JP2001301088A - Laminated film and printed board using the same - Google Patents

Laminated film and printed board using the same

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JP2001301088A
JP2001301088A JP2000121877A JP2000121877A JP2001301088A JP 2001301088 A JP2001301088 A JP 2001301088A JP 2000121877 A JP2000121877 A JP 2000121877A JP 2000121877 A JP2000121877 A JP 2000121877A JP 2001301088 A JP2001301088 A JP 2001301088A
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JP
Japan
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film
group
laminated film
resin
dodecene
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Application number
JP2000121877A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshikazu Miyamoto
佳和 宮本
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JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated film excellent in heat resistance, reduced in its dimensional change caused by water absorption and showing sufficient adhesion between a laminated metal and a resin film, and a printed board using the laminated film. SOLUTION: The laminated film is constituted by forming a metal membrane with a thickness of 0.1-100 μm comprising at least one metal selected from the group consisting of gold, silver, copper, nickel and aluminum on at least the single surface of a film with a thickness of 3-300 μm comprising a cyclic polyolefinic resin containing at least one polar group selected from the group consisting of an ether group, an ester group, a carbonyl group and a hydroxyl group in its structure and the printed board is obtained using this laminated film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、環状ポリオレフィ
ン系樹脂フィルムの少なくとも片面に金属薄膜が形成さ
れている積層フィルム、詳しくは、耐熱性に優れ、吸水
による寸法変化が少なく、かつ、金属薄膜と樹脂フィル
ムとが充分な密着性を示す積層フィルム、およびその積
層フィルムを用いたプリント基板、特にフレキシブルプ
リント基板に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated film in which a metal thin film is formed on at least one surface of a cyclic polyolefin-based resin film, and more particularly, to a heat-resistant, less dimensional change due to water absorption, and a metal thin film. The present invention relates to a laminated film showing sufficient adhesion to a resin film, and a printed circuit board using the laminated film, particularly a flexible printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型化、軽量化、高密
度化に伴い、可撓性のある基板に金属層を積層したプリ
ント基板、特に積層フィルムを用いたフレキシブルプリ
ント基板(FPC)が、多用されるようになってきた。
FPCは、プラスチックフィルムに金属層を積層したの
ち、特定のパターンをエッチングして、目的の回路を形
成し、その後、プラスチックフィルムを積層、または樹
脂コーティングして保護被覆を施すものであり、それ自
体が回路の一部をなすとともに、特定回路間の配線接続
部も形成することができる。このように、FPCは、従
来使用されていたリジッドプリント基板に比べ、立体
化、高密度化が可能で、曲線配線や折りたたみ配線など
配線の自由度の増大という点で優れた特徴がある。上記
FPCに用いられる積層フィルムの材料としては、通
常、PETなどのポリエステル、芳香族ポリアミド、ポ
リイミドなど、比較的耐熱性に優れた樹脂のフィルムが
使用されている。しかし、ポリエステルは、200℃を
超えると収縮が激しいため、200℃以上の耐熱性を要
する分野、ハンダ使用を必要とする分野、軍事用途など
には使用できず、このような分野には芳香族ポリアミ
ド、ポリイミドなどが使用されている。しかしながら、
芳香族ポリアミドは、高い結晶性を有し、耐熱性にも優
れているが、熱収縮率が大きく、吸湿により膨張するた
め、寸法安定性に欠ける。ポリイミドは、芳香族ポリア
ミドよりさらに優れた耐熱性を有するが、やはり熱収縮
率が大きく、吸湿による寸法変化が大きい欠点がある。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become smaller, lighter, and higher in density, a printed circuit board in which a metal layer is laminated on a flexible substrate, particularly a flexible printed circuit board (FPC) using a laminated film has been developed. , Has come to be used frequently.
FPC is a method in which a metal layer is laminated on a plastic film, a specific pattern is etched to form a target circuit, and then the plastic film is laminated or resin-coated to provide a protective coating. Can form a part of a circuit, and a wiring connection between specific circuits can be formed. As described above, the FPC is superior to a rigid printed circuit board conventionally used in that it can be three-dimensionalized and has a high density, and is excellent in that the degree of freedom in wiring such as curved wiring and folding wiring is increased. As a material of the laminated film used for the FPC, a resin film having relatively excellent heat resistance, such as polyester such as PET, aromatic polyamide, and polyimide is generally used. However, since polyester shrinks sharply at temperatures exceeding 200 ° C., it cannot be used in fields requiring heat resistance of 200 ° C. or higher, fields requiring soldering, military applications, and the like. Polyamide, polyimide and the like are used. However,
The aromatic polyamide has high crystallinity and excellent heat resistance, but lacks dimensional stability because it has a large heat shrinkage and expands due to moisture absorption. Polyimides have better heat resistance than aromatic polyamides, but also have the disadvantages of a large heat shrinkage and large dimensional changes due to moisture absorption.

【0003】また、フレキシブルプリント基板の構造と
しては、樹脂フィルムに接着剤を介して金属薄膜を接合
した3層構造のものと、樹脂フィルムに直接金属薄膜を
形成した2層構造のものがある。このうち、接合面の信
頼性が高く、樹脂フィルムおよび金属薄膜の厚みを自由
に選択できるため、2層構造の基板が好ましい。2層構
造基板においては、樹脂フィルムと金属薄膜とが充分な
密着性を有する必要があるが、従来使用されてきた樹脂
材料は、密着性の高い被膜を得ることのできる真空蒸着
などにおいても、金属薄膜形成の前にあらかじめ前処理
を行わなければ、必要とされる密着性が得られないもの
である。なお、この密着性とは、樹脂フィルムと金属薄
膜との引き剥がし強さ(ピール強度)に相当するものを
いう。このように、耐熱性に優れ、吸水による寸法変化
が少なく、かつ、充分な金属薄膜と樹脂フィルムとの密
着性を示し、フレキシブルプリント基板材料として好適
な積層フィルムは、今まで見当たらないのが現状であ
る。
The structure of the flexible printed circuit board includes a three-layer structure in which a metal thin film is bonded to a resin film via an adhesive, and a two-layer structure in which a metal thin film is formed directly on a resin film. Of these, a substrate having a two-layer structure is preferable because the reliability of the bonding surface is high and the thicknesses of the resin film and the metal thin film can be freely selected. In a two-layer structure substrate, the resin film and the metal thin film need to have sufficient adhesion, but conventionally used resin materials can be used even in vacuum deposition or the like that can obtain a coating with high adhesion. Unless a pretreatment is performed before forming a metal thin film, the required adhesion cannot be obtained. In addition, this adhesiveness means what corresponds to the peel strength (peel strength) between the resin film and the metal thin film. As described above, laminated films that are excellent in heat resistance, have little dimensional change due to water absorption, show sufficient adhesion between metal thin films and resin films, and are suitable for flexible printed circuit board materials have not been found so far. It is.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の課題を背景になされたもので、耐熱性に優れ、吸水
による寸法変化が少なく、かつ、金属薄膜と樹脂フィル
ムとが充分な密着性を示す積層フィルム、およびその積
層フィルムを用いたプリント基板、特にフレキシブルプ
リント基板を目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has excellent heat resistance, little dimensional change due to water absorption, and sufficient adhesion between a metal thin film and a resin film. The present invention is directed to a laminated film exhibiting properties and a printed board using the laminated film, particularly a flexible printed board.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、樹脂フィ
ルムおよび金属薄膜の種類や厚みについて鋭意検討を重
ねた結果、下記の構成を有する積層フィルムによって、
本発明は達成されることを見いだした。本発明は、環状
ポリオレフィン系樹脂からなるフィルムの少なくとも片
面に金属薄膜が形成されていることを特徴とする積層フ
ィルムに関する。上記環状ポリオレフィン系樹脂は、構
造中にエーテル基、エステル基、カルボニル基、および
水酸基の群から選ばれた少なくとも1種の極性基を含有
することが好ましい。また、上記環状ポリオレフィン系
樹脂からなるフィルムの厚さは3〜300μm、金属薄
膜の厚さは0.1〜100μmであることが好ましい。
さらに、上記金属薄膜は、金、銀、銅、ニッケル、およ
びアルミニウムの群から選ばれた少なくとも1種を含む
ことが好ましい。また、本発明は、上記積層フィルムを
用いたことを特徴とするプリント基板(以下、プリント
基板を代表して、フレキシブルプリント基板で説明する
こともある)に関する。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies on the types and thicknesses of the resin film and the metal thin film, and as a result, have obtained a laminated film having the following structure.
The present invention has been found to be achieved. The present invention relates to a laminated film, wherein a metal thin film is formed on at least one surface of a film made of a cyclic polyolefin-based resin. It is preferable that the cyclic polyolefin-based resin contains at least one polar group selected from the group consisting of an ether group, an ester group, a carbonyl group, and a hydroxyl group in the structure. The thickness of the film made of the cyclic polyolefin resin is preferably 3 to 300 μm, and the thickness of the metal thin film is preferably 0.1 to 100 μm.
Further, the metal thin film preferably contains at least one selected from the group consisting of gold, silver, copper, nickel, and aluminum. Further, the present invention relates to a printed circuit board (hereinafter, may be described as a flexible printed circuit board as a representative of the printed circuit board) using the laminated film.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の積層フィルムは、環状ポ
リオレフィン系樹脂からなるフィルムの少なくとも片面
に金属薄膜が形成されている。本発明に用いられる環状
ポリオレフィン樹脂として、下記〜に示す重合体を
挙げることができる。 下記一般式(I)で表される単量体(以下、「特定単
量体」という。)の開環重合体。 特定単量体と共重合性単量体との開環共重合体。 上記またはの開環(共)重合体の水素添加(共)
重合体。 上記またはの開環(共)重合体をフリーデルクラ
フト反応により環化したのち、水素添加した(共)重合
体。 特定単量体と不飽和二重結合含有化合物との飽和共重
合体およびその水素添加(共)重合体。 特定単量体、ビニル系環状炭化水素系単量体およびシ
クロペンタジエン系単量体から選ばれる1種以上の単量
体の付加型(共)重合体およびその水素添加共重合体。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the laminated film of the present invention, a metal thin film is formed on at least one surface of a film made of a cyclic polyolefin resin. Examples of the cyclic polyolefin resin used in the present invention include the following polymers. A ring-opened polymer of a monomer represented by the following general formula (I) (hereinafter, referred to as “specific monomer”). A ring-opening copolymer of a specific monomer and a copolymerizable monomer. Hydrogenation (co) of the above or ring-opened (co) polymers
Polymer. A hydrogenated (co) polymer obtained by cyclizing the above or the ring-opened (co) polymer by Friedel-Crafts reaction. A saturated copolymer of a specific monomer and an unsaturated double bond-containing compound and a hydrogenated (co) polymer thereof. An addition type (co) polymer of one or more monomers selected from a specific monomer, a vinyl-based cyclic hydrocarbon-based monomer and a cyclopentadiene-based monomer, and a hydrogenated copolymer thereof.

