JP2001500296A - ピンチオフ敏感回路用補償回路網 - Google Patents

ピンチオフ敏感回路用補償回路網

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Abstract

(57)【要約】 ピンチオフ電圧に敏感な回路の補償に使用可能な制御回路を提供する。この制御回路は、ゲート27、ドレイン29及びソース28を有する制御FET26を具える。制御FETソース28は、定電圧降下素子32と直列の制御FETソース抵抗31を介してトラッキング電位23に接続される。制御電圧入力22が制御FETドレイン29に印加される。制御FET26を流れる電流は、制御FET26のピンチオフ値より低い制御電圧入力の略線形変化を生じる伝達関数となる。電圧制御出力23が制御FET26のピンチオフ電圧値に近づくと、制御電圧出力23の同様の変化が制御電圧入力22の同じ変化を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】 ピンチオフ敏感回路用補償回路網 本発明は、ピンチオフ電圧変動に敏感な制御回路に適する電流又は電圧源に関 する。 「T型」減衰器と称される既知の受動電圧変化減衰器設計は、図1に示す如く 、2個の直列電界効果トランジスタ(以下FETという)と、これら両直列FE Tの中点及び基準電位間に接続されたシャント(並列)FETとから成る。RF inポートは、減衰したいRF(高周波)エネルギーの入力端である。減衰され た出力は、RFoutポートに現れる。これらRFin及びRFoutポートは 、直列FET回路の反対端にある。これら直列FETとシャントFETとは、減 衰制御電源により制御される。直列FETの共通接続点は、実質的にFETのピ ンチオフ電圧に保持される。減衰制御電圧は、直列FETのゲート電圧を変化す る。直列FETのゲート電圧を変化するこの減衰制御電圧は、ゲート及びソース 間電圧差を制御して、これらFETを変化抵抗器として所定減衰レンジ内で動作 させる。同時に、この減衰制御電圧は、シャントFETのドレイン及びソース電 圧を変化し、シャントFETのゲートは基準(接地)電位に接続する。従って、 減衰制御電圧を変化すると、シャントFETも同じレンジで変化抵抗器として動 作する。しかし、これは減衰制御電圧に対して直列FETとは反対の関係である 。この回路は、GaAs(ガリウム砒素)MESFETを使用する無線周波数電 圧変減衰器用に特に好適である。 このT型電圧変化減衰回路では、5V制御電圧で最低減衰であり、0V制御電 圧で最高減衰となる。制御電圧入力は、抵抗分圧回路網をバイアスする。この抵 抗分圧回路網の制御電圧出力は、減衰制御電圧であり、制御電圧入力が0Vから 最大電圧、典型的には5Vまで順次上昇するとき、0Vから約FETのピンチオ フ電圧まで変化する。両直列FETの共通接続点は、典型的には5Vである固定 電圧源により電圧レギュレータ回路でピンチオフ電圧に保持される。 動作を説明すると、0Vの制御電圧入力が抵抗分圧回路網に印加され、0V減 衰制御電圧とする。この減衰制御電圧は、直列FETのゲートに印加され、両直 列FETのゲート・ソース電圧を約ピンチオフ電圧値とする。両直列FETのゲ ート・ソース電圧を略ピンチオフ電圧に保持すると、直列FETは実質的にオフ 状態となり、高抵抗状態となる。この0V制御電圧入力、従って抵抗分圧回路網 の減衰制御電圧出力は、同時にシャントFETのドレイン・ソースにも印加され 、シャントFETのゲートは基準電位に保持される。これにより、シャントFE Tのゲート・ソース電圧差は0又は極めて小さく、それをオンとし、シャントF ETの実効抵抗を小さくする。シャントFETが低抵抗となると、接地への低抵 抗パスを生じる。RFinポートに印加したRFエネルギーは、この低抵抗シャ ントFETを介して実質的に接地に短絡され、電圧変化減衰器のRFoutポー トには殆どRFエネルギーが現れないこととなる。 最大制御電圧入力レベル、典型的には5Vで、電圧変化減衰器は、最低減衰状 態である。5V制御電圧入力は、理想的にはピンチオフ又はそれに近い減衰制御 電圧を発生し、直列FETのゲートに印加される。直列FETのドレイン・ソー スをピンチオフ電圧に保持すると、直列FETのゲート・ソース間電圧差が略0 となる。