JP2001334657A - Method for driving ink jet head - Google Patents

Method for driving ink jet head

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JP2001334657A
JP2001334657A JP2000156083A JP2000156083A JP2001334657A JP 2001334657 A JP2001334657 A JP 2001334657A JP 2000156083 A JP2000156083 A JP 2000156083A JP 2000156083 A JP2000156083 A JP 2000156083A JP 2001334657 A JP2001334657 A JP 2001334657A
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JP
Japan
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ink
channel
electrode
ink channel
voltage
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Withdrawn
Application number
JP2000156083A
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Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Isono
仁志 磯野
Yoshinori Nakajima
吉紀 中島
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10Finger type piezoelectric elements

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for driving an ink jet head improved to suppress variation in the ink drop ejection among ink channels. SOLUTION: Depending on the depth of electrode different from ink channel to ink channel, a drive voltage being applied to each channel is varied continuously or the drive waveform is varied continuously.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、インクジ
ェットヘッドの駆動方法に関するものであり、より特定
的には、インクチャンネル内に電極が設けられ、インク
チャンネル内に圧力振動を生じさせてインクを吐出させ
る方式のインクジェットヘッドの駆動方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention generally relates to a method for driving an ink jet head, and more particularly, to a method in which an electrode is provided in an ink channel, and pressure oscillation is generated in the ink channel to discharge ink. The present invention relates to a method of driving an ink jet head of a discharge type.

【0002】[0002]

【従来の技術】今日、インパクト印字装置に代わり、カ
ラー化、多階調化に適したインクジェット方式等のノン
インパクト印字装置が急速に普及している。中でも、印
字時のみに必要なインクを吐出させるドロップ・オン・
デマンド型が、印字効率の良さ、低コスト化、低ランニ
ングコスト化に有利であるなどの点から注目されてお
り、圧電素子を用いたカイザー方式や、サーマルジェッ
ト方式が主流となっている。
2. Description of the Related Art In recent years, non-impact printing apparatuses such as an ink jet system suitable for colorization and multi-gradation have rapidly spread in place of impact printing apparatuses. Above all, drop-on printing that discharges the necessary ink only during printing
The demand type is attracting attention because it is advantageous for high printing efficiency, low cost, and low running cost, and the Kaiser method using a piezoelectric element and the thermal jet method are mainly used.

【0003】しかしながら、カイザー方式は、小型化が
難しく、高密度化には適さないという欠点を有してい
た。また、サーマルジェット方式は高密度には適してい
るものの、ヒータを加熱することで、インク内にバブル
(泡)を生じさせて、そのバブルのエネルギを吐出に使
用するため、インクの耐久性に対する要求が厳しく、ま
た、ヒータの寿命を長くすることが困難であり、さら
に、消費電力も大きくなるという問題を有していた。
[0003] However, the Kaiser method has a drawback that it is difficult to reduce the size and is not suitable for high density. Although the thermal jet method is suitable for high density, heating the heater generates bubbles (bubbles) in the ink and uses the energy of the bubbles for ejection. Demands are severe, it is difficult to extend the life of the heater, and there is a problem that power consumption is also increased.

【0004】このような欠点を解決するものとし、圧電
材料の剪断モードを利用したインクジェット方式が提案
されている。この方式は圧電材料からなるインクチャン
ネル壁に形成した電極に電圧を印加することにより、圧
電材料の分極方向と直交する方向に電界を加え、チャン
ネル壁を剪断モードで変形させて、その際に生じる圧力
波変動を利用してインク滴を吐出させるものであり、ノ
ズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適し
ている。
In order to solve such a drawback, an ink jet system using a shear mode of a piezoelectric material has been proposed. In this method, an electric field is applied in a direction perpendicular to the polarization direction of the piezoelectric material by applying a voltage to an electrode formed on an ink channel wall made of a piezoelectric material, and the channel wall is deformed in a shear mode, which occurs at that time. Ink droplets are ejected using pressure wave fluctuation, and are suitable for increasing the density of nozzles, reducing power consumption, and increasing driving frequency.

【0005】このような、剪断モードを利用したインク
ジェットヘッドの構造を図12を用いて説明する。
[0005] The structure of the ink jet head utilizing the shear mode will be described with reference to FIG.

【0006】インクジェットヘッドは、図12の上下方
向に分極処理を施した圧電体に複数の溝4が形成された
ベース部材1と、インク供給口21と共通インク室22
が形成されたカバー部材2と、ノズル孔0が開けられた
ノズル板9を貼り合わせることで、インクチャンネル4
が形成されている。チャンネル壁3には、電界を印加す
るための電極5が上方半分に形成されている。
The ink jet head comprises a base member 1 in which a plurality of grooves 4 are formed in a piezoelectric body subjected to a vertical polarization process in FIG. 12, an ink supply port 21 and a common ink chamber 22.
The ink channel 4 is formed by bonding the cover member 2 on which the nozzle holes 9 are formed and the nozzle plate 9 on which the nozzle holes 0 are formed.
Are formed. An electrode 5 for applying an electric field is formed in the upper half of the channel wall 3.

【0007】インクチャンネルの後端部は、溝加工時に
使用されるダイシングブレードの直径に対応したR形状
に加工されており、6には外部との通電のための電極引
出部としての浅溝部が同じくダイシングブレードにより
加工されている。浅溝部6に形成された電極は、浅溝部
6の後端部でたとえばフレキシブル基板のような外部の
電極8と、ワイヤボンディング7により接続されてい
る。
The rear end of the ink channel is formed into an R shape corresponding to the diameter of a dicing blade used for forming a groove, and a shallow groove 6 is provided at 6 as an electrode lead-out portion for supplying electricity to the outside. It is also processed by a dicing blade. The electrode formed in the shallow groove 6 is connected to an external electrode 8 such as a flexible substrate at the rear end of the shallow groove 6 by wire bonding 7.

【0008】次に、図12に示したインクジェットヘッ
ドの製造方法について、図13を用いて説明する。
Next, a method of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 12 will be described with reference to FIG.

【0009】図13(a)に示すように、上下方向に分
極処理が施された圧電体12に、ダイシング加工が可能
なドライレジストフィルム11をラミネートする。
As shown in FIG. 13A, a dry resist film 11 that can be diced is laminated on a piezoelectric body 12 that has been subjected to a polarization process in the vertical direction.

【0010】次に、図13(b)に示すように、ダイシ
ングブレードにより、インクチャンネル4となる溝部と
浅溝部6を加工する。その後、電極となる金属がチャン
ネル壁3の上半分にだけ付着するように、入射方向を設
定して、図13(b)のA方向、B方向から斜方蒸着す
る。その後、ドライレジストフィルム11をリフトオフ
することで、図12に示すような、チャンネル壁3の上
半分と浅溝部6内に金属膜5が形成されたアクチュエー
タとしてのベース部材1を作製する。
Next, as shown in FIG. 13B, a groove serving as an ink channel 4 and a shallow groove 6 are processed by a dicing blade. Thereafter, the incident direction is set so that the metal serving as the electrode adheres only to the upper half of the channel wall 3, and oblique deposition is performed from the A direction and the B direction in FIG. 13B. Thereafter, by lifting off the dry resist film 11, the base member 1 as an actuator having the metal film 5 formed in the upper half of the channel wall 3 and the shallow groove 6 as shown in FIG.

【0011】カバー部材2は、機械加工あるいはサンド
ブラスト加工にて、インク供給口21と共通インク室2
2が設けられる。サンドブラスト加工を行なう場合は、
インク供給口21と共通インク室22以外をレジストフ
ィルムあるいはメタルマスクでマスキングした後に施せ
ばよい。
The cover member 2 is formed by machining or sandblasting with the ink supply port 21 and the common ink chamber 2.
2 are provided. When performing sandblasting,
It may be applied after masking the portions other than the ink supply port 21 and the common ink chamber 22 with a resist film or a metal mask.

【0012】ノズル板9は、高分子材料の場合は、エキ
シマレーザ加工にて、所定の大きさのノズル孔が孔開け
加工されるが、パンチング加工等で、金属材料にノズル
孔を設けてもよい。このようにして作製されたベース部
材1とカバー部材2とノズル板9は、それぞれ、所望の
位置に接着剤により貼り合わされる。
When the nozzle plate 9 is made of a polymer material, a nozzle hole of a predetermined size is formed by excimer laser processing. However, even if a metal material is provided with the nozzle hole by punching or the like. Good. The base member 1, the cover member 2, and the nozzle plate 9 manufactured as described above are respectively bonded to desired positions with an adhesive.

【0013】このようにして作製されたインクジェット
ヘッドは、インク供給口21が、図示しない外部のイン
ク貯蔵タンクに接続され、インクが共通インク室22を
介して、複数のインクチャンネル4ごとに供給される。
チャンネル壁3の上半分に設けられた電極は、それぞれ
1つのインクチャンネル4の内部では、同電位になるよ
うにインクチャンネル後端部のR形状部で接続され、浅
溝部6を介して外部の電極8と接続される。そして、そ
れぞれのインクチャンネル4に形成されている電極同士
は、独立して、外部電極8と接続されている。
In the ink jet head thus manufactured, the ink supply port 21 is connected to an external ink storage tank (not shown), and ink is supplied to each of the plurality of ink channels 4 via the common ink chamber 22. You.
The electrodes provided in the upper half of the channel wall 3 are connected to the inside of one ink channel 4 at the R-shaped portion at the rear end of the ink channel so as to have the same potential, and are connected to the outside via the shallow groove 6. Connected to electrode 8. The electrodes formed in the respective ink channels 4 are independently connected to the external electrodes 8.

