JP2001297696A - Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube - Google Patents

Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube

Info

Publication number
JP2001297696A
JP2001297696A JP2000113171A JP2000113171A JP2001297696A JP 2001297696 A JP2001297696 A JP 2001297696A JP 2000113171 A JP2000113171 A JP 2000113171A JP 2000113171 A JP2000113171 A JP 2000113171A JP 2001297696 A JP2001297696 A JP 2001297696A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color
face panel
phosphor
layer
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000113171A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiharu Inuki
嘉治 井貫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2000113171A priority Critical patent/JP2001297696A/en
Publication of JP2001297696A publication Critical patent/JP2001297696A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To assure the uniformity of a white color over a whole display screen and improve the imaging characteristics. SOLUTION: The brightness of the whole display screen is controlled by changing the film thickness of a fluorescent layer, corresponding to the areas of opening holes in a light-absorbing layer on which the fluorescent layer is formed. For example, the viscosity of a fluorescent slurry and the rotaing speed of a face panel in application are changed to obtain a desired film thickness distribution.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管の
蛍光面製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、カラー陰極線管は、図4に示す
様に、フェースパネル1とこれにファンネル2から成る
外囲器を有し、フェースパネル1の内側には多数の電子
ビーム通過孔が形成されたシャドウマスク3が設けら
れ、このシャドウマスク3に対向してフェースパネル1
内面に蛍光面4が形成されている。また、ファンネル2
のネック5内に電子銃6が配設され、この電子銃6から
放出される電子ビーム7をファンネル2の外側に装着さ
れた偏向ヨーク8で発生される磁界により偏向させて、
蛍光面4を水平及び垂直方向に走査し、電子ビーム7を
蛍光体層に衝突させることで蛍光体を各色に発光させて
カラー画像を表示する。また、蛍光面4の裏面にはメタ
ルバック層15が形成されており、電子銃6から放射さ
れる電子ビーム7による蛍光体の劣化を防ぐとともに、
蛍光面4に貯まった電化を外部へ放射し、さらに、蛍光
体の発光をフェースパネル1の前面に反射させる作用を
有する。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in FIG. 4, a color cathode ray tube has a face panel 1 and an envelope formed of a face panel 2 and a plurality of electron beam passage holes inside the face panel 1. The formed shadow mask 3 is provided, and the face panel 1 faces the shadow mask 3.
A fluorescent screen 4 is formed on the inner surface. In addition, funnel 2
An electron gun 6 is disposed in the neck 5 of the first embodiment, and an electron beam 7 emitted from the electron gun 6 is deflected by a magnetic field generated by a deflection yoke 8 mounted outside the funnel 2.
The phosphor screen 4 is scanned in the horizontal and vertical directions, and the electron beam 7 collides with the phosphor layer so that the phosphor emits light of each color to display a color image. Further, a metal back layer 15 is formed on the back surface of the phosphor screen 4 to prevent the phosphor from being deteriorated by the electron beam 7 radiated from the electron gun 6, and
It has the function of radiating the electrification stored in the phosphor screen 4 to the outside and reflecting the light emitted from the phosphor to the front surface of the face panel 1.

【0003】蛍光面4としては、ブラックストライプ型
やブラックマトリクス型がある。図5に、ブラックスト
ライプ型の蛍光面を示す。(a)は断面図であり、
(b)は平面図である。同図に示すように、ストライプ
状の黒色光吸収層9相互間に埋め込まれるように、青、
緑、赤に発光するストライプ状の3色蛍光体層10B,
10G,10Rが設けられている。
The fluorescent screen 4 includes a black stripe type and a black matrix type. FIG. 5 shows a black stripe type phosphor screen. (A) is a sectional view,
(B) is a plan view. As shown in the drawing, blue and blue are embedded between stripe-shaped black light absorbing layers 9.
A striped three-color phosphor layer 10B that emits green and red light,
10G and 10R are provided.

【0004】蛍光面4の形成には写真印刷法が用いら
れ、最初に光吸収層9を形成した後、蛍光体層10を形
成する。具体的には、フェースパネルの内面に感光性レ
ジストを塗布し、加熱乾燥して被膜を形成した後、この
被膜にシャドウマスクの開孔を介して蛍光体パターン形
成領域を順次露光し、それぞれの領域に位置する感光性
レジストを不溶化した後、これを現像することによって
レジストパターンを得、その後、フェースパネル内面に
光吸収層を塗布形成した後に、酸等によるエッチング及
び高圧現像によりレジストパターンをリフトオフする。
次に、上記光吸収層9の形成されたフェースパネルの内
面に、感光剤と蛍光体を主成分とする蛍光体スラリーを
塗布し、加熱乾燥して被膜を形成した後、この蛍光体ス
ラリーの被膜のうち、各色の蛍光体パターン形成領域を
露光して焼き付け、現像し、加熱乾燥する工程を3色蛍
光体それぞれについて繰り返すことにより、蛍光体層1
0B,10G,10Rを形成している。その後、蛍光面
4の上に金属を蒸着してメタルバック層15を形成す
る。
The phosphor screen 4 is formed by a photo printing method. First, a light absorbing layer 9 is formed, and then a phosphor layer 10 is formed. Specifically, a photosensitive resist is applied to the inner surface of the face panel, dried by heating to form a coating, and then the phosphor pattern is sequentially exposed to the coating through the opening of the shadow mask. After insolubilizing the photosensitive resist located in the region, develop it to obtain a resist pattern, then apply and form a light absorbing layer on the inner surface of the face panel, and lift off the resist pattern by etching with acid or the like and high-pressure development I do.
Next, a phosphor slurry containing a photosensitive agent and a phosphor as main components is applied to the inner surface of the face panel on which the light absorbing layer 9 is formed, and dried by heating to form a film. The steps of exposing, baking, developing and heating and drying the phosphor pattern forming regions of each color in the coating are repeated for each of the three-color phosphors, whereby the phosphor layer 1 is formed.
0B, 10G, and 10R. Thereafter, a metal is deposited on the phosphor screen 4 to form a metal back layer 15.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、シャドウマ
スクを介して、蛍光体パターン形成領域を順次露光する
場合、フェースパネルの温度は感光性レジストの乾燥工
程で上昇し、その後、光吸収層を露光している間に、フ
ェースパネルの温度が低下する。このとき、フェースパ
ネルの中央部分は周辺部分に比べて熱容量が小さいため
に、温度低下が急激に生じる。その温度変化は、第1色
目の露光時に一番大きくなる。従って、露光感度に温度
依存性のある感光性レジストを用いた場合、第1色、第
2色、第3色相互間で光吸収層の開孔幅を均一にする調
整を、露光照度や露光時間によって行ったとしても、特
に第1色目で、フェースパネル中央部分の開孔幅が、第
2色や第3色と比較して相対的に小さくなってしまい、
白色均一性が損なわれてしまう。
When a phosphor pattern forming region is sequentially exposed through a shadow mask, the temperature of the face panel rises in a photosensitive resist drying step, and then the light absorbing layer is exposed. During this time, the temperature of the face panel decreases. At this time, the central part of the face panel has a smaller heat capacity than the peripheral part, so that the temperature drops sharply. The temperature change becomes the largest during the exposure of the first color. Therefore, when a photosensitive resist whose exposure sensitivity is temperature-dependent is used, the adjustment to make the aperture width of the light absorbing layer uniform among the first, second, and third colors is performed by adjusting the exposure illuminance and the exposure. Even if it is performed depending on the time, the opening width of the center portion of the face panel becomes relatively small as compared with the second and third colors, especially in the first color.
The white uniformity is impaired.

