JP2001198866A - Robot for conveyance - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送用ロボットに
関し、さらに詳細にいえば、マルチチャンバタイプの半
導体製造装置や、LCD製造装置等のように、プロセス
チャンバにて加工処理されるウエハ等の薄板状のワーク
を、プロセスチャンバへ搬送するようにした製造装置に
おける搬送用ロボットに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer robot, and more particularly, to a transfer robot for processing a wafer in a process chamber such as a multi-chamber type semiconductor manufacturing apparatus or an LCD manufacturing apparatus. The present invention relates to a transfer robot in a manufacturing apparatus configured to transfer a thin work to a process chamber.
【0002】[0002]
【従来の技術】マルチチャンバタイプの半導体製造装置
は図1に示すようになっていて、トランスファチャンバ
1の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセス
チャンバステーション2a,2b,2c,2d,2e
と、外部に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡
しステーション3,4とが配設されており、トランスフ
ァチャンバ1内は常時真空装置にて真空状態が保たれて
いる。2. Description of the Related Art A multi-chamber type semiconductor manufacturing apparatus is shown in FIG. 1 and a process chamber station 2a, 2b, 2c, 2d, 2e comprising a plurality of process chambers is provided around a transfer chamber 1.
And work transfer stations 3 and 4 for transferring the work to the outside, and the inside of the transfer chamber 1 is always kept in a vacuum state by a vacuum device.
【0003】上記トランスファチャンバ1は図2に示す
ようになっていて、周壁で、かつ上記各プロセスチャン
バステーション2a〜2e及びワーク受け渡しステーシ
ョン3,4に対向する仕切り壁5には各ステーションへ
の出入口となるゲート6が設けてある。この各ゲート6
はトランスファチャンバ2の内側に設けられた図示しな
い開閉扉にて開閉されるようになっている。そしてこの
トランスファチャンバ1内に搬送用ロボットAが回転可
能に備えてある。The transfer chamber 1 is configured as shown in FIG. 2, and a partition wall 5 which is a peripheral wall and faces the process chamber stations 2a to 2e and the work transfer stations 3 and 4 has an entrance to each station. Is provided. This gate 6
Is opened and closed by an open / close door (not shown) provided inside the transfer chamber 2. A transfer robot A is rotatably provided in the transfer chamber 1.
【0004】上記搬送用ロボットAは特開平10−21
7166号公報に示されたもので、この搬送用ロボット
Aは図2に示すようになっていて、2つの搬送台8a,
8bを有するもので、トランスファチャンバ1の中心部
に位置されている。これの第1・第2のリング状ボス
(回転部材)9a,9bは同心状になって下側から順に
重ね合わせた状態に配置されている。そしてこの各リン
グ状ボス9a,9bのそれぞれは図示しないモータの出
力部に連結されていて、個々に独立して正・逆方向に回
転されるようになっている。The above-mentioned transfer robot A is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-21.
The transfer robot A is shown in FIG. 2 and includes two transfer tables 8a,
8b, which is located at the center of the transfer chamber 1. The first and second ring-shaped bosses (rotating members) 9a and 9b are concentrically arranged in a state of being overlapped in order from the lower side. Each of the ring-shaped bosses 9a and 9b is connected to an output section of a motor (not shown), and is independently rotated in forward and reverse directions.
【0005】そしてこの従来の搬送用ロボットAの下側
に位置する第1のリング状ボス9aの側面には第1・第
2のアーム10a,10bが、また、上側に位置する第
2のリング状ボス9bの側面には第3のアーム10c
が、さらに、この第2のリング状ボス9bの頂面に脚柱
10eを介して第4のアーム10dがそれぞれ放射方向
に突設されており、第4のアーム10dの先端部下面が
回転支点となっており、他のアームは、それぞれのアー
ムの先端部上面が回転支点となっている。The first and second arms 10a and 10b are provided on the side surface of the first ring-shaped boss 9a located below the conventional transfer robot A, and the second ring boss 9a is located on the upper side. A third arm 10c is provided on the side of the boss 9b.
Further, a fourth arm 10d is protruded radially from a top surface of the second ring-shaped boss 9b via a pillar 10e, and a lower surface of a tip end of the fourth arm 10d is a rotation fulcrum. In the other arms, the upper surface of the distal end of each arm is a rotation fulcrum.
【0006】上記各アーム10a〜10dのそれぞれの
回転支点のリング状ボス中心からの半径は同一寸法にな
っている。そして、上記各アーム10a〜10dの回転
支点には実質的に同長の第1・第2・第3・第4のリン
ク11a,11b,11c,11dの一端が回転自在に
連結されている。そして第1のアーム10aの先端上面
側に設けられた回転支点に連結された第1のリンク11
aが、この回転支点部を内側下方へ折り曲げられてコ字
状になっている。The radius of each of the rotation fulcrums of the arms 10a to 10d from the center of the ring-shaped boss is the same. One ends of first, second, third and fourth links 11a, 11b, 11c and 11d of substantially the same length are rotatably connected to the rotation fulcrum of each of the arms 10a to 10d. The first link 11 connected to a rotation fulcrum provided on the upper surface of the tip of the first arm 10a
a is formed by bending the rotation fulcrum part inward and downward to have a U-shape.
【0007】第1のリンク11aと上記第4のリンク1
1dの先端部に、図3で示すフロッグレッグ型の搬送台
姿勢保持機構7を介して第1の搬送台8aが連結されて
おり、これによって第1のロボットリンク機構B1が構
成されている。また第2・第3のリンク11b,11c
の先端部にフロッグレッグ型の搬送台姿勢保持機構7を
介して第2の搬送台8bが連結されており、これによっ
て第2のロボットリンク機構B2が構成されている。そ
して、この両ロボットリンク機構B1,B2を位相をず
らせてリング状ボスに取り付けることにより、搬送台8
a,8bは回転方向に、配置角α(例えば60゜)だけ
ずれていて回転方向に重複しないようになっている。こ
のとき、上記第1のリンク11aのコ字状の折れ曲がり
高さは、第1のロボットリンク機構B1の搬送台8aが
リング状ボスより上側に位置し、かつ第2のロボットリ
ンク機構B2の搬送台8bおよび一方のアーム10cと
リンク11cがこの第1のアーム10aとリンク11a
の間をくぐり抜けて移動できるようにしてある。[0007] The first link 11a and the fourth link 1
A first transfer table 8a is connected to the leading end of 1d via a frog-leg-type transfer table attitude holding mechanism 7 shown in FIG. 3, thereby forming a first robot link mechanism B1. . Also, the second and third links 11b, 11c
The second transfer table 8b is connected to the leading end of the second transfer table via a frog-leg-type transfer table attitude holding mechanism 7, thereby forming a second robot link mechanism B2. By attaching these robot link mechanisms B 1 and B 2 to the ring-shaped boss with their phases shifted,
a and 8b are shifted by the arrangement angle α (for example, 60 °) in the rotation direction so that they do not overlap in the rotation direction. At this time, the U-shaped bending height of the first link 11a, the first carrier table 8a of the robotic link mechanism B 1 is positioned above the ring-shaped boss, and the second robot link mechanism B 2 Of the first arm 10a and the link 11a.
