JP2001279131A - Ultraviolet-curable resin composition for back coating and method for manufacturing shadow mask using the same - Google Patents

Ultraviolet-curable resin composition for back coating and method for manufacturing shadow mask using the same

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JP2001279131A
JP2001279131A JP2000093648A JP2000093648A JP2001279131A JP 2001279131 A JP2001279131 A JP 2001279131A JP 2000093648 A JP2000093648 A JP 2000093648A JP 2000093648 A JP2000093648 A JP 2000093648A JP 2001279131 A JP2001279131 A JP 2001279131A
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Japan
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resin composition
back coat
curable resin
shadow mask
polymerization initiator
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Masahiro Tatezawa
雅博 立沢
Masayuki Ando
雅之 安藤
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an ultraviolet-curable resin composition for back coating contributable to efficient manufacture of a shadow mask of high quality and to provide a manufacturing method of a shadow mask using the same. SOLUTION: The formation of a back coating film of high strength having a three-dimensional network structure is rendered easy and foreign substances are prevented from adhering to or depositing on a part to be etched even when a secondary etching temperature after the formation of the back coating film is raised by employing a curable resin composition which comprises a polymerizable compound bearing at least one acid group and at least one acryloyl or methacryloyl group in one molecule and a polymeric polymerization initiator comprising a main chain and, bonded thereto, a plurality of radical- generating side chains and has a mass-average molecular weight of 500-5,000. The manufacturing method of the shadow mask comprises forming a back coating film 8 using the curable resin composition thereby to realize improvement of the quality and efficient manufacture of the shadow mask 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスクの
製造に好適に用いられるバックコート用紫外線硬化型樹
脂組成物、およびそれを用いたシャドウマスクの製造方
法に関し、更に詳しくは、含有する高分子重合開始剤に
よって、高品質のシャドウマスクの製造に寄与できるバ
ックコート膜の形成を可能とするバックコート用紫外線
硬化型樹脂組成物、およびそれを用いたシャドウマスク
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultraviolet curable resin composition for a back coat suitably used for producing a shadow mask, and a method for producing a shadow mask using the same. The present invention relates to an ultraviolet-curable resin composition for a backcoat that enables formation of a backcoat film that can contribute to the production of a high-quality shadow mask by a polymerization initiator, and a method for producing a shadow mask using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】シャドウマスクは、カラーテレビ用ブラ
ウン管内の電子銃から放射された電子を、決められた発
光体に衝突させる機能を有するものであり、エッチング
により微小な孔が多数設けられた金属薄板である。この
微小な孔の形成は、金属薄板の表裏両面の対応する位置
に、直径が異なる半球状または角状の多数の微小凹部を
それぞれ設け、対応する凹部の底部同士を連通させるこ
とにより行われる。
2. Description of the Related Art A shadow mask has a function of causing electrons emitted from an electron gun in a cathode ray tube for a color television to collide with a predetermined luminous body. It is a thin plate. The formation of the minute holes is performed by providing a large number of hemispherical or angular minute concave portions having different diameters at corresponding positions on the front and back surfaces of the thin metal plate, and communicating the bottoms of the corresponding concave portions.

【0003】シャドウマスクの製造工程としては、先
ず、鉄合金等からなる金属薄板の表裏両面に感光性樹脂
塗膜を塗布・形成し(感光性樹脂塗膜の形成工程)、そ
の後所定の露光パターンを有するネガフィルムを金属板
に密着させ、露光して感光性樹脂塗膜の露光部を硬化さ
せ(写真焼付工程)、現像処理により感光性樹脂塗膜の
非感光部を除去する(非感光部の除去工程)。次いで、
塩化第二鉄水溶液等のエッチング液により一次エッチン
グを行い、片面または表裏両面から互いに貫通しない微
小凹部を形成(一次エッチング工程)した後、片面のみ
にバックコート用紫外線硬化型樹脂組成物を塗布して金
属薄板片面上の微小凹部を埋める膜を形成し、加熱およ
び/または紫外線を照射することにより上記硬化型樹脂
組成物を硬化させてバックコート膜を形成する(バック
コート工程)。このようにして片面を保護した後、再び
エッチング液により他面上の微小凹部を対象とする二次
エッチングを行い、一次エッチングで形成された片面上
の微小凹部と他面上の微小凹部とをその底部において連
通させてから(二次エッチング工程)、上述した感光性
樹脂塗膜およびバックコート膜とをアルカリ水溶液で溶
解することにより除去し(溶解除去工程)、シャドウマ
スクが製造される。
[0003] As a manufacturing process of a shadow mask, first, a photosensitive resin coating film is applied and formed on both front and back surfaces of a thin metal plate made of an iron alloy or the like (a photosensitive resin coating film forming process), and then a predetermined exposure pattern is formed. A negative film having a film is brought into close contact with a metal plate, and is exposed to light to cure an exposed portion of the photosensitive resin coating film (photo printing step), and a non-photosensitive portion of the photosensitive resin coating film is removed by a developing process (non-photosensitive portion). Removal step). Then
After performing primary etching with an etching solution such as an aqueous solution of ferric chloride to form minute recesses that do not penetrate each other from one side or both sides (primary etching step), apply an ultraviolet-curable resin composition for back coating to only one side. To form a film that fills the minute recesses on one surface of the metal thin plate, and cures the curable resin composition by heating and / or irradiating ultraviolet rays to form a back coat film (back coat step). After protecting one side in this way, secondary etching is again performed on the micro-recess on the other surface with an etchant, and the micro-recess on the one surface and the micro-recess on the other surface formed by the primary etching are again performed. After communicating at the bottom (secondary etching step), the above-mentioned photosensitive resin coating film and back coat film are removed by dissolving with an aqueous alkali solution (dissolving and removing step), and a shadow mask is manufactured.

【0004】シャドウマスクの製造方法において、従来
のバックコート用紫外線硬化型樹脂組成物(以下「硬化
型樹脂組成物」という。)は、エッチングによって微細
な孔を均一に開けるための重要な役割を担うものであ
り、一個の酸基と一個のアクリロイル基またはメタクリ
ロイル基とを有する化合物と、低分子重合開始剤とを有
している。この硬化型樹脂組成物には、均一な大きさの
孔を開けることができる品質向上に関する性質や、効率
的な生産を可能にさせる製造の効率化に関する性質が要
求される。品質向上に関するものとしては、第一次エッ
チングで形成された微小凹部の隅々まで充填できるこ
と、アルカリ水溶液で残さず溶解できること等があり、
製造の効率化に関するものとしては、アルカリ水溶液に
溶解し易いこと、金属薄板上にロール法、スプレー法そ
の他の方式により塗布し易いこと、熱風乾燥等により安
全且つ容易に硬化させ易いこと等がある。硬化型樹脂組
成物に関する検討は、従来より盛んに行われており、例
えば、特開平10−306124号公報、特開平10−
307390号公報、特開平5−100423、特開平
3−272538号公報、特公昭62−15082号公
報等がある。
In a method of manufacturing a shadow mask, a conventional ultraviolet-curable resin composition for a back coat (hereinafter referred to as a “curable resin composition”) plays an important role in uniformly forming fine holes by etching. And a compound having one acid group and one acryloyl group or methacryloyl group, and a low molecular weight polymerization initiator. The curable resin composition is required to have a property related to quality improvement that can form a hole having a uniform size and a property related to production efficiency that enables efficient production. As for quality improvement, it can be filled to every corner of the minute recess formed by the primary etching, it can be dissolved without leaving with an alkaline aqueous solution, etc.
As regards the efficiency of production, it is easy to dissolve in an alkaline aqueous solution, easy to apply on a thin metal plate by a roll method, a spray method or other methods, easy to be cured safely and easily by hot air drying, etc. . Investigations regarding the curable resin composition have been actively carried out conventionally, for example, JP-A-10-306124 and JP-A-10-306124.
307390, JP-A-5-100423, JP-A-3-272538, JP-B-62-15082 and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の硬化型
樹脂組成物を用いてバックコート膜を形成した後の二次
エッチング工程において、エッチング液の温度を上げて
エッチング速度を向上させようとすると、被エッチング
部である微小凹部に異物が付着しているのが観察され
る。このような異物は、付着部分のエッチングを妨げる
ので、シャドウマスクに孔ムラを生じさせるという問題
がある。この原因は明らかではないが、異物の成分がバ
ックコート膜の成分と一致することから、エッチング温
度の上昇によって、バックコート膜から異物の成分が溶
出し、被エッチング部で析出して付着したものと推察さ
れる。そのため、異物の付着を起こすことなくエッチン
グできる上限温度は通常70℃程度であり、エッチング
温度を上昇させて二次エッチング工程の効率化を図りつ
つ、高品質のシャドウマスクを製造することは困難であ
った。
In the secondary etching step after forming the back coat film using the above-mentioned conventional curable resin composition, it is necessary to raise the temperature of the etchant to improve the etching rate. It is observed that foreign matter is attached to the minute concave portion which is the portion to be etched. Such a foreign substance hinders the etching of the adhered portion, and thus causes a problem of causing unevenness of the hole in the shadow mask. Although the cause is not clear, the component of the foreign substance elutes from the backcoat film due to the increase in the etching temperature because the component of the foreign substance matches the component of the backcoat film, and is deposited and adhered to the portion to be etched. It is inferred. Therefore, the upper limit temperature at which etching can be performed without causing foreign matter to adhere is usually about 70 ° C., and it is difficult to manufacture a high quality shadow mask while increasing the etching temperature to improve the efficiency of the secondary etching process. there were.

【0006】本発明は、上記問題を解決すべくなされた
ものであって、高品質のシャドウマスクの効率的な製造
に寄与できるバックコート用紫外線硬化型樹脂組成物、
およびそれを用いたシャドウマスクの製造方法に関す
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and has an ultraviolet curable resin composition for a back coat which can contribute to the efficient production of a high quality shadow mask.
And a method of manufacturing a shadow mask using the same.

【0007】[0007]

【課題が解決するための手段】本発明のバックコート用
紫外線硬化型樹脂組成物は、一分子中に一以上の酸基と
一以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基とを有
する重合性化合物と、主鎖に、ラジカルを発生させる側
鎖が複数結合した質量平均分子量500〜5000の高
分子重合開始剤とを含有することに特徴を有する。
The ultraviolet-curable resin composition for a back coat according to the present invention comprises a polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl or methacryloyl groups in one molecule; It is characterized in that the chain contains a high molecular weight polymerization initiator having a mass average molecular weight of 500 to 5,000 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded.

【0008】この発明によれば、主鎖に、ラジカルを発
生させる側鎖が複数結合した質量平均分子量500〜5
000の高分子重合開始剤は、一分子中に一以上の酸基
と一以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基とを
有する重合性化合物に対してラジカル重合反応の開始剤
として作用した後、その重合性化合物と共に3次元の網
目構造を有する高強度のバックコート膜を構成する。そ
うした3次元網目構造を有するバックコート膜を形成し
た後にあっては、二次エッチング温度を上げても被エッ
チング部に異物の付着や析出がみられない。そのため、
エッチング速度を上げて、効率的なエッチングとシャド
ウマスクの製造を行うことができる。さらに、一以上の
酸基を有する重合性化合物が用いられてバックコート膜
が形成されているので、従来と同様のアルカリ溶解性も
ある。従って、本発明のバックコート用紫外線硬化型樹
脂組成物は、より効率的且つ高品質のシャドウマスクの
製造に寄与できる。
According to the present invention, a mass average molecular weight of 500 to 5 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded to the main chain.
000, a polymerizable initiator having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule acts as an initiator of a radical polymerization reaction on a polymerizable compound having a polymerizable A high-strength back coat film having a three-dimensional network structure is formed together with the compound. After the formation of the back coat film having such a three-dimensional network structure, even if the secondary etching temperature is increased, no foreign matter adheres or deposits on the portion to be etched. for that reason,
By increasing the etching rate, it is possible to perform efficient etching and manufacture of a shadow mask. Further, since the back coat film is formed by using a polymerizable compound having one or more acid groups, it has the same alkali solubility as before. Therefore, the ultraviolet-curable resin composition for a back coat of the present invention can contribute to more efficient and high-quality production of a shadow mask.

