JP2001209920A - Floating head slider and disk drive - Google Patents

Floating head slider and disk drive

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JP2001209920A
JP2001209920A JP2000017802A JP2000017802A JP2001209920A JP 2001209920 A JP2001209920 A JP 2001209920A JP 2000017802 A JP2000017802 A JP 2000017802A JP 2000017802 A JP2000017802 A JP 2000017802A JP 2001209920 A JP2001209920 A JP 2001209920A
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a floating head slider extremely excellent in the dust-proof characteristic. SOLUTION: On the base surface 3 of the floating head slider, a step surface 4 and a rail surface 5 are formed having the difference in level, respectively. These step surface 4 and the front side difference in level surfaces 6 and 7 of the rail surface 5 are formed in a shape curved along a nearly parabola toward both sides part from the central part, and the spacing of the inflow direction of the air flow of the step surface 4 and the rear side difference in level surfaces 8 and 9 of the rail surface 5 is formed 10 μm or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク、光
ディスクや光磁気ディスク等の回転型の記憶メディアを
用いて大容量のデータの記録及び/又は再生を行うこと
ができる大容量記憶装置に適用するのに最適な浮上ヘッ
ドスライダと、その浮上ヘッドスライダを用いるディス
クドライブ装置の技術分野に属するものである。
The present invention is applied to a large-capacity storage device capable of recording and / or reproducing large-capacity data using a rotary storage medium such as a magnetic disk, an optical disk and a magneto-optical disk. The present invention belongs to the technical field of a flying head slider most suitable for performing the above and a disk drive device using the flying head slider.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、図10及び図11に示すよう
に、ディスクドライブ装置の一例であるリムーバルハー
ドディスク・ドライブ装置(以下、R−HDDと記載す
る)31では、回動型のヘッドアクチュエータ32が使
用されていて、そのヘッドアクチュエータ32の先端に
は板厚が薄い板バネで構成されたサスペンション33が
取り付けられ、そのサスペンション33の先端に浮上ヘ
ッドスライダ34がジンバルプレート等を介して支持さ
れている。そして、回転型の大容量記憶メディアの一例
であって、磁気ディスクで構成されているハードディス
ク35がカートリッジ36内に回転自在に収容されてい
て、そのカートリッジ36によってハードデイ35がR
−HDD31内に交換可能(脱着自在)に装填されるよ
うに構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIGS. 10 and 11, in a removable hard disk drive (hereinafter referred to as an R-HDD) 31 which is an example of a disk drive, a rotary head actuator 32 is used. A suspension 33 composed of a thin leaf spring is attached to the tip of the head actuator 32, and a flying head slider 34 is supported at the tip of the suspension 33 via a gimbal plate or the like. I have. A hard disk 35 composed of a magnetic disk is rotatably accommodated in a cartridge 36, and the hard disk 35 is rotated by the cartridge 36.
-It is configured to be exchangeably (removably) loaded into the HDD 31.

【0003】そして、R−HDD31内にはスピンドル
モータ37が搭載されていて、カートリッジ36によっ
てR−HDD31内に装填されたハードディスク35の
強磁性体で構成されているセンタコア38がスピンドル
モータ37の頂部のチャッキングマグネット39上にマ
グネットチャッキングされる。そして、スピンドルモー
タ37によってハードディスク35を矢印a方向に高速
で回転駆動して、そのハードディスク35の記録面35
aの表面に動圧軸受として利用する矢印a方向に流れる
空気流ASを発生させる。そして、ヘッドアクチュエー
タ32のサスペンション33のばね力によって浮上ヘッ
ドスライダ34をそのハードディスク35の記録面の空
気流AS上に押圧させるようにして、その浮上ヘッドス
ライダ34をハードディスク35の記録面の表面上に数
10nmの値に浮上させる。そして、ヘッドアクチュエ
ータ32によってその浮上ヘッドスライダ34をハード
ディスク35の内外周方向である矢印b、c方向にシー
クしながら、情報の高密度の記録、再生を行うように構
成されている。なお、図11は、ヘッドアクチュエータ
32によって浮上ヘッドスライダ34がハードディスク
35の内外周に矢印b、c方向にシークされる際のスキ
ュー角(記録トラックの接線に対する浮上ヘッドスライ
ダ34の開き角度を言う)θを説明していて、このスキ
ュー角θは記録トラックの半径方向の中間点でプラスス
キュー角+θとマイナススキュー角−θに反転され、浮
上ヘッドスライダ34が記録トラックの最外周にシーク
された時に、そのスキュー角θは最大のプラススキュー
角+θとなり、その逆に、浮上ヘッドスライダ34が記
録トラックの最内周にシークされた時には、そのスキュ
ー角θが最大のマイナススキュー角−θとなる。
[0003] A spindle motor 37 is mounted in the R-HDD 31, and a center core 38 made of a ferromagnetic material of a hard disk 35 loaded in the R-HDD 31 by a cartridge 36 is mounted on the top of the spindle motor 37. Is chucked on the chucking magnet 39. Then, the hard disk 35 is rotated at high speed in the direction of arrow a by the spindle motor 37, and the recording surface 35 of the hard disk 35 is rotated.
An air flow AS that flows in the direction of arrow a used as a dynamic pressure bearing is generated on the surface of a. Then, the flying head slider 34 is pressed against the airflow AS on the recording surface of the hard disk 35 by the spring force of the suspension 33 of the head actuator 32 so that the flying head slider 34 is placed on the surface of the recording surface of the hard disk 35. Float to a value of several tens nm. The head actuator 32 seeks the flying head slider 34 in the directions of arrows b and c, which are the inner and outer peripheral directions of the hard disk 35, and performs high-density recording and reproduction of information. FIG. 11 shows the skew angle (the opening angle of the flying head slider 34 with respect to the tangent to the recording track) when the flying head slider 34 is sought in the directions of arrows b and c by the head actuator 32 on the inner and outer circumferences of the hard disk 35. The skew angle θ is inverted to a plus skew angle + θ and a minus skew angle −θ at the radial midpoint of the recording track, and when the flying head slider 34 seeks to the outermost periphery of the recording track. Becomes the maximum plus skew angle + θ, and conversely, when the flying head slider 34 seeks to the innermost circumference of the recording track, the skew angle θ becomes the maximum minus skew angle -θ.

