JP2001296507A - Electrode substrate for display device and test method therefor - Google Patents

Electrode substrate for display device and test method therefor

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JP2001296507A
JP2001296507A JP2000111843A JP2000111843A JP2001296507A JP 2001296507 A JP2001296507 A JP 2001296507A JP 2000111843 A JP2000111843 A JP 2000111843A JP 2000111843 A JP2000111843 A JP 2000111843A JP 2001296507 A JP2001296507 A JP 2001296507A
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unit
driver circuit
pixel
data
output
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Nobuo Konda
信生 昆田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce costs necessary for inspecting a pixel part of a p- SiTFT-LCD and driver circuits. SOLUTION: A test circuit 11 is formed, comprising a test pattern generation part 6 which is connected with at least either the pixel part 3 or the driver circuit part 4 formed on an LCD substrate 1 and generates a test pattern for inspecting an electric response of the pixel part 3 or the driver circuit part 4, an expected value data output part 9 for outputting an expected value data expected as a normal response of the pixel part 3 or the driver circuit part 4, and a data comparison part for comparing the output data from the pixel part 3 or the driver circuit part 4 with the expected value data outputted from the expected data value output part 9 and outputting the data concerning the present or absence of electric failure of the pixel part 3 or the driver circuit part 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、アクティブマト
リクス型液晶表示装置に用いられる表示装置用電極基板
及びそのテスト方法に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an electrode substrate for a display device used in an active matrix type liquid crystal display device and a test method therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】表示画面を構成する画素毎にスイッチ素
子としてTFT(薄膜トランジスタ)を配置したアクテ
ィブマトリクス型の液晶表示装置は、隣接する画素間で
クロストークがなく、高精細化に適していることから、
ディスプレイ画面の高画質化、大型化、カラー画像化を
実現するものとして注目されている。近年では、ガラス
基板上にp−Si(ポリシリコン)TFTを用いてドラ
イバ回路を内蔵した、p−SiTFT−LCD(液晶表
示装置)の開発が進められている。
2. Description of the Related Art An active matrix type liquid crystal display device in which a TFT (thin film transistor) is arranged as a switching element for each pixel constituting a display screen has no crosstalk between adjacent pixels and is suitable for high definition. From
Attention has been paid to realizing higher image quality, larger size, and color imaging of display screens. In recent years, development of a p-Si TFT-LCD (liquid crystal display device) in which a driver circuit is built in using a p-Si (polysilicon) TFT on a glass substrate has been advanced.

【0003】このようなLCDでは、ガラス基板上に形
成された入出力端子からテストパターンを入力すること
によって、ドライバ回路自体及びそのドライバ回路を介
して画素部の検査を行う必要があり、このときのテスト
パターンとなるロジック信号などは、テストパターン作
成用のソフトウィアを用いることにより、人手を介して
作成していた。
In such an LCD, it is necessary to test a driver circuit itself and a pixel portion through the driver circuit by inputting a test pattern from an input / output terminal formed on a glass substrate. The logic signal, etc., which becomes the test pattern described above, has been manually created by using a software tool for creating the test pattern.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なテストパターンは、検査の内容によっては非常に複雑
なパターンとなるだけでなく、これを複数種類用意しな
ければならず、完成させるまでに長い時間を要すること
があった。また、作成されたテストパターンを前記入出
力端子から入力するため、テスタにはパターン発生器や
パターンメモリなどが必要となるが、複雑な検査を行う
場合には大規模なテスタを用意しなければならないこと
から、結果としてテスタのコストが上昇してしまうとい
う問題点があった。
Incidentally, the above test pattern is not only a very complicated pattern depending on the contents of the inspection, but also a plurality of types must be prepared. Sometimes it took a long time. Further, since the created test pattern is input from the input / output terminal, a tester requires a pattern generator, a pattern memory, and the like.However, when performing a complicated inspection, a large-scale tester must be prepared. Therefore, there is a problem that the cost of the tester increases as a result.

【0005】さらに、近い将来、より高精細な製品が市
場から要求された場合には、入力する信号数の多様化や
多種類のパターンで検査する必要が生じる可能性があ
り、テストに要するコストはますます大きくなると考え
られる。
In the near future, if a higher-definition product is demanded from the market, there is a possibility that the number of input signals may be diversified, and it may be necessary to perform testing with various types of patterns. Is expected to become even larger.

【0006】この発明は、p−SiTFT−LCDの画
素部やドライバ回路の検査に要するコストを削減するこ
とができる表示装置用電極基板及びそのテスト方法を提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electrode substrate for a display device and a test method for the same, which can reduce costs required for inspection of a pixel portion and a driver circuit of a p-Si TFT-LCD.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、主面上に、互いに交差する複数
の第1の配線及び複数の第2の配線、これら両配線の各
交差部に配置された画素電極、及び前記第1の配線に供
給されるゲート信号によりオン/オフ制御され、オン時
に前記第2の配線と前記画素電極間を導通させて前記第
2の配線に供給されたデータ信号を前記画素電極に書き
込む複数のスイッチ素子からなる画素部と、前記スイッ
チ素子にゲート信号を供給するを第1のドライバ回路、
及び前記第2の配線にデータ信号を供給する第2のドラ
イバ回路からなるドライバ回路部とが形成された表示装
置用電極基板において、前記画素部又は前記ドライバ回
路部の少なくとも一方に接続し、前記画素部又は前記ド
ライバ回路部の電気的な応答を検査するためのテストパ
ターンを発生するテストパターン発生部と、前記画素部
又は前記ドライバ回路部の正常な応答として期待される
期待値データを出力する期待値データ出力部と、前記画
素部又は前記ドライバ回路部からの出力データと、前記
期待値データ出力部から出力された期待値データとを比
較して、前記画素部又は前記ドライバ回路部の電気的不
良の有無に関するデータを出力するデータ比較部とから
なるテスト用回路を形成したことを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, a plurality of first wirings and a plurality of second wirings, which intersect each other, are provided on a main surface. On / off control is performed by a pixel signal arranged at an intersection and a gate signal supplied to the first wiring, and when the second wiring is turned on, conduction is provided between the second wiring and the pixel electrode. A pixel portion including a plurality of switch elements for writing a supplied data signal to the pixel electrode, and a first driver circuit for supplying a gate signal to the switch element;
And a driver circuit portion including a second driver circuit for supplying a data signal to the second wiring, the display device electrode substrate being formed on the electrode substrate for a display device, wherein A test pattern generator for generating a test pattern for inspecting an electrical response of the pixel unit or the driver circuit unit, and expected value data expected as a normal response of the pixel unit or the driver circuit unit An expected value data output unit, the output data from the pixel unit or the driver circuit unit, and the expected value data output from the expected value data output unit are compared, and the electric power of the pixel unit or the driver circuit unit is compared. A test circuit comprising a data comparison section for outputting data on the presence or absence of a target failure is formed.