直列FETのゲート・ソース間電圧差が0Vであると、これら両FET はオンとなり、低実効抵抗状態とする。同時に、5V制御電圧入力は、シャント FETのドレイン・ソースをピンチオフに近い減衰制御電圧とする。シャントF ETのケードは基準電位に保持されるので、シャントFETのゲート・ソース間 電圧差は、略ピンチオフ電圧となる。シャントFETのゲート・ソース間電圧差 がピンチオフ電圧となると、それはオフとなり、高実効抵抗状態にする。この状 態では、RFinポートに印加されたRFエネルギーの大部分は、2個の直列F ETを通過してRFoutポートに現れる。その理由は、シャントFETが実質 的に開放(オープン)回路であるからである。 当業者には理解される如く、この電圧変化減衰器が正常に動作するには、減衰 制御電圧が、0Vから略ピンチオフ電圧に変化する必要がある。しかし、同一工 程で製造されたFETでも動作特性、特にピンチオフ電圧にばらつきがあるのが 普通である。例えば、図1に示す減衰器の如く、ピンチオフ電圧の変動に敏感な 回路にあっては、ピンチオフ電圧の変化は、回路の伝達関数を変化し、歩留りや 反復再現性に悪影響を生じる。ピンチオフ電圧変動を補償して電圧変化減衰器の 歩留まりを改善する為に、3個のボンドパッドを有する抵抗分圧回路網が図1に 示す回路に含まれる。この抵抗分圧回路網は、減衰器の0−5V制御電圧入力を スケールする。回路内のFETのピンチオフ電圧を決定した後、抵抗分圧回路網 の3個のボンドパッドの1つに電気的接続する。最適ボンドパットは、減衰電圧 制御範囲(レンジ)を0から5Vにスケールすると、電圧入力範囲を0から減衰 回路内に使用されるピンチオフ電圧レンジに最も近く制御するボンドパッドであ る。抵抗分圧回路網を使用する為に、ピンチオフ電圧の測定、抵抗分圧回路網で 使用する最適ボンドパッドの決定及び減衰制御の為の0からピンチオフ電圧にス ケールされた制御電圧出力を得る為の最適ボンドパッドへのワイヤボンディング が必要になる。この作業は、時間を要し、高価となり且つエラーを伴いやすい。 これはまた、単に3つの変化が得られるのみであるので、粗く且つ不正確である 。従って、ピンチオフ電圧のばらつきを正しく補償でき、所用時間が少なく且つ 従来の解決策よりも高信頼性の装置が必要になる。更に、経時的にも且つ温度変 化に対しても極めて狭い性能範囲内に収まるパーツの製造能力も非常に要求され 、これによりパーツの再現性が得られる。ピンチオフ電圧は、デバイスによって は経時変化及び温度により変化することが知られている。ピンチオフ電圧の変動 叉はばらつきに敏感な回路にあっては、経時的且つ温度によるピンチオフ電圧の 変動を調節及び補償する回路も必要になる。 従って、本発明の目的は、制御電圧入力が0Vからピンチオフ電圧より高い電 圧に変化するとき、制御電圧出力が0Vからピンチオフ電圧へ変化する回路を提 供することである。 本発明の他の目的は、ピンチオフ電圧変動(ばらつき)を補償する為に電圧変 化減衰器の回路を同調する必要を排除することである。 本発明の別の目的は、ピンチオフ電圧変動に敏感な回路の再現性及び歩留まり を改善することである。 本発明の他の目的は、線形制御電圧入力に対して非線形制御電圧出力を得、制 御電圧出力がピンチオフ電圧値に近づくと電圧上昇差を少なくすることである。 本発明の別の目的は、電圧変化減衰器のスイッチチング(切換え)速度を改善 することである。 本発明の他の目的は、ピンチオフ電圧変動に敏感な回路の占有面積を小さくす ることである。 これらの目的及びその他の目的は、本発明が開示する回路により達成される。 即ち、この回路は、ゲート、ドレイン及びソースを有する制御FETより成る電 流源である。ドレインは、制御電圧入力に接続される。ゲートは、ゲート抵抗素 子を介して基準電位源に接続され、ソース及びソース抵抗素子間に直列に接続さ れた定電圧降下素子を有することが改善点である。 本発明が開示する装置の効果は、ピンチオフ電圧の変動に敏感な回路が抵抗分 圧回路網の最適ボレドパッドの選択などにより手動でチューニングすることを必 要とせず、補償可能であるということである。他の効果は、減衰制御電圧が制御 電圧入力に線形変化によりピンチオフ電圧に近づくと、電圧差(変化)が少なく なることである。 次に、本発明の実施形態例を添付図を参照して説明する。 図1は、周知の線形電圧変化減衰器の図である。 