JP2002025204A - Microactuator element parts - Google Patents
Microactuator element partsInfo
- Publication number
- JP2002025204A JP2002025204A JP2000209673A JP2000209673A JP2002025204A JP 2002025204 A JP2002025204 A JP 2002025204A JP 2000209673 A JP2000209673 A JP 2000209673A JP 2000209673 A JP2000209673 A JP 2000209673A JP 2002025204 A JP2002025204 A JP 2002025204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- actuator element
- microactuator
- head suspension
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に記録媒体上
への読み込み/書き込みヘッドを支持するための懸架装
置に関し、詳しくは、ベースとなるプレートに付加され
たマイクロアクチュエーター素子に関するものである。The present invention relates generally to a suspension for supporting a read / write head on a recording medium, and more particularly to a micro-actuator element added to a base plate.
【0002】[0002]
【従来の技術】記録媒体への読み込み/書き込みヘッド
を支持するための懸架装置に駆動用マイクロアクチュエ
ーター素子が付加使用されている。2. Description of the Related Art A drive microactuator element is additionally used in a suspension device for supporting a read / write head for a recording medium.
【0003】この種の駆動用マイクロアクチュエーター
素子は、スパッタ等による電極形成時のマスキング効率
向上や加工コスト削減の為、また、その形状が小さいこ
とから焼成後の切断による切り出し状態で使用されてい
る。[0003] This type of microactuator element for driving is used in a cut-out state by cutting after firing because of its small size to improve masking efficiency and reduce processing costs when forming electrodes by sputtering or the like. .
【0004】しかし、切り出し状態でのアクチュエータ
ー素子は、接着面積が小さく、また変位動作するために
素子がサスペンションから剥離しやすい。また、素子の
切断部は切断により遊離した粒子や遊離しやすい状態の
粒子が露出しており、それが脱粒となり記録媒体を傷つ
けことがある。さらに、素子の切断部は内部電極が露出
しており、結露等で内部電極層間がショートすることが
あり、素子が動作しなくなることがあり得るという欠点
を備えていた。[0004] However, the actuator element in the cut-out state has a small bonding area and is easily displaced from the suspension due to a displacement operation. Further, in the cut portion of the element, particles released by the cutting or particles in a state easily released are exposed, and the particles are shed and may damage the recording medium. Further, the cut portion of the element has a disadvantage that the internal electrode is exposed, the interlayer electrode layer may be short-circuited due to dew condensation or the like, and the element may not operate.
【0005】そこで、ヘッド懸架装置に付加使用する駆
動用マイクロアクチュエーター素子において、上述の欠
点を対策する方法として、アクチュエーター素子とアク
チュエーター素子または、アクチュエーター素子を含む
ヘッド懸架部へのコーティングを行っていた。具体的に
は、切断部にガラス被覆を付加し、切断面を露出させな
いようにする。素子全体を変位を抑制しにくい柔軟な樹
脂などで覆い隠し、粒子を露出させないようにする。さ
らに、樹脂などによる被覆をヘッド懸架への貼り付け部
全体にわたって行う。[0005] Therefore, as a method for solving the above-mentioned drawbacks in a driving microactuator element additionally used in a head suspension device, a coating is applied to an actuator element and an actuator element or a head suspension section including the actuator element. Specifically, a glass coating is added to the cut portion so that the cut surface is not exposed. The entire element is covered and covered with a flexible resin or the like that is difficult to suppress displacement, so that particles are not exposed. Further, coating with resin or the like is performed over the entire portion to be attached to the head suspension.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の対策ではガラス、樹脂等のコーティング材が素
子そのもの形状を拘束するために、変位動作というマイ
クロアクチュエーター素子本来の機能を抑制してしまう
という不都合を生じた。However, in the above-mentioned conventional countermeasures, the coating material such as glass or resin restrains the shape of the element itself, so that the displacement function suppresses the original function of the microactuator element. Occurred.
