JP2002023343A - Method for producing mask with heat transfer printer - Google Patents

Method for producing mask with heat transfer printer

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JP2002023343A
JP2002023343A JP2000217247A JP2000217247A JP2002023343A JP 2002023343 A JP2002023343 A JP 2002023343A JP 2000217247 A JP2000217247 A JP 2000217247A JP 2000217247 A JP2000217247 A JP 2000217247A JP 2002023343 A JP2002023343 A JP 2002023343A
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Japan
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mask
ink
transfer printer
film
thermal transfer
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Naoki Oikawa
直樹 及川
Satoru Sasaki
悟 佐々木
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Alps Alpine Co Ltd
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Alps Electric Co Ltd
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a mask with a heat transfer printer by which a mask can easily be produced even by an average man by printing and forming a mask pattern by the heat transfer of ink on an ink ribbon to the top of a film sheet comprising paper for OHP(overhead projector) or the like with a commercially available heat transfer printer. SOLUTION: In the method for producing a mask, an ink film 11a comprising ink opaque to UV formed on an ink ribbon 11 is heat-transferred to the top of a film sheet P as a substrate comprising a UV transmissive material with a heat transfer printer to print and form a mask pattern 12 of the desired shape.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は熱転写プリンタを用
いたマスク製造方法に係わり、インクリボンのインクを
熱転写してマスクを製造可能な熱転写プリンタを用いた
マスク製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a mask using a thermal transfer printer, and more particularly to a method for manufacturing a mask using a thermal transfer printer capable of manufacturing a mask by thermally transferring ink on an ink ribbon.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のマスク製造方法を、図5に基づい
て説明すると、まず第1工程で、透明なガラスからなる
基板21の上にCr等からなる金属膜22を形成する。
次に第2工程で、金属膜22の上に感光性のレジスト液
を塗布してレジスト膜23を形成する。次に第3工程
で、レジスト膜23上から、例えばプリント基板(図示
せず)に形成する所望の配線パターン(図示せず)の形
状に倣って、電子ビームLを照射し、レジスト膜23を
感光させて感光レジスト膜23aを形成する。次に第4
工程で、電子ビームLを照射しない部分のレジスト膜2
3を剥離液を使って剥離して除去する。
2. Description of the Related Art A conventional mask manufacturing method will be described with reference to FIG. 5. First, in a first step, a metal film 22 made of Cr or the like is formed on a substrate 21 made of transparent glass.
Next, in a second step, a photosensitive resist solution is applied on the metal film 22 to form a resist film 23. Next, in a third step, the resist film 23 is irradiated with an electron beam L from the top of the resist film 23 according to a desired wiring pattern (not shown) formed on a printed board (not shown), for example. Exposure is performed to form a photosensitive resist film 23a. Then the fourth
In the process, a portion of the resist film 2 not irradiated with the electron beam L
3 is peeled off using a peeling solution and removed.

【0003】この第4工程で、感光レジスト膜23a以
外のレジスト膜23を剥離させることにより、感光レジ
スト膜23aで覆われた部分以外の金属膜22が露出す
る。次に第5工程で、感光レジスト膜23aで覆われた
部分以外の、表面が露出した金属膜2をエッチング等の
処理により除去して、感光レジスト膜23aで覆われた
部分以外の基板21を露出させる。このことにより、感
光レジスト膜23aと同じ形状の、金属膜22からなる
マスクパターン22aが感光レジスト膜23aの下部に
形成される。次に第6工程で、感光レジスト膜23aを
除去すると、金属膜22からなるマスクパターン22a
が露出して、所望の形状のマスクパターン22aを有す
るマスク24を製造することができる。このような製造
方法で作られたマスク24により、例えばプリント基板
(図示せず)に所望の配線パターン(図示せず)を形成
することができる。
In the fourth step, the resist film 23 other than the photosensitive resist film 23a is peeled off, so that the metal film 22 other than the portion covered with the photosensitive resist film 23a is exposed. Next, in a fifth step, the metal film 2 having an exposed surface other than the portion covered with the photosensitive resist film 23a is removed by a process such as etching to remove the substrate 21 other than the portion covered with the photosensitive resist film 23a. Expose. Thus, a mask pattern 22a having the same shape as the photosensitive resist film 23a and made of the metal film 22 is formed below the photosensitive resist film 23a. Next, in a sixth step, when the photosensitive resist film 23a is removed, a mask pattern 22a made of the metal film 22 is formed.
Are exposed, and a mask 24 having a mask pattern 22a having a desired shape can be manufactured. A desired wiring pattern (not shown) can be formed on, for example, a printed board (not shown) by using the mask 24 manufactured by such a manufacturing method.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のような
従来のマスク製造方法で製造したマスクは、製造工程が
多いために、製造納期が長く掛かる問題があった。ま
た、従来のマスク製造方法は、専用のマスク製造装置を
必要とし、専門の業者でないと製造が難しかったので、
従来の方法で製造したマスクがコストアップになってい
た。また、従来の方法で製造したマスクは、基板がガラ
スなので、取り扱い時、または保管時に割れ等の不具合
が発生することがあるので取り扱いが難しかった。
However, a mask manufactured by the above-described conventional mask manufacturing method has a problem that it takes a long delivery time due to many manufacturing steps. Also, the conventional mask manufacturing method requires a dedicated mask manufacturing apparatus, and it was difficult to manufacture without a specialized company,
The cost of the mask manufactured by the conventional method has increased. Further, the mask manufactured by the conventional method is difficult to handle because the substrate is made of glass, which may cause problems such as cracks during handling or storage.

