structure, the invention of claim 2
A journal bearing for rotatably supporting the spindle with respect to a fixed member in a radial direction, and a thrust bearing for axially supporting the spindle by disposing the journal on both sides of a thrust plate connected to the spindle. And a hydrostatic gas bearing spindle comprising:

【0023】この静圧気体軸受スピンドルについても、
自己潤滑性を有する脆性材料で形成された軸受部が外部
に露出しないように閉塞手段を設ければ、軸受接触時に
大きな衝撃を受けた場合、軸受スリーブが欠損してもそ
の破片が飛散することはない。
This hydrostatic gas bearing spindle also has
If a closing means is provided so that the bearing part formed of a brittle material having self-lubricating property is not exposed to the outside, if a large impact is received at the time of contact with the bearing, even if the bearing sleeve is broken, the fragments are scattered. There is no.

【0024】なお、前記脆性材料としては、黒鉛、また
は黒鉛を主成分とした材料(請求項3)や、セラミック
(請求項4)がある。
The brittle material includes graphite or a material containing graphite as a main component (Claim 3) and ceramic (Claim 4).

【0025】また、前記閉塞手段としては、工具などを
取り付ける側に設けられているもの(請求項5)、前記
固定部材を延長して一体的に形成されているもの(請求
項6)、前記固定部材に装着された別体のカバー部材
(請求項7)がある。
The closing means may be provided on a side on which a tool or the like is mounted (Claim 5), may be formed integrally with the fixing member by extending the fixing member (Claim 6), There is a separate cover member attached to the fixing member.

【0026】前記請求項1乃至7のいずれかに記載され
た発明は、前記主軸の外周部に設けられた複数の凹部に
圧縮空気を吹き付けて主軸に回転動力を付与するタービ
ン駆動部を有するもの、つまり、駆動手段にエアタービ
ンを用いた静圧気体軸受スピンドル(請求項8)、ある
いは、前記主軸に回転子を設け、この回転子に対向する
固定子を前記固定部材に設けたもの、つまり、駆動手段
に電動機を用いた静圧気体軸受スピンドル(請求項9)
に適用可能である。
The invention described in any one of the first to seventh aspects has a turbine drive unit for blowing compressed air to a plurality of recesses provided on an outer peripheral portion of the main shaft to apply rotational power to the main shaft. That is, a hydrostatic gas bearing spindle using an air turbine as a driving means (Claim 8), or a rotor provided on the main shaft and a stator opposed to the rotor provided on the fixing member, And hydrostatic gas bearing spindle using an electric motor as drive means (Claim 9)
Applicable to

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】本発明に係る静圧気体軸受スピン
ドルの実施形態を以下に詳述する。なお、図5および図
6と同一部分には同一参照符号を付す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a hydrostatic gas bearing spindle according to the present invention will be described in detail below. 5 and 6 are denoted by the same reference numerals.

【0028】図1は、駆動手段にエアタービンを用いた
静圧気体軸受スピンドルの第1の実施形態を示す。この
スピンドルは、主軸1のスラスト板2の外周に設けられ
た複数の凹部3に、それら凹部3と対向する部位に配設
されたタービンノズル4から圧縮空気を吹き付けること
により主軸1を回転させるものである。
FIG. 1 shows a first embodiment of a hydrostatic gas bearing spindle using an air turbine as a driving means. This spindle rotates the main shaft 1 by blowing compressed air to a plurality of concave portions 3 provided on the outer periphery of a thrust plate 2 of the main shaft 1 from a turbine nozzle 4 provided at a portion facing the concave portions 3. It is.

【0029】主軸1およびその主軸1に連設されたスラ
スト板2は、固定部材であるハウジング5,6に形成さ
れたジャーナル軸受部7及びスラスト軸受部8,9によ
りハウジング5,6に対して非接触で回転自在に支持さ
れている。
The main shaft 1 and the thrust plate 2 connected to the main shaft 1 are connected to the housings 5 and 6 by journal bearings 7 and thrust bearings 8 and 9 formed on the housings 5 and 6 which are fixed members. It is rotatably supported without contact.