【0007】そこで、本発明の技術的課題は、ヘッド懸
加装置に付加使用する駆動用マイクロアクチュエーター
素子において、マイクロアクチュエーター素子からの脱
粒が落下し記録媒体を傷つけることを防止でき、マイク
ロアクチュエーターの素子本来の変位機能が十分に発揮
されるマイクロアクチュエーター素子部品と、磁気ヘッ
ドと、ハードディスク装置とを提供することにある。It is an object of the present invention to provide a drive micro-actuator element which is additionally used in a head suspension device, which can prevent the falling of particles from the micro-actuator element from damaging the recording medium, and the element of the micro-actuator can be prevented. An object of the present invention is to provide a microactuator element part, which can sufficiently exhibit its original displacement function, a magnetic head, and a hard disk drive.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明では、ヘッド懸架
装置に付加使用する駆動用マイクロアクチュエーター素
子において、アクチュエーター素子と樹脂等のコーティ
ング材との間に空間または柔軟な中間層を設けること
で、アクチュエーター素子の変位が抑制されず、アクチ
ュエーター素子本来の動作を可能とするものである。According to the present invention, in a driving microactuator element additionally used for a head suspension device, a space or a flexible intermediate layer is provided between the actuator element and a coating material such as a resin. The displacement of the actuator element is not suppressed, and the original operation of the actuator element is enabled.
【0009】即ち、本発明によれば、ヘッド懸架装置に
付加使用する駆動用マイクロアクチュエーター素子にお
いて、ヘッドアームに搭載されたアクチュエーター素子
のヘッド懸架部に対して、少なくとも前記アクチュエー
ター素子を覆うようにコーティング材を設けるととも
に、前記コーティング材と前記アクチュエーター素子と
の間に空間または、中間層を設けたことを特徴とするマ
イクロアクチュエーター素子部品が得られる。That is, according to the present invention, in a driving microactuator element additionally used in a head suspension device, a coating is applied to a head suspension portion of an actuator element mounted on a head arm so as to cover at least the actuator element. A microactuator element component is provided in which a material is provided and a space or an intermediate layer is provided between the coating material and the actuator element.
【0010】また、本発明によれば、前記マイクロアク
チュエーター素子部品を前記ヘッドアームに搭載してい
ることを特徴とするヘッド懸架装置が得られる。Further, according to the present invention, there is provided a head suspension device wherein the microactuator element component is mounted on the head arm.
【0011】さらに、本発明によれば、前記マイクロア
クチュエーター素子部品を前記ヘッドアームに搭載する
とともに、前記ヘッドアームの一端に記録再生ヘッドが
設けられたヘッド懸架装置と、前記記録再生ヘッドによ
って記録及び再生されるハードディスクとを備えている
ことを特徴とするハードディスク装置が得られる。Further, according to the present invention, a head suspension device in which the microactuator element component is mounted on the head arm and a recording / reproducing head is provided at one end of the head arm; A hard disk device characterized by comprising a hard disk to be reproduced is obtained.
【0012】[0012]
【作用】本発明のヘッド懸架装置に付加使用する駆動用
マイクロアクチュエーター素子において、マイクロアク
チュエーター素子の変位動作が抑制されないように工夫
したものである。即ち、マイクロアクチュエーター素子
からの脱粒が落下し記録媒体を傷つけることを防止で
き、マイクロアクチュエーター素子本来の変位機能が十
分に発揮される。In the driving micro-actuator element additionally used in the head suspension device of the present invention, the device is devised so that the displacement operation of the micro-actuator element is not suppressed. That is, it is possible to prevent the particles falling from the microactuator element from falling and damaging the recording medium, and the original displacement function of the microactuator element is sufficiently exhibited.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0014】図1は、本発明の実施の形態によるマイク
ロアクチュエーター素子をハードディスクのヘッド懸架
装置に付加使用した場合を示す模式平面図である。図1
に示すように、ヘッド懸架装置1は、一対のマクロアク
チュエーター素子2と、マクロアクチュエーター素子2
を夫々搭載したヘッド懸架部10を備えるヘッドアーム
3と、図示しないハードディスクに対して記録及び再生
を行うヘッド4と、ヘッド4を支持するためにヘッドア
ーム3の一端に設けられたヘッド支持バネ5と、マイク
ロアクチュエーター素子2を覆うように設けられたモー
ルド樹脂7とを備え、ヘッドアーム3の他端側には、へ
ッドアーム貫通穴6が設けられている。即ち、マイクロ
アクチュエーター素子2は、ヘッド懸加装置1に付加使
用されるものである。FIG. 1 is a schematic plan view showing a case where a microactuator element according to an embodiment of the present invention is additionally used in a head suspension of a hard disk. Figure 1
As shown in FIG. 1, the head suspension device 1 includes a pair of macro actuator elements 2 and a macro actuator element 2.
