JP2002022536A - Fourier transform infrared spectrophotometer - Google Patents
Fourier transform infrared spectrophotometerInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はフーリエ変換赤外分
光光度計に関する。The present invention relates to a Fourier transform infrared spectrophotometer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】フーリエ変換赤外分光光度計（以下「Ｆ
ＴＩＲ」という）では、固定鏡及び移動鏡を含むマイケ
ルソン型干渉計により時間的に振幅が変動する干渉波
（インターフェログラム）を生成し、これを試料に照射
してその透過光又は反射光を検出する。そして、この検
出信号をフーリエ変換することにより、横軸に波数、縦
軸に強度（吸光度）をとった吸収スペクトルを得ること
ができる。2. Description of the Related Art A Fourier transform infrared spectrophotometer (hereinafter referred to as "F
In TIR), a Michelson-type interferometer including a fixed mirror and a movable mirror generates an interference wave (interferogram) whose amplitude varies with time, irradiates the sample with a transmitted light or reflected light. Is detected. By subjecting this detection signal to Fourier transform, an absorption spectrum having a wave number on the horizontal axis and intensity (absorbance) on the vertical axis can be obtained.
【０００３】このようなＦＴＩＲの透過測定にあって
は、目的試料を測定して吸光スペクトルを作成するとと
もに、同一光学系で試料を装着しないブランク測定を行
ってバックグランドスペクトルを作成し、その両者の差
分を計算することにより試料の透過率スペクトルを算出
する、という処理が行われている。In such FTIR transmission measurement, a target sample is measured to create an absorption spectrum, and a blank spectrum is measured with the same optical system without mounting a sample to create a background spectrum. Of calculating the transmittance spectrum of the sample by calculating the difference.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来よりＦＴＩＲで
は、測定目的等に応じて波数分解能を外部から設定でき
るようになっている。上述のように透過率スペクトルを
算出する際には、目的試料の吸光スペクトルとバックグ
ランドスペクトルの波数分解能が同一でなければならな
いから、波数分解能を変更した場合には、変更後の波数
分解能でのブランク測定を実行し、それに基づいたバッ
クグランドスペクトルを作成する必要があった。一般
に、ＦＴＩＲでは、ＳＮ比を向上させるために多数回の
繰り返し測定を行い、その測定結果を積算するという演
算処理が行われる。そのため、或る１つの試料の測定を
実行してスペクトルを得るまでに、短くても数秒程度の
時間を要し、ブランク測定でも同一回数の積算を行うた
め、全体の測定時間はかなり長いものとなる。このよう
に、試料測定毎にブランク測定を行うことは、測定効率
の向上の大きな妨げとなっていた。Conventionally, in FTIR, the wave number resolution can be set externally according to the measurement purpose and the like. When calculating the transmittance spectrum as described above, since the wavenumber resolution of the absorption spectrum and the background spectrum of the target sample must be the same, when the wavenumber resolution is changed, the change in the wavenumber resolution after the change is performed. It was necessary to perform a blank measurement and generate a background spectrum based on it. Generally, in FTIR, arithmetic processing is performed in which a large number of repeated measurements are performed to improve the SN ratio, and the measurement results are integrated. Therefore, it takes at least several seconds to obtain a spectrum by performing measurement of a certain sample, and the same number of times is required for blank measurement. Become. As described above, performing the blank measurement for each sample measurement hinders the improvement of the measurement efficiency.
