JP2001266779A - Fluorescent display tube and its drive method - Google Patents

Fluorescent display tube and its drive method

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JP2001266779A
JP2001266779A JP2000079237A JP2000079237A JP2001266779A JP 2001266779 A JP2001266779 A JP 2001266779A JP 2000079237 A JP2000079237 A JP 2000079237A JP 2000079237 A JP2000079237 A JP 2000079237A JP 2001266779 A JP2001266779 A JP 2001266779A
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JP
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filament
display tube
fluorescent display
grid
selection voltage
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Application number
JP2000079237A
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Japanese (ja)
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Yukio Ogawa
小川行雄
Kazuyoshi Ishikawa
石川和良
Katsutoshi Kogo
向後克俊
Hiroaki Kawasaki
川崎博明
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Original Assignee
Futaba Corp
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluorescent display tube having planar grids, reducing charge-up of an insulating layer, to prevent an eclipse phenomenon of electrons and to disperse electrons emitted from filaments to anode electrodes to both sides of a linear filmament into a uniformly planar form. SOLUTION: Stripe thin film anode electrodes A1-An and stripe thin film grids G1-G7 are formed in matrix on a first substrate S1 via a thin-film insulating layer D. Opening portions are formed in the insulating layer and the grids, fluorescent materials H11-H7n are applied to the anode electrodes in the opening portions, and the grids are equal in height to or smaller than the fluorescent materials. Back electrodes B1-B9 are formed on a second substrate S2 for controlling electron emission of the filaments, and a potential gradient is provided for control voltage to be applied to the back electrodes, so as to differentiate a potential between points which are close to and far from the filaments F1, F2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、平面グリッドを
用いたグラフィックタイプ蛍光表示管(VFD)及びそ
の駆動方法に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a graphic type fluorescent display (VFD) using a plane grid and a driving method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】図11は、従来の平面グリッドを用いた
蛍光表示管のアノード側基板の一部の平面図と断面図を
示す。図11(b)、(c)は、図11(a)の矢印X
方向の拡大断面図であるが、図11(b)と図11
(c)は、開口部の構造が異なる。S1は、アノード側
のガラス基板で、複数のストライプ状アノード電極A1
〜Amが形成され、そのアノード電極A1〜Amの上に
ベタ状の絶縁層Dが、絶縁層Dの上にグリッドG1〜G
7が形成されている。アノード電極A1〜Amとグリッ
ドG1〜G7は、マトリクス状に配列されている。グリ
ッドG1〜G7及び絶縁層Dには四角形の開口部が形成
され、その開口部内のアノード電極上に蛍光体H11〜
H7mが塗布されている。アノード電極A1〜Am、グ
リッドG1〜G7、蛍光体H11〜H7m及び絶縁層D
は、厚膜で、印刷により形成される。
2. Description of the Related Art FIG. 11 shows a plan view and a sectional view of a part of an anode-side substrate of a fluorescent display tube using a conventional flat grid. FIGS. 11B and 11C show arrows X in FIG.
FIG. 11B is an enlarged cross-sectional view of FIG.
(C) is different in the structure of the opening. S1 is a glass substrate on the anode side and includes a plurality of striped anode electrodes A1.
To Am, and a solid insulating layer D on the anode electrodes A1 to Am, and grids G1 to G on the insulating layer D.
7 are formed. The anode electrodes A1 to Am and the grids G1 to G7 are arranged in a matrix. Square openings are formed in the grids G1 to G7 and the insulating layer D, and the phosphors H11 to H11 are formed on the anode electrodes in the openings.
H7m is applied. Anode electrodes A1 to Am, grids G1 to G7, phosphors H11 to H7m, and insulating layer D
Is a thick film formed by printing.

【0003】図11(b)の場合は、蛍光体H21と絶
縁層Dの高さは同じであるが、図11(c)の場合は、
蛍光体H21は絶縁層Dよりも低い位置に形成されてい
る。なお図示しないフィラメントは、グリッドG1〜G
7の上方(アノード電極と反対の側)に張架されている。
(実開昭63−69354号公報参照)。
In the case of FIG. 11B, the height of the phosphor H21 and the height of the insulating layer D are the same, but in the case of FIG.
The phosphor H21 is formed at a position lower than the insulating layer D. The filaments not shown are grids G1 to G
7 (on the side opposite to the anode electrode).
(See JP-A-63-69354).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】グリッドは、フィラメ
ントからアノード電極へ放射される電子を引き出す機能
有するため、アノード電極よりもフィラメントに近い側
に配置する必要がある。図11(b)、(c)のいずれ
の場合も、グリッドG2、G3は、蛍光体H21、H3
1よりも高い位置(フィラメントに近い側)に配置され
ている。その結果、図11(b)の場合には、フィラメ
ントからアノード電極A1へ放射された電子の一部は、
絶縁層Dの露出面Ds1に衝突し、チャージアップす
る。また図11(c)の場合には、絶縁層Dの露出面D
s2に衝突し、チャージアップする。
Since the grid has a function of extracting electrons emitted from the filament to the anode electrode, it is necessary to arrange the grid closer to the filament than the anode electrode. In both cases of FIGS. 11B and 11C, the grids G2 and G3 correspond to the phosphors H21 and H3.
It is arranged at a position higher than 1 (closer to the filament). As a result, in the case of FIG. 11B, some of the electrons emitted from the filament to the anode electrode A1 are:
It collides with the exposed surface Ds1 of the insulating layer D and charges up. In the case of FIG. 11C, the exposed surface D of the insulating layer D
It collides with s2 and charges up.

【0005】図11(b)、(c)の場合には、このチ
ャージアップした電荷により、蛍光体H21の端部に到
来する電子は、反発されて蛍光体H21に到達できな
い、いわゆる電子のけられ現象が生じ、その結果、蛍光
体H21の端部には発光しない部分が生じる。蛍光体H
31についても同様である。この電子のけられ現象の影
響は、アノード電極やグリッドの幅が小さくなり、それ
らの間隔が小さくなるほど大きくなる。即ち、精細度が
高くなるほど電子のけられ現象の影響は大きく、表示品
質を低下させる。
In the cases shown in FIGS. 11B and 11C, the electrons arriving at the end of the phosphor H21 are repelled by the charged-up charges and cannot reach the phosphor H21. As a result, a portion that does not emit light occurs at the end of the phosphor H21. Phosphor H
The same applies to 31. The effect of this electron eclipse phenomenon becomes greater as the width of the anode electrode and the grid decreases and the distance between them decreases. In other words, the higher the definition, the greater the effect of the electron eclipse phenomenon and the lower the display quality.

【0006】また従来の蛍光表示管は、グリッドG1〜
G7や絶縁層Dを厚膜により形成しているため、例え
ば、絶縁層Dの厚みは、0.2mm程度が限度であるか
ら、厚膜では、精細度を高くすることは困難である。さ
らに、グリッドG1〜G7に開口部を形成する際、開口
部の形状が図11(a)の場合、開口部形成用のマスク
にブリッジを設けることができないため、事実上マスク
蒸着を採用することはできない。
Further, the conventional fluorescent display tube has grids G1 to G1.
Since G7 and the insulating layer D are formed of a thick film, for example, the thickness of the insulating layer D is limited to about 0.2 mm. Therefore, it is difficult to increase the definition of a thick film. Further, when the openings are formed in the grids G1 to G7, if the shape of the openings is as shown in FIG. 11A, a bridge cannot be provided in the mask for forming the openings, so that mask evaporation is practically adopted. Can not.