【0008】好ましい形態として、前記テスト用回路を
構成するテストパターン発生部、期待値データ出力部及
びデータ比較部を、前記画素部及びドライバ回路部を形
成するのと同一のプロセスで、かつ同時に形成する。
In a preferred embodiment, a test pattern generating section, an expected value data output section, and a data comparing section constituting the test circuit are formed simultaneously with the same process as forming the pixel section and the driver circuit section. I do.

【0009】また好ましい形態として、前記テスト用回
路を構成するテストパターン発生部、期待値データ出力
部及びデータ比較部を、検査が終了した後(あるいは製
造途中)で基板から分離する。
In a preferred embodiment, the test pattern generator, the expected value data output unit, and the data comparison unit constituting the test circuit are separated from the substrate after the inspection is completed (or during the manufacturing).

【0010】さらに、上記目的を達成するため、請求項
4の発明は、請求項1の表示装置用電極基板に対し、前
記テスト用回路を用いてテストパターンの生成、入力及
び出力結果の解析を行うことにより、前記画素部又は前
記ドライバ回路部の電気的不良の有無を検査することを
特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an electrode substrate for a display device according to the first aspect, wherein the test circuit is used to generate a test pattern and analyze an input and output result. By performing the test, the presence or absence of an electrical defect in the pixel portion or the driver circuit portion is inspected.

【0011】上記発明においては、テスタから検査に必
要な最小限のシステム入力をテスト用内部回路に与える
だけで、回路や配線の電気的な不良の有無を判定するこ
とができるため、複雑なテストパターンが必要な検査で
あっても、こうしたパターンを複数種類用意する必要が
なく、パターン完成までの待ち時間をなくすことができ
る。また、作成されたテストパターンを入力するための
パターン発生器やパターンメモリなどが不要となるた
め、複雑な検査を行う場合でも、大規模なテスタを用意
する必要がなく、テスタのコストを下げることができ
る。
In the above-mentioned invention, it is possible to judge the presence or absence of an electrical failure in a circuit or wiring simply by supplying the minimum system input required for inspection from the tester to the internal circuit for test, so that a complicated test is performed. Even if the inspection requires a pattern, there is no need to prepare a plurality of such patterns, and the waiting time until the pattern is completed can be eliminated. In addition, since a pattern generator or pattern memory for inputting the created test pattern is not required, even when performing a complicated inspection, there is no need to prepare a large-scale tester, and the cost of the tester can be reduced. Can be.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、この発明に係わる表示装置
用電極基板及びそのテスト方法を、p−SiTFT−L
CD基板(以下、LCD基板)に適用した場合の実施の
形態について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an electrode substrate for a display device and a test method therefor according to the present invention will be described with reference to p-SiTFT-L.
An embodiment when applied to a CD substrate (hereinafter, LCD substrate) will be described.

【0013】図1は、この実施形態に係わるLCD基板
の回路構成を示す概略ブロック図である。通常、LCD
基板は大きなガラス基板上に複数形成されるが、ここで
は説明を簡単にするため、図1に示すように、ガラス基
板上に一つのLCD基板1を形成した例について説明す
る。
FIG. 1 is a schematic block diagram showing a circuit configuration of an LCD substrate according to this embodiment. Usually LCD
Although a plurality of substrates are formed on a large glass substrate, an example in which one LCD substrate 1 is formed on a glass substrate as shown in FIG.

【0014】LCD基板1に形成された回路は、デバイ
ス部2とテスト用回路11とに大別することができる。
The circuits formed on the LCD substrate 1 can be broadly divided into a device section 2 and a test circuit 11.

【0015】デバイス部2は、画素部3と、この画素部
3を駆動するためのドライバ回路部4と、ドライバ回路
部4が動作するのに必要な電源やロジック信号などを入
力したり、後述するテスト用回路11へデータを入出力
するための入出力端子5とから構成されている。
The device section 2 inputs a pixel section 3, a driver circuit section 4 for driving the pixel section 3, a power supply and a logic signal necessary for the operation of the driver circuit section 4, and the like. And an input / output terminal 5 for inputting and outputting data to and from the test circuit 11.

【0016】画素部3は、互いに交差する複数の走査線
及び複数の信号線、これら両線の各交差部に配置された
画素電極、及び前記走査線に供給されるゲート信号によ
りオン/オフ制御され、オン時に前記信号線と前記画素
電極間を導通させて前記信号線に供給されたデータ信号
を前記画素電極に書き込む複数のTFTからなるスイッ
チ素子(いずれも図示せず)から構成されている。
The pixel section 3 is turned on / off by a plurality of scanning lines and a plurality of signal lines crossing each other, a pixel electrode disposed at each intersection of these two lines, and a gate signal supplied to the scanning lines. And a switch element (none of which is shown) composed of a plurality of TFTs that conducts between the signal line and the pixel electrode when turned on and writes a data signal supplied to the signal line to the pixel electrode. .

