JP2001335969A - Peeling solution for peeling lead-free alloy on nickel or iron-nickel alloy - Google Patents

Peeling solution for peeling lead-free alloy on nickel or iron-nickel alloy

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JP2001335969A JP2000158113A JP2000158113A JP2001335969A JP 2001335969 A JP2001335969 A JP 2001335969A JP 2000158113 A JP2000158113 A JP 2000158113A JP 2000158113 A JP2000158113 A JP 2000158113A JP 2001335969 A JP2001335969 A JP 2001335969A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a peeling solution in which a lead-free tin alloy layer on a nickel or an iron-nickel alloy substrate as and a nickel (iron nickel alloy)-tin alloy under layer can be peeled so that the dissolution of the substrate is low suppressed as possible, and the surface after the peeling treatment is, and further, replating can stably be performed on to the smooth or substrate after the peeling. SOLUTION: As this peeling solution, an aqueous solution at least containing alkanesulfonic acid in the range of 35 to 420 mL/L, containing (meta) nitrobenzenesulfonic acid or the salt thereof in the range of 10 to 300 g/L and further containing one or more kinds selected from the groups consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea in the range of the solubility of >=5 g/L is used, and the peeling of a tin-copper alloy as a lead-free tin alloy is made possible.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ニッケルあるいは
鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液に係
り、特にニッケルあるいは鉄ニッケル合金上にめっきに
より設けられた鉛フリーのスズ合金層や、その下に存在
するニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層を剥離す
るための剥離液に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on nickel or iron-nickel alloy, and more particularly to a lead-free tin alloy layer provided by plating on nickel or iron-nickel alloy, The present invention relates to a stripping solution for stripping a nickel (iron nickel alloy) -tin alloy layer present thereunder.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、トランジスタやIC等の電子部品
を実装するためのリードフレーム、コネクター等の素材
として、あるいは、下地層として、ニッケルや鉄ニッケ
ル合金が使用されている。例えば、リードフレームに
は、電気めっき等によりスズ層またはスズ−鉛合金(は
んだ)等のスズ合金層からなるパターンが種々の目的で
形成されるが、このパターン形成工程や不要となったパ
ターンの除去工程等において、リードフレーム上のスズ
層またはスズ合金層の除去が行われる。また、廃棄され
たリードフレームからニッケルや鉄ニッケル合金を回収
する場合においても、スズ層またはスズ合金層の除去が
必要となる。
2. Description of the Related Art In recent years, nickel and iron-nickel alloys have been used as materials for lead frames and connectors for mounting electronic components such as transistors and ICs, or as base layers. For example, on a lead frame, a pattern made of a tin layer or a tin alloy layer such as a tin-lead alloy (solder) is formed for various purposes by electroplating or the like. In the removing step or the like, the tin layer or the tin alloy layer on the lead frame is removed. Also, when recovering nickel or an iron-nickel alloy from a discarded lead frame, it is necessary to remove the tin layer or the tin alloy layer.

【0003】上記のようなリードフレームやコネクター
等に形成されたスズ層またはスズ合金層を剥離する場
合、(1)スズ層またはスズ合金層のみならず、その下
に存在するニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層も
確実に剥離できること、(2)剥離時にニッケルあるい
は鉄ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が少ない
こと(通常、0.1μm/分以下)、(3)剥離後の素
材や下地層の表面が変色やスマット発生がなく平坦であ
ること、(4)再めっきにより形成されたスズ層または
スズ合金層の外観、および、熱処理後の外観が良好であ
ること、が要求される。
When a tin layer or a tin alloy layer formed on a lead frame, a connector, or the like as described above is peeled, (1) not only the tin layer or the tin alloy layer but also the nickel (iron-nickel alloy) )-The tin alloy layer can be reliably peeled off, (2) The material made of nickel or iron-nickel alloy or the underlayer is less dissolved at the time of peeling (normally 0.1 μm / min or less), (3) The material after peeling (4) The appearance of the tin layer or tin alloy layer formed by re-plating and the appearance after heat treatment are required to be flat without discoloration or generation of smut. You.

【0004】さらに、近年、環境保全の観点から、スズ
−鉛合金(はんだ)に代えて、人体に有害な鉛を含有し
ないスズ合金、例えば、スズ−銅合金、スズ−ビスマス
合金、スズ−銀合金等への切り替えが望まれている。
Further, in recent years, from the viewpoint of environmental protection, tin alloys containing no lead harmful to the human body, for example, tin-copper alloys, tin-bismuth alloys, tin-silver, instead of tin-lead alloys (solders) Switching to an alloy or the like is desired.

【0005】従来のスズ層またはスズ合金層の除去に用
いる剥離液としては、例えば、特公平4−80117号
に開示されるような、アルカンスルホン酸と硝酸第二鉄
との水溶液を含む剥離液、特開昭63−161178号
に開示されるような、チオ尿素、ハロゲン化合物、無機
酸および/または有機酸を含む剥離液が知られている。
A conventional stripping solution used for removing a tin layer or a tin alloy layer is, for example, a stripping solution containing an aqueous solution of alkanesulfonic acid and ferric nitrate as disclosed in Japanese Patent Publication No. 4-80117. A stripping solution containing a thiourea, a halogen compound, an inorganic acid and / or an organic acid as disclosed in JP-A-63-161178 is known.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
4−80117号に開示されている剥離液は、銅表面に
形成されたスズ層またはスズ合金層を剥離するためのも
のであり、ニッケルや鉄ニッケル合金上に形成されたス
ズ層またはスズ合金層を剥離した場合、剥離時のニッケ
ルや鉄ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が極め
て大きく、表面の平坦性が低下し、剥離後に再めっきを
行うと密着不良やフクレが生じるという問題があった。
However, the stripping solution disclosed in Japanese Patent Publication No. 4-80117 is for stripping a tin layer or a tin alloy layer formed on a copper surface, and is intended to remove nickel or iron. When the tin layer or tin alloy layer formed on the nickel alloy is peeled off, the material of nickel or iron-nickel alloy or the underlayer dissolves extremely at the time of peeling, and the flatness of the surface deteriorates. In this case, there is a problem that poor adhesion and blistering occur.

【0007】また、特開昭63−161178号に開示
されている剥離液も、銅表面に形成されたスズ層または
スズ合金層を剥離するためのものであり、ニッケルや鉄
ニッケル合金上に形成されたスズ層またはスズ合金層を
剥離した場合、剥離液に含有されるイオウ成分によっ
て、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金からなる素材や下
地層の表面に被膜が形成されるという問題、および、再
めっきを行うとフクレが生じるという問題があった。
A stripper disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-161178 is also for stripping a tin layer or a tin alloy layer formed on a copper surface, and is formed on nickel or an iron-nickel alloy. When the stripped tin layer or tin alloy layer is peeled off, the sulfur component contained in the stripping solution causes a problem that a film is formed on the surface of the nickel or iron-nickel alloy material or the underlayer, and re-plating is performed. There was a problem that blistering would occur if performed.

【0008】さらに、上述のいずれの剥離液も、ニッケ
ルあるいは鉄ニッケル合金からなる素材上の鉛フリーの
スズ合金を剥離するものではなく、無鉛スズ合金の剥離
が困難であったり、上述のような剥離時のニッケルや鉄
ニッケル合金からなる素材や下地層の溶解が極めて大き
かったり、表面の平坦性が低下し、剥離後に再めっきを
行うと密着不良やフクレが生じるという問題があった。
したがって、ニッケルや鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合
金の剥離を、上述の(1)〜(4)の条件をすべて満足
して行うことが可能な剥離液の開発が望まれている。
Further, none of the above-mentioned stripping solutions removes a lead-free tin alloy on a material made of nickel or an iron-nickel alloy. There has been a problem that the material made of nickel or an iron-nickel alloy or the underlayer at the time of peeling is extremely dissolved, the flatness of the surface is reduced, and poor re-plating after peeling causes poor adhesion or blistering.
Therefore, there is a demand for the development of a stripping solution capable of stripping a lead-free tin alloy on nickel or an iron-nickel alloy while satisfying all of the above conditions (1) to (4).

【0009】本発明は、上述のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、素材や下地層であるニッケルあるいは
鉄ニッケル合金上に設けられた無鉛スズ合金層やその下
に存在するニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層
を、素材や下地層の溶解を極めて低く抑え、かつ、剥離
後の表面が平坦となるように剥離することができ、さら
に、剥離後の素材や下地層上に再めっきを安定して行う
ことが可能な剥離液を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has been developed in view of the above circumstances. A lead-free tin alloy layer provided on a material or an underlying nickel or iron-nickel alloy or a nickel (iron) The nickel alloy) -tin alloy layer can be peeled off so that the dissolution of the material and the underlayer is extremely low, and the surface after the peeling becomes flat. An object of the present invention is to provide a stripping solution capable of performing plating stably.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金上
の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金である
スズ−銅合金剥離用の剥離液であって、少なくともアル
カンスルホン酸を35〜420mL/Lの範囲内で含有
し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
を10〜300g/Lの範囲で含有し、さらに、チオ尿
素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群
のなかの1種以上を5g/L以上で溶解度範囲内で含有
するような構成とした。
In order to achieve such an object, a stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on a nickel or iron-nickel alloy according to the present invention is used for stripping a tin-copper alloy which is a lead-free tin alloy. A stripping solution containing at least alkanesulfonic acid in a range of 35 to 420 mL / L, containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 10 to 300 g / L, and further containing thiourea; The composition was such that at least one of the group consisting of alkylthiourea and aromatic thiourea was contained in the solubility range at 5 g / L or more.

【0011】また、上記において、アルカンスルホン酸
として、70%メタンスルホン酸を50〜600mL/
Lの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホン酸ナ
トリウムを10〜300g/Lの範囲で含有し、チオ尿
素を5g/L以上で溶解度範囲内で含有するような構成
とした。
In the above, 70% methanesulfonic acid is used as the alkanesulfonic acid in an amount of 50 to 600 mL / ml.
L, sodium metanitrobenzenesulfonate in a range of 10 to 300 g / L, and thiourea in a solubility range of 5 g / L or more in a solubility range.

【0012】本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金
上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金であ
るスズ−ビスマス合金剥離用の剥離液であって、少なく
ともアルカンスルホン酸を35〜420mL/Lの範囲
内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるい
はその塩を10〜250g/Lの範囲で含有し、ハロゲ
ンイオンを0.09mol/L以上で溶解度範囲内で含
有し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミ
ダゾールおよびその誘導体からなる群の中の1種以上を
2g/L以上で溶解度範囲内で含有するような構成とし
た。
The stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on a nickel or iron nickel alloy according to the present invention is a stripping solution for stripping a tin-bismuth alloy, which is a lead-free tin alloy, and contains at least 35 to 420 mL / alkanesulfonic acid. L, containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 10 to 250 g / L, containing a halogen ion in a solubility range of 0.09 mol / L or more, and containing benzotriazole, benzotriazole, The composition was such that at least 2 g / L of imidazole, imidazole and derivatives thereof were contained within the solubility range.

【0013】また、上記において、70%メタンスルホ
ン酸を50〜600mL/Lの範囲内で含有し、メタニ
トロベンゼンスルホン酸ナトリウムを10〜250g/
Lの範囲で含有し、塩素イオンを0.09mol/L以
上で溶解度範囲内で含有し、ベンゾトリアゾールを2g
/L以上で溶解度範囲内で含有するような構成、さら
に、ベンゾトリアゾールを2〜50g/Lの範囲内で含
有するような構成とした。
In the above, 70% methanesulfonic acid is contained in the range of 50 to 600 mL / L, and sodium metanitrobenzenesulfonate is contained in the range of 10 to 250 g / L.
L in the range of 0.09 mol / L or more in the solubility range, and 2 g of benzotriazole.
/ L or more in the solubility range, and benzotriazole in the range of 2 to 50 g / L.

【0014】本発明のニッケルあるいは鉄ニッケル合金
上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液は、無鉛スズ合金であ
るスズ−銀合金およびスズ−銅合金剥離用の剥離液であ
って、少なくともアルカンスルホン酸を35〜350m
L/Lの範囲内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスル
ホン酸あるいはその塩を5〜250g/Lの範囲で含有
し、さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族
チオ尿素からなる群のなかの1種以上を20g/L以上
で溶解度範囲内で含有し、硝酸を0.68〜40.5m
L/Lの範囲で含有するような構成とした。
The stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on a nickel or iron-nickel alloy of the present invention is a stripping solution for stripping a tin-silver alloy and a tin-copper alloy which are lead-free tin alloys, and at least alkanesulfonic acid. 35-350m
L / L, (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 5 to 250 g / L, and one of the group consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea. At least 20 g / L in the solubility range and nitric acid of 0.68 to 40.5 m
It was configured to be contained in the range of L / L.

【0015】また、上記において、70%メタンスルホ
ン酸を50〜500mL/Lの範囲内で含有し、メタニ
トロベンゼンスルホン酸ナトリウムを5〜250g/L
の範囲で含有し、チオ尿素を20g/L以上で溶解度範
囲内で含有し、67.5%硝酸を1〜60mL/Lの範
囲で含有するような構成とした。
In the above, 70% methanesulfonic acid is contained within a range of 50 to 500 mL / L, and sodium metanitrobenzenesulfonate is contained at a concentration of 5 to 250 g / L.
, And thiourea was contained in a solubility range of 20 g / L or more, and 67.5% nitric acid was contained in a range of 1 to 60 mL / L.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】次に、本発明の最適な実施形態に
ついて説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described.

【0017】(第1の実施形態)本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−銅合金剥離用の剥離液は、少なくともアル
カンスルホン酸を35〜420mL/Lの範囲内で含有
し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
を10〜300g/Lの範囲で含有し、さらに、チオ尿
素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群
のなかの1種以上を5g/L以上で溶解度範囲内で含有
する水溶液である。
(First Embodiment) Of the stripping solutions for stripping a lead-free tin alloy on a nickel or iron-nickel alloy of the present invention, the stripping solution for stripping a tin-copper alloy contains at least 35 to 420 mL of alkanesulfonic acid. / Meta), containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 10 to 300 g / L, and one of a group consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea. It is an aqueous solution containing the above in a solubility range of 5 g / L or more.

【0018】ここで、ニッケルや鉄ニッケル合金上に電
気めっき等でスズ−銅合金層、スズ−ビスマス合金層、
スズ−銀合金層等の無鉛スズ合金層を形成した場合、経
時によりニッケルや鉄ニッケル合金がスズと反応してニ
ッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層が界面に生成さ
れる。本発明の剥離液は、無鉛スズ合金層のみならず、
そに下に存在するニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合
金層も確実に剥離するものである。以下で説明する実施
形態においても同様である。
Here, a tin-copper alloy layer, a tin-bismuth alloy layer, and the like by electroplating on nickel or an iron-nickel alloy.
When a lead-free tin alloy layer such as a tin-silver alloy layer is formed, nickel or an iron-nickel alloy reacts with tin over time to form a nickel (iron-nickel alloy) -tin alloy layer at the interface. The stripping solution of the present invention is not only a lead-free tin alloy layer,
The underlying nickel (iron nickel alloy) -tin alloy layer is also surely peeled off. The same applies to the embodiments described below.