【0007】かつ、蛍光表示管のフィラメントは、所定
間隔で張架されているため、アノード電極が、フィラメ
ントに近い箇所と遠い箇所とでは、放射される電子の量
に差があり、その差が発光輝度の差(輝度むら)を生じ
る。本願発明は、これらの点に鑑み、絶縁層のチャージ
アップが小さく、フィラメントから放出される電子が均
一に面状に拡散され、輝度むらの小さい、高精細度の蛍
光表示管を提供し、かつグリッドをマスク蒸着で形成す
ることができる蛍光表示管を提供することを目的とす
る。
[0007] Further, since the filament of the fluorescent display tube is stretched at a predetermined interval, the amount of emitted electrons is different between a portion where the anode electrode is close to the filament and a portion which is far from the filament. A difference in light emission luminance (luminance unevenness) occurs. In view of these points, the present invention provides a high-definition fluorescent display tube in which charge-up of an insulating layer is small, electrons emitted from a filament are uniformly diffused in a plane, and luminance unevenness is small, and An object of the present invention is to provide a fluorescent display tube in which a grid can be formed by mask evaporation.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本願発明の蛍光表示管
は、ストライプ状のアノード電極とストライプ状のグリ
ッドとが絶縁層を介してマトリクス状に形成された第1
基板と、ストライプ状の背面電極が形成された第2基板
との間に、フィラメントが背面電極の長手方向に張架さ
れ、アノード電極とグリッドとが交差する箇所のグリッ
ドと絶縁層に開口部が形成され、その開口部内のアノー
ド電極上に蛍光体が塗布されている。本願発明の蛍光表
示管は、グリッドの高さが蛍光体とほぼ同じか、蛍光体
よりも低い位置にグリッドを形成してある。本願発明の
蛍光表示管は、グリッドが薄膜で形成されている。本願
発明の蛍光表示管は、グリッドの開口部に切り欠き部が
形成されている。本願発明の蛍光表示管は、背面電極に
印加するフィラメント選択電圧に電位勾配を設定する手
段を設けている。
A fluorescent display tube according to the present invention has a first structure in which a striped anode electrode and a striped grid are formed in a matrix with an insulating layer interposed therebetween.
A filament is stretched in the longitudinal direction of the back electrode between the substrate and the second substrate on which the striped back electrode is formed, and an opening is formed in the grid and the insulating layer where the anode electrode and the grid intersect. The phosphor is applied on the anode electrode in the opening. In the fluorescent display tube of the present invention, the grid is formed at a position where the height of the grid is substantially the same as or lower than that of the phosphor. In the fluorescent display tube of the present invention, the grid is formed of a thin film. In the fluorescent display tube of the present invention, a notch is formed in the opening of the grid. The fluorescent display tube of the present invention is provided with a means for setting a potential gradient to the filament selection voltage applied to the back electrode.

【0009】本願発明は、背面電極のフィラメント制御
群毎にフィラメント選択電圧とフィラメント非選択電圧
を時分割で印加して、電子を放出するフィラメントを選
択している。本願発明は、フィラメントにフィラメント
選択電圧とフィラメント非選択電圧を時分割で印加し
て、電子を放出するフィラメントを選択している。本願
発明は、背面電極のフィラメント制御群毎にフィラメン
ト選択電圧とフィラメント非選択電圧を時分割で印加
し、フィラメントにフィラメント選択電圧とフィラメン
ト非選択電圧を時分割で印加して、電子を放出するフィ
ラメントを選択している。本願発明は、背面電極のフィ
ラメント制御群毎に印加するフィラメント選択電圧に電
位勾配を設けている。本願発明は、グリッドにグリッド
選択電圧を時分割で印加し、アノード電極にデーター信
号を入力して発光させる蛍光体を選択している。
In the present invention, a filament which emits electrons is selected by applying a filament selection voltage and a filament non-selection voltage in a time division manner for each filament control group of the back electrode. In the present invention, a filament which emits electrons is selected by applying a filament selection voltage and a filament non-selection voltage to the filament in a time-division manner. The present invention relates to a filament which emits electrons by applying a filament selection voltage and a filament non-selection voltage in a time division manner to each filament control group of the back electrode, and applying a filament selection voltage and a filament non-selection voltage to the filament in a time division manner. Is selected. In the present invention, a potential gradient is provided to the filament selection voltage applied to each filament control group of the back electrode. In the present invention, a grid selection voltage is applied to a grid in a time-division manner, and a data signal is input to an anode electrode to select a phosphor to emit light.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】図1、図2及び図3は、本願発明
の実施形態に係る蛍光表示管の一部の平面図と断面図を
示す。図1(a)は、図1(b)の矢印C方向の第1基板
部分の平面図を、図1(b)は、図1(a)の矢印A方向
の第1基板部分の断面図、及び図1(a)に図示されて
いないフィラメントと第2基板部分の断面図を示す。図
2(a)は、図1(b)の矢印D方向の断面図を、図2
(b)は、図1(b)の第1基板部分の拡大図を示す。図
3(a)は、図2(a)の第1基板部分の拡大図を、図3
(b)は、図1(b)の別の実施形態を示す。
FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3 show a plan view and a sectional view of a part of a fluorescent display tube according to an embodiment of the present invention. 1A is a plan view of the first substrate portion in the direction of arrow C in FIG. 1B, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the first substrate portion in the direction of arrow A in FIG. 1A and a cross-sectional view of a filament and a second substrate portion not shown in FIG. FIG. 2A is a cross-sectional view in the direction of arrow D in FIG.
(B) is an enlarged view of the first substrate portion of FIG. 1 (b). FIG. 3A is an enlarged view of the first substrate portion of FIG.
(b) shows another embodiment of FIG. 1 (b).

【0011】S1はガラスの第1基板、A1〜Anはス
トライプ状の薄膜アノード電極、H11〜H1n、…、
H71〜H7nは蛍光体、Dは薄膜絶縁層、G1〜G7
は開口部を有するストライプ状の薄膜グリッド、F1、
F2はフィラメント、B1〜B9はストライプ状背面電
極、S2はガラスの第2基板、S3はガラスの側面板で
ある。アノード電極A1〜AnとグリッドG1〜G7
は、絶縁層Dを介してマトリクス状に配置され、両者が
交差する箇所のグリッドG1〜G7及び絶縁層Dの部分
には開口部を形成してある。アノード電極A1〜Anに
は、その開口部に露出する部分に蛍光体H11〜H7n
を塗布してある。フィラメントF1、F2は、ストライ
プ状背面電極B1〜B9の長手方向に張架してある。
S1 is a first glass substrate, A1 to An are striped thin-film anode electrodes, H11 to H1n,.
H71 to H7n are phosphors, D is a thin film insulating layer, G1 to G7
Is a striped thin film grid having openings, F1,
F2 is a filament, B1 to B9 are striped back electrodes, S2 is a second glass substrate, and S3 is a glass side plate. Anode electrodes A1 to An and grids G1 to G7
Are arranged in a matrix with the insulating layer D interposed therebetween, and openings are formed in the portions of the grids G1 to G7 and the insulating layer D where they intersect. The anode electrodes A1 to An have phosphors H11 to H7n at portions exposed to the openings.
Has been applied. The filaments F1 and F2 are stretched in the longitudinal direction of the striped back electrodes B1 to B9.