【0017】ドライバ回路部4は、前記スイッチ素子の
オン/オフを制御するゲート信号を供給する走査線ドラ
イバ回路と、前記信号線にデータ信号を供給する信号線
ドライバ回路(いずれも図示せず)から構成されてい
る。
The driver circuit section 4 includes a scanning line driver circuit for supplying a gate signal for controlling on / off of the switch element and a signal line driver circuit for supplying a data signal to the signal line (neither is shown). It is composed of

【0018】また、デバイス部2の周囲には、画素部3
又はドライバ回路部4の電気的な応答を検査するための
テストパターンを発生するテストパターン発生部6と、
テスト回路入出力端子7と、デバイス部2から出力され
たデータをデータ比較部10で比較可能な形式に変換・
加工するデータ出力処理部8と、画素部3又はドライバ
回路部4の正常な応答として期待される期待値データを
出力する期待値データ出力部9と、画素部3又はドライ
バ回路部4からの出力データと、期待値データ出力部9
から出力された期待値データとを比較して、画素部3又
はドライバ回路部4の電気的不良の有無に関するデータ
(例えば、High/Lowレベルの信号)を出力する
データ比較部10とが形成されている。
Around the device section 2, a pixel section 3 is provided.
A test pattern generator 6 for generating a test pattern for inspecting an electrical response of the driver circuit unit 4;
The data output from the test circuit input / output terminal 7 and the device unit 2 are converted into a format that can be compared by the data comparison unit 10.
A data output processing unit 8 to be processed; an expected value data output unit 9 that outputs expected value data expected as a normal response of the pixel unit 3 or the driver circuit unit 4; an output from the pixel unit 3 or the driver circuit unit 4 Data and expected value data output unit 9
And a data comparison unit 10 that compares the expected value data outputted from the data comparison unit 10 and outputs data (for example, a High / Low level signal) regarding the presence or absence of an electrical failure in the pixel unit 3 or the driver circuit unit 4. ing.

【0019】このうち、テストパターン発生部6、デー
タ出力処理部8、期待値データ出力部9及びデータ比較
部10は、画素部3及びドライバ回路部4の電気的不良
を検査するためのテスト用回路11を構成している。
The test pattern generator 6, the data output processor 8, the expected value data output unit 9, and the data comparator 10 are used for testing the pixel unit 3 and the driver circuit unit 4 for electrical defects. The circuit 11 is configured.

【0020】デバイス部2の入出力端子5は、その一部
がテストパターン発生部6を介してテスト用回路入出力
端子7と接続されており、図示しないテスタから与えら
れる電源、接地(GND)などのシステム入力は、テス
ト用回路入出力端子7からデバイス部2とテストパター
ン発生部6へ供給される。また入出力端子5の一部は、
データ出力処理部8にも接続されており、デバイス部2
から出力されたデータは、入出力端子5を経てデータ出
力処理部8に渡され、このデータ出力処理部8で所定の
変換・加工が施された後に、データ比較部10へ出力さ
れる。データ比較部10には、データ出力処理部8と期
待値データ出力部9からの出力が与えられ、このデータ
比較部10から出力されたデータは、テスト回路入出力
端子7から外部に取り出される。
A part of the input / output terminal 5 of the device unit 2 is connected to a test circuit input / output terminal 7 via a test pattern generation unit 6, and a power supply and a ground (GND) supplied from a tester not shown. And the like are supplied from the test circuit input / output terminal 7 to the device unit 2 and the test pattern generation unit 6. Some of the input / output terminals 5
The data output processing unit 8 is also connected to the device unit 2
Is output to the data output processing unit 8 via the input / output terminal 5 and is subjected to predetermined conversion and processing by the data output processing unit 8 before being output to the data comparison unit 10. Outputs from the data output processing unit 8 and the expected value data output unit 9 are given to the data comparison unit 10, and the data output from the data comparison unit 10 is taken out from the test circuit input / output terminal 7 to the outside.

【0021】上記テストパターン発生部6、データ出力
処理部8、期待値データ出力部9及びデータ比較部10
は、画素部3及びドライバ回路部4を形成するのと同一
のプロセスで、かつ同時に形成することができる。した
がって、従来と同じプロセスを用いてLCD基板の機能
を向上させることができるようになり、図示しないテス
タを簡素化することができる。また、新たにプロセスを
増やす必要がないため、生産性の低下を招くことがな
い。
The test pattern generating section 6, data output processing section 8, expected value data output section 9, and data comparing section 10
Can be formed in the same process as forming the pixel portion 3 and the driver circuit portion 4 and simultaneously. Therefore, the function of the LCD substrate can be improved using the same process as in the related art, and a tester (not shown) can be simplified. In addition, since it is not necessary to increase the number of new processes, productivity does not decrease.

【0022】さらに、テスト用回路11並びにテスト用
回路入出力端子7は、そのまま基板上に残しても画素部
3やドライバ回路部4の動作に影響を与えることはない
が、これらの回路や端子を残したままでは、製品として
の外形サイズが大きくなってしまうので、検査が終了し
た後(あるいは製造途中)で切り落とすことにより、製
品外形を小さくすることができる。
Further, the test circuit 11 and the test circuit input / output terminal 7 do not affect the operation of the pixel section 3 and the driver circuit section 4 even if they are left on the substrate. Since the size of the outer shape of the product becomes large if is left, the outer shape of the product can be reduced by cutting off after the inspection is completed (or during the manufacturing).

【0023】次に、上記のように構成されたテスト用回
路11の動作を具体的な回路構成とともに説明する。
Next, the operation of the test circuit 11 configured as described above will be described together with a specific circuit configuration.

【0024】まず、ドライバ回路部4を検査する場合の
回路構成とそのテスト方法について説明する。
First, a circuit configuration for testing the driver circuit section 4 and a test method thereof will be described.

