JP2001351346A - ヘッドサスペンションアセンブリ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッドスライダに与える負荷位置を抑制しヘ
ッドスライダを支持する。 【解決手段】 長手方向軸線に沿って配置されて、少な
くとも一部分が剛性を有して負荷ビームとして機能する
サスペンションアセンブリと、サスペンションアセンブ
リの先端部に配置されるジンバルアセンブリ、およびジ
ンバルアセンブに取り付けられたヘッドスライダとから
構成され、ヘッドスライダは、サスペンションアセンブ
リに対向する面に第１表面が配置され、第１表面から突
出しサスペンションアセンブリと接触するピボット部に
より構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮動ヘッドを回転
式データ記憶ディスクの選択されたトラック上に位置さ
せるためのヘッドサスペンションアセンブリに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】標準的なヘッドサスペンションアセンブ
リ（ＨＳＡ）は、その構成部材として、ベースプレート
と、負荷ビームと、ジンバルたわみ部分と、ヘッドスラ
イダとを備えている。ベースプレートは、負荷ビームの
基端部に取付けられるもので、負荷ビームをディスク駆
動装置のアクチュエータアームに取付けることができる
形状に形成される。ジンバルたわみ部分は、負荷ビーム
の先端部に設けられる。ジンバルたわみ部分には、ヘッ
ドスライダが取付けられ、ディスクに対して読み取り／
書き込みを行う向きに支持されている。

【０００３】公知のサスペンション機構として、特公昭
５８−２２８２７号公報には、剛性アーム部に一端が取
り付けられた負荷ビームと、この負荷ビームの先端に取
り付けられたヘッドスライダを担持するためのジンバル
たわみ部とを備えた基本的なサスペンション機構が記載
されている。このようなサスペンション機構は、ハッチ
ンソン社よりＴ−８またはＴ−１９なる型式で販売され
ており、広く使用されている。

【０００４】従来のジンバルたわみ部分には、スライダ
が接着され、ジンバルたわみ部分の背面から負荷ビーム
に設けられたピボットと呼ばれる接触部によりジンバル
に所定量の負荷を与えている。

【０００５】ヘッドスライダは、読み取り／書き込みト
ランスジューサをスライダに取付けて構成されたもの
で、スライダがディスク表面に対して所定の関係となる
ように、ジンバルたわみ部に取付けられなければならな
い。特に読み取り／書き込みトランスジューサとディス
クとの間隔はヘッドスライダの浮上量とよばれ、浮上量
を低くすることにより、ディスク表面に微細な信号を読
み取り／書き込みができるようになる。

【０００６】この低浮上量化を実現するためには、スラ
イダを正確に所定の位置に保持し、スライダに与える荷
重を正確な位置で正確な荷重量で負荷しなければ，所定
の浮上量が得られない。ＨＳＡの製造および組み付け工
程の際には、個々の部材の成形や組み付けが正確でなけ
れば、部材の表面の平面性が失われる。このような許容
誤差限界からのずれが個々の部材に蓄積すると、最終的
なヘッドサスペンションアセンブリの所望する平面平行
度にずれが生じる原因となる場合がある。最終的なヘッ
ドサスペンションアセンブリにおける静的横揺れおよび
静的縦揺れトルクのパラメータは、これらの固有の製造
および組み付け許容誤差の蓄積によって生じる。

【０００７】ディスク駆動装置全体を最適に作動させる
ため、理想的には、たわみ舌片にスライダを組み付ける
際に、（ＨＳＡを組み立てる際の負荷ビームが取付けら
れる）取付表面基準面とスライダの空気軸受表面基準面
とが平面方向において互いに平行でなければならない。
この取付表面基準面とスライダ空気軸受表面基準面は、
アクチュエータの取付表面とスライダ空気軸受表面を互
いに平面平行にする基準点あるいは基準面として利用さ
れる水平面である。スライダの上下表面はまた、両者
（取付表面基準面とスライダ空気軸受表面基準面）が実
質上あるいは公称上、互いに平行となるのに必要な仕様
に基づいて形成されてる。