【0004】ところで、図12及び図13に示すよう
に、従来の一般的な浮上ヘッドスライダ34は、扁平な
直方体形状に構成されているスライダ本体41のハード
ディスク35の記録面35aと対向するベース面42上
で、空気流ASの流入方向(=ハードディスク35の回
転方向)aの上流側(矢印a方向の逆方向側を言う)の
端面であるスライダ本体41の前端面41a側に偏位さ
れた位置に平面形状がほぼコ字状のステップ面43をそ
のベース面42に対して段差を有する平行面状(ステッ
プ面43とベース面42が平行であること)に形成し、
そのベース面42上でステップ面43より下流側(矢印
a方向側の前方側を言う)に偏位された位置に平面形状
がコ字状のレール面44をステップ面43及びベース面
42に対して段差を有する平行面状(レール面44がス
テップ面43及びベース面42に対して平行であるこ
と)に形成している。この際、レール面44はスライダ
センターPに対して直角な前側レール面44aと、スラ
イダセンターPと平行な一対の後側レール面44bとに
よって平面形状がコ字状に形成されていて、ステップ面
43とレール面44の前側レール面44aとの間の前側
段差面45がスライダセンターPに対して直角に形成さ
れている。そして、その前側段差面45とステップ面4
3の直角なコーナ部分が正圧発生部46に形成され、レ
ール面44の前側レール面44aと一対の後側レール面
44bとの間でコ字状に囲まれた凹所が負圧発生部47
に形成されている。なお、スライダ本体41の空気流の
流入方向aの下流側の端面である後端面41bの近傍位
置でレール面44の一方の後側レール面44bの後端近
傍位置にはハードディスク35の記録面に情報を記録、
再生する磁気ヘッド48のヘッドチップが露呈されてい
る。
As shown in FIGS. 12 and 13, a conventional general flying head slider 34 has a base surface opposed to a recording surface 35a of a hard disk 35 of a slider body 41 having a flat rectangular parallelepiped shape. On the front end surface 41a of the slider body 41, which is the end surface on the upstream side (the direction opposite to the direction of the arrow a) of the inflow direction (= rotation direction of the hard disk 35) of the airflow AS on the side 42. A step surface 43 having a substantially U-shaped planar shape is formed at a position in a parallel surface shape having a step with respect to the base surface 42 (the step surface 43 and the base surface 42 are parallel),
A U-shaped rail surface 44 is formed on the base surface 42 at a position deviated downstream of the step surface 43 (the forward side in the direction of arrow a) from the step surface 43 with respect to the step surface 43 and the base surface 42. It is formed in a parallel plane shape having a step (the rail surface 44 is parallel to the step surface 43 and the base surface 42). At this time, the rail surface 44 is formed in a U-shape in plan view by a front rail surface 44a perpendicular to the slider center P and a pair of rear rail surfaces 44b parallel to the slider center P. A front step surface 45 between the front surface 43 and the front rail surface 44a of the rail surface 44 is formed at right angles to the slider center P. The front step surface 45 and the step surface 4
3 is formed in the positive pressure generating portion 46, and a concave portion surrounded by a U-shape between the front rail surface 44a of the rail surface 44 and the pair of rear rail surfaces 44b is a negative pressure generating portion. 47
Is formed. The recording surface of the hard disk 35 is located in the vicinity of the rear end surface 41b of the rail surface 44 near the rear end surface 41b which is the downstream end surface of the slider body 41 in the air flow inflow direction a. Record information,
The head chip of the magnetic head 48 to be reproduced is exposed.

【0005】また、図12〜図14に示すように、ベー
ス面42上にステップ面43及びレール面44を順次段
差を有するように加工する方法としては、レール面44
を最上層の基準面とし、イオンエッチング等の加工方法
により、そのレール面44の輪郭線51及びステップ面
43の輪郭線52をこれらの段差相当分だけ下方へ2段
階に掘り下げるようにして加工されている。その際、加
工精度の関係で、レール面44の輪郭線51がステップ
面43の輪郭線52に内包される(レール面44がステ
ップ面43より少し小さいコ字状に形成されること。)
ように加工するのが一般的であり、スライダ本体41の
後端面41bでは、これらの両輪郭線51、52を一緒
に切断するのが一般的である。
As shown in FIGS. 12 to 14, a step surface 43 and a rail surface 44 are sequentially formed on a base surface 42 so as to have a step.
Is used as a reference surface of the uppermost layer, and the contour 51 of the rail surface 44 and the contour 52 of the step surface 43 are dug down by two steps corresponding to these steps by a processing method such as ion etching. ing. At this time, due to the processing accuracy, the contour 51 of the rail surface 44 is included in the contour 52 of the step surface 43 (the rail surface 44 is formed in a U shape slightly smaller than the step surface 43).
In general, these two contour lines 51 and 52 are cut together on the rear end face 41b of the slider body 41.

【0006】従って、従来の一般的な浮上ヘッドスライ
ダ34では、レール面44の前側レール面44aの空気
流ASの流入方向aの下流側にも、ステップ面43に対
する後側段差面53が形成され、そのステップ面43の
後側段差面53より更に下流側にも、ベース面42に対
する後側段差面54が形成されていた。そして、従来
は、これらの後側段差面53、54の空気流ASの流入
方向aの間隔(以下単に前後方向の間隔と記載する)S
1が30μm〜40μmの大間隔に形成されていた。
Therefore, in the conventional general flying head slider 34, a rear step surface 53 with respect to the step surface 43 is also formed on the front rail surface 44a of the rail surface 44 downstream of the inflow direction a of the air flow AS. The rear step surface 54 for the base surface 42 is formed further downstream of the rear step surface 53 of the step surface 43. Conventionally, an interval (hereinafter simply referred to as an anteroposterior interval) S in the inflow direction a of the airflow AS between the rear step surfaces 53 and 54 is conventionally used.
1 were formed at large intervals of 30 μm to 40 μm.

【0007】そして、図13に示すように、矢印a方向
に高速で回転されるハードディスク35の記録面35a
の表面に発生されている空気流ASの流入方向aの上流
側へ浮上ヘッドスライダ34のスライダ本体41の前端
面41aがほぼ直角状に向くようにして、その浮上ヘッ
ドスライダ34のレール面44をその空気流AS上にサ
スペンション33のばね力によって矢印d方向からほぼ
直角状に押圧させることによって、正圧発生部46で正
圧を発生させて、そのレール面44をハードディスク3
5の記録面35aから数10nmの浮上量Hに浮上させ
る一方、負圧発生部47で発生される負圧によって記録
面35aに対するレール面44の浮上量Hの適正化を図
るようにして、磁気ヘッド48で記録面35aに情報を
記録、再生するように構成されている。
Then, as shown in FIG. 13, the recording surface 35a of the hard disk 35 rotated at a high speed in the direction of arrow a.
The front end surface 41a of the slider body 41 of the flying head slider 34 is oriented substantially perpendicularly to the upstream side in the inflow direction a of the airflow AS generated on the surface of By pressing the air flow AS on the air flow AS in a direction substantially perpendicular to the direction of arrow d by the spring force of the suspension 33, a positive pressure is generated by the positive pressure generating section 46 and the rail surface 44 is moved to the hard disk 3.
5 is lifted from the recording surface 35a to a flying height H of several tens of nanometers, while the negative pressure generated by the negative pressure generating unit 47 optimizes the flying height H of the rail surface 44 with respect to the recording surface 35a. The head 48 records and reproduces information on the recording surface 35a.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ハードディ
スク35の交換が不能な固定型のハードディスク・ドラ
イブ装置では、ドライブ本体の外筐を密封ケースに構成
して、ダストに対してクリーンな環境下で、浮上ヘッド
スライダ34をハードディスク35の記録面35a上に
浮上させることができるので、ダストがその浮上ヘッド
スライダ34と記録面35aとの間に挟み込まれて、浮
上ヘッドスライダ34の浮上姿勢に悪影響を及ぼすこと
が殆んどない。
In a fixed type hard disk drive in which the hard disk 35 cannot be replaced, the outer case of the drive main body is formed in a sealed case, and in a clean environment against dust, Since the flying head slider 34 can be floated on the recording surface 35a of the hard disk 35, dust is caught between the flying head slider 34 and the recording surface 35a, which adversely affects the flying attitude of the flying head slider 34. There are few things.

【0009】しかし、ハードディスク35の交換が必要
なR−HDD31では、カートリッジ36の装填及び排
出時に、R−HDD31内にダストが侵入され易く、そ
の侵入されたダストは、ハードディスク35の記録、再
生中に、そのハードディスク35の記録面35aに発生
する空気流ASに混って浮上ヘッドスライダ34とハー
ドディスク35の記録面35aとの間に流入され易くな
る。
However, in the R-HDD 31 that requires replacement of the hard disk 35, dust is likely to enter the R-HDD 31 when the cartridge 36 is loaded and ejected. In addition, the airflow AS generated on the recording surface 35a of the hard disk 35 easily flows into between the flying head slider 34 and the recording surface 35a of the hard disk 35.