【0009】本発明のバックコート用紫外線硬化型樹脂
組成物において、前記高分子重合開始剤が、下記の化学
式1で表されることに特徴を有する。この化学式1にお
いて、nは3〜5の整数、R1〜R3はH及び/又はア
ルキル基、R4はフェニル基、ヒドロキシアルキル基、
ヒドロキシシクロヘキシル基、ジアルコキシ基またはそ
れらの誘導基の何れかから選ばれる。
The ultraviolet-curable resin composition for a back coat according to the present invention is characterized in that the high molecular polymerization initiator is represented by the following chemical formula 1. In the chemical formula 1, n is an integer of 3 to 5, R1 to R3 are H and / or an alkyl group, R4 is a phenyl group, a hydroxyalkyl group,
It is selected from a hydroxycyclohexyl group, a dialkoxy group or a derivative group thereof.

【0010】[0010]

【化5】 Embedded image

【0011】この場合において、より好ましい高分子重
合開始剤は、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−
(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンのポリマー
である。
In this case, a more preferred polymer polymerization initiator is 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-
It is a polymer of (1-methylvinyl) phenyl) propanone.

【0012】また、本発明のバックコート用紫外線硬化
型樹脂組成物において、前記高分子重合開始剤が、下記
の化学式2で表されることに特徴を有する。この化学式
2において、nは1〜6の整数、mは3〜5の整数、R
1〜R8はH及び/又はアルキル基、R9はH及び/又
はアルキル基またはそれらの誘導基の何れかから選ばれ
る。
Further, in the ultraviolet curable resin composition for a back coat according to the present invention, the polymer polymerization initiator is characterized by being represented by the following chemical formula 2. In this chemical formula 2, n is an integer of 1 to 6, m is an integer of 3 to 5, R
1 to R8 are selected from H and / or an alkyl group, and R9 is selected from an H and / or an alkyl group or a derivative thereof.

【0013】[0013]

【化6】 Embedded image

【0014】この場合において、より好ましい高分子重
合開始剤は、〔6−〔(1,1,3,3−テトラメチル
ブチル)アミノ〕−1,3,5−トリアジン−2,4−
ジイル〕〔(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペ
リジニル)イミノ〕−1,6−ヘキサンジイル〔(2,
2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジニル)イミ
ノ〕のポリマーである。
In this case, a more preferred polymer polymerization initiator is [6-[(1,1,3,3-tetramethylbutyl) amino] -1,3,5-triazine-2,4-.
Diyl] [(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino] -1,6-hexanediyl [(2
2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino].

【0015】また、本発明のバックコート用紫外線硬化
型樹脂組成物において、前記重合性化合物が、一分子中
に一以上の酸基と二以上のアクリロイル基またはメタク
リロイル基とを有する化合物であることが好ましい。
In the ultraviolet curable resin composition for a back coat according to the present invention, the polymerizable compound is a compound having one or more acid groups and two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule. Is preferred.

【0016】この発明によれば、一分子中に二以上のア
クリロイル基またはメタクリロイル基とを有する重合性
化合物を含むので、3次元の網目構造を有する高強度の
バックコート膜を容易に形成できる。その結果、二次エ
ッチング温度を上げても被エッチング部に異物の付着が
みられず、エッチング速度を上げて、効率的なエッチン
グとシャドウマスクの製造を行うことができる。
According to the present invention, since a polymerizable compound having two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule is contained, a high-strength backcoat film having a three-dimensional network structure can be easily formed. As a result, even when the secondary etching temperature is increased, no foreign matter is adhered to the portion to be etched, and the etching rate can be increased to perform efficient etching and manufacture of a shadow mask.

【0017】本発明のシャドウマスクの製造方法は、金
属薄板両面への感光性樹脂塗膜の形成工程、当該感光性
樹脂塗膜の露光部の写真焼き付け工程、当該感光性樹脂
塗膜の非感光部の除去工程、一次エッチング工程、一次
エッチングした金属薄板の片面にバックコート膜を形成
するバックコート工程、二次エッチング工程、および前
記感光性樹脂塗膜と前記バックコート膜とをアルカリ処
理によって除去する工程、を順次経るシャドウマスクの
製造方法において、前記バックコート工程が、一分子中
に一以上の酸基と一以上のアクリロイル基またはメタク
リロイル基とを有する重合性化合物と、主鎖に、ラジカ
ルを発生させる側鎖が複数結合した質量平均分子量50
0〜5000の高分子重合開始剤とを含有するバックコ
ート用紫外線硬化型樹脂組成物の塗布工程を含むことに
特徴を有する。
The method for manufacturing a shadow mask according to the present invention comprises the steps of forming a photosensitive resin coating film on both surfaces of a thin metal plate, photographic printing the exposed portion of the photosensitive resin coating film, and exposing the photosensitive resin coating film to non-photosensitivity. Part removing step, primary etching step, back coating step of forming a back coat film on one side of the primary etched metal sheet, secondary etching step, and removing the photosensitive resin coating film and the back coat film by alkali treatment In the method for manufacturing a shadow mask, sequentially passing through the back coat step, the polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule, and the main chain, a radical Weight average molecular weight of 50 or more side chains that generate
It is characterized by including a coating step of an ultraviolet-curable resin composition for a back coat containing 0 to 5000 high molecular polymerization initiator.

【0018】この発明によれば、バックコート用紫外線
硬化型樹脂組成物として、一分子中に一以上の酸基と一
以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基とを有す
る重合性化合物と、主鎖に、ラジカルを発生させる側鎖
が複数結合した質量平均分子量500〜5000の高分
子重合開始剤とを含有するものを使用するので、バック
コート膜の形成の際、高分子重合開始剤が、重合性化合
物に対してラジカル重合反応の開始剤として作用した
後、その重合性化合物と共に3次元の網目構造を有する
高強度のバックコート膜を構成する。そうした3次元網
目構造を有するバックコート膜を形成した後にあって
は、二次エッチング温度を上げても被エッチング部に異
物の付着や析出がみられない。そのため、エッチング速
度を上げて、効率的なエッチングと、効率的且つ高品質
のシャドウマスクの製造を行うことができる。また、3
次元網目構造の高強度のバックコート膜が形成されるの
で、搬送等の作業によっても剥離や亀裂等が発生するこ
とがなく、その後の二次エッチング工程の安定化とシャ
ドウマスクの品質安定化を図ることができると共に、製
造工程中のシャドウマスクの補強材としての役割を果た
すこともできる。
According to the present invention, as an ultraviolet-curable resin composition for a back coat, a polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule; Since a polymer containing a polymer polymerization initiator having a mass average molecular weight of 500 to 5000 and having a plurality of side chains generating radicals bonded thereto is used, the polymer polymerization initiator is used as a polymerizable compound when forming the back coat film. After acting as an initiator of the radical polymerization reaction, a high-strength backcoat film having a three-dimensional network structure is formed together with the polymerizable compound. After the formation of the back coat film having such a three-dimensional network structure, even if the secondary etching temperature is increased, no foreign matter adheres or deposits on the portion to be etched. Therefore, the etching rate can be increased, and efficient etching and efficient and high-quality shadow mask production can be performed. Also, 3
Since a high-strength backcoat film with a three-dimensional network structure is formed, peeling and cracking do not occur even during operations such as transport, stabilizing the subsequent secondary etching process and stabilizing the quality of the shadow mask. It can also serve as a reinforcing material for the shadow mask during the manufacturing process.

【0019】本発明のシャドウマスクの製造方法におい
て、前記高分子重合開始剤を、上記の化学式1または化
合物2で表される高分子重合開始剤を用いることが好ま
しい。
In the method for producing a shadow mask of the present invention, it is preferable to use the polymer polymerization initiator represented by the above-mentioned chemical formula 1 or compound 2 as the polymer polymerization initiator.

【0020】また、本発明のシャドウマスクの製造方法
においては、前記バックコート用紫外線硬化型樹脂組成
物の塗布工程において、当該バックコート用紫外線硬化
型樹脂組成物を乾燥膜厚で10〜60μmとなるように
塗布することが好ましい。
In the method of manufacturing a shadow mask according to the present invention, in the step of applying the UV-curable resin composition for a back coat, the UV-curable resin composition for a back coat may have a dry film thickness of 10 to 60 μm. It is preferable to apply it.

【0021】この発明によれば、バックコート膜を薄く
形成することによって、バックコート膜の溶解除去を短
時間で効率的に行うことができる。また、形成されたバ
ックコート膜は、3次元網目構造によって強化されてい
るので、薄い膜であっても搬送等の作業によっても剥離
や亀裂等が発生することがなく、その後の二次エッチン
グ工程を安定して行うことができ、品質の安定したシャ
ドウマスクを製造することができる。
According to the present invention, by forming the back coat film thinly, the back coat film can be efficiently dissolved and removed in a short time. Further, since the formed back coat film is reinforced by a three-dimensional network structure, even if it is a thin film, there is no occurrence of peeling or cracking even by operations such as conveyance, and the subsequent secondary etching step Can be performed stably, and a shadow mask with stable quality can be manufactured.

【0022】また、本発明のシャドウマスクの製造方法
においては、前記二次エッチング工程が、70〜100
℃の温度の酸性エッチング液でなされることが好まし
い。
In the method of manufacturing a shadow mask according to the present invention, the secondary etching step may be performed in a range of 70 to 100.
It is preferably done with an acidic etchant at a temperature of ° C.

【0023】この発明によれば、70〜100℃の温度
の酸性エッチング液で二次エッチングを行っても被エッ
チング部に異物の付着がみられないので、エッチング速
度を上げて、より効率的なエッチングとシャドウマスク
の製造を行うことができる。
According to the present invention, even when secondary etching is performed with an acidic etching solution at a temperature of 70 to 100 ° C., no foreign matter adheres to the portion to be etched. Etching and shadow mask production can be performed.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明のバックコート用紫
外線硬化型樹脂組成物およびそれを用いたシャドウマス
クの製造方法について詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an ultraviolet curable resin composition for a back coat according to the present invention and a method for producing a shadow mask using the same will be described in detail.

【0025】(1)バックコート用紫外線硬化型樹脂組
成物 本発明のバックコート用紫外線硬化型樹脂組成物(以下
「硬化型樹脂組成物」という。)は、シャドウマスクの
製造工程中のバックコート形成工程で使用される硬化型
樹脂組成物であって、一分子中に一以上の酸基と一以上
のアクリロイル基またはメタクリロイル基とを有する重
合性化合物と、主鎖に、ラジカルを発生させる側鎖が複
数結合した質量平均分子量500〜5000の高分子重
合開始剤とを含有するものである。
(1) UV-Curable Resin Composition for Backcoat The UV-curable resin composition for backcoat of the present invention (hereinafter referred to as “curable resin composition”) is used for backcoating during the manufacturing process of the shadow mask. A curable resin composition used in the forming step, a polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule, and a side that generates radicals in the main chain. And a high molecular weight polymerization initiator having a mass average molecular weight of 500 to 5,000 in which a plurality of chains are bonded.