【０００８】ＨＳＡの製造および組み付け工程の際に
は、個々の部材の成形や組み付けが正確でなければ、ス
ライダを押圧するピボットの位置が荷重を与えるべきス
ライダセンターからずれて押圧する。このような許容誤
差限界からのずれが個々の部材に蓄積すると、最終的な
ヘッドサスペンションアセンブリの所望する押圧位置に
ずれが生じる原因となる場合がある。最終的なヘッドサ
スペンションアセンブリにおける静的横揺れおよび静的
縦揺れトルクのパラメータは、これらの固有の製造およ
び組み付け許容誤差の蓄積によって生じる。

【０００９】静的横揺れおよび静的縦揺れトルクは、ヘ
ッドスライダの中心付近において平面方向に直交するそ
れぞれの回転軸線を有しており、ディスク上を浮動して
いる間に、スライダに所望の平面平行を維持するように
作用する力が不均一なことによって発生する。すなわ
ち、静的トルクとは、所望の静止（すなわち基準）姿勢
に対して特定の軸線回りの回転を発生しようとするトル
クまたは力のモーメントであると定義される。

【００１０】スライダの長手方向軸線を負荷ビームの長
手方向軸線に一致させてヘッドサスペンションアセンブ
リを組立てると、横揺れトルクの軸線はヘッドサスペン
ションアセンブリの長手方向軸線に一致する。たわみ舌
片がベースプレートに対して平行である場合には、静的
横揺れトルクの値が静的横揺れトルク軸線の各側で測定
される。たわみ部分が製造の際に静的横揺れトルク軸線
回りにねじれている（すなわち、この軸線に沿ってたわ
み舌片の平面がディスクに対して平行でない）場合に
は、横揺れトルク軸線の各側で測定された値が同一にな
らない。このように取付けられたスライダがディスク表
面に対して浮動姿勢にあるときには、ディスクに対する
平行度を調整してねじれた舌片を戻す力（誘導横揺れト
ルク値と呼ばれる）が必要である。

【００１１】縦揺れトルクの軸線は、ヘッドサスペンシ
ョンアセンブリの長手方向軸線に直交している。たわみ
舌片がベースプレートに対して平行である場合には、静
的縦揺れトルクの値が静的縦揺れトルク軸線の各側で測
定される。たわみ部分が製造の際に静的縦揺れトルク軸
線回りにねじれている（すなわち、この軸線に沿ってた
わみ舌片の平面がディスクに対して平行でない）場合に
は、縦揺れトルク軸線の各側で測定された値が同一にな
らない。このように取付けられたスライダがディスク表
面に対して浮動姿勢にあるときには、ディスクに対する
平行度を調整してねじれた舌片を戻す力（誘導縦揺れト
ルク値と呼ばれる）が必要である。もちろん、実際の状
態においては、たわみ部分は、両軸線に関してねじれる
ことがあり、縦揺れ軸線および横揺れ軸線の両方につい
て整合させることが必要なことは理解されるであろう。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】これらのトルクは、た
わみ部分／スライダの当接部における静止姿勢や、たわ
み部分の縦揺れおよび横揺れに対する剛性にも関係して
いる。構成部材がディスク駆動装置に理想的な平面平行
で構成されて設置されるのであれば、理想的または所望
の縦揺れと横揺れのトルクは存在するものと規定するの
が最良である。実際のディスク駆動装置においては、縦
揺れおよび横揺れ静的トルクは、スライダの空気軸受表
面とディスクとの間に好ましくない力を発生させ、ディ
スクの上のスライダの浮動する高さに影響を与え、その
結果、最適な読み取り／書き込みトランスジューサとヘ
ッドスライダ／ディスク当接部との離隔距離にずれが生
じる。

【００１３】従来のたわみ部分構造においては、たわみ
舌片はたわみ部分からスライダに向かってオフセットさ
れ、スライダの上表面とたわみ部分の下表面との間のジ
ンバル支持するためのクリアランスとしている。このオ
フセットは、たわみ舌片とクロス片とを結合する位置
に、たわみ舌片上に形成されたくぼみと一緒に形成され
ている。この標準的なたわみ構造は、縦揺れに対する剛
性が低く、横揺れに対する剛性が中程度の値を示す。縦
揺れおよび横揺れに対する剛性は、それぞれ力×距離／
角度で測定される。

