JP2001296486A - Matrix optical switch - Google Patents

Matrix optical switch

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JP2001296486A
JP2001296486A JP2000111795A JP2000111795A JP2001296486A JP 2001296486 A JP2001296486 A JP 2001296486A JP 2000111795 A JP2000111795 A JP 2000111795A JP 2000111795 A JP2000111795 A JP 2000111795A JP 2001296486 A JP2001296486 A JP 2001296486A
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matrix
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JP2000111795A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Sakamoto
Toru Sugamata
Yasuhiro Takemura
Tsuneo Yanagisawa
敏弘 坂本
恒夫 柳澤
安弘 竹村
徹 菅又
Original Assignee
Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
住友大阪セメント株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a matrix optical switch for micromachine having a good response and long service life. SOLUTION: The matrix optical switch consists of a package 32 formed of a top cover 11a having a plurality of notches for forming an input port or an output port and a main body part 12a while holding the outer peripheral surface of an optical fiber end at a peripheral part, and a reflecting mechanism 16. The top cover 11a, main body part 12a, peripheral edge of the end of input side optical fibers 20a-20d, and peripheral edge of the end of output side optical fibers 22a-22h are sealed by a sealing compound 14, and thus a package 32 whose inside is sealed under vacuum is formed.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マトリクス光スイッチにかかり、特に、マイクロマシンに用いられるマトリクス光スイッチに関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a matrix optical switch, more particularly, to a matrix optical switch used to micromachine.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より、複数行の入力光路と複数列の出力光路との交差点位置の各々に反射ミラーを設け、制御部からの制御信号に基いて選択された出力光路との交差点位置の反射ミラーにより入力光路からの光を反射して、選択された出力光路に導く構成のマトリクス光スイッチが知られている。 Conventionally, the reflection mirrors provided in each of the intersection positions of the output path of the input optical path and a plurality of columns of a plurality of rows, the intersection position between the output path selected based on the control signal from the control unit reflecting light from the input optical path by the reflection mirror, the configuration of the matrix optical switch to direct the output path that was selected is known.

【0003】例えば、特開平5−134195号公報には、図5に示すように、アクチュエータ50により反射角度を維持した状態で上下動される反射ミラー52が入力光路と出力光路との交差点位置のすべてに対応して設けられたマトリクス光スイッチが開示されている。 [0003] For example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-134195, as shown in FIG. 5, the reflecting mirror 52 to be moved up and down while maintaining the reflection angle by the actuator 50 is the intersection position between the input optical path and an output optical path matrix optical switch is disclosed which is provided in correspondence to all. このマトリクス光スイッチでは、反射ミラー52は、通常、 This matrix optical switch, the reflection mirror 52 is typically
光路の上方に退避されており、選択された位置の可動反射ミラー52(図5では、斜線で示した位置のアクチュエータに上下動される反射ミラー52)のみがアクチュエータ50により光路内に挿入されることにより、入力光路を通過するレーザ光束を反射して出力光路に導く。 Are retracted upward of the optical path is inserted movable reflecting mirror 52 of the selected position (in FIG. 5, the reflecting mirror 52 which is moved up and down in the actuator position shown by oblique lines) only by an actuator 50 in the optical path it allows to reflect the laser light beam passing through the input optical path leading to the output optical path.

【0004】また、Electrostatic Micro Torsion Mirr [0004] In addition, Electrostatic Micro Torsion Mirr
ors for an Optical Switch Matrix(JOURNAL OF MICROE ors for an Optical Switch Matrix (JOURNAL OF MICROE
LECTROMECANICAL SYSTEMS,VOL.5,NO4,p231〜p237,DECEM LECTROMECANICAL SYSTEMS, VOL.5, NO4, p231~p237, DECEM
BER1996)には、図6に示すように、薄いポリシリコンのトーションバー54により光路の上方に軸支された平面ミラー56を、静電気力により上方に引き付けて光路から退避させる構成のマトリクス光スイッチが提案されている。 The BER1996), as shown in FIG. 6, the thin polysilicon of the torsion bar 54 a flat mirror 56 which is pivotally supported above the optical path, a matrix optical switch having the configuration attracted upward to retract from the optical path by electrostatic force Proposed.