【0010】この際、従来の一般的な浮上ヘッドスライ
ダ34は、図12〜図14に示すように、レール面44
の前側レール面44aの後側段差面53と、ステップ面
43の後側段差面54との間隔S1が30μm〜40μ
mの大間隔に形成されていたために、ハードディスク3
5の高速回転化に伴い、空気流ASの流速が速くなる
と、図14に示すように、これらの2つの後側段差面5
3、54の下流側の2箇所に空気流ASの渦流wsが発
生し易くなり、その結果、これらの後側段差面53、5
4の下流側近傍位置で、ステップ面43上及びベース面
42上の2箇所P1、P2にダストDSが付着され易か
った。そして、その付着されたダストDSはやがて剥れ
て流出し、そのレール面44とハードディスク35の記
録面35aとの間に挟み込まれる事態が発生すると、浮
上ヘッドスライダ34にピッチングやローリング等の浮
上姿勢の不安定化が発生して、情報の録再不良を生じた
り、最悪の場合には、浮上ヘッドスライダ34のレール
面44や磁気ヘッド48等が高速回転中のハードディス
ク35の記録面35aに接触して、これら両者がクラッ
シュされてしまう等の事態も発生し易いと言う問題があ
った。
At this time, the conventional general flying head slider 34 has a rail surface 44 as shown in FIGS.
The distance S1 between the rear step surface 53 of the front rail surface 44a and the rear step surface 54 of the step surface 43 is 30 μm to 40 μm.
m, the hard disk 3
When the flow rate of the airflow AS increases with the high-speed rotation of the rear surface 5, as shown in FIG.
The swirl ws of the air flow AS is likely to be generated at two locations downstream of the rear and the rear step surfaces 53, 5 and 5.
4, the dust DS was easily attached to two places P1 and P2 on the step surface 43 and the base surface 42. Then, the attached dust DS eventually peels and flows out, and when a situation occurs in which the dust DS is sandwiched between the rail surface 44 and the recording surface 35a of the hard disk 35, the flying head slider 34 has a floating attitude such as pitching or rolling. And the recording / reproducing defect of the information occurs. In the worst case, the rail surface 44 of the flying head slider 34 or the magnetic head 48 contacts the recording surface 35a of the hard disk 35 rotating at high speed. Then, there is a problem that such a situation that both of them are crashed easily occurs.

【0011】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであって、耐ダイス性に非常に優れた浮上ヘ
ッドスライダを提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and has as its object to provide a flying head slider having extremely excellent die resistance.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の浮上ヘッドスライダは、スライダ本体のベ
ース面上に順次段差を有してほぼ平行面状に形成された
レール面及びステップ面の空気流の流入方向の下流側に
位置して、ステップ面及びベース面に対してそれぞれ段
差を有する2つの後側段差面間の空気流の流入方向の間
隔を10μm以下に構成したものである。
In order to achieve the above object, a flying head slider according to the present invention comprises a rail surface and a step formed on a base surface of a slider main body in such a manner that the rail surface has a step and is formed in a substantially parallel plane. The space between the two rear step surfaces having a step with respect to the step surface and the base surface, respectively, is located on the downstream side of the air flow inflow direction of the surface, and the interval in the air flow inflow direction is 10 μm or less. is there.

【0013】上記のように構成された本発明の浮上ヘッ
ドスライダによれば、レール面及びステップ面の空気流
の流入方向の下流側に位置して、ステップ面及びベース
面に対してそれぞれ段差を有する2つの後側段差面間の
空気流の流入方向の間隔を10μm以下の小間隔に構成
したので、記憶メディアの回転速度が速くなっても、こ
れら2つの後側段差面の下流側に空気流の渦流が殆んど
発生せず、これら2つの後側段差面の下流側にダストが
付着され難くなる。
According to the flying head slider of the present invention configured as described above, the step is located on the rail surface and the step surface on the downstream side in the inflow direction of the airflow, and the steps are respectively formed on the step surface and the base surface. Since the distance between the two rear step surfaces in the inflow direction of the air flow is configured to be a small distance of 10 μm or less, even if the rotation speed of the storage medium increases, the air flows downstream of the two rear step surfaces. Almost no swirl of the flow is generated, and it becomes difficult for dust to adhere to the downstream side of these two rear step surfaces.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明をリムーバルハード
ディスク・ドライブ装置(R−HDD)に適用された浮
上ヘッドスライダの実施の形態を図1〜図9を参照して
説明する。なお、図10及び図14と同一構造部には同
一の符号を付して説明の重複を省く。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a flying head slider applied to a removable hard disk drive (R-HDD) according to the present invention will be described below with reference to FIGS. The same components as those in FIGS. 10 and 14 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

【0015】「浮上ヘッドスライダの基本的な構成」ま
ず、本発明の浮上ヘッドスライダ1の基本的な構成を図
8によって説明すると、この浮上ヘッドスライダ1は、
扁平な直方体形状に構成されているスライダ本体2のハ
ードディスクの記録面と対向するベース面3上にステッ
プ面4が段差G1を有する状態でそのベース面3に対し
て平行面状(平行な面であること)に形成され、そのス
テップ面4上にレール面5が段差G2を有する状態でそ
のステップ面4に対して平行面状(平行な面であるこ
と)に形成されている。そして、ベース面3とレール面
5の段差がG3で示されている。この際、ステップ面4
及びレール面5は空気流ASの流入方向aの上流側に配
置された第1のステップ面4a及び第1のレール面5a
と、下流側に配置された第2のステップ面4b及び第2
のレール面5bで構成されている。そして、ステップ面
4の第1のステップ面4aが空気流ASの流入方向aの
上流側であるスライダ本体2の前端面2a側へ偏位され
た位置に配置されていて、レール面5の第1のレール面
5aがその第1のステップ面4aの前端に対して空気流
ASの流入方向aの下流側へ所定の距離偏位された位置
に配置されている。
"Basic Configuration of Flying Head Slider" First, the basic configuration of the flying head slider 1 of the present invention will be described with reference to FIG.
A step surface 4 has a step G1 on a base surface 3 facing a recording surface of a hard disk of a slider main body 2 formed in a flat rectangular parallelepiped shape. The rail surface 5 is formed on the step surface 4 in a state parallel to the step surface 4 (being a plane parallel to the step surface 4) with a step G2. The step between the base surface 3 and the rail surface 5 is indicated by G3. At this time, step surface 4
And the rail surface 5 includes a first step surface 4a and a first rail surface 5a arranged on the upstream side in the inflow direction a of the airflow AS.
And the second step surface 4b and the second
Of the rail surface 5b. The first step surface 4a of the step surface 4 is arranged at a position deviated to the front end surface 2a side of the slider body 2, which is the upstream side in the inflow direction a of the airflow AS, and the first step surface 4a of the rail surface 5 The one rail surface 5a is arranged at a position deviated by a predetermined distance from the front end of the first step surface 4a to the downstream side in the inflow direction a of the airflow AS.