【００１４】サスペンションの負荷ビームには凸部が設
けられているが、負荷ビームの凸部を正確にスライダの
荷重押圧部を正確に位置決めすることはかなり困難であ
る。スライダの荷重押圧部を正確に押圧するには、スラ
イダをサスペンションに接着するときに正確に位置決め
するしかない。押圧点が基準位置からずれるとスライダ
は空気潤滑面により発生する圧力と押圧点がずれるた
め、ヘッド部で所定の浮上量がえられなくなる傾向にあ
る。

【００１５】また、スライダをサスペンションに接着す
る際に、紫外線硬化樹脂を用いて紫外線を照射し位置決
めをした後に、熱をかけ熱硬化させる。しかしながらこ
の接着剤の伸縮によりスライダの位置は基準位置からず
れる傾向にある。本発明の目的は、スライダに負荷する
荷重の位置に対する組み立て誤差の影響を抑制し、ヘッ
ドスライダの浮上安定性を確保することにある。

【００１６】本発明の他の目的は、負荷ビームとスライ
ダとの接触摩擦力を抑制し、静摩擦力による負荷位置の
ずれを抑制することにある。

【００１７】本発明のさらに他の目的は、ヘッドサスペ
ンションアセンブリの高さを抑制し、薄型化をはかるこ
とにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明に係るヘッドサス
ペンションアセンブリは、ヘッドをディスクの選択され
たトラック上に位置させるヘッドサスペンションアセン
ブリであって、前記ヘッドを支持するスライダと、前記
スライダが設けられるフレクシャと、前記フレクシャが
設けられ、前記スライダに荷重を負荷する負荷ビームと
を備え、前記スライダは、前記負荷ビームからの荷重を
受けるピポットを有し、そのことにより上記目的が達成
される。

【００１９】前記スライダは、前記負荷ビームに対向す
る第１表面を有し、前記ピポットは、前記第１表面に形
成されてもよい。

【００２０】前記負荷ビームは、前記ピポットに接触し
て前記スライダに荷重を負荷する荷重負荷部を含み、前
記フレクシャは、前記スライダを保持するように形成さ
れる保持部を含み、前記保持部は、前記荷重負荷部の前
記スライダへの投影面が前記保持部と干渉しないように
形成されてもよい。

【００２１】前記保持部は、前記荷重負荷部の前記スラ
イダへの投影面が前記保持部と干渉しないように形成さ
れる切り欠きを有してもよい。

【００２２】前記スライダは、前記ディスクに対向して
形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮上
させるための第２表面を有し、前記第２表面と前記ピポ
ットとは、エッチング加工により形成されてもよい。

【００２３】前記スライダは、前記ディスクに対向して
形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮上
させるための第２表面を有し、前記第２表面と前記ピポ
ットとは、イオンビーム加工により形成されてもよい。

【００２４】前記スライダは、前記ディスクに対向して
形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮上
させるための第２表面を有し、前記第２表面と前記ピポ
ットとは、スパッタによる積層加工により形成されても
よい。

【００２５】前記スライダは、ＡｌＴｉＣで形成されて
もよい。

【００２６】前記ピポットは、実質的に１００ｎｍｒｍ
ｓ以下の鏡面を有してもよい。

【００２７】前記負荷ビームは、ステンレス鋼で形成さ
れてもよい。

【００２８】前記ピポットは、前記ピポットの表面に成
膜されるＤＬＣを含んでもよい。

【００２９】前記負荷ビームは、ステンレス鋼で形成さ
れてもよい。

【００３０】前記フレクシャは、前記フレクシャの表面
に成膜されるＤＬＣを含んでもよい。

【００３１】前記ＤＬＣは、前記スライダ側の表面に成
膜されてもよい。

【００３２】前記ＤＬＣの成膜厚さは、５０ｎｍ以上５
００ｎｍ以下であってもよい。

【００３３】前記ＤＬＣの成膜厚さは、実質的に２００
ｎｍであってもよい。

【００３４】前記ピポットは、矩形形状を有してもよ
い。

【００３５】前記ピポットは、円弧形状を有してもよ
い。

【００３６】本発明に係る他のヘッドサスペンションア
センブリは、ヘッドをディスクの選択されたトラック上
に位置させるヘッドサスペンションアセンブリであっ
て、前記ヘッドを支持するスライダと、前記スライダが
設けられるフレクシャと、前記フレクシャが設けられ、
前記スライダに荷重を負荷する負荷ビームとを備え、前
記負荷ビームは、前記スライダに荷重を負荷するピポッ
トを有し、前記フレクシャは、前記スライダを保持する
ように形成される保持部を含み、前記保持部は、前記負
荷ビームの前記スライダへの投影面が前記保持部と干渉
しないように形成され、そのことにより上記目的が達成
される。

