JP2001339796A - Condenser microphone - Google Patents

Condenser microphone

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Masaki Esashi
Toshiyuki Nishiguchi
Nobuo Saito
Kiyotake Shoda
Toshifumi Tajima
清武 庄田
信雄 斎藤
正喜 江刺
利文 田島
敏行 西口
Original Assignee
Nippon Hoso Kyokai <Nhk>
Tohoku Techno Arch Co Ltd
日本放送協会
株式会社 東北テクノアーチ
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a condenser microphone in a high sensitivity. SOLUTION: In a condenser IC microphone manufactured by using a microphone processing technology making full use of semiconductor manufacturing technology, an oscillation frequency of LC oscillation circuit at an oscillation- modulation circuit 5 is changed according to the change of capacity of a condenser consisting of an oscillation electrode 1 and a back electrode 2 responding to the change of sound pressure. An oscillation output signal from the LC oscillation circuit is FM modulated responding to the change of sound pressure so as to transmit from an antenna 6. A change of capacity of the condenser, which change is caused by the sound pressure, is read as a change of frequency oscillated from the LC oscillation circuit having the condenser as a part of capacitance, so that a separation between the electrodes 1 and 2 is lessened and the sensitivity of the microphone is become in a high sensitivity without any necessity of applying a strong bias voltage to the IC microphone.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造技術を駆使して作製するコンデンサ型マイクロフォンに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a capacitor-type microphone be manufactured in full use of semiconductor manufacturing technology.

【0002】 [0002]

【従来の技術】半導体製造技術を駆使したマイクロマシン加工技術を利用して作製するコンデンサ型小型マイクロフォン(以下、ICマイクロフォン)はセンシング部分、初段増幅回路を一体製造できるため品質安定性が高く、小型、軽量、量産に適している。 BACKGROUND OF THE INVENTION Semiconductor fabrication techniques condenser miniature microphone be manufactured using micro-machining techniques full use (hereinafter, IC microphone) the sensing portion, high quality stability for a first stage amplifier circuit can be integrally manufactured, compact, lightweight, it is suitable for mass production.

【0003】図1にICマイクロフォンの構造と信号の取り出し方の例を示した(参考文献1)。 [0003] shows an example of how taking out the structure and the signal of the IC microphone 1 (Reference 1).

【0004】ICマイクロフォンにおいて音を検知する部分は、薄く平坦な振動電極1と背電極2で構成されるコンデンサである。 [0004] portion for detecting sound in IC microphone is a thin capacitor constituted by a flat vibrating electrode 1 and the back electrode 2. 3は背電極2と電気的に接続する接続配線(コンタクト)、4はケースである。 3 back electrode 2 is electrically connected to the connection wiring (contact), 4 is a case.

【0005】音波による音圧変化で生じる振動電極1の変位を、コンデンサの容量変化として検出する。 [0005] The displacement of the vibrating electrode 1 caused by sound pressure changes due to acoustic waves, is detected as a capacitance change of the capacitor. このマイクから取り出せる信号電圧ΔVは、バイアス電圧を Signal voltage ΔV extractable from the microphone, a biasing voltage
V b 、蓄えられる電荷をq、コンデンサの容量をC、振動電極−背電極間の距離をs、音圧によって生じるCの変化、 V b, the electric charges stored q, the capacitance of the capacitor C, the vibrating electrode - C change in occurring the distance between the back electrode s, the sound pressure,
sの変化をそれぞれΔC、Δs、とすると、 ΔV=−q(ΔC/C 2 )=(Δs/s)V b ……(1) で与えられる(参考文献2)。 s of the change respectively [Delta] C, Delta] s, When given by ΔV = -q (ΔC / C 2 ) = (Δs / s) V b ...... (1) ( Reference 2).

【0006】この電圧変化を電極から読み出していた。 [0006] had read the voltage change from the electrode.

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】ICマイクロフォンの感度を向上させるために従来行われてきた方策は、 Has been conventionally performed in order to improve the sensitivity of the IC microphone [0008] strategy,
(1)式より、 V bを大きくする。 (1) from equation to increase the V b. sを小さくする。 s reduced. Δsが大きくなるように振動電極の材料に柔らかいものを使用するなどし、音圧に対する変形を大きくする。 Δs is such as using softer the material of the vibrating electrode to be larger, increasing the modifications to the sound pressure.
すなわち振動電極のスチフネスを小さくする。 That reduces the stiffness of the vibrating electrode. ΔCを大きくするために、電極の面積を大きくする。 In order to increase the [Delta] C, increasing the area of ​​the electrode. というものであった。 Was that.