【0005】何れの構成のマトリクス光スイッチも、入力側の光ファイバからのレーザ光束を、入力側のカップリング用レンズにより平行光束に変換して入力光路に入射させ、該入力光路と交差する複数の出力光路のうちから選択した1つの出力光路の交差位置の反射ミラーによりレーザ光束を反射して出力光路に導き、該出力光路を通ったレーザ光束を出力光路の出力端で出力側のカップリング用レンズにより収束させて、出力側の光ファイバに入力する。 [0005] Also matrix optical switch of any configuration, the laser beam from the optical fiber on the input side, is incident on the input optical path is converted into a parallel light beam by the input side of the coupling lens, a plurality of intersecting the input optical path one output lead to laser beam reflected by the output optical path by the reflection mirror of the intersection of the optical path, coupling the output laser beam passing through the output optical path at the output of the output path selected from among the output optical path of the is converged by use lens, it enters an optical fiber on the output side.

【0006】近年、光マイクロマシン技術の発達により、光マイクロマシン技術に用いるマトリクス光スイッチの重要性が増してきており、図6に示す光マイクロマシン技術用の光スイッチ等が提案されてきている。 In recent years, the development of optical micromachine technology, the importance of matrix optical switch used in optical micromachine technology has been increasing, optical switch or the like for optical micromachine technology shown in FIG. 6 have been proposed.

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光マイクロマシン技術に用いるマトリクス光スイッチは、従来構成のマトリクス光スイッチに比べて非常にサイズが小さいため、応答レスポンスが悪くなりやすく、また、反射ミラーの光反射率が低下しやすく寿命が短い、という問題がある。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, matrix optical switch used for the optical micromachine technology, since very size compared to the matrix optical switch of conventional construction is small, the response the response tends to deteriorate, also of the reflection mirror light reflectivity is short drop easily life, there is a problem that.

【0008】そのため、本発明では、応答レスポンスが良好で、反射ミラーの光反射率が低下し難く、寿命の長いマトリクス光スイッチを提供することを目的としている。 [0008] Therefore, in the present invention, a good response response, the light reflectance of the reflection mirror is not easily lowered, and its object is to provide a long optical matrix switch life.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために請求項1に記載の発明は、外部から入力されたレーザ光束を入力光路に導く少なくとも1つの入力ポートと、 SUMMARY OF THE INVENTION The invention described in claim 1 in order to achieve the above object, at least one input port for guiding the laser beam inputted from the outside to the input optical path,
前記入力光路を伝播するレーザ光束を反射或いは通過させて出力光路に導く選択的反射手段と、前記選択的反射手段により反射或いは通過されたレーザ光束が伝播する出力光路の終端に設けられた出力ポートと、を備え、少なくとも前記入力光路、前記選択的反射手段、及び、前記出力光路を筐体内部が真空で、かつ、密閉した筐体の内部に設けたことを特徴としている。 A selective reflector means for guiding the output light path by reflecting or passing through the laser beam propagating through the input optical path, the output port of the reflected or laser light flux passed is provided at the end of the output optical path for propagating the said selective reflecting means When, wherein at least said input optical path, said selective reflecting means, and, the output optical path in the vacuum enclosure interior, and is characterized in that provided inside the sealed enclosure.

【0010】すなわち、本発明者らは、マトリクス光スイッチにおいて応答レスポンスが悪くなり、寿命を短くする原因として、以下の3つの要因を発見した。 [0010] Namely, the present inventors found that response the response becomes worse in the matrix optical switch, as the cause for shortening the life, and found the following three factors. (1)大気中の水蒸気の付着 (2)大気中の塵や埃などの異物による影響 (3)空気抵抗の影響 まず、(1)の要因について述べる。 (1) Effect of foreign substances such as dust or dirt adhesion (2) in the atmosphere of water vapor in the atmosphere (3) the influence of air resistance will be described first factor (1). 大気中の水蒸気が反射ミラーと反射ミラーを支持する部分に付着して結露する現象が起きると、反射ミラーと反射ミラーを支持する部分とが結露した水の表面張力によって引き寄せられてしまうため、反射ミラーの駆動がスムーズに行えず、 Since the water vapor in the atmosphere will be attracted by the surface tension of the reflection mirror and the phenomenon of condensation adheres to the portion for supporting the reflecting mirror occurs, water and a portion for supporting the reflecting mirror and the reflection mirror is condensation, reflection the drive of the mirror can not be performed smoothly,
応答レスポンスが悪化する。 Response response is deteriorated.