【0019】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が35mL/L未満であると、スズ−銅合
金層の溶解性が低く、剥離速度が1μm/分以下となり
実用に供し得ないものとなる。アルカンスルホン酸の含
有量が420mL/Lを超えると、スズ−銅合金層の剥
離速度が1μm/分以下となり、また、(メタ)ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上
となり溶解しないことになる。本発明では、アルカンス
ルホン酸として、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸
等を用いることができる。例えば、70%メタンスルホ
ン酸を使用する場合、含有量は50〜600mL/Lの
範囲となる。
In the stripping solution of the present invention, if the alkanesulfonic acid content is less than 35 mL / L, the solubility of the tin-copper alloy layer is low, and the stripping speed is 1 μm / min or less, which is not practical. Becomes When the content of the alkanesulfonic acid exceeds 420 mL / L, the peeling rate of the tin-copper alloy layer becomes 1 μm / min or less, and the concentration of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility and the metal is not dissolved. Become. In the present invention, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid and the like can be used as the alkanesulfonic acid. For example, if 70% methanesulfonic acid is used, the content will be in the range of 50-600 mL / L.

【0020】本発明の剥離液において、(メタ)ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が10g/
L未満であると、スズ−銅合金層の溶解性が低く、剥離
速度が1μm/分以下となり実用に供し得ないものとな
る。また、300g/Lを超えると、(メタ)ニトロベ
ンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上と
なり溶解しないことになる。上記の塩としては、ナトリ
ウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩等を使用すること
ができる。
In the stripping solution of the present invention, the content of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof is 10 g /
When it is less than L, the solubility of the tin-copper alloy layer is low, and the peeling rate becomes 1 μm / min or less, which is not practical. On the other hand, if it exceeds 300 g / L, the concentration of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility, and the compound does not dissolve. As the above salts, sodium salts, potassium salts, ammonium salts and the like can be used.

【0021】本発明の剥離液において、チオ尿素、アル
キルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群のなかの
1種以上の含有量が5g/L未満であると、ニッケルや
鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが発生し好
ましくない。
In the stripping solution of the present invention, if the content of at least one of the group consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea is less than 5 g / L, discoloration occurs in nickel and iron-nickel alloy. And undesirably cause smut.

【0022】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。
Further, the stripping solution of the present invention may contain a surfactant within a solubility range, if necessary. As the surfactant, a nonionic surfactant such as polyoxyethylene triol and polypropylene glycol, and an anionic surfactant such as potassium perfluoroalkyl sulfonate and sodium dioctyl sulfosuccinate can be used.

【0023】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−銅合金層の剥
離を行う場合、剥離液(処理浴)の温度には特に制限は
ないが、例えば、20〜60℃の範囲で設定することが
できる。
When the tin-copper alloy layer on nickel or iron-nickel alloy is stripped using the stripping solution of the present invention as described above, the temperature of the stripping solution (treatment bath) is not particularly limited. For example, it can be set in the range of 20 to 60 ° C.

【0024】尚、鉄ニッケル合金には特に制限はなく、
リードフレームに使用される42材(Fe:Ni=5
8:42)や、SUS316等を挙げることができる。
また、再めっきによりスズ−銅合金層を形成する場合に
は、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金にアルカリ電解脱
脂を施した後に、スズ−銅合金層を形成することが好ま
しい。
There are no particular restrictions on the iron-nickel alloy.
42 materials used for lead frame (Fe: Ni = 5
8:42) and SUS316.
When the tin-copper alloy layer is formed by re-plating, it is preferable to form the tin-copper alloy layer after subjecting nickel or iron-nickel alloy to alkaline electrolytic degreasing.

【0025】(第2の実施形態)本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−ビスマス合金剥離用の剥離液は、少なくと
もアルカンスルホン酸を35〜420mL/Lの範囲内
で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるいは
その塩を10〜250g/Lの範囲で含有し、ハロゲン
イオンを0.09mol/L以上で溶解度範囲内で含有
し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミダ
ゾールおよびその誘導体からなる群の中の1種以上を2
g/L以上で溶解度範囲内で含有する水溶液である。
(Second Embodiment) Among the stripping solutions for stripping a lead-free tin alloy on a nickel or iron nickel alloy of the present invention, the stripping solution for stripping a tin-bismuth alloy contains at least 35 to 420 mL of alkanesulfonic acid. / L, containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 10 to 250 g / L, containing a halogen ion in a solubility range of 0.09 mol / L or more, and containing benzotriazole, At least one member selected from the group consisting of benzimidazole, imidazole and derivatives thereof
An aqueous solution containing g / L or more within the solubility range.

【0026】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が35mL/L未満であると、スズ−ビス
マス合金層の溶解性が低く、剥離速度が1μm/分以下
となり実用に供し得ないものとなる。一方、アルカンス
ルホン酸の含有量が420mL/Lを超えると、スズ−
ビスマス合金層の剥離速度が1μm/分以下となり、ま
た、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩
の濃度が溶解度以上となり溶解しないことになる。本発
明では、アルカンスルホン酸として、メタンスルホン
酸、エタンスルホン酸等を用いることができる。例え
ば、70%メタンスルホン酸を使用する場合、含有量は
50〜600mL/Lの範囲となる。
In the stripping solution of the present invention, if the alkanesulfonic acid content is less than 35 mL / L, the solubility of the tin-bismuth alloy layer is low, and the stripping rate is 1 μm / min or less, which is not practical. Becomes On the other hand, when the alkanesulfonic acid content exceeds 420 mL / L, tin-
The peeling rate of the bismuth alloy layer becomes 1 μm / min or less, and the concentration of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility and does not dissolve. In the present invention, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid and the like can be used as the alkanesulfonic acid. For example, if 70% methanesulfonic acid is used, the content will be in the range of 50-600 mL / L.

【0027】本発明の剥離液において、(メタ)ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が10g/
L未満であると、スズ−ビスマス合金層の溶解性が低
く、剥離速度が1μm/分以下となり実用に供し得ない
ものとなる。また、250g/Lを超えると、(メタ)
ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃度が溶解
度以上となり溶解しないことになる。上記の塩として
は、ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩等を使
用することができる。
In the stripping solution of the present invention, the content of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof is 10 g /
If it is less than L, the solubility of the tin-bismuth alloy layer is low, and the peeling rate becomes 1 μm / min or less, which is not practical. In addition, if it exceeds 250 g / L, (meth)
The concentration of nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility, and the nitrobenzenesulfonic acid or the salt does not dissolve. As the above salts, sodium salts, potassium salts, ammonium salts and the like can be used.

【0028】本発明の剥離液において、ハロゲンイオン
はスズ−ビスマス合金層の下に存在するニッケル(鉄ニ
ッケル合金)−スズ合金層の剥離促進のために添加され
るものである。含有するハロゲンイオンとして塩素イオ
ンを含有する場合、塩素源は、塩化ナトリウム、塩化カ
リウム、塩酸、塩化アンモニウム等を用いることができ
る。また、ハロゲンイオンとしてフッ素イオンを含有す
る場合、フッ素源は、フッ化カリウム、フッ化ナトリウ
ム、フッ酸、一水素二フッ化カリウム、一水素二フッ化
ナトリウム、一水素二フッ化アンモニウム等を用いるこ
とができる。さらに、ハロゲンイオンとして臭素イオン
を含有する場合、臭素源は、臭化カリウム、臭化ナトリ
ウム、臭化アンモニウム等を用いることができる。
In the stripping solution of the present invention, halogen ions are added for promoting the stripping of the nickel (iron-nickel alloy) -tin alloy layer existing under the tin-bismuth alloy layer. When chlorine ions are contained as halogen ions, sodium chloride, potassium chloride, hydrochloric acid, ammonium chloride and the like can be used as the chlorine source. When a fluorine ion is contained as a halogen ion, a fluorine source uses potassium fluoride, sodium fluoride, hydrofluoric acid, potassium hydrogen difluoride, sodium hydrogen difluoride, ammonium hydrogen difluoride, or the like. be able to. Further, when a bromine ion is contained as a halogen ion, potassium bromide, sodium bromide, ammonium bromide or the like can be used as a bromine source.

【0029】ハロゲンイオンの含有量が0.09mol
/Lに満たない場合、スズ−ビスマス合金層の下に存在
するニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層の剥離が
不十分となり、ニッケルや鉄ニッケル合金上に未剥離の
ニッケル(鉄ニッケル合金)−スズ合金層が残存するこ
とになる。
The content of halogen ions is 0.09 mol
When the ratio is less than / L, the nickel (iron-nickel alloy) -tin alloy layer present below the tin-bismuth alloy layer is insufficiently peeled off, and unpeeled nickel (iron-nickel alloy) on nickel or the iron-nickel alloy -The tin alloy layer will remain.

【0030】本発明の剥離液において含有されるベンゾ
トリアゾール、ベンゾイミダゾール、イミダゾールおよ
びその誘導体からなる群の中の1種以上の成分は、ニッ
ケルあるいは鉄ニッケル合金の溶解速度を抑える作用を
有するものである。これらの成分の含有量が2g/L未
満であると、ニッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じた
り、スマットが発生し好ましくない。
One or more components of the group consisting of benzotriazole, benzimidazole, imidazole and derivatives thereof contained in the stripping solution of the present invention have an effect of suppressing the dissolution rate of nickel or an iron-nickel alloy. is there. If the content of these components is less than 2 g / L, discoloration occurs in nickel and iron-nickel alloy and smut occurs, which is not preferable.

【0031】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。
Further, the stripping solution of the present invention may contain a surfactant within a solubility range, if necessary. As the surfactant, a nonionic surfactant such as polyoxyethylene triol and polypropylene glycol, and an anionic surfactant such as potassium perfluoroalkyl sulfonate and sodium dioctyl sulfosuccinate can be used.

【0032】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−ビスマス合金
層の剥離を行う場合、剥離液(処理浴)の温度には特に
制限はないが、例えば、20〜60℃の範囲で設定する
ことができる。尚、鉄ニッケル合金には特に制限はな
く、リードフレームに使用される42材(Fe:Ni=
58:42)や、SUS316等を挙げることができ
る。
When the tin-bismuth alloy layer on nickel or an iron-nickel alloy is stripped using the stripping solution of the present invention as described above, the temperature of the stripping solution (treatment bath) is not particularly limited. For example, it can be set in the range of 20 to 60 ° C. The iron-nickel alloy is not particularly limited, and 42 materials (Fe: Ni =
58:42) and SUS316.

【0033】(第3の実施形態)本発明のニッケルある
いは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液の
うち、スズ−銀合金およびスズ−銅合金剥離用の剥離液
は、少なくともアルカンスルホン酸を35〜350mL
/Lの範囲内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホ
ン酸あるいはその塩を5〜250g/Lの範囲で含有
し、さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族
チオ尿素からなる群のなかの1種以上を20g/L以上
で溶解度範囲内で含有し、硝酸を0.68〜40.5m
L/Lの範囲で含有する水溶液である。
(Third Embodiment) Of the stripping solutions for stripping lead-free tin alloys on nickel or iron-nickel alloys of the present invention, the stripping solutions for stripping tin-silver alloys and tin-copper alloys are at least alkane sulfones. 35-350 mL of acid
/ L, (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in the range of 5 to 250 g / L, and one of the group consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea. The above is contained in a solubility range of 20 g / L or more, and nitric acid is contained in an amount of 0.68 to 40.5 m.
An aqueous solution containing L / L.

【0034】本発明の剥離液において、アルカンスルホ
ン酸の含有量が35mL/L未満であると、スズ−銀合
金層やスズ−銅合金層の溶解性が低く、剥離速度が1μ
m/分以下となり実用に供し得ないものとなる。また、
アルカンスルホン酸の含有量が350mL/Lを超える
と、スズ−銀合金層やスズ−銅合金層の剥離速度が1μ
m/分以下となり、また、(メタ)ニトロベンゼンスル
ホン酸あるいはその塩の濃度が溶解度以上となり溶解し
ないことになる。本発明では、アルカンスルホン酸とし
て、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸等を用いるこ
とができる。例えば、70%メタンスルホン酸を使用す
る場合、含有量は50〜500mL/Lの範囲となる。
In the stripping solution of the present invention, if the alkanesulfonic acid content is less than 35 mL / L, the solubility of the tin-silver alloy layer or the tin-copper alloy layer is low, and the stripping rate is 1 μm.
m / min or less and cannot be put to practical use. Also,
When the alkanesulfonic acid content exceeds 350 mL / L, the peeling rate of the tin-silver alloy layer or the tin-copper alloy layer is 1 μm.
m / min or less, and the concentration of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility, and the compound does not dissolve. In the present invention, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid and the like can be used as the alkanesulfonic acid. For example, if 70% methanesulfonic acid is used, the content will be in the range of 50-500 mL / L.

【0035】本発明の剥離液において、(メタ)ニトロ
ベンゼンスルホン酸あるいはその塩の含有量が5g/L
未満であると、スズ−銀合金層やスズ−銅合金層の溶解
性が低く、剥離速度が1μm/分以下となり実用に供し
得ないものとなる。また、250g/Lを超えると、
(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸あるいはその塩の濃
度が溶解度以上となり溶解しないことになる。上記の塩
としては、ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩
等を使用することができる。
In the stripping solution of the present invention, the content of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof is 5 g / L.
If it is less than 1, the solubility of the tin-silver alloy layer or the tin-copper alloy layer is low, and the peeling rate is 1 μm / min or less, which is not practical. Also, if it exceeds 250 g / L,
The concentration of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof becomes higher than the solubility, and the compound does not dissolve. As the above salts, sodium salts, potassium salts, ammonium salts and the like can be used.

【0036】本発明の剥離液において、チオ尿素、アル
キルチオ尿素および芳香族チオ尿素からなる群のなかの
1種以上の成分の含有量が20g/L未満であると、ニ
ッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが
発生し好ましくない。
In the stripping solution of the present invention, when the content of at least one component selected from the group consisting of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea is less than 20 g / L, the color changes to nickel or an iron-nickel alloy. Undesirably, and smut occurs.

【0037】本発明の剥離液において、硝酸の含有量が
0.68mL/L未満であると、スズ−銀合金層やスズ
−銅合金層の溶解性が低く、剥離速度が1μm/分以下
となり実用に供し得ないものとなる。また、ニッケルや
鉄ニッケル合金に変色が生じたり、スマットが発生し好
ましくない。一方、硝酸根の含有量が40.5mL/L
を超えると、ニッケルや鉄ニッケル合金に変色が生じた
り、スマットが発生し好ましくない。本発明では、硝酸
として、例えば、67.5%硝酸を用いることができ、
この場合、含有量は1〜60mL/Lの範囲となる
In the stripping solution of the present invention, when the content of nitric acid is less than 0.68 mL / L, the solubility of the tin-silver alloy layer or the tin-copper alloy layer is low, and the stripping speed becomes 1 μm / min or less. It will not be practical. Further, discoloration or smut occurs in nickel or iron-nickel alloy, which is not preferable. On the other hand, the nitrate content was 40.5 mL / L
If it exceeds, discoloration occurs in nickel or an iron-nickel alloy or smut occurs, which is not preferable. In the present invention, for example, 67.5% nitric acid can be used as nitric acid,
In this case, the content is in the range of 1 to 60 mL / L.

