JP2001343140A - Clean work module and clean tunnel - Google Patents

Clean work module and clean tunnel

Info

Publication number
JP2001343140A
JP2001343140A JP2000165021A JP2000165021A JP2001343140A JP 2001343140 A JP2001343140 A JP 2001343140A JP 2000165021 A JP2000165021 A JP 2000165021A JP 2000165021 A JP2000165021 A JP 2000165021A JP 2001343140 A JP2001343140 A JP 2001343140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean
unit
work
working
space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000165021A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirobumi Kanbara
博文 神原
Junichi Shiozawa
順一 塩沢
Noriyuki Suzuki
憲幸 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2000165021A priority Critical patent/JP2001343140A/en
Publication of JP2001343140A publication Critical patent/JP2001343140A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To discharge flow-down clean air from the lower part of a work unit and easily change the work unit. SOLUTION: In a clean work module 1, the work unit 4 is attached to a clean space 3 to which the flow-down clean air 2 is supplied and a prescribed work is carried out in the clean space 3 by the work unit 4. An opening part 10 is provided on the main body wall parts 7 and 8 forming the clean space 3 and at a part opposite to a working opening 9. A combined and movable unit 6 is provided from the part opposite to the working opening 9 so as to cover the opening part 10 therewith. The work unit 4 is attached to the front surface of the movable unit 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の作業ユニッ
トを並べて収容する長いクリーン空間であるいわゆるク
リーントンネルを形成するクリーン作業モジュールおよ
びクリーントンネルに関する。さらに詳述すると、本発
明は、クリーン作業モジュールにおける作業ユニットの
支持方法の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean operation module and a clean operation tunnel for forming a so-called clean tunnel, which is a long clean space accommodating a plurality of operation units. More specifically, the present invention relates to an improved method of supporting a work unit in a clean work module.

【0002】[0002]

【従来の技術】ワークの加工、組立、検査等をクリーン
ルームで行うことがある。クリーンルームとしては、ク
リーンエアを天井から吹き下ろして部屋の床面および天
井と壁面とから吸い出すようにした乱流式のボールルー
ム(大部屋式)がある。また、クリーンエアを天井から
吹き下ろして部屋の床面のみから吸い出して、ダウンフ
ローのみ形成するようにしたものもある。
2. Description of the Related Art Work, assembly, inspection, and the like of a work are sometimes performed in a clean room. As a clean room, there is a turbulent type ball room (large room type) in which clean air is blown down from a ceiling and is sucked out from the floor surface of the room and from the ceiling and wall surfaces. In some cases, clean air is blown down from the ceiling to be sucked out only from the floor of the room to form only a down flow.

【0003】ところで、近年では要求されるクリーン度
が高まっているが、クリーン度を上げるためには均一な
ダウンフロー方式で循環喚起回数を多くしなければなら
ず、クリーンルーム方式では設備が大掛かりになってコ
ストが高くなってしまう。また、作業室の全体にクリー
ンエアを供給すると、設備費のみならずランニングコス
トや消費エネルギが膨大になってしまう。これらの理由
から、ワークに作業を行う作業ユニットの周囲のみを隔
離して局所的にクリーン空間を形成する方式が採用され
るようになっている。
In recent years, the degree of cleanliness required has been increasing. However, in order to increase the degree of cleanliness, it is necessary to increase the number of circulation agitation in a uniform downflow system, and the cleanroom system requires a large facility. Cost is high. Further, if clean air is supplied to the entire work room, not only the equipment cost but also the running cost and energy consumption become enormous. For these reasons, a method of isolating only the periphery of a work unit that works on a work and locally forming a clean space has been adopted.

【0004】その一つとして、いわゆるクリーンベンチ
が知られている。これは、例えば図7に示すように支持
台100の排気面に載置された作業ユニット101の周
囲のみにクリーンエア102をダウンフローさせると共
に、クリーンエア102が供給される空間をカバー(図
示せず)で覆って作業室と隔離するようにしている。こ
のようなクリーンベンチを連続して設けてクリーントン
ネルを形成し、該クリーントンネル内でワークを搬送し
ながら次々と加工等の作業を行うようにしている。
As one of them, a so-called clean bench is known. For example, as shown in FIG. 7, the clean air 102 is caused to flow down only around the work unit 101 placed on the exhaust surface of the support base 100, and the space to which the clean air 102 is supplied is covered (not shown). ) To isolate it from the work room. Such clean benches are continuously provided to form a clean tunnel, and work such as processing is performed one after another while transporting the work in the clean tunnel.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たクリーンベンチでは、作業ユニット101を排気面に
載置しているため、クリーンエア102が排気面から排
出することができず均一なダウンフローを形成できな
い。すなわち、支持台100の上面に例えばパンチング
メタルを用いて排気面を形成しても、作業ユニット10
1を載置することにより穴が塞がれてしまう。このた
め、クリーンエア102は作業ユニット101に吹き下
ろされてから側方や上方に乱れ流れてしまい、作業ユニ
ット101で発生した微小な粉塵(浮遊微粒子)がワー
クに付着し易くなってしまう。
However, in the above-mentioned clean bench, since the working unit 101 is mounted on the exhaust surface, the clean air 102 cannot be discharged from the exhaust surface, and a uniform down flow is formed. Can not. That is, even if an exhaust surface is formed on the upper surface of the support base 100 using, for example, punching metal, the working unit 10
The mounting of No. 1 blocks the hole. For this reason, the clean air 102 is blown down by the work unit 101 and then turbulently flows to the side or upward, and fine dust (floating particles) generated in the work unit 101 is likely to adhere to the work.