【0006】例えば、青色、緑色、赤色の順で露光した
場合、青色のフェースパネル中央部分での開孔幅が相対
的に小さくなってしまうために、フェースパネル中央部
分で白色となるようにビーム電流を調整すると、中央部
分と比較して周辺部分が白色から色ずれを起こした状態
(周辺が青色方向にずれる)となってしまう。
For example, when the exposure is performed in the order of blue, green, and red, the aperture width at the center of the blue face panel becomes relatively small, so that the beam becomes white at the center of the face panel. When the current is adjusted, the peripheral portion is shifted in color from white compared to the central portion (the peripheral portion is shifted in the blue direction).

【0007】また、シャドウマスクに形成された個々の
電子ビーム通過孔に対応する蛍光体層と通過ビームとの
幾何学的な位置関係の一致度をランディング特性という
が、上記3色蛍光体のいずれかが所定の蛍光体パターン
形成領域からずれて形成されると、電子ビームのランデ
ィングにずれが生じる。例えば、フェースパネル中央部
分での青色の蛍光体層のランディングのずれが大きい場
合、かかる部位での輝度が低下し、上記と同様に白色均
一性が損なわれる結果となる。
The degree of coincidence of the geometrical positional relationship between the passing beam and the phosphor layer corresponding to each electron beam passing hole formed in the shadow mask is called a landing characteristic. If this is formed so as to deviate from the predetermined phosphor pattern forming area, the landing of the electron beam will deviate. For example, when the deviation of the landing of the blue phosphor layer at the center portion of the face panel is large, the luminance at such a portion is reduced, and the white uniformity is impaired as described above.

【0008】さらに、メタルバック層の膜厚が均一でな
い場合やピンホール密度が均一でない場合等、メタルバ
ック層の特性が均一でない場合にも白色均一性が損なわ
れる。例えば、フェースパネル中央部分での赤色の蛍光
体層のメタルバック層にピンホールが多く発生している
場合、かかる部位での輝度が低下するため、フェースパ
ネル中央部分で白色となるようビーム電流を調整する
と、周辺部分が赤色方向に色ずれを起こすことになる。
Further, white uniformity is impaired even when the characteristics of the metal back layer are not uniform, such as when the thickness of the metal back layer is not uniform or when the pinhole density is not uniform. For example, if there are many pinholes in the metal back layer of the red phosphor layer in the center part of the face panel, the brightness in such a part decreases, so the beam current is set so that the center part of the face panel becomes white. If the adjustment is performed, the peripheral portion will cause a color shift in the red direction.

【0009】本発明は、上記課題を解決することを目的
とする。より特定すれば本発明は、表示画面全体におけ
る白色均一性を改善し得る蛍光面の製造方法を提供する
ことを目的とする。
An object of the present invention is to solve the above problems. More specifically, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a phosphor screen that can improve white uniformity over the entire display screen.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明にかかる
カラー陰極線管の蛍光面の製造方法は、フェースパネル
の内面に感光性レジストの膜を形成し、この感光性レジ
ストの膜のうちの、第1色、第2色及び第3色の蛍光体
パターン形成領域を順に選択的に露光する工程と、前記
露光されたレジストの膜を現像して、前記蛍光体パター
ン形成領域に対応するレジストパターンを形成する工程
と、前記レジストパターンの形成されたフェースパネル
の内面に、黒色光吸収物質を塗布した後、リフトオフ法
によって、前記レジストパターンとともに、レジストパ
ターン上に形成された光吸収物質を剥離して、前記レジ
ストパターンの反転パターンから成り、第1色、第2色
及び第3色の蛍光体パターン形成領域に開孔を有する光
吸収層を形成する工程と、前記光吸収層の前記開孔に、
第1色、第2色及び第3色の蛍光体層を形成する工程と
を有するカラー陰極線管の蛍光面製造方法において、前
記光吸収層の前記開孔の面積、電子ビームのランディン
グのずれのいずれかが前記フェースパネルの部位によっ
て異なる場合に、前記蛍光体層の膜厚の制御を行うこと
を特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube, comprising forming a photosensitive resist film on an inner surface of a face panel, Selectively exposing the phosphor pattern forming regions of the first color, the second color and the third color in order, and developing the exposed resist film to form a resist corresponding to the phosphor pattern forming region. Forming a pattern and applying a black light-absorbing substance to the inner surface of the face panel on which the resist pattern is formed, and peeling off the light-absorbing substance formed on the resist pattern together with the resist pattern by a lift-off method Then, a light absorption layer made of a reverse pattern of the resist pattern and having openings in the first, second and third color phosphor pattern forming regions is formed. And degree, the opening of the light absorbing layer,
Forming a phosphor layer of a first color, a second color and a third color, wherein the area of the aperture of the light absorbing layer and the displacement of the landing of the electron beam are adjusted. When any one of them differs depending on the part of the face panel, the thickness of the phosphor layer is controlled.

【0011】請求項2の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、フェースパネルの内面に感光性レ
ジストの膜を形成し、この感光性レジストの膜のうち
の、第1色、第2色及び第3色の蛍光体パターン形成領
域を順に選択的に露光する工程と、前記露光されたレジ
ストの膜を現像して、前記蛍光体パターン形成領域に対
応するレジストパターンを形成する工程と、前記レジス
トパターンの形成されたフェースパネルの内面に、黒色
光吸収物質を塗布した後、リフトオフ法によって、前記
レジストパターンとともに、レジストパターン上に形成
された光吸収物質を剥離して、前記レジストパターンの
反転パターンから成り、第1色、第2色及び第3色の蛍
光体パターン形成領域に開孔を有する光吸収層を形成す
る工程と、前記光吸収層の前記開孔に、第1色、第2色
及び第3色の蛍光体層を形成する工程と、前記蛍光体層
の上に、金属を蒸着してメタルバック層を形成する工程
とを有するカラー陰極線管の蛍光面製造方法において、
メタルバック層の特性が前記フェースパネルの部位によ
って異なる場合に、前記蛍光体層の膜厚の制御を行うこ
とを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube, wherein a photosensitive resist film is formed on an inner surface of a face panel, and the first color and the first color of the photosensitive resist film are formed. Selectively exposing the two-color and third-color phosphor pattern formation regions in order; developing the exposed resist film to form a resist pattern corresponding to the phosphor pattern formation region; After applying a black light-absorbing substance to the inner surface of the face panel on which the resist pattern is formed, the light-absorbing substance formed on the resist pattern is peeled off together with the resist pattern by a lift-off method. Forming a light absorbing layer having openings in the first, second, and third color phosphor pattern forming regions. Forming a first color, a second color and a third color phosphor layer in the opening of the layer; and forming a metal back layer by depositing a metal on the phosphor layer. In the method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube having
When the characteristics of the metal back layer differ depending on the portion of the face panel, the thickness of the phosphor layer is controlled.

【0012】請求項3の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項1に記載の製造方法におい
て、前記蛍光体のうち少なくとも一色について、前記光
吸収層の前記開孔の各々の面積が前記フェースパネル上
の部位によって異なる場合に、前記開孔の面積が小さい
部位において、前記蛍光体層の膜厚をその他の部分と比
べて最も発光効率のよい最適膜厚に近づけることを特徴
とする。
According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the first aspect, each of the apertures of the light absorbing layer is provided for at least one of the phosphors. When the area of the phosphor layer differs depending on the portion on the face panel, it is preferable that the thickness of the phosphor layer is made closer to the optimum thickness having the highest luminous efficiency in the portion where the area of the opening is small as compared with other portions. Features.

【0013】請求項4の発明にかかるカラー陰極線管の
製造方法は、請求項1に記載の製造方法において、前記
蛍光体層のうち少なくとも一色について、前記電子ビー
ムのランディングのずれが前記フェースパネル上の部位
によって異なる場合に、前記ランディングのずれの大き
い部位において、前記蛍光体層の膜厚をその他の部分と
比べて最も発光効率のよい最適膜厚に近づけることを特
徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color cathode ray tube according to the first aspect of the present invention, the deviation of the landing of the electron beam on at least one of the phosphor layers is reduced on the face panel. In this case, the thickness of the phosphor layer is made closer to the optimum film thickness having the highest luminous efficiency in the portion where the landing deviation is large as compared with the other portions.