【0030】また、ジャーナル軸受部7およびスラスト
軸受部8は、ほぼ円筒状のハウジング5に、自己潤滑性
に優れた脆性材料により形成された軸受スリーブ10
が、焼嵌め、圧入又は接着などの適宜の手段により嵌合
固定されて構成されている。同様に、スラスト軸受部9
は、前記ハウジング5の端部に一体に結合された円形蓋
状のハウジング6に、自己潤滑性に優れた脆性材料によ
り形成された軸受板11が、焼嵌め、圧入又は接着など
の適宜の手段により嵌合固定されて構成されている。こ
れらジャーナル軸受部7およびスラスト軸受部8,9の
軸受スリーブ10および軸受板11には、複数の微細な
ジャーナル軸受ノズル12およびスラスト軸受ノズル1
3,14が配設されている。
The journal bearing 7 and the thrust bearing 8 are mounted on a substantially cylindrical housing 5 by a bearing sleeve 10 made of a brittle material having excellent self-lubricating properties.
Are fitted and fixed by appropriate means such as shrink fitting, press fitting, or adhesion. Similarly, the thrust bearing 9
A bearing plate 11 made of a brittle material having excellent self-lubricating properties is fitted to a circular lid-shaped housing 6 integrally joined to an end of the housing 5 by appropriate means such as shrink fitting, press fitting, or bonding. And is fixedly fitted. A plurality of fine journal bearing nozzles 12 and thrust bearing nozzles 1 are provided on the bearing sleeve 10 and the bearing plate 11 of the journal bearing portion 7 and the thrust bearing portions 8 and 9.
3, 14 are provided.

【0031】前述した自己潤滑性に優れた脆性材料とし
ては、黒鉛、または黒鉛を主成分とした材料や、セラミ
ック、あるいは黒鉛とセラミックの複合材料などが好適
である。
As the above-mentioned brittle material having excellent self-lubricating properties, graphite, a material containing graphite as a main component, ceramic, or a composite material of graphite and ceramic is suitable.

【0032】給気口15より供給された圧縮空気は、空
気通路16,17,18を経由して円周溝19,20に
供給され、軸受スリーブ10のジャーナル軸受部7のジ
ャーナル軸受ノズル12から軸受面に噴出し、このジャ
ーナル軸受部7で主軸1を半径方向に支持する。
The compressed air supplied from the air supply port 15 is supplied to the circumferential grooves 19 and 20 via the air passages 16, 17 and 18, and from the journal bearing nozzle 12 of the journal bearing 7 of the bearing sleeve 10. The journal is jetted onto the bearing surface, and the main shaft 1 is radially supported by the journal bearing portion 7.

【0033】一方、円周溝19からは、軸受スリーブ1
0のスラスト軸受ノズル13からスラスト軸受部8の軸
受面に圧縮空気が噴出される。また、給気口15より供
給された圧縮空気は、空気通路16から円周溝21にも
供給され、軸受板11のスラスト軸受ノズル14からス
ラスト軸受部9の軸受面に噴出される。このようにして
スラスト軸受部8,9で主軸1を軸方向に支持する。
On the other hand, from the circumferential groove 19, the bearing sleeve 1
Compressed air is ejected from the thrust bearing nozzle 13 of No. 0 to the bearing surface of the thrust bearing portion 8. The compressed air supplied from the air supply port 15 is also supplied to the circumferential groove 21 from the air passage 16 and is jetted from the thrust bearing nozzle 14 of the bearing plate 11 to the bearing surface of the thrust bearing 9. Thus, the main shaft 1 is axially supported by the thrust bearing portions 8 and 9.

【0034】ハウジング5には、焼嵌め、圧入又は接着
などの適宜の手段により固定リング22が固着されてい
る。この固定リング22には、スラスト板2の各凹部3
と対向する部位で固定リング22の内周に沿ってほぼ接
線方向に開口した複数のタービンノズル4が貫通形成さ
れてエアタービンを構成している。
A fixing ring 22 is fixed to the housing 5 by an appropriate means such as shrink fitting, press fitting or bonding. Each of the recesses 3 of the thrust plate 2 is
A plurality of turbine nozzles 4 which are opened substantially tangentially along the inner periphery of the fixing ring 22 at a portion opposed to the above, penetrate and form an air turbine.

