JP2002014728A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送量がピーク時でも搬送物を滞貨なく搬送
する能力を損なうこと無く、余剰分の搬送車の数を削減
して搬送車の有効活用を図ると共に、稼働中の搬送車の
走行ルートを邪魔しないようにして搬送効率の向上を図
ること。 【解決手段】 必要搬送車決定装置は搬送路の搬送量を
計画し、計画された搬送量に対して必要な搬送車の台数
を算出し、算出された必要搬送車台数から搬送路で稼働
する搬送車を決定し、この決定結果を搬送車配分装置に
出力する。これにより、搬送車制御装置は、前記搬送車
配分装置からの搬送車の移動指示に従って搬送路上の搬
送車の移動を制御し、必要に応じて接続路を通して搬送
車を他の搬送路に配車することにより常に適切な数の搬
送車を搬送路に供給し、或いは未稼働の搬送車を接続路
に退避させて、動作中の搬送車の邪魔にならないように
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶など
の製造工場で、半導体や液晶等の搬送物を搬送する搬送
システムに係り、特に同一機器で構成される搬送システ
ムが部屋毎に複数設置されて成る搬送システムに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体および液晶の製造工場
は、同一種の製造装置群にまとめられた製造工程毎の部
屋に分けられているのが一般的である。製造装置間の製
品搬送は、各部屋内では工程内搬送機器で行われ、各部
屋間の渡りでは工程間搬送機器で行われている。

【０００３】図９は、従来の搬送システムの構成例を示
したブロック図である。半導体製造装置８、搬送物収納
装置７から構成される部屋で、搬送車制御装置１に制御
された搬送車３、４、５が搬送路２を走行して、半導体
ウエハを収納した半導体ウエハ収納容器である搬送物６
を搬送している。この時、例えば、搬送量が少なく、搬
送車３、４が動作しており、搬送車５は待機中であった
とする。しかし、搬送車５は、別の部屋では使用され
ず、搬送路２の搬送量が増えた時にのみ使用される。

【０００４】上記のような搬送システムの工程内搬送機
器の搬送車台数は、搬送量がピークの時や、搬送車のメ
ンテナンス及びトラブル時でも、搬送物が停滞すること
がないように、各部屋毎で十分余剰があるように算出さ
れ、配設されている。そのため、一時のタイミングを除
き、各部屋の工程内搬送車台数には余剰が生じ、未稼働
搬送車が存在している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の搬送シ
ステムにおける部屋毎の搬送車台数の余剰は、多くの部
屋を有する工場全体として見ると過剰な余剰となり、工
程内搬送機器コストを増大させている。更に、未稼働搬
送車は、稼働中である搬送車の走行ルート上に停止し
て、稼働搬送車の走行の邪魔をすることがある。

【０００６】従って、上記図９の従来システムでも、上
記した如く搬送量が少なく、搬送車３、４が動作してお
り、搬送車５は待機中となる場合、搬送車５は、別の部
屋では使用されず、搬送路２の搬送量が増えた時にのみ
使用されるとすれば、有効活用されておらず、搬送機器
コストの増大の要因となっている。

【０００７】また、搬送車４が搬送車５よりも遠くにあ
る半導体製造装置８´に向かおうとした場合、搬送車４
の最短搬送路上に搬送車５が存在するために、搬送車４
は搬送車５を避けるように遠回りの搬送ルートを選択し
なければならない。このように搬送量に対して必要以上
の搬送車は、動作中の搬送車の邪魔となり、搬送時間が
延長するといった問題点がある。

【０００８】本発明は、上述の如き従来の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、搬送量がピーク
時でも搬送物を滞貨なく搬送する能力を損なうこと無
く、余剰分の搬送車の数を削減して搬送車の有効活用を
図ると共に、動作中の搬送車の走行ルートを邪魔しない
ようにして搬送効率の向上を図ることが出来る搬送シス
テムを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明の特徴は、少なくとも１台以上の搬
送車と、前記搬送車が走行する搬送路と、前記搬送車の
動作を制御する搬送車制御装置とにより構成される小搬
送システムを複数有する搬送システムにおいて、前記各
小搬送システムで必要な搬送車を決定する必要搬送車決
定装置と、前記必要搬送車決定装置の決定結果に合わせ
て前記各小搬送システム間での搬送車の移動を指示する
搬送車配分装置と、前記搬送路を互いに接続する接続路
とを具備することにある。

