JP2001284539A - Microwave integrated circuit device - Google Patents

Microwave integrated circuit device

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JP2001284539A
JP2001284539A JP2000159169A JP2000159169A JP2001284539A JP 2001284539 A JP2001284539 A JP 2001284539A JP 2000159169 A JP2000159169 A JP 2000159169A JP 2000159169 A JP2000159169 A JP 2000159169A JP 2001284539 A JP2001284539 A JP 2001284539A
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JP
Japan
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resistance
pattern
resistance value
resistance pattern
upper electrode
Prior art date
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Application number
JP2000159169A
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Japanese (ja)
Inventor
Haruo Kojima
治夫 小島
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microwave integrated circuit device which can avoid enlarging a resistance pattern having a high resistance value and avoid deteriorating the accuracy of the resistance value of a resistance pattern having a low resistance value. SOLUTION: A first upper electrode 13, first series connecting resistance pattern 14, second upper electrode 15, second series connecting resistance pattern 16, and third upper electrode 17 are connected one after another between an input and output terminals 12, 18. A parallel connecting resistance pattern 19 is connected to the second upper electrode 15 to form a fixed attenuator, and the sheet resistance of the parallel connecting resistance pattern 19 requiring a high resistance value is set to a higher value than the sheet resistance value of the first and second series connecting resistance patterns 14, 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波用通信
機器などに使用されるマイクロ波集積回路装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave integrated circuit device used for communication equipment for microwaves and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のマイクロ波集積回路装置につい
て、マイクロ波集積回路(以下MICという)基板上
に、マイクロストリップ線路や抵抗パターンを形成した
マイクロ波T形固定減衰器を例にとり図2を参照して説
明する。MIC基板21上に高周波入力端子22が設け
られ、高周波入力端子22に、マイクロストリップ線路
で構成された第1上部電極23が接続されている。第1
上部電極23は、第1直列接続用抵抗パターン24を介
してマイクロストリップ線路で構成された第2上部電極
25に接続されている。第2上部電極25は第2直列接
続用抵抗パターン26を介して、マイクロストリップ線
路で構成された第3上部電極27に接続されている。第
3上部電極27は高周波出力端子28に接続されてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows a conventional microwave integrated circuit device using a microwave T-type fixed attenuator having a microstrip line and a resistance pattern formed on a microwave integrated circuit (hereinafter referred to as MIC) substrate. I will explain. A high-frequency input terminal 22 is provided on the MIC substrate 21, and a first upper electrode 23 composed of a microstrip line is connected to the high-frequency input terminal 22. First
The upper electrode 23 is connected to a second upper electrode 25 formed of a microstrip line via a first series connection resistance pattern 24. The second upper electrode 25 is connected to a third upper electrode 27 formed of a microstrip line via a second series connection resistance pattern 26. The third upper electrode 27 is connected to the high frequency output terminal 28.

【0003】また、第2上部電極25は、並列接続用抵
抗パターン29に接続され、並列接続用抵抗パターン2
9はバイアホール30を通して接地されている。
Further, the second upper electrode 25 is connected to the parallel connection resistance pattern 29, and is connected to the parallel connection resistance pattern 2.
9 is grounded through a via hole 30.

【0004】上記した構成において、第1、第2の直列
接続用抵抗パターン24、26のシート抵抗値、およ
び、並列接続用抵抗パターン29のシート抵抗値は、い
ずれも同じ大きさたとえば50Ωに設定されている。
In the above configuration, the sheet resistance values of the first and second series connection resistance patterns 24 and 26 and the sheet resistance value of the parallel connection resistance pattern 29 are all set to the same size, for example, 50Ω. Have been.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来のマイクロ波集積
回路装置では、1つの基板上に複数の抵抗パターンを形
成する場合、複数の抵抗パターンは、通常、同じ工程で
形成される。そのため、複数の抵抗パターンのシート抵
抗値は同じ値に設定されている。
In the conventional microwave integrated circuit device, when a plurality of resistance patterns are formed on one substrate, the plurality of resistance patterns are usually formed in the same process. Therefore, the sheet resistance values of the plurality of resistance patterns are set to the same value.

