JP2001338481A - Magnetic disk device - Google Patents

Magnetic disk device

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JP2001338481A
JP2001338481A JP2000159579A JP2000159579A JP2001338481A JP 2001338481 A JP2001338481 A JP 2001338481A JP 2000159579 A JP2000159579 A JP 2000159579A JP 2000159579 A JP2000159579 A JP 2000159579A JP 2001338481 A JP2001338481 A JP 2001338481A
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JP
Japan
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magnetic disk
housing
film
wall
carbon
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JP2000159579A
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Japanese (ja)
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Kenji Tasaka
健司 田坂
Takuji Takenaka
卓史 竹中
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique of lessening the gas contamination within a magnetic disk device more efficiently than heretofore in order to improve the reliability of the magnetic disk device which is made lower in flying height as a head slider and a disk increasingly come into intermittent contact with each other and which is required to operate under a high-temperature environment or for a long time. SOLUTION: A highly adsorptive thin film consisting of carbon (C) or material of any among the carbon (C), TiO2, SnO2 and Fe2O3 including >=1 kind of other elements is formed on the inner wall of a magnetic disk casing. Further, the inner wall of the casing is formed not as a plane but to a shape having fine ruggedness or a mechanism for cooling the casing from the outside is added thereto.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装
置、特に車載用途等高温環境において、耐久性を有する
磁気ディスク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive, and more particularly, to a magnetic disk drive having durability in a high temperature environment such as a vehicle.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータシステムの外部記憶装置と
して用いられる磁気ディスク装置は情報を記録する磁気
ディスク、該磁気ディスクに対し情報を記録再生する磁
気ヘッド及びこれらを支持駆動する部品が筐体のベース
に搭載され、筐体カバーで覆われ、収納されている。
2. Description of the Related Art A magnetic disk device used as an external storage device of a computer system includes a magnetic disk for recording information, a magnetic head for recording / reproducing information on / from the magnetic disk, and components for supporting and driving these components. It is mounted, covered with a housing cover, and housed.

【0003】磁気ディスク装置断面の概略図を図2に示
す。磁気ディスク4はスピンドルモーター3により回転
し、回転によって生じる空気圧力によりヘッドを搭載し
たヘッドスライダ9が前記磁気ディスク4の上を浮上す
る。前記ヘッドスライダ9はヘッドスライダ支持部2先
端に固定されている。前記ヘッドスライダ支持部2が駆
動部1により駆動されることで該ヘッドスライダ9は前
記磁気ディスク4上を半径方向に移動することができ、
該磁気ディスク4の任意の位置に対し情報の記録及び再
生が行われる。
FIG. 2 is a schematic view of a cross section of a magnetic disk drive. The magnetic disk 4 is rotated by the spindle motor 3, and a head slider 9 mounted with a head flies above the magnetic disk 4 by air pressure generated by the rotation. The head slider 9 is fixed to the tip of the head slider support 2. The head slider 9 can be moved on the magnetic disk 4 in the radial direction by driving the head slider supporting portion 2 by the driving portion 1,
Recording and reproduction of information are performed at an arbitrary position on the magnetic disk 4.

【0004】磁気ディスク、磁気ヘッド、及びこれらを
支持・駆動する部品は筐体ベース12に搭載され、筐体
カバー11により覆われている。
A magnetic disk, a magnetic head, and components for supporting and driving them are mounted on a housing base 12 and covered by a housing cover 11.

【0005】記録密度の飛躍的増大に伴い、磁気ディス
ク装置においては、ヘッドスライダの磁気記録媒体に対
する浮上量を従来装置に比し、大幅に低減する必要があ
る。その結果、ヘッドスライダと磁気ディスクが間欠的
に接触し、長期間稼動後に浮上不安定やヘッドクラッシ
ュ等の障害が発生することが問題となっている。浮上不
安定とは、ヘッドスライダの浮上量が変動する現象で、
これによって磁気信号の記録再生ができなくなる問題が
発生する。ヘッドクラッシュはヘッドの接触により記録
媒体である磁気ディスクや磁気ヘッドが損傷を受ける障
害である。
[0005] With the dramatic increase in recording density, the flying height of the head slider with respect to the magnetic recording medium in the magnetic disk device must be significantly reduced as compared with the conventional device. As a result, the head slider and the magnetic disk intermittently come into contact with each other, which causes problems such as unstable flying and head crash after a long period of operation. Flying instability is a phenomenon in which the flying height of the head slider fluctuates.
This causes a problem that recording and reproduction of a magnetic signal cannot be performed. A head crash is a failure in which a magnetic disk or a magnetic head as a recording medium is damaged by contact of the head.

【0006】このような障害は磁気ディスク装置内雰囲
気中のガスコンタミによって加速されると考えられてい
る。例えば、装置部材に使用された接着剤や離形剤に含
まれている有機シリコーンは、ヘッド、ディスク間の接
触により酸化され固体状のシリコン酸化物になりヘッド
クラッシュを引き起こすと考えられている。また、ヘッ
ドクラッシュに至らなくても、ヘッドスライダ空気支持
面(Air BearingSurface:以下ABSと略す)のパッド面
にコンタミ起因と考えられる付着物が生じ、実質的な浮
上量が大きくなることでリードライトエラーが発生す
る。
It is considered that such an obstacle is accelerated by gas contamination in the atmosphere in the magnetic disk drive. For example, it is considered that the organic silicone contained in the adhesive or the release agent used for the device member is oxidized by contact between the head and the disk to form a solid silicon oxide, which causes a head crash. Further, even if a head crash does not occur, a deposit considered to be caused by contamination occurs on a pad surface of a head slider air bearing surface (hereinafter, abbreviated as ABS), and a substantial flying height increases the read / write. An error occurs.

