JP2001339795A - Electret-condenser microphone - Google Patents

Electret-condenser microphone

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JP2001339795A
JP2001339795A JP2000160730A JP2000160730A JP2001339795A JP 2001339795 A JP2001339795 A JP 2001339795A JP 2000160730 A JP2000160730 A JP 2000160730A JP 2000160730 A JP2000160730 A JP 2000160730A JP 2001339795 A JP2001339795 A JP 2001339795A
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JP
Japan
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case
diaphragm
frame
condenser microphone
back electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000160730A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motoaki Ito
元陽 伊藤
Hiroshi Fujinami
宏 藤浪
Tomoya Suzuki
智也 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Star Micronics Co Ltd
Original Assignee
Star Micronics Co Ltd
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Publication date
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  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electret-condenser microphone capable of controlling a reduction of sensitivity even though at the occurrence of cutting remaining of a diaphragm. SOLUTION: A case 2 of an electret-condenser microphone 1 has a bottom surface part 3 used for a front surface board at an end of it, and also the case 2 is composed of a metallic and cylindrical-shaped member at the other end. At the bottom surface part 3 of the case 2, a determined shaped opening part 4 is formed. A diaphragm subassembly 11 has a diaphragm 12 and a diaphragm frame 13. A diameter of outer edge of the frame 13 is settled less than that of inner edge of the case 2. On the other side surface that is opposite of the side surface attached the diaphragm 12 of the frame 13, a ring-shaped projection part 15 for positioning is formed in one body. The projection part 15 is placed at the position responding to an opening part 4 of the bottom surface part 3, so that at arrangement of the frame 13 in the case 2, the projection part 15 is fitted to the opening part 4 of the surface part 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトレットコ
ンデンサマイクロホンに関する。
[0001] The present invention relates to an electret condenser microphone.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のエレクトレットコンデンサマイ
クロホンとして、たとえば実用新案登録第301104
8号公報に開示されたようなものが知られている。この
実用新案登録第3011048号公報に開示されたエレ
クトレットコンデンサマイクロホンは、一端面がその前
面板により閉塞されている円筒状のケースを有してい
る。前面板の中心には音孔が穿設されている。ケース内
には、ダイヤフラムリングに張り付けられたダイヤフラ
ムが収容され、ダイヤフラムリングの前面はケースの前
面板に接触している。また、ダイヤフラムリングの外周
面はケースの内周面に接触しており、これにより、ダイ
ヤフラムリングをケース内に配設するときの位置決めが
なされる。
2. Description of the Related Art As an electret condenser microphone of this type, for example, Japanese Utility Model Registration No. 301104
No. 8 is known. The electret condenser microphone disclosed in Japanese Utility Model Registration No. 30101048 has a cylindrical case having one end face closed by a front plate. A sound hole is formed in the center of the front plate. A diaphragm attached to the diaphragm ring is accommodated in the case, and the front surface of the diaphragm ring is in contact with the front plate of the case. Further, the outer peripheral surface of the diaphragm ring is in contact with the inner peripheral surface of the case, whereby positioning when the diaphragm ring is disposed in the case is performed.

【0003】また、ダイヤフラムの後方には、スペーサ
を介して固定電極としての背電極板が所定の間隔をおい
て対設されている。このダイヤフラムと背電極板とによ
りコンデンサ部が形成されることになる。
A back electrode plate as a fixed electrode is opposed to the rear of the diaphragm at a predetermined interval via a spacer. A capacitor portion is formed by the diaphragm and the back electrode plate.

【0004】ところで、振動膜フレームへの振動膜の張
り付けは、一般に、ダイヤフラム(振動膜)を構成する
ことになるシート状のPETフィルム等に所定の張力を
与えた状態でダイヤフラムリング(振動膜フレーム)を
接着し、振動膜フレームと振動膜とが接着された状態で
振動膜フレームの外形形状に沿ってシートを切断するこ
とにより行われる。
In general, a diaphragm is attached to a diaphragm frame by applying a predetermined tension to a sheet-like PET film or the like that constitutes the diaphragm (vibrating membrane). ) Is adhered, and the sheet is cut along the outer shape of the diaphragm frame with the diaphragm frame and the diaphragm adhered.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用新
案登録第3011048号公報に開示されたようなエレ
クトレットコンデンサマイクロホンでは、振動膜フレー
ムの外形形状に沿ってシートを切断するときに振動膜フ
レームの外側にはみ出したシート(振動膜)の切断残り
が生じた場合、振動膜フレームの外周面はケースの内周
面に接触していることから、振動膜フレームをケース内
に挿入したときに振動膜の切断残りの部分がスペーサ側
に折れ曲がり、振動膜フレームと背電極板又はスペーサ
との間に挟まれることになる。このように、振動膜の切
断残りの部分が振動膜フレームと背電極板又はスペーサ
との間に挟まれた場合、振動膜と背電極板との間隙が拡
大して振動膜と背電極板との間の静電容量が変化して、
感度特性が低下する惧れがあることが判明した。
However, in the electret condenser microphone disclosed in Japanese Utility Model Registration No. 3011048, when the sheet is cut along the outer shape of the diaphragm frame, the electret condenser microphone is placed outside the diaphragm frame. If the protruding sheet (vibration membrane) is left uncut, the outer peripheral surface of the diaphragm frame is in contact with the inner peripheral surface of the case, so the diaphragm is cut when the diaphragm frame is inserted into the case. The remaining portion is bent toward the spacer, and is sandwiched between the diaphragm frame and the back electrode plate or the spacer. As described above, when the remaining portion of the vibration film is sandwiched between the vibration film frame and the back electrode plate or the spacer, the gap between the vibration film and the back electrode plate is enlarged and the vibration film and the back electrode plate become The capacitance changes between
It has been found that the sensitivity characteristics may be reduced.

