JP2001257146A - Measuring apparatus, processing, apparatus and method for measurement and processing - Google Patents

Measuring apparatus, processing, apparatus and method for measurement and processing

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JP2001257146A
JP2001257146A JP2000065395A JP2000065395A JP2001257146A JP 2001257146 A JP2001257146 A JP 2001257146A JP 2000065395 A JP2000065395 A JP 2000065395A JP 2000065395 A JP2000065395 A JP 2000065395A JP 2001257146 A JP2001257146 A JP 2001257146A
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Keiichiro Kawamura
圭一朗 河村
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring apparatus, a processing, apparatus and a method for measurement and processing by which one management information is obtained by adding type-dependent information to a measurement data file, and measurement and processing are performed by adding the type-dependent information to the measurement data file in accordance with a new type of machine. SOLUTION: The rotation measuring apparatus 1 has an information adding means which adds the type-dependent information 3 to measured result data 2. The data processing apparatus 5 is provided with an I/O interface 6 which is the inputting means that inputs the measurement data file 4, a discriminating means which discriminates whether or not the information 3 is added to the file 4, and an extracting means which makes the information 3 to be extracted from the file 4 based on the output of the discriminating means. The processing apparatus 5 is also provided with a processing means which makes processing, such as statistics, etc., based on the extracted information 3 and a display device 8 which is the displaying means of the results of the processing. Such as statistics, etc.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、異機種からの計測
データであっても、共通の表示装置でのデータ表示等を
可能にする計測装置及び処理装置並びに計測処理方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring apparatus, a processing apparatus, and a measuring processing method which can display data and the like on a common display device even if measured data from different models.

【０００２】[0002]

【従来の技術】シリコンウェハに回路パターンを露光す
る半導体露光装置において、レチクルステージの回転度
の精度を確認するために、レチクルローテーション精度
を測定することがある。その際、スキャン方式の半導体
露光装置とステッパ方式の半導体露光装置では、レチク
ル回転度の計算方法が異なる。このように、機種によっ
て測定後の計算方法や表示方法が異なる場合、露光装置
の機種に依存する情報を別情報として管理し、計測結果
を統計処理する際に、別管理されている前記機種依存情
報を参照することで上記問題を解決する方法がある（特
開平２−２５２０７４号）。2. Description of the Related Art In a semiconductor exposure apparatus for exposing a circuit pattern on a silicon wafer, a reticle rotation accuracy may be measured in order to confirm the accuracy of the degree of rotation of a reticle stage. At this time, the method of calculating the reticle rotation degree differs between the scan type semiconductor exposure apparatus and the stepper type semiconductor exposure apparatus. As described above, when the calculation method and the display method after measurement differ depending on the model, information dependent on the model of the exposure apparatus is managed as separate information, and when statistically processing the measurement result, the model dependent management is performed separately. There is a method for solving the above problem by referring to information (Japanese Patent Laid-Open No. 2-25074).

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記した特開平２−２
５２０７４号公報の場合、計測装置からの計測結果をデ
ータ処理する処理装置が参照する計測データファイル
と、露光装置等の機種に依存する情報を保持する機種依
存情報ファイルが別々で管理される。したがって、両方
の情報を管理する必要があり、管理上煩雑である。ま
た、新しい機種が発生した場合、そのたび毎に機種依存
情報ファイルを作成する必要がある。SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-2
In the case of JP-A-52074, a measurement data file referred to by a processing device that performs data processing of a measurement result from a measurement device and a device-dependent information file that holds information depending on the device type such as an exposure device are separately managed. Therefore, it is necessary to manage both pieces of information, which is complicated in management. When a new model is generated, a model-dependent information file must be created each time.

【０００４】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、計測データファイルに機種依存情報を格納
又は付加して一つの管理情報とするとともに、新しい機
種（露光装置等）に対応して機種依存情報を計測データ
ファイルに格納又は付加させ、計測及び処理を行う計測
装置及び処理装置並びに計測処理方法を提供することを
課題とする。The present invention has been made in view of the above problems, and stores or adds model-dependent information to a measurement data file to form one piece of management information, and also supports a new model (such as an exposure apparatus). Another object of the present invention is to provide a measuring device and a processing device for performing measurement and processing by storing or adding model-dependent information to a measurement data file and a measurement processing method.

