JP2001229518A - Floating type head slider and disk driving device - Google Patents
Floating type head slider and disk driving deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ディス
ク、光ディスク、光磁気ディスク等のディスク状記録媒
体に対して信号の記録及び／又は再生を行うためのヘッ
ドを搭載した浮上型ヘッドスライダ、並びにそのような
浮上型ヘッドスライダを備えたディスクドライブ装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flying head slider having a head for recording and / or reproducing signals on a disk-shaped recording medium such as a magnetic disk, an optical disk and a magneto-optical disk. The present invention relates to a disk drive device provided with such a flying head slider.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、浮上型ヘッドスライダとして、例
えば、コンピュータ等に接続された内蔵型、或いは外付
型のハードディスクドライブ装置に用いられるものがあ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, as a flying head slider, for example, there is a flying head slider used in a built-in or external hard disk drive connected to a computer or the like.
【０００３】ハードディスクドライブ装置は、図１４に
示すように、スピンドルモータにより角速度一定で回転
駆動される磁気ディスク１００と、装置本体に対して回
動自在に配設された回動アーム１０１と、この回動アー
ム１０１の先端部に設けられた浮上型ヘッドスライダ１
０２等を備えている。そして、この浮上型ヘッドスライ
ダ１０２には、磁気ディスク１００に対して信号の記録
及び再生を行うための磁気ヘッド素子１０３が組み込ま
れている。As shown in FIG. 14, a hard disk drive includes a magnetic disk 100 driven to rotate at a constant angular velocity by a spindle motor, a rotating arm 101 rotatably disposed with respect to the apparatus main body, and Floating head slider 1 provided at the tip of rotating arm 101
02 etc. are provided. The flying head slider 102 incorporates a magnetic head element 103 for recording and reproducing signals on and from the magnetic disk 100.
【０００４】このハードディスクドライブ装置において
は、回動アーム１０１が回動され、この回動アーム１０
１の先端部に設けられた浮上型ヘッドスライダ１０２が
磁気ディスク１００の半径方向に回動されることによっ
てシーク動作が行われ、浮上型ヘッドスライダ１０２に
組み込まれた磁気ヘッド素子１０３により、磁気ディス
ク１００の所定の記録トラックに対する信号の書き込み
及び読み出しが行われる。In this hard disk drive, the rotating arm 101 is rotated, and the rotating arm 101 is rotated.
The seek operation is performed by rotating the floating head slider 102 provided at the tip of the magnetic disk 100 in the radial direction of the magnetic disk 100, and the magnetic head element 103 incorporated in the floating head slider 102 causes the magnetic disk element 103 to perform a seek operation. Writing and reading of signals to and from 100 predetermined recording tracks are performed.
【０００５】ここで、磁気ディスク１００がスピンドル
モータによって回転駆動されると、磁気ディスク１００
の信号記録面１００ａ上に空気流が発生する。そして、
この空気流が、磁気ディスク１００の信号記録面１００
ａと浮上型ヘッドスライダ１０２との間に入り込むこと
により、浮上型ヘッドスライダ１０２が磁気ディスク１
００の信号記録面１００ａ上を浮上することになる。そ
して、ハードディスクドライブ装置では、浮上型ヘッド
スライダ１０２が磁気ディスク１００の信号記録面１０
０ａ上を浮上した状態で、この浮上型ヘッドスライダ１
０２に搭載された磁気ヘッド素子１０３により、磁気デ
ィスク１００に対する信号の記録及び再生が行われるよ
うになされている。When the magnetic disk 100 is driven to rotate by a spindle motor, the magnetic disk 100
An air flow is generated on the signal recording surface 100a. And
This air flow is applied to the signal recording surface 100 of the magnetic disk 100.
a between the magnetic disk 1 and the floating head slider 102.
00, and floats on the signal recording surface 100a. In the hard disk drive, the flying head slider 102 is mounted on the signal recording surface 10 of the magnetic disk 100.
0a, the floating head slider 1
The recording and reproduction of signals with respect to the magnetic disk 100 are performed by the magnetic head element 103 mounted on the magnetic disk 100.
【０００６】以上のようなハードディスクドライブ装置
に用いられる浮上型ヘッドスライダ１０２の一例を図１
５に示す。この図１５に示す浮上型ヘッドスライダ１０
２は、磁気ディスク１００と対応する面の幅方向の両側
（磁気ディスク１の半径方向に沿った方向の両側）に、
空気流入側の端部から空気流出側の端部に亘って、エア
ベアリングサーフェイスとして機能する２本のレール１
０４，１０５が設けられている。また、この浮上型ヘッ
ドスライダ１０２には、その空気流出側の端部に、磁気
ヘッド素子１０３が組み込まれている。FIG. 1 shows an example of a flying head slider 102 used in a hard disk drive as described above.
It is shown in FIG. The flying head slider 10 shown in FIG.
2 are on both sides in the width direction of the surface corresponding to the magnetic disk 100 (both sides in the radial direction of the magnetic disk 1),
Two rails 1 functioning as an air bearing surface from the end on the air inflow side to the end on the air outflow side
04 and 105 are provided. A magnetic head element 103 is incorporated in the flying head slider 102 at an end on the air outflow side.
【０００７】この浮上型ヘッドスライダ１０２は、図１
４中矢印Ｘ方向に回転する磁気ディスク１００の信号記
録面１００ａに接近すると、この磁気ディスク１００の
回転に伴って生じる空気流を受けて、２本のレール１０
４，１０５と磁気ディスク１００の信号記録面１００ａ
との間に発生する圧力により浮揚力を得る。そして、こ
の浮上型ヘッドスライダ１０２は、図１６に示すよう
に、磁気ディスク１００の信号記録面１００ａ上を所定
の浮上量で浮上しながら、空気流出側の端部に組み込ま
れた磁気ヘッド素子１０３により、磁気ディスク１００
に対して信号の記録及び再生を行う。The flying type head slider 102 is shown in FIG.
4, when approaching the signal recording surface 100a of the magnetic disk 100 rotating in the direction of the arrow X, the two rails 10 receive the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 100.
4, 105 and the signal recording surface 100a of the magnetic disk 100
The buoyancy is obtained by the pressure generated between. As shown in FIG. 16, the flying head slider 102 floats on the signal recording surface 100a of the magnetic disk 100 with a predetermined flying height, and the magnetic head element 103 incorporated at the end on the air outflow side. The magnetic disk 100
And record and reproduce signals.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述したハードディス
クドライブ装置においては、スペーシングロスを極力抑
えて高密度記録を実現するために、浮上型ヘッドスライ
ダ１０２の浮上量を小さくすることが求められている。
現在、浮上型ヘッドスライダ１０２の浮上量は、５０ｎ
ｍ程度である。また、研究レベルでは、この浮上型ヘッ
ドスライダ１０２の浮上量を２０ｎｍ程度にまで小さく
したものが実現されている。In the hard disk drive described above, it is required to reduce the flying height of the flying head slider 102 in order to realize high-density recording while minimizing spacing loss. .
At present, the flying height of the flying head slider 102 is 50 n.
m. At the research level, a flying head slider 102 with a flying height reduced to about 20 nm has been realized.
【０００９】しかしながら、ハードディスクドライブ装
置では、浮上型ヘッドスライダ１０２の浮上量が極端に
低下すると、この浮上型ヘッドスライダ１０２と磁気デ
ィスク１００との接触により、浮上型ヘッドスライダ１
０２や磁気ディスク１００の損傷等を招いてしまう危険
性が生じてしまう。However, in the hard disk drive, when the flying height of the flying head slider 102 is extremely reduced, the flying head slider 102 comes into contact with the magnetic disk 100 so that the flying head slider 1
02 or the magnetic disk 100 may be damaged.
【００１０】ところで、近年、ノート型パソコン等の、
いわゆる携帯型コンピュータの普及に伴って、この携帯
型コンピュータの長時間の駆動を可能とするために、ハ
ードディスクドライブ装置の消費電力を下げることが求
められている。By the way, in recent years, such as notebook type personal computers,
With the spread of so-called portable computers, it has been required to reduce the power consumption of the hard disk drive in order to enable the portable computers to be driven for a long time.
【００１１】ここで、ハードディスクドライブ装置の低
消費電力化を考えた場合、磁気ディスク１００を回転駆
動するスピンドルモータの回転数を下げることが有効で
ある。例えば、スピンドルモータの回転数を半分に下げ
た場合には、ハードディスクドライブ装置の消費電力を
従来のおよそ半分程度にまで下げることができる。Here, in order to reduce the power consumption of the hard disk drive, it is effective to reduce the number of revolutions of the spindle motor that drives the magnetic disk 100 to rotate. For example, when the number of revolutions of the spindle motor is reduced to half, the power consumption of the hard disk drive can be reduced to about half of the conventional power consumption.
【００１２】しかしながら、ハードディスクドライブ装
置では、スピンドルモータの回転数を下げてしまうと、
磁気ディスク１の回転により生じる空気流が小さくな
り、浮上型ヘッドスライダ１０２の２本のレール１０
４，１０５と磁気ディスク１００の信号記録面１００ａ
との間に発生する圧力が低下してしまう。そして、ハー
ドディスクドライブ装置では、浮上型ヘッドスライダ１
０２が磁気ディスク１００の信号記録面１００ａ上を所
定の浮上量で浮上することが困難となり、上述した浮上
型ヘッドスライダ１０２と磁気ディスク１との接触とい
った不具合が生じることになる。However, in the hard disk drive, if the rotation speed of the spindle motor is reduced,
The airflow generated by the rotation of the magnetic disk 1 is reduced, and the two rails 10 of the flying head slider 102 are moved.
4, 105 and the signal recording surface 100a of the magnetic disk 100
And the pressure generated between them decreases. In the hard disk drive, the flying head slider 1
02 becomes difficult to float on the signal recording surface 100a of the magnetic disk 100 with a predetermined floating amount, and the above-described trouble such as contact between the flying head slider 102 and the magnetic disk 1 occurs.
