JP2001311857A - Optical module, its manufacturing method and optical transmission device - Google Patents

Optical module, its manufacturing method and optical transmission device

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JP2001311857A
JP2001311857A JP2000128814A JP2000128814A JP2001311857A JP 2001311857 A JP2001311857 A JP 2001311857A JP 2000128814 A JP2000128814 A JP 2000128814A JP 2000128814 A JP2000128814 A JP 2000128814A JP 2001311857 A JP2001311857 A JP 2001311857A
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JP
Japan
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optical
optical fiber
light
mold
resin
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JP2000128814A
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Japanese (ja)
Inventor
Akihiro Murata
昭浩 村田
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module having high positional accuracy of an optical fiber and to provide its manufacturing method and optical transmission device. SOLUTION: The manufacturing method of the optical module includes such processes that, while an optical element 20 with an optical part 22 is driven, an optical fiber 40 is moved its position toward the optical part 22 and that an optical transmission sensitivity detected between the optical fiber 40 and the optical element 20 is detected and positioning is performed between the optical fiber 40 and the optical part 22.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュール及び
その製造方法並びに光伝達装置に関する。
The present invention relates to an optical module, a method of manufacturing the same, and an optical transmission device.

【0002】[0002]

【発明の背景】近年、情報通信が高速化・大容量化の傾
向にあり、光通信の開発が進んでいる。光通信では、電
気信号を光信号に変換し、光信号を光ファイバで送信
し、受信した光信号を電気信号に変換する。電気信号と
光信号との変換は光素子によって行われる。また、光素
子がプラットフォームに搭載されてなる光モジュールが
知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, information communication has been trending toward higher speed and larger capacity, and optical communication has been developed. In optical communication, an electric signal is converted into an optical signal, the optical signal is transmitted through an optical fiber, and the received optical signal is converted into an electric signal. The conversion between an electric signal and an optical signal is performed by an optical element. Also, an optical module in which an optical element is mounted on a platform is known.

【0003】従来の光モジュールでは、光素子と光ファ
イバとの位置合わせが難しかった。例えば、プラットフ
ォームに形成されたV溝を利用して光ファイバの位置を
合わせていたが、高精度の位置合わせを行うことは難し
かった。
In the conventional optical module, it has been difficult to align the optical element with the optical fiber. For example, although the position of the optical fiber has been adjusted using the V-groove formed in the platform, it has been difficult to perform the alignment with high precision.

【0004】本発明は、この問題点を解決するものであ
り、その目的は、光ファイバの位置精度が高い光モジュ
ール及びその製造方法並びに光伝達装置を提供すること
にある。
An object of the present invention is to solve this problem, and an object of the present invention is to provide an optical module having high optical fiber position accuracy, a method of manufacturing the same, and an optical transmission device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る光モ
ジュールの製造方法は、光学的部分を有する光素子を駆
動するとともに、光ファイバを、前記光素子の前記光学
的部分が形成された面に向けて位置を移動させ、前記光
ファイバから出射する光を検出して、その検出結果に基
づき、前記光ファイバと前記光学的部分との位置合わせ
をする工程を含む。
(1) In a method of manufacturing an optical module according to the present invention, an optical element having an optical part is driven and an optical fiber is formed by forming the optical part of the optical element. Moving the position toward the inclined surface, detecting light emitted from the optical fiber, and aligning the optical fiber with the optical portion based on the detection result.

【0006】本発明によれば、光素子を駆動して、光を
検出しながら、光学的部分と光素子との位置合わせを行
うので、位置精度を極めて高くすることができる。
According to the present invention, since the optical element is driven and the optical element is aligned with the optical element while detecting the light, the positional accuracy can be extremely increased.

【0007】(2)この光モジュールの製造方法におい
て、前記光素子は、発光素子であり、前記光学的部分か
ら出射した光を、前記光ファイバの一方の端面から入射
させ、前記光ファイバの他方の端面から出射した光をセ
ンサに入射させて、光伝送感度を検出してもよい。
(2) In this method of manufacturing an optical module, the optical element is a light emitting element, and the light emitted from the optical part is made incident from one end face of the optical fiber, and the other of the optical fiber The light transmitted from the end face of the light-receiving element may be made incident on the sensor to detect the light transmission sensitivity.

【0008】これによれば、発光素子から出射した光
を、センサによって検出し、最も高い感度が得られる位
置が、光ファイバの最適な位置である。
According to this, the position where the light emitted from the light emitting element is detected by the sensor and the highest sensitivity is obtained is the optimum position of the optical fiber.

【0009】(3)この光モジュールの製造方法におい
て、前記光素子は、受光素子であり、前記光ファイバの
一方の面に光を入射させ、前記光ファイバの他方の面か
ら出射した光を前記光学的部分に入射させて、光伝送感
度を検出してもよい。
(3) In this method of manufacturing an optical module, the optical element is a light-receiving element, which allows light to enter one surface of the optical fiber and emits light emitted from the other surface of the optical fiber. The light transmission sensitivity may be detected by making the light enter the optical portion.

【0010】これによれば、受光素子が入射した光を検
出して、最も高い感度が得られる位置が、光ファイバの
最適な位置である。
According to this, the position where the light receiving element detects the incident light and the highest sensitivity is obtained is the optimum position of the optical fiber.