【0038】さらに、本発明の剥離液は、必要に応じて
界面活性剤を溶解度範囲内で含有してもよい。界面活性
剤としては、ポリオキシエチレントリオール、ポリプロ
ピレングリコール等のノニオン系界面活性剤、パーフル
オロアルキルスルホン酸カリウム、ジオクチルスルホコ
ハク酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等を使用す
ることができる。
Further, the stripping solution of the present invention may contain a surfactant within a solubility range, if necessary. As the surfactant, a nonionic surfactant such as polyoxyethylene triol and polypropylene glycol, and an anionic surfactant such as potassium perfluoroalkyl sulfonate and sodium dioctyl sulfosuccinate can be used.

【0039】上述のような本発明の剥離液を用いて、ニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上のスズ−銀合金層やス
ズ−銅合金層の剥離を行う場合、剥離液(処理浴)の温
度には特に制限はないが、例えば、20〜60℃の範囲
で設定することができる。
When a tin-silver alloy layer or a tin-copper alloy layer on nickel or an iron-nickel alloy is stripped by using the stripping solution of the present invention as described above, the temperature of the stripping solution (treatment bath) must be controlled. Although there is no particular limitation, for example, the temperature can be set in the range of 20 to 60 ° C.

【0040】尚、鉄ニッケル合金には特に制限はなく、
リードフレームに使用される42材(Fe:Ni=5
8:42)や、SUS316等を挙げることができる。
また、再めっきによりスズ−銀合金層、スズ−銅合金層
を形成する場合には、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金
にアルカリ電解脱脂を施した後に、無鉛スズ合金層を形
成することが好ましい。
There are no particular restrictions on the iron-nickel alloy.
42 materials used for lead frame (Fe: Ni = 5
8:42) and SUS316.
When a tin-silver alloy layer or a tin-copper alloy layer is formed by re-plating, it is preferable to form a lead-free tin alloy layer after subjecting nickel or an iron-nickel alloy to alkaline electrolytic degreasing.

【0041】[0041]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0042】[実施例1]アルカンスルホン酸として7
0%メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、70
%メタンスルホン酸の濃度を下記表1のように種々設定
した下記組成の13種の水溶液を調製して剥離液(試料
1−1〜1−13)を得た。
Example 1 Alkanesulfonic acid as 7
Using 0% methanesulfonic acid and sodium metanitrobenzenesulfonate, thiourea, 70%
13 kinds of aqueous solutions having the following compositions in which the concentration of methanesulfonic acid was variously set as shown in Table 1 below were prepared to obtain stripping solutions (samples 1-1 to 1-13).

【0043】 剥離液(試料1−1〜1−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 表1に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部 また、比較として下記の組成の2種の剥離液(試料A、
B)を調製した。
Composition of stripper (samples 1-1 to 1-13): 70% methanesulfonic acid: concentration shown in Table 1; sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L; thiourea: 30 g / L; ion-exchanged water … Remainder Also, as a comparison, two kinds of stripping solutions having the following compositions (sample A,
B) was prepared.

【0044】 剥離液(試料A)の組成 ・トリクロロ酢酸 … 100g/L ・チオ尿素 … 20g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample A): trichloroacetic acid: 100 g / L thiourea: 20 g / L ion-exchanged water: balance

【0045】 剥離液(試料B)の組成 ・トリクロロ酢酸 … 100g/L ・チオ尿素 … 20g/L ・スルファミン酸 … 40g/L ・67.5%硝酸 … 150mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample B): Trichloroacetic acid: 100 g / L Thiourea: 20 g / L Sulfamic acid: 40 g / L 67.5% nitric acid: 150 mL / L Ion exchanged water: Remainder

【0046】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料1−1〜1−13)を使用し、
浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500
mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。また、上記の剥離
液(試料A、B)を使用し、浴温度40℃、浴負荷量
0.5dm2/L、液量500mLの処理浴を作成し、
浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合金層の剥
離を行った。これらの剥離処理におけるスズ−銅合金層
の剥離速度、42材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後の
42材の外観を測定、評価して下記の表1に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (samples 1-1 to 1-13),
Bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2 / L, liquid volume 500
A treatment bath of mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. Further, using the stripping solution (samples A and B), a processing bath having a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL was prepared.
The sample to be peeled was immersed in a bath to peel off the tin-copper alloy layer. The peeling rate of the tin-copper alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer were measured and evaluated in these peeling treatments, and are shown in Table 1 below.

【0047】また、スズ−銅合金層の剥離後、42材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み10μmのスズ−銅合金層を形成し、スズ−銅合金層
の外観、および、更に170℃、15時間の熱処理を施
した後のスズ−銅合金層の外観を評価して下記の表1に
示した。
Further, after the tin-copper alloy layer was peeled off, the 42 material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and a 10-μm-thick tin-copper alloy layer was formed under the same conditions as described above. The appearance of the tin-copper alloy layer after heat treatment at 170 ° C. for 15 hours was evaluated, and the results are shown in Table 1 below.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】表1に示されるように、メタンスルホン酸
が35〜420mL/Lの範囲(70%メタンスルホン
酸として50〜600mL/Lの範囲)内にある本発明
の剥離液(試料1−2〜1−12)は、いずれも、スズ
−銅合金層剥離速度が1μm/分を超えるにもかかわら
ず、42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良
好であった。特に、メタンスルホン酸が70〜350m
L/Lの範囲(70%メタンスルホン酸として100〜
500mL/Lの範囲)内にある本発明の剥離液(試料
1−3〜1−11)は、スズ−銅合金層剥離速度が2μ
m/分を超える高いものであった。また、スズ−銅合金
層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマット発生が
なく良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−
銅合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱
処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみと
められず良好であった。
As shown in Table 1, the stripping solution of the present invention containing methanesulfonic acid in the range of 35 to 420 mL / L (range of 50% to 600 mL / L as 70% methanesulfonic acid) (Sample 1-2) In any of Examples 1 to 12), the dissolution rate of the 42 material was 0.01 μm / min or less, which was good, even though the tin-copper alloy layer peeling rate exceeded 1 μm / min. In particular, methanesulfonic acid is 70-350m
L / L range (100% as 70% methanesulfonic acid)
(The range of 500 mL / L) of the stripping solution of the present invention (samples 1-3 to 1-11) has a tin-copper alloy layer stripping rate of 2 μm.
m / min. Moreover, the surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer was good without discoloration or smut generation. Furthermore, tin formed by replating
The appearance of the copper alloy layer was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after the heat treatment was good without any abnormality such as blisters.

【0050】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が本発明の範囲に満たない剥離液(試料1−1)では、
スズ−銅合金層の剥離速度が1μm/分以下であった。
また、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲を超え
る剥離液(試料1−13)では、メタニトロベンゼンス
ルホン酸ナトリウムを剥離液中に10g/L以上溶解さ
せることが困難となり、スズ−銅合金層の剥離速度が1
μm/分以下であった。
On the other hand, in the case of the stripping solution (sample 1-1) in which the content of methanesulfonic acid is less than the range of the present invention,
The peeling speed of the tin-copper alloy layer was 1 μm / min or less.
Further, in the stripping solution (sample 1-13) in which the content of methanesulfonic acid exceeds the range of the present invention, it becomes difficult to dissolve 10 g / L or more of sodium metanitrobenzenesulfonate in the stripping solution. The peeling speed of the layer is 1
μm / min or less.

【0051】一方、従来の剥離液である試料Aは、スズ
−銅合金層を剥離することができず、42材の溶解速度
も0.04μm/分と大きいものであった。また、従来
の剥離液である試料Bでは、スズ−銅合金層剥離速度が
大きく、スズ−銅合金層剥離後の42材の表面状態は、
変色やスマット発生がなく良好であり、再めっきで形成
したスズ−銅合金層の外観は良好であった。しかし、4
2材の溶解速度は0.04μm/分と大きいものであっ
た。
On the other hand, sample A, which is a conventional stripping solution, could not strip the tin-copper alloy layer, and the dissolution rate of the 42 material was as high as 0.04 μm / min. Further, in Sample B, which is a conventional stripping liquid, the tin-copper alloy layer peeling rate is large, and the surface state of the 42 material after the tin-copper alloy layer stripping is as follows.
There was no discoloration or smut generation, and the appearance of the tin-copper alloy layer formed by re-plating was good. But 4
The dissolution rate of the two materials was as large as 0.04 μm / min.

【0052】[実施例2]アルカンスルホン酸としての
70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムの濃度を下記の表2のように
種々設定した下記組成の14種の水溶液を調製して剥離
液(試料2−1〜2−14)を得た。
Example 2 Using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate and thiourea, various concentrations of sodium metanitrobenzenesulfonate were set as shown in Table 2 below. Then, 14 kinds of aqueous solutions having the following compositions were prepared to obtain stripping solutions (samples 2-1 to 2-14).

【0053】 剥離液(試料2−1〜2−14)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 250mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 表2に示す濃度 ・チオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 2-1 to 2-14) 70% methanesulfonic acid 250 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate The concentration shown in Table 2 Thiourea 30 g / L ion-exchanged water … The rest

【0054】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料2−1〜2−14)を使用し、
浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500
mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離処理にお
けるスズ−銅合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−
銅合金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下記の
表2に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (samples 2-1 to 2-14),
Bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2 / L, liquid volume 500
A treatment bath of mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. In this peeling treatment, the tin-copper alloy layer peeling speed, the 42 material dissolution speed,
The appearance of the 42 materials after peeling of the copper alloy layer was measured and evaluated, and the results are shown in Table 2 below.

【0055】また、スズ−銅合金層の剥離後、42材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み10μmのスズ−銅合金層を形成し、このスズ−銅合
金層の外観、および、更に170℃、15時間の熱処理
を施した後の外観を評価して下記の表2に示した。
After the tin-copper alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a 10-μm-thick tin-copper alloy layer was formed under the same conditions as described above. The appearance and the appearance after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 2 below.

【0056】[0056]

【表2】 [Table 2]

【0057】表2に示されるように、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムを10〜300g/Lの範囲内
で含有する本発明の剥離液(試料2−3〜2−13)
は、いずれも、スズ−銅合金層剥離速度が2μm/分を
超えるものであった。このようにスズ−銅合金層剥離速
度が高いにもかかわらず、42材の溶解速度は0.01
μm/分以下であり良好であった。また、スズ−銅合金
層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマット発生が
なく良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−
銅合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱
処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみと
められず良好であった。
As shown in Table 2, the stripping solution of the present invention containing sodium metanitrobenzenesulfonate in the range of 10 to 300 g / L (samples 2-3 to 2-13)
In each case, the peeling rate of the tin-copper alloy layer exceeded 2 μm / min. Although the tin-copper alloy layer peeling rate is high as described above, the dissolution rate of the 42 material is 0.01
μm / min or less, which was good. Moreover, the surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer was good without discoloration or smut generation. Furthermore, tin formed by replating
The appearance of the copper alloy layer was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after the heat treatment was good without any abnormality such as blisters.

【0058】これに対して、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムの含有量が10g/L未満である剥離液
(試料2−1、2−2)では、スズ−銅合金層の剥離速
度が1μm/分以下であった。また、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムの含有量が300g/Lを超え
る剥離液(試料2−14)では、42材の表面にスズ−
銅合金層が残り、揺動しても除去できなかった。
On the other hand, in the stripping solution containing less than 10 g / L of sodium metanitrobenzenesulfonate (samples 2-1 and 2-2), the peeling speed of the tin-copper alloy layer is 1 μm / min or less. Met. In the case of a stripper having a sodium metanitrobenzenesulfonate content of more than 300 g / L (sample 2-14), tin-
The copper alloy layer remained, and could not be removed even by swinging.

【0059】[実施例3]アルカンスルホン酸としての
70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、チオ尿素を使用して、チオ尿素の濃度
を下記表3に示すように種々設定した下記組成の13種
の水溶液を調製して剥離液(試料3−1〜3−13)を
得た。
Example 3 The following compositions were prepared by using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, and thiourea and varying the concentration of thiourea as shown in Table 3 below. Were prepared to obtain stripping solutions (samples 3-1 to 3-13).

【0060】 剥離液(試料3−1〜3−7)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 表3に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部Composition of stripper (samples 3-1 to 3-7): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L Thiourea: concentration shown in Table 3 Ion-exchanged water … The rest

【0061】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料3−1〜3−13)を使用し、
浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500
mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬
してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離処理にお
けるスズ−銅合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−
銅合金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下記の
表3に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (samples 3-1 to 3-13),
Bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2 / L, liquid volume 500
A treatment bath of mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. In this peeling treatment, the tin-copper alloy layer peeling speed, the 42 material dissolution speed,
The appearance of the 42 materials after peeling of the copper alloy layer was measured and evaluated, and the results are shown in Table 3 below.

【0062】また、スズ−銅合金層の剥離後に、42材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み10μmのスズ−銅合金層を形成し、このスズ
−銅合金層の外観、および、更に170℃、15時間の
熱処理を施した後のスズ−銅合金層の外観を評価して下
記の表3に示した。
After peeling off the tin-copper alloy layer, the 42 material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-copper alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as above. The appearance of the layer and the appearance of the tin-copper alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 3 below.

【0063】[0063]

【表3】 [Table 3]

【0064】表3に示されるように、チオ尿素が5g/
L以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥離液(試料
3−3〜3−13)は、いずれも、スズ−銅合金層剥離
速度が3μm/分を超えるものであり、かつ、42材の
溶解速度は0.01μm/分以下であり良好であった。
また、スズ−銅合金層剥離後の42材の表面状態は、変
色やスマット発生がなく良好であった。さらに、再めっ
きで形成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみら
れず良好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。
As shown in Table 3, the amount of thiourea was 5 g /
Each of the stripping solutions of the present invention (samples 3-3 to 3-13) containing at least L and within the solubility range has a tin-copper alloy layer stripping rate of more than 3 μm / min, and contains 42 materials. Was 0.01 μm / min or less, which was good.
Moreover, the surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer was good without discoloration or smut generation. Further, the appearance of the tin-copper alloy layer formed by the replating was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0065】これに対し、チオ尿素を含有しない剥離液
(試料3−1)では、スズ−銅合金層の剥離速度が0.
1μm/分以下であり、実用に供し得ないものであっ
た。また、チオ尿素を1g/L含有する剥離液(試料3
−2)は、スズ−銅合金層剥離速度が1μm/分を超え
るものであり、42材の溶解速度も0.01μm/分以
下であり良好であるが、スズ−銅合金層剥離後の42材
表面にスマットが発生し、共に実用に供し得ないもので
あった。尚、スズ−銅合金層剥離は、チオ尿素の含有量
が5g/L以上で良好な結果が得られ、10g/L以上
では、剥離性能に更なる向上はみられなかった。
On the other hand, in the stripping solution containing no thiourea (sample 3-1), the stripping rate of the tin-copper alloy layer was 0.1 mm.
It was 1 μm / min or less, which was not practical. In addition, a stripper containing 1 g / L of thiourea (sample 3
-2) is good in that the peeling speed of the tin-copper alloy layer exceeds 1 μm / min, and the dissolution speed of the 42 material is 0.01 μm / min or less, which is good. Smut was generated on the surface of the material, and both could not be put to practical use. In the peeling of the tin-copper alloy layer, good results were obtained when the thiourea content was 5 g / L or more, and no further improvement was observed in the peeling performance when the thiourea content was 10 g / L or more.