【0006】また、作業ユニット101を支持台100
に載置してから周囲をカバーで覆っているので、作業ユ
ニット101の補修や交換時にはその周囲のカバーを外
す必要があり、その間はクリーントンネルの全体の動作
を停止しなければならない。
Further, the working unit 101 is mounted on the support table 100.
After the work unit 101 is covered with a cover, the cover around the work unit 101 must be removed when the work unit 101 is repaired or replaced. During that time, the entire operation of the clean tunnel must be stopped.

【0007】そこで、本発明は、ダウンフローのクリー
ンエアを作業ユニットの下方から排出すると共に作業ユ
ニットの交換を容易にできるクリーン作業モジュールお
よびクリーントンネルを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a clean operation module and a clean tunnel capable of discharging down-flow clean air from below the operation unit and easily replacing the operation unit.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、ダウンフローのクリーンエ
アが供給されるクリーン空間に作業ユニットが取り付け
られ、クリーン空間内で作業ユニットにより所定の作業
を行うようにしたクリーン作業モジュールにおいて、ク
リーン空間を形成する本体壁部であって作業用口とは逆
側に開口部を設けると共に、開口部を覆うよう作業用口
とは逆側から組み合わせ移動可能な移動ユニットを設
け、移動ユニットの前面に作業ユニットを取り付けるよ
うにしている。ここで、本明細書中で「クリーン作業モ
ジュール」とは、いくつか連続して設置することにより
クリーン空間を連続させてクリーントンネルを形成する
ための最小単位部分を意味している。但し、クリーン作
業モジュールを単体で使用することもできる。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a working unit is mounted in a clean space to which downflow clean air is supplied, and the working unit is provided in the clean space by a predetermined unit. In the clean work module that performs the work, the opening is provided on the main body wall forming the clean space on the opposite side to the working opening, and from the side opposite to the working opening so as to cover the opening. A movable unit that can be moved in combination is provided, and the work unit is attached to the front of the movable unit. Here, in this specification, the “clean operation module” means a minimum unit for forming a clean tunnel by connecting several clean spaces to form a clean space. However, the clean work module can be used alone.

【0009】したがって、作業ユニットが移動ユニット
の前面に壁掛け式に取り付けられているので、作業ユニ
ットを排気面に載置する必要はない。このため、作業ユ
ニットと下方の排気面との間に空間を設けられるので、
ダウンフローのクリーンエアを全て下方に排出すること
ができる。また、移動ユニットを移動させるだけで作業
ユニットをクリーン空間に出し入れできるので、従来の
ように支持台に載置された作業ユニットの周囲をカバー
で覆う場合に比べて作業ユニットの交換や補修を容易に
行うことができるようになる。
Therefore, since the working unit is mounted on the front surface of the moving unit in a wall-mounted manner, there is no need to mount the working unit on the exhaust surface. Because of this, a space is provided between the working unit and the lower exhaust surface,
All of the clean air of the down flow can be discharged downward. In addition, since the working unit can be moved in and out of the clean space simply by moving the moving unit, it is easier to replace and repair the working unit than in the conventional case where the work unit placed on the support is covered with a cover. Will be able to do it.

【0010】そして、請求項2記載の発明は、請求項1
記載のクリーン作業モジュールにおいて、作業用口の上
側には、透明体から成ると共に作業ユニットの真上に突
出するヘッドポートが設けられているようにしている。
したがって、作業者はヘッドポートから作業ユニットを
上からのぞき込むことができるので、作業性を向上する
ことができる。
[0010] The invention described in claim 2 is based on claim 1.
In the clean working module described above, a head port made of a transparent body and protruding right above the working unit is provided above the working opening.
Therefore, the worker can look into the working unit from above through the head port, so that workability can be improved.