【0026】本発明の特徴は、主鎖に、ラジカルを発生
させる側鎖が複数結合した質量平均分子量500〜50
00の高分子重合開始剤を含有する点であり、その高分
子重合開始剤が、一分子中に一以上の酸基と一以上のア
クリロイル基またはメタクリロイル基とを有する重合性
化合物に対してラジカル重合反応の開始剤として作用し
た後、その重合性化合物と共に3次元の網目構造を有す
る高強度のバックコート膜を構成する。そして、その後
において、二次エッチング工程でのエッチング温度を上
げても、被エッチング部に異物の付着や析出がみられ
ず、エッチング速度を上げて効率的なエッチングとシャ
ドウマスクの製造を行うことができるという効果を有す
る。これは、バックコート膜が強固な3次元網目構造と
なっていることに起因するものと理解され、バックコー
ト膜から異物の原因となる成分が溶出するのを抑えてい
るためであろうと推察される。
A feature of the present invention is that a mass average molecular weight of 500 to 50 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded to a main chain.
Is a point that the polymerizable polymerization initiator has a radical with respect to a polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule. After acting as a polymerization reaction initiator, a high-strength backcoat film having a three-dimensional network structure is formed together with the polymerizable compound. After that, even if the etching temperature in the secondary etching step is increased, there is no adhesion or deposition of foreign matter on the portion to be etched, and the etching rate can be increased to perform efficient etching and manufacture of a shadow mask. It has the effect of being able to. This is understood to be due to the fact that the backcoat film has a strong three-dimensional network structure, and is presumed to be due to the fact that components causing foreign matter are eluted from the backcoat film. You.

【0027】先ず、重合性化合物について説明する。な
お、以下において、アクリロイル基またはメタクリロイ
ル基を総称するときは「(メタ)アクリロイル基」とい
う。
First, the polymerizable compound will be described. In the following, acryloyl group or methacryloyl group is generally referred to as “(meth) acryloyl group”.

【0028】重合性化合物は、硬化型樹脂組成物の主要
な必須成分であり、紫外線の照射によって起こるラジカ
ル重合反応によって重合し、バックコート膜を形成す
る。
The polymerizable compound is a main essential component of the curable resin composition, and is polymerized by a radical polymerization reaction caused by irradiation with ultraviolet rays to form a back coat film.

【0029】この重合性化合物は、一分子中に一以上の
酸基と一以上の(メタ)アクリロイル基とを有する化合
物である。本発明においては、一分子中に一以上の酸基
と一以上の(メタ)アクリロイル基とを有する重合性化
合物としては、(i)一分子中に一の酸基と一の(メ
タ)アクリロイル基とを持つ化合物(以下「一酸基単官
能モノマー」という。)や、(ii)一分子中に一以上の
酸基と二以上の(メタ)アクリロイル基とを持つ化合物
(以下「一酸基多官能モノマー」という。)を用いるこ
とができる。さらに、その他の重合性化合物として、
(iii)分子中に二以上の官能基を持つ化合物(以下
「多官能モノマー」という。)や、(iv)単官能アクリ
ルモノマー、等を適宜配合することができる。こうした
各種のモノマーは、さらに配合され得るレベリング剤、
増量剤等の添加剤と共に、硬化型樹脂組成物の粘度、表
面張力、流動性、充填性、塗工性、紫外線硬化性、さら
には形成されたバックコート膜の硬さ、強さ、アルカリ
溶解性等、製造工程で要求される特性や得られるバック
コート膜に要求される特性に応じて、好ましい種類と配
合量が設定される。
This polymerizable compound is a compound having one or more acid groups and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule. In the present invention, the polymerizable compound having one or more acid groups and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule includes (i) one acid group and one (meth) acryloyl group in one molecule. Or a compound having one or more acid groups and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule (hereinafter referred to as a “monoacid group monofunctional monomer”). Base polyfunctional monomer "). Furthermore, as other polymerizable compounds,
(Iii) a compound having two or more functional groups in the molecule (hereinafter referred to as “polyfunctional monomer”), (iv) a monofunctional acrylic monomer, and the like can be appropriately compounded. These various monomers are leveling agents that can be further compounded,
Along with additives such as extenders, the viscosity of the curable resin composition, surface tension, fluidity, filling properties, coating properties, UV curability, and the hardness, strength, and alkali dissolution of the formed back coat film Preferred types and amounts are set according to the characteristics required in the production process, such as properties, and the characteristics required for the obtained backcoat film.

【0030】一酸基単官能モノマーについて説明する。The monofunctional monofunctional monomer will be described.

【0031】一酸基単官能モノマーは、一分子中に一の
酸基と一の(メタ)アクリロイル基とを持つ化合物であ
り、従来タイプの紫外線硬化性の重合性化合物を用いる
ことができる。酸基は、形成されたバックコート膜を容
易にアルカリ溶解させる作用を有するものであり、カル
ボキシル基であることが特に好ましいが、カルボキシル
基から誘導される置換基等であってもよい。
The monoacid monofunctional monomer is a compound having one acid group and one (meth) acryloyl group in one molecule, and a conventional type ultraviolet curable polymerizable compound can be used. The acid group has a function of easily dissolving the formed back coat film in alkali, and is particularly preferably a carboxyl group, but may be a substituent derived from the carboxyl group.

【0032】一酸基単官能モノマーとしては、分子中に
一個のヒドロキシル基および一個の(メタ)アクリロイ
ル基を有する単量体と二塩基酸無水物とのモノエステル
化合物を用いることができる。例えば、(メタ)アクリ
ロイルオキシエチルモノフタレート、(メタ)アクリロ
イルオキシプロピルモノフタレート、(メタ)アクリロ
イルオキシブチルモノフタレート、(メタ)アクリロイ
ルオキシエチルモノテトラヒドロフタレート、(メタ)
アクリロイルオキシプロピルモノテトラヒドロフタレー
ト、(メタ)アクリロイルオキシブチルモノテトラヒド
ロフタレート、(メタ)アクリロイルオキシエチルモノ
ヘキサヒドロフタレート、(メタ)アクリロイルオキシ
プロピルモノヘキサヒドロフタレート、(メタ)アクリ
ロイルオキシブチルモノヘキサヒドロフタレート、(メ
タ)アクリロイルオキシエチルモノサクシネート、(メ
タ)アクリロイルオキシプロピルモノサクシネート、
(メタ)アクリロイルオキシブチルサクシネート、(メ
タ)アクリロイルオキシエチルマレート等を挙げること
ができ、上記化合物の一種または二種以上を任意の割合
で混合して使用することができる。
As the monofunctional monofunctional monomer, a monoester compound of a monomer having one hydroxyl group and one (meth) acryloyl group in a molecule and a dibasic acid anhydride can be used. For example, (meth) acryloyloxyethyl monophthalate, (meth) acryloyloxypropyl monophthalate, (meth) acryloyloxybutyl monophthalate, (meth) acryloyloxyethyl monotetrahydrophthalate, (meth)
Acryloyloxypropyl monotetrahydrophthalate, (meth) acryloyloxybutyl monotetrahydrophthalate, (meth) acryloyloxyethyl monohexahydrophthalate, (meth) acryloyloxypropyl monohexahydrophthalate, (meth) acryloyloxybutyl monohexahydrophthalate, (Meth) acryloyloxyethyl monosuccinate, (meth) acryloyloxypropyl monosuccinate,
Examples thereof include (meth) acryloyloxybutyl succinate, (meth) acryloyloxyethyl malate, and the like, and one or more of the above compounds can be used by mixing at any ratio.

【0033】一酸基単官能モノマーの合成は、通常は単
量体と酸無水物との開環付加反応により行われるが、通
常のエステル化反応により合成することもできる。分子
中に1個のヒドロキシル基および1個の(メタ)アクリ
ロイル基を有する単量体としては、ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、
ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポ
リプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポ
リブチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ
カプロラクタムモノ(メタ)アクリレート等を例示でき
る。二塩基酸無水物としては、フタル酸無水物、テトラ
ヒドロフタル酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸無
水物、エチルテトラヒドロフタル酸無水物、プロピルテ
トラヒドロフタル酸無水物、ブチルテトラヒドロフタル
酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサ
ヒドロフタル酸無水物、エチルヘキサヒドロフタル酸無
水物、プロピルヘキサヒドロフタル酸無水物、イソプロ
ピルヘキサヒドロフタル酸無水物、ブチルヘキサヒドロ
フタル酸無水物、マレイン酸無水物、コハク酸無水物等
を例示できる。こうした単量体と酸無水物とから一酸基
単官能モノマーを合成する場合、反応促進剤としてトリ
エチルアミン、モルホリン、トリエタノールアミン等の
第三級アミン類またはその第四級アンモニウム塩等を使
用することができる。また、反応中に重合が生起するの
を防ぐために、ヒドロキノン、ブチルヒドロキノン、ブ
チルカテコール、フェノチアジン等の重合禁止剤を使用
することもできる。
The synthesis of a monofunctional monofunctional monomer is usually carried out by a ring-opening addition reaction between the monomer and an acid anhydride, but it can also be made by a usual esterification reaction. Monomers having one hydroxyl group and one (meth) acryloyl group in the molecule include hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate,
Examples thereof include polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, polybutylene glycol mono (meth) acrylate, and polycaprolactam mono (meth) acrylate. Examples of dibasic acid anhydrides include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, propyltetrahydrophthalic anhydride, butyltetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. Acid anhydride, methyl hexahydrophthalic anhydride, ethyl hexahydrophthalic anhydride, propyl hexahydrophthalic anhydride, isopropyl hexahydrophthalic anhydride, butyl hexahydrophthalic anhydride, maleic anhydride, succinic Acid anhydrides and the like can be exemplified. When a monofunctional monofunctional monomer is synthesized from such a monomer and an acid anhydride, a tertiary amine such as triethylamine, morpholine or triethanolamine or a quaternary ammonium salt thereof is used as a reaction accelerator. be able to. Further, in order to prevent polymerization from occurring during the reaction, a polymerization inhibitor such as hydroquinone, butylhydroquinone, butylcatechol, and phenothiazine may be used.

【0034】一酸基多官能モノマーについて説明する。The monofunctional polyfunctional monomer will be described.

【0035】一酸基多官能モノマーは、一分子中に一以
上の酸基と二以上の(メタ)アクリロイル基とを持つ化
合物であり、本発明において特に好ましく用いられる。
一酸基多官能モノマーは、その有する複数の(メタ)ア
クリロイル基によって、他の一酸基多官能モノマーの
(メタ)アクリロイル基、上述した一酸基単官能モノマ
ーの(メタ)アクリロイル基、後述する他の重合性化合
物の官能基、さらには後述する高分子重合開始剤と反応
して容易に3次元網目構造を容易に形成し、強固で且つ
異物の溶出が起こらないバックコート膜を形成できると
いう好ましい効果を発揮できる。なお、酸基は、上述と
同様に、形成されたバックコート膜を容易にアルカリ溶
解させる作用を有するものであり、カルボキシル基であ
ることが特に好ましいが、カルボキシル基から誘導され
る置換基等であってもよい。一酸基多官能モノマーとし
ては、化学式3に表すフタル酸モノ(2,2,2−トリ
−アクリロイルオキシメチル)エチルや、化学式4に表
す商品名「NKオリゴ EA−1040」(新中村化学
製)を好ましく用いることができる。なお、本発明にお
いては、これら化合物と同様な作用効果を有するその他
の化合物も好ましく用いることができる。
The monoacid group polyfunctional monomer is a compound having one or more acid groups and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule, and is particularly preferably used in the present invention.
The monoacid group polyfunctional monomer has a plurality of (meth) acryloyl groups, the (meth) acryloyl group of the other monoacid group polyfunctional monomer, the (meth) acryloyl group of the above monoacid group monofunctional monomer, Reacts with the functional groups of other polymerizable compounds, and further with a polymer polymerization initiator described later, easily forms a three-dimensional network structure, and can form a strong backcoat film in which foreign substances do not elute. The preferred effect can be exhibited. Incidentally, the acid group has a function of easily dissolving the formed back coat film with alkali similarly to the above, and is particularly preferably a carboxyl group, but is preferably a substituent derived from the carboxyl group. There may be. Examples of the monofunctional group polyfunctional monomer include mono (2,2,2-tri-acryloyloxymethyl) ethyl phthalate represented by Chemical Formula 3 and “NK Oligo EA-1040” (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) represented by Chemical Formula 4. ) Can be preferably used. In the present invention, other compounds having the same action and effect as these compounds can also be preferably used.