図2は、本発明による電流源の回路図である。 図3は、本発明による制御電圧回路図である。 図4は、ピンチオフ電圧値が異なる2個のFETによる図3の回路の伝達関数 のグラフである。 図5は、本発明による電流源の他の実施形態例の回路図である。 図6は、図5の回路の伝達関数を示すグラフである。 図7は、本発明による電圧変化減衰器の回路図である。 図8は、典型的なピンチオフ電圧変動範囲をカバーする図7の電圧変化減衰器 の伝達関数を示すグラフである。 図9は、動作温度範囲をカバーする図7の電圧変化減衰器の伝達関数を示すグ ラフである。 図10は、本発明による電圧変化減衰器の他の実施形態例の回路図である。 図11は、本発明による電圧変化減衰器の更に他の実施形態例の回路図である。 特に、図2を参照すると、本発明による電流源が図示されている。この電流源 は、ゲート27、ソース28及びドレイン29を有する制御FET26より成る 。ゲート27は、好ましくは例えば5KΩのゲート抵抗30を介してトラッキン グ電位23に保持されている。ソース28は、ソース抵抗素子31と直列の定電 圧降下素子32を介してトラッキング電位23に接続される。図示するところか ら当業者は容易に理解できる如く、ソース抵抗31と、ここではダイオードとし て示す定電圧降下素子32が直列に接続され且つこれらの順序は不問である。好 適実施形態例では、定電圧降下素子32は、直列接続された第1ダイオード33 と第2ダイオード34であり、ソース28からトラッキング電位23に順方向で ある。定電圧降下素子32の変形例は、定電圧源、1個以上のダイオード及びツ ェナーダイオードを含む。任意の電圧降下値を使用可能であり、これは電圧制御 入力の全範囲で発生される所望電流範囲により決まる。ソース抵抗素子31の好 適実施例では、10KΩである 特に図3を参照すると、本発明による電圧源の回路図を示す。電圧源は、図2 に示した電流源の全ての素子より成る。電流源から得られる電流は、制御電圧抵 抗24を流れる。この電圧源は、更にトラッキング電位23と基準電位又は接地 25間に接続された制御電圧インピーダンス素子24より成る。電流源からの電 流(Ids)は、制御電圧インピーダンス素子24の両端に電圧降下を生じ、制 御電圧入力(VCTRL-IN)23に対する制御電圧出力(VCTRL-out )22の所望伝達関数を得る。制御電圧インピーダンス素子24は、種々の形態 をとり得るが、好ましい形態は65KΩの抵抗である。他の形態例は、制御電圧 出力22を所望範囲(レンジ)にスケールする抵抗分圧回路網を含む。図4は、 典型値の範囲以上の大きさのピンチオフ電圧を有する2個のFETの図3の回路 の伝達関数を示す。 特に図5を参照すると、本発明による電流源の他の使用例を示す。この使用は 、補償された制御電圧出力が小さいピンチオフ電圧を有するデバイスの大きさよ り大きい最大値を有するとき好適である。図2に示す電流源が示され、ゲート2 7、 ソース28及びドレイン29を有する制御FET26を有する。ゲート27は、 ソース抵抗30を介して接地25に接続される。ソース28は、ソース抵抗31と直列 の定電圧降下素子32を介して接地25に接続される。更に、ゲート42、ドレ イン43及びソース44を有するバイアス用FET41が図示されている。ゲー ト42とソース44とは、夫々ゲート及びソース抵抗45,46を介して制御F ETドレインバイアス点40に接続されている。制御FETドレインバイス点4 0は、制御FET26のドレイン29をバイアスする。電流源は、更にスプリッ タアーム47を具える。このスプリッタアーム47は、更に5個の直列ダイオー ドとして示すレベルシフタ48より構成されるが所望値の定電圧降下を生じる他 の任意形態であっても良い。レベルシフタ48は、スプリッタ抵抗50と直列で ある。VCTRL-out又はドレインバイアス点40における電圧出力対制御 電圧入力22又はVCTRL-INの伝達関数を図6に示す。この伝達関数が示 す如く、制御電圧入力が増加すると、制御FET26を流れるドレイン電流も同 様に増加する。ドレイン電流が増加すると、制御FET26のゲート27からソ ース28への電圧降下が、ピンチオフ電圧値に近づく。制御FETがピンチオフ となると、それはインピーダンスを増加し、より多くの電流がスプリッタアーム 47に向けられる。