【0035】給気口23から供給された圧縮空気は、空
気通路24,25および円周溝26を経由して、固定リ
ング22のタービンノズル4から主軸1のスラスト板2
の凹部3に向かってほぼ接線方向に噴出される。この噴
出された圧縮空気は、主軸1に回転力を与えて排気口2
7からハウジング5の外部へ排出される。この主軸1の
端部(図中の右端)に工具やワークが取り付けられ、加
工や検査などの作業が行われる。
The compressed air supplied from the air supply port 23 passes through the air passages 24 and 25 and the circumferential groove 26 from the turbine nozzle 4 of the fixed ring 22 to the thrust plate 2 of the main shaft 1.
Are ejected substantially tangentially toward the concave portion 3 of FIG. The jetted compressed air applies a rotational force to the main shaft 1 to generate an exhaust port 2.
7 is discharged to the outside of the housing 5. A tool or a work is attached to an end (the right end in the figure) of the main shaft 1, and operations such as machining and inspection are performed.

【0036】この第1の実施形態において、軸受スリー
ブ10が露出しないように閉塞する手段として、ハウジ
ング5の前端部(図中右側)の内周方向に一体的に突出
した壁30を形成する。この壁30の内径と主軸1との
間の隙間31は、ジャーナル軸受部7の軸受隙間より若
干広く設定されている。閉塞手段をこのような構成とし
たことにより、軸受接触時に大きな衝撃を受けた場合、
軸受スリーブ10が欠損しても、壁30によりその破片
の飛散を防止することができる。静圧気体軸受スピンド
ルでは、φ22程度の主軸で10万r/min.を超え
る回転数で使用することがあるが、このような高速回転
時に大きな衝撃を受けて軸受スリーブ10が欠損して
も、壁30によりその破片の飛散を確実に防止すること
ができる。
In the first embodiment, as means for closing the bearing sleeve 10 so as not to be exposed, a wall 30 integrally protruding in the inner circumferential direction of the front end (right side in the figure) of the housing 5 is formed. The gap 31 between the inner diameter of the wall 30 and the main shaft 1 is set slightly larger than the bearing gap of the journal bearing 7. With such a configuration of the closing means, when a large impact is received at the time of bearing contact,
Even if the bearing sleeve 10 is broken, the wall 30 can prevent the fragments from being scattered. With a hydrostatic gas bearing spindle, 100,000 r / min. However, even if the bearing sleeve 10 is damaged due to a large impact during such high-speed rotation, the wall 30 can reliably prevent the fragments from being scattered.

【0037】なお、前記第1の実施形態では、ハウジン
グ5の前端部に壁30を一体的に形成した場合を示した
が、本発明はこれに限定されることなく、図2に示す第
2の実施形態のように、壁(カバー部材)32をハウジ
ング5とは別体とし、その壁32をハウジング5にボル
ト33により締着するようにしてもよい。また、図3に
示す第3の実施形態のように、ハウジング5と別体の壁
32をハウジング5に嵌合面34により嵌着するように
してもよい。なお、第2および第3の実施形態における
別体の壁32は、接着など、他の手段でハウジング5に
取り付けることも可能である。
In the first embodiment, the case where the wall 30 is formed integrally with the front end of the housing 5 is shown. However, the present invention is not limited to this, and the second embodiment shown in FIG. As in the embodiment, the wall (cover member) 32 may be formed separately from the housing 5, and the wall 32 may be fastened to the housing 5 with bolts 33. Further, as in the third embodiment shown in FIG. 3, a wall 32 separate from the housing 5 may be fitted to the housing 5 by a fitting surface 34. Note that the separate wall 32 in the second and third embodiments can be attached to the housing 5 by other means such as bonding.

【0038】図4は、駆動手段に電動機を用いた静圧気
体軸受スピンドルの第4の実施形態を示す。この静圧気
体軸受スピンドルの基本構成は、図1のスピンドルと同
一であるため、同一部分には同一参照符号を付す。
FIG. 4 shows a fourth embodiment of a hydrostatic gas bearing spindle using an electric motor as a driving means. Since the basic configuration of this hydrostatic gas bearing spindle is the same as that of the spindle of FIG. 1, the same parts are denoted by the same reference numerals.