It is designed to be able to pass through between and move.
【0008】搬送台姿勢保持機構7は図3に示すように
なっていて、搬送台8a(8b)に連結される2本のリ
ンク11a,11d(11d,11c)の先端部は互い
に噛合する歯車7a,7bからなる歯車構成により結合
されており、搬送台8a(8b)に対するリンク11
a,11d(11c,11b)の姿勢角θR,θLが常
に同じになるようにしている。これにより、搬送台8a
(8b)は常にトランスファチャンバ1の半径方向に向
けられると共に、半径方向へ動作される。The transport table attitude holding mechanism 7 is configured as shown in FIG. 3, and the tips of two links 11a, 11d (11d, 11c) connected to the transport table 8a (8b) are meshed with each other. 7a and 7b, and are connected by a gear 11 composed of
The attitude angles θR and θL of a, 11d (11c, 11b) are always the same. Thereby, the transfer table 8a
(8b) is always directed in the radial direction of the transfer chamber 1 and is operated in the radial direction.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の搬送用
ロボットAは一方のロボットリンク機構B2の搬送台8
bが他方のロボットリンク機構B1の第1のリンク11
aの下側をくぐり抜けて移動するようになっているた
め、この搬送用ロボットAの作動時には、随時一方の搬
送台8bの上側をリンク11aが通過するようになって
いる。THE INVENTION Problems to be Solved] conveying table 8 of the robot conveyor of conventional above A is one of the robotic link mechanism B 2
The first link 11 b is of the other robot link mechanism B 1
The link 11a passes through the upper side of one of the transfer tables 8b at any time when the transfer robot A operates because the transfer robot A moves under the position a.
【0010】図4は両搬送台8a,8bが没入した待機
状態を示すもので、この状態から第1のロボットリンク
機構B1を突出動すると、図5に示すように、その間の
工程において、第1のロボットリンク機構B1のリンク
11aが第2のロボットリンク機構B2の搬送台8bの
上側を通る。[0010] Figure 4 shows a standby state where both carrier table 8a, 8b are retracted and projecting moving the first robot link mechanism B 1 from this state, as shown in FIG. 5, in the meantime the process, the first link 11a of the robot linkage B 1 is passing through the upper second carrier table 8b robotic link mechanism B 2.
【0011】このため、各ロボットリンク機構B1,B
2の搬送台8a,8bのそれぞれにワークW1,W2を
載置して出没動作してワークW2の上を他のロボットリ
ンク機構B1のリンク11aが通るときに、このワーク
W2の上にリンク11aに付着していた塵が落下してこ
れを汚染することがあった。For this reason, each of the robot link mechanisms B 1 , B
2 of carrier table 8a, when the respective 8b workpiece W 1, W 2 and infested operation by placing the over the workpiece W 2 is other link 11a robotic link mechanism B 1 through, this workpiece W 2 In some cases, dust attached to the link 11a may fall on and contaminate the dust.
【0012】また上記従来の搬送用ロボットにあって
は、図4に示す待機状態から図6に示すように、一方の
ロボットリンク機構B1を伸長してこれの搬送台8aを
突出動させたときに、他方のロボットリンク機構B2は
図4に示した待機状態よりさらに縮小作動されてこの他
方の搬送台8bはこの待機状態からさらに内側へ没入さ
れていた。[0012] In the above conventional transfer robot, as shown in FIG. 6 from the standby state shown in FIG. 4, is protruded dynamic this the carrier table 8a extends one robot link mechanisms B 1 Occasionally, other robotic link mechanism B 2 is further reduced actuated by carrier table 8b of the other from the standby state shown in FIG. 4 was further immersed inward from the standby state.
【0013】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、少なくとも一方の搬送台の突出動作によって没入
動した他方の搬送台が、この一方の搬送台の突出終端付
近でもって少しのストロークにわたって再び突出動され
て両搬送台相互のバランス関係をよくすることができ、
また、両ロボットリンク機構の出没動作において、いず
れのロボットリンク機構の搬送台上を他方のロボットリ
ンク機構のリンクが通過することがなく、搬送台上のワ
ークが他の搬送台のリンクに付着している塵によって汚
染されることをなくし、さらに、ロボットリンク機構の
形状をシンプルにでき、そしてさらに複数用いられるモ
ータに作用する負荷を略等しくできるようにした搬送用
ロボットを提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above, and at least one of the carriages, which has been immersed by the projecting operation of one of the carriages, is moved again for a short stroke near the projecting end of the one carriage. By being protruded, the balance between the two carriages can be improved,
In addition, during the movement of both robot link mechanisms, the link of the other robot link mechanism does not pass on the transfer table of either robot link mechanism, and the work on the transfer table adheres to the link of the other transfer table. It is an object of the present invention to provide a transfer robot that eliminates contamination by dust, furthermore, can simplify the shape of a robot link mechanism, and can furthermore make loads acting on a plurality of used motors substantially equal. Is what you do.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段及び作用効果】上記目的を
達成するために、第1の発明は、上下方向に位置をずら
せて同心状に設けた複数の回転部材と、1つの回転部材
に設けたリンク機構と他の回転部材に設けたリンク機構
とを連結すると共に、搬送台を連結し、各回転部材の回
転により、各搬送台が回転部材の軸直角方向に交互に出
没動するようにした複数のロボットリンク機構とからな
り、少なくとも一方のロボットリンク機構の搬送台が突
出動したときに、他方のロボットリンク機構の搬送台
が、両搬送台が没入動した待機状態からさらに没入動し
てから再び突出動するようにし、また、この各搬送台の
出没動時に、各搬送台の上方に他の搬送台及びリンク機
構が通過しないようにした構成となっている。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a plurality of rotating members which are concentrically provided so as to be vertically displaced and provided on one rotating member. Linking the link mechanism and the link mechanism provided on the other rotating member, and connecting the carriages so that the rotation of each rotating member causes each carriage to alternately move in and out in the direction perpendicular to the axis of the rotating member. When the carrier of at least one of the robot link mechanisms protrudes and moves, the carrier of the other robot link mechanism further retreats from the standby state in which both carriers retreat. After that, when the respective carriages move in and out, the other carriages and the link mechanism do not pass above the respective carriages.