【０００５】本発明は上記問題を解決するために成され
たものであり、その目的とするところは、波数分解能の
如何に拘わらず、試料測定の度に行われていたブランク
測定を省略することにより測定効率を改善できるフーリ
エ変換赤外分光光度計を提供することにある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and an object of the present invention is to omit blank measurement performed every time a sample is measured, regardless of the wavenumber resolution. It is an object of the present invention to provide a Fourier-transform infrared spectrophotometer which can improve the measurement efficiency.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上述したようなブランク
測定は目的試料の測定と略同一条件の下で実行される必
要があるが、一般に、ＦＴＩＲでは、不使用時にも常時
通電する等、光学系を含む装置の安定化に注意が払われ
ている。したがって、光源の発光強度の低下などといっ
た長時間に亘る経時変化が無視できる程度の時間範囲内
であれば、ブランク測定を目的試料の測定の直前又は直
後に行わなくてもよい。そこで、本発明に係るフーリエ
赤外分光光度計では、当該装置で選択可能な最高の波数
分解能で予めブランク測定を行ってデータを取得し、こ
れをバックグランドスペクトルの基本データとして保存
しておく。そして、試料測定時に波数分解能が選択され
ると、その波数分解能で試料を測定するとともに、上記
バックグランドスペクトルの基本データからその波数分
解能に応じたデータのみを選択し、そのデータによりバ
ックグランドスペクトルを作成する。これにより、試料
測定時には実際にブランク測定を行う必要がなくなる。The blank measurement as described above needs to be performed under substantially the same conditions as the measurement of the target sample. Attention has been paid to stabilizing the equipment, including the system. Therefore, the blank measurement need not be performed immediately before or immediately after the measurement of the target sample as long as the time-dependent change over time, such as a decrease in the light emission intensity of the light source, is within a negligible time range. Therefore, in the Fourier infrared spectrophotometer according to the present invention, data is obtained by performing blank measurement in advance with the highest wavenumber resolution selectable by the device, and this data is stored as basic data of the background spectrum. When the wave number resolution is selected at the time of measuring the sample, the sample is measured at the wave number resolution, and only the data corresponding to the wave number resolution is selected from the basic data of the background spectrum, and the background spectrum is determined by the data. create. This eliminates the need to actually perform a blank measurement at the time of sample measurement.
【０００７】すなわち、本発明に係るフーリエ変換赤外
分光光度計は、赤外光を発生する光源と、固定鏡及び移
動鏡を含み、前記赤外光より干渉光を生成する干渉計
と、該干渉光を検出する検出器と、該検出信号をフーリ
エ変換してスペクトルを得る処理部とを具備するフーリ
エ変換赤外分光光度計において、 a)当該装置で選択可能な最高の波数分解能で、試料を通
さないブランク測定を実行してデータを収集し、これを
記憶手段に格納しておくブランク測定手段と、 b)目的試料の測定に際し、選択された波数分解能に応じ
て前記記憶手段からデータを選択する選択手段と、 c)該選択されたデータに基づいたバックグランドを用い
て目的試料のスペクトルを算出するスペクトル作成手段
と、を備えることを特徴としている。That is, a Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention includes a light source that generates infrared light, a fixed mirror and a movable mirror, and an interferometer that generates interference light from the infrared light. In a Fourier transform infrared spectrophotometer comprising a detector for detecting interference light and a processing unit for obtaining a spectrum by Fourier transforming the detection signal, a) a sample with the highest wavenumber resolution selectable by the apparatus. A blank measurement unit that collects data by performing a blank measurement that does not pass through, and stores the data in a storage unit, and b) upon measurement of a target sample, data from the storage unit according to the selected wavenumber resolution. Selecting means for selecting; and c) spectrum creating means for calculating a spectrum of the target sample using a background based on the selected data.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
ＦＴＩＲについて図面を参照して説明する。図１は本Ｆ
ＴＩＲの要部の構成図、図２は図１中のデータ処理部２
９における要部の機能ブロック図、図３は本ＦＴＩＲの
動作を説明するための波形図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an FTIR according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows the book F
FIG. 2 is a configuration diagram of a main part of the TIR, and FIG.
9, and FIG. 3 is a waveform diagram for explaining the operation of the FTIR.