【0007】このような障害の原因と考えられるガスコ
ンタミを除去する方法として、従来から、例えば、特開
昭60−219695号公報に開示されているようにデ
ィスク装置内部に活性炭等の吸着剤10が設置され、こ
れによってガスコンタミを吸着除去する対策が取られて
きた。あるいは特開平6−76556号公報では、筐体
内に有機物の重合触媒を設置し、有機ガスを重合除去す
る方法が開示されている。さらには、特開平8−878
75号公報に開示されているように、筐体の内側に該筐
体内で発生したガスを吸着させる繊維シートを貼り付け
る対策等が提案されてきた。
As a method of removing gas contamination which is considered to be a cause of such a trouble, a conventional method of removing adsorbent 10 such as activated carbon into a disk device as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 60-219695 is known. Have been installed, and measures have been taken to adsorb and remove gas contamination. Alternatively, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-76556 discloses a method in which an organic polymerization catalyst is provided in a housing to polymerize and remove an organic gas. Further, Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 75-75, measures have been proposed for attaching a fiber sheet for adsorbing gas generated in the housing inside the housing.

【0008】しかし、近年では、車載用途等の高温環境
下での耐久性や、より長期間にわたる信頼性の確保が磁
気ディスク装置に要求されるようになり、従来の対策で
は不十分となってきた。すなわち、ガスコンタミの発生
量は温度上昇や時間経過につれて増大するため、従来以
上に効率の良いガスコンタミ除去方法が必要とされるに
至った。特に従来の対策では、吸着除去に至る前に磁気
ヘッドあるいは磁気ディスクに吸着し、汚染を引き起こ
す可能性の高い汚染ガスに対する除去対策が重要となっ
た。
However, in recent years, magnetic disk devices have been required to ensure durability in a high-temperature environment such as in-vehicle use and reliability for a longer period, and conventional measures have become insufficient. Was. That is, since the amount of generated gas contamination increases as the temperature rises or elapses with time, a method for removing gas contamination that is more efficient than before has been required. In particular, in the conventional countermeasures, it is important to remove pollutant gas which is likely to cause contamination by adsorbing to a magnetic head or a magnetic disk before the adsorption and removal.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置は記
録密度の向上に伴いヘッドスライダとディスクが間欠接
触するほど浮上量が低下し、且つ、車載等、従来よりも
高温環境下で、長時間にわたり稼動することを要求され
てている。本発明はかかる要求に応え、磁気ディスク装
置内のガスコンタミを従来以上に効率よく低減する技術
を提供し、磁気ディスク装置の信頼性を向上させること
を目的としている。
As the recording density is improved, the flying height of a magnetic disk device is reduced as the head slider and the disk are intermittently contacted with each other. It is required to run. An object of the present invention is to provide a technique for responding to such a demand to reduce the gas contamination in a magnetic disk drive more efficiently than before, and to improve the reliability of the magnetic disk drive.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】磁気ディスク装置内で発
生するガスコンタミのうち低分子成分、又は吸着性の官
能基を持たない成分の場合、吸着エネルギーが小さいた
め、部品表面や磁気ディスク表面に長時間滞在せずこれ
らの表面への吸脱着を繰り返すうちに最終的に図2に示
された吸着剤10、たとえば活性炭の内部に到達し吸着
され、長期間にわたりトラップされる。
Means for Solving the Problems In the case of low-molecular components or components having no adsorptive functional group among gas contaminants generated in the magnetic disk device, the adsorption energy is small, so that the surface of the components and the surface of the magnetic disk are hardly adsorbed. As the adsorption and desorption to these surfaces is repeated without staying for a long time, the particles finally reach the inside of the adsorbent 10 shown in FIG. 2, for example, activated carbon, are adsorbed, and are trapped for a long time.

【0011】しかしながら、その一方、分子量が大きい
ガスコンタミ、又は吸着性の官能基を有するガスコンタ
ミは、一旦ある表面に吸着すると吸着剤に到達し吸着、
トラップされる前にヘッドスライダあるいは磁気ディス
ク表面に吸着し、それらを汚染し磁気ヘッドと磁気ディ
スク間で障害を引き起こす可能性が高くなる。
However, on the other hand, gas contaminants having a large molecular weight or gas contaminants having an adsorptive functional group, once adsorbed on a certain surface, reach an adsorbent and are adsorbed.
Before being trapped, it is attracted to the head slider or the surface of the magnetic disk, contaminating them and increasing the possibility of causing a failure between the magnetic head and the magnetic disk.