【0015】この第1の発明によれば、少なくとも一方
のロボットリンク機構の搬送台が突出動したときに他方
のロボットリンク機構の搬送台が、待機状態からさらに
没入動してから再び突出動することにより、両搬送台相
互のバランス関係をよくすることができる。According to the first aspect, when the carrier of at least one of the robot link mechanisms protrudes, the carrier of the other robot link mechanism further submerges from the standby state and then protrudes again. This makes it possible to improve the balance relationship between the two carriers.
【0016】また、各ロボットリンク機構の出没動作に
おいて、いずれのロボットリンク機構の搬送台上を他方
の搬送台及びロボットリンク機構のリンク機構が通過す
ることがなくなり、搬送台上のワークが他の搬送台やリ
ンクに付着している塵によって汚染されることがなくな
る。In addition, during the movement of each robot link mechanism, the other carrier and the link mechanism of the robot link mechanism do not pass over the carrier of any one of the robot link mechanisms, and the work on the carrier becomes another. It is not contaminated by dust adhering to the carriage or link.
【0017】また、第2の発明は、上下方向に位置をず
らせて同心状に設けた2つの回転部材と、一方の回転部
材に固着された主アームと、この主アームの先端部に回
転自在に連結された主リンクと、この主リンクに連結し
た搬送台と、他方の回転部材に固着された補助アーム
と、一端をこの補助アームの先端部に他端を上記主リン
クにそれぞれ回転自在に連結した補助リンクとからなる
第1のロボットリンク機構と、この第1のロボットリン
ク機構とはそれぞれ逆の回転部材に主アームと補助アー
ムを固着した上記第1のロボットリンク機構と同一構成
の第2のロボットリンク機構とからなり、各搬送台相互
が上下方向に重複しないようにした構成になっている。According to a second aspect of the present invention, there are provided two rotating members which are concentrically shifted from each other in a vertical direction, a main arm fixed to one of the rotating members, and a tip end of the main arm is rotatable. Main arm connected to the main link, a carrier table connected to the main link, an auxiliary arm fixed to the other rotating member, and one end rotatably connected to the distal end of the auxiliary arm and the other end to the main link. A first robot link mechanism including a connected auxiliary link, and a first robot link mechanism having the same configuration as the first robot link mechanism in which a main arm and an auxiliary arm are fixed to rotating members opposite to each other. The two robot link mechanisms are configured so that the transport tables do not overlap each other in the vertical direction.
【0018】この第2の発明によれば、同一の作用を行
う第1・第2の各ロボットリンク機構が同一構成である
ことにより、ロボットリンク機構の形状をシンプルにで
きる。また、この各ロボットリンク機構を別々の駆動源
にて駆動することにより、この2つの駆動源にかかる負
荷を略等しくすることができる。According to the second aspect of the present invention, since the first and second robot link mechanisms performing the same operation have the same configuration, the shape of the robot link mechanism can be simplified. In addition, by driving each of the robot link mechanisms with a separate drive source, the loads on the two drive sources can be made substantially equal.
【0019】また、第3の発明は、上記第2の発明にお
いて、各ロボットリンク機構において、主アームの回転
部材の中心からの長さと主リンクの長さが同一であり、
また搬送台姿勢保持機構を、主アームに対する主リンク
の回転角に対して搬送台を1/2だけ逆方向に回転する
回転伝達機構にて構成したから、簡単な構成でもって各
ロボットリンク機構の搬送台を同一の姿勢を保持した状
態て出没動することができる。In a third aspect based on the second aspect, in each of the robot link mechanisms, the length of the main arm from the center of the rotating member and the length of the main link are the same,
In addition, since the transfer table attitude holding mechanism is constituted by a rotation transmission mechanism that rotates the transfer table in a direction opposite to the rotation angle of the main link with respect to the main arm by 1 /, each of the robot link mechanisms has a simple configuration. The carriage can move in and out while maintaining the same posture.
【0020】さらに、第4の発明は、基端部をフレーム
側に回転自在に支持された第1のアームと、第2のアー
ムと、先端側に搬送台を固着した第3・第4のアームと
からなり、第1のアームの先端部に回転部材を回転自在
に設け、第1のアームの上記回転部材を第2のアームの
略中間位置に固着してこの回転部材を介して第2のアー
ムの略中間点を第1のアームの先端側に回転自在に支持
し、第2のアームの略中間位置に2つのプーリを同心状
にして回転自在に設け、また両端部にプーリをそれぞれ
回転自在に設けると共に、それぞれ対向するプーリ相互
にベルトを巻き掛け、第2のアームの両端部に設けた一
方のプーリに第3のアームの基端部を固着し、他方のプ
ーリに第4のアームの基端部を固着し、各搬送台相互を
上下方向に重複しないようにし、上記第1のアームを回
転する軸部に1つの駆動源を連結し、また第1のアーム
の先端部に設けた第2のアームを回転する回転部材に、
1つの駆動源を連結した構成になっており、この第4の
発明によれば、上記した第1から第3の発明と略同等の
作用効果を得ることができる。Further, in a fourth aspect of the present invention, the first and second arms, each having a base end rotatably supported on the frame side, the second arm, and the third and fourth sets having a carrier table fixed on the distal end side. An arm, and a rotatable member is rotatably provided at the distal end of the first arm. The rotatable member of the first arm is fixed to a substantially intermediate position of the second arm, and the second member is connected to the second arm via the rotatable member. A substantially intermediate point of the arm is rotatably supported on the distal end side of the first arm, two pulleys are concentrically provided at a substantially intermediate position of the second arm and are rotatably provided, and pulleys are provided at both ends. The pulley is rotatably provided, and a belt is wound around the pulleys facing each other. The base end of the third arm is fixed to one pulley provided at both ends of the second arm, and the fourth pulley is fixed to the other pulley. The base end of the arm is fixed, and each carrier overlaps vertically. The odd, the rotational member for rotating the second arm connecting the single driving source to the shaft portion, and provided at the tip portion of the first arm for rotating the first arm,
The configuration is such that one drive source is connected, and according to the fourth aspect, it is possible to obtain substantially the same operation and effect as those of the first to third aspects.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】図7から図9において本発明の第
1の実施の形態に係る搬送用ロボットA1を説明する。
図7は平面図であり、図8は要部を断面して示す正面
図、図9は要部の構成を模式的に示す分解斜視図であ
る。FIG. 7 to FIG. 9 show a transfer robot A1 according to a first embodiment of the present invention.