【0006】また、実用新案登録第3011048号公
報に開示されたようなエレクトレットコンデンサマイク
ロホンでは、ケースをプレス加工により成形した場合に
は、振動膜フレームの前面を前面板に接触させるため
に、前面板と側面との間の角部に逃げ部等を新たに形成
する必要があり、製造工程が複雑になるという問題点も
有していることが判明した。
In the electret condenser microphone disclosed in Japanese Utility Model Registration No. 30101048, when the case is formed by pressing, the front face of the diaphragm frame is brought into contact with the front face plate. It has been found that it is necessary to newly form a relief portion or the like at the corner between the and the side surface, which also has a problem that the manufacturing process becomes complicated.

【0007】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、振動膜の切断残りが生じた場合においても感度特性
の低下を抑制することが可能なエレクトレットコンデン
サマイクロホンを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to provide an electret condenser microphone that can suppress a decrease in sensitivity characteristics even when the diaphragm remains uncut. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係るエレクトレ
ットコンデンサマイクロホンは、前面板として用いられ
る底面部を有する筒状のケースと、振動膜が張り付けら
れた振動膜フレームと、を備え、振動膜フレームがケー
ス内に配設されるエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンであって、ケースの底面部には、所定形状の開口部が
形成され、振動膜フレームには、底面部の開口部に嵌合
して、振動膜フレームをケース内に配設するときにケー
スに対してリング部材を位置決めするための位置決め突
部が形成されており、振動膜フレームがケース内に配設
された状態において、振動膜フレームの外周面とケース
の内周面との間に所定の間隙が設けられていることを特
徴としている。
According to the present invention, there is provided an electret condenser microphone comprising: a cylindrical case having a bottom portion used as a front plate; and a diaphragm frame on which a diaphragm is attached. Is an electret condenser microphone disposed in the case, an opening of a predetermined shape is formed in a bottom portion of the case, and the diaphragm is fitted in the opening of the bottom portion in the diaphragm frame. A positioning projection for positioning the ring member with respect to the case when the frame is disposed in the case is formed. When the diaphragm frame is disposed in the case, the outer peripheral surface of the diaphragm frame is provided. And a predetermined gap is provided between the case and the inner peripheral surface of the case.

【0009】本発明に係るエレクトレットコンデンサマ
イクロホンでは、振動膜フレームがケース内に配設され
た状態において、振動膜フレームの外周面とケースの内
周面との間に所定の間隙が設けられているので、振動膜
の切断残りが生じた場合においても、この切断残りの部
分が振動膜フレームと背電極板又はスペーサとの間に挟
まれるのが抑制され、振動膜と背電極板との間隙が拡大
して振動膜と背電極板との間の静電容量が変化するのを
防ぐことができる。この結果、エレクトレットコンデン
サマイクロホンの感度特性が低下するのを抑制すること
ができる。
In the electret condenser microphone according to the present invention, when the diaphragm frame is disposed in the case, a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the diaphragm frame and the inner peripheral surface of the case. Therefore, even in the case where the remaining portion of the diaphragm is cut, the remaining portion of the cut is suppressed from being sandwiched between the diaphragm frame and the back electrode plate or the spacer, and the gap between the diaphragm and the back electrode plate is reduced. It is possible to prevent the capacitance between the vibrating membrane and the back electrode plate from changing due to enlargement. As a result, it is possible to prevent the sensitivity characteristics of the electret condenser microphone from deteriorating.

【0010】また、ケースの底面部には、所定形状の開
口部が形成され、振動膜フレームには、底面部の開口部
に嵌合して、振動膜フレームをケース内に配設するとき
にケースに対してリング部材を位置決めするための位置
決め突部が形成されているので、振動膜フレームの外周
面とケースの内周面との間に所定の間隙が設けた場合に
おいても、位置決め突部と開口部との嵌合により振動膜
フレームをケースに対して適切な位置に配設することが
できる。
An opening having a predetermined shape is formed in the bottom of the case, and the diaphragm is fitted into the opening of the bottom in the diaphragm so that the diaphragm can be disposed in the case. Since the positioning projection for positioning the ring member with respect to the case is formed, even when a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the diaphragm frame and the inner peripheral surface of the case, the positioning projection is formed. The diaphragm frame can be arranged at an appropriate position with respect to the case by fitting the opening and the opening.