【0025】図2は、ドライバ回路部4及びテスト用回
路11の部分的な回路構成図である。ここでは、ドライ
バ回路部4内のインバータ回路21,24,27・・・
がリーク不良を発生していないかを順に検査する場合を
列として説明する。
FIG. 2 is a partial circuit configuration diagram of the driver circuit section 4 and the test circuit 11. Here, the inverter circuits 21, 24, 27,.
Will be described as a column where the inspection is sequentially performed to determine whether or not a leak failure has occurred.

【0026】なお、パターン発生部6、データ出力処理
部8、期待値データ出力部9及びデータ比較部10にお
いて、破線の領域内は各部に内蔵されている回路の一部
を示している。また、検査対象となるドライバ回路部4
についても、回路の一部であるインバータ回路を示して
いる。
In the pattern generating section 6, the data output processing section 8, the expected value data output section 9, and the data comparing section 10, the area enclosed by the broken line indicates a part of a circuit built in each section. The driver circuit unit 4 to be inspected is
Also shows an inverter circuit which is a part of the circuit.

【0027】なお、インバータ回路21,24,27に
おいて、符号22,25,28は入力側スイッチを、符
号23,26,29は出力側スイッチをそれぞれ示して
いる。また、VDDは電源側電位を、VSSは接地側電
位をそれぞれ示している。
In the inverter circuits 21, 24, and 27, reference numerals 22, 25, and 28 indicate input-side switches, and reference numerals 23, 26, and 29 indicate output-side switches. VDD indicates a power supply side potential, and VSS indicates a ground side potential.

【0028】まず、図示しないテスタから電源、接地
(GND)などのシステム入力を、テスト用回路入出力
端子7を通じてドライバ回路部4とテストパターン発生
部6にそれぞれ供給する。そして、テストパターン発生
回路6内のD型フリップフロップ(以下、DFF)31
〜38を順に動作させて、ドライバ回路部4内のインバ
ータ回路21の入力側スイッチ22をオンして、インバ
ータ回路21へHighレベルの信号を書き込む。
First, a system input such as power supply and ground (GND) is supplied from a tester (not shown) to the driver circuit unit 4 and the test pattern generation unit 6 through the test circuit input / output terminal 7, respectively. Then, a D-type flip-flop (hereinafter, DFF) 31 in the test pattern generation circuit 6
To 38 are sequentially operated to turn on the input side switch 22 of the inverter circuit 21 in the driver circuit unit 4, and to write a High-level signal to the inverter circuit 21.

【0029】ここで、インバータ回路21の電気的な動
作が正常であるならば、出力側にはLowレベルの信号
が出力される。この出力はインバータ回路21の出力側
スイッチ23を介してデータ出力処理部8の内部回路3
9へ到達し、ここでレベル反転されてHighレベルの
信号となる。この信号は、データ比較部10の内部回路
39に与えられる。一方、期待値データ出力部9の内部
回路40からは、期待値(設計値)であるHighレベ
ルの信号がデータ比較部10の内部回路41に与えられ
ている。データ比較部10の内部回路41はAND回路
で構成されており、2つの入力がともに同じ場合、すな
わちデータ出力処理部8からの出力と期待値データ出力
部9からの出力が一致した場合のみHighレベルの信
号が出力される。この場合では、2つの入力はともにH
ighレベルの信号であるため、データ比較部10から
の出力もHighレベルの信号となり、インバータ回路
21の電気的な動作が正常であると判断することができ
る。また、インバータ回路21の電気的な動作が正常で
ないならば、インバータ回路21の出力側にはHigh
レベルの信号が出力されることになる。この結果、デー
タ比較部10からの出力はLowレベルの信号となり、
インバータ回路21の電気的な動作が正常でないと判断
することができる。
Here, if the electrical operation of the inverter circuit 21 is normal, a Low level signal is output to the output side. This output is output to the internal circuit 3 of the data output processing unit 8 via the output side switch 23 of the inverter circuit 21.
9, and the level is inverted to a High level signal. This signal is provided to the internal circuit 39 of the data comparison unit 10. On the other hand, from the internal circuit 40 of the expected value data output unit 9, a High-level signal that is an expected value (design value) is given to the internal circuit 41 of the data comparison unit 10. The internal circuit 41 of the data comparison unit 10 is configured by an AND circuit, and is high only when both inputs are the same, that is, when the output from the data output processing unit 8 and the output from the expected value data output unit 9 match. A level signal is output. In this case, both inputs are H
Since the signal is at the high level, the output from the data comparison unit 10 is also a signal at the high level, and it can be determined that the electrical operation of the inverter circuit 21 is normal. If the electrical operation of the inverter circuit 21 is not normal, the output side of the inverter circuit 21 is High.
The level signal is output. As a result, the output from the data comparison unit 10 becomes a Low level signal,
It can be determined that the electrical operation of the inverter circuit 21 is not normal.

【0030】同様に、テストパターン発生回路6内のD
FF31〜38が順に動作を続けることにより、ドライ
バ回路4の残りのインバータ回路24,27についても
順に検査が行われる。このとき、ドライバ回路4に含ま
れるすべてのインバータ回路21,24,27の電気的
な動作が正常であれば、データ比較部10からは常にH
ighレベルの信号が出力されることになる。しかし、
インバータ回路21,24,27のうち、一つでも電気
的な動作が正常でない場合は、データ比較部10からは
Lowレベルの信号が出力される。したがって、データ
比較部10から出力される信号の中に、一部でもLow
レベルの信号が出力されたときは、いずれかのインバー
タ回路の電気的な動作が正常でないことになり、不具合
があることを容易に判定することができる。このような
テスト用回路を用いることにより、図示しないテスタか
らは検査に必要な最小限のシステム入力を与えるだけで
回路の電気的な不良の有無を判定することができる。
Similarly, D in the test pattern generation circuit 6
As the FFs 31 to 38 sequentially operate, the remaining inverter circuits 24 and 27 of the driver circuit 4 are also inspected in order. At this time, if the electrical operations of all the inverter circuits 21, 24, 27 included in the driver circuit 4 are normal, the data comparison unit 10 always outputs H
A high-level signal is output. But,
If at least one of the inverter circuits 21, 24, and 27 has an abnormal electrical operation, the data comparison unit 10 outputs a low-level signal. Therefore, some of the signals output from the data comparison unit 10 are Low.
When the level signal is output, the electrical operation of one of the inverter circuits is not normal, and it can be easily determined that there is a problem. By using such a test circuit, it is possible to determine the presence / absence of an electrical failure in the circuit only by supplying a minimum system input required for inspection from a tester (not shown).