7 is a plan view, FIG. 8 is a front view showing a cross section of a main part, and FIG. 9 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of the main part.
【0022】20a,20bは第1・第2の回転部材で
あり、この両回転部材20a,20bはトランスチャン
バ内に同軸状で、上下方向に配置されており、それぞれ
は図示しない駆動装置により個々に独立して正・逆両方
向に、かつ回転速度を可変可能にして回転制御されるよ
うになっている。なお、本発明の実施の形態では説明の
都合上第1の回転部材20aを上側に配置した構成で説
明する。Reference numerals 20a and 20b denote first and second rotating members. Both rotating members 20a and 20b are coaxially arranged in the transformer chamber and arranged vertically, and each is individually driven by a driving device (not shown). Independently, the rotation is controlled in both forward and reverse directions and the rotation speed is made variable. Note that, in the embodiment of the present invention, a configuration in which the first rotating member 20a is arranged on the upper side will be described for convenience of description.
【0023】上側に位置する第1の回転部材20aに第
1の主アーム21aと第1の補助アーム22aが回転部
材20aの一方向への回転方向に位相をずらせて放射状
に設けてある。また下側に位置する第2の回転部材20
bに第2の主アーム21bと第2の補助アーム22bが
上記第1のものと同様に一方向への回転方向に位相をず
らせて放射状に、かつ第1の主アーム21a及び第1の
補助アーム22aに対して回転中心0に対して対向する
側に設けてある。図9に示すように、両主アーム21
a,21bのそれぞれの回転中心からの長さは同長のL
1、また両補助アーム22a,22bのそれぞれの回転
中心からの長さは同長のL2となっていて、ここでL1
>L2となっている。A first main arm 21a and a first auxiliary arm 22a are radially provided on a first rotating member 20a located on the upper side, with the phases shifted in one direction of rotation of the rotating member 20a. The second rotating member 20 located on the lower side
b, the second main arm 21b and the second auxiliary arm 22b are shifted in phase in one direction of rotation in the same manner as the first arm and radially, and the first main arm 21a and the first auxiliary arm It is provided on the side facing the rotation center 0 with respect to the arm 22a. As shown in FIG.
a and 21b have the same length L from the center of rotation.
1, also the subsidiary arm 22a, the length from the respective rotation centers of 22b have a L 2 of the same length, wherein L 1
> And has a L 2.
【0024】第1・第2の各主アーム21a,21bの
各先端部の上記回転中心からL1の位置に、主アーム2
1a,21bと同長(L1)の第1・第2の主リンク2
3a,23bのそれぞれの一端が回転自在に連結されて
いる。また各主リンク23a,23bの長さL1の位置
の上側に第1・第2の各搬送台24a,24bの基端部
が回転自在に連結されている。The first and second respective main arms 21a, from the rotation center of the tip of 21b to the position of L 1, the main arm 2
First and second main links 2 having the same length (L 1 ) as 1a and 21b
One end of each of 3a and 23b is rotatably connected. Also have first and second respective carrier table 24a, the base end portion of 24b is connected rotatably to the upper position of the length L 1 of each main link 23a, 23b.
【0025】各搬送台24a,24bを連結した各主リ
ンク23a,23bには、搬送台24a,24bが常に
回転部材20a,20bの軸心に対して直角方向に向く
ようにするための搬送台姿勢保持機構が設けてある。Each of the main links 23a and 23b connecting the transport tables 24a and 24b has a transport table for keeping the transport tables 24a and 24b always at right angles to the axis of the rotating members 20a and 20b. A posture holding mechanism is provided.
【0026】この搬送台姿勢保持機構はスカラ型ロボッ
トと同様のプーリとベルトを用いた構成となっている。
すなわち、図7・図8に示すように、各主アーム21
a,21bと各主リンク23a,23bとを回転自在に
連結する支軸25aは主アーム21a,21bに固着さ
れ、主リンク23a,23bに対して回転自在になって
いる。そしてこの支軸25aの主リンク23a,23b
側に直径がD1の第1のプーリ26aが固着されてい
る。また、各主リンク23a,23bと各搬送台24
a,24bとを回転自在に連結する支軸25bは搬送台
24a,24bに固着され、主リンク23a,23bに
対して回転自在になっている。そしてこの支軸25bの
主リンク23a,23b側に直径D2の第2のプーリ2
6bが固着されている。第1・第2のプーリ26a,2
6bの直径D1,D2の関係は〔D1:D2=1:2〕
となっており、この両プーリ26a,26bにベルト
(タイミングベルト)27が巻き掛けてある。This transfer table attitude holding mechanism uses a pulley and a belt similar to the SCARA type robot.
That is, as shown in FIGS.
A support shaft 25a rotatably connecting the main links 23a and 23b to the main links 23a and 23b is fixed to the main arms 21a and 21b, and is rotatable with respect to the main links 23a and 23b. The main links 23a and 23b of the support shaft 25a
Diameter side is fixed the first pulley 26a of the D 1. In addition, each main link 23a, 23b and each carrier 24
A support shaft 25b rotatably connecting the first and second a and 24b is fixed to the carriages 24a and 24b, and is rotatable with respect to the main links 23a and 23b. Then, the main link 23a of the support shaft 25b, a second pulley having a diameter D 2 on the 23b side 2
6b is fixed. First and second pulleys 26a, 2
The relationship between the diameters D 1 and D 2 of 6b is [D 1 : D 2 = 1: 2]
A belt (timing belt) 27 is wound around the pulleys 26a and 26b.