【0011】(4)本発明に係る光モジュールの製造方
法は、型に光学的部分を有する光素子を配置し、前記光
素子を駆動するとともに、光ファイバを、前記光素子の
前記光学的部分が形成された面に向けて位置を移動さ
せ、前記光ファイバから出射する光を検出して、その検
出結果に基づき、前記光ファイバと前記光学的部分との
位置合わせをし、前記型に樹脂を設けるとともに、前記
光ファイバと前記光素子とを前記樹脂にて固定し、前記
樹脂を硬化させ、前記樹脂とともに前記光素子及び前記
光ファイバを前記型から剥離する工程を含む。
(4) In the method of manufacturing an optical module according to the present invention, an optical element having an optical part is arranged in a mold, and the optical element is driven and an optical fiber is connected to the optical part of the optical element. The position is moved toward the surface on which is formed, the light emitted from the optical fiber is detected, and based on the detection result, the optical fiber and the optical part are aligned with each other, and the mold is made of resin. And fixing the optical fiber and the optical element with the resin, curing the resin, and peeling the optical element and the optical fiber together with the resin from the mold.

【0012】本発明によれば、光素子を駆動して、光を
検出しながら、光学的部分と光素子との位置合わせを行
うので、位置精度を極めて高くすることができ、光素子
と光ファイバとの固定を簡単に行うことができる。
According to the present invention, since the optical element is driven and the optical element is aligned with the optical element while detecting the light, the positional accuracy can be made extremely high. Fixing to the fiber can be easily performed.

【0013】(5)この光モジュールの製造方法におい
て、前記光素子及び前記型に配線を設けた後に、前記配
線を覆うように前記樹脂を形成し、前記樹脂を前記型か
ら剥離してもよい。
(5) In this method for manufacturing an optical module, after the wiring is provided on the optical element and the mold, the resin may be formed so as to cover the wiring, and the resin may be peeled from the mold. .

【0014】これによれば、配線の型に対する付着面以
外の部分は、樹脂に封止される。そして、樹脂とともに
配線を型から剥離すると、配線は、型に対する付着面を
除き、樹脂に埋め込まれた形態となる。
According to this, the portion other than the surface of the wiring attached to the mold is sealed with the resin. Then, when the wiring is peeled off from the mold together with the resin, the wiring is in a form embedded in the resin except for the surface attached to the mold.

【0015】(6)この光モジュールの製造方法におい
て、前記型に離型剤を塗布した状態で前記樹脂を設けて
もよい。
(6) In the method for manufacturing an optical module, the resin may be provided in a state where a mold release agent is applied to the mold.

【0016】(7)本発明に係る光モジュールは、光フ
ァイバと、前記光ファイバと位置合わせされた光素子
と、前記光ファイバ及び前記光素子を固定する成形体
と、前記成形体から少なくとも一部が露出するとともに
前記光素子に電気的に接続されてなる配線と、を有して
なる。
(7) The optical module according to the present invention comprises: an optical fiber; an optical element aligned with the optical fiber; a molded body for fixing the optical fiber and the optical element; And a wiring having a portion exposed and electrically connected to the optical element.

【0017】本発明によれば、配線は、一部を除き、成
形体に埋め込まれているので、凸が形成されない。
According to the present invention, except for a part of the wiring, the wiring is embedded in the molded body, so that no projection is formed.

【0018】(8)本発明に係る光伝達装置は、光ファ
イバと、前記光ファイバの一方の端面に発光部を向けて
搭載された第1の光素子と、前記光ファイバの他方の端
面に受光部を向けて搭載された第2の光素子と、前記光
ファイバの各端部と前記第1及び第2の光素子とを固定
する成形体と、それぞれの前記成形体から少なくとも一
部が露出するとともに前記第1及び第2の光素子に電気
的に接続されてなる配線と、を含む。
(8) An optical transmission device according to the present invention comprises an optical fiber, a first optical element mounted on one end face of the optical fiber with a light-emitting portion facing the other end face, and a first optical element mounted on the other end face of the optical fiber. A second optical element mounted with the light receiving portion facing, a molded body for fixing each end of the optical fiber and the first and second optical elements, and at least a part of each molded body. And a wiring that is exposed and electrically connected to the first and second optical elements.

【0019】本発明によれば、配線は、一部を除いて、
成形体に埋め込まれた形態であるから、成形体に配線に
よる凸が形成されない。
According to the present invention, except for a part of the wiring,
Since it is embedded in the molded body, no protrusion due to wiring is formed on the molded body.

【0020】(9)この光伝達装置において、前記発光
素子は、第1のプラグが接続されてなり、前記受光素子
は、第2のプラグが接続されてなるものでもよい。
(9) In this light transmission device, the light emitting element may be connected to a first plug, and the light receiving element may be connected to a second plug.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0022】(第1の実施の形態)図1〜図8は、本発
明を適用した第1の実施の形態に係る光モジュールの製
造方法を示す図である。本実施の形態では、図1に示す
型10を使用する。
(First Embodiment) FIGS. 1 to 8 are views showing a method of manufacturing an optical module according to a first embodiment of the present invention. In the present embodiment, the mold 10 shown in FIG. 1 is used.

【0023】型10は、図2に示すように光素子20を
載せたり、図6に示すように樹脂60を設けるなどの工
程を行うための作業面12を有する。型10は、電気的
接続部14、16を有する。電気的接続部14、16
は、作業面12に露出する面を有する。電気的接続部1
4、16は、作業面12上に形成した導電層であっても
よいが、本実施の形態では、型10の作業面12とそれ
以外の面とを貫通して電気的接続部14、16が形成さ
れている。こうすることで、作業面12上での工程を妨
げることなく、それ以外の面から電気的な接続をとるこ
とができる。
The mold 10 has a work surface 12 for performing processes such as mounting the optical element 20 as shown in FIG. 2 and providing a resin 60 as shown in FIG. The mold 10 has electrical connections 14,16. Electrical connections 14, 16
Has a surface exposed on the work surface 12. Electrical connection 1
The conductive layers 4 and 16 may be conductive layers formed on the work surface 12, but in the present embodiment, the electric connection portions 14 and 16 penetrate the work surface 12 of the mold 10 and other surfaces. Are formed. By doing so, it is possible to make an electrical connection from the other surface without obstructing the process on the work surface 12.