【００３７】前記ピポットは、矩形形状を有してもよ
い。

【００３８】前記ピポットは、円弧形状を有してもよ
い。

【００３９】本発明のある局面によれば、スライダに負
荷する荷重の位置を組み立て誤差影響を抑制し、ヘッド
スライダの浮上安定性を確保するという優れた効果が得
られる。また、製造が簡単で比較的コストが低いスライ
ダと、対応するヘッドサスペンションアセンブリを開示
したもので、製造の際にスライダに作用する負荷位置を
正確に位置決めできるようスライダに凸部を設けたもの
である。

【００４０】本発明の他の局面によれば、負荷ビームと
スライダ部との接触摩擦力を抑制し、静摩擦力による負
荷位置ずれを抑制できスライダの安定的な浮上量が確保
できるという優れた効果が得られる。さらにヘッドジン
バルアセンブリの高さを抑制し、薄型化をはかることが
できるという優れた効果が得られる。

【００４１】本発明のさらに他の局面によれば、ヘッド
サスペンションアセンブリの薄型化を図ることを目的と
し、多数のヘッドサスペンションアセンブリを用いた際
にもディスク記録再生装置の高さを抑制することができ
るという優れた効果が得られる。

【００４２】本発明のさらに他の局面によれば、負荷位
置の接触摩擦力を抑制することができスライダの浮上量
に対する摩擦力影響を抑制し、安定した浮上量が得られ
るという優れた効果が得られる。さらに、サスペンショ
ンの負荷部とジンバルたわみ部の接触による粉塵発生を
できるという優れた効果が得られる。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、本発明をハード磁気ディス
ク装置の実施形態として説明するが、本発明は、データ
記録装置に用いられるヘッドジンバルアセンブリに関す
るものであり、例えば、光ディスク装置や磁気テープ記
録システムなど他のデータ記録装置に用いられるヘッド
ジンバルアセンブリにも適用できることは明らかであ
る。

【００４４】（実施の形態１）ヘッドサスペンションア
センブリ１００の分解図を図１に示す。ヘッドサスペン
ションアセンブリ１００は、サスペンションアセンブリ
２とヘッドスライダ１５とから構成されている。ヘッド
サスペンションアセンブリ１の長さは、その中央で２分
する長手方向軸線を定めている。サスペンションアセン
ブリ２は一般的に、負荷ビーム２１とフレクシャ２３と
を備えている。サスペンションアセンブリ２の基端部は
ベースプレート３によって補強されており、このベース
プレート３はディスク駆動装置に用いらるアクチュエー
タアーム（図示せず）に取付けられるように形成されて
いる。ヘッドスライダ１５は、ディスクとの間で記録あ
るいは再生を行うトランスジューサを備えている。ヘッ
ドスライダ１５は、たとえばＡｌＴｉＣ等の硬質材料で
構成される。

【００４５】図２は、組み付けられたヘッドサスペンシ
ョンアセンブリ（ＨＳＡ）１のディスクに対向する側か
ら見た斜視図である。ヘッドスライダ１５は図４に示す
ように、ディスク（図示せず）に対向する側にディスク
から所定量浮上させるための空気潤滑面１７を有する。
ヘッドスライダ１５のフレクシャ２３に取り付けられる
側（スライダ背面１８と称する）のヘッドスライダ１５
のほぼセンター位置に負荷ビーム２１と接触し、負荷ビ
ーム２１から荷重を受けるための凸部１６を設けてい
る。

【００４６】凸部１６は、機械加工、エッチング加工、
イオンビーム加工、スパッタによる積層加工により形成
される。例えばエッチング加工によってヘッドスライダ
１５の空気潤滑面１７の形状を作成した後、ヘッドスラ
イダ１５の背面１８にも、エッチング加工により、凸部
１６を形成する。