【0012】アノード電極A1〜Anの幅は、125μ
m、アノード電極A1〜Anの間隔は、125μmであ
る。またフィラメントF1及びフィラメントF2の直径
は、15μmである。フィラメントとアノード電極の間
隔は、1.0mm程度である。
The width of the anode electrodes A1 to An is 125 μm.
m, and the interval between the anode electrodes A1 to An is 125 μm. The diameter of the filament F1 and the filament F2 is 15 μm. The distance between the filament and the anode electrode is about 1.0 mm.

【0013】グリッドG1〜G7及び絶縁層Dの開口部
の詳細は、図2(b)、図3(a)に示す。図2(b)
の場合、蛍光体H33、H43とグリッドG3、G4と
は、高さが同じである。また図3(a)の場合も、蛍光
体H52、H53とグリッドG5とは、高さが同じであ
る。このように、蛍光体とグリッドとの高さをほぼ同じ
にすることにより、フィラメントから放射される電子
は、蛍光体に集中し、絶縁層のチャージアップを小さく
することができ、電子のけられ現象を小さくすることが
できる。
Details of the openings of the grids G1 to G7 and the insulating layer D are shown in FIGS. 2 (b) and 3 (a). FIG. 2 (b)
In the case of, the heights of the phosphors H33 and H43 and the grids G3 and G4 are the same. Also in the case of FIG. 3A, the heights of the phosphors H52 and H53 and the grid G5 are the same. In this way, by making the height of the phosphor substantially equal to that of the grid, the electrons emitted from the filament are concentrated on the phosphor, the charge-up of the insulating layer can be reduced, and the electrons are eliminated. The phenomenon can be reduced.

【0014】図3(b)は、蛍光体H33、H43をグ
リッドG3、G4よりも高くした(フィラメントに近
い)構造例であるが、この場合には、フィラメントから
放射される電子は、さらに蛍光体H33、H43に集中
し、絶縁層Dのチャージアップをより小さくすることが
できる。本願発明の絶縁層Dは、薄膜であるため、その
膜厚は、従来の厚膜の10分の1以下にすることがで
き、本願発明は、この点からも絶縁層Dの電子のチャー
ジアップを小さくすることができる。
FIG. 3B shows an example of a structure in which the phosphors H33 and H43 are higher than the grids G3 and G4 (closer to the filament). In this case, electrons emitted from the filament further emit fluorescent light. Concentrating on the bodies H33 and H43, the charge up of the insulating layer D can be further reduced. Since the insulating layer D of the present invention is a thin film, its thickness can be reduced to one tenth or less of a conventional thick film. Can be reduced.

【0015】図1、図2及び図3のグリッドと絶縁層の
開口部の形状(蛍光体の形状)は、四角形について説明
したが、多角形、円形等他の任意の形状にすることがで
きる。なお図1、図2及び図3の絶縁層Dは、ブラック
マトリクスの機能も有しているから、別途ブラックマト
リクスを設ける必要がない。また図1、図2及び図3の
蛍光表示管は、従来の蛍光表示管が備えていない背面電
極B1〜B9を有するが、この背面電極は、グリッドG
1〜G7の高さが蛍光体H11〜H7nとほぼ同じか、
それよりも低い場合であっても、グリッドG1〜G7の
作用を補足するため、この両者が相俟ってフィラメント
からアノード電極へ放射される電子を確実に制御するこ
とができる。
The shapes of the grids and the openings of the insulating layer (the shape of the phosphor) in FIGS. 1, 2 and 3 have been described as squares, but may be any other shapes such as polygons and circles. . Note that the insulating layer D in FIGS. 1, 2 and 3 also has the function of a black matrix, so that there is no need to separately provide a black matrix. 1, 2 and 3 have back electrodes B1 to B9 which are not provided in the conventional fluorescent display tube.
Whether the heights of 1 to G7 are almost the same as the phosphors H11 to H7n,
Even in the case of lower than that, in order to supplement the operation of the grids G1 to G7, both can reliably control the electrons emitted from the filament to the anode electrode.

【0016】図4、図5は、本願発明のグリッドの開口
部の実施例を示す。図4、図5では、図1、図2及び図
3の絶縁層Dは省略し、グリッドGとアノード電極Aの
みを図示してある。図4(a)の場合は、グリッドGの
開口部は、蛍光体Hを完全に取囲んでいるが、図4
(b)の場合は、四角形の開口部の一辺を切り欠いて櫛
の歯形状に形成してある。図5(a)の場合は、グリッ
ドGの開口部の1箇所に切り欠き部を形成し、図5
(b)の場合は、その開口部の2箇所に切り欠き部を形
成してある。図4(b)、図5(a)及び図5(b)の
場合は、グリッドの開口部の一部に切り欠き部を有する
ため、開口部形成用マスクにブリッジ部を形成すること
ができるから、後述するようにマスク蒸着により、開口
部を形成することができる。
FIGS. 4 and 5 show an embodiment of the opening of the grid according to the present invention. 4 and 5, the insulating layer D in FIGS. 1, 2 and 3 is omitted, and only the grid G and the anode electrode A are shown. In the case of FIG. 4A, the opening of the grid G completely surrounds the phosphor H.
In the case of (b), one side of the rectangular opening is cut out to form a comb tooth shape. In the case of FIG. 5A, a notch is formed at one position of the opening of the grid G, and FIG.
In the case of (b), notches are formed at two places of the opening. In the case of FIGS. 4B, 5A, and 5B, the opening portion of the grid has a cutout portion, so that the bridge portion can be formed in the opening forming mask. Thus, the opening can be formed by mask evaporation as described later.