【0024】電気的接続部14、16は、導電性が高い
材料で形成されていることが好ましく、強度も高いこと
が好ましい。また、図1に示す例では、電気的接続部1
4、16は、作業面12から反対方向に拡がるテーパが
付された貫通穴に挿入されて設けられているので、作業
面12の方向への抜け止めがなされている。
The electrical connection portions 14 and 16 are preferably formed of a material having high conductivity, and preferably have high strength. Further, in the example shown in FIG.
4 and 16 are inserted and provided in the tapered through holes extending in the opposite direction from the work surface 12, so that they are prevented from falling in the direction of the work surface 12.

【0025】なお、図1に示す例とは異なり、電気的接
続部14、16が、作業面12に形成された導電層から
なる場合には、作業面12から剥離しにくいことが好ま
しい。例えば、メッキによって形成された導電層より
も、スパッタリングによって形成された導電層の方が剥
離しにくい。
It should be noted that, unlike the example shown in FIG. 1, when the electrical connection portions 14 and 16 are made of a conductive layer formed on the work surface 12, it is preferable that the electrical connection portions 14 and 16 are not easily separated from the work surface 12. For example, a conductive layer formed by sputtering is less likely to peel than a conductive layer formed by plating.

【0026】一方の電気的接続部14は、作業面12か
ら突出して形成されている。なお、必要であれば、他方
の電気的接続部16も、作業面12から突出していても
よい。また、電気的接続部14、16は、作業面12以
外の面から突出していてもよい。
The one electrical connection portion 14 is formed so as to protrude from the work surface 12. If necessary, the other electrical connection 16 may also protrude from the work surface 12. Further, the electrical connection portions 14 and 16 may protrude from a surface other than the work surface 12.

【0027】型10は、樹脂、ガラス、セラミック又は
金属で形成してもよいが、シリコン(例えばシリコンウ
エーハ)を使用すれば、エッチングによって微細加工が
できる。
The mold 10 may be made of resin, glass, ceramic or metal. However, if silicon (for example, silicon wafer) is used, fine processing can be performed by etching.

【0028】本実施の形態では、図2に示すように、型
10の作業面12に光素子20を載せる。光素子20
は、発光素子であっても受光素子であってもよい。発光
素子の一例として面発光素子、特に面発光レーザを使用
することができる。面発光レーザなどの面発光素子は、
表面から垂直方向に光を発する。光素子20は、光学的
部分22を有する。光素子20が発光素子であるとき
は、光学的部分22は発光部であり、光素子20が受光
素子であるときは、光学的部分22は受光部である。
In this embodiment, as shown in FIG. 2, the optical element 20 is placed on the work surface 12 of the mold 10. Optical element 20
May be a light emitting element or a light receiving element. As an example of the light emitting element, a surface emitting element, in particular, a surface emitting laser can be used. Surface emitting devices such as surface emitting lasers
Emit light vertically from the surface. The optical element 20 has an optical part 22. When the optical element 20 is a light emitting element, the optical part 22 is a light emitting part, and when the optical element 20 is a light receiving element, the optical part 22 is a light receiving part.

【0029】光素子20は、光学的部分22が形成され
た側の電極24と、その反対側の電極26と、を有す
る。すなわち、光素子20には、表裏面に電極24、2
6が形成されており、両方の電極24、26間に電圧を
印加するようになっている。
The optical element 20 has an electrode 24 on the side on which the optical portion 22 is formed, and an electrode 26 on the opposite side. That is, the optical element 20 has electrodes 24, 2
6 is formed, and a voltage is applied between both electrodes 24 and 26.

【0030】光素子20は、光学的部分22とは反対側
の面を、作業面12に向けて配置する。そして、光学的
部分22とは反対側の面に形成された電極26と、型1
0の電気的接続部16とを、電気的に接続する。
The optical element 20 is arranged with the surface opposite to the optical part 22 facing the work surface 12. The electrode 26 formed on the surface opposite to the optical part 22 and the mold 1
0 is electrically connected to the electrical connection unit 16.

【0031】図2に示す例では、作業面12に、電気的
接続部16から光素子20が配置される領域に至る配線
30を形成しておき、配線30と電極26とを電気的に
接続する。配線30は、導電層である。導電層は、蒸着
やメッキによって形成された金属箔であってもよい。メ
ッキとして無電解メッキを適用するときには、触媒をイ
ンクジェット方式で吐出してもよい。導電層は、印刷、
ポッティング又はインクジェット方式を適用して形成し
てもよい。導電層の材料は、導電性ペーストでもよい。
配線30は、型10から剥離しやすいことが好ましい。
例えば、配線30を、スズなどのメッキで形成すれば剥
離しやすい。または、印刷によって配線30を形成した
場合も、配線30は比較的容易に剥離することができ
る。
In the example shown in FIG. 2, a wiring 30 extending from the electrical connection portion 16 to the region where the optical element 20 is arranged is formed on the work surface 12, and the wiring 30 and the electrode 26 are electrically connected. I do. The wiring 30 is a conductive layer. The conductive layer may be a metal foil formed by vapor deposition or plating. When applying electroless plating as plating, the catalyst may be discharged by an inkjet method. Conductive layer, printing,
You may form by applying potting or an inkjet method. The material of the conductive layer may be a conductive paste.
It is preferable that the wiring 30 be easily separated from the mold 10.
For example, if the wiring 30 is formed by plating with tin or the like, it is easy to peel off. Alternatively, even when the wiring 30 is formed by printing, the wiring 30 can be peeled relatively easily.