【0027】上記構成の主アーム21a,21b、主リ
ンク23a,23b、搬送台24a,24bでは、主ア
ーム21a,21bに対して主リンク23a,23bが
回転したときに第1のプーリ26aは主アーム21a,
21bに固着されていることにより、ベルト27の位相
がずれる。そしてこのベルト27の位相のずれが第2の
プーリ26bに1/2に減速されて伝えられ、このプー
リ26bの回転角だけ、すなわち主アーム21a,21
bに対する主リンク23a,23bの回転角の1/2倍
の回転角で搬送台24a,24bが主リンク23a,2
3bに対して逆方向に回転される。このとき、主アーム
21a,21bと主リンク23a,23bとは同長(L
1)で、搬送台24a,24bは、主アーム21a,2
1bと主リンク23a,23bで構成される2等辺三角
形の底辺に沿って移動することにより、各搬送台24
a,24bは一定の姿勢を保持して移動される。このと
きの搬送台24a,24bの姿勢はプーリとベルトの巻
き掛け角度によりあらかじめ設定される。In the main arms 21a and 21b, the main links 23a and 23b, and the transfer tables 24a and 24b, the first pulley 26a rotates when the main links 23a and 23b rotate with respect to the main arms 21a and 21b. Arm 21a,
By being fixed to 21b, the phase of the belt 27 is shifted. The phase shift of the belt 27 is transmitted to the second pulley 26b at a reduced speed of 1/2, and is transmitted only by the rotation angle of the pulley 26b, that is, the main arms 21a, 21a.
The carriages 24a and 24b rotate the main links 23a and 24b at a rotation angle that is half the rotation angle of the main links 23a and 23b with respect to the main links 23a and 23b.
3b is rotated in the opposite direction. At this time, the main arms 21a and 21b and the main links 23a and 23b have the same length (L
In 1 ), the transfer tables 24a, 24b are connected to the main arms 21a, 2a.
By moving along the base of an isosceles triangle constituted by 1b and main links 23a and 23b, each carrier 24
a and 24b are moved while maintaining a fixed posture. At this time, the postures of the transfer tables 24a and 24b are set in advance by the winding angle of the pulley and the belt.
【0028】一方上記第1・第2の各補助アーム22
a,22bの長さL2の先端部に同一長さL3の第1・
第2の補助リンク28a,28bの一端が回転自在に連
結されている。そしてこの第1・第2の補助リンク28
a,28bのうち、第1の補助リンク28aの他端が第
2の主リンク23bの中間部(先端寄り)の下側に、ま
た第2の補助リンク28bの他端が第1の主リンク23
aの中間部(先端寄り)の下側にそれぞれ回転自在に連
結されている。この連結点は上記ベルト27の内側でこ
れと干渉しないようになっている。またこの連結点はそ
れぞれの主リンク23a,23bの長さ方向に同一位置
にしてある。第2の補助リンク28bは第2の搬送台2
4bの下側に位置されている。On the other hand, the first and second auxiliary arms 22
a, first-identical length L 3 to the tip portion of the length L 2 of the 22b
One ends of the second auxiliary links 28a and 28b are rotatably connected. The first and second auxiliary links 28
a and 28b, the other end of the first auxiliary link 28a is below the intermediate portion (closer to the tip) of the second main link 23b, and the other end of the second auxiliary link 28b is the first main link. 23
The lower part (a) is rotatably connected to the lower side of the middle part (near the front end). This connection point does not interfere with the inside of the belt 27. The connection points are located at the same position in the length direction of each of the main links 23a and 23b. The second auxiliary link 28b is connected to the second carrier 2
4b.
【0029】上記構成により、第1の主アーム21a、
第1の主リンク23a、第2の補助アーム22b、第2
の補助リンク28b、第1の搬送台24aにより第1の
ロボットリンク機構C1が構成され、また、第2の主ア
ーム21b、第2の主リンク23b、第1の補助アーム
22a、第1の補助リンク28a、第2の搬送台24b
により第2のロボットリンク機構C2が構成されてい
る。With the above configuration, the first main arm 21a,
The first main link 23a, the second auxiliary arm 22b, the second
The first auxiliary link 28b and the first transfer table 24a constitute a first robot link mechanism C1, and the second main arm 21b, the second main link 23b, the first auxiliary arm 22a, the first Auxiliary link 28a, second carrier 24b
Second robot link mechanism C 2 is constituted by.
【0030】両ロボットリンク機構C1,C2におい
て、各搬送台24a,24bと各主リンク23a,23
bの連結点を01,02としたときに、この連結点にお
ける搬送台24a,24bは各主リンク23a,23b
の上側に位置されていると共に、第1の主リンク23a
に連結される第2の補助リンク28bが第2の搬送台2
4bの下側に位置されていることにより、各搬送台24
a,24bは全てのリンク機構に干渉しない上側に位置
されている。In each of the robot link mechanisms C 1 and C 2 , each carrier 24 a, 24 b and each main link 23 a, 23
Assuming that the connection points of b are 0 1 and 0 2 , the carriages 24 a and 24 b at these connection points are connected to the main links 23 a and 23 b respectively.
And the first main link 23a
The second auxiliary link 28b connected to the second carriage 2
4b, each transport table 24
a and 24b are located on the upper side so as not to interfere with all the link mechanisms.
【0031】次に第1の実施の形態における作用を図1
0から図15を参照して説明する。図10と図13は両
搬送台24a,24bが搬送用ロボットA1の回転中心
O側へ没入動された待機状態を、また図12、図15は
それぞれの搬送台24a,24bの一方の突出動状態を
示す。なお、上記図10、図13は図7に示した状態と
同じである。図中1はトランスファチャンバ、6はゲー
トである。Next, the operation of the first embodiment will be described with reference to FIG.
Description will be made with reference to FIG. Figures 10 and 13 also a standby state both transport boards 24a, 24b is moved backwardly to the rotational center O side of the transfer robot A 1, 12, 15 each carrying table 24a, one projection of the 24b Indicates a moving state. 10 and 13 are the same as those shown in FIG. In the figure, 1 is a transfer chamber, and 6 is a gate.