【0011】また、反射ミラーが大気中の酸素や水、及び結露した水により酸化されて反射ミラーが酸化・腐蝕し、反射ミラーの光反射率が低下させると共に、酸化・ Further, the oxygen and water of the reflecting mirror is in the air, and is oxidized by condensed water reflection mirror is oxidation and corrosion, the light reflectance of the reflection mirror reduces, and oxidation
腐蝕した部分が反射ミラーの光学性能を変化させ、迷光発生の原因となる。 Corrosion portion alters the optical performance of the reflective mirror, causing stray light.

【0012】特に、マイクロマシンのマトリクス光スイッチでは、反射ミラーのサイズが非常に小さいので、一部でも反射ミラーが酸化・腐蝕すると、反射ミラーの光学特性が著しく悪化するので大きな問題である。 [0012] Particularly, in the matrix optical switch of micromachines the size of the reflection mirror is very small, the reflection even partially mirror is oxidation and corrosion is a major problem because the optical characteristics of the reflection mirror is significantly deteriorated. この反射ミラーの光学特性の悪化はマトリクス光スイッチの寿命を短くする原因にもなっている。 Deterioration of the optical properties of the reflection mirror is made a cause for shortening the life of the matrix optical switch.

【0013】つぎに、(2)の要因について述べる。 [0013] Next, described the factors of (2). 大気中に浮遊する塵や埃などの異物がマトリクス光スイッチ内に入り込むと光路を伝播中のレーザ光束が散乱されて出力ポートに導かれるレーザ光束の光強度が減少する。 Light intensity of the laser light beam guided when foreign substances such as dust floating from entering the matrix optical switch the optical path to the output port the laser beam is scattered in the propagation in the atmosphere is reduced. それだけでなく、発生した迷光が他の出力ポートに入り込んで誤動作を起こす原因となる恐れもがある。 Not only that, a possibility that stray light generated cause the malfunction enters the other output port is also is.

【0014】特に、この問題は、マイクロマシン用のマトリクス光スイッチが微小であるためにマトリクス光スイッチの寸法に対して塵や埃の寸法が相対的に大きくなるので、微量の塵や埃であってもマトリクス光スイッチの光学特性に大きな影響を及ぼしてしまい、深刻である。 [0014] In particular, this problem, since the size of the dust is relatively large relative to the size of the matrix optical switch to matrix optical switch for micromachine is very small, a small amount of dust also it causes a significant impact on the optical properties of the matrix optical switch is serious.

【0015】また、塵や埃が反射ミラーと反射ミラーを支持する部分との間に入り込んで反射ミラーの駆動性能を悪化させると言う恐れもある。 Further, there is a possibility called dust aggravate enters in driving performance of the reflecting mirror between the portion for supporting the reflecting mirror and the reflecting mirror.

【0016】さらに、(3)の要因について述べる。 [0016] In addition, it describes the factors of (3). マイクロマシン用のマトリクス光スイッチは微小であるため、空気抵抗を大きく受けてしまう。 Since the matrix optical switch for micromachine is very small, resulting in heavily air resistance. この空気抵抗によって反射ミラーにかかる負荷が大きくなり、駆動性能が低下し、応答レスポンスが悪化することとなる。 The load on the reflecting mirror by the air resistance is increased, the driving performance is decreased, so that the illegal response is deteriorated.

【0017】以上のことから請求項1の発明では、少なくとも入力光路、選択的反射手段、及び出力光路を内部が真空の密閉した筐体内に設けて、入力光路、選択的反射手段、及び出力光路が外部環境から遮断することにより、外部環境からの影響を受けにくくしている。 [0017] In the present invention of claim 1 from the above, at least an input optical path, selectively reflecting means, and the output optical path is provided in a housing interior is sealed in vacuum, the input optical path, selectively reflecting means, and an output optical path There by blocking from the external environment, and hardly affected from the external environment.