【０００５】[0005]

【課題を解決する手段及び作用】上記課題を解決するた
めに、本発明の計測装置は、複数の機種が計測対象であ
る計測装置において、該計測装置の計測結果に基づい
て、計測結果情報が出力される場合であって、前記計測
装置の内部で保持している測定対象の機種に固有の機種
依存情報に基づいて、前記計測結果情報内に該機種依存
情報を格納又は付加させる情報付加手段を有することを
特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a measuring apparatus according to the present invention uses a measuring apparatus in which a plurality of models are to be measured. Information adding means for storing or adding the model-dependent information in the measurement result information based on the model-dependent information specific to the model to be measured held inside the measuring device, when the information is output It is characterized by having.

【０００６】また、本発明の処理装置は、計測装置の計
測結果である計測結果情報に、該計測装置の内部で保持
している測定対象の機種に固有の機種依存情報が格納又
は付加されて該計測装置から計測結果情報が処理装置に
入力される場合であって、前記計測結果情報を入力させ
る入力手段と、前記計測結果情報の内部に前記機種依存
情報が格納又は付加されているか否かを判定させる判定
手段と、前記判定手段からの出力に基づいて、前記測定
結果情報から前記機種依存情報を抽出させる抽出手段
と、前記抽出手段により抽出された前記機種依存情報に
基づいて、統計等の処理を行わせる処理手段と、前記処
理手段による統計等の処理の結果を表示させる表示手段
とを有することを特徴とする。Further, in the processing apparatus of the present invention, the model-dependent information specific to the model to be measured held inside the measuring device is stored or added to the measurement result information which is the measurement result of the measuring device. When the measurement result information is input from the measurement device to the processing device, an input unit for inputting the measurement result information, and whether or not the model-dependent information is stored or added inside the measurement result information Determining means for determining the type-dependent information from the measurement result information based on the output from the determining means; and statistics and the like based on the type-dependent information extracted by the extracting means. And a display means for displaying the results of the processing such as statistics by the processing means.

【０００７】さらに、本発明の計測処理方法は、複数の
機種が計測及び処理対象である計測処理方法において、
計測された結果に基づいて、計測結果情報が計測及び処
理される場合であって、前記計測装置の内部で保持して
いる測定対象の機種に固有の機種依存情報に基づいて、
前記計測結果情報内に該機種依存情報を格納又は付加さ
せる情報付加工程と、前記計測結果情報の内部に前記機
種依存情報が格納又は付加されているか否かを判定する
判定工程と、前記判定工程からの出力に基づいて、前記
測定結果情報から前記機種依存情報を抽出させる抽出工
程と、前記抽出工程により抽出された前記機種依存情報
に基づいて、統計等の処理を行わせる処理工程と、前記
処理工程による統計等の処理の結果を表示させる表示工
程とを有することを特徴とする。Further, according to the measurement processing method of the present invention, in a measurement processing method in which a plurality of models are measured and processed,
Based on the measured result, when the measurement result information is measured and processed, based on the model-dependent information unique to the model of the measurement object held inside the measuring device,
An information adding step of storing or adding the model-dependent information in the measurement result information; a determining step of determining whether the model-dependent information is stored or added in the measurement result information; and the determining step An extraction step of extracting the model-dependent information from the measurement result information based on the output from the measurement result information, and a processing step of performing a process such as statistics based on the model-dependent information extracted by the extraction step. And a display step of displaying a result of processing such as statistics in the processing step.

【０００８】上記構成等により、本発明の計測装置及び
処理装置並びに計測処理方法は、機種依存情報を計測装
置内で保持並びに管理する。そして、計測装置で計測結
果情報である計測データファイルを作成する際、露光装
置等の各機種に固有の情報を計測データファイル内に書
き込む（付加する）。したがって、露光装置等の新たな
機種が発生し、その計測装置に固有の統計等の処理や解
析表示を行う必要がある場合も、機種作成時にその計測
装置内に機種固有の情報を埋め込む（付加する）だけの
負荷で対応することができる。機種依存パラメータファ
イルといったように、機種が発生するたびにメンテナン
スを行わねばならないようなファイルも存在しない。[0008] With the above configuration and the like, the measuring apparatus, the processing apparatus, and the measuring method of the present invention hold and manage model-dependent information in the measuring apparatus. When the measurement device creates a measurement data file as measurement result information, information unique to each model such as an exposure device is written (added) to the measurement data file. Therefore, when a new model such as an exposure apparatus is generated and it is necessary to perform statistical processing and analysis display unique to the measurement apparatus, the model-specific information is embedded in the measurement apparatus at the time of model creation. ) Load. There is no file that requires maintenance every time a model occurs, such as a model-dependent parameter file.