【0012】このような吸着エネルギーの大きなコンタ
ミを除去するためには、単に、内部の微細孔を含めた表
面積が大きいけれども外観上の面積が小さい吸着剤より
も、装置内における被覆部分の面積比率の大きい吸着膜
の方が効果的であると考えられる。従って、実質的には
膨大な表面積を有するが、筐体内における被覆部分比率
の小さな表面積しか持たない吸着剤、例えば活性炭だけ
では効率的ではない。むしろ磁気ディスク装置の筐体内
壁という装置内での占有面積が大きい部分に吸着膜を形
成した方が効果的である。しかも、筐体内部の清浄度維
持の観点から、外部材料の貼り付け等による導入でな
く、筐体のベース内壁あるいはカバー内壁に直接高吸着
性膜を広い面積にわたって形成させることが望ましい。
さらに、内壁表面に凹凸形状を形成し、被覆部分の面積
を大きくすることは本発明の効果を更に向上させるもの
である。
In order to remove such contaminants having a large adsorption energy, the area ratio of the coated portion in the apparatus is simply higher than that of the adsorbent having a large surface area including the internal fine pores but a small external area. It is considered that an adsorption film having a larger value is more effective. Therefore, an adsorbent having a substantially large surface area but a small surface area with a small covering portion ratio in the housing, for example, activated carbon alone is not efficient. Rather, it is more effective to form the attraction film on a portion of the magnetic disk drive that has a large area occupied in the device, such as the inner wall of the housing. In addition, from the viewpoint of maintaining the cleanliness of the inside of the housing, it is desirable to form a highly adsorptive film over a wide area directly on the inner wall of the base or the inner wall of the cover, rather than by introducing an external material or the like.
Further, forming an uneven shape on the inner wall surface to increase the area of the covering portion further improves the effect of the present invention.

【0013】本目的の吸着性膜には、当然のことなが
ら、高い吸着性能の他に、筐体ベースの内壁及び筐体カ
バーの内壁の任意の領域にクリーンな膜として形成でき
ることが必要である。
The adsorptive film of the present invention, of course, needs to be able to be formed as a clean film on any area of the inner wall of the housing base and the inner wall of the housing cover, in addition to the high adsorption performance. .

【0014】本発明による磁気ディスク装置は、上記要
求を満たす被覆膜として高吸着性薄膜を磁気ディスク筐
体内壁に形成したものである。本発明者は磁気ディスク
装置内のコンタミガスを除去する高吸着性膜として、炭
素(C)系材料、二酸化チタン(TiO2)、二酸化錫
(SnO2)、三酸化二鉄(Fe2O3)等から形成さ
れる薄膜が好適であることを見出した。
In the magnetic disk drive according to the present invention, a highly adsorbing thin film is formed on the inner wall of the magnetic disk housing as a coating film satisfying the above requirements. The inventor of the present invention has formed a highly adsorptive film for removing contaminants in a magnetic disk drive, which is formed of a carbon (C) material, titanium dioxide (TiO2), tin dioxide (SnO2), diiron trioxide (Fe2O3), or the like. It has been found that a thin film is suitable.

【0015】ここでいう炭素(C)系材料とは、炭素
(C)単独或いは、水素(H)、窒素(N)等の元素を
1種類以上含む炭素(C)膜である。炭素(C)膜の形
成には、グラファイトターゲットをアルゴン(Ar)ガ
スでスパッタリングする方法、炭素(C)イオンのイオ
ンビームにより形成する方法等がある。アルゴン(A
r)に水素やメタンを混合したガスでスパッタリングす
る反応性スパッタリング、あるいは、メタン等の炭化水
素系ガスを高周波プラズマで分解するプラズマCVD
(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法等
により水素(H)を含む炭素(C)膜を形成することが
できる。また、アルゴン(Ar)に窒素を混合したガス
でスパッタリングする反応性スパッタリングにより窒素
(N)を含む炭素(C)膜を形成することができる。
The carbon (C) -based material referred to here is a carbon (C) film containing carbon (C) alone or one or more elements such as hydrogen (H) and nitrogen (N). The carbon (C) film may be formed by a method of sputtering a graphite target with argon (Ar) gas, a method of forming the target by an ion beam of carbon (C) ions, or the like. Argon (A
r) Reactive sputtering for sputtering with a gas mixed with hydrogen or methane, or plasma CVD for decomposing a hydrocarbon gas such as methane with high-frequency plasma
A carbon (C) film containing hydrogen (H) can be formed by a (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method or the like. Alternatively, a carbon (C) film containing nitrogen (N) can be formed by reactive sputtering in which a gas in which nitrogen is mixed with argon (Ar) is used.

【0016】十分な吸着性能を得るための炭素(C)系
膜の膜厚は5ナノメートル以上5マイクロメートル以下
であることが好ましい。その理由は、5ナノメートル未
満では、膜が連続膜とならず、吸着性能が劣化するため
であり、5マイクロメートルを越えると、膜の圧縮応力
のため膜はがれが生じやすくなるためである。また、必
要であれば中間接着層としてシリコン(Si)系薄膜を
形成することで筐体内壁との密着性を向上させることが
できる。
The thickness of the carbon (C) -based film for obtaining sufficient adsorption performance is preferably 5 nm or more and 5 μm or less. The reason is that if the thickness is less than 5 nanometers, the film will not be a continuous film and the adsorption performance will be deteriorated. If the thickness exceeds 5 micrometers, the film will be easily peeled off due to the compressive stress of the film. If necessary, a silicon (Si) -based thin film may be formed as an intermediate adhesive layer to improve the adhesion to the inner wall of the housing.

【0017】二酸化チタン(TiO2)、二酸化錫(S
nO2)、三酸化二鉄(Fe2O3)等の酸化膜は、そ
れぞれのバルク材料のターゲットをアルゴン(Ar)単
独や酸素を混合したアルゴン(Ar)ガスでスパッタリ
ングすることで形成することができる。これらの膜につ
いても、炭素(C)系膜と同様の理由で、膜厚は5ナノ
メートル以上5マイクロメートル以下であることが好ま
しい。また、炭素(C)系膜の場合と同様必要であれば
接着層としてシリコン(Si)系薄膜を形成することで
筐体内壁との密着性を向上させることができる。
Titanium dioxide (TiO2), tin dioxide (S
An oxide film such as nO2) or diiron trioxide (Fe2O3) can be formed by sputtering a target of each bulk material with argon (Ar) alone or an argon (Ar) gas mixed with oxygen. The thickness of these films is preferably not less than 5 nanometers and not more than 5 micrometers for the same reason as the carbon (C) -based film. If necessary, as in the case of a carbon (C) -based film, a silicon (Si) -based thin film can be formed as an adhesive layer to improve the adhesion to the inner wall of the housing.