【0036】[0036]

【化7】 Embedded image

【0037】[0037]

【化8】 Embedded image

【0038】一酸基多官能モノマーの合成は、通常は、
分子中に一個以上のヒドロキシル基および二個以上の
(メタ)アクリロイル基を有する単量体と二塩基酸無水
物との付加反応により行われるが、通常のエステル化反
応により合成することもできる。分子中に一個以上のヒ
ドロキシル基および二個以上の(メタ)アクリロイル基
を有する単量体としては、イソシアヌル酸EO変性ジア
クリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリアクリレート等を例示できる。
二塩基酸無水物としては、上述した一酸基単官能モノマ
ーの場合と同じものを用いることができる。こうした単
量体と酸無水物とから一酸基多官能モノマーを合成する
場合、上述した一酸基単官能モノマーの合成時に使用さ
れる反応促進剤や重合禁止剤を必要に応じて用いること
ができる。
The synthesis of a monofunctional polyfunctional monomer is usually carried out by
The reaction is carried out by an addition reaction between a monomer having one or more hydroxyl groups and two or more (meth) acryloyl groups in the molecule and a dibasic acid anhydride, but can also be synthesized by a usual esterification reaction. Examples of the monomer having one or more hydroxyl groups and two or more (meth) acryloyl groups in a molecule include EO-modified diacrylate of isocyanuric acid, pentaerythritol diacrylate, and pentaerythritol triacrylate.
As the dibasic acid anhydride, the same one as in the case of the monofunctional monofunctional monomer described above can be used. When synthesizing a monofunctional monofunctional monomer from such a monomer and an acid anhydride, it is possible to use a reaction accelerator or a polymerization inhibitor used when synthesizing the monofunctional monofunctional monomer described above as necessary. it can.

【0039】多官能モノマーは、分子中に二個以上官能
基、例えば(メタ)アクリロイル基を持つ化合物であっ
て、硬化塗膜の硬化特性の調整や、バックコート膜の強
度の調整に使用される。例えば、多価アルコールと(メ
タ)アクリル酸との反応物、多塩基酸またはその無水物
と(メタ)アクリル酸との反応物、分子中に1個以上の
エポキシ基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル
酸との反応物、分子中に1個以上のイソシアネート基を
有するイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アク
リレートとの反応物等を挙げることができる。より具体
的には、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート
などのアルキルジオールのジ(メタ)アクリレート、ジ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレング
リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ル−ジ、−トリまたは−テトラ(メタ)アクリレート、
ジペンタエリスリトール−ジ、−トリ、−テトラ、−ペ
ンタまたは−ヘキサ(メタ)アクリレート、ジメチロー
ルプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパン−ジまたは−トリ(メタ)アクリレート、昭和高
分子(株)製:リポキシSP−4010等のフェノール
ノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾー
ルノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、共栄社
化学(株)製:エポキシエステル3000A等のビスフ
ェノールA型エポキシ−ジ(メタ)アクリレート、トリ
グリシジルイソシアヌレート−ジまたは−トリ(メタ)
アクリレート、テトラフェニルメタン型エポキシ−ジ、
−トリまたは−テトラ(メタ)アクリレート、トリスフ
ェニルメタン型エポキシ−ジまたは−トリ(メタ)アク
リレート、グリセリンジグリシジルエーテルジ(メタ)
アクリレート、イソシアヌル酸−ジまたは−トリ(メ
タ)アクリレート、メラミン−ジまたは−トリ(メタ)
アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート類、アミ
ノアルキル(メタ)アクリレート類、および上記化合物
のエチレンオキシド付加物、プロピレンオキシド付加物
等の多官能化合物が挙げられ、上記化合物の一種または
二種以上を任意の割合で混合して使用することができ
る。
The polyfunctional monomer is a compound having two or more functional groups in the molecule, for example, a (meth) acryloyl group, and is used for adjusting the curing properties of the cured coating film and the strength of the back coat film. You. For example, a reaction product of a polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid, a reaction product of a polybasic acid or its anhydride and (meth) acrylic acid, an epoxy compound having one or more epoxy groups in a molecule, and A) a reaction product of acrylic acid, a reaction product of an isocyanate compound having one or more isocyanate groups in a molecule and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate, and the like. More specifically, di (meth) acrylates of alkyl diols such as 1,6-hexanediol di (meth) acrylate and 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol Di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol-di, -tri or -tetra (meth) acrylate,
Dipentaerythritol-di, -tri, -tetra, -penta or -hexa (meth) acrylate, dimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane-di or -tri (meth) acrylate, Showa Kogyo Co., Ltd. Phenol novolak type epoxy (meth) acrylate such as Lipoxy SP-4010, cresol novolak type epoxy (meth) acrylate, and Kyoeisha Chemical Co., Ltd .: bisphenol A type epoxy-di (meth) acrylate such as epoxy ester 3000A, tri Glycidyl isocyanurate di- or tri (meth)
Acrylate, tetraphenylmethane type epoxy-di,
-Tri- or -tetra (meth) acrylate, trisphenylmethane type epoxy-di or -tri (meth) acrylate, glycerin diglycidyl ether di (meth)
Acrylate, isocyanuric acid di- or tri (meth) acrylate, melamine di or tri (meth)
Examples include acrylates, urethane (meth) acrylates, aminoalkyl (meth) acrylates, and polyfunctional compounds such as ethylene oxide adducts and propylene oxide adducts of the above compounds. One or more of the above compounds may be used at any ratio. Can be used by mixing.

【0040】単官能アクリルモノマーについて説明す
る。
The monofunctional acrylic monomer will be described.

【0041】単官能アクリルモノマーは、分子中に一個
の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物であり、硬化型
樹脂組成物の粘度や硬化塗膜の特性の調整に有効であ
る。例えば、プロピル(メタ)アクリレート、イソプロ
ピル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリ
レート、t−ブチル(メタ)アクリレート等のアルキル
(メタ)アクリレート類、ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート
等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、シク
ロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)ア
クリレート、ベンゾイルオキシエチル(メタ)アクリレ
ート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノ
キシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ヒド
ロキシフェノキシプロピル(メタ)アクリレート、テト
ラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソボニル
(メタ)アクリレート、ジシクロペンチルオキシエチル
(メタ)アクリレート等の環状(メタ)アクリレート
類、ジアルキルアミノエチル(メタ)アクリレート、シ
アノエチル(メタ)アクリレート等のアミノアルキル
(メタ)アクリレート類、エトキシエチル(メタ)アク
リレート、(メタ)アクリロキシエチルフォスフェー
ト、フロロアルキル(メタ)アクリレート、スルホプロ
ピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリ
レート類、ウレタン(メタ)アクリレート類、ジエチレ
ングリコールモノ(メタ)アクリレート、トリエチレン
グリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレング
リコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレング
リコールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールモノ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルモノ(メタ)アクリレート、ジメチロールプロパンモ
ノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ
(メタ)アクリレート、トリグリシジルイソシアヌレー
トモノ(メタ)アクリレート、テトラフェニルメタン型
エポキシ−モノ(メタ)アクリレート、トリスフェニル
メタン型エポキシ−モノ(メタ)アクリレート、グリセ
リンジグリシジルエーテルモノ(メタ)アクリレート、
イソシアヌル酸モノ(メタ)アクリレート、メラミンモ
ノ(メタ)アクリレート、および上記化合物のエチレン
オキシド付加物、プロピレンオキシド付加物等の単官能
化合物が挙げられ、上記化合物の一種または二種以上を
任意の割合で混合して使用することができる。
The monofunctional acrylic monomer is a compound having one (meth) acryloyl group in the molecule, and is effective in adjusting the viscosity of the curable resin composition and the properties of the cured coating film. For example, alkyl (meth) acrylates such as propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and the like Hydroxyalkyl (meth) acrylates, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, benzoyloxyethyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, hydroxyphenoxypropyl (meth) acrylate , Tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, isobonyl (meth) acrylate, dicyclopentyloxyethyl (meth) acrylate Cyclic (meth) acrylates, aminoalkyl (meth) acrylates such as dialkylaminoethyl (meth) acrylate, cyanoethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, (meth) acryloxyethyl phosphate, fluoroalkyl ( (Meth) acrylate, sulfopropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylates, urethane (meth) acrylates, diethylene glycol mono (meth) acrylate, triethylene glycol mono (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene Glycol mono (meth) acrylate, pentaerythritol mono (meth) acrylate, dipentaerythritol mono (meth) acrylate, dimethylol Pan mono (meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, triglycidyl isocyanurate mono (meth) acrylate, tetraphenylmethane type epoxy-mono (meth) acrylate, trisphenylmethane type epoxy-mono (meth) acrylate, glycerin Diglycidyl ether mono (meth) acrylate,
Monofunctional compounds such as isocyanuric acid mono (meth) acrylate, melamine mono (meth) acrylate, and ethylene oxide adducts and propylene oxide adducts of the above compounds, and one or more of the above compounds may be mixed at any ratio. Can be used.

【0042】次に、高分子重合開始剤について説明す
る。
Next, the polymer polymerization initiator will be described.

【0043】高分子重合開始剤は、主鎖に、ラジカルを
発生させる側鎖が複数結合した質量平均分子量500〜
5000の重合開始剤である。この高分子重合開始剤
は、上述の一酸基単官能モノマー及び/又は一酸基多官
能モノマーを有する重合性化合物に対してラジカル重合
反応の開始剤として作用する。すなわち、ラジカルを発
生させる側鎖は、紫外線を効率よく吸収して励起状態と
なり、(i)その側鎖が開裂してラジカルを発生させた
り、(ii)その側鎖が水素引き抜き反応を起こすことに
よってラジカルを発生させたり、(iii)その側鎖と硬
化型樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基との間の電
子移動反応によってラジカルを発生させたりして、上述
の一酸基単官能モノマーや一酸基多官能モノマーの有す
る(メタ)アクリロイル基に基づいたラジカル重合反応
を誘起する。ラジカル重合反応後の高分子重合開始剤
は、上述の重合性化合物と共に3次元の網目構造を形成
し、バックコート膜の一部を構成することとなる。
The polymer polymerization initiator has a mass average molecular weight of 500 to 500 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded to the main chain.
5000 polymerization initiators. This polymer polymerization initiator acts as a radical polymerization reaction initiator for the polymerizable compound having a monofunctional monofunctional monomer and / or a monofunctional polyfunctional monomer. That is, the side chain that generates radicals efficiently absorbs ultraviolet light and becomes an excited state, (i) the side chain is cleaved to generate a radical, or (ii) the side chain causes a hydrogen abstraction reaction. (Iii) a radical is generated by an electron transfer reaction between its side chain and a (meth) acryloyl group in the curable resin composition, thereby producing the above-described monofunctional monofunctional monomer. It induces a radical polymerization reaction based on the (meth) acryloyl group of the polyfunctional monomer or monoacid group. After the radical polymerization reaction, the high-molecular polymerization initiator forms a three-dimensional network structure with the above-mentioned polymerizable compound, and forms a part of the back coat film.