【0066】[実施例4]実施例1の剥離液(試料1−
6)の成分である70%メタンスルホン酸の代わりに、
エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液(試料
4)を調製した。
Example 4 The stripping solution of Example 1 (Sample 1
Instead of 70% methanesulfonic acid which is the component of 6),
A stripper (sample 4) having the following composition using ethanesulfonic acid was prepared.

【0067】 剥離液(試料4)の組成 ・エタンスルホン酸 … 250mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 4): ethanesulfonic acid: 250 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L thiourea: 30 g / L ion-exchanged water: balance

【0068】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料4)を使用し、浴温度40℃、
浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は4.00μm/分で充分に大きいにも
かかわらず、42材の溶解速度は0.01μm/分以下
であり良好であった。また、スズ−銅合金層剥離後の4
2材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であ
った。
Next, as the iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 4), bath temperature 40 ° C,
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. The peeling rate of the tin-copper alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer were measured and evaluated in this peeling treatment. As a result, despite the sufficiently high peeling rate of the tin-copper alloy layer of 4.00 μm / min, the dissolution rate of 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. In addition, after removing the tin-copper alloy layer,
The surface condition of the two materials was good without discoloration or smut occurrence.

【0069】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銅合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、また、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。上記の結果
より、アルカンスルホン酸として、エタンスルホン酸を
用いた場合も、上述のメタンスルホン酸を使用した剥離
液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認され
た。
Next, after the tin-copper alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a 10 μm-thick tin-copper alloy layer was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-copper alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters and the like. . From the above results, it was confirmed that, even when ethanesulfonic acid was used as the alkanesulfonic acid, a stripper having the same performance as the stripper using methanesulfonic acid described above was obtained.

【0070】[実施例5]実施例2の剥離液(試料2−
7)の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸ナトリ
ウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸を使用
した下記組成の剥離液(試料5)を調製した。
Example 5 The stripping solution of Example 2 (sample 2
A stripper having the following composition (sample 5) using metanitrobenzenesulfonic acid instead of sodium metanitrobenzenesulfonate as the component 7) was prepared.

【0071】 剥離液(試料5)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 250mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 5): 70% methanesulfonic acid: 250 mL / L; metanitrobenzenesulfonic acid: 50 g / L; thiourea: 30 g / L; ion-exchanged water: balance

【0072】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料5)を使用し、浴温度40℃、
浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は4.00μm/分で充分に大きいもの
であり、また、42材の溶解速度は0.01μm/分以
下であり良好であった。一方、スズ−銅合金層剥離後の
42材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好で
あった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 5), bath temperature 40 ° C,
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. The peeling rate of the tin-copper alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer were measured and evaluated in this peeling treatment. As a result, the peeling rate of the tin-copper alloy layer was 4.00 μm / min, which was sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. On the other hand, the surface condition of the 42 material after the peeling of the tin-copper alloy layer was favorable without discoloration or occurrence of smut.

【0073】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銅合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
メタニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。
Next, after the tin-copper alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-copper alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-copper alloy layer formed by replating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after heat treatment was good without any abnormality such as blisters. From the above results,
It was confirmed that even when using metanitrobenzenesulfonic acid, a stripper having the same performance as the stripper using sodium metanitrobenzenesulfonate described above was obtained.

【0074】[実施例6]実施例3の剥離液(試料3−
7)の成分であるチオ尿素の代わりに、ジメチルチオ尿
素を使用した下記組成の剥離液(試料6)を調製した。
Example 6 The stripping solution of Example 3 (sample 3
A stripper (sample 6) having the following composition using dimethylthiourea instead of thiourea as the component 7) was prepared.

【0075】 剥離液(試料6)の組成 ・70%メタンスルホン酸 …220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・ジメチルチオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 6): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L Dimethylthiourea: 30 g / L Ion-exchanged water: balance

【0076】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料6)を使用し、浴温度40℃、
浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理浴を
作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−銅合
金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−銅合
金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銅合金層剥離後
の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ−銅
合金層剥離速度は4.00μm/分で充分に大きく、4
2材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良好であ
った。また、スズ−銅合金層剥離後の42材の表面状態
は、変色やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 6), bath temperature 40 ° C,
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-copper alloy layer. The peeling rate of the tin-copper alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer were measured and evaluated in this peeling treatment. As a result, the peeling rate of the tin-copper alloy layer was sufficiently large at 4.00 μm / min.
The dissolution rate of the two materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Moreover, the surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0077】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銅合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
ジメチルチオ尿素を用いた場合も、上述のチオ尿素を使
用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られること
が確認された。
Next, after the tin-copper alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and a tin-copper alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-copper alloy layer formed by replating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after heat treatment was good without any abnormality such as blisters. From the above results,
It was confirmed that a stripper having the same performance as the stripper using thiourea was obtained when dimethylthiourea was used.

【0078】[実施例7]まず、実施例1の剥離液(試
料1−6)と同じ下記組成の剥離液(試料7)を調製し
た。
Example 7 First, a stripping solution (sample 7) having the same composition as the stripping solution of Example 1 (sample 1-6) was prepared.

【0079】 剥離液(試料7)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 250mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 7): 70% methanesulfonic acid: 250 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L Thiourea: 30 g / L Ion exchanged water: balance

【0080】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材、日本金属工業(株)製のSUS3
16、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み10μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離
試料を準備した。次いで、上記の剥離液(試料7)を使
用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量
500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の各被剥離試
料を浸漬してスズ−銅合金層の剥離を行った。この剥離
処理におけるスズ−銅合金層剥離速度、素材溶解速度、
スズ−銅合金層剥離後の素材の外観を測定、評価して下
記の表4に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. and SUS3 manufactured by Nippon Metal Industry Co., Ltd.
16, a nickel material and an iron material were prepared, and a tin-copper alloy layer having a thickness of 10 μm was formed on these materials to prepare a sample to be peeled. Next, a processing bath having a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL was prepared using the above-mentioned stripping solution (sample 7), and each sample to be stripped was immersed in the bath. Then, the tin-copper alloy layer was peeled off. In this peeling treatment, the tin-copper alloy layer peeling speed, material dissolution speed,
The appearance of the material after peeling the tin-copper alloy layer was measured and evaluated, and the results are shown in Table 4 below.

【0081】また、スズ−銅合金層の剥離後、素材にア
ルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚み
10μmのスズ−銅合金層を形成し、スズ−銅合金層の
外観、および、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た後のスズ−銅合金層の外観を評価して下記の表4に示
した。
After peeling off the tin-copper alloy layer, the material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-copper alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. The appearance of the tin-copper alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours was evaluated and is shown in Table 4 below.

【0082】[0082]

【表4】 [Table 4]

【0083】表4に示されるように、本発明の剥離液
(試料7)は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合金
である被剥離試料に対しては、スズ−銅合金層剥離速度
が2.00μm/分以上と大きく、かつ、素材の溶解速
度も十分小さく良好であった。また、スズ−銅合金層剥
離後の素材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良
好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−銅合金
層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後
のスズ−銅合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。尚、素材がSUS316である被剥離
試料においては、スズ−銅合金層剥離後の表面状態に若
干の表面粗れがみられるが、剥離後の再めっき、およ
び、熱処理においても何ら問題がなく、実用レベルと判
断される。
As shown in Table 4, the stripping solution of the present invention (Sample 7) has a tin-copper alloy layer peeling speed of 2.00 μm with respect to a sample to be stripped whose material is nickel or an iron-nickel alloy. / Min or more, and the dissolution rate of the material was sufficiently small and good. In addition, the surface state of the material after peeling the tin-copper alloy layer was good without discoloration or occurrence of smut. Further, the appearance of the tin-copper alloy layer formed by the replating was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. In the sample to be peeled whose material is SUS316, although the surface state after peeling the tin-copper alloy layer has some surface roughness, replating after peeling and heat treatment have no problem. It is judged to be a practical level.

【0084】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が2.91μm/分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきで形成したスズ−銅
合金層にはノジュールがみられ、さらに、熱処理を施す
ことによりスズ−銅合金層にフクレが生じた。
However, the dissolution rate of the iron material is as large as 2.91 μm / min for the sample to be peeled, which is made of an iron material.
Nodules were found in the tin-copper alloy layer formed by re-plating after peeling, and the heat treatment gave blisters in the tin-copper alloy layer.

【0085】[実施例8]アルカンスルホン酸として7
0%メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾト
リアゾールを使用して、70%メタンスルホン酸の濃度
を下記表5のように種々設定した下記組成の13種の水
溶液を調製して剥離液(試料8−1〜8−13)を得
た。
Example 8 As alkanesulfonic acid, 7
Using 0% methanesulfonic acid, and using sodium metanitrobenzenesulfonate, sodium chloride and benzotriazole, the concentration of 70% methanesulfonic acid was variously set as shown in Table 5 below, and 13 kinds of the following compositions were used. An aqueous solution was prepared to obtain a stripping solution (samples 8-1 to 8-13).

【0086】 剥離液(試料8−1〜8−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 表5に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 8-1 to 8-13): 70% methanesulfonic acid: concentration shown in Table 5 sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L sodium chloride: 30 g / L (chlorine concentration = 0.51mol / L) ・ Benzotriazole ・ ・ ・ 4g / L ・ Ion-exchanged water ・ ・ ・ The rest

【0087】また、比較として上述の実施例1と同組成
の2種の剥離液(試料A、B)を調製した。次に、鉄ニ
ッケル合金として、住友特殊金属(株)製の42材を使
用し、この42材上に厚み10μmのスズ−ビスマス合
金層を形成して被剥離試料を準備した。
For comparison, two kinds of stripping solutions (samples A and B) having the same composition as in Example 1 were prepared. Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used, and a 10 μm-thick tin-bismuth alloy layer was formed on the 42 materials to prepare a sample to be peeled.

【0088】次いで、上記の剥離液(試料8−1〜8−
13)を使用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2
/L、液量500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の
被剥離試料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行
った。また、上記の剥離液(試料A、B)を使用し、浴
温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500m
Lの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬し
てスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。これらの剥離
処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶
解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を
測定、評価して下記の表5に示した。
Then, the above-mentioned stripping solution (samples 8-1 to 8-
13), bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2
/ L, a treatment bath having a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. Further, using the stripping solution (samples A and B), a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 m
A treatment bath of L was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in these peeling treatments were measured and evaluated.

【0089】また、スズ−ビスマス合金層の剥離後に、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、このスズ−ビスマス合金層の外観、およ
び、更に170℃、15時間の熱処理を施した後のスズ
−ビスマス合金層の外観を評価して下記の表5に示し
た。
After the tin-bismuth alloy layer is peeled off,
A tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. The results are shown in Table 5 below.

【0090】[0090]

【表5】 [Table 5]

【0091】表5に示されるように、メタンスルホン酸
が35〜420mL/Lの範囲(70%メタンスルホン
酸として50〜600mL/Lの範囲)内にある本発明
の剥離液(試料8−2〜8−12)は、いずれも、スズ
−ビスマス合金層剥離速度が2μm/分を超える高いも
のであるにもかかわらず、42材の溶解速度は0.01
μm/分以下であり良好であった。また、スズ−ビスマ
ス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマット
発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成した
スズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。
As shown in Table 5, the stripping solution of the present invention containing methanesulfonic acid in the range of 35 to 420 mL / L (50 to 600 mL / L as 70% methanesulfonic acid) (sample 8-2) No. 8-12), the dissolution rate of the 42 material was 0.01 despite the high peeling rate of the tin-bismuth alloy layer exceeding 2 μm / min.
μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation. Further, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0092】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が本発明の範囲に満たない剥離液(試料8−1)では、
スズ−ビスマス合金層の剥離速度が1μm/分以下であ
った。また、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲
を超える剥離液(試料8−13)では、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムを剥離液中に10g/L以上
溶解させることが困難となり、スズ−ビスマス合金層の
剥離速度が1μm/分以下であった。一方、従来の剥離
液である試料Aでは、スズ−ビスマス合金層を剥離する
ことができず、42材の溶解速度も0.04μm/分と
大きいものであった。また、従来の剥離液である試料B
では、スズ−ビスマス合金層剥離速度が大きく、スズ−
ビスマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やス
マット発生がなく良好であった。しかし、再めっきで形
成したスズ−ビスマス合金層は密着不良が発生した。
On the other hand, in the stripping solution (sample 8-1) in which the content of methanesulfonic acid is less than the range of the present invention,
The peeling speed of the tin-bismuth alloy layer was 1 μm / min or less. Further, in the stripping solution (sample 8-13) in which the content of methanesulfonic acid exceeds the range of the present invention, it becomes difficult to dissolve 10 g / L or more of sodium metanitrobenzenesulfonate in the stripping solution, and the tin-bismuth alloy The layer peeling rate was 1 μm / min or less. On the other hand, in the sample A which is a conventional stripper, the tin-bismuth alloy layer could not be stripped, and the dissolution rate of the 42 material was as high as 0.04 μm / min. In addition, a sample B which is a conventional stripper is used.
In this case, the peeling speed of the tin-bismuth alloy layer is high,
The surface state of the 42 material after the bismuth alloy layer was peeled was good without discoloration or smut occurrence. However, the tin-bismuth alloy layer formed by replating had poor adhesion.

【0093】[実施例9]アルカンスルホン酸としての
70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾトリアゾール
を使用して、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム
の濃度を下記表6のように種々設定した下記組成の13
種の水溶液を調製して剥離液(試料9−1〜9−13)
を得た。
Example 9 Using 70% methanesulfonic acid as an alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, sodium chloride and benzotriazole, the concentration of sodium metanitrobenzenesulfonate was as shown in Table 6 below. 13 of the following composition set variously
Preparation of aqueous solution of seeds and stripping solution (samples 9-1 to 9-13)
I got

【0094】 剥離液(試料9−1〜9−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 表6に示す濃度 ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 9-1 to 9-13): 70% methanesulfonic acid: 150 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate : concentration shown in Table 6: sodium chloride: 30 g / L (chlorine concentration = 0.51mol / L) ・ Benzotriazole ・ ・ ・ 4g / L ・ Ion-exchanged water ・ ・ ・ The rest

【0095】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料9−1〜9−13)を使用
し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量5
00mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥
離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材
溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観
を測定、評価して下記の表6に示した。また、スズ−ビ
スマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−ビス
マス合金層の外観、および、更に170℃、15時間の
熱処理を施した後の外観を評価して下記の表6に示し
た。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the stripping solution (samples 9-1 to 9-13), a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 5
A treatment bath of 00 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated, and are shown in Table 6 below. After peeling off the tin-bismuth alloy layer, a thickness of 10 mm was obtained under the same conditions as above.
A tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm was formed, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer and the appearance after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated. The results are shown in Table 6 below.