【0017】ここで、図1〜図5の蛍光表示管の製造方
法について説明する。まず初めに、ガラスの第1基板S
1上に、ITO(インジウムと錫の化合物)やAl(ア
ルミニウム)等の金属をスパッタリングやEB蒸着等に
よって成膜して、薄膜状のアノード電極A1〜Anを形
成し、ケミカルエッチングによって所定形状にパターニ
ングする。この際、蒸着マスクを用いて前記金属膜の形
成と同時にパターニングすることもできる。アノード電
極A1〜Anの膜厚は、数10nm〜数1000nmで
形成する。この膜厚は、使用する金属材料の抵抗率、配
線パターン等を考慮して上記範囲で選定する。アノード
電極の材料は、蛍光表示管が、直視型、即ち、第2基板
S2側から蛍光体の発光を観察する場合は、ITOまた
はAl等の金属のいずれでもよく、透過型(FL型)、
即ち、第1基板S1側から蛍光体の発光を観察する場合
は、ITOを用いる。このアノード電極A1〜An上
に、SiOx(シリコン酸化物)やSiN(窒化シリコ
ン)等をCVD(Chemical Vapor De
position)によって薄膜絶縁層Dを形成し、ケ
ミカルエッチングやRIEドライエッチング等によって
開口部を形成し、アノード電極を露出する。絶縁層Dの
膜厚は、数100nm〜数1000nmの範囲で形成す
る。
Here, a method of manufacturing the fluorescent display tube shown in FIGS. 1 to 5 will be described. First, a first glass substrate S
Metals such as ITO (compound of indium and tin) and Al (aluminum) are formed on the substrate 1 by sputtering, EB vapor deposition, or the like to form thin-film anode electrodes A1 to An and formed into a predetermined shape by chemical etching. Perform patterning. At this time, patterning can be performed simultaneously with the formation of the metal film using an evaporation mask. The anode electrodes A1 to An are formed to have a thickness of several tens nm to several thousand nm. This film thickness is selected in the above range in consideration of the resistivity of the metal material used, the wiring pattern, and the like. The material of the anode electrode may be any of metals such as ITO or Al when the fluorescent display tube is a direct-view type, that is, when the phosphor emits light from the second substrate S2 side, and may be a transmission type (FL type).
That is, when observing the light emission of the phosphor from the first substrate S1 side, ITO is used. On the anode electrodes A1 to An, SiOx (silicon oxide), SiN (silicon nitride) or the like is deposited by CVD (Chemical Vapor De).
The thin-film insulating layer D is formed by position, an opening is formed by chemical etching or RIE dry etching, and the anode electrode is exposed. The thickness of the insulating layer D is formed in the range of several hundred nm to several thousand nm.

【0018】この絶縁層D上に、ITOまたはAl等の
金属をスパッタリングやEB蒸着等によって成膜して、
薄膜グリッドG1〜G7を形成し、ドライエッチング等
によって開口部を形成する。グリッドの膜厚は、数10
nm〜数1000nmの範囲で形成する。この際、図4
(a)の開口部は、グリッドG1〜G7の成膜後フォト
リソ法により形成する。図4(b)、図5(a)及び図
5(b)の場合は、開口部が切り欠き部を有するから、
開口部形成用マスクにブリッジを設けることができる。
そのため、図4(b)、図5(a)及び図5(b)の開
口部は、グリッドG1〜G7を形成する際同時に、マス
ク蒸着により開口部を形成することができる。図4
(a)、図4(b)、図5(a)及び図5(b)の開口
部のアノード電極の部分には、スラリー法によって蛍光
体H11〜H7nを成膜し、数1000nm〜1000
0nmの膜厚で形成する。
On the insulating layer D, a metal such as ITO or Al is formed by sputtering or EB vapor deposition.
The thin film grids G1 to G7 are formed, and an opening is formed by dry etching or the like. The grid thickness is several tens
It is formed in the range of nm to several thousand nm. At this time, FIG.
The opening in (a) is formed by photolithography after forming the grids G1 to G7. In the case of FIG. 4B, FIG. 5A and FIG. 5B, since the opening has a notch,
A bridge can be provided in the opening forming mask.
Therefore, the openings in FIGS. 4B, 5A, and 5B can be formed by mask evaporation at the same time as the grids G1 to G7 are formed. FIG.
5 (a), 4 (b), 5 (a) and 5 (b), the phosphors H11 to H7n are formed by a slurry method on the portions of the anode electrode at the openings, and several thousand nm to 1000 nm.
It is formed with a thickness of 0 nm.

【0019】次に、ガラスの第2基板S2上に、前記ア
ノード電極A1〜Anの形成と同様の方法で薄膜背面電
極B1〜B9を形成する。最後に前記第1基板S1と前
記第2基板S2を対面させ、それらの間にW(タングス
テン)等のフィラメントF1、F2を配置し、両基板及
び側面板S3を封着材によって封着させ、所定の排気処
理を施して蛍光表示管を製造する。
Next, thin film back electrodes B1 to B9 are formed on the second glass substrate S2 in the same manner as the formation of the anode electrodes A1 to An. Finally, the first substrate S1 and the second substrate S2 face each other, filaments F1 and F2 such as W (tungsten) are arranged between them, and both substrates and the side plate S3 are sealed with a sealing material. The fluorescent display tube is manufactured by performing a predetermined exhaust process.

【0020】次に本願発明の蛍光表示管の駆動方法の実
施形態について説明する。まず図6により背面電極B1
〜B9の作用を説明する。図6(a)は、図1(b)と
同じ断面図を示し、図6(b)は、図6(a)の矢印Y
方向の平面図を示す。
Next, an embodiment of a method for driving a fluorescent display tube according to the present invention will be described. First, according to FIG.
The operation of B9 will be described. FIG. 6A shows the same cross-sectional view as FIG. 1B, and FIG. 6B shows an arrow Y in FIG.
FIG.

【0021】背面電極B1〜B9は、フィラメントF
1、F2からアノード電極A1〜Anへ放出される電子
の放出、放出停止を制御する。即ち、背面電極B1〜B
9に、フィラメント選択電圧とフィラメント非選択電圧
からなる制御電圧を印加して、フィラメントF1、また
はフィラメントF2を選択し、アノード電極へ、電子を
放出する。ここで、例えば、フィラメントF1とアノー
ド電極A3についてみると、フィラメントF1に近い蛍
光体H23、H33とその両側の蛍光体H13、H43
とでは、フィラメントF1に対する距離が相違するた
め、蛍光体に放射される電子の量が相違し、発光輝度が
相違する。そこで、本願発明は、背面電極B1〜B9に
印加する制御電圧に電位勾配を設けることにより、線状
フィラメントから放射される電子が、実質的に面状に均
一に放射されるように制御している。
The back electrodes B1 to B9 are connected to the filament F
1. Control the emission and emission stop of electrons emitted from F2 to the anode electrodes A1 to An. That is, the back electrodes B1 to B
9, a control voltage consisting of a filament selection voltage and a filament non-selection voltage is applied to select the filament F1 or the filament F2, and emit electrons to the anode electrode. Here, for example, regarding the filament F1 and the anode electrode A3, the phosphors H23 and H33 close to the filament F1 and the phosphors H13 and H43 on both sides thereof.
Since the distance to the filament F1 is different between and, the amount of electrons emitted to the phosphor is different, and the emission luminance is different. Therefore, the present invention controls the control voltage applied to the back electrodes B1 to B9 so that electrons emitted from the linear filament are emitted substantially uniformly in a plane by providing a potential gradient. I have.

【0022】図6(b)は、背面電極B1〜B9に印加
する制御電圧とその制御電圧の電位勾配の様子を示す。
FIG. 6B shows the state of the control voltage applied to the back electrodes B1 to B9 and the potential gradient of the control voltage.

