JP2001289527A - Cryogenic cooling system - Google Patents

Cryogenic cooling system

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JP2001289527A
JP2001289527A JP2000109075A JP2000109075A JP2001289527A JP 2001289527 A JP2001289527 A JP 2001289527A JP 2000109075 A JP2000109075 A JP 2000109075A JP 2000109075 A JP2000109075 A JP 2000109075A JP 2001289527 A JP2001289527 A JP 2001289527A
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Japan
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anchor block
cylinder
block
cold
cooled
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Application number
JP2000109075A
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Japanese (ja)
Inventor
Masakazu Okamoto
昌和 岡本
Chikahide Fujiyama
周秀 藤山
Ryuzo Sotojima
隆造 外島
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F25B2309/001Gas cycle refrigeration machines with a linear configuration or a linear motor
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    • F25B2309/1412Pulse-tube cycles characterised by heat exchanger details
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F25DREFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • F25D19/006Thermal coupling structure or interface

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: Improve a working efficiency in dismounting an expander from a vacuum vessel of a chiller in a cryogenic refrigerating system generating cryotemperature in a cold head. SOLUTION: A heat conduction block (3a) for mounting an anchor block (3) is installed on the peripheral surface of a cylinder (31). The anchor block (3) attached to the heat conduction block (3a) is supported removably so as to be heat-transferred, on which a lead wire (19) lead from a to-be-cooled body is wound. The anchor block (3) is taken off from the heat conduction block (3a) in dismounting an expander (E) from a vacuum vessel 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、極低温冷凍機によ
り極低温レベルの寒冷を発生させて被冷却体を冷却する
極低温冷却システムに関し、特に、被冷却体から延びる
リード線の熱シールド構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic cooling system for cooling a body to be cooled by generating a cryogenic refrigerator at a cryogenic level, and more particularly to a heat shield structure for a lead wire extending from the body to be cooled. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、GM(ギフォード・マクマホ
ン)冷凍機、スターリング冷凍機、及びパルス管冷凍機
等は極低温レベルの寒冷を発生させる小型冷凍機の一種
として知られている。
2. Description of the Related Art Heretofore, GM (Gifford McMahon) refrigerators, Stirling refrigerators, pulse tube refrigerators, and the like have been known as a kind of small refrigerators that generate cryogenic cooling.

【0003】そして、例えば、特開平10−33951
0号公報に示されるスターリング冷凍機は、ガスを圧縮
する振動型圧縮機と、該圧縮機から吐出された作動ガス
を膨張させる寒冷発生手段としての膨張機とを組み合わ
せたものである。そして、通常、この膨張機は断熱のた
めに被冷却体と共に真空容器内に配置される。
[0003] For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 10-33951
The Stirling refrigerating machine disclosed in Japanese Patent Publication No. 0 is a combination of a vibrating compressor for compressing gas and an expander as a cold generating means for expanding working gas discharged from the compressor. Usually, the expander is arranged in a vacuum vessel together with the object to be cooled for heat insulation.

【0004】上記膨張機は円筒状のシリンダを有し、こ
のシリンダ内にはシリンダ内を膨張空間と作動空間とに
区画するディスプレーサが往復動可能に備えられてい
る。このディスプレーサは、内部に蓄冷器を充填したも
ので、該蓄冷器は膨張空間及び作動空間にそれぞれ連結
されている。上記作動空間内には、ディスプレーサを往
復動可能に弾性支持するコイルバネが配設されている。
さらに、作動空間は上記連結管を介して上記圧縮機の圧
縮空間に接続されており、圧縮機からのガス圧によりデ
ィスプレーサを往復動させてガスを膨張空間で膨張させ
ることにより、シリンダの先端に位置するコールドヘッ
ドに寒冷を発生させるようになされている。
The above-described expander has a cylindrical cylinder, and a displacer for partitioning the inside of the cylinder into an expansion space and a working space is provided in the cylinder in a reciprocating manner. This displacer is filled with a regenerator, and the regenerator is connected to the expansion space and the working space, respectively. A coil spring that elastically supports the displacer in a reciprocable manner is provided in the working space.
Further, the working space is connected to the compression space of the compressor through the connection pipe, and the gas pressure from the compressor causes the displacer to reciprocate to expand the gas in the expansion space. It is designed to generate cold in the cold head located.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記コール
ドヘッドにて冷却される被冷却体として、高温超電導効
果を利用したデバイス等を用いる場合、該被冷却体から
延びるリード線を真空容器の壁面に設けたリード線取出
しポートを通して真空容器外へ取出す必要がある。この
とき、リード線の被冷却体側の一端部は極低温レベルの
温度(例えば約80K)となる一方、他端部はほぼ外気
温(例えば約300K)と同じ温度なり、リード線の両
端部間に大きな温度差が生じる。そのため、スターリン
グ冷凍機の場合、図6に示すように、被冷却体(2)か
ら延びるリード線(19)の中間部をシリンダ(31)
の外周に巻き付けることで、リード線(19)のアンカ
ーをとりながらリード線(19)を冷却して、リード線
(19)の両端部間に生じている大きな温度差による勾
配を減少させ、リード線(19)による常温側から被冷
却体(2)側への熱侵入を防止することが行われてい
る。尚、上記の如くリード線(19)全体をシリンダ
(31)に巻き付けて冷却することにより、リード線
(19)の電気抵抗を減少する効果も得られる。
When a device or the like utilizing the high-temperature superconductivity effect is used as the object to be cooled by the cold head, a lead extending from the object to be cooled is attached to the wall surface of the vacuum vessel. It is necessary to take out outside the vacuum vessel through the provided lead wire taking out port. At this time, one end of the lead wire on the side to be cooled has a very low temperature (for example, about 80K), while the other end has almost the same temperature as the outside air temperature (for example, about 300K). Causes a large temperature difference. Therefore, in the case of the Stirling refrigerator, as shown in FIG. 6, the intermediate portion of the lead wire (19) extending from the cooled object (2) is connected to the cylinder (31).
The lead wire (19) is cooled while anchoring the lead wire (19), thereby reducing the gradient caused by a large temperature difference between both ends of the lead wire (19). It has been practiced to prevent heat from entering the cooled object (2) from the room temperature side by the wire (19). By cooling the entire lead wire (19) around the cylinder (31) as described above, an effect of reducing the electrical resistance of the lead wire (19) can be obtained.

【0006】しかし、上記のものでは、冷凍機(R)の
膨張機(E)を真空容器(1)から取り外す場合、膨張
機(E)のシリンダ(31)に巻き付けてあるリード線
(19)を一度すべて巻き取り外さなければならず、こ
のリード線(19)の取り外し作業に手間と時間とがか
かり、作業効率が非常に悪いものとなっていた。
However, in the above-described apparatus, when the expander (E) of the refrigerator (R) is detached from the vacuum vessel (1), the lead wire (19) wound around the cylinder (31) of the expander (E). Has to be wound off once, and the work of removing the lead wire (19) takes time and effort, resulting in extremely poor work efficiency.

【0007】また、冷凍機(R)を構成する部品の中に
は衝撃に対して非常に弱いものが多く備えられており、
上記シリンダ(31)からのリード線(19)取り外し
作業時に部品が損傷を受けることがあり、冷凍機(R)
自体が故障する原因となっていた。
[0007] Many components constituting the refrigerator (R) are very vulnerable to impact.
Parts may be damaged when the lead wire (19) is removed from the cylinder (31), and the refrigerator (R)
It was itself a cause of failure.

【0008】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、極低温冷却システム
において、被冷却体から延びるリード線のアンカー構造
に改良を加えることで、冷凍機の真空容器からの取り外
し作業を容易に行い得るようにすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a cryogenic cooling system by improving an anchor structure of a lead wire extending from an object to be cooled in a cryogenic cooling system. To easily perform the removal operation from the vacuum vessel.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、被冷却体から延びるリード線を巻
き付けるアンカーの位置を寒冷発生手段とは別の位置に
設けた。
In order to achieve the above object, according to the present invention, the position of the anchor around which the lead extending from the object to be cooled is wound is provided at a position different from that of the cold generating means.