【0096】[0096]

【表6】 [Table 6]

【0097】表6に示されるように、メタニトロベンゼ
ンスルホン酸ナトリウムを10〜250g/Lの範囲内
で含有する本発明の剥離液(試料9−3〜9−12)
は、いずれも、スズ−ビスマス合金層剥離速度が2μm
/分を超えるものであり、スズ−ビスマス合金層剥離速
度が高いにもかかわらず、42材の溶解速度は0.01
μm/分以下であり良好であった。また、スズ−ビスマ
ス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマット
発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成した
スズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフ
クレ等の異常がみとめられず良好であった。
As shown in Table 6, the stripping solution of the present invention containing sodium metanitrobenzenesulfonate in the range of 10 to 250 g / L (samples 9-3 to 9-12)
Indicates that the tin-bismuth alloy layer peeling rate is 2 μm
/ Min, and the dissolution rate of the 42 material is 0.01 despite the high peeling rate of the tin-bismuth alloy layer.
μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation. Further, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0098】一方、メタニトロベンゼンスルホン酸ナト
リウムの含有量が10g/L未満である剥離液(試料9
−1、9−2)では、スズ−ビスマス合金層の剥離速度
が1μm/分以下であった。また、試料9−13では、
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムの添加量が溶
解度以上となり、過剰のメタニトロベンゼンスルホン酸
ナトリウムは浴内に沈殿しており、材料ロスを来たし
た。
On the other hand, a stripper having a content of sodium metanitrobenzenesulfonate of less than 10 g / L (sample 9
In (-1, 9-2), the peeling rate of the tin-bismuth alloy layer was 1 μm / min or less. In sample 9-13,
The amount of sodium metanitrobenzenesulfonate added exceeded the solubility, and excess sodium metanitrobenzenesulfonate precipitated in the bath, resulting in material loss.

【0099】[実施例10]塩素供給源として塩化ナト
リウムを使用し、また、70%メタンスルホン酸、メタ
ニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム、ベンゾトリアゾ
ールを使用して、塩素イオン濃度を下記表7に示すよう
に種々設定した下記組成の13種の水溶液を調製して剥
離液(試料10−1〜10−13)を得た。
Example 10 Using sodium chloride as a chlorine source and 70% methanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, and benzotriazole, the chloride ion concentration was as shown in Table 7 below. Thirteen types of aqueous solutions having various compositions described below were prepared to obtain stripping solutions (samples 10-1 to 10-13).

【0100】 剥離液(試料10−1〜10−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 …220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化イオン(供給源:塩化ナトリウム) …表7に示す濃度 ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 10-1 to 10-13): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L chloride ion (supply source: sodium chloride) Table 7・ Benzotriazole: 4 g / L ・ Ion-exchanged water: balance

【0101】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料10−1〜10−13)を
使用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液
量500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試
料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。こ
の剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、4
2材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の
外観を測定、評価して下記の表7に示した。また、スズ
−ビスマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み
10μmのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−
ビスマス合金層の外観、および、更に170℃、15時
間の熱処理を施した後のスズ−ビスマス合金層の外観を
評価して下記の表7に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripping solution (samples 10-1 to 10-13), a treatment bath having a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the above-mentioned peeling was performed in the bath. The sample was immersed to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling speed of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment is 4
The dissolution rate of the two materials and the appearance of the 42 materials after peeling the tin-bismuth alloy layer were measured and evaluated, and are shown in Table 7 below. Further, after the tin-bismuth alloy layer was peeled off, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
The appearance of the bismuth alloy layer and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 7 below.

【0102】[0102]

【表7】 [Table 7]

【0103】表7に示されるように、塩素イオン濃度が
0.09mol/L(塩化ナトリウム濃度5g/L)以
上で溶解度範囲内である本発明の剥離液(試料10−2
〜10−13)は、いずれも、スズ−ビスマス合金層剥
離速度が4μm/分を超えるものであった。このように
スズ−ビスマス合金層剥離速度が高いにもかかわらず、
42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良好で
あった。また、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の
表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
さらに、再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層の外
観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ
−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。
As shown in Table 7, the stripping solution of the present invention having a chlorine ion concentration of 0.09 mol / L (sodium chloride concentration 5 g / L) or more and within the solubility range (sample 10-2)
In all cases, the peeling rates of the tin-bismuth alloy layers exceeded 4 μm / min. Despite the high tin-bismuth alloy layer peeling rate,
The dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.
Further, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0104】これに対し、塩素イオンを含有しない剥離
液(試料10−1)では、スズ−ビスマス合金層の剥離
が不可能であった。また、塩素イオン濃度が0.02m
ol/Lの剥離液(試料10−2)では、スズ−ビスマ
ス合金層剥離速度が2μm/分を超えるものであり、4
2材の溶解速度も0.01μm/分以下であり良好であ
るが、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材表面にスマ
ットが発生し、共に実用に供し得ないものであった。
尚、スズ−ビスマス合金層剥離は、塩素イオン濃度が
0.09mol/L(塩化ナトリウム濃度5g/L)以
上で良好な結果が得られ、0.26mol/L(塩化ナ
トリウム濃度15g/L)以上では、剥離性能に更なる
向上はみられなかった。
On the other hand, the stripping solution containing no chlorine ion (sample 10-1) was not able to strip the tin-bismuth alloy layer. The chlorine ion concentration is 0.02m
In the case of the ol / L stripping solution (sample 10-2), the tin-bismuth alloy layer stripping speed exceeds 2 μm / min, and
The dissolution rate of the two materials was 0.01 μm / min or less, which was good. However, smut was generated on the surface of the 42 materials after the tin-bismuth alloy layer was peeled off, and both were not practically usable.
In the peeling of the tin-bismuth alloy layer, good results were obtained when the chloride ion concentration was 0.09 mol / L (sodium chloride concentration 5 g / L) or more, and 0.26 mol / L (sodium chloride concentration 15 g / L) or more. No further improvement in peeling performance was observed.

【0105】[実施例11]アルカンスルホン酸として
の70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、塩化ナトリウム、ベンゾトリアゾー
ルを使用して、ベンゾトリアゾールの濃度を下記表8に
示すように種々設定した下記組成の9種の水溶液を調製
して剥離液(試料11−1〜11−9)を得た。
Example 11 Using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, sodium chloride and benzotriazole, the concentration of benzotriazole was variously set as shown in Table 8 below. Nine kinds of aqueous solutions having the following compositions were prepared to obtain stripping solutions (samples 11-1 to 11-9).

【0106】 剥離液(試料11−1〜11−9)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 表8に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部Composition of stripper (samples 11-1 to 11-9): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L sodium chloride: 30 g / L (chlorine concentration = 0. (51 mol / L) ・ Benzotriazole ... concentration shown in Table 8 ・ Ion-exchanged water ... balance

【0107】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料11−1〜11−9)を使
用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量
500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料
を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行った。この
剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離速度、42
材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外
観を測定、評価して下記の表8に示した。また、スズ−
ビスマス合金層の剥離後に、上記と同様の条件で厚み1
0μmのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ−ビ
スマス合金層の外観、および、更に170℃、15時間
の熱処理を施した後の外観を評価して下記の表8に示し
た。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripping solution (samples 11-1 to 11-9), a treatment bath having a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL was prepared. The sample was immersed to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment, 42
The material dissolution rate and the appearance of the 42 materials after peeling off the tin-bismuth alloy layer were measured and evaluated, and are shown in Table 8 below. In addition, tin
After the bismuth alloy layer is peeled off, a thickness of 1
A tin-bismuth alloy layer having a thickness of 0 μm was formed, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer and the appearance after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated. The results are shown in Table 8 below.

【0108】[0108]

【表8】 [Table 8]

【0109】表8に示されるように、ベンゾトリアゾー
ルを2g/L以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥
離液(試料11−2〜11−8)は、いずれも、スズ−
ビスマス合金層剥離速度が3μm/分と大きく、かつ、
42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良好で
あった。また、スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の
表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
さらに、再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層の外
観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ
−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめられ
ず良好であった。
As shown in Table 8, the stripping solutions of the present invention (samples 11-2 to 11-8) containing benzotriazole at a concentration of 2 g / L or more and within the solubility range were all tin-based.
Bismuth alloy layer peeling speed is as large as 3 μm / min, and
The dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.
Further, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by the replating was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormality such as blisters.

【0110】これに対して、ベンゾトリアゾールの含有
量が2g/L未満である剥離液(試料11−1)では、
スズ−ビスマス合金層の剥離が不可能であった。また、
試料11−9においては、ベンゾトリアゾールの添加量
が溶解度以上となり、過剰のベンゾトリアゾールは浴内
に沈殿しており、材料ロスによるコスト増大を来たすこ
とになる。したがって、本実施例では、ベンゾトリアゾ
ールの濃度は2〜50g/Lの範囲で設定することが好
ましい。
On the other hand, in the stripping solution (sample 11-1) having a benzotriazole content of less than 2 g / L,
Peeling of the tin-bismuth alloy layer was impossible. Also,
In sample 11-9, the amount of benzotriazole added was higher than the solubility, and excess benzotriazole was precipitated in the bath, resulting in increased costs due to material loss. Therefore, in this example, it is preferable to set the concentration of benzotriazole in the range of 2 to 50 g / L.

【0111】[実施例12]実施例8の剥離液(試料8
−4)の成分である塩化ナトリウムの代わりに、フッ化
カリウムを使用した下記組成の剥離液(試料12)を調
製した。
Example 12 The stripping solution of Example 8 (sample 8
A stripper (sample 12) having the following composition and using potassium fluoride instead of sodium chloride as the component -4) was prepared.

【0112】 剥離液(試料12)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・フッ化カリウム … 10g/L (フッ素イオン=0.18mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 12): 70% methanesulfonic acid: 150 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L Potassium fluoride: 10 g / L (fluorine ion = 0.18 mol / L) Benzotriazole: 4 g / L ・ Ion-exchanged water: balance

【0113】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料12)を使用し、浴温度4
0℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は5.
71μm/分で充分に大きく、また、42材の溶解速度
は0.01μm/分以下であり良好であった。さらに、
スズ−ビスマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変
色やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 12), bath temperature 4
A processing bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared at 0 ° C., and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the tin-bismuth alloy layer peeling speed was 5.
71 μm / min was sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. further,
The surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0114】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、ハロゲンイオン
として、フッ素イオンを用いた場合も、上述の塩素イオ
ンを使用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られ
ることが確認された。
Next, after peeling the tin-bismuth alloy layer,
Under the same conditions as above, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed, and further subjected to a heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. The appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results, it was confirmed that even when fluorine ions were used as the halogen ions, a stripping solution having the same performance as the stripping solution using the above-described chlorine ions was obtained.

【0115】[実施例13]実施例8の剥離液(試料8
−4)の成分である塩化ナトリウムの代わりに、臭化カ
リウムを使用した下記組成の剥離液(試料13)を調製
した。
Example 13 The stripping solution of Example 8 (sample 8
A stripper having the following composition (sample 13) using potassium bromide instead of sodium chloride as the component -4) was prepared.

【0116】 剥離液(試料13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・臭化カリウム … 11g/L (臭素イオン=0.09mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 13): 70% methanesulfonic acid: 150 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L Potassium bromide: 11 g / L (bromine ion = 0.09 mol / L) Benzotriazole: 4 g / L ・ Ion-exchanged water: balance

【0117】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料13)を使用し、浴温度4
0℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は5.
71μm/分で充分に大きく、42材の溶解速度は0.
01μm/分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripping solution (sample 13), bath temperature 4
A processing bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared at 0 ° C., and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the tin-bismuth alloy layer peeling speed was 5.
71 μm / min is sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials is 0.1 μm.
It was good because it was 01 μm / min or less. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0118】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、ハロゲンイオン
として、臭素イオンを用いた場合も、上述の塩素イオン
を使用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られる
ことが確認された。
Next, after peeling the tin-bismuth alloy layer,
Under the same conditions as above, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed, and further subjected to a heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. The appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results, it was confirmed that even when bromine ions were used as the halogen ions, a stripping solution having the same performance as the stripping solution using the above-described chlorine ions was obtained.

【0119】[実施例14]実施例8の剥離液(試料8
−4)の成分である70%メタンスルホン酸の代わり
に、エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液(試
料14)を調製した。
[Example 14] The stripping solution of Example 8 (sample 8
A stripper (sample 14) having the following composition using ethanesulfonic acid instead of 70% methanesulfonic acid as the component of -4) was prepared.

【0120】 剥離液(試料14)の組成 ・エタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 14): ethanesulfonic acid: 150 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L sodium chloride: 30 g / L (chlorine concentration = 0.51 mol / L) benzotriazole: 4g / L ・ Ion-exchanged water ... balance

【0121】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料14)を使用し、浴温度4
0℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は5.
71μm/分で充分に大きく、42材の溶解速度は0.
01μm/分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 14), bath temperature 4
A processing bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared at 0 ° C., and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the tin-bismuth alloy layer peeling speed was 5.
71 μm / min is sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials is 0.1 μm.
It was good because it was 01 μm / min or less. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0122】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、アルカンスルホ
ン酸として、エタンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタンスルホン酸を使用した剥離液と同様の性能をもつ
剥離液が得られることが確認された。
Next, after peeling the tin-bismuth alloy layer,
Under the same conditions as above, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed, and further subjected to a heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. The appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating after peeling was good with no nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results, it was confirmed that, even when ethanesulfonic acid was used as the alkanesulfonic acid, a stripper having the same performance as the stripper using methanesulfonic acid described above was obtained.

【0123】[実施例15]実施例9の剥離液(試料9
−7)の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸ナト
リウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸を使
用した下記組成の剥離液(試料15)を調製した。
[Example 15] The stripping solution of Example 9 (sample 9
A stripper having the following composition (sample 15) using metanitrobenzenesulfonic acid instead of sodium metanitrobenzenesulfonate which is the component of -7) was prepared.