【0011】さらに、請求項3記載のクリーントンネル
は、請求項1または2記載のクリーン作業モジュールを
複数並べてクリーン空間が連続して成るようにしてい
る。この場合、複数のクリーン空間が連続して長いクリ
ーントンネルを形成しているので、ワークをクリーン空
間から出すことなく搬送して流れ作業を行うことができ
る。
Further, in the clean tunnel according to the third aspect, a plurality of clean operation modules according to the first or second aspect are arranged so that the clean space is continuous. In this case, since the plurality of clean spaces form a long continuous clean tunnel, the work can be conveyed without being taken out of the clean space and a flow operation can be performed.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。図1に本
発明のクリーン作業モジュール1の実施形態を示す。ク
リーン作業モジュール1は、ダウンフローのクリーンエ
ア2が供給されるクリーン空間3に作業ユニット4が取
り付けられ、クリーン空間3内で作業ユニット4により
所定の作業を行うようにしたものである。そして、この
クリーン作業モジュール1では、クリーン空間3を形成
する本体部5と、作業ユニット4を支持する移動ユニッ
ト6とを備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration of the present invention will be described below in detail based on an example of an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the clean work module 1 of the present invention. The clean work module 1 is configured such that a work unit 4 is attached to a clean space 3 to which clean air 2 of a down flow is supplied, and a predetermined work is performed by the work unit 4 in the clean space 3. The clean working module 1 includes a main body 5 that forms the clean space 3 and a moving unit 6 that supports the working unit 4.

【0013】本体部5は前後を本体壁部7,8で遮蔽す
ることによりクリーン空間3を形成しており、作業者3
0側(前側)の本体壁部7に形成された作業用口9と、
該作業用口9とは逆側(後側)の本体壁部8に形成され
た開口部10とを備えている。また、移動ユニット6
は、本体部5の開口部10を覆うよう本体部5の後方か
ら組み合わせ移動可能であり、組み合わせた時にクリー
ン空間が形成できるようになっており、前面部11に作
業ユニット4を取り付けて壁掛け式に支持するようにし
ている。このため、作業ユニット4を排気面12に載置
する必要はないので、作業ユニット4と下方の排気面1
2との間に空間を設けてクリーンエア2を全て下方に排
出することができ、容易にクリーン度を高めることがで
きる。また、移動ユニット6を移動させるだけで作業ユ
ニット4をクリーン空間3に出し入れできるので、作業
ユニット4の交換や補修を容易に行うことができるよう
になる。
The main body 5 forms a clean space 3 by shielding the front and rear with main body walls 7 and 8.
A working port 9 formed in the main body wall 7 on the 0 side (front side);
An opening 10 is formed in the main body wall 8 on the opposite side (rear side) of the working port 9. In addition, the mobile unit 6
Can be combined and moved from the rear of the main body 5 so as to cover the opening 10 of the main body 5, so that a clean space can be formed when combined, and the work unit 4 is attached to the front part 11 to mount it on a wall. I try to support. For this reason, since it is not necessary to mount the working unit 4 on the exhaust surface 12, the working unit 4 and the lower exhaust surface 1
2, a clean space can be discharged from the entire clean air 2 downward, and the cleanliness can be easily increased. Further, since the working unit 4 can be moved in and out of the clean space 3 only by moving the moving unit 6, the working unit 4 can be easily replaced or repaired.

【0014】本体部5は、角パイプを図2に示すように
組み立てたものをフレームとして形成されている。本実
施形態では、本体部5は3カ所の作業ユニット用枠13
を有するようにしている。本実施形態では本体部5の作
業ユニット用枠13を3カ所にしているが、これには限
られず少なくとも1つ有れば良く、例えば図5に示すよ
うに2カ所としても良い。
The main body 5 is formed by assembling a square pipe as shown in FIG. In the present embodiment, the main body 5 is provided with three operation unit frames 13.
To have. In the present embodiment, the number of the working unit frames 13 of the main body 5 is three, but the number is not limited to this, and at least one may be provided, for example, two as shown in FIG.

【0015】クリーン空間3の上部には、クリーンエア
2がダウンフローされる本フィルタ14が取り付けられ
ている。クリーン空間3の下部には、クリーン空間3内
の空気を排出する排気面12が形成されている。この排
気面12よりも下方では、水平方向および下方に開放さ
れているので排気は作業室内に捨てられる。
A main filter 14 through which the clean air 2 flows down is mounted above the clean space 3. An exhaust surface 12 for discharging air in the clean space 3 is formed below the clean space 3. Below the exhaust surface 12, the exhaust is opened in the horizontal direction and downward, and the exhaust is discarded into the working chamber.

【0016】本実施形態では排気面12としてパンチン
グメタルを使用している。このため、排気面12に物を
載置できるので、例えばベルトコンベヤ15を載置する
ことができる。この場合、ワーク16をクリーントンネ
ル17内で容易に搬送することができる。本実施形態で
は排気面12としてパンチングメタルを使用している
が、これには限られず排気面12に物を全く載置しない
場合は板状物を設けずに上下に連通する単なる排気ダク
トとしても良い。
In this embodiment, a punching metal is used as the exhaust surface 12. For this reason, since an object can be placed on the exhaust surface 12, for example, the belt conveyor 15 can be placed. In this case, the work 16 can be easily transported in the clean tunnel 17. In this embodiment, the punching metal is used as the exhaust surface 12. However, the present invention is not limited to this. In the case where no object is placed on the exhaust surface 12, it may be a simple exhaust duct that communicates vertically without providing a plate-like object. good.