【００１０】請求項２の発明の必要搬送車決定装置は、
搬送路の搬送量を計画する搬送量計画部と、計画された
搬送量に対し必要な搬送車の台数を算出する搬送車台数
算出部と、算出された必要搬送車台数から搬送路で稼働
する搬送車を決定する搬送車決定部と、搬送車決定部の
決定結果を出力する指示出力部とを有することを特徴と
する。

【００１１】請求項３の発明の必要搬送車決定装置は、
各搬送車の稼働実績を記憶する搬送車稼働実績記憶部
と、搬送車稼働実績記憶部の稼働実績から搬送路で必要
な搬送車の台数を算出する搬送車台数算出部と、算出さ
れた必要搬送車台数から搬送路で稼働する搬送車を決定
する搬送車決定部と、搬送車決定部の決定結果を出力す
る指示出力部とを有することを特徴とする。

【００１２】請求項４の発明の必要搬送車決定装置は、
搬送物の搬送車待ち時間実績を記憶する搬送車待ち時間
記憶部と、搬送車待ち時間記憶部の搬送車待ち時間実績
から搬送路で必要な搬送車の台数を算出する搬送車台数
算出部と、算出された必要搬送車台数から搬送路で稼働
する搬送車を決定する搬送車決定部と、搬送車決定部の
決定結果を出力する指示出力部とを有することを特徴と
する。

【００１３】請求項５の発明の必要搬送車決定装置は、
各搬送車の定期メンテナンス計画を記憶する搬送車メン
テナンス計画記憶部と、搬送車の定期メンテナンスによ
って搬送路の搬送能力が低下しないように搬送車を決定
する搬送車決定部と、搬送車決定部の決定結果を出力す
る指示出力部とを有することを特徴とする。

【００１４】請求項６の発明の必要搬送車決定装置は、
各搬送車のリアルタイムの稼働状態をモニタする搬送車
モニタ部と、前記モニタによって搬送車のトラブルおよ
び不定期イベントの発生を検知すると、搬送路の搬送能
力が低下しないように搬送車を決定する搬送車決定部
と、搬送車決定部の結果を出力する指示出力部とを有す
ることを特徴とする。

【００１５】本発明によれば、複数の搬送システムの搬
送路を接続路により接続し、各搬送路の搬送量変動に合
わせて搬送車の移動を行えるようにして、各搬送路間で
搬送車を互いに補い合うことが可能になり、搬送車を有
効活用でき、それにより、ピーク搬送量対策としての余
剰分搬送車を少なくできると共に、余剰分の搬送車が稼
働中の搬送車の走行の邪魔をすることを無くすことが出
来る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の搬送システムの一
実施形態に係る構成を示したブロック図である。本例の
搬送システムは、部屋１００の搬送車３、４、５と部屋
２００の搬送車１６、１７が、搬送物６、６´を搬送す
る搬送路２、２´と、搬送路２上の搬送車を制御する搬
送車制御装置１と、搬送路２´上の搬送車を制御する搬
送車制御装置１´と、搬送路２および２´で必要な搬送
車を決定する必要搬送車決定装置１２と、必要搬送車決
定装置１２の決定結果に合わせて各搬送路の搬送車の移
動を搬送車制御装置１および１′に指示する搬送車配分
装置１３と、搬送路２および２´に接続され、搬送車が
搬送路間を移動するための接続路１４とにより構成され
る。尚、７、７´は搬送物収納装置を、８、８´は半導
体製造装置を示している。

【００１７】ここで、上記した必要搬送車決定装置１２
は、搬送路２および２´の搬送量を計画する搬送量計画
部９と、計画された搬送量に対し必要な搬送車の台数を
算出する搬送車台数算出部１０と、算出された必要搬送
車台数から各搬送路で稼働する搬送車を決定する搬送車
決定部１１と、搬送車決定部１１の結果を出力する指示
出力部１８を有している（実施例１）。

【００１８】次に本実施形態の動作について図１に加え
て、図２、図３を参照して説明する。まず、搬送車制御
装置１と搬送路２と、この搬送路２で稼働する搬送車
４、５とを合わせて小搬送システム１５と称し、搬送車
制御装置１´と搬送路２´と、この搬送路２´で稼働す
る搬送車１６、１７を合わせて小搬送システム１５´と
する。

【００１９】小搬送システム１５、１５´では、図１に
示すように、搬送車制御装置１の制御により搬送車３、
４、５が搬送路２を走行して搬送物収納装置７および半
導体製造装置８の間で搬送物６を搬送している。同様
に、搬送車制御装置１´の制御により搬送車１６、１７
が搬送路２´を走行して搬送物収納装置７´および半導
体製造装置８´の間で搬送物６´を搬送している。