【0023】背面電極B1〜B9には、−数10V〜+
10数Vの制御電圧を印加し、フィラメントF1または
フィラメントF2の電子放出、放出停止を制御する。こ
こで、背面電極B1〜B5は、群でフィラメントF1を
制御し、背面電極B5〜B9は、群でフィラメントF2
を制御する。例えば、フィラメントF1が電子放出フィ
ラメントで、フィラメントF2が電子放出停止フィラメ
ントであるとすると、背面電極B1〜B5に、フィラメ
ント選択電圧として、正の制御電圧を印加し、背面電極
B6〜B9に、フィラメント非選択電圧として、負の制
御電圧を印加する(負の電位でフィラメントF2を覆う
ことにより、フィラメントからの電子の放出を停止させ
る)。フィラメント選択電圧は、フィラメント電位(こ
こでは0V)〜+10数Vに、フィラメント非選択電圧
は、−数10V〜フィラメント電位(ここでは0V)未
満に、それぞれ設定する。
The back electrodes B1 to B9 have tens of volts to
A control voltage of about 10 V is applied to control electron emission and emission stop of the filament F1 or the filament F2. Here, the back electrodes B1 to B5 control the filament F1 in the group, and the back electrodes B5 to B9 control the filament F2 in the group.
Control. For example, if the filament F1 is an electron emission filament and the filament F2 is an electron emission stop filament, a positive control voltage is applied to the back electrodes B1 to B5 as a filament selection voltage, and the filament is applied to the back electrodes B6 to B9. A negative control voltage is applied as a non-selection voltage (the emission of electrons from the filament is stopped by covering the filament F2 with a negative potential). The filament selection voltage is set to a filament potential (0 V in this case) to +10 V, and the filament non-selection voltage is set to −10 V to less than the filament potential (0 V in this case).

【0024】図6(b)は、電位勾配として、例えば、
フィラメントF1に最も近い背面電極B3に0Vを、そ
の両側の背面電極B2とB4に2V、B1とB5に4V
を印加している。このように背面電極に印加する制御電
圧に電位勾配を設けることにより、フィラメントから放
出される電子を、フィラメントの両側を含めた領域に均
一に面状に拡散させることができる。また図6の背面電
極の技術は、従来の蛍光表示管に応用することもでき
る。
FIG. 6B shows a potential gradient, for example,
0 V is applied to the back electrode B3 closest to the filament F1, 2 V is applied to the back electrodes B2 and B4 on both sides, and 4 V is applied to B1 and B5.
Is applied. By thus providing a potential gradient to the control voltage applied to the back electrode, electrons emitted from the filament can be uniformly and planarly diffused in a region including both sides of the filament. The technique of the back electrode in FIG. 6 can also be applied to a conventional fluorescent display tube.

【0025】次に本願発明のフィラメントの直接選択方
法の実施形態について、図7により説明する。図7
(a)は、図1(b)と同じ断面図を示し、図7(b)は、
図7(a)の矢印C方向の平面図を示す。
Next, an embodiment of a method for directly selecting a filament according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
(A) shows the same sectional view as FIG. 1 (b), and FIG. 7 (b)
FIG. 8 shows a plan view in the direction of arrow C in FIG.

【0026】図7の例は、フィラメントに印加する電圧
が、負か正かにより、電子を放出するフィラメントを選
択する。例えば、フィラメント選択電圧として負電圧を
フィラメントF1に印加すると、フィラメントF1が選
択され、電子の放出が可能な状態になる。一方、フィラ
メントF2には、正電圧を印加して、非選択状態にし、
フィラメントF2を電子放出停止状態にする。図7
(b)の場合、グリッドG1〜G4の開口部に位置する
蛍光体H11〜H4nは、電子照射の可能領域になり、
グリッドG5〜G7の開口部に位置する蛍光体H51〜
H7nは、電子照射の不可能な領域になる。図7のフィ
ラメントの直接選択方法に、図6の背面電極の制御電圧
と電位勾配による制御方法を併用することにより、フィ
ラメントの選択を確実に行い、かつフィラメントから放
出される電子を均一に、面状に拡散させることができ
る。
In the example of FIG. 7, the filament that emits electrons is selected depending on whether the voltage applied to the filament is negative or positive. For example, when a negative voltage is applied to the filament F1 as a filament selection voltage, the filament F1 is selected, and a state where electrons can be emitted is obtained. On the other hand, a positive voltage is applied to the filament F2 to make it unselected,
The filament F2 is set to a state in which electron emission is stopped. FIG.
In the case of (b), the phosphors H11 to H4n located at the openings of the grids G1 to G4 become regions where electron irradiation is possible,
Phosphors H51 to H51 located at openings of grids G5 to G7
H7n is a region where electron irradiation is impossible. By using the control method using the control voltage and the potential gradient of the back electrode shown in FIG. 6 in combination with the direct selection method of the filament shown in FIG. 7, the filament can be reliably selected and the electrons emitted from the filament can be uniformly distributed on the surface. Can be diffused.

【0027】このように、本願発明は、背面電極に印加
するフィラメント選択電圧、又はフィラメントに印加す
るフィラメント選択電圧により、アノード電極へ電子を
放射するフィラメントを選択し、同時に背面電極に印加
するフィラメント選択電圧に電位勾配を設定して、アノ
ードへ放射される電子の均一化を図っている。
As described above, according to the present invention, a filament for emitting electrons to the anode electrode is selected by the filament selection voltage applied to the back electrode or the filament selection voltage applied to the filament, and at the same time, the filament selection applied to the back electrode is selected. By setting a potential gradient to the voltage, the electrons emitted to the anode are made uniform.

【0028】アノード電極とグリッドの選択方法は、ア
ノード電極とグリッドをマトリクス状に配置した従来の
蛍光表示管に用いられている選択方法を利用することが
できる。例えば、グリッドG1〜G7に時分割で−数1
0V〜+数10Vの電圧(選択グリッドにフィラメント
電位より高くアノード電位より低い電圧(例えば、+数
V)、非選択グリッドにフィラメント電位以下の電圧
(例えば、−数10V))を順次印加し、アノード電極
A1〜Anに+数10Vのデーター信号を入力すること
により、蛍光体H11〜H7nの内、所定の蛍光体を選
択して、発光させることができる。
As a method of selecting the anode electrode and the grid, a selection method used in a conventional fluorescent display tube in which the anode electrode and the grid are arranged in a matrix can be used. For example, in the grids G1 to G7, time division
A voltage of 0 V to + several tens of volts (a voltage higher than the filament potential and lower than the anode potential (e.g., + several volts) on the selected grid, and a voltage lower than the filament potential (e.g., -several tens of volts) on the non-selected grids) are sequentially applied; By inputting a data signal of + several tens of volts to the anode electrodes A1 to An, a predetermined phosphor can be selected from the phosphors H11 to H7n to emit light.

【0029】図8は、図7のフィラメントの直接選択方
法のフィラメント選択回路の実施例を示す。アノード電
極A、グリッドG及び背面電極Bに関する回路について
は、概略を示し、データーの書き込み回路、グリッドス
キャン回路、制御電圧印加回路等は、省略してある。フ
ィラメントF1、F2には、トランスTの2次コイルE
f1、Ef2から、交流のフィラメント電圧が印加され
る。
FIG. 8 shows an embodiment of a filament selection circuit of the direct filament selection method of FIG. Circuits related to the anode electrode A, the grid G, and the back electrode B are schematically illustrated, and a data writing circuit, a grid scan circuit, a control voltage application circuit, and the like are omitted. The filaments F1 and F2 are provided with a secondary coil E of a transformer T.
An AC filament voltage is applied from f1 and Ef2.