【0008】しかし、コンデンサ型マイクロフォンにおいては、振動電極と背電極が静電引力で貼り付かないようにする必要がある。 However, in the capacitor-type microphone, it is necessary to vibrate the electrode and the back electrode is not sticking by electrostatic attraction. 両極を貼り付かずに保持するための指標として、次式の安定度μが定義されている(参考文献3)。 As an index for holding without stick bipolar, equation stability μ is defined (reference 3).

【0009】 [0009]

【数1】 [Number 1]

【0010】式(2)で、s m :振動電極のスチフネス、 [0010] In formula (2), s m: the vibrating electrode stiffness,
ε a :空気の誘電率、S:背電極の面積であり、通常μ> epsilon a: dielectric constant of air, S: the area of the back electrode, usually mu>
7となるように設計される。 It is designed to be 7.

【0011】式(2)から、感度を向上させるための〜の方策は安定度の向上と相反するものである。 [0011] From equation (2), measures - for improving the sensitivity are contradictory with improved stability. 特に従来のICマイクロフォンにおいては、振動電極と背電極との間隔sが数μmと極めて小さいため、高感度化には限界があった。 Particularly in the conventional IC microphone, because the spacing s between the vibration electrode and the back electrode is very small as several [mu] m, the sensitivity is limited.

【0012】本発明の目的は以上のような問題を解消したコンデンサ型マイクロフォンを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a condenser microphone which solves the above problems.

【0013】 [0013]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、音圧変化に応答して容量が変化するコンデンサと、前記コンデンサを容量の一部として持つLC回路と、前記コンデンサの容量変化を前記LC回路の発振周波数の変化として読み出す出力手段とを具えたことを特徴とする。 Means for Solving the Problems of claims 1 invention, the a capacitor whose capacitance changes in response to sound pressure changes, an LC circuit having the capacitor as part of the capacitor, the capacitance change of the capacitor characterized in that comprises an output means for reading a change in the oscillation frequency of the LC circuit.

【0014】請求項2の発明は、請求項1において、前記出力手段は、前記コンデンサの音圧による容量変化に応答して、搬送波をFM変調して送信する手段を有することを特徴とする。 The invention of claim 2, in claim 1, wherein the output means is responsive to the capacitance change due to sound pressure of the capacitor, and having a means for transmitting the FM modulating a carrier wave.

【0015】請求項3の発明は、請求項2において、前記コンデンサは、前記出力手段の少なくとも一部と同一基板上に形成したことを特徴とする。 [0015] The invention of claim 3, in claim 2, wherein the capacitor is characterized in that formed on at least a portion on the same substrate of said output means.

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】本発明では、コンデンサ型マイクロフォンにおける音圧によるコンデンサの容量の変化を、このマイクをC(容量)として持つ、LC発振回路(コイル及びコンデンサによって発振周波数が決定される発振回路)の発振周波数変化として検出した。 In DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention, a change in the capacitance of the capacitor due to sound pressure at condenser microphone, with the microphone as a C (capacitance), the oscillation frequency by the LC oscillator circuit (coil and capacitor are determined oscillated was detected as an oscillation frequency change circuit). この方法によれば、コンデンサ部にバイアス電圧を印加する必要がないため、高感度化の方策を選ぶ自由度が増す。 According to this method, it is not necessary to apply a bias voltage to the capacitor unit, the degree of freedom is increased to select measures of the high sensitivity. さらに、検出した発振周波数変化を搬送周波数のFM変調とみなして送信し、それを受信した側で復調して音声信号を得れば、ワイアレスマイクを構成することができる。 Furthermore, it transmits the oscillation frequency change detected is regarded as the FM modulation of the carrier frequency, if you get a sound signal demodulated by the received side it is possible to configure the wireless microphone. この場合、コンデンサ部には、発振回路が動作するのに必要な電圧だけが印加されることになり、通常のI In this case, the capacitor portion, will be only the voltage required for oscillation circuit to operate is applied, the normal I
Cマイクロフォンのバイアス電圧に比べて非常に低い電圧ですむため、式(2)の安定度を大きく取ることが可能で、振動電極と背電極とが貼り付くという問題が生じにくくなる。 Because it requires a very low voltage as compared with the bias voltage of the C microphone, it can provide a large stability of formula (2), a problem that the vibration electrode and the back electrode sticking hardly occurs.