【0018】高吸着性膜を内壁に形成した筐体は、各種
部品を搭載する前にベーク処理されることが好ましい。
このベーク処理により、それまで吸着していたガスが除
去され、吸着能力を最大にすることができる。ベーク処
理は通常70℃以上150℃以下の温度範囲および、1
時間以上12時間以下の時間範囲から選択される。この
ような高吸着性膜を筐体内壁に形成することにより、従
来の吸着剤、たとえば活性炭のみの場合より、より吸着
エネルギーの大きいコンタミを除去した磁気ディスク装
置を提供することができる。
It is preferable that the casing having the highly adsorbent film formed on the inner wall be baked before mounting various components.
By this baking treatment, the gas that has been adsorbed until then is removed, and the adsorption capacity can be maximized. Baking is usually performed at a temperature in the range of 70 ° C to 150 ° C,
The time is selected from a time range of not less than 12 hours. By forming such a highly adsorptive film on the inner wall of the housing, it is possible to provide a magnetic disk drive from which contaminants having higher adsorption energy are removed than in the case of using only a conventional adsorbent, for example, activated carbon alone.

【0019】本発明者は、筐体内壁を平面ではなく微細
な凹凸を有する形状とすることで、更にガスコンタミ除
去効率が向上することを見出した。これは、筐体内壁の
被覆部分の実質的な表面積が増大し、コンタミが吸着す
ることのできる面積が増大するためである。凹凸の形状
は、矩形であっても鋸状であってもよい。但し、表面積
を増やす観点から深さとピッチの比率(深さ/ピッチ)
が可能な限り大きいことが望ましい。また、筐体の厚さ
上の制約から、深さは1cm以下であることが好まし
い。このような微細な凹凸を有する筐体は、適当な凹凸
を有する金型を用いてダイキャスト成形を行うことで作
ることができる。
The present inventor has found that the efficiency of removing gas contaminants is further improved by forming the inner wall of the housing not in a plane but in a shape having fine irregularities. This is because the substantial surface area of the covering portion of the inner wall of the housing increases, and the area where contamination can be adsorbed increases. The shape of the unevenness may be rectangular or saw-toothed. However, from the viewpoint of increasing the surface area, the ratio of depth and pitch (depth / pitch)
Should be as large as possible. In addition, it is preferable that the depth be 1 cm or less due to the restriction on the thickness of the housing. A housing having such fine irregularities can be produced by die-casting using a mold having appropriate irregularities.

【0020】また、上述のような筐体内壁に高吸着性膜
を形成した磁気ディスク装置に、筐体を冷却する機構を
具備することにより、装置内部のコンタミ低減効果は更
に向上する。これは、装置全体を冷却することによりコ
ンタミ発生源からのアウトガスを低減できる効果と、筐
体内壁の高吸着性膜を磁気ディスク装置内部の部品より
相対的に低温とすることでコンタミが一方的に筐体内壁
に吸着する効果があるためである。筐体を外部から冷却
する機構としては、例えばファンやフィン設置による空
冷、ペルチェ素子、ヒートパイプによる冷却等が有効で
ある。
Further, by providing a mechanism for cooling the housing in the magnetic disk drive having a highly adsorbing film formed on the inner wall of the housing as described above, the effect of reducing contamination inside the device is further improved. This has the effect of reducing the outgas from the contamination source by cooling the whole device, and the one-sided contamination by making the highly adsorbent film on the inner wall of the housing relatively cooler than the components inside the magnetic disk device. This has the effect of adsorbing to the inner wall of the housing. As a mechanism for cooling the housing from the outside, for example, air cooling by installing a fan or fin, cooling by a Peltier element, a heat pipe, and the like are effective.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態を実施例にもと
づき図面を参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings based on examples.

【0022】<実施例1>図1は、本発明の第一の実施
例を示す磁気ディスク装置断面の概略図である。磁気デ
ィスク装置筐体の内壁に、グラファイトターゲットをア
ルゴン(Ar)ガスでスパッタリングするスパッタ法に
より炭素(C)膜を約20nm厚に形成した。ここで言
う筐体内壁とは、筐体ベース12及び筐体カバー11の
内壁のことである(筐体内壁については以下同様)。炭
素(C)膜形成後、部品を搭載する直前に筐体カバーに
100℃、5時間,筐体ベースに80℃、5時間のベー
ク処理が施された。 このようにして筐体内壁に炭素(C)膜を形成した装置
を用いて、長期間の温度加速試験を行った。この時、温
度加速条件は70℃で、動作モードは任意のトラック位
置に任意の時間ヘッドを移動させるランダムシークモー
ドであった。この試験中は定期的にリードライトを行う
ため、ヘッドABSへの付着物発生やヘッド、ディスク
間の摺動により不具合が生じた場合、リードライトエラ
ーとなってあらわれる。したがって、リードライト特性
を観測することにより障害発生の有無を判断できる。本
試験では約6000時間経過後にリードライトエラーが
発生した。下記比較例1に比しエラー発生までの時間を
約2.4倍、長くすることができた。
<Embodiment 1> FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive showing a first embodiment of the present invention. A carbon (C) film having a thickness of about 20 nm was formed on the inner wall of the magnetic disk drive housing by a sputtering method in which a graphite target was sputtered with argon (Ar) gas. The inner wall of the housing referred to here is the inner wall of the housing base 12 and the housing cover 11 (the same applies to the inner wall of the housing hereinafter). After the formation of the carbon (C) film, the housing cover was baked at 100 ° C. for 5 hours and the housing base at 80 ° C. for 5 hours immediately before mounting the components. A long-term temperature acceleration test was performed using the apparatus in which the carbon (C) film was formed on the inner wall of the housing in this manner. At this time, the temperature acceleration condition was 70 ° C., and the operation mode was a random seek mode in which the head was moved to an arbitrary track position for an arbitrary time. During this test, read / write is performed periodically, so if a defect occurs due to the generation of the deposit on the head ABS or the sliding between the head and the disk, a read / write error appears. Therefore, whether or not a failure has occurred can be determined by observing the read / write characteristics. In this test, a read / write error occurred after about 6000 hours had elapsed. The time until the occurrence of the error was able to be lengthened by about 2.4 times compared with the following comparative example 1.