【0039】主軸1およびその主軸1に連設されたスラ
スト板2は、ハウジング5,6に形成されたジャーナル
軸受部7及びスラスト軸受部8,9によりハウジング
5,6に対して非接触で回転自在に支持されている。な
お、主軸1およびハウジング5,6の材料としては、前
述した第1の実施形態と同様である。
The main shaft 1 and the thrust plate 2 connected to the main shaft 1 are rotated in a non-contact manner with respect to the housings 5 and 6 by journal bearings 7 and thrust bearings 8 and 9 formed on the housings 5 and 6. It is freely supported. The materials of the main shaft 1 and the housings 5 and 6 are the same as those in the first embodiment.

【0040】また、ジャーナル軸受部7およびスラスト
軸受部8は、ほぼ円筒状のハウジング5に、自己潤滑性
に優れた脆性材料により形成された軸受スリーブ10
が、焼嵌め、圧入又は接着などの適宜の手段により嵌合
固定されて構成されている。同様に、スラスト軸受部9
は、前記ハウジング5の端部に一体に結合された円形蓋
状のハウジング6に、自己潤滑性に優れた脆性材料によ
り形成された軸受板11が、焼嵌め、圧入又は接着など
の適宜の手段により嵌合固定されて構成されている。こ
れらジャーナル軸受部7およびスラスト軸受部8,9の
軸受スリーブ10および軸受板11には、複数の微細な
ジャーナル軸受ノズル12およびスラスト軸受ノズル1
3,14が配設されている。なお、前述した自己潤滑性
に優れた脆性材料については、第1の実施形態と同様の
ものを使用すればよい。
The journal bearing 7 and the thrust bearing 8 are mounted on a substantially cylindrical housing 5 by a bearing sleeve 10 formed of a brittle material having excellent self-lubricating properties.
Are fitted and fixed by appropriate means such as shrink fitting, press fitting, or adhesion. Similarly, the thrust bearing 9
A bearing plate 11 made of a brittle material having excellent self-lubricating properties is fitted to a circular lid-shaped housing 6 integrally joined to an end of the housing 5 by appropriate means such as shrink fitting, press fitting, or bonding. And is fixedly fitted. A plurality of fine journal bearing nozzles 12 and thrust bearing nozzles 1 are provided on the bearing sleeve 10 and the bearing plate 11 of the journal bearing portion 7 and the thrust bearing portions 8 and 9.
3, 14 are provided. The brittle material having excellent self-lubricating properties described above may be the same as in the first embodiment.

【0041】給気口15より供給された圧縮空気は、空
気通路16,17,18を経由して円周溝19,20に
供給され、軸受スリーブ10のジャーナル軸受部7のジ
ャーナル軸受ノズル12から軸受面に噴出し、このジャ
ーナル軸受部7で主軸1を半径方向に支持する。
The compressed air supplied from the air supply port 15 is supplied to the circumferential grooves 19 and 20 via the air passages 16, 17 and 18, and from the journal bearing nozzle 12 of the journal bearing portion 7 of the bearing sleeve 10. The journal is jetted onto the bearing surface, and the main shaft 1 is radially supported by the journal bearing portion 7.

【0042】一方、円周溝19からは、軸受スリーブ1
0のスラスト軸受ノズル13からスラスト軸受部8の軸
受面に圧縮空気が噴出される。また、給気口15より供
給された圧縮空気は、空気通路16から円周溝21にも
供給され、軸受板11のスラスト軸受ノズル14からス
ラスト軸受部9の軸受面に噴出される。このようにして
スラスト軸受部8,9で主軸1を軸方向に支持する。
On the other hand, from the circumferential groove 19, the bearing sleeve 1
Compressed air is ejected from the thrust bearing nozzle 13 of No. 0 to the bearing surface of the thrust bearing portion 8. The compressed air supplied from the air supply port 15 is also supplied to the circumferential groove 21 from the air passage 16 and is jetted from the thrust bearing nozzle 14 of the bearing plate 11 to the bearing surface of the thrust bearing 9. Thus, the main shaft 1 is axially supported by the thrust bearing portions 8 and 9.