【0011】また、位置決め突部はリング状に形成され
ており、振動膜フレームの位置決め突部の内周部分に、
音孔が形成されていることが好ましい。このように、位
置決め突部はリング状に形成されており、振動膜フレー
ムの位置決め突部の内周部分に、音孔が形成されること
により、ケースに対して振動膜フレームを適切な位置に
確実に配設し得る位置決め突部の構造を簡易且つ低コス
トで実現することができる。
Further, the positioning projection is formed in a ring shape, and is provided on an inner peripheral portion of the positioning projection of the diaphragm.
Preferably, a sound hole is formed. As described above, the positioning protrusion is formed in a ring shape, and the sound hole is formed in the inner peripheral portion of the positioning protrusion of the diaphragm frame, so that the diaphragm frame is positioned at an appropriate position with respect to the case. The structure of the positioning projection that can be securely arranged can be realized simply and at low cost.

【0012】また、ケースは、プレス加工により底面部
を有した筒状に形成されることが好ましい。このよう
に、ケースが、プレス加工により底面部を有した筒状に
形成されることにより、ケースを容易に成形することが
できる。また、ケースをプレス加工により成形した場合
においても、振動膜フレームの外周面とケースの内周面
との間に所定の間隙が設けられているので、前面板と側
面との間の角部に逃げ部等を新たに形成することなく、
振動膜フレームと前面板(底面部)とを接触させること
ができる。この結果、エレクトレットコンデンサマイク
ロホンの製造工程が複雑化するのを抑制することができ
る。
Preferably, the case is formed into a tubular shape having a bottom portion by press working. Thus, the case can be easily formed by forming the case into a cylindrical shape having a bottom portion by pressing. Further, even when the case is formed by press working, since a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the diaphragm frame and the inner peripheral surface of the case, a corner between the front plate and the side surface is provided. Without newly forming escape parts etc.
The vibrating membrane frame can be brought into contact with the front plate (bottom portion). As a result, it is possible to prevent the manufacturing process of the electret condenser microphone from becoming complicated.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
による電気音響変換器の好適な実施形態について詳細に
説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同
一の符号を付しており、重複する説明は省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of an electroacoustic transducer according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements will be denoted by the same reference symbols, without redundant description.

【0014】図1及び図2は、本発明の実施形態に係る
エレクトレットコンデンサマイクロホンの全体の外観を
示す斜視図であり、図3は、同じくエレクトレットコン
デンサマイクロホンの断面図であり、図4及び図5は、
同じくエレクトレットコンデンサマイクロホンの構成を
示す分解斜視図である。
FIGS. 1 and 2 are perspective views showing the overall appearance of an electret condenser microphone according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a sectional view of the electret condenser microphone, and FIGS. Is
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the structure of the electret condenser microphone.

【0015】エレクトレットコンデンサマイクロホン1
は、ケース2を有している。このケース2は、一端に前
面板として用いられる底面部3を有すると共に、他端が
開口した円筒状の金属製(たとえば、ステンレス鋼等)
の部材からなり、プレス加工により底面部3(前面板)
を有した円筒状に形成されている。ケース2の底面部3
には、所定形状(たとえば、円形状)の開口部4が形成
されている。ケース2内には、ダイヤフラムサブアセン
ブリ11、スペーサ21、背電極部31、絶縁性ブッシ
ュ41、基板51、及び、固定リング61が収容されて
配設されている。
Electret condenser microphone 1
Has a case 2. The case 2 has a bottom surface 3 used as a front plate at one end, and a cylindrical metal (eg, stainless steel or the like) having an open end at the other end.
Bottom part 3 (front panel) by pressing
And has a cylindrical shape. Bottom part 3 of case 2
Is formed with an opening 4 having a predetermined shape (for example, a circular shape). In the case 2, the diaphragm subassembly 11, the spacer 21, the back electrode 31, the insulating bush 41, the substrate 51, and the fixing ring 61 are accommodated and arranged.

【0016】ダイヤフラムサブアセンブリ11は、図6
に示されるように、振動膜12(ダイヤフラム)と、振
動膜フレーム13とを有している。振動膜12は、厚み
が1.5μm程度のPET(Polyethylene Terephthal
ate)フィルムからなり、振動膜フレーム13に張り付
けられている。振動膜12の振動膜フレーム13に接着
される側の面にはAuが蒸着されている。振動膜12の
中央部には、エレクトレットコンデンサマイクロホン1
の内外の気圧調整用のベントホール(貫通孔)14が設
けられている。本実施形態においては、ベントホール1
4の直径は65μm程度に設定されている。
The diaphragm subassembly 11 is shown in FIG.
As shown in (1), it has a diaphragm 12 (diaphragm) and a diaphragm frame 13. The vibration film 12 is made of PET (Polyethylene Terephthalate) having a thickness of about 1.5 μm.
ate) A film is attached to the diaphragm 13. Au is vapor-deposited on the surface of the vibration film 12 on the side adhered to the vibration film frame 13. The electret condenser microphone 1 is located at the center of the diaphragm 12.
A vent hole (through-hole) 14 for adjusting the atmospheric pressure inside and outside of the vehicle is provided. In the present embodiment, the vent hole 1
The diameter of 4 is set to about 65 μm.

