JP2001230209A - Substrate treating apparatus - Google Patents

Substrate treating apparatus

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JP2001230209A
JP2001230209A JP2000037702A JP2000037702A JP2001230209A JP 2001230209 A JP2001230209 A JP 2001230209A JP 2000037702 A JP2000037702 A JP 2000037702A JP 2000037702 A JP2000037702 A JP 2000037702A JP 2001230209 A JP2001230209 A JP 2001230209A
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Norinobu Akao
Kazunori Tsutsuguchi
Tsukasa Yashima
司 八島
和典 筒口
徳信 赤尾
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Hitachi Kokusai Electric Inc
株式会社日立国際電気
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To preserve the record of past important error alarms by going back to the past as much as possible. SOLUTION: When an alarm detecting section 51 detects an alarm in an alarm logging function section 50 built in a main controller 31, a logging data collecting section 52 collects the data required for performing logging, and an alarm level discriminating section 53 discriminates whether the detected alarm is a warning alarm or error alarm. A file writing section 54 separately records warning alarms in a warning alarm file 55 and error alarms in an error alarm file 56. When both a warning alarm and an error alarm are displayed thereafter, a file reading-out section 57 couples the files 55 and 56 with each other and causes a displaying section 58 to display an alarm displaying picture in which the warning and error alarms are coupled with each other by sorting by using date data as a key. Therefore, even when warning alarms are frequently issued, the alarms can be preserved independently.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板処理装置、特に、アラームロギング機能(基板処理装置の運用中に発生したエラーアラームや警報アラームを履歴として発生日時や発生状態等と一緒にコントローラに記録しておく機能)に関し、例えば、液晶ディスプレイ(以下、LC The present invention relates to a substrate processing apparatus, in particular, recorded in the controller with alarm logging function (occurrence date and occurrence as an error alarm or warning alarm history generated during operation of the substrate processing apparatus or the like relates to keep function), for example, a liquid crystal display (hereinafter, LC
Dという。 That D. )の製造工程において、アレイ基板にアモルファスシリコン(以下、a−Siという。)や窒化シリコン(SiNx)等を成膜するマルチチャンバ型枚葉式プラズマCVD装置に利用して有効な技術に関する。 In the manufacturing process of), amorphous silicon array substrate (hereinafter, referred to as a-Si.) Or silicon nitride (SiNx) or the like by utilizing the multi-chamber type single-wafer plasma CVD apparatus for forming technique effectively.

【0002】 [0002]

【従来の技術】LCDの製造工程において、アレイ基板にa−Siや窒化シリコン等を成膜するのに、複数のチャンバを備えたマルチチャンバ型枚葉式プラズマCVD BACKGROUND OF THE INVENTION LCD manufacturing process, for forming the a-Si or silicon nitride on the array substrate, a multi-chamber type single-wafer processing type plasma CVD having a plurality of chambers
装置(以下、CVD装置という。)が使用されている。 Apparatus (hereinafter, referred to as CVD apparatus.) Is used.
このCVD装置は、アレイ基板にa−Siや窒化シリコンを成膜するための複数のチャンバと、アレイ基板を搬送して各チャンバに搬入搬出するための搬送装置と、各チャンバの処理および搬送装置の搬送をそれぞれ制御する各サブコントローラと、このサブコントローラ群を制御するメインコントローラとを備えている。 The CVD device includes a plurality of chambers for depositing an a-Si or silicon nitride on the array substrate, a transport device for loading and unloading the respective chambers by conveying the array substrate, the processing and transport system for each chamber and each sub-controller for controlling each of the transport of, and a main controller for controlling the sub-controller group.

【0003】そして、このCVD装置においては、例えば、チャンバの排気能力が低下したり搬送装置が動作しなくなったりした場合には、サブコントローラがそれらを検出してアラームを発生し、メインコントローラがそのアラームの情報を画面に表示してオペレータに通知するとともに、アラームの履歴をファイルに記録するように構成されている。 [0003] In this CVD apparatus, for example, when the exhaust capacity of the chamber is or not work is reduced or conveying device generates an alarm sub controller to detect them, the main controller that It displays information about the alarm on the screen and notifies the operator, and is configured to record the history of the alarm to a file. CVD装置においてアラーム履歴を記録する機能をアラームロギング機能という。 A function of recording the alarm history in the CVD device called the alarm logging function. そして、 And,
アラーム履歴を記録するファイルをアラームファイルという。 The file to record the alarm history of the alarm file.

【0004】このアラーム履歴はCVD装置の稼動状況の把握に使用されるばかりでなく、CVD装置のトラブル(障害)の予知や、処理した基板から製造された製品の不良の原因解析等に使用される。 [0004] The alarm history is not only be used to understand the operational status of the CVD apparatus, prediction and trouble of a CVD apparatus (failure), it is used to cause analysis and the like of the defective products that are manufactured from the treated substrate that. すなわち、アラーム履歴によって過去のアラームの発生傾向を調査することにより、CVD装置の将来のトラブルを予知することができる。 In other words, by examining the development trend of the past of the alarm by the alarm history, it is possible to predict the future of the trouble of the CVD apparatus. また、アラーム履歴によって過去のアラームを追跡調査することにより、製品の不良の原因を解析することができる。 In addition, by follow-up the past of alarm by the alarm history, it is possible to analyze the cause of the failure of the product.