【0032】図10から図12は第1の搬送台24aを
1つのゲートに向けて突出動するためのロボットリンク
機構C1,C2の動作を示す。待機状態から第1の回転
部材20aを、第1の主アーム21aに連結した第1の
主リンク23aが第1の搬送台24aの突出方向に移動
するようにβ1だけ回転し、これと同時に、第2の回転
部材20bを、上記第1の回転部材20aと逆方向にβ
2だけ回転させる。FIGS. 10 to 12 show the operation of the robot link mechanisms C 1 and C 2 for projecting the first transfer table 24a toward one gate. The first rotating member 20a from the standby state, rotates the first main link 23a coupled to the first main arm 21a only beta 1 so as to move in the protruding direction of the first transport platform 24a, at the same time , The second rotating member 20b is moved in the opposite direction to the first rotating member 20a by β.
Rotate by two .
【0033】両回転部材20a,20bの上記回転によ
り、第1の搬送台24aに連結した第1の主リンク23
aは、第1の主アーム21aと、第2の補助アーム22
b、第2の補助リンク28bに押されて突出方向に回転
され、これの先端部に連結された第1の搬送台24a
が、図10に示した待機状態から突出動される。このと
きの両回転部材20a,20bの回転角β1,β2は、
第1の搬送台24aの連結点01の移動軌跡が搬送用ロ
ボットA1の回転中心0から放射方向に直線状になるよ
うに両回転部材20a,20bの回転角及び回転速度を
制御することにより得られる。これにより第1の搬送台
24aは直線状に突出動してゲート6を通ってプロセス
チャンバステーション内に突入される。搬送台24a,
24bの突出方向の選定は、両回転部材20a,20b
を一体状に同一方向に回転することにより行われる。The first main link 23 connected to the first carrier 24a is driven by the rotation of the rotary members 20a and 20b.
a is a first main arm 21a and a second auxiliary arm 22
b, the first carrier 24a, which is pushed by the second auxiliary link 28b and is rotated in the protruding direction, and is connected to the distal end thereof.
Is moved out of the standby state shown in FIG. At this time, the rotation angles β 1 and β 2 of the two rotation members 20a and 20b are
The movement locus of the connecting point 0 1 of the first transport platform 24a controls the rotation angle and rotation speed of the two rotary members 20a, 20b so as to be linearly radially from the rotational center 0 of the transfer robot A 1 Is obtained by As a result, the first transfer table 24a protrudes linearly and moves through the gate 6 into the process chamber station. Transfer table 24a,
The selection of the projecting direction of the 24b is performed by selecting the two rotating members 20a and 20b.
Are integrally rotated in the same direction.
【0034】このとき、第2のロボットリンク機構C2
の第2の主リンク23bは第1の補助リンク28aによ
り内側へ引き込まれることにより第2の搬送台24b
は、図11に示すように待機状態から少し没入方向に移
動し、その後第1の搬送台24aの突出動終端状態では
図12に示すように再び元の待機状態付近にまで突出動
される。このように、第1のロボットリンク機構C1の
突出動作時には、第2のロボットリンク機構C2の搬送
台24bは待機位置より一旦没入動作をしてから再び元
の待機状態付近まで再突出動される。At this time, the second robot link mechanism C 2
The second main link 23b is pulled inward by the first auxiliary link 28a, so that the second transport table 24b
Moves slightly from the standby state in the direction of immersion as shown in FIG. 11, and then, when the first transfer table 24a is in the protruding end state, it is protruded again to the vicinity of the original standby state as shown in FIG. As described above, at the time of the projecting operation of the first robot link mechanism C1, the transfer table 24b of the second robot link mechanism C2 once performs the immersion operation from the standby position and then moves again to the vicinity of the original standby state. Is done.
【0035】図13から図15は第2の搬送台24bを
1つのゲートに向けて突出動するためのロボットリンク
機構C1,C2の動作を示す。待機状態から第2の回転
部材20bを、第2の主アーム21bに連結された第2
の主リンク23bが第2の搬送台24bの突出方向に移
動するようにβ2′だけ回転し、これと同時に、第1の
回転部材20aを、上記の第2の回転部材20bと同一
方向にβ1′だけ回転させる。FIGS. 13 to 15 show the operation of the robot link mechanisms C 1 and C 2 for projecting the second transfer table 24b toward one gate. From the standby state, the second rotating member 20b is moved from the second main arm 21b to the second rotating member 20b.
Is rotated by β 2 ′ so that the main link 23b moves in the projecting direction of the second transfer table 24b, and at the same time, the first rotating member 20a is moved in the same direction as the second rotating member 20b. Rotate by β 1 ′.
【0036】両回転部材20a,20bの同一方向への
β1′,β2′の回転により、図14、図15に示すよ
うに、第2の搬送台24bを連結した第2の主リンク2
3bは、第2の主アーム21bと、第1の補助アーム2
2a、第1の補助リンク28aに押されて突出方向に回
転され、これの先端部に連結された第2の搬送台24b
が、図13に示した待機状態から突出動される。このと
きの両回転部材20a,20bの回転角β1′,β2′
は、第2の搬送台24bの連結点02の移動軌跡が搬送
用ロボットA1の回転中心0から放射方向に直線状にな
るように回転部材20a,20bの回転角及び回転速度
を制御することにより得られる。これにより第2の搬送
台24bは直線状に突出動してゲート6を通ってプロセ
スチャンバステーション内へ突入される。The rotation of β 1 ′ and β 2 ′ in the same direction of the rotating members 20a and 20b causes the second main link 2 connecting the second transfer table 24b as shown in FIGS.
3b includes a second main arm 21b and a first auxiliary arm 2b.
2a, the second carrier 24b is pushed by the first auxiliary link 28a and rotated in the protruding direction, and is connected to the distal end thereof.
Is protruded from the standby state shown in FIG. At this time, the rotation angles β 1 ′, β 2 ′ of the two rotation members 20 a, 20 b
The movement locus of the connecting point 0 2 of the second transfer stage 24b controls the rotation angle and rotation speed of the rotating member 20a, 20b so as to be linearly radially from the rotational center 0 of the transfer robot A 1 It can be obtained by: As a result, the second transfer table 24b protrudes linearly and moves through the gate 6 into the process chamber station.