【0124】 剥離液(試料15)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 15) 70% methanesulfonic acid 150 mL / L metanitrobenzenesulfonic acid 50 g / L Sodium chloride 30 g / L (chlorine concentration = 0.51 mol / L) Benzotriazole … 4g / L ・ Ion-exchanged water… balance

【0125】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料15)を使用し、浴温度4
0℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は5.
71μm/分で充分に大きく、かつ、42材の溶解速度
は0.01μm/分以下であり良好であった。また、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色
やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 15), bath temperature 4
A processing bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared at 0 ° C., and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the tin-bismuth alloy layer peeling speed was 5.
71 μm / min was sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0126】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た。その結果、剥離後の再めっきで形成したスズ−ビス
マス合金層の外観はノジュールがみられず良好であり、
熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異
常がみとめられず良好であった。上記の結果より、メタ
ニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述のメタ
ニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥離液
と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認され
た。
Next, after peeling the tin-bismuth alloy layer,
Under the same conditions as above, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed, and further subjected to a heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. As a result, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by replating after peeling was good without nodules,
The appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormality such as blisters. From the above results, it was confirmed that even when metanitrobenzenesulfonic acid was used, a stripper having the same performance as the stripper using sodium metanitrobenzenesulfonate described above was obtained.

【0127】[実施例16]実施例11の剥離液(試料
11−3)の成分であるベンゾトリアゾールの代わり
に、イミダゾールを使用した下記組成の剥離液(試料1
6)を調製した。
Example 16 A stripper having the following composition (sample 1) was prepared by using imidazole instead of benzotriazole as a component of the stripper (sample 11-3) of Example 11.
6) was prepared.

【0128】 剥離液(試料16)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・イミダゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 16): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L sodium chloride: 30 g / L (chlorine concentration = 0.51 mol / L) imidazole … 4g / L ・ Ion-exchanged water… balance

【0129】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−ビスマス合金層を形成して被剥離試料を準
備した。上記の剥離液(試料16)を使用し、浴温度4
0℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処
理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ
−ビスマス合金層の剥離を行った。この剥離処理におけ
るスズ−ビスマス合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−ビスマス合金層剥離後の42材の外観を測定、評価
した。その結果、スズ−ビスマス合金層剥離速度は5.
71μm/分で充分に大きく、42材の溶解速度は0.
01μm/分以下であり良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマ
ット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-bismuth alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 16), bath temperature 4
A processing bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared at 0 ° C., and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the tin-bismuth alloy layer peeling speed was 5.
71 μm / min is sufficiently large, and the dissolution rate of 42 materials is 0.1 μm.
It was good because it was 01 μm / min or less. Further, the surface state of the 42 material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0130】次いで、スズ−ビスマス合金層の剥離後、
上記と同様の条件で厚み10μmのスズ−ビスマス合金
層を形成し、更に170℃、15時間の熱処理を施し
た。剥離後の再めっきで形成したスズ−ビスマス合金層
の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理後の
スズ−ビスマス合金層の外観はフクレ等の異常がみとめ
られず良好であった。上記の結果より、イミダゾールを
用いた場合も、上述のベンゾトリアゾールを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。
Next, after peeling the tin-bismuth alloy layer,
Under the same conditions as above, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed, and further subjected to a heat treatment at 170 ° C. for 15 hours. The appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results, it was confirmed that even when imidazole was used, a stripper having the same performance as the stripper using benzotriazole was obtained.

【0131】[実施例17]まず、実施例8の剥離液
(試料8−4)と同じ下記組成の剥離液(試料17)を
調製した。
Example 17 First, a stripping solution (Sample 17) having the same composition as the stripping solution of Example 8 (Sample 8-4) was prepared.

【0132】 剥離液(試料17)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 150mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・塩化ナトリウム … 30g/L (塩素濃度=0.51mol/L) ・ベンゾトリアゾール … 4g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripper (sample 17) 70% methanesulfonic acid 150 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate 50 g / L sodium chloride 30 g / L (chlorine concentration = 0.51 mol / L) Benzo Triazole 4g / L ・ Ion-exchanged water… balance

【0133】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材、日本金属工業(株)製のSUS3
16、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み10μmのスズ−ビスマス合金層を形成して
被剥離試料を準備した。次いで、上記の剥離液(試料1
7)を使用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2
L、液量500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の各
被剥離試料を浸漬してスズ−ビスマス合金層の剥離を行
った。この剥離処理におけるスズ−ビスマス合金層剥離
速度、素材溶解速度、スズ−ビスマス合金層剥離後の素
材の外観を測定、評価して下記の表9に示した。また、
スズ−ビスマス合金層の剥離後、上記と同様の条件で厚
み10μmのスズ−ビスマス合金層を形成し、このスズ
−ビスマス銅合金層の外観、および、更に170℃、1
5時間の熱処理を施した後のスズ−ビスマス合金層の外
観を評価して下記の表9に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. and SUS3 manufactured by Nippon Metal Industry Co., Ltd.
16, a nickel material and an iron material were prepared, and a 10 μm-thick tin-bismuth alloy layer was formed on these materials to prepare a sample to be peeled. Next, the above-mentioned stripping solution (sample 1
7) using a bath temperature of 40 ° C. and a bath load of 0.5 dm 2 /
L, a treatment bath having a liquid volume of 500 mL was prepared, and each of the samples to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-bismuth alloy layer. The peeling rate of the tin-bismuth alloy layer, the material dissolution rate, and the appearance of the material after peeling the tin-bismuth alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. Also,
After peeling off the tin-bismuth alloy layer, a tin-bismuth alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as above, and the appearance of the tin-bismuth copper alloy layer was further reduced to 170 ° C.
The appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment for 5 hours was evaluated and the results are shown in Table 9 below.

【0134】[0134]

【表9】 [Table 9]

【0135】表9に示されるように、本発明の剥離液
(試料17)は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合
金である被剥離試料に対しては、スズ−ビスマス合金層
剥離速度が2.85μm/分以上と大きく、かつ、素材
の溶解速度も十分小さく良好であった。また、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の素材の表面状態は、変色やスマッ
ト発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成し
たスズ−ビスマス合金層の外観はノジュールがみられず
良好であり、熱処理後のスズ−ビスマス合金層の外観は
フクレ等の異常がみとめられず良好であった。尚、素材
がSUS316である被剥離試料においては、スズ−ビ
スマス合金層剥離後の表面状態に若干の表面粗れがみら
れるが、剥離後の再めっき、および、熱処理においても
何ら問題がなく、実用レベルと判断される。
As shown in Table 9, the stripping solution of the present invention (sample 17) has a tin-bismuth alloy layer peeling rate of 2.85 μm with respect to the sample to be stripped whose material is nickel or an iron-nickel alloy. / Min or more, and the dissolution rate of the material was sufficiently small and good. The surface condition of the material after peeling the tin-bismuth alloy layer was good without discoloration or smut generation. Further, the appearance of the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-bismuth alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. In the sample to be peeled whose material is SUS316, although the surface state after peeling off the tin-bismuth alloy layer shows some surface roughness, there is no problem in re-plating after peeling and heat treatment. It is judged to be a practical level.

【0136】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が2.91μm/分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきを行って形成したス
ズ−ビスマス合金層にはノジュールがみられ、さらに、
熱処理を施すことによりスズ−ビスマス合金層にフクレ
が生じた。
However, the dissolution rate of the iron material was as large as 2.91 μm / min with respect to the sample to be peeled made of the iron material.
Nodules are found in the tin-bismuth alloy layer formed by re-plating after peeling, resulting in surface roughness.
The heat treatment caused blisters in the tin-bismuth alloy layer.

【0137】[実施例18]アルカンスルホン酸として
70%メタンスルホン酸を使用し、また、メタニトロベ
ンゼンスルホン酸ナトリウム、チオ尿素、67.5%硝
酸を使用して、70%メタンスルホン酸の濃度を下記表
10のように種々設定した下記組成の12種の水溶液を
調製して剥離液(試料18−1〜18−12)を得た。
[Example 18] 70% methanesulfonic acid was used as alkanesulfonic acid, and sodium metanitrobenzenesulfonate, thiourea and 67.5% nitric acid were used to reduce the concentration of 70% methanesulfonic acid. Twelve kinds of aqueous solutions having the following compositions which were variously set as shown in Table 10 below were prepared to obtain stripping solutions (samples 18-1 to 18-12).

【0138】 剥離液(試料18−1〜18−12)の組成 ・70%メタンスルホン酸 …表10に示す濃度 ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 18-1 to 18-12) 70% methanesulfonic acid: concentration shown in Table 10 sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L thiourea: 30 g / L 67.5 % Nitric acid… 20mL / L ・ Ion exchange water… The rest

【0139】また、比較として、実施例1と同様の組成
である2種の剥離液(試料A、B)を調製した。次に、
鉄ニッケル合金として、住友特殊金属(株)製の42材
を使用し、この42材上に厚み10μmのスズ−銀合金
層を形成して被剥離試料を準備した。
As a comparison, two kinds of stripping solutions (samples A and B) having the same composition as in Example 1 were prepared. next,
As the iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used, and a 10 μm-thick tin-silver alloy layer was formed on the 42 materials to prepare a sample to be peeled.

【0140】上記の剥離液(試料18−1〜18−1
2)を使用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2
L、液量500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被
剥離試料を浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。ま
た、上記の剥離液(試料A、B)を使用し、浴温度40
℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。これらの剥離処理におけるス
ズ−銀合金層の剥離速度、42材溶解速度、スズ−銀合
金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下記の表1
に示した。
The above stripper (samples 18-1 to 18-1)
Using 2), bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2 /
L, a processing bath having a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-silver alloy layer. Further, using the above-mentioned stripping solution (samples A and B), and using a bath temperature of 40
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath.
The silver alloy layer was peeled off. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer were measured and evaluated in these peeling treatments, and the results are shown in Table 1 below.
It was shown to.

【0141】また、スズ−銀合金層の剥離後、42材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み10μmのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合
金層の外観、および、更に170℃、15時間の熱処理
を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下記の表
10に示した。
After the tin-silver alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. The appearance and the appearance of the tin-silver alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 10 below.

【0142】[0142]

【表10】 [Table 10]

【0143】表10に示されるように、メタンスルホン
酸が35〜350mL/Lの範囲(70%メタンスルホ
ン酸として50〜500mL/Lの範囲)内にある本発
明の剥離液(試料18−2〜18−11)は、いずれ
も、スズ−銀合金層剥離速度が1μm/分を超えるにも
かかわらず、42材の溶解速度は0.01μm/分以下
であり良好であった。特に、メタンスルホン酸が70〜
350mL/Lの範囲(70%メタンスルホン酸として
100〜500mL/Lの範囲)内にある本発明の剥離
液(試料18−3〜18−11)は、スズ−銀合金層剥
離速度が4μm/分を超える高いものであった。また、
スズ−銀合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やス
マット発生がなく良好であった。さらに、再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。
As shown in Table 10, the stripping solution of the present invention (sample 18-2) containing methanesulfonic acid in the range of 35 to 350 mL / L (50 to 500 mL / L as 70% methanesulfonic acid). In any of Examples Nos. To 18-11), the dissolution rate of the 42 material was 0.01 μm / min or less, which was good, though the tin-silver alloy layer peeling rate exceeded 1 μm / min. In particular, methanesulfonic acid is 70-
The stripping solution of the present invention (samples 18-3 to 18-11) in the range of 350 mL / L (the range of 100 to 500 mL / L as 70% methanesulfonic acid) has a tin-silver alloy layer peeling rate of 4 μm / It was expensive for more than a minute. Also,
The surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or occurrence of smut. Furthermore, the appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0144】これに対して、メタンスルホン酸の含有量
が35mL/L(70%メタンスルホン酸として50m
L/L)に満たない剥離液(試料18−1)では、スズ
−銀合金層の剥離速度が1μm/分以下であった。ま
た、メタンスルホン酸の含有量が本発明の範囲を超える
剥離液(試料18−12)では、建浴時に浴分解を起こ
し、建浴が不可能であった。
On the other hand, the content of methanesulfonic acid was 35 mL / L (50% as 70% methanesulfonic acid).
(L / L), the stripping rate of the tin-silver alloy layer was 1 μm / min or less in the stripping solution (sample 18-1). Moreover, in the case of the stripping solution (sample 18-12) in which the content of methanesulfonic acid exceeds the range of the present invention, bath decomposition occurred during bathing, and building bath was impossible.

【0145】一方、従来の剥離液である試料Aは、スズ
−銀合金層を剥離することができず、42材の溶解速度
も0.04μm/分と大きいものであった。また、従来
の剥離液である試料Bでは、スズ−銀合金層剥離速度が
大きいものの、スズ−銀合金層剥離時の42材の溶解速
度は、過剰反応により測定が不可能なまで大きいもので
あった。また、剥離後の42材の表面状態は荒れた状態
であり、再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観は悪
いものであった。
On the other hand, in the sample A which is a conventional stripping solution, the tin-silver alloy layer could not be stripped, and the dissolution rate of the 42 material was as large as 0.04 μm / min. Also, in Sample B, which is a conventional stripping solution, although the tin-silver alloy layer stripping rate is high, the dissolution rate of the 42 material at the time of stripping the tin-silver alloy layer is so large that it cannot be measured due to excessive reaction. there were. The surface state of the 42 material after peeling was rough, and the appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating was poor.

【0146】[実施例19]アルカンスルホン酸として
の70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、67.5%硝酸を使用し
て、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムの濃度を
下記の表11のように種々設定した下記組成の13種の
水溶液を調製して剥離液(試料19−1〜19−13)
を得た。
Example 19 Using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, thiourea and 67.5% nitric acid, the concentration of sodium metanitrobenzenesulfonate was determined in the following table. Preparation of 13 types of aqueous solutions having the following compositions variously set as in Example 11 and stripping solutions (Samples 19-1 to 19-13)
I got

【0147】 剥離液(試料19−1〜19−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 200mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム …表11に示す濃度 ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 19-1 to 19-13): 70% methanesulfonic acid: 200 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate : concentration shown in Table 11; thiourea: 30 g / L; 67.5 % Nitric acid… 20mL / L ・ Ion exchange water… The rest

【0148】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料19−1〜19−13)を使用
し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量5
00mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下
記の表11に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. Using the above-mentioned stripping solution (samples 19-1 to 19-13), bath temperature 40 ° C., bath load 0.5 dm 2 / L, liquid volume 5
A treatment bath of 00 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-silver alloy layer. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated, and are shown in Table 11 below.

【0149】また、スズ−銀合金層の剥離後、42材に
アルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚
み10μmのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合
金層の外観、および、更に170℃、15時間の熱処理
を施した後の外観を評価して下記の表11に示した。
Further, after the tin-silver alloy layer was peeled off, the 42 material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. The appearance and the appearance after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 11 below.