【0023】また、あらかじめ、磁気ディスク装置筐体
の内壁に、シリコンターゲットをアルゴン(Ar)ガス
でスパッタリングするスパッタ法によりシリコン接着層
を形成し、更に、グラファイトターゲットをアルゴン
(Ar)ガスでスパッタリングするスパッタ法により炭
素(C)膜を約500nm厚に形成した。この装置につ
いて上記と同様の条件で長期間の温度加速試験を行っ
た。この場合、約4800時間経過後にリードライトエ
ラーが発生した。この実施例では下記比較例1に比しエ
ラー発生までの時間を約1.9倍、長くすることができ
た。また、図9にはこの結果及び下記比較例1の結果と
共に、各種高吸着性膜を同様の構成で筐体の内壁に形成
し、長期間温度加速試験を行った際のリードライトエラ
ー発生時間をまとめて示した。いずれの場合も、比較例
1に比し、エラー発生までの時間を大幅に延長すること
ができた。
In addition, a silicon bonding layer is formed on the inner wall of the magnetic disk drive housing in advance by a sputtering method in which a silicon target is sputtered with an argon (Ar) gas, and a graphite target is sputtered with an argon (Ar) gas. A carbon (C) film was formed to a thickness of about 500 nm by a sputtering method. This apparatus was subjected to a long-term temperature acceleration test under the same conditions as described above. In this case, a read / write error occurred after about 4800 hours had elapsed. In this example, the time until the occurrence of an error could be increased by about 1.9 times as compared with Comparative Example 1 described below. FIG. 9 shows, together with the results and the results of Comparative Example 1 below, various high-adsorption films formed on the inner wall of the housing with the same configuration, and the read / write error generation time when a long-term temperature acceleration test was performed. Are shown together. In each case, the time until the occurrence of the error was significantly extended as compared with Comparative Example 1.

【0024】<比較例1>図2に示すような従来の筐体
内壁に高吸着性膜を形成していない磁気ディスク装置を
用いて、長期間の温度加速試験を行った。この場合は、
吸着剤10として活性炭が充填してある。この時、温度
加速条件は70℃で、動作モードはランダムシークモー
ドであった。本比較例においては、2500時間経過後
にリードライトエラーが発生した。
<Comparative Example 1> A long-term temperature acceleration test was performed using a conventional magnetic disk drive in which a highly adsorbing film was not formed on the inner wall of the housing as shown in FIG. in this case,
Activated carbon is filled as the adsorbent 10. At this time, the temperature acceleration condition was 70 ° C., and the operation mode was a random seek mode. In this comparative example, a read / write error occurred after a lapse of 2500 hours.

【0025】<実施例2>図3は、本発明の第二の実施
例を示す磁気ディスク装置断面の概略図である。鋸状の
凹凸が形成されるような金型を用いて磁気ディスク装置
の筐体を成形した。成形された筐体内壁には、深さ2m
m、ピッチ0.5mmの凹凸が形成された。この筐体内
壁には、あらかじめ、シリコンターゲットをアルゴン
(Ar)ガスでスパッタリングするスパッタ法によりシ
リコン接着層が形成され、更に、グラファイトターゲッ
トをアルゴン(Ar)及び窒素(N2)ガスでスパッタ
リングするスパッタ法により窒素(N)入り炭素(C)
膜が約300nm厚に形成された。窒素(N)入り炭素
(C)膜形成後、部品を搭載する直前に筐体カバーに1
00℃、5時間,筐体ベースに80℃、5時間のベーク
処理が施された。
<Embodiment 2> FIG. 3 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive showing a second embodiment of the present invention. The housing of the magnetic disk drive was molded using a mold in which saw-like irregularities were formed. 2 m depth on the molded housing inner wall
m, pitch irregularities of 0.5 mm were formed. On the inner wall of the housing, a silicon bonding layer is formed in advance by a sputtering method of sputtering a silicon target with argon (Ar) gas, and further a sputtering method of sputtering a graphite target with argon (Ar) and nitrogen (N2) gas. Carbon (C) with nitrogen (N)
The film was formed to a thickness of about 300 nm. After the formation of the carbon (C) film containing nitrogen (N), one
A baking process was performed on the housing base at 80 ° C. for 5 hours at 00 ° C. for 5 hours.