【0017】振動膜フレーム13は、略円板形状を呈し
た金属製(たとえば、リン青銅等)の部材からなり、振
動膜フレーム13の外周直径はケース2の内周直径より
も小さく設定されている。本実施形態においては、振動
膜フレーム13の外周直径は8.2mm程度に設定され
ており、ケース2の内周直径は8.5mm程度に設定さ
れている。
The diaphragm 13 is made of a substantially disk-shaped metal (for example, phosphor bronze). The outer diameter of the diaphragm 13 is set smaller than the inner diameter of the case 2. I have. In the present embodiment, the outer diameter of the diaphragm 13 is set to about 8.2 mm, and the inner diameter of the case 2 is set to about 8.5 mm.

【0018】振動膜フレーム13の振動膜12が張り付
けられる側の面とは反対側(裏面側)の面には、リング
状の位置決め突部15が一体的に形成されている。この
位置決め突部15は、底面部3の開口部4に対応した位
置に設けられており、振動膜フレーム13をケース2内
に配設するときに底面部3の開口部4に嵌合する。この
ように、位置決め突部15が底面部3の開口部4に嵌合
することにより、ケース2に対するダイヤフラムサブア
センブリ11(振動膜フレーム13)の位置決めが行わ
れる。また、振動膜フレーム13の位置決め突部15の
内周部分に、音孔16が形成されている。
A ring-shaped positioning projection 15 is integrally formed on the surface (back surface) of the vibration film frame 13 opposite to the surface on which the vibration film 12 is adhered. The positioning projection 15 is provided at a position corresponding to the opening 4 of the bottom surface 3, and fits into the opening 4 of the bottom surface 3 when the diaphragm 13 is disposed in the case 2. In this way, the positioning of the diaphragm subassembly 11 (vibrating membrane frame 13) with respect to the case 2 is performed by fitting the positioning projection 15 into the opening 4 of the bottom surface portion 3. Further, a sound hole 16 is formed in the inner peripheral portion of the positioning projection 15 of the diaphragm 13.

【0019】ダイヤフラムサブアセンブリ11(振動膜
フレーム13)がケース2内に配設されて位置決め突部
15が開口部4と嵌合した状態において、図3に示され
るように、振動膜フレーム13の外周面とケース2の内
周面との間に所定の間隙が設けられている。また、位置
決め突部15が底面部3の開口部4に嵌合した状態にお
いては、振動膜フレーム13の振動膜12が張り付けら
れる側の面とは反対側の面と底面部3とが当接してお
り、振動膜フレーム13とケース2とは電気的に接続さ
れている。
In a state where the diaphragm subassembly 11 (vibrating membrane frame 13) is disposed in the case 2 and the positioning projection 15 is fitted to the opening 4, as shown in FIG. A predetermined gap is provided between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the case 2. When the positioning projection 15 is fitted into the opening 4 of the bottom surface 3, the surface of the vibration film frame 13 opposite to the surface on which the vibration film 12 is adhered and the bottom surface 3 come into contact with each other. The diaphragm 13 and the case 2 are electrically connected.

【0020】振動膜フレーム13への振動膜12の張り
付けは、振動膜12を構成することになるシート状のP
ETフィルムに所定の張力を与えた状態で複数の振動膜
フレーム13を接着し、振動膜フレーム13と振動膜1
2とが接着された状態で振動膜フレーム13の外形形状
に沿ってシートを切断することにより行われる。
The vibrating membrane 12 is attached to the vibrating membrane frame 13 by a sheet-like P which constitutes the vibrating membrane 12.
A plurality of diaphragm frames 13 are adhered to each other while a predetermined tension is applied to the ET film.
2 is cut by cutting the sheet along the outer shape of the diaphragm frame 13 in a state where they are bonded to each other.

【0021】背電極部31は、ダイヤフラムサブアセン
ブリ11の後方側、すなわちダイヤフラムサブアセンブ
リ11よりもケース2の開口(他端)側に配設されてお
り、図7に示されるように、背電極板32と、エレクト
レット33とを有している。エレクトレット33は、F
EP(Fluorinated Ethylene Propylene)フィルムか
らなる。背電極板32は、略三角形状を呈した金属製
(たとえば、ステンレス鋼等)の部材からなり、一方の
面にエレクトレット33が熱融着(ラミネート)されて
いる。背電極部31は、背電極板32のエレクトレット
33が熱融着されている側の面がダイヤフラムサブアセ
ンブリ11の振動膜12と対向するように配設される。
背電極板32は、背電極部31(背電極板32)の中心
位置とケース2の中心位置とを合致させてケース2内に
配設した状態で、ケース2の内周面と背電極板32の端
部との間に所定の間隙(たとえば、0.1mm程度)が
形成されるように、その大きさが設定されている。
The back electrode portion 31 is disposed on the rear side of the diaphragm sub-assembly 11, that is, on the opening (the other end) side of the case 2 with respect to the diaphragm sub-assembly 11, and as shown in FIG. It has a plate 32 and an electret 33. The electret 33 is F
It consists of EP (Fluorinated Ethylene Propylene) film. The back electrode plate 32 is made of a substantially triangular metal (for example, stainless steel) member, and has an electret 33 thermally fused (laminated) on one surface. The back electrode portion 31 is disposed such that the surface of the back electrode plate 32 on which the electret 33 is thermally fused faces the vibrating film 12 of the diaphragm subassembly 11.
The back electrode plate 32 is disposed in the case 2 so that the center position of the back electrode portion 31 (back electrode plate 32) matches the center position of the case 2, and the inner peripheral surface of the case 2 and the back electrode plate The size is set so that a predetermined gap (for example, about 0.1 mm) is formed between the end portion 32 and the end portion.