【０００９】図１において、主干渉計は、赤外光源１
１、集光鏡１２、コリメータ鏡１３、ビームスプリッタ
１４、固定鏡１５、移動鏡１６等から構成され、スペク
トル測定を行うための干渉赤外光を発生させる。すなわ
ち、赤外光源１１から出射された赤外光は、集光鏡１
２、コリメータ鏡１３を介してビームスプリッタ１４に
照射され、ここで固定鏡１５及び移動鏡１６の二方向に
分割される。固定鏡１５及び移動鏡１６にてそれぞれ反
射した光はビームスプリッタ１４によって再び合一さ
れ、放物面鏡２１へ向かう光路に送られる。このとき、
移動鏡１６は前後（図１中の矢印の方向）に往復動して
いるため、合一された光は時間的に振幅が変動する干渉
光（インターフェログラム）となる。放物面鏡２１にて
集光された光は試料室２２内に照射され、試料室２２に
配置された試料２３を通過した光は楕円面鏡２４により
光検出器２５へ集光される。In FIG. 1, the main interferometer is an infrared light source 1
1. Consisting of a condenser mirror 12, a collimator mirror 13, a beam splitter 14, a fixed mirror 15, a movable mirror 16, and the like, and generates interference infrared light for performing spectrum measurement. That is, the infrared light emitted from the infrared light source 11 is
2. The light is irradiated to the beam splitter 14 via the collimator mirror 13, where it is divided into two directions, a fixed mirror 15 and a movable mirror 16. The light reflected by the fixed mirror 15 and the light reflected by the movable mirror 16 are combined again by the beam splitter 14 and sent to the optical path toward the parabolic mirror 21. At this time,
Since the movable mirror 16 reciprocates back and forth (in the direction of the arrow in FIG. 1), the combined light becomes an interference light (interferogram) whose amplitude varies with time. The light condensed by the parabolic mirror 21 is radiated into the sample chamber 22, and the light that has passed through the sample 23 disposed in the sample chamber 22 is condensed on the photodetector 25 by the ellipsoidal mirror 24.
【００１０】一方、コントロール干渉計は、レーザ光源
１７、ミラー１８、ビームスプリッタ１４、固定鏡１
５、移動鏡１６等から構成され、干渉縞信号を得るため
のレーザ干渉光を発生させる。すなわち、レーザ光源１
７から出射された光はミラー１８を介してビームスプリ
ッタ１４に照射され、上記赤外光と同様に干渉光となっ
て放物面鏡２１の方向へ送られる。このレーザ干渉光は
非常に小さな径の光束となって進行するため、光路中に
挿入されたミラー１９により反射されて光検出器２０に
導入される。On the other hand, the control interferometer includes a laser light source 17, a mirror 18, a beam splitter 14, and a fixed mirror 1.
5. It comprises a movable mirror 16 and the like, and generates laser interference light for obtaining an interference fringe signal. That is, the laser light source 1
The light emitted from 7 is irradiated on the beam splitter 14 via the mirror 18, becomes interference light similarly to the infrared light, and is sent toward the parabolic mirror 21. Since this laser interference light travels as a light beam having a very small diameter, it is reflected by the mirror 19 inserted in the optical path and introduced into the photodetector 20.
【００１１】なお、上記主干渉計を中心とする光学部品
は気密室１０内に配置されており、気密室１０内は湿度
がコントロールされている。これは、主として、潮解性
を有するＫＢｒを基板とするビームスプリッタ１４を保
護するためである。The optical components centering on the main interferometer are arranged in a hermetic chamber 10, and the humidity in the hermetic chamber 10 is controlled. This is mainly for protecting the beam splitter 14 using the deliquescent KBr as a substrate.
【００１２】光検出器２０の受光信号、つまりレーザ光
干渉縞信号は信号生成部３０に入力され、ここで赤外干
渉光に対する受光信号をサンプリングするためのパルス
信号が生成される。光検出器２５で得られた受光信号は
アンプ２６で増幅され、サンプルホールド回路（Ｓ／
Ｈ）２７にて上記パルス信号によるタイミングでサンプ
リングされた後にＡ／Ｄ変換器（Ａ／Ｄ）２８によりデ
ジタルデータに変換される。データ処理部２９では、こ
のデータに対しフーリエ変換を実行し吸収スペクトルを
作成し、更に後述のようにバックグランドデータを用い
て透過率スペクトルを作成する。なお、上記一連の測定
動作は制御部３１の制御の下に実行される。The light receiving signal of the photodetector 20, that is, the laser light interference fringe signal is input to a signal generator 30, where a pulse signal for sampling the light receiving signal for the infrared interference light is generated. The received light signal obtained by the photodetector 25 is amplified by an amplifier 26, and is sampled and held by a sample-and-hold circuit (S /
H) At 27, the signal is sampled at the timing according to the pulse signal, and then converted into digital data by an A / D converter (A / D) 28. The data processing unit 29 performs a Fourier transform on this data to create an absorption spectrum, and further creates a transmittance spectrum using background data as described later. The above-described series of measurement operations is performed under the control of the control unit 31.