【0007】[0007]

【化1】 Embedded image

【0008】(式中、R1 〜R4 は、それぞれ水素原
子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の炭化水素基、また
はその他の1価の有機基であり、それぞれ同一であって
も異なっていてもよい。R1 とR2 またはR3 とR
4 は、一体化して2価の炭化水素基を形成してもよく、
1 またはR2 とR3 またはR4 とは互いに結合して、
単環または多環構造を形成してもよい。mは0または正
の整数であり、pは0または正の整数である。)
(Wherein R 1 to R 4 are each a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, or another monovalent organic group. R 1 and R 2 or R 3 and R
4 may combine to form a divalent hydrocarbon group,
R 1 or R 2 and R 3 or R 4 are bonded to each other,
It may form a monocyclic or polycyclic structure. m is 0 or a positive integer, and p is 0 or a positive integer. )

【0009】上記環状ポリオレフィン系樹脂には、特定
単量体の開環重合体が含まれる。 <特定単量体>好ましい特定単量体としては、上記一般
式(I)中、R1 およびR3 が水素原子または炭素数1
〜10、さらに好ましくは1〜4、特に好ましくは1〜
2の炭化水素基であり、R2 およびR4 が水素原子また
は一価の有機基であって、R2およびR4 の少なくとも
一つは水素原子および炭化水素基以外の極性基を示し、
mが0〜3の整数、pが0〜3の整数であり、m+pが
0〜4、さらに好ましくは0〜2、特に好ましくは1で
あるものを挙げることができる。上記特定単量体の極性
基としては、エーテル基、アルキルエステル基や芳香族
エステル基などのエステル基、カルボニル基、水酸基、
アミノ基、アミド基、シアノ基、アシル基、シリルエー
テル基、チオエーテル基、ハロゲン、などが挙げられ
る。これらの中では、エーテル基、アルキルエステル基
や芳香族エステル基などのエステル基、カルボニル基、
水酸基が好ましく、特にアルキルエステル基や芳香族エ
ステル基などのエステル基が好ましい。
The cyclic polyolefin resin includes a ring-opened polymer of a specific monomer. <Specific monomer> As a preferable specific monomer, in the above general formula (I), R 1 and R 3 each represent a hydrogen atom or a carbon atom
To 10, more preferably 1 to 4, particularly preferably 1 to
R 2 and R 4 are a hydrogen atom or a monovalent organic group, and at least one of R 2 and R 4 represents a hydrogen atom and a polar group other than a hydrocarbon group;
m is an integer of 0 to 3, p is an integer of 0 to 3, and m + p is 0 to 4, more preferably 0 to 2, and particularly preferably 1. Examples of the polar group of the specific monomer include an ether group, an ester group such as an alkyl ester group and an aromatic ester group, a carbonyl group, a hydroxyl group,
Examples include an amino group, an amide group, a cyano group, an acyl group, a silyl ether group, a thioether group, and a halogen. Among them, ether groups, ester groups such as alkyl ester groups and aromatic ester groups, carbonyl groups,
A hydroxyl group is preferable, and an ester group such as an alkyl ester group and an aromatic ester group is particularly preferable.

【0010】また、特定単量体のうち、特に、R2 およ
びR4 の少なくとも一つの極性基が式−(CH2 )nC
OOR5 で表される単量体は、得られる環状ポリオレフ
ィン樹脂が高いガラス転移温度(高耐熱性)と低い吸湿
性を有するものとなる点で好ましい。上記式−(C
2 )nCOOR5 で表される極性基において、R5
炭素原子数1〜12、さらに好ましくは1〜4、特に好
ましくは1〜2の炭化水素基、好ましくはアルキル基で
ある。また、nは通常0〜5であるが、nの値が小さい
ものほど、得られる環状ポリオレフィン樹脂のガラス転
移温度が高くなるので好ましい。さらに、nが0である
特定単量体は、その合成が容易である点で好ましい。さ
らに、上記一般式(I)においてR1 またはR3 がアル
キル基であることが好ましく、当該アルキル基の炭素数
は1〜4であることが好ましく、さらに好ましくは1〜
2、特に好ましくは1のメチル基である。特に、このア
ルキル基が、上記の式−(CH2 )nCOOR5 で表さ
れる極性基が結合した炭素原子と同一の炭素原子に結合
されていることが好ましい。また、一般式(I)におい
てmが1である特定単量体は、ガラス転移温度の高い環
状ポリオレフィン系樹脂が得られる点で好ましい。
Further, among the specific monomers, in particular, at least one polar group of R 2 and R 4 has the formula — (CH 2 ) nC
The monomer represented by OOR 5 is preferable in that the resulting cyclic polyolefin resin has a high glass transition temperature (high heat resistance) and a low hygroscopic property. The above formula-(C
H 2 ) In the polar group represented by nCOOR 5 , R 5 is a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 4, particularly preferably 1 to 2, and preferably an alkyl group. In addition, n is generally 0 to 5, but a smaller value of n is preferable because the glass transition temperature of the obtained cyclic polyolefin resin becomes higher. Further, a specific monomer in which n is 0 is preferable because its synthesis is easy. Further, in the general formula (I), R 1 or R 3 is preferably an alkyl group, and the alkyl group preferably has 1 to 4 carbon atoms, and more preferably 1 to 4 carbon atoms.
Two, particularly preferably one methyl group. In particular, the alkyl group is, the above formula - (CH 2) it is preferred that nCOOR polar group represented by 5 are attached to the same carbon atom and a carbon atom bonded. Further, the specific monomer in which m is 1 in the general formula (I) is preferable in that a cyclic polyolefin-based resin having a high glass transition temperature can be obtained.