【００１３】さらに、ハードディスクドライブ装置で
は、より小型化されたハードディスクドライブ装置の開
発も進められている。これに伴って、磁気ディスク１０
０の小径化も進められている。現在、ノート型パソコン
等に搭載されるハードディスクドライブ装置には、２．
５インチの磁気ディスク（ハードディスク）が使用され
ているが、例えば、１．８インチの磁気ディスクを用い
てＰＣカードタイプとしたハードディスクドライブ装置
や、１．０インチの磁気ディスクを用いてフラッシュメ
モリータイプとしたハードディスクドライブ装置を、携
帯型コンピュータ等に設けられたＰＣカードスロットや
フラッシュメモリースロットに搭載可能とするといった
試みもなされている。Further, with respect to the hard disk drive, development of a more miniaturized hard disk drive is also underway. Accordingly, the magnetic disk 10
The reduction of the diameter to zero has also been promoted. Currently, hard disk drive devices mounted on notebook computers and the like include:
A 5-inch magnetic disk (hard disk) is used. For example, a hard disk drive device of a PC card type using a 1.8-inch magnetic disk or a flash memory type device using a 1.0-inch magnetic disk It has been attempted that the hard disk drive device described above can be mounted in a PC card slot or a flash memory slot provided in a portable computer or the like.
【００１４】しかしながら、ハードディスクドライブ装
置では、このような小径化された磁気ディスクを使用し
た場合に、上述した磁気ディスクの回転数を下げた場合
と同様に、磁気ディスクの回転により生じる空気流が小
さくなってしまい、浮上型ヘッドスライダを所定の浮上
量で浮上させることが困難となってしまう。However, in the hard disk drive, when such a small-diameter magnetic disk is used, similarly to the case where the rotation speed of the magnetic disk is reduced, the air flow generated by the rotation of the magnetic disk is small. As a result, it becomes difficult to cause the flying head slider to fly with a predetermined flying height.
【００１５】ここで、浮上型ヘッドスライダについて、
磁気ディスクの信号記録面上を浮上走行する際の線速度
と浮上量との関係をコンピュータシュミレーションによ
り計算した。この計算結果を示すグラフを図１７に示
す。なお、コンピュータシュミレーションにおいては、
スキュー角０゜、荷重３．０ｇ、クラウン２０ｎｍ、支
持点（０，０）として、線速度をパラメータとして計算
を行った。Here, regarding the flying head slider,
The relationship between the linear velocity and the flying height when flying over the signal recording surface of the magnetic disk was calculated by computer simulation. FIG. 17 shows a graph showing the calculation results. In computer simulation,
The calculation was performed using a linear velocity as a parameter with a skew angle of 0 °, a load of 3.0 g, a crown of 20 nm, and a support point (0, 0).
【００１６】図１７に示すように、磁気ディスクの信号
記録面上を浮上走行する浮上型ヘッドスライダの線速度
が１５ｍ／ｓ以下になると、浮上型ヘッドスライダの浮
上量が急激に低下するのがわかる。この線速度は、磁気
ディスクの回転数に依存するものであり、一般に１．８
インチの磁気ディスクの最内周での線速度は３ｍ／ｓ程
度である。この場合、この１．８インチの磁気ディスク
をハードディスクドライブ装置に使用することは困難で
ある。As shown in FIG. 17, when the linear velocity of the flying head slider flying above the signal recording surface of the magnetic disk becomes 15 m / s or less, the flying height of the flying head slider rapidly decreases. Understand. This linear velocity depends on the rotational speed of the magnetic disk, and is generally 1.8.
The linear velocity at the innermost circumference of an inch magnetic disk is about 3 m / s. In this case, it is difficult to use the 1.8-inch magnetic disk for a hard disk drive.
【００１７】このように、従来のハードディスクドライ
ブ装置では、磁気ディスクの信号記録面上を浮上走行す
る浮上型ヘッドスライダの線速度が小さくなってしまう
と、浮上型ヘッドスライダが磁気ディスクの信号記録面
上を所定の浮上量で浮上することが困難となってしま
い、磁気ディスクに対する信号の記録再生を安定的に行
うことができなくなってしまうといった問題があった。As described above, in the conventional hard disk drive, if the linear velocity of the flying head slider that flies above the signal recording surface of the magnetic disk is reduced, the flying head slider is moved to the signal recording surface of the magnetic disk. There is a problem in that it is difficult to float the upper portion with a predetermined flying height, and it becomes impossible to stably record and reproduce signals on the magnetic disk.
【００１８】そこで、本発明はこのような従来の事情に
鑑みて提案されたものであり、ディスク状記録媒体の信
号記録面上を浮上走行する線速度が低下した場合であっ
ても、ディスク状記録媒体の信号記録面上をより安定し
た状態で浮上することを可能とした浮上型ヘッドスライ
ダ、並びにそのような浮上型ヘッドスライダを備えたデ
ィスクドライブ装置を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and even if the linear velocity of the floating movement on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium decreases, the disk-shaped It is an object of the present invention to provide a flying head slider capable of flying above a signal recording surface of a recording medium in a more stable state, and a disk drive device provided with such a flying head slider.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成すべく鋭意検討を行った結果、浮上型ヘッドスライ
ダのディスク状記録媒体と対向する面に、深さの異なる
溝を形成することにより、少なくとも２段以上の段差部
を形成し、これら段差部を形成する溝のうち、最も浅い
溝の深さを所定の範囲に設定することにより、ディスク
状記録媒体の信号記録面上を浮上走行する浮上型ヘッド
スライダの線速度が小さくなった場合であっても、この
浮上型ヘッドスライダを安定した状態で浮上させること
ができることを見出した。The present inventor has conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, formed grooves of different depths on the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium. Accordingly, at least two steps or more are formed, and by setting the depth of the shallowest groove among the grooves forming these steps in a predetermined range, the signal recording surface of the disc-shaped recording medium can be formed. The inventor has found that even when the linear velocity of the flying head slider that flies and runs is reduced, the flying head slider can be floated in a stable state.
【００２０】すなわち、本発明に係る浮上型ヘッドスラ
イダは、ディスク状記録媒体に対して信号の記録及び／
又は再生を行うためのヘッドを搭載し、ディスク状記録
媒体の回転により発生する空気流により、ディスク状記
録媒体上を浮上走行する浮上型ヘッドスライダにおい
て、ディスク状記録媒体と対向する面に、深さの異なる
溝が形成されることにより、少なくとも２段以上の段差
部が形成されており、これら段差部を形成する溝のう
ち、最も浅い溝の深さが２５０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする。That is, the flying head slider according to the present invention records and / or records signals on a disk-shaped recording medium.
Alternatively, a flying head slider that carries a reproducing head and floats on the disk-shaped recording medium by airflow generated by rotation of the disk-shaped recording medium has a deep surface on a surface facing the disk-shaped recording medium. By forming grooves having different heights, at least two or more steps are formed, and the depth of the shallowest groove is 250 nm or less among the grooves forming these steps. And
【００２１】この浮上型ヘッドスライダでは、深さの異
なる溝が形成されることにより、少なくとも２段以上の
段差部が形成されており、これら段差部を形成する溝の
うち最も浅い溝の深さが２５０ｎｍ以下とされているこ
とから、ディスク状記録媒体上を浮上走行する線速度が
低下した場合であっても、このディスク状記録媒体の信
号記録面上をより安定した状態で浮上することができ
る。In this flying head slider, at least two steps are formed by forming grooves having different depths, and the depth of the shallowest groove among the grooves forming these steps is formed. Is set to 250 nm or less, so that even when the linear velocity of the floating movement on the disk-shaped recording medium is reduced, it is possible to float on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium in a more stable state. it can.
【００２２】また、本発明に係るディスクドライブ装置
は、ディスクドライブ装置本体内に装着されたディスク
状記録媒体を回転駆動するディスク回転手段と、ディス
ク状記録媒体に対して信号の記録及び／又は再生を行う
ためのヘッドを搭載し、ディスク状記録媒体の回転によ
り発生する空気流により、このディスク状記録媒体上を
浮上走行する浮上型ヘッドスライダとを備える。そし
て、浮上型ヘッドスライダには、ディスク状記録媒体と
対向する面に、深さの異なる溝が形成されることによ
り、少なくとも２段以上の段差部が形成されており、こ
れら段差部を形成する溝のうち最も浅い溝の深さが２５
０ｎｍ以下とされていることを特徴とする。Further, the disk drive device according to the present invention comprises: a disk rotating means for rotating a disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body; And a flying head slider that floats on the disk-shaped recording medium by airflow generated by rotation of the disk-shaped recording medium. In the flying head slider, at least two or more steps are formed by forming grooves having different depths on a surface facing the disk-shaped recording medium, and these steps are formed. The depth of the shallowest groove is 25
The thickness is set to 0 nm or less.
【００２３】このディスクドライブ装置では、浮上型ヘ
ッドスライダのディスク状記録媒体と対向する面に、深
さの異なる溝が形成されることにより、少なくとも２段
以上の段差部が形成されており、これら段差部を形成す
る溝のうち最も浅い溝の深さが２５０ｎｍ以下とされて
いることから、ディスク状記録媒体の信号記録面上を浮
上走行する浮上型ヘッドスライダの線速度が低下した場
合であっても、このディスク状記録媒体の信号記録面上
を浮上型ヘッドスライダが安定した状態で浮上すること
ができ、ディスク状記録媒体に対する安定した記録及び
／又は再生を行うことができる。In this disk drive device, grooves of different depths are formed on the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium, so that at least two or more steps are formed. Since the depth of the shallowest groove among the grooves forming the step portion is set to 250 nm or less, the linear velocity of the flying head slider that floats on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium is reduced. However, the flying head slider can float on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium in a stable state, and stable recording and / or reproduction on the disk-shaped recording medium can be performed.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２５】本発明を適用したハードディスクドライブ
装置の一例を図１に示す。この図１に示すハードディス
クドライブ装置１は、筐体２の内部に、図示しないスピ
ンドルモータにより一定の角速度で回転駆動される磁気
ディスク３と、この磁気ディスク３に対して信号の記録
再生を行う磁気ヘッド素子が搭載された浮上型ヘッドス
ライダ４を先端部に有するヘッドアクチュエータ５とを
備える。FIG. 1 shows an example of a hard disk drive to which the present invention is applied. The hard disk drive 1 shown in FIG. 1 includes a magnetic disk 3 which is rotated and driven at a constant angular speed by a spindle motor (not shown) inside a housing 2 and a magnetic disk which records and reproduces signals on the magnetic disk 3. A head actuator 5 having a flying type head slider 4 on which a head element is mounted at a tip end.