【0043】ハウジング5の中央付近には固定子(ステ
ータ)28が配置され、主軸1の対応する位置に形成さ
れた回転子(ロータ)29とで電動機が構成されてい
る。この電動機では、固定子28への通電により、回転
子29が形成された主軸1に回転力が付与される。この
主軸1の端部(図中の右端)に工具やワークが取り付け
られ、加工や検査などの作業が行われる。
A stator (stator) 28 is disposed near the center of the housing 5, and a motor is constituted by a rotor (rotor) 29 formed at a position corresponding to the main shaft 1. In this electric motor, a rotating force is applied to the main shaft 1 on which the rotor 29 is formed by energizing the stator 28. A tool or a work is attached to an end (the right end in the figure) of the main shaft 1, and operations such as machining and inspection are performed.

【0044】この第4の実施形態における閉塞手段とし
ては、第1の実施形態と同様、ハウジング5の前端部
(図中右側)の内周方向に一体的に突出した壁30を形
成する。この壁30の内径と主軸1との間の隙間31
は、ジャーナル軸受部7の軸受隙間より若干広く設定さ
れている。閉塞手段をこのような構成としたことによ
り、軸受接触時に大きな衝撃を受けた場合、軸受スリー
ブ10が欠損しても、壁30によりその破片の飛散を防
止することができる。
As the closing means in the fourth embodiment, similarly to the first embodiment, a wall 30 is integrally formed at the front end (right side in the figure) of the housing 5 and protrudes in the inner circumferential direction. A gap 31 between the inner diameter of the wall 30 and the main shaft 1
Is set slightly wider than the bearing clearance of the journal bearing 7. With such a configuration of the closing means, even when the bearing sleeve 10 is damaged when the bearing is subjected to a large impact at the time of contact with the bearing, the fragments can be prevented from being scattered by the wall 30.

【0045】なお、この第4の実施形態においても、前
述した第2および第3の実施形態と同様、壁(カバー部
材)32をハウジング5とは別体とし、その壁32をハ
ウジング5にボルト33により締着したり、あるいは、
ハウジング5と別体の壁32をハウジング5に嵌合面3
4により嵌着するようにしてもよく、さらに、別体の壁
32を、接着など、他の手段でハウジング5に取り付け
ることも可能である。
In the fourth embodiment, similarly to the second and third embodiments, the wall (cover member) 32 is separate from the housing 5, and the wall 32 is bolted to the housing 5. 33, or
A wall 32 separate from the housing 5 is attached to the housing 5 by the fitting surface 3.
4, and the separate wall 32 can be attached to the housing 5 by other means such as bonding.

【0046】また、第1〜第4の実施形態では自成絞り
型静圧気体軸受を適用した場合を示したが、多孔質絞り
など、他の軸受形式でも自己潤滑性に優れた黒鉛などを
使用すれば、軸受接触時の耐焼付き性を向上でき、前記
実施形態と同様に本発明の閉塞手段を設けることによっ
て軸受スリーブ欠損時の破片の飛散を防止できる。
In the first to fourth embodiments, the case where the self-contained throttle type hydrostatic gas bearing is applied is shown. However, other bearing types such as a porous restrictor may be made of graphite having excellent self-lubricating properties. If used, seizure resistance at the time of contact with the bearing can be improved, and by providing the closing means of the present invention as in the above-described embodiment, scattering of fragments when the bearing sleeve is lost can be prevented.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明によれば、主軸と、その主軸を固
定部材に対して回転自在に支持する軸受部と、この軸受
部に圧縮気体を噴出させることにより、主軸を非接触状
態に保持した静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記主
軸に対向する軸受部を自己潤滑性を有する脆性材料で形
成し、この軸受部が外部に露出しないように閉塞手段を
設けたことにより、軸受接触時に大きな衝撃を受けた場
合、軸受スリーブが欠損しても、前記閉塞手段によりそ
の破片の飛散を防止することができるので、被加工物や
作業対象物を損傷することがなく、安全性に富んだ静圧
気体軸受スピンドルを提供できる。
According to the present invention, the main shaft, the bearing for rotatably supporting the main shaft with respect to the fixed member, and the compressed gas being ejected from the bearing to maintain the main shaft in a non-contact state. In the hydrostatic gas bearing spindle described above, the bearing portion facing the main shaft is formed of a brittle material having self-lubricating properties, and a closing means is provided so that this bearing portion is not exposed to the outside, so that a large impact occurs at the time of bearing contact. In the case where the bearing sleeve is damaged, even if the bearing sleeve is broken, the closing means can prevent the fragments from being scattered, so that the workpiece or the work object is not damaged, and the safe static pressure is provided. A gas bearing spindle can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る静圧気体軸受スピンドルの第1の
実施形態を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a hydrostatic gas bearing spindle according to the present invention.