【００４７】図３は、図１の断面Ａ−Ａの拡大断面図で
ある。図４は、図１の断面Ａ−Ａの分解断面図である。
図１および２のフレクシャ２３は、負荷ビーム２１に取
付けられている。フレクシャ２３は、ヘッドスライダ１
５を所定の剛性で保持する保持部１８を備えている。保
持部１８は、所定の剛性を有する弾性部１９を介してヘ
ッドスライダ１５を支持するように成形される。多くの
可能的なジンバル構造のうちで、保持部１８は、図１に
示すように、平板状の矩形たわみ舌片として成形するこ
とができる。図１では、保持部１８は、中心開口の中央
に長手方向軸線に沿って配置されている。

【００４８】図１、図３に示すように、ヘッドスライダ
１５の凸部１６は、ヘッドスライダ１５が所望のディス
クから所定量浮上するための、荷重を負荷ビーム２１か
ら受ける。ヘッドスライダ１５には、ディスクの回転に
より作用するディスクから引き離す力と引き付ける力が
作用し、その合力および回転モーメントと負荷ビーム２
１による荷重と弾性部１９により作用する回転モーメン
トにより、ディスクから所定量ヘッドスライダ１５を浮
上させる。サスペンションアセンブリ２のロードビーム
２１にねじれが生じてもスライダ１５の凸部１６と接触
し、スライダ１５の凸部１６に常に荷重をかけることが
可能である。

【００４９】ヘッドサスペンションアセンブリ１を組付
ける際に、ヘッドスライダ１５の位置は、保持部１８の
所定位置に常に保持することが望ましいが、組み立て誤
差により数ミクロンから数十ミクロン所定位置からずれ
ることが考えられる。

【００５０】しかしながら、本実施の形態の様にヘッド
スライダ１５側に凸部１６を設けることにより、スライ
ダ１５に作用する負荷の位置は常に凸部１６とすること
ができる。したがって、組み立て誤差による負荷の位置
のばらつきに起因するヘッドスライダ１５の浮上量変動
を抑制することができる。

【００５１】また、一例として不整合、すなわち、ねじ
れた負荷ビーム２１であってもスライダ１５に作用する
負荷の位置は変化しない。したがって、ベースプレート
３および負荷ビーム２１の組み立て時の誤差により、負
荷ビーム２１の先端に形成される荷重負荷部３１がねじ
れてもヘッドスライダ１５の浮上量は所定量確保でき
る。

【００５２】また負荷ビーム２１が横揺れおよび縦揺れ
軸線方向にねじれている場合もある。この際にも負荷位
置が常にヘッドスライダ１５の凸部１６となりヘッドス
ライダ１５の回転中心となる負荷位置は変化しない。し
たがって、静的縦揺れおよび横揺れを大幅に減じ、また
は完全に取り除くスライダ結合手段となっている。スラ
イダ凸部１６の表面は、スライダ１５の材料がＡｌＴｉ
Ｃの硬質材料であるため容易に１００ｎｍｒｍｓ以下の
鏡面にすることができ、表面形状精度も確保できる。

【００５３】また、エッチング加工によってヘッドスラ
イダ１５の空気潤滑面１７の形状を作成した後、ヘッド
スライダ１５の背面１８にも、エッチング加工により、
凸部１６を形成することができるので、ヘッドスライダ
１５の浮上量を所定量にするための空気潤滑面１７と負
荷位置を定める凸部１６をヘッドスライダ１５単品で評
価することが、容易となる。従来は、ヘッドスライダを
ヘッドジンバルアセンブリへ組み立てた際の負荷位置ば
らつきの影響が大であったが、単品での加工精度評価に
より浮上量を所定の範囲内で検査することができる。

【００５４】（実施の形態２）実施の形態２では、実施
の形態１と同様の説明は省略する。ヘッドサスペンショ
ンアセンブリ２００の分解図を図５に示す。図５のヘッ
ドスライダ１５Ａのピボット１６Ａと負荷ビーム２１の
荷重負荷部３１との当接部の断面図を図６に示す。

【００５５】図５のヘッドスライダ１５Ａのピボット１
６Ａと負荷ビーム２１の荷重負荷部３１の当接部の分解
断面図を図７に示す。

【００５６】図５に示すように、保持部１８Ａには、半
円形の切り欠き５５が長手方向軸線上に形成されてい
る。半円形の切り欠き５５は、フレクシャ２３Ａの幅方
向の中央に配置されている。ヘッドスライダ１５Ａの背
面には、凸部１６Ａが設けられている。