【0030】2次コイルEf1、Ef2のセンタータッ
プEk1、Ek2は、抵抗Rs,Rsを介して電源Eb
に接続されるとともに、スイッチング素子Tr1、Tr
2を介して接地されている。スイッチング素子Tr1に
は、入力端子TiのOn/Off信号が直接、またスイ
ッチング素子Tr2には、ノット回路を介してそれぞれ
供給される。入力端子Tiの信号が、On信号のとき
は、スイッチング素子Tr1が導通して2次コイルEf
1のセンタータップEk1を接地し、フィラメントF1
には接地電位が印加される。一方スイッチング素子Tr
2には、On信号が反転して、Off信号が供給される
ため、非導通になる。したがって、センタータップEk
2は、電源Ebに接続され、フィラメントF2には同電
源の電圧が印加される。入力端子Tiの信号が、Off
信号のときは、スイッチング素子Tr1、Tr2の導通
状態は、上記と逆になり、フィラメントF2に接地電位
が印加され、フィラメントF1に電源Ebの電圧が印加
される。このように、入力端子TiにOn/Off信号
を連続して供給することにより、フィラメントF1また
はフィラメントF2を時分割で、選択することができ
る。
The center taps Ek1 and Ek2 of the secondary coils Ef1 and Ef2 are connected to the power supply Eb via the resistors Rs and Rs.
And the switching elements Tr1, Tr
2 is grounded. The On / Off signal of the input terminal Ti is supplied directly to the switching element Tr1, and is supplied to the switching element Tr2 via a knot circuit. When the signal at the input terminal Ti is an On signal, the switching element Tr1 conducts and the secondary coil Ef
1 center tap Ek1 is grounded, and filament F1
Is applied with a ground potential. On the other hand, switching element Tr
2 is turned off because the On signal is inverted and the Off signal is supplied. Therefore, the center tap Ek
2 is connected to the power supply Eb, and the voltage of the same power supply is applied to the filament F2. When the signal of the input terminal Ti is Off
In the case of a signal, the conduction state of the switching elements Tr1 and Tr2 is opposite to the above, the ground potential is applied to the filament F2, and the voltage of the power supply Eb is applied to the filament F1. Thus, by continuously supplying the On / Off signal to the input terminal Ti, the filament F1 or the filament F2 can be selected in a time-division manner.

【0031】フィラメントの切り替え、あるいは選択用
回路は、図8の回路に限らず、フィラメントF1、フィ
ラメントF2に交互に正電圧、負電圧を印加することが
できる回路であればよい。図9は、本願発明の各実施形
態における制御電圧の電位勾配の効果を確認するために
行った電界解析シミュレーションのモデル用蛍光表示管
の断面図を示す。モデルの蛍光表示管は、図1の蛍光表
示管と同じ構造のものである。S1とS2は、第1基板
と第2基板、A1は、アノード電極、G1〜G7は、グ
リッド、B1〜B9は、背面電極、F1とF2は、フィ
ラメント、Dは、絶縁層である。
The circuit for switching or selecting the filament is not limited to the circuit shown in FIG. 8, but may be any circuit capable of alternately applying a positive voltage and a negative voltage to the filament F1 and the filament F2. FIG. 9 is a cross-sectional view of a model fluorescent display tube of an electric field analysis simulation performed to confirm the effect of the potential gradient of the control voltage in each embodiment of the present invention. The fluorescent display tube of the model has the same structure as the fluorescent display tube of FIG. S1 and S2 are a first substrate and a second substrate, A1 is an anode electrode, G1 to G7 are grids, B1 to B9 are back electrodes, F1 and F2 are filaments, and D is an insulating layer.

【0032】モデルおいて、第1基板S1と第2基板S
2との間隔は、0.86mm、背面電極B1〜B9とフ
ィラメントF1、F2との間隔は、0.15mm、フィ
ラメントF1、F2とアノード電極A1との間隔は、
0.7mm、フィラメントF1とフィラメントF2との
間隔は2.0mm、アノード電極A1に印加する電圧
は、12.0Vであり、フィラメントF1、F2に印加
する電圧は、0Vである。また、グリッドG1〜G7に
印加する電圧は、選択グリッドは+6V、非選択グリッ
ドは−6Vである。図10は、図9のモデルのシミュレ
ーションの結果を示す。図10(a)は、背面電極に印
加する制御電圧に電位勾配を設けた場合の結果を、図1
0(b)は、制御電圧に電位勾配を設けない場合の結果
を示す。
In the model, the first substrate S1 and the second substrate S
2, the distance between the back electrodes B1 to B9 and the filaments F1 and F2 is 0.15 mm, and the distance between the filaments F1 and F2 and the anode electrode A1 is:
0.7 mm, the interval between the filament F1 and the filament F2 is 2.0 mm, the voltage applied to the anode electrode A1 is 12.0V, and the voltage applied to the filaments F1 and F2 is 0V. The voltage applied to the grids G1 to G7 is +6 V for the selected grid and -6 V for the non-selected grid. FIG. 10 shows the results of a simulation of the model of FIG. FIG. 10A shows the result when a potential gradient is provided to the control voltage applied to the back electrode, and FIG.
0 (b) shows the result when no potential gradient is provided in the control voltage.

【0033】図10において、横軸は、図9の第1基板
S1の横方向の距離(Distance)を示し、1.00は、フ
ィラメントF1とフィラメントF2の中間に、−1.0
0は、アノード電極A1の左端に、3.00は、アノー
ド電極A1の右端に相当する。縦軸は、アノード電極の
電流密度(Ip)と背面電極の電流密度(Iback)
とを示す。
In FIG. 10, the horizontal axis represents the horizontal distance (Distance) of the first substrate S1 in FIG. 9, and 1.00 is -1.0 between the filament F1 and the filament F2.
0 corresponds to the left end of the anode electrode A1, and 3.00 corresponds to the right end of the anode electrode A1. The vertical axis represents the current density (Ip) of the anode electrode and the current density (Iback) of the back electrode.
And

【0034】図10(a)は、背面電極B1〜B9に印
加する制御電圧(Eback)が0V、2V、4Vの場
合と、0V、3V、6Vとの2つのケースの結果を示
す。0Vは、背面電極B3とB7に、2Vと3Vは、背
面電極B2、B4、B6、B8に、4Vと6Vは、背面
電極B1、B5、B9に印加する。図10(b)は、制
御電圧(Eback)が0Vと3Vとの2つのケースの
結果を示す。
FIG. 10A shows the results in two cases, that is, when the control voltage (Eback) applied to the back electrodes B1 to B9 is 0V, 2V, 4V and 0V, 3V, 6V. 0V is applied to the back electrodes B3 and B7, 2V and 3V are applied to the back electrodes B2, B4, B6 and B8, and 4V and 6V are applied to the back electrodes B1, B5 and B9. FIG. 10B shows the results in two cases where the control voltage (Eback) is 0V and 3V.

【0035】図10(a)の場合、いずれのケースも、
電流密度(Ip)は、フィラメントの付近、その両側に
おいてほぼ均一になり、発光に寄与しない電流密度(I
back)は、ほとんど流れないことが分かる。即ち、
アノード電極の各箇所の発光輝度は、均一になり、無効
電流は、ほとんどないことが分かる。
In the case of FIG. 10A, in each case,
The current density (Ip) becomes substantially uniform near and on both sides of the filament, and does not contribute to light emission.
back) hardly flows. That is,
It can be seen that the light emission luminance at each part of the anode electrode becomes uniform, and there is almost no reactive current.