【0026】このようにして筐体内壁に窒素(N)入り
炭素(C)膜を形成した装置を用いて、長期間の温度加
速試験を行った。この時、温度加速条件は70℃で、動
作モードはランダムシークモードであった。試験の結
果、約6,500時間経過後にリードライトエラーが発
生した。この場合は、前記比較例1に対し、エラー発生
までの時間を約2.6倍、長くすることができた。
A long-term temperature acceleration test was performed using the apparatus in which the nitrogen (N) -containing carbon (C) film was formed on the inner wall of the housing in this manner. At this time, the temperature acceleration condition was 70 ° C., and the operation mode was a random seek mode. As a result of the test, a read / write error occurred after about 6,500 hours. In this case, the time until the occurrence of the error could be increased by about 2.6 times as compared with Comparative Example 1.

【0027】<実施例3>図4は、本発明の第三の実施
例を示す磁気ディスク装置断面の概略図である。筐体内
壁には、二酸化チタン(TiO2)ターゲットをアルゴ
ン(Ar)と酸素ガスでスパッタリングするスパッタ法
によりTiO2膜が約400nm厚で形成された。二酸
化チタン(TiO2)膜形成後、部品を搭載する直前に
筐体は80℃5時間のベーク処理が施された。
<Embodiment 3> FIG. 4 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive showing a third embodiment of the present invention. A TiO2 film having a thickness of about 400 nm was formed on the inner wall of the housing by a sputtering method in which a titanium dioxide (TiO2) target was sputtered with argon (Ar) and oxygen gas. After forming the titanium dioxide (TiO 2) film, the housing was baked at 80 ° C. for 5 hours immediately before mounting the components.

【0028】このようにして筐体内壁にTiO2膜を形
成した装置を用いて、長期間の温度加速試験を行った。
試験の際には、筐体上部にペルチェ素子を設置した。こ
の時、雰囲気温度は70℃であったが、ペルチェ素子に
よる冷却効果により筐体側面外側の温度は約65℃であ
った。動作モードは任意のトラック位置に任意の時間ヘ
ッドを移動させるランダムシークモードであった。試験
の結果、約8,000時間経過後にリードライトエラー
が発生した。この場合は、下記比較例2に比しエラ−発
生までの時間が約2.6倍、長くなった。
Using the apparatus in which the TiO2 film was formed on the inner wall of the housing as described above, a long-term temperature acceleration test was performed.
At the time of the test, a Peltier device was installed on the upper part of the housing. At this time, the ambient temperature was 70 ° C., but the temperature outside the side of the housing was about 65 ° C. due to the cooling effect of the Peltier device. The operation mode was a random seek mode in which the head was moved to an arbitrary track position for an arbitrary time. As a result of the test, a read / write error occurred after about 8,000 hours. In this case, the time until the occurrence of the error was about 2.6 times longer than that of Comparative Example 2 described below.

【0029】なお、本実施例においては、磁気ディスク
装置の筐体上部にペルチェ素子を設置したが、設置場所
はここに限定されるものではない。筐体内壁の高吸着性
膜を冷却できる部分であれば設置場所は筐体外部のどこ
でもよい。
In the present embodiment, the Peltier element is installed on the upper part of the housing of the magnetic disk drive, but the installation place is not limited to this. The installation location may be anywhere outside the housing as long as it can cool the highly adsorbent film on the inner wall of the housing.

【0030】<比較例2>図2に示すような従来の筐体
内壁に高吸着性膜を形成していない磁気ディスク装置を
用いて、長期間の温度加速試験を行った。この時、温度
加速条件は65℃で、動作モードはランダムシークモード
であった。本比較例においては、3500時間経過後に
リードライトエラーが発生した。
<Comparative Example 2> A long-term temperature acceleration test was performed using a conventional magnetic disk device in which a highly adsorbing film was not formed on the inner wall of the housing as shown in FIG. At this time, the temperature acceleration condition was 65 ° C., and the operation mode was a random seek mode. In this comparative example, a read / write error occurred after 3,500 hours.

【0031】<実施例4>図5は、本発明の第四の実施
例を示す磁気ディスク装置断面の概略図である。磁気デ
ィスク装置筐体のベース内壁12に、グラファイトター
ゲットをアルゴン(Ar)ガスでスパッタリングするス
パッタ法により炭素(C)膜を約500nm厚に形成し
た。炭素(C)膜形成後、部品を搭載する直前に筐体に
は80℃,5時間のベーク処理が施された。 このようにして筐体内壁炭素(C)膜を形成した装置を
用いて、長期間の温度加速試験を行った。この時、温度
加速条件は70℃で、動作モードは任意のトラック位置
に任意の時間ヘッドを移動させるランダムシークモード
であった。約4000時間経過後にリードライトエラー
が発生した。上記記比較例1に比し、エラー発生までの
時間が約1.6倍、長くなった。
<Embodiment 4> FIG. 5 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive showing a fourth embodiment of the present invention. A carbon (C) film having a thickness of about 500 nm was formed on the base inner wall 12 of the magnetic disk drive housing by a sputtering method of sputtering a graphite target with argon (Ar) gas. After forming the carbon (C) film, the casing was baked at 80 ° C. for 5 hours immediately before mounting the components. A long-term temperature acceleration test was performed using the apparatus in which the carbon (C) film was formed on the inner wall of the housing in this manner. At this time, the temperature acceleration condition was 70 ° C., and the operation mode was a random seek mode in which the head was moved to an arbitrary track position for an arbitrary time. A read / write error occurred after about 4000 hours. The time until the occurrence of the error was about 1.6 times longer than that of Comparative Example 1 described above.