【0017】一般的なLC発振回路の発振周波数fは、 [0017] The oscillation frequency f of a typical LC oscillator circuit,
コイルのインダクタンスをLとすると次式で定まる。 When the inductance of the coil and L determined by the following equation.

【0018】 [0018]

【数2】 [Number 2]

【0019】音圧によって生じるfの変化をΔfとすると、 [0019] The change of f caused by the sound pressure and the Δf,

【0020】 [0020]

【数3】 [Number 3]

【0021】であるから、感度を向上させる為に周波数変位Δfを大きくする方法として、前述のからの方策が有効である。 [0021] a because, as a method of increasing the frequency displacement Δf in order to improve the sensitivity, it is effective measures from the foregoing.

【0022】従来のコンデンサ型ICマイクロフォンでは、少なくとも数V、実用的な感度を得るのに数Vのバイアス電圧V bを必要としている(参考文献4)。 [0022] In conventional capacitor type IC microphone, in need of bias voltage V b of several V to obtain at least several V, practical sensitivity (reference 4).

【0023】一方、本発明のICマイクロホンでは、1 [0023] On the other hand, in the IC microphone of the present invention, 1
〜2Vで動作する発振回路を用いれば、式(2)から、 With the oscillator circuit operating at 2V, from equation (2),
従来のICマイクロフォンと比べ安定度を数倍から数百倍にできる。 Stability compared with conventional IC microphone can to several hundred times from a few times. これにより、高感度化の方策を選ぶ自由度も大きく増す。 As a result, it increases the degree of freedom is large to choose a policy of high sensitivity.

【0024】図2に、コンデンサの容量変化を周波数変化として読み出すようにした本発明の1実施形態の構成を示した。 [0024] Figure 2 shows the structure of one embodiment of the present invention read out as the frequency changes the capacitance changes of the capacitor. 1は振動電極、2は背電極であって、これらは、ICマイクを構成する(詳細な構造は図3を参照)。 1 vibrating electrode, 2 is a back electrode, which constitutes the IC microphone (detailed structure see Figure 3). 振動電極1が音圧に応答して振動することによって、振動電極1と背電極2との間の距離が変化し、振動電極1と背電極2との間の容量が変化する。 By vibrating electrode 1 vibrates in response to sound pressure, the distance between the vibrating electrode 1 and the back electrode 2 is changed, the capacitance between the vibrating electrode 1 and the back electrode 2 changes. 5は発振/ 5 oscillation /
変調回路であって、接続配線3を介して振動電極1および背電極2と接続することによって構成されるLC発振回路を有する。 A modulation circuit, having an LC oscillator circuit formed by connecting the vibrating electrode 1 and the back electrode 2 via the connection wire 3. このLC発振回路の発振出力信号はアンテナ(コイルアンテナ)6に供給され、そこから送信される。 Oscillation output signal of the LC oscillator circuit is supplied to the antenna (coil antenna) 6, is transmitted therefrom. このLC発振回路の発振周波数は式(3)によって決定される。 Oscillation frequency of the LC oscillator is determined by equation (3).

【0025】したがって、音圧の変化に応答して振動電極1と背電極2との間の容量が変化することによって、 [0025] Thus, by the capacitance between the vibrating electrode 1 and the back electrode 2 in response to changes to changes in sound pressure,
発振/変調回路5のLC発振回路の発振周波数が変化する。 The oscillation frequency of the LC oscillator of the oscillator / modulation circuit 5 is changed. すなわち、LC発振回路の発振出力信号は音圧の変化に応答してFM変調され、アンテナ6から送信される。 That is, the oscillation output signal of the LC oscillator circuit is FM-modulated in response to a change in sound pressure is transmitted from the antenna 6.