, A head 4 for recording and reproducing data on and from a hard disk (not shown), and a head support spring 5 provided at one end of the head arm 3 for supporting the head 4. And a mold resin 7 provided so as to cover the microactuator element 2. A head arm through hole 6 is provided at the other end of the head arm 3. That is, the microactuator element 2 is additionally used for the head suspension device 1.
【0015】このような本発明の実施の形態によるヘッ
ド懸架装置に付加使用する駆動用マイクロアクチュエー
ター素子において、アクチュエーター素子とアクチュエ
ーター素子または、アクチュエーター素子を含むヘッド
懸架部へのコーティング材との間に空間または、中間層
を設けることでアクチュエーター素子の変位が抑制され
ず、アクチュエーター素子本来の動作を可能とすること
ができる。In the driving micro-actuator element additionally used in the head suspension according to the embodiment of the present invention, a space is provided between the actuator element and the actuator element or the coating material on the head suspension including the actuator element. Alternatively, by providing the intermediate layer, the displacement of the actuator element is not suppressed, and the original operation of the actuator element can be performed.
【0016】次に、本発明の実施の形態によるマイクロ
アクチュエーター素子部品の具体例図面を用いて詳細に
説明する。Next, a detailed description will be given of a microactuator element component according to an embodiment of the present invention with reference to the drawings.
【0017】(例1)図2は、図1のマイクロアクチュ
エーター素子をハードディスクのヘッド懸架装置に付加
使用し、さらにアクチュエーター素子とアクチュエータ
ー素子または、アクチュエーター素子を含むヘッド懸架
部へのコーティング材との間に中間層を設けた場合の一
例を示す部分平面断面図である。図2に示すように、こ
のヘッド懸架部10は、マイクロアクチュエーター素子
2と、ヘッドアーム3と、モールド樹脂7と、中間層8
とから成つている。(Example 1) FIG. 2 shows a case where the microactuator element of FIG. 1 is additionally used for a head suspension of a hard disk, and further, the actuator element and the actuator element or a coating material on a head suspension including the actuator element are coated. FIG. 7 is a partial plan cross-sectional view showing an example in which an intermediate layer is provided in FIG. As shown in FIG. 2, the head suspension 10 includes a microactuator element 2, a head arm 3, a mold resin 7, an intermediate layer 8
And consists of
【0018】このヘッド懸架部10は、マイクロアクチ
ュエーター素子2とヘッドアームの取り付けを任意の接
着剤で行い、次に樹脂モールドに際しては、後に中間層
となる柔軟な樹脂(例えば、住友3M製フロリナートJ
X−900)をあらかじめ塗布後、樹脂をモールドし作
製する。モールド樹脂7は、一般的に使用されるエポキ
シ系樹脂などで構成されている。The head suspension unit 10 attaches the microactuator element 2 and the head arm with an arbitrary adhesive, and then, at the time of resin molding, a flexible resin (for example, Fluorinert J made by Sumitomo 3M) which will later become an intermediate layer.
X-900) is applied in advance, and then molded by molding a resin. The mold resin 7 is made of a commonly used epoxy resin or the like.
【0019】(例2)図3は、図1のマイクロアクチュ
エーター素子2をハードディスクのヘッド懸架装置に付
加使用し、さらにアクチュエーター素子とアクチュエー
ター素子または、アクチュエーター素子を含むヘッド懸
架部へのコーティング材との間に空間を設けた場合の一
例を示す部分平面断面図である。(Example 2) FIG. 3 shows a case where the microactuator element 2 of FIG. 1 is additionally used in a head suspension of a hard disk, and the actuator element and the actuator element or a coating material for a head suspension including the actuator element are coated. FIG. 4 is a partial plan cross-sectional view illustrating an example of a case where a space is provided therebetween.