より大電流が流れると、このスプリッタ抵抗50により大き な電圧降下を生じる。その結果、小さいピンチオフ電圧の制御FET26デバイ スは、スプリッタアーム47の両端であるVCTRL-out又は制御FETド レインバイアス点40の電圧降下を一層大きくする。従って、その逆もまた真で ある。ピンチオフ電圧が大きい制御FET26デバイスは、スプリッタアーム4 7に生じる電圧降下が小さい。VCTRL-OUT電圧値は、レベルシフタ48 を使用して特定レンジにシフトすることが可能である。レベルシフタ48は、電 流レンジの全体にわたり一定電圧降下を生じ、5個の直列ダイオードを使用する と、約3Vのシフトとなる。他の定電圧値及びデバイス又は回路であってもよい 。 特に、図7を参照すると、本発明による補償回路網を有する線形電圧変化減衰 器を示す。この電圧変化減衰器は、ゲート2、ソース3及びドレイン4を有す る第1直列FET1を具える。この第1直列FETの並列抵抗5が第1直列FE T1のソース3とドレイン4間に接続され、これは好適実施形態例では約250Ω である。この減衰器は、更にゲート7、ソース8及びドレイン9を有する第2直 列FET6を具える。第2直列FETの並列抵抗10(好ましくは250Ω)が、第 2直列FET6のソース8とドレイン9間に接続されている。これら第1及び第 2直列FET1,6は、相互に共通接続点21に直列接続されている。この減衰器 は、更にゲート61,ソース62及びドレイン60を有する並列(シャント)FET11 を具える。この並列FET11のゲート61は、並列FETゲート抵抗51を介して基 準電位25に接続される。並列FET11のソース62は、キャパシタ13を介して 基準電位源にAC結合されている。この減衰器は、ピンチオフ電圧トラッキング 回路17によりバイアスされている。ピンチオフ電圧トラッキング回路17は、 ゲートが5KΩの抵抗を介して基準電位25に接続され、ソースが125KΩの 抵抗を介して基準電位25に接続されたレギュレータFET18より成る。5V の固定バイアス電圧がバイアスポート(Vcc)16に入力され、7KΩの抵抗 を介してレギュレータFET18に接続される。レギュレータFET18のソー スは、共通接地点21に接続される。レギュレータ回路17の効果は、共通接続 点21をレギュレータFET18のピンチオフ電圧値に保持することである。こ の減衰器は、更に共通接続点21と並列FETのドレイン60間に接続された第 1並列アイソレーション用キャパシタ12を具える。無線周波数(RF)がRF inポート19において減衰器に入力される。減衰されたRFエネルギーはRF outポート20に現れる。RFinポート19又はRFoutポート20に現 れるDC電圧は、夫々第1直流阻止キャパシタ38及び第2直流阻止キャパシタ 39により阻止される。 本発明による減衰器は、更に図3に示したのと類似する電圧制御回路を具える 。従って、図7に示す減衰器は、ゲート27、ソース28及びドレイン29を有 する制御FET26を含んでいる。この制御FET26のゲート27及びソース 28は、夫々好ましくは5KΩの制御FETゲート抵抗30と、好ましくは10 KΩの制御FETソース抵抗31とに接続される。定電圧降下素子32が制御F E Tソース抵抗31と直列接続されている。所定の減衰レベルは、制御電圧入力2 2に適当な電圧レベルを印加することにより得られる。この減衰回路で使用され る制御電圧は、減衰制御電圧出力23に現れる。減衰制御電圧出力23は、並列 FET11のドレインとソースに接続される。相互接続は、第1並列アイソレー ション抵抗14と第2並列アイソレーション抵抗15により行われ、これら両抵 抗は好ましくは5KΩである。また、この直列FETは制御電圧入力22により 制御される。電圧制御分圧回路35が、制御電圧入力22と直列FET1,6間 に接続される。更に、この電圧制御分圧回路35は、好ましくは57KΩの第1 分圧抵抗36と、好ましくは135KΩの第2分圧抵抗37の直列回路を具える 。電圧制御分圧タップ点55は、第1分圧抵抗36を第2分圧抵抗37と相互接 続する。電圧分圧タップ点55は、第1直列FETのゲート2と電圧分圧タップ 点55との間に間挿された第1直列FET制御抵抗56に接続される。同様に、 電圧分圧タップ点55は、第2直列FET制御抵抗57に接続される。