【0044】高分子重合開始剤としては、下記の化学式
1で表されるものを好ましく用いることができる。
As the polymer polymerization initiator, those represented by the following chemical formula 1 can be preferably used.

【0045】[0045]

【化9】 Embedded image

【0046】化学式1で表される高分子重合開始剤の主
鎖は、通常、アルキレン基の繰り返し単位からなり、n
は3〜5の整数である。そのアルキレン基には、重合反
応を阻害しない範囲(すなわち、重合反応に不活性な範
囲、または活性があっても悪影響を与えない範囲)でア
ルキル基等の側鎖R1、R2、R3を有していてもよ
い。側鎖R1、R2、R3は、通常、H、C1〜C3の
アルキル基である。
The main chain of the polymerized polymerization initiator represented by the chemical formula 1 is usually composed of repeating units of an alkylene group,
Is an integer of 3 to 5. The alkylene group has a side chain R1, R2, R3 such as an alkyl group in a range that does not inhibit the polymerization reaction (that is, a range inactive to the polymerization reaction or a range that does not adversely affect the polymerization reaction). May be. The side chains R1, R2 and R3 are usually H, C1 to C3 alkyl groups.

【0047】一方、ラジカルを発生させる側鎖は、紫外
線を効率よく吸収して励起状態となり易いものであり、
少なくともベンゾイル等のアロイル基(芳香族のアシル
基)を有するものが好ましく用いられ、具体的には、ベ
ンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキル
エーテル類、ジエチルアセトフェノン等のアセトフェノ
ン類、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−(1−
メチルビニル)フェニル)プロパノン等のプロピオフェ
ノン類、2−エチルアントラキノン等のアントラキノン
類、イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン
類、およびベンジルジメチルケタール等のケタール類な
どを例示することができる。本発明の高分子重合開始剤
においては、上記の一種または二種以上が、側鎖として
主鎖に複数結合していればよい。なお、上述の化学式1
において、側鎖の官能基R4が、フェニル基、ヒドロキ
シアルキル基、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジアルコ
キシ基またはそれらの誘導基の何れかから選ばれること
が好ましい。
On the other hand, the side chain that generates radicals efficiently absorbs ultraviolet light and easily enters an excited state.
Those having at least an aroyl group (aromatic acyl group) such as benzoyl are preferably used. Specifically, benzoin alkyl ethers such as benzoin isopropyl ether, acetophenones such as diethyl acetophenone, 2-hydroxy-2-methyl -1- (4- (1-
Examples thereof include propiophenones such as methylvinyl) phenyl) propanone, anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, thioxanthones such as isopropylthioxanthone, and ketals such as benzyldimethylketal. In the polymer polymerization initiator of the present invention, it is sufficient that one or more of the above-mentioned ones are bonded to the main chain as a side chain. In addition, the above-mentioned chemical formula 1
In the above, it is preferable that the functional group R4 in the side chain is selected from any of a phenyl group, a hydroxyalkyl group, a hydroxycyclohexyl group, a dialkoxy group and a derivative group thereof.

【0048】これらの内、より好ましい高分子重合開始
剤は、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−(1−
メチルビニル)フェニル)プロパノンのポリマーであ
る。
Of these, a more preferred polymer polymerization initiator is 2-hydroxy-2-methyl-1- (4- (1-
It is a polymer of methylvinyl) phenyl) propanone.

【0049】また、高分子重合開始剤として、下記の化
学式2で表されるものも好ましく用いることができる。
Further, as the polymer polymerization initiator, those represented by the following chemical formula 2 can also be preferably used.

【0050】[0050]

【化10】 Embedded image

【0051】化学式2で表される高分子重合開始剤の主
鎖は、アルキレン基と、ピペリジニルイミノ基と、トリ
アジン基とを有する繰り返し単位からなり、nは1〜6
の整数、mは3〜5の整数である。なお、その主鎖に
は、上記と同様に、重合反応を阻害しない範囲でアルキ
ル基等の側鎖を有していてもよい。
The main chain of the polymer polymerization initiator represented by the chemical formula 2 is composed of a repeating unit having an alkylene group, a piperidinyl imino group, and a triazine group, and n is 1 to 6.
And m is an integer of 3 to 5. The main chain may have a side chain such as an alkyl group as long as the polymerization reaction is not inhibited, as described above.

【0052】一方、ラジカルを発生させる側鎖の官能基
R1〜R8はH及び/又はアルキル基、R9はH及び/
又はアルキル基またはそれらの誘導基の何れかから選ば
れる。
On the other hand, the functional groups R1 to R8 of the side chains that generate radicals are H and / or alkyl groups, and R9 is H and / or
Or an alkyl group or a derivative thereof.

【0053】これらの内、より好ましい高分子重合開始
剤は、nが1〜6の整数でmが3〜5の整数の下記の化
学式5に表す〔6−〔(1,1,3,3−テトラメチル
ブチル)アミノ〕−1,3,5−トリアジン−2,4−
ジイル〕〔(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペ
リジニル)イミノ〕−1,6−ヘキサンジイル〔(2,
2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジニル)イミ
ノ〕のポリマーである。
Of these, a more preferred high molecular weight polymerization initiator is represented by the following chemical formula 5 wherein n is an integer of 1 to 6 and m is an integer of 3 to 5 [6-[(1,1,3,3 -Tetramethylbutyl) amino] -1,3,5-triazine-2,4-
Diyl] [(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino] -1,6-hexanediyl [(2
2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino].

【0054】[0054]

【化11】 Embedded image

【0055】本発明においては、高分子重合開始剤の質
量平均分子量が500〜5000の範囲であることが好
ましい。なお、高分子重合開始剤の主鎖部分の両端は、
通常、Hやアルキル基等の末端停止基が結合している。
さらに、本発明の硬化型樹脂組成物においては、従来公
知の低分子重合開始剤を上述の高分子重合開始剤と共に
配合させることができる。
In the present invention, the weight average molecular weight of the high molecular weight polymerization initiator is preferably in the range of 500 to 5,000. In addition, both ends of the main chain portion of the polymer polymerization initiator,
Usually, a terminal terminating group such as H or an alkyl group is bonded.
Furthermore, in the curable resin composition of the present invention, a conventionally known low molecular weight polymerization initiator can be blended together with the above-mentioned high molecular weight polymerization initiator.

【0056】低分子重合開始剤としては、公知の重合開
始剤の何れであっても適宜選定して使用できる。例え
ば、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインア
ルキルエーテル類、ジエチルアセトフェノン等のアセト
フェノン類、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニ
ルプロパン−1−オン等のプロピオフェノン類、2−エ
チルアントラキノン等のアントラキノン類、イソプロピ
ルチオキサントン等のチオキサントン類、およびベンジ
ルジメチルケタール等のケタール類などの単量体が挙げ
られ、上記化合物の一種または二種以上を任意の割合で
混合して使用することができる。これらのうち、(i)
nが3〜5の2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−
(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンのポリマー
からなる高分子重合開始剤と、下記の化学式6で表され
る低分子重合開始剤とを7:3で配合した重合開始剤
を、硬化型樹脂組成物に含有させたり、(ii)上記と同
じnが3〜5の2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4
−(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンのポリマ
ーからなる高分子重合開始剤と、下記の化学式7で表さ
れる低分子重合開始剤とを3:7で配合した重合開始剤
を、硬化型樹脂組成物に含有させたりすることが好まし
い。なお、化学式7において、R、R′、R″は、H、
CH3 から選ばれる。
As the low molecular weight polymerization initiator, any known polymerization initiator can be appropriately selected and used. For example, benzoin alkyl ethers such as benzoin isopropyl ether, acetophenones such as diethyl acetophenone, propiophenones such as 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, and anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone And thioxanthones such as isopropylthioxanthone, and monomers such as ketals such as benzyldimethylketal. One or more of the above compounds can be used in a mixture at an arbitrary ratio. Of these, (i)
n is 3 to 5 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-
A curable resin composition comprising a polymerization initiator obtained by mixing a polymer polymerization initiator composed of a polymer of (1-methylvinyl) phenyl) propanone and a low molecular weight polymerization initiator represented by the following chemical formula 6 in a ratio of 7: 3: (Ii) 2-hydroxy-2-methyl-1- (4) wherein n is 3 to 5 as described above.
A polymerization initiator obtained by mixing a high molecular weight polymerization initiator composed of a polymer of-(1-methylvinyl) phenyl) propanone and a low molecular weight polymerization initiator represented by the following chemical formula 7 in a ratio of 3: 7, It is preferable to include them in the composition. In Chemical Formula 7, R, R ′, and R ″ represent H,
Selected from the group consisting of CH 3.

【0057】[0057]

【化12】 Embedded image

【0058】[0058]

【化13】 Embedded image

【0059】以上説明した高分子重合開始剤は、その作
用によって、硬化型樹脂組成物中の重合性化合物をラジ
カル重合反応させ、バックコート膜を硬化させる。一
方、高分子重合開始剤自体は、重合性化合物と共に3次
元網目構造を形成してバックコート膜に含まれる。この
ようなバックコート膜が形成されると、二次エッチング
工程でのエッチング温度を上げても、被エッチング部に
異物の付着や析出がみられない。この原因は、高分子重
合開始剤の作用によって、3次元網目構造の強固なバッ
クコート膜が形成されたこと、そうした3次元網目構造
によって高分子重合開始剤やその他の構成成分が拘束さ
れて容易に溶出し難い状態になっていること、等の理由
に基づくものと推察される。なお、高分子重合開始剤と
共に配合され得る低分子重合開始剤においても、3次元
網目構造によって拘束されて溶出し難い状態になってい
る必要があるという点を考慮して、配合可能な種類や配
合量が選定される。従って、得られたバックコート膜
は、高分子重合開始剤および必要に応じて加えられる低
分子重合開始剤を含有する硬化型樹脂化合物によって形
成されるので、エッチング速度を上げても孔ムラなくエ
ッチングできる。その結果、効率的なエッチングを行う
ことができると共に、シャドウマスクの製造効率を向上
させることができるという顕著な効果を発揮する。
The polymer polymerization initiator described above causes the polymerizable compound in the curable resin composition to undergo a radical polymerization reaction by its action, thereby curing the back coat film. On the other hand, the polymer polymerization initiator itself forms a three-dimensional network structure with the polymerizable compound and is included in the back coat film. When such a back coat film is formed, even if the etching temperature in the secondary etching step is increased, no adhesion or deposition of foreign matter is observed on the portion to be etched. This is because a strong back coat film having a three-dimensional network structure was formed by the action of the polymer polymerization initiator, and the polymer polymerization initiator and other components were easily restrained by the three-dimensional network structure. It is presumed to be based on the reason that it is difficult to elute into the water. In addition, even in the case of a low-molecular-weight polymerization initiator that can be blended with the high-molecular-weight polymerization initiator, considering that it is necessary to be in a state in which it is difficult to be eluted by being constrained by the three-dimensional network structure, The compounding amount is selected. Therefore, since the obtained back coat film is formed of a curable resin compound containing a high molecular weight polymerization initiator and a low molecular weight polymerization initiator added as needed, even if the etching rate is increased, the etching is performed without unevenness of the holes. it can. As a result, a remarkable effect is exhibited in that efficient etching can be performed and the manufacturing efficiency of the shadow mask can be improved.

【0060】なお、本発明の硬化型樹脂組成物には、レ
ベリング剤やその他の配合材料を必要に応じて配合でき
る。レベリング剤は、硬化型樹脂組成物の微小凹部への
充填性、硬化塗膜の表面平滑性、組成物の消泡性および
表面張力を調整する成分である。一般的な消泡剤、表面
平滑剤、湿潤分散剤等を用いることにより、十分に目的
を達成できる。
The curable resin composition of the present invention may contain a leveling agent and other compounding materials as necessary. The leveling agent is a component that adjusts the filling property of the curable resin composition into the fine recesses, the surface smoothness of the cured coating film, the defoaming property of the composition, and the surface tension. The purpose can be sufficiently achieved by using a general antifoaming agent, surface smoothing agent, wetting and dispersing agent, and the like.