【0016】そして、ベース面3の幅方向をX方向と
し、長さ方向をY方向とした時に、ステップ面4の第1
のステップ面4aの空気流ASの流入方向aの上流側に
位置し、ベース面3に対する段差G1を有する前側段差
面6と、レール面5の第1のレール面5aの空気流AS
の流入方向aの上流側に位置し、第1のステップ面4a
に対する段差G2を有する前側段差面7がその空気流A
Sの流入方向側に進むに従ってベース面3の幅方向(X
方向)のほぼ中央部から両側部にかけて連続した曲線に
よってほぼ放物線に沿って湾曲されたほぼ相似形状に形
成されている。また、ステップ面4の第1のステップ面
4aの空気流ASの流入方向aの下流側に位置し、ベー
ス面3に対する段差G1を有する後側段差面8と、レー
ル面5の第1のレール面5aの空気流ASの流入方向a
の下流側に位置し、ステップ面4に対する段差G2を有
する後側段差面9もその空気流ASの流入方向aの下流
側に進むに従ってベース面3の幅方向(X方向)のほぼ
中央部から両側部にかけて連続した曲線によってほぼ放
物線に沿って湾曲されたほぼ相似形状に形成されてい
る。但し、これらの後側段差面8、9の空気流ASの流
入方向aの上流側部分での曲率半径が前側段差面6、7
の空気流ASの流入方向aの上流側部分の曲率半径より
も小さく構成されていて、これら前側段差面6、7及び
後側段差面8、9によって、これら第1のステップ面4
a及び第1のレール面5aの輪郭線10、11がほぼ後
退翼形状(又はほぼブーメラン形状)に形成されてい
る。
When the width direction of the base surface 3 is the X direction and the length direction is the Y direction, the first
A front stepped surface 6 having a step G1 with respect to the base surface 3 and an airflow AS of a first rail surface 5a of the rail surface 5 located upstream of the inflow direction a of the airflow AS on the step surface 4a.
Is located on the upstream side in the inflow direction a of the first step surface 4a.
Front surface 7 having a step G2 with respect to the air flow A
S in the width direction of the base surface 3 (X
Direction) from a substantially central portion to both side portions in a substantially similar shape curved substantially along a parabola. A rear step surface 8 which is located downstream of the first step surface 4a of the step surface 4 in the inflow direction a of the airflow AS and has a step G1 with respect to the base surface 3, and a first rail of the rail surface 5 Inflow direction a of air flow AS on surface 5a
The rear step surface 9 having a step G2 with respect to the step surface 4 and having a step G2 with respect to the step surface 4 also moves from the substantially central portion in the width direction (X direction) of the base surface 3 as it proceeds downstream in the inflow direction a of the airflow AS. It is formed in a substantially similar shape curved along a parabola by a continuous curve on both sides. However, the radii of curvature of the rear step surfaces 8 and 9 at the upstream portion in the inflow direction a of the airflow AS are front step surfaces 6 and 7.
Is smaller than the radius of curvature of the upstream portion of the air flow AS in the inflow direction a of the air flow AS, and the first step surfaces 4 and 7 are formed by the front step surfaces 6 and 7 and the rear step surfaces 8 and 9.
a and the contour lines 10 and 11 of the first rail surface 5a are formed in a substantially swept wing shape (or a substantially boomerang shape).

【0017】そして、ステップ面4の第2のステップ面
4bは第1のステップ面4aの後側段差面8のほぼ中央
部に接続部4cによって接続されていて、ベース面3上
のスライダ本体2の後端面2bの近傍位置との間にスラ
イダセンターPに沿って配置されていて、この第2のス
テップ面4bのベース面3に対する段差G1を有する段
差面である輪郭線12は空気流ASの流入方向aの上流
側で小幅であり、下流側に進むに従って大幅となるほぼ
テーパ状に形成されている。また、レール面5の第2の
レール面5bは第1のレール面5aの後側段差面9のほ
ぼ中央部に対して所定の距離に離間されて第2のステッ
プ面4b上に配置されていて、この第2のレール面5b
の第2のステップ面4bに対する段差G2を有する段差
面である輪郭線13も空気流ASの流入方向aの上流側
で小幅であり、下流側に進むに従って大幅となるほぼテ
ーパ状に形成されている。但し、スライダ本体2の一方
の側面2c側をハードディスク35の内周側ISとし、
他方の側面2d側をハードディスク35の外周側OSと
した時に、第2のレール面5bの輪郭線13の内周側I
Sには凹形状部13aが形成されている。そして、磁気
ヘッド14のヘッドチップがスライダセンターP上で第
2のレール面5bの後端から例えば30μm前方へ離れ
た位置に露呈されている。
The second step surface 4b of the step surface 4 is connected to a substantially central portion of the rear step surface 8 of the first step surface 4a by a connecting portion 4c. The contour line 12, which is a step surface having a step G1 with respect to the base surface 3 of the second step surface 4b, is located between the rear end surface 2b and the position near the rear end surface 2b. It has a small width on the upstream side in the inflow direction a, and is formed in a substantially tapered shape that becomes larger as it goes downstream. Further, the second rail surface 5b of the rail surface 5 is disposed on the second step surface 4b at a predetermined distance from a substantially central portion of the rear step surface 9 of the first rail surface 5a. The second rail surface 5b
The contour line 13, which is a step surface having a step G2 with respect to the second step surface 4b, has a small width on the upstream side in the inflow direction a of the air flow AS, and is formed in a substantially tapered shape that becomes larger as it goes downstream. I have. However, one side surface 2c side of the slider body 2 is defined as an inner peripheral side IS of the hard disk 35,
When the other side surface 2d is used as the outer peripheral side OS of the hard disk 35, the inner peripheral side I of the contour 13 of the second rail surface 5b is set.
S has a concave portion 13a. The head chip of the magnetic head 14 is exposed on the slider center P at a position away from the rear end of the second rail surface 5b by, for example, 30 μm forward.

【0018】そして、第1及び第2のステップ面4a、
4bの輪郭線10、12内に第1及び第2のレール面5
a、5bの輪郭線11、13が内包されている。そし
て、第1のステップ面4aの前側段差面6とベース面3
とのコーナ部分及び第1のレール面5aの前側段差面7
と第1のステップ面4aとのコーナ部分が正圧発生部1
5に形成されていて、第1のステップ面4a及び第1の
レール面5aの後側段差面8、9とベース面3とのコー
ナ部分が負圧発生部16に形成されている。
Then, the first and second step surfaces 4a,
First and second rail surfaces 5 within contour lines 10 and 12 of 4b
The outlines 11 and 13 of a and 5b are included. Then, the front step surface 6 of the first step surface 4a and the base surface 3
And the front step surface 7 of the first rail surface 5a
The corner between the first step surface 4a and the positive pressure generating unit 1
5, a corner portion between the rear step surfaces 8, 9 of the first step surface 4 a and the first rail surface 5 a and the base surface 3 is formed in the negative pressure generating portion 16.