【0017】クリーン空間3の前方の本体壁部7は、透
明アクリル板により形成されている。このため、クリー
ン空間3を外部から遮蔽できると共に作業者30がクリ
ーン空間3内を視認することができる。
The main body wall 7 in front of the clean space 3 is formed of a transparent acrylic plate. Therefore, the clean space 3 can be shielded from the outside, and the operator 30 can visually recognize the inside of the clean space 3.

【0018】作業用口9には、透明なビニル製のカーテ
ン18が取り付けられている。このカーテン18は作業
用口9の上部から排気面12までを覆う長さとしてい
る。これにより、作業用口9から排気面12までの範囲
で外気および塵がクリーン空間3に入り込むことを抑制
できる。このカーテン18には作業用の手袋部19が形
成されている。このため、クリーン空間3を外部から遮
蔽しながらも作業者30が作業ユニット4を操作するこ
とができる。しかも、作業者30の手に付いていた塵が
ワーク16に移ることを防止できる。また、本実施形態
では、各作業ユニット用枠13ごとに左右1対の手袋部
19を設けている。
A transparent vinyl curtain 18 is attached to the work opening 9. The curtain 18 has a length that covers from the upper portion of the working port 9 to the exhaust surface 12. Thus, outside air and dust can be prevented from entering the clean space 3 in a range from the working port 9 to the exhaust surface 12. The curtain 18 is provided with a working glove portion 19. Therefore, the worker 30 can operate the work unit 4 while shielding the clean space 3 from the outside. In addition, it is possible to prevent dust attached to the hand of the worker 30 from being transferred to the work 16. In this embodiment, a pair of left and right glove portions 19 is provided for each work unit frame 13.

【0019】クリーン空間3の後方の本体壁部8は透明
のアクリル板により形成されている。この本体壁部8の
後側面には、ワークの組立寸法や動作テストの計測を行
うための計器類20が取り付けられている。このため、
作業者30は前後2枚の透明な本体壁部7,8を透過し
て計器類20を見ることができる。そして、計器類20
がクリーン空間3の外側に配置されているので、気流の
乱れを抑制できると共にクリーン空間3への粉塵の混入
や発熱による温度上昇を防ぐことができる。
The main body wall 8 behind the clean space 3 is formed of a transparent acrylic plate. On the rear side of the main body wall 8, instruments 20 for measuring the assembly dimensions of the work and the operation test are attached. For this reason,
The operator 30 can see the instruments 20 through the two transparent body walls 7 and 8 before and after. And instruments 20
Are arranged outside the clean space 3, the turbulence of the air flow can be suppressed, and the temperature rise due to dust entering the clean space 3 and heat generation can be prevented.

【0020】本体部5の上部には、外気を吸引して粉塵
を濾過しながらクリーン空間3内に送気するクリーンエ
ア供給手段21が設けられている。クリーンエア供給手
段21は、本体部5の後部から外気を吸引して上方のダ
クト24に送風するファン22と、外気を取り込む際に
粗い塵を濾過するプレフィルタ23と、ダクト24から
クリーン空間3に吹き下ろす際に細かい粉塵を濾過する
本フィルタ14とを備えている。本フィルタ14として
は、HEPAフィルタを使用している。また、プレフィ
ルタ23としては、このクリーン作業モジュール1が使
用される環境に合った性能のものを選択する。例えば、
クリーン作業モジュール1がクリーンルーム内で使用さ
れる場合は比較的細かい目のフィルタを使用した方が効
率が良く、またクリーン作業モジュール1が通常の環境
下で使用される場合は比較的粗い目のフィルタを使用す
るのが好ましい。
At the upper part of the main body 5, there is provided a clean air supply means 21 for sucking outside air and filtering dust while sending air into the clean space 3. The clean air supply means 21 includes a fan 22 that sucks outside air from the rear part of the main body section 5 and blows the air to an upper duct 24, a pre-filter 23 that filters coarse dust when taking in outside air, and a clean space 3 from the duct 24. And a main filter 14 for filtering fine dust when blowing down. As the present filter 14, a HEPA filter is used. As the pre-filter 23, a pre-filter having a performance suitable for the environment in which the clean operation module 1 is used is selected. For example,
When the clean operation module 1 is used in a clean room, it is more efficient to use a relatively fine filter, and when the clean operation module 1 is used in a normal environment, a relatively coarse filter is used. It is preferred to use

【0021】また、図1中符号25は蛍光灯等の照明を
示している。これにより、クリーン作業モジュール1の
設置環境の明るさに関係なくクリーン空間3を明るく維
持できるので、作業性を良くすることができる。
Reference numeral 25 in FIG. 1 denotes illumination such as a fluorescent lamp. Thereby, the clean space 3 can be maintained bright regardless of the brightness of the installation environment of the clean work module 1, so that the workability can be improved.