【0026】図3は、ICマイクロフォンの具体的な構造を示すものであって、(a)は、斜視図、(b)は断面図である。 [0026] FIG. 3 is a view illustrating the specific structure of the IC microphone, (a) represents, perspective view, (b) is a sectional view. 図示されるICマイクロフォンは公知の技術(参考文献1)を用いて作製した。 IC microphone shown were produced using known techniques (Ref 1). 基板7上には、振動電極1、背電極2、接続配線3、発振/変調回路5およびコイルアンテナ6が形成され、背電極2はケース4 On the substrate 7, the vibrating electrode 1, the back electrode 2, the connection wire 3, the oscillation / modulation circuit 5 and the coil antenna 6 is formed, the back electrode 2 Case 4
によってカバーされている。 It is covered by.

【0027】以上のように、コンデンサを構成する振動電極1、背電極2間にバイアス電圧を印加する必要がないため、高感度化の方策を選ぶ自由度が増す。 [0027] As described above, the vibrating electrodes 1 forming the capacitor, it is not necessary to apply a bias voltage between the back electrode 2, the degree of freedom is increased to select measures of the high sensitivity. さらに、 further,
振動電極1、背電極2間の容量変化によって検出したL Vibrating electrode 1 was detected by the capacitance change between the back electrode 2 L
C発振回路の発振周波数変化を搬送周波数のFM変調とみなして送信し、それを受信した側で復調して音声信号を得るワイアレスマイクを構成することができ、このようなワイアレスマイクにおいては、コンデンサ部には、 Transmits the oscillation frequency change of the C oscillation circuit is regarded as the FM modulation of the carrier frequency, and demodulated by the received side it can configure the wireless microphone to obtain an audio signal, in such a wireless microphone, a capacitor the Department,
発振/変調回路が動作するのに必要な電圧だけが印加されることになり、通常のICマイクロフォンのように大きなバイアス電圧を印加する必要がないため、振動電極と背電極とが貼り付くという問題が生じにくくなる。 Will be only a voltage required for oscillation / modulation circuit operates is applied, the normal since there is no need to apply a large bias voltage as IC microphone, a problem that the vibration electrode and the back electrode sticking It is less likely to occur.

【0028】(参考文献) 参考文献1:J. [0028] (Ref.) Reference 1: J. Bergvist. Bergvist. F. F. Rudol Rudol
f,“A Siliconcondenser mic f, "A Siliconcondenser mic
rophone using bond andetc rophone using bond andetc
h−back technology” Sensor h-back technology "Sensor
s and Actuators A45,pp. s and Actuators A45, pp. 11 11
5−124(1994). 5-124 (1994). 参考文献2:Dennis S. Reference 2: Dennis S. Greywall, Greywall,
“Micromachined optical−in "Micromachined optical-in
terference microphone”,Se terference microphone ", Se
nsors and Actuators A75,p nsors and Actuators A75, p
p257−268(1999). p257-268 (1999). 参考文献3:溝口章夫,「指向性コンデンサ・マイクロホンの小型化の設計」,日本音響学会誌 31巻10 Reference 3: Akio Mizoguchi, "designed to reduce the size of the directional condenser microphone", Journal of the Acoustical Society of Japan Vol. 31 10
号,pp593−601(1975). No., pp593-601 (1975). 参考文献4:Gerhard M. Reference 4: Gerhard M. Sessler, Sessler,
“NEW ACOUSTIC SENSORS”,Pr "NEW ACOUSTIC SENSORS", Pr
oc. oc. 15th InternationalCong 15th InternationalCong
ress on Acoustics,pp. ress on Acoustics, pp. 253− 253-
260(1995). 260 (1995).

【0029】 [0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高感度なコンデンサ型マイクロフォンを提供することができる。 According to the present invention as described in the foregoing, it is possible to provide a highly sensitive condenser microphone. また、ワイヤレス化も容易である。 Also, wireless reduction is easy.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】従来のICマイクロフォンの構造と信号の取り出し方を示す図である。 1 is a diagram showing how extraction structure and signals of the conventional IC microphone.

【図2】コンデンサの容量変化を周波数変化として読み出すようにした本発明の1実施形態の構成を示図である。 2 is a 示図 a configuration of one embodiment of the present invention in which the capacitance changes of the capacitor read out as the frequency changes.