【0032】配線30が、後の工程で型10から剥離さ
れる場合には、光素子20の電極26は、配線30と接
合されることが好ましい。例えば、電極26及び配線3
0の間に、ハンダなどのロウ材や、導電性接着剤を設け
てもよいし、配線30自体を導電性ペーストで形成し、
その硬化前に電極26を密着させてもよい。
When the wiring 30 is separated from the mold 10 in a later step, the electrode 26 of the optical element 20 is preferably bonded to the wiring 30. For example, the electrode 26 and the wiring 3
0, a brazing material such as solder or a conductive adhesive may be provided, or the wiring 30 itself is formed of a conductive paste,
The electrode 26 may be brought into close contact before the curing.

【0033】配線30を、型10の電気的接続部16上
に至るように形成することで、電気的接続部16を介し
て、光素子20の電極26との電気的接続を図ることが
できる。
By forming the wiring 30 so as to extend over the electrical connection portion 16 of the mold 10, electrical connection with the electrode 26 of the optical element 20 can be achieved via the electrical connection portion 16. .

【0034】また、光素子20における光学的部分22
が形成された面に形成された電極24と、電気的接続部
14とを、配線32によって電気的に接続する。電気的
接続部14は、型10の作業面12から突出しており、
上端面に配線32を付着させる。
The optical part 22 of the optical element 20
The electrode 24 formed on the surface on which is formed and the electrical connection portion 14 are electrically connected by the wiring 32. The electrical connection 14 protrudes from the work surface 12 of the mold 10,
The wiring 32 is attached to the upper end surface.

【0035】図2に示す例では、配線32は、ワイヤの
両端部を、電極24及び電気的接続部14にボンディン
グして形成される。ワイヤは、半導体装置の製造に使用
されるワイヤーボンダによってボンディングしてもよ
い。その場合、熱、圧力、超音波振動のうち少なくとも
1つによってボンディングする。ワイヤは、金やアルミ
ニウムからなるものであってもよい。
In the example shown in FIG. 2, the wiring 32 is formed by bonding both ends of the wire to the electrode 24 and the electrical connection portion 14. The wires may be bonded by a wire bonder used for manufacturing a semiconductor device. In this case, bonding is performed by at least one of heat, pressure, and ultrasonic vibration. The wire may be made of gold or aluminum.

【0036】型10における配線32が付着される部分
が、ワイヤが付着しにくい、あるいはワイヤが剥離しに
くい材料である場合には、予め、型10に導電膜34を
形成しておくことが好ましい。この場合は、ワイヤ及び
導電層34が一体化して配線32となる。導電膜34の
表面は、ワイヤと同じ材料で形成してもよい。例えば、
ワイヤが金からなるときには、クロムからなる膜と、そ
の上の金からなる膜と、で導電膜34を形成してもよ
い。
When the portion of the mold 10 to which the wiring 32 is attached is made of a material to which the wire is not easily attached or the wire is not easily separated, it is preferable to form the conductive film 34 on the mold 10 in advance. . In this case, the wire and the conductive layer 34 are integrated to form the wiring 32. The surface of the conductive film 34 may be formed of the same material as the wire. For example,
When the wire is made of gold, the conductive film 34 may be formed of a film made of chromium and a film made of gold thereon.

【0037】次に、図3に示すように、光ファイバ40
を、光学的部分22に先端を向けて配置する。光ファイ
バ40は、コアとこれを同心円状に囲むクラッドとを含
むもので、コアとクラッドとの境界で光が反射されて、
コア内に光が閉じこめられて伝搬するものである。ま
た、クラッドの周囲は、ジャケットによって保護される
ことが多い。
Next, as shown in FIG.
Is positioned with the tip facing the optical part 22. The optical fiber 40 includes a core and a clad that concentrically surrounds the core, and light is reflected at a boundary between the core and the clad,
Light is confined in the core and propagates. Also, the periphery of the cladding is often protected by a jacket.

【0038】光ファイバ40の先端部には、コネクタ4
2が設けられている。コネクタ42は、光素子20に固
定されるものである。コネクタ42は、光ファイバ40
の先端面を露出させて設けられており、光ファイバ40
の先端面よりも突出する部分44によって、光ファイバ
40の先端面と光学的部分22との接触を防止してい
る。
At the tip of the optical fiber 40, a connector 4
2 are provided. The connector 42 is fixed to the optical element 20. The connector 42 is an optical fiber 40
The optical fiber 40 is provided with the distal end face exposed.
A portion 44 protruding from the front end surface of the optical fiber 40 prevents the front end surface of the optical fiber 40 from contacting the optical portion 22.

【0039】そして、光素子20を駆動する。詳しく
は、電極24、26間に電圧を印加する。図3に示す例
では、光素子20は発光素子であり、光学的部分22か
ら光を出射する。その光を、光ファイバ40に、その一
方の端面から入射させる。光ファイバ40の他方の端部
には、センサ50が取り付けられており、入射した光を
センサ50によって検出する。センサ50は、例えば、
受光素子を含み、入射した光を電気的信号に変換する。
図4を参照して後述するように、本発明を適用した方法
で取り付けられた受光素子を、センサ50として使用し
てもよい。
Then, the optical element 20 is driven. Specifically, a voltage is applied between the electrodes 24 and 26. In the example shown in FIG. 3, the optical element 20 is a light emitting element, and emits light from the optical part 22. The light is made to enter the optical fiber 40 from one end face thereof. A sensor 50 is attached to the other end of the optical fiber 40, and the incident light is detected by the sensor 50. The sensor 50 is, for example,
It includes a light receiving element and converts incident light into an electric signal.
As described later with reference to FIG. 4, a light receiving element mounted by a method to which the present invention is applied may be used as the sensor 50.