【0014】印字データに応じて所定のインクチャンネ
ルが選択され、チャンネル壁3の分極方向と直交する方
向に電界がかかるように、外部の電極8より電圧が印加
される。電界が印加されたチャンネル壁3は剪断変形を
起こし、その結果、インクチャンネル内に圧力波変動が
生じて、ノズル孔10よりインク滴が吐出する。なお、
図12では、電極引出部と外部の電極はワイヤボンディ
ング7により接続されているが、異方性導電膜(AC
F)を用いて接続する方法も従来より採用されている。
A predetermined ink channel is selected according to print data, and a voltage is applied from an external electrode 8 so that an electric field is applied in a direction perpendicular to the polarization direction of the channel wall 3. The channel wall 3 to which the electric field is applied undergoes shear deformation, and as a result, a pressure wave fluctuation occurs in the ink channel, and an ink droplet is ejected from the nozzle hole 10. In addition,
In FIG. 12, although the electrode lead-out portion and the external electrode are connected by wire bonding 7, the anisotropic conductive film (AC
The connection method using F) has also been conventionally employed.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】従来のインクジェット
ヘッドでは、アクチュエータとしてのベース部材に、上
下方向に分極された圧電体12を用いており、剪断モー
ドでチャンネル壁を変形させるために、チャンネル壁の
上半分に電極5を形成していた。
In a conventional ink jet head, a vertically polarized piezoelectric body 12 is used as a base member as an actuator. In order to deform the channel wall in a shearing mode, the channel wall is deformed. The electrode 5 was formed on the upper half.

【0016】これに対し、アクチュエータとしてのベー
ス部材を、チャンネル壁の高さの半分の位置で、上下方
向に分極の方向が異なる圧電体を積層した複合材料を用
いる、いわゆるシェブロン方式と呼ばれる構造も従来よ
り提案されていた。この場合、電極をチャンネル壁の全
面に形成すればよいので、電極の形成位置をチャンネル
壁の上半分に限定する必要がなくて電極の形成方法とし
て無電解メッキ法等を用いることができるという特徴が
あるが、アクチュエータとしてのベース部材の製造コス
トが高くなるという問題があった。
On the other hand, there is also a so-called chevron type structure in which a base material as an actuator is a composite material in which piezoelectric materials having different polarization directions in the vertical direction are stacked at a position half the height of the channel wall. It has been conventionally proposed. In this case, since the electrode may be formed on the entire surface of the channel wall, it is not necessary to limit the electrode formation position to the upper half of the channel wall, and an electroless plating method or the like can be used as a method for forming the electrode. However, there is a problem that the manufacturing cost of the base member as the actuator increases.

【0017】そこで、現在では、ベース部材として、上
下方向に分極処理が施された1枚の圧電体を用いる方式
が主流となっており、チャンネル壁の上半分のみに、斜
方蒸着により電極が形成されている。
Therefore, at present, a method of using a single piezoelectric body which has been subjected to a polarization treatment in a vertical direction as a base member has become the mainstream, and an electrode is formed on only an upper half of a channel wall by oblique evaporation. Is formed.

【0018】図14を用いて、従来の電極の形成方法に
ついて詳細に説明する。チャンネル壁3の上半分に電極
膜を形成するには、一般に斜方蒸着法が用いられ、蒸着
粒子の入射方向を代えて2回蒸着する。
A conventional method for forming an electrode will be described in detail with reference to FIG. In order to form an electrode film on the upper half of the channel wall 3, an oblique evaporation method is generally used, and evaporation is performed twice while changing the incident direction of evaporation particles.

【0019】図14(a)は、1回目の蒸着の状態を示
しており、チャンネル壁の高さが300μm、幅が80
μm、ドライレジストフィルムの高さが30μmの場
合、チャンネル壁3の左側上半分に電極を形成するため
に、法線に対し66°の入射角度で蒸着粒子を入射す
る。
FIG. 14A shows the state of the first evaporation, in which the channel wall has a height of 300 μm and a width of 80 μm.
When the height of the dry resist film is 30 μm and the height of the dry resist film is 30 μm, vapor-deposited particles are incident at an incident angle of 66 ° with respect to the normal in order to form an electrode on the upper left half of the channel wall 3.

【0020】続いて、図14(b)は、2回目の蒸着の
状態を示しており、チャンネル壁3の右側上半分に電極
を形成するために、同じく法線に対して66°の入射角
度で蒸着粒子を入射する。
Next, FIG. 14B shows the state of the second vapor deposition. In order to form an electrode on the upper right half of the channel wall 3, the incident angle is also 66 ° with respect to the normal line. Inject vapor deposition particles.

【0021】その後、ドライレジスト11上に形成され
た金属膜を、ドライレジスト11とともにリフトオフす
ることで、図14(c)に示すような、チャンネル壁3
の上半分の側壁にのみ電極5が形成されたベース部材1
を作製する。このように、チャンネル壁3に形成される
電極の深さは、チャンネル深さの半分になるように形成
される。
Thereafter, the metal film formed on the dry resist 11 is lifted off together with the dry resist 11, thereby forming the channel wall 3 as shown in FIG.
Base member 1 having electrode 5 formed only on the upper half side wall
Is prepared. Thus, the depth of the electrode formed on the channel wall 3 is formed to be half the channel depth.

【0022】特開平6−238892号公報には、この
電極の深さの公差が、設定位置に対して±30%以内で
あれば、インクチャンネルの容積変化が±5%以内に収
まると開示されている。しかしながら、近年のインクジ
ェットプリンタに要求されている高品質の印字では、イ
ンク滴の体積が小さくなって、数ピコリットルの大きさ
になっている。このような微少なサイズのインク滴を安
定して吐出するには、±5%のインクチャンネルの容積
の変化は決して小さな値ではない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-238892 discloses that if the tolerance of the depth of the electrode is within ± 30% with respect to the set position, the change in the volume of the ink channel is within ± 5%. ing. However, in the high quality printing required for the ink jet printer in recent years, the volume of the ink droplet is small, and is several picoliters. In order to stably eject such minute ink droplets, the change of the ink channel volume of ± 5% is not a small value.

【0023】また、特開平6−238892号公報で
は、電極形成時の電極深さのばらつき、特に、チャンネ
ル壁の両側での電極深さの違いについて何ら記載されて
おらず、インクチャンネルの容積変化が、チャンネル壁
の両側での電極深さの違いに大きく影響される。
Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 6-238892 does not disclose any variation in electrode depth at the time of forming an electrode, particularly the difference in electrode depth on both sides of a channel wall. Is greatly affected by the difference in electrode depth on both sides of the channel wall.

【0024】従来用いられている電極の形成方法には、
これまで着目されていなかった、避けられない問題が内
包されており、電極の形成高さが、チャンネル壁の両側
で異なり、インクチャンネルによって不均一になるとい
う問題があった。
Conventionally used electrode forming methods include:
There is an unavoidable problem that has not been focused on heretofore, and there has been a problem that the formation height of the electrodes differs on both sides of the channel wall and becomes uneven depending on the ink channel.

【0025】これについて、図15を用いて詳細に説明
する。図15は、斜め蒸着に用いる蒸着装置およびベー
ス部材1の位置関係を示したものである。図15で、蒸
着源15は、るつぼ16に入れられて蒸着装置の下方の
中心に位置され、蒸着装置の上方の基板ホルダ17には
所定の角度を持って、ベース部材1が取付けられてい
る。蒸着源を点源と見なした場合の蒸着源15から飛翔
する蒸着粒子のベース部材1への入射の様子を、図16
を用いて詳細に説明する。
This will be described in detail with reference to FIG. FIG. 15 shows the positional relationship between the vapor deposition device used for oblique vapor deposition and the base member 1. In FIG. 15, the deposition source 15 is placed in a crucible 16 and is positioned at the center below the deposition apparatus, and the base member 1 is attached to the substrate holder 17 above the deposition apparatus at a predetermined angle. . FIG. 16 shows a state in which vapor deposition particles flying from the vapor deposition source 15 enter the base member 1 when the vapor deposition source is regarded as a point source.
This will be described in detail with reference to FIG.

【0026】図16は、蒸着源15からベース部材1の
チャンネル列の中心部までの鉛直距離が50cm、水平
距離が20cmの場合を示ししており、ベース部材1に
は、インクチャンネル4が180DPIで200個形成
されている。この場合、インクチャンネル4は、幅約2
8mm(=25.4[inch/mm]/180[do
t/inch]*200[dot])の長さにわたり形
成されることになる。
FIG. 16 shows a case where the vertical distance from the evaporation source 15 to the center of the channel row of the base member 1 is 50 cm and the horizontal distance is 20 cm. 200 are formed. In this case, the ink channel 4 has a width of about 2
8 mm (= 25.4 [inch / mm] / 180 [do
t / inch] * 200 [dot]).