【0005】本発明は、前述したような問題点に鑑みて
なされたもので、市販の熱転写プリンタを用いて、OH
P用紙等からなるフィルムシート上にインクリボンのイ
ンクを熱転写してマスクパターンを印刷形成することに
より、一般の人でも容易に製造が可能な、熱転写プリン
タを用いたマスク製造方法を提供することを目的とする
ものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and has been developed using a commercially available thermal transfer printer.
An object of the present invention is to provide a mask manufacturing method using a thermal transfer printer, which can be easily manufactured by ordinary people by thermally transferring the ink of an ink ribbon onto a film sheet made of P paper or the like to print and form a mask pattern. It is the purpose.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第1の解決手段として本発明の熱転写プリンタを用い
たマスク製造方法は、紫外線透過性の材料からなる基板
上に、熱転写プリンタを用いてインクリボンに形成した
インク膜を熱転写して所望の形状のマスクパターンを印
刷形成するような方法とした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a mask manufacturing method using a thermal transfer printer according to the present invention. A thermal transfer of the ink film formed on the ink ribbon to print and form a mask pattern of a desired shape.

【0007】また、前記課題を解決するための第2の解
決手段として、前記インク膜は、紫外線不透過性のイン
クからなる方法とした。
As a second means for solving the above-mentioned problems, the ink film is made of an ink which is impermeable to ultraviolet rays.

【0008】また、前記課題を解決するための第3の解
決手段として、前記基板は、絶縁性で透明なフィルムシ
ートからなり、このフィルムシートに前記マスクパター
ンを印刷形成するような方法とした。
[0008] As a third means for solving the above-mentioned problems, the substrate is made of an insulating and transparent film sheet, and the mask pattern is printed and formed on the film sheet.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の熱転写プリンタを
用いたマスク製造方法を図面に基づいて説明する。ま
ず、図1は本発明に可係わる熱転写プリンタの印刷手段
の要部斜視図であり、図2は本発明に関するフィルムシ
ート上にマスクパターンを形成する手順を説明する図で
あり、図3は本発明のその他の実施の形態を説明する図
であり、図4は本発明に係わるマスクパターンの要部拡
大図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mask manufacturing method using a thermal transfer printer according to the present invention will be described below with reference to the drawings. First, FIG. 1 is a perspective view of a main part of a printing means of a thermal transfer printer according to the present invention, FIG. 2 is a view for explaining a procedure for forming a mask pattern on a film sheet according to the present invention, and FIG. FIG. 4 is a view for explaining another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged view of a main part of a mask pattern according to the present invention.