【0011】上記一般式(I)で表わされる特定単量体
の具体例としては、次のような化合物が挙げられる。ビ
シクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、トリシクロ
[5.2.1.02,6 ]−8−デセン、テトラシクロ
[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、ペン
タシクロ[6.5.1.13,6 .02,7 .09,13]−4
−ペンタデセン、ペンタシクロ[7.4.0.12,5
9,12.08,13]−3−ペンタデセン、トリシクロ
[4.4.0.12,5 ]−3−ウンデセン、5−メチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキ
シカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エ
ン、5−メチル−5−メトキシカルボニルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シアノビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、8−メトキシカルボ
ニルテトラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3
−ドデセン、8−エトキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8−
n−プロポキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.
2,5 .17,10]−3−ドデセン、8−イソプロポキシ
カルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5
7,10]−3−ドデセン、8−n−ブトキシカルボニル
テトラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ド
デセン、8−メチル−8−メトキシカルボニルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5 .1 7,10]−3−ドデセン、
8−メチル−8−エトキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12,5 .1 7,10]−3−ドデセン、8−
メチル−8−n−プロポキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12, 5 .17,10]−3−ドデセン、8−
メチル−8−イソプロポキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12, 5 .17,10]−3−ドデセン、8−
メチル−8−n−ブトキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17 ,10 ]−3−ドデセン、ジ
メタノオクタヒドロナフタレン、エチルテトラシクロド
デセン、6−エチリデン−2−テトラシクロドデセン、
トリメタノオクタヒドロナフタレン、ペンタシクロ
[8.4.0.12,5 .19,12.08,13]−3−ヘキサ
デセン、ヘプタシクロ[8.7.0.13,6
10,17 .112,15 .02,7 .011,16]−4−エイコ
セン、ヘプタシクロ[8.8.0.14,7 .111,18
13,16 .03,8 .012,17]−5−ヘンエイコセン、
5−エチリデンビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エ
ン、8−エチリデンテトラシクロ[4.4.0.
2,5 .17,10]−3−ドデセン、5−フェニルビシク
ロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、8−フェニルテト
ラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセ
ン、5−フルオロビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−
エン、5−フルオロメチルビシクロ[2.2.1]ヘプ
ト−2−エン、5−トリフルオロメチルビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5−ペンタフルオロエチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,5−ジ
フルオロビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、
5,6−ジフルオロビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5,5−ビス(トリフルオロメチル)ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(トリ
フルオロメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−
エン、5−メチル−5−トリフルオロメチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,5,6−トリフ
ルオロビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,
5,6−トリス(フルオロメチル)ビシクロ[2.2.
1]ヘプト−2−エン、5,5,6,6−テトラフルオ
ロビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,5,
6,6−テトラキス(トリフルオロメチル)ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,5−ジフルオロ
−6,6−ビス(トリフルオロメチル)ビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジフルオロ−5,
6−ビス(トリフルオロメチル)ビシクロ[2.2.
1]ヘプト−2−エン、5,5,6−トリフルオロ−5
−トリフルオロメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−
2−エン、5−フルオロ−5−ペンタフルオロエチル−
6,6−ビス(トリフルオロメチル)ビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジフルオロ−5−
ヘプタフルオロ−iso−プロピル−6−トリフルオロ
メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−
クロロ−5,6,6−トリフルオロビシクロ[2.2.
1]ヘプト−2−エン、5,6−ジクロロ−5,6−ビ
ス(トリフルオロメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプ
ト−2−エン、5,5,6−トリフルオロ−6−トリフ
ルオロメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エ
ン、5,5,6−トリフルオロ−6−ヘプタフルオロプ
ロポキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、8
−フルオロテトラシクロ[4.4.0.12,5
7,10]−3−ドデセン、8−フルオロメチルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、
8−ジフルオロメチルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5 .17,10]−3−ドデセン、8−トリフルオロメチ
ルテトラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−
ドデセン、8−ペンタフルオロエチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8,
8−ジフルオロテトラシクロ[4.4.0.12,5 .1
7,10]−3−ドデセン、8,9−ジフルオロテトラシク
ロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、
8,8−ビス(トリフルオロメチル)テトラシクロ
[4.4.0.12,5 .1 7,10]−3−ドデセン、8,
9−ビス(トリフルオロメチル)テトラシクロ[4.
4.0.12,5 .1 7,10]−3−ドデセン、8−メチル
−8−トリフルオロメチルテトラシクロ[4.4.0.
2,5 .1 7,10]−3−ドデセン、8,8,9−トリフ
ルオロテトラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−
3−ドデセン、8,8,9−トリス(トリフルオロメチ
ル)テトラシクロ[4.4.0.12, 5 .17,10]−3
−ドデセン、8,8,9,9−テトラフルオロテトラシ
クロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、
8,8,9,9−テトラキス(トリフルオロメチル)テ
トラシクロ[4.4.0.12 ,5 .17,10]−3−ド
デセン、8,8−ジフルオロ−9,9−ビス(トリフル
オロメチル)テトラシクロ[4.4.0.12,5 .1
7,10]−3−ドデセン、8,9−ジフルオロ−8,9−
ビス(トリフルオロメチル)テトラシクロ[4.4.
0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8,8,9−ト
リフルオロ−9−トリフルオロメチルテトラシクロ
[4.4.0.12 ,5 .17,10]−3−ドデセン、
8,8,9−トリフルオロ−9−トリフルオロメトキシ
テトラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ド
デセン、8,8,9−トリフルオロ−9−ペンタフルオ
ロプロポキシテトラシクロ[4.4.0.12,5 .1
7,10]−3−ドデセン、8−フルオロ−8−ペンタフル
オロエチル−9,9−ビス(トリフルオロメチル)テト
ラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセ
ン、8,9−ジフルオロ−8−ヘプタフルオロiso−
プロピル−9−トリフルオロメチルテトラシクロ[4.
4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8−クロロ
−8,9,9−トリフルオロテトラシクロ[4.4.
0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8,9−ジクロ
ロ−8,9−ビス(トリフルオロメチル)テトラシクロ
[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセン、8−
(2,2,2−トリフルオロエトキシカルボニル)テト
ラシクロ[4.4.0.12,5 .17,10]−3−ドデセ
ン、8−メチル−8−(2,2,2−トリフルオロエト
キシカルボニル)テトラシクロ[4.4.0.12,5
7,10]−3−ドデセンなどを挙げることができる。こ
れらは、1種単独で、または2種以上を併用することが
できる。
The specific monomer represented by the above general formula (I)
The following compounds may be mentioned as specific examples. Bi
Cyclo [2.2.1] hept-2-ene, tricyclo
[5.2.1.02,6] -8-decene, tetracyclo
[4.4.0.12,5. 17,10] -3-Dodecene, pen
Tacyclo [6.5.1.13,6. 02,7. 09,13] -4
-Pentadecene, pentacyclo [7.4.0.12,5.
19,12. 08,13] -3-pentadecene, tricyclo
[4.4.0.12,5] -3-undecene, 5-methyl
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethyl
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methoxy
Cycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-e
5-methyl-5-methoxycarbonylbicyclo
[2.2.1] Hept-2-ene, 5-cyanobicyclo
[2.2.1] Hept-2-ene, 8-methoxycarbo
Nyltetracyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3
-Dodecene, 8-ethoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12,5. 17,10] -3-dodecene, 8-
n-propoxycarbonyltetracyclo [4.4.0.
12,5. 17,10] -3-dodecene, 8-isopropoxy
Carbonyltetracyclo [4.4.0.12,5.
17,10] -3-dodecene, 8-n-butoxycarbonyl
Tetracyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-do
Decene, 8-methyl-8-methoxycarbonyltetracy
Black [4.4.0.12,5. 1 7,10-3-dodecene,
8-methyl-8-ethoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12,5. 1 7,10] -3-dodecene, 8-
Methyl-8-n-propoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12, Five. 17,10] -3-dodecene, 8-
Methyl-8-isopropoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12, Five. 17,10] -3-dodecene, 8-
Methyl-8-n-butoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12,5. 17,, 10] -3-dodecene, di
Methanooctahydronaphthalene, ethyl tetracyclod
Decene, 6-ethylidene-2-tetracyclododecene,
Trimethanooctahydronaphthalene, pentacyclo
[8.4.0.12,5. 19,12. 08,13] -3-Hexa
Decene, heptacyclo [8.7.0.13,6.
110,17. 112,15. 02,7. 011,16] -4-eiko
Sen, heptacyclo [8.8.0.14,7. 111,18.
113,16. 03,8. 012,17-5-heneikosen,
5-ethylidenebicyclo [2.2.1] hept-2-e
, 8-ethylidenetetracyclo [4.4.0.
12,5. 17,10] -3-dodecene, 5-phenylbisic
B [2.2.1] hept-2-ene, 8-phenyltet
Lacyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-Dodece
5-fluorobicyclo [2.2.1] hept-2-
Ene, 5-fluoromethylbicyclo [2.2.1] hep
To-2-ene, 5-trifluoromethylbicyclo [2.
2.1] Hept-2-ene, 5-pentafluoroethyl
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,5-di
Fluorobicyclo [2.2.1] hept-2-ene,
5,6-difluorobicyclo [2.2.1] hept-2
-Ene, 5,5-bis (trifluoromethyl) bicyclo
[2.2.1] Hept-2-ene, 5,6-bis (tri
Fluoromethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-
Ene, 5-methyl-5-trifluoromethylbicyclo
[2.2.1] Hept-2-ene, 5,5,6-triff
Fluorobicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,
5,6-tris (fluoromethyl) bicyclo [2.2.
1] Hept-2-ene, 5,5,6,6-tetrafluoro
Lobicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,5
6,6-tetrakis (trifluoromethyl) bicyclo
[2.2.1] Hept-2-ene, 5,5-difluoro
-6,6-bis (trifluoromethyl) bicyclo [2.
2.1] Hept-2-ene, 5,6-difluoro-5,
6-bis (trifluoromethyl) bicyclo [2.2.
1] Hept-2-ene, 5,5,6-trifluoro-5
-Trifluoromethylbicyclo [2.2.1] hept-
2-ene, 5-fluoro-5-pentafluoroethyl-
6,6-bis (trifluoromethyl) bicyclo [2.
2.1] Hept-2-ene, 5,6-difluoro-5-
Heptafluoro-iso-propyl-6-trifluoro
Methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-
Chloro-5,6,6-trifluorobicyclo [2.2.
1] Hept-2-ene, 5,6-dichloro-5,6-bi
(Trifluoromethyl) bicyclo [2.2.1] hep
To-2-ene, 5,5,6-trifluoro-6-trif
Fluoromethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-e
, 5,5,6-trifluoro-6-heptafluorop
Lopoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 8
-Fluorotetracyclo [4.4.0.12,5.
17,10] -3-Dodecene, 8-fluoromethyltetracy
Black [4.4.0.12,5. 17,10-3-dodecene,
8-difluoromethyltetracyclo [4.4.0.1
2,5. 17,10] -3-Dodecene, 8-trifluoromethyl
Letetracyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-
Dodecene, 8-pentafluoroethyltetracyclo
[4.4.0.12,5. 17,10-3-dodecene, 8,
8-difluorotetracyclo [4.4.0.12,5. 1
7,10] -3-dodecene, 8,9-difluorotetracycline
B [4.4.0.12,5. 17,10-3-dodecene,
8,8-bis (trifluoromethyl) tetracyclo
[4.4.0.12,5. 1 7,10-3-dodecene, 8,
9-bis (trifluoromethyl) tetracyclo [4.
4.0.1.2,5. 1 7,10] -3-dodecene, 8-methyl
-8-trifluoromethyltetracyclo [4.4.0.
12,5. 1 7,10] -3-dodecene, 8,8,9-triff
Fluorotetracyclo [4.4.0.12,5. 17,10]-
3-dodecene, 8,8,9-tris (trifluoromethyl
Le) tetracyclo [4.4.0.12, Five. 17,10] -3
-Dodecene, 8,8,9,9-tetrafluorotetracy
Black [4.4.0.12,5. 17,10-3-dodecene,
8,8,9,9-tetrakis (trifluoromethyl) te
Toracyclo [4.4.0.1twenty five. 17,10] -3-do
Decene, 8,8-difluoro-9,9-bis (trifur
(Oromethyl) tetracyclo [4.4.0.12,5. 1
7,10] -3-dodecene, 8,9-difluoro-8,9-
Bis (trifluoromethyl) tetracyclo [4.4.
0.12,5. 17,10] -3-dodecene, 8,8,9-
Trifluoro-9-trifluoromethyltetracyclo
[4.4.0.1twenty five. 17,10-3-dodecene,
8,8,9-trifluoro-9-trifluoromethoxy
Tetracyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-do
Decene, 8,8,9-trifluoro-9-pentafluoro
Lopropoxytetracyclo [4.4.0.12,5. 1
7,10] -3-dodecene, 8-fluoro-8-pentaful
Oroethyl-9,9-bis (trifluoromethyl) tet
Lacyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-Dodece
, 8,9-difluoro-8-heptafluoroiso-
Propyl-9-trifluoromethyltetracyclo [4.
4.0.1.2,5. 17,10] -3-dodecene, 8-chloro
-8,9,9-trifluorotetracyclo [4.4.
0.12,5. 17,10-3-Dodecene, 8,9-dichlone
B-8,9-Bis (trifluoromethyl) tetracyclo
[4.4.0.12,5. 17,10] -3-dodecene, 8-
(2,2,2-trifluoroethoxycarbonyl) tetra
Lacyclo [4.4.0.12,5. 17,10] -3-Dodece
8-methyl-8- (2,2,2-trifluoroethene
Xycarbonyl) tetracyclo [4.4.0.12,5.
17,10] -3-dodecene and the like. This
These can be used alone or in combination of two or more.
it can.

【0012】これらの特定単量体のうち、8−メチル−
8−メトキシカルボニルテトラシクロ〔4.4.0.1
2,5 .17,10〕−3−ドデセン、8−エチリデンテトラ
シクロ〔4.4.0.12,5 .17,10〕−3−ドデセ
ン、8−エチルテトラシクロ〔4.4.0.12 ,5
7,10〕−3−ドデセン、ペンタシクロ〔7.4.0.
2,5 .19,12.08,13〕−3−ペンタデセンは、最終
的に得られる環状ポリオレフィン樹脂が耐熱性に優れた
ものとなる点で好ましく、特に、8−メチル−8−メト
キシカルボニルテトラシクロ〔4.4.0.12,5 .1
7,10〕−3−ドデセンは、クラッド材との密着性の面か
ら最も好ましい。
Among these specific monomers, 8-methyl-
8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1
2,5 . 1 7,10 ] -3-dodecene, 8-ethylidenetetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10] -3-dodecene, 8-ethyl-tetracyclododecene [4.4.0.1 2, 5.
1 7,10 ] -3-dodecene, pentacyclo [7.4.0.
12.5 . 19,12 . [0 8,13 ] -3-pentadecene is preferred in that the finally obtained cyclic polyolefin resin has excellent heat resistance, and in particular, 8-methyl-8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.0]. .1 2,5 . 1
7,10 ] -3-dodecene is most preferable in terms of adhesion to the cladding material.

【0013】開環重合工程においては、上記の特定単量
体を単独で開環重合させてもよいが、上記特定単量体と
共重合性単量体とを開環共重合させてもよい。 <共重合性単量体>この場合に使用される共重合性単量
体の具体例としては、シクロブテン、シクロペンテン、
シクロヘプテン、シクロオクテン、トリシクロ[5.
2.1.02, 6 ]−3−デセン、5−エチリデン−2−
ノルボルネン、ジシクロペンタジエンなどのシクロオレ
フィンを挙げることができる。シクロオレフィンの炭素
数としては、4〜20が好ましく、さらに好ましくは5
〜12である。これらは、1種単独で、または2種以上
を併用することができる。
In the ring-opening polymerization step, the above-mentioned specific monomer may be subjected to ring-opening polymerization alone, or the above-mentioned specific monomer and a copolymerizable monomer may be subjected to ring-opening copolymerization. . <Copolymerizable monomer> Specific examples of the copolymerizable monomer used in this case include cyclobutene, cyclopentene,
Cycloheptene, cyclooctene, tricyclo [5.
2.1.0 2, 6 ] -3-decene, 5-ethylidene-2-
Examples thereof include cycloolefins such as norbornene and dicyclopentadiene. The carbon number of the cycloolefin is preferably 4 to 20, more preferably 5 to 20.
~ 12. These can be used alone or in combination of two or more.

【0014】<開環重合触媒>本発明において、開環重
合反応はメタセシス触媒の存在下に行われる。このメタ
セシス触媒は、(a)W、MoおよびReの化合物から
選ばれた少なくとも1種と、(b)デミングの周期律表
IA族元素(例えば、Li,Na,Kなど)、IIA族元
素(例えばMg、Caなど)、IIB族元素(例えば、Z
n,Cd,Hgなど)、III A族元素(例えば、B,A
lなど)、IVA族元素(例えば、Si,Sn,Pbな
ど)あるいはIVB族元素(例えば、Ti,Zrなど)の
化合物であって、少なくとも1つの当該元素−炭素結合
あるいは当該元素−水素結合を有するものから選ばれた
少なくとも1種との組合せからなる触媒である。またこ
の場合に、触媒の活性を高めるために、後述の添加剤
(c)が添加されたものであってもよい。
<Ring-Opening Polymerization Catalyst> In the present invention, the ring-opening polymerization reaction is carried out in the presence of a metathesis catalyst. This metathesis catalyst comprises (a) at least one selected from compounds of W, Mo, and Re; (b) a group IA element (eg, Li, Na, K, etc.) of the Deming periodic table; For example, Mg, Ca, etc.), group IIB element (eg,
n, Cd, Hg, etc.), Group IIIA elements (eg, B, A
l), a compound of a group IVA element (eg, Si, Sn, Pb, etc.) or a group IVB element (eg, Ti, Zr), wherein at least one of the element-carbon bond or the element-hydrogen bond is formed. It is a catalyst comprising a combination with at least one member selected from those having. In this case, an additive (c) described below may be added to enhance the activity of the catalyst.