【0031】次に、画素部3を検査する場合の回路構成
とそのテスト方法について説明する。
Next, a circuit configuration for testing the pixel portion 3 and a test method thereof will be described.

【0032】図3は、画素部3及びテスト用回路11の
部分的な回路構成図である。ここでは、画素部3を構成
するスイッチ素子S1,S2・・・の導通不良及び補助
容量Cs1,Cs2・・・がリーク不良を発生していな
いかを検査する場合を例として説明する。
FIG. 3 is a partial circuit configuration diagram of the pixel section 3 and the test circuit 11. Here, a case will be described as an example in which the conduction failure of the switch elements S1, S2,... Constituting the pixel unit 3 and the storage capacitors Cs1, Cs2,.

【0033】この例においても、パターン発生部6、デ
ータ出力処理部8、期待値データ出力部9及びデータ比
較部10において、破線の領域内は内蔵されている回路
の一部を示している。なお、上記各部の回路構成は図2
の例とは異なるが、ここでは便宜上、同じ符号で示すも
のとする。
Also in this example, in the pattern generation section 6, the data output processing section 8, the expected value data output section 9 and the data comparison section 10, the area indicated by the broken line indicates a part of the built-in circuit. The circuit configuration of each of the above units is shown in FIG.
However, here, for convenience, the same reference numerals are used.

【0034】ここで、検査対象となる画素部3の構成に
ついて簡単に説明する。なお、画素部3を構成する各画
素の構成はほぼ同じであるため、その一部を代表して説
明する。
Here, the configuration of the pixel portion 3 to be inspected will be briefly described. Since the configuration of each pixel constituting the pixel unit 3 is substantially the same, only a part of the configuration will be described.

【0035】画素部3においては、走査線G1,G2・
・・及び信号線D1,D2・・・が互いに交差するよう
に配置されており、これら両線の交差部にはTFTから
なるスイッチ素子S1,S2・・・(以下、総称はSと
する)が配置されている。このスイッチ素子Sのゲート
電極は行毎に共通に走査線G1,G2・・・に接続さ
れ、ソース電極は列毎に信号線D1,D2・・・に接続
されている。またドレイン電極は画素電極P1,P2・
・・に接続されるとともに、この画素電極P1,P2・
・・と電気的に並列に配置された補助容量Cs1,Cs
2・・・にも接続されている。この補助容量Cs1,C
s2・・・は、列毎に共通に補助容量線44に接続され
ている。なお、図3はLCDパネルとして構成する前の
LCD基板上での回路構成を示したものであり、画素電
極P1,P2・・・と対向配置される対向電極及びこれ
ら電極間に挟持される液晶層などは図示していない。
In the pixel section 3, the scanning lines G1, G2,.
Are arranged so that the signal lines D1, D2,... Cross each other, and switch elements S1, S2,... Is arranged. The gate electrodes of the switch elements S are commonly connected to the scanning lines G1, G2,... For each row, and the source electrodes are connected to the signal lines D1, D2,. The drain electrodes are pixel electrodes P1, P2.
.. and the pixel electrodes P1, P2.
..Auxiliary capacitors Cs1, Cs electrically arranged in parallel with
2 are also connected. These auxiliary capacitors Cs1, C
are commonly connected to the auxiliary capacitance line 44 for each column. FIG. 3 shows a circuit configuration on an LCD substrate before being configured as an LCD panel, and includes a counter electrode disposed to face pixel electrodes P1, P2,... And a liquid crystal sandwiched between these electrodes. Layers and the like are not shown.

【0036】走査線ドライバ回路42は、図示しないシ
フトレジスタやバッファを含む回路で構成され、外部か
ら供給される制御信号(クロック/スタート信号)に基
づいて、走査線G1,G2・・・に一水平走査期間毎に
ゲート信号を出力する。
The scanning line driver circuit 42 is composed of a circuit including a shift register and a buffer (not shown), and one of the scanning lines G1, G2,..., Based on a control signal (clock / start signal) supplied from the outside. A gate signal is output every horizontal scanning period.

【0037】信号線ドライバ回路43は、シフトレジス
タ(S/R)45、データバス46及びASW(アナロ
グスイッチ)1,ASW2・・・などで構成されてい
る。シフトレジスタ45は、外部からデータ信号ととも
に供給される制御信号(クロック/スタート信号)に基
づいてASW1,ASW2・・・のオン/オフを制御
し、データバス46に供給されたデータ信号を所定のタ
イミングで信号線D1,D2・・・に出力する。このデ
ータ信号は、前記ゲート信号によりオン/オフが制御さ
れるスイッチ素子S1,S2・・・を介して、信号線D
1,D2・・・から画素電極P1,P2・・・及び補助
容量Cs1,Cs2・・・に書き込まれる(ただし、図
3の状態では対向電極がないため、画素電極P1,P2
・・・への書き込みはなされない)。
The signal line driver circuit 43 includes a shift register (S / R) 45, a data bus 46, ASWs (analog switches) 1, ASW2, and the like. The shift register 45 controls ON / OFF of ASW1, ASW2,... Based on a control signal (clock / start signal) supplied together with a data signal from the outside, and converts the data signal supplied to the data bus 46 into a predetermined signal. Are output to the signal lines D1, D2,. This data signal is supplied to a signal line D via switch elements S1, S2,...
, D2... Are written to the pixel electrodes P1, P2... And the auxiliary capacitors Cs1, Cs2.
.. Are not written).