【0061】以上、本発明の硬化型樹脂組成物について
説明したが、その硬化型樹脂組成物を塗布する方法とし
ては、ロールコート法、スプレーコート法、フローコー
ト法、ディップコート法等の通常の塗布方法を用いるこ
とができる。硬化型樹脂組成物を室温以上の温度に加温
することによって、組成物の粘度低下により微小凹部へ
の充填性をより向上させることもできる。本発明の硬化
型樹脂組成物は、通常の方法により、高圧水銀ランプ、
メタルハライドランプ、キセノンランプ等で紫外線を照
射して硬化させることができる。
As described above, the curable resin composition of the present invention has been described. As a method for applying the curable resin composition, conventional methods such as a roll coating method, a spray coating method, a flow coating method, and a dip coating method are used. A coating method can be used. By heating the curable resin composition to a temperature equal to or higher than room temperature, the filling property of the fine concave portions can be further improved by lowering the viscosity of the composition. The curable resin composition of the present invention is obtained by a normal method using a high-pressure mercury lamp,
It can be cured by irradiating ultraviolet rays with a metal halide lamp, a xenon lamp or the like.

【0062】本発明の硬化型樹脂組成物により、バック
コート膜が強固に形成されるので、シャドウマスク製造
工程中の搬送や取り扱いによってもバックコート膜にク
ラックや剥離が生じにくい。さらに、シャドウマスクの
金属薄板の補強材としての役割を担うこともできる。そ
のため、二次エッチング工程の際の微小凹部のエッチン
グを精度良く行うことができると共に、高精度で高品質
なシャドウマスクの製造にも極めて有効である。
Since the back coat film is firmly formed by the curable resin composition of the present invention, the back coat film is unlikely to be cracked or peeled even during transportation and handling during the shadow mask manufacturing process. Further, the shadow mask can also serve as a reinforcing material for the metal sheet. Therefore, it is possible to perform etching of the minute concave portion at the time of the secondary etching step with high accuracy, and it is extremely effective in manufacturing a high-accuracy and high-quality shadow mask.

【0063】(2)シャドウマスクの製造方法 図1は、本発明のシャドウマスクの製造方法の一例を示
す工程図である。
(2) Method of Manufacturing Shadow Mask FIG. 1 is a process chart showing an example of a method of manufacturing a shadow mask of the present invention.

【0064】シャドウマスク1は、予めアルカリ脱脂や
水洗が行われたアンバー材(Fe−36質量%Ni合
金)等の金属薄板2を基材として使用し、最初に、その
金属薄板2の両面に感光性樹脂塗膜を形成する(感光性
樹脂塗膜の形成工程)。感光性樹脂塗膜は、金属薄板2
上に所定の厚さで塗布され、乾燥されて形成される。感
光性樹脂としては、通常、カゼインや変性PVA(ポリ
ビニルアルコール)と重クロム酸塩とからなる樹脂組成
物等が用いられ、その塗布方法としては、ディピング法
やキスコータ法等が用いられる。
The shadow mask 1 uses a thin metal plate 2 made of an invar material (Fe-36 mass% Ni alloy) or the like which has been subjected to alkali degreasing or water washing in advance as a base material. A photosensitive resin coating film is formed (a step of forming a photosensitive resin coating film). The photosensitive resin film is a thin metal plate 2.
It is applied to a predetermined thickness on the top and dried to form. As the photosensitive resin, a resin composition composed of casein or modified PVA (polyvinyl alcohol) and a dichromate is usually used, and as a coating method, a dipping method or a kiss coater method is used.

【0065】次に、感光性樹脂塗膜3を所定のパターン
に写真焼付する(写真焼付工程)。写真焼付は、金属薄
板2の両面に形成された感光性樹脂塗膜3に、シャドウ
マスクの電子銃側の小孔に対応するパターンが形成され
たフォトマスクと、シャドウマスクの蛍光面側の大孔に
対応するパターンが形成されたフォトマスクとからなる
一対のフォトマスクを密着し、紫外光等を照射し、その
照射によって各フォトマスクのパターン通りに硬化させ
て行われる。
Next, the photosensitive resin coating film 3 is photographic printed in a predetermined pattern (photo printing step). Photo printing is performed by forming a photomask in which a pattern corresponding to a small hole on the electron gun side of a shadow mask is formed on a photosensitive resin coating film 3 formed on both surfaces of a metal thin plate 2 and a large mask on a fluorescent surface side of the shadow mask. This is performed by closely adhering a pair of photomasks including a photomask on which a pattern corresponding to the hole is formed, irradiating ultraviolet light or the like, and curing the photomask according to the pattern of each photomask.

【0066】次に、感光性樹脂塗膜3の非感光部を除去
する(非感光部の除去工程)。紫外線が照射されない非
感光部は、所定の現像液によって現像処理し、容易に除
去することができる。その後、乾燥、硬膜処理(ベーキ
ング)を行なって、図1(a)に示すように、上述した
一対のフォトマスクのパターンに対応するレジストパタ
ーンが形成される。
Next, the non-photosensitive portion of the photosensitive resin coating film 3 is removed (step of removing the non-photosensitive portion). The non-photosensitive portion not irradiated with the ultraviolet rays can be developed with a predetermined developing solution and easily removed. Thereafter, drying and hardening (baking) are performed to form a resist pattern corresponding to the pair of photomask patterns described above, as shown in FIG.

【0067】次に、塩化第二鉄水溶液等の酸性エッチン
グ溶液によって一次エッチングを行う(一次エッチング
工程)。一次エッチング工程は、図1(b)に示すよう
に、金属薄板2の表裏両面に互いに貫通しない微小凹部
6、7を形成する工程であり、(i)小孔側と大孔側の
両側から同時にエッチングする方法、(ii)先ず、一方
の表面にエッチング抵抗材や保護フィルム等を設けて他
方の表面をエッチングし、次いで、エッチングした面に
エッチング抵抗材や保護フィルム等を設けてもう一方の
面をエッチングする方法、等によって行うことができ
る。エッチング液としては、塩化第二鉄水溶液に代表さ
れるような酸性のエッチング溶液が用いられる。エッチ
ング後は、通常、アルカリ中和処理、多段水洗によって
洗浄される。
Next, primary etching is performed with an acidic etching solution such as an aqueous ferric chloride solution (primary etching step). The primary etching step is, as shown in FIG. 1 (b), a step of forming minute recesses 6, 7 which do not penetrate each other on both the front and back surfaces of the metal sheet 2, and (i) from both sides of the small hole side and the large hole side. (Ii) First, an etching resistance material or a protection film is provided on one surface and the other surface is etched, and then an etching resistance material or a protection film is provided on the etched surface and the other is etched. It can be performed by a method of etching the surface, or the like. As the etching solution, an acidic etching solution represented by an aqueous ferric chloride solution is used. After the etching, it is usually washed by alkali neutralization treatment and multi-stage water washing.

【0068】次に、一方の微小凹部6にバックコート膜
8を形成する(バックコート工程)。バックコート工程
は、図1(c)に示すように、一方の微小凹部6を充填
するバックコート膜8を形成することによって、最終的
に製造されるシャドウマスク1の孔をムラなく且つ精度
良く形成するために行われる。通常、図1(c)に示す
ように、小孔側の微小凹部6に、上述した本発明のバッ
クコート用紫外線硬化型樹脂組成物(硬化型樹脂組成
物)を塗布し、その隅々まで十分に充填し、その後紫外
線を照射して硬化させ、バックコート膜8を形成する。
Next, a back coat film 8 is formed in one of the minute concave portions 6 (back coat step). In the back coat step, as shown in FIG. 1 (c), by forming a back coat film 8 filling one of the minute concave portions 6, the holes of the finally manufactured shadow mask 1 can be uniformly and accurately formed. Done to form. Normally, as shown in FIG. 1 (c), the above-described ultraviolet curable resin composition for back coat (curable resin composition) of the present invention is applied to the small concave portion 6 on the small hole side, and the corners are formed. The back coat film 8 is formed by sufficiently filling and then curing by irradiating ultraviolet rays.

【0069】次に、バックコート膜8が形成されていな
い側の微小凹部7を再びエッチングする(二次エッチン
グ工程)。二次エッチングは、図1(d)に示すよう
に、バックコート膜8が形成されていない大孔側の微小
凹部7を、第一エッチングと同じ塩化第二鉄水溶液から
なるエッチング液でエッチングすることによって拡大
し、バックコート膜8が形成された小孔側の微小凹部6
に貫通(連通)させる工程である。エッチング後は、第
一エッチングの場合と同様に、アルカリ中和処理、多段
水洗によって洗浄される。
Next, the micro concave portion 7 on the side where the back coat film 8 is not formed is etched again (secondary etching step). In the secondary etching, as shown in FIG. 1 (d), the small concave portion 7 on the large hole side where the back coat film 8 is not formed is etched with the same etching solution made of an aqueous ferric chloride solution as in the first etching. The small concave portion 6 on the small hole side on which the back coat film 8 is formed
This is a step of penetrating (communicating) through the holes. After the etching, as in the case of the first etching, cleaning is performed by alkali neutralization treatment and multi-stage water washing.

【0070】最後に、バックコート膜8と感光性樹脂塗
膜3とを溶解除去する(溶解除去工程)。溶解除去には
水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液が用いら
れ、図1(e)に示すように、溶解除去によって所定の
孔を有するシャドウマスク1が製造される。製造された
シャドウマスク1は、開孔径(小孔と大孔との連通部分
の開孔径)を、一次エッチング時の小孔側のエッチング
量の調整によって制御できるので、高精細且つ高品質と
なる。
Finally, the back coat film 8 and the photosensitive resin coating film 3 are dissolved and removed (dissolution removing step). An alkaline aqueous solution such as an aqueous sodium hydroxide solution is used for dissolution and removal, and as shown in FIG. 1E, the shadow mask 1 having predetermined holes is manufactured by dissolution and removal. Since the manufactured shadow mask 1 can control the opening diameter (the opening diameter of the communicating portion between the small hole and the large hole) by adjusting the etching amount on the small hole side in the primary etching, the shadow mask 1 has high definition and high quality. .

【0071】本発明のシャドウマスクの製造方法の特徴
は、バックコート工程中の硬化型樹脂組成物の塗布工程
において、上述した硬化型樹脂組成物、すなわち一分子
中に一以上の酸基と一以上の(メタ)アクリロイル基と
を含有する重合性化合物と、主鎖に、ラジカルを発生さ
せる側鎖が複数結合した質量平均分子量500〜500
0の高分子重合開始剤とを含有する硬化型樹脂組成物を
用いたことにある。上述した本発明の硬化型樹脂組成物
を用いてバックコート膜8を形成すると、その後の二次
エッチング工程において、エッチング液の温度を70〜
100℃、好ましくは80〜90℃の高温としても、被
エッチング部である微小凹部7に、従来のような異物の
析出や付着が起こらないという現象が見られる。そのた
め、従来よりもエッチング温度を高くしてエッチング速
度を上げることができるので、二次エッチングの工程効
率ひいてはシャドウマスクの製造効率を向上させること
ができる。異物の析出や付着が起こらない原因は、上述
したとおりである。
A feature of the method for producing a shadow mask of the present invention is that, in the step of applying the curable resin composition during the back coat step, the above-mentioned curable resin composition, that is, one or more acid groups in one molecule is used. A polymerizable compound containing the above (meth) acryloyl group and a mass average molecular weight of 500 to 500 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded to the main chain.
A curable resin composition containing a high molecular weight polymerization initiator is used. When the back coat film 8 is formed using the above-described curable resin composition of the present invention, the temperature of the etchant is set to 70 to 70 in the subsequent secondary etching step.
Even at a high temperature of 100 ° C., preferably 80 ° C. to 90 ° C., the phenomenon that no foreign matter is deposited or adhered to the minute concave portion 7 which is the portion to be etched as in the related art is observed. For this reason, the etching rate can be increased by increasing the etching temperature as compared with the related art, so that the process efficiency of the secondary etching and the manufacturing efficiency of the shadow mask can be improved. The reason why the deposition or adhesion of the foreign matter does not occur is as described above.