【0027】図16の場合、チャンネル列の中心部での
電極形成深さをチャンネル深さの半分にするために、ベ
ース部材1は45.8°の角度で基板ホルダ17に取付
けられている。チャンネル壁の片面への金属膜の形成が
終了した後、残る片面へ金属膜を形成するために、ベー
ス部材1は180°方向を変えられ、再び蒸着される。
In the case of FIG. 16, the base member 1 is attached to the substrate holder 17 at an angle of 45.8 ° in order to make the electrode formation depth at the center of the channel row half the channel depth. After the formation of the metal film on one side of the channel wall is completed, the base member 1 is turned 180 ° and deposited again to form a metal film on the remaining one side.

【0028】ところで、チャンネル列は有限の長さを持
っており、チャンネル列の端部では、蒸着粒子の入射角
度が異なってしまう。
By the way, the channel row has a finite length, and the incident angle of the vapor deposition particles differs at the end of the channel row.

【0029】これについて、図16および図17を用い
て詳細に説明する。図16は、蒸着粒子の入射の様子を
ベース部材1を平行において模式的に示したものであ
る。チャンネル列の中心部での入射角度が66°である
場合、チャンネル端部での入射角度は、それぞれ64.
7°および67.4°となる。つまり、図15を参照し
て、蒸着源15を点源と見なした場合、蒸着源15によ
り近いチャンネル列端部における入射角度は、中心部で
の入射角度に比べて大きくなり、67.4°、また、蒸
着源15により遠いチャンネル列端部における入射角度
は、中心部での入射角度に比べて小さくなり、64.7
°となる。
This will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 16 schematically shows the incident state of the vapor deposition particles when the base member 1 is parallel. When the incident angle at the center of the channel row is 66 °, the incident angle at the end of the channel is 64.
7 ° and 67.4 °. That is, referring to FIG. 15, when the vapor deposition source 15 is regarded as a point source, the incident angle at the end of the channel row closer to the vapor deposition source 15 is larger than the incident angle at the center, and is 67.4. °, the angle of incidence at the end of the channel row farther from the deposition source 15 is smaller than the angle of incidence at the center, 64.7.
°.

【0030】その結果、電極5となる金属膜の形成深さ
は、図17に示すように、チャンネル列の中心部では、
150μmであるのに対し、チャンネル列の端部では、
それぞれ138.5μmおよび160.2μmとなる。
As a result, as shown in FIG. 17, the formation depth of the metal film serving as the electrode 5 is:
Whereas at the end of the channel row,
They are 138.5 μm and 160.2 μm, respectively.

【0031】さらに、金属膜の蒸着時にベース部材を1
80°回転させて2回蒸着するために、チャンネル列の
端部では、チャンネル壁の両側に形成される電極の深さ
が異なる結果となる。剪断モードで圧電体を変形させる
場合、チャンネル壁の上半分にのみ電極が形成されてい
る場合が、最も効率よく形成することができるが、チャ
ンネル壁の両側で電極の深さが異なると変形量が低下す
る。
Further, when the metal film is deposited, the base member is
Rotating by 80 ° and depositing twice results in different depths of the electrodes formed on both sides of the channel wall at the end of the channel row. When the piezoelectric body is deformed in the shear mode, the electrode can be formed most efficiently when the electrode is formed only in the upper half of the channel wall. Decrease.

【0032】これについて、図18を用いて詳細に説明
する。図18(a)は、電極の深さがチャンネル壁3の
上半分に形成されている場合、また、図18(b)は両
側で異なる場合のチャンネル壁3の変形モードをそれぞ
れ模式的に示した図である。
This will be described in detail with reference to FIG. FIG. 18A schematically shows the deformation mode of the channel wall 3 when the depth of the electrode is formed in the upper half of the channel wall 3, and FIG. FIG.

【0033】図18(a)で、上下方向に分極された圧
電体からなるチャンネル壁3の上半分に電極が形成され
ている場合、両側の電極より電圧を印加するとチャンネ
ル壁3の上半分にのみ分極方向と直交する方向に電界が
加わり、電界が与えられた圧電体に剪断歪みが生じる。
チャンネル壁3の上下は固定されているので、剪断歪み
によりチャンネル壁3は、破線で示すようにチャンネル
壁3の中心部Aで屈曲するように変形する。
In FIG. 18A, when an electrode is formed on the upper half of the channel wall 3 made of a vertically polarized piezoelectric material, when a voltage is applied from both electrodes, the upper half of the channel wall 3 is formed. An electric field is applied only in the direction orthogonal to the polarization direction, and shear distortion occurs in the piezoelectric body to which the electric field is applied.
Since the upper and lower sides of the channel wall 3 are fixed, the channel wall 3 is deformed by the shear strain so as to be bent at the center portion A of the channel wall 3 as shown by a broken line.

【0034】これに対し、図18(b)では、チャンネ
ル壁3の両側で電極深さが異なり、剪断歪みを起こすた
めに有効に働く領域は、電極深さの浅い領域となる。そ
の結果、歪み量が小さくなり、しかも、屈曲点が、図1
8(a)のAより上方のA′に移動することになり、イ
ンクチャンネル4の体積変位が小さくなり、インク滴を
ノズルより吐出するための圧力変化が小さくなってしま
う。このように、従来のインクジェットヘッドでは、イ
ンクチャンネルによって、剪断歪みを起こすための電圧
を印加する電極の深さが変化してしまい、複数のインク
チャンネルから吐出するインク滴の吐出速度や吐出体積
がばらつくという問題があった。
On the other hand, in FIG. 18 (b), the electrode depth is different on both sides of the channel wall 3, and the region which works effectively to cause shear strain is a region where the electrode depth is shallow. As a result, the amount of distortion is reduced, and the bending point is reduced as shown in FIG.
As a result, the ink channel 4 moves to A ', which is higher than A in FIG. 8A, so that the volume displacement of the ink channel 4 is reduced, and the pressure change for discharging the ink droplet from the nozzle is reduced. As described above, in the conventional inkjet head, the depth of the electrode for applying the voltage for causing the shear distortion changes depending on the ink channel, and the discharge speed and the discharge volume of the ink droplets discharged from the plurality of ink channels are reduced. There was a problem of variation.

【0035】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、インクチャンネルごとのインク滴の
吐出ばらつきを低減できるインクジェットヘッドの駆動
方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a method of driving an ink-jet head which can reduce variation in ejection of ink droplets for each ink channel.

【0036】[0036]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題を
解決するための手段として以下の構成を備えている。
The present invention has the following arrangement as means for solving the above problems.

【0037】この発明の第1の局面に従う方法は、少な
くとも一部が圧電材料で形成され、かつその表面に平行
に並んで複数の溝が設けられ、さらにその溝の側壁の一
部に電極が設けられたベース部材と、上記ベース部材の
上記複数の溝を覆うように設けられて圧力室となるイン
クチャンネルを構成するカバー部材と、上記インクチャ
ンネルに連通するノズルとを備え、上記電極に駆動電圧
を印加して、上記側壁に剪断変形を生じさせることによ
り上記インクチャンネルに圧力振動を生じさせて上記ノ
ズルよりインクを吐出させるインクジェットヘッドの駆
動方法に係る。上記電極に加える電圧が、インクチャン
ネル列の並びに従って連続的に変化するように加えられ
ることを特徴とする。
In the method according to the first aspect of the present invention, at least a portion is formed of a piezoelectric material, and a plurality of grooves are provided in parallel with the surface thereof, and further, an electrode is formed on a part of a side wall of the groove. A base member provided, a cover member provided to cover the plurality of grooves of the base member and constituting an ink channel serving as a pressure chamber, and a nozzle communicating with the ink channel; The present invention relates to a method for driving an ink jet head that applies a voltage to cause a shear deformation on the side wall to generate pressure vibration in the ink channel and discharge ink from the nozzle. The voltage applied to the electrode is applied so as to change continuously according to the arrangement of the ink channel rows.

【0038】この構成においては、チャンネル壁に設け
られた電極の深さがチャンネル列の並びに従って連続的
に変化することによるインクチャンネルの体積変位のば
らつきに起因するインク滴のばらつきを、上記電極に加
える電圧を連続的に変化させることで低減することがで
きるので、高品質の印字を行なうことができる。
In this configuration, the variation of the ink droplets caused by the variation of the volume displacement of the ink channel due to the depth of the electrode provided on the channel wall continuously changing in accordance with the arrangement of the channel rows is applied to the electrode. Since the voltage can be reduced by continuously changing the applied voltage, high-quality printing can be performed.

【0039】この発明の第2の局面に従うインクジェッ
トヘッドの駆動方法においては、上記電極に加える電圧
で、複数のインクチャンネル列の中心に位置するインク
チャンネルに加える電圧が最も小さいことを特徴とす
る。
In the ink jet head driving method according to the second aspect of the present invention, the voltage applied to the electrodes is the smallest applied to the ink channel located at the center of the plurality of ink channel rows.

【0040】この構成においては、チャンネル壁の電極
となる金属膜を斜方蒸着により形成するときに、ベース
部材をチャンネル列の中心部を回転軸として180°回
転させてチャンネル壁の両側の電極を形成した場合、チ
ャンネル壁に設けられた電極の深さが、チャンネル列の
中心部を対称にしてチャンネル列の並びに従って連続的
に変化することによるインクチャンネルの体積変位のば
らつきに起因するインク滴のばらつきを、上記電極に加
える電圧を連続的に変化させることで低減することがで
きるので、高品質の印字を行なうことができる。
In this configuration, when the metal film serving as the electrode of the channel wall is formed by oblique deposition, the base member is rotated by 180 ° about the center of the channel row as a rotation axis to connect the electrodes on both sides of the channel wall. When formed, the depth of the electrode provided on the channel wall is changed symmetrically with respect to the center of the channel row, and continuously changes according to the arrangement of the channel row. Variations can be reduced by continuously changing the voltage applied to the electrodes, so that high-quality printing can be performed.