【0022】背電極部31は、背電極板32を構成する
ことになる母材にエレクトレット33が熱融着されたも
のを略三角形状に打ち抜き加工を施すことにより形成さ
れる。打ち抜き加工を施して背電極部31を形成した後
に、エレクトレット33は、所定の表面電荷(たとえ
ば、−360V程度)となるようにコロナ荷電される。
The back electrode portion 31 is formed by punching a base material constituting the back electrode plate 32 obtained by heat-sealing an electret 33 into a substantially triangular shape. After performing the punching process to form the back electrode portion 31, the electret 33 is corona-charged so as to have a predetermined surface charge (for example, about -360 V).

【0023】背電極部31とダイヤフラムサブアセンブ
リ11との間にはスペーサ21が配設されており、この
スペーサ21はステンレス鋼等からなり、スペーサ21
の厚さは40μm程度に設定されている。これにより、
振動膜12と背電極板32(エレクトレット33)と
は、スペーサ21を介して所定の間隔(40μm程度)
を有して配設されることになる。これら振動膜12と背
電極板32とによりコンデンサ部が形成されることにな
る。
A spacer 21 is provided between the back electrode portion 31 and the diaphragm subassembly 11. The spacer 21 is made of stainless steel or the like.
Is set to about 40 μm. This allows
A predetermined distance (about 40 μm) between the vibration film 12 and the back electrode plate 32 (electret 33) via the spacer 21
Will be provided. The vibrating membrane 12 and the back electrode plate 32 form a capacitor section.

【0024】絶縁性ブッシュ41は樹脂、エラストマー
等からなり、ケース2内に圧入される。本実施形態にお
いては、絶縁性ブッシュ41はPTFE(Polytetraflu
oroethylene)からなる。絶縁性ブッシュ41は、背電
極部31の後方側、すなわち背電極部31よりもケース
2の開口側に配設されており、背電極板32のケース2
の開口側の面に当接している。
The insulating bush 41 is made of resin, elastomer or the like, and is pressed into the case 2. In the present embodiment, the insulating bush 41 is made of PTFE (Polytetrafluid).
oroethylene). The insulating bush 41 is disposed on the rear side of the back electrode portion 31, that is, on the opening side of the case 2 with respect to the back electrode portion 31.
Abuts on the surface on the opening side.

【0025】絶縁性ブッシュ41は、後述するようにケ
ース2の開口側から所定の力を加えることにより変形し
て、ケース2の内周面と背電極板32の端部との間に形
成された間隙に嵌まり込む。絶縁性ブッシュ41がケー
ス2の内周面と背電極板32の端部との間に嵌まり込む
ことにより、背電極板32とケース2とが電気的に絶縁
された状態で背電極板32(背電極部31)がケース2
に対して位置決めされることになる。
The insulating bush 41 is deformed by applying a predetermined force from the opening side of the case 2 as described later, and is formed between the inner peripheral surface of the case 2 and the end of the back electrode plate 32. Fit into the gap. When the insulating bush 41 is fitted between the inner peripheral surface of the case 2 and the end of the back electrode plate 32, the back electrode plate 32 and the case 2 are electrically insulated from each other. (Back electrode part 31) is case 2
Will be positioned with respect to.

【0026】基板51は、振動膜12と背電極板32と
の間(コンデンサ部)の静電容量の変化を電気インピー
ダンスに変換するインピーダンス変換器としてのJEF
T(Junction Field-Effect Transistor)チップ52
が実装、配設されている。JEFTチップ52の上面に
はゲート電極53が形成されており、このゲート電極5
3は、導電性接着剤54により背電極板32に接着固定
されており、導電性接着剤54を介して背電極板32に
電気的に接続されている。
The substrate 51 has a JEF as an impedance converter for converting a change in capacitance between the vibrating membrane 12 and the back electrode plate 32 (capacitor portion) into an electrical impedance.
T (Junction Field-Effect Transistor) chip 52
Has been implemented and arranged. On the upper surface of the JEFT chip 52, a gate electrode 53 is formed.
Numeral 3 is bonded and fixed to the back electrode plate 32 with a conductive adhesive 54, and is electrically connected to the back electrode plate 32 via the conductive adhesive 54.

【0027】基板51の裏面(JEFTチップ52が配
設された面とは反対側の面)には、電源端子ピン55、
出力端子ピン56、及び、アース端子ピン57が立設さ
れている。アース端子ピン57は、ケース2を介して振
動膜12に電気的に接続されている。電源端子ピン55
及び出力端子ピン56は、それぞれJEFTチップ52
のドレイン電極(図示せず)及びソース電極(図示せ
ず)に電気的に接続されている。
On the back surface of the substrate 51 (the surface opposite to the surface on which the JEFT chip 52 is provided), power supply terminal pins 55,
An output terminal pin 56 and a ground terminal pin 57 are provided upright. The ground terminal pin 57 is electrically connected to the diaphragm 12 via the case 2. Power supply terminal pin 55
And the output terminal pin 56 are connected to the JEFT chip 52 respectively.
Are electrically connected to a drain electrode (not shown) and a source electrode (not shown).