【００１３】このＦＴＩＲでは、目的試料の測定を行う
以前に、試料がない状態でのブランク測定が実行され
る。ブランク測定を行うための方法は各種考えられる
が、最も単純には、試料室２２内に試料２３を配置せ
ず、いわば試料室２２内を素通りした光を測定する。ま
た、目的とする試料が液体試料等である場合には、液体
試料を収容するセルを、試料を入れない状態のまま試料
室２２内に配置し、該セルを通過する光を測定する。ま
た、複数の試料を交換可能なサンプルチェンジャを試料
室２２内に設置し、その一つをブランク試料としてお
き、これを選択して測定するようにしてもよい。In this FTIR, a blank measurement without a sample is performed before a target sample is measured. Although various methods for performing the blank measurement are conceivable, in the simplest case, the light that passes through the sample chamber 22 is measured without disposing the sample 23 in the sample chamber 22. When the target sample is a liquid sample or the like, the cell containing the liquid sample is placed in the sample chamber 22 without the sample, and the light passing through the cell is measured. Alternatively, a sample changer capable of exchanging a plurality of samples may be installed in the sample chamber 22, one of which may be set as a blank sample, and this may be selected and measured.
【００１４】このブランク測定時には、本装置において
最も分解能が高い波数分解能が選択される。このＦＴＩ
Ｒでは、赤外光源１１の大きさが理想状態であると看做
せば、波数分解能は光路差に依存している。つまり、必
要とされる光路差は波数分解能毎に相違する。例えば、
本装置で、波数分解能は、０．５、１、２、４、８、１
６ｃｍ−１の６種類であるとする。いま、最も分解能が
高い波数分解能０．５ｃｍ−１ に対し２ｃｍの光路差
が必要であるとすると、波数分解能１ｃｍ−１に対して
は半分の１ｃｍの光路差で充分である。更に低い波数分
解能では、光路差はもっと短くて済む。At the time of this blank measurement, the wave number resolution having the highest resolution in the present apparatus is selected. This FTI
In R, if the size of the infrared light source 11 is considered to be an ideal state, the wave number resolution depends on the optical path difference. That is, the required optical path difference differs for each wave number resolution. For example,
In this device, the wave number resolution is 0.5, 1, 2, 4, 8, 1
It is assumed that there are six types of 6 cm -1 . Now, assuming that an optical path difference of 2 cm is required for the wave number resolution of 0.5 cm -1 having the highest resolution, an optical path difference of 1 cm, which is half the wave number resolution of 1 cm -1 , is sufficient. At lower wavenumber resolution, the optical path difference may be shorter.
【００１５】ブランク測定の結果、光検出器２５で得ら
れるインターフェログラムが図３（ａ）に示す通りであ
るとすると、サンプルホールド回路２７及びＡ／Ｄ変換
器２８によりデジタル化されたデータは図３（ｂ）に示
すようになる。このようなインターフェログラムでは横
軸は光路差（つまり移動鏡１６の移動距離）である。上
述したように波数分解能は光路差に依存し、波数分解能
が低くなるほど光路差は小さくなるから、最高の波数分
解能を除く他の波数分解能に対する測定データは、この
最高の波数分解能に対する測定データに全て包含されて
いる。これが、ブランク測定時に最も高い波数分解能を
選択する理由である。この図３（ｂ）に示すようなデー
タは、データ処理部２９に備えられたメモリに格納され
る。As a result of the blank measurement, if the interferogram obtained by the photodetector 25 is as shown in FIG. 3A, the data digitized by the sample and hold circuit 27 and the A / D converter 28 The result is as shown in FIG. In such an interferogram, the horizontal axis is the optical path difference (that is, the moving distance of the movable mirror 16). As described above, the wave number resolution depends on the optical path difference, and the optical path difference becomes smaller as the wave number resolution becomes lower. Is included. This is the reason for selecting the highest wavenumber resolution during blank measurement. The data as shown in FIG. 3B is stored in a memory provided in the data processing unit 29.