【0036】図10(b)の場合、制御電圧(Ebac
k)が0Vのときは、無効電流となる電流密度(Iba
ck)は、ほとんどないが、発光に寄与する電流密度
(Ip)も、フィラメントF1とフィラメントF2との
中間部分ではほとんどなくなる。即ち、フィラメントF
1とフィラメントF2との中間部分にあるアノード電極
は、発光しない。制御電圧(Eback)が3Vのとき
は、電流密度(Ip)は、アノード電極の全箇所におい
てほぼ均一になるが、無効電流がフィラメントF1とフ
ィラメントF2の付近で大きくなる。
In the case of FIG. 10B, the control voltage (Ebac
k) is 0 V, the current density (Iba
ck), but the current density (Ip) contributing to light emission hardly occurs in the intermediate portion between the filaments F1 and F2. That is, the filament F
The anode electrode in the intermediate portion between 1 and the filament F2 does not emit light. When the control voltage (Eback) is 3 V, the current density (Ip) becomes substantially uniform at all points of the anode electrode, but the reactive current increases near the filaments F1 and F2.

【0037】この結果から、制御電圧の電位勾配は、フ
ィラメントから放出される電子をアノード電極の各箇所
へ均一に放射し、各箇所の電流密度を均一化するのに有
効であることが分かる。電位勾配電圧0V、2V、4
V、3V、6V等は、これらの電圧を発生する電源を用
いて供給してもよいし、抵抗等を用いた分圧回路により
供給してもよい。また抵抗による場合は、背面電極の形
状や材料により電極毎の抵抗値が相違するようにしても
よい。なお、フィラメントとアノード電極との間隔は、
0.1mm〜数mmがよい。ここで、制御電極に加える
カットオフ電位を深くすれば、フィラメントとアノード
電極との間隔を広くしていくことは可能であるが、駆動
用ICの耐電圧やコスト等を考慮すると、フィラメント
とアノード電極との間隔は、0.5mm〜1.5mm程
度がより好ましい。
From these results, it can be seen that the potential gradient of the control voltage is effective in uniformly emitting electrons emitted from the filament to each portion of the anode electrode and making the current density in each portion uniform. Potential gradient voltage 0V, 2V, 4
V, 3 V, 6 V, and the like may be supplied using a power supply that generates these voltages, or may be supplied by a voltage dividing circuit using a resistor or the like. In the case of using a resistor, the resistance value of each electrode may be different depending on the shape and material of the back electrode. The distance between the filament and the anode electrode is
0.1 mm to several mm is preferable. Here, it is possible to increase the distance between the filament and the anode electrode by increasing the cutoff potential applied to the control electrode. However, considering the withstand voltage and cost of the driving IC, the The distance between the electrodes is more preferably about 0.5 mm to 1.5 mm.

【0038】[0038]

【発明の効果】本願発明の蛍光表示管は、背面電極を設
けたことにより、グリッドを蛍光体よりも低い位置に配
置しても、背面電極がグリッドの機能を補足するため、
フィラメントからアノード電極へ放出される電子の制御
を何らの支障もなく確実に行うことができる。本願発明
の蛍光表示管は、アノード電極、絶縁層、グリッドを薄
膜で形成し、グリッドの開口部の位置を、蛍光体とほぼ
同じ高さか、蛍光体よりも低くすることにより、絶縁層
のチャージアップを小さくすることができ、電子のけら
れ現象をなくすことができる。また本願発明の絶縁層
は、薄膜であるために、絶縁層の厚みは、従来の厚膜の
10分の1以下にすることができ、その結果この点から
も絶縁層のチャージアップを改善することができる。
According to the fluorescent display tube of the present invention, since the back electrode is provided, even if the grid is arranged at a position lower than the phosphor, the back electrode complements the function of the grid.
Control of electrons emitted from the filament to the anode electrode can be reliably performed without any trouble. The fluorescent display tube of the present invention has a structure in which the anode electrode, the insulating layer, and the grid are formed of thin films, and the position of the opening of the grid is substantially the same as or lower than the phosphor. It is possible to reduce the up, and to eliminate the phenomenon of electron scuffing. Further, since the insulating layer of the present invention is a thin film, the thickness of the insulating layer can be reduced to one tenth or less of the conventional thick film. As a result, the charge-up of the insulating layer is also improved from this point. be able to.

【0039】本願発明の蛍光表示管は、アノード電極、
絶縁層、グリッドを薄膜で形成することにより、高精細
度の蛍光表示管の製造が可能になった。そしてグリッド
と蛍光体の高さを上記のように設定することにより、高
精細度の構造であっても、従来の蛍光表示管の絶縁層の
チャージアップを抑えることができる。本願発明の蛍光
表示管は、グリッドの開口部に切り欠き部を形成するこ
とにより、マスク蒸着が可能になった。その結果、グリ
ッドの形成と同時に開口部を蒸着で形成することができ
るから、製造工程が簡単になり、かつ幅の小さいグリッ
ドを狭ピッチで配列することが可能になった。
The fluorescent display tube of the present invention comprises an anode electrode,
By forming the insulating layer and the grid with thin films, it has become possible to manufacture a high-definition fluorescent display tube. By setting the height of the grid and the phosphor as described above, it is possible to suppress the charge-up of the insulating layer of the conventional fluorescent display tube even in the case of a high definition structure. In the fluorescent display tube of the present invention, a mask can be vapor-deposited by forming a notch in the opening of the grid. As a result, since the openings can be formed by vapor deposition simultaneously with the formation of the grids, the manufacturing process is simplified, and grids having a small width can be arranged at a narrow pitch.

【0040】本願発明の蛍光表示管は、背面電極を有
し、その背面電極はフィラメントを挟んでアノード電極
と反対の側に配置しているから、フィラメントからアノ
ード電極へ放射される電子の放出、放出停止を容易に制
御でき、かつ制御電圧に電位勾配を設けることにより、
フィラメントからアノード電極の各箇所へ放射される電
子を均一に拡散させることができ、実質的に電子密度が
均一な面状電子源の実現が可能になった。
The fluorescent display tube of the present invention has a back electrode, and the back electrode is disposed on the opposite side of the anode electrode with the filament interposed therebetween. The release stop can be easily controlled, and by providing a potential gradient to the control voltage,
Electrons emitted from the filament to each part of the anode electrode can be uniformly diffused, and a planar electron source having a substantially uniform electron density can be realized.

【0041】本願発明の蛍光表示管は、フィラメントに
印加するフィラメント電圧により、電子を放出するフィ
ラメントと放出を停止するフィラメントとを切り替え、
あるいは選択することができるから、フィラメントから
放出される電子の放出、放出停止をより容易に、確実に
行うことができ、かつ背面電極の作用が加わることによ
り放出電子の均一化を図ることができる。
The fluorescent display tube of the present invention switches between a filament for emitting electrons and a filament for stopping emission by a filament voltage applied to the filament.
Alternatively, the emission of electrons emitted from the filament can be performed and stopped more easily and reliably, and the uniformity of the emitted electrons can be achieved by adding the function of the back electrode. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本願発明の実施形態に係る蛍光表示管の平面図
と断面図を示す。
FIG. 1 shows a plan view and a sectional view of a fluorescent display tube according to an embodiment of the present invention.