【0005】CVD装置において発生するアラームは、 [0005] The alarm generated in the CVD apparatus,
警報レベルのアラーム(以下、警報アラームという。) Alarm level of alarm (hereinafter referred to as a warning alarm.)
と、エラーレベルのアラーム(以下、エラーアラームという。)とに大別される。 When the error level alarm is roughly classified into (hereinafter, referred to. Error alarm) and. 警報アラームはCVD装置の稼動には別段の支障は発生しないが、CVD装置が通常とは異なる状態にあることをオペレータに通知するアラームである。 Warning alarm is not otherwise trouble in operation of the CVD apparatus generates a alarm CVD apparatus to notify the operator that it is in the state different from the normal. エラーアラームはCVD装置の稼動に支障を来す異常を通知するものであり、このエラーアラームが発生した場合には異常処置が実行されてCVD装置の稼動が安全に停止される。 Error alarm is intended to notify the abnormality hindering the operation of the CVD apparatus, abnormality treatment is performed if the error alarm has occurred the operation of the CVD apparatus is stopped safely.

【0006】メインコントローラの記録容量の制約から、アラームファイルがロギング可能なアラームの件数(アラームロギング件数)には、例えば最大アラームロギング件数千件というように制限が設定されており、この最大アラームロギング件数を超えてアラームが発生した場合には、アラームファイルに記録された最古のアラームデータが削除され、今発生したアラームがアラームファイルに新たに記録される方法が、一般的に採用されている。 [0006] from the constraints of the recording capacity of the main controller, the alarm file of logging possible alarm number (alarm logging number), for example, limit is set so that the maximum alarm logging number thousand, the maximum alarm If the alarm has occurred beyond the logging number is deleted oldest of alarm data that has been recorded in the alarm file is, how now generated alarm is newly recorded in the alarm file, is generally employed there.

【0007】そして、従来のアラームファイルは、次のような理由で一つのファイルによって構成されている。 [0007] Then, the conventional alarm files, and is configured by a single file for the following reasons.
すなわち、「レベルに関係なくアラームが発生すること自体が問題である」というアラームについての考え方に基づいて、アラームの履歴を時系列で整理することを重視した結果、アラーム履歴を記録するアラームファイルは一つのファイルに構成された。 In other words, based on the idea of ​​the alarm that "is itself a problem that the alarm is generated regardless of the level", a result of the emphasis to be organized in chronological order the history of the alarm, the alarm file to record the alarm history It has been structured in a single file.

【0008】 [0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来のCVD装置においては、アラームファイルが一つのファイルによって構成されていることにより、警報アラームもエラーアラームも同じファイルに記録されることになるため、例えば、エラーアラームが一件発生した後に千件以上の警報アラームが続いて発生すると、最初のエラーアラームの記録がオペレータによって調査される前にアラームファイルから削除されてしまい、CVD装置のトラブルの予知や製品の不良解析等において重要なエラーアラームを調査することができない事態が発生してしまうという問題点がある。 [0006] However, the conventional CVD apparatus described above, by the alarm file is configured by a single file, the warning alarms error alarm for also be recorded in the same file , for example, when the thousand or more of the warning alarm is subsequently occurs after the error alarm has occurred single item, will be deleted from the alarm file before the recording of the first error alarm is investigated by the operator, of the trouble of a CVD apparatus situation in which it is not possible to investigate the critical error alarm in the failure analysis such as prediction and products there is a problem that occurs.

【0009】本発明の目的は、警報アラームが多く発生すると過去の重要なエラーアラームがアラームファイルから削除されてしまう事態が発生するのを防止することができるとともに、重要なエラーアラームの履歴をできるだけ長く過去に遡って保存することができる基板処理装置を提供することにある。 It is an object of the present invention, along with the past of important error alarm and warning alarm is more likely to occur it is possible to prevent the occurrence of a situation that would be deleted from the alarm file, as much as possible the critical error alarm of history it is to provide a substrate processing apparatus capable of long storage retrospectively.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するための手段は、基板処理中に発生したアラームをアラームレベル毎に別々のファイルとして記録するアラームロギング機能を備えていることを特徴とする。 Means for Means for Solving the Problems] To solve this problem is characterized in that it comprises an alarm logging function for recording the alarms generated during substrate processing as a separate file for alarm level for each.

【0011】前記した手段によれば、例えば、警報アラームとエラーアラームとは別々のファイルとして記録されることにより、重要なエラーアラームの履歴は警報アラームと切り離して記録されることになるため、重要なエラーアラームの履歴は長く過去に遡って保存することができる。 According to the above means, for example, by being recorded as separate files and alert alarm and error alarm, since the important error alarm history will be recorded separately from the alarms, critical an error alarm history can be saved by going back to the long past.

【0012】 [0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

【0013】本実施形態において、本発明に係る基板処理装置は、LCDの製造工程におけるアレイ基板(以下、基板という。)にa−Siや窒化シリコン等を成膜するCVD装置として構成されている。 In the present embodiment, a substrate processing apparatus according to the present invention, the array substrate in the LCD manufacturing process is configured as a CVD apparatus for forming an a-Si or silicon nitride or the like (hereinafter, referred to as the substrate.) . 図1に示されているように、このCVD装置10は八角形の筒形状に形成されたメインフレーム真空搬送チャンバ(以下、真空搬送チャンバという。)11を備えており、その各辺には二つの真空ロードロックチャンバ(以下、ロードロックチャンバという。)12および13、基板予備加熱チャンバ(以下、加熱チャンバという。)14、五つのプラズマCVDチャンバ(以下、CVDチャンバという。)15、16、17、18および19が配置されている。 As shown in Figure 1, the CVD apparatus 10 is octagonal cylindrical shape which is formed in the main frame vacuum transfer chamber comprises a (hereinafter, the vacuum transfer. That chamber) 11, two on each of its sides One of the vacuum load lock chamber (hereinafter, referred to as the load lock chamber.) 12 and 13, a preheating chamber (hereinafter, referred to as the heating chamber.) 14, five plasma CVD chamber (hereinafter, referred to as CVD chamber.) 15, 16, 17 , 18 and 19 are arranged. 真空搬送チャンバ11の内部には基板を各チャンバ12〜19に対して搬入搬出するための搬送装置としての真空搬送ロボット20が設備されている。 Vacuum transfer robot 20 as a carrying device for carrying out the substrate to each chamber 12-19 into the vacuum transfer chamber 11 is equipment. なお、真空搬送チャンバ11と各チャンバ12〜19との間には真空ゲートバルブ(図示せず)がそれぞれ介設されている。 The vacuum gate valve (not shown) is interposed respectively between the vacuum transfer chamber 11 and the chamber 12-19.