【0018】すなわち、大気中の水蒸気、塵や埃などの異物が筐体内に入り込む恐れがないので、水蒸気が選択的反射手段に付着して選択的反射手段を構成する(例えば反射ミラーなどの)反射部を酸化・腐蝕したり、光学性能を悪化させたり、選択的反射手段に付着して選択的反射手段の駆動を妨害するのを防止できる。 [0018] That is, since the water vapor in the atmosphere, foreign matter such as dust or dirt there is no possibility to enter the enclosure, water vapor constitute a selective reflecting means adhered to the selective reflector means (e.g., a reflecting mirror) a reflection portion or oxidation and corrosion, or exacerbate optical performance, from interfering with the operation of the selective reflecting means adhered to the selective reflection means can be prevented. そのため、 for that reason,
マトリクス光スイッチを常に安定した光学特性に維持できるだけでなく、良好な駆動性能を長い期間維持させることができる。 Not only it can maintain a matrix optical switch is always stable optical characteristics can be long period maintain good driving performance.

【0019】また、筐体内は真空状態が維持されているので、選択的反射手段が空気抵抗の影響を受けず、よって空気抵抗による選択的反射手段の駆動性能の低下も発生せず、応答レスポンスが良好で、寿命の長いマトリクス光スイッチとなる。 Further, since the housing is maintained vacuum state, without being selective reflecting means the influence of the air resistance, thus does not occur reduction in the driving performance of the selective reflecting means by air resistance, response Response is good, a long matrix optical switch life.

【0020】なお、前記筐体内を真空にするには、真空チャンバー内でマトリクス光スイッチを組み立てる方法、及び、筐体内を密閉した後、予め筐体に設けた流通路を介して筐体内を真空引きした後、流通路を塞ぐ方法などにより行うことができる。 [0020] Incidentally, the housing to a vacuum, a method of assembling a matrix optical switch in a vacuum chamber, and, after sealing the enclosure, the vacuum in the housing via a passage provided in advance housing after pulling it can be performed by a method for closing a flow passage.

【0021】なお、前記入力光路を伝播するレーザ光束を出力光路に導く選択的反射手段は、入力光路上に反射面を配置してレーザ光束を反射してレーザ光束の伝播方向を変えて出力光路に導くものでもよいし、入力光路から反射面を退避させてレーザ光束を通過させ、レーザ光束の伝播方向を変えずに出力光路に導くものでもよい。 [0021] Incidentally, the selective reflecting means for guiding the output light path of the laser beam that propagates through the input optical path, the output optical path by changing the propagation direction of the laser beam and reflects the laser beam to place the reflecting surface to the input optical path may be one that leads to, it retracts the reflecting surface from the input optical path and passed through a laser beam, may be one that leads to an output optical path without changing the propagation direction of the laser beam.
更に、1つの入力光路に対して複数の選択的反射手段が設けられている場合、複数の選択的反射手段は、選択された1つの選択的反射手段がレーザ光束を反射し、その他の選択的反射手段が入力光路から退避してレーザ光束を通過させることによりレーザ光束を出力光路に導くように制御される。 Further, when a plurality of selectively reflecting means are provided for one input optical path, a plurality of selective reflection means reflects the laser beam is first selective reflection means selected, other selective reflecting means is controlled to direct the laser beam into the output optical path by passing the laser beam is retracted from the input optical path.

【0022】また、選択的反射手段は、光路から退避した位置にレーザ光の伝搬方向と交差しないように設けられた回転軸部材と、前記回転軸部材に軸支されて回動可能に設けられ、対応する入力光路から入力されたレーザ光が対応する出力光路に導かれるようにレーザ光を反射するものとすることができる。 Further, the selective reflecting means includes a rotating shaft member that is provided so as not to intersect with the propagation direction of the laser beam was removed from the optical path position, it is pivotally supported rotatably provided on the rotary shaft member , it can be made to reflect the laser beam so that the laser beam inputted from the corresponding input optical path is guided to the corresponding output path. なお、回転軸部材は、光路の上方で光路に平行になるように設けたり、垂直になるように設けることができる。 The rotating shaft member may be provided so as to be parallel to the optical path above the optical path may be provided so as to be perpendicular. また、回転軸部材は、光路の側方の光路から退避した位置に光路に平行になるように設けたり、垂直になるように設けることも可能である。 The rotating shaft member may be provided so as to be parallel to the optical path and removed from the optical path side optical path of the position can be provided so as to be perpendicular.