第2直列 FET制御抵抗57は、電圧分圧器タップ点55と、第2直列FET6のゲート 7とを相互接続する。第1及び第2直列FET制御抵抗は共に好ましくは5KΩ である。これら直列FET1,6は250Ω並列抵抗5,10と共にピンチオフ 電圧レギュレータを有するので、直列FETを他のピンチオフトラッキング回路 で制御するのはそれ程重要ではない。 図1に示す電圧変化減衰器はピンチオフ電圧変動に敏感であることが判ってい る。更に、電圧制御レベルがピンチオフ電圧値に近づくと、この回路は制御電圧 の変化に一層敏感になることが判った。従って、ピンチオフ電圧値の感度を補償 する電圧制御回路の使用が提案されている。特に、減衰器の並列FET11に電 圧レギュレーション機能を付与することが提案されている。好ましくは、同じ工 程で製造され物理的に隣接して配置されたFETは、類似するピンチオフ電圧特 性を有する。この既知の事実を用いて、例えばFET1,6,11の如き補償さ れる回路のFETとして同様のピンチオフ電圧を有する制御FET26を用いて 補償回路を形成する。ピンチオフ電圧値の変化に対して電流又は電圧特性を変化 させるのが好ましい。図2に示す電流源は、次のように数学的に説明できる。 ここで、Vgs=制御FET26のゲート27-ソース28電圧 Ids=制御FET26のドレイン電流 Rs=制御FETソース抵抗31の抵抗値 Vdrop=定電圧降下素子32の電圧降下の大きさ gm=FET26の相互コンダクタンス Vpo=FET26のピンチオフ電圧 そして、Vgs=−Ids*Rs−Vdrop Ids=gm*(Vgs−Vpo) ここでIdsを求めると、 Ids=gm*(−Ids*Rs−Vdrop−Vpo) Ids*(1+gm*Rs)=gm*(−Vdrop−Vpo) Ids=gm*(−Vdrop−Vpo)/(1+gm*Rs) gm*Rs>>1であると、 Ids=gm*(−Vdrop−Vpo)/gm*Rs Ids=(−Vdrop−Vpo)/Rs 当業者には理解される如く、純粋の抵抗分圧回路網で実現されるよりも、小さ い制御FETソース抵抗31を使用して一定制御電圧入力に基づき特定電流が得 られる。小さい抵抗値の抵抗を使用するのは、大抵抗値の抵抗よりも回路レイア ウト中で必要な物理的スペースが小さくて済むので有効である。また、純粋抵抗 分圧回路網よりもピンチオフ電圧の一定変化に対し電流又は制御電圧出力値に大 きな変化を生じるので、図2及び図3の回路が有効である。図3の回路において は、最大制御電圧出力23は、ピンチオフ電圧値が増加するにつれて増加する。 制御電圧入力が直線的に増加すると、制御電圧出力23も、制御FET26のド レイン29-ソース28間の電圧がピンチオフ電圧値に近づくまで直線的に増加 する。制御電圧入力22がピンチオフ電圧値に近づくと、回路の伝達関数は、制 御入力22の電圧の一定線形変化の為の制御出力23の電圧変化が小さい。電圧 制御出力23がピンチオフ電圧値に近づくと、制御電圧入力22の一定の線形変 化に対する制御電圧出力差は益々小さくなる。従って、制御電圧出力23の伝達 関数は、制御電圧入力22が線形に上昇するとき略非対称にピンチオフ電圧値に 近づくこととなる。異なるピンチオフ電圧値を有するFETでは、伝達関数が線 形応答から一層ゆっくりした増加応答に変化する点は、各制御FET26のピン チオフ電圧に依存する異なる電圧値で生じる。この回路に使用する他のFETは 、一般に処理されたサブストレート上の物理的に近い位置にあるので、類似する ピンチオフ電圧値を有する。従って、ピンチオフ電圧変化に敏感な回路は、非線 形であり且つピンチオフ電圧値の関数である制御電圧であるのが有効である。電 圧変化減衰器にあっては、特に図4を参照すると、図3の電圧源の伝達関数は、 ピンチオフ電圧より十分低い電圧値でも線形である。減衰制御電圧23が制御F ET26及び同様に並列FET11のピンチオフ値に近づくと、並列FET11 及び結果的には減衰回路は減衰制御電圧23の変化に一層敏感になる。特に、ピ ンチオフ電圧値の5-15%以内である並列FET11のゲート・ソース間の一 定電圧差に対し、抵抗差は大きい。従って、減衰制御電圧23がピンチオフ電圧 値の大きさの90%内外であるとき、減衰制御電圧23は制御電圧入口22の電 圧変化より小さいことが好ましい。