【0014】両ロードロックチャンバ12、13の真空搬送チャンバ11と反対側には大気搬送チャンバ21が設置されており、大気搬送チャンバ21の内部には基板を両ロードロックチャンバ12、13に対して搬入搬出するための搬送装置としての大気搬送ロボット22が設備されている。 [0014] The opposite side of the vacuum transfer chamber 11 of the two load lock chambers 12 and 13 are installed atmospheric transfer chamber 21, for both load lock chambers 12 and 13 of the substrate inside the atmospheric transfer chamber 21 atmospheric transfer robot 22 as a carrying device for carrying out are facilities. 大気搬送チャンバ21のロードロックチャンバ12、13の反対側にはカセットスタンド23が設置されており、カセットスタンド23には複数枚の基板を収納したカセット24が複数台、並べて置かれるようになっている。 On the opposite side of the load lock chambers 12 and 13 of the atmospheric transfer chamber 21 has a cassette stand 23 is placed, so that the cassette 24 for housing a plurality of substrates in the cassette stand 23 is a plurality, are placed side by side there.

【0015】CVD装置10は各チャンバや搬送ロボット等を制御するための図2に示された制御システム30 [0015] CVD apparatus 10 includes a control system 30 shown in Figure 2 for controlling the respective chambers and the transfer robot or the like
を備えている。 It is equipped with a. 図2に示されているように、制御システム30はパーソナルコンピュータやFAコンピュータ等から構築されたメインコントローラ31を備えており、 As shown in FIG. 2, the control system 30 includes a main controller 31 that is constructed from a personal computer or FA computer,
メインコントローラ31にはフローパネルやキーボード、タッチパネル、ディスプレイ、プリンタおよび音声警報装置等を備えた入出力装置32が接続されている。 Flow panel or keyboard to the main controller 31, a touch panel, a display, input device 32 is connected with a printer and sound alarm device.
メインコントローラ31には各種のサブコントローラ3 Various sub-controller 3 of the main controller 31
3〜41が接続されており、これらサブコントローラ3 3-41 are connected, these sub-controllers 3
3〜41は各チャンバおよび各ロボットをそれぞれ制御するとともに、各チャンバおよび各ロボットの状態を各種のセンサを通じて監視するように構成されている。 3-41 are controls each chamber and each robot, respectively, are the state of each chamber and each robot is configured to monitor through various sensors.

【0016】例えば、圧力制御サブコントローラ33は真空搬送チャンバ11やロードロックチャンバ12、1 [0016] For example, the pressure control sub-controller 33 is the vacuum transfer chamber 11 and load lock chamber 12, 1
3等の圧力を真空排気装置(図示せず)を介して制御するようになっており、圧力計によって圧力を監視し、排気能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ31に送信するようになっている。 The pressure of 3 like is adapted to control through the vacuum exhaust device (not shown) monitors the pressure by a pressure gauge, a warning alarm or error alarms when it detects a drop or the like of the exhaust capacity main It is adapted to transmit to the controller 31. 加熱チャンバサブコントローラ34は加熱チャンバ14の温度をヒータを介して制御するようになっており、温度計によって温度を監視し、ヒータの加熱能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ31に送信するようになっている。 Heating chamber sub-controller 34 has become the temperature of the heating chamber 14 so as to control through the heater, the temperature monitored by a thermometer, if it detects a drop or the like of the heating capacity of the heater alarm alarm or error alarms a is adapted to transmit to the main controller 31. 第一CVDサブコントローラ35は第一CVDチャンバ15を高周波電源や原料ガス供給装置等を介して制御するようになっており、電圧計や電流計によって電力を監視し、高周波電源の能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ31に送信するようになっている。 The first CVD sub-controller 35 is adapted to control the first CVD chamber 15 through the high-frequency power source and the raw material gas supply device, etc., to monitor power by voltmeter and ammeter, the ability of high-frequency power source such as reduction It adapted to transmit an alarm alarms or error alarms to the main controller 31 when it detects.
真空搬送ロボットサブコントローラ40および大気搬送ロボットサブコントローラ41は真空搬送ロボット20 Vacuum transfer robot sub controller 40 and the atmospheric transfer robot sub controller 41 vacuum transfer robot 20
および大気搬送ロボット22を電動モータ等を介してそれぞれ制御するように振動センサや電圧計および電流計によって電動モータ等を監視し、電動モータの能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ31に送信するようになっている。 And the atmospheric transfer robot 22 monitors the electric motor or the like by the vibration sensor and a voltage meter and current meter to control via respective electric motor or the like, warning alarm or error when detecting the decrease or the like of the capacity of the electric motor It is adapted to transmit an alarm to the main controller 31.