【0022】一方、移動ユニット6は、キャスタ26を
有して本体部5の後方から出入り移動可能に設けられて
いる。移動ユニット6の前面部11に壁掛け式に取り付
けられた作業ユニット4は、例えば図4に示すようなス
ラストプレート振れ・高さ検査機である。これは、ワー
ク16を前後動可能に支持する支持部27と、ワーク1
6に対して上方から接触して検査する検査部28とを有
し、それぞれが移動ユニット6の前面に取り付けられて
いる。本実施形態では作業ユニット4としてスラストプ
レート振れ・高さ検査機を使用しているが、これには限
られずワーク16に対して加工や検査等、様々な作業を
行うものを使用することができる。例えば、コイル成形
機や、ハブの平行度・高さ検査機や、ワーク16のスラ
ストがた検査機や、接着剤塗布機等を使用することがで
きる。また、本体部5の1つの作業ユニット用枠13に
1つの作業ユニット4を対応させて設けることには限ら
れず、1つの作業ユニット用枠13に複数の作業ユニッ
ト4を設けるようにしても良い。
On the other hand, the moving unit 6 has a caster 26 and is provided so as to be able to move in and out from behind the main body 5. The working unit 4 mounted on the front surface 11 of the moving unit 6 in a wall-mounted manner is, for example, a thrust plate deflection / height inspection machine as shown in FIG. This is because a support portion 27 that supports the work 16 so as to be able to move back and forth,
And an inspection unit 28 for performing an inspection by contacting the mobile unit 6 from above, each of which is attached to the front surface of the moving unit 6. In the present embodiment, a thrust plate runout / height inspection machine is used as the work unit 4. However, the work unit 4 is not limited to this, and can perform various operations such as processing and inspection on the work 16. . For example, a coil forming machine, a parallelism / height inspection machine for a hub, an inspection machine for a thrust of the work 16, an adhesive application machine, and the like can be used. Further, the present invention is not limited to providing one work unit 4 in correspondence with one work unit frame 13 of the main body 5, and a plurality of work units 4 may be provided in one work unit frame 13. .

【0023】また、移動ユニット6の作業ユニット4の
裏側、即ち移動ユニット6の内部には、作業ユニット4
を作動させるためのシーケンサや電磁弁などが設けられ
ている。このため、シーケンサや電磁弁などがクリーン
空間3外にあるので、気流の乱れを抑制できると共に粉
塵の混入や発熱による温度上昇を防止することができ
る。
The working unit 4 is located on the back side of the working unit 4 of the moving unit 6, that is, inside the moving unit 6.
A sequencer, a solenoid valve, and the like for operating the control unit are provided. For this reason, since the sequencer, the solenoid valve, and the like are outside the clean space 3, the turbulence of the air flow can be suppressed, and the temperature rise due to the intrusion of dust and heat generation can be prevented.

【0024】さらに、移動ユニット6と本体部5とを接
合するときは、接合部分にシールパッキンを介在させて
密封する。そして、クリーン空間3側からボルトにより
ねじ止めして、シールパッキンの密着により気密性を高
めるようにする。
Further, when the moving unit 6 and the main body 5 are joined, the joint is sealed by interposing a seal packing. Then, screws are screwed from the clean space 3 side with bolts so that the airtightness is enhanced by the close contact of the seal packing.

【0025】ところで、上述したクリーン作業モジュー
ル1を使用する際は、図3に示すように複数、例えば6
〜8台並べてクリーン空間3を連続させてクリーントン
ネル17を形成するようにする。この場合、複数のクリ
ーン空間3が連続して長いクリーントンネル17を形成
しているので、ワーク16をクリーン空間3から出すこ
となく搬送して流れ作業を行うことができる。ワーク1
6の搬送は、手作業で行っても良く、あるいはベルトコ
ンベヤ15を設置してこれを利用しても良い。
By the way, when using the above-mentioned clean working module 1, as shown in FIG.
A clean tunnel 17 is formed by arranging up to eight units so that the clean space 3 is continuous. In this case, since the plurality of clean spaces 3 continuously form the long clean tunnel 17, the work 16 can be conveyed without being taken out of the clean space 3 to perform the line work. Work 1
The transfer of 6 may be performed manually, or a belt conveyor 15 may be provided and used.

【0026】また、並んだクリーン作業モジュール1同
士の接続部には、図2に示すようにシールパッキン29
を設けるようにする。
Further, as shown in FIG. 2, a seal packing 29 is provided at a connection portion between the arranged clean operation modules 1.
Is provided.