【0010】具体的には、請求項1の発明では、圧縮機
(C)で圧縮された作動ガスを膨張させて寒冷発生手段
のコールドヘッド(32)に極低温レベルの寒冷を発生
させる極低温冷凍機(R)と、リード線(19)が接続
され、上記コールドヘッド(32)から伝熱されて極低
温レベルに冷却保持される被冷却体(2)と、少なくと
も上記寒冷発生手段の一部、被冷却体(2)及びリード
線(19)を真空断熱状態で収容する真空容器(1)と
を備えた極低温冷却システムであって、上記真空容器
(1)内に位置し且つ上記コールドヘッド(32)を除
く寒冷発生手段に伝熱可能に固定された少なくとも1つ
のアンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3a)と、
上記アンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3a)に
伝熱可能に且つ取り外し可能に連結され、上記被冷却体
(2)からのリード線(19)を巻き付けるアンカーブ
ロック(3)とを設けた。
More specifically, according to the first aspect of the present invention, the cryogenic temperature that causes the working gas compressed by the compressor (C) to expand to generate the cryogenic level cold in the cold head (32) of the cold generating means. The refrigerator (R) is connected to the lead wire (19), and the cooled object (2) which is transferred from the cold head (32) and cooled and held at a cryogenic level, and at least one of the cold generating means. A cryogenic cooling system comprising: a vacuum vessel (1) that accommodates a unit, a cooled object (2), and a lead wire (19) in a vacuum insulated state, wherein the cryogenic cooling system is located in the vacuum vessel (1); At least one heat transfer block (3a) for attaching an anchor block, which is fixed to the cold generating means excluding the cold head (32) so as to be able to conduct heat;
An anchor block (3) is provided, which is detachably connected to the heat transfer block (3a) for attaching an anchor block and is capable of winding a lead wire (19) from the object to be cooled (2).

【0011】上記の構成により、寒冷発生手段を真空容
器(1)内からの取り外しする際、被冷却体(2)から
延びるリード線(19)が巻き付けられているアンカー
ブロック(3)をアンカーブロック取付用熱伝導ブロッ
ク(3a)から取り外すのみで上記寒冷発生手段を取り
外しすることができ、リード線(19)を寒冷発生手段
自体に巻き付けている従来の構造のようにリード線(1
9)自体を一度取り外す手間がなくなり、よって、寒冷
発生手段を真空容器(1)内から容易に取り外すことが
できる。
With the above arrangement, when the cold generating means is detached from the vacuum vessel (1), the anchor block (3) around which the lead wire (19) extending from the object to be cooled (2) is wound is anchored. The cold generating means can be removed simply by removing the cold generating means from the mounting heat conducting block (3a), and the lead wire (1) as in the conventional structure in which the lead wire (19) is wound around the cold generating means itself.
9) There is no need to remove itself once, so that the cold generating means can be easily removed from the vacuum vessel (1).

【0012】また、上記リード線(19)が巻き付けら
れているアンカーブロック(3)は、寒冷発生手段に固
定されたアンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3
a)に伝熱可能に連結支持されているので、寒冷発生手
段からの冷熱が伝熱性のあるアンカーブロック取付用熱
伝導ブロック(3a)を介してアンカーブロック(3)
に伝熱され、該アンカーブロック(3)をリード線(1
9)とともに寒冷発生手段と同程度の温度勾配に保っ
て、リード線(19)による被冷却体(2)への熱侵入
を防ぐことができる。
The anchor block (3) around which the lead wire (19) is wound is a heat conduction block (3) for attaching an anchor block fixed to the cold generating means.
(a) is connected and supported so as to be able to conduct heat, so that the cold from the cold generating means is transferred to the anchor block (3) via the heat conducting block (3a) for mounting the anchor block.
And the anchor block (3) is connected to the lead wire (1).
By keeping the temperature gradient at the same level as that of the cold generation means together with 9), it is possible to prevent heat from entering the cooled object (2) by the lead wire (19).

【0013】請求項2の発明では、上記の極低温冷却シ
ステムにおいて、寒冷発生手段は、内部にディスプレー
サ(37)を往復動可能に嵌装されたシリンダ(31)
を有し、上記シリンダ(37)の外周面にアンカーブロ
ック取付用熱伝導ブロック(3a)が固定されている。
According to the second aspect of the present invention, in the above cryogenic cooling system, the cold generating means has a cylinder (31) in which a displacer (37) is reciprocally fitted.
The anchor block mounting heat conducting block (3a) is fixed to the outer peripheral surface of the cylinder (37).

【0014】上記の構成により、極低温冷却システムと
して、内部にディスプレーサ(37)が嵌装されたシリ
ンダを有するスターリング冷凍機、或いはGM冷凍機を
用いることができる。
According to the above configuration, a Stirling refrigerator or a GM refrigerator having a cylinder in which a displacer (37) is fitted can be used as the cryogenic cooling system.

【0015】そして、このシリンダの外周面にアンカー
ブロック取付用熱伝導ブロック(3a)を固定して、こ
のアンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3a)に伝
熱可能に且つ取り外し可能に連結され、上記被冷却体
(2)からのリード線(19)を巻き付けるアンカーブ
ロック(3)を設けることで、上記請求項1と同様の作
用効果を得ることができる。
A heat conductive block (3a) for fixing the anchor block is fixed to the outer peripheral surface of the cylinder, and the heat conductive block (3a) for fixing the anchor block is connected to the heat conductive block (3a) so as to be able to conduct heat and to be detachable. By providing the anchor block (3) around which the lead wire (19) from the object to be cooled (2) is wound, the same operation and effect as in claim 1 can be obtained.

【0016】請求項3の発明では、上記の極低温冷却シ
ステムにおいて、寒冷発生手段は、圧縮機(C)に蓄冷
器(T)を介して接続されたパルス管(P)を有し、上
記蓄冷器(T)の外周面にアンカーブロック取付用熱伝
導ブロック(3a)が固定されている。このことから、
極低温冷却システムとして、蓄冷器(T)とパルス管
(P)とを有するパルス管冷凍機を用いることができ
る。
According to a third aspect of the present invention, in the cryogenic cooling system, the cold generation means has a pulse tube (P) connected to the compressor (C) via a regenerator (T). A heat conduction block (3a) for attaching an anchor block is fixed to an outer peripheral surface of the regenerator (T). From this,
As the cryogenic cooling system, a pulse tube refrigerator having a regenerator (T) and a pulse tube (P) can be used.

【0017】請求項4の発明では、上記のアンカーブロ
ック(3)を、熱伝導性の高い筒体で構成する。また、
請求項5の発明では、アンカーブロック(3)を、中実
体で構成する。
According to the fourth aspect of the present invention, the anchor block (3) is formed of a highly heat-conductive cylinder. Also,
According to the invention of claim 5, the anchor block (3) is formed of a solid body.

【0018】これらの発明によると、寒冷発生手段から
の冷熱が、アンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3
a)を介してアンカーブロック(3)全体により一層伝
熱されやすくなり、より効率的にアンカーブロック
(3)全体を冷却することができる。
According to these inventions, the cold from the cold generating means is supplied to the heat conduction block (3) for attaching the anchor block.
Through (a), heat is more easily transferred to the entire anchor block (3), and the entire anchor block (3) can be cooled more efficiently.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】(実施形態1)図1は本発明の実
施形態1に係る極低温冷却システムを示し、(2)は、
極低温レベルの設定温度に冷却保持された状態で正常に
作動運転される、例えば高温超電導材料を含む被冷却体
(2)、(R)は上記被冷却体(2)を冷却するための
スターリング冷凍機からなる極低温冷凍機で、この冷凍
機(R)は、ダブルピストン型圧縮機(C)とフリーデ
ィスプレーサ型膨張機(E)とが組み合わされて構成さ
れている。
(Embodiment 1) FIG. 1 shows a cryogenic cooling system according to Embodiment 1 of the present invention.
For example, the cooled objects (2) and (R) containing the high-temperature superconducting material, which are normally operated while being cooled and maintained at the set temperature of the cryogenic level, are Stirling for cooling the cooled object (2). This is a cryogenic refrigerator comprising a refrigerator, and this refrigerator (R) is configured by combining a double piston type compressor (C) and a free displacer type expander (E).

【0020】すなわち、上記圧縮機(C)は例えば上下
方向に延びる密閉円筒状のケーシング(5)を有する。
このケーシング(5)内には、両端が開放された上下方
向に延びる1つの円筒状シリンダ(6)がケーシング
(5)と同心状に配置されて収容されている。このシリ
ンダ(6)の長さ方向中央の外周にはシリンダ(6)の
中心線と直交する方向に延びる円板状のフランジ(7)
が一体に形成され、このフランジ(7)の外周端には、
シリンダ(6)と同心に上下方向に延びる円筒状の嵌合
部(8)が一体に形成されている。また、シリンダ
(6)の外周には円筒状の継鉄部材(9)が嵌合固定さ
れており、このシリンダ(6)、フランジ(7)及び嵌
合部(8)並びに継鉄部材(9)は純鉄等の磁性材料か
らなっていてヨーク(継鉄)を構成している。上記嵌合
部(8)はケーシング(5)内周に移動不能に嵌合され
て固定されており、このことによってシリンダ(6)は
ケーシング(5)に一体的に固定されている。
That is, the compressor (C) has, for example, a closed cylindrical casing (5) extending vertically.
In the casing (5), one cylindrical cylinder (6) having both ends opened and extending in the vertical direction is accommodated so as to be arranged concentrically with the casing (5). A disk-shaped flange (7) extending in a direction perpendicular to the center line of the cylinder (6) is provided on the outer periphery at the center in the length direction of the cylinder (6).
Are formed integrally, and at the outer peripheral end of the flange (7),
A cylindrical fitting portion (8) extending in the vertical direction concentrically with the cylinder (6) is integrally formed. A cylindrical yoke member (9) is fitted and fixed to the outer periphery of the cylinder (6), and the cylinder (6), the flange (7), the fitting portion (8), and the yoke member (9) are fitted. ) Is made of a magnetic material such as pure iron and constitutes a yoke (yoke). The fitting portion (8) is immovably fitted and fixed to the inner periphery of the casing (5), whereby the cylinder (6) is integrally fixed to the casing (5).