【図3】ICマイクロフォンの具体的な構造を示すものであって、(a)は本発明によるワイアレスマイクの斜視図、(b)は同断面図である。 [3] there is shown a detailed structure of IC microphone, (a) is a perspective view of the wireless microphone according to the present invention, (b) are the same sectional view.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 振動電極 2 背電極 3 接続配線 4 ケース 5 発振/変調回路 6 コイルアンテナ 7 基板 1 vibrating electrodes 2 back electrode 3 connection wires 4 Case 5 oscillator / modulation circuit 6 coil antenna 7 substrate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田島 利文 東京都世田谷区砧一丁目10番11号 日本放 送協会 放送技術研究所内 (72)発明者 斎藤 信雄 東京都世田谷区砧一丁目10番11号 日本放 送協会 放送技術研究所内 (72)発明者 庄田 清武 東京都世田谷区砧一丁目10番11号 日本放 送協会 放送技術研究所内 (72)発明者 江刺 正喜 宮城県仙台市太白区八木山南一丁目11−9 Fターム(参考) 5D021 CC15 CC19 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Toshifumi Tajima Setagaya-ku, Tokyo Kinuta chome No. 10, No. 11, Japan broadcasting Association broadcasting technology within the Institute (72) inventor Nobuo Saito, Setagaya-ku, Tokyo Kinuta chome No. 10 11 issue Japan broadcasting Association broadcasting technology within the Institute (72) inventor Kiyotake Shoda Setagaya-ku, Tokyo Kinuta chome No. 10, No. 11, Japan broadcasting Association broadcasting technology within the Institute (72) inventor Masayoshi ESASHI Sendai, Miyagi Prefecture Taebaek District Yagiyamaminami chome 11-9 F-term (reference) 5D021 CC15 CC19

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 音圧変化に応答して容量が変化するコンデンサと、前記コンデンサを容量の一部として持つLC And 1. A capacitor capacitance in response to sound pressure changes changes, LC with the capacitor as part of the capacitor
    回路と、前記コンデンサの容量変化を前記LC回路の発振周波数の変化として読み出す出力手段とを具えたことを特徴とするコンデンサ型マイクロフォン。 Condenser microphone, characterized in that comprises an output means for reading out the circuit, the capacitance variation of the capacitor as a change in the oscillation frequency of the LC circuit.
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記出力手段は、前記コンデンサの音圧による容量変化に応答して、搬送波をFM変調して送信する手段を有することを特徴とするコンデンサ型マイクロフォン。 2. A method according to claim 1, wherein the output means is responsive to the capacitance change due to sound pressure of the condenser, condenser microphone, characterized in that it comprises means for transmitting the FM modulating a carrier wave.
  3. 【請求項3】 請求項2において、 前記コンデンサは、前記出力手段の少なくとも一部と同一基板上に形成したことを特徴とするコンデンサ型マイクロフォン。 3. The method of claim 2, wherein the capacitor is a capacitor-type microphone, characterized in that formed on at least a portion on the same substrate of said output means.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008510378A (en) * 2004-08-11 2008-04-03 クゥアルコム・インコーポレイテッドQualcomm Incorporated Integrated audio codec with silicon audio transducer
EP1974832A2 (en) 2007-03-29 2008-10-01 Olympus Medical Systems Corp. Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) device and in-body-cavity diagnostic ultrasound system
JP2009022055A (en) * 2008-10-27 2009-01-29 Panasonic Corp Electret capacitor
JP2009515443A (en) * 2005-11-10 2009-04-09 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag MEMS microphone, method for manufacturing MEMS microphone, and method for incorporating MEMS microphone
JP2009182755A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Audio Technica Corp Condenser microphone unit and fixed pole thereof

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008510378A (en) * 2004-08-11 2008-04-03 クゥアルコム・インコーポレイテッドQualcomm Incorporated Integrated audio codec with silicon audio transducer
JP2009515443A (en) * 2005-11-10 2009-04-09 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag MEMS microphone, method for manufacturing MEMS microphone, and method for incorporating MEMS microphone
EP1974832A2 (en) 2007-03-29 2008-10-01 Olympus Medical Systems Corp. Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) device and in-body-cavity diagnostic ultrasound system
US8157740B2 (en) 2007-03-29 2012-04-17 Olympus Medical Systems Corp. Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) device and in-body-cavity diagnostic ultrasound system
JP2009182755A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Audio Technica Corp Condenser microphone unit and fixed pole thereof
JP2009022055A (en) * 2008-10-27 2009-01-29 Panasonic Corp Electret capacitor

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