【0032】<実施例5>図6は、本発明の第五の実施
例を示す磁気ディスク装置断面の概略図である。磁気デ
ィスク装置筐体のカバー内壁11に、グラファイトター
ゲットをアルゴン(Ar)ガスでスパッタリングするス
パッタ法により炭素(C)膜を約500nm厚に形成し
た。炭素(C)膜形成後、部品を搭載する直前に筐体に
は100℃,5時間のベーク処理が施された。
<Embodiment 5> FIG. 6 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive showing a fifth embodiment of the present invention. A carbon (C) film having a thickness of about 500 nm was formed on the inner wall 11 of the cover of the magnetic disk drive housing by a sputtering method of sputtering a graphite target with argon (Ar) gas. After the carbon (C) film was formed, the casing was subjected to a baking treatment at 100 ° C. for 5 hours immediately before mounting the components.

【0033】このようにして筐体内壁炭素(C)膜を形
成した装置を用いて、長期間の温度加速試験を行った。
この時、温度加速条件は70℃で、動作モードは任意の
トラック位置に任意の時間ヘッドを移動させるランダム
シークモードであった。約3700時間経過後にリード
ライトエラーが発生した。上記比較例1に比し、エラー
発生までの時間が約1.5倍、長くなった。
Using the apparatus in which the carbon (C) film was formed on the inner wall of the housing in this manner, a long-term temperature acceleration test was performed.
At this time, the temperature acceleration condition was 70 ° C., and the operation mode was a random seek mode in which the head was moved to an arbitrary track position for an arbitrary time. After about 3700 hours, a read / write error occurred. The time until an error occurred was about 1.5 times as long as that of Comparative Example 1.

【0034】<実施例6>図7,8は、炭素(C)膜を
筐体内壁に形成した磁気ディスク装置の、炭素(C)被
膜の膜厚とランダムシーク試験におけるリードライトエ
ラー発生までの時間の関係を表わしたグラフである。本
実施例では磁気ディスク装置筐体の内壁に、あらかじ
め、スパッタ法によりシリコン接着層を形成し、その
後、グラファイトターゲットをアルゴン(Ar)ガスで
スパッタリングするスパッタ法により炭素(C)膜を形
成した。その際、炭素(C)膜の膜厚を3〜2200n
mの範囲で変化させた。炭素(C)膜形成後、部品を搭
載する直前に筐体には80℃,5時間のベーク処理が施
された。
<Embodiment 6> FIGS. 7 and 8 show the thickness of a carbon (C) film and the occurrence of a read / write error in a random seek test in a magnetic disk drive having a carbon (C) film formed on the inner wall of a housing. It is a graph showing the relationship of time. In this embodiment, a silicon bonding layer was formed in advance on the inner wall of the magnetic disk drive housing by a sputtering method, and then a carbon (C) film was formed by a sputtering method in which a graphite target was sputtered with an argon (Ar) gas. At this time, the thickness of the carbon (C) film is set to 3 to 2200 n.
m. After forming the carbon (C) film, the casing was baked at 80 ° C. for 5 hours immediately before mounting the components.

【0035】このようにして筐体内壁炭素(C)膜を形
成した装置を用いて、温度70℃、ランダムシークモー
ドで長期間の温度加速試験を行った。その結果は図7,
8に示した通りである。ここにプロッタされたデータは
各炭素(C)膜について3台ずつ評価した結果を、最大
値、平均値、最小値で表わしたものである。
Using the apparatus in which the carbon (C) film was formed on the inner wall of the housing as described above, a long-term temperature acceleration test was conducted in a random seek mode at a temperature of 70 ° C. The result is shown in FIG.
As shown in FIG. The data plotted here are the results of evaluating three carbon (C) films for each carbon (C) film, expressed as a maximum value, an average value, and a minimum value.

【0036】図7に示したように、炭素(C)膜の膜厚
が2200nmの場合は圧縮応力による膜剥離が発生し
た。また、図7の100nm以下の領域を拡大して示し
た図8から、膜厚5nm以上でエラー発生までの時間が
大幅に延長され、装置の寿命向上の効果が現れることが
明らかとなった。
As shown in FIG. 7, when the thickness of the carbon (C) film was 2200 nm, film peeling occurred due to compressive stress. Further, FIG. 8 showing the region of 100 nm or less in FIG. 7 in an enlarged manner shows that when the film thickness is 5 nm or more, the time until an error occurs is greatly extended, and the effect of improving the life of the device appears.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上詳述したように、高吸着性膜を磁気
ディスク装置筐体内壁に形成することで、磁気ディスク
装置内の吸着エネルギーの大きいコンタミガスを除去
し、装置の長寿命化・高信頼化を達成することができ
る。また、高吸着性膜を形成した筐体内壁の形状を凹凸
状とし表面積を増大させたり、筐体外部に冷却機構を設
置することで、更に装置の長寿命化をはかることができ
る。
As described in detail above, by forming a highly adsorbing film on the inner wall of the magnetic disk drive housing, contaminant gas having a large adsorption energy in the magnetic disk drive can be removed, and the life of the drive can be extended. High reliability can be achieved. The life of the device can be further extended by increasing the surface area by making the shape of the inner wall of the housing having the highly adsorptive film uneven, or by installing a cooling mechanism outside the housing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】高吸着性膜が筐体内壁に形成された本発明の一
実施例を示す磁気ディスク装置の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a magnetic disk drive showing an embodiment of the present invention in which a highly adsorbing film is formed on an inner wall of a housing.