【0019】そして、図13で説明したように、矢印a
方向に高速で回転駆動されるハードディスクの記録面の
表面に発生されている空気流ASの流入方向aの上流側
へ浮上ヘッドスライダ1のスライダ本体2の前端面2a
がほぼ直角状に向くようにして、その浮上ヘッドスライ
ダ1の第1及び第2のレール面5a、5bをその空気流
AS上にサスペンション33のばね力によって矢印d方
向からほぼ直角状に押圧させることによって、正圧発生
部15で正圧を発生させて、その第1及び第2のレール
面5a、5bにその空気流ASの流入方向aの上流側に
向く仰角を与えて、その第1及び第2のレール面5a、
5bをハードディスク35の記録面35aから浮上量H
に浮上させる一方、負圧発生部16で発生される負圧に
よって記録面35aに対する第1及び第2のレール面5
a、5bの浮上量Hの適正化を図るようにして、磁気ヘ
ッド14で記録面35aに情報の記録、再生を行うよう
に構成されている。
Then, as described with reference to FIG.
Front end surface 2a of the slider body 2 of the head slider 1 flying upstream in the inflow direction a of the airflow AS generated on the surface of the recording surface of the hard disk which is driven to rotate at a high speed in the direction
Are oriented substantially at right angles, and the first and second rail surfaces 5a, 5b of the flying head slider 1 are pressed substantially at right angles from the direction of arrow d by the spring force of the suspension 33 onto the airflow AS. As a result, a positive pressure is generated by the positive pressure generating unit 15, and the first and second rail surfaces 5a and 5b are given an elevation angle toward the upstream side in the inflow direction a of the airflow AS, and the first And a second rail surface 5a,
5b is the flying height H from the recording surface 35a of the hard disk 35.
And the first and second rail surfaces 5 against the recording surface 35a due to the negative pressure generated by the negative pressure generating unit 16.
The magnetic head 14 is configured to record and reproduce information on the recording surface 35a so as to optimize the flying height H of a and b.

【0020】この際、浮上ヘッドスライダ1のスライダ
サイズは30%(ピコスライダ)に構成されていて、ハ
ードディスク35の回転数が2,700rpm等の高速
回転仕様であり、サスペンション33のばね力による浮
上ヘッドスライダ1の矢印d方向への押圧荷重が3gf
(IS単位)である時、記録面35aに対する浮上ヘッ
ドスライダ1の浮上量Hは20nmとなるように構成さ
れている。
At this time, the slider size of the flying head slider 1 is configured to be 30% (pico slider), the hard disk 35 is designed to rotate at a high speed of 2,700 rpm or the like, and the floating head by the spring force of the suspension 33 is used. The pressing load of the slider 1 in the direction of the arrow d is 3 gf
In the case of (IS unit), the flying height H of the flying head slider 1 with respect to the recording surface 35a is configured to be 20 nm.

【0021】ところで、スライダ本体2のベース面3、
第1及び第2のステップ面4a、4b、第1及び第2の
レール面5a、5bは、その第1及び第2のレール面5
a、5bを最上層の基準面として、これら第1及び第2
のレール面5a、5bから輪郭線11、13の外周部分
を段差G2に掘り下げ、次に、第1及び第2のステップ
面4a、4bの輪郭線10、12の外周部分を段差G1
に掘り下げるイオンエッチング等の加工方法で掘り下げ
ることによって、前述したようにベース面3上に段差G
1の第1及び第2のステップ面4a、4bを形成し、こ
れら第1及び第2のステップ面4a、4b上に段差G2
の第1及び第2のレール面5a、5bを形成されるのが
一般的である。
By the way, the base surface 3 of the slider body 2
The first and second step surfaces 4a and 4b, the first and second rail surfaces 5a and 5b are formed by the first and second rail surfaces 5a and 5b.
a, 5b as the uppermost reference plane,
From the rail surfaces 5a, 5b, the outer peripheral portions of the contour lines 11, 13 are dug down to a step G2. Then, the outer peripheral portions of the contour lines 10, 12 of the first and second step surfaces 4a, 4b are stepped G1.
As described above, the step G is formed on the base surface 3 by digging down by a processing method such as ion etching.
The first and second step surfaces 4a and 4b are formed, and a step G2 is formed on the first and second step surfaces 4a and 4b.
Generally, the first and second rail surfaces 5a and 5b are formed.

【0022】このように構成された本発明の浮上ヘッド
スライダ1の基本構成によれば、ハードディスクの2,
700rpmの高速で回転されることによって、空気流
ASの流入速度もほぼ同速の高速となる。しかし、その
空気流ASに混って流入されるダストDSは第1のステ
ップ面4a及び第1のレール面5aの前側段差面6、7
によってほぼ放物線に沿わせるようにして、これら第1
のステップ面4a及び第1のレール面5aの両側方へス
ムーズに排出することができるので、前側段差面6、7
に沿って両側方へ排出されたダストDSが負荷発生部1
6内に巻き込まれることを極力防止できる。また、第2
のレール面5bの輪郭線13の内周側ISに形成されて
いる凹形状部13aはこの浮上ヘッドスライダ1のマイ
ナススキュー角−θを一定限度内に抑制する効果があ
る。
According to the basic structure of the flying head slider 1 of the present invention thus constructed,
By rotating at a high speed of 700 rpm, the inflow speed of the air flow AS also becomes almost the same high speed. However, the dust DS flowing into the air flow AS is mixed with the front step surfaces 6, 7 of the first step surface 4a and the first rail surface 5a.
To make them almost along the parabola,
Can be smoothly discharged to both sides of the step surface 4a and the first rail surface 5a.
Dust DS discharged to both sides along the
6 can be prevented as much as possible. Also, the second
The concave portion 13a formed on the inner peripheral side IS of the contour line 13 of the rail surface 5b has an effect of suppressing the minus skew angle -θ of the flying head slider 1 within a certain limit.

【0023】しかし、このように構成された本発明の浮
上ヘッドスライダ1の基本構成では、第1のステップ面
4aと第1のレール面5aの後側段差面8、9との間で
中央部分P1や両側部分P2にこれらの間の前後方向の
間隔S2の非常に大きい箇所(30μm〜40μm以上
の間隔を言う)が存在している。なお、中央部分では、
第1のステップ面4aの後側段差面8がなく、第1のス
テップ面4aに第2のステップ面4bの前端が接続部4
cによって接続されている。また、第2のステップ面4
bと第2のレール面5bの輪郭線12、13の下流側の
両側コーナ部分P3にも、これらの間に前後方向の間隔
S3の非常に大きい箇所が存在している。
However, in the basic configuration of the flying head slider 1 according to the present invention having the above-described structure, the center portion is formed between the first step surface 4a and the rear step surface 8, 9 of the first rail surface 5a. In P1 and both side portions P2, there is a very large portion (refers to an interval of 30 μm to 40 μm or more) of the interval S2 in the front-rear direction between them. In the middle part,
There is no rear step surface 8 on the first step surface 4a, and the front end of the second step surface 4b is connected to the connection portion 4 on the first step surface 4a.
c. Also, the second step surface 4
In both corner portions P3 on the downstream side of the contour lines 12 and 13 of the second rail surface 5b and the second rail surface 5b, there is an extremely large space S3 between them in the front-rear direction.

【0024】このために、流入速度が高速となっている
空気流ASに混ったダストDSが第1及び第2のレール
面5a、5bを乗り越えて矢印a方向に流下される際
に、図14で説明した渦流wsによってダストDSが巻
き込まれて、図8に小間隔の平行線で示すように、上記
の各箇所P1、P2、P3で第1及び第2のステップ面
4a、4b上にダストDSが付着され易いと言うことが
実験的に確認された。
For this reason, when the dust DS mixed with the airflow AS whose inflow velocity is high flows over the first and second rail surfaces 5a and 5b and flows down in the direction of arrow a, as shown in FIG. The dust DS is entrained by the eddy current ws described in FIG. 14, and as shown by parallel lines at small intervals in FIG. 8, the first and second step surfaces 4a and 4b are placed on the above-mentioned respective points P1, P2 and P3. It was experimentally confirmed that dust DS was easily attached.