【0015】(a)成分として適当なW、Moあるいは
Reの化合物の代表例としては、WCl6 ,MoC
5 ,ReOCl3 など特開平1−240517号公報
に記載の化合物を挙げることができる。(b)成分の具
体例としては、n−C49 Li、(C253
l、(C 252 AlCl、(C2 51.5 AlC
1.5 、(C25 )AlCl2、メチルアルモキサ
ン、LiHなどの特開平1−240517号公報に記載
の化合物を挙げることができる。
[0015] W, Mo or suitable as component (a)
As a typical example of the compound of Re, WCl6, MoC
lFive, ReOClThreeJP-A-1-240517
Can be mentioned. (B) ingredients
For example, n-CFour H9 Li, (CTwo HFive )Three A
l, (C Two HFive )Two AlCl, (CTwoHFive )1.5 AlC
l1.5 , (CTwo HFive ) AlClTwo, Methylalumoxa
And LiH described in JP-A-1-240517.
Can be mentioned.

【0016】添加剤である(c)成分の代表例として
は、アルコール類、アルデヒド類、ケトン類、アミン類
などが好適に用いることができるが、さらに特開平1−
240517号公報に示される化合物を使用することが
できる。
As typical examples of the component (c) which is an additive, alcohols, aldehydes, ketones, amines and the like can be suitably used.
The compounds shown in JP-A-240517 can be used.

【0017】メタセシス触媒の使用量としては、上記
(a)成分と特定単量体とのモル比で「(a)成分:特
定単量体」が、通常、1:500〜1:50,000と
なる範囲、好ましくは1:1,000〜1:10,00
0となる範囲とされる。(a)成分と(b)成分との割
合は、金属原子比で「(a):(b)」が1:1〜1:
50、好ましくは1:2〜1:30の範囲とされる。
(a)成分と(c)成分との割合は、モル比で
「(c):(a)」が0.005:1〜15:1、好ま
しくは0.05:1〜7:1の範囲とされる。
With respect to the amount of the metathesis catalyst used, the molar ratio of the component (a) to the specific monomer is "component (a): specific monomer", usually from 1: 500 to 1: 50,000. , Preferably 1: 1,000 to 1: 10,000
The range is 0. The ratio of the component (a) to the component (b) is such that “(a) :( b)” is 1: 1 to 1:
50, preferably in the range of 1: 2 to 1:30.
The molar ratio of the component (a) to the component (c) is "(c) :( a)" in the range of 0.005: 1 to 15: 1, preferably 0.05: 1 to 7: 1. It is said.

【0018】<分子量調節剤>得られる開環(共)重合
体の分子量の調節は、重合温度、触媒の種類、溶媒の種
類によっても行うことができるが、本発明においては、
分子量調節剤を反応系に共存させることにより調節する
ことが好ましい。ここに、好適な分子量調節剤として
は、例えばエチレン、プロペン、1−ブテン、1−ペン
テン、1−ヘキセン、1−ヘプテン、1−オクテン、1
−ノネン、1−デセンなどのα−オレフィン類およびス
チレンを挙げることができ、これらのうち、1−ブテ
ン、1−ヘキセンが特に好ましい。これらの分子量調節
剤は、単独であるいは2種以上を混合して用いることが
できる。分子量調節剤の使用量としては、開環重合反応
に供される特定単量体1モルに対して0.005〜0.
6モル、好ましくは0.02〜0.5モルとされる。
<Molecular weight regulator> The molecular weight of the ring-opened (co) polymer obtained can be controlled by the polymerization temperature, the type of catalyst, and the type of solvent.
It is preferable to adjust the molecular weight by coexisting a molecular weight modifier in the reaction system. Here, suitable molecular weight regulators include, for example, ethylene, propene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 1-heptene, 1-octene,
Examples thereof include α-olefins such as -nonene and 1-decene and styrene, among which 1-butene and 1-hexene are particularly preferred. These molecular weight regulators can be used alone or in combination of two or more. The amount of the molecular weight modifier used is 0.005 to 0.5 to 1 mol of the specific monomer subjected to the ring-opening polymerization reaction.
6 mol, preferably 0.02 to 0.5 mol.

【0019】<開環重合反応用溶媒>開環重合反応にお
いて用いられる溶媒(特定単量体、メタセシス触媒およ
び分子量調節剤を溶解する溶媒)としては、例えばペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン
などのアルカン類;シクロヘキサン、シクロヘプタン、
シクロオクタン、デカリン、ノルボルナンなどのシクロ
アルカン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベ
ンゼン、クメンなどの芳香族炭化水素;クロロブタン、
ブロモヘキサン、塩化メチレン、ジクロロエタン、ヘキ
サメチレンジブロミド、クロロベンゼン、クロロホル
ム、テトラクロロエチレンなどのハロゲン化アルカン、
ハロゲン化アリールなどの化合物;酢酸エチル、酢酸n
−ブチル、酢酸iso−ブチル、プロピオン酸メチル、
ジメトキシエタンなどの飽和カルボン酸エステル類;ジ
ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタ
ンなどのエーテル類を挙げることができ、これらは単独
であるいは混合して用いることができる。これらのう
ち、芳香族炭化水素が好ましい。溶媒の使用量として
は、「溶媒:特定単量体(重量比)」が、通常1:1〜
10:1となる量とされ、好ましくは1:1〜5:1と
なる量とされる。
<Solvent for Ring-Opening Polymerization Reaction> Examples of the solvent (solvent for dissolving the specific monomer, the metathesis catalyst and the molecular weight modifier) used in the ring-opening polymerization reaction include pentane, hexane, heptane, octane, nonane, and the like. Alkanes such as decane; cyclohexane, cycloheptane,
Cycloalkanes such as cyclooctane, decalin and norbornane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene and cumene; chlorobutane;
Halogenated alkanes such as bromohexane, methylene chloride, dichloroethane, hexamethylene dibromide, chlorobenzene, chloroform, and tetrachloroethylene;
Compounds such as aryl halides; ethyl acetate, acetic acid n
-Butyl, iso-butyl acetate, methyl propionate,
Saturated carboxylic esters such as dimethoxyethane; ethers such as dibutyl ether, tetrahydrofuran and dimethoxyethane can be used, and these can be used alone or in combination. Of these, aromatic hydrocarbons are preferred. The amount of the solvent used is such that “solvent: specific monomer (weight ratio)” is usually 1: 1 to 1
The amount is 10: 1, preferably 1: 1 to 5: 1.

【0020】上記のようにして得られた開環(共)重合
体には、公知の酸化防止剤、例えば2,6−ジ−t−ブ
チル−4−メチルフェノール、2,2′−ジオキシ−
3,3′−ジ−t−ブチル−5,5′−ジメチルジフェ
ニルメタン、テトラキス[メチレン−3−(3,5−ジ
−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネー
ト]メタン;紫外線吸収剤、例えば2,4−ジヒドロキ
シベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベン
ゾフェノンなどを添加することによって安定化すること
ができる。また、加工性を向上させる目的で、滑剤など
の添加剤を添加することもできる。
The ring-opened (co) polymer obtained as described above may contain a known antioxidant such as 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol, 2,2'-dioxy-
3,3'-di-tert-butyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, tetrakis [methylene-3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] methane; UV absorber, for example, It can be stabilized by adding 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone and the like. In addition, additives such as a lubricant can be added for the purpose of improving workability.

【0021】以上のようにして得られる開環(共)重合
体は、そのままフィルムとして使用することもできる
が、さらに水素添加を行い、開環(共)重合体の水素添
加物を使用することが好ましい。 <水素添加触媒>水素添加反応は、通常の方法、すなわ
ち、開環(共)重合体の溶液に水素添加触媒を添加し、
これに常圧〜300気圧、好ましくは3〜200気圧の
水素ガスを0〜200℃、好ましくは20〜180℃で
作用させることによって行われる。水素添加触媒として
は、通常のオレフィン性化合物の水素添加反応に用いら
れるものを使用することができる。この水素添加触媒と
しては、不均一系触媒および均一系触媒が公知である。
The ring-opened (co) polymer obtained as described above can be used as a film as it is, but it is further subjected to hydrogenation to use a hydrogenated product of the ring-opened (co) polymer. Is preferred. <Hydrogenation catalyst> The hydrogenation reaction is carried out in a usual manner, that is, by adding a hydrogenation catalyst to a solution of a ring-opening (co) polymer,
This is performed by applying hydrogen gas at normal pressure to 300 atm, preferably 3 to 200 atm at 0 to 200 ° C, preferably 20 to 180 ° C. As the hydrogenation catalyst, those used in ordinary hydrogenation reactions of olefinic compounds can be used. As the hydrogenation catalyst, a heterogeneous catalyst and a homogeneous catalyst are known.

【0022】不均一系触媒としては、パラジウム、白
金、ニッケル、ロジウム、ルテニウムなどの貴金属触媒
物質を、カーボン、シリカ、アルミナ、チタニアなどの
担体に担持させた固体触媒を挙げることができる。ま
た、均一系触媒としては、ナフテン酸ニッケル/トリエ
チルアルミニウム、ニッケルアセチルアセトナート/ト
リエチルアルミニウム、オクテン酸コバルト/n−ブチ
ルリチウム、チタノセンジクロリド/ジエチルアルミニ
ウムモノクロリド、酢酸ロジウム、クロロトリス(トリ
フェニルホスフィン)ロジウム、ジクロロトリス(トリ
フェニルホスフィン)ルテニウム、クロロヒドロカルボ
ニルトリス(トリフェニルホスフィン)ルテニウム、ジ
クロロカルボニルトリス(トリフェニルホスフィン)ル
テニウムなどを挙げることができる。触媒の形態は粉末
でも粒状でもよい。これらの水素添加触媒は、「開環
(共)重合体:水素添加触媒(重量比)」が、1:1×
10-6〜1:2となる割合で使用される。このように、
水素添加することにより得られる水素添加(共)重合体
は、優れた熱安定性を有するものとなり、成形加工時や
製品としての使用時の加熱によってはその特性が劣化す
ることはない。ここで、水素添加率は、60MHz、 1
H−NMRで測定した値が通常50%以上、好ましくは
70%以上、さらに好ましくは90%以上である。水素
添加率が高いほど、熱や光に対する安定性が優れたもの
となる。なお、本発明の環状ポリオレフィン系樹脂とし
て使用される水素添加(共)重合体は、該水素添加
(共)重合体中に含まれるゲル含有量が5重量%以下で
あることが好ましく、さらに1重量%以下であることが
特に好ましい。ゲル含有量が5重量%を超えると、フィ
ルム成形においてフィッシュアイやダイラインなどの成
形不良が発生しやすい。上記ゲル含有量とは、25℃の
温度で、水素添加(共)重合体50gを1%濃度になる
ようにテトラヒドロフランに溶解し、この溶液をあらか
じめ重量を測定してある孔径0.5μmのメンブランフ
ィルターを用いてろ過し、ろ過後のフィルターを乾燥
後、その重量の増加量からゲル含有量を算出して得られ
るものをいう。
Examples of the heterogeneous catalyst include a solid catalyst in which a noble metal catalyst such as palladium, platinum, nickel, rhodium and ruthenium is supported on a carrier such as carbon, silica, alumina and titania. Examples of the homogeneous catalyst include nickel / triethylaluminum naphthenate, nickel acetylacetonate / triethylaluminum, cobalt octoate / n-butyllithium, titanocene dichloride / diethylaluminum monochloride, rhodium acetate, and chlorotris (triphenylphosphine) rhodium. , Dichlorotris (triphenylphosphine) ruthenium, chlorohydrocarbonyltris (triphenylphosphine) ruthenium, dichlorocarbonyltris (triphenylphosphine) ruthenium and the like. The form of the catalyst may be powdery or granular. These hydrogenation catalysts have a “ring-opening (co) polymer: hydrogenation catalyst (weight ratio)” of 1: 1 ×
It is used at a ratio of 10 −6 to 1: 2. in this way,
The hydrogenated (co) polymer obtained by hydrogenation has excellent thermal stability, and its properties are not deteriorated by heating during molding or use as a product. Here, the hydrogenation rate is 60 MHz, 1
The value measured by 1 H-NMR is usually at least 50%, preferably at least 70%, more preferably at least 90%. The higher the hydrogenation rate, the better the stability to heat and light. The hydrogenated (co) polymer used as the cyclic polyolefin-based resin of the present invention preferably has a gel content of 5% by weight or less in the hydrogenated (co) polymer. It is particularly preferred that the content is not more than weight%. If the gel content exceeds 5% by weight, molding defects such as fish eyes and die lines are likely to occur in film molding. The above-mentioned gel content means that at a temperature of 25 ° C., 50 g of a hydrogenated (co) polymer is dissolved in tetrahydrofuran so as to have a concentration of 1%, and this solution is weighed in advance to a membrane having a pore size of 0.5 μm. It is obtained by filtering using a filter, drying the filter after filtration, and calculating the gel content from the increase in weight.