【0010】まず、本発明に係わる熱転写プリンタの要
部である印刷手段Sを図1に基づいて説明すると、印刷
手段Sには、図示下方の給紙部(図示せず)から図示上
方に搬送されてくる紫外線透過性の材料からなる基板で
ある、例えばOHP用紙等の透明なフィルムシートPが
位置するようになっている。また、印刷手段Sには、フ
ィルムシートPの幅寸法より長く形成された横長状のプ
ラテン1が配設されている。このプラテン1は、平板状
の金属板からなるホルダ2にゴム等の弾性部材3が取り
付けられ、弾性部材3の表面が平坦状に形成されて印刷
面3aが設けられている。
First, the printing means S, which is a main part of the thermal transfer printer according to the present invention, will be described with reference to FIG. 1. The printing means S is conveyed upward from a sheet feeding unit (not shown) at the bottom in the figure. A transparent film sheet P such as, for example, an OHP sheet, which is a substrate made of a material that transmits ultraviolet light, is provided. Further, the printing means S is provided with a horizontally long platen 1 formed to be longer than the width dimension of the film sheet P. The platen 1 has an elastic member 3 such as rubber attached to a holder 2 made of a flat metal plate, and the surface of the elastic member 3 is formed flat to provide a printing surface 3a.

【0011】また、図1に示すプラテン1の下方には、
回転可能なゴム等からなる紙送りローラ4が、回転軸4
aに所定の間隔を有して複数個取り付けられている。前
記複数の紙送りローラ4には、それぞれ回転自在の圧接
ローラ5が独立して圧接されており、紙送りローラ4が
回転すると圧接ローラ5が追従して回転するようになっ
ている。そして、送りローラ4と圧接ローラ5とによ
り、図示下方の給紙部(図示せず)から搬送されてくる
フィルムシートPを圧接狭持し、このフィルムシートP
を矢印E方向に搬送して、プラテン1と後述するサーマ
ルヘッド9との間に搬送可能になっている。
Also, below the platen 1 shown in FIG.
A paper feed roller 4 made of rotatable rubber or the like is
a are attached at predetermined intervals. A rotatable pressure roller 5 is independently pressed against the plurality of paper feed rollers 4, and when the paper feed roller 4 rotates, the pressure roller 5 rotates following the rotation. Then, the film sheet P conveyed from a sheet feeding unit (not shown) below the drawing is pressed and held by the feed roller 4 and the pressing roller 5, and this film sheet P
Is transported in the direction of arrow E, and can be transported between the platen 1 and a thermal head 9 described later.

【0012】また、プラテン1と対向する側には、プラ
テン1の長手方向に沿って往復移動可能なキャリッジ6
が配設されている。このキャリッジ6は、棒状のガイド
シャフト7に軸支されると共に、一対の駆動プーリ(図
示せず)に巻回された適宜な駆動ベルト8が張架されて
いる。そして、前記駆動プリーを回転駆動させることに
より駆動ベルト8が駆動し、キャリッジ6は、プラテン
1の長手方向に沿って往復動移動するようになってい
る。前記キャリッジ6の上面には、平坦状のカセット装
着面6aが形成され、このカセット装着面6aの中央部
付近には、相互に所定間隔を隔てて、一対の回転可能な
ボビン6b、6bが上方に突出形成されている。
A carriage 6 reciprocally movable along the longitudinal direction of the platen 1 is provided on a side facing the platen 1.
Are arranged. The carriage 6 is supported by a rod-shaped guide shaft 7 and has an appropriate drive belt 8 wound around a pair of drive pulleys (not shown). The driving belt 8 is driven by rotating the driving pulley, and the carriage 6 reciprocates along the longitudinal direction of the platen 1. A flat cassette mounting surface 6a is formed on the upper surface of the carriage 6, and a pair of rotatable bobbins 6b, 6b are located above the center of the cassette mounting surface 6a at predetermined intervals. The protrusion is formed.

【0013】また、プラテン1の印刷面2と対向する側
のキャリッジ6には、プラテン1の弾性部材2に対して
ヘッドダウンして圧接可能なサーマルヘッド9が取り付
けられている。また、図1に示すサーマルヘッド9の右
側端部寄りには、複数の発熱素子(図示せず)が図示上
下方向に整列されて形成されている。この複数の発熱素
子は、制御部(図示せず)からの印刷情報に基づいて、
選択的に発熱可能になっている。
A thermal head 9 is mounted on the carriage 6 on the side facing the printing surface 2 of the platen 1 so that the thermal head 9 can be pressed down against the elastic member 2 of the platen 1. A plurality of heating elements (not shown) are formed near the right end of the thermal head 9 shown in FIG. The plurality of heating elements are based on print information from a control unit (not shown).
It is possible to selectively generate heat.