【0014】請求項5の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項2に記載の製造方法におい
て、前記蛍光体層のうち少なくとも一色について、前記
メタルバック層の特性が前記フェースパネル上の部位に
よって異なる場合に、前記メタルバック層の特性の良好
でない部位において、前記蛍光体層の膜厚をその他の部
分と比べて最も発光効率のよい最適膜厚に近づけること
を特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the second aspect of the present invention, the characteristics of the metal back layer of at least one of the phosphor layers are the face. In a case where the characteristics of the metal back layer are not good, the thickness of the phosphor layer is made closer to an optimum film thickness having the highest luminous efficiency as compared with other portions in a portion where the characteristics of the metal back layer are not good when different from each other on the panel. .

【0015】請求項6の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項1または3に記載の製造方
法において、前記光吸収層の前記開孔の面積が、前記フ
ェースパネルの中央部分において比較的小さく、前記フ
ェースパネルの周辺部分へ行くほど大きくなっている場
合において、前記蛍光体層の膜厚を、前記フェースパネ
ルの中央部分で前記最適膜厚に近く、前記フェースパネ
ルの周辺部分へ行くほど前記最適膜厚から離れることを
特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the first or third aspect, the area of the aperture of the light absorbing layer is the center of the face panel. In the case where the thickness is relatively small in the portion and becomes large toward the peripheral portion of the face panel, the thickness of the phosphor layer is close to the optimum thickness in the central portion of the face panel, It is characterized in that the distance from the optimum film thickness increases as going to the portion.

【0016】請求項7の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項1または4に記載の製造方
法において、前記電子ビームのランディングのずれが前
記フェースパネルの中央部分において比較的大きく、前
記フェースパネルの周辺部分へ行くほど小さくなってい
る場合において、前記蛍光体層の膜厚を、前記フェース
パネルの中央部分で前記最適膜厚に近く、前記フェース
パネルの周辺部分へ行くほど前記最適膜厚から離れるこ
とを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the first or fourth aspect, the landing deviation of the electron beam is relatively small in a central portion of the face panel. In the case where the thickness of the phosphor layer is large toward the periphery of the face panel, the thickness of the phosphor layer is close to the optimum thickness at the center of the face panel, and the thickness of the phosphor layer increases toward the periphery of the face panel. It is characterized in that it departs from the optimum film thickness.

【0017】請求項8の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項2または5に記載の製造方
法において、前記メタルバック層の特性が前記フェース
パネルの中央部分において良好でなく、前記フェースパ
ネルの周辺部分へ行くほど良好になっている場合におい
て、前記蛍光体層の膜厚を、前記フェースパネルの中央
部分で前記最適膜厚に近く、前記フェースパネルの周辺
部分へ行くほど前記最適膜厚から離れることを特徴とす
る。
According to a eighth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the second or fifth aspect, the characteristic of the metal back layer is not good in the central portion of the face panel. In the case where the thickness of the phosphor layer becomes better toward the peripheral portion of the face panel, the thickness of the phosphor layer is set closer to the optimum thickness at the central portion of the face panel, and the thickness becomes closer to the peripheral portion of the face panel. It is characterized in that it departs from the optimum film thickness.

【0018】請求項9の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面の製造方法は、請求項1〜8のいずれかに記載の
製造方法において、前記蛍光体層を形成する工程が、前
記光吸収層の形成されたフェースパネルの内面に、第1
色、第2色及び第3色のスラリーを塗布し、前記シャド
ウマスクの開孔パターンを焼き付けた後、現像すること
を含み、前記蛍光体のスラリーを塗布する工程が、前記
フェースパネル内面を水平面に対して斜め上向きに傾斜
させた状態で、前記フェースパネルを回転させながら前
記蛍光体スラリーを前記フェースパネル内に供給して、
前記蛍光体スラリーを前記フェースパネル内面に広げる
工程と、前記フェースパネル内面を水平面に対して斜め
下向きに傾斜させた状態で、前記フェースパネルを回転
させながら余剰の蛍光体スラリーを排除する工程とを有
し、前記蛍光体スラリーの粘度と、前記フェースパネル
の前記余剰の蛍光体スラリーを排除する工程における回
転速度を変えることにより、前記蛍光体層の膜厚を変え
ることを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to any one of the first to eighth aspects, the step of forming the phosphor layer comprises the step of forming the phosphor layer. The first face is formed on the inner surface of the face panel formed with
Applying the slurry of the color, the second color, and the third color, and baking the opening pattern of the shadow mask, and then developing the slurry. In a state of being inclined obliquely upward with respect to, supplying the phosphor slurry into the face panel while rotating the face panel,
Spreading the phosphor slurry on the face panel inner surface, and removing excess phosphor slurry while rotating the face panel while the face panel inner surface is inclined obliquely downward with respect to a horizontal plane. The thickness of the phosphor layer is changed by changing the viscosity of the phosphor slurry and the rotation speed in the step of removing the surplus phosphor slurry of the face panel.

【0019】請求項10の発明にかかるカラー陰極線管
の蛍光面の製造方法は、請求項6に記載の製造方法にお
いて、前記感光性レジストの膜を形成する工程が、前記
感光性レジストを塗布する工程と、塗布した感光性レジ
ストを加熱して乾燥する工程とを含み、前記レジストパ
ターンを形成する工程が、前記加熱により上昇したフェ
ースパネルの温度が低下する間に行われることを特徴と
する。
According to a tenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the sixth aspect, the step of forming the photosensitive resist film comprises applying the photosensitive resist. And a step of heating and drying the applied photosensitive resist, wherein the step of forming the resist pattern is performed while the temperature of the face panel raised by the heating decreases.

【0020】請求項11の発明にかかるカラー陰極線管
の蛍光面の製造方法は、請求項10に記載の製造方法に
おいて、前記フェースパネルが、中央部分で熱容量が比
較的小さいものであることを特徴とする。
According to a eleventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the tenth aspect, the face panel has a relatively small heat capacity at a central portion. And

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。図1に、蛍光面の製造工
程を示す。まずフェースパネル1の内面を洗浄した後、
図1(a)に示すように、感光性レジスト11を塗布
し、加熱乾燥してレジスト11の被膜を形成する。次
に、同(b)に示すように、上記感光性レジスト11の
形成されたフェースパネル1にシャドウマスク3を装着
し、例えば超高圧水銀ランプなどの光源(図示せず)か
ら放射される光により、この光の軌道を電子ビームの軌
道に近似させる補正レンズ及び感光性レジスト11に対
する光源の照度分布を補正する補正フィルター(図示せ
ず)などを介して露光し、感光性レジスト11に蛍光体
パターン形成領域に対応するパターンを焼き付ける。露
光は、光源をカラー陰極線管の偏向中心に対応する位置
に逐次移動して、3回行う。次に、このパターンの焼き
付けられた感光性レジスト11を現像して未露光部を除
去し、同(c)に示すように、蛍光体パターン形成領域
に対応するレジストパターン12を形成する。感光性レ
ジストとしては、例えばポリビニルアルコール及びアジ
ド化合物を主成分とするものが用いられる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a manufacturing process of the phosphor screen. First, after cleaning the inner surface of the face panel 1,
As shown in FIG. 1A, a photosensitive resist 11 is applied and dried by heating to form a film of the resist 11. Next, as shown in (b), a shadow mask 3 is mounted on the face panel 1 on which the photosensitive resist 11 is formed, and light emitted from a light source (not shown) such as an ultra-high pressure mercury lamp is used. The photosensitive resist 11 is exposed to light through a correction lens that approximates the trajectory of the light to the trajectory of the electron beam and a correction filter (not shown) that corrects the illuminance distribution of the light source with respect to the photosensitive resist 11. A pattern corresponding to the pattern forming area is printed. The exposure is performed three times by sequentially moving the light source to a position corresponding to the center of deflection of the color cathode ray tube. Next, the photosensitive resist 11 on which the pattern is baked is developed to remove the unexposed portions, and a resist pattern 12 corresponding to the phosphor pattern forming region is formed as shown in FIG. As the photosensitive resist, for example, a resist mainly containing polyvinyl alcohol and an azide compound is used.