【００５７】負荷ビーム２１のヘッドスライダ１５Ａへ
の投影面は、フレクシャ２３の保持部１８Ａと干渉せ
ず、負荷ビーム２１の荷重負荷部３１は、ヘッドスライ
ダ１５Ａの背面の凸部１６Ａに直接当接する。

【００５８】図６に示すように、保持部１８Ａは、ヘッ
ドスライダ１５Ａの背面と接着され、保持部１８Ａの上
面６１よりスライダ１５Ａ側に荷重負荷部３１の下面６
２が配置される。このように空間的に保持部１８Ａと荷
重負荷部３１とが干渉を起こさない構成とする。

【００５９】本実施例では、たとえば保持部１８Ａの板
厚を３０マイクロメータとし、荷重負荷部３１の板厚を
５０マイクロメータとする。スライダ１５Ａの上面１８
Ａからの高さ方向は、荷重負荷部３１の板厚に加えて保
持部１８Ａの板厚分従来であれば厚くする必要があった
が、荷重負荷部３１の板厚分だけですみ高さ方向の薄型
化を図ることができる。好適な製造方法では、半円形の
切り欠き５５はエッチング加工によって形成されてい
る。実際に、ほとんどのサスペンションアセンブリ２の
部材はステンレス鋼にエッチング加工したものである。

【００６０】実施の形態１および実施の形態２では、従
来のようにプレス加工等により負荷ビーム２１に凸部を
設ける必要はなく、プレス加工による負荷ビーム２１の
残留応力の発生を抑制でき、また、加工による形状誤差
の発生もない。負荷ビーム２１のヘッドスライダへの当
接面は、平面でよいため、精度が出しやすいことは言う
までもない。

【００６１】また、ＡｌＴｉＣ対鋼の静止摩擦は従来形
式の鋼対鋼の摩擦よりも小さいため、ＤＬＣは膠着／滑
りを減少させることができる。摩擦により発生するサス
ペンションの上下振動時のスリップは、ヘッドスライダ
１５、１５Ａに作用する外力となりヘッドスライダ１
５、１５Ａの浮上量を変動させる。ＡｌＴｉＣ対鋼の摩
擦力が鋼対鋼の摩擦よりも小さいため、摩擦による浮上
量の変動を抑制することができ、ＨＳＡの性能をさらに
改善する。

【００６２】実施の形態１あるいは実施の形態２におい
て、以下の処理を行うことによりＨＳＡの性能はさらに
改善する。

【００６３】ヘッドスライダ１５、１５Ａの背面１８、
１８Ａに、ＣＶＤ等でＳｉとＤＬＣを成膜する。成膜
は、たとえば図３あるいは図６で示した凸部１６、１６
Ａの作成に用いてもよいし、エッチング加工により設け
た凸部１６、１６Ａの表面にさらに成膜しても良い。

【００６４】ＤＬＣ対鋼の静止摩擦は従来形式の鋼対鋼
の摩擦よりも小さいため、ＤＬＣは膠着／滑りを減少さ
せることができる。摩擦により発生するサスペンション
アセンブリの上下振動時のスリップは、ヘッドスライダ
１５、１５Ａに作用する外力となりヘッドスライダ１
５、１５Ａの浮上量を変動させる。ＤＬＣ対鋼の摩擦力
が鋼対鋼の摩擦よりも小さいため、摩擦による浮上量の
変動を抑制することができ、ＨＳＡの性能をさらに改善
する。

【００６５】また、実施の形態１あるいは実施の形態２
において、以下の処理を行うことによりＨＳＡの性能は
さらに改善する。フレクシャ２３、２３Ａの表面にＤＬ
Ｃを直接成膜する。成膜は、たとえば図３あるいは図６
で示したフレクシャ２３、２３Ａのヘッドスライダ１
５、１５Ａ側表面にＤＬＣを直接製膜する。成膜厚さと
しては２００ｎｍ程度がよい。５００ｎｍ程あるとフレ
クシャに含まれる鉄、クロムの作用により、表面の均質
性が選られない。また、５０ｎｍ以下では、下地の表面
影響により、ＤＬＣ表面が均質にならない。したがっ
て、本実施の形態では、２００ｎｍとした。