【0023】 [0023]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an example detailed embodiment of the present invention with reference to the drawings. 図1に示すように、 As shown in FIG. 1,
本実施の形態のマイクロマシン用のマトリクス光スイッチ10は、上蓋11aと本体部12aとにより形成されるパッケージ32a、反射機構16(図1では、反射ミラー(すなわち、反射機構16の反射面)のみ図示する。)から構成されている。 Matrix optical switch 10 for micromachine of this embodiment, the package 32a is formed by the upper cover 11a and the body portion 12a, the reflecting frame 16 (FIG. 1, only the reflection mirror (i.e., the reflecting surface of the reflecting frame 16) shown to.) and a. なお、パッケージ32aは本発明の筐体に相当し、反射機構16は、本発明の選択的反射手段に相当する。 Incidentally, the package 32a corresponds to the housing of the present invention, reflective mechanism 16 corresponds to the selective reflecting means of the present invention.

【0024】パッケージ32aを構成する上蓋11a及び本体部12aのそれぞれの周縁部には、光ファイバ端部の外周面を挟持して入力ポート又は出力ポートを形成するための複数の切欠きが形成されている。 [0024] Each of the peripheral portion of the upper lid 11a and body portion 12a constituting the package 32a, a plurality of notches formed for forming the input ports or output ports to support the circumferential surface of the optical fiber end portion ing.

【0025】これらの切欠きにより、本体部12aに上蓋11aを載置したときにパッケージ32aの側面に開口が形成される。 [0025] By-out these notches, openings are formed on the side surface of the package 32a when mounting the upper lid 11a to the main body portion 12a. この開口により入力側光ファイバ20 The input side optical fiber by the opening 20
a〜20dの端部の外周面又は出力側光ファイバ22a Outer or output optical fiber 22a of the end portion of a~20d
〜22hの端部の外周面が保持されて入力側光ファイバ20a〜20d及び出力側光ファイバ22a〜22hとマトリクス光スイッチが一体化される。 Input optical fiber 20a~20d and the output side optical fiber 22a~22h and matrix optical switch is integrated outer peripheral surface of the end portion of ~22h is held.

【0026】なお、上蓋11a、本体部12a、入力側光ファイバ20a〜20dの端部の外周縁及び出力側光ファイバ22a〜22hの端部の外周縁はシール剤14 [0026] Incidentally, the upper cover 11a, the main body portion 12a, the outer peripheral edge of the end portion of the outer peripheral edge and the output side optical fiber 22a~22h end of the input side optical fiber 20a~20d is sealant 14
によりシールされており、密閉したパッケージ32aとなっている。 And it is sealed, a sealed package 32a by.

【0027】反射機構16は、複数の入力光路と複数の出力光路の全ての交差位置の光路の上方に設けられており、通常は光路から退避した位置に反射面を配置してレーザ光束を通過させるが、図示しない制御部により選択されると、レーザ光束の光路中に反射面を配置してレーザ光束を反射して光路を変更し、対応する出力ポートに導く。 The reflecting frame 16, passes through is provided above the optical path, typically by placing a reflective surface at a position retracted from the optical path laser light flux of all intersections of the plurality of input optical paths and a plurality of output optical paths but is, when selected by the control unit (not shown), to change the optical path by reflecting the laser beam by disposing a reflecting surface in the optical path of the laser beam, it leads to the corresponding output port. なお、図示しないが制御部はマトリクス光スイッチの光路変更状態を制御するものであり、特定の位置の反射機構16を選択し反射ミラー(反射面)を光路上に配置させることによりレーザ光束の伝播方向を変更している。 Incidentally, not shown control unit is for controlling the optical path changing state of the matrix optical switch, the propagation of the laser beam by placing a reflecting mirror to select the reflection mechanism 16 at a particular position (reflection surface) on the optical path It has changed the direction.

【0028】このように、上蓋11a、本体部12a、 [0028] Thus, the top cover 11a, the main body portion 12a,
入力側光ファイバ20a〜20dの端部の外周縁及び出力側光ファイバ22a〜22hの端部の外周縁はシール剤14によりシールされているため、大気中の水蒸気や塵や埃が反射機構16に付着することがない。 Since the outer peripheral edge of the end portion of the outer peripheral edge and the output side optical fiber 22a~22h end of the input side optical fiber 20a~20d is sealed by a sealing agent 14, the reflected water vapor and dust in the air mechanism 16 It does not adhere to. 従って、 Therefore,
常に良好な応答レスポンスを得ることができ、反射機構16の反射面の酸化や腐蝕を抑えることができ、反射面の寿命を延ばすことができる。 Can always obtain a good response response, it is possible to suppress the oxidation and corrosion of the reflection surface of the reflecting frame 16, it is possible to extend the life of the reflecting surface.