【００２６】このヘッドアクチュエータ５は、支軸６を
中心に回動する回動アーム７と、この回動アーム７の基
端側に設けられたボイスコイルモータ８と、この回動ア
ーム７の先端側に取り付けられた所定の弾性を有するサ
スペンション９とを備え、このサスペンション９の先端
部に、上記浮上型ヘッドスライダ４が取り付けられてい
る。The head actuator 5 includes a rotating arm 7 that rotates around a support shaft 6, a voice coil motor 8 provided at the base end of the rotating arm 7, and a distal end of the rotating arm 7. And a suspension 9 having a predetermined elasticity attached to its side. The flying type head slider 4 is attached to the tip of the suspension 9.
【００２７】ボイスコイルモータ８は、回動アーム７側
に取り付けられたコイル１０と、このコイル１０と対向
して筐体２側に設けられたマグネット（ここでは、カバ
ー１１によりマグネットを図示せず。）とを備える。そ
して、ボイスコイルモータ８では、コイル１０に電流が
供給されることにより磁界が発生し、このコイル１０と
対向するマグネットとの磁気的作用により、支軸６を中
心として回動アーム７が所定の角度だけ回動されること
となる。The voice coil motor 8 includes a coil 10 attached to the rotating arm 7 and a magnet provided on the housing 2 opposite to the coil 10 (the magnet is not shown by the cover 11 here). )). In the voice coil motor 8, a magnetic field is generated by supplying a current to the coil 10, and the rotating arm 7 is pivotally moved about the support shaft 6 by a magnetic action between the coil 10 and a magnet facing the coil 10. It will be rotated by an angle.
【００２８】サスペンション９は、その先端部に浮上型
ヘッドスライダ４が取り付けられており、このヘッドス
ライダ９を弾性力により磁気ディスク３側へと付勢して
いる。The suspension 9 has a flying head slider 4 attached to its tip, and urges the head slider 9 toward the magnetic disk 3 by elastic force.
【００２９】このハードディスクドライブ装置１におい
ては、回動アーム７が回動され、この回動アーム７にサ
スペンション９を介して設けられた浮上型ヘッドスライ
ダ４が、磁気ディスク３の半径方向に回動されることに
よってシーク動作が行われる。そして、浮上型ヘッドス
ライダ４に組み込まれた図示しない磁気ヘッド素子によ
り、磁気ディスク３の所定の記録トラックに対する信号
の記録再生が行われることとなる。In the hard disk drive 1, the rotating arm 7 is rotated, and the flying head slider 4 provided on the rotating arm 7 via the suspension 9 is rotated in the radial direction of the magnetic disk 3. In this way, a seek operation is performed. Then, recording and reproduction of a signal with respect to a predetermined recording track of the magnetic disk 3 are performed by a magnetic head element (not shown) incorporated in the flying head slider 4.
【００３０】このディスクドライブ装置１に用いられ
る、本発明を適用した浮上型ヘッドスライダ４の一例を
図２に示す。この図２に示す浮上型ヘッドスライダ４
は、略矩形状に形成されてなり、磁気ディスク３と対向
する面には、磁気ディスク３の回転により発生する空気
流の空気流入側の端部から空気流出側の中途部に亘って
略平行なレール形状とされた第１の段差部１２及び第２
の段差部１３と、空気流出側の端部の略中央部に位置し
て、空気流入側から空気流出側に向かって幅広となるよ
うな第３の段差部１４とが設けられている。これら第１
の段差部１２、第２の段差部１３、第３の段差部１４
は、エアベアリングサーフェイスとして機能するもので
あり、磁気ディスク３の回転に伴って発生する空気流に
より浮揚力を受け、この浮揚力により磁気ディスク３の
信号記録面３ａ上を所定の浮上量で浮上させるためのも
のである。FIG. 2 shows an example of a flying head slider 4 to which the present invention is applied, which is used in the disk drive device 1. As shown in FIG. The flying head slider 4 shown in FIG.
Is formed in a substantially rectangular shape, and is substantially parallel to a surface facing the magnetic disk 3 from an end on the air inflow side of the air flow generated by rotation of the magnetic disk 3 to a middle portion on the air outflow side. The first stepped portion 12 and the second
And a third step portion 14 which is located substantially at the center of the end on the air outflow side and becomes wider from the air inflow side to the air outflow side. These first
Step portion 12, second step portion 13, third step portion 14
Functions as an air bearing surface, receives a levitation force by an air flow generated as the magnetic disk 3 rotates, and floats on the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 by a predetermined floating amount by the levitation force. It is to make it.
【００３１】さらに、この浮上型ヘッドスライダ４に
は、第１の段差部１２、第２の段差部１３及び第３の段
差部１４の周囲を所定の幅で囲むと共に、これら第１の
段差部１２、第２の段差部１３及び第３の段差部１４よ
りも一段低くなされた第４の段差部１５がそれぞれ設け
られている。Further, the flying type head slider 4 surrounds the first stepped portion 12, the second stepped portion 13 and the third stepped portion 14 with a predetermined width, and has the first stepped portion. 12, a fourth step portion 15 which is one step lower than the second step portion 13 and the third step portion 14 is provided.
【００３２】すなわち、浮上型ヘッドスライダ４の磁気
ディスク３と対向する面には、所定の深さで溝（以下、
浅溝という。）１６を形成すると共に、この浅溝１６か
らさらに所定の深さで溝（以下、深溝という。）１７を
形成することにより、この深溝１７が形成された面上
に、第４の段差部１５が突出形成され、この第４の段差
部１５が突出形成された面、すなわち浅溝１６が形成さ
れた面上に、第１の段差部１２、第２の段差部１３及び
第３の段差部１４が突出形成されている。That is, a groove (hereinafter referred to as a groove) having a predetermined depth is formed on the surface of the flying head slider 4 facing the magnetic disk 3.
It is called shallow groove. ) 16 and a groove (hereinafter referred to as a deep groove) 17 having a predetermined depth from the shallow groove 16, so that the fourth step portion 15 is formed on the surface where the deep groove 17 is formed. The first step portion 12, the second step portion 13, and the third step portion are formed on the surface on which the fourth step portion 15 is formed, that is, the surface on which the shallow groove 16 is formed. The projection 14 is formed.
【００３３】また、浮上型ヘッドスライダ４には、第１
の段差部１２及び第２の段差部１３の空気流入側の端部
に、この第１の段差部１２及び第２の段差部１３の表面
（磁気ディスク３との対向面）から所定の深さで窪むよ
うに形成された段差部（以下、ステップという。）１
８，１９がそれぞれ設けられている。The flying head slider 4 has a first
A predetermined depth is provided from the surface of the first stepped portion 12 and the second stepped portion 13 (the surface facing the magnetic disk 3) at the end of the stepped portion 12 and the second stepped portion 13 on the air inflow side. Step (hereinafter referred to as step) 1 formed so as to be depressed by
8, 19 are provided respectively.
【００３４】また、浮上型ヘッドスライダ４には、空気
流出側の端部に図示を省略する磁気ヘッド素子が組み込
まれている。The flying head slider 4 incorporates a magnetic head element (not shown) at an end on the air outflow side.
【００３５】以上のように構成されるハードディスクド
ライブ装置１では、磁気ディスク３がスピンドルモータ
によって回転操作されると、磁気ディスク３の信号記録
面３ａ上に空気流が発生する。そして、この空気流が磁
気ディスク３の信号記録面３ａと浮上型ヘッドスライダ
４との間に入り込むことにより、浮上型ヘッドスライダ
４に浮揚力が発生し、この浮上型ヘッドスライダ４が磁
気ディスク３の信号記録面３ａ上を所定の浮上量で浮上
することになる。そして、ハードディスクドライブ装置
１では、浮上型ヘッドスライダ４が磁気ディスク３の信
号記録面３ａ上を浮上しながら、この浮上型ヘッドスラ
イダ４に搭載された磁気ヘッド素子により、磁気ディス
ク３に対する信号の記録再生が行われる。In the hard disk drive 1 configured as described above, when the magnetic disk 3 is rotated by the spindle motor, an air flow is generated on the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3. When the air flow enters between the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 and the flying head slider 4, a floating force is generated in the flying head slider 4, and the flying head slider 4 Above the signal recording surface 3a with a predetermined flying height. In the hard disk drive 1, while the flying head slider 4 flies above the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3, a signal is recorded on the magnetic disk 3 by the magnetic head element mounted on the flying head slider 4. Playback is performed.
【００３６】ここで、本発明を適用した浮上型ヘッドス
ライダ４の具体的な寸法の一例を図３及び図４に示す。
なお、図３は、浮上型ヘッドスライダ４を磁気ディスク
３と対向する面側から見た平面図であり、図４は、浮上
型ヘッドスライダ４における空気流入側の端部を示す要
部斜視図である。なお、図３及び図４において、各部の
形状は、実際の寸法よりも誇張して示している。Here, one example of specific dimensions of the flying head slider 4 to which the present invention is applied is shown in FIGS.
FIG. 3 is a plan view of the flying head slider 4 as viewed from the surface facing the magnetic disk 3, and FIG. 4 is a perspective view of an essential part showing an end of the flying head slider 4 on the air inflow side. It is. In FIGS. 3 and 4, the shape of each part is exaggerated from the actual dimensions.