【0025】特に、図9に示す変形例のように、各箇所
P1、P2、P3の間隔S2、S3が拡大されたもので
は、図9中に小間隔の平行線で示した箇所にダストDS
がより一層付着され易くなる。
In particular, in the case where the intervals S2 and S3 between the points P1, P2 and P3 are enlarged as in the modification shown in FIG. 9, the dust DS is added to the places indicated by the small parallel lines in FIG.
Are more easily adhered.

【0026】そこで、図6及び図7に示すように、第1
のステップ面4aと第2のステップ面4bの先端との接
続部4cを切除して、この部分に凹所4dを形成する
と、中央部分P1で、第1のステップ面4a上に付着さ
れるダストDSの付着が最も最小化された。また、第1
及び第2のレール面5a、5bに対するベース面3の段
差(深さ)G3を深くすればする程、上記各箇所P1、
P2、P3部分で第1及び第2のステップ面4a、4b
上へのダストDSの付着が少なくなることが実験的に確
認された。
Therefore, as shown in FIG. 6 and FIG.
When the connecting portion 4c between the step surface 4a and the tip of the second step surface 4b is cut off and a recess 4d is formed in this portion, dust adhered on the first step surface 4a at the central portion P1. DS deposition was minimized. Also, the first
The more the step (depth) G3 of the base surface 3 with respect to the second rail surfaces 5a and 5b is increased, the more each of the above-mentioned portions P1,
First and second step surfaces 4a, 4b at P2, P3
It was experimentally confirmed that the adhesion of dust DS to the top was reduced.

【0027】「本発明の浮上ヘッドスライダの第1の実
施形態」そこで、図1〜図3によって、本発明の浮上ヘ
ッドスライダ1の第1の実施形態について説明すると、
まず、第1及び第2のレール面5a、5bに対するベー
ス面3の段差G1を2μm〜10μmに深く構成してい
る。その際、第1及び第2のステップ面4a、4bに対
するベース面3の段差(深さ)G1を3μmに深く構成
し、第1及び第2のレール面5a、5bに対する第1及
び第2のステップ面4a、4bの段差(深さ)G2を
0.4μmに構成している。
"First Embodiment of the Flying Head Slider of the Present Invention" A first embodiment of the flying head slider 1 of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the step G1 of the base surface 3 with respect to the first and second rail surfaces 5a and 5b is configured to be as deep as 2 μm to 10 μm. At that time, the step (depth) G1 of the base surface 3 with respect to the first and second step surfaces 4a and 4b is set to be deep to 3 μm, and the first and second steps with respect to the first and second rail surfaces 5a and 5b. The step (depth) G2 of the step surfaces 4a and 4b is set to 0.4 μm.

【0028】次に、第1のレール面5aと第1のステッ
プ面4aに対する段差を形成する後側段差面9と、第1
のステップ面4aとベース面3に対する段差を形成する
後側段差面9と、第2のレール面5bと第2のステップ
面4bに対する段差を形成する後側段差面である輪郭線
13の後側と、第2のステップ面4bとベース面3に対
する段差を形成する後側段差面である輪郭線12の後側
との前後方向の間隔S4、S5を10μm以下に構成し
ている。また、輪郭線12と13の後側のコーナ部分の
間隔S6も10μm以下に構成したものである。なお、
レール面5に対するステップ面4及びベース面3のイオ
ンエッチング加工等の加工手順や加工時間を考慮する
と、Max10μm以下が限度となる。
Next, a rear step surface 9 for forming a step with respect to the first rail surface 5a and the first step surface 4a,
A rear step surface 9 forming a step between the step surface 4a and the base surface 3, and a rear side of the contour line 13 which is a rear step surface forming a step between the second rail surface 5b and the second step surface 4b. The distance S4, S5 in the front-rear direction between the second step surface 4b and the rear side of the contour line 12, which is a rear step surface forming a step with respect to the base surface 3, is set to 10 μm or less. The interval S6 between the rear corner portions of the contour lines 12 and 13 is also set to 10 μm or less. In addition,
In consideration of the processing procedure and the processing time such as the ion etching of the step surface 4 and the base surface 3 with respect to the rail surface 5, the limit is Max 10 μm or less.

【0029】そして、このように、上記間隔S4、S
5、S6を基本的な構成部分で説明した間隔S2やS3
等に比べて1/4〜1/3以下に非常に小さい間隔に最
小化したことによって、図2に示すように、空気流AS
が高速で矢印a方向に流入される際に、上記の各箇所P
2、P3部分に空気流ASの渦流wsが殆んど発生しな
くなり、その空気流AS中のダストDSが上記の箇所P
2、P3の第1及び第2のステップ面4a、4b上に付
着され難くなる。従って、上記の箇所P2、P3の第1
及び第2のステップ面4a、4b上に付着、堆積したダ
ストDSがやがて剥れて流下し、第2のレール面5aと
ハードディスクの記録面との間に挟み込まれて、浮上ヘ
ッドスライダ1の浮上姿勢が不安定化して、情報の録再
不良を生じたり、両者がクラッシュされてしまうことを
未然に防止することができる。
Then, as described above, the intervals S4, S
5, S6 and S3 described in the basic components
By minimizing the interval to a very small interval of 1/4 to 1/3 or less as compared with the air flow AS, as shown in FIG.
Is flowing at high speed in the direction of arrow a,
2. The swirl ws of the air flow AS is hardly generated in the portions P2 and P3.
2, it becomes difficult to adhere to the first and second step surfaces 4a, 4b of P3. Therefore, the first of the points P2 and P3
The dust DS adhered and deposited on the second step surfaces 4a and 4b eventually peels off and flows down, is sandwiched between the second rail surface 5a and the recording surface of the hard disk, and the floating head slider 1 flies. It is possible to prevent a situation in which the posture becomes unstable and a recording / reproducing defect of information is caused, or both are crashed.

【0030】「本発明の浮上ヘッドスライダの第2の実
施形態」次に、図4及び図5によって、本発明の浮上ヘ
ッドスライダ1の第2の実施形態について説明すると、
まず、図5に示すように、第1及び第2のレール面5
a、5bの輪郭線11、13と、第1及び第2のステッ
プ面4a、4bの輪郭線10、12はイオンエッチング
加工の2工程で実行され、2枚のマスク21、22が使
用される。そして、最初に第1及び第2のレール面5
a、5bの輪郭線11、13を加工する第1のマスク2
1には、その輪郭線加工用マスク部23a、23bが形
成されていて、次に第1及び第2のステップ面4a、4
bの輪郭線10、12を加工する第2のマスク22に
は、その輪郭線加工用マスク部24a、24bが形成さ
れている。
[Second Embodiment of the Flying Head Slider of the Present Invention] Next, referring to FIGS. 4 and 5, a second embodiment of the flying head slider 1 of the present invention will be described.
First, as shown in FIG.
The outlines 11 and 13 of a and 5b and the outlines 10 and 12 of the first and second step surfaces 4a and 4b are executed in two steps of ion etching, and two masks 21 and 22 are used. . Then, first, the first and second rail surfaces 5
First mask 2 for processing contour lines 11 and 13 of a and 5b
In FIG. 1, the mask portions 23a and 23b for processing the contour lines are formed, and then the first and second step surfaces 4a and 4b are formed.
The second mask 22 for processing the outlines 10 and 12 of b is formed with outline processing mask portions 24a and 24b.