【0021】上記シリンダ(6)内には有底円筒状の1
対のピストン(10),(10)がそれぞれ先端底部側
を対向させた状態で摺動可能に嵌挿され、この両ピスト
ン(10),(10)間のシリンダ(6)により囲まれ
た部分が圧縮空間(11)とされて、この圧縮空間(1
1)に作動ガスが充填されている。つまり、密閉ケーシ
ング(5)内の空間は、シリンダ(6)、フランジ
(7)、嵌合部(8)及びピストン(10),(10)
により、圧縮空間(11)とその他の背圧空間(1
2),(12)とに区画されている。上記シリンダ
(6)、フランジ(7)及び嵌合部(8)にはシリンダ
(6)内周面から嵌合部(8)外周面まで半径方向に貫
通するガス通路(13)が形成されている。このガス通
路(13)の内端は圧縮空間(11)に常時連通されて
いる一方、外端はケーシング(5)に開口した貫通孔
(14)、及び該貫通孔(14)に連結した連結管(2
8)を介して膨張機(E)に接続されている。
In the cylinder (6), a bottomed cylindrical cylinder 1 is provided.
A pair of pistons (10), (10) are slidably fitted with their bottoms facing each other, and a portion surrounded by a cylinder (6) between the pistons (10), (10). Is a compression space (11), and this compression space (1)
1) is filled with a working gas. That is, the space in the closed casing (5) includes the cylinder (6), the flange (7), the fitting portion (8), and the pistons (10), (10).
The compression space (11) and the other back pressure space (1
2) and (12). The cylinder (6), the flange (7) and the fitting portion (8) are formed with a gas passage (13) penetrating in a radial direction from the inner peripheral surface of the cylinder (6) to the outer peripheral surface of the fitting portion (8). I have. The inner end of the gas passage (13) is always in communication with the compression space (11), while the outer end has a through hole (14) opened in the casing (5) and a connection connected to the through hole (14). Tube (2
8) to the expander (E).

【0022】上記ピストン(10),(10)はそれぞ
れ各ピストン(10)を往復駆動する駆動源としてのリ
ニアモータ(15),(15)に駆動連結されている。
この各リニアモータ(15)は、上記各継鉄部材(9)
の外周に嵌合部(8)内周面と円環状の空間をあけた状
態で嵌合固定された環状の永久磁石からなる駆動磁石
(16)を有し、この駆動磁石(16)により、継鉄部
材(9)、フランジ(7)及び嵌合部(8)をヨークと
して駆動磁石(16)外周面と嵌合部(8)内周面との
間の空間からなる磁気ギャップに所定強度の磁界(静止
磁場)を発生させる。
The pistons (10), (10) are drivingly connected to linear motors (15), (15) as drive sources for reciprocatingly driving the respective pistons (10).
Each of the linear motors (15) is provided with a corresponding one of the yoke members (9).
A driving magnet (16) composed of an annular permanent magnet fitted and fixed in a state where an annular space is provided with an inner peripheral surface of the fitting portion (8) on the outer periphery of the driving magnet (16). The yoke uses the yoke member (9), the flange (7), and the fitting portion (8) as a yoke and has a predetermined strength in a magnetic gap formed by a space between the outer peripheral surface of the driving magnet (16) and the inner peripheral surface of the fitting portion (8). (Static magnetic field).

【0023】上記各ピストン(10)はその背面側つま
りシリンダ(6)中央と反対側の開口端部から半径方向
外側に延びるフランジ部(10a)を有し、このフラン
ジ部(10a)には、リニアモータ(15)の駆動部と
しての有底円筒状ボビン(17)が底壁側にて移動一体
に結合されている。このボビン(17)の開口側は、ピ
ストン(10)と同心状にシリンダ(6)の中央側に延
びかつ先端部が上記駆動磁石(16)外周面と嵌合部
(8)内周面との間の磁気ギャップに上下方向に往復動
可能に配置されている。ボビン(17)の先端寄り外周
には上記駆動磁石(16)と対応した位置に電磁コイル
からなる駆動コイル(18)(ソレノイド)が巻回され
ている。そして、上記ボビン(17)及びピストン(1
0)(詳細には駆動コイル(18)等の可動部分全体を
含む)で可動部(20)が構成され、この可動部(2
0)はケーシング(5)やシリンダ(6)等に対し相対
移動可能とされている。また、各駆動コイル(18)は
それぞれリード線(21)及びケーシング(5)に絶縁
状態で貫通支持した電流導入端子(22),(22)を
介して図外の交流電源に接続されており、この交流電源
からリニアモータ(15),(15)の駆動コイル(1
8),(18)に同期して交流を供給することにより、
両ピストン(10),(10)を所定の運転周波数で互
いに接離するように逆方向に同期して往復動させて、圧
縮空間(11)で所定周期のガス圧を発生させるように
なされている。
Each of the pistons (10) has a flange portion (10a) extending radially outward from the back side, that is, the opening end opposite to the center of the cylinder (6). A bottomed cylindrical bobbin (17) as a drive unit of the linear motor (15) is integrally connected to move on the bottom wall side. The opening side of the bobbin (17) extends concentrically with the piston (10) toward the center of the cylinder (6), and has a tip portion which is connected to the outer peripheral surface of the driving magnet (16) and the inner peripheral surface of the fitting portion (8). Are arranged so as to be able to reciprocate up and down in a magnetic gap therebetween. A drive coil (18) (solenoid) composed of an electromagnetic coil is wound around the outer periphery of the bobbin (17) near the tip thereof at a position corresponding to the drive magnet (16). Then, the bobbin (17) and the piston (1)
0) (specifically, the entire movable portion such as the drive coil (18)) constitutes a movable portion (20).
0) is relatively movable with respect to the casing (5), the cylinder (6) and the like. Each drive coil (18) is connected to an AC power source (not shown) via current introduction terminals (22) and (22), which are supported in a state insulated by the lead wire (21) and the casing (5), respectively. And the drive coil (1) of the linear motors (15) and (15)
8) By supplying AC in synchronization with (18),
The pistons (10) and (10) are reciprocated synchronously in opposite directions so as to come and go at a predetermined operating frequency so as to generate a gas pressure of a predetermined cycle in the compression space (11). I have.

【0024】上記ケーシング(5)の各端部の内壁面に
はシリンダ(6)の軸線上の位置にそれぞれ円筒状のケ
ーシング側ばね取付部材(24)が突設されている。一
方、上記各ピストン(10)の開口端部にはピストン側
ばね取付部材(25)が一体的に固定され、上記ケーシ
ング側ばね取付部材(24)にはコイルばねからなるピ
ストンスプリング(26)の一端部が移動不能に取り付
けられ、このピストンスプリング(26)の他端はピス
トン側ばね取付部材(25)に移動不能に取り付けられ
ている。つまり、ケーシング(5)の内壁面と各ピスト
ン(10)背面側との間にそれぞれピストンスプリング
(26)が掛け渡されており、このピストンスプリング
(26)によりピストン(10)がケーシング(5)、
従って該ケーシング(5)と一体的に固定されているシ
リンダ(6)に対し水平方向に往復動可能に弾性支持さ
れている。
On the inner wall surface of each end of the casing (5), a cylindrical casing-side spring mounting member (24) is protruded at a position on the axis of the cylinder (6). On the other hand, a piston-side spring mounting member (25) is integrally fixed to the open end of each piston (10), and a piston spring (26) made of a coil spring is fixed to the casing-side spring mounting member (24). One end is immovably attached, and the other end of the piston spring (26) is immovably attached to the piston side spring attachment member (25). That is, a piston spring (26) is hung between the inner wall surface of the casing (5) and the back side of each piston (10), and the piston (10) is moved by the piston spring (26). ,
Therefore, it is elastically supported so as to be able to reciprocate in the horizontal direction with respect to the cylinder (6) fixed integrally with the casing (5).