【０００９】[0009]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。本実施例においては、シリコンウェハ
に回路パターンを焼き付ける半導体露光装置によって露
光を行い、レチクルステージの回転度の精度確認のた
め、ローテーション計測装置によりレチクルローテーシ
ョン精度測定を行う。そして、その結果（計測データ）
をテキスト形式のファイルに出力し、データ処理装置で
計測データの解析及び表示等を行う構成である。Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In this embodiment, exposure is performed by a semiconductor exposure apparatus that prints a circuit pattern on a silicon wafer, and reticle rotation accuracy measurement is performed by a rotation measurement device to confirm the accuracy of the degree of rotation of the reticle stage. And the result (measurement data)
Is output to a text file, and the data processing device analyzes and displays the measured data.

【００１０】図１は、本発明の一実施例に係るローテー
ション計測装置及びデータ処理装置の処理フローを示す
ブロック図である。ローテーション計測装置１は、半導
体露光装置におけるレチクルローテーションの計測を行
った後、計測結果データ２に機種依存情報３を情報付加
手段（不図示）にて付加し、計測結果情報である計測デ
ータファイル４を出力する。FIG. 1 is a block diagram showing a processing flow of a rotation measuring device and a data processing device according to one embodiment of the present invention. After measuring the reticle rotation in the semiconductor exposure apparatus, the rotation measuring apparatus 1 adds model-dependent information 3 to the measurement result data 2 by an information adding unit (not shown), and outputs a measurement data file 4 as measurement result information. Is output.

【００１１】データ処理装置５は、Ｉ／Ｏインターフェ
ース６、データ処理部７、 表示装置８から構成されい
る。データ処理装置５は、入力手段であるＩ／Ｏインタ
ーフェース６を通して、計測データファイル４をデータ
処理装置４内に入力する。そして、データ処理部７で処
理した後、表示手段である表示装置８に計測結果を表示
する。データ処理部７は、計測結果に基づき統計処理を
行う際、判定手段及び抽出手段による計測データファイ
ル４のへッダ部の機種依存情報３に基づき、処理手段に
より機種別の処理を行うことができる。The data processing device 5 comprises an I / O interface 6, a data processing unit 7, and a display device 8. The data processing device 5 inputs the measurement data file 4 into the data processing device 4 through an I / O interface 6 which is an input means. Then, after processing by the data processing unit 7, the measurement result is displayed on the display device 8 as a display unit. When performing the statistical processing based on the measurement result, the data processing unit 7 can perform processing for each model by the processing unit based on the model-dependent information 3 of the header unit of the measurement data file 4 by the determination unit and the extraction unit. it can.

【００１２】図２は、計測データファイル４のデータ構
成を示す図である。計測データファイル４は、へッダ部
Ｍ１とデータ部Ｍ２から構成されている。ヘッダ部Ｍ１
は、機種依存部１２とその他１１から構成されている。
機種依存部１２は、機種毎に計算方法や表示方法が異な
る場合の機種依存情報３（図１）からなる部分である。
例えば、レチクルローテーション精度の計測の場合、ス
テッパ方式の露光装置とスキャン方式の露光装置では、
下記に示すように計算方法が異なる。FIG. 2 is a diagram showing a data configuration of the measurement data file 4. As shown in FIG. The measurement data file 4 includes a header section M1 and a data section M2. Header part M1
Is composed of a model-dependent unit 12 and others 11.
The model-dependent section 12 is a section including model-dependent information 3 (FIG. 1) when the calculation method and the display method are different for each model.
For example, in the case of the measurement of the reticle rotation accuracy, in the stepper type exposure apparatus and the scan type exposure apparatus,
The calculation method is different as shown below.

【００１３】[0013]

【数１】 (Equation 1)

【００１４】すなわち、本実施例の計測データファイル
４の機種依存部１２には、上記の式のどちらかが記述さ
れていることになる。That is, one of the above equations is described in the model-dependent section 12 of the measurement data file 4 of the present embodiment.

【００１５】また、その他１１は、機種依存情報３（図
１）以外の情報、例えばデータの制御情報等からなる部
分である。The other 11 is a portion composed of information other than the model-dependent information 3 (FIG. 1), for example, data control information.

【００１６】データ部Ｍ２は、計測データ１３からな
る。計測データ１３は、ローテーション計測装置１（図
１）等の計測による計測値である。The data section M2 comprises measurement data 13. The measurement data 13 is a measurement value obtained by measurement using the rotation measurement device 1 (FIG. 1) or the like.