【0022】次に、同(d)に示すように、レジストパ
ターン12の形成されたフェースパネル1の内面に、例
えばグラファイト懸濁液などの黒色光吸収物質を塗布
し、加熱乾燥して、光吸収層13を形成する。その後、
光吸収層13が形成されたレジストパターン12を、エ
ッチング及び高圧現像によりリフトオフし、同(e)に
示すように、上記レジストパターン12の反転パターン
から成る光吸収層9を形成する。エッチングには、例え
ば酸や過酸化物が用いられる。
Next, as shown in FIG. 2D, a black light absorbing substance such as a graphite suspension is applied to the inner surface of the face panel 1 on which the resist pattern 12 is formed, and is heated and dried. The absorption layer 13 is formed. afterwards,
The resist pattern 12 on which the light absorbing layer 13 is formed is lifted off by etching and high-pressure development to form a light absorbing layer 9 having an inverted pattern of the resist pattern 12 as shown in FIG. For the etching, for example, an acid or a peroxide is used.

【0023】ここで、光吸収層9の開孔部分について、
感光性レジスト11を露光する際のフェースパネル1の
表面温度との関係から詳述する。
Here, the opening portion of the light absorbing layer 9 will be described.
The relationship with the surface temperature of the face panel 1 when exposing the photosensitive resist 11 will be described in detail.

【0024】フェースパネル1に塗布した感光性レジス
ト11を加熱乾燥した後露光するために、露光時のフェ
ースパネル1の表面温度は室温と比較して高くなる。そ
して、時間の経過とともに徐々に温度は低下していく
が、フェースパネル1の中央部分の熱容量は周辺部分よ
りも小さいために、例えば1色目の露光開始時に中央部
分及び周辺部分で表面温度がそれぞれ50℃であったと
すると、2色目の露光時には中央部分で46℃、周辺部
分で48℃、3色目の露光時には中央部分で44℃、周
辺部分で46℃のように変化する。即ち、1色目の露光
時の際、特に中央部分での温度変化が大きくなる。
Since the photosensitive resist 11 applied to the face panel 1 is heated and dried before exposure, the surface temperature of the face panel 1 at the time of exposure is higher than room temperature. Although the temperature gradually decreases with the passage of time, the heat capacity of the central portion of the face panel 1 is smaller than that of the peripheral portion. Assuming that the temperature is 50 ° C., the temperature changes to 46 ° C. at the central portion during exposure of the second color, to 48 ° C. at the peripheral portion, and to 44 ° C. at the central portion and to 46 ° C. at the peripheral portion during exposure of the third color. That is, during the exposure of the first color, the temperature change particularly at the central portion becomes large.

【0025】このとき、例えば図1(e)に示す光吸収
層9の開孔部分(蛍光体層が形成される部分)の幅9a
が第2色、第3色について50μmになるように露光時
間を調整し、中央部分と周辺部分で開孔部分の幅9aが
同じになるようにフェースパネル面内での照度分布を調
整できる照度補正フィルター(第1色、第2色、第3色
で共通の一枚を使用する)を使用した場合、中央部分で
の1色目と2色目の温度変化が大きいために、1色目に
関して周辺部分が50μmになるよう調整しても、中央
部分では50μmより小さい幅、例えば48μmしかな
いという事態が起こる。
At this time, for example, the width 9a of the aperture portion (the portion where the phosphor layer is formed) of the light absorbing layer 9 shown in FIG.
Illuminance can be adjusted so that the exposure time is 50 μm for the second and third colors, and the illuminance distribution in the face panel surface can be adjusted so that the width 9a of the opening portion is the same in the central portion and the peripheral portion. When a correction filter (a common sheet is used for the first color, the second color, and the third color) is used, since the temperature change of the first color and the second color in the central portion is large, the peripheral portion of the first color is used. Is adjusted to be 50 μm, a situation occurs in which the central portion has a width smaller than 50 μm, for example, only 48 μm.

【0026】本実施の形態は、このような開孔部分の幅
9aの不均一性を補償するため、蛍光体層10の形成に
際し、開孔部分の幅9aが小さい領域(フェースパネル
の中央部分)において、蛍光体層10を以下のようにし
て最も発光効率のよい最適膜厚に形成することを特徴と
する。
In the present embodiment, in order to compensate for such non-uniformity of the width 9a of the opening, the region where the width 9a of the opening is small (the central portion of the face panel) when forming the phosphor layer 10. 3), the phosphor layer 10 is formed to have an optimum film thickness with the highest luminous efficiency as described below.

【0027】即ち、図2に示すように、第1色目の蛍光
体スラリー14をフェースパネル1内面にスピンコート
法により塗布する。第1色目に用いる色は、青、緑、赤
のいずれであっても良い。同(a)に示すように、フェ
ースパネル1を水平面に対して斜め上向きに傾斜させた
状態で低速で回転させながら、蛍光体スラリー14をフ
ェースパネル1内に供給する。蛍光体スラリー14は、
フェースパネル1の回転により、フェースパネル1の内
面に略一様に広がる。次に、フェースパネル1を移動
し、同(b)に示すように、フェースパネル1の内面を
水平面に対して斜め下向きに傾斜させた状態で高速で回
転させながら、余剰の蛍光体スラリー14を排除し、蛍
光体層14を形成する(図1(f))。このときに蛍光
体スラリー14の粘度と、余剰の蛍光体スラリーを排除
する際のフェースパネルの回転速度(以下、振り切り速
度という)を調整することによって、中央部分の蛍光体
塗布量が周辺部分よりも最適量になるようにすることが
できる。
That is, as shown in FIG. 2, the phosphor slurry 14 of the first color is applied to the inner surface of the face panel 1 by spin coating. The color used for the first color may be any of blue, green, and red. As shown in FIG. 2A, the phosphor slurry 14 is supplied into the face panel 1 while rotating the face panel 1 at a low speed while being inclined obliquely upward with respect to the horizontal plane. The phosphor slurry 14 is
The rotation of the face panel 1 causes the inner surface of the face panel 1 to spread substantially uniformly. Next, as shown in (b), the face panel 1 is moved and the excess phosphor slurry 14 is removed while rotating the face panel 1 at a high speed while the inner surface of the face panel 1 is inclined obliquely downward with respect to the horizontal plane. Then, the phosphor layer 14 is formed (FIG. 1F). At this time, by adjusting the viscosity of the phosphor slurry 14 and the rotation speed of the face panel (hereinafter, referred to as a shake-off speed) when removing the excess phosphor slurry, the phosphor application amount in the central portion is more than that in the peripheral portion. Can also be optimized.

【0028】図3に、粘度が約20mPa・sの青色蛍
光体スラリーを用い、振り切り速度を100rpm〜1
60rpmの範囲で変化させ、フェースパネル1の中央
部分(図2(b)の1a)と周辺部分(図2(b)の1
b)で蛍光体スラリーの塗布量を測定した結果を示す。
FIG. 3 shows that a blue phosphor slurry having a viscosity of about 20 mPa · s was used and the shake-off speed was 100 rpm to 1 rpm.
It is changed in the range of 60 rpm, and the center part (1a in FIG. 2B) and the peripheral part (1 in FIG. 2B) of the face panel 1 are changed.
The result of measuring the amount of the phosphor slurry applied in b) is shown.