【0025】一方、上記膨張機(E)は水平方向に延び
るシリンダ(31)を有し、このシリンダ(31)の先
端側(左端側)の開口部は極低温部であるコールドヘッ
ド(32)により、また基端側(同右端側)の開口部は
フランジ(33)によりそれぞれ閉塞され、上記コール
ドヘッド(32)に上記被冷却体(2)が伝熱可能に配
置されている。シリンダ(31)内にはその内部空間を
先端側の膨張空間(35)と基端側の作動空間(36)
とに区画する中空円筒状のフリーディスプレーサ(3
7)が水平方向に往復動可能に嵌挿されている。このデ
ィスプレーサ(37)は、内部空間に蓄冷器(38)
(再生式熱交換器)を有するもので、該蓄冷器(38)
はディスプレーサ(37)両端に開口した連通孔(3
9),(40)によりそれぞれ膨張空間(35)及び作
動空間(36)に連通されている。
On the other hand, the expander (E) has a cylinder (31) extending in the horizontal direction, and an opening at the front end (left end) of the cylinder (31) is a cold head (32) which is a cryogenic part. The opening on the base end side (the right end side) is closed by a flange (33), and the object to be cooled (2) is arranged to be able to conduct heat to the cold head (32). In the cylinder (31), the internal space is defined as an expansion space (35) on the distal side and an operating space (36) on the proximal side.
Hollow cylindrical free displacer (3
7) is fitted so as to be able to reciprocate in the horizontal direction. This displacer (37) has a regenerator (38)
(Regeneration heat exchanger), the regenerator (38)
Are communication holes (3) opened at both ends of the displacer (37).
9) and (40) communicate with the expansion space (35) and the working space (36), respectively.

【0026】上記ディスプレーサ(37)の基端部には
ディスプレーサ側ばね取付部(42)が設けられてい
る。また、上記フランジ(33)において作動空間(3
6)に臨む部分にはフランジ側ばね取付部(43)が設
けられている。そして、上記ディスプレーサ側ばね取付
部(42)には、作動空間(36)に位置するコイルば
ねからなるディスプレーサスプリング(44)の左端部
(一端部)が移動不能に取り付けられ、このディスプレ
ーサスプリング(44)の右端部(他端部)はフランジ
側ばね取付部(43)に移動不能に取り付けられてい
る。よって、フランジ(33)とディスプレーサ(3
7)との間にディスプレーサスプリング(44)が掛け
渡されており、このディスプレーサスプリング(44)
によりディスプレーサ(37)がフランジ(33)、従
って該フランジ(33)と一体的に固定されているシリ
ンダ(31)に対し水平方向に往復動可能に弾性支持さ
れている。
At the base end of the displacer (37), a displacer-side spring mounting portion (42) is provided. In the flange (33), the working space (3
A flange-side spring mounting portion (43) is provided in a portion facing 6). A left end (one end) of a displacer spring (44) composed of a coil spring located in the working space (36) is immovably attached to the displacer-side spring attachment portion (42). ) Is immovably attached to the flange-side spring attachment portion (43). Therefore, the flange (33) and the displacer (3)
7) and a displacer spring (44) is stretched over the displacer spring (44).
As a result, the displacer (37) is elastically supported so as to be able to reciprocate in the horizontal direction with respect to the flange (33), and thus to the cylinder (31) fixed integrally with the flange (33).

【0027】さらに、上記フランジ(33)には作動空
間(36)に連通するガス孔(45)が貫通形成され、
このガス孔(45)の外端側には上記連結管(28)が
気密状に嵌合固定されている。よって、この膨張機
(E)の作動空間(36)は連結管(28)を介して圧
縮機(C)の圧縮空間(11)に接続され、圧縮機
(C)からのガス圧により膨張機(E)のディスプレー
サ(37)をシリンダ(31)内で往復動させて作動ガ
スを膨張空間(35)で膨張させることにより、シリン
ダ(31)先端のコールドヘッド(32)に極低温レベ
ルの寒冷を発生させ、その寒冷により上記被冷却体
(2)を同様の極低温レベルの設定温度に冷却保持する
ようになされている。
Further, a gas hole (45) communicating with the working space (36) is formed through the flange (33).
The connecting pipe (28) is fitted and fixed to the outer end side of the gas hole (45) in an airtight manner. Therefore, the working space (36) of the expander (E) is connected to the compression space (11) of the compressor (C) through the connecting pipe (28), and the expander is operated by the gas pressure from the compressor (C). The displacer (37) of (E) is reciprocated in the cylinder (31) to expand the working gas in the expansion space (35), so that the cold head (32) at the tip of the cylinder (31) is cooled at an extremely low temperature. Is generated, and the object to be cooled (2) is cooled and maintained at a similar cryogenic level by the cold.

【0028】そして、上記膨張機(E)において作動空
間(36)周りの部分以外のシリンダ(31)は被冷却
体(2)と共に真空容器(1)内に配設されており、こ
の真空容器(1)内の真空によりシリンダ(31)及び
被冷却体(2)を断熱するようにしている。上記真空容
器(1)には、上記シリンダ(31)及びそのコールド
ヘッド(32)挿通可能な開口部(46)が形成されて
おり、この開口部(46)はシリンダ(31)に一体形
成した蓋部(47)により気密状に閉じられる。
In the expander (E), the cylinder (31) other than the portion around the working space (36) is disposed in the vacuum vessel (1) together with the object to be cooled (2). The cylinder (31) and the object to be cooled (2) are thermally insulated by the vacuum in (1). The vacuum vessel (1) is formed with an opening (46) through which the cylinder (31) and its cold head (32) can be inserted, and the opening (46) is formed integrally with the cylinder (31). It is closed in an airtight manner by the lid (47).

【0029】尚、上記作動ガスは、上記圧縮機(C)の
圧縮空間(11)、膨張機(E)のシリンダ(31)内
部(作動空間(36)、膨張空間(35)、蓄冷器(3
8)内)及び連結管(28)内部に充填されているが、
その他、圧縮機(C)の可動部(20)の動きを適正に
維持するためにケーシング(5)内の各背圧空間(1
2)にも充填されて封入されている。また、膨張機
(E)の作動空間(36)周りのシリンダ(31)に
は、作動空間(36)内の作動ガスを冷却するための冷
却用フィン(41),(41),…が突設されている。
The working gas is supplied to the compression space (11) of the compressor (C), the cylinder (31) of the expander (E) (the working space (36), the expansion space (35), the regenerator ( 3
8) and the inside of the connecting pipe (28),
In addition, in order to properly maintain the movement of the movable part (20) of the compressor (C), each back pressure space (1
2) is also filled and sealed. Further, cooling fins (41), (41),... For cooling the working gas in the working space (36) project into the cylinder (31) around the working space (36) of the expander (E). Has been established.

【0030】さらに、コールドヘッド(32)上に配置
される被冷却体(2)からリード線(19)が延びてい
る。このリード線(19)の中間部は、アンカーブロッ
ク(3)に均一に巻き付けられ、このアンカーブロック
(3)はシリンダ(31)と所定の間隔を開けて対向配
置され、且つシリンダ(31)の外周面に伝熱可能に固
定した複数のアンカーブロック取付用熱伝導ブロック
(3a),(3a),…に伝熱可能に且つ取り外し可能
に連結固定されている。そして、リード線(19)は、
上記のように該アンカーブロック(3)に巻き付けられ
た後、真空容器(1)の壁部を気密状に貫通するリード
線取出しポート(4)を介して真空容器(1)の外部に
延出されている。このリード線(19)は、被冷却体
(2)への電気信号等の入出力を行うために用いられ
る。
Further, a lead wire (19) extends from the cooled object (2) disposed on the cold head (32). The intermediate portion of the lead wire (19) is uniformly wound around the anchor block (3), and the anchor block (3) is arranged opposite to the cylinder (31) at a predetermined interval, and is arranged at a predetermined distance from the cylinder (31). A plurality of anchor block mounting heat conductive blocks (3a), (3a),... Fixed to the outer peripheral surface so as to be able to conduct heat are connected and fixed so as to be able to conduct heat and to be detachable. And the lead wire (19)
After being wound around the anchor block (3) as described above, it extends to the outside of the vacuum vessel (1) through a lead wire take-out port (4) that penetrates the wall of the vacuum vessel (1) in an airtight manner. Have been. The lead wire (19) is used to input and output electric signals and the like to and from the cooled object (2).

【0031】図2(a)は上記リード線(19)を巻き
付けたアンカーブロック(3)が熱伝導ブロック(3
a)に連結支持されている状態を、また、図2(b)
は、図2(a)の断面図をそれぞれ示す。図3(a)
は、アンカーブロック(3)が熱伝導ブロック(3a)
から取り外された状態を、また、図3(b)は、図3
(a)の断面図をそれぞれ示している。本実施形態で
は、アンカーブロック(3)を連結支持する熱伝導ブロ
ック(3a)はシリンダ(31)の外周表面にほぼ等間
隔を開けて3カ所設けられている。そして、アンカーブ
ロック(3)の外周面には直径方向に対向して1対の取
付部が突設され、この両取付部を貫通する取付用ネジ
(3b)の先端部を熱伝導ブロック(3a)に螺合締結
することでアンカーブロック(3)が取付用ネジ(3
b)により熱伝導ブロック(3a)に取り外し可能に締
結固定される。
FIG. 2A shows that the anchor block (3) around which the lead wire (19) is wound is a heat conduction block (3).
FIG. 2 (b) shows the state of being connected and supported in FIG.
Shows cross-sectional views of FIG. FIG. 3 (a)
Means that the anchor block (3) is a heat conducting block (3a)
FIG. 3 (b) shows a state in which
The cross-sectional views of FIG. In this embodiment, three heat conduction blocks (3a) for connecting and supporting the anchor block (3) are provided at substantially equal intervals on the outer peripheral surface of the cylinder (31). A pair of mounting portions project from the outer peripheral surface of the anchor block (3) so as to face each other in the diametrical direction. The distal ends of the mounting screws (3b) penetrating both mounting portions are connected to the heat conduction block (3a). ) Is screwed into the anchor block (3) so that the mounting screws (3) are attached.
By b), it is detachably fastened and fixed to the heat conduction block (3a).