【0150】[0150]

【表11】 [Table 11]

【0151】表11に示されるように、メタニトロベン
ゼンスルホン酸ナトリウムを5〜250g/Lの範囲内
で含有する本発明の剥離液(試料19−2〜19−1
2)は、いずれも、スズ−銀合金層剥離速度が3μm/
分を超えるものであった。このようにスズ−銀合金層剥
離速度が高いにもかかわらず、42材の溶解速度は0.
01μm/分以下であり良好であった。また、スズ−銀
合金層剥離後の42材の表面状態は、変色やスマット発
生がなく良好であった。さらに、再めっきで形成したス
ズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良好であ
り、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等の異常
がみとめられず良好であった。
As shown in Table 11, the stripping solution of the present invention containing sodium metanitrobenzenesulfonate in the range of 5 to 250 g / L (samples 19-2 to 19-1)
2) In all cases, the tin-silver alloy layer peeling speed was 3 μm /
Over a minute. In spite of the high peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 material was 0.1 mm.
It was good because it was 01 μm / min or less. Further, the surface state of the 42 materials after peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or smut generation. Furthermore, the appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0152】これに対して、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムの含有量が5g/L未満である剥離液
(試料19−1)では、スズ−銀合金層の剥離速度が1
μm/分以下であった。また、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウムの含有量が250g/Lを超える剥離
液(試料19−13)では、42材の表面にスズ−銀合
金層が残り、揺動しても除去できなかった。
On the other hand, in the stripping solution (sample 19-1) in which the content of sodium metanitrobenzenesulfonate is less than 5 g / L, the stripping speed of the tin-silver alloy layer is 1%.
μm / min or less. In the case of a stripper having a sodium metanitrobenzenesulfonate content of more than 250 g / L (samples 19 to 13), a tin-silver alloy layer remained on the surface of the 42 material and could not be removed even if it was swung.

【0153】[実施例20]アルカンスルホン酸として
の70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、67.5%硝酸を使用し
て、チオ尿素の濃度を下記表12に示すように種々設定
した下記組成の13種の水溶液を調製して剥離液(試料
20−1〜20−13)を得た。
[Example 20] Using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, thiourea and 67.5% nitric acid, the concentration of thiourea is shown in Table 12 below. , 13 types of aqueous solutions having the following compositions which were variously set were prepared to obtain stripping solutions (samples 20-1 to 20-13).

【0154】 剥離液(試料20−1〜20−13)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 …表12に示す濃度 ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (samples 20-1 to 20-13): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate : 50 g / L Thiourea: concentration shown in Table 12: 67.5 % Nitric acid… 20mL / L ・ Ion exchange water… The rest

【0155】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料20−1〜20−13)を使用
し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量5
00mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下
記の表12に示した。
Next, as the iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. A bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 5 using the above-mentioned stripping solution (samples 20-1 to 20-13)
A treatment bath of 00 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-silver alloy layer. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 material, and the appearance of the 42 material after the peeling of the tin-silver alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated, and are shown in Table 12 below.

【0156】また、スズ−銀合金層の剥離後に、42材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み10μmのスズ−銀合金層を形成し、このスズ
−銀合金層の外観、および、更に170℃、15時間の
熱処理を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下
記の表12に示した。
After the tin-silver alloy layer was peeled off, the 42 material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. The appearance of the layer and the appearance of the tin-silver alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 12 below.

【0157】[0157]

【表12】 [Table 12]

【0158】表12に示されるように、チオ尿素が20
g/L以上で溶解度範囲内で含有する本発明の剥離液
(試料20−6〜20−13)は、いずれも、スズ−銀
合金層剥離速度が7μm/分を超えるものであった。こ
のようにスズ−銀合金層剥離速度が高いにもかかわら
ず、42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の42材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。さ
らに、再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観はノジ
ュールがみられず良好であり、熱処理後のスズ−銀合金
層の外観はフクレ等の異常がみとめられず良好であっ
た。
As shown in Table 12, thiourea contained 20
Each of the stripping solutions of the present invention (samples 20-6 to 20-13) containing g / L or more in the solubility range had a tin-silver alloy layer stripping rate of more than 7 µm / min. Thus, despite the high peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 material was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 materials after peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or smut generation. Furthermore, the appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0159】これに対し、チオ尿素の含有量が5g/L
以下である剥離液(試料20−1〜20−3)では、ス
ズ−銀合金層の剥離速度が0.1μm/分以下であり、
スズ−銀合金層剥離後の42材表面にスマットが発生
し、実用に供し得ないものであった。また、チオ尿素を
10〜15g/L含有する剥離液(試料20−4、20
−5)は、スズ−銀合金層剥離速度が6μm/分程度で
あり、42材の溶解速度も0.01μm/分以下であり
良好であるが、スズ−銀合金層剥離後の42材表面にス
マットが発生し、共に実用に供し得ないものであった。
尚、スズ−銀合金層剥離は、チオ尿素の含有量が20g
/L以上で良好な結果が得られ、添加量を増加させても
剥離性能に更なる向上はみられなかった。
On the other hand, when the thiourea content was 5 g / L
In the following stripping solutions (samples 20-1 to 20-3), the stripping speed of the tin-silver alloy layer is 0.1 μm / min or less,
Smut was generated on the surface of the 42 material after the tin-silver alloy layer was peeled off, which was not practical. A stripper containing 10 to 15 g / L of thiourea (samples 20-4 and 20
-5) is good because the peeling speed of the tin-silver alloy layer is about 6 μm / min and the dissolution rate of the 42 material is 0.01 μm / min or less, but the surface of the 42 material after peeling the tin-silver alloy layer is good. And smut was generated, and both could not be put to practical use.
The tin-silver alloy layer was peeled off when the thiourea content was 20 g.
/ L or more gave good results, and no further improvement in peeling performance was observed even when the added amount was increased.

【0160】[実施例21]アルカンスルホン酸として
の70%メタンスルホン酸と、メタニトロベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、チオ尿素、67.5%硝酸を使用し
て、67.5%硝酸の濃度を下記表13に示すように種
々設定した下記組成の11種の水溶液を調製して剥離液
(試料21−1〜21−11)を得た。
Example 21 Using 70% methanesulfonic acid as alkanesulfonic acid, sodium metanitrobenzenesulfonate, thiourea and 67.5% nitric acid, the concentration of 67.5% nitric acid was determined as shown in Table 13 below. As shown in Table 3, 11 kinds of aqueous solutions having various compositions shown below were prepared to obtain stripping solutions (samples 21-1 to 21-11).

【0161】 剥離液(試料21−1〜21−11)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 …表13に示す濃度 ・イオン交換水 … 残部Composition of stripper (samples 21-1 to 21-11): 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L thiourea: 30 g / L 67.5% nitric acid … Concentration shown in Table 13 ・ Ion-exchanged water… Remainder

【0162】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料21−1〜21−11)を使用
し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量5
00mLの処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を
浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理
におけるスズ−銀合金層剥離速度、42材溶解速度、ス
ズ−銀合金層剥離後の42材の外観を測定、評価して下
記の表13に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. Using the above-mentioned stripping solution (samples 21-1 to 21-11), bath temperature 40 ° C, bath load 0.5 dm 2 / L, liquid volume 5
A treatment bath of 00 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-silver alloy layer. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated, and are shown in Table 13 below.

【0163】また、スズ−銀合金層の剥離後に、42材
に対してアルカリ電解脱脂を施した後、上記と同様の条
件で厚み10μmのスズ−銀合金層を形成し、このスズ
−銀合金層の外観、および、更に170℃、15時間の
熱処理を施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下
記の表13に示した。
After the tin-silver alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. The appearance of the layer and the appearance of the tin-silver alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours were evaluated and are shown in Table 13 below.

【0164】[0164]

【表13】 [Table 13]

【0165】表13に示されるように、硝酸が0.68
〜40.5mL/Lの範囲内(67.5%硝酸として1
〜60mL/Lの範囲)で含有する本発明の剥離液(試
料21−2〜21−10)は、いずれも、スズ−銀合金
層剥離速度が4μm/分を超えるものであった。このよ
うにスズ−銀合金層剥離速度が高いにもかかわらず、4
2材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良好であ
った。また、スズ−銀合金層剥離後の42材の表面状態
は、変色やスマット発生がなく良好であった。さらに、
再めっきで形成したスズ−銀合金層の外観はノジュール
がみられず良好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外
観はフクレ等の異常がみとめられず良好であった。
As shown in Table 13, the nitric acid content was 0.68.
440.5 mL / L (1 as 67.5% nitric acid)
(In the range of 6060 mL / L) of the present invention (samples 21-2 to 21-10) all had a tin-silver alloy layer peeling rate of more than 4 μm / min. In spite of the high peeling rate of the tin-silver alloy layer, 4
The dissolution rate of the two materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 materials after peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or smut generation. further,
The appearance of the tin-silver alloy layer formed by the re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters.

【0166】これに対し、硝酸含有量が0.68mL/
L未満(67.5%硝酸として1mL/L未満)である
剥離液(試料21−1)では、スズ−銀合金層の剥離速
度が0.1μm/分以下であり、スズ−銀合金層剥離後
の42材表面にスマットが発生し、実用に供し得ないも
のであった。また、硝酸含有量が40.5mL/L(6
7.5%硝酸として60mL/L)を超える剥離液(試
料21−11)は、スズ−銀合金層剥離速度が13μm
/分程度であるが、42材の溶解速度が0.01μm/
分を超え、かつ、スズ−銀合金層剥離後の42材表面に
スマットが発生し、実用に供し得ないものであった。
On the other hand, the nitric acid content was 0.68 mL /
In the stripping solution (sample 21-1) having a tin-silver alloy layer separation rate of less than 0.1 L / min (less than 1 mL / L as 67.5% nitric acid), the tin-silver alloy layer separation rate was 0.1 μm / min or less. Smut was generated on the surface of the later 42 materials, which was not practical. The nitric acid content was 40.5 mL / L (6
The stripping liquid (sample 21-11) exceeding 7.5 mL of 7.5% nitric acid has a tin-silver alloy layer peeling rate of 13 μm.
/ Min, but the dissolution rate of 42 materials is 0.01 μm /
Min, and smut was generated on the surface of the 42 material after the tin-silver alloy layer was peeled off, which was not practical.

【0167】[実施例22]実施例18の剥離液(試料
18−5)の成分である70%メタンスルホン酸の代わ
りに、エタンスルホン酸を使用した下記組成の剥離液
(試料22)を調製した。
Example 22 A stripper (sample 22) having the following composition was prepared using ethanesulfonic acid instead of 70% methanesulfonic acid, which is a component of the stripper (sample 18-5) of Example 18. did.

【0168】 剥離液(試料22)の組成 ・エタンスルホン酸 … 200mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 22): ethanesulfonic acid: 200 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L thiourea: 30 g / L 67.5% nitric acid: 20 mL / L ion-exchanged water … The rest

【0169】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料22)を使用し、浴温度40
℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銀合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銀合金層剥
離後の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銀合金層剥離速度は7.06μm/分で充分に大き
く、42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の42材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. Using the above stripper (sample 22), bath temperature 40
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath.
The silver alloy layer was peeled off. Tin in this stripping process
The peeling speed of the silver alloy layer, the dissolution speed of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer were measured and evaluated. As a result, the peeling rate of the tin-silver alloy layer was sufficiently high at 7.06 μm / min, and the dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 materials after peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0170】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銀合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
アルカンスルホン酸として、エタンスルホン酸を用いた
場合も、上述のメタンスルホン酸を使用した剥離液と同
様の性能をもつ剥離液が得られることが確認された。
Next, after the tin-silver alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results,
It was confirmed that, even when ethanesulfonic acid was used as the alkanesulfonic acid, a stripper having the same performance as that of the above-mentioned stripper using methanesulfonic acid was obtained.

【0171】[実施例23]実施例19の剥離液(試料
19−7)の成分であるメタニトロベンゼンスルホン酸
ナトリウムの代わりに、メタニトロベンゼンスルホン酸
を使用した下記組成の剥離液(試料23)を調製した。
Example 23 A stripper having the following composition (sample 23) using metanitrobenzenesulfonic acid instead of sodium metanitrobenzenesulfonate as a component of the stripper (sample 19-7) of Example 19 was used. Prepared.

【0172】 剥離液(試料23)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 200mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸 … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (Sample 23) 70% methanesulfonic acid: 200 mL / L Metanitrobenzenesulfonic acid: 50 g / L Thiourea: 30 g / L 67.5% nitric acid: 20 mL / L Ion exchange Water… the rest

【0173】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料23)を使用し、浴温度40
℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銀合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銀合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銀合金層剥
離後の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銀合金層剥離速度は7.06μm/分で充分に大き
く、42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良
好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の42材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. Using the above stripper (sample 23), bath temperature 40
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath.
The silver alloy layer was peeled off. Tin in this stripping process
The peeling speed of the silver alloy layer, the dissolution speed of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer were measured and evaluated. As a result, the peeling rate of the tin-silver alloy layer was sufficiently high at 7.06 μm / min, and the dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Further, the surface state of the 42 materials after peeling of the tin-silver alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0174】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銀合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
メタニトロベンゼンスルホン酸を用いた場合も、上述の
メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを使用した剥
離液と同様の性能をもつ剥離液が得られることが確認さ
れた。
Next, after the tin-silver alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results,
It was confirmed that even when using metanitrobenzenesulfonic acid, a stripper having the same performance as the stripper using sodium metanitrobenzenesulfonate described above was obtained.

【0175】[実施例24]実施例20の剥離液(試料
20−7)の成分であるチオ尿素の代わりに、ジメチル
チオ尿素を使用した下記組成の剥離液(試料24)を調
製した。
[Example 24] A stripper (sample 24) having the following composition was prepared using dimethylthiourea instead of thiourea as a component of the stripper (sample 20-7) of Example 20.

【0176】 剥離液(試料24)の組成 ・70%メタンスルホン酸 …220mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・ジメチルチオ尿素 … 30g/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 24) 70% methanesulfonic acid: 220 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L Dimethylthiourea: 30 g / L Ion-exchanged water: balance

【0177】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。次いで、上記の剥離液(試料24)を使用し、浴温
度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mL
の処理浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬して
スズ−銀合金層の剥離を行った。この剥離処理における
スズ−銀合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銀合
金層剥離後の42材の外観を測定、評価した。その結
果、スズ−銀合金層剥離速度は7.06μm/分で充分
に大きく、42材の溶解速度は0.01μm/分以下で
あり良好であった。また、スズ−銀合金層剥離後の42
材の表面状態は、変色やスマット発生がなく良好であっ
た。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-silver alloy layer of μm. Next, using the stripping solution (sample 24), a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL
Was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath to peel off the tin-silver alloy layer. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the 42 materials, and the appearance of the 42 materials after the peeling of the tin-silver alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated. As a result, the peeling rate of the tin-silver alloy layer was sufficiently high at 7.06 μm / min, and the dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Also, 42 after peeling off the tin-silver alloy layer.
The surface condition of the material was good without discoloration or smut occurrence.

【0178】次いで、スズ−銀合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銀合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銀合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
ジメチルチオ尿素を用いた場合も、上述のチオ尿素を使
用した剥離液と同様の性能をもつ剥離液が得られること
が確認された。
Next, after the tin-silver alloy layer was peeled off, 42 materials were subjected to alkaline electrolytic degreasing, and a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. From the above results,
It was confirmed that a stripper having the same performance as the stripper using thiourea was obtained when dimethylthiourea was used.

【0179】[実施例25]まず、実施例18の剥離液
(試料18−5)と同じ下記組成の剥離液(試料25)
を調製した。
[Example 25] First, a stripping solution (sample 25) having the same composition as the stripping solution of Example 18 (sample 18-5) and having the following composition:
Was prepared.