【００６６】この表面処理により、ＤＬＣ対ＡｌＴｉＣ
の静止摩擦は従来形式の鋼対鋼の摩擦よりも小さいた
め、ＤＬＣは膠着／滑りを減少させることができる。摩
擦により発生するサスペンションの上下振動時のスリッ
プは、ヘッドスライダ１５、１５Ａに作用する外力とな
りヘッドスライダ１５、１５Ａの浮上量を変動させる。
ＤＬＣ対鋼の摩擦力が鋼対鋼の摩擦よりも小さいため、
摩擦による浮上量の変動を抑制することができ、ＨＳＡ
の性能をさらに改善する。

【００６７】また、鋼に含まれる不純物が鋼対鋼でこす
られることにより摩耗粉として発生するが、ＡｌＴｉＣ
対ＤＬＣあるいは、ＤＬＣ対ＤＬＣの摩擦では、不純物
がないか非常に少ないため摩耗粉が発生しにくい。

【００６８】また、実施の形態１あるいは、実施の形態
２では、ヘッドスライダ１５、１５Ａに設けた凸部１
６、１６Ａの形状は矩形としたが、図９に示すように、
円弧状の凸部１６Ｃとすることにより、接触点を更に精
度よく決定することができる。

【００６９】また、実施の形態２ではヘッドスライダ１
５Ａの背面１８Ａに凸部１６Ａを設けたが、図８に示す
ように、負荷ビーム２１Ｂ側に凸部１６Ｂを設けた構成
であっても、負荷ビーム２１の荷重負荷部３１Ｂのヘッ
ドスライダ１５Ｂへの投影面が保持部１８Ａと干渉しな
い構成とすることにより、ヘッドサスペンションアセン
ブリの高さ方向を抑制する効果がある。

【００７０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、スライダ
に負荷する荷重の位置に対する組み立て誤差の影響を抑
制し、スライダの浮上安定性を確保することができる。

【００７１】また本発明によれば、負荷ビームとスライ
ダとの接触摩擦力を抑制し、静摩擦力による負荷位置の
ずれを抑制することができる。

【００７２】さらに本発明によれば、ヘッドサスペンシ
ョンアセンブリの高さを抑制し、薄型化を図ることがで
きる。

【００７３】スライダ凸部には、従来技術に勝る多くの
利点がある。スライダの空気潤滑面設計では、スライダ
に作用する押圧部の位置が正確に位置決めが必要であ
り、スライダのサスペンションへの接着時に発生する位
置ずれによる押圧位置の変化による浮上量変化を抑制す
ることが可能となる。

【００７４】また、サスペンションへのピボットはプレ
ス加工により形成され高さ精度あるいは形状精度の確保
が困難であったが、スライダ凸部をエッチング等により
加工することにより、精度が格段に向上する。

【００７５】第３の利点は、空気潤滑面の加工と同時に
行えるため、スライダ単品としての精度保証が可能であ
る点である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態１におけるヘッドサスペンション
アセンブリの分解図

【図２】本実施の形態１におけるヘッドサスペンション
アセンブリのディスク側からみた斜視図

【図３】本実施の形態１における図２のヘッドスライダ
とピボットとの当接部の拡大断面図

【図４】本実施の形態１における図１のヘッドスライダ
とピボットとの当接部の分解断面図

【図５】本実施の形態２におけるヘッドサスペンション
アセンブリ１の分解図

【図６】本実施の形態２における図５のヘッドスライダ
とピボットとの当接部の断面図

【図７】本実施の形態２における図５のヘッドスライダ
とピボットとの当接部の分解断面図

【図８】実施の形態２における他のヘッドスライダとピ
ボットとの当接部の分解断面図

【図９】実施の形態１あるいは実施の形態２における他
の実施例のヘッドスライダとピボットとの当接部の分解
断面図

【符号の説明】

１５ ヘッドスライダ ２１ 負荷ビーム ２３ フレクシャ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松岡 薫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 中北 勝 香川県高松市古新町８番地の１ 松下寿電 子工業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA10 RA02 SA01 TA02 5D059 AA01 BA01 CA02 CA11 DA24 DA26 DA31 DA33 EA02