【0037】上記両搬送台24a,24bの一方の突出
動、及びこれに伴う他方の没入動において、両搬送台2
4a,24b及びリンク機構は互いに干渉することな
く、またこの各搬送台24a,24bの上方をロボット
リンク機構を構成するリンクが通ることがない。従っ
て、この各搬送台24a,24b上に載置したワークW
1,W2の上面に塵が落下付着する恐れがない。またこ
の実施の形態では第1・第2の各ロボットリンク機構C
1,C2はそれぞれ第1・第2の回転部材20a,20
bを駆動する2つの駆動源の共動により動作されるの
で、両駆動源の負荷は略等しくなる。In one protruding movement of the two carriages 24a and 24b and the other immersion movement accompanying the same, the two carriages
The links 4a, 24b and the link mechanism do not interfere with each other, and the link constituting the robot link mechanism does not pass above each of the transfer tables 24a, 24b. Therefore, the work W placed on each of the transfer tables 24a and 24b
1, the dust on the upper surface of the W 2 there is no risk of falling adhesion. In this embodiment, the first and second robot link mechanisms C
1 and C 2 are the first and second rotating members 20 a and 20, respectively.
Since the two driving sources for driving b are operated in cooperation with each other, the loads of the two driving sources are substantially equal.
【0038】なおこの第1の実施の形態では、搬送台2
4a,24bの姿勢を保持するための搬送台姿勢保持機
構をプーリとベルトによるスカラ型を用いたが、図10
から図15に示すように、第1のロボットリンク機構C
1を動作させる第1の主リンク23aと第2の補助リン
ク28bの搬送台24aに対する作動角が略同一である
ことに注目し、この第1のロボットリンク機構C1の搬
送台姿勢保持機構に、図3で示した歯車を用いたフロッ
グレッグ型のものを用いてもよい。In the first embodiment, the transfer table 2
Although a scalar type using a pulley and a belt is used as a carriage holding mechanism for holding the postures of 4a and 24b, FIG.
As shown in FIG. 15, the first robot link mechanism C
Noted that operating angle relative to the first main link 23a and conveying platform 24a of the second auxiliary link 28b for operating a 1 are substantially the same, to the first carrier table posture maintaining mechanism of the robot link mechanism C 1 A frog-leg type using the gears shown in FIG. 3 may be used.
【0039】図16は本発明の第2の実施の形態を示
す。この実施の形態は図7に示した第1の実施の形態に
おける第2のロボットリンク機構C2のリンク機構の第
1の補助アーム22aを省略し、主リンク23bに連結
する補助リンク28aの他端を第1のロボットリンク機
構C1の主アーム21aに連結した構成となっており、
また補助リンク28a,28bの連結点を主アーム21
a及び主リンク23a,23bの側方へ突設した突出部
に設けて、この連結点をオフセットした構成となってい
る。FIG. 16 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the first auxiliary arm 22a of the link mechanism of the second robot link mechanism C2 in the first embodiment shown in FIG. 7 is omitted, and other than the auxiliary link 28a connected to the main link 23b. The end is connected to the main arm 21a of the first robot link mechanism C1,
The connection point of the auxiliary links 28a and 28b is
a and the main links 23a and 23b are provided on the protruding portions protruding to the side, and the connection points are offset.
【0040】すなわち、図16において、第1のロボッ
トリンク機構D1の搬送台24aは、軸方向上側に位置
する第1の回転部材20aに固着した主アーム31aに
一端を連結した主リンク33aの先端に搬送台姿勢保持
機構を介して連結されている。また主リンク33aの中
間部に、軸方向下側に位置する第2の回転部材20bに
固着した補助アーム32bに一端を連結した補助リンク
38bの先端が連結されている。この主リンク33aと
補助リンク38bとの連結点は、主リンク33aの側方
へ突設したブラケット39aに設けてある。この構成は
基本的には図7で示す第1のロボットリンク機構C1と
同じである。That is, in FIG. 16, the transfer table 24a of the first robot link mechanism D1 has a main link 33a having one end connected to a main arm 31a fixed to the first rotating member 20a positioned on the upper side in the axial direction. It is connected to the leading end via a carriage stand holding mechanism. A distal end of an auxiliary link 38b having one end connected to an auxiliary arm 32b fixed to an axially lower second rotating member 20b is connected to an intermediate portion of the main link 33a. The connection point between the main link 33a and the auxiliary link 38b is provided on a bracket 39a protruding laterally of the main link 33a. This configuration is basically the same as the first robotic link mechanism C 1 shown in FIG.
【0041】一方第2のロボットリンク機構D2の搬送
台24bは、軸方向下側に位置する第2の回転部材20
bに固着した主アーム31bに一端を連結した主リンク
33bの先端に搬送台姿勢保持機構を介して連結されて
いる。そしてこれの主リンク33bの中間部に連結され
る補助リンク38aの他端は上記第1のロボットリンク
機構D1の主アーム31aの中間部に連結されている。
この補助リンク38aの両端の連結点は、主リンク33
b、主アーム31aのそれぞれの側方へ突設したブラケ
ット39b,39cに設けてある。On the other hand, the transfer table 24b of the second robot link mechanism D2 is connected to the second rotating member 20 located on the lower side in the axial direction.
The main link 31b is connected to a leading end of a main link 33b, one end of which is connected to a main arm 31b fixed to the main arm 31b, via a carrier stand attitude holding mechanism. The other end of the auxiliary link 38a connected to the intermediate portion of the main link 33b is connected to the intermediate portion of the main arm 31a of the first robot link mechanism D1.
The connection points at both ends of the auxiliary link 38a are
b, provided on brackets 39b, 39c protruding to the respective sides of the main arm 31a.
【0042】この第2の実施の形態における作用は上記
第1の実施の形態と同様であり、図16において、第1
の主アーム31aが右方向に、また第2の補助アーム3
2bが左方向にそれぞれ回転するように第1・第2の回
転部材20a,20bを回転することにより、第1のロ
ボットリンク機構D1の搬送台24aが突出動される。The operation of the second embodiment is similar to that of the first embodiment.
Main arm 31a moves rightward and the second auxiliary arm 3
By rotating the first and second rotating members 20a and 20b such that the second rotating member 2b rotates leftward, the transfer table 24a of the first robot link mechanism D1 is protruded.