【0017】メインコントローラ31には記憶装置42 [0017] The storage device to the main controller 31 42
が接続されており、記憶装置42には後記するアラームロギング機能部50で使用されるアラームファイル等が構築されるようになっている。 There are connected, an alarm file or the like to be used in the alarm logging function unit 50 which will be described later in the storage device 42 is adapted to be built. また、メインコントローラ31はLCD装置の製造工程を統括的に管理かつ生産制御するためのホストコンピュータ43に接続されており、ホストコンピュータ43からは後記する成膜プロセスの制御に必要な新規ロットのレシピ番号等を入手するようになっている。 The main controller 31 is connected to a host computer 43 for performing overall management and production control the manufacturing process of the LCD device, a new lot of recipes required for controlling the deposition process to be described later from the host computer 43 It is adapted to obtain a number, and the like.

【0018】メインコントローラ31の一部(ソフトウエア)には、アラームロギング機能部50が構築(プログラミング)されており、アラームロギング機能部50 [0018] part of the main controller 31 (software), the alarm logging function unit 50 is built (programming), alarm logging function unit 50
は図3に示されているように構成されている。 It is configured as described above is shown in FIG. すなわち、アラームロギング機能部50はアラーム検出部5 That is, the alarm logging function unit 50 is alarm detectors 5
1、ロギングデータ収集部52、アラームレベル判断部53、記憶装置42に構築されたアラームファイルの警報アラームファイル55およびエラーアラームファイル56にアラームロギングを書き込むファイル書込部5 1, logging data acquisition unit 52, the alarm level determination unit 53, the file writing unit 5 to write to the warning alarm file 55 and the error alarm file 56 of the alarm files constructed in the storage device 42 the alarm logging
4、同じく読み出すデータ結合機能付きファイル読出部57および表示部58を備えており、これらは後述するアラームロギングフローを実行するように構成されている。 4, has a data binding function file reading unit 57 and the display unit 58 reads out again, it is configured to perform the alarm logging flows to be described later.

【0019】次に、前記構成に係るCVD装置の作用を説明する。 [0019] Next, the operation of the CVD apparatus according to the configuration. まず、CVD装置10の全体的な作動を図1 First, Figure 1 the overall operation of the CVD apparatus 10
について説明する。 It will be described.

【0020】処理されるべき基板は複数枚宛がカセット24に収納された状態で、カセットスタンド23に供給される。 The substrate to be processed in a state in which the addressed plurality of sheets stored in the cassette 24, is supplied to the cassette stand 23. カセットスタンド23の基板は大気搬送ロボット22によって第一ロードロックチャンバ12に搬入される。 Substrate cassette stand 23 is carried into the first load lock chamber 12 by the atmospheric transfer robot 22. この際、基板はロット毎に複数枚宛がロードロックチャンバ12に搬入される。 In this case, the substrate is addressed to a plurality of sheets for each lot is transferred into the load lock chamber 12.

【0021】第一ロードロックチャンバ12に搬入された基板は真空搬送ロボット20によって搬送されて加熱チャンバ14に搬入され予備加熱される。 The substrate carried into the first load lock chamber 12 is pre-heated is carried into the heating chamber 14 is conveyed by the vacuum transfer robot 20. 予備加熱された基板は真空搬送ロボット20によって加熱チャンバ1 Substrate that is preheated is heated by the vacuum transfer robot 20 chamber 1
4から搬出される。 4 is carried out from.

【0022】その後、基板は第一〜第五CVDチャンバ15〜19に対しての搬入搬出を繰り返されることによって所定の成膜プロセスを実行される。 [0022] Thereafter, the substrate is performed a predetermined deposition process by being repeated loading and unloading of the relative first to fifth CVD chamber 15-19. この際、真空搬送ロボット20は真空搬送ロボットサブコントローラ4 In this case, the vacuum transfer robot 20 is vacuum transfer robot sub controller 4
0に提供されたレシピ番号による搬送ルートに従って、 Following the transfer route by providing recipe number 0,
基板を第一〜第五CVDチャンバ15〜19に順次に搬送する。 Sequentially transporting the substrate to the first to fifth CVD chamber 15-19.

【0023】所定の搬送ルートを終了した基板は第二ロードロックチャンバ13に真空搬送ロボット20によって搬入される。 The substrate to which end the predetermined conveyance route is carried by the vacuum transfer robot 20 to the second load lock chamber 13. 基板は第二ロードロックチャンバ13において冷却された後に、大気搬送ロボット22によってカセットスタンド23の所定のカセット24に戻される。 The substrate after being cooled in the second load lock chamber 13, is returned by the atmospheric transfer robot 22 to a predetermined cassette 24 of the cassette stand 23.

【0024】以上の成膜プロセスにおいて、何らかのトラブルが発生した場合には、当該トラブルが所定のサブコントローラ33〜41によってそれぞれ検出されるとともに、警報アラームまたはエラーアラームとしてメインコントローラ31に送信される。 [0024] In the above film forming process, when some trouble occurs, together with the trouble is detected, respectively, by a predetermined sub-controller 33 to 41, it is transmitted to the main controller 31 as an alarm alarm or error alarms. メインコントローラ31は警報アラームおよびエラーアラームをアラームファイルに後述するアラームファイル作成フローによってロギングする。 The main controller 31 is logged by the alarm file creation flow which will be described later alarm alarms and error alarms in the alarm file. また、エラーアラームが送信された場合には、メインコントローラ31は各サブコントローラ3 Further, when an error alarm is transmitted, the main controller 31 each sub-controller 3
3〜41のうち所定のサブコントローラにCVD装置を安全に停止させる指令を送信する。 Securely sending a command for stopping the CVD apparatus to a predetermined sub-controller of 3-41.

【0025】次に、本実施の形態に係るアラームロギング機能部50の作用を図4および図7に示されているフローチャートについて説明する。 Next, a description will be given flowchart shown the effect of the alarm logging function unit 50 according to the embodiment in FIGS. 4 and 7.