【図2】本願発明の実施形態に係る蛍光表示管の断面図
と図1の一部の拡大断面図を示す。
FIG. 2 shows a sectional view of a fluorescent display tube according to an embodiment of the present invention and an enlarged sectional view of a part of FIG.

【図3】図1の一部の拡大断面図を示す。FIG. 3 shows an enlarged sectional view of a part of FIG.

【図4】本願発明のグリッドの開口部の実施例を示す。FIG. 4 shows an embodiment of an opening of a grid according to the present invention.

【図5】本願発明のグリッドの開口部の別の実施例を示
す。
FIG. 5 shows another embodiment of the opening of the grid of the present invention.

【図6】本願発明の制御電圧の印加方法を説明するため
の蛍光表示管の断面図と平面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view and a plan view of a fluorescent display tube for describing a method of applying a control voltage according to the present invention.

【図7】本願発明のフィラメントにフィラメント選択電
圧を印加する方法を説明するための蛍光表示管の断面図
と平面図である。
7A and 7B are a cross-sectional view and a plan view of a fluorescent display tube for explaining a method of applying a filament selection voltage to a filament according to the present invention.

【図8】本願発明の蛍光表示管のフィラメント切り替え
回路の実施例を示す。
FIG. 8 shows an embodiment of a filament switching circuit of the fluorescent display tube of the present invention.

【図9】本願発明の蛍光表示管の電界解析シミュレーシ
ョン用モデルの構造を示す。
FIG. 9 shows the structure of an electric field analysis simulation model of the fluorescent display tube of the present invention.

【図10】本願発明の蛍光表示管の電界解析シミュレー
ションの結果を示す。
FIG. 10 shows the results of an electric field analysis simulation of the fluorescent display tube of the present invention.

【図11】従来の蛍光表示管の構造を示す。FIG. 11 shows a structure of a conventional fluorescent display tube.

【符号の説明】 A、A1〜An アノード電極 B1〜B9 背面電極 D 絶縁層 F1、F2 フィラメント G、G1〜G7 グリッド H、H11〜H7n 蛍光体 S1 ガラスの第1基板 S2 ガラスの第2基板 S3 ガラスの側面板[Description of Symbols] A, A1 to An Anode electrode B1 to B9 Back electrode D Insulating layer F1, F2 Filament G, G1 to G7 Grid H, H11 to H7n Phosphor S1 First substrate of glass S2 Second substrate of glass S3 Glass side plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 向後克俊 千葉県茂原市大芝629双葉電子工業株式会 社内 (72)発明者 川崎博明 千葉県茂原市大芝629双葉電子工業株式会 社内 Fターム(参考) 5C036 EE02 EE03 EE09 EF01 EF02 EF06 EG15 EG21 EG28 EG30 EG36 EG48 EH01 EH02 EH05 EH26 5C080 AA08 BB05 DD03 DD05 HH18 JJ02 JJ05 JJ06  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Katsutoshi Kogo In-house 629 Futaba Electronics Co., Ltd., Oshiba, Mobara-shi, Chiba Prefecture Reference) 5C036 EE02 EE03 EE09 EF01 EF02 EF06 EG15 EG21 EG28 EG30 EG36 EG48 EH01 EH02 EH05 EH26 5C080 AA08 BB05 DD03 DD05 HH18 JJ02 JJ05 JJ06

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ストライプ状のアノード電極とストライ
プ状のグリッドとが絶縁層を介してマトリクス状に形成
された第1基板と、ストライプ状の背面電極が形成され
た第2基板との間に、フィラメントが背面電極の長手方
向に張架され、アノード電極とグリッドとが交差する箇
所のグリッドと絶縁層に開口部が形成され、その開口部
内のアノード電極上に蛍光体が塗布されていることを特
徴とする蛍光表示管。
A first substrate having a striped anode electrode and a striped grid formed in a matrix with an insulating layer interposed therebetween; and a second substrate having a striped back electrode formed therebetween. The filament is stretched in the longitudinal direction of the back electrode, an opening is formed in the grid and the insulating layer where the anode electrode and the grid intersect, and the phosphor is applied on the anode electrode in the opening. Characteristic fluorescent display tube.
【請求項2】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
グリッドの高さが蛍光体とほぼ同じか、蛍光体よりも低
いことを特徴とする蛍光表示管。
2. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A fluorescent display tube characterized in that the height of the grid is substantially the same as or lower than the phosphor.
【請求項3】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
グリッドが薄膜であることを特徴とする蛍光表示管。
3. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A fluorescent display tube, wherein the grid is a thin film.
【請求項4】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
グリッドの開口部に切り欠き部が形成されていることを
特徴とする蛍光表示管。
4. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A fluorescent display tube, wherein a notch is formed in an opening of a grid.
【請求項5】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
背面電極に印加するフィラメント選択電圧に電位勾配を
設定する手段を設けたことを特徴とする蛍光表示管。
5. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A fluorescent display tube provided with means for setting a potential gradient to a filament selection voltage applied to a back electrode.
【請求項6】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
背面電極のフィラメント制御群毎にフィラメント選択電
圧とフィラメント非選択電圧を時分割で印加して、電子
を放出するフィラメントを選択することを特徴とする蛍
光表示管の駆動方法。
6. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A method of driving a fluorescent display tube, characterized in that a filament selection voltage and a filament non-selection voltage are applied in a time division manner to each filament control group of a back electrode to select a filament from which electrons are emitted.
【請求項7】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
フィラメントにフィラメント選択電圧とフィラメント非
選択電圧を時分割で印加して、電子を放出するフィラメ
ントを選択することを特徴とする蛍光表示管の駆動方
法。
7. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
A method for driving a fluorescent display tube, characterized in that a filament selection voltage and a filament non-selection voltage are applied to a filament in a time division manner to select a filament from which electrons are emitted.
【請求項8】 請求項1に記載の蛍光表示管において、
背面電極のフィラメント制御群毎にフィラメント選択電
圧とフィラメント非選択電圧を時分割で印加し、フィラ
メントにフィラメント選択電圧とフィラメント非選択電
圧を時分割で印加して、電子を放出するフィラメントを
選択することを特徴とする蛍光表示管の駆動方法。
8. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein
Filament selection voltage and filament non-selection voltage are applied in a time division manner to each filament control group of the back electrode, and filament selection voltage and filament non-selection voltage are applied to the filament in a time division manner to select a filament that emits electrons. A method for driving a fluorescent display tube, comprising:
【請求項9】 請求項6又は請求項8に記載の蛍光表示
管の駆動方法において、背面電極のフィラメント制御群
毎に印加するフィラメント選択電圧に電位勾配を設けた
ことを特徴とする蛍光表示管の駆動方法。
9. The fluorescent display tube driving method according to claim 6, wherein a potential gradient is provided for a filament selection voltage applied to each filament control group of the back electrode. Drive method.
【請求項10】 請求項1に記載の蛍光表示管におい
て、グリッドにグリッド選択電圧を時分割で印加し、ア
ノード電極にデーター信号を入力して発光させる蛍光体
を選択することを特徴とする蛍光表示管の駆動方法。
10. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein a grid selection voltage is applied to the grid in a time-division manner, and a data signal is input to the anode electrode to select a phosphor to emit light. How to drive the display tube.
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