【0027】上述したクリーン作業モジュール1を利用
してワーク16に作業を行う際の動作を以下に説明す
る。
The operation when working on the work 16 using the above-mentioned clean work module 1 will be described below.

【0028】作業前に予め作業ユニット4を移動ユニッ
ト6に取り付けて作業ユニット4の調整を行い、その後
に本体部5に組み付けておく。そして、クリーンエア供
給手段21を作動させる。これにより、外気がプレフィ
ルタ23および本フィルタ14を透過して、クリーンエ
ア2としてクリーン空間3にダウンフローされる。
Before the operation, the operation unit 4 is attached to the moving unit 6 in advance, the operation unit 4 is adjusted, and then the operation unit 4 is assembled to the main body 5. Then, the clean air supply means 21 is operated. As a result, the outside air passes through the pre-filter 23 and the main filter 14 and flows down as clean air 2 into the clean space 3.

【0029】クリーンエア2は本体壁部7,8とカーテ
ン18により外気から遮蔽されて、作業ユニット4の周
囲を流通して下方に回り込み排気面12から排気され
る。この状態で作業者30はカーテン18の手袋部19
から手を入れて作業ユニット4での作業を行うことがで
きる。
The clean air 2 is shielded from the outside air by the main body walls 7, 8 and the curtain 18, flows around the working unit 4, goes down, and is exhausted from the exhaust surface 12. In this state, the worker 30 holds the glove section 19 of the curtain 18.
The work in the work unit 4 can be performed by putting in a hand.

【0030】作業ユニット4を交換あるいは補修等メン
テナンスするためにクリーン空間3から取り出すとき
は、移動ユニット6を本体部5から取り外して後方に引
き出す。これにより、作業ユニット4をクリーン空間3
から容易に取り出すことができる。
When removing the working unit 4 from the clean space 3 for maintenance such as replacement or repair, the moving unit 6 is detached from the main body 5 and pulled out rearward. As a result, the work unit 4 is moved to the clean space 3.
Can be easily removed from

【0031】本実施形態のクリーン作業モジュール1に
よれば、作業用口9にカーテン18を設けているので作
業用口9から外気が入り込むことを抑制でき粉塵の混入
を極力抑えることができる。これにより、クリーン空間
3のクリーン度を高く維持することができる。
According to the clean working module 1 of the present embodiment, since the curtain 18 is provided in the working opening 9, it is possible to suppress the outside air from entering through the working opening 9, and to minimize the entry of dust. Thereby, the cleanness of the clean space 3 can be maintained high.

【0032】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば本実施形態では作業用口9の上方にアクリ
ル板から成る本体壁部7が形成されているが、これには
限られずクリーン空間3の最上部から排気面12まで全
面に透明なカーテン18を取り付けるようにしても良
い。この場合、図5に示すように各作業ユニット用枠1
3に対して1対の手袋部19とヘッドポート31とを有
するようにできる。ヘッドポート31は、透明体から成
ると共に作業ユニット4の真上に突出するようにしてい
る。このため、作業者30はヘッドポート31から作業
ユニット4を上からのぞき込むことができるので、作業
性を向上することができる。
The above embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the present embodiment, the main body wall portion 7 made of an acrylic plate is formed above the work opening 9, but the present invention is not limited to this, and a transparent curtain 18 is entirely provided from the top of the clean space 3 to the exhaust surface 12. You may make it attach. In this case, as shown in FIG.
For three, a pair of glove parts 19 and a head port 31 can be provided. The head port 31 is made of a transparent body and projects right above the work unit 4. For this reason, the worker 30 can look into the working unit 4 from above from the head port 31, so that workability can be improved.

【0033】また、上述した各実施形態では作業用口9
にカーテン18を取り付けているが、これには限られず
図6に示すように作業用口9を開放したままでも良い。
この場合、クリーンエア2を強めに供給するようにして
作業用口9から排出し続ければ、作業用口9からの外気
の混入を抑制することができる。これによっても、作業
ユニット4を排気面12に載置する必要はないので、作
業ユニット4と下方の排気面12との間に空間を設けて
クリーンエア2を下方に排出することができ、容易にク
リーン度を高めることができる。
In each of the above embodiments, the working port 9
Although the curtain 18 is attached to the opening, the working opening 9 may be left open as shown in FIG.
In this case, if the clean air 2 is supplied more strongly and is continuously discharged from the working port 9, the intrusion of outside air from the working port 9 can be suppressed. This also eliminates the need to place the working unit 4 on the exhaust surface 12, so that a space can be provided between the working unit 4 and the lower exhaust surface 12 so that the clean air 2 can be discharged downward. The degree of cleanliness can be increased.