【0026】ここで、本実施の形態に係るアラームロギング機能部50の作用の前提となる警報アラームおよびエラーアラームについての考え方を説明する。 [0026] Here, explaining the concept of the alarms and errors alarm underlying the action of the alarm logging function unit 50 according to this embodiment.

【0027】CVD装置が発生するアラームには、重大なトラブルを未然に防止するための警報アラームと、C [0027] The alarm CVD apparatus is generated, and the warning alarm to prevent serious trouble in advance, C
VD装置に重大なトラブルが発生した場合にCVD装置を安全に停止させる必要があるエラーアラームとの二種類、がある。 Two types of error alarms serious trouble VD device it is necessary to safely stop the CVD apparatus in the event of there is.

【0028】一方、LCDの生産性の観点から、CVD On the other hand, from the viewpoint of the LCD productivity, CVD
装置の運転は可能な限り停止させたくないという要求がある。 Operation of the apparatus there is a demand not want to stop as much as possible. このため、警報アラームが発生した場合にはCV For this reason, if the warning alarm occurs CV
D装置はそのまま運転を継続させる。 D system operation is continued as it is. そして、警報アラームが発生した際には、次のメンテナンスの際に警報アラームの原因となったトラブル(例えば、ヒータの劣化)に対する処置(例えば、ヒータの交換)を直ちに講ずることができるように、予め、新規のヒータの購入等の予備対策を実施する。 Then, when the alarm alarm occurs, the trouble that caused the alarm alarm at the time of the next maintenance (for example, deterioration of the heater) treatment for (for example, replacement of the heater) so as to be able to take immediately, in advance, to implement the preliminary measures such as the purchase of a new heater. つまり、警報アラームはメンテナンスの際の部品交換作業の実施を準備するためのトリガ(切掛けないしは動機)として利用する。 In other words, the warning alarm is utilized as a trigger (hap or motivation) to prepare the implementation of parts replacement during maintenance. つまり、本実施の形態においては、警報アラームの検出許容値を厳格に設定して、エラーアラームの発生に繋がるCVD装置のトラブルの発生を未然に防止することとした。 That is, in the present embodiment, strictly set the detection tolerance alarm alarms, it was decided to avoid troubles of a CVD apparatus which can produce an error alarms from occurring.

【0029】ところで、従来のアラームロギング機能においては、警報アラームもエラーアラームも同一のアラームファイルに記録されているため、例えば、警報アラームの検出許容値を厳格に設定すると、警報アラームが頻発する事態が発生することになり、その結果、エラーアラームがオペレータによる調査前にアラームファイルから削除されてしまう事態が発生する。 By the way, in the conventional alarm logging function, the alarm alarms Error alarms are recorded on the same alarm files, for example, when strictly setting the detection tolerance alarm alarm, situation in which the alarms occur frequently There will be generated, as a result, situation in which the error alarms are removed from the alarm file before investigation by the operator occurs. したがって、従来のアラームロギング機能においては警報アラームの検出許容値を厳格に設定することができない。 Therefore, it is impossible to set strict detection tolerance alarm alarms in conventional alarm logging function. このため、 For this reason,
従来のアラームロギング機能においては、警報アラームをメンテナンスの際の部品交換作業の準備のトリガとして利用することができない。 In a conventional alarm logging function, it is not possible to use the alarm alarm as a trigger for the preparation of the component replacement work at the time of maintenance.

【0030】次に、図3に示されたアラームロギング機能部50のアラームファイルの作成フローを図4〜図6 Next, FIGS. 4 to the flow of creating the alarm files alarm logging function unit 50 shown in FIG. 3 6
によって説明する。 It is explained by.

【0031】図4に示されているアラームファイルの作成フローの第一ステップA1において、アラームロギング機能部50のアラーム検出部51はアラームの有無を検出する。 [0031] In a first step A1 of creation flow alarm file shown in Figure 4, the alarm detecting unit 51 of the alarm logging function unit 50 detects the presence or absence of alarm. すなわち、メインコントローラ31にサブコントローラ33〜41からアラームが送信されたか否かを検出する。 That is, the alarm from the sub controller 33 to 41 to detect whether or not sent to the main controller 31. アラームが検出されない場合(NO)には、第一ステップA1が繰り返される。 In the case where the alarm is not detected (NO), the first step A1 is repeated. アラームが検出された場合(YES)には第二ステップA2に進む。 If (YES) the alarm is detected the process proceeds to the second step A2.

【0032】第二ステップA2において、ロギングデータ収集部52はロギングに必要なデータを収集し、第三ステップA3に進む。 [0032] In the second step A2, logging data collection unit 52 collects the data necessary for logging, the process proceeds to the third step A3.

【0033】第三ステップA3において、アラームレベル判断部53は警報アラームかエラーアラームかを判断する。 [0033] In a third step A3, the alarm level determination unit 53 determines whether the alarms or error alarms. 警報アラームの場合には第四ステップA4に進み、エラーアラームの場合には第七ステップA7に進む。 In the case of a warning alarm, the process proceeds to the fourth step A4, in the case of error alarm proceeds to the seventh step A7.

【0034】第四ステップA4において、ファイル書込部54は図5(a)に示されている警報アラームファイル55における既に保存されたレコードの数が五百件以上か否かを判断する。 [0034] In a fourth step A4, the file writing unit 54 the number of records that have already been stored in the alarms file 55 shown in FIGS. 5 (a) it is determined whether five hundred department. 五百件以上の場合(YES)には第五ステップA5に進み、五百件未満の場合(NO)には第六ステップA6に進む。 Five in the case of a hundred or more (YES), the program proceeds to the fifth step A5, in the case of less than five hundred items (NO), the program proceeds to the sixth step A6.