【0041】この発明の第3の局面に従うインクジェッ
トヘッドの駆動方法においては、上記電極に加える電圧
で、複数のインクチャンネル列のどちらか一方の端部に
位置するインクチャンネルに加える電圧が最も小さいこ
とを特徴とする。
In the method of driving an ink jet head according to the third aspect of the present invention, the voltage applied to the electrodes is such that the voltage applied to the ink channel located at one end of the plurality of ink channel rows is the smallest. It is characterized by.

【0042】この構成においては、チャンネル壁に電極
となる金属膜を斜方蒸着により形成するときに、ベース
部材をチャンネル列のどちらか一方の端部を回転軸とし
て180°回転させてチャンネル壁の両側に電極を形成
した場合、チャンネル壁に設けられた電極の深さが、チ
ャンネル列のどちらか一方の端部よりチャンネル列の並
びに従って連続的に変化することによるインクチャンネ
ルの体積変位のばらつきに起因するインク滴のばらつき
を、上記電極に加える電圧を連続的に変化させることで
低減することができるので、高品質の印字を行なうこと
ができる。
In this configuration, when a metal film to be an electrode is formed on the channel wall by oblique deposition, the base member is rotated by 180 ° about one of the ends of the channel row as a rotation axis, and the base member is rotated by 180 °. When electrodes are formed on both sides, the depth of the electrode provided on the channel wall varies from one end of the channel row continuously according to the arrangement of the channel row, and the variation in the volume displacement of the ink channel is reduced. Variations in ink droplets caused by the change can be reduced by continuously changing the voltage applied to the electrodes, so that high-quality printing can be performed.

【0043】この発明の第4の局面に従う方法は、少な
くとも一部が圧電材料で形成され、かつその表面に平行
に並んで複数の溝が設けられ、さらに、その溝の側壁の
一部に電極が設けられたベース部材と、上記ベース部材
の上記複数の溝を覆うように設けられて圧力室となるイ
ンクチャンネルを構成するカバー部材と、上記インクチ
ャンネルに連通するノズルとを備え、上記電極に駆動電
圧を印加して、上記側壁に剪断変形を生じさせることに
より上記インクチャンネルに圧力振動を生じさせて上記
ノズルよりインクを吐出させるインクジェットヘッドの
駆動方法に係る。上記電極に加える電圧が、インクチャ
ンネルの体積を大きくする方向に所定時間印加され、続
いて、インクチャンネルの体積を小さくする方向に所定
時間印加されるものであり、インクチャンネルの体積を
大きくする方向に電圧が印加される時間が、インクチャ
ンネル列の並びに従って連続的に変化していることを特
徴とする。
The method according to the fourth aspect of the present invention is the method according to the fourth aspect, wherein at least a part is formed of a piezoelectric material, and a plurality of grooves are provided in parallel on a surface of the piezoelectric material. A base member provided with a cover member that is provided so as to cover the plurality of grooves of the base member and constitutes an ink channel serving as a pressure chamber; and a nozzle that communicates with the ink channel. The present invention relates to a method for driving an ink jet head that applies a driving voltage to cause shear deformation on the side wall to generate pressure vibration in the ink channel and discharge ink from the nozzle. The voltage applied to the electrode is applied for a predetermined time in a direction to increase the volume of the ink channel, and is subsequently applied for a predetermined time in a direction to decrease the volume of the ink channel. Is characterized in that the time during which a voltage is applied to the ink channel continuously changes in accordance with the arrangement of the ink channel rows.

【0044】この構成においては、チャンネル壁に設け
られた電極の深さがチャンネル列の並びに従って連続的
に変化することによるインクチャンネルの体積変位のば
らつきに起因するインク滴のばらつきを、インクチャン
ネルの体積を大きくする方向に電圧が印加される時間を
連続的に変化させることで低減することができるので、
各ノズルより吐出されるインク滴のばらつきを低減する
ことができ、高品質の印字を行なうことができる。
In this configuration, variations in ink droplets due to variations in volume displacement of the ink channel due to the depth of the electrode provided on the channel wall continuously changing in accordance with the arrangement of the channel rows are eliminated. Since it can be reduced by continuously changing the time during which the voltage is applied in the direction of increasing the volume,
Variations in ink droplets ejected from each nozzle can be reduced, and high quality printing can be performed.

【0045】この発明の第5の局面に従うインクジェッ
トヘッドの駆動方法においては、上記インクチャンネル
の体積を大きくする方向に電圧が印加される時間で、複
数のインクチャンネル列の両端部に位置するインクチャ
ンネルに印加される時間が、インク滴の吐出速度が最も
大きくなるように設定されて連続的に変化することを特
徴とする。
In the method of driving an ink jet head according to a fifth aspect of the present invention, the ink channels positioned at both ends of the plurality of ink channel rows are controlled by applying a voltage in a direction to increase the volume of the ink channel. Is set so that the ejection speed of the ink droplets is maximized, and continuously changes.

【0046】この構成においては、チャンネル壁に電極
となる金属膜を斜方蒸着により形成するときに、ベース
部材をチャンネル列の中心部を回転軸として180°回
転させてチャンネル壁の両側に電極を形成した場合、チ
ャンネル壁に設けられた電極の深さが、チャンネル列の
中心部を対称にしてチャンネル列の並びに従って連続的
に変化することによるインクチャンネルの体積変位のば
らつきに起因するインク滴のばらつきを、チャンネル列
の両端部に位置するインクチャンネルに印加される時間
が、インク滴の吐出速度が最も大きくなるように設定さ
れ、チャンネル列の中心部を対称にしてチャンネル列の
並びに従って連続的に変化させることで低減することが
できるので、各ノズルより吐出されるインク滴のばらつ
きを低減することができ、高品質の印字を行なうことが
できる。
In this configuration, when a metal film to be an electrode is formed on the channel wall by oblique deposition, the base member is rotated by 180 ° about the center of the channel row as a rotation axis, and electrodes are provided on both sides of the channel wall. When formed, the depth of the electrode provided on the channel wall is changed symmetrically with respect to the center of the channel row, and continuously changes according to the arrangement of the channel row. Variations are set such that the time applied to the ink channels located at both ends of the channel row is set so that the ejection speed of the ink droplets is maximized, and the center of the channel row is symmetrical and continuous according to the arrangement of the channel rows. The variation of the ink droplets ejected from each nozzle. Can, it is possible to perform the printing of high quality.

【0047】この発明の第6の局面に従うインクジェッ
トヘッドの駆動方法においては、上記インクチャンネル
の体積を大きくする方向に電圧が印加される時間で、複
数のインクチャンネル列のどちらか一方の端部に位置す
るインクチャンネルに印加される時間が、インク滴の吐
出速度が最も大きくなるように設定されて連続的に変化
することを特徴とする。
In the ink jet head driving method according to the sixth aspect of the present invention, the voltage is applied to the ink channel in a direction of increasing the volume of the ink channel, and the voltage is applied to one end of the plurality of ink channel rows. It is characterized in that the time applied to the located ink channel is set so that the ejection speed of the ink droplet is maximized and changes continuously.

【0048】この構成においては、チャンネル壁に電極
となる金属膜を斜方蒸着により形成するときに、ベース
部材をチャンネル列のどちらか一方の端部を回転軸とし
て180°回転させて、チャンネル壁の両側に電極を形
成した場合、チャンネル壁に設けられた電極の深さが、
チャンネル列のどちらか一方の端部よりチャンネル列の
並びに従って連続的に変化することによるインクチャン
ネルの体積変位のばらつきに起因するインク滴のばらつ
きを、チャンネル列のどちらか一方の端部に印加される
時間が、インク滴のと吐出速度が最も大きくなるように
設定され、チャンネル列の並びに従って連続的に変化さ
せることで低減することができるので、各ノズルより吐
出されるインク滴のばらつきを低減することができ、高
品質の印字を行なうことができる。
In this configuration, when a metal film to be an electrode is formed on the channel wall by oblique deposition, the base member is rotated by 180 ° about one end of the channel row as a rotation axis, and the channel wall is rotated. When electrodes are formed on both sides of the channel, the depth of the electrode provided on the channel wall is
The variation of ink droplets caused by the variation of the volume displacement of the ink channel due to the continuous change according to the arrangement of the channel rows from either end of the channel row is applied to one end of the channel row. Time is set so that the ink droplets and the ejection speed are maximized, and can be reduced by continuously changing the ink droplets in accordance with the arrangement of the channel rows, thereby reducing variations in the ink droplets ejected from each nozzle. And high quality printing can be performed.

【0049】[0049]

【実施例】以下、本発明による実施例を図1から図10
を用いて詳細に説明する。
1 to 10 show an embodiment according to the present invention.
This will be described in detail with reference to FIG.