本発明の回路によると、並列FET11のイ ンピーダンスを一層スムーズ且つ制御された変化として、この減衰回路が全体と してより線形応答をするようにする。 図8は、異なるピンチオフ電圧を有する多くのデバイスの制御電圧入力対減衰 特性を示すグラフである。図8のグラフは、典型的なピンチオフ電圧値のレンジ にわたり、図7の減衰回路の予測可能性が明瞭に示す。また、ピンチオフ電圧は 温度により変動することが知られている。図9は、125℃の温度範囲にわたる 図7の単一減衰器の制御電圧入力対減衰特性のグラフである。図9は、本発明の 減衰器の優れた再現性を示している。 図10及び図11は、本発明による制御回路の効果が得られる変形減衰回路を 示す。図10は、図7の回路と類似するT型減衰回路であるが、各直列FET1 ,7に夫々並列抵抗5,10を有するのに対し、両直列FET1,7をブリッジ する単一の並列抵抗5を有する点で相違する。図11は、π形減衰回路の回路図 である。このπ型減衰回路では、単一の直列FET1と2個の並列FET11, 5 2を有し、夫々直列FET1のソース3とドレイン4をシャントする。この動作 は、図7に示す減衰器に関連し、減衰制御23のランプ(電圧上昇)に対して、 直列及び並列FETが反対の制御電圧入力減衰伝達関数レスポンスをする。従っ て、上述した減衰制御の為の本発明による電圧源の利点を有する。 本発明の他の効果は、上述した実施例の説明及び添付図並びに以下の請求範囲 及びその説明から明らかになろう。
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Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.ゲート27、ドレイン29及びソース28を有する制御FET26を具え、 前記ドレイン29が制御電圧入力22に接続され、前記ゲート27がゲート抵抗 素子30を介して基準電位に接続され、前記ソース28がソース抵抗素子31を 介して基準電位に接続された電流源において、 前記ソース28及び前記ソース抵抗素子31と直列接続された定電圧降下素子 32を有することを特徴とする電流源。 2.前記定電圧降下素子は、少なくとも1個のダイオードより成ることを特徴と する請求項1の電流源。 3.前記定電圧降下素子は、少なくとも2個の直列ダイオードより成ることを特 徴とする請求項1の電流源。 4.前記定電圧降下素子は、電圧源であることを特徴とする請求項1の電流源。 5.前記定電圧降下素子は、ツェナーダイオードより成ることを特徴とする請求 項1の電流源。 6.請求項1,2,3,4又は5の電流源を有し、更に前記ソース抵抗素子31 に直列のインピーダンス素子24を有することを特徴とする電圧源。 7.前記定電圧降下素子は、少なくとも1個のダイオードであることを特徴とす る請求項6の電圧源。 8.中間に共通点21を有する第1及び第2直列FET1,6と前記共通点21 及び基準電位25間には位置された並列FET11と、減衰レベルを制御する制 御電圧源22とを含む電圧変化減衰器において、 請求項6の減衰制御電圧を具えることを特徴とする電圧変化減衰器。 9.ソース3、ゲート及びドレイン4を有する第1直列FET1と、ソース、ゲ ート及びドレインを有する第1並列FET11と、ソース、ゲート及びドレイン を有する第2並列FET52と、夫々ドレインインピーダンス素子を介して前記 第1及び第2並列FET11,52のドレインに接続された制御電圧23とを含 み、前記制御電圧23は夫々ソースインピーダンス素子を介して第1及び第2並 列FET11,52に接続された電圧変化減衰器において、 請求項6の減衰制御を具えることを特徴とする電圧変化減衰器。 10.更に、前記制御電圧入力22及び前記制御FETドレイン29間に接続さ れた抵抗素子41,45,46と、前記制御FETドレイン29及び基準電位2 5間に接続されたスプリッタアーム47とを含むことを特徴とする請求項1の電 流源を具える電圧源。 11.前記スプリッタアーム47は、スプリッタ抵抗素子50と直列のレベルシ フタ48を具えることを特徴とする請求項10の電圧源。 12.前記レベルシフタ48は、少なくとも1個のダイオードを具えることを特 徴とする請求項11の電圧源。
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