【0020】このヘッド懸架部20は、マイクロアクチ
ュエーター素子2と、ヘッドアーム3と、モールド樹脂
7と、空間9とから成っている。The head suspension 20 comprises the microactuator element 2, the head arm 3, the mold resin 7, and the space 9.
【0021】このヘッド懸架部20は、マイクロアクチ
ュエーター素子2とヘッドアームの取り付けを任意の接
着剤で行い、次に樹脂モールドに際しては、真空モール
ド工法にて素子との間に空間を設け、最後に樹脂をモー
ルドし作製する。The head suspension unit 20 mounts the microactuator element 2 and the head arm with an arbitrary adhesive, then provides a space between the microactuator element 2 and the element by a vacuum molding method at the time of resin molding. It is made by molding resin.
【0022】モールド樹脂7は、例1と同じく一般的に
使用されるエポキシ系樹脂などでよい。素子とモールド
樹脂の間に空間をあける方法としては、樹脂モールド処
理温度で軟化し軟化後に柔軟性を有する粉末を低充填率
で塗布しておき、その後の樹脂モールドに際して、粉体
の軟化・固化による見かけ密度の減少を利用するなどの
方法もある。このような粉末として、パラフィンなどが
挙げられる。The molding resin 7 may be an epoxy resin generally used as in Example 1. As a method of opening a space between the element and the mold resin, soft powder is softened at the resin mold processing temperature, and then a powder having flexibility after softening is applied at a low filling rate, and the powder is softened and solidified during the subsequent resin molding. There is also a method of utilizing a decrease in the apparent density due to the above. Examples of such powder include paraffin.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ヘッド
懸加装置に付加使用する駆動用マイクロアクチュエータ
ー素子において、マイクロアクチュエーター素子とマイ
クロアクチュエーター素子または、アクチュエーター素
子を含むヘッド懸架部へのコーティング材との間に空間
または、中間層を設けることで、マイクロアクチュエー
ター素子からの脱粒が落下し記録媒体を傷つけることを
防止でき、マイクロアクチュエーターの素子本来の変位
機能が十分に発揮される。As described above, according to the present invention, a micro-actuator element and a micro-actuator element or a coating on a head suspension including the actuator element in a driving micro-actuator element additionally used for a head suspension apparatus. By providing a space or an intermediate layer between the material and the material, it is possible to prevent the particles falling from the microactuator element from falling and damaging the recording medium, and the element's original displacement function of the microactuator is sufficiently exhibited.
【図1】本発明の実施の形態によるマイクロアクチュエ
ーター素子をハードディスクのヘッド懸架装置に付加使
用した場合の模式平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view when a microactuator element according to an embodiment of the present invention is additionally used in a head suspension device of a hard disk.
【図2】図1のマイクロアクチュエーター素子をハード
ディスクのヘッド懸架装置に付加使用し、さらにアクチ
ュエーター素子とアクチュエーター素子または、アクチ
ュエーター素子を含むヘッド懸架部へのコーティング材
との間に中間層を設けた場合の一例を示す部分平面断面
図である。FIG. 2 shows a case in which the microactuator element of FIG. 1 is additionally used in a head suspension of a hard disk, and an intermediate layer is provided between the actuator element and the actuator element or a coating material on a head suspension including the actuator element. FIG. 4 is a partial plan cross-sectional view showing one example.
【図3】図2は図1のマイクロアクチュエーター素子を
ハードディスクのヘッド懸架装置に付加使用し、さらに
アクチュエーター素子とアクチュエーター素子または、
アクチュエーター素子を含むヘッド懸架部へのコーティ
ング材との間に空間を設けた場合の一例を示す部分平面
断面図である。FIG. 2 shows the micro-actuator element of FIG. 1 additionally used in a head suspension of a hard disk, and an actuator element and an actuator element or
FIG. 7 is a partial plan cross-sectional view illustrating an example in which a space is provided between the head suspension including the actuator element and a coating material on the head suspension.