【0023】また、本発明の環状ポリオレフィン系樹脂
として、上記開環(共)重合体をフリーデルクラフト反
応により環化したのち、水素添加した(共)重合体も使
用できる。 <フリーデルクラフト反応による環化>上記開環(共)
重合体をフリーデルクラフト反応により環化する方法は
特に限定されるものではないが、特開昭50−1543
99号公報に記載の酸性化合物を用いた公知の方法が採
用できる。酸性化合物としては、具体的には、AlCl
3 、BF3 、FeCl3 、Al2 3 、HCl、CH3
ClCOOH、ゼオライト、活性白土、などのルイス
酸、ブレンステッド酸が用いられる。環化された開環
(共)重合体は、上記開環(共)重合体と同様に水素添
加できる。
The cyclic polyolefin resin of the present invention
The above ring-opened (co) polymer is
After cyclization, a hydrogenated (co) polymer is also used.
Can be used. <Cyclization by Friedel Craft reaction>
How to cyclize a polymer by the Friedel-Crafts reaction
Although not particularly limited, JP-A-50-1543
A known method using an acidic compound described in JP-A-99-99 is adopted.
Can be used. As the acidic compound, specifically, AlCl
Three, BFThree, FeClThree, AlTwoOThree, HCl, CHThree
Lewis such as ClCOOH, zeolite, activated clay, etc.
Acids and Bronsted acids are used. Cyclized ring opening
The (co) polymer is hydrogenated similarly to the above ring-opened (co) polymer.
Can be added.

【0024】さらに、上記環状ポリオレフィン樹脂とし
て、特定単量体と不飽和二重結合含有化合物との飽和共
重合体が挙げられる。 <飽和共重合体を構成する不飽和二重結合含有化合物>
特定単量体との共重合に供される不飽和二重結合含有化
合物としては、例えばエチレン、プロピレン、ブテンな
ど炭素数2〜12、好ましくは2〜8のオレフィン系化
合物を挙げることができる。特定単量体/不飽和二重結
合含有化合物の好ましい使用範囲は、重量比で90/1
0〜40/60であり、さらに好ましくは85/15〜
50/50である。
Further, as the cyclic polyolefin resin, a saturated copolymer of a specific monomer and an unsaturated double bond-containing compound may be mentioned. <Unsaturated double bond-containing compound constituting a saturated copolymer>
Examples of the unsaturated double bond-containing compound to be copolymerized with the specific monomer include olefin compounds having 2 to 12 carbon atoms, preferably 2 to 8 carbon atoms, such as ethylene, propylene, and butene. The preferred use range of the specific monomer / unsaturated double bond-containing compound is 90/1 by weight.
0 to 40/60, more preferably 85/15 to
50/50.

【0025】<飽和共重合体を得る際に使用する触媒>
特定単量体と不飽和二重結合含有化合物との共重合反応
に使用される触媒としては、バナジウム化合物と有機ア
ルミニウム化合物とからなる触媒が用いられる。バナジ
ウム化合物としては、一般式VO(OR)a b または
V(OR)c d 〔ただし、Rは炭化水素基、Xはハロ
ゲン原子であって、0≦a≦3、0≦b≦3、2≦a+
b≦3、0≦c≦4、0≦d≦4、3≦(c+d)≦
4〕で表されるバナジウム化合物、あるいはこれらの電
子供与体付加物が用いられる。電子供与体としてはアル
コール、フェノール類、ケトン、アルデヒド、カルボン
酸、有機酸または無機酸のエステル、エーテル、酸アミ
ド、酸無水物、アルコキシシランなどの含酸素電子供与
体、アンモニア、アミン、ニトリル、イソシアナートな
どの含窒素電子供与体などが挙げられる。有機アルミニ
ウム化合物触媒成分としては、少なくとも1つのアルミ
ニウム−炭素結合あるいはアルミニウム−水素結合を有
するものから選ばれた少なくとも1種が用いられる。触
媒成分の比率はバナジウム原子に対するアルミニウム原
子の比(Al/V)で2以上、好ましくは2〜50、特
に好ましくは3〜20の範囲である。
<Catalyst Used for Obtaining Saturated Copolymer>
Copolymerization reaction between specific monomer and unsaturated double bond-containing compound
The catalysts used for vanadium compounds and organic
A catalyst comprising a luminium compound is used. Vanaji
The compound represented by the general formula VO (OR)aXbOr
V (OR)cX d[Where R is a hydrocarbon group, X is halo
A gen atom, 0 ≦ a ≦ 3, 0 ≦ b ≦ 3, 2 ≦ a +
b ≦ 3, 0 ≦ c ≦ 4, 0 ≦ d ≦ 4, 3 ≦ (c + d) ≦
Vanadium compound represented by formula [4]
Child-donating appendages are used. Al donors
Coal, phenols, ketones, aldehydes, carvone
Acids, esters of organic or inorganic acids, ethers, acids
Donation of oxygen-containing electrons such as oxides, acid anhydrides and alkoxysilanes
Body, ammonia, amine, nitrile, isocyanate
Any nitrogen-containing electron donor can be used. Organic aluminum
At least one aluminum compound catalyst component
Has a hydrogen-carbon or aluminum-hydrogen bond
At least one member selected from the following is used. Touch
The ratio of the medium component is aluminum source to vanadium atom.
2 or more, preferably 2 to 50,
It is preferably in the range of 3 to 20.

【0026】<飽和共重合体を得る際に使用する溶媒>
特定単量体と不飽和二重結合含有化合物との共重合反応
に使用される溶媒としては、上記開環重合反応に用いら
れる溶媒と同じものを使用することができ、例えばペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン
などのアルカン類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキ
サンなどのシクロアルカン類、ベンゼン、トルエン、キ
シレンなどの芳香族炭化水素およびそのハロゲン誘導体
を挙げることができ、これらのうち、シクロヘキサンが
好ましい。また、得られる飽和共重合体の分子量の調節
は、通常、水素を用いて行われる。
<Solvent used for obtaining saturated copolymer>
As the solvent used in the copolymerization reaction between the specific monomer and the unsaturated double bond-containing compound, the same solvents as those used in the ring-opening polymerization reaction can be used, for example, pentane, hexane, heptane Alkane such as octane, nonane and decane; cycloalkane such as cyclohexane and methylcyclohexane; aromatic hydrocarbon such as benzene, toluene and xylene and halogen derivatives thereof, among which cyclohexane is preferable. Adjustment of the molecular weight of the obtained saturated copolymer is usually performed using hydrogen.

【0027】さらに、上記環状ポリオレフィン系樹脂と
して、上記特定単量体、ビニル系環状炭化水素系単量体
およびシクロペンタジエン系単量体から選ばれる1種以
上の単量体の付加型(共)重合体およびその水素添加
(共)重合体も使用できる。 <ビニル系環状炭化水素系単量体>ビニル系環状炭化水
素系単量体としては、例えば、4−ビニルシクロペンテ
ン、2−メチルー4−イソプロペニルシクロペンテンな
どのビニルシクロペンテン系単量体、4−ビニルシクロ
ペンタン、4−イソプロペニルシクロペンタンなどのビ
ニルシクロペンタン系単量体などのビニル化5員環炭化
水素系単量体、4−ビニルシクロヘキセン、4−イソプ
ロペニルシクロヘキセン、1−メチル−4−イソプロペ
ニルシクロヘキセン、2−メチル−4−ビニルシクロヘ
キセン、2−メチル−4−イソプロペニルシクロヘキセ
ンなどのビニルシクロヘキセン系単量体、4−ビニルシ
クロヘキサン、2−メチル−4−イソプロペニルシクロ
ヘキサンなどのビニルシクロヘキサン系単量体、スチレ
ン、α―メチルスチレン、2−メチルスチレン、3−メ
チルスチレン、4−メチルスチレン、1−ビニルナフタ
レン、2−ビニルナフタレン、4−フェニルスチレン、
p−メトキシスチレンなどのスチレン系単量体、d−テ
ルペン、1−テルペン、ジテルペン、d−リモネン、1
−リモネン、ジペンテンなどのテルペン系単量体、4−
ビニルシクロヘプテン、4−イソプロペニルシクロヘプ
テンなどのビニルシクロヘプテン系単量体、4−ビニル
シクロヘプタン、4−イソプロペニルシクロヘプタンな
どのビニルシクロヘプタン系単量体などが挙げられる。
好ましくは、スチレン、α−メチルスチレンである。こ
れらは、1種単独で、または2種以上を併用することが
できる。
Further, as the cyclic polyolefin-based resin, an addition type (co) of one or more monomers selected from the above-mentioned specific monomers, vinyl-based cyclic hydrocarbon-based monomers and cyclopentadiene-based monomers is used. Polymers and their hydrogenated (co) polymers can also be used. <Vinyl cyclic hydrocarbon monomer> Examples of the vinyl cyclic hydrocarbon monomer include vinyl cyclopentene monomers such as 4-vinylcyclopentene and 2-methyl-4-isopropenylcyclopentene, and 4-vinyl. 5-membered ring hydrocarbon monomer such as vinylcyclopentane monomer such as cyclopentane and 4-isopropenylcyclopentane, 4-vinylcyclohexene, 4-isopropenylcyclohexene, 1-methyl-4-iso Vinylcyclohexene-based monomers such as propenylcyclohexene, 2-methyl-4-vinylcyclohexene and 2-methyl-4-isopropenylcyclohexene; vinylcyclohexane-based monomers such as 4-vinylcyclohexane and 2-methyl-4-isopropenylcyclohexane Monomer, styrene, α-methyls Ren, 2-methylstyrene, 3-methylstyrene, 4-methylstyrene, 1-vinylnaphthalene, 2-vinylnaphthalene, 4-phenyl styrene,
styrene monomers such as p-methoxystyrene, d-terpene, 1-terpene, diterpene, d-limonene, 1
-Terpene monomers such as limonene and dipentene;
Examples include vinylcycloheptene-based monomers such as vinylcycloheptene and 4-isopropenylcycloheptene, and vinylcycloheptane-based monomers such as 4-vinylcycloheptane and 4-isopropenylcycloheptane.
Preferred are styrene and α-methylstyrene. These can be used alone or in combination of two or more.