【0034】このように、カーテン18の有無やヘッド
ポート31の有無等で各種のクリーン作業モジュール1
を形成することができるので、必要とされるクリーン度
やトンネル17外のクリーン環境、および工程の作業性
を考慮して最適なものを選択することができる。
As described above, various clean work modules 1 are determined based on the presence or absence of the curtain 18 and the presence or absence of the head port 31.
Can be selected in consideration of the required degree of cleanliness, the clean environment outside the tunnel 17, and the workability of the process.

【0035】さらに、上述した各実施形態では排気面1
2から空気を排出して捨てているが、これには限られず
クリーンエア供給手段21に循環させて再利用するよう
にしても良い。この場合、クリーン空間3は必要最小限
の容積に設計することができるので、従来のようにクリ
ーンルームの全体の循環喚起を行う場合に比べて循環喚
起回数を大きくすることができる。よって、クリーンエ
ア2のクリーン度を容易に上げることができる。
Further, in each of the above embodiments, the exhaust surface 1
Although the air is discharged from 2 and discarded, the air is not limited to this and may be circulated to the clean air supply means 21 and reused. In this case, since the clean space 3 can be designed to have a minimum necessary volume, the number of times of recirculation can be increased as compared with the conventional case of recirculating the entire clean room. Therefore, the cleanness of the clean air 2 can be easily increased.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
1記載のクリーン作業モジュールによれば、作業ユニッ
トが移動ユニットの前面に壁掛け式に取り付けられてい
るので、作業ユニットを排気面に載置する必要が無くダ
ウンフローのクリーンエアを全て下方に排出することが
できる。よって、気流の乱れが抑えられるのでワークに
微小な粉塵が付着しにくく成る。これにより、所望のク
リーン度を得るために、設備費やランニングコスト、消
費エネルギを従来より下げることができる。
As is apparent from the above description, according to the clean working module of the first aspect, the working unit is mounted on the exhaust surface because the working unit is mounted on the front surface of the moving unit in a wall-mounted manner. It is not necessary to dispose it, and it is possible to discharge all the down-flow clean air downward. Therefore, the turbulence of the airflow is suppressed, so that minute dust hardly adheres to the work. As a result, in order to obtain a desired degree of cleanliness, equipment costs, running costs, and energy consumption can be reduced as compared with the related art.

【0037】また、移動ユニットを移動させるだけで作
業ユニットをクリーン空間に出し入れできるので、作業
ユニットの交換や補修を容易に行うことができるように
なる。このため、ラインの稼働中に作業ユニットのメン
テナンスが可能になり、メンテナンスのためにライン全
体を停止させる必要がないので、稼働率を上げることが
できる。
Further, since the working unit can be moved in and out of the clean space only by moving the moving unit, the working unit can be easily replaced or repaired. Therefore, maintenance of the operation unit can be performed during operation of the line, and it is not necessary to stop the entire line for maintenance, so that the operation rate can be increased.

【0038】さらに、クリーン空間の容積を最小限に抑
えることができるので、クリーンルームの全体の循環喚
起を行う場合に比べて循環喚起回数を大きくすることが
できる。よって、クリーンエアのクリーン度を容易に上
げることができる。
Further, since the volume of the clean space can be minimized, the number of times of recirculation can be increased as compared with the case where recirculation of the entire clean room is performed. Therefore, the cleanness of the clean air can be easily increased.

【0039】そして、請求項2記載のクリーン作業モジ
ュールによれば、作業者はヘッドポートから作業ユニッ
トを上からのぞき込むことができるので、作業性を向上
することができる。
According to the clean working module of the second aspect, the worker can look into the working unit from above from the head port, so that workability can be improved.

【0040】さらに、請求項3記載のクリーントンネル
によれば、ワークをクリーン空間から出すことなく搬送
して流れ作業を行うことができる。
Further, according to the clean tunnel of the third aspect, the work can be transported without being taken out of the clean space and the work can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のクリーン作業モジュールを示す側面図
である。
FIG. 1 is a side view showing a clean working module of the present invention.

【図2】クリーン作業モジュールの本体部のフレームを
示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a frame of a main body of the clean operation module.

【図3】クリーン作業モジュールを連結した状態示す正
面図である。
FIG. 3 is a front view showing a state in which a clean operation module is connected.

【図4】作業ユニットの一例を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an example of a work unit.

【図5】本体部の他の実施形態を示し、(A)は正面
図、(B)は側面図である。
5A and 5B show another embodiment of the main body, wherein FIG. 5A is a front view and FIG. 5B is a side view.

【図6】本体部の別の実施形態を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing another embodiment of the main body.