【００３７】この浮上型ヘッドスライダ４は、その全体
が、前後方向の長さＬ＝１２５０μｍ、幅Ｗ＝１０００
μｍ、厚さＴ＝３００μｍとされた略矩形状を呈してお
り、ここに、エッチング等により所定の値に設定された
深さＤの浅溝１６と、深さＤ1＝２μｍとされた深溝１
７とが形成されることにより、第１の段差部１２、第２
の段差部１３、第３の段差部１４及び第４の段差部１５
が形成されている。この第１の段差部１２及び第２の段
差部１３は、それぞれ前後方向の長さＬ1＝７００μ
ｍ、幅Ｗ1＝２００μｍとされており、この第１の段差
部１２及び第２の段差部１３の周囲に設けられた第４の
段差部１５は、それぞれ前後方向の長さＬ2＝７５０μ
ｍ、幅Ｗ2＝３７０μｍとされる。The flying type head slider 4 has a length L = 1250 μm and a width W = 1000 in the front-rear direction as a whole.
[mu] m, and presents a thickness T = 300 [mu] m and has been substantially rectangular shape, here, the shallow groove 16 of depth D that is set to a predetermined value by etching or the like, which is the depth D 1 = 2 [mu] m deep groove 1
7, the first stepped portion 12, the second stepped portion
Step portion 13, third step portion 14, and fourth step portion 15
Are formed. The first step portion 12 and the second step portion 13 each have a length L 1 = 700 μ in the front-rear direction.
m and a width W 1 = 200 μm, and a fourth step 15 provided around the first step 12 and the second step 13 has a length L 2 = 750 μ in the front-rear direction.
m and the width W 2 = 370 μm.
【００３８】また、第３の段差部１４は、空気流入側の
幅Ｗ3＝２００μｍ、空気流出側の幅Ｗ4＝３００μｍと
されており、この第３の段差部１４の周囲に設けられた
第４の段差部１５は、空気流入側の幅Ｗ5＝４００μ
ｍ、空気流出側の幅Ｗ6＝６００μｍとされる。The third step 14 has a width W 3 = 200 μm on the air inflow side and a width W 4 = 300 μm on the air outflow side, and is provided around the third step 14. The fourth step portion 15 has a width W 5 = 400 μ on the air inflow side.
m, and the width W 6 on the air outflow side is set to 600 μm.
【００３９】また、第１の段差部１２及び第２の段差部
１３の空気流入側の端部には、ステップ１８，１９が第
１の段差部１２及び第２の段差部１３の最端部から前後
方向の長さの約１０％に亘って切り欠かれることにより
形成される。Steps 18 and 19 are provided at the ends of the first stepped portion 12 and the second stepped portion 13 on the air inflow side, at the end portions of the first stepped portion 12 and the second stepped portion 13. From about 10% of the length in the front-back direction.
【００４０】この浮上型ヘッドスライダ４には、上述し
たように、磁気ディスク３と対向する面に、エアベアリ
ングサーフェイスとして機能する第１の段差部１２、第
２の段差部１３及び第３の段差部１４の他に、浅溝１６
を形成することにより、これら第１の段差部１２、第２
の段差部１３及び第３の段差部１４よりも一段低くなさ
れた第４の段差部１５が設けられている。As described above, the flying head slider 4 has a first step portion 12, a second step portion 13, and a third step portion 13 functioning as an air bearing surface on the surface facing the magnetic disk 3. In addition to the part 14, the shallow groove 16
By forming the first step portion 12 and the second step portion
A fourth step portion 15 which is one step lower than the third step portion 13 and the third step portion 14 is provided.
【００４１】ここで、上記浅溝１６が形成されていな
い、すなわち第４の段差部１５が形成されていない以外
は本発明を適用した浮上型ヘッドスライダ４と同様な構
成とされる従来の浮上型ヘッドスライダ２０の一例を図
５及び図６に示す。なお、図５は、浮上型ヘッドスライ
ダ２０を磁気ディスク３と対向する面側から見た平面図
であり、図６は、浮上型ヘッドスライダ２０の空気流入
側の端部を示す要部斜視図である。また、図５及び図６
において、上述した浮上型ヘッドスライダ４と同等な部
位については説明を省略するとともに、同じ符号を付す
ものとし、併せて浮上型ヘッドスライダ２０の具体的な
寸法を付した。なお、図５及び図６において、各部の形
状は、実際の寸法よりも誇張して示している。Here, a conventional flying head having the same structure as the flying head slider 4 to which the present invention is applied except that the shallow groove 16 is not formed, that is, the fourth step portion 15 is not formed. An example of the mold head slider 20 is shown in FIGS. FIG. 5 is a plan view of the flying head slider 20 as viewed from the surface facing the magnetic disk 3, and FIG. 6 is a perspective view of a main part showing an end of the flying head slider 20 on the air inflow side. It is. 5 and 6
In the following description, the same parts as those of the above-mentioned flying head slider 4 will not be described, and the same reference numerals will be given. In addition, specific dimensions of the flying head slider 20 will be given. In FIGS. 5 and 6, the shape of each part is exaggerated from the actual dimensions.
【００４２】そして、この本発明を適用した浮上型ヘッ
ドスライダ４及び従来の浮上型ヘッドスライダ２０につ
いて、磁気ディスク３の信号記録面３ａ上を浮上走行し
た際の線速度と浮上量との関係について計算した。これ
ら計算結果を図７に示す。なお、図７において、Ｓ１で
示すグラフは、本発明を適用した浮上型ヘッドスライダ
４であり、Ｓ２で示すグラフは、従来の浮上型ヘッドス
ライダ２０である。With respect to the flying head slider 4 to which the present invention is applied and the conventional flying head slider 20, the relationship between the linear velocity and the flying height when flying above the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 will be described. Calculated. FIG. 7 shows the results of these calculations. In FIG. 7, a graph indicated by S1 is a flying head slider 4 to which the present invention is applied, and a graph indicated by S2 is a conventional flying head slider 20.
【００４３】図７に示すように、本発明を適用した浮上
型ヘッドスライダ４では、従来の浮上型ヘッドスライダ
２０と比べて、磁気ディスク上を浮上走行する線速度の
全域に亘って浮上量が高くなっているのがわかる。As shown in FIG. 7, in the flying head slider 4 to which the present invention is applied, the flying height over the entire range of the linear velocity at which the flying head runs over the magnetic disk is smaller than that of the conventional flying head slider 20. You can see that it is higher.
【００４４】このことから、例えば、ハードディスクド
ライブ装置１の低消費電力化を図るために、スピンドル
モータの回転数を下げた場合であっても、或いは、ハー
ドディスクドライブ装置１の小型化に伴って、磁気ディ
スク３を小径化した場合であっても、この浮上型ヘッド
スライダ４の浮上量の低下を抑えることができる。すな
わち、磁気ディスク３の信号記録面上を浮上走行する浮
上型ヘッドスライダの線速度が低下した場合であって
も、この磁気ディスク３の信号記録面３ａ上を所定の浮
上量で浮上させることができる。For this reason, for example, even if the rotation speed of the spindle motor is reduced in order to reduce the power consumption of the hard disk drive 1, or with the downsizing of the hard disk drive 1, Even when the diameter of the magnetic disk 3 is reduced, it is possible to suppress a decrease in the flying height of the flying head slider 4. That is, even when the linear velocity of the flying head slider that flies above the signal recording surface of the magnetic disk 3 decreases, it is possible to float the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 with a predetermined flying height. it can.
【００４５】したがって、この浮上型ヘッドスライダ４
では、磁気ディスク３と対向する面に、エアベアリング
サーフェイスとして機能する第１の段差部１２、第２の
段差部１３及び第３の段差部１４の他に、浅溝１６を形
成することにより、これら第１の段差部１２、第２の段
差部１３及び第３の段差部１４よりも一段低くなされた
第４の段差部１５が形成されたことで、磁気ディスク３
上を浮上走行する線速度が低下した場合であっても、磁
気ディスク３の信号記録面３ａ上をより安定した状態で
浮上することができる。Therefore, the flying type head slider 4
Then, a shallow groove 16 is formed on the surface facing the magnetic disk 3 in addition to the first step portion 12, the second step portion 13, and the third step portion 14 functioning as an air bearing surface. By forming the fourth step portion 15 which is one step lower than the first step portion 12, the second step portion 13 and the third step portion 14, the magnetic disk 3
Even if the linear velocity at which the magnetic disk 3 levitates is lowered, the magnetic disk 3 can levitate on the signal recording surface 3a in a more stable state.
【００４６】次に、本発明を適用した他の浮上型ヘッド
スライダ３０の一例を図８及び図９に示す。なお、図８
は、浮上型ヘッドスライダ３０を磁気ディスク３と対向
する面側から見た平面図であり、図９は、浮上型ヘッド
スライダ３０における空気流入側の端部を示す要部斜視
図である。なお、図８及び図９において、上述した浮上
型ヘッドスライダ４と同等な部位については説明を省略
するとともに、同じ符号を付すものとし、併せて浮上型
ヘッドスライダ３０の具体的な寸法を付した。なお、図
８及び図９において、各部の形状は、実際の寸法よりも
誇張して示している。Next, an example of another flying head slider 30 to which the present invention is applied is shown in FIGS. FIG.
FIG. 9 is a plan view of the flying head slider 30 viewed from the surface facing the magnetic disk 3, and FIG. 9 is a perspective view of a main part showing an end of the flying head slider 30 on the air inflow side. In FIGS. 8 and 9, the same parts as those of the flying head slider 4 described above are not described, and are denoted by the same reference numerals. In addition, specific dimensions of the flying head slider 30 are given. . 8 and 9, the shape of each part is exaggerated from the actual dimensions.
【００４７】この浮上型ヘッドスライダ３０は、第１の
段差部１０及び第２の段差部１１の空気流入側の端部
に、上述したステップ１８，１９と呼ばれる段差部の代
わりに、傾斜面（以下、テーパという。）３１，３２が
設けられている以外は浮上型ヘッドスライダ４と同様な
構成とされる。このテーパ３１，３２は、第１の段差部
１０及び第２の段差部１１の表面（磁気ディスク２との
対向面）に対して所定の傾斜角を有し、空気流入側の最
端部に向かうに従って、その厚みを次第に小さくするよ
うな傾斜面として形成されている。ここでは、テーパ３
１，３２が、第１の段差部１２及び第２の段差部１３の
最端部から前後方向の長さの約１０％に亘って、約０．
５゜の傾斜角をもって形成されている。The flying head slider 30 has an inclined surface (instead of the steps referred to as steps 18 and 19) at the ends of the first step 10 and the second step 11 on the air inflow side. The configuration is the same as that of the flying head slider 4 except that the tapered portions 31 and 32 are provided. The taper 31, 32 has a predetermined inclination angle with respect to the surface of the first step portion 10 and the surface of the second step portion 11 (the surface facing the magnetic disk 2), and is provided at the extreme end on the air inflow side. It is formed as an inclined surface whose thickness is gradually reduced as it goes. Here, the taper 3
1, 32 extend from the extreme ends of the first step portion 12 and the second step portion 13 over about 10% of the length in the front-rear direction.