【0180】 剥離液(試料25)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 200mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 25): 70% methanesulfonic acid: 200 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate: 50 g / L thiourea: 30 g / L 67.5% nitric acid: 20 mL / L Exchange water… balance

【0181】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材、日本金属工業(株)製のSUS3
16、および、ニッケル材、鉄材を準備し、これらの素
材上に厚み10μmのスズ−銀合金層を形成して被剥離
試料を準備した。次いで、上記の剥離液(試料25)を
使用し、浴温度40℃、浴負荷量0.5dm2/L、液
量500mLの処理浴を作成し、浴中に上記の各被剥離
試料を浸漬してスズ−銀合金層の剥離を行った。この剥
離処理におけるスズ−銀合金層剥離速度、素材溶解速
度、スズ−銀合金層剥離後の素材の外観を測定、評価し
て下記の表14に示した。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. and SUS3 manufactured by Nippon Metal Industry Co., Ltd.
16, a nickel material and an iron material were prepared, and a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed on these materials to prepare a sample to be peeled. Next, a processing bath having a bath temperature of 40 ° C., a bath load of 0.5 dm 2 / L, and a liquid volume of 500 mL was prepared using the above-mentioned stripping solution (sample 25), and each sample to be stripped was immersed in the bath. Then, the tin-silver alloy layer was peeled off. The peeling rate of the tin-silver alloy layer, the dissolution rate of the material, and the appearance of the material after peeling the tin-silver alloy layer in this peeling treatment were measured and evaluated.

【0182】また、スズ−銀合金層の剥離後、素材にア
ルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で厚み
10μmのスズ−銀合金層を形成し、このスズ−銀合金
層の外観、および、更に170℃、15時間の熱処理を
施した後のスズ−銀合金層の外観を評価して下記の表1
4に示した。
After peeling off the tin-silver alloy layer, the material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a tin-silver alloy layer having a thickness of 10 μm was formed under the same conditions as described above. , And the appearance of the tin-silver alloy layer after further heat treatment at 170 ° C. for 15 hours was evaluated.
The results are shown in FIG.

【0183】[0183]

【表14】 [Table 14]

【0184】表14に示されるように、本発明の剥離液
(試料25)は、素材がニッケルあるいは鉄ニッケル合
金である被剥離試料に対しては、スズ−銀合金層剥離速
度が3.53μm/分以上と大きく、かつ、素材の溶解
速度も十分小さく良好であった。また、スズ−銀合金層
剥離後の素材の表面状態は、変色やスマット発生がなく
良好であった。さらに、再めっきで形成したスズ−銀合
金層の外観はノジュールがみられず良好であり、熱処理
後のスズ−銀合金層の外観はフクレ等の異常がみとめら
れず良好であった。尚、素材がSUS316である被剥
離試料においては、スズ−銀合金層剥離後の表面状態に
若干の表面粗れがみられるが、剥離後の再めっき、およ
び、熱処理においても何ら問題がなく、実用レベルと判
断される。
As shown in Table 14, the stripping solution of the present invention (sample 25) has a tin-silver alloy layer peeling rate of 3.53 μm with respect to the sample to be stripped whose material is nickel or an iron-nickel alloy. / Min or more, and the dissolution rate of the material was sufficiently small and good. The surface state of the material after peeling the tin-silver alloy layer was good without discoloration or occurrence of smut. Furthermore, the appearance of the tin-silver alloy layer formed by re-plating was good without nodules, and the appearance of the tin-silver alloy layer after the heat treatment was good without any abnormalities such as blisters. In the sample to be peeled whose material is SUS316, the surface state after peeling the tin-silver alloy layer shows some surface roughness, but there is no problem in replating after peeling and heat treatment. It is judged to be a practical level.

【0185】しかし、素材が鉄材である被剥離試料に対
しては、鉄材の溶解速度が2.91μm/分と大きく、
表面粗れを生じ、剥離後に再めっきで形成したスズ−銀
合金層にはノジュールがみられ、さらに、熱処理を施す
ことによりスズ−銀合金層にフクレが生じた。
However, the dissolution rate of the iron material was as large as 2.91 μm / min with respect to the sample to be peeled made of the iron material.
Nodules were observed in the tin-silver alloy layer formed by re-plating after peeling, and the heat treatment gave blisters in the tin-silver alloy layer.

【0186】[実施例26]まず、実施例18の剥離液
(試料18−6)と同じ下記組成の剥離液(試料26)
を調製した。
[Example 26] First, a stripper (sample 26) having the same composition as the stripper of Example 18 (sample 18-6) and having the following composition:
Was prepared.

【0187】 剥離液(試料26)の組成 ・70%メタンスルホン酸 … 250mL/L ・メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム … 50g/L ・チオ尿素 … 30g/L ・67.5%硝酸 … 20mL/L ・イオン交換水 … 残部Composition of stripping solution (sample 26) 70% methanesulfonic acid 250 mL / L sodium metanitrobenzenesulfonate 50 g / L thiourea 30 g / L 67.5% nitric acid 20 mL / L Exchange water… balance

【0188】次に、鉄ニッケル合金として、住友特殊金
属(株)製の42材を使用し、この42材上に厚み10
μmのスズ−銅合金層を形成して被剥離試料を準備し
た。上記の剥離液(試料26)を使用し、浴温度40
℃、浴負荷量0.5dm2/L、液量500mLの処理
浴を作成し、浴中に上記の被剥離試料を浸漬してスズ−
銅合金層の剥離を行った。この剥離処理におけるスズ−
銅合金層剥離速度、42材溶解速度、スズ−銅合金層剥
離後の42材の外観を測定、評価した。その結果、スズ
−銅合金層剥離速度は4.00μm/分で充分に大き
く、42材の溶解速度は0.01μm/分以下であり良
好であった。また、スズ−銅合金層剥離後の42材の表
面状態は、変色やスマット発生がなく良好であった。
Next, as an iron-nickel alloy, 42 materials manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. were used.
A sample to be peeled was prepared by forming a tin-copper alloy layer having a thickness of μm. Using the above stripper (sample 26), bath temperature 40
A treatment bath having a bath load of 0.5 dm 2 / L and a liquid volume of 500 mL was prepared, and the sample to be peeled was immersed in the bath.
The copper alloy layer was peeled off. Tin in this stripping process
The copper alloy layer peeling speed, the 42 material dissolution speed, and the appearance of the 42 materials after the tin-copper alloy layer peeling were measured and evaluated. As a result, the peeling rate of the tin-copper alloy layer was sufficiently high at 4.00 μm / min, and the dissolution rate of the 42 materials was 0.01 μm / min or less, which was good. Moreover, the surface state of the 42 materials after the peeling of the tin-copper alloy layer was good without discoloration or smut generation.

【0189】次いで、スズ−銅合金層の剥離後、42材
にアルカリ電解脱脂を施した後に、上記と同様の条件で
厚み10μmのスズ−銅合金層を形成し、更に170
℃、15時間の熱処理を施した。剥離後の再めっきで形
成したスズ−銅合金層の外観はノジュールがみられず良
好であり、熱処理後のスズ−銅合金層の外観はフクレ等
の異常がみとめられず良好であった。上記の結果より、
スズ−銀合金層と同様に、スズ−銅合金層に対しても優
れた剥離性能を有することが確認された。
Next, after the tin-copper alloy layer was peeled off, the 42 material was subjected to alkaline electrolytic degreasing, and then a 10 μm-thick tin-copper alloy layer was formed under the same conditions as described above.
Heat treatment was performed at 150C for 15 hours. The appearance of the tin-copper alloy layer formed by replating after peeling was good without nodules, and the appearance of the tin-copper alloy layer after heat treatment was good without any abnormality such as blisters. From the above results,
As in the case of the tin-silver alloy layer, it was confirmed that the tin-copper alloy layer also had excellent peeling performance.

【0190】[0190]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上に設けられた無鉛スズ
合金層やその下に存在するニッケル(鉄ニッケル合金)
−スズ合金層を確実に剥離することができ、かつ、この
剥離においてニッケルあるいは鉄ニッケル合金の溶解を
極めて低く(例えば、0.01μm/分以下)抑えるこ
とができ、さらに、剥離後のニッケルや鉄ニッケル合金
の表面が平坦なものとなり、再度、無鉛スズ合金をめっ
きしても、ニッケルあるいは鉄ニッケル合金との密着性
が良好であり、熱処理を施しても良好な密着状態が維持
されるという効果が奏される。
As described above in detail, according to the present invention, a lead-free tin alloy layer provided on nickel or an iron-nickel alloy or nickel (iron-nickel alloy) existing thereunder
The tin alloy layer can be reliably peeled off, and the dissolution of nickel or iron-nickel alloy can be extremely low (for example, 0.01 μm / min or less) in this peeling; The surface of the iron-nickel alloy becomes flat, and even if the lead-free tin alloy is plated again, the adhesion with nickel or the iron-nickel alloy is good, and a good adhesion state is maintained even after heat treatment. The effect is achieved.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 幹夫 埼玉県大宮市吉野町2丁目3番1号 メル テックス株式会社研究部内 Fターム(参考) 4K057 WA04 WB01 WB15 WE11 WE17 WG03 WM03  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Mikio Shimada 2-3-1 Yoshino-cho, Omiya-shi, Saitama F-term in the Research Department, Meltex Co., Ltd. 4K057 WA04 WB01 WB15 WE11 WE17 WG03 WM03

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 無鉛スズ合金であるスズ−銅合金剥離用
の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を35〜420mL/L
の範囲内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸
あるいはその塩を10〜300g/Lの範囲で含有し、
さらに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ
尿素からなる群のなかの1種以上を5g/L以上で溶解
度範囲内で含有することを特徴とするニッケルあるいは
鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。
1. A stripping solution for stripping a tin-copper alloy which is a lead-free tin alloy, wherein at least alkanesulfonic acid is 35 to 420 mL / L.
Containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in the range of 10 to 300 g / L,
Further, for removing lead-free tin alloys from nickel or iron-nickel alloys, containing at least one member selected from the group consisting of thioureas, alkylthioureas and aromatic thioureas in a solubility range of 5 g / L or more. Stripper.
【請求項2】 アルカンスルホン酸として、70%メタ
ンスルホン酸を50〜600mL/Lの範囲内で含有
し、メタニトロベンゼンスルホン酸ナトリウムを10〜
300g/Lの範囲で含有し、チオ尿素を5g/L以上
で溶解度範囲内で含有することを特徴とする請求項1に
記載のニッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合
金剥離用の剥離液。
2. An alkanesulfonic acid containing 70% methanesulfonic acid in the range of 50 to 600 mL / L and sodium metanitrobenzenesulfonate in an amount of 10 to 60 mL / L.
The stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on nickel or an iron-nickel alloy according to claim 1, wherein the stripping solution contains 300 g / L and thiourea in a solubility range of 5 g / L or more.
【請求項3】 無鉛スズ合金であるスズ−ビスマス合金
剥離用の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を35〜420mL/L
の範囲内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸
あるいはその塩を10〜250g/Lの範囲で含有し、
ハロゲンイオンを0.09mol/L以上で溶解度範囲
内で含有し、ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾー
ル、イミダゾールおよびその誘導体からなる群の中の1
種以上を2g/L以上で溶解度範囲内で含有することを
特徴とするニッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛ス
ズ合金剥離用の剥離液。
3. A stripper for stripping a tin-bismuth alloy which is a lead-free tin alloy, wherein at least alkanesulfonic acid is 35 to 420 mL / L.
Containing (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof in a range of 10 to 250 g / L,
One of the group consisting of benzotriazole, benzimidazole, imidazole and derivatives thereof containing a halogen ion in a solubility range of 0.09 mol / L or more;
A stripper for stripping lead-free tin alloys on nickel or iron-nickel alloys, comprising at least 2 g / L of seeds in a solubility range.
【請求項4】 70%メタンスルホン酸を50〜600
mL/Lの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムを10〜250g/Lの範囲で含有し、
塩素イオンを0.09mol/L以上で溶解度範囲内で
含有し、ベンゾトリアゾールを2g/L以上で溶解度範
囲内で含有することを特徴とする請求項3に記載のニッ
ケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の
剥離液。
4. The method according to claim 1, wherein 70% methanesulfonic acid is added in an amount of 50 to 600.
mL / L, sodium metanitrobenzenesulfonate in the range of 10-250 g / L,
4. A lead-free nickel or iron-nickel alloy according to claim 3, wherein chloride ions are contained in a solubility range of 0.09 mol / L or more and benzotriazole is contained in a solubility range of 2 g / L or more. Stripping solution for tin alloy stripping.
【請求項5】 ベンゾトリアゾールを2〜50g/Lの
範囲内で含有することを特徴とする請求項4に記載のニ
ッケルあるいは鉄ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用
の剥離液。
5. The stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on nickel or iron-nickel alloy according to claim 4, wherein benzotriazole is contained in the range of 2 to 50 g / L.
【請求項6】 無鉛スズ合金であるスズ−銀合金および
スズ−銅合金剥離用の剥離液において、 少なくともアルカンスルホン酸を35〜350mL/L
の範囲内で含有し、(メタ)ニトロベンゼンスルホン酸
あるいはその塩を5〜250g/Lの範囲で含有し、さ
らに、チオ尿素、アルキルチオ尿素および芳香族チオ尿
素からなる群のなかの1種以上を20g/L以上で溶解
度範囲内で含有し、硝酸を0.68〜40.5mL/L
の範囲で含有することを特徴とするニッケルあるいは鉄
ニッケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。
6. A stripper for stripping tin-silver alloy and tin-copper alloy which are lead-free tin alloys, wherein at least alkanesulfonic acid is 35 to 350 mL / L.
In the range of 5 to 250 g / L of (meth) nitrobenzenesulfonic acid or a salt thereof, and one or more of thiourea, alkylthiourea and aromatic thiourea. Contains at least 20 g / L in the solubility range, and contains 0.68 to 40.5 mL / L of nitric acid.
A stripper for stripping lead-free tin alloys on nickel or iron-nickel alloys, characterized in that it is contained in the range of
【請求項7】 70%メタンスルホン酸を50〜500
mL/Lの範囲内で含有し、メタニトロベンゼンスルホ
ン酸ナトリウムを5〜250g/Lの範囲で含有し、チ
オ尿素を20g/L以上で溶解度範囲内で含有し、6
7.5%硝酸を1〜60mL/Lの範囲で含有すること
を特徴とする請求項6に記載のニッケルあるいは鉄ニッ
ケル合金上の無鉛スズ合金剥離用の剥離液。
7. A 50% to 500% methanesulfonic acid.
mL / L, sodium metanitrobenzenesulfonate in a range of 5-250 g / L, thiourea in a solubility range of 20 g / L or more,
The stripping solution for stripping a lead-free tin alloy on nickel or an iron-nickel alloy according to claim 6, wherein the stripping solution contains 7.5% nitric acid in a range of 1 to 60 mL / L.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005095673A1 (en) * 2004-03-25 2005-10-13 Dr.-Ing. Max Schlötter Gmbh & Co. Kg Stripping solution and use thereof
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