【００２０】必要搬送車決定装置１２は、搬送量計画部
９が搬送路２および２´の搬送量を計画し、計画された
搬送量に対して必要な搬送車の台数を搬送車台数算出部
１０が算出し、算出された必要搬送車台数から各搬送路
で稼働する搬送車を搬送車決定部１１が決定し、この搬
送車決定部１１の結果を指示出力部１８が搬送車配分装
置１３へ出力する。

【００２１】搬送車配分装置１３は、必要搬送車決定装
置１２の決定結果に従い、搬送車制御装置１および１´
に対して、搬送車を稼働すべき搬送路へ移動させるよう
に指示する。搬送車制御装置１および１´は、搬送車配
分装置１３の指示により、搬送車を移動させ、搬送物の
搬送を制御する。

【００２２】次に、図１の配車から図２の配車へ移行す
る際の制御動作について説明する。必要搬送車決定装置
１２は、搬送量計画部９の搬送量計画により、搬送路２
の稼働搬送車を搬送車３、４、搬送路２´の稼働搬送車
を搬送車５、１６、１７に決定する。搬送車配分装置１
３は、搬送車５を搬送路２から搬送路２´へ移動させる
ように、搬送車制御装置１に指示する。搬送車制御装置
１は、搬送車５に対して、接続路１４を通って搬送路２
から搬送路２´へ移動するように制御する。

【００２３】更に、図１の配車から図３の配車へ移行す
る際の制御動作について説明する。必要搬送車決定装置
１２は、搬送量計画部９の搬送量計画により、搬送路２
の稼働搬送車を搬送車３、４、搬送路２´の稼働搬送車
を搬送車１６、１７に決定する。搬送車配分装置１３
は、搬送車５を搬送路２から接続路１４へ移動させるよ
うに、搬送車制御装置１に指示する。搬送車制御装置１
は搬送車５に対して、接続路１４へ移動、待機するよう
に制御する。このように、搬送量計画部９の搬送量計画
に応じて、搬送路２、２´を走行する搬送車台数が適正
に制御される。

【００２４】図４は上記した搬送システムの搬送車の配
車制御例を示したフローチャートである。ステップ４０
１にて、必要搬送車決定装置１２の搬送量計画部９が各
搬送路２、２´の搬送量を計画し、ステップ４０２に
て、必要搬送車決定装置１２の搬送車台数算出部１０が
搬送路２、２´の搬送量に合った搬送車台数を算出し、
ステップ４０３にて、必要搬送車決定装置１２の搬送車
決定部１１が各搬送路２、２´の搬送車を決定し、ステ
ップ４０４にて必要搬送車決定装置１２の指示出力部１
８が必要搬送車決定装置１２の決定結果を出力する。

【００２５】ステップ４０５にて、搬送車配分装置１３
は必要搬送車決定装置１２の決定に基づき、移動搬送車
を搬送車制御装置１に指示する。搬送車制御装置１は、
移動指示があった搬送車を移動させ、搬送路２の搬送車
には搬送物の搬送を、接続路１４の搬送車にはここで待
機させる制御を行う。

【００２６】図５は上記した必要搬送車決定装置１２の
実施例２の構成を示したブロック図である。必要搬送車
決定装置１２は、各搬送車の稼働実績を記憶する搬送車
稼働実績記憶部１２１と、搬送車稼働実績記憶部１２１
の稼働実績から搬送路２、２´で必要な搬送車の台数を
算出する搬送車台数算出部１２２と、算出された必要搬
送車台数から搬送路２、２´で稼働する搬送車を決定す
る搬送車決定部１２３と、搬送車決定部１２３の結果を
出力する指示出力部１２４から構成されている。

【００２７】本実施例では、各搬送車の稼働実績から搬
送路２、２´で必要な搬送車の台数を算出するが、他の
動作は実施例１と同様である。

【００２８】図６は上記した必要搬送車決定装置１２の
実施例３の構成を示したブロック図である。必要搬送車
決定装置１２は、搬送物の搬送車待ち時間実績を記憶す
る搬送車待ち時間記憶部１２５と、搬送車待ち時間記憶
部の搬送車待ち時間実績から搬送路で必要な搬送車の台
数を算出する搬送車台数算出部１２６と、算出された必
要搬送車台数から搬送路で稼働する搬送車を決定する搬
送車決定部１２７と、搬送車決定部の結果を出力する指
示出力部１２８とから構成されている。