【００１６】なお、ブランク測定を行う場合に、次のよ
うにすると好ましい。ＦＴＩＲでは、測定を複数回繰り
返し、その結果得られたデータを積算することによりＳ
Ｎ比を向上できることが知られている。ブランク測定に
おいても、このような積算を行うことが望ましい。この
積算回数は多いほどよいが、通常の試料測定時では時間
的制限がある。そこで、例えば、夜間、或いは、昼間で
あっても比較的長く装置を使用しない時間帯に、自動的
に又は手動でブランク測定を多数回繰り返し行い、その
結果を積算して最終的なデータを取得する。このように
すれば、多数回の積算を行っても試料測定の邪魔になる
ことがなく、しかも、高いＳＮ比を達成することができ
る。When performing a blank measurement, the following is preferred. In FTIR, the measurement is repeated a plurality of times, and the data obtained as a result
It is known that the N ratio can be improved. It is desirable to perform such integration also in blank measurement. The greater the number of times of integration, the better, but there is a time limit during normal sample measurement. Therefore, for example, at night or during the daytime when the apparatus is not used for a relatively long time, blank measurement is repeated many times automatically or manually, and the results are integrated to obtain final data. I do. With this configuration, even if the integration is performed a large number of times, it does not hinder the sample measurement, and a high SN ratio can be achieved.
【００１７】図２において、バックグランドデータ記憶
部４０は上述したようなブランク測定の際に得られるデ
ータが格納されるメモリである。積算処理が行われる場
合には、格納されるデータは積算処理されたものであ
る。In FIG. 2, a background data storage section 40 is a memory for storing data obtained at the time of blank measurement as described above. When the integration processing is performed, the stored data is the data that has been integrated.
【００１８】目的とする試料２３の測定時の本ＦＴＩＲ
の動作は次の通りである。オペレータにより図示しない
操作部を介して、データ処理部２９に対し波数分解能が
指示される。データ選択部４１は、指示された波数分解
能に応じてバックグランドデータ記憶部４０からデータ
を選択して読み出す。例えば、最高波数分解能が指示さ
れた場合には、全てのデータを読み出す。また、それよ
りも波数分解能が低い場合には、上述したようにそれに
対応する光路差に応じて数を減らしたデータを読み出
す。バックグランドスペクトル作成部４２は、上記選択
されたデータに対してフーリエ変換を行ってバックグラ
ンドスペクトルを作成する。The FTIR at the time of measuring the target sample 23
Is as follows. The operator instructs the data processing unit 29 of the wave number resolution via an operation unit (not shown). The data selection unit 41 selects and reads data from the background data storage unit 40 according to the specified wave number resolution. For example, when the highest wave number resolution is specified, all data is read. If the wave number resolution is lower than that, data whose number is reduced according to the corresponding optical path difference is read as described above. The background spectrum creating unit 42 creates a background spectrum by performing a Fourier transform on the selected data.
【００１９】一方、試料室２２に配置された試料２３に
対し上述したような測定が実行され、このとき取得され
たデータが試料スペクトル作成部４３へと入力される。
試料スペクトル作成部４３では、測定データに対しフー
リエ変換を行い吸光スペクトルを作成する。差スペクト
ル演算部４４は両スペクトルの差分を計算し、試料に対
する透過率スペクトルを算出する。On the other hand, the above-described measurement is performed on the sample 23 placed in the sample chamber 22, and the data obtained at this time is input to the sample spectrum creating section 43.
The sample spectrum creation unit 43 creates a light absorption spectrum by performing a Fourier transform on the measurement data. The difference spectrum calculator 44 calculates the difference between the two spectra and calculates the transmittance spectrum for the sample.
【００２０】このＦＴＩＲでは、波数分解能が相違する
試料測定が実行された際に、その波数分解能でのブラン
ク測定を一々実行する必要はなく、既に格納されている
バックグランドデータからその全て又は一部を選択しさ
えすればよい。したがって、試料測定時にブランク測定
に時間を割く必要がなく、きわめて効率的に測定を進め
ることができる。更に、ブランク測定は充分に時間が確
保できるときに行えばよいので、測定回数を非常に多く
することができ、データの積算回数が増してバックグラ
ンドスペクトル自体のＳＮ比が向上し、最終的な透過ス
ペクトルのＳＮ比も改善される。In the FTIR, when a sample measurement having a different wavenumber resolution is performed, it is not necessary to perform blank measurement at the wavenumber resolution one by one. All you have to do is select. Therefore, it is not necessary to take time for the blank measurement at the time of sample measurement, and the measurement can be performed very efficiently. Furthermore, since the blank measurement may be performed when a sufficient time can be secured, the number of measurements can be extremely increased, the number of data integration increases, the SN ratio of the background spectrum itself improves, and the final The SN ratio of the transmission spectrum is also improved.