【0038】なお、実際の信号線ドライバ回路では、駆
動方法によりデータバスやASWの回路構成が異なる。
ここでは説明を簡単にするために、データバス46及び
ASW46の配置及び接続関係は簡略化して示してい
る。
In the actual signal line driver circuit, the circuit configuration of the data bus and the ASW differs depending on the driving method.
Here, for the sake of simplicity, the arrangement and connection of the data bus 46 and the ASW 46 are shown in a simplified manner.

【0039】上記のように構成された画素部3におい
て、スイッチ素子S1,S2・・・の導通不良及び補助
容量Cs1,Cs2・・・のリーク不良を検査する場合
は、スイッチ素子S1,S2・・・を介して補助容量C
s1,Cs2・・・にテスト用信号を書き込み、再度こ
れを読み出して期待値と比較して良否を判断する。
In the pixel section 3 configured as described above, when inspecting the conduction failure of the switch elements S1, S2... And the leakage failure of the auxiliary capacitors Cs1, Cs2. ..Auxiliary capacitance C via
Write a test signal into s1, Cs2,..., read it again, and compare it with an expected value to determine pass / fail.

【0040】まず、図示しないテスタから電源、接地
(GND)などのシステム入力を、テスト用回路入出力
端子7を通じてドライバ回路部4及びテストパターン発
生部6にそれぞれ供給する。そして、テストパターン発
生部6のスイッチ素子47を内部回路48からの制御信
号により所定期間オン状態とし、かつデータ出力処理部
8のスイッチ素子50を内部回路51からの制御信号で
オフ状態とする。これにより、電源49からテスト用の
データ信号が入出力端子5を通じてドライバ回路部4に
出力される。このデータ信号は、さらにシフトレジスタ
45に制御されたASW1を通じて信号線D1に供給さ
れる。ここで、走査線ドライバ回路42から走査線G1
にゲート信号を出力して、一ライン分のスイッチ素子S
1,S2・・・を所定期間(書き込み期間)だけオン状
態とする。すると、この間に前記テスト用のデータ信号
はスイッチ素子S1を介して補助容量Cs1に書き込ま
れる。
First, a system input such as power supply and ground (GND) is supplied from a tester (not shown) to the driver circuit section 4 and the test pattern generation section 6 through the test circuit input / output terminal 7, respectively. Then, the switch element 47 of the test pattern generation section 6 is turned on for a predetermined period by a control signal from the internal circuit 48, and the switch element 50 of the data output processing section 8 is turned off by a control signal from the internal circuit 51. As a result, a data signal for testing is output from the power supply 49 to the driver circuit unit 4 through the input / output terminal 5. This data signal is further supplied to the signal line D1 through the ASW1 controlled by the shift register 45. Here, the scanning line driver circuit 42 supplies the scanning line G1.
And outputs a gate signal to the switch element S for one line.
.. Are turned on only for a predetermined period (writing period). Then, during this time, the test data signal is written to the auxiliary capacitance Cs1 via the switch element S1.

【0041】次に、実際の駆動時と同じ1フレーム期間
が経過した時点で、走査線ドライバ回路42から走査線
G1にゲート信号を出力し、一ライン分のスイッチ素子
S1,S2・・・を再びオン状態とする。すると、補助
容量Cs1に書き込まれたテスト用のデータ信号はスイ
ッチ素子S1から再び信号線D1に出力される。ここ
で、テストパターン発生部6のスイッチ素子48を内部
回路47によりオフ状態とし、かつデータ出力処理部8
のスイッチ素子50をオン状態とすると、データ信号は
シフトレジスタ45に制御されたASW1を通じてデー
タ出力処理部8に取り込まれる。この読み出されたデー
タ信号は、データ出力処理部8の内部回路52で必要に
応じてデータの変換・加工が施された後、データ比較部
10へ出力される。
Next, at the point in time when one frame period which is the same as the actual driving time has elapsed, a gate signal is outputted from the scanning line driver circuit 42 to the scanning line G1, and the switching elements S1, S2. It is turned on again. Then, the test data signal written to the auxiliary capacitance Cs1 is output from the switch element S1 to the signal line D1 again. Here, the switch element 48 of the test pattern generator 6 is turned off by the internal circuit 47 and the data output processor 8 is turned off.
Is turned on, the data signal is taken into the data output processing unit 8 through the ASW 1 controlled by the shift register 45. The read data signal is subjected to data conversion and processing by the internal circuit 52 of the data output processing unit 8 as needed, and then output to the data comparison unit 10.

【0042】一方、期待値データ出力部9の内部回路5
3からは、期待値として設定されたデータ信号がデータ
比較部8の内部回路51に与えられている。データ比較
部8の内部回路51では、補助容量Cs1から読み出さ
れたデータ信号の電位と期待値のデータ信号の電位とを
比較し、2つのデータ信号の電位の差が許容範囲内にあ
るときは正常と判断し、そうでない場合は異常と判断す
る。この判断結果は所定レベルの信号として出力され
る。同様のテストを画素部3の残りのスイッチ素子につ
いても順に実施することにより、画素部3に含まれるす
べてのスイッチ素子S1,S2・・・の導通不良及び補
助容量Cs1,Cs2・・・がリーク不良を発生してい
ないかを検査することができる。
On the other hand, the internal circuit 5 of the expected value data output unit 9
From 3, the data signal set as the expected value is given to the internal circuit 51 of the data comparison unit 8. The internal circuit 51 of the data comparing unit 8 compares the potential of the data signal read from the storage capacitor Cs1 with the potential of the expected data signal, and when the difference between the potentials of the two data signals is within an allowable range. Is determined to be normal, otherwise, it is determined to be abnormal. This determination result is output as a signal of a predetermined level. By performing the same test on the remaining switch elements of the pixel unit 3 in order, the conduction failure of all the switch elements S1, S2,... Included in the pixel unit 3 and leakage of the auxiliary capacitances Cs1, Cs2,. It is possible to inspect whether a defect has occurred.