【0035】第五ステップA5において、図5(b)に示されているように、ファイル書込部54は警報アラームファイル55の最古データレコードを削除しレコード番号を更新し、第六ステップA6に進む。 [0035] In a fifth step A5, as shown in FIG. 5 (b), the file writing unit 54 updates the deleted record number of the oldest data record of the alarm the alarm file 55, the sixth step A6 proceed to.

【0036】第六ステップA6において、図5(b)に示されているように、ファイル書込部54は警報アラームファイル55の更新されたレコードに新たな警報アラーム(例えば、加熱チャンバにおける加熱不足)を書き込む。 [0036] In a sixth step A6, as shown in FIG. 5 (b), the file writing unit 54 a new alert alarm updated record of the warning alarm file 55 (e.g., lack of heating in the heating chamber ) writes.

【0037】他方、第七ステップA7において、ファイル書込部54は図6(a)に示されているエラーアラームファイル56における既に保存されたレコードの数が五百件以上か否かを判断する。 [0037] On the other hand, in the seventh step A7, the file writing unit 54 the number of records that have already been stored in the error alarm file 56 shown in FIGS. 6 (a) to determine whether five hundred department . 五百件以上の場合(YE For more than five hundred items (YE
S)には第八ステップA8に進み、五百件未満の場合(NO)には第九ステップA9に進む。 In S), the process proceeds to the eighth step A8, in the case of less than five hundred items (NO), the program proceeds to the ninth step A9.

【0038】第八ステップA8において、図6(b)に示されているように、ファイル書込部54はエラーアラームファイル56の最古データレコードを削除しレコード番号を更新し、第九ステップA9に進む。 [0038] In an eighth step A8, as shown in FIG. 6 (b), the file writing unit 54 deletes the oldest data record error alarm file 56 to update the record number, the ninth step A9 proceed to.

【0039】第九ステップA9において、図6(b)に示されているように、ファイル書込部54はエラーアラームファイル56の更新されたレコードに新たなエラーアラーム(例えば、第二CVDガス洩れ)を書き込む。 [0039] In a ninth step A9, as shown in FIG. 6 (b), the file writing unit 54 a new error alarm updated record of error alarm file 56 (e.g., leakage second CVD gas ) writes.

【0040】以降、アラーム検出部51がアラームを検出する都度、前述したループが繰り返されることにより、警報アラームとエラーアラームとが別々の警報アラームファイル55とエラーアラームファイル56とに逐次ロギングされて行く。 [0040] Thereafter, every time the alarm detector 51 detects an alarm, by repeating the loop described above, and the alarms and error alarm is successively logged in and the error alarm file 56 separate alarm alarm file 55 .

【0041】次に、図3に示されたアラームロギング機能部50のアラームファイルの表示フローを図7および図8によって説明する。 Next, it will be explained with reference to FIG. 7 and 8 the display flow alarm file alarm logging function unit 50 shown in FIG.

【0042】メインコントローラ31の入出力装置32 The input-output device 32 of the main controller 31
に対するオペレータの操作によってアラームファイルの表示が指示されると、入出力装置32のディスプレイによって構成された表示部58に図8(a)に示されているような選択画面59が表示される。 When the display of the alarm file by operation of the operator is instructed for selection screen 59 as shown in FIG. 8 (a) is displayed on the display unit 58 constituted by a display of the input and output device 32.

【0043】図7に示されているアラームファイルの表示フローの第一ステップB1において、オペレータは選択画面59から表示を希望するアラームを選択する。 [0043] In a first step B1 of the display flow alarm file shown in Figure 7, the operator selects the desired alarm display from the selection screen 59. 本例では「警報アラームとエラーアラームとの両方を表示する」が選択されたものとする。 In this example it is assumed that "to display both an alarm Alarms and error alarms" is selected.

【0044】第二ステップB2において、ファイル読出部57は警報アラームを表示するか否かを判断する。 [0044] In a second step B2, the file reading unit 57 determines whether or not to display a warning alarm. 警報アラームを表示する場合(YES)には、第三ステップB3に進み、警報アラームを表示しない場合(NO) When displaying a warning alarm when (YES), the process proceeds to the third step B3, it does not display a warning alarm (NO)
には、第四ステップB4に進む。 , The process proceeds to the fourth step B4. なお、警報アラームを表示する場合(YES)には、警報アラームおよびエラーアラームの両方を表示する場合を含む。 In the case of displaying a warning alarm is (YES), including the case of displaying both the alarms and error alarm.

【0045】第三ステップB3において、ファイル読出部57は警報アラームファイル55を表示部58の第一メモリM1に読み込み、第五ステップB5に進む。 [0045] In the third step B3, the file reading section 57 reads the warning alarm file 55 in the first memory M1 of the display unit 58, and the process proceeds to the fifth step B5.

【0046】第四ステップB4において、ファイル読出部57は表示部58の第一メモリM1をクリアし、第五ステップB5に進む。 [0046] In the fourth step B4, the file reading section 57 clears the first memory M1 of the display unit 58, and the process proceeds to the fifth step B5.

【0047】第五ステップB5において、ファイル読出部57はエラーアラームを表示するか否かを判断する。 [0047] In a fifth step B5, the file reading unit 57 determines whether or not to display the error alarm.
エラーアラームを表示する場合(YES)には、第六ステップB6に進み、エラーアラームを表示しない場合(NO)には、第七ステップB7に進む。 If (YES) to display the error alarm, the process proceeds to the sixth step B6, in the case that does not display an error alarm (NO), the process proceeds to the seventh step B7. なお、エラーアラームを表示する場合(YES)には、警報アラームおよびエラーアラームの両方を表示する場合を含む。 Incidentally, in the case (YES) to display the error alarms, including the case of displaying both the alarms and error alarm.