【0029】また、大気中の塵や埃がパッケージ32a [0029] In addition, dust and dust in the atmosphere package 32a
の内部に入り込むことがないので、パッケージ32a内を伝播するレーザ光束が散乱されるのを防止できる。 Since no entering the interior of the can to prevent the laser beam propagating in the package 32a is scattered.

【0030】なお、このマイクロマシン用のマトリクス光スイッチ10は、組み立て時に、例えば、1.0×1 [0030] Incidentally, the matrix optical switch 10 for the micromachine, during assembly, for example, 1.0 × 1
-3 Pa以上1.0Pa以下程度の真空度にしたチャンバー内で組み立てて密封することにより、パッケージ3 By sealed assembled 0 -3 was vacuum degree than 1.0Pa or less Pa in the chamber, the package 3
2a内の真空度を例えば、1.0×10 -3 Pa以上1. The degree of vacuum in 2a for example, 1.0 × 10 -3 Pa or more 1.
0Pa以下程度としている。 0Pa have a degree or less.

【0031】本実施の形態とのマトリクス光スイッチの性能を確認したところ、挿入損失、消光比ともに±1d [0031] After a review of the performance of the matrix optical switch of the present embodiment, the insertion loss, ± in both extinction ratio 1d
B程度以内であった。 It was within about B. このマトリクス光スイッチを約4 This matrix optical switch about 4
年間の使用した後、再び挿入損失、消光比を計測したところ、共に±1dB程度以内であり、スイッチの応答速度も殆ど変わらなかった。 After using of year, again insertion loss, it was to measure the extinction ratio, both is within about ± 1dB, the response speed of the switch did not almost the same.

【0032】これに対して、比較例として、パッケージを密閉せずに大気がパッケージ内を出入りできるように構成した従来のマトリクス光スイッチは、挿入損失が1 [0032] On the contrary, as a comparative example, a conventional matrix optical switch air is configured to enter and exit the package without sealing the package, the insertion loss is 1
5dB程度、消光比は60dB程度であった。 About 5dB, the extinction ratio was about 60dB. さらに、 further,
従来構成のマトリクス光スイッチを2年間使用して再び挿入損失、消光比を計測したところ、反射ミラーの腐蝕・曇化により、挿入損失が20dBに増大し、消光比も30dB程度にまで低下していた。 Again insertion loss using matrix optical switch of the conventional configuration 2 years, was measured the extinction ratio, the corrosion-clouding of the reflecting mirror, the insertion loss increases to 20 dB, has dropped extinction ratio even about 30dB It was.

【0033】また、従来のマトリクス光スイッチでは、 [0033] In addition, in the conventional matrix optical switch,
スイッチの応答速度は、5ms(200Hz)程度までが限度であっが、本実施の形態のマトリクス光スイッチでは、3.3ms(300Hz)程度までの応答速度が実現できた。 The response speed of the switch is a limit to the extent 5 ms (200 Hz), the matrix optical switch of the present embodiment, the response speed to a degree 3.3 ms (300 Hz) can be realized.

【0034】なお、以上述べたマトリクス光スイッチは、上蓋11aと本体部12aとがほぼ対称的な形状であるため、上蓋11aと本体部12aとの両方に切欠きを設けて、光ファイバ端部を挟んで保持する構成について述べたが、本発明はこの構成に限定しない。 [0034] Incidentally, the matrix optical switch described above, since the upper lid 11a and a main body portion 12a is substantially symmetrical shape, provided with a notch in both the top cover 11a and the body portion 12a, the optical fiber end portion the configuration has been described that holds across, the present invention is not limited to this configuration.