【0050】<実施例1>本発明による駆動方法を用い
るインクジェットヘッドの構造を、図1および図2を用
いて説明する。
<Embodiment 1> The structure of an ink-jet head using the driving method according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0051】インクジェットヘッドは、図1の上下方向
に分極処理を施した圧電体に複数の溝4が形成されたベ
ース部材1と、インク供給口21と共通インク室22が
形成されたカバー部材2と、ノズル孔10が開けられた
ノズル板9を貼り合わせることで、インクチャンネル4
が形成されている。
The ink jet head has a base member 1 in which a plurality of grooves 4 are formed in a piezoelectric body subjected to a polarization process in FIG. 1 and a cover member 2 in which an ink supply port 21 and a common ink chamber 22 are formed. And a nozzle plate 9 having a nozzle hole 10 formed therein, whereby the ink channel 4 is formed.
Are formed.

【0052】チャンネル壁3には、電界を印加するため
の電極5が形成されている。インクチャンネル4の後端
部は、溝加工時に使用されるダイシングブレードの直径
に対応したR形状に加工されており、6には外部との通
電のための電極引出部としての浅溝部6が同じくダイシ
ングブレードにより加工されている。浅溝部6に形成さ
れた電極は、浅溝部6の後端部でたとえばフレキシブル
基板のような外部の電極8と、ボンディングワイヤ7に
より接続されている。チャンネル壁3に設けられた電極
は、それぞれ1つのインクチャンネル4の内部では、同
電位になるようにインクチャンネル後端部のR形状部で
接続され、浅溝部6を介して外部の電極8と接続され
る。そして、それぞれのインクチャンネル4に形成され
ている電極同士は、独立して、外部電極8と接続されて
いる。印字データに応じて所定のインクチャンネルが選
択され、チャンネル壁3の分極方向と直交する方向に電
界がかかるように、外部の電極8より電圧が印加され
る。電界が印加されたチャンネル壁3は剪断変形を起こ
し、その結果、インクチャンネル内に圧力波変動が生じ
て、ノズル孔10よりインク滴が吐出する。なお、図1
では、電極引出部と外部の電極はワイヤボンディングに
より接続されているが、異方性導電膜(ACF)を用い
て接続してもよい。
An electrode 5 for applying an electric field is formed on the channel wall 3. The rear end of the ink channel 4 is machined into an R shape corresponding to the diameter of the dicing blade used at the time of machining the groove, and a shallow groove 6 serving as an electrode lead-out portion for energizing with the outside is formed in 6. It is processed by a dicing blade. The electrode formed in the shallow groove 6 is connected to an external electrode 8 such as a flexible substrate by a bonding wire 7 at the rear end of the shallow groove 6. The electrodes provided on the channel wall 3 are connected at the R-shaped portion at the rear end of the ink channel so as to have the same potential inside one ink channel 4, and are connected to the external electrode 8 via the shallow groove 6. Connected. The electrodes formed in the respective ink channels 4 are independently connected to the external electrodes 8. A predetermined ink channel is selected according to the print data, and a voltage is applied from an external electrode 8 so that an electric field is applied in a direction orthogonal to the polarization direction of the channel wall 3. The channel wall 3 to which the electric field is applied undergoes shear deformation, and as a result, a pressure wave fluctuation occurs in the ink channel, and an ink droplet is ejected from the nozzle hole 10. FIG.
In the above, the electrode lead portion and the external electrode are connected by wire bonding, but may be connected by using an anisotropic conductive film (ACF).

【0053】本実施例では、チャンネル壁3への電極形
成を、チャンネル列の中心部を回転軸としてベース部材
1を180°回転させて、2回斜方蒸着することで形成
した場合について説明する。
In this embodiment, an explanation will be given of a case where the electrodes are formed on the channel wall 3 by performing the oblique deposition twice by rotating the base member 1 by 180 ° about the center of the channel row as a rotation axis. .

【0054】図2は、チャンネル列の断面図を示したも
のである。図2で、チャンネル壁3に設けられた電極5
は、チャンネル列の中心部では、チャンネル壁3の両側
で等しい深さで上半分となる150μmの範囲で形成さ
れている。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a channel row. In FIG. 2, the electrode 5 provided on the channel wall 3
Is formed at the center of the channel row in the range of 150 μm, which is the upper half at the same depth on both sides of the channel wall 3.

【0055】一方、チャンネル列の端部では、斜方蒸着
の入射角度の違いによりチャンネル壁3の両側で電極深
さが異なり、チャンネル列の中心部よりが浅く、端部よ
りが深く形成されており、チャンネル列の中心部より端
部に向かって連続的に変化している。
On the other hand, at the end of the channel row, the electrode depth is different on both sides of the channel wall 3 due to the difference in the incident angle of the oblique deposition, and the depth is formed shallower than the center of the channel row and deeper than the end. And changes continuously from the center to the end of the channel row.

【0056】図3は、チャンネルの数が200個の場
合、チャンネル壁の左右両側に形成されるそれぞれの電
極の深さを、横軸にチャンネル列の並びをとって示した
図である。図3より、チャンネル壁の中心部では、左右
の電極深さは等しいが、チャンネル列の端部に向かうに
つれて、左右対称に左右の電極深さが連続的に変化して
いることがわかる。
FIG. 3 is a diagram showing, when the number of channels is 200, the depth of each electrode formed on the left and right sides of the channel wall, with the row of channels arranged along the horizontal axis. FIG. 3 shows that the left and right electrode depths are equal at the center of the channel wall, but the left and right electrode depths continuously change symmetrically toward the end of the channel row.

【0057】このような電極深さを持つインクジェット
ヘッドを、すべてのチャンネルに同一の電圧を印加した
場合、チャンネル列の中心部のチャンネル壁の変位量が
最も大きくなり、チャンネル列の端部に向かって、連続
的に変位量が減少することになる。このような。電極深
さの不均一に起因する変位量のチャンネルごとの変化
を、本実施例では、チャンネル列の中心部に印加される
電圧が最も小さく、チャンネル列の端部に向かうにつれ
て、連続的に印加電圧が大きくなるようにすることで解
決する。
When the same voltage is applied to all the channels in the ink jet head having such an electrode depth, the displacement of the channel wall at the center of the channel row becomes the largest, and the displacement toward the end of the channel row. Thus, the displacement amount continuously decreases. like this. In the present embodiment, the change in the amount of displacement caused by the non-uniform electrode depth for each channel is the lowest applied to the center of the channel row, and is applied continuously toward the end of the channel row. The problem is solved by increasing the voltage.

【0058】図4は、本実施例によるところの印加電圧
を、横軸にチャンネル列並びをとって示した図である。
図4のように、チャンネル列の中心部のチャンネル壁に
印加される電圧が最も小さく、チャンネル列の両端部に
向かって連続的に大きくなっている。このような、駆動
電圧の印加方法をとることにより、チャンネルごとのチ
ャンネル壁の変位量が等しくなり、ノズルより吐出され
るインク滴のばらつきを低減することができ、高品質の
印字を行なうことができる。
FIG. 4 is a diagram showing the applied voltage according to the present embodiment, with the abscissa plotting the channel row.
As shown in FIG. 4, the voltage applied to the channel wall at the center of the channel row is the smallest, and continuously increases toward both ends of the channel row. By adopting such a driving voltage application method, the amount of displacement of the channel wall for each channel becomes equal, the variation of ink droplets ejected from the nozzles can be reduced, and high quality printing can be performed. it can.

【0059】なお、本実施例では、チャンネル壁の中心
部に印加される電圧を20V、端部に印加される電圧を
25Vとして直線的に変化させたが、チャンネルごとの
電極の深さに応じて、インク吐出のばらつきの程度によ
りその値を調整すればよく、また、ステップ状、2次曲
線であってもよく、必ずしも直線的に変化させる必要は
ない。
In this embodiment, the voltage applied to the center of the channel wall is set to 20 V and the voltage applied to the end is set to 25 V, and is linearly changed. The value may be adjusted according to the degree of variation in ink ejection, and may be a step-like or quadratic curve, and need not necessarily be changed linearly.

【0060】たとえば、5つのチャンネルを1つのブロ
ックとして、同一ブロック内では、同一の印加電圧にす
る一方、端部のチャンネルほど、そのチャンネルが属す
るブロックの印加電圧を、中心部のチャンネルが属する
ブロックの印加電圧よりも高くする。この場合のブロッ
ク数は、チャンネル数=200とすれば、40(200
/5)となる。また、各ブロックにおける印加電圧の変
化分は、一定である必要はなく、端部のチャンネルが属
するブロックにいくに従い、その印加電圧の変化分を大
きくしてもよい。以上のように、印加電圧をブロック化
することで、印加電圧の種類を大幅に削減することがで
き、ドライバICの負担軽減、コスト上昇の抑制を行な
うことができる。
For example, five channels are regarded as one block, and the same applied voltage is applied in the same block. On the other hand, the applied voltage of the block to which the channel belongs is set closer to the end of the channel. Higher than the applied voltage. In this case, the number of blocks is 40 (200
/ 5). Further, the variation of the applied voltage in each block does not need to be constant, and the variation in the applied voltage may be increased as the end channel is reached. As described above, by blocking the applied voltage, the types of applied voltage can be greatly reduced, and the burden on the driver IC can be reduced and the cost can be suppressed.