【0031】そこで、第1のマスク22の輪郭線加工用
マスク部23aの後側である空気流ASの流入方向aの
下流側を、第2のマスク22の輪郭線加工用マスク部2
4aの後側である空気流ASの下流側より、その下流側
へ偏位させておき、これら2枚のマスク22、23を用
いて2工程で第1及び第2のレール面5a、5b及び第
1及び第2のステップ面4a、4bをイオンエッチング
加工すると、2つの輪郭線加工用マスク部23a、24
aが重なる下流側部分には座ぐり穴形状の新たな面25
が形成されて、第1のレール面5aの下流側には第1の
ステップ面4aが存在しなくなると言う効果が得られる
ことになる。なお、その際のベース面3の掘り下げ深さ
を3μm以上+ステップ面4aの深さとすることによ
り、新たな面25の深さは3μm以上となる。但し、こ
のような2枚のマスク21、22を用いるイオンエッチ
ング加工方法は、高い精度が要求される。
Therefore, the downstream side in the inflow direction a of the air flow AS, which is the rear side of the contour processing mask portion 23a of the first mask 22, is moved to the contour processing mask portion 2a of the second mask 22.
The first and second rail surfaces 5a, 5b and 2a are deflected from the downstream side of the air flow AS, which is the rear side of the air flow AS, to the downstream side in two steps using these two masks 22, 23. When the first and second step surfaces 4a and 4b are ion-etched, the two contour processing mask portions 23a and 24 are formed.
In the downstream portion where a overlaps, a new face 25 having a counterbore shape is provided.
Is formed, and the effect that the first step surface 4a does not exist downstream of the first rail surface 5a can be obtained. In this case, the depth of the new surface 25 becomes 3 μm or more by setting the depth of the base surface 3 to be dug down to 3 μm or more + the depth of the step surface 4a. However, such an ion etching method using two masks 21 and 22 requires high accuracy.

【0032】「本発明の浮上ヘツドスライダの第3の実
施形態」次に、図6によって、本発明の浮上ヘッドスラ
イダ1の第3の実施形態について説明すると、この場合
は、まず、第2のステップ面4bと第2のレール面5b
の輪郭線12、13の空気流ASの流入方向aの下流側
の端部をスライダ本体2の後端面2bの切断加工時に一
緒に切り落して、これらの輪郭線12、13の下流側に
段差が生じないように加工する。
"Third Embodiment of the Flying Head Slider of the Present Invention" Next, referring to FIG. 6, a third embodiment of the flying head slider 1 of the present invention will be described. In this case, first, the second Step surface 4b and second rail surface 5b
Of the contour lines 12, 13 of the air flow AS in the inflow direction a of the airflow AS are cut off together at the time of cutting the rear end face 2b of the slider body 2, so that a step is formed on the downstream side of these contour lines 12, 13. Process so that it does not occur.

【0033】次に、これらの輪郭線12、13の下流側
の両側をテーパ状の輪郭線28に沿ってベース面3の下
方に機械加工等にて、例えば50μm程度掘り下げて深
い凹所29を形成したものである。なお、この機械加工
には回転砥石を用いるのが好適であり、輪郭線28をテ
ーパ状の直線に高精度に加工することができる。
Next, both sides on the downstream side of these contour lines 12 and 13 are dug down by, for example, about 50 μm below the base surface 3 along the tapered contour line 28 by machining or the like to form a deep recess 29. It is formed. It is preferable to use a rotating grindstone for this machining, and the contour line 28 can be machined into a tapered straight line with high accuracy.

【0034】そして、このように、輪郭線12、13の
下流側の両側部にテーパ状で、直線状の輪郭線28を加
工すれば、その部分には、第2のレール面5bの下流側
に第2のステップ面4bが存在しなくなり、その部分に
ダストDSが付着、堆積されることがない。
When the tapered and straight contour lines 28 are formed on both sides on the downstream side of the contour lines 12 and 13 as described above, the portion is formed on the downstream side of the second rail surface 5b. The second step surface 4b no longer exists, and no dust DS adheres or accumulates at that portion.

【0035】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は上記した実施の形態に限定されることな
く、本発明の技術的思想に基づいて各種の変更が可能で
ある。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made based on the technical concept of the present invention.

【0036】以上のように構成された本発明の浮上ヘッ
ドスライダは、レール面及びステップ面の空気流の流入
方向の下流側に位置して、ステップ面及びベース面に対
してそれぞれ段差を有する2つの後側段差面間の空気流
の流入方向の間隔を10μm以下の小間隔に構成したこ
とにより、記憶メディアの回転速度が速くなっても、こ
れら2つの後側段差面の下流側に空気流の渦流が殆んど
発生せず、これら2つの後側段差面の下流側にダストが
付着され難くなるようにしたので、浮上ヘッドスライダ
の浮上姿勢の安定化を図ることができ、情報の録再不良
や、浮上ヘッドスライダと記録メディアのクラッシュ等
を未然に防止することができて、高品質、高信頼性の浮
上ヘッドスライダやディスクドライブ装置を提供するこ
とができる。
The flying head slider of the present invention having the above-described structure is located on the rail surface and the step surface on the downstream side in the inflow direction of the air flow, and has a step with respect to the step surface and the base surface. The space between the two rear step surfaces in the direction of inflow of the air flow is set to a small distance of 10 μm or less, so that even if the rotation speed of the storage medium is increased, the air flow is downstream of these two rear step surfaces. Almost no vortex is generated, and dust is less likely to adhere to the downstream side of the two rear step surfaces, so that the flying attitude of the flying head slider can be stabilized, and information can be recorded. It is possible to prevent a re-defect, a crash between the flying head slider and the recording medium, etc., and to provide a flying head slider and a disk drive device with high quality and high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第1の
実施形態を説明する平面図である。
FIG. 1 is a plan view illustrating a flying head slider according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の要部を説明する拡大断面側面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional side view illustrating a main part of FIG.

【図3】図1の斜視図ある。FIG. 3 is a perspective view of FIG.

【図4】本発明の浮上ヘッドスライダの第2の実施形態
を説明する平面図である。
FIG. 4 is a plan view illustrating a flying head slider according to a second embodiment of the present invention.

【図5】図4の浮上ヘッドスライダをイオンエッチング
加工するマスクの平面図である。
FIG. 5 is a plan view of a mask for ion etching the flying head slider of FIG. 4;

【図6】本発明の浮上ヘッドスライダの第3の実施形態
を説明する平面図である。
FIG. 6 is a plan view illustrating a flying head slider according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の浮上ヘッドスライダの基本的な構成を
発展させた場合の平面図である。
FIG. 7 is a plan view in a case where the basic configuration of the flying head slider of the present invention is developed.

【図8】本発明の浮上ヘッドスライダの基本的な構成を
説明する平面図である。
FIG. 8 is a plan view illustrating a basic configuration of a flying head slider of the present invention.

【図9】本発明の浮上ヘッドスライダの基本的な構成の
変形例を説明する平面図である。
FIG. 9 is a plan view illustrating a modification of the basic configuration of the flying head slider of the present invention.

【図10】従来の一般的なR−HDDを説明する斜視図
である。
FIG. 10 is a perspective view illustrating a conventional general R-HDD.

【図11】同上のR−HDDにおける浮上ヘッドスライ
ダのスキュー角を説明する平面図である。
FIG. 11 is a plan view illustrating a skew angle of a flying head slider in the R-HDD.

【図12】同上のR−HDDに使用されている一般的な
浮上ヘッドスライダを説明する斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view illustrating a general flying head slider used in the R-HDD according to the first embodiment.

【図13】同上の浮上ヘッドスライダのハードディスク
に対する浮上動作を説明する断面側面図である。
FIG. 13 is a sectional side view for explaining a flying operation of the flying head slider with respect to the hard disk.