It is formed with an inclination angle of 5 °.
【００４８】また、本発明を適用した他の浮上型ヘッド
スライダとして、ステップ１８，１９やテーパ３１，３
２が設けられていない以外は本発明を適用した浮上型ヘ
ッドスライダ４と同様な構成とされる浮上型ヘッドスラ
イダを用意した。As another flying head slider to which the present invention is applied, steps 18 and 19 and tapers 31 and 3 are used.
A flying head slider having the same configuration as the flying head slider 4 to which the present invention was applied except that the flying head slider 2 was not provided was prepared.
【００４９】そして、これらステップ１８，１９が設け
られた浮上型ヘッドスライダ４、テーパ３１，３２が設
けられた浮上型ヘッドスライダ３０、ステップ１８，１
９やテーパ３１，３２が設けられていない浮上型ヘッド
スライダについて、浅溝１６の深さＤと浮上量のとの関
係をコンピュータシュミレーションにより計算した。こ
れら計算結果を図１０に示す。なお、コンピュータシュ
ミレーションにおいては、線速度３．５ｍ／ｓ、スキュ
ー角０゜、荷重３．０ｇとして、浅溝１６の深さＤをパ
ラメータとして計算を行った。なお、図１０において、
Ｓ３で示すグラフは、ステップ１８，１９やテーパ３
１，３２が設けられていない浮上型ヘッドスライダであ
り、Ｓ４で示すグラフは、ステップ１８，１９が設けら
れた浮上型ヘッドスライダ４であり、Ｓ５で示すグラフ
は、テーパ３１，３２が設けられた浮上型ヘッドスライ
ダ３０である。The flying head slider 4 provided with these steps 18 and 19, the flying head slider 30 provided with the tapers 31 and 32, and the steps 18 and 1 are provided.
The relationship between the depth D of the shallow groove 16 and the flying height was calculated by computer simulation with respect to the flying head slider having neither 9 nor the taper 31 or 32. FIG. 10 shows the calculation results. In the computer simulation, a calculation was performed using a depth D of the shallow groove 16 as a parameter, with a linear velocity of 3.5 m / s, a skew angle of 0 °, and a load of 3.0 g. In FIG. 10,
The graph shown in S3 shows steps 18 and 19 and taper 3
The flying head slider without S1 and S32 is a flying head slider provided with steps S18 and S19. The graph shown in S4 is the flying head slider 4 with steps S18 and S19. A floating head slider 30.
【００５０】図１０に示すように、ステップ１８，１９
やテーパ３１，３２が設けられていない浮上型ヘッドス
ライダよりも、ステップ１８，１９が設けられた浮上型
ヘッドスライダ４や、テーパ３１，３２が設けられた浮
上型ヘッドスライダ３０の方が、より高い浮上量を示し
ているのがわかる。As shown in FIG. 10, steps 18 and 19
The floating head slider 4 provided with the steps 18 and 19 and the floating head slider 30 provided with the tapers 31 and 32 are more than the floating head slider provided with no tapers 31 and 32. It can be seen that the flying height is high.
【００５１】このことから、第１の段差部１２及び第２
の段差部１３の空気流入側の端部に、ステップ１８，１
９やテーパ３１，３２を設けることは、浮上型ヘッドス
ライダの浮上量を増加させるのに大変有効であることが
わかる。From this, the first step 12 and the second step
Steps 18 and 1 are provided at the end of the step portion 13 on the air inflow side.
It can be seen that the provision of 9 and the tapers 31 and 32 is very effective in increasing the flying height of the flying head slider.
【００５２】ここで、図１０中Ｓ３で示すグラフ、すな
わちステップ１８，１９やテーパ３１，３２が設けられ
ていない浮上型ヘッドスライダのグラフにおける浮上量
のピーク部分を拡大して示すグラフを図１１に示す。FIG. 11 is an enlarged graph showing the peak of the flying height in the graph shown by S3 in FIG. 10, that is, the graph of the flying head slider in which the steps 18 and 19 and the tapers 31 and 32 are not provided. Shown in
【００５３】そして、図１１に示すグラフから、ステッ
プ１８，１９やテーパ３１，３２が設けられていない浮
上型ヘッドスライダの浅溝１６の深さＤについて考察し
た結果、この浮上型ヘッドスライダを低回転型のハード
ディスクドライブ装置や、小径化された磁気ディスクに
対して用いることを想定すると、浅溝１６の深さＤを２
５０ｎｍ以下とすることが望ましいことが明らかとなっ
た。すなわち、図１１に示すように、浅溝１６の深さＤ
を２５０ｎｍ以下とすれば、この浮上型ヘッドスライダ
の浮上量をおよそ４０ｎｍ以上に保持することができ
る。From the graph shown in FIG. 11, as a result of considering the depth D of the shallow groove 16 of the flying head slider in which the steps 18 and 19 and the tapers 31 and 32 are not provided, the flying head slider has a low height. Assuming that the depth D of the shallow groove 16 is set to 2 in a rotary type hard disk drive device or a magnetic disk having a reduced diameter.
It became clear that it was desirable to set the thickness to 50 nm or less. That is, as shown in FIG.
Is set to 250 nm or less, the flying height of the flying head slider can be maintained at about 40 nm or more.
【００５４】これにより、この浮上型ヘッドスライダを
用いたハードディスクドライブ装置１では、磁気ディス
ク３の信号記録面３ａ上を浮上走行する浮上型ヘッドス
ライダの線速度が低下した場合であっても、この浮上型
ヘッドスライダと磁気ディスク３とが衝突してしまうと
いった不都合を回避して、浮上型ヘッドスライダや磁気
ディスク３の損傷等を未然に防ぐことができる。Thus, in the hard disk drive 1 using the flying head slider, even if the linear velocity of the flying head slider flying and flying on the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 is reduced, The inconvenience of collision between the flying head slider and the magnetic disk 3 can be avoided, and damage to the flying head slider and the magnetic disk 3 can be prevented.
【００５５】さらに、図１１に示すグラフから、この浮
上型ヘッドスライダの浮上量の変化を５ｎｍ以下に抑え
るためには、浅溝１６の深さＤを６０ｎｍ〜２４０ｎｍ
の範囲内とすることが望ましいのがわかる。Further, from the graph shown in FIG. 11, in order to suppress the change in the flying height of the flying head slider to 5 nm or less, the depth D of the shallow groove 16 must be 60 nm to 240 nm.
It is understood that it is desirable to be within the range.
【００５６】これにより、この浮上型ヘッドスライダを
用いたハードディスクドライブ装置１では、この浮上型
ヘッドスライダのスペーシングの変動を抑制することが
でき、磁気ディスク３に対する信号の記録再生を安定的
に行うことができる。As a result, in the hard disk drive 1 using the flying head slider, fluctuations in the spacing of the flying head slider can be suppressed, and the recording and reproduction of signals on the magnetic disk 3 can be performed stably. be able to.
【００５７】次に、図１０中Ｓ４，Ｓ５で示すグラフ、
すなわちステップ１８，１９が設けられた浮上型ヘッド
スライダ４のグラフ及びテーパ３１，３２が設けられた
浮上型ヘッドスライダ３０のグラフにおける浮上量のピ
ーク部分を拡大して示すグラフを図１２に示す。なお、
図１２において、Ｓ６で示すグラフは、ステップ１８，
１９が設けられた浮上型ヘッドスライダ４であり、Ｓ７
で示すグラフは、テーパ３１，３２が設けられた浮上型
ヘッドスライダ３０である。Next, graphs indicated by S4 and S5 in FIG.
That is, FIG. 12 is an enlarged graph showing the flying height peak portion in the graph of the flying head slider 4 provided with the steps 18 and 19 and the graph of the flying head slider 30 provided with the tapers 31 and 32. In addition,
In FIG. 12, the graph shown in S6 corresponds to Step 18,
19 is a flying type head slider 4 provided with
The graph shown by is a flying type head slider 30 provided with tapers 31 and 32.
【００５８】そして、図１２中Ｓ６で示すグラフから、
テーパ１８，１９が設けられた浮上型ヘッドスライダ４
の浅溝１６の深さＤについて考察した結果、この浮上型
ヘッドスライダ４を低回転型のハードディスクドライブ
装置や、小径化された磁気ディスクに対して用いること
を想定すると、浅溝１６の深さＤを１８０ｎｍ以下とす
ることが望ましいことが明らかとなった。すなわち、図
１２に示すように、浅溝１６の深さＤを１８０ｎｍ以下
とすれば、この浮上型ヘッドスライダ４の浮上量をおよ
そ６４ｎｍ以上に保持することができる。Then, from the graph shown at S6 in FIG.
Floating head slider 4 provided with tapers 18 and 19
As a result of studying the depth D of the shallow groove 16, assuming that the flying head slider 4 is used for a low-speed type hard disk drive device or a magnetic disk with a reduced diameter, the depth D of the shallow groove 16 It has become clear that D is desirably 180 nm or less. That is, as shown in FIG. 12, if the depth D of the shallow groove 16 is 180 nm or less, the flying height of the flying head slider 4 can be maintained at about 64 nm or more.