【0061】<実施例2>本発明によるところの第2の
実施例の駆動方法について説明する。なお、インクジェ
ットヘッドの構造は実施例1で説明したものと同様であ
るので、詳細な説明は省略する。本実施例では、チャン
ネル壁3への電極形成を、チャンネル列の端部を回転軸
としてベース部材1を180°回転させて、2回斜方蒸
着することで形成した場合について説明する。
<Embodiment 2> A driving method according to a second embodiment of the present invention will be described. The structure of the ink jet head is the same as that described in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted. In the present embodiment, a case will be described in which electrodes are formed on the channel walls 3 by rotating the base member 1 by 180 ° with the end of the channel row as a rotation axis and performing oblique deposition twice.

【0062】図5は、チャンネル列の断面図を示したも
のである。図5で、チャンネル壁3に設けられた電極5
は、チャンネル列の端部では、チャンネル壁3の両側で
等しい深さで上半分となる150μmの範囲で形成され
ている。一方、チャンネル列のもう一方の端部では、斜
方蒸着の入射角度の違いによりチャンネル壁3の両側で
電極深さが異なり、チャンネル壁の片側で連続的に浅
く、別の片側で連続的に深く形成されている。
FIG. 5 is a sectional view of a channel row. In FIG. 5, the electrode 5 provided on the channel wall 3
Is formed at the end of the channel row in the range of 150 μm, which is the upper half at the same depth on both sides of the channel wall 3. On the other hand, at the other end of the channel row, the electrode depth is different on both sides of the channel wall 3 due to the difference in the incident angle of the oblique deposition, and is continuously shallow on one side of the channel wall and continuously on the other side. It is deeply formed.

【0063】図6は、チャンネルの数が200個の場
合、チャンネル壁の左右両側に形成されるそれぞれの電
極の深さを、横軸にチャンネル列の並びをとって示した
図である。図6より、チャンネル壁の端部では、左右の
電極深さは等しいが、チャンネル列のもう一方の端部に
向かうにつれて、左右の電極深さが連続的に変化してい
ることがわかる。このような電極深さを持つインクジェ
ットヘッドを、すべてのチャンネルに同一の電圧を印加
した場合、電極の深さが等しいチャンネル列の端部のチ
ャンネル壁の変位量が最も大きくなり、チャンネル列の
もう一方の端部に向かって、連続的に変位量が減少する
ことになる。このような、電極深さの不均一に起因する
変位量のチャンネルごとの変化を、本実施例では、チャ
ンネル列の電極の深さが等しい端部に印加される電圧が
最も小さく、チャンネル列のもう一方の端部に向かうに
つれて、連続的に印加電圧が大きくなるようにする。
FIG. 6 is a diagram showing the depth of each of the electrodes formed on the left and right sides of the channel wall when the number of channels is 200, with the row of channels arranged along the horizontal axis. From FIG. 6, it can be seen that the left and right electrode depths are equal at the end of the channel wall, but the left and right electrode depths continuously change toward the other end of the channel row. When the same voltage is applied to all the channels of an inkjet head having such an electrode depth, the displacement of the channel wall at the end of the channel row having the same electrode depth becomes the largest, and the other end of the channel row becomes the largest. The displacement amount continuously decreases toward one end. In the present embodiment, such a change in the amount of displacement due to non-uniformity of the electrode depth for each channel is considered as follows. The applied voltage is continuously increased toward the other end.

【0064】図7は、本実施例によるところの印加電圧
を、横軸にチャンネル列並びをとって示した図である。
図7のように、チャンネル列の電極の深さが等しい端部
のチャンネル壁に印加される電圧が最も小さく、チャン
ネル列のもう一方の端部に向かって連続的に大きくなっ
ている。このような駆動電圧の印加方法をとることによ
り、チャンネルごとのチャンネル壁の変位量が等しくな
り、ノズルより吐出されるインク滴のばらつきを低減す
ることができ、高品質の印字を行なうことができる。な
お、本実施例では、チャンネル壁の電極の深さが等しい
端部に印加される電圧を20V、もう一方の端部に印加
される電圧を30Vとして直線的に変化させたが、チャ
ンネルごとの電極の深さに応じて、インク吐出のばらつ
きの程度によりその値を調整すればよく、また、ステッ
プ状、2次曲線であってもよく、上記実施例で説明した
のと同様、必ずしも直線的に変化させる必要はない。
FIG. 7 is a diagram showing applied voltages according to the present embodiment, with the horizontal axis representing the arrangement of channels.
As shown in FIG. 7, the voltage applied to the channel wall at the end where the electrodes of the channel row have the same depth is the smallest, and continuously increases toward the other end of the channel row. By adopting such a driving voltage application method, the amount of displacement of the channel wall for each channel becomes equal, the variation of ink droplets ejected from the nozzles can be reduced, and high quality printing can be performed. . In this embodiment, the voltage applied to the end of the channel wall having the same electrode depth is 20 V, and the voltage applied to the other end is 30 V. In accordance with the depth of the electrode, the value may be adjusted according to the degree of variation in ink ejection, and may be a step-like or quadratic curve, and may be linear, as described in the above embodiment. Need not be changed to

【0065】<実施例3>本発明によるところの第3の
実施例の駆動方法について説明する。本実施例では、チ
ャンネル壁3への電極形成を、チャンネル列の中心部を
回転軸としてベース部材1を180°回転させて、2回
斜方蒸着することで形成した場合について説明する。な
お、インクジェットヘッドの構造および電極の深さにつ
いては、実施例1と同様であるので、詳細な説明は省略
する。本実施例では、チャンネルに印加される電圧を一
定にして、駆動波形を変化させる駆動方法について説明
する。
<Embodiment 3> A driving method according to a third embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a case will be described in which electrodes are formed on the channel wall 3 by rotating the base member 1 by 180 ° about the center of the channel row as a rotation axis and performing oblique deposition twice. Note that the structure of the ink jet head and the depth of the electrodes are the same as those in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted. In the present embodiment, a driving method for changing a driving waveform while keeping a voltage applied to a channel constant will be described.

【0066】図8は、チャンネルに印加される駆動波形
とそのときのチャンネル壁の変形を模式的に示した図で
ある。電極5には、インクチャンネルの体積を広げる向
きの電圧が時間T1の間印加され、その後、インクチャ
ンネルの体積を狭める電圧が時間T2の間印加される。
T1とT2の時間印加される電圧は、大きさが等しく向
きが逆である。なお、T1およびT2に印加される電圧
の正負は、ベース部材1の分極方向によって一義的に決
定される。
FIG. 8 is a diagram schematically showing the drive waveform applied to the channel and the deformation of the channel wall at that time. A voltage for increasing the volume of the ink channel is applied to the electrode 5 for a time T1, and then a voltage for reducing the volume of the ink channel is applied for a time T2.
The voltages applied for the times T1 and T2 are equal in magnitude and opposite in direction. The sign of the voltage applied to T1 and T2 is uniquely determined by the polarization direction of the base member 1.

【0067】T1の時間は、インク滴の吐出速度に影響
し、吐出速度を最大とする時間が、インクチャンネルの
長さ、インクチャンネルのコンプライアンス、圧力波の
伝搬速度等により決定される。つまり、吐出速度は、T
1の時間により制御することができる。
The time T1 affects the ejection speed of the ink droplet, and the time at which the ejection speed is maximized is determined by the length of the ink channel, the compliance of the ink channel, the propagation speed of the pressure wave, and the like. That is, the discharge speed is T
It can be controlled by one time.

【0068】また、T2の時間はインクチャンネルの残
留振動と吐出周期に関係して最適値が設定され、一般に
T1の時間の3〜4倍の値で設定すればよい。
The time T2 is set to an optimum value in relation to the residual vibration of the ink channel and the ejection cycle, and generally may be set to a value three to four times the time T1.

【0069】図9は、インクチャンネルの幅が80μ
m、深さが300μm、長さが1mm、ノズルの径がイ
ンクチャンネル側でφ42μm、吐出側でφ25μm、
ノズル板の厚さが50μmのインクジェットヘッドで、
同一の印加電圧25Vの下で、T1の時間をパラメータ
に、インク滴の吐出速度を測定した結果である。図9よ
り、T1の時間が2.25μsのときに、吐出速度がピ
ークを持ち、T1の時間が2.25μsより長くても短
くても、インク滴の吐出速度は低下することがわかる。
本実施例では、電極の深さがチャンネル壁の両側で最も
異なるチャンネル列の両端部のチャンネルからの吐出速
度が最大となるように、両端部に加えられる駆動波形を
設定する。
FIG. 9 shows that the width of the ink channel is 80 μm.
m, depth 300 μm, length 1 mm, nozzle diameter φ42 μm on the ink channel side, φ25 μm on the ejection side,
With an inkjet head with a nozzle plate thickness of 50 μm,
This is a result of measuring the ejection speed of the ink droplet under the same applied voltage of 25 V and using the time of T1 as a parameter. From FIG. 9, it can be seen that the ejection speed has a peak when the time T1 is 2.25 μs, and the ejection speed of the ink drops decreases even if the time T1 is longer or shorter than 2.25 μs.
In the present embodiment, the drive waveforms applied to both ends are set so that the ejection speed from the channels at both ends of the channel row in which the depth of the electrodes is the most different on both sides of the channel wall is maximized.