【0032】そして、アンカーブロック(3)の構成
は、図5(a)に示す良熱伝導体からなる肉厚の薄い筒
体、図5(b)に示す熱伝導の悪い材質から成り、肉厚
の厚い筒体、及び図5(c)に示す如く、熱伝導の悪い
材質から成る中実体とすることができる。上記良熱伝導
体として、例えば銅やアルミニウム、また、上記熱伝導
の悪い材質として、例えばSUSや樹脂等とすることが
できる。
The structure of the anchor block (3) is made of a thin cylinder made of a good heat conductor as shown in FIG. 5 (a) and a material having poor heat conductivity as shown in FIG. 5 (b). As shown in FIG. 5 (c), a thick cylinder and a solid body made of a material having poor heat conductivity can be used. Examples of the good heat conductor include copper and aluminum, and examples of the material having poor heat conductivity include SUS and resin.

【0033】次に、本実施形態において、冷凍機(R)
を取り外す行程を説明する。まず、真空容器(1)内を
大気に開放した後、取付用ネジ(3b)を取り外すこと
で、被冷却体(2)からのリード線(19)が巻き付け
られたアンカーブロック(3)を熱伝導ブロック(3
a)から取り外す。次いで、コールドヘッド(32)と
被冷却体(2)との接触、及び真空容器(1)と膨張機
(E)側の蓋部(47)との連結を取り外し、膨張機
(E)のシリンダ(31)を真空容器(1)の開口部
(46)から抜き出すことで、図4に示すように冷凍機
(R)を真空容器(1)から取り外すことができる。
Next, in this embodiment, the refrigerator (R)
The process of removing the cover will be described. First, after the inside of the vacuum vessel (1) is opened to the atmosphere, the mounting screw (3b) is removed, so that the anchor block (3) around which the lead wire (19) from the object to be cooled (2) is wound is heated. Conduction block (3
Remove from a). Next, the contact between the cold head (32) and the object to be cooled (2) and the connection between the vacuum vessel (1) and the lid (47) on the side of the expander (E) are removed, and the cylinder of the expander (E) is removed. By extracting (31) from the opening (46) of the vacuum vessel (1), the refrigerator (R) can be removed from the vacuum vessel (1) as shown in FIG.

【0034】従って、本実施形態では、このようにリー
ド線(19)はアンカーブロック(3)に巻き付けたま
まで膨張機(E)を真空容器(1)から取り外すので、
図6に示す従来の極低温冷凍機(R)のようにリード線
(19)をシリンダ(31)から取り外す作業を省くこ
とができ、その作業効率を大きく改善することができ
る。また、取り外し作業が非常に容易となるため、従来
のように取り外し中の作業ミスが原因となって冷凍機が
故障するといった問題を確実に軽減することができる。
Accordingly, in the present embodiment, the expander (E) is removed from the vacuum vessel (1) while the lead wire (19) is wound around the anchor block (3) as described above.
The work of removing the lead wire (19) from the cylinder (31) as in the conventional cryogenic refrigerator (R) shown in FIG. 6 can be omitted, and the work efficiency can be greatly improved. Further, since the detaching operation becomes very easy, it is possible to surely reduce the problem that the refrigerator is broken down due to an operation mistake during the detachment as in the related art.

【0035】また、上記の構成により、膨張機(E)を
真空容器(1)内からの取り外しする際、上記リード線
(19)が巻き付けられているアンカーブロック(3)
をシリンダ(31)の外周面に固定のアンカーブロック
取付用熱伝導ブロック(3a)から取り外すのみでよ
く、リード線(19)をシリンダ(31)に巻き付けて
いる構造のようにリード線(19)自体を取り外す必要
がなく、よって、膨張機(E)を真空容器(1)内から
容易に取り外すことができる。
With the above configuration, when the expander (E) is removed from the vacuum vessel (1), the anchor block (3) around which the lead wire (19) is wound.
Need only be removed from the heat transfer block (3a) for fixing the anchor block to the outer peripheral surface of the cylinder (31), and the lead wire (19) is wound like the structure in which the lead wire (19) is wound around the cylinder (31). There is no need to remove the expander itself, so that the expander (E) can be easily removed from the vacuum vessel (1).

【0036】また、上記リード線(19)が巻き付けら
れているアンカーブロック(3)は、膨張機(E)のシ
リンダ(31)の外周面のアンカーブロック取付用熱伝
導ブロック(3a)に連結されているのでシリンダ(3
1)からの冷熱が伝熱性のあるアンカーブロック取付用
熱伝導ブロック(3a)を介してアンカーブロック
(3)に伝熱され、該アンカーブロック(3)をリード
線(19)とともにシリンダ(31)と同程度の温度勾
配に保って、リード線(19)による被冷却体(2)へ
の熱侵入を防ぐことができる。
The anchor block (3) around which the lead wire (19) is wound is connected to the anchor block mounting heat conducting block (3a) on the outer peripheral surface of the cylinder (31) of the expander (E). Cylinder (3
The cold heat from 1) is transmitted to the anchor block (3) via the heat conductive block (3a) for attaching the anchor block, which has heat conductivity, and the anchor block (3) is transferred to the cylinder (31) together with the lead wire (19). By keeping the temperature gradient at the same level as that described above, it is possible to prevent heat from entering the cooled object (2) by the lead wire (19).

【0037】そして、被冷却体(2)から延びるリード
線(19)が充分な長さを持ってアンカーブロック
(3)に巻き付けられるので、被冷却体運転装置側(約
300K)と被冷却体(2)(約80K)との大きな温
度差から生じる上記被冷却体運転装置側から上記被冷却
体(2)への侵入熱を確実に防止することができる。 (実施形態2)図7は本発明の実施形態2に係る極低温
冷却システムを示し(尚、以下の各実施形態では図1〜
図6と同じ部分については同じ符号を付し、その詳細な
説明は省く)、この実施形態では、極低温冷凍機(R)
はU字型パルス管冷凍機からなる。すなわち、この冷凍
機(R)は、圧縮機(C)を蓄冷器(T)を介してパル
ス管(P)の一端に接続し、このパルス管(P)の他端
をバッファ(B)にイナータンス管(48)を介して接
続することで構成されている。
Since the lead wire (19) extending from the object to be cooled (2) is wound around the anchor block (3) with a sufficient length, the operation side of the object to be cooled (about 300K) and the object to be cooled. (2) It is possible to reliably prevent heat from entering the object to be cooled (2) from the object-to-be-cooled member operating device side caused by a large temperature difference from (about 80K). (Embodiment 2) Fig. 7 shows a cryogenic cooling system according to Embodiment 2 of the present invention.
The same parts as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.) In this embodiment, the cryogenic refrigerator (R)
Consists of a U-shaped pulse tube refrigerator. That is, this refrigerator (R) connects the compressor (C) to one end of the pulse tube (P) via the regenerator (T), and connects the other end of the pulse tube (P) to the buffer (B). It is configured by connecting via an inertance tube (48).

【0038】上記圧縮機(C)は、実施形態1と同様
に、ピストン(10)の往復動により作動ガスの圧力変
化と体積変化とが起こる。この圧縮機(C)は、接続配
管(28)を介して蓄冷器(T)(再生式熱交換機)の
高温端(49)に連通している。蓄冷器(T)は、円筒
状の筒体内部に鉛や銅等から成る蓄冷材を収納してな
る。蓄冷器(T)の圧縮機(C)側の高温端(49)
は、圧縮機(C)の圧縮過程において作動ガスの圧縮熱
を帯びるが、この熱は外部に放熱される。また、蓄冷器
(T)の圧縮機(C)と反対側の低温端(50)はパル
ス管(P)に接続される。
In the compressor (C), the pressure and volume of the working gas change due to the reciprocating motion of the piston (10) as in the first embodiment. The compressor (C) communicates with a high-temperature end (49) of a regenerator (T) (a regenerative heat exchanger) via a connection pipe (28). The regenerator (T) contains a regenerator material made of lead, copper, or the like inside a cylindrical body. High temperature end (49) of compressor (C) side of regenerator (T)
Takes the compression heat of the working gas during the compression process of the compressor (C), and this heat is radiated to the outside. Further, a low-temperature end (50) of the regenerator (T) opposite to the compressor (C) is connected to the pulse tube (P).