【0040】なお、センサ50による検出結果(一般的
には電気的信号)は、必要なデータ処理を行った上で、
視覚的に認識できる表示部(図示せず)に送ってもよい
し、自動制御を行う場合には演算処理部(図示せず)に
送ってもよい。
The result of detection by the sensor 50 (generally, an electric signal) is subjected to necessary data processing,
It may be sent to a visually recognizable display unit (not shown), or may be sent to an arithmetic processing unit (not shown) when performing automatic control.

【0041】ここで、光ファイバ40の光学的部分22
側の端部(コネクタ42)を、移動させると、センサ5
0による光の検出値が変化する。すなわち、センサ50
は、光ファイバ40と光素子20との間での光伝送感度
を検出することができる。センサ50によって最も高い
光伝送感度を検出できた位置が、光ファイバ40の最適
な位置である。光ファイバ40は、アクチュエータによ
って移動させてもよい。
Here, the optical portion 22 of the optical fiber 40
When the end on the side (connector 42) is moved, the sensor 5
The detected value of light due to 0 changes. That is, the sensor 50
Can detect the optical transmission sensitivity between the optical fiber 40 and the optical element 20. The position where the highest optical transmission sensitivity can be detected by the sensor 50 is the optimum position of the optical fiber 40. The optical fiber 40 may be moved by an actuator.

【0042】なお、センサ50による検出結果(電気的
信号)が入力された演算処理部(図示せず)によって、
光ファイバ40を移動させるアクチュエータ(図示せ
ず)を駆動させ、最も高い光伝送感度を検出するよう
に、光ファイバ40を位置決めしてもよい。
Note that an arithmetic processing unit (not shown) to which a detection result (electric signal) by the sensor 50 is input is provided.
An actuator (not shown) for moving the optical fiber 40 may be driven to position the optical fiber 40 so as to detect the highest light transmission sensitivity.

【0043】図4は、光素子20が受光素子である場合
の例を示す図である。この場合には、光ファイバ40の
一方の端部に光源54を設ける。図3を参照して上述し
たように、本発明を適用した方法で取り付けられた発光
素子を、光源54として使用してもよい。そして、光フ
ァイバ40の他方の端部(コネクタ42)を移動させ
て、光素子20の光学的部分22に、光を入射させる。
また、電極24、26間に測定器52を接続する。測定
器52は、例えば電圧計であり、入射した光によって生
じた電圧を計測する。
FIG. 4 is a diagram showing an example where the optical element 20 is a light receiving element. In this case, a light source 54 is provided at one end of the optical fiber 40. As described above with reference to FIG. 3, the light emitting device mounted by the method to which the present invention is applied may be used as the light source 54. Then, the other end (connector 42) of the optical fiber 40 is moved to make light incident on the optical portion 22 of the optical element 20.
Further, a measuring device 52 is connected between the electrodes 24 and 26. The measuring device 52 is, for example, a voltmeter, and measures a voltage generated by incident light.

【0044】なお、電極24、26は、測定器52に接
続する代わりに、自動制御を行う場合には演算処理部
(図示せず)に送ってもよい。
The electrodes 24 and 26 may be sent to an arithmetic processing unit (not shown) when performing automatic control instead of connecting to the measuring device 52.

【0045】ここで、光ファイバ40の光学的部分22
側の端部(コネクタ42)を、移動させると、測定器5
2による測定値が変化する。すなわち、測定器52は、
光ファイバ40と光素子20との間での光伝送感度を検
出することができる。測定器52によって最も高い光伝
送感度を検出できた位置が、光ファイバ40の最適な位
置である。光ファイバ40は、アクチュエータによって
移動させてもよい。
Here, the optical portion 22 of the optical fiber 40
When the side end (connector 42) is moved, the measuring instrument 5
The value measured by 2 changes. That is, the measuring device 52
The optical transmission sensitivity between the optical fiber 40 and the optical element 20 can be detected. The position where the highest optical transmission sensitivity can be detected by the measuring device 52 is the optimum position of the optical fiber 40. The optical fiber 40 may be moved by an actuator.

【0046】なお、電極24、26間の電圧が印加され
た演算処理部(図示せず)によって、光ファイバ40を
移動させるアクチュエータ(図示せず)を駆動させ、最
も高い光伝送感度を検出するように、光ファイバ40を
位置決めしてもよい。
An actuator (not shown) for moving the optical fiber 40 is driven by an arithmetic processing unit (not shown) to which a voltage between the electrodes 24 and 26 is applied, and the highest light transmission sensitivity is detected. Thus, the optical fiber 40 may be positioned.

【0047】上述した工程によって、図5に示すよう
に、光ファイバ40の端部(例えばコネクタ42)を、
光学的部分22に対して位置決めする。なお、コネクタ
42は、光素子20に接触させてもよい。また、この時
点で、コネクタ42と光素子20とを接着しておいても
よい。
By the above-described steps, as shown in FIG. 5, the end of the optical fiber 40 (for example, the connector 42) is
It is positioned with respect to the optical part 22. Note that the connector 42 may be brought into contact with the optical element 20. At this time, the connector 42 and the optical element 20 may be bonded.