【図2】本発明の第2の実施形態を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施形態を示す部分断面図であ
る。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view illustrating a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4の実施形態を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a fourth embodiment of the present invention.

【図5】静圧気体軸受スピンドルの従来例を示す断面図
である。
FIG. 5 is a sectional view showing a conventional example of a hydrostatic gas bearing spindle.

【図6】静圧気体軸受スピンドルの他の従来例を示す断
面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing another conventional example of a hydrostatic gas bearing spindle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 主軸 2 スラスト板 5,6 固定部材(ハウジング) 7 (ジャーナル)軸受部 8,9 (スラスト)軸受部 10 軸受スリーブ 11 軸受板 12 ジャーナル軸受ノズル 13,14 スラスト軸受ノズル 28 固定子 29 回転子 30 閉塞手段(壁) 32 閉塞手段(カバー部材) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main shaft 2 Thrust plate 5, 6 Fixing member (housing) 7 (Journal) bearing part 8, 9 (Thrust) bearing part 10 Bearing sleeve 11 Bearing plate 12 Journal bearing nozzle 13, 14 Thrust bearing nozzle 28 Stator 29 Rotor 30 Closing means (wall) 32 Closing means (cover member)

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 主軸と、その主軸を固定部材に対して回
転自在に支持する軸受部と、この軸受部に圧縮気体を噴
出させることにより、主軸を非接触状態に保持した静圧
気体軸受スピンドルにおいて、前記主軸に対向する軸受
部を自己潤滑性を有する脆性材料で形成し、この軸受部
が外部に露出しないように閉塞手段を設けたことを特徴
とする静圧気体軸受スピンドル。
A spindle, a bearing for rotatably supporting the spindle with respect to a fixed member, and a hydrostatic gas bearing spindle for holding the spindle in a non-contact state by injecting compressed gas into the bearing. 2. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein a bearing portion facing the main shaft is formed of a brittle material having self-lubricating properties, and a closing means is provided so that the bearing portion is not exposed to the outside.
【請求項2】 前記静圧気体軸受スピンドルが、主軸
と、その主軸を固定部材に対して回転自在に径方向に支
持するジャーナル軸受部と、主軸に連設されたスラスト
板の両側に対向配置して主軸を軸方向に支持するスラス
ト軸受部とからなることを特徴とする請求項1に記載の
静圧気体軸受スピンドル。
2. The hydrostatic gas bearing spindle has a main shaft, a journal bearing portion rotatably supporting the main shaft with respect to a fixed member, and opposed to both sides of a thrust plate connected to the main shaft. 2. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, further comprising a thrust bearing portion for axially supporting the main shaft.
【請求項3】 前記脆性材料が黒鉛、または黒鉛を主成
分とした材料であることを特徴とする請求項1又は2に
記載の静圧気体軸受スピンドル。
3. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein the brittle material is graphite or a material containing graphite as a main component.
【請求項4】 前記脆性材料がセラミックである請求項
1又は2に記載の静圧気体軸受スピンドル。
4. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein the brittle material is ceramic.
【請求項5】 前記閉塞手段が、工具などを取り付ける
側に設けられていることを特徴とする請求項1乃至4の
いずれかに記載の静圧気体軸受スピンドル。
5. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein said closing means is provided on a side on which a tool or the like is mounted.
【請求項6】 前記閉塞手段が、前記固定部材を延長し
て一体的に形成されていることを特徴とする請求項1乃
至5のいずれかに記載の静圧気体軸受スピンドル。
6. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein said closing means is integrally formed by extending said fixing member.
【請求項7】 前記閉塞手段が、前記固定部材に装着さ
れた別体のカバー部材であることを特徴とする請求項1
乃至6のいずれかに記載の静圧気体軸受スピンドル。
7. The apparatus according to claim 1, wherein the closing means is a separate cover member attached to the fixing member.
7. The hydrostatic gas bearing spindle according to any one of claims 6 to 6.
【請求項8】 前記主軸の外周部に設けられた複数の凹
部に圧縮空気を吹き付けて主軸に回転動力を付与するエ
アタービンを有することを特徴とする請求項1乃至7に
記載の静圧気体軸受スピンドル。
8. The static pressure gas according to claim 1, further comprising an air turbine that blows compressed air to a plurality of recesses provided on an outer peripheral portion of the main shaft to apply rotational power to the main shaft. Bearing spindle.
【請求項9】 前記主軸に電動機の回転子を設け、この
回転子に対向する電動機の固定子を前記固定部材に設け
たことを特徴とする請求項1乃至7に記載の静圧気体軸
受スピンドル。
9. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein a rotor of an electric motor is provided on the main shaft, and a stator of the electric motor facing the rotor is provided on the fixing member. .
JP2000217579A 2000-07-18 2000-07-18 Static pressure gas bearing spindle Pending JP2002039181A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000217579A JP2002039181A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Static pressure gas bearing spindle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000217579A JP2002039181A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Static pressure gas bearing spindle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002039181A true JP2002039181A (en) 2002-02-06