【００５９】これにより、この浮上型ヘッドスライダ４
を用いたハードディスクドライブ装置１では、磁気ディ
スク３の信号記録面３ａ上を浮上走行する浮上型ヘッド
スライダ４の線速度が低下した場合であっても、浮上型
ヘッドスライダ４と磁気ディスク３とが衝突してしまう
といった不都合を回避して、浮上型ヘッドスライダ４や
磁気ディスク３の損傷等を未然に防ぐことができる。Thus, the flying head slider 4
In the hard disk drive 1 using the magnetic head 3, even if the linear velocity of the flying head slider 4 that floats on the signal recording surface 3 a of the magnetic disk 3 decreases, the flying head slider 4 and the magnetic disk 3 are separated from each other. The inconvenience such as collision can be avoided, and damage to the flying head slider 4 and the magnetic disk 3 can be prevented.
【００６０】さらに、図１２中Ｓ６で示すグラフから、
この浮上型ヘッドスライダ４の浮上量の変化を５ｎｍ以
下に抑えるためには、浅溝１６の深さＤを１０ｎｍ〜１
７０ｎｍの範囲内とすることが望ましいのがわかる。Further, from the graph shown at S6 in FIG.
In order to suppress the change in the flying height of the flying head slider 4 to 5 nm or less, the depth D of the shallow groove 16 should be 10 nm to 1 nm.
It can be seen that it is desirable to be within the range of 70 nm.
【００６１】これにより、この浮上型ヘッドスライダ４
を用いたハードディスクドライブ装置１では、浮上型ヘ
ッドスライダ４のスペーシングの変動を抑制することが
でき、磁気ディスク３に対する信号の記録再生を安定的
に行うことができる。Thus, the flying head slider 4
In the hard disk drive 1 using the method, fluctuations in the spacing of the flying head slider 4 can be suppressed, and recording and reproduction of signals on the magnetic disk 3 can be performed stably.
【００６２】同様に、図１２中Ｓ７で示すグラフから、
テーパ３１，３２が設けられた浮上型ヘッドスライダ３
０の浅溝１６の深さＤについて考察した結果、この浮上
型ヘッドスライダ３０を低回転型のハードディスクドラ
イブ装置や、小径化された磁気ディスクに対して用いる
ことを想定すると、浅溝１６の深さＤを１８０ｎｍ以下
とすることが望ましいことが明らかとなった。すなわ
ち、図１２に示すように、浅溝１６の深さＤを１８０ｎ
ｍ以下とすれば、この浮上型ヘッドスライダ３０の浮上
量をおよそ６３ｎｍ以上に保持することができる。Similarly, from the graph shown at S7 in FIG.
Floating head slider 3 provided with tapers 31 and 32
As a result of considering the depth D of the shallow groove 16 of 0, assuming that the flying head slider 30 is used for a low-speed type hard disk drive device or a magnetic disk with a reduced diameter, It has become clear that it is desirable that the thickness D be 180 nm or less. That is, as shown in FIG.
m, the flying height of the flying head slider 30 can be maintained at about 63 nm or more.
【００６３】これにより、この浮上型ヘッドスライダ３
０を用いたハードディスクドライブ装置１では、磁気デ
ィスク３の信号記録面３ａ上を浮上走行する浮上型ヘッ
ドスライダ３０の線速度が低下した場合であっても、浮
上型ヘッドスライダ３０と磁気ディスク３とが衝突して
しまうといった不都合を回避して、浮上型ヘッドスライ
ダ３０や磁気ディスク３の損傷等を未然に防ぐことがで
きる。Thus, the flying head slider 3
In the hard disk drive 1 using the floating head slider 30 and the magnetic disk 3, even if the linear velocity of the floating head slider 30 that floats on the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 decreases, Thus, the flying head slider 30 and the magnetic disk 3 can be prevented from being damaged, etc.
【００６４】さらに、図１２中Ｓ７で示すグラフから、
この浮上型ヘッドスライダ３０の浮上量の変化を５ｎｍ
以下に抑えるためには、浅溝１６の深さＤを１０ｎｍ〜
１８０ｎｍの範囲内とすることが望ましいのがわかる。Further, from the graph shown at S7 in FIG.
The change in the flying height of the flying head slider 30 is 5 nm.
In order to suppress the depth below, the depth D of the shallow groove 16 should be 10 nm or more.
It can be seen that it is desirable to be within the range of 180 nm.
【００６５】これにより、この浮上型ヘッドスライダ３
０を用いたハードディスクドライブ装置１では、浮上型
ヘッドスライダ３０のスペーシングの変動を抑制するこ
とができ、磁気ディスク３に対する信号の記録再生を安
定的に行うことができる。Thus, the flying head slider 3
In the hard disk drive device 1 using No. 0, fluctuations in the spacing of the flying head slider 30 can be suppressed, and recording and reproduction of signals on the magnetic disk 3 can be performed stably.
【００６６】以上のように、本発明によれば、上述した
ような浮上型ヘッドスライダの浮上量が急激に低下する
１５．０ｍ／ｓ以下の線速度で浮上型ヘッドスライダが
浮上走行した場合であっても、浮上型ヘッドスライダの
浮上量の低下を抑えることができ、磁気ディスク３の信
号記録面３ａ上を安定した状態で浮上することができ
る。As described above, according to the present invention, when the flying head slider flies at a linear velocity of 15.0 m / s or less at which the flying height of the flying head slider rapidly decreases as described above. Even if there is, it is possible to suppress a decrease in the flying height of the flying head slider, and it is possible to fly in a stable state on the signal recording surface 3a of the magnetic disk 3.
【００６７】したがって、本発明によれば、磁気ディス
ク３を回転駆動するスピンドルモータの回転数を下げる
ことにより、ハードディスクドライブ装置１の消費電力
を大幅に下げることができる。これにより、例えばノー
ト型パソコン等の、いわゆる携帯型コンピュータに用い
ることで、この携帯型コンピュータの駆動時間を大幅に
延長させることができる。Therefore, according to the present invention, the power consumption of the hard disk drive 1 can be greatly reduced by lowering the rotation speed of the spindle motor that drives the magnetic disk 3 to rotate. Thus, by using a so-called portable computer such as a notebook personal computer, the driving time of the portable computer can be greatly extended.
【００６８】また、本発明によれば、より小型化された
ハードディスクドライブ装置や、それに伴う磁気ディス
ク１の小径化も可能となる。例えば、ノート型パソコン
等に搭載されるハードディスクドライブ装置として、
１．８インチの磁気ディスクを用いてＰＣカードタイプ
としたハードディスクドライブ装置や、１．０インチの
磁気ディスクを用いてフラッシュメモリータイプとした
ハードディスクドライブ装置を、このノート型パソコン
等のＰＣカードスロットやフラッシュメモリースロット
に搭載することも可能となる。Further, according to the present invention, it is possible to reduce the size of the hard disk drive device and the diameter of the magnetic disk 1 associated therewith. For example, as a hard disk drive device mounted on a notebook computer, etc.,
A hard disk drive device of a PC card type using a 1.8-inch magnetic disk or a hard disk drive device of a flash memory type using a 1.0-inch magnetic disk may be used in a PC card slot of a notebook personal computer or the like. It can also be mounted in a flash memory slot.
【００６９】なお、本発明を適用した浮上型ヘッドスラ
イダは、上述した浅溝１６及び深溝１７を形成すること
により、所定の形状とされた第１の段差部１２、第２の
段差部１３、第３の段差部１４及び第４の段差部１５が
形成されたものに必ずしも限定されるものではない。す
なわち、本発明を適用した浮上型ヘッドスライダでは、
磁気ディスク３と対向する面に形成される溝及び段差部
の形状を任意に変更することができる。そして、本発明
を適用した浮上型ヘッドスライダでは、磁気ディスク３
と対向する面に、多段エッチング加工等により深さの異
なる溝が形成されることにより、少なくとも２段以上の
段差部が形成されており、これら段差部を形成する溝の
うち、最も浅い溝の深さＤが、上述した所定の値に設定
されたものであればよい。In the flying head slider to which the present invention is applied, by forming the above-described shallow groove 16 and deep groove 17, the first stepped portion 12, the second stepped portion 13, and the predetermined stepped portion are formed. The present invention is not necessarily limited to the case where the third step portion 14 and the fourth step portion 15 are formed. That is, in the flying head slider to which the present invention is applied,
The shapes of the groove and the step formed on the surface facing the magnetic disk 3 can be arbitrarily changed. In the flying head slider to which the present invention is applied, the magnetic disk 3
By forming grooves having different depths by a multi-stage etching process or the like on the surface opposite to the above, at least two or more steps are formed, and among the grooves forming these steps, the shallowest groove is formed. What is necessary is just to set the depth D to the above-mentioned predetermined value.
【００７０】例えば、本発明を適用した浮上型ヘッドス
ライダは、図１３に示すような負圧利用型の浮上型ヘッ
ドスライダ４０であってもよい。なお、図１３は、この
浮上型ヘッドスライダ４０を磁気ディスク３と対向する
面側から見た平面図である。また、図１３においては、
浮上型ヘッドスライダ４０の具体的な寸法を付した。な
お、図１３において、各部の形状は、実際の寸法よりも
誇張して示している。For example, the flying head slider to which the present invention is applied may be a negative pressure utilizing flying head slider 40 as shown in FIG. FIG. 13 is a plan view of the flying head slider 40 as viewed from the surface facing the magnetic disk 3. In FIG. 13,
Specific dimensions of the flying head slider 40 are given. In FIG. 13, the shape of each part is exaggerated from the actual dimensions.
【００７１】この浮上型ヘッドスライダ４０は、その全
体が、前後方向の長さ１２５０μｍ、幅１０００μｍ、
厚さ３００μｍとされた略矩形状を呈しており、磁気デ
ィスク３と対向する面には、例えば深さ２μｍの所定の
形状とされた深溝４１を形成することにより、幅方向の
両側に空気流入側の端部から空気流出側の中途部に亘っ
て略平行となるレール部４２ａ、４２ｂと、これらレー
ル部４２ａ，４２ｂの空気流入側の端部を連結するクロ
スレール部４２ｃとからなる第１の段差部４２が突出形
成されている。また、空気流出側の端部には、略中央部
に位置して第２の段差部４３が突出形成されている。The flying head slider 40 has a length of 1250 μm, a width of 1000 μm, and
It has a substantially rectangular shape having a thickness of 300 μm, and a deep groove 41 having a predetermined shape of, for example, 2 μm in depth is formed on a surface facing the magnetic disk 3 so that air flows into both sides in the width direction. A rail portion 42a, 42b which is substantially parallel from an end portion on the air side to a middle portion on the air outflow side, and a cross rail portion 42c connecting ends of the rail portions 42a, 42b on the air inflow side. Are formed to protrude. In addition, a second step portion 43 is formed at an end on the air outflow side at a position substantially at the center portion so as to protrude.