【００２１】なお、上記実施形態は本発明の一例であっ
て、本発明の趣旨の範囲で適宜に修正や変更を行えるこ
とは明らかである。The above embodiment is an example of the present invention, and it is apparent that modifications and changes can be made as appropriate within the scope of the present invention.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度
計によれば、試料測定の度毎に、その測定時の波数分解
能に応じたブランク測定を行う必要はなく、試料測定の
みを行うことによって、バックグランドの補正されたス
ペクトルを取得することができる。したがって、測定効
率が大きく向上する。According to the Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention, it is not necessary to perform blank measurement according to the wave number resolution at the time of each sample measurement, but only sample measurement. As a result, a background-corrected spectrum can be obtained. Therefore, the measurement efficiency is greatly improved.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】 本発明の一実施形態であるＦＴＩＲの要部の
構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of an FTIR according to an embodiment of the present invention.
【図２】 図１中のデータ処理部における要部の機能ブ
ロック図。FIG. 2 is a functional block diagram of a main part in a data processing unit in FIG. 1;
【図３】 本実施形態によるＦＴＩＲの動作を説明する
ための波形図。FIG. 3 is a waveform chart for explaining the operation of the FTIR according to the embodiment.
１０…気密室 １１…赤外光源 １２…集光鏡 １３…コリメータ鏡 １４…ビームスプリッタ １５…固定鏡 １６…移動鏡 １７…レーザ光源 １８、１９…ミラー ２０、２５…光検出器 ２１…放物面鏡 ２２…試料室 ２３…試料 ２４…楕円面鏡 ２６…アンプ ２７…サンプルホールド回路 ２８…Ａ／Ｄ変換器 ２９…データ処理部 ３０…信号生成部 ３１…制御部 ４０…バックグランドデータ記憶部 ４１…データ選択部（選択手段） ４２…バックグランドスペクトル作成部 ４３…試料スペクトル作成部 ４４…差スペクトル演算部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Airtight room 11 ... Infrared light source 12 ... Condensing mirror 13 ... Collimator mirror 14 ... Beam splitter 15 ... Fixed mirror 16 ... Moving mirror 17 ... Laser light source 18, 19 ... Mirror 20, 25 ... Photodetector 21 ... Parabolic Plane mirror 22 ... Sample chamber 23 ... Sample 24 ... Ellipsoidal mirror 26 ... Amplifier 27 ... Sample hold circuit 28 ... A / D converter 29 ... Data processing unit 30 ... Signal generation unit 31 ... Control unit 40 ... Background data storage unit 41: Data selection unit (selection means) 42: Background spectrum creation unit 43: Sample spectrum creation unit 44: Difference spectrum calculation unit
Claims (1)
動鏡を含み、前記赤外光より干渉光を生成する干渉計
と、該干渉光を検出する検出器と、該検出信号をフーリ
エ変換してスペクトルを得る処理部とを具備するフーリ
エ変換赤外分光光度計において、 a)当該装置で選択可能な最高の波数分解能で、試料を通
さないブランク測定を実行してデータを収集し、これを
記憶手段に格納しておくブランク測定手段と、 b)目的試料の測定に際し、選択された波数分解能に応じ
て前記記憶手段からデータを選択する選択手段と、 c)該選択されたデータに基づいたバックグランドを用い
て目的試料のスペクトルを算出するスペクトル作成手段
と、を備えることを特徴とするフーリエ変換赤外分光光
度計。1. A light source for generating infrared light, an interferometer including a fixed mirror and a movable mirror for generating interference light from the infrared light, a detector for detecting the interference light, and a detector for detecting the detection signal. A Fourier transform infrared spectrophotometer comprising a processing unit for obtaining a spectrum by Fourier transform, a) performing a blank measurement through a sample at the highest wavenumber resolution selectable by the apparatus and collecting data. A blank measuring means for storing the same in a storage means, b) a selection means for selecting data from the storage means in accordance with a selected wave number resolution when measuring a target sample, and c) the selected data. A spectrum creating means for calculating a spectrum of the target sample using a background based on the Fourier transform infrared spectrophotometer.
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Cited By (4)
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2000
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