Family

ID=18712664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000217579A Pending JP2002039181A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Static pressure gas bearing spindle

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002039181A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014156911A1 (en) * 2013-03-29 2014-10-02 Abb株式会社 Gas bearing spindle
JP2015025561A (en) * 2014-11-06 2015-02-05 Abb株式会社 Gas bearing spindle
JP2017044267A (en) * 2015-08-26 2017-03-02 東芝機械株式会社 Static pressure gas bearing spindle
JP2020031527A (en) * 2018-08-21 2020-02-27 ビアメカニクス株式会社 Galvano motor
CN113217541A (en) * 2021-06-04 2021-08-06 北京工业大学 Porous ring belt exhaust type static pressure air-float thrust bearing

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014156911A1 (en) * 2013-03-29 2014-10-02 Abb株式会社 Gas bearing spindle
JP2015038363A (en) * 2013-03-29 2015-02-26 Abb株式会社 Gas bearing spindle
JP2015025561A (en) * 2014-11-06 2015-02-05 Abb株式会社 Gas bearing spindle
JP2017044267A (en) * 2015-08-26 2017-03-02 東芝機械株式会社 Static pressure gas bearing spindle
JP2020031527A (en) * 2018-08-21 2020-02-27 ビアメカニクス株式会社 Galvano motor
JP7269693B2 (en) 2018-08-21 2023-05-09 ビアメカニクス株式会社 galvano motor
CN113217541A (en) * 2021-06-04 2021-08-06 北京工业大学 Porous ring belt exhaust type static pressure air-float thrust bearing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6368052B2 (en) Spindle device having turbine rotor
US4710034A (en) Double-conical static pressure-type gas bearing
DE68922397T2 (en) Structure of a rotating polygon mirror.
US20030030225A1 (en) Dynamic pressure seal device and rotary joint device using the same
JP2002039181A (en) Static pressure gas bearing spindle
JPH0556339U (en) Machining spindle device with built-in motor
JPH085373Y2 (en) Air turbine driven static pressure gas bearing spindle
JP3762200B2 (en) Air turbine spindle
JPS5930634A (en) Machining tool holder for machine tool
JP2003307218A (en) Static pressure gas bearing spindle device
JP3485595B2 (en) Hydrostatic gas bearing spindle
US10284048B2 (en) Electric motor for suppressing entry of foreign substances
JP2004330384A (en) Rotary main shaft device and working device
JPH06312303A (en) Static pressure gas bearing spindle
JP4989140B2 (en) Air spindle drive
JP2001173407A (en) Air turbine driving spindle device
JPH08166020A (en) Spindle device with attraction mechanism
JP2004190793A (en) Static air bearing spindle
JP2005349540A (en) Spindle device
JP3276901B2 (en) Dynamic pressure spindle device
JP2002153778A (en) Spindle for electrostatic coating machine
KR100414907B1 (en) High Speed Spindle System Used Hybrid Air Bearing
JP3870473B2 (en) Cutting fluid supply device to machine tool spindle
JPH106103A (en) Spindle structure of machine tool
JPH0251621A (en) Gas bearing spindle equipped with gas supply/exhaust mechanism

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040921

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070822

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070904

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071026

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080612