【0070】図10は、本実施例で用いられる駆動波形
のチャンネルごとのT1の時間を示したものである。
FIG. 10 shows the time T1 for each channel of the drive waveform used in this embodiment.

【0071】図10で、チャンネル列の両端部に印加さ
れる駆動波形のT1の時間が2.25μs、チャンネル
列の中心部のチャンネルに印加される駆動波形のT1の
時間が1.8μsで、連続的に変化している。本実施例
では、チャンネル壁3への電極形成を、チャンネル列の
中心部を回転軸として2回斜方蒸着することで形成した
ので、斜方蒸着の入射角度の違いにより、チャンネル壁
3の両側で電極深さが異なり、チャンネル壁の中心部で
は、左右の電極深さは等しいが、チャンネル列の端部に
向かうにつれて、左右対称に左右の電極深さが連続的に
変化している。そのため、チャンネル壁の中心部では、
同一の電圧で駆動した場合、最もチャンネル壁の変位が
大きく、インク滴の吐出速度が大きくなる。
In FIG. 10, the time T1 of the drive waveform applied to both ends of the channel row is 2.25 μs, the time T1 of the drive waveform applied to the center channel of the channel row is 1.8 μs, It is changing continuously. In this embodiment, the electrodes are formed on the channel wall 3 by oblique vapor deposition twice using the center of the channel row as the rotation axis. In the center of the channel wall, the left and right electrode depths are equal, but the left and right electrode depths continuously change symmetrically toward the end of the channel row. Therefore, in the center of the channel wall,
When driven by the same voltage, the displacement of the channel wall is the largest, and the ejection speed of the ink droplet is high.

【0072】本実施例では、インク滴の吐出速度が小さ
くなるチャンネル列の両端部で、インク滴の吐出速度が
最大となるT1=2.25μsの駆動波形を与え、チャ
ンネル列の中心部では、T1=1.8μsの駆動波形を
用いる。その結果、電極の深さがチャンネルごとに異な
るインクジェットヘッドを用いても、チャンネルごとの
インク滴の吐出速度のばらつきを低減することができ、
高品質な印字を行なうことができる。
In this embodiment, a driving waveform of T1 = 2.25 μs at which the ejection speed of the ink droplet becomes maximum is applied to both ends of the channel array where the ejection speed of the ink droplet is small. A drive waveform of T1 = 1.8 μs is used. As a result, even if an ink jet head having a different electrode depth for each channel is used, it is possible to reduce variations in the ink droplet ejection speed for each channel,
High quality printing can be performed.

【0073】なお、本実施例では、チャンネル列の中心
部に加えられる駆動波形のT1を1.8μsとしたが、
図9より明らかなように、インク滴の吐出速度が最大と
なる2.25μsよりも大きな値をとることもできる。
また、インク滴の吐出速度を最大にするT1の値は、イ
ンクチャンネルの寸法、ノズルの寸法、インク特性等に
より決定されるので、インクジェットヘッドの寸法仕様
が異なる場合は、それぞれに最適な値を用いればよい。
In this embodiment, the driving waveform T1 applied to the center of the channel row is set to 1.8 μs.
As is clear from FIG. 9, it is possible to take a value larger than 2.25 μs at which the ejection speed of the ink droplet becomes maximum.
Further, the value of T1 that maximizes the ejection speed of ink droplets is determined by the dimensions of the ink channel, the dimensions of the nozzles, the ink characteristics, and so on. It may be used.

【0074】<実施例4>本発明によるところの第4の
実施例の駆動方法について説明する。本実施例では、チ
ャンネル壁3への電極形成を、チャンネル列の端部を回
転軸としてベース部材1を180°回転させて、2回斜
方蒸着することで形成した場合について説明する。な
お、インクジェットヘッドの構造および電極の深さにつ
いては、実施例2と同様であるので、詳細な説明は省略
する。
<Embodiment 4> A driving method according to a fourth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a case will be described in which electrodes are formed on the channel walls 3 by rotating the base member 1 by 180 ° with the end of the channel row as a rotation axis and performing oblique deposition twice. Note that the structure of the ink jet head and the depth of the electrodes are the same as those in the second embodiment, and thus detailed description is omitted.

【0075】図11は、本実施例で用いられる駆動波形
のチャンネルごとのT1の時間を示したものである。図
11で、チャンネル列の端部(チャンネル列の200)
に印加される駆動波形のT1の時間が2.25μs、チ
ャンネル列のもう一方の端部(チャンネル列の1)に印
加される駆動波形のT1の時間が1.6μsで、連続的
に変化している。
FIG. 11 shows the time T1 for each channel of the drive waveform used in this embodiment. In FIG. 11, the end of the channel row (200 of the channel row)
Is 2.25 μs, and the T1 time of the drive waveform applied to the other end of the channel row (1 in the channel row) is 1.6 μs, and continuously changes. ing.

【0076】本実施例では、チャンネル壁3への電極形
成を、チャンネル列の端部(チャンネル列1)を回転軸
としてベース部材1を180°回転させて、2回斜方蒸
着することで形成したので、斜方蒸着の入射角度の違い
により、チャンネル壁3の両側で電極深さが異なり、チ
ャンネル壁の斜方蒸着時の回転中心の端部では、左右の
電極深さは等しいが、チャンネル列のもう一方の端部に
向かうにつれて、左右の電極深さが連続的に変化してい
る。そのため、チャンネル壁の斜方蒸着時の回転中心と
なる端部では、同一の電圧で駆動した場合に、最もチャ
ンネル壁の変位が大きく、インク滴の吐出速度が大きく
なる。
In this embodiment, the electrodes are formed on the channel wall 3 by obliquely depositing the base member 1 twice by rotating the base member 1 by 180 ° about the end of the channel row (channel row 1) as a rotation axis. Therefore, the electrode depth differs on both sides of the channel wall 3 due to the difference in the incident angle of the oblique deposition, and the left and right electrode depths are equal at the end of the rotation center of the channel wall during the oblique deposition. The left and right electrode depths are continuously changing toward the other end of the row. Therefore, at the end of the channel wall, which is the center of rotation during oblique deposition, when the channel wall is driven at the same voltage, the displacement of the channel wall is the largest, and the ejection speed of the ink droplet is high.

【0077】本実施例では、インク滴の吐出速度が小さ
くなるチャンネル列の一方の端部で、インク滴の吐出速
度が最大となるT1=2.25μsの駆動波形を与え、
チャンネル列のもう一方の端部では、T1=1.6μs
の駆動波形を用いる。その結果、電極の深さがチャンネ
ルごとに異なるインクジェットヘッドを用いても、チャ
ンネルごとのインク滴の吐出速度のばらつきを低減する
ことができ、高品質な印字を行なうことができる。
In this embodiment, a driving waveform of T1 = 2.25 μs at which the ejection speed of the ink droplet is maximized is given at one end of the channel row where the ejection speed of the ink droplet is small.
At the other end of the channel row, T1 = 1.6 μs
Is used. As a result, even when an ink jet head having a different electrode depth for each channel is used, it is possible to reduce variations in the ejection speed of ink droplets for each channel and to perform high quality printing.

【0078】なお、本実施例では、チャンネル列の斜方
蒸着時の回転中心となる端部に加えられる駆動波形のT
1を1.6μsとしたが、図9より明らかなように、イ
ンク滴の吐出速度が最大となる2.25μsよりも大き
な値をとることもできる。また、インク滴の吐出速度を
最大にするT1の値は、インクチャンネルの寸法、ノズ
ルの寸法、インク特性等により決定されるので、インク
ジェットヘッドの寸法仕様が異なる場合は、それぞれに
最適な値を用いればよい。
In this embodiment, the drive waveform T applied to the end serving as the rotation center during the oblique vapor deposition of the channel row is used.
Although 1 is set to 1.6 μs, as can be seen from FIG. 9, it can be set to a value larger than 2.25 μs at which the ejection speed of the ink droplet becomes maximum. Further, the value of T1 that maximizes the ejection speed of ink droplets is determined by the dimensions of the ink channel, the dimensions of the nozzles, the ink characteristics, and so on. It may be used.

【0079】今回開示された実施例はすべての点で例示
であって制限的なものではないと考えられるべきであ
る。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の
範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味およ
び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
The embodiments disclosed this time are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

【0080】[0080]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるとこ
ろのインクジェットヘッドの駆動方法は、インクチャン
ネルごとに異なる電極の深さに応じて、インクチャンネ
ルごとに印加する駆動電圧を連続的に変化させる、ある
いは駆動波形を連続的に変化させるので、インクチャン
ネルごとのインク滴の吐出のばらつきを低減することが
でき、高品質の印字を得ることができる。
As described above, in the method of driving an ink jet head according to the present invention, the drive voltage applied to each ink channel is continuously changed according to the depth of the electrode which differs for each ink channel. Alternatively, since the driving waveform is continuously changed, it is possible to reduce the variation in the ejection of ink droplets for each ink channel, and to obtain high-quality printing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のインクジェットヘッドの実施例を示
す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an ink jet head of the present invention.