【0043】また、データ比較部10から2つのデータ
信号の電位を取り出すことにより、スイッチ素子の導通
不良と補助容量のリーク不良を個別に判断することがで
きる。例えば、読み出されたデータ信号の電位がゼロで
あれば、スイッチ素子の導通不良と判断することがで
き、また読み出されたデータ信号の電位が許容範囲外で
あれば、スイッチ素子の導通は正常であるが、補助容量
にリーク不良があると判断することができる。これらの
情報をもとにして不良箇所のリペアを行うことにより、
リペア作業をより効率化することができる。
Further, by extracting the potentials of the two data signals from the data comparing section 10, it is possible to individually determine the conduction failure of the switch element and the leakage failure of the auxiliary capacitance. For example, if the potential of the read data signal is zero, it can be determined that the conduction of the switch element is defective.If the potential of the read data signal is out of the allowable range, the conduction of the switch element is determined. Although it is normal, it can be determined that the auxiliary capacitor has a leak failure. By repairing defective parts based on this information,
Repair work can be made more efficient.

【0044】以上の説明から明らかなように、この実施
形態に係わるLCD基板及びテスト方法によれば、複雑
なテストパターンが必要な検査であっても、こうした複
雑なパターンを複数種類用意する必要がなく、パターン
完成までの待ち時間をなくすことができる。また、作成
されたテストパターンを入出力端子5から入力するため
のパターン発生器やパターンメモリなどが不要となり、
複雑な検査を行う場合でも、大規模なテスタを用意する
必要がなく、テスタのコストを下げることができる。
As is clear from the above description, according to the LCD substrate and the test method according to this embodiment, even if the test requires a complicated test pattern, it is necessary to prepare a plurality of such complicated patterns. And the waiting time until the pattern is completed can be eliminated. In addition, a pattern generator and a pattern memory for inputting the created test pattern from the input / output terminal 5 are not required.
Even when performing a complicated inspection, there is no need to prepare a large-scale tester, and the cost of the tester can be reduced.

【0045】また、従来のテスト方法では、ガラス基板
上に形成された入出力端子からテストパターンを入力し
ているが、具体的にはテスタに接続された微細な針(プ
ローブ)をデバイス部2の入出力端子5へ接触させる必
要があるため、その本数が多い場合には、プローブのコ
ストが高くなるうえ、端子とプローブとの接触にも非常
に高度な技術が要求され、生産性の低下を招いていた。
しかし、この実施形態のデバイス部2では、従来テスタ
から与えていた信号の一部をテスト用回路11で作成す
ることができるため、テスト用入出力ピン7の本数を少
なくすることができる。したがって、プローブのコスト
ダウンが可能となるうえ、端子とプローブとの接触も容
易なものとなり、生産性を向上させることができる。
In the conventional test method, a test pattern is input from an input / output terminal formed on a glass substrate. Specifically, a fine needle (probe) connected to a tester is connected to the device section 2. When the number is large, the cost of the probe is high, and the contact between the terminal and the probe requires very advanced technology, and the productivity is lowered. Was invited.
However, in the device section 2 of this embodiment, since a part of the signal conventionally given from the tester can be created by the test circuit 11, the number of the test input / output pins 7 can be reduced. Therefore, the cost of the probe can be reduced, and the contact between the terminal and the probe becomes easy, so that the productivity can be improved.

【0046】なお、上記実施形態では、ドライバ回路部
4を構成するインバータ回路の電気的な動作を検査する
例、及び画素部3を構成するスイッチ素子の導通不良及
び補助容量のリーク不良を検査する例について説明した
が、この他にも、ドライバ回路部4を構成するASWや
シフトレジスタ、あるいは画素部3を構成する走査線や
信号線などについても、テストパターン発生部6からテ
スト用の信号を与えることで同様に検査を行うことがで
きる。この場合も図示しないテスタからは検査に必要な
最小限のシステム入力を与えるだけで回路や配線の電気
的な不良の有無を判定することができる。
In the above-described embodiment, an example in which the electrical operation of the inverter circuit constituting the driver circuit section 4 is inspected, and a conduction failure of the switch element constituting the pixel section 3 and a leakage failure of the auxiliary capacitance are examined. Although an example has been described, in addition to the above, a test signal is also transmitted from the test pattern generation unit 6 to an ASW or a shift register configuring the driver circuit unit 4 or a scanning line or a signal line configuring the pixel unit 3. Inspection can be performed similarly by giving. Also in this case, it is possible to determine the presence or absence of an electrical failure in a circuit or wiring by supplying a minimum system input required for inspection from a tester (not shown).

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係わる
表示装置用電極基板及びそのテスト方法によれば、テス
タから検査に必要な最小限のシステム入力を与えるだけ
で回路や配線の電気的な不良の有無を判定することがで
きるため、複雑なテストパターンが必要な検査であって
も、こうしたパターンを複数種類用意する必要がなく、
パターン完成までの待ち時間をなくすことができる。ま
た、作成されたテストパターンを入力するためのパター
ン発生器やパターンメモリなどが不要となるため、複雑
な検査を行う場合でも、大規模なテスタを用意する必要
ながく、テスタのコストを下げることができる。
As described above, according to the electrode substrate for a display device and the test method thereof according to the present invention, the electric circuit and wiring can be electrically connected only by giving the minimum system input required for the inspection from the tester. Since it is possible to determine the presence or absence of defects, even if the test requires a complex test pattern, there is no need to prepare multiple types of such patterns,
The waiting time until the pattern is completed can be eliminated. In addition, since a pattern generator or pattern memory for inputting the created test pattern is not required, even when performing complicated inspections, there is no need to prepare a large-scale tester, and the cost of the tester can be reduced. it can.