【0006】しかし、MIC基板上に抵抗パターンをT
形に配置する固定減衰器は、減衰量を小さくする場合、
並列接続用抵抗パターン29の抵抗値を大きくし、第
1、第2の直列接続用抵抗パターン24、26の抵抗値
を小さくする必要がある。
However, the resistance pattern on the MIC substrate is T
A fixed attenuator placed in a shape can reduce the amount of attenuation.
It is necessary to increase the resistance value of the parallel connection resistance pattern 29 and to decrease the resistance values of the first and second series connection resistance patterns 24 and 26.

【0007】そのため、直列接続用および並列接続用の
抵抗パターンのシート抵抗値が同じ値であると、大きな
抵抗値の並列接続用抵抗パターンが長くなり、固定減衰
器の寸法が大きくなるという問題がある。
[0007] Therefore, if the sheet resistance of the series connection and the parallel connection resistance patterns is the same, the parallel connection resistance pattern having a large resistance value becomes long, and the size of the fixed attenuator becomes large. is there.

【0008】この場合、並列接続用抵抗パターンを短く
するために、抵抗パターンのシート抵抗値を大きくする
ことが考えられる。抵抗パターンのシート抵抗値を大き
くすると、逆に、直列接続用抵抗パターンの長さが短く
なり過ぎ、抵抗パターンの精度が低下し、抵抗値の精度
が悪くなるという問題がある。
In this case, in order to shorten the resistance pattern for parallel connection, it is conceivable to increase the sheet resistance value of the resistance pattern. On the contrary, when the sheet resistance value of the resistance pattern is increased, the length of the resistance pattern for series connection becomes too short, so that the accuracy of the resistance pattern is reduced and the accuracy of the resistance value is deteriorated.

【0009】たとえば、MIC基板の比誘電率が9.
8、MIC基板の厚さが0.254mm、マイクロスト
リップ線路の上部電極の幅が0.24mm、抵抗パター
ンのシート抵抗値が50Ω、抵抗パターンの実用になる
長さの最小値が0.05mm、固定減衰器の減衰量が3
dBの場合、並列接続用抵抗パターンの長さは約0.6
7mmと長くなる。
For example, the relative permittivity of the MIC substrate is 9.
8. The thickness of the MIC substrate is 0.254 mm, the width of the upper electrode of the microstrip line is 0.24 mm, the sheet resistance value of the resistance pattern is 50Ω, and the minimum value of the practical length of the resistance pattern is 0.05 mm. The attenuation of the fixed attenuator is 3
In the case of dB, the length of the resistance pattern for parallel connection is about 0.6
It is as long as 7 mm.

【0010】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、抵抗値が相違する複数の抵抗パターンを基板上に形
成する場合に、抵抗値が大きい抵抗パターンの大型化を
防止し、かつ、抵抗値の小さい抵抗パターンの抵抗値の
精度低下を防止したマイクロ波集積回路装置を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks. In the case where a plurality of resistance patterns having different resistance values are formed on a substrate, it is possible to prevent a resistance pattern having a large resistance value from increasing in size. It is an object of the present invention to provide a microwave integrated circuit device in which the resistance value of a resistance pattern having a small value is prevented from lowering.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、マイクロスト
リップ線路と、このマイクロストリップ線路の両側に直
接接続した第1の抵抗パターンと、前記マイクロストリ
ップ線路と並列に接続した第2の抵抗パターンとを基板
上に形成したT字形固定減衰器であって、前記第1の抵
抗パターンと前記第2の抵抗パターンとで用いられるシ
ート抵抗値が異なることを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a microstrip line, a first resistor pattern directly connected to both sides of the microstrip line, and a second resistor pattern connected in parallel with the microstrip line. In a T-shaped fixed attenuator formed on a substrate, wherein a sheet resistance value used in the first resistance pattern is different from a sheet resistance value used in the second resistance pattern.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、MI
C基板上に複数の抵抗パターンを形成したマイクロ波T
形固定減衰器を例にとり図1を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Microwave T with multiple resistance patterns formed on C substrate
An example of a fixed attenuator will be described with reference to FIG.