【0029】一般に、最も発光効率が良くなるのは、蛍
光体層の膜厚が蛍光体の平均粒径の約1.4倍のときで
あるとされており、膜厚がこれより小さくなっても、ま
た、大きくなっても発光効率は低下する。平均粒径が5
μmの蛍光体を用いた場合、最適な膜厚は約7μmにな
り、これは約1.8mg/cm2の塗布量に相当する。
図3から判るように、フェースパネル1の振り切り速度
が130rpmのときに、中央部分と周辺部分とで蛍光
体の塗布量(蛍光体層の膜厚)が等しくなる。従って、
従来例においては、振り切り速度を130rpmに設定
し、フェースパネル1の全面に渡って、塗布量が約1.
80mg/cm2となるようにしていた。
In general, it is considered that the luminous efficiency is most improved when the thickness of the phosphor layer is about 1.4 times the average particle diameter of the phosphor. Also, the luminous efficiency is reduced even if it becomes larger. Average particle size is 5
When a phosphor of μm is used, the optimum film thickness is about 7 μm, which corresponds to a coating amount of about 1.8 mg / cm 2 .
As can be seen from FIG. 3, when the shake-off speed of the face panel 1 is 130 rpm, the coating amount of the phosphor (film thickness of the phosphor layer) is equal between the central portion and the peripheral portion. Therefore,
In the conventional example, the shaking-off speed is set to 130 rpm, and the application amount is about 1.
It was adjusted to 80 mg / cm 2 .

【0030】本実施の形態においては、フェースパネル
1の振り切り速度を100rpmとする。このときの蛍
光体の塗布量は、図3より、中央部分で約1.80mg
/cm2、周辺部分で約1.66mg/cm2である。
In the present embodiment, the swing-off speed of the face panel 1 is set to 100 rpm. At this time, the applied amount of the phosphor was about 1.80 mg in the central part from FIG.
/ Cm 2 , and about 1.66 mg / cm 2 at the periphery.

【0031】上記のようにして形成した蛍光体層14
を、加熱乾燥し、図1(g)に示すように、フェースパ
ネル1にシャドウマスク3を装着し、カラー陰極線管の
偏向中心に対応する位置に配置された、例えば超高圧水
銀ランプなどの光源(図示せず)から放出される光によ
り、この光の軌道を電子ビームの軌道に近似させる補正
レンズ及び蛍光体層14に対する光源の照度分布を補正
する補正フィルター(図示せず)などを介して露光し、
蛍光体層14に蛍光体パターン形成領域に対応するパタ
ーンを焼き付ける。その後、パターンの焼き付けられた
蛍光体層14を現像して未露光部を除去し、同(h)に
示すように、光吸収層9の所定の隙間に任意1色の蛍光
体層、例えば青色蛍光体層10Bを形成する。
The phosphor layer 14 formed as described above
Is heated and dried, and as shown in FIG. 1 (g), a shadow mask 3 is mounted on the face panel 1, and a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp is disposed at a position corresponding to the deflection center of the color cathode ray tube. The light emitted from the light source (not shown) passes through a correction lens (not shown) that corrects the illuminance distribution of the light source with respect to the phosphor layer 14 and a correction lens that approximates the trajectory of the light to the trajectory of the electron beam. Exposure,
A pattern corresponding to the phosphor pattern forming region is printed on the phosphor layer 14. Thereafter, the phosphor layer 14 on which the pattern has been printed is developed to remove the unexposed portions, and as shown in (h), a phosphor layer of any one color, such as blue, is provided in a predetermined gap of the light absorbing layer 9. The phosphor layer 10B is formed.

【0032】この様な一連の蛍光体層形成工程を、第1
色以外の第2色及び第3色、例えば緑色、赤色蛍光体に
ついても順に繰り返して行うことにより、青色蛍光体層
10B、緑色蛍光体層10G、赤色蛍光体層10Rがそ
れぞれ所定のパターンで配列された蛍光面が形成される
(図1(i))。
Such a series of phosphor layer forming steps is described as a first step.
The second color and the third color other than the color, for example, green and red phosphors are sequentially and repeatedly performed so that the blue phosphor layer 10B, the green phosphor layer 10G, and the red phosphor layer 10R are arranged in a predetermined pattern. The formed phosphor screen is formed (FIG. 1 (i)).

【0033】その後、この蛍光体層の上に金属を蒸着
し、メタルバック層15を形成する(図1(j))。蒸
着する金属としては、例えばアルミニウムのような電子
透過性のよいものを用いる。メタルバック層15を形成
する前に、蛍光体層を平坦化するために、蛍光体層の上
に有機被膜を形成してもよい。
Thereafter, a metal is deposited on the phosphor layer to form a metal back layer 15 (FIG. 1 (j)). As the metal to be vapor-deposited, for example, a material having good electron permeability such as aluminum is used. Before forming the metal back layer 15, an organic film may be formed on the phosphor layer in order to flatten the phosphor layer.

【0034】本実施の形態では、上記のように、蛍光体
スラリーの塗布量(即ち、蛍光体層の膜厚)がフェース
パネルの中央部分で最適量に近く、周辺へ行くほど最適
量から離れるようにしている。これによって、本実施の
形態によれば、光吸収層の開孔部分の幅9aがフェース
パネル1の中央部分ほど狭く、周辺へ行くほど広いとい
う不均一性を補償して、表示画面の白色均一性を改善し
ている。
In the present embodiment, as described above, the applied amount of the phosphor slurry (that is, the thickness of the phosphor layer) is closer to the optimum amount at the center portion of the face panel, and is further away from the optimum amount toward the periphery. Like that. Thus, according to the present embodiment, the non-uniformity that the width 9a of the aperture of the light absorbing layer is narrower toward the center of the face panel 1 and wider toward the periphery of the face panel 1 is compensated for, and the white uniformity of the display screen is compensated. Improve the sex.

【0035】尚、蛍光体スラリーの粘度やフェースパネ
ルの振り切り速度、蛍光体の塗布量は、上記の例に限定
されるものではない。例えば、図3において、フェース
パネル1の振り切り速度を160rpmにした場合、中
央部分の塗布量が周辺部分の塗布量より少なくなってい
るが、蛍光体スラリー14の粘度を高くすることによ
り、160rpmであっても、中央部分での塗布量を約
1.80mg/cm2とし、同様の効果を得ることがで
きる。粘度は、例えば蛍光体濃度や溶剤の種類を変える
ことにより所望の値とすることができる。
The viscosity of the phosphor slurry, the swing speed of the face panel, and the amount of the phosphor applied are not limited to the above examples. For example, in FIG. 3, when the shake-off speed of the face panel 1 is set to 160 rpm, the applied amount in the central portion is smaller than the applied amount in the peripheral portion. However, by increasing the viscosity of the phosphor slurry 14, the speed is reduced to 160 rpm. Even so, the same effect can be obtained by setting the applied amount at the central portion to about 1.80 mg / cm 2 . The viscosity can be set to a desired value by changing, for example, the phosphor concentration and the type of solvent.