【0028】<シクロペンタジエン系単量体>本発明の
付加型(共)重合体の単量体に使用されるシクロペンタ
ジエン系単量体としては、例えばシクロペンタジエン、
1−メチルシクロペンタジエン、2−メチルシクロペン
タジエン、2−エチルシクロペンタジエン、5−メチル
シクロペンタジエン、5,5−メチルシクロペンタジエ
ンなどが挙げられる。好ましくはシクロペンタジエンで
ある。これらは、1種単独で、または2種以上を併用す
ることができる。
<Cyclopentadiene-based monomer> Examples of the cyclopentadiene-based monomer used for the addition-type (co) polymer monomer of the present invention include cyclopentadiene and
Examples thereof include 1-methylcyclopentadiene, 2-methylcyclopentadiene, 2-ethylcyclopentadiene, 5-methylcyclopentadiene, and 5,5-methylcyclopentadiene. Preferred is cyclopentadiene. These can be used alone or in combination of two or more.

【0029】上記特定単量体、ビニル系環状炭化水素系
単量体およびシクロペンタジエン系単量体から選ばれる
1種以上の単量体の付加型(共)重合体は、上記特定単
量体と不飽和二重結合含有化合物との飽和共重合体と同
様の付加重合法で得ることができる。また、上記付加型
(共)重合体の水素添加(共)重合体は、上記開環
(共)重合体の水素添加(共)重合体と同様の水添法で
得ることができる。本発明の積層フィルム用樹脂として
は、環状ポリオレフィン系樹脂の中でも、好ましくはノ
ルボルネン系樹脂であり、具体的には、JSR(株)社
製、商品名アートンが挙げられる。
The addition type (co) polymer of at least one kind of monomer selected from the above-mentioned specific monomer, vinyl-based cyclic hydrocarbon-based monomer and cyclopentadiene-based monomer can be used as the above-mentioned specific monomer. And an unsaturated double bond-containing compound. The hydrogenated (co) polymer of the addition type (co) polymer can be obtained by the same hydrogenation method as the hydrogenated (co) polymer of the ring-opened (co) polymer. The resin for a laminated film of the present invention is preferably a norbornene-based resin among the cyclic polyolefin-based resins, and specifically, Arton (trade name, manufactured by JSR Corporation) is exemplified.

【0030】本発明で用いられる環状ポリオレフィン系
樹脂の固有粘度は、クロロベンゼン中、30℃で測定さ
れる固有粘度〔η〕が好ましくは0.2〜1.5dl/
g、さらに好ましくは0.3〜1dl/gである。固有
粘度〔η〕が0.2dl/g未満では、機械的特性に劣
り、耐衝撃性が低く、一方、1.5dl/gを超える
と、成形加工性が劣る。重量平均分子量が上記範囲にあ
ることによって、環状ポリオレフィン系樹脂の成形加工
性、耐熱性、耐水性、耐薬品性、機械的特性などが良好
となる。また、環状ポリオレフィン系樹脂の曲げ弾性率
は、ASTM D790試験法に準拠して測定した場
合、好ましくは1.0×104 〜4.0×104 kgf
/cm2 、さらに好ましくは2.5×104 〜3.5×
104 kgf/cm2 、熱伝導率は、降温非定常法/熱
線プローブ法で測定した場合、好ましくは常温で、0.
05〜10W/mK、さらに好ましくは0.1〜0.5
W/mKである。
The cyclic polyolefin resin used in the present invention preferably has an intrinsic viscosity [η] measured in chlorobenzene at 30 ° C. of preferably 0.2 to 1.5 dl /.
g, more preferably 0.3 to 1 dl / g. When the intrinsic viscosity [η] is less than 0.2 dl / g, mechanical properties are poor and impact resistance is low. On the other hand, when it exceeds 1.5 dl / g, moldability is poor. When the weight average molecular weight is in the above range, the molding processability, heat resistance, water resistance, chemical resistance, mechanical properties, and the like of the cyclic polyolefin resin are improved. The flexural modulus of the cyclic polyolefin-based resin is preferably from 1.0 × 10 4 to 4.0 × 10 4 kgf when measured in accordance with the ASTM D790 test method.
/ Cm 2 , more preferably 2.5 × 10 4 to 3.5 ×
10 4 kgf / cm 2 , the thermal conductivity is preferably 0.1 at room temperature, as measured by the unsteady cooling method / hot wire probe method.
05 to 10 W / mK, more preferably 0.1 to 0.5
W / mK.

【0031】本発明に使用される環状ポリオレフィン系
樹脂は、上記のような開環(共)重合体、水素添加
(共)重合体、飽和共重合体、または付加型(共)重合
体およびその水素添加(共)重合体より構成されるが、
これに公知の酸化防止剤、紫外線吸収剤などを添加して
さらに安定化することができる。また、加工性を向上さ
せるために、滑剤などの従来の樹脂加工において用いら
れる添加剤を添加することもできる。
The ring-opened (co) polymer, hydrogenated (co) polymer, saturated copolymer, or addition-type (co) polymer and the ring-opened (co) polymer as described above are used in the present invention. It is composed of a hydrogenated (co) polymer,
To this, a known antioxidant, an ultraviolet absorber or the like can be added for further stabilization. In addition, additives used in conventional resin processing, such as a lubricant, can be added to improve processability.

【0032】本発明において、環状ポリオレフィン系樹
脂からなるフィルムは、環状ポリオレフィン系樹脂を溶
液流延法または溶融成形法によりシートとし、これを延
伸、表面プレス、ダイスに通すなどして、均一の厚みの
樹脂フィルムを得ることができる。溶液流延法の溶媒と
しては、トルエンなど、上記重合反応用溶媒として挙げ
られた溶媒を適宜使用できる。溶融成形法としては、T
型ダイから押出成形する方法や、インフレーション法な
どの方法が用いられる。溶融成形法の場合、溶融温度
は、好ましくは200〜350℃、さらに好ましくは2
50〜330℃、特に好ましくは280〜320℃であ
る。得られる樹脂フィルムの厚みは、好ましくは3〜3
00μm、さらに好ましくは5〜150μm、特に好ま
しくは7〜75μmである。3μm未満であると、フィ
ルムの腰が弱く、機械的強度が低下すると共に、電気絶
縁性が低下する為に好ましくない。一方、300μmを
超えると、可撓性が低下してフレキシブルプリント基板
を得ることが難しい。
In the present invention, a film made of a cyclic polyolefin resin is formed into a sheet by a solution casting method or a melt molding method, and the film is made to have a uniform thickness by stretching, surface pressing, passing through a die, or the like. Can be obtained. As the solvent for the solution casting method, any of the solvents mentioned as the above-mentioned solvent for polymerization reaction, such as toluene, can be used as appropriate. As the melt molding method, T
A method such as extrusion molding from a die or an inflation method is used. In the case of the melt molding method, the melting temperature is preferably 200 to 350 ° C, more preferably 2 to 350 ° C.
It is 50-330 ° C, particularly preferably 280-320 ° C. The thickness of the obtained resin film is preferably 3 to 3
The thickness is 00 μm, more preferably 5 to 150 μm, and particularly preferably 7 to 75 μm. When the thickness is less than 3 μm, the film is weak and the mechanical strength is reduced, and the electric insulation is undesirably reduced. On the other hand, if it exceeds 300 μm, the flexibility is reduced and it is difficult to obtain a flexible printed board.

【0033】本発明において、金属薄膜は、環状ポリオ
レフィン系樹脂からなるフィルムの少なくとも片面に形
成されている。金属薄膜の材料としては特別の制限はな
く、基板配線として導電性を示すものであればよい。例
えば、Be,Mg,Al,Si,Ca,Sc,Ti,
V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,G
a,Ge,As,Se,Sr,Y,Zr,Nb,Mo,
Tc,Ru,Rh,Pd,Ag,Cd,In,Sn,S
b,Te,Ba、ランタノイド系金属、Hf,Ta,
W,Re,Os,Ir,Pt,Au,Tl,Pb,Bi
などの常温で固体の金属や、これらの合金が挙げられ
る。合金としては、Fe−Co系合金、Fe−Ni系合
金、Fe−Si系合金、Fe−C系合金、Cu−Zn系
合金、Cu−Sn系合金、Ni−Cr系合金などの2元
合金や、Fe−Ni−Cr系合金などの3元合金、その
他4元系以上の合金なども利用できる。また、酸化ス
ズ、酸化インジウム、酸化バナジウム、酸化ルテニウム
などの導電性を有する金属酸化物も使用できる。好まし
くは金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムである。
In the present invention, the metal thin film is formed on at least one surface of a film made of a cyclic polyolefin resin. There is no particular limitation on the material of the metal thin film, as long as it shows conductivity as the substrate wiring. For example, Be, Mg, Al, Si, Ca, Sc, Ti,
V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, G
a, Ge, As, Se, Sr, Y, Zr, Nb, Mo,
Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, Sn, S
b, Te, Ba, lanthanoid metal, Hf, Ta,
W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Tl, Pb, Bi
And solid metals at room temperature, and alloys thereof. Examples of the alloy include binary alloys such as Fe-Co alloys, Fe-Ni alloys, Fe-Si alloys, Fe-C alloys, Cu-Zn alloys, Cu-Sn alloys, and Ni-Cr alloys. Also, ternary alloys such as Fe-Ni-Cr alloys, and other quaternary or more alloys can be used. Further, conductive metal oxides such as tin oxide, indium oxide, vanadium oxide, and ruthenium oxide can also be used. Preferred are gold, silver, copper, nickel and aluminum.

【0034】上記金属薄膜の形成方法としては、特別の
制限は無く、物理蒸着法(PVD)、化学蒸着法(CV
D)などの乾式メッキ、無電解メッキ、電気メッキ、衝
撃メッキ、スプレー法などの湿式メッキなどで形成する
ことができる。特に好ましい形成方法としては、物理蒸
着法(PVD)、化学蒸着法(CVD)などの乾式メッ
キである。物理蒸着法(PVD)としては、真空蒸着
法、スパッタリング、イオンプレーティング法などが可
能である。真空蒸着法としては、加熱蒸発法、レーザー
物理蒸着法、誘導加熱蒸発法などの公知の手法がいずれ
も可能である。真空蒸着法は、工業的には連続巻き取り
式が通常採用されるが、枚様式でも良いことは勿論であ
る。化学蒸着法(CVD)とは、反応室中に導入した気
体原料に、熱、光などのエネルギーを加え、種々の化学
反応を誘起させて、基板上に物質を堆積被覆する方法で
あり、例えば、プラズマ重合法や紫外線などによる光重
合法などが使用できる。上記PVD、CVDは、樹脂フ
ィルムと金属薄膜との密着性に優れているが、金属析出
速度が遅く、1μm以上の金属薄膜を形成するには長時
間を有する。
The method for forming the metal thin film is not particularly limited, and may be physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CV).
It can be formed by dry plating such as D), electroless plating, electroplating, impact plating, or wet plating such as spraying. A particularly preferred forming method is dry plating such as physical vapor deposition (PVD) and chemical vapor deposition (CVD). As the physical vapor deposition method (PVD), a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like can be used. As the vacuum evaporation method, any of known methods such as a heating evaporation method, a laser physical evaporation method, and an induction heating evaporation method can be used. As the vacuum deposition method, a continuous winding type is usually employed industrially, but it is needless to say that a single-plate type may be used. Chemical vapor deposition (CVD) is a method in which energy such as heat or light is applied to a gaseous raw material introduced into a reaction chamber to induce various chemical reactions to deposit and coat a substance on a substrate. For example, a plasma polymerization method or a photopolymerization method using ultraviolet rays can be used. The above-mentioned PVD and CVD have excellent adhesion between the resin film and the metal thin film, but have a low metal deposition rate and a long time to form a metal thin film of 1 μm or more.