【００７２】そして、第１の段差部４２には、磁気ディ
スク３と対向する面上に、例えば深さ０．２μｍの所定
の形状とされた第１の浅溝４４を形成することにより、
クロスレール４２ｃの幅方向の両端部に第３の段差部４
５及び第４の段差部４６が突出形成されている。また、
第２の段差部４３には、磁気ディスク３と対向する面上
に、例えば深さ０．２μｍの所定の形状とされた第２の
浅溝４７を形成することにより、第５の段差部４８が突
出形成されている。In the first step 42, a first shallow groove 44 having a predetermined shape, for example, a depth of 0.2 μm, is formed on a surface facing the magnetic disk 3,
Third step portions 4 are provided at both ends in the width direction of the cross rail 42c.
The fifth and fourth step portions 46 are formed so as to protrude. Also,
The second step 43 is formed with a second shallow groove 47 having a predetermined shape with a depth of, for example, 0.2 μm on a surface facing the magnetic disk 3, thereby forming a fifth step 48. Are formed to protrude.
【００７３】なお、第１の段差部４２は、そのレール部
４２ａ，４２ｂの前後方向の長さが７００μｍとされ
る。また、第２の段差部４３は、その前後方向の長さが
３４０μｍ、空気流入側の幅が３８０μｍとされる。ま
た、第３の段差部４５及び第４の段差部４６は、その前
後方向の長さが２６０μｍとされる。また、第５の段差
部２０８は、その空気流入側の幅が２６０μｍとされ
る。The length of the first step 42 in the front-rear direction of the rails 42a and 42b is 700 μm. The second step 43 has a length of 340 μm in the front-rear direction and a width of 380 μm on the air inflow side. The length of the third step 45 and the fourth step 46 in the front-rear direction is 260 μm. The fifth step portion 208 has a width on the air inflow side of 260 μm.
【００７４】この負圧利用型の浮上型ヘッドスライダ４
０は、浮上量の線速依存性を抑制するものとして知られ
ている。すなわち、磁気ディスク３は、スピンドルモー
タにより角速度一定で回転操作されているので、その外
周側と内周側とでは、線速度が異なったものとなってい
る。そして、浮上型ヘッドスライダ４０と磁気ディスク
３との間に流入する空気流は、浮上型ヘッドスライダ４
０が磁気ディスク３の内周側を浮上しているときよりも
浮上型ヘッドスライダ４０が磁気ディスク３の外周側を
浮上しているときの方が速い。このため、負圧を利用し
ない浮上型ヘッドスライダにおいては、磁気ディスク３
の外周側を浮上しているときの方が、磁気ディスク３の
内周側を浮上しているときよりも浮上量が大きくなって
しまう。The floating head slider 4 utilizing the negative pressure
0 is known to suppress the linear velocity dependence of the flying height. That is, since the magnetic disk 3 is operated to rotate at a constant angular velocity by the spindle motor, the outer peripheral side and the inner peripheral side have different linear velocities. The airflow flowing between the flying head slider 40 and the magnetic disk 3 is
0 is faster when the flying head slider 40 is flying on the outer circumference of the magnetic disk 3 than when it is flying on the inner circumference of the magnetic disk 3. Therefore, in a flying head slider that does not use a negative pressure, the magnetic disk 3
The flying height when flying on the outer circumference of the magnetic disk 3 becomes larger than when flying on the inner circumference of the magnetic disk 3.
【００７５】これに対して、この負圧利用型の浮上型ヘ
ッドスライダ４０では、磁気ディスク３の外周側を浮上
しているときの方が浮揚力は大きくなるが、線速度に応
じて浮上型ヘッドスライダ４０に発生する負圧も大きく
なり、これら浮揚力の上昇が負圧の発生により相殺さ
れ、浮上量の線速依存性が抑制されることになる。On the other hand, in the floating head slider 40 utilizing the negative pressure, the levitation force is larger when the magnetic disk 3 is floating on the outer peripheral side. The negative pressure generated in the head slider 40 also increases, and the increase in the levitation force is canceled by the generation of the negative pressure, so that the linear velocity dependence of the flying height is suppressed.
【００７６】以上のように構成される負圧利用型の浮上
型ヘッドスライダ４０では、磁気ディスク３と対向する
面に、深溝４１を形成することにより第１の段差部４２
及び第２の段差部４３が形成され、この第１の段差部４
２及び第２の段差部４３上に、深さ０．２μｍとなる第
１の浅溝４４及び第２の浅溝４７が形成されることによ
り、これら第１の段差部４２及び第２の段差部４３より
も一段高くなされた第３の段差部４５及び第４の段差部
４６が形成されている。In the floating head slider 40 of the negative pressure utilizing type configured as described above, the first step portion 42 is formed by forming the deep groove 41 on the surface facing the magnetic disk 3.
And the second step portion 43 is formed, and the first step portion 4 is formed.
By forming a first shallow groove 44 and a second shallow groove 47 having a depth of 0.2 μm on the second and second step portions 43, the first and second step portions 42 and 47 are formed. A third step portion 45 and a fourth step portion 46 which are one step higher than the portion 43 are formed.
【００７７】これにより、例えば、ハードディスクドラ
イブ装置１の低消費電力化を図るために、スピンドルモ
ータの回転数を下げた場合であっても、或いは、ハード
ディスクドライブ装置１の小型化に伴って、磁気ディス
ク３を小径化した場合であっても、この浮上型ヘッドス
ライダ４の浮上量の低下を抑えることができる。すなわ
ち、磁気ディスク３の信号記録面上を浮上走行する浮上
型ヘッドスライダの線速度が低下した場合であっても、
この磁気ディスク３の信号記録面３ａ上を所定の浮上量
で浮上させることができる。Thus, for example, even if the rotation speed of the spindle motor is reduced in order to reduce the power consumption of the hard disk drive 1 or the hard disk drive 1 is downsized, Even when the diameter of the disk 3 is reduced, it is possible to suppress a decrease in the flying height of the flying head slider 4. That is, even if the linear velocity of the flying head slider that flies over the signal recording surface of the magnetic disk 3 decreases,
The signal recording surface 3a of the magnetic disk 3 can be floated at a predetermined flying height.
【００７８】したがって、この負圧利用型の浮上型ヘッ
ドスライダ４０では、上述した本発明を適用した浮上型
ヘッドスライダと同様に、磁気ディスク３上を浮上走行
する線速度が低下した場合であっても、磁気ディスク３
の信号記録面３ａ上を安定した状態で浮上することがで
きる。Therefore, in the case of the floating head slider 40 utilizing the negative pressure, similarly to the above-described floating head slider to which the present invention is applied, the linear velocity at which the head travels above the magnetic disk 3 is reduced. Also magnetic disk 3
Above the signal recording surface 3a in a stable state.
【００７９】なお、本発明を適用したハードディスクド
ライブ装置としては、ハードディスクドライブ装置本体
に対して磁気ディスクが交換可能とされた、いわゆるリ
ムーバブル型のハードディスクドライブ装置であっても
よい。The hard disk drive to which the present invention is applied may be a so-called removable hard disk drive in which the magnetic disk is replaceable with respect to the main body of the hard disk drive.
【００８０】[0080]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、浮上型ヘッドスライダのディスク状記録媒体と対
向する面に、深さの異なる溝が形成されることにより、
少なくとも２段以上の段差部が形成されており、これら
段差部を形成する溝のうち最も浅い溝の深さが２５０ｎ
ｍ以下とされていることから、ディスク状記録媒体の信
号記録面上を浮上走行する浮上型ヘッドスライダの線速
度が低下した場合であっても、この浮上型ヘッドスライ
ダをより安定した状態で浮上させることができる。As described above in detail, according to the present invention, grooves having different depths are formed on the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium.
At least two or more steps are formed, and the depth of the shallowest groove among the grooves forming these steps is 250 n.
m or less, so that even if the linear velocity of the flying head slider that floats and travels on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium decreases, the flying head slider flies in a more stable state. Can be done.
【００８１】したがって、本発明によれば、浮上型ヘッ
ドスライダとディスク状記録媒体とが衝突してしまうと
いった不都合を回避して、浮上型ヘッドスライダやディ
スク状記録媒体の損傷等を未然に防ぐことができる。ま
た、浮上型ヘッドスライダのスペーシングの変動を抑制
して、ディスク状記録媒体に対する信号の記録再生を安
定的に行うことができる。Therefore, according to the present invention, it is possible to avoid the inconvenience that the flying head slider collides with the disk-shaped recording medium and prevent the flying head slider and the disk-shaped recording medium from being damaged. Can be. In addition, fluctuations in the spacing of the flying head slider can be suppressed, and recording and reproduction of signals on the disk-shaped recording medium can be performed stably.
【図１】本発明を適用したハードディスクドライブ装置
の構成を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a configuration of a hard disk drive device to which the present invention is applied.
【図２】本発明を適用した浮上型ヘッドスライダの一例
を示す図であり、この浮上型ヘッドスライダを磁気ディ
スクと対向する面側から見た斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a flying head slider to which the present invention is applied, and is a perspective view of the flying head slider viewed from a surface facing a magnetic disk.
【図３】本発明を適用した浮上型ヘッドスライダを磁気
ディスクと対向する面側から見た平面図である。FIG. 3 is a plan view of a flying head slider to which the present invention is applied, viewed from a surface facing a magnetic disk.
【図４】本発明を適用した浮上型ヘッドスライダにおけ
る空気流入側の端部を示す要部斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of an essential part showing an end on the air inflow side in a flying head slider to which the present invention is applied.
【図５】従来の浮上型ヘッドスライダを磁気ディスクと
対向する面側から見た平面図である。FIG. 5 is a plan view of a conventional flying head slider viewed from a surface facing a magnetic disk.