【0028】固定リング61は、基板51の後方側、す
なわち基板51よりケース2の開口側に配設されてお
り、基板51の裏面(JEFTチップ52が配設された
面とは反対側の面)に当接している。この固定リング6
1は、ステンレス鋼等からなる。固定リング61とケー
ス2とは、固定リング61に対してケース2の開口側か
ら所定の力を加えた状態でレーザー溶接等により互いに
固定される。
The fixing ring 61 is disposed on the rear side of the substrate 51, that is, on the opening side of the case 2 with respect to the substrate 51, and the back surface of the substrate 51 (the surface opposite to the surface on which the JEFT chip 52 is disposed). ). This fixing ring 6
1 is made of stainless steel or the like. The fixing ring 61 and the case 2 are fixed to each other by laser welding or the like while applying a predetermined force to the fixing ring 61 from the opening side of the case 2.

【0029】次に、エレクトレットコンデンサマイクロ
ホン1の組立方法について説明する。
Next, a method of assembling the electret condenser microphone 1 will be described.

【0030】まず、ケース2にダイヤフラムサブアセン
ブリ11とスペーサ21を順次挿入する。ダイヤフラム
サブアセンブリ11は、振動膜フレーム13の位置決め
突部15がケース2の開口部4に嵌合することにより、
ケース2に対する位置決めがなされる。
First, the diaphragm subassembly 11 and the spacer 21 are sequentially inserted into the case 2. The diaphragm subassembly 11 is configured such that the positioning projection 15 of the diaphragm 13 fits into the opening 4 of the case 2,
Positioning with respect to case 2 is performed.

【0031】ケース2へのダイヤフラムサブアセンブリ
11及びスペーサ21の挿入が終わると、背電極部31
と絶縁性ブッシュ41とを自動組立機により挿入する。
背電極部31は、ケース2の中心位置を画像認識技術等
を用いて検出し、検出したケース2の中心位置に別途画
像認識技術等を用いて検出された背電極部31(背電極
板32)の中心位置を合致させるように、ケース2に挿
入される。背電極部31が挿入されると、ケース2に絶
縁性ブッシュ41を背電極板32と接触する位置まで圧
入(挿入)する。
When the insertion of the diaphragm subassembly 11 and the spacer 21 into the case 2 is completed, the back electrode 31
And the insulating bush 41 are inserted by an automatic assembling machine.
The back electrode portion 31 detects the center position of the case 2 using an image recognition technique or the like, and detects the back electrode portion 31 (back electrode plate 32 ) Is inserted into the case 2 so as to match the center position. When the back electrode portion 31 is inserted, the insulating bush 41 is press-fitted (inserted) into the case 2 to a position where it comes into contact with the back electrode plate 32.

【0032】基板51にはJEFTチップ52が実装さ
れており、JEFTチップ52の上面のゲート電極53
に導電性接着剤54を適量塗布した後に、基板51をケ
ース2に挿入する。基板51をケース2に挿入した後、
固定リング61をケース2に挿入し、固定リング61の
上面に対してケース2の開口側から所定の力(たとえ
ば、49.0N程度)を加える。固定リング61に加え
られた力は、基板51を介して絶縁性ブッシュ41に伝
わり、絶縁性ブッシュ41は変形して、ケース2の内周
面と背電極板32の端部との間に嵌まり込む。このよう
に、絶縁性ブッシュ41がケース2の内周面と背電極板
32の端部との間に嵌まり込むことにより、背電極板3
2とケース2とが電気的に絶縁された状態で背電極板3
2(背電極部31)がケース2に対して位置決めされ
る。
A JEFT chip 52 is mounted on a substrate 51, and a gate electrode 53 on the upper surface of the JEFT chip 52 is provided.
After applying an appropriate amount of the conductive adhesive 54 to the substrate 2, the substrate 51 is inserted into the case 2. After inserting the board 51 into the case 2,
The fixing ring 61 is inserted into the case 2, and a predetermined force (for example, about 49.0 N) is applied to the upper surface of the fixing ring 61 from the opening side of the case 2. The force applied to the fixing ring 61 is transmitted to the insulating bush 41 via the substrate 51, and the insulating bush 41 is deformed and fit between the inner peripheral surface of the case 2 and the end of the back electrode plate 32. Get stuck. As described above, the insulating bush 41 is fitted between the inner peripheral surface of the case 2 and the end of the back electrode plate 32, so that the back electrode plate 3
Back electrode plate 3 with case 2 and case 2 electrically insulated.
2 (back electrode portion 31) is positioned with respect to case 2.