【0035】また、無電解メッキ法を用いて樹脂フィル
ムに直接メッキ処理を行う場合、樹脂フィルムと金属薄
膜との密着性が劣るため、あらかじめ樹脂フィルムをケ
ミカルエッチング処理する必要がある。さらに、電気メ
ッキ法は析出速度が速く、厚い膜を得るには有効である
が、樹脂フィルムに直接電気メッキすることはできな
い。樹脂フィルムに直接電気メッキを行う場合は、導電
性を付与するために、導電性ペーストや、導電性コート
剤、導電性高分子材料をあらかじめ樹脂フィルム上に塗
布する必要がある。通常行われている、1μm以上の金
属薄膜の形成方法としては、PVDまたはCVDにより
厚さ1μm未満の金属薄膜を形成し、さらに電気メッキ
または無電解メッキ法を用いて金属薄膜の厚みを目的の
厚さに増やす方法が挙げられる。上記2種類の方法で使
用される金属は、同一でも異なっていてもよい。金属薄
膜を形成する前に、あらかじめアンカーコート剤のコー
ティングや、ケミカルエッチング処理、コロナ処理、プ
ラズマ処理などの前処理を行ってもよい。
When a resin film is directly plated by an electroless plating method, the resin film must be subjected to a chemical etching treatment in advance because the adhesion between the resin film and the metal thin film is poor. Further, the electroplating method has a high deposition rate and is effective for obtaining a thick film, but cannot directly electroplate a resin film. When performing electroplating directly on a resin film, it is necessary to apply a conductive paste, a conductive coating agent, or a conductive polymer material on the resin film in advance to impart conductivity. As a usual method of forming a metal thin film of 1 μm or more, a metal thin film having a thickness of less than 1 μm is formed by PVD or CVD, and the thickness of the metal thin film is adjusted by electroplating or electroless plating. There is a method of increasing the thickness. The metals used in the two methods may be the same or different. Before forming the metal thin film, coating with an anchor coat agent and pretreatment such as chemical etching, corona treatment, and plasma treatment may be performed in advance.

【0036】本発明において、金属薄膜の厚みは、好ま
しくは0.1〜100μm、さらに好ましくは0.5〜
50μm、特に好ましくは1〜25μmである。厚みが
0.1μm未満であると、金属薄膜の強度などの物性低
下が著しく、加工しにくい問題が生じる。一方、100
μmを超えると、基板の屈曲性を充分に保つことが困難
になる。
In the present invention, the thickness of the metal thin film is preferably 0.1 to 100 μm, more preferably 0.5 to 100 μm.
It is 50 μm, particularly preferably 1 to 25 μm. When the thickness is less than 0.1 μm, the physical properties such as the strength of the metal thin film are remarkably reduced, and there is a problem that it is difficult to process. On the other hand, 100
If it exceeds μm, it will be difficult to maintain sufficient flexibility of the substrate.

【0037】本発明の積層フィルムは、公知の方法でエ
ッチング加工して回路パターンを形成することにより、
フレキシブルプリント基板(FPC)とすることができ
る。片面のみに金属薄膜が形成されている樹脂フィルム
からは、片面FPCが得られ、両面に金属薄膜が形成さ
れている樹脂フィルムからは、両面FPCが得られる。
両面FPCにおいては、両面間を導通することにより両
面スルホール回路とすることもできる。また、ビルドア
ップ法によりさらに多層化構造とするなど公知の方法に
より、複雑な立体的構造回路を有するFPCを形成する
ことができる。このように、本発明の積層フィルムおよ
び積層フィルムを用いたフレキシブルプリント基板によ
り、電気・電子機器の小型化、軽量化、高密度化の達成
が容易となる。
The laminated film of the present invention is etched by a known method to form a circuit pattern.
It can be a flexible printed circuit board (FPC). A single-sided FPC is obtained from a resin film having a metal thin film formed only on one side, and a double-sided FPC is obtained from a resin film having a metal thin film formed on both sides.
In a double-sided FPC, a double-sided through-hole circuit can be formed by conducting between both sides. Further, an FPC having a complicated three-dimensional structure circuit can be formed by a known method such as a multi-layer structure by a build-up method. As described above, with the laminated film of the present invention and the flexible printed circuit board using the laminated film, it is easy to reduce the size, weight, and density of electric and electronic devices.

【0038】[0038]

【実施例】以下、実施例を挙げ、本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明は、これらの実施例により何ら限
定されるものではない。なお、実施例中の部および%
は、特に断らない限り重量部および重量%である。ま
た、実施例中の各種の測定は、次のとおりである。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the examples, parts and%
Are by weight unless otherwise indicated. Various measurements in the examples are as follows.

【0039】固有粘度〔η〕 試料をクロロベンゼンに溶解させ、濃度の異なるものを
5点作り、ウベローデ粘度管を用い、30℃で各濃度の
還元粘度を測定した結果から、固有粘度〔η〕を求め
た。ガラス転移温度(Tg) セイコーインスツルメント(株)製走査熱量計(DS
C)DSC−6200により、チッ素雰囲気下におい
て、10℃/分の昇温速度で測定した。水素化率 水素添加単独重合体の場合には、60MHz、 1H−N
MRを測定し、エステル基のメチル水素とオレフィン系
水素のそれぞれの吸収強度の比、またはパラフィン系水
素とオレフィン系水素のそれぞれの吸収強度の比から水
素化率を測定した。また、水素添加共重合体の場合に
は、重合後の共重合体の 1H−NMR吸収と水素化後の
水素添加共重合体のそれを比較して算出した。フィルムの厚み ダイヤル式厚みゲージにより測定した。
Intrinsic viscosity [η] A sample was dissolved in chlorobenzene, five samples having different concentrations were prepared, and the reduced viscosity at each concentration was measured at 30 ° C using an Ubbelohde viscosity tube. I asked. Glass transition temperature (Tg) Scanning calorimeter (DS) manufactured by Seiko Instruments Inc.
C) Measurement was performed by DSC-6200 in a nitrogen atmosphere at a heating rate of 10 ° C./min. Hydrogenation rate In case of hydrogenated homopolymer, 60 MHz, 1 H-N
The MR was measured, and the hydrogenation rate was measured from the ratio of the respective absorption intensities of methyl hydrogen and olefinic hydrogen of the ester group or the ratio of the respective absorption intensities of paraffinic hydrogen and olefinic hydrogen. In the case of a hydrogenated copolymer, it was calculated by comparing 1 H-NMR absorption of the copolymer after polymerization with that of the hydrogenated copolymer after hydrogenation. The thickness of the film was measured with a dial type thickness gauge.

【0040】ピール強度 インストロン(株)製引張試験機を用い、チャックの片
端を10mm幅の銅膜に取り付け、もう一端を樹脂フィ
ルムに取り付け、鉛直方向に10mm/minのスピー
ドでクロスヘッドを移動して、積層フィルムの引張り試
験を行い、ピール強度を求めた。ピール強度は、積層フ
ィルムを加熱処理せずに25℃で測定したもの(加熱
前)と、60分間、170℃条件下で加熱処理してから
測定したもの(加熱後)を示した。吸水膨張係数、吸水率 23℃、50%RHの条件中に樹脂フィルム(金属薄膜
を積層していないフィルム)のサンプル(縦5.0cm
×横5.0cm)を放置し、経時的にサンプルの寸法変
化と重量変化を測定した。サンプル寸法変化から吸湿膨
張係数〔cm/cm/(%RH)〕を、サンプル重量変
化がなくなった時点での吸水量から吸水率(%)を算出
した。
Peel Strength Using a tensile tester manufactured by Instron, one end of the chuck was attached to a copper film having a width of 10 mm, the other end was attached to a resin film, and the crosshead was moved at a speed of 10 mm / min in the vertical direction. Then, a tensile test was performed on the laminated film to determine the peel strength. The peel strength was measured at 25 ° C. without heat treatment of the laminated film (before heating), and measured after heating at 170 ° C. for 60 minutes (after heating). A sample (5.0 cm long) of a resin film (a film on which no metal thin film is laminated) under the conditions of a water absorption expansion coefficient, a water absorption rate of 23 ° C., and 50% RH.
X 5.0 cm) was left to measure the dimensional change and weight change of the sample over time. The coefficient of hygroscopic expansion [cm / cm / (% RH)] was calculated from the change in sample size, and the water absorption rate (%) was calculated from the amount of water absorbed at the time when the sample weight no longer changed.

【0041】参考例1(環状ポリオレフィン系樹脂の製
造) 8−メチル−8−メトキシカルボニルテトラシクロ
〔4.4.0.12,5 .1 7,10〕ドデカ−3−エン10
0g、1,2−ジメトキシエタン60g、シクロヘキサ
ン240g、1−ヘキセン9g、およびジエチルアルミ
ニウムクロライド0.96モル/リットルのトルエン溶
液3.4mlを、内容積1リットルのオートクレーブに
加えた。一方、別のフラスコに、六塩化タングステンの
0.05モル/リットルの1,2−ジメトキシエタン溶
液20mlとパラアルデヒドの0.1モル/リットルの
1,2−ジメトキシエタン溶液10mlを混合した。こ
の混合溶液4.9mlを、上記オートクレーブ中の混合
物に添加した。密栓後、混合物を80℃に加熱して2.
5時間攪拌を行った。得られた重合体溶液に、1,2−
ジメトキシエタンとシクロヘキサンの2/8(重量比)
の混合溶媒を加えて重合体/溶媒が1/10(重量比)
にしたのち、トリエタノールアミン20gを加えて10
分間攪拌した。
Reference Example 1 (Production of cyclic polyolefin resin)
) 8-methyl-8-methoxycarbonyltetracyclo
[4.4.0.12,5. 1 7,10] Dodeca-3-ene 10
0 g, 1,2-dimethoxyethane 60 g, cyclohexa
240 g, 1-hexene 9 g, and diethylaluminum
0.96mol / l toluene chloride dissolved in toluene
3.4 ml of the liquid in an autoclave with an internal volume of 1 liter
added. Meanwhile, in another flask,
0.05 mol / l 1,2-dimethoxyethane solution
20 ml of liquid and 0.1 mol / l of paraaldehyde
10 ml of a 1,2-dimethoxyethane solution was mixed. This
Of 4.9 ml of the mixed solution in the above autoclave.
Was added to the material. After sealing, heat the mixture to 80 ° C.
Stirring was performed for 5 hours. In the obtained polymer solution, 1,2-
2/8 of dimethoxyethane and cyclohexane (weight ratio)
1/10 (weight ratio) by adding a mixed solvent of
And then add 20 g of triethanolamine to add 10 g
Stirred for minutes.