【００２９】本実施例では、搬送物の搬送車待ち時間実
績から搬送車の台数を算出するが、他の動作は実施例１
と同様である。

【００３０】図７は上記した必要搬送車決定装置１２の
実施例４の構成を示したブロック図である。各搬送車の
定期メンテナンス計画を記憶する搬送車メンテナンス計
画記憶部１２９と、搬送車の定期メンテナンスによって
搬送路の搬送能力が低下しないように搬送車を決定する
搬送車決定部１３０と、搬送車決定部１３０の決定結果
を出力する指示出力部１３１とから構成されている。

【００３１】本実施例では、定期メンテナンス計画に基
づいて、搬送車の定期メンテナンスによって搬送路２、
２´の搬送能力が低下しないように搬送車を決定し、そ
れに従って各搬送路２、２´に適切な配車を行う。

【００３２】図８は上記した必要搬送車決定装置１２の
実施例４の構成を示したブロック図である。各搬送車の
リアルタイムの稼働状態をモニタする搬送車モニタ部１
３２と、搬送車のトラブルおよび不定期イベントが起こ
った時に搬送路２、２´の搬送能力が低下しないように
搬送車を決定する搬送車決定部１３３と、搬送車決定部
１３３の決定結果を出力する指示出力部１３４とから構
成されている。

【００３３】本実施例では、各搬送車のリアルタイムの
稼働状態をモニタし、このモニタによって搬送車のトラ
ブルおよび不定期イベントが起きたことを検知すると、
搬送路２、２´の搬送能力が低下しないように搬送車を
決定し、それに従って各搬送路に配車する搬送車の数を
調整する。

【００３４】本実施形態によれば、搬送システムによ
り、搬送路２、２´の搬送量変化に応じて、搬送車が余
る例えば搬送路２から不足する搬送路２´へ接続路１４
を介して搬送車５を移動させることができるため、搬送
車を有効活用できる。その結果、搬送量ピーク時や、搬
送車のメンテナンスおよびトラブル時対応用の余剰搬送
車５を各搬送路２、２´毎に配車する必要がなくなり、
搬送機器のコストを削減することができる。

【００３５】更に、搬送路２、２´上の余剰搬送車を削
減できると共に、余剰搬送車を接続路１４に退避させる
ことにより、稼働中の搬送車の走行ルートを邪魔するこ
とがなくなり、効率的な搬送（搬送車１台当たりの搬送
量増加、搬送時間の短縮）が可能になる。また、搬送路
２、２´の搬送量を予め計画しておけば、稼働搬送車を
事前に準備することができ、常に搬送路２、２´の搬送
車台数を適正にすることができる。

【００３６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
発明によれば、搬送路の搬送量変化に応じて、搬送車が
余る搬送路から不足する搬送路へ接続路を介して搬送車
を移動させることができるため、搬送車を有効活用でき
る。その結果、搬送量ピーク時や、搬送車のメンテナン
スおよびトラブル時の対応としての余剰搬送車が各搬送
路毎に必要でなくなり、搬送機器のコストを削減するこ
とができる。更に、搬送路上の余剰搬送車を削減できる
ため、稼働中の搬送車の走行ルートを邪魔することがな
くなり、効率的な搬送（搬送車１台あたりの搬送量増
加、搬送時間の短縮）が可能になる。

【００３７】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、搬送車台数は搬送路の搬送量計画から決
めるため、予め搬送量を計画しておけば、稼働搬送車を
事前に準備することができ、常に搬送路の搬送車台数を
適正にすることができる。

【００３８】請求項３の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、搬送車台数は搬送車の稼働実績から決め
るため、シミュレーション等による能力推定から決定す
るよりもより適正にすることができる。

【００３９】請求項４の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、搬送車台数は搬送車の搬送車待ち時間実
績から決めるため、シミュレーション等による能力推定
から決定するよりもより適正にすることができる。

【００４０】請求項５の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、稼働搬送車は搬送車自身の定期メンテナ
ンスを避けて設定することができるため、定期メンテナ
ンスによる搬送能力の低下のない搬送システムを構築す
ることができる。

【００４１】請求項６の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加え、搬送車の稼働状態をリアルタイムにモニ
タできるため、搬送車のトラブルおよび不定期イベント
が起こっても、直ぐに対処、希望通りの搬送能力を維持
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送システムの一実施形態に係る構成
を示したブロック図である。