【0014】また、サーマルヘッド9は、プラテン1に
対して接離可能、即ちヘッドアップ、ダウン可能になっ
ており、サーマルヘッド9がヘッドダウンすることによ
り、プラテン1の印刷面3aに圧接可能となっている。
また、キャリッジ6のカセット装着面6aには、リボン
カセット10が装着可能になっており、このリボンカセ
ット10は、キャリッジ6の一対のボビン6b、6bが
係合可能な一対の孔状のリール10a、10aを有し、
この一対のリール10a、10aには、インクリボン1
1が巻回されている。
The thermal head 9 can be brought into contact with and separated from the platen 1, that is, can be moved up and down. When the thermal head 9 is moved down, it can be pressed against the printing surface 3a of the platen 1. Has become.
A ribbon cassette 10 can be mounted on the cassette mounting surface 6a of the carriage 6. The ribbon cassette 10 has a pair of hole-shaped reels 10a with which a pair of bobbins 6b, 6b of the carriage 6 can be engaged. , 10a,
The ink ribbon 1 is attached to the pair of reels 10a and 10a.
1 is wound.

【0015】このインクリボン11のプラテン1と対向
する側(図1に示す外側の面)には、紫外線を透過する
ことができない紫外線不透過性のインクを塗布した所定
の厚さのインク膜11aが形成されている。このインク
膜11aは、紫外線不透過性のものであればよく、例え
ば黒色インク、またはアルミニウム膜を蒸着させたメタ
リックインク等がある。
On the side of the ink ribbon 11 facing the platen 1 (the outer surface shown in FIG. 1), an ink film 11a of a predetermined thickness coated with an ink that is impermeable to ultraviolet light that cannot transmit ultraviolet light. Are formed. The ink film 11a may be a material that is impermeable to ultraviolet rays, such as a black ink or a metallic ink on which an aluminum film is deposited.

【0016】そして、プラテン1、紙送りローラ4、圧
接ローラ5、ガイドシャフト7等のそれぞれの左右両端
部が、一対のフレーム(図示せず)に取り付けられて、
本発明に係わる熱転写プリンタが構成されている。この
ような熱転写プリンタによるフィルムシートPへの印刷
動作は、まず、給紙部(図示せず)に収納しているフィ
ルムシートPを、給紙ローラ(図示せず)で矢印E方向
に搬送する。すると、フィルムシートPは、前端部が紙
送りローラ4と圧接ローラ5とに圧接狭持され、紙送り
ローラ4を回転させることにより、ヘッドアップ状態の
サーマルヘッド9とプラテン1との間に搬送される。
The left and right ends of the platen 1, the paper feed roller 4, the pressure roller 5, the guide shaft 7, and the like are attached to a pair of frames (not shown).
A thermal transfer printer according to the present invention is configured. In the printing operation on the film sheet P by such a thermal transfer printer, first, the film sheet P stored in the paper supply unit (not shown) is transported in the direction of arrow E by a paper supply roller (not shown). . Then, the front end of the film sheet P is pressed and held between the paper feed roller 4 and the pressure roller 5, and is conveyed between the thermal head 9 in the head-up state and the platen 1 by rotating the paper feed roller 4. Is done.