【0039】そして、蓄冷器(T)とパルス管(P)と
が略平行に配置されていて、両者と略直交する方向に延
びる連通部(51)により接続され、この連通部(5
1)は極低温レベルの寒冷を発生するコールドヘッド
(32)に覆われている。また、真空容器(1)内に上
記パルス管(P)、蓄冷器(T)及び被冷却体(2)が
外部からの熱侵入を防ぐために収納されている。一方、
圧縮機(C)、バッファ(B)及び高温端部(49),
(51)は発熱を伴うため真空容器(1)外部に設置さ
れる。
The regenerator (T) and the pulse tube (P) are arranged substantially parallel to each other, and are connected by a communication portion (51) extending in a direction substantially orthogonal to both.
1) is covered by a cold head (32) that generates cryogenic levels of cold. The pulse tube (P), the regenerator (T), and the object to be cooled (2) are housed in the vacuum vessel (1) to prevent heat from entering from outside. on the other hand,
Compressor (C), buffer (B) and hot end (49),
Since (51) involves heat generation, it is installed outside the vacuum vessel (1).

【0040】(B)は内部に空間を有するバッファで、
このバッファ(B)内の空間はイナータンス管(48)
を介して上記パルス管(P)の高温端(52)と連結さ
れており、パルス管(P)から押し出された作動ガスを
イナータンス管(48)にて断熱膨張により更に冷却
し、このバッファ(B)に流入させ、そのバッファ
(B)内の閉塞空間で作動ガスの流れを制御するように
している。つまり、圧縮機(C)から供給された作動ガ
スは、接続配管(28)、蓄冷器(T)、連通部(5
1)、パルス管(P)及びイナータンス管(48)を通
ってバッファ(B)に導入される。
(B) is a buffer having a space inside,
The space in the buffer (B) is an inertance tube (48)
The working gas pushed out of the pulse tube (P) is further cooled by adiabatic expansion in the inertance tube (48), and is connected to the high-temperature end (52) of the pulse tube (P) via B), and the flow of the working gas is controlled in a closed space in the buffer (B). That is, the working gas supplied from the compressor (C) is supplied to the connection pipe (28), the regenerator (T), and the communication section (5).
1), introduced into the buffer (B) through the pulse tube (P) and the inertance tube (48).

【0041】そして、本実施形態では、コールドヘッド
(32)上に配置される被冷却体(2)から引き出され
たリード線(19)はアンカーブロック(3)に均一に
巻き付けられ、このアンカーブロック(3)は、蓄冷器
(T)と所定の間隔を開けて対向配置され、且つ蓄冷器
(T)の外周面に伝熱可能に固定した複数のアンカーブ
ロック取付用熱伝導ブロック(3a),(3a),…に
伝熱可能に且つ取り外し可能に連結固定されている。そ
して、リード線(19)は、上記のようにアンカーブロ
ック(3)に巻き付けられた後、真空容器(1)の壁部
を気密状に貫通するリード線取出しポート(4)を介し
て真空容器(1)の外部に延出されている。その他の構
成は上記実施形態1と同様である。
In this embodiment, the lead wire (19) drawn from the cooled object (2) disposed on the cold head (32) is uniformly wound around the anchor block (3), (3) a plurality of heat transfer blocks (3a) for mounting an anchor block, which are opposed to the regenerator (T) at a predetermined interval and are fixed to the outer peripheral surface of the regenerator (T) so as to be able to conduct heat. (3a), are connected and fixed so as to be able to conduct heat and to be removable. Then, after the lead wire (19) is wound around the anchor block (3) as described above, the vacuum container (1) is passed through the wall of the vacuum container (1) in an airtight manner through a lead wire outlet port (4). It is extended outside (1). Other configurations are the same as those in the first embodiment.

【0042】次に、本実施形態のU字型パルス管冷凍機
の作動を説明する。圧縮機(C)の圧縮過程においてピ
ストン(10)が圧縮動作すると、圧縮された作動ガス
は接続配管(28)を通り、蓄冷器(T)の高温端(4
9)及び蓄冷器(T)にてその圧縮熱を放熱した後、連
通部(51)を介してパルス管(P)に流入し、このパ
ルス管(P)内にある作動ガスを圧縮し、その圧縮熱を
パルス管(P)の壁を介して放出する。さらに、作動ガ
スはイナータンス管(48)を通ってバッファ(B)に
流入する。その後、圧縮機(C)の膨張過程でピストン
(10)が吸引動作すると、作動ガスはバッファ(B)
から圧縮機(C)側に向かう方向に復帰移動しようとし
て、バッファ(B)からイナータンス管(48)を通
り、パルス管(P)内で断熱膨張して更に低温化する。
この低温となった作動ガスは、コールドヘッド(32)
を冷却した後に蓄冷器(T)及び接続配管(51)を通
り圧縮機(C)に戻る方向に流れる。上記のような作動
ガスの圧縮膨張サイクルを繰り返すと、圧縮機(C)の
膨張過程前に高温端(49),(52)側で熱の除去が
行われているため、膨張過程では作動ガスはパルス管
(P)の壁から熱を受けて、パルス管(P)の低温端
(53)は最も温度の低い部分となり、コールドヘッド
(32)に極低温レベルの寒冷を得ることができる。
Next, the operation of the U-shaped pulse tube refrigerator of this embodiment will be described. When the piston (10) performs a compression operation in the compression process of the compressor (C), the compressed working gas passes through the connection pipe (28) and passes through the high-temperature end (4) of the regenerator (T).
9) and after radiating the heat of compression in the regenerator (T), flows into the pulse tube (P) through the communication part (51), and compresses the working gas in the pulse tube (P). The heat of compression is released through the wall of the pulse tube (P). Further, the working gas flows into the buffer (B) through the inertance pipe (48). Thereafter, when the piston (10) performs a suction operation during the expansion process of the compressor (C), the working gas is transferred to the buffer (B).
From the buffer (B) through the inertance tube (48), adiabatically expands in the pulse tube (P) to further lower the temperature.
The cold working gas is supplied to the cold head (32)
After cooling, it flows in a direction returning to the compressor (C) through the regenerator (T) and the connection pipe (51). When the compression / expansion cycle of the working gas as described above is repeated, the heat is removed at the high temperature ends (49) and (52) before the expansion process of the compressor (C). Receives heat from the wall of the pulse tube (P), the cold end (53) of the pulse tube (P) becomes the coldest part, and it is possible to obtain a cryogenic level of cold in the cold head (32).

【0043】次に、本実施形態における冷凍機(R)の
取り外す行程を説明する。まず、真空容器(1)内を大
気に開放した後、取付用ネジ(3b)を取り外すこと
で、被冷却体(2)からのリード線(19)が巻き付け
られたアンカーブロック(3)を熱伝導ブロック(3
a)から取り外す。次いで、コールドヘッド(32)と
被冷却体(2)との接触、及び真空容器(1)とパルス
管(P)側の蓋部(47)との連結を取り外し、蓄冷器
(T)及びパルス管(P)を真空容器(1)の開口部
(46)から抜き出すことで、冷凍機(R)を真空容器
(1)から取り外すことができる。
Next, the process of removing the refrigerator (R) in the present embodiment will be described. First, after the inside of the vacuum vessel (1) is opened to the atmosphere, the mounting screw (3b) is removed, so that the anchor block (3) around which the lead wire (19) from the object to be cooled (2) is wound is heated. Conduction block (3
Remove from a). Next, contact between the cold head (32) and the object to be cooled (2) and connection between the vacuum vessel (1) and the lid (47) on the side of the pulse tube (P) are removed, and the regenerator (T) and the pulse are removed. The refrigerator (R) can be removed from the vacuum vessel (1) by extracting the pipe (P) from the opening (46) of the vacuum vessel (1).

【0044】従って、本実施形態でも、リード線(1
9)はアンカーブロック(3)に巻き付けたままでパル
ス管(P)及び蓄冷器(T)を真空容器(1)から取り
外すことができるので、上記実施形態1と同様の作用効
果を得ることができる。
Therefore, also in this embodiment, the lead wire (1
In 9), since the pulse tube (P) and the regenerator (T) can be removed from the vacuum vessel (1) while being wound around the anchor block (3), the same operation and effect as those in the first embodiment can be obtained. .