1 ヘッド懸架装置 2 マクロアクチュエーター素子 3 ヘッドアーム 4 ヘッド 5 ヘッド支持バネ 6 貫通穴 7 モールド樹脂 8 中間層 9 空間 10,20 ヘッド懸架部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Head suspension apparatus 2 Macro actuator element 3 Head arm 4 Head 5 Head support spring 6 Through hole 7 Mold resin 8 Intermediate layer 9 Space 10, 20 Head suspension part
Claims (3)
イクロアクチュエーター素子において、ヘッドアームに
搭載されたアクチュエーター素子のヘッド懸架部に対し
て、少なくとも前記アクチュエーター素子を覆うように
コーティング材を設けるとともに、前記コーティング材
と前記アクチュエーター素子との間に空間または、中間
層を設けたことを特徴としたマイクロアクチュエーター
素子部品。1. A driving micro-actuator element additionally used for a head suspension device, wherein a coating material is provided on a head suspension portion of an actuator element mounted on a head arm so as to cover at least the actuator element. A microactuator element component comprising a space or an intermediate layer provided between a coating material and the actuator element.
ー素子部品を前記ヘッドアームに搭載していることを特
徴とするヘッド懸架装置。2. A head suspension device, wherein the microactuator element component according to claim 1 is mounted on the head arm.
ー素子部品を前記ヘッドアームに搭載するとともに、前
記ヘッドアームの一端に記録再生ヘッドが設けられたヘ
ッド懸架装置と、前記記録再生ヘッドによって記録及び
再生されるハードディスクとを備えていることを特徴と
するハードディスク装置。3. A head suspension device wherein the microactuator element component according to claim 1 is mounted on the head arm, and a recording / reproducing head is provided at one end of the head arm, and recording / reproducing is performed by the recording / reproducing head. And a hard disk drive.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000209673A JP2002025204A (en) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | Microactuator element parts |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000209673A JP2002025204A (en) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | Microactuator element parts |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002025204A true JP2002025204A (en) | 2002-01-25 |
Family
ID=18706044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000209673A Withdrawn JP2002025204A (en) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | Microactuator element parts |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002025204A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10003006B2 (en) | 2012-09-27 | 2018-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, and magnetic disc apparatus |
-
2000
- 2000-07-11 JP JP2000209673A patent/JP2002025204A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10003006B2 (en) | 2012-09-27 | 2018-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, and magnetic disc apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004296074A (en) | Head-gimbal assembly of hard disk drive | |
US20080226949A1 (en) | Damper for use in data storage applications | |
JP4302162B2 (en) | Head actuator assembly and magnetic disk drive equipped with the same | |
JPH07244826A (en) | Magnetic disc driving apparatus | |
US6952323B2 (en) | System and method of constraining vibration in a disk drive unit and motor device | |
JPH07176181A (en) | Disk drive and its assembly method | |
JP2004171674A (en) | Recording medium drive apparatus and lamp member | |
US20050286163A1 (en) | Hard disk drive with damping plate | |
US6735054B2 (en) | Low cost overmolded magnet and pole assembly | |
JP2006079813A (en) | Hard disk drive assembly, mounting structure for hard disk drive, and mobile phone adopting the same | |
JP2000306226A (en) | Magnetic disk head slider | |
US6577474B2 (en) | Integrated voice coil motor assembly for a disc drive | |
KR20020027525A (en) | Disk device | |
JP2002025204A (en) | Microactuator element parts | |
US5790344A (en) | Base casting/cover for separating pack bounce and spindle tilt modes in a magnetic storage system | |
US20060103984A1 (en) | Flexible printed circuit and hard disk drive with the same | |
JP2003257139A (en) | Recording medium driving device | |
WO2003102950A1 (en) | Method for encapsulation of a u shape micro-actuator | |
JPH11353631A (en) | Magnetic disk device and pseudo contact head | |
US7224550B2 (en) | Hard disk drive device and method of assembling the hard disk drive device | |
JP4044885B2 (en) | Thin film magnetic head and manufacturing method thereof | |
US20060262452A1 (en) | Method of making hermetically sealed hard disk drive by encapulation | |
US7859851B2 (en) | Flexible printed circuit and bracket structure for hard disk drive | |
JPH076335A (en) | Magnetic head assembly and method for assembling magnetic disk device having the assembly | |
JP2990018B2 (en) | Magnetic head positioning device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061207 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061207 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061218 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070724 |