【0017】この時、制御部(図示せず)には、CAD
AM等によりデザインした所望の形状の配線パターンが
データ化されて印刷情報として読み込みされている。次
に、サーマルヘッド9をヘッドダウンさせ、インクリボ
ン11とフィルムシートPとをプラテン1に圧接し、印
刷情報に基づいて複数の発熱素子(図示せず)を選択的
に発熱させると共に、キャリッジ6をプラテン1の長手
方向に沿って移動させることにより、フィルムシートP
上にインクリボン11のインク膜11aを熱転写して、
所望の形状のマスクパターン12を印刷形成することが
できる。前記マスクパターン12が形成されたマスク1
3の要部拡大図は、例えば図4に示すような形状に形成
されており、このような形状の複数のマスクパターン1
2は、例えばサーマルヘッド9の複数の発熱素子(図示
せず)に接続される複数の配線パターン(図示せず)に
対応した形状に形成されている。
At this time, the control unit (not shown) includes a CAD
A wiring pattern of a desired shape designed by AM or the like is converted into data and read as print information. Next, the thermal head 9 is lowered, the ink ribbon 11 and the film sheet P are pressed against the platen 1, and a plurality of heating elements (not shown) are selectively heated based on the print information, and the carriage 6 is moved. Is moved along the longitudinal direction of the platen 1 so that the film sheet P
The ink film 11a of the ink ribbon 11 is thermally transferred thereon,
A mask pattern 12 having a desired shape can be formed by printing. Mask 1 on which mask pattern 12 is formed
3 is formed in a shape as shown in FIG. 4, for example, and a plurality of mask patterns 1 having such a shape are shown.
2 is formed in a shape corresponding to a plurality of wiring patterns (not shown) connected to a plurality of heating elements (not shown) of the thermal head 9, for example.

【0018】このような、本発明の熱転写プリンタを用
いたマスク製造方法は、市販の熱転写プリンタとフィル
ムシートPとを用いて、図2に示すように、インクリボ
ン11のインク膜11aをフィルムシートPに熱転写す
る第1工程だけで、マスクを作ることができる。そのた
めに、マスクを短時間に容易に製造することができ、低
コストのマスクを作ることができる。
As shown in FIG. 2, the mask manufacturing method using the thermal transfer printer of the present invention uses a commercially available thermal transfer printer and a film sheet P to convert the ink film 11a of the ink ribbon 11 into a film sheet. A mask can be made only by the first step of thermal transfer to P. Therefore, the mask can be easily manufactured in a short time, and a low-cost mask can be manufactured.

【0019】また、本発明の実施の形態では、図2に示
すように、インクリボン11のインク膜11aを、配線
パターン(図示せず)と同形状のマスクパターン12に
重ねて熱転写したポジティブタイプのもので説明した
が、その他の実施の形態として、図3に示すように、マ
スクパターン22は、インク膜11aを熱転写しないで
透明のフィルムシートPを露出させ、マスクパターン2
2以外の部分にインク膜11aを熱転写するネガティブ
タイプでも良い。
Further, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, a positive type in which the ink film 11a of the ink ribbon 11 is thermally transferred by being superimposed on a mask pattern 12 having the same shape as a wiring pattern (not shown). As another embodiment, as shown in FIG. 3, the mask pattern 22 exposes the transparent film sheet P without thermally transferring the ink film 11a, and
A negative type in which the ink film 11a is thermally transferred to a portion other than 2 may be used.

【0020】即ち、本発明の熱転写プリンタを用いたマ
スク製造方法は、紫外線透過性の材料からなる基板であ
るフィルムシートP上に、熱転写プリンタを用いてイン
クリボン11に形成したインク膜11aを熱転写して、
所望の形状のマスクパターン12(または22)を形成
するようにしたものである。
That is, in the method of manufacturing a mask using a thermal transfer printer of the present invention, an ink film 11a formed on an ink ribbon 11 is thermally transferred onto a film sheet P, which is a substrate made of a material that transmits ultraviolet light, using a thermal transfer printer. do it,
The mask pattern 12 (or 22) having a desired shape is formed.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の熱転写プリ
ンタを用いたマスク製造方法は、紫外線透過性の材料か
らなる基板上に、熱転写プリンタを用いてインクリボン
のインクを熱転写して、所望の形状のマスクパターンを
印刷形成したので、市販の熱転写プリンタを用いて、イ
ンクリボンのインク膜を紫外線透過性の材料であるフィ
ルムシートに熱転写するだけで、マスクを作ることがで
きる。そのために、マスクを短時間に容易に製造するこ
とができると共に、低コストのマスクを作ることが可能
な、熱転写プリンタを用いたマスク製造方法を提供でき
る。
As described above, in the method of manufacturing a mask using a thermal transfer printer according to the present invention, the ink of the ink ribbon is thermally transferred onto a substrate made of a material which transmits ultraviolet light by using the thermal transfer printer. Since the mask pattern having the above-mentioned pattern is formed by printing, a mask can be formed only by thermally transferring the ink film of the ink ribbon to a film sheet which is a material that transmits ultraviolet light, using a commercially available thermal transfer printer. Therefore, it is possible to provide a mask manufacturing method using a thermal transfer printer which can easily manufacture a mask in a short time and can manufacture a low-cost mask.