【0072】得られたバックコート膜は、硬化型樹脂組
成物に含有する高分子重合開始剤と重合性化合物とによ
って3次元網目構造で形成される。こうした構造を有す
るバックコート膜は高い強度で均一に形成されるので、
搬送等の作業によっても剥離や亀裂等が発生することが
なく、その後の二次エッチング工程を安定して行って品
質の安定したシャドウマスクを製造することができる。
さらに、シャドウマスクの補強材としての役割を果たす
こともできる。また、強化されたバックコート膜は、乾
燥膜厚で10〜60μm好ましくは10〜25μmとい
う薄い厚さで形成しても、十分にバックコート膜として
の機能およびシャドウマスクの補強材としての機能を発
揮できる。バックコート膜を薄くすることは、その後の
アルカリ水溶液による溶解除去を短時間で行うことがで
きるので便利である。
The obtained back coat film is formed in a three-dimensional network structure by the polymer polymerization initiator and the polymerizable compound contained in the curable resin composition. Since the back coat film having such a structure is formed uniformly with high strength,
There is no occurrence of peeling or cracking even by a work such as transportation, and the subsequent secondary etching step can be performed stably to produce a shadow mask of stable quality.
Further, it can also serve as a reinforcing material for the shadow mask. Further, even when the reinforced back coat film is formed in a dry thickness of 10 to 60 μm, preferably 10 to 25 μm, it can sufficiently function as a back coat film and as a reinforcing material for a shadow mask. Can demonstrate. Reducing the thickness of the back coat film is convenient because the subsequent dissolution and removal with an aqueous alkali solution can be performed in a short time.

【0073】以上、本発明のシャドウマスクの製造方法
は、より効率的且つ高品質のシャドウマスクの製造に効
果的である。
As described above, the method of manufacturing a shadow mask according to the present invention is effective for manufacturing a more efficient and high quality shadow mask.

【0074】[0074]

【実施例】以下に実施例および比較例を挙げて、本発明
をより具体的に説明する。なお、以下において「%」は
質量%を意味し、「部」は質量部を意味する。
The present invention will be described more specifically with reference to the following examples and comparative examples. In the following, "%" means% by mass, and "part" means part by mass.

【0075】(実施例1)単官能アクリルモノマーとし
てビスコート#2100(商品名、大阪有機化学製)6
0部、一酸基多官能モノマーとして上記の化学式3のフ
タル酸モノ(2,2,2−トリ−アクリロイルオキシメ
チル)エチル(商品名:CBX−1、新中村化学製)3
5部、光重合開始剤としてn=3〜5で質量平均分子量
約500〜2000の2−ヒドロキシ−2−メチル−1
−(4−(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンの
ポリマーからなるKIP−150(商品名、lambe
rti chemical specialties
製)5部、を溶解・混合し、実施例1の硬化型樹脂組成
物を調製した。
(Example 1) Biscoat # 2100 (trade name, manufactured by Osaka Organic Chemicals) 6 as a monofunctional acrylic monomer
0 parts, mono (2,2,2-tri-acryloyloxymethyl) ethyl phthalate of the above formula 3 (trade name: CBX-1, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
5 parts, 2-hydroxy-2-methyl-1 having a weight average molecular weight of about 500 to 2,000 with n = 3 to 5 as a photopolymerization initiator
KIP-150 (trade name, lambe) comprising a polymer of-(4- (1-methylvinyl) phenyl) propanone
rti chemical specialties
Was dissolved and mixed to prepare a curable resin composition of Example 1.

【0076】(実施例2)光重合開始剤として、上記の
化学式5に表す質量平均分子量約2000〜3300の
〔6−〔(1,1,3,3−テトラメチルブチル)アミ
ノ〕−1,3,5−トリアジン−2,4−ジイル〕
〔(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジニ
ル)イミノ〕−1,6−ヘキサンジイル〔(2,2,
6,6−テトラメチル−4−ピペリジニル)イミノ〕の
ポリマー(DOUBLE BOND CHEMICAL
IND., CO., LTD. 製)5部を用いた以外は、実
施例1と同様にして、実施例2の硬化型樹脂組成物を調
製した。
Example 2 As a photopolymerization initiator, [6-[(1,1,3,3-tetramethylbutyl) amino] -1,1 having a mass average molecular weight of about 2000 to 3300 represented by the above chemical formula 5 was used. 3,5-triazine-2,4-diyl]
[(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino] -1,6-hexanediyl [(2,2,6
6,6-Tetramethyl-4-piperidinyl) imino] (DOUBLE BOND CHEMICAL)
IND., CO., LTD.) Was used in the same manner as in Example 1 except that 5 parts of the curable resin composition of Example 2 was prepared.

【0077】(実施例3)一酸基多官能モノマーとし
て、上記の化学式4のNKオリゴEA−1040(商品
名、新中村化学製)35部を用いた以外は、実施例1と
同様にして、実施例3の硬化型樹脂組成物を調製した。
Example 3 The procedure of Example 1 was repeated, except that 35 parts of NK oligo EA-1040 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) of the above formula 4 was used as the monofunctional polyfunctional monomer. The curable resin composition of Example 3 was prepared.

【0078】(比較例1)単官能アクリルモノマーとし
てビスコート#2100(商品名、大阪有機化学製)6
5部、多官能モノマーとして下記の化学式8に表すM−
315(商品名、東亜合成製)30部、光重合開始剤と
して低分子重合開始剤であるIrgacure184
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製)5部を溶解・
混合し、比較例1の硬化型樹脂組成物を調製した。
Comparative Example 1 Biscoat # 2100 (trade name, manufactured by Osaka Organic Chemicals) 6 as a monofunctional acrylic monomer
5 parts of M- represented by the following chemical formula 8 as a polyfunctional monomer:
315 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 30 parts, Irgacure 184 which is a low molecular weight polymerization initiator as a photopolymerization initiator
Dissolve 5 parts (Ciba Specialty Chemicals)
By mixing, a curable resin composition of Comparative Example 1 was prepared.

【0079】[0079]

【化14】 Embedded image

【0080】(比較例2)単官能アクリルモノマーとし
てビスコート#2100(商品名、大阪有機化学製)6
5部、多官能モノマーとして下記の化学式9に表すM−
215(商品名、東亜合成製)30部、光重合開始剤と
して低分子重合開始剤であるIrgacure184
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製)5部を溶解・
混合し、比較例2の硬化型樹脂組成物を調製した。
Comparative Example 2 Biscoat # 2100 (trade name, manufactured by Osaka Organic Chemical) 6 as a monofunctional acrylic monomer
5 parts, M- represented by the following chemical formula 9 as a polyfunctional monomer:
215 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 30 parts, Irgacure 184 which is a low molecular weight polymerization initiator as a photopolymerization initiator
Dissolve 5 parts (Ciba Specialty Chemicals)
By mixing, a curable resin composition of Comparative Example 2 was prepared.

【0081】[0081]

【化15】 Embedded image

【0082】(90℃エッチング析出性試験)実施例1
〜3および比較例1、2の各硬化型樹脂組成物を、硬化
後の膜厚が30μmになるようにアンバー合金薄板上に
塗布した。その塗膜に対して、240Wの高圧水銀ラン
プを用いて1000mJ/cm2 の紫外線を照射し、塗
膜表面のタックがないことをもって塗膜の硬化を確認
し、照射を終了した。
(Test at 90 ° C. Etching Precipitation) Example 1
Each of the curable resin compositions of Comparative Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 was applied on an Invar alloy thin plate so that the film thickness after curing became 30 μm. The coating film was irradiated with ultraviolet light of 1000 mJ / cm 2 using a 240 W high-pressure mercury lamp. The absence of tack on the coating film surface confirmed the curing of the coating film, and the irradiation was terminated.

【0083】得られた硬化膜から50g採取し、45°
Be(ボーメ)のFeCl2 水溶液:500gと、HC
l(36%):2.8gとからなるエッチング液に投入
し、エアーバブリングしながら90℃、4時間加熱還流
処理を行った。処理後の硬化膜をろ過により取り除き、
そのろ液を室温で15時間放置した。放置後のろ液を1
μmフィルターでろ過し、得られた析出物を乾燥して、
その析出物の質量を測定した。90℃エッチング析出性
試験の評価基準としては、○:析出量が0.5g未満、
△:析出量が0.5g以上〜1.0g未満、×:析出量
が1.0g以上、とした。結果を表1に示した。
From the obtained cured film, 50 g was collected, and 45 °
Be (Bome) FeCl 2 aqueous solution: 500 g, HC
1 (36%): 2.8 g, and the mixture was heated and refluxed at 90 ° C. for 4 hours while air bubbling. The cured film after treatment is removed by filtration,
The filtrate was left at room temperature for 15 hours. Remove the filtrate after standing
Filter through a μm filter, dry the resulting precipitate,
The mass of the precipitate was measured. The evaluation criteria for the 90 ° C. etching deposition test were as follows: 析出: the deposition amount was less than 0.5 g;
Δ: The amount of precipitation was 0.5 g or more to less than 1.0 g, and X: The amount of precipitation was 1.0 g or more. The results are shown in Table 1.

【0084】(アルカリ溶解・剥離性試験)アンバー合
金薄板上にカゼインレジスト系感光性樹脂塗膜を形成
し、その後写真焼付工程、非感光部の除去工程を経てネ
ガパターンを形成した。次いで、一次エッチング工程に
より微小凹部を多数有する試験用薄板を作製した。その
試験用薄板の片面に、実施例1〜3および比較例1、2
の各硬化型樹脂組成物を塗布し、その後紫外線照射によ
って硬化させ、バックコート膜を形成した。
(Alkali dissolution / peelability test) A casein resist-based photosensitive resin coating film was formed on an amber alloy thin plate, and then a negative pattern was formed through a photographic printing process and a non-photosensitive portion removing process. Next, a test thin plate having a large number of minute concave portions was manufactured by a primary etching process. Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 were placed on one side of the test thin plate.
Each of the curable resin compositions was applied and then cured by ultraviolet irradiation to form a back coat film.

【0085】各硬化型樹脂組成物からなるバックコート
膜が形成された試験試料を、90℃の20%水酸化ナト
リウム水溶液中に投入し、バックコート膜が試験用薄板
から完全に剥がれる時間を測定した。アルカリ溶解・剥
離性試験の評価基準としては、◎:1分未満、○:1分
以上〜2分未満、△:2分以上〜3分未満、×:3分以
上、とした。結果を表1に示した。
A test sample on which a back coat film composed of each curable resin composition was formed was poured into a 20% aqueous sodium hydroxide solution at 90 ° C., and the time required for the back coat film to completely peel off from the test thin plate was measured. did. The evaluation criteria for the alkali dissolution / peelability test were as follows: : 1: less than 1 minute, 以上: 1 minute or more to less than 2 minutes, Δ: 2 minutes to less than 3 minutes, ×: 3 minutes or more. The results are shown in Table 1.