【0048】第六ステップB6において、ファイル読出部57はエラーアラームファイル56を表示部58の第二メモリM2に読み込み、第八ステップB8に進む。 [0048] In the sixth step B6, the file reading section 57 reads the error alarm file 56 in the second memory M2 of the display unit 58, and the process proceeds to the eighth step B8.

【0049】第七ステップB7において、ファイル読出部57は表示部58の第二メモリM2をクリアし、第八ステップB8に進む。 [0049] In the seventh step B7, the file reading section 57 clears the second memory M2 of the display unit 58, and the process proceeds to the eighth step B8.

【0050】第八ステップB8において、ファイル読出部57は第一メモリM1と第二メモリM2とを結合し、 [0050] In an eighth step B8, the file reading unit 57 is coupled to the first memory M1 and a second memory M2,
第九ステップB9に進む。 Advance to the ninth step B9.

【0051】第九ステップB9において、ファイル読出部57は日付データをキーにして結合した警報アラームとエラーアラームとをソートし、第十ステップB10に進む。 [0051] In a ninth step B9, the file reading unit 57 to sort and warning alarms and error alarm linked to the date data in the key, the process proceeds to the tenth step B10.

【0052】第十ステップB10において、表示部58 [0052] In a tenth step B10, the display unit 58
には図8(b)に示されている警報アラームとエラーアラームとの結合ファイルによるアラーム表示画面60が表示される。 Alarm display screen 60 by the combined file of the alarms and error alarms are shown in Figure 8 (b) is displayed on.

【0053】例えば、オペレータはアラーム表示画面6 [0053] For example, an operator alarm display screen 6
0に表示された警報アラームとエラーアラームとを見て、メンテナンスの際に交換すべき部品(例えば、ヒータ)の購入等を実施する。 0 to look at the displayed alarm alarms and error alarms, parts to be replaced during maintenance (for example, a heater) to implement the purchase of.

【0054】前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。 [0054] According to the above embodiment, the following effects can be obtained.

【0055】1) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームが頻発した場合であってもエラーアラームがその影響を受けて削除されてしまう事態が発生するのを防止することができるため、重要なエラーアラームの履歴を過去に長く遡って保存することができる。 [0055] 1) preventing by recording, a situation that error alarm even if the alarms occur frequently from being deleted affected occurs the alarm alarm and error alarms as separate files in order to be able to, it can be saved by going back long an important error alarm of history in the past.

【0056】2) 警報アラームが頻発した場合であってもエラーアラームが削除されてしまうのを回避することにより、警報アラームの検出許容値を厳格に設定することができるため、警報アラームを部品交換時点等に対する判定の目安として利用することができる。 [0056] 2) by the warning alarm to avoid errors alarms even when frequently is deleted, it is possible to set strict detection tolerance alarm alarms, parts replacement alarm Alarm it can be used as a measure of the determination with respect to time and the like.

【0057】3) 警報アラームを部品交換時点等に対する判定の目安として利用することにより、メンテナンス時に交換すべき部品を予め用意しておくことができるため、メンテナンスの作業時間を短縮することができるとともに、正確かつ効率的に実施することができる。 [0057] 3) By using the alarms as a measure of the determination with parts replacement time or the like, it is possible to prepare in advance part to be replaced during maintenance, it is possible to shorten the working time of maintenance it can be carried out accurately and efficiently.

【0058】4) アラームファイルの表示に際して、警報アラームファイルとエラーアラームファイルとを結合し、かつ、時系列にソートして表示することにより、警報アラームとエラーアラームとの時間的関係を適正に認識することができるため、CVD装置の稼働状況やCV [0058] 4) When display of alarm file, combines the warning alarm files and error alarm files, and, by displaying sorted in chronological order, properly recognize the time relationship between the warning alarm and error alarm since it is possible to, the operating status of the CVD apparatus and CV
D装置のトラブルの予知および製品の不良原因の解析等は、警報アラームとエラーアラームとを別々にファイルしたにもかかわらず、従来と同等に実施することができる。 Analysis and the like of the defect responsible for the prediction and product trouble D devices, despite the file a warning alarm and error alarms separately can be carried out is made equal to conventional one.

【0059】5) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームとエラーアラームとを別々に表示させることができるため、警報アラーム独自の発生傾向やエラーアラーム独自の発生傾向を認識し易くさせることができる。 [0059] 5) by recording a warning alarm and error alarm as a separate file, for a warning alarm and error alarm can be displayed separately, warning alarm own generation trends and error alarm own generation trend it can be easily recognized the.

【0060】6) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームとエラーアラームとを別々に、従来に比べて高速でしかもプロセッサに負担なく表示させることができる。 [0060] 6) By recording the alarm alarm and error alarms as separate files, separately and the alarms and error alarm may be displayed without strain on high speed, yet the processor as compared with the prior art. すなわち、従来のアラームロギング機能において警報アラームとエラーアラームとを別々に表示させたい場合には、 That is, when it is desired to separately display the warning alarm and error alarms in conventional alarm logging function,
一つのアラームファイルの中から警報アラームまたはエラーアラームを抽出するプログラムが必要になるため、 Since the program to extract the alarms or error alarms from one alarm files needed,
プロセッサに負担がかかり、高速で処理したい場合には高速のプロセッサが必要になる。 Much of a burden on the processor, it is necessary to high speed of the processor if you want to process at high speed.

【0061】なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。 [0061] The present invention is not limited to the above embodiments, it is needless to say that can be variously changed without departing from the spirit thereof.