【図2】従来の磁気ディスク装置の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a conventional magnetic disk drive.

【図3】凹凸形状をした筐体内壁に高吸着性膜が形成さ
れた本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a magnetic disk drive showing an embodiment of the present invention in which a highly adsorbing film is formed on an inner wall of a case having an uneven shape.

【図4】高吸着性膜が筐体内壁に形成され、且つ筐体外
部に冷却機構が設置された本発明の一実施例を示す磁気
ディスク装置の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention in which a highly adsorptive film is formed on an inner wall of a housing and a cooling mechanism is provided outside the housing.

【図5】高吸着性膜が筐体ベースの内壁に形成された本
発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a magnetic disk drive showing an embodiment of the present invention in which a highly adsorptive film is formed on an inner wall of a housing base.

【図6】高吸着性膜が筐体カバーの内壁に形成された本
発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の断面図であ
る。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a magnetic disk drive showing one embodiment of the present invention in which a highly adsorbing film is formed on an inner wall of a housing cover.

【図7】筐体の内壁に形成された炭素(C)膜の膜厚と
リードライトエラー発生時間の関係を示すグラフであ
る。
FIG. 7 is a graph showing a relationship between a thickness of a carbon (C) film formed on an inner wall of a housing and a read / write error occurrence time.

【図8】図7における炭素(C)膜の膜厚が100nm
以下の領域の拡大図である。
8 is a diagram showing a carbon (C) film having a thickness of 100 nm in FIG. 7;
It is an enlarged view of the following area.

【図9】本発明の各種高吸着膜についての実施例をまと
めて示す表である。
FIG. 9 is a table collectively showing examples of various high adsorption films of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 駆動部、2 ヘッドスライダ支持部、3 スピンドル
モーター、 4 磁気ディスク、5 筐体、6 高吸着性膜、7 筐体
内壁の凹凸形状、 8 冷却機構、9 ヘッドスライダ、10 吸着剤、11
筐体ベース、 12 筐体カバー。
REFERENCE SIGNS LIST 1 drive unit, 2 head slider support unit, 3 spindle motor, 4 magnetic disk, 5 housing, 6 highly adsorbing film, 7 uneven shape of inner wall of housing, 8 cooling mechanism, 9 head slider, 10 adsorbent, 11
Case base, 12 Case cover.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】情報を記録する磁気ディスクと、該磁気デ
ィスクに対し情報を記録再生する磁気ヘッドと、該磁気
ディスク及び該磁気ヘッドを支持し駆動する部品を収納
する磁気ディスク装置の筐体において、該筐体の内壁の
少なくとも一表面部分を高吸着性膜で被覆する磁気ディ
スク装置。
1. A magnetic disk device for storing information, a magnetic head for recording and reproducing information on and from the magnetic disk, and a magnetic disk device housing for housing the magnetic disk and components for supporting and driving the magnetic head. And a magnetic disk drive in which at least one surface portion of the inner wall of the housing is covered with a highly adsorptive film.
【請求項2】前記筐体は前記磁気ディスクと前記磁気ヘ
ッドと前記部品を搭載する筐体ベースと、該筐体ベース
に蓋をする筐体カバーからなり、前記筐体ベースの内壁
及び前記筐体カバーの内壁のいずれかあるいは両方を高
吸着性膜で被覆する請求項1に記載の磁気ディスク装
置。
2. The housing comprises a housing base on which the magnetic disk, the magnetic head and the components are mounted, and a housing cover for covering the housing base, wherein an inner wall of the housing base and the housing are provided. 2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein one or both of the inner walls of the body cover are covered with a highly adsorptive film.
【請求項3】前記高吸着性膜は炭素、他元素を一種類以
上含む炭素、酸化チタン、酸化錫、酸化鉄のいずれかで
あることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載
の磁気ディスク装置。
3. The high adsorptivity film according to claim 1, wherein the film is one of carbon, carbon containing one or more kinds of other elements, titanium oxide, tin oxide, and iron oxide. Magnetic disk unit.
【請求項4】前記筐体ベースの内壁及び前記筐体カバー
の内壁のいずれかあるいは両方の表面に凹凸形状を形成
することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載
の磁気ディスク装置。
4. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein an uneven shape is formed on one or both surfaces of the inner wall of the housing base and the inner wall of the housing cover. .
【請求項5】前記高吸着性膜の膜厚が5nmから5μm
の範囲であることを特徴とする請求項1乃至4いずれか
に記載の磁気ディスク装置。
5. The film thickness of said highly adsorbent film is from 5 nm to 5 μm.
The magnetic disk drive according to any one of claims 1 to 4, wherein:
【請求項6】前記筐体の外部に冷却機構を有する請求項
1乃至5のいずれかに記載の磁気ディスク装置。
6. The magnetic disk drive according to claim 1, further comprising a cooling mechanism outside the housing.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016126819A (en) * 2015-01-02 2016-07-11 エイチジーエスティーネザーランドビーブイ Enclosure cover of iron-oxidized hard disk drive
CN105761737A (en) * 2015-01-02 2016-07-13 Hgst荷兰有限公司 Iron-oxidized Hard Disk Driver Enclosure Cover
KR101760583B1 (en) * 2015-01-02 2017-07-24 에이취지에스티 네덜란드 비.브이. Iron-oxidized hard disk drive enclosure cover
CN105761737B (en) * 2015-01-02 2018-07-17 Hgst荷兰有限公司 A kind of hard disk drive, the method for the cover board of hard disk drive of iron oxidized form cover board and manufacture for hard disk drive enclosure

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