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ヘッドをディスクの選択されたトラック
   上に位置させるヘッドサスペンションアセンブリであっ
   て、 前記ヘッドを支持するスライダと、 前記スライダが設けられるフレクシャと、 前記フレクシャが設けられ、前記スライダに荷重を負荷
   する負荷ビームとを備え、 前記スライダは、前記負荷ビームからの荷重を受けるピ
   ポットを有するヘッドサスペンションアセンブリ。
2. 【請求項２】 前記スライダは、前記負荷ビームに対向
   する第１表面を有し、 前記ピポットは、前記第１表面に形成される、請求項１
   記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
3. 【請求項３】 前記負荷ビームは、前記ピポットに接触
   して前記スライダに荷重を負荷する荷重負荷部を含み、 前記フレクシャは、前記スライダを保持するように形成
   される保持部を含み、 前記保持部は、前記荷重負荷部の前記スライダへの投影
   面が前記保持部と干渉しないように形成される、請求項
   ２記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
4. 【請求項４】 前記保持部は、前記荷重負荷部の前記ス
   ライダへの投影面が前記保持部と干渉しないように形成
   される切り欠きを有する、請求項３記載のヘッドサスペ
   ンションアセンブリ。
5. 【請求項５】 前記スライダは、前記ディスクに対向し
   て形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮
   上させるための第２表面を有し、 前記第２表面と前記ピポットとは、エッチング加工によ
   り形成される、請求項２記載のヘッドサスペンションア
   センブリ。
6. 【請求項６】 前記スライダは、前記ディスクに対向し
   て形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮
   上させるための第２表面を有し、 前記第２表面と前記ピポットとは、イオンビーム加工に
   より形成される、請求項２記載のヘッドサスペンション
   アセンブリ。
7. 【請求項７】 前記スライダは、前記ディスクに対向し
   て形成され、前記スライダを前記ディスクから所定量浮
   上させるための第２表面を有し、 前記第２表面と前記ピポットとは、スパッタによる積層
   加工により形成される、請求項２記載のヘッドサスペン
   ションアセンブリ。
8. 【請求項８】 前記スライダは、ＡｌＴｉＣで形成され
   る、請求項１記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
9. 【請求項９】 前記ピポットは、実質的に１００ｎｍｒ
   ｍｓ以下の鏡面を有する、請求項８記載のヘッドサスペ
   ンションアセンブリ。
10. 【請求項１０】 前記負荷ビームは、ステンレス鋼で形
    成される、請求項８記載のヘッドサスペンションアセン
    ブリ。
11. 【請求項１１】 前記ピポットは、前記ピポットの表面
    に成膜されるＤＬＣを含む、請求項１記載のヘッドサス
    ペンションアセンブリ。
12. 【請求項１２】 前記負荷ビームは、ステンレス鋼で形
    成される、請求項１１記載のヘッドサスペンションアセ
    ンブリ。
13. 【請求項１３】 前記フレクシャは、前記フレクシャの
    表面に成膜されるＤＬＣを含む、請求項１記載のヘッド
    サスペンションアセンブリ。
14. 【請求項１４】 前記ＤＬＣは、前記スライダ側の表面
    に成膜される、請求項１３記載のヘッドサスペンション
    アセンブリ。
15. 【請求項１５】 前記ＤＬＣの成膜厚さは、５０ｎｍ以
    上５００ｎｍ以下である、請求項１３記載のヘッドサス
    ペンションアセンブリ。
16. 【請求項１６】 前記ＤＬＣの成膜厚さは、実質的に２
    ００ｎｍである、請求項１５記載のヘッドサスペンショ
    ンアセンブリ。
17. 【請求項１７】 前記ピポットは、矩形形状を有する、
    請求項１記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
18. 【請求項１８】 前記ピポットは、円弧形状を有する、
    請求項１記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
19. 【請求項１９】 ヘッドをディスクの選択されたトラッ
    ク上に位置させるヘッドサスペンションアセンブリであ
    って、 前記ヘッドを支持するスライダと、 前記スライダが設けられるフレクシャと、 前記フレクシャが設けられ、前記スライダに荷重を負荷
    する負荷ビームとを備え、 前記負荷ビームは、前記スライダに荷重を負荷するピポ
    ットを有し、 前記フレクシャは、前記スライダを保持するように形成
    される保持部を含み、 前記保持部は、前記負荷ビームの前記スライダへの投影
    面が前記保持部と干渉しないように形成されるヘッドサ
    スペンションアセンブリ。
20. 【請求項２０】 前記ピポットは、矩形形状を有する、
    請求項１９記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
21. 【請求項２１】 前記ピポットは、円弧形状を有する、
    請求項１９記載のヘッドサスペンションアセンブリ。