【0048】次に、図6に示すように、型10の作業面
12上に樹脂60を設ける。樹脂60によって、光ファ
イバ40の端部(コネクタ42)と光素子20とを固定
する。樹脂60は、コネクタ42の全体を覆ってもよい
し、コネクタ42の一部を覆わなくてもよい。なお、樹
脂60は、光素子20を封止することが好ましい。ワイ
ヤをボンディングして形成する配線32は、樹脂60で
封止されることで、ワイヤの切断が防止される。導電層
によって形成する配線30は、型10との付着面を除い
て樹脂60で覆われる。
Next, as shown in FIG. 6, a resin 60 is provided on the work surface 12 of the mold 10. The end of the optical fiber 40 (connector 42) and the optical element 20 are fixed by the resin 60. The resin 60 may cover the entire connector 42 or may not cover a part of the connector 42. Note that the resin 60 preferably seals the optical element 20. The wiring 32 formed by bonding the wires is sealed with the resin 60, thereby preventing the wires from being cut. The wiring 30 formed by the conductive layer is covered with the resin 60 except for the surface where the wiring 30 is attached to the mold 10.

【0049】型10の電気的接続部14は、上述したよ
うに、作業面12側で突出しているので、その反転した
凹部が樹脂60に形成される。
As described above, since the electrical connection portion 14 of the mold 10 protrudes on the work surface 12 side, the inverted concave portion is formed in the resin 60.

【0050】必要であれば、樹脂60を設ける前に、型
10に離型剤(図示せず)を塗布しておく。離型剤(潤
滑剤)は、樹脂60との密着性が低いものであり、離型
剤を塗布することで、樹脂60の型10からの離型性が
良くなる。
If necessary, a mold release agent (not shown) is applied to the mold 10 before the resin 60 is provided. The release agent (lubricant) has low adhesiveness to the resin 60, and the release of the resin 60 from the mold 10 is improved by applying the release agent.

【0051】本実施の形態では、樹脂60をポッティン
グによって設けたが、樹脂60は、モールド樹脂であっ
てもよい。その場合、型10と、図示しない他の型とで
形成されたキャビティに樹脂60を充填する。
In the present embodiment, the resin 60 is provided by potting, but the resin 60 may be a mold resin. In that case, the resin 60 is filled into a cavity formed by the mold 10 and another mold (not shown).

【0052】次に、図7に示すように、樹脂60を硬化
させて型10から剥離する。樹脂60からなる成形体に
よって、光素子20と光ファイバ40とが固定されてい
る。また、樹脂60とともに、配線30、32の型10
に対する付着面を、型10から剥離する。配線32は、
ワイヤの端部の面又は導電膜34の面が、型10から剥
離される。導電層によって形成した配線30は、型10
に付着していた面が型10から剥離される。
Next, as shown in FIG. 7, the resin 60 is cured and peeled from the mold 10. The optical element 20 and the optical fiber 40 are fixed by a molded body made of the resin 60. In addition, together with the resin 60, the mold 10
Is peeled from the mold 10. The wiring 32
The surface at the end of the wire or the surface of the conductive film 34 is peeled from the mold 10. The wiring 30 formed by the conductive layer is
The surface that has adhered to the mold is peeled from the mold 10.

【0053】こうして、プラットフォーム1が得られ
る。プラットフォーム1は、樹脂600からなる成形体
を有する。成形体には、少なくとも一部が露出する状態
で配線30、32が埋め込まれている。配線30は、そ
の全長にわたる面が露出している。配線32は、ワイヤ
の端部の表面、あるいはワイヤの端部がボンディングさ
れた導電膜34の表面が、成形体から露出している。詳
しくは、成形体に、型10の電気的接続部14によって
形成された凹部62があり、凹部62の底面に導電層3
4(配線32)が露出している。
Thus, the platform 1 is obtained. The platform 1 has a molded body made of the resin 600. The wires 30 and 32 are embedded in the molded body in a state where at least a part thereof is exposed. The wiring 30 has its entire surface exposed. In the wiring 32, the surface of the end of the wire or the surface of the conductive film 34 to which the end of the wire is bonded is exposed from the molded body. Specifically, the molded body has a concave portion 62 formed by the electric connection portion 14 of the mold 10, and the conductive layer 3 is formed on the bottom surface of the concave portion 62.
4 (wiring 32) is exposed.

【0054】図8に示すように、凹部62には、導電ペ
ーストなどの導電材料64を充填してもよい。この場
合、配線32(導電膜34)は、導電材料64によって
覆われており、凹部62の一部の面(底面)を形成す
る。また、配線30、32(又は導電材料64)上に、
ハンダボールなどの外部端子66を設けてもよい。
As shown in FIG. 8, the recess 62 may be filled with a conductive material 64 such as a conductive paste. In this case, the wiring 32 (conductive film 34) is covered with the conductive material 64 and forms a part of the surface (bottom surface) of the concave portion 62. Further, on the wirings 30 and 32 (or the conductive material 64),
External terminals 66 such as solder balls may be provided.

【0055】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、高い精度で光ファイバ40と光素子20との位置合
わせを行うことができる。
As described above, according to the present embodiment, the alignment between the optical fiber 40 and the optical element 20 can be performed with high accuracy.

【0056】(第2の実施の形態)図9は、本発明を適
用した第2の実施の形態に係る光モジュールを示す図で
ある。この光モジュールは、複数の光学的部分122を
有する光素子120と、複数の光ファイバ40と、を含
む。各光ファイバ40は各光学的部分122に対応して
設けられている。また、複数の光ファイバ40は、コネ
クタ142によって固定されている。
(Second Embodiment) FIG. 9 is a view showing an optical module according to a second embodiment to which the present invention is applied. This optical module includes an optical element 120 having a plurality of optical portions 122 and a plurality of optical fibers 40. Each optical fiber 40 is provided corresponding to each optical portion 122. The plurality of optical fibers 40 are fixed by connectors 142.