【0036】本実施の形態で示した蛍光体層の形成につ
いては、感光性レジストの第1色目の露光に相当する電
子ビームの色に対応した蛍光体について行うのが好まし
い。前述したように、第1色目の露光により形成される
光吸収層の開孔部分の面積が、第2色目や第3色目と比
較して、最も小さくなるからである。また、第1色目だ
けでなく、さらに第2色目の露光に相当する電子ビーム
の色に対応した蛍光体について行っても良く、3色全て
について行っても良い。第2色目や第3色目の露光によ
り形成される光吸収層の開孔部分の面積も、(第1色目
ほどではないが)フェースパネルの中央部分と周辺部分
とで不均一となることから、これらについてもフェース
パネルの面内で蛍光体層の膜厚を変えることにより、表
示画面の白色均一性を一層良好なものとすることができ
る。
The formation of the phosphor layer shown in the present embodiment is preferably performed on a phosphor corresponding to the color of the electron beam corresponding to the first color exposure of the photosensitive resist. This is because, as described above, the area of the aperture of the light absorbing layer formed by the exposure of the first color is the smallest as compared with the second and third colors. In addition, not only the first color, but also the phosphor corresponding to the color of the electron beam corresponding to the exposure of the second color, or all three colors may be performed. Since the area of the aperture portion of the light absorbing layer formed by the exposure of the second color or the third color is not uniform between the center portion and the peripheral portion of the face panel (although not as large as the first color), By changing the thickness of the phosphor layer in the face panel, the uniformity of the white color of the display screen can be further improved.

【0037】本実施の形態においては、光吸収層の開孔
の面積がフェースパネル中央部分において小さく、周辺
部分へ行くほど大きくなる場合について示したが、電子
ビームのランディングのずれがフェースパネルの中央部
分において大きく、周辺部分へ行くほど小さくなる場合
や、メタルバック層の特性がフェースパネルの中央部分
において良好でなく、周辺部分へ行くほど良好になる場
合においても同様である。即ち、電子ビームのランディ
ングのずれが大きい、または、メタルバック層の特性の
良好でない中央部分での蛍光体層の膜厚を発光効率のよ
い最適膜厚に近づけるようにし、周辺部分へ行くほど最
適膜厚から離れるようにすればよい。
In the present embodiment, the case where the area of the aperture of the light absorbing layer is small in the central portion of the face panel and becomes large toward the peripheral portion, however, the deviation of the landing of the electron beam is reduced in the central portion of the face panel. The same applies to the case where the area is large and becomes smaller toward the peripheral part, or the case where the characteristics of the metal back layer are not good in the central part of the face panel and become better toward the peripheral part. That is, the deviation of the landing of the electron beam is large, or the thickness of the phosphor layer in the central portion where the characteristics of the metal back layer is not good is made to be close to the optimal thickness with good luminous efficiency, and the more it goes to the peripheral portion, The thickness may be set apart from the film thickness.

【0038】[0038]

【発明の効果】請求項1の発明にかかるカラー陰極線管
の蛍光面製造方法によれば、蛍光面における光吸収層の
開孔部分の面積、電子ビームのランディングのずれのい
ずれかがフェースパネル上の部位によって異なることの
影響を補償し、表示画面の白色均一性を改善することが
できる。
According to the method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the first aspect of the present invention, any one of the area of the aperture of the light absorbing layer on the phosphor screen and the displacement of the landing of the electron beam is reduced on the face panel. Can be compensated for, and the uniformity of the white color of the display screen can be improved.

【0039】請求項2の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、メタルバック層の特性がフェ
ースパネル上の部位によって異なることの影響を補償
し、表示画面の均一性を改善することができる。
According to the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the second aspect of the present invention, the influence of the fact that the characteristics of the metal back layer differ depending on the portion on the face panel is compensated, and the uniformity of the display screen is improved. be able to.

【0040】請求項3の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、従来用いていた製造装置を変
更する必要が無く、製造の手順にも大幅な変更を加える
こと無く実施できるので、ほとんどコストを上昇させる
こと無く、簡便に白色均一性を改善することができる。
According to the method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the third aspect of the present invention, it is not necessary to change the manufacturing apparatus used conventionally, and the method can be performed without making a significant change in the manufacturing procedure. It is possible to easily improve the white uniformity with almost no increase in cost.

【0041】請求項4の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、従来用いていた製造装置を変
更する必要が無く、製造の手順にも大幅な変更を加える
こと無く実施できるので、ほとんどコストを上昇させる
こと無く、簡便に白色均一性を改善することができる。
According to the method of manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube according to the fourth aspect of the present invention, it is not necessary to change the manufacturing apparatus used in the prior art, and the method can be carried out without significantly changing the manufacturing procedure. It is possible to easily improve the white uniformity with almost no increase in cost.

【0042】請求項5の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、従来用いていた製造装置を変
更する必要が無く、製造の手順にも大幅な変更を加える
こと無く実施できるので、ほとんどコストを上昇させる
こと無く、簡便に白色均一性を改善することができる。
According to the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the fifth aspect of the present invention, it is not necessary to change a manufacturing apparatus used in the past, and the method can be performed without making a significant change in the manufacturing procedure. It is possible to easily improve the white uniformity with almost no increase in cost.

【0043】請求項6の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、蛍光面において、蛍光面全体
の輝度の不均一性を改善することができる。これによ
り、光吸収層の開孔部分の面積が不均一であることの影
響を補償し、表示画面の白色均一性を確保することがで
きる。また、蛍光体の平均粒子径を変えずに輝度の調整
ができるために、簡便である。
According to the method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the sixth aspect of the present invention, it is possible to improve the non-uniformity of the luminance of the phosphor screen as a whole. This makes it possible to compensate for the influence of the non-uniform area of the aperture portion of the light absorbing layer and to ensure uniform whiteness of the display screen. Further, the brightness can be adjusted without changing the average particle diameter of the phosphor, which is simple.

【0044】請求項7の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、蛍光面において、蛍光面全体
の輝度の不均一性を改善することができ、表示画面の白
色均一性を確保することができる。
According to the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the present invention, it is possible to improve the non-uniformity of the luminance of the entire phosphor screen and to assure the uniformity of the white color of the display screen. can do.

【0045】請求項8の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、蛍光面において、蛍光面全体
の輝度の不均一性を改善することができ、表示画面の白
色均一性を確保することができる。
According to the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the present invention, the non-uniformity of the luminance of the entire phosphor screen can be improved and the uniformity of the white color of the display screen can be ensured. can do.

【0046】請求項9の発明にかかるカラー陰極線管の
蛍光面製造方法によれば、簡単に所望の膜厚分布を得る
ことができる。即ち、フェースパネル上の輝度の変化に
対応して、一様に蛍光体層の膜厚を変化させることがで
きる。
According to the method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the ninth aspect, a desired film thickness distribution can be easily obtained. That is, it is possible to uniformly change the thickness of the phosphor layer in response to a change in luminance on the face panel.

【0047】請求項10の発明にかかるカラー陰極線管
の蛍光面製造方法によれば、感光性レジスト膜を露光し
ている間のフェースパネル表面の不均一な温度変化を原
因として発生する光吸収層の開孔部分の幅の不均一性を
補償し、表示画面の白色均一性を改善できる。
According to the method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the tenth aspect of the present invention, the light absorbing layer generated due to the non-uniform temperature change of the face panel surface during the exposure of the photosensitive resist film. Can compensate for the unevenness of the width of the aperture portion of the aperture, and can improve the uniformity of the white color of the display screen.

【0048】請求項11の発明にかかるカラー陰極線管
の蛍光面製造方法によれば、感光性レジストを露光して
いる間のフェースパネル中央部分での温度低下が大きい
ことを原因として発生する光吸収層の開孔部分の幅の不
均一性を補償し、表示画面の白色均一性を改善できる。
According to the method of manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to the eleventh aspect of the present invention, light absorption generated due to a large temperature drop at the center portion of the face panel during exposure of the photosensitive resist. Nonuniformity of the width of the opening portion of the layer can be compensated, and white uniformity of the display screen can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態にかかる蛍光面及びメタ
ルバック層の形成工程を示した概略図である。
FIG. 1 is a schematic view illustrating a process of forming a phosphor screen and a metal back layer according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態にかかる蛍光体スラリー
の塗布工程を示す概略図であり、(a)はフェースパネ
ルを斜め上向きにして塗布を行う状態の断面図、(b)
はフェースパネルを斜め下向きにして塗布を行う状態の
断面図である。
FIGS. 2A and 2B are schematic views showing a phosphor slurry application step according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a cross-sectional view showing a state where the face panel is applied obliquely upward, and FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the application is performed with the face panel facing obliquely downward.