【図２】図１に示した搬送システムの配車制御を説明す
るブロック図である。

【図３】図１に示した搬送システムの配車制御を説明す
るブロック図である。

【図４】図１に示した搬送システムの配車制御例を示し
たフローチャートである。

【図５】図１に示した必要搬送車決定装置の実施例２の
構成を示したブロック図である。

【図６】図１に示した必要搬送車決定装置の実施例３の
構成を示したブロック図である。

【図７】図１に示した必要搬送車決定装置の実施例４の
構成を示したブロック図である。

【図８】図１に示した必要搬送車決定装置の実施例４の
構成を示したブロック図である。

【図９】従来の搬送システムの構成例を示したブロック
図である。

【符号の説明】

１、１´ 搬送車制御装置 ３、４、５、１６、１７ 搬送車 ２、２´ 搬送路 ６、６´ 搬送物 ７、７′ 搬送物収納装置 ８、８´ 半導体製造装置 ９ 搬送量計画部 １０、１２２、１２６ 搬送車台数算出部 １１ 搬送車決定部 １５、１５´ 小搬送システム １８、１２４、１２８、１３１、１３４ 指示出力部 １２ 必要搬送車決定装置 １３ 搬送車配分装置 １４ 接続路 １００、２００ 部屋 １２１ 搬送車稼働実績記憶部 １２３、１２７、１３０、１３３ 搬送車決定部 １２５ 搬送車待ち時間記憶部 １２９ 搬送車メンテナンス計画記憶部 １３２ 搬送車モニタ部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１台以上の搬送車と、前記搬
   送車が走行する搬送路と、前記搬送車の動作を制御する
   搬送車制御装置とにより構成される小搬送システムを複
   数有する搬送システムにおいて、 前記各小搬送システムで必要な搬送車を決定する必要搬
   送車決定装置と、 前記必要搬送車決定装置の決定結果に合わせて前記各小
   搬送システム間での搬送車の移動を指示する搬送車配分
   装置と、 前記搬送路を互いに接続する接続路と、 を具備することを特徴とする搬送システム。
2. 【請求項２】 必要搬送車決定装置は、搬送路の搬送量
   を計画する搬送量計画部と、計画された搬送量に対し必
   要な搬送車の台数を算出する搬送車台数算出部と、算出
   された必要搬送車台数から搬送路で稼働する搬送車を決
   定する搬送車決定部と、搬送車決定部の決定結果を出力
   する指示出力部とを有することを特徴とする請求項１記
   載の搬送システム。
3. 【請求項３】 必要搬送車決定装置は、各搬送車の稼働
   実績を記憶する搬送車稼働実績記憶部と、搬送車稼働実
   績記憶部の稼働実績から搬送路で必要な搬送車の台数を
   算出する搬送車台数算出部と、算出された必要搬送車台
   数から搬送路で稼働する搬送車を決定する搬送車決定部
   と、搬送車決定部の決定結果を出力する指示出力部とを
   有することを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
4. 【請求項４】 必要搬送車決定装置は、搬送物の搬送車
   待ち時間実績を記憶する搬送車待ち時間記憶部と、搬送
   車待ち時間記憶部の搬送車待ち時間実績から搬送路で必
   要な搬送車の台数を算出する搬送車台数算出部と、算出
   された必要搬送車台数から搬送路で稼働する搬送車を決
   定する搬送車決定部と、搬送車決定部の決定結果を出力
   する指示出力部とを有することを特徴とする請求項１記
   載の搬送システム。
5. 【請求項５】 必要搬送車決定装置は、各搬送車の定期
   メンテナンス計画を記憶する搬送車メンテナンス計画記
   憶部と、搬送車の定期メンテナンスによって搬送路の搬
   送能力が低下しないように搬送車を決定する搬送車決定
   部と、搬送車決定部の決定結果を出力する指示出力部と
   を有することを特徴とする請求項１記載の搬送システ
   ム。
6. 【請求項６】 必要搬送車決定装置は、各搬送車のリア
   ルタイムの稼働状態をモニタする搬送車モニタ部と、前
   記モニタによって搬送車のトラブルおよび不定期イベン
   トの発生を検知すると、搬送路の搬送能力が低下しない
   ように搬送車を決定する搬送車決定部と、搬送車決定部
   の結果を出力する指示出力部とを有することを特徴とす
   る請求項１記載の搬送システム。