【0013】MIC基板11上に高周波入力端子12が
設けられている。高周波入力端子12に、マイクロスト
リップ線路で構成された第1上部電極13が接続されて
いる。第1上部電極13は、第1直列接続用抵抗パター
ン14を介してマイクロストリップ線路で構成された第
2上部電極15に接続されている。第2上部電極15は
第2直列接続用抵抗パターン16を介して、マイクロス
トリップ線路で構成された第3上部電極17に接続され
ている。第3上部電極17に高周波出力端子18が接続
されている。また、第2上部電極15は並列接続用抵抗
パターン19に接続され、並列接続用抵抗パターン19
はバイアホール20を通して接地されている。
A high frequency input terminal 12 is provided on an MIC substrate 11. A first upper electrode 13 composed of a microstrip line is connected to the high frequency input terminal 12. The first upper electrode 13 is connected to a second upper electrode 15 formed of a microstrip line via a first series connection resistor pattern 14. The second upper electrode 15 is connected to a third upper electrode 17 composed of a microstrip line via a second series connection resistance pattern 16. The high frequency output terminal 18 is connected to the third upper electrode 17. The second upper electrode 15 is connected to the parallel connection resistance pattern 19, and is connected to the parallel connection resistance pattern 19.
Are grounded through via holes 20.

【0014】上記した構成において、直列接続用抵抗パ
ターン14、16のシート抵抗値を、たとえば50Ω
に、また、並列接続用抵抗パターン19のシート抵抗値
を、たとえば200Ωに設定している。
In the above configuration, the sheet resistance of the series-connected resistance patterns 14 and 16 is set to, for example, 50Ω.
Further, the sheet resistance value of the parallel connection resistance pattern 19 is set to, for example, 200Ω.

【0015】上記した構成の固定減衰器において、減衰
量を小さくする場合、並列接続用抵抗パターン19の抵
抗値を大きくし、直列接続用抵抗パターン14、16の
抵抗値を小さくする必要がある。この場合、大きな抵抗
値が要求される並列接続用抵抗パターン19のシート抵
抗値を、直列接続用抵抗パターン14、16のシート抵
抗値よりも大きくしている。したがって、並列接続用抵
抗パターン19が大型化することがない。また、直列接
続用抵抗パターン14、16のシート抵抗値を小さくし
ているため、直列接続用抵抗パターン14、16が短く
なり過ぎることもない。
In the fixed attenuator having the above-described structure, when the amount of attenuation is reduced, it is necessary to increase the resistance value of the parallel connection resistance pattern 19 and decrease the resistance value of the series connection resistance patterns 14 and 16. In this case, the sheet resistance value of the parallel connection resistance pattern 19, which requires a large resistance value, is set larger than the sheet resistance value of the series connection resistance patterns 14 and 16. Therefore, the size of the parallel connection resistance pattern 19 does not increase. Further, since the sheet resistance values of the series-connected resistance patterns 14 and 16 are reduced, the series-connected resistance patterns 14 and 16 do not become too short.

【0016】たとえば、MIC基板の比誘電率が9.
8、MIC基板の厚さが0.254mm、マイクロスト
リップ線路の上部電極の幅が0.24mm、直列接続用
抵抗パターンのシート抵抗値が50Ω、並列接続用抵抗
パターンのシート抵抗値が200Ω、抵抗パターンの実
用になる長さの最小値が0.05mm、固定減衰器の減
衰量が3dBの場合、並列接続用抵抗パターンの長さは
約0.17mmと短くなる。なお、抵抗パターンのシー
ト抵抗値は、マイクロ波集積回路装置の場合、10〜2
000Ωの範囲に設定される。
For example, the relative permittivity of the MIC substrate is 9.
8. The thickness of the MIC substrate is 0.254 mm, the width of the upper electrode of the microstrip line is 0.24 mm, the sheet resistance value of the series connection resistance pattern is 50Ω, the sheet resistance value of the parallel connection resistance pattern is 200Ω, and the resistance. When the minimum practical length of the pattern is 0.05 mm and the attenuation of the fixed attenuator is 3 dB, the length of the parallel connection resistor pattern is as short as about 0.17 mm. Note that the sheet resistance value of the resistance pattern is 10 to 2 in the case of a microwave integrated circuit device.
000Ω range.