【0035】例えば、図2に示すように、本体部12b [0035] For example, as shown in FIG. 2, the main body portion 12b
の一方側のみに光ファイバの直径と同程度又は光ファイバの直径よりも長い深さを持つ切欠きを設け、平板状に構成した上蓋11bを載置して、本体部12bと光ファイバ端部とをシール剤14密着させるとともに、上蓋1 Only one side of the notch with long depth than the diameter of the diameter and equal to or optical fiber of the optical fiber is provided, by placing the upper lid 11b configured on a flat, the main body portion 12b and the optical fiber end portion DOO together to sealant 14 adhesion to, upper cover 1
1bと、本体部12b及び光ファイバ端部の上方領域とをシール剤14により密着させることにより密閉したパッケージa32bを用いることができる。 It can be used and 1b, and package a32b a sealed By the upper region of the body portion 12b and the optical fiber end portions are contacted by the sealing material 14.

【0036】また、別の構成として、図3に示すように、箱状に形成した本体部12cの側面に予め光ファイバの直径より若干大きめの開口を設けておき、光ファイバの端部を前記開口に挿入した状態でシール剤14によりシールして固定した後、平板状に構成した上蓋11b Further, as another configuration, as shown in FIG. 3, a little may be provided a larger aperture than the diameter of the pre optical fiber on the side surface of the main body portion 12c which is formed in a box shape, the ends of the optical fiber after fixing and sealing by a sealing agent 14 in the state of being inserted into the opening, top lid 11b configured into a flat plate
と本体部12cの開口縁部とをシール剤14により密着させることにより密閉したパッケージa32cを用いることができる。 Package a32c a sealed by a to close contact with the opening edge portion of the main body portion 12c by the sealant 14 can be used.

【0037】更に、別の構成として、図4に示すように、複数の柱状部材18により入力光路と出力光路とを規定したパッケージ32dを用いてもよく、この場合、 Furthermore, as another configuration, as shown in FIG. 4, it may be used a package 32d which defines the input optical path and an output optical path by a plurality of columnar members 18, in this case,
パッケージ32d内の真空度を高くしても複数の柱状部材18がパッケージ32dの上面と下面とを支えるので、パッケージ32dが歪むのを防止できるという効果がある。 Since a plurality of columnar members 18 also by increasing the degree of vacuum in the package 32d is supporting the upper and lower surfaces of the package 32d, there is an effect that it prevents the package 32d is distorted.

【0038】また、図1〜図3のマトリクス光スイッチでは、レーザ光束の光路の上方に反射機構16を設けた構成としているが、図4に示すように、入力光路と出力光路近傍の光路から退避した位置に、レーザ光束の伝播に影響しないように反射機構16を設けることもできる。 Further, in the matrix optical switch of Figures 1-3 has a configuration in which a reflecting frame 16 above the optical path of the laser beam, as shown in FIG. 4, from the optical path of the output light paths near the input optical path the retracted position, it is possible to provide a reflecting mechanism 16 so as not to affect the propagation of the laser beam.

【0039】なお、図4では、入力光路と出力光路近傍の光路から退避した位置に回転軸24を立設して設け、 [0039] In FIG. 4, provided upright rotary shaft 24 and retracted from the optical path of the output light paths near the input optical path position,
該回転軸24の回転により反射ミラーなどの反射部材2 Reflective member 2 such as a reflective mirror by the rotation of the rotary shaft 24
6を入力光路中に配置してレーザ光束を反射させて出力光路に導いたり、反射部材26を光路から退避した位置に配置してレーザ光束を通過させたりしている。 6 disposed in the input optical path or guided to the output optical path by reflecting a laser beam to, and or passed through a laser beam disposed at a position retracted a reflecting member 26 from the optical path.

【0040】なお、以上は全て組み立て時に、例えば、 [0040] It should be noted, above all during the assembly, for example,
1.0×10 -3 Pa以上1.0Pa以下程度の真空度にしたチャンバー内で組み立てて密封する場合が前提であるが、例えば、蓋又は本体のいずれか一方に予め一端部が開口するチューブを設けておき、全ての組立てが終了した後に、チューブの他端部を真空引き装置に繋げてチューブを介してパッケージ32a〜32d内を真空引した後、チューブを切断してチューブ端部の開口を閉塞することによってもパッケージ32a〜32d内が真空のマトリクス光スイッチを得ることが可能である。 While it is premised case to seal assembled in 1.0 × 10 -3 chamber was evacuated degrees of more than 1.0Pa or less Pa, for example, pre-end on one of the lid or the body is open tube the may be provided, after all assembly has been completed, then vacuum pull the package 32a~32d through the tube connecting the other end of the tube to the vacuum apparatus, the tube end portion by cutting the tube opening also the package 32a~32d by occluding the it is possible to obtain a matrix optical switch of the vacuum.