【0048】したがって、p−SiTFT−LCDの画
素部やドライバ回路の検査に要するコストを削減するこ
とができる。
Therefore, it is possible to reduce the cost required for inspection of the pixel portion and the driver circuit of the p-Si TFT-LCD.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態に係わるLCD基板の回路構成を示す
概略ブロック図。
FIG. 1 is a schematic block diagram showing a circuit configuration of an LCD substrate according to an embodiment.

【図2】ドライバ回路部及びテスト用回路の部分的な回
路構成図。
FIG. 2 is a partial circuit configuration diagram of a driver circuit unit and a test circuit.

【図3】画素部及びテスト用回路の部分的な回路構成
図。
FIG. 3 is a partial circuit configuration diagram of a pixel portion and a test circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…LCD基板、2…デバイス部、3…画素部、4…ド
ライバ回路部、5…入出力端子、6…テストパターン発
生部、7…テスト用回路入出力端子、8…データ出力処
理部、9…期待値データ出力部、10…データ比較部、
11…テスト用回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... LCD board, 2 ... Device part, 3 ... Pixel part, 4 ... Driver circuit part, 5 ... Input / output terminal, 6 ... Test pattern generation part, 7 ... Test circuit input / output terminal, 8 ... Data output processing part, 9: expected value data output unit, 10: data comparison unit,
11 Test circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G014 AA01 AB21 AC18 2H088 FA12 FA13 FA19 FA30 HA08 MA20 5C094 AA41 AA43 AA44 AA45 AA60 BA03 BA43 CA19 EA04 EA05 EB02 HA08 5G435 AA19 BB12 KK05 KK10 LL08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page F term (reference) 2G014 AA01 AB21 AC18 2H088 FA12 FA13 FA19 FA30 HA08 MA20 5C094 AA41 AA43 AA44 AA45 AA60 BA03 BA43 CA19 EA04 EA05 EB02 HA08 5G435 AA19 BB12 KK05 KK10 KK08 LL08

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 主面上に、互いに交差する複数の第1の
配線及び複数の第2の配線、これら両配線の各交差部に
配置された画素電極、及び前記第1の配線に供給される
ゲート信号によりオン/オフ制御され、オン時に前記第
2の配線と前記画素電極間を導通させて前記第2の配線
に供給されたデータ信号を前記画素電極に書き込む複数
のスイッチ素子からなる画素部と、前記スイッチ素子に
ゲート信号を供給する第1のドライバ回路、及び前記第
2の配線にデータ信号を供給する第2のドライバ回路か
らなるドライバ回路部とが形成された表示装置用電極基
板において、 前記画素部又は前記ドライバ回路部の少なくとも一方に
接続し、前記画素部又は前記ドライバ回路部の電気的な
応答を検査するためのテストパターンを発生するテスト
パターン発生部と、 前記画素部又は前記ドライバ回路部の正常な応答として
期待される期待値データを出力する期待値データ出力部
と、 前記画素部又は前記ドライバ回路部からの出力データ
と、前記期待値データ出力部から出力された期待値デー
タとを比較して、前記画素部又は前記ドライバ回路部の
電気的不良の有無に関するデータを出力するデータ比較
部と、 からなるテスト用回路を形成したことを特徴とする表示
装置用電極基板。
1. A plurality of first wirings and a plurality of second wirings intersecting each other on a main surface, a pixel electrode disposed at each intersection of these two wirings, and a first wiring supplied to the first wirings. A pixel including a plurality of switch elements, which is controlled to be turned on / off by a gate signal that is turned on, conducts between the second wiring and the pixel electrode when on, and writes a data signal supplied to the second wiring to the pixel electrode. Device electrode substrate, comprising: a first driver circuit for supplying a gate signal to the switch element; and a second driver circuit for supplying a data signal to the second wiring. A test pattern for connecting to at least one of the pixel unit or the driver circuit unit and generating a test pattern for inspecting an electrical response of the pixel unit or the driver circuit unit; An expected value data output unit that outputs expected value data expected as a normal response of the pixel unit or the driver circuit unit; output data from the pixel unit or the driver circuit unit; A data comparison unit that compares the expected value data output from the value data output unit and outputs data regarding the presence or absence of an electrical failure in the pixel unit or the driver circuit unit. An electrode substrate for a display device, comprising:
【請求項2】 前記テストパターン発生部、期待値デー
タ出力部及びデータ比較部を、前記画素部及びドライバ
回路部を形成するのと同一のプロセスで、かつ同時に形
成することを特徴とする請求項1に記載の表示装置用電
極基板。
2. The method according to claim 1, wherein the test pattern generation section, the expected value data output section, and the data comparison section are formed in the same process as forming the pixel section and the driver circuit section, and simultaneously. 2. The electrode substrate for a display device according to 1.
【請求項3】 前記テストパターン発生部、期待値デー
タ出力部及びデータ比較部を、検査が終了した後又は製
造途中において基板から分離することを特徴とする請求
項1に記載の表示装置用電極基板。
3. The display device electrode according to claim 1, wherein the test pattern generation unit, the expected value data output unit, and the data comparison unit are separated from the substrate after inspection is completed or during manufacturing. substrate.
【請求項4】 前記テスト用回路を用いてテストパター
ンの生成、入力及び出力結果の解析を行うことにより、
前記画素部又は前記ドライバ回路部の電気的不良の有無
を検査することを特徴とする請求項1に記載の表示装置
用電極基板のテスト方法。
4. A method of generating a test pattern and analyzing input and output results using the test circuit,
The method according to claim 1, further comprising inspecting whether the pixel portion or the driver circuit portion has an electrical defect.
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