【0033】そして、固定リング61の上面に対してケ
ース2の開口側から所定の力(たとえば、49.0N程
度)を加えた状態で、ケース2の外周側からレーザ溶接
機により固定リング61の厚みに対しておよそ中央付近
となる位置に対してレーザ光を照射して、ケース2と固
定リング61とを溶接固定する。ケース2と固定リング
61との溶接箇所は、略90°間隔で4箇所に設定され
ている。
Then, while a predetermined force (for example, about 49.0 N) is applied to the upper surface of the fixing ring 61 from the opening side of the case 2, the fixing ring 61 is applied from the outer peripheral side of the case 2 by a laser welding machine. The case 2 and the fixing ring 61 are fixed by welding by irradiating a laser beam to a position near the center with respect to the thickness. Welding points between the case 2 and the fixing ring 61 are set at four positions at approximately 90 ° intervals.

【0034】なお、本実施形態においては、ケース2に
絶縁性ブッシュ41を背電極板32と接触する位置まで
圧入し、固定リング61に対してケース2の開口側から
力を加えることにより、ケース2と絶縁性ブッシュ41
との間、及び、基板51と絶縁性ブッシュ41との間に
シール部が形成されることになる。このようにシール部
が形成されることにより、基板51とダイヤフラムサブ
アセンブリ11(振動膜12)とで画成される空間の気
密性を高めることができる。
In this embodiment, the insulating bush 41 is press-fitted into the case 2 to a position where the insulating bush 41 comes into contact with the back electrode plate 32, and a force is applied to the fixing ring 61 from the opening side of the case 2. 2 and insulating bush 41
, And between the substrate 51 and the insulating bush 41. By forming the seal portion in this way, the airtightness of the space defined by the substrate 51 and the diaphragm subassembly 11 (vibrating film 12) can be increased.

【0035】上述したように、本実施形態に係るエレク
トレットコンデンサマイクロホン1においては、ダイヤ
フラムサブアセンブリ11(振動膜フレーム13)がケ
ース2内に配設されて位置決め突部15が開口部4と嵌
合した状態において、振動膜フレーム13の外周面とケ
ース2の内周面との間に所定の間隙が設けられているの
で、振動膜12の切断残りが生じた場合においても、こ
の切断残りの部分が振動膜フレーム13と背電極板32
又はスペーサ21との間に挟まれるのが抑制され、振動
膜12と背電極板32との間隙が拡大して振動膜12と
背電極板32との間の静電容量が変化するのを防ぐこと
ができる。この結果、エレクトレットコンデンサマイク
ロホン1の感度特性が低下するのを抑制することができ
る。
As described above, in the electret condenser microphone 1 according to the present embodiment, the diaphragm subassembly 11 (diaphragm frame 13) is disposed in the case 2 and the positioning projection 15 is fitted to the opening 4. In this state, a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the diaphragm 13 and the inner peripheral surface of the case 2. Is the diaphragm 13 and the back electrode plate 32
Alternatively, it is possible to prevent the capacitance between the vibration film 12 and the back electrode plate 32 from being changed by suppressing the sandwiching between the vibration film 12 and the back electrode plate 32 by expanding the gap between the vibration film 12 and the back electrode plate 32. be able to. As a result, it is possible to prevent the sensitivity characteristics of the electret condenser microphone 1 from deteriorating.

【0036】また、ケース2の底面部3には開口部4が
形成され、振動膜フレーム13には、底面部3の開口部
4に嵌合して、振動膜フレーム13をケース2内に配設
するときにケース2に対してリング部材を位置決めする
ための位置決め突部15が形成されているので、振動膜
フレーム13の外周面とケース2の内周面との間に所定
の間隙が設けた場合においても、位置決め突部15と開
口部4との嵌合によりダイヤフラムサブアセンブリ11
(振動膜フレーム13)をケース2に対して適切な位置
に配設することができる。
An opening 4 is formed in the bottom portion 3 of the case 2, and the diaphragm frame 13 is fitted in the opening 4 of the bottom portion 3 to dispose the diaphragm frame 13 in the case 2. Since the positioning projection 15 for positioning the ring member with respect to the case 2 is formed, a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the diaphragm 13 and the inner peripheral surface of the case 2. In the case where the diaphragm sub-assembly 11 is
The (vibrating membrane frame 13) can be disposed at an appropriate position with respect to the case 2.

【0037】また、位置決め突部15はリング状に形成
されており、振動膜フレーム13の位置決め突部15の
内周部分に、音孔16が形成されているので、ケース2
に対してダイヤフラムサブアセンブリ11(振動膜フレ
ーム13)を適切な位置に確実に配設し得る位置決め突
部15の構造を簡易且つ低コストで実現することができ
る。
The positioning projection 15 is formed in a ring shape, and a sound hole 16 is formed in the inner peripheral portion of the positioning projection 15 of the diaphragm 13.
In contrast, the structure of the positioning projection 15 that can securely dispose the diaphragm subassembly 11 (vibrating membrane frame 13) at an appropriate position can be realized simply and at low cost.

【0038】また、ケース2は、プレス加工により底面
部3を有した筒状に形成されることにより、ケース2を
容易に成形することができる。また、ケース2をプレス
加工により成形した場合においても、振動膜フレーム1
3の外周面とケース2の内周面との間に所定の間隙が設
けられているので、前面板と側面との間の角部に逃げ部
等を新たに形成することなく、振動膜フレーム13と前
面板(底面部3)とを接触させることができる。この結
果、エレクトレットコンデンサマイクロホン1の製造工
程が複雑化するのを抑制することができる。
The case 2 is formed into a cylindrical shape having the bottom surface 3 by press working, so that the case 2 can be easily formed. Further, even when the case 2 is formed by press working, the diaphragm 1
Since a predetermined gap is provided between the outer peripheral surface of the case 3 and the inner peripheral surface of the case 2, the vibration film frame can be formed without newly forming a relief portion or the like at a corner between the front plate and the side surface. 13 can be brought into contact with the front plate (bottom part 3). As a result, it is possible to prevent the manufacturing process of the electret condenser microphone 1 from becoming complicated.