【0086】[0086]

【表1】 [Table 1]

【0087】[0087]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のバックコ
ート用紫外線硬化型樹脂組成物によれば、3次元の網目
構造を有する高強度のバックコート膜を容易に形成で
き、さらに、含有する高分子重合開始剤が、重合性化合
物と共に3次元網目構造を形成する。こうしたバックコ
ート膜を形成することにより、その後の二次エッチング
温度を上げても被エッチング部に異物の付着や析出がみ
られない。そのため、エッチング速度を上げることがで
き、効率的なエッチングとシャドウマスクの製造を行う
ことができる。さらに、従来と同様のアルカリ溶解性も
ある。
As described above, according to the ultraviolet curable resin composition for a back coat of the present invention, a high-strength back coat film having a three-dimensional network structure can be easily formed and further contained. The polymeric polymerization initiator forms a three-dimensional network with the polymerizable compound. By forming such a back coat film, no foreign matter adheres or deposits on the etched portion even when the subsequent secondary etching temperature is increased. Therefore, the etching rate can be increased, and efficient etching and manufacture of a shadow mask can be performed. Furthermore, it has the same alkali solubility as before.

【0088】本発明のシャドウマスクの製造方法によれ
ば、重合性化合物と高分子重合開始剤とを含有する硬化
型樹脂組成物によってバックコート膜を形成するので、
バックコート膜形成後の二次エッチング温度を上げても
被エッチング部に異物の付着や析出がみられない。その
ため、エッチング速度を上げることができ、効率的なエ
ッチングとシャドウマスクの製造を行うことができる。
また、3次元網目構造の高強度のバックコート膜が形成
されるので、搬送等の作業によっても剥離や亀裂等が発
生することがなく、その後の二次エッチング工程を安定
して行って品質の安定したシャドウマスクを製造するこ
とができると共に、シャドウマスクの補強材としての役
割を果たすこともできる。また薄いバックコート膜を形
成できるので、バックコート膜の溶解除去を効率的に行
うことができる。
According to the shadow mask manufacturing method of the present invention, the back coat film is formed by the curable resin composition containing the polymerizable compound and the polymer polymerization initiator.
Even when the secondary etching temperature after the formation of the back coat film is increased, no foreign matter adheres or deposits on the etched portion. Therefore, the etching rate can be increased, and efficient etching and manufacture of a shadow mask can be performed.
In addition, since a high-strength backcoat film having a three-dimensional network structure is formed, peeling or cracking does not occur even during operations such as conveyance, and the subsequent secondary etching process is performed stably to ensure quality. A stable shadow mask can be manufactured, and can also serve as a reinforcing material for the shadow mask. Further, since a thin back coat film can be formed, the back coat film can be efficiently dissolved and removed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のシャドウマスクの製造方法の一例を示
す工程図である。
FIG. 1 is a process chart showing an example of a method for manufacturing a shadow mask of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シャドウマスク 2 金属薄板 3 感光性樹脂塗膜 4 小孔側 5 大孔側 6、7 微小凹部 8 バックコート膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Shadow mask 2 Thin metal plate 3 Photosensitive resin coating film 4 Small hole side 5 Large hole side 6, 7 Fine recess 8 Back coat film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AA09 AA10 AA13 AB14 AB20 AC01 AD01 BC13 BC42 CA01 CA03 CA28 4J011 AA05 DA02 FB01 QA03 QA12 QA22 QA35 RA10 SA61 SA78 SA89 UA01 VA01 WA01 4J038 FA151 GA02 GA03 GA06 JA33 JB36 KA03 MA14 PA17 PB09 PC02 5C027 HH11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H025 AA09 AA10 AA13 AB14 AB20 AC01 AD01 BC13 BC42 CA01 CA03 CA28 4J011 AA05 DA02 FB01 QA03 QA12 QA22 QA35 RA10 SA61 SA78 SA89 UA01 VA01 WA01 4J038 FA151 GA02 GA03 GA03 PA03 PB09 PC02 5C027 HH11

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一分子中に一以上の酸基と一以上のアク
リロイル基またはメタクリロイル基とを有する重合性化
合物と、主鎖に、ラジカルを発生させる側鎖が複数結合
した質量平均分子量500〜5000の高分子重合開始
剤とを含有することを特徴とするバックコート用紫外線
硬化型樹脂組成物。
1. A polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule, and a mass average molecular weight of 500 to 500 in which a plurality of side chains generating radicals are bonded to a main chain. An ultraviolet-curable resin composition for a back coat, comprising 5,000 of a polymer polymerization initiator.
【請求項2】 前記高分子重合開始剤が、下記の化学式
1で表されることを特徴とする請求項1に記載のバック
コート用紫外線硬化型樹脂組成物。この化学式1におい
て、nは3〜5の整数、R1〜R3はH及び/又はアル
キル基、R4はフェニル基、ヒドロキシアルキル基、ヒ
ドロキシシクロヘキシル基、ジアルコキシ基またはそれ
らの誘導基の何れかから選ばれる。 【化1】
2. The ultraviolet curable resin composition for a back coat according to claim 1, wherein the polymer polymerization initiator is represented by the following chemical formula 1. In the chemical formula 1, n is an integer of 3 to 5, R1 to R3 are H and / or an alkyl group, and R4 is a phenyl group, a hydroxyalkyl group, a hydroxycyclohexyl group, a dialkoxy group, or a derivative thereof. It is. Embedded image
【請求項3】 前記高分子重合開始剤が、2−ヒドロキ
シ−2−メチル−1−(4−(1−メチルビニル)フェ
ニル)プロパノンのポリマーであることを特徴とする請
求項2に記載のバックコート用紫外線硬化型樹脂組成
物。
3. The method according to claim 2, wherein the polymer polymerization initiator is a polymer of 2-hydroxy-2-methyl-1- (4- (1-methylvinyl) phenyl) propanone. UV curable resin composition for back coat.
【請求項4】 前記高分子重合開始剤が、下記の化学式
2で表されることを特徴とする請求項1に記載のバック
コート用紫外線硬化型樹脂組成物。この化学式2におい
て、nは1〜6の整数、mは3〜5の整数、R1〜R8
はH及び/又はアルキル基、R9はH及び/又はアルキ
ル基またはそれらの誘導基の何れかから選ばれる。 【化2】
4. The ultraviolet curable resin composition for a back coat according to claim 1, wherein the polymer polymerization initiator is represented by the following chemical formula 2. In the chemical formula 2, n is an integer of 1 to 6, m is an integer of 3 to 5, R1 to R8
Is H and / or an alkyl group, and R9 is selected from H and / or an alkyl group or a derivative thereof. Embedded image
【請求項5】 前記高分子重合開始剤が、〔6−
〔(1,1,3,3−テトラメチルブチル)アミノ〕−
1,3,5−トリアジン−2,4−ジイル〕〔(2,
2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジニル)イミ
ノ〕−1,6−ヘキサンジイル〔(2,2,6,6−テ
トラメチル−4−ピペリジニル)イミノ〕のポリマーで
あることを特徴とする請求項4に記載のバックコート用
紫外線硬化型樹脂組成物。
5. The method according to claim 1, wherein the polymer polymerization initiator is [6-
[(1,1,3,3-tetramethylbutyl) amino]-
1,3,5-triazine-2,4-diyl] [(2,
2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino] -1,6-hexanediyl [(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidinyl) imino]. The ultraviolet curable resin composition for a back coat according to claim 4.
【請求項6】 前記重合性化合物が、一分子中に一以上
の酸基と二以上のアクリロイル基またはメタクリロイル
基とを有する化合物であることを特徴とする請求項1乃
至請求項5の何れかに記載のバックコート用紫外線硬化
型樹脂組成物。
6. The compound according to claim 1, wherein the polymerizable compound is a compound having one or more acid groups and two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule. 3. The ultraviolet-curable resin composition for a back coat according to 1.).
【請求項7】 金属薄板両面への感光性樹脂塗膜の形成
工程、当該感光性樹脂塗膜の露光部の写真焼き付け工
程、当該感光性樹脂塗膜の非感光部の除去工程、一次エ
ッチング工程、一次エッチングした金属薄板の片面にバ
ックコート膜を形成するバックコート工程、二次エッチ
ング工程、および前記感光性樹脂塗膜と前記バックコー
ト膜とをアルカリ処理によって除去する工程、を順次経
るシャドウマスクの製造方法において、 前記バックコート工程が、一分子中に一以上の酸基と一
以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基とを有す
る重合性化合物と、主鎖に、ラジカルを発生させる側鎖
が複数結合した質量平均分子量500〜5000の高分
子重合開始剤とを含有するバックコート用紫外線硬化型
樹脂組成物の塗布工程を含むことを特徴とするシャドウ
マスクの製造方法。
7. A step of forming a photosensitive resin coating film on both sides of a metal thin plate, a step of photographic printing of an exposed portion of the photosensitive resin coating film, a step of removing a non-photosensitive portion of the photosensitive resin coating film, and a primary etching step A shadow mask comprising a back coat step of forming a back coat film on one side of a primarily etched metal sheet, a secondary etching step, and a step of removing the photosensitive resin coating film and the back coat film by an alkali treatment. In the manufacturing method, the back coat step, a polymerizable compound having one or more acid groups and one or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule, and a main chain, a plurality of side chains that generate radicals bonded And an application step of an ultraviolet-curable resin composition for a back coat containing a polymerized polymerization initiator having a mass average molecular weight of 500 to 5,000. Method of manufacturing a shadow mask to butterflies.
【請求項8】 前記高分子重合開始剤が、下記の化学式
1で表されることを特徴とする請求項7に記載のシャド
ウマスクの製造方法。この化学式1において、nは3〜
5の整数、R1〜R3はH及び/又はアルキル基、R4
はフェニル基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシシク
ロヘキシル基、ジアルコキシ基またはそれらの誘導基の
何れかから選ばれる。 【化3】
8. The method of claim 7, wherein the polymer polymerization initiator is represented by the following Chemical Formula 1. In the chemical formula 1, n is 3 to
An integer of 5, R1 to R3 are H and / or an alkyl group, R4
Is selected from phenyl, hydroxyalkyl, hydroxycyclohexyl, dialkoxy and their derivatives. Embedded image
【請求項9】 前記高分子重合開始剤が、下記の化学式
2で表されることを特徴とする請求項7に記載のシャド
ウマスクの製造方法。この化学式2において、nは1〜
6の整数、mは3〜5の整数、R1〜R8はH及び/又
はアルキル基、R9はH及び/又はアルキル基またはそ
れらの誘導基の何れかから選ばれる。 【化4】
9. The method of claim 7, wherein the polymer polymerization initiator is represented by the following Chemical Formula 2. In the chemical formula 2, n is 1 to
An integer of 6, m is an integer of 3 to 5, R1 to R8 are H and / or an alkyl group, and R9 is selected from an H and / or an alkyl group or a derivative thereof. Embedded image
【請求項10】 前記バックコート用紫外線硬化型樹脂
組成物の塗布工程において、当該バックコート用紫外線
硬化型樹脂組成物を乾燥膜厚で10〜60μmとなるよ
うに塗布することを特徴とする請求項7乃至請求項9の
何れかに記載のシャドウマスクの製造方法。
10. The method of applying an ultraviolet-curable resin composition for a back coat, wherein the ultraviolet-curable resin composition for a back coat is applied to a dry film thickness of 10 to 60 μm. A method for manufacturing a shadow mask according to any one of claims 7 to 9.
【請求項11】 前記二次エッチング工程が、70〜1
00℃の温度の酸性エッチング液でなされることを特徴
とする請求項7乃至請求項10の何れかに記載のシャド
ウマスクの製造方法。
11. The method according to claim 11, wherein the secondary etching step is performed at 70 to 1
11. The method of manufacturing a shadow mask according to claim 7, wherein the method is performed with an acidic etching solution at a temperature of 00.degree.
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