【図６】従来の浮上型ヘッドスライダにおける空気流入
側の端部を示す要部斜視図である。FIG. 6 is an essential part perspective view showing an end on the air inflow side of a conventional flying head slider.
【図７】本発明を適用した浮上型ヘッドスライダ及び従
来の浮上型ヘッドスライダについて、線速度と浮上量と
の関係を示す特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram showing a relationship between a linear velocity and a flying height for a flying head slider to which the present invention is applied and a conventional flying head slider.
【図８】本発明を適用した他の浮上型ヘッドスライダの
一例を示す図であり、この浮上型ヘッドスライダを磁気
ディスクと対向する面側から見た平面図である。FIG. 8 is a view showing an example of another flying head slider to which the present invention is applied, and is a plan view of the flying head slider viewed from a surface facing a magnetic disk.
【図９】本発明を適用した他の浮上型ヘッドスライダに
おける空気流入側の端部を示す要部斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of an essential part showing an end on the air inflow side in another flying head slider to which the present invention is applied.
【図１０】本発明を適用した浮上型ヘッドスライダにつ
いて、浅溝の深さと浮上量との関係を示す特性図であ
る。FIG. 10 is a characteristic diagram showing the relationship between the depth of a shallow groove and the flying height of a flying head slider to which the present invention is applied.
【図１１】ステップやテーパが設けられていない浮上型
ヘッドスライダについて、浅溝の深さと浮上量との関係
を示す特性図である。FIG. 11 is a characteristic diagram showing the relationship between the depth of a shallow groove and the flying height of a flying head slider having no step or taper.
【図１２】ステップ又はテーパが設けられた浮上型ヘッ
ドスライダについて、浅溝の深さと浮上量との関係を示
す特性図である。FIG. 12 is a characteristic diagram showing the relationship between the depth of a shallow groove and the flying height of a flying head slider provided with a step or a taper.
【図１３】本発明を適用した負圧利用型の浮上型ヘッド
スライダの一例を示す図であり、この浮上型ヘッドスラ
イダを磁気ディスクと対向する面側から見た平面図であ
る。FIG. 13 is a view showing an example of a negative pressure utilizing flying head slider to which the present invention is applied, and is a plan view of the flying head slider viewed from a surface facing a magnetic disk.
【図１４】従来のハードディスクドライブ装置の要部を
模式的に示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view schematically showing a main part of a conventional hard disk drive.
【図１５】従来のハードディスクドライブ装置に用いら
れる浮上型ヘッドスライダの一例を示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing an example of a flying head slider used in a conventional hard disk drive.
【図１６】浮上型ヘッドスライダが磁気ディスクの信号
記録面上を浮上した状態を示す模式図である。FIG. 16 is a schematic diagram showing a state in which a flying head slider flies above a signal recording surface of a magnetic disk.
【図１７】従来の浮上型ヘッドスライダについて、線速
度と浮上量との関係を示す特性図である。FIG. 17 is a characteristic diagram showing a relationship between a linear velocity and a flying height of a conventional flying head slider.
１ ハードディスクドライブ装置、３ 磁気ディスク、
４ 浮上型ヘッドスライダ、１２ 第１の段差部、１３
第２の段差部、１４ 第３の段差部、１５第４の段差
部、１６ 浅溝、１７ 深溝、１８，１９ ステップ、
３１，３２テーパ1 hard disk drive, 3 magnetic disk,
4 flying head slider, 12 first step, 13
Second step portion, 14 third step portion, 15 fourth step portion, 16 shallow groove, 17 deep groove, 18, 19 steps,
31, 32 taper
Claims (15)
及び／又は再生を行うためのヘッドを搭載し、当該ディ
スク状記録媒体の回転により発生する空気流により、当
該ディスク状記録媒体上を浮上走行する浮上型ヘッドス
ライダにおいて、 上記ディスク状記録媒体と対向する面に、深さの異なる
溝が形成されることにより、少なくとも２段以上の段差
部が形成されており、これら段差部を形成する溝のう
ち、最も浅い溝の深さが２５０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする浮上型ヘッドスライダ。1. A head for recording and / or reproducing signals on a disk-shaped recording medium is mounted, and floats on the disk-shaped recording medium by an air flow generated by rotation of the disk-shaped recording medium. In the traveling flying head slider, grooves having different depths are formed on a surface facing the disk-shaped recording medium, so that at least two or more steps are formed, and these steps are formed. A flying head slider, wherein the depth of the shallowest groove is 250 nm or less.
０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項１
記載の浮上型ヘッドスライダ。2. The depth of the shallowest groove is 60 nm to 24 nm.
2. The method according to claim 1, wherein the distance is within a range of 0 nm.
The flying head slider as described in the above.
空気流入側の端部に、更に溝が形成されることにより、
他の段差部が形成されていると共に、 上記最も浅い溝の深さが１８０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする請求項１記載の浮上型ヘッドスライダ。3. A groove is further formed at an end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium,
2. The flying head slider according to claim 1, wherein another step is formed, and the depth of the shallowest groove is 180 nm or less.
０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項３
記載の浮上型ヘッドスライダ。4. The depth of the shallowest groove is from 10 nm to 17
4. The method according to claim 3, wherein the distance is within a range of 0 nm.
The flying head slider as described in the above.
空気流入側の端部に、傾斜面が形成されていると共に、 上記最も浅い溝の深さが１８０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする請求項１記載の浮上型ヘッドスライダ。5. An air inlet side end of a surface facing the disk-shaped recording medium, wherein an inclined surface is formed, and the depth of the shallow groove is set to 180 nm or less. The flying head slider according to claim 1.
０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項５
記載の浮上型ヘッドスライダ。6. The depth of the shallowest groove is 10 nm to 18
6. The method according to claim 5, wherein the distance is within a range of 0 nm.
The flying head slider as described in the above.
たディスク状記録媒体を回転駆動するディスク回転手段
と、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の記録及び／又は
再生を行うためのヘッドを搭載し、当該ディスク状記録
媒体の回転により発生する空気流により、当該ディスク
状記録媒体上を浮上走行する浮上型ヘッドスライダとを
備え、 上記浮上型ヘッドスライダには、上記ディスク状記録媒
体と対向する面に、深さの異なる溝が形成されることに
より、少なくとも２段以上の段差部が形成されており、
これら段差部を形成する溝のうち、最も浅い溝の深さが
２５０ｎｍ以下とされていることを特徴とするディスク
ドライブ装置。7. A disk rotating means for rotating and driving a disk-shaped recording medium mounted in a disk drive device main body, and a head for recording and / or reproducing signals on and from the disk-shaped recording medium. A floating head slider that floats on the disk-shaped recording medium by an air flow generated by rotation of the disk-shaped recording medium, wherein the floating head slider has a surface facing the disk-shaped recording medium. In addition, at least two or more steps are formed by forming grooves having different depths,
A disk drive device wherein the depth of the shallowest groove among the grooves forming these steps is 250 nm or less.
０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項７
記載のディスクドライブ装置。8. The depth of the shallowest groove is 60 nm to 24 nm.
8. The method according to claim 7, wherein the distance is within a range of 0 nm.
The disk drive device according to the above.
ィスク状記録媒体と対向する面の空気流入側の端部に、
更に溝が形成されることにより、他の段差部が形成され
ていると共に、 上記最も浅い溝の深さが１８０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする請求項７記載のディスクドライブ装置。9. The flying head slider has an air inflow side end on a surface facing the disk-shaped recording medium.
8. The disk drive device according to claim 7, wherein another step is formed by forming a groove, and the depth of the shallow groove is set to 180 nm or less.
７０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項
９記載のディスクドライブ装置。10. The shallow groove has a depth of 10 nm to 1 nm.
10. The disk drive according to claim 9, wherein the distance is within a range of 70 nm.
ディスク状記録媒体と対向する面の空気流入側の端部
に、傾斜面が形成されていると共に、 上記最も浅い溝の深さが１８０ｎｍ以下とされているこ
とを特徴とする請求項７記載のディスクドライブ装置。11. The flying head slider has an inclined surface formed at an end on the air inflow side of a surface facing the disk-shaped recording medium, and a depth of the shallowest groove is 180 nm or less. 8. The disk drive device according to claim 7, wherein:
８０ｎｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項
１１記載のディスクドライブ装置。12. The shallow groove has a depth of 10 nm to 1 nm.
12. The disk drive according to claim 11, wherein the distance is within a range of 80 nm.
ィスク回転手段により回転駆動されるディスク状記録媒
体の信号記録面上を１５．０ｍ／ｓ以下の線速度で浮上
走行することを特徴とする請求項７記載のディスクドラ
イブ装置。13. The flying head slider floats on a signal recording surface of a disk-shaped recording medium that is rotated by the disk rotating means at a linear velocity of 15.0 m / s or less. Item 8. The disk drive device according to item 7.
スクドライブ装置本体に対して着脱自在とされているこ
とを特徴とする請求項７記載のディスクドライブ装置。14. The disk drive device according to claim 7, wherein said disk-shaped recording medium is detachable from said disk drive device main body.
記ディスク状記録媒体を外部メモリーとする電子機器に
対して着脱自在とされていることを特徴とする請求項７
記載のディスクドライブ装置。15. The disk drive device according to claim 7, wherein the disk drive device main body is detachable from an electronic device using the disk-shaped recording medium as an external memory.
The disk drive device according to the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000038130A JP2001229518A (en) | 2000-02-09 | 2000-02-09 | Floating type head slider and disk driving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000038130A JP2001229518A (en) | 2000-02-09 | 2000-02-09 | Floating type head slider and disk driving device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001229518A true JP2001229518A (en) | 2001-08-24 |
Family
ID=18561917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000038130A Withdrawn JP2001229518A (en) | 2000-02-09 | 2000-02-09 | Floating type head slider and disk driving device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001229518A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6999281B2 (en) | 2002-01-30 | 2006-02-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head slider and disk drive apparatus |
-
2000
- 2000-02-09 JP JP2000038130A patent/JP2001229518A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6999281B2 (en) | 2002-01-30 | 2006-02-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head slider and disk drive apparatus |
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Legal Events
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