【0022】また、前記インクリボンの前記インクは、
紫外線不透過性のインクからなるので、マスク製造時の
露光ランプの光線を確実に遮断することができる。その
ために、本発明の製造方法で製造したマスクの、例えば
配線パターンの輪郭をシャープに高精度に形成すること
ができる。
Further, the ink of the ink ribbon is:
Since it is made of an ink that is impermeable to ultraviolet light, it is possible to reliably block light from an exposure lamp when manufacturing a mask. Therefore, for example, a contour of a wiring pattern of a mask manufactured by the manufacturing method of the present invention can be formed sharply and with high precision.

【0023】また、前記基板は、透明なフィルムシート
からなり、このフィルムシートに前記マスクパターンを
印刷形成するようにしたので、基板を市販のOHP用紙
等の安価なフィルムシートを用いることができ、低コス
トで取り扱いが容易なマスクを製造できる。
Further, since the substrate is formed of a transparent film sheet and the mask pattern is formed by printing on the film sheet, an inexpensive film sheet such as a commercially available OHP paper can be used for the substrate. A low-cost and easy-to-handle mask can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に可係わる熱転写プリンタの印刷手段の
要部斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a main part of a printing unit of a thermal transfer printer according to the present invention.

【図2】本発明に関する基板上にマスクパターンを形成
する手順を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a procedure for forming a mask pattern on a substrate according to the present invention.

【図3】本発明のその他の実施の形態を説明する図であ
る。
FIG. 3 is a diagram illustrating another embodiment of the present invention.

【図4】本発明に係わるマスクパターンの要部拡大図で
ある。
FIG. 4 is an enlarged view of a main part of a mask pattern according to the present invention.

【図5】従来のマスク製造方法の工程を説明する図であ
る。
FIG. 5 is a diagram illustrating steps of a conventional mask manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プラテン 2 ホルダ 3 弾性部材 3a 印刷面 4 紙送りローラ 4a 回転軸 5 圧接ローラ 6 キャリッジ 6a カセット装着面 6b ボビン 7 ガイドシャフト 8 駆動ベルト 9 サーマルヘッド 9a 発熱素子 10 リボンカセット 10a リール 11 インクリボン 11a インク膜 12 マスクパターン 13 マスク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Platen 2 Holder 3 Elastic member 3a Printing surface 4 Paper feed roller 4a Rotating shaft 5 Pressure contact roller 6 Carriage 6a Cassette mounting surface 6b Bobbin 7 Guide shaft 8 Drive belt 9 Thermal head 9a Heating element 10 Ribbon cassette 10a Reel 11 Ink ribbon 11a Ink Film 12 mask pattern 13 mask

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 紫外線透過性の材料からなる基板上に、
熱転写プリンタを用いてインクリボンに形成したインク
膜を熱転写して所望の形状のマスクパターンを印刷形成
するようにしたことを特徴とする熱転写プリンタを用い
たマスク製造方法。
1. On a substrate made of a material that transmits ultraviolet light,
A mask manufacturing method using a thermal transfer printer, wherein a thermal transfer printer is used to thermally transfer an ink film formed on an ink ribbon to print and form a mask pattern having a desired shape.
【請求項2】 前記インク膜は、紫外線不透過性のイン
クからなることを特徴とする請求項1記載の熱転写プリ
ンタを用いたマスク製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the ink film is made of an ink that is impermeable to ultraviolet light.
【請求項3】 前記基板は、透明なフィルムシートから
なり、このフィルムシートに前記マスクパターンを印刷
形成するようにしたことを特徴とする請求項1、または
2記載の熱転写プリンタを用いたマスク製造方法。
3. A mask manufacturing method using a thermal transfer printer according to claim 1, wherein said substrate is made of a transparent film sheet, and said mask pattern is printed on said film sheet. Method.
JP2000217247A 2000-07-13 2000-07-13 Method for producing mask with heat transfer printer Withdrawn JP2002023343A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7217504B2 (en) 2004-09-03 2007-05-15 Eastman Kodak Company Method of imaging

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