【0057】図9に示す例は、4つの光学的部分122
を有する光モジュールであり、これをカラー画像信号の
伝送に使用するときには、光学的部分122及び光ファ
イバ40は、R、G、Bの信号及びクロック信号の送受
信に使用される。
The example shown in FIG.
When the optical module is used for transmitting a color image signal, the optical part 122 and the optical fiber 40 are used for transmitting and receiving R, G, B signals and a clock signal.

【0058】本実施の形態に係る光モジュールは、上述
した実施の形態で説明した製造方法によって、各光ファ
イバ40と各光学的部分122との位置合わせをするこ
とができる。
In the optical module according to the present embodiment, each optical fiber 40 and each optical portion 122 can be aligned by the manufacturing method described in the above embodiment.

【0059】(第3の実施の形態)図10は、本発明を
適用した第3の実施の形態に係る光伝達装置を示す図で
ある。光伝達装置200は、コンピュータ、ディスプレ
イ、記憶装置、プリンタ等の電子機器202を相互に接
続するものである。電子機器202は、情報通信機器で
あってもよい。光伝達装置200は、ケーブル204の
両端にプラグ206が設けられたものであってもよい。
ケーブル204は、1つ又は複数(少なくとも一つ)の
光ファイバ40を含む。プラグ206は、図7に示す樹
脂60からなる成形体を内蔵してもよいし、この成形体
がプラグ206であってもよい。プラグ206は、半導
体チップを内蔵してもよい。
(Third Embodiment) FIG. 10 is a view showing an optical transmission device according to a third embodiment to which the present invention is applied. The light transmission device 200 interconnects electronic devices 202 such as a computer, a display, a storage device, and a printer. The electronic device 202 may be an information communication device. The light transmission device 200 may be one in which plugs 206 are provided at both ends of a cable 204.
The cable 204 includes one or more (at least one) optical fibers 40. The plug 206 may incorporate a molded body made of the resin 60 shown in FIG. 7, or the molded body may be the plug 206. The plug 206 may include a semiconductor chip.

【0060】本実施の形態で、光ファイバ40の一方の
端部に接続される第1の光素子20は、発光素子であ
る。第1の光素子20は第1のプラグ206が接続され
てなる。一方の電子機器202から出力された電気信号
は、発光素子である第1の光素子20によって光信号に
変換される。光信号は光ファイバ40を伝わり、第2の
光素子20に入力される。第2の光素子20は第2のプ
ラグ206が接続されてなる。第2の光素子20は、受
光素子であり、入力された光信号が電気信号に変換され
る。電気信号は、他方の電子機器202に入力される。
こうして、本実施の形態に係る光伝達装置200によれ
ば、光信号によって、電子機器202の情報伝達を行う
ことができる。
In the present embodiment, the first optical element 20 connected to one end of the optical fiber 40 is a light emitting element. The first optical element 20 has a first plug 206 connected thereto. An electric signal output from one electronic device 202 is converted into an optical signal by the first optical element 20 which is a light emitting element. The optical signal travels through the optical fiber 40 and is input to the second optical element 20. The second optical element 20 has a second plug 206 connected thereto. The second optical element 20 is a light receiving element, and converts an input optical signal into an electric signal. The electric signal is input to the other electronic device 202.
Thus, according to optical transmission device 200 according to the present embodiment, information transmission of electronic device 202 can be performed by an optical signal.

【0061】(第4の実施の形態)図11は、本発明を
適用した第4の実施の形態に係る光伝達装置の使用形態
を示す図である。光伝達装置212は、電子機器210
間を接続する。電子機器210として、液晶表示モニタ
ー又はディジタル対応のCRT(金融、通信販売、医
療、教育の分野で使用されることがある。)、液晶プロ
ジェクタ、プラズマディスプレイパネル(PDP)、デ
ィジタルTV、小売店のレジ(POS(Pointof Sale S
canning)用)、ビデオ、チューナー、ゲーム装置、プ
リンター等が挙げられる。
(Fourth Embodiment) FIG. 11 is a diagram showing a use form of an optical transmission device according to a fourth embodiment to which the present invention is applied. The light transmission device 212 is used for the electronic device 210.
Connect between. As the electronic device 210, a liquid crystal display monitor or a digital CRT (sometimes used in the fields of finance, mail order, medical care, and education), a liquid crystal projector, a plasma display panel (PDP), a digital TV, and a retailer Checkout (POS (Pointof Sale S
canning), video, tuner, game machine, printer, and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a method for manufacturing an optical module according to a first embodiment to which the present invention is applied.

【図2】図2は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing an optical module according to a first embodiment to which the present invention is applied.

【図3】図3は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a method of manufacturing the optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図4】図4は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a method for manufacturing an optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図5】図5は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a method for manufacturing an optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図6】図6は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a method of manufacturing the optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図7】図7は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a method of manufacturing the optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図8】図8は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を示す図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a method of manufacturing the optical module according to the first embodiment to which the present invention is applied.

【図9】図9は、本発明を適用した第2の実施の形態に
係る光モジュールを示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating an optical module according to a second embodiment to which the present invention is applied.

【図10】図10は、本発明を適用した第3の実施の形
態に係る光伝達装置を示す図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a light transmission device according to a third embodiment to which the present invention has been applied.