【図3】 本発明の実施の形態にかかる蛍光体スラリー
の塗布工程におけるフェースパネルの回転速度と蛍光体
スラリーの塗布量との関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between a rotation speed of a face panel and an application amount of a phosphor slurry in a phosphor slurry application step according to the embodiment of the present invention.

【図4】 本発明にかかる蛍光面を具備したカラー陰極
線管の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a color cathode ray tube having a phosphor screen according to the present invention.

【図5】 本発明にかかるブラックストライプ型の蛍光
面を示す(a)は断面図、(b)は平面図である。
FIG. 5A is a cross-sectional view and FIG. 5B is a plan view showing a black-stripe fluorescent screen according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フェースパネル、 2 ファンネル、 3 シャド
ウマスク、 4 蛍光面、 5 ネック、 6 電子
銃、 7 電子ビーム、 8 偏向ヨーク、 9,13
光吸収層、 10 蛍光体層、 11 感光性レジス
ト、 12 レジストパターン、 14 蛍光体スラリ
ー、 15 メタルバック層。
1 face panel, 2 funnel, 3 shadow mask, 4 phosphor screen, 5 neck, 6 electron gun, 7 electron beam, 8 deflection yoke, 9, 13
Light absorbing layer, 10 phosphor layer, 11 photosensitive resist, 12 resist pattern, 14 phosphor slurry, 15 metal back layer.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フェースパネルの内面に感光性レジスト
の膜を形成し、 この感光性レジストの膜のうちの、第1色、第2色及び
第3色の蛍光体パターン形成領域を順に選択的に露光す
る工程と、 前記露光されたレジストの膜を現像して、前記蛍光体パ
ターン形成領域に対応するレジストパターンを形成する
工程と、 前記レジストパターンの形成されたフェースパネルの内
面に、黒色光吸収物質を塗布した後、リフトオフ法によ
って、前記レジストパターンとともに、レジストパター
ン上に形成された光吸収物質を剥離して、前記レジスト
パターンの反転パターンから成り、第1色、第2色及び
第3色の蛍光体パターン形成領域に開孔を有する光吸収
層を形成する工程と、 前記光吸収層の前記開孔に、第1色、第2色及び第3色
の蛍光体層を形成する工程とを有するカラー陰極線管の
蛍光面製造方法において、 前記光吸収層の前記開孔の面積、電子ビームのランディ
ングのずれのいずれかが前記フェースパネルの部位によ
って異なる場合に、前記蛍光体層の膜厚の制御を行うこ
とを特徴とするカラー陰極線管の蛍光面製造方法。
1. A photosensitive resist film is formed on the inner surface of a face panel, and a first color, a second color, and a third color phosphor pattern forming region of the photosensitive resist film are sequentially selected. A step of developing the exposed resist film to form a resist pattern corresponding to the phosphor pattern forming region; and forming a black light on the inner surface of the face panel on which the resist pattern is formed. After the application of the absorbing substance, the light absorbing substance formed on the resist pattern is peeled off together with the resist pattern by a lift-off method, and the first color, the second color and the third color are formed by inversion of the resist pattern. Forming a light absorbing layer having an opening in the color phosphor pattern forming region; and forming a first color, a second color, and a third color phosphor layer in the opening of the light absorbing layer. A method of manufacturing a phosphor screen for a color cathode ray tube, the method comprising: when any one of an area of the aperture of the light absorbing layer and a shift of landing of an electron beam differs depending on a portion of the face panel, A method for producing a phosphor screen of a color cathode ray tube, comprising controlling the thickness of a layer.
【請求項2】 フェースパネルの内面に感光性レジスト
の膜を形成し、 この感光性レジストの膜のうちの、第1色、第2色及び
第3色の蛍光体パターン形成領域を順に選択的に露光す
る工程と、 前記露光されたレジストの膜を現像して、前記蛍光体パ
ターン形成領域に対応するレジストパターンを形成する
工程と、 前記レジストパターンの形成されたフェースパネルの内
面に、黒色光吸収物質を塗布した後、リフトオフ法によ
って、前記レジストパターンとともに、レジストパター
ン上に形成された光吸収物質を剥離して、前記レジスト
パターンの反転パターンから成り、第1色、第2色及び
第3色の蛍光体パターン形成領域に開孔を有する光吸収
層を形成する工程と、 前記光吸収層の前記開孔に、第1色、第2色及び第3色
の蛍光体層を形成する工程と、 前記蛍光体層の上に、金属を蒸着してメタルバック層を
形成する工程とを有するカラー陰極線管の蛍光面製造方
法において、 メタルバック層の特性が前記フェースパネルの部位によ
って異なる場合に、前記蛍光体層の膜厚の制御を行うこ
とを特徴とするカラー陰極線管の蛍光面製造方法。
2. A photosensitive resist film is formed on an inner surface of the face panel, and a first color, a second color, and a third color phosphor pattern forming region of the photosensitive resist film are selectively selected in this order. A step of developing the exposed resist film to form a resist pattern corresponding to the phosphor pattern forming region; and forming a black light on the inner surface of the face panel on which the resist pattern is formed. After the application of the absorbing substance, the light absorbing substance formed on the resist pattern is peeled off together with the resist pattern by a lift-off method, and the first color, the second color and the third color are formed by inversion of the resist pattern. Forming a light absorbing layer having an opening in the color phosphor pattern forming region; and forming a first color, a second color, and a third color phosphor layer in the opening of the light absorbing layer. Forming a metal back layer by vapor-depositing a metal on the phosphor layer, wherein a characteristic of the metal back layer depends on a part of the face panel. A method of manufacturing a phosphor screen for a color cathode ray tube, wherein the thickness of the phosphor layer is controlled when different.
【請求項3】 前記蛍光体のうち少なくとも一色につい
て、前記光吸収層の前記開孔の各々の面積が前記フェー
スパネル上の部位によって異なる場合に、前記開孔の面
積が小さい部位において、前記蛍光体層の膜厚をその他
の部分と比べて最も発光効率のよい最適膜厚に近づける
ことを特徴とする請求項1に記載のカラー陰極線管の蛍
光面製造方法。
3. When at least one of the phosphors has an area of each of the apertures of the light absorbing layer that differs depending on an area on the face panel, the fluorescent light is emitted at a location where the area of the aperture is small. 2. The method according to claim 1, wherein the thickness of the body layer is made closer to the optimum thickness having the highest luminous efficiency as compared with other portions.
【請求項4】 前記蛍光体層のうち少なくとも一色につ
いて、前記電子ビームのランディングのずれが前記フェ
ースパネル上の部位によって異なる場合に、前記ランデ
ィングのずれの大きい部位において、前記蛍光体層の膜
厚をその他の部分と比べて最も発光効率のよい最適膜厚
に近づけることを特徴とする請求項1に記載のカラー陰
極線管の蛍光面製造方法。
4. A film thickness of the phosphor layer at a portion where the landing deviation is large, when a displacement of the landing of the electron beam is different depending on a portion on the face panel for at least one color of the phosphor layer. 2. The method for manufacturing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to claim 1, wherein the thickness of the color cathode ray tube is approximated to an optimum film thickness having the highest luminous efficiency as compared with other portions.
【請求項5】 前記蛍光体層のうち少なくとも一色につ
いて、前記メタルバック層の特性が前記フェースパネル
上の部位によって異なる場合に、前記メタルバック層の
特性の良好でない部位において、前記蛍光体層の膜厚を
その他の部分と比べて最も発光効率のよい最適膜厚に近
づけることを特徴とする請求項2に記載のカラー陰極線
管の蛍光面製造方法。
5. When at least one color of the phosphor layer has different characteristics of the metal back layer depending on a portion on the face panel, the portion of the metal layer having a poor characteristic has a lower characteristic. 3. The method according to claim 2, wherein the film thickness is made closer to an optimum film thickness having the highest luminous efficiency as compared with other portions.
【請求項6】 前記光吸収層の前記開孔の面積が、前記
フェースパネルの中央部分において比較的小さく、前記
フェースパネルの周辺部分へ行くほど大きくなっている
場合において、 前記蛍光体層の膜厚を、前記フェースパネルの中央部分
で前記最適膜厚に近く、前記フェースパネルの周辺部分
へ行くほど前記最適膜厚から離れることを特徴とする請
求項1または3に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造方
法。
6. The film of the phosphor layer, wherein an area of the opening of the light absorbing layer is relatively small in a central portion of the face panel and becomes larger toward a peripheral portion of the face panel. 4. The color cathode ray tube fluorescent lamp according to claim 1, wherein the thickness is closer to the optimum film thickness at a central portion of the face panel, and is further away from the optimum film thickness toward a peripheral portion of the face panel. Surface manufacturing method.
【請求項7】 前記電子ビームのランディングのずれが
前記フェースパネルの中央部分において比較的大きく、
前記フェースパネルの周辺部分へ行くほど小さくなって
いる場合において、 前記蛍光体層の膜厚を、前記フェースパネルの中央部分
で前記最適膜厚に近く、前記フェースパネルの周辺部分
へ行くほど前記最適膜厚から離れることを特徴とする請
求項1または4に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造方
法。
7. The displacement of the landing of the electron beam is relatively large in a central portion of the face panel,
In a case where the thickness of the phosphor layer becomes smaller toward the peripheral portion of the face panel, the thickness of the phosphor layer is closer to the optimum thickness at the central portion of the face panel, and the thickness of the phosphor layer becomes closer to the peripheral portion of the face panel. 5. The method for producing a phosphor screen of a color cathode ray tube according to claim 1, wherein the phosphor screen is separated from the film thickness.
【請求項8】 前記メタルバック層の特性が前記フェー
スパネルの中央部分において良好でなく、前記フェース
パネルの周辺部分へ行くほど良好になっている場合にお
いて、 前記蛍光体層の膜厚を、前記フェースパネルの中央部分
で前記最適膜厚に近く、前記フェースパネルの周辺部分
へ行くほど前記最適膜厚から離れることを特徴とする請
求項2または5に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造方
法。
8. In a case where the characteristics of the metal back layer are not good at the central part of the face panel but become better toward the peripheral part of the face panel, the thickness of the phosphor layer is 6. The method according to claim 2, wherein a central portion of the face panel is closer to the optimum film thickness, and further away from the optimum film thickness toward a peripheral portion of the face panel.
【請求項9】 前記蛍光体層を形成する工程が、前記光
吸収層の形成されたフェースパネルの内面に、第1色、
第2色及び第3色のスラリーを塗布し、前記シャドウマ
スクの開孔パターンを焼き付けた後、現像することを含
み、 前記蛍光体のスラリーを塗布する工程が、前記フェース
パネル内面を水平面に対して斜め上向きに傾斜させた状
態で、前記フェースパネルを回転させながら前記蛍光体
スラリーを前記フェースパネル内に供給して、前記蛍光
体スラリーを前記フェースパネル内面に広げる工程と、 前記フェースパネル内面を水平面に対して斜め下向きに
傾斜させた状態で、前記フェースパネルを回転させなが
ら余剰の蛍光体スラリーを排除する工程とを有し、 前記蛍光体スラリーの粘度と、前記フェースパネルの前
記余剰の蛍光体スラリーを排除する工程における回転速
度を変えることにより、前記蛍光体層の膜厚を変えるこ
とを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のカラー
陰極線管の蛍光面製造方法。
9. The step of forming the phosphor layer includes the step of: forming a first color, a first color on an inner surface of the face panel on which the light absorbing layer is formed.
Applying the slurry of the second color and the third color, baking the opening pattern of the shadow mask, and then developing; applying the slurry of the phosphor to the horizontal surface of the face panel with respect to a horizontal plane. Supplying the phosphor slurry into the face panel while rotating the face panel in a state of being inclined obliquely upward, and spreading the phosphor slurry on the face panel inner surface; Removing the excess phosphor slurry while rotating the face panel in a state of being inclined obliquely downward with respect to the horizontal plane, wherein the viscosity of the phosphor slurry and the excess fluorescence of the face panel are The thickness of the phosphor layer is changed by changing the rotation speed in the step of removing the body slurry. Color cathode ray tube fluorescent screen manufacturing method according to any one of Motomeko 1-8.
【請求項10】 前記感光性レジストの膜を形成する工
程が、 前記感光性レジストを塗布する工程と、 塗布した感光性レジストを加熱して乾燥する工程とを含
み、 前記レジストパターンを形成する工程が、 前記加熱により上昇したフェースパネルの温度が低下す
る間に行われることを特徴とする請求項6に記載のカラ
ー陰極線管の蛍光面製造方法。
10. The step of forming the resist pattern, wherein the step of forming a film of the photosensitive resist includes: a step of applying the photosensitive resist; and a step of heating and drying the applied photosensitive resist. 7. The method according to claim 6, wherein the heating is performed while the temperature of the face panel raised by the heating decreases.
【請求項11】 前記フェースパネルが、中央部分で熱
容量が比較的小さいものであることを特徴とする請求項
10に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造方法。
11. The method of claim 10, wherein the face panel has a relatively small heat capacity at a central portion.
JP2000113171A 2000-04-14 2000-04-14 Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube Withdrawn JP2001297696A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000113171A JP2001297696A (en) 2000-04-14 2000-04-14 Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000113171A JP2001297696A (en) 2000-04-14 2000-04-14 Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001297696A true JP2001297696A (en) 2001-10-26