【0045】尚、本実施形態では、熱伝導ブロック(3
a)を蓄冷器(T)の外表面に設け、この熱伝導ブロッ
ク(3a)にアンカークロック(3)を取り外し可能に
固定することで、被冷却体(2)から延びるリード線の
アンカーを取ったが、本発明はこれに限らず、例えば、
上記熱伝導ブロック(3a)をパルス管(P)の外表面
に設けてパルス管(P)側にアンカーブロック(3)を
固定することで被冷却体から延びるリード線のアンカー
を取ることも可能である。 (実施形態3)図8は本発明の実施形態3に係る極低温
冷却システムの全体構成を示し、極低温冷凍機(R)は
ギフォード・マクマホンサイクルを有するGM冷凍機か
らなる。すなわち、この冷凍機(R)は、シリンダ(3
1)内でディスプレーサ(37)を往復動させて高圧の
作動ガスを膨張させる膨張機(E)と、作動ガスを圧縮
する圧縮機ユニット(Y)とで構成されている。
In this embodiment, the heat conduction block (3
a) is provided on the outer surface of the regenerator (T), and the anchor clock (3) is detachably fixed to the heat conduction block (3a), so that the lead wire extending from the object to be cooled (2) is anchored. However, the present invention is not limited to this. For example,
By providing the heat conduction block (3a) on the outer surface of the pulse tube (P) and fixing the anchor block (3) on the pulse tube (P) side, it is also possible to take the anchor of the lead wire extending from the object to be cooled. It is. (Embodiment 3) FIG. 8 shows the overall configuration of a cryogenic cooling system according to Embodiment 3 of the present invention, and the cryogenic refrigerator (R) comprises a GM refrigerator having a Gifford McMahon cycle. That is, the refrigerator (R) is provided with the cylinder (3)
It comprises an expander (E) for expanding a high-pressure working gas by reciprocating a displacer (37) in 1), and a compressor unit (Y) for compressing the working gas.

【0046】上記圧縮機(Y)は、上記各実施形態1,
2の圧縮機とは異なり、吸入ポート(61)から吸い込
んだ低圧の作動ガスを圧縮して吐出ポート(60)から
吐出させる。一方、上記膨張機(E)は密閉状のモータ
ヘッド(54)を備えている。上記モータヘッド(5
4)には高圧ガス入口(55)と低圧ガス出口(56)
とが開口され、高圧ガス入口(55)は圧縮機ユニット
(Y)の吐出ポート(60)に高圧配管(57)を介し
て、また低圧ガス出口(56)は同圧縮機(Y)の吸入
ポート(61)に低圧配管(58)を介してそれぞれ接
続されている。
The compressor (Y) is provided in each of the first and second embodiments.
Unlike the second compressor, the low-pressure working gas sucked from the suction port (61) is compressed and discharged from the discharge port (60). On the other hand, the expander (E) includes a closed motor head (54). The motor head (5
4) high pressure gas inlet (55) and low pressure gas outlet (56)
The high-pressure gas inlet (55) is connected to a discharge port (60) of the compressor unit (Y) via a high-pressure pipe (57), and the low-pressure gas outlet (56) is suctioned by the compressor (Y). Ports (61) are connected to each other through low-pressure pipes (58).

【0047】シリンダ(31)内には、ディスプレーサ
(37)により膨張空間(35)と、作動室(59)と
が区画形成されている。そして、上記モータヘッド(5
4)内には、図示しないがモータ(62)の駆動により
上記ディスプレーサ(37)をシリンダ(31)内で往
復動させる駆動機構と、このディスプレーサ(37)の
往復動に同期してシリンダ(31)内の膨張空間(3
5)に、上記高圧ガス入口(55)からの高圧の作動ガ
スを供給する高圧開弁状態、及び膨張空間(35)の作
動ガスを低圧ガス出口(56)に排出する低圧開弁状態
に切り換わる切換バルブ(図示せず)が配設されてい
る。
In the cylinder (31), an expansion space (35) and a working chamber (59) are defined by a displacer (37). Then, the motor head (5)
A drive mechanism (not shown) for driving the motor (62) to reciprocate the displacer (37) in the cylinder (31) and a cylinder (31) in synchronism with the reciprocation of the displacer (37). ) Expansion space (3)
5) Switching to a high-pressure valve opening state for supplying high-pressure working gas from the high-pressure gas inlet (55) and a low-pressure valve opening state for discharging the working gas in the expansion space (35) to the low-pressure gas outlet (56). An alternate switching valve (not shown) is provided.

【0048】そして、モータヘッド(54)内の切換バ
ルブの切換により上記高圧配管(57)及び低圧配管
(58)を膨張機(E)のシリンダ(31)内に交互に
連通させ、ディスプレーサ(37)の往復動により、シ
リンダ(31)内の膨張空間(35)で作動ガスを膨張
させてコールドヘッド(32)に極低温レベルの寒冷を
生じさせるようになっている。
By switching the switching valve in the motor head (54), the high-pressure pipe (57) and the low-pressure pipe (58) are alternately connected to the cylinder (31) of the expander (E). The reciprocating motion causes the working gas to expand in the expansion space (35) in the cylinder (31) to cause cryogenic cooling at the cold head (32).

【0049】本実施形態では、上記実施形態1と同様に
シリンダ(31)左端のコールドヘッド(32)上に配
置される被冷却体(2)から延びるリード線(19)の
中間部はシリンダ(31)に熱伝導ブロック(3a)を
介して固定されたアンカーブロック(3)に均一に巻き
付けられ、このリード線(19)は、真空容器(1)の
壁部のリード線取出しポート(4)を介して真空容器
(1)の外部に延出されている。
In the present embodiment, as in the first embodiment, the intermediate portion of the lead wire (19) extending from the cooled object (2) disposed on the cold head (32) at the left end of the cylinder (31) is a cylinder (31). 31) is uniformly wound around an anchor block (3) fixed via a heat conduction block (3a), and this lead wire (19) is connected to a lead wire outlet port (4) in the wall of the vacuum vessel (1). And extends outside the vacuum vessel (1).

【0050】そして、冷凍機(R)を取り外す行程で
は、真空容器(1)内を大気に開放した後、取付用ネジ
(3b)を取り外すことで、被冷却体(2)からのリー
ド線(19)が巻き付けられたアンカーブロック(3)
を熱伝導ブロック(3a)から取り外す。次いで、コー
ルドヘッド(32)と被冷却体(2)との接触、及び真
空容器(1)とシリンダ(31)側の蓋部(47)との
連結を取り外し、膨張機(E)を真空容器(1)の開口
部(46)から抜き出すことで、冷凍機(R)を真空容
器(1)から取り外すことができる。
In the process of removing the refrigerator (R), the interior of the vacuum vessel (1) is opened to the atmosphere, and then the mounting screws (3b) are removed to remove the lead wires (2) from the cooled object (2). Anchor block (3) around which 19) is wound
Is removed from the heat conduction block (3a). Next, the contact between the cold head (32) and the object to be cooled (2) and the connection between the vacuum vessel (1) and the lid (47) on the cylinder (31) side are removed, and the expander (E) is placed in the vacuum vessel. By extracting the refrigerator (R) from the opening (46) of (1), the refrigerator (R) can be removed from the vacuum vessel (1).

【0051】従って、本実施形態でも、リード線(1
9)はアンカーブロック(3)に巻き付けたままで冷凍
機(R)を真空容器(1)から取り外すことができるの
で、上記実施形態1と同様の作用効果を得ることができ
る。
Therefore, also in this embodiment, the lead wire (1
In (9), since the refrigerator (R) can be removed from the vacuum vessel (1) while being wound around the anchor block (3), the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よると、コールドヘッドに極低温レベルの寒冷を発生さ
せる極低温冷凍機と、極低温レベルに冷却保持される被
冷却体と、少なくとも上記寒冷発生手段等を収容する真
空容器とを備えた極低温冷却システムであって、上記コ
ールドヘッドを除く寒冷発生手段に伝熱可能に固定され
た少なくとも1つのアンカーブロック取付用熱伝導ブロ
ックと、上記アンカーブロック取付用熱伝導ブロックに
伝熱可能に且つ取り外し可能に連結され、上記被冷却体
からのリード線を巻き付けるアンカーブロックとを設け
たことにより、寒冷発生手段を真空容器内からの取り外
しする際、リード線が巻き付けられているアンカーブロ
ックをアンカーブロック取付用熱伝導ブロックから取り
外すのみで上記寒冷発生手段の真空容器内からの取り外
しを容易化し、また、上記アンカーブロックは、寒冷発
生手段からの冷熱が伝熱性のあるアンカーブロック取付
用熱伝導ブロックを介してアンカーブロックに伝熱さ
れ、該アンカーブロックをリード線とともに寒冷発生手
段と同程度の温度勾配に保って、リード線による被冷却
体への熱侵入を防止する。
As described above, according to the first aspect of the present invention, at least a cryogenic refrigerator for generating a cryogenic level of cold in a cold head, an object to be cooled cooled and held at a cryogenic level, A cryogenic cooling system comprising a vacuum vessel containing the cold generating means and the like, wherein at least one anchor block mounting heat conductive block fixed to the cold generating means excluding the cold head so as to be able to conduct heat, By providing an anchor block which is connected to the heat conduction block for anchor block attachment so as to be able to conduct heat and is detachable and winds a lead wire from the object to be cooled, the cold generating means is removed from the vacuum vessel. When removing the anchor block, just remove the anchor block around which the lead wire is wound from the heat conduction block for attaching the anchor block. The anchor block facilitates removal of the generating means from the inside of the vacuum vessel, and heat of the anchor block is transferred to the anchor block via the heat conductive block for mounting the anchor block, which has heat conductivity. The block and the lead are kept at the same temperature gradient as that of the cold generating means to prevent the lead from invading heat to the object to be cooled.