【図11】図11は、本発明を適用した第4の実施の形
態に係る光伝達装置の使用形態を示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a use form of an optical transmission device according to a fourth embodiment to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プラットフォーム 10 型 12 作業面 20 光素子 22 光学的部分 30 配線 32 配線 40 光ファイバ 50 センサ 52 測定器 54 光源 60 樹脂 122 光学的部分 Reference Signs List 1 platform 10 type 12 working surface 20 optical element 22 optical part 30 wiring 32 wiring 40 optical fiber 50 sensor 52 measuring instrument 54 light source 60 resin 122 optical part

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光学的部分を有する光素子を駆動すると
ともに、光ファイバを、前記光素子の前記光学的部分が
形成された面に向けて位置を移動させ、前記光ファイバ
から出射する光を検出して、その検出結果に基づき、前
記光ファイバと前記光学的部分との位置合わせをする工
程を含む光モジュールの製造方法。
An optical device having an optical portion is driven, and an optical fiber is moved toward a surface of the optical device on which the optical portion is formed, so that light emitted from the optical fiber is emitted. A method for manufacturing an optical module, comprising detecting and positioning the optical fiber and the optical part based on the detection result.
【請求項2】 請求項1記載の光モジュールの製造方法
において、 前記光素子は、発光素子であり、 前記光学的部分から出射した光を、前記光ファイバの一
方の端面から入射させ、前記光ファイバの他方の端面か
ら出射した光をセンサに入射させて、光伝送感度を検出
する光モジュールの製造方法。
2. The method for manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the optical element is a light emitting element, and the light emitted from the optical portion is made incident on one end face of the optical fiber, and the light is emitted. A method for manufacturing an optical module for detecting light transmission sensitivity by causing light emitted from the other end face of a fiber to enter a sensor.
【請求項3】 請求項1記載の光モジュールの製造方法
において、 前記光素子は、受光素子であり、 前記光ファイバの一方の面に光を入射させ、前記光ファ
イバの他方の面から出射した光を前記光学的部分に入射
させて、光伝送感度を検出する光モジュールの製造方
法。
3. The method for manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the optical element is a light receiving element, and light is incident on one surface of the optical fiber and emitted from the other surface of the optical fiber. A method of manufacturing an optical module for detecting light transmission sensitivity by making light incident on the optical part.
【請求項4】 型に光学的部分を有する光素子を配置
し、 前記光素子を駆動するとともに、光ファイバを、前記光
素子の前記光学的部分が形成された面に向けて位置を移
動させ、 前記光ファイバから出射する光を検出して、その検出結
果に基づき、前記光ファイバと前記光学的部分との位置
合わせをし、 前記型に樹脂を設けるとともに、前記光ファイバと前記
光素子とを前記樹脂にて固定し、 前記樹脂を硬化させ、前記樹脂とともに前記光素子及び
前記光ファイバを前記型から剥離する工程を含む光モジ
ュールの製造方法。
4. An optical element having an optical portion is arranged in a mold, and while driving the optical element, an optical fiber is moved toward a surface of the optical element on which the optical portion is formed. Detecting the light emitted from the optical fiber, based on the detection result, aligning the optical fiber and the optical portion, and providing a resin in the mold, the optical fiber and the optical element, And fixing the resin with the resin, curing the resin, and peeling the optical element and the optical fiber together with the resin from the mold.
【請求項5】 請求項4記載の光モジュールの製造方法
において、 前記光素子及び前記型に配線を設けた後に、前記配線を
覆うように前記樹脂を形成し、 前記樹脂を前記型から剥離する光モジュールの製造方
法。
5. The method for manufacturing an optical module according to claim 4, wherein after providing wiring on the optical element and the mold, the resin is formed so as to cover the wiring, and the resin is separated from the mold. Manufacturing method of optical module.
【請求項6】 請求項1から請求項5のいずれかに記載
の光モジュールの製造方法において、 前記型に離型剤を塗布した状態で前記樹脂を設ける光モ
ジュールの製造方法。
6. The method for manufacturing an optical module according to claim 1, wherein the resin is provided in a state where a mold release agent is applied to the mold.
【請求項7】 光ファイバと、前記光ファイバと位置合
わせされた光素子と、前記光ファイバ及び前記光素子を
固定する成形体と、前記成形体から少なくとも一部が露
出するとともに前記光素子に電気的に接続されてなる配
線と、を有してなる光モジュール。
7. An optical fiber, an optical element aligned with the optical fiber, a molded body for fixing the optical fiber and the optical element, and at least a part of the molded body being exposed to the optical element. An optical module comprising: an electrically connected wiring;
【請求項8】 光ファイバと、 前記光ファイバの一方の端面に発光部を向けて搭載され
た第1の光素子と、 前記光ファイバの他方の端面に受光部を向けて搭載され
た第2の光素子と、 前記光ファイバの各端部と前記第1及び第2の光素子と
を固定する成形体と、 それぞれの前記成形体から少なくとも一部が露出すると
ともに前記第1及び第2の光素子に電気的に接続されて
なる配線と、 を含む光伝達装置。
8. An optical fiber, a first optical element mounted with a light emitting portion facing one end face of the optical fiber, and a second optical element mounted with a light receiving portion facing the other end face of the optical fiber. An optical element, a molded body for fixing each end of the optical fiber and the first and second optical elements, and at least a part of each of the molded bodies is exposed while the first and second optical elements are exposed. And a wiring electrically connected to the optical element.
【請求項9】 請求項8記載の光伝達装置において、 前記発光素子は、第1のプラグが接続されてなり、 前記受光素子は、第2のプラグが接続されてなる光伝達
装置。
9. The light transmission device according to claim 8, wherein the light emitting element is connected to a first plug, and the light receiving element is connected to a second plug.
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