【図7】従来のクリーンベンチを示す概略図である。FIG. 7 is a schematic view showing a conventional clean bench.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 クリーン作業モジュール 2 クリーンエア 3 クリーン空間 4 作業ユニット 6 移動ユニット 7,8 本体壁部 9 作業用口 10 開口部 12 排気面 17 クリーントンネル 31 ヘッドポート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clean working module 2 Clean air 3 Clean space 4 Working unit 6 Moving unit 7, 8 Body wall 9 Working port 10 Opening 12 Exhaust surface 17 Clean tunnel 31 Head port

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 憲幸 長野県伊那市上の原6100番地 株式会社三 協精機製作所伊那工場内 Fターム(参考) 3L058 BE02 BF01 BF03 BG05  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Noriyuki Suzuki 6100 Uehara, Ina-shi, Nagano F-term in Sankyo Seiki Seisakusho Ina Plant (reference) 3L058 BE02 BF01 BF03 BG03 BG05

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ダウンフローのクリーンエアが供給され
るクリーン空間に作業ユニットが取り付けられ、上記ク
リーン空間内で上記作業ユニットにより所定の作業を行
うようにしたクリーン作業モジュールにおいて、上記ク
リーン空間を形成する本体壁部であって作業用口とは逆
側に開口部を設けると共に、上記開口部を覆うよう上記
作業用口とは逆側から組み合わせ移動可能な移動ユニッ
トを設け、上記移動ユニットの前面に上記作業ユニット
を取り付けたことを特徴とするクリーン作業モジュー
ル。
1. A clean working module in which a work unit is mounted in a clean space to which clean air of a downflow is supplied, and a predetermined work is performed by the work unit in the clean space. An opening on the side opposite to the working port, and a movable unit that can be combined and moved from the side opposite to the working port so as to cover the opening, and a front surface of the moving unit. A clean work module, wherein the work unit is mounted on the work module.
【請求項2】 上記作業用口の上側には、透明体から成
ると共に上記作業ユニットの真上に突出するヘッドポー
トが設けられていることを特徴とする請求項1記載のク
リーン作業モジュール。
2. The clean working module according to claim 1, wherein a head port made of a transparent body and protruding right above the working unit is provided above the working port.
【請求項3】 請求項1または2記載のクリーン作業モ
ジュールを複数並べて上記クリーン空間が連続して成る
ことを特徴とするクリーントンネル。
3. A clean tunnel, wherein the clean space is formed by arranging a plurality of clean operation modules according to claim 1 or 2.
JP2000165021A 2000-06-01 2000-06-01 Clean work module and clean tunnel Pending JP2001343140A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000165021A JP2001343140A (en) 2000-06-01 2000-06-01 Clean work module and clean tunnel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000165021A JP2001343140A (en) 2000-06-01 2000-06-01 Clean work module and clean tunnel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001343140A true JP2001343140A (en) 2001-12-14

Family

ID=18668558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000165021A Pending JP2001343140A (en) 2000-06-01 2000-06-01 Clean work module and clean tunnel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001343140A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017191907A (en) * 2016-04-15 2017-10-19 ファナック株式会社 Fiber laser oscillator and clean bench mounted on the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017191907A (en) * 2016-04-15 2017-10-19 ファナック株式会社 Fiber laser oscillator and clean bench mounted on the same
CN107302173A (en) * 2016-04-15 2017-10-27 发那科株式会社 Fibre laser oscillator and the clean bench that can be loaded in fibre laser oscillator
US10027082B2 (en) 2016-04-15 2018-07-17 Fanuc Corporation Fiber laser oscillator and clean bench mountable to the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05223300A (en) Coupling type clean space
KR20020073601A (en) Air management system and method for chemical containment and contamination reduction in a semiconductor manufacturing facility
JP2006352099A (en) Substrate inspection device
JP2008296069A (en) Air cleaner for eliminating fine particle or fine particle and harmful gas in sheet-like object manufacturing apparatus
JPS5950369B2 (en) Clean air area forming device
JP2021013880A (en) Safety cabinet
JP2008241360A (en) Surface inspection apparatus
KR102256679B1 (en) clean bench with capable of counting particulate matter
JP2001343140A (en) Clean work module and clean tunnel
JPH09264575A (en) Manufacturing device and cleaning method
JPH05106888A (en) Connected type clean spacing device
JP2004269214A (en) Purified air circulating type storage equipment
JP4798816B2 (en) Circulating clean room
WO2019207841A1 (en) Safety cabinet, and vibration damping mechanism for fan filter unit
JPH0888155A (en) Interface box in local cleaning and clean room therefor
CN107552489B (en) Lamp box cleaning device
JP7513399B2 (en) Clean bench equipment
JP3369662B2 (en) Safety cabinet
JP4441732B2 (en) Clean room
JP3168914B2 (en) Robot device with cleaning function and cleaning method
CN214516337U (en) Tool of clean laser instrument lens
KR100628580B1 (en) Production system
CN117855077B (en) Wafer detecting system based on overvoltage and clean control
CN213276255U (en) Air flow improving device of exposure machine mask cleaning machine
TW444114B (en) Clean operating platen

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060111

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060510