【0017】上記した構成によれば、大きな抵抗値を必
要とする抵抗パターンに大きなシート抵抗値のものを使
用し、小さな抵抗値の抵抗パターンにそれよりも小さな
シート抵抗値のものを使用している。したがって、大き
な抵抗値と小さな抵抗値とが混在する回路を構成する場
合に、大きな抵抗値が必要される抵抗パターンの大型化
を防止でき、同時に、小さな抵抗値が短くなることによ
る抵抗値の精度低下を防止できる。
According to the above configuration, a resistor pattern having a large sheet resistance value is used for a resistor pattern requiring a large resistance value, and a resistor pattern having a smaller sheet resistance value is used for a resistor pattern having a small resistance value. I have. Therefore, when configuring a circuit in which a large resistance value and a small resistance value are mixed, it is possible to prevent the resistance pattern that requires a large resistance value from becoming large, and at the same time, to reduce the resistance value due to the shortened small resistance value. Drop can be prevented.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明によれば、抵抗値が相違する複数
の抵抗パターンを基板上に形成する場合に、抵抗値が大
きい抵抗パターンの大型化を防止し、かつ、抵抗値の小
さい抵抗パターンの抵抗値の精度低下を防止したマイク
ロ波集積回路装置を実現できる。
According to the present invention, when a plurality of resistance patterns having different resistance values are formed on a substrate, it is possible to prevent a resistance pattern having a large resistance value from increasing in size and to reduce a resistance pattern having a small resistance value. And a microwave integrated circuit device in which a decrease in the precision of the resistance value is prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態を説明する回路パターン図で
ある。
FIG. 1 is a circuit pattern diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【図2】従来例を説明する回路パターン図である。FIG. 2 is a circuit pattern diagram illustrating a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…MIC基板 12…入力端子 13…マイクロストリップ線路の第1上部電極 14…第1直列接続用抵抗パターン 15…マイクロストリップ線路の第2上部電極 16…第1直列接続用抵抗パターン 17…マイクロストリップ線路の第2上部電極 18…出力端子 19…並列接続用抵抗パターン 20…バイアボール DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... MIC board 12 ... Input terminal 13 ... First upper electrode of microstrip line 14 ... First series connection resistance pattern 15 ... Second upper electrode of microstrip line 16 ... First series connection resistance pattern 17 ... Microstrip Second upper electrode of line 18 Output terminal 19 Resistance pattern for parallel connection 20 Via ball

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マイクロストリップ線路と、このマイク
ロストリップ線路の両側に直接接続した第1の抵抗パタ
ーンと、前記マイクロストリップ線路と並列に接続した
第2の抵抗パターンとを基板上に形成したT字形固定減
衰器であって、前記第1の抵抗パターンと前記第2の抵
抗パターンとで用いられるシート抵抗値が異なることを
特徴とするマイクロ波集積回路装置。
1. A T-shape in which a microstrip line, a first resistance pattern directly connected to both sides of the microstrip line, and a second resistance pattern connected in parallel with the microstrip line are formed on a substrate. A fixed attenuator, wherein a sheet resistance value used in the first resistance pattern is different from a sheet resistance value used in the second resistance pattern.
【請求項2】 第1の抵抗パターンよりも第2の抵抗パ
ターンの抵抗値を大きくすることを特徴とした請求項1
記載のマイクロ波集積回路装置。
2. The method according to claim 1, wherein the resistance value of the second resistance pattern is larger than that of the first resistance pattern.
The microwave integrated circuit device as described in the above.
【請求項3】 第1の抵抗パターンおよび第2の抵抗パ
ターンのシート抵抗値が10〜2000Ωの範囲である
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロ波集積回路装
置。
3. The microwave integrated circuit device according to claim 1, wherein the sheet resistance values of the first resistance pattern and the second resistance pattern are in a range of 10 to 2000 Ω.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006100726A1 (en) * 2005-03-18 2006-09-28 Fujitsu Limited Variable attenuator and integrated circuit
JP2012054890A (en) * 2010-09-03 2012-03-15 Toshiba Corp Attenuator

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