【0039】本発明は、前述した実施形態に限定される
ものではなく、上述した数値、各構成要素の形状等も適
宜変更して設定することができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the above-described numerical values, the shapes of the components, and the like can be appropriately changed and set.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、振動膜の切断残りが生じた場合においても感度
特性の低下を抑制することが可能なエレクトレットコン
デンサマイクロホンを提供することができる。
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide an electret condenser microphone that can suppress a decrease in sensitivity characteristics even when the diaphragm remains uncut. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの全体の外観を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing the overall appearance of an electret condenser microphone according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの全体の外観を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the entire appearance of the electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of an electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの構成を示す分解斜視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a configuration of an electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの構成を示す分解斜視図である。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a configuration of an electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンに含まれる、ダイヤフラムサブアセン
ブリの構成を示す分解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a configuration of a diaphragm subassembly included in the electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態に係るエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンに含まれる、背電極部の構成を示す分
解斜視図である。
FIG. 7 is an exploded perspective view showing a configuration of a back electrode part included in the electret condenser microphone according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…エレクトレットコンデンサマイクロホン、2…ケー
ス、3…底面部、4…開口部、11…ダイヤフラムサブ
アセンブリ、12…振動膜、13…振動膜フレーム、1
5…位置決め突部、16…音孔、21…スペーサ、31
…背電極部、32…背電極板、33…エレクトレット、
41…絶縁性ブッシュ、51…基板、52…JFETチ
ップ、61…固定リング。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electret condenser microphone, 2 ... Case, 3 ... Bottom part, 4 ... Opening, 11 ... Diaphragm subassembly, 12 ... Vibration film, 13 ... Vibration film frame, 1
5 positioning protrusion, 16 sound hole, 21 spacer, 31
... back electrode part, 32 ... back electrode plate, 33 ... electret,
41: insulating bush, 51: substrate, 52: JFET chip, 61: fixing ring.

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成12年9月12日(2000.9.1
2)
[Submission date] September 12, 2000 (2009.1.
2)

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図6[Correction target item name] Fig. 6

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図6】 FIG. 6

フロントページの続き (72)発明者 鈴木 智也 静岡県静岡市中吉田20番10号 スター精密 株式会社内 Fターム(参考) 5D021 CC08 Continued on the front page (72) Inventor Tomoya Suzuki 20-10 Nakayoshida, Shizuoka-shi, Shizuoka Star Precision Co., Ltd. F-term (reference) 5D021 CC08

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 前面板として用いられる底面部を有する
筒状のケースと、振動膜が張り付けられた振動膜フレー
ムと、を備え、 前記振動膜フレームが前記ケース内に配設されるエレク
トレットコンデンサマイクロホンであって、 前記ケースの前記底面部には、所定形状の開口部が形成
され、 前記振動膜フレームには、前記底面部の前記開口部に嵌
合して、前記振動膜フレームを前記ケース内に配設する
ときに前記ケースに対して前記リング部材を位置決めす
るための位置決め突部が形成されており、 前記振動膜フレームが前記ケース内に配設された状態に
おいて、前記振動膜フレームの外周面と前記ケースの内
周面との間に所定の間隙が設けられていることを特徴と
するエレクトレットコンデンサマイクロホン。
1. An electret condenser microphone comprising: a cylindrical case having a bottom portion used as a front plate; and a diaphragm frame having a diaphragm attached thereto, wherein the diaphragm frame is disposed in the case. An opening having a predetermined shape is formed in the bottom portion of the case, and the diaphragm is fitted in the opening of the bottom portion so that the diaphragm frame is located in the case. A positioning projection for positioning the ring member with respect to the case when the diaphragm is disposed in the case; and an outer periphery of the diaphragm when the diaphragm is disposed in the case. An electret condenser microphone, wherein a predetermined gap is provided between a surface and an inner peripheral surface of the case.
【請求項2】 前記位置決め突部はリング状に形成され
ており、 前記振動膜フレームの前記位置決め突部の内周部分に、
音孔が形成されていることを特徴とする請求項1に記載
のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
2. The positioning projection is formed in a ring shape. An inner peripheral portion of the positioning projection of the diaphragm frame is
The electret condenser microphone according to claim 1, wherein a sound hole is formed.
【請求項3】 前記ケースは、プレス加工により前記底
面部を有した前記筒状に形成されることを特徴とする請
求項1又は請求項2に記載のエレクトレットコンデンサ
マイクロホン。
3. The electret condenser microphone according to claim 1, wherein the case is formed into the cylindrical shape having the bottom surface by press working.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100466403B1 (en) * 2002-03-08 2005-01-13 주식회사 삼부커뮤닉스 Condenser microphone

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