Family

ID=18625191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000113171A Withdrawn JP2001297696A (en) 2000-04-14 2000-04-14 Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001297696A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000502504A (en) Color display device with color filter layer
JP2001297696A (en) Fluorescent screen producing method for color cathode- ray tube
JPH11339683A (en) Cathode-ray tube and its manufacture
JPH10172460A (en) Double layer phosphor film, and manufacture thereof
JP2000507035A (en) Method for manufacturing color display device having color filter layer
US7008739B1 (en) Process for manufacturing fluorescent film of a color braun tube
JP2638367B2 (en) Method of forming CRT fluorescent film
JPH10302666A (en) Color picture tube and its manufacture
KR100330149B1 (en) Phosphor screen of cathode ray tube and manufacturing method of the same
JP3812293B2 (en) Manufacturing method of color cathode ray tube
KR100468428B1 (en) Phosphorescence layer for crt
KR100217136B1 (en) A fluorescent layer structure of a color crt
JP2002163979A (en) Manufacturing method of color cathode-ray tube
JPH11219657A (en) Forming method for fluorescent screen of color picture tube
KR100225435B1 (en) Green phosphor exposing method by double exposing device
JPH10177841A (en) Fluorescent screen forming method for color picture tube
JPH04229927A (en) Formation of pattern on substrate, manufacture of display device and display device
JP2004319184A (en) Fluorescent film forming method and cathode-ray tube using the same
JP2517007B2 (en) Color screen phosphor screen
JP2000076994A (en) Manufacture of cathode-ray tube
JPH10134715A (en) Fluorescent screen forming method for color picture tube and exposure device
JPH0757652A (en) Color cathode-ray tube
JP2000195434A (en) Fluorescent screen of color cathode-ray tube and its manufacture
KR20030030722A (en) Flat panel display device having reflective layer and manufacturing method of the reflective layer
JPH10199441A (en) Cathode-ray tube

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070703