【図14】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面の下
流側等にダストが付着する様子を説明する要部の拡大断
面側面図である。
FIG. 14 is an enlarged cross-sectional side view of a main part explaining how dust adheres to the downstream side of the step surface of the flying head slider and the like.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1は浮上ヘッドスライダ、2はスライダ本体、3はベー
ス面、4はステップ面、4aは第1のステップ面、4b
は第2のステップ面、5はレール面、5aは第1のレー
ル面、5bは第2のレール面、8はステップ面の後側段
差面、9はレール面の後側段差面、10は第1のステッ
プ面4aの輪郭線、11は第1のレール面5aの輪郭
線、12は第2のステップ面4bの段差面である輪郭
線、13は第2のレール面5bの段差面である輪郭線、
15は正圧発生部、16は負圧発生部、21は記憶メデ
ィアである光磁気ディスク、R−HDDはディスクドラ
イブ装置であるリムーバルハードディスク・ドライブ装
置、35は記憶メディアであるハードディスクである。
1 is a flying head slider, 2 is a slider body, 3 is a base surface, 4 is a step surface, 4a is a first step surface, 4b
Is the second step surface, 5 is the rail surface, 5a is the first rail surface, 5b is the second rail surface, 8 is the rear step surface of the step surface, 9 is the rear step surface of the rail surface, 10 is The contour of the first step surface 4a, 11 is the contour of the first rail surface 5a, 12 is the contour of the step surface of the second step surface 4b, and 13 is the step surface of the second rail surface 5b. An outline,
Reference numeral 15 denotes a positive pressure generator, 16 denotes a negative pressure generator, 21 denotes a magneto-optical disk as a storage medium, R-HDD denotes a removable hard disk drive as a disk drive, and 35 denotes a hard disk as a storage medium.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】記憶メディアの回転によって発生する空気
流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
報の記録及び/又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成され
たステップ面と、 上記ステップ面上の上記空気流の流入方向の下流側へや
や偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
れたレール面とを有し、 上記レール面の上記空気流の流入方向の下流側に位置
し、上記ステップ面に対する段差を形成する後側段差面
と、上記ステップ面の上記空気流の流入方向の下流側に
位置し、上記ベース面に対する段差を形成する後側段差
面との間の上記空気流の流入方向の間隔を10μm以下
に構成したことを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
1. A flying head slider which records and / or reproduces information while flying on the storage medium by an air flow generated by rotation of the storage medium. An opposing base surface, a step surface formed in a substantially parallel plane having a step on the base surface, and a step on the step surface at a position slightly displaced downstream in the inflow direction of the airflow. A rear step surface which is located on the downstream side in the inflow direction of the air flow of the rail surface and forms a step with respect to the step surface; and The distance between the air flow direction and the rear step surface which is located on the downstream side in the air flow direction of the air flow and forms a step with respect to the base surface is 10 μm or less. Flying head slider, characterized in that.
【請求項2】記憶メディアの回転によって発生する空気
流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
報の記録及び/又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成され
たステップ面と、 上記ステップ面上の上記空気流の流入方向の下流側へや
や偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
れたレール面とを有し、 上記ステップ面及び上記レール面の上記空気流の流入方
向の上流側及び下流側に位置する前側段差面及び後側段
差面をその下流側に進むに従って上記ベース面の幅方向
のほぼ中央部から両側部にかけてほぼ放物線に沿って湾
曲された形状に構成し、 上記レール面の上記ステップ面に対する段差を形成する
後側段差面と、上記ステップ面の上記ベース面に対する
段差を形成する後側段差面との間の上記空気流の流入方
向の間隔を10μm以下に構成したことを特徴とする浮
上ヘッドスライダ。
2. A flying head slider which records and / or reproduces information while flying on the storage medium by an air flow generated by rotation of the storage medium. An opposing base surface, a step surface formed in a substantially parallel plane having a step on the base surface, and a step on the step surface at a position slightly displaced downstream in the inflow direction of the airflow. A rail surface formed in a substantially parallel plane shape having a front step surface and a rear step surface located upstream and downstream in the inflow direction of the airflow of the step surface and the rail surface. The base surface is formed so as to be curved substantially along a parabola from a substantially central portion to both side portions in a width direction of the base surface as proceeding to the downstream side, and is opposed to the step surface of the rail surface. The gap in the inflow direction of the air flow between the rear step surface forming the step and the step surface forming the step with respect to the base surface is set to 10 μm or less. Flying head slider.
【請求項3】記憶メディアの回転によって発生する空気
流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
報の記録及び/又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
るベース面と、 上記ベース面上の上記空気流の流入方向の上流側と下流
側とに偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形
成された第1及び第2のステップ面と、 上記ステップ面上の上記空気流の流入方向の下流側へや
や偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
れた第1のレール面と、 上記第1及び第2のステップ面上の上記第1のレール面
より上記空気流の流入方向の下流側へ偏位された位置に
段差を有するほぼ平行面状に形成された第2のレール面
とを有し、 上記第1のステップ面及び上記第1のレール面の上記空
気流の流入方向の上流側及び下流側に位置する前側段差
面及び後側段差面をその下流側に進むに従って上記ベー
ス面の幅方向のほぼ中央部から両側部にかけてほぼ放物
線に沿って湾曲されたほぼ相似形状に構成し、 上記第2のステップ面及び上記第2のレール面を上記空
気流の流入方向の上流側で小幅で、下流側に進むに従っ
て大幅となる形状に形成し、 上記第1及び第2のレール面の上記第1及び第2のステ
ップ面に対する段差を形成する後側段差面と、上記第1
及び第2のステップ面の上記ベース面に対する段差を形
成する後側段差面との間の上記空気流の流入方向の間隔
を10μm以下に構成したことを特徴とする浮上ヘッド
スライダ。
3. A flying head slider which records and / or reproduces information while flying on the storage medium by an air flow generated by rotation of the storage medium. First and second steps formed in a substantially parallel plane having a step at positions opposed to the base surface facing the upstream side and the downstream side in the inflow direction of the air flow on the base surface; A first rail surface formed as a substantially parallel surface having a step at a position slightly deviated downstream in the inflow direction of the air flow on the step surface; and the first and second rails. A second rail surface formed in a substantially parallel plane shape having a step at a position deviated from the first rail surface on the step surface to the downstream side in the inflow direction of the airflow from the first rail surface; 1 step surface and As the front step surface and the rear step surface located on the upstream side and the downstream side of the first rail surface in the inflow direction of the air flow progress toward the downstream side, the base surface is substantially at the center from both sides in the width direction. The second step surface and the second rail surface have a small width on the upstream side in the inflow direction of the air flow, and are substantially increased toward the downstream side. A rear step surface that forms a step with respect to the first and second step surfaces of the first and second rail surfaces;
A flying head slider, wherein an interval in the inflow direction of the air flow between the second step surface and a rear step surface forming a step with respect to the base surface is 10 μm or less.
【請求項4】請求項1又は請求項2又は請求項3に記載
の浮上ヘッドスライダが回動型のヘッドアクチュエータ
にサスペンションを介して支持され、そのサスペンショ
ンによって上記浮上ヘッドスライダが上記記憶メディア
の空気流上に押圧されるように構成されたことを特徴と
するディスクドライブ装置。
4. A floating head slider according to claim 1, 2 or 3, which is supported by a rotary head actuator via a suspension, and the floating head slider causes the floating head slider to be compressed by air in the storage medium. A disk drive device configured to be pressed upstream.
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