【００１７】次に、データ処理装置５で計測データファ
イル４を表示装置８に表示する場合の動作を説明する。
図３は、図１におけるデータ処理装置５で計測データフ
ァイル４を表示装置８に表示する場合の動作フローを示
す図である。Next, the operation when the data processing device 5 displays the measurement data file 4 on the display device 8 will be described.
FIG. 3 is a diagram showing an operation flow when the measurement data file 4 is displayed on the display device 8 by the data processing device 5 in FIG.

【００１８】図１、図２及び図３において、データ処理
装置５は、情報付加工程により機種依存情報が付加され
た計測結果情報である計測データファイル４をＩ／Ｏイ
ンターフェース６を通して、データ処理部７内に読み込
む。データ処理装置５は、ヘッダ部Ｍ１を読み込んだ
（ステップＳＴ１）後、ヘッダ部Ｍ１内の機種依存部１
２内に機種依存情報３があるか否かを判定工程により判
定する (ステップＳＴ２）。In FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3, a data processing unit 5 transmits a measurement data file 4, which is measurement result information to which model-dependent information has been added in an information adding step, via an I / O interface 6 to a data processing unit. Read in 7. After reading the header section M1 (step ST1), the data processing device 5 reads the model-dependent section 1 in the header section M1.
It is determined in a determination step whether or not there is model-dependent information 3 in 2 (step ST2).

【００１９】計測データファイル４のヘッダ部Ｍ１内の
機種依存部１２内に機種依存情報３が存在しない場合、
データ処理部７の通常処理による計算方法及び表示方法
に基づいて、表示装置８に表示工程により表示が行われ
る (ステップＳＴ３）。When the model-dependent information 3 does not exist in the model-dependent section 12 in the header M1 of the measurement data file 4,
The display is performed on the display device 8 by the display process based on the calculation method and the display method by the normal processing of the data processing unit 7 (step ST3).

【００２０】機種依存部１２内に機種依存情報３が存在
する場合、計測データファイル４内のデータ部Ｍ２内の
計測データ１３を読み込んだ（ステップＳＴ４）後、抽
出工程により抽出された機種依存情報３の内容に基づい
て処理工程により処理を行う。例えば、ローテーション
計測装置１により計測を行った装置がスキャン方式の露
光装置の場合、機種依存部１２内の機種依存情報３とし
て下記の記述があるとする。When the model-dependent information 3 exists in the model-dependent unit 12, the measurement data 13 in the data section M2 in the measurement data file 4 is read (step ST4), and then the model-dependent information extracted in the extraction step is extracted. The processing is performed by the processing step based on the content of the third. For example, when the apparatus that has performed the measurement by the rotation measuring apparatus 1 is a scanning type exposure apparatus, the following description is assumed as the model-dependent information 3 in the model-dependent unit 12.

【００２１】Ｒ．Ｒ＝ ΣＹｊ／Ｊ／Ｓ＊１０００ レチクルローテーション精度の計算を行う場合は、デー
タ処理部７の通常処理での計算方法ではなく、上記計算
式に基づいて処理工程にて計算（処理）を行い、表示装
置８にて表示工程により表示する (ステップＳＴ５) 。
また、その他の処理は通常処理を行うことができる。R. R = ΣYj / J / S * 1000 When calculating the reticle rotation accuracy, the calculation (processing) is performed in the processing step based on the above formula, not the calculation method in the normal processing of the data processing unit 7. The information is displayed on the display device 8 by a display process (step ST5).
In addition, other processing can be performed as normal processing.

【００２２】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、計測対
象である露光装置等の機種が異なり、機種により処理装
置における計算処理結果や表示方法等の振る舞いが相違
する場合でも、共通の表示装置を使用することができ
る。なおかつ、新たに機種が増える場合が発生しても、
機種間の相違は各計測装置で保持及び管理するのみであ
るので、計測装置以外の部分で修正及び管理を行う必要
が無く、メンテナンスが容易である。As described above, according to the present invention, even when the model of the exposure apparatus or the like to be measured is different and the behavior such as the calculation processing result and the display method in the processing apparatus is different depending on the model, the common display is performed. The device can be used. Also, even if a new model increases,
Since the difference between the models is only held and managed by each measuring device, there is no need to perform correction and management in parts other than the measuring device, and maintenance is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明の一実施例に係るローテーション計測
装置及びデータ処理装置の処理フローを示すブロック図
である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a processing flow of a rotation measurement device and a data processing device according to an embodiment of the present invention.