【0062】例えば、別々にロギングするアラームレベルは警報アラーとエラーアラームの二つに限らず、三つ以上に分類されるアラームレベルを設定してもよい。 [0062] For example, the alarm level logging separately is not limited to two alarm alerts and error alarm may be set the alarm level to be classified into three or more.

【0063】アラームロギング機能部はメインコントローラに設けるに限らず、専用のソフトウエアまたはハードウエアを設けてもよい。 [0063] alarm logging function unit is not limited to the provision of the main controller, it may be provided with a dedicated software or hardware.

【0064】前記実施の形態においてはCVD装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、スパッタリング装置やドライエッチング装置等の基板処理装置全般に適用することができる。 [0064] While in the above embodiment has been described as applied to a CVD apparatus, the present invention is not limited to this and can be applied to a substrate processing apparatus in general such as a sputtering apparatus or a dry etching apparatus.

【0065】前記実施の形態においては、LCDの製造方法に使用される基板処理装置について説明したが、半導体装置の製造方法の前工程に使用される基板処理装置にも適用することができる。 [0065] In the above embodiment has been described substrate processing apparatus for use in the production method of the LCD, it can be applied to a substrate processing apparatus for use in pre-process of the method for manufacturing the semiconductor device.

【0066】 [0066]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 As described in the foregoing, according to the present invention,
アラームレベル毎に別々のファイルとして記録することにより、重要なアラームの履歴を過去に長く遡って保存することができる。 By recording as a separate file for alarm level for each can be stored back long critical alarm history in the past.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一実施の形態であるCVD装置を示す概略平面図である。 1 is a schematic plan view showing a CVD apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】その制御システムを示すブロック図である。 2 is a block diagram showing the control system.

【図3】そのアラームロギング機能部を示すブロック図である。 3 is a block diagram showing the alarm logging function unit.

【図4】アラームファイルの作成を示すフローチャートである。 FIG. 4 is a flow chart showing the creation of the alarm file.

【図5】警報アラームファイルを示す各模式図であり、 FIG. 5 is a each schematic view showing a warning alarm file,
(a)は削除追加前を示しており、(b)は削除追加の過程を示している。 (A) shows a front deleting additional shows (b) deleting additional processes.

【図6】エラーアラームファイルを示す各模式図であり、(a)は削除追加前を示しており、(b)は削除追加の過程を示している。 [Figure 6] is the schematic diagram showing the error alarm file shows (a) shows a front deleting additional, (b) the deletion additional processes.

【図7】アラームファイルの表示を示すフローチャートである。 FIG. 7 is a flow chart showing the display of the alarm file.

【図8】(a)は選択画面を示す画面図であり、(b) 8 (a) is a screen diagram showing a selection screen, (b)
はアラーム表示画面を示す画面図である。 Is a screen diagram showing the alarm display screen.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10…CVD装置(基板処理装置)、11…真空搬送チャンバ(メインフレーム真空搬送チャンバ)、12、1 10 ... CVD apparatus (substrate processing apparatus), 11 ... vacuum transfer chamber (mainframe vacuum transfer chamber), 12,1
3…ロードロックチャンバ(真空ロードロックチャンバ)、14…加熱チャンバ(基板予備加熱チャンバ)、 3 ... load lock chamber (vacuum load lock chamber), 14 ... heating chamber (substrate pre-heating chamber),
15、16、17、18、19…CVDチャンバ(プラズマCVDチャンバ)、20…真空搬送ロボット(搬送装置)、21…大気搬送チャンバ、22…大気搬送ロボット(搬送装置)、23…カセットスタンド、24…カセット、30…制御システム、31…メインコントローラ、32…入出力装置、33〜41…サブコントローラ、42…記憶装置、43…ホストコンピュータ、50 15,16,17,18,19 ... CVD chamber (plasma CVD chamber), 20 ... vacuum transfer robot (conveying device), 21 ... atmospheric transfer chamber, 22 ... atmospheric transfer robot (conveying device), 23 ... cassette stand, 24 ... cassette, 30 ... control system, 31 ... main controller, 32 ... input-output device, 33 to 41 ... sub-controller, 42 ... storage device, 43 ... host computer, 50
…アラームロギング機能部、51…アラーム検出部、5 ... alarm logging function unit, 51 ... alarm detection unit, 5
2…ロギングデータ収集部、53…アラームレベル判断部、54…ファイル書込部、55…警報アラームファイル、56…エラーアラームファイル、57…データ結合機能付きファイル読出部、58…表示部、59…選択画面、60…アラーム表示画面。 2 ... logging data acquisition unit, 53 ... alarm level determination unit, 54 ... file writing unit, 55 ... alarm alarm file 56 ... error alarm file 57 ... data binding function file reading unit, 58 ... display unit, 59 ... selection screen, 60 ... alarm display screen.

フロントページの続き (72)発明者 八島 司 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 Fターム(参考) 4K030 BA30 BA40 GA12 KA39 KA41 LA18 5F045 AA08 AB04 AB33 BB20 CA15 DQ17 EB08 GB15 HA25 Front page of the continuation (72) inventor Tsukasa Yashima Nakano-ku, Tokyo Higashi-Nakano Third Street No. 14 No. 20 International Electric Co., Ltd. in the F-term (reference) 4K030 BA30 BA40 GA12 KA39 KA41 LA18 5F045 AA08 AB04 AB33 BB20 CA15 DQ17 EB08 GB15 HA25

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 基板処理中に発生したアラームをアラームレベル毎に別々のファイルとして記録するアラームロギング機能を備えていることを特徴とする基板処理装置。 1. A substrate processing apparatus characterized by comprising an alarm logging function for recording the alarms generated during substrate processing as a separate file for alarm level for each.
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