【0053】請求項2の発明では、上記寒冷発生手段
は、内部にディスプレーサを往復動可能に嵌装されたシ
リンダを有し、上記シリンダの外周面にアンカーブロッ
ク取付用熱伝導ブロックが固定されている。また、請求
項3の発明では、上記寒冷発生手段は、圧縮機に蓄冷器
を介して接続されたパルス管を有し、上記蓄冷器の外周
面にアンカーブロック取付用熱伝導ブロックが固定され
ている。
According to the second aspect of the present invention, the cold generating means has a cylinder in which a displacer is reciprocally fitted, and a heat conductive block for attaching an anchor block is fixed to an outer peripheral surface of the cylinder. I have. Further, in the invention according to claim 3, the cold generation means has a pulse tube connected to the compressor via a regenerator, and a heat conduction block for attaching an anchor block is fixed to an outer peripheral surface of the regenerator. I have.

【0054】上記の構成により、極低温冷却システムと
して、内部にディスプレーサが嵌装されたシリンダを有
するスターリング冷凍機及びGM冷凍機、或いは蓄冷器
を有するパルス管冷凍機を用いることができ、シリンダ
又は蓄冷器の外周面にアンカーブロック取付用熱伝導ブ
ロックを介してアンカーブロックを設けることで、上記
請求項1と同様の作用効果を得ることができる。
With the above configuration, a Stirling refrigerator and a GM refrigerator having a cylinder in which a displacer is fitted, or a pulse tube refrigerator having a regenerator can be used as the cryogenic cooling system. By providing the anchor block on the outer peripheral surface of the regenerator via the heat conduction block for attaching the anchor block, the same operation and effect as in claim 1 can be obtained.

【0055】請求項4の発明によると、アンカーブロッ
クを、熱伝導性の高い筒体で構成する。また、請求項5
の発明によると、アンカーブロックを、中実体で構成す
る。
According to the fourth aspect of the present invention, the anchor block is made of a highly heat-conductive cylinder. Claim 5
According to the invention, the anchor block is formed of a solid body.

【0056】これらの発明によると、寒冷発生手段から
の冷熱が、より一層アンカーブロックに伝熱されやすく
なり、効率的にアンカーブロック全体を冷却することが
できる。
According to these inventions, the cold from the cold generating means is more easily transferred to the anchor block, and the entire anchor block can be efficiently cooled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1に係るスターリング型冷凍
機を概略的に示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a Stirling refrigerator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態に係るアンカーブロックが熱
伝導ブロックに連結支持されている状態を示す拡大図で
ある。
FIG. 2 is an enlarged view showing a state in which the anchor block according to the embodiment of the present invention is connected and supported by a heat conductive block.

【図3】本発明の実施形態に係るアンカーブロックが熱
伝導ブロックから取り外されている状態を示す拡大図で
ある。
FIG. 3 is an enlarged view showing a state in which the anchor block according to the embodiment of the present invention has been removed from the heat conductive block.

【図4】本発明の実施形態に係るアンカーブロックを取
り外した後の極低温冷凍機を概略的に示す断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the cryogenic refrigerator after removing the anchor block according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態に係るアンカーブロックの他
の構成図である。
FIG. 5 is another configuration diagram of the anchor block according to the embodiment of the present invention.

【図6】従来の極低温冷凍機を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional cryogenic refrigerator.

【図7】本発明の実施形態2に係るU字型パルス管冷凍
機を概略的に示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view schematically showing a U-shaped pulse tube refrigerator according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態3に係るGM冷凍機を概略的
に示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view schematically showing a GM refrigerator according to Embodiment 3 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(1) 真空容器 (2) 被冷却体 (3) アンカーブロック (3a) 熱伝導ブロック (3b) 取付用ネジ (4) リード線取出しポート (19) リード線 (31) シリンダ (32) コールドヘッド (35) 膨張空間 (48) イナータンス管 (51) 連通部 (54) モータヘッド (B) バッファ (C) 圧縮機 (E) 膨張機 (R) 冷凍機 (Y) 圧縮機ユニット (1) Vacuum container (2) Object to be cooled (3) Anchor block (3a) Heat conduction block (3b) Mounting screw (4) Lead wire extraction port (19) Lead wire (31) Cylinder (32) Cold head ( 35) Expansion space (48) Inertance pipe (51) Communication part (54) Motor head (B) Buffer (C) Compressor (E) Expander (R) Refrigerator (Y) Compressor unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外島 隆造 大阪府堺市金岡町1304番地 ダイキン工業 株式会社堺製作所金岡工場内 Fターム(参考) 4M114 AA31 CC05 CC11 DA02 DA33 DA34 DA51 DA52  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Ryuzo Toshima 1304 Kanaokacho, Sakai City, Osaka Daikin Industries, Ltd. Sakai Seisakusho Kanaoka Factory F-term (reference) 4M114 AA31 CC05 CC11 DA02 DA33 DA34 DA51 DA52

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧縮機(C)で圧縮された作動ガスを膨
張させて寒冷発生手段のコールドヘッド(32)に極低
温レベルの寒冷を発生させる極低温冷凍機(R)と、 リード線(19)が接続され、上記コールドヘッド(3
2)から伝熱されて極低温レベルに冷却保持される被冷
却体(2)と、 少なくとも上記寒冷発生手段の一部、被冷却体(2)及
びリード線(19)を真空断熱状態で収容する真空容器
(1)とを備えた極低温冷却システムであって、 上記真空容器(1)内に位置し且つ上記コールドヘッド
(32)を除く寒冷発生手段に伝熱可能に固定された少
なくとも1つのアンカーブロック取付用熱伝導ブロック
(3a)と、 上記アンカーブロック取付用熱伝導ブロック(3a)に
伝熱可能に且つ取り外し可能に連結され、上記被冷却体
(2)からのリード線(19)を巻き付けるアンカーブ
ロック(3)とを設けたことを特徴とする極低温冷却シ
ステム。
1. A cryogenic refrigerator (R) for expanding a working gas compressed by a compressor (C) to generate a cryogenic level of cold in a cold head (32) of a cold generating means; 19) is connected to the cold head (3).
The object to be cooled (2), which is transferred from the element (2) and is cooled and held at a cryogenic level, and at least a part of the cold generating means, the object to be cooled (2) and the lead wire (19) are housed in a vacuum insulated state. A cryogenic cooling system, comprising: a vacuum vessel (1) that performs heat transfer, wherein at least one of the vacuum vessels (1) is located in the vacuum vessel (1) and is fixed to a cold generating means other than the cold head (32) so as to be able to conduct heat. A heat transfer block (3a) for attaching an anchor block; and a lead wire (19) that is removably connected to the heat transfer block (3a) for attaching an anchor block and that is detachably connected to the object (2). A cryogenic cooling system, comprising:
【請求項2】 請求項1の極低温冷却システムにおい
て、寒冷発生手段は、内部にディスプレーサ(37)を
往復動可能に嵌装されたシリンダ(31)を有し、 上記シリンダ(37)の外周面にアンカーブロック取付
用熱伝導ブロック(3a)が固定されていることを特徴
とする極低温冷却システム。
2. The cryogenic cooling system according to claim 1, wherein the cold generating means has a cylinder (31) in which a displacer (37) is reciprocally fitted, and an outer periphery of the cylinder (37). A cryogenic cooling system, wherein a heat conduction block (3a) for attaching an anchor block is fixed to a surface.
【請求項3】 請求項1の極低温冷却システムにおい
て、 寒冷発生手段は、圧縮機(C)に蓄冷器(T)を介して
接続されたパルス管(P)を有し、 上記蓄冷器(T)の外周面にアンカーブロック取付用熱
伝導ブロック(3a)が固定されていることを特徴とす
る極低温冷却システム。
3. The cryogenic cooling system according to claim 1, wherein the cold generation means has a pulse tube (P) connected to the compressor (C) via a regenerator (T). A cryogenic cooling system, wherein a heat conductive block (3a) for attaching an anchor block is fixed to an outer peripheral surface of T).
【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一つの極低温冷
却システムにおいて、 アンカーブロック(3)は、熱伝導性の高い筒体で構成
されることを特徴とする極低温冷却システム。
4. The cryogenic cooling system according to claim 1, wherein the anchor block (3) is formed of a cylinder having high thermal conductivity.
【請求項5】 請求項1〜3のいずれか一つの極低温冷
却システムにおいて、 アンカーブロック(3)は、中実体で構成されることを
特徴とする極低温冷却システム。
5. The cryogenic cooling system according to claim 1, wherein the anchor block (3) is formed of a solid body.
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