【図２】 図１の計測データファイル４のデータ構成を
示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a data configuration of a measurement data file 4 of FIG.

【図３】 図１のデータ処理装置５で計測データファイ
ル４を表示装置８に表示する場合の動作フローを示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing an operation flow when the measurement data file 4 is displayed on the display device 8 by the data processing device 5 of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１：ローテーション計測装置、２：計測結果データ、
３：機種依存情報、４：計測データファイル、５：デー
タ処理装置、６：Ｉ／Ｏインターフェース、７：データ
処理部、８：表示装置、１１：その他、１２：機種依存
部、１３：計測データ、Ｍ１：ヘッダ部、Ｍ２：データ
部。1: rotation measurement device, 2: measurement result data,
3: model-dependent information, 4: measurement data file, 5: data processing device, 6: I / O interface, 7: data processing unit, 8: display device, 11: others, 12: model-dependent unit, 13: measurement data , M1: header part, M2: data part.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 複数の機種が計測対象である計測装置に
おいて、該計測装置の計測結果に基づいて、計測結果情
報が出力される場合であって、 前記計測装置の内部で保持している測定対象の機種に固
有の機種依存情報に基づいて、前記計測結果情報内に該
機種依存情報を付加させる情報付加手段を有することを
特徴とする計測装置。1. A measurement device in which a plurality of types of measurement target are to output measurement result information based on a measurement result of the measurement device, wherein the measurement is held inside the measurement device. A measuring apparatus comprising: an information adding unit that adds model-dependent information to the measurement result information based on model-dependent information unique to a target model. 【請求項２】 計測装置の計測結果である計測結果情報
に、該計測装置の内部で保持している測定対象の機種に
固有の機種依存情報が付加されて該計測装置から計測結
果情報が処理装置に入力される場合であって、 前記計測結果情報を入力させる入力手段と、前記計測結
果情報の内部に前記機種依存情報が付加されているか否
かを判定させる判定手段と、 前記判定手段からの出力に基づいて、前記測定結果情報
から前記機種依存情報を抽出させる抽出手段と、 前記抽出手段により抽出された前記機種依存情報に基づ
いて、処理を行わせる処理手段と、 前記処理手段による処理の結果を表示させる表示手段と
を有することを特徴とする処理装置。2. The measurement result information, which is the measurement result of the measurement device, is added with model-dependent information unique to the model to be measured held inside the measurement device, and the measurement result information is processed from the measurement device. An input unit for inputting the measurement result information; a determination unit for determining whether the model-dependent information is added to the inside of the measurement result information; and Extracting means for extracting the model-dependent information from the measurement result information based on the output of the processing means; processing means for performing a process based on the model-dependent information extracted by the extracting means; and processing by the processing means. Display means for displaying the result of the processing. 【請求項３】 複数の機種が計測及び処理対象である計
測処理方法において、計測された結果に基づいて、計測
結果情報が計測及び処理される場合であって、 前記計測装置の内部で保持している測定対象の機種に固
有の機種依存情報に基づいて、前記計測結果情報内に該
機種依存情報を付加させる情報付加工程と、 前記計測結果情報の内部に前記機種依存情報が付加され
ているか否かを判定する判定工程と、 前記判定工程からの出力に基づいて、前記測定結果情報
から前記機種依存情報を抽出させる抽出工程と、 前記抽出工程により抽出された前記機種依存情報に基づ
いて、処理を行わせる処理工程と、 前記処理工程による処理の結果を表示させる表示工程と
を有することを特徴とする計測処理方法。3. In a measurement processing method in which a plurality of models are measured and processed, measurement result information is measured and processed based on a measured result, and the measurement result information is held inside the measurement device. An information adding step of adding the model-dependent information in the measurement result information based on the model-dependent information specific to the model to be measured, and whether the model-dependent information is added inside the measurement result information. A determination step of determining whether or not, based on an output from the determination step, an extraction step of extracting the model-dependent information from the measurement result information, based on the model-dependent information extracted in the extraction step, A measurement processing method comprising: a processing step of performing processing; and a display step of displaying a result of the processing in the processing step.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007121011A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Yokogawa Electric Corp Measuring apparatus, measured data display system, and measured data display method

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JP2007121011A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Yokogawa Electric Corp Measuring apparatus, measured data display system, and measured data display method

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