【0041】 [0041]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、水蒸気、塵及び埃による種々の影響を抑え、応答レスポンスが良好で、空気抵抗の影響を受けず、寿命の長いマトリクス光スイッチが得られる、という効果がある。 According to the present invention as described in the foregoing, the water vapor, reducing the various effects of dust and dirt, good response response, without being affected by the air resistance, resulting long matrix optical switch of life is, there is an effect that.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施の形態のマトリクス光スイッチの概略構成図である。 1 is a schematic configuration diagram of a matrix optical switch according to the embodiment of the present invention.

【図2】本発明の別の実施の形態のマトリクス光スイッチの概略構成図である。 2 is a schematic diagram of a matrix optical switch of another embodiment of the present invention.

【図3】本発明の更に別の実施の形態のマトリクス光スイッチの概略構成図である。 Figure 3 is a further schematic diagram of a matrix optical switch of another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の更に別の実施の形態のマトリクス光スイッチの概略構成図である。 Figure 4 is a further schematic diagram of a matrix optical switch of another embodiment of the present invention.

【図5】従来のマトリクス光スイッチの概略を示す斜視説明図である。 5 is a perspective view showing an outline of a conventional matrix optical switch.

【図6】従来のマトリクス光スイッチの反射装置の別の構成を示す説明図である。 6 is an explanatory diagram showing another configuration of a reflector of a conventional matrix optical switch.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 マトリクス光スイッチ 11a〜11c 上蓋 12a〜12c 本体部 14 シール剤 16 反射機構 18 柱状部材 20a〜20d 入力側光ファイバ 22a〜22h 出力側光ファイバ 24 回転軸 26 反射部材 32a〜32d パッケージ 10 matrix optical switch 11a~11c lid 12a~12c body portion 14 sealing agent 16 reflecting frame 18 pillars 20a~20d input side optical fiber 22a~22h output optical fiber 24 rotates shaft 26 reflecting member 32a~32d package

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 敏弘 千葉県船橋市豊富町585番地 住友大阪セ メント株式会社新規技術研究所内 (72)発明者 竹村 安弘 千葉県船橋市豊富町585番地 住友大阪セ メント株式会社新規技術研究所内 Fターム(参考) 2H041 AA16 AA18 AB13 AC01 AZ02 AZ06 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Toshihiro Sakamoto Funabashi, Chiba Prefecture Toyotomi-cho 585 address Sumitomo Osaka cement Co., Ltd. new technologies in the Laboratory (72) inventor Yasuhiro Takemura Funabashi, Chiba Prefecture Toyotomi-cho 585 address Sumitomo Osaka cell instrument Co., Ltd. new technology Institute in the F-term (reference) 2H041 AA16 AA18 AB13 AC01 AZ02 AZ06

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 外部から入力されたレーザ光束を入力光路に導く少なくとも1つの入力ポートと、 前記入力光路を伝播するレーザ光束を反射或いは通過させて出力光路に導く選択的反射手段と、 前記選択的反射手段により反射或いは通過されたレーザ光束が伝播する出力光路の終端に設けられた出力ポートと、を備え、 少なくとも前記入力光路、前記選択的反射手段、及び、 And 1. A least one input port guides the laser beam inputted from the outside to the input optical path, and selectively reflecting means laser beams reflected or passed through guides in the output optical path that propagates the input optical path, the selection laser beam reflected or passed by the reflecting means and an output port provided at the end of the output optical path propagates, wherein at least said input optical path, said selective reflecting means and,
    前記出力光路を、筐体内部が真空で、かつ、密閉した筐体の内部に設けたことを特徴とする請求項1に記載のマトリクス光スイッチ。 Matrix optical switch of claim 1 wherein the output optical path, the housing interior in a vacuum, and, characterized in that provided inside the sealed enclosure.
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Cited By (4)

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US6771859B2 (en) 2001-07-24 2004-08-03 3M Innovative Properties Company Self-aligning optical micro-mechanical device package
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WO2005026816A1 (en) * 2003-09-09 2005-03-24 Murata Manufacturing Co., Ltd. Optical switch
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