【図2】 本発明のインクジェットヘッドの第1の実施
例を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a first embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図3】 本発明のインクジェットヘッドの第1の実施
例を示す電極深さの図である。
FIG. 3 is a diagram of an electrode depth showing a first embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図4】 本発明のインクジェットヘッドの第1の実施
例を示す印加電圧である。
FIG. 4 is an applied voltage illustrating the first embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図5】 本発明のインクジェットヘッドの第2の実施
例を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a second embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図6】 本発明のインクジェットヘッドの第2の実施
例を示す電極深さの図である。
FIG. 6 is a diagram of an electrode depth showing a second embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図7】 本発明のインクジェットヘッドの第2の実施
例を示す印加電圧である。
FIG. 7 is an applied voltage illustrating the second embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図8】 本発明のインクジェットヘッドの第3の実施
例を示す駆動波形とチャンネルの駆動模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram of driving waveforms and channels showing a third embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図9】 本発明のインクジェットヘッドの第3の実施
例を示す駆動波形の時間T1とインク吐出速度である。
FIG. 9 shows a time T1 of a drive waveform and an ink ejection speed in a third embodiment of the inkjet head of the present invention.

【図10】 本発明のインクジェットヘッドの第3の実
施例を示すチャンネル列毎の駆動波形の時間T1であ
る。
FIG. 10 is a time T1 of a drive waveform for each channel row in the third embodiment of the ink jet head of the present invention.

【図11】 本発明のインクジェットヘッドの第4の実
施例を示すチャンネル列毎の駆動波形の時間T1であ
る。
FIG. 11 shows a drive waveform time T1 for each channel row in a fourth embodiment of the inkjet head of the present invention.

【図12】 従来のインクジェットヘッドを示す斜視図
である。
FIG. 12 is a perspective view showing a conventional inkjet head.

【図13】 従来のインクジェットヘッドの製造方法を
示した図である。
FIG. 13 is a diagram showing a conventional method for manufacturing an ink jet head.

【図14】 従来のインクジェットヘッドの電極形成方
法を示した断面図である。
FIG. 14 is a cross-sectional view illustrating a conventional method for forming an electrode of an inkjet head.

【図15】 従来のインクジェットヘッドの電極形成装
置を示した図である。
FIG. 15 is a view showing a conventional electrode forming apparatus for an ink jet head.

【図16】 従来のインクジェットヘッドの電極形成方
法を示した断面図である。
FIG. 16 is a cross-sectional view illustrating a conventional method for forming an electrode of an inkjet head.

【図17】 従来のインクジェットヘッドを示した断面
図である。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing a conventional inkjet head.

【図18】 従来のインクジェットヘッドのチャンネル
の駆動の様子を示した断面図である。
FIG. 18 is a cross-sectional view showing a state of driving a channel of a conventional inkjet head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベース部材、2 カバー部材、3 チャンネル壁、
4 インクチャンネル、5 電極(金属膜)、6 浅溝
部、7 ボンディングワイヤ、8 外部電極、9 ノズ
ル板、10 ノズル孔、11 ドライレジストフィル
ム、12 圧電体、21 インク供給口、22 共通イ
ンク室。
1 base member, 2 cover members, 3 channel walls,
4 ink channel, 5 electrode (metal film), 6 shallow groove, 7 bonding wire, 8 external electrode, 9 nozzle plate, 10 nozzle hole, 11 dry resist film, 12 piezoelectric body, 21 ink supply port, 22 common ink chamber.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも一部が圧電材料で形成され、
かつその表面に平行に並んで複数の溝が設けられ、さら
にそれぞれの該溝の側壁の一部に電極が設けられたベー
ス部材と、 前記ベース部材の前記複数の溝を覆うように設けられて
圧力室となるインクチャンネルを構成するカバー部材
と、 前記インクチャンネルに連通するノズルとを備え、 前記電極に駆動電圧を印加して、前記側壁に剪断変形を
生じさせることにより前記インクチャンネルに圧力振動
を生じさせて前記ノズルよりインクを吐出させるインク
ジェットヘッドの、駆動方法において、 前記電極に加える電圧が、インクチャンネル列の並びに
従って連続的に変化するように加えられることを特徴と
する、インクジェットヘッドの駆動方法。
At least a portion is formed of a piezoelectric material,
And a plurality of grooves are provided in parallel on the surface thereof, and a base member provided with an electrode on a part of a side wall of each of the grooves, and a base member provided to cover the plurality of grooves of the base member. A cover member constituting an ink channel serving as a pressure chamber; and a nozzle communicating with the ink channel. A drive voltage is applied to the electrode to generate a shear deformation on the side wall, thereby causing pressure vibration on the ink channel. Wherein the voltage applied to the electrodes is applied so as to be continuously changed in accordance with the arrangement of the ink channel rows. Drive method.
【請求項2】 前記電極に加える電圧で、複数のインク
チャンネル列の中心に位置するインクチャンネルに加え
る電圧が最も小さいことを特徴とする、請求項1に記載
のインクジェットヘッドの駆動方法。
2. The ink jet head driving method according to claim 1, wherein a voltage applied to the ink channel located at the center of the plurality of ink channel rows is the smallest among the voltages applied to the electrodes.
【請求項3】 前記電極に加える電圧で、複数のインク
チャンネル列のどちらか一方の端部に位置するインクチ
ャンネルに加える電圧が最も小さいことを特徴とする、
請求項1に記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
3. The method according to claim 1, wherein a voltage applied to the ink channel located at one end of the plurality of ink channel rows is the smallest among the voltages applied to the electrodes.
A method for driving an ink jet head according to claim 1.
【請求項4】 少なくとも一部が圧電材料で形成され、
かつその表面に平行に並んで複数の溝が設けられ、さら
にそれぞれの該溝の側壁の一部に電極が設けられたベー
ス部材と、 前記ベース部材の前記複数の溝を覆うように設けられて
圧力室となるインクチャンネルを構成するカバー部材
と、 前記インクチャンネルに連通するノズルとを備え、 前記電極に駆動電圧を印加して、前記側壁に剪断変形を
生じさせることにより前記インクチャンネルに圧力振動
を生じさせて前記ノズルよりインクを吐出させるインク
ジェットヘッドの駆動方法において、 前記電極に加える電圧が、インクチャンネルの体積を大
きくする方向に所定時間印加され、続いて、インクチャ
ンネルの体積を小さくする方向に所定時間印加されるも
のであり、インクチャンネルの体積を大きくする方向に
電圧が印加される時間が、インクチャンネル列の並びに
従って連続的に変化することを特徴とする、インクジェ
ットヘッドの駆動方法。
4. At least a portion is formed of a piezoelectric material,
And a plurality of grooves are provided in parallel on the surface thereof, and a base member provided with an electrode on a part of a side wall of each of the grooves, and a base member provided to cover the plurality of grooves of the base member. A cover member constituting an ink channel serving as a pressure chamber; and a nozzle communicating with the ink channel. A drive voltage is applied to the electrode to generate a shear deformation on the side wall, thereby causing pressure vibration on the ink channel. In the method of driving an ink jet head that causes ink to be ejected from the nozzles, a voltage applied to the electrode is applied for a predetermined time in a direction to increase the volume of the ink channel, and subsequently, a direction to decrease the volume of the ink channel. Is applied for a predetermined time, and the time during which the voltage is applied in the direction of increasing the volume of the ink channel is A method for driving an ink-jet head, wherein the method continuously changes according to the arrangement of ink channel rows.
【請求項5】 前記インクチャンネルの体積を大きくす
る方向に電圧が印加される時間で、複数のインクチャン
ネル列の両端部に位置するインクチャンネルに印加され
る時間が、インク滴の吐出速度が最も大きくなるように
設定されて連続的に変化することを特徴とする、請求項
4に記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
5. The time when a voltage is applied in a direction to increase the volume of the ink channel, and the time when the voltage is applied to the ink channels located at both ends of the plurality of ink channel rows is the time when the ink droplet ejection speed is the highest. The method for driving an ink jet head according to claim 4, wherein the ink jet head is set to be large and changes continuously.
【請求項6】 前記インクチャンネルの体積を大きくす
る方向に電圧が印加される時間で、複数のインクチャン
ネル列のどちらか一方の端部に位置するインクチャンネ
ルに印加される時間が、インク滴の吐出速度が最も大き
くなるように設定されて連続的に変化することを特徴と
する、請求項4に記載のインクジェットヘッドの駆動方
法。
6. The time when a voltage is applied in a direction to increase the volume of the ink channel, and the time when a voltage is applied to an ink channel located at one end of a plurality of ink channel rows is a time when an ink droplet is applied. 5. The method according to claim 4, wherein the ejection speed is set to be maximum and changes continuously.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105415887A (en) * 2014-09-12 2016-03-23 精工电子打印科技有限公司 Flow Path Member, Liquid Ejecting Head, Liquid Ejecting Apparatus And Liquid Stirring Method
JP2016112810A (en) * 2014-12-16 2016-06-23 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid jet head, liquid jet apparatus and manufacturing method for liquid jet head

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105415887A (en) * 2014-09-12 2016-03-23 精工电子打印科技有限公司 Flow Path Member, Liquid Ejecting Head, Liquid Ejecting Apparatus And Liquid Stirring Method
US9713924B2 (en) 2014-09-12 2017-07-25 Sii Printek Inc. Liquid jet head having drive electrodes of different depths on ejection and dummy channels
JP2016112810A (en) * 2014-12-16 2016-06-23 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid jet head, liquid jet apparatus and manufacturing method for liquid jet head

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