【0042】この重合溶液に、メタノール500gを加
えて30分間攪拌して静置した。2層に分離した上層を
除き、再びメタノールを加えて攪拌、静置後、上層を除
いた。同様の操作をさらに2回行い、得られた下層をシ
クロヘキサン、1,2−ジメトキシエタンで適宜希釈
し、重合体濃度が10%のシクロヘキサン−1,2−ジ
メトキシエタン溶液を得た。この溶液に20gのパラジ
ウム/シリカマグネシア〔日揮化学(株)製、パラジウ
ム量=5%〕を加えて、オートクレーブ中で水素圧40
kg/cm2 として165℃で4時間反応させたのち、
水添触媒をろ過によって取り除き、水素添加共重合体溶
液を得た。
To this polymerization solution, 500 g of methanol was added, and the mixture was stirred for 30 minutes and allowed to stand. The upper layer separated into two layers was removed, methanol was added again, and the mixture was stirred and allowed to stand, and then the upper layer was removed. The same operation was further repeated twice, and the obtained lower layer was appropriately diluted with cyclohexane and 1,2-dimethoxyethane to obtain a cyclohexane-1,2-dimethoxyethane solution having a polymer concentration of 10%. 20 g of palladium / silica magnesia (manufactured by Nikki Chemical Co., Ltd., palladium amount = 5%) was added to this solution, and hydrogen pressure was set to 40 in an autoclave.
After reacting at 165 ° C for 4 hours as kg / cm 2 ,
The hydrogenation catalyst was removed by filtration to obtain a hydrogenated copolymer solution.

【0043】また、この水素添加共重合体溶液に、酸化
防止剤であるペンタエリスリチル−テトラキス〔3−
(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)
プロピオネート〕を、水素添加共重合体に対して0.1
%加えてから、380℃で減圧下に脱溶媒を行った。次
いで、溶融した樹脂を、チッ素雰囲気下で押し出し機に
よりペレット化し、固有粘度〔η〕0.4dl/g(3
0℃、クロロベンゼン中)、水添率99.5%、ガラス
転移温度168℃の熱可塑性樹脂Aを得た。
Also, pentaerythrityl-tetrakis [3-
(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl)
Propionate] with respect to the hydrogenated copolymer
%, And the solvent was removed at 380 ° C. under reduced pressure. Next, the molten resin is pelletized by an extruder under a nitrogen atmosphere, and an intrinsic viscosity [η] of 0.4 dl / g (3
A thermoplastic resin A having a degree of hydrogenation of 99.5% and a glass transition temperature of 168 ° C. was obtained.

【0044】参考例2(キャスト法による環状ポリオレ
フィンフィルムの製造) 参考例1で得られた環状ポリオレフィン樹脂Aの20%
トルエン溶液をダイスに通し、均一の厚みの層にし、こ
れを120℃で乾燥して厚さ50μmのキャストフィル
ム(フィルムA)を得た。 参考例3(押出法による環状ポリオレフィンフィルムの
製造) 参考例1で得られた環状ポリオレフィン樹脂Aを溶融押
出機を用いて300℃に加熱溶融し、T型ダイから押出
成形して厚さ50μmの押出フィルム(フィルムB)を
得た。
Reference Example 2 (Production of Cyclic Polyolefin Film by Casting Method) 20% of Cyclic Polyolefin Resin A Obtained in Reference Example 1
The toluene solution was passed through a die to form a layer having a uniform thickness, which was dried at 120 ° C. to obtain a cast film (film A) having a thickness of 50 μm. Reference Example 3 (Production of Cyclic Polyolefin Film by Extrusion Method) The cyclic polyolefin resin A obtained in Reference Example 1 was heated and melted at 300 ° C. using a melt extruder, extruded from a T-type die, and extruded to a thickness of 50 μm. An extruded film (film B) was obtained.

【0045】実施例1(積層フィルムおよびフレキシブ
ルプリント基板の作成) 上記キャストフィルム(フィルムA)の片面に、スパッ
タリング法によって厚さ0.2μmの銅薄膜を形成し、
更に、電解銅メッキ法を用いて銅薄膜の厚みを10μm
に増やし、片面積層フィルムを作成した。上記片面積層
フィルムの銅薄膜上にレジストを塗布後、所定の形状の
マスクを使用してパターンニングを行い、続けてエッチ
ング処理して線幅90μmのパターンになるようにプリ
ント基板加工を行い、フレキシブルプリント基板を得
た。得られたフレキシブルプリント基板の、パターニン
グ後の積層フィルムの室温(25℃)でのピール強度は
1,400g/cmであった。また、170℃で60分
間加熱後のピール強度は、1,350g/cmであっ
た。また、23℃、50%RH環境下における樹脂基板
の吸水変化の測定を行ったところ、吸水率は0.2%、
吸湿膨張係数は4×10-6cm/cm/(%RH)であ
った。
Example 1 (Preparation of Laminated Film and Flexible Printed Board) A copper thin film having a thickness of 0.2 μm was formed on one surface of the cast film (film A) by a sputtering method.
Further, the thickness of the copper thin film is reduced to 10 μm using an electrolytic copper plating method.
To form a single-layer film. After applying a resist on the copper thin film of the one-layer film, patterning is performed using a mask having a predetermined shape, and then, etching is performed to process a printed circuit board into a pattern having a line width of 90 μm. A printed circuit board was obtained. The peel strength at room temperature (25 ° C.) of the laminated film after patterning of the obtained flexible printed circuit board was 1,400 g / cm. The peel strength after heating at 170 ° C. for 60 minutes was 1,350 g / cm. Further, when the change in water absorption of the resin substrate was measured under an environment of 23 ° C. and 50% RH, the water absorption was 0.2%,
The coefficient of hygroscopic expansion was 4 × 10 −6 cm / cm / (% RH).

【0046】実施例2 実施例1と全く同様にして、押出フィルム(フィルム
B)についてもフレキシブルプリント基板を作製し、ピ
ール強度の測定を行った。結果は、室温(25℃)で、
1,400g/cm、170℃で60分間加熱後のピー
ル強度は、1,350g/cmであった。23℃、50
%RH環境下における樹脂基板の吸水率は、0.2%、
吸湿膨張係数は4×10-6cm/cm/(%RH)であ
った。
Example 2 A flexible printed circuit board was prepared for an extruded film (film B) in exactly the same manner as in Example 1, and the peel strength was measured. The result was at room temperature (25 ° C)
The peel strength after heating at 1,400 g / cm at 170 ° C. for 60 minutes was 1,350 g / cm. 23 ° C, 50
% RH environment, the water absorption of the resin substrate is 0.2%,
The coefficient of hygroscopic expansion was 4 × 10 −6 cm / cm / (% RH).

【0047】比較例1 鐘淵化学工業(株)製ポリイミドフィルム(厚さ50μ
m)NPI−50を(フィルムC)を用いた以外は実施
例1と同様にして、フレキシブルプリント基板を作製し
た。この基板について実施例1と同様にしてピール強
度、吸湿膨張係数、吸水率を測定した。結果を表1に示
す。
Comparative Example 1 A polyimide film (50 μm thick) manufactured by Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd.
m) A flexible printed circuit board was produced in the same manner as in Example 1 except that (Film C) was used for NPI-50. The peel strength, the coefficient of hygroscopic expansion and the water absorption of this substrate were measured in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0048】比較例2 東レ(株)製ポリエステルフィルム(厚さ50μm)ル
ミラー#50(フィルムD)を用いた以外は実施例1と
同様にして、フレキシブルプリント基板を作製した。こ
の基板について実施例1と同様にしてピール強度、吸湿
膨張係数、吸水率を測定した。結果を表1に示す。
Comparative Example 2 A flexible printed board was produced in the same manner as in Example 1 except that Lumirror # 50 (film D), a polyester film (thickness: 50 μm) manufactured by Toray Industries, Inc. was used. The peel strength, the coefficient of hygroscopic expansion and the water absorption of this substrate were measured in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0049】[0049]

【表1】 [Table 1]

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明の積層フィルムは、環状ポリオレ
フィン系樹脂フィルムの少なくとも片面に金属薄膜が形
成されているものであり、耐熱性に優れ、吸水による寸
法変化が少なく、かつ金属薄膜と樹脂フィルムとが充分
な密着性を示すものである。さらに本発明の積層フィル
ムを用いて得られるフレキシブルプリント基板は、信頼
性が高く、微細で多数の電極を高精度で作製する必要が
ある用途の配線基板としても用いることができる。この
ように、本発明の積層フィルムおよび積層フィルムを用
いたフレキシブルプリント基板により、電気・電子機器
の小型化、軽量化、高密度化の達成が容易となる。
The laminated film of the present invention has a metal thin film formed on at least one surface of a cyclic polyolefin resin film, is excellent in heat resistance, has little dimensional change due to water absorption, and has a metal thin film and a resin film. Indicate sufficient adhesion. Furthermore, the flexible printed circuit board obtained by using the laminated film of the present invention has high reliability and can be used as a wiring board for applications in which a large number of fine electrodes need to be manufactured with high precision. As described above, with the laminated film of the present invention and the flexible printed circuit board using the laminated film, it is easy to reduce the size, weight, and density of electric and electronic devices.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/03 670 H05K 1/03 670A // C08L 23:00 C08L 23:00 45:00 45:00 Fターム(参考) 4F071 AA04 AA21 AF19 AF45 AF54 AF58 AH13 BA02 BB02 BC02 BC12 4F100 AB01B AB01C AB10B AB10C AB16B AB16C AB17B AB17C AB24B AB24C AB25B AB25C AB33B AB33C AK02A BA02 BA03 BA06 BA10B BA10C BA25A BA25B BA25C GB43 JM02B JM02C YY00A YY00B YY00C 4J032 CA32 CA33 CA34 CA35 CA36 CA38 CA43 CA45 CA46 CB01 CB03 CB04 CD01 CD02 CD03 CD04 CD05 CE03 CG08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 1/03 670 H05K 1/03 670A // C08L 23:00 C08L 23:00 45:00 45: 00F Terms (reference) 4F071 AA04 AA21 AF19 AF45 AF54 AF58 AH13 BA02 BB02 BC02 BC12 4F100 AB01B AB01C AB10B AB10C AB16B AB16C AB17B AB17C AB24B AB24C AB25B AB25C AB33B AB33C AK02A BA02 BA03 BA02 BA25B02B02B00A CA35 CA36 CA38 CA43 CA45 CA46 CB01 CB03 CB04 CD01 CD02 CD03 CD04 CD05 CE03 CG08

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 環状ポリオレフィン系樹脂からなるフィ
ルムの少なくとも片面に金属薄膜が形成されていること
を特徴とする積層フィルム。
1. A laminated film, wherein a metal thin film is formed on at least one surface of a film made of a cyclic polyolefin-based resin.
【請求項2】 上記環状ポリオレフィン系樹脂は、構造
中にエーテル基、エステル基、カルボニル基、および水
酸基の群から選ばれた少なくとも1種の極性基を含有す
る請求項1記載の積層フィルム。
2. The laminated film according to claim 1, wherein the cyclic polyolefin resin contains at least one polar group selected from the group consisting of an ether group, an ester group, a carbonyl group, and a hydroxyl group in the structure.
【請求項3】 上記環状ポリオレフィン系樹脂からなる
フィルムの厚さが3〜300μm、金属薄膜の厚さが
0.1〜100μmである請求項1記載の積層フィル
ム。
3. The laminated film according to claim 1, wherein the thickness of the film made of the cyclic polyolefin resin is 3 to 300 μm, and the thickness of the thin metal film is 0.1 to 100 μm.
【請求項4】 上記金属薄膜は、金、銀、銅、ニッケ
ル、およびアルミニウムの群から選ばれた少なくとも1
種を含む請求項1〜3のいずれか1項記載の積層フィル
ム。
4. The metal thin film has at least one selected from the group consisting of gold, silver, copper, nickel, and aluminum.
The laminated film according to any one of claims 1 to 3, comprising a seed.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載の積
層フィルムを用いたことを特徴とするプリント基板。
5. A printed circuit board using the laminated film according to claim 1.
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