【0043】また第1と第2の主アーム31a,31b
のそれぞれが左方向に回転するように第1・第2の回転
部材20a,20bを同一方向に回転することにより、
第2のロボットリンク機構D2の搬送台24bが突出動
される。The first and second main arms 31a, 31b
By rotating the first and second rotating members 20a and 20b in the same direction so that each of them rotates leftward,
Second transport table 24b robotic link mechanism D 2 is projected movement.
【0044】この第2の実施の形態にあっては、第2の
ロボットリンク機構D2の補助リンク38aが第1のロ
ボットリンク機構D1の主アーム31aに連結されてい
て、第1の実施の形態における第1の補助アーム22a
が省略されていることにより、その分部品点数を少なく
できる。[0044] The In the second embodiment, the second auxiliary link 38a of the robot link mechanism D 2 is being connected to the first main arm 31a of the robot link mechanism D 1, the first embodiment Auxiliary arm 22a in the form of
Is omitted, the number of parts can be reduced accordingly.
【0045】また、第1・第2の主リンク33a,33
bにおける補助リンク38a,38bの連結点が各主リ
ンク33a,33bの側方へオフセットされていること
により、この連結機構が各主リンク33a,33b内を
通る搬送台姿勢保持機構のベルトの邪魔にならない。The first and second main links 33a, 33
b, the connecting point of the auxiliary links 38a, 38b is offset to the side of each of the main links 33a, 33b, so that this connecting mechanism obstructs the belt of the carriage position holding mechanism passing through each of the main links 33a, 33b. do not become.
【0046】図17は本発明の第3の実施の形態を示
す。この実施の形態の第1・第2のロボットリンク機構
E1,E2は図7にて示した第1の実施の形態における
第2のロボットリンク機構C2と略同一となっている。FIG. 17 shows a third embodiment of the present invention. The first and second robot link mechanisms E 1 and E 2 of this embodiment are substantially the same as the second robot link mechanism C 2 of the first embodiment shown in FIG.
【0047】すなわち、第2のロボットリンク機構E2
は第1の実施の形態における第2のロボットリンク機構
C2と同じ構成になっており、第2(下側)の回転部材
20bに固着した第2の主アーム41b、この主アーム
41bに一端を連結し、他端に搬送台24bを連結した
第2の主リンク43b、第1(上側)の回転部材20a
に固着した第1の補助アーム42a、この補助アーム4
2aに一端を連結し、他端を上記主リンク43bの中間
部に連結した第1の補助リンク48aとからなってい
る。That is, the second robot link mechanism E 2
Has become the same structure as the second robotic link mechanism C 2 in the first embodiment, the second main arms 41b fixed to the rotary member 20b of the second (lower) end to the main arm 41b Main link 43b, the first (upper) rotating member 20a having the other end connected to the transfer table 24b.
The first auxiliary arm 42a fixed to the
The first auxiliary link 48a has one end connected to 2a and the other end connected to an intermediate portion of the main link 43b.
【0048】また第1のロボットリンク機構E1は上記
第2のロボットリンク機構E2に対して回転方向に位相
をずらせてはいるが平面形状で、略同一方向側に配置さ
れていると共に、第2のロボットリンク機構E2と同一
の構成となっている。この第1のロボットリンク機構E
1は第1の回転部材20aに固着した第1の主アーム4
1a、この主アーム41aに一端を連結し、他端に第1
の搬送台24aを連結した第1の主リンク43a、第2
の回転部材20bに固着した第2補助アーム42b、こ
の補助アーム42bに一端を連結し、他端に上記主リン
ク43aの中間部に第2の補助リンク48bとからなっ
ている。[0048] In the first robotic link mechanism E 1 is but is the phase-shifted in the rotational direction relative to the second robotic link mechanism E 2 planar shape is arranged closer to the substantially the same direction, and it has the same construction as the second robotic link mechanism E 2. This first robot link mechanism E
1 is a first main arm 4 fixed to a first rotating member 20a.
1a, one end is connected to the main arm 41a, and
The first main link 43a connecting the transfer tables 24a of the
The second auxiliary arm 42b is fixed to the rotating member 20b, and has one end connected to the auxiliary arm 42b and a second auxiliary link 48b at the other end in the middle of the main link 43a.
【0049】この両ロボットリンク機構E1,E2のう
ち、第2のロボットリンク機構E2は第1の実施の形態
における第2のロボットリンク機構C2と同一の作用を
行う。一方第1のロボットリンク機構E1も、第2の両
ロボットリンク機構E2に対して回転部材20a,20
bの作用が入れかわるだけで、上記第1の実施の形態に
おける第2のロボットリンク機構C2と同じ作用を行
う。Of the two robot link mechanisms E 1 and E 2 , the second robot link mechanism E 2 performs the same operation as the second robot link mechanism C 2 in the first embodiment. While the first robot link mechanism E 1 be the second rotary member 20a for both robotic link mechanism E 2, 20
only the action of b is changed placed, a second same function as robotic link mechanism C 2 in the first embodiment.
【0050】この第3の実施の形態では第1・第2の両
ロボットリンク機構E1,E2を同一の構成部材にて構
成することができ、構成を単純化できる。In the third embodiment, both the first and second robot link mechanisms E 1 and E 2 can be constituted by the same components, and the configuration can be simplified.
【0051】図18から図25は本発明の第4の実施の
形態を示す。この実施の形態は両搬送台24a,24b
の突出動と没入動の各動作を1つのモータにて行い、全
体の回転を他のモータと共動して行うようにしたもので
ある。FIGS. 18 to 25 show a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, the two carriages 24a, 24b
The projecting movement and the immersing movement are performed by one motor, and the entire rotation is performed in coordination with another motor.
【0052】図中61はトランスファチャンバ1のフレ
ーム1a側に一端部を回転自在に支持された長さがL4
の第1のアームであり、この第1のアーム61の他端部
が、第1のアーム61の2倍の長さの第2のアーム62
の長さ方向1/2の部分に回転自在に連結されている。
そして第2のアーム62の第1のアーム61との連結点
から上記L4と同一長さのL5,L6の位置に第3・第
4のアーム63,64の一端が回転自在に連結されてい
る。そしてこの第3・第4のアーム63,64の先端に
第1・第2の搬送台24a,24bが一体状に固着され
ている。In the figure, reference numeral 61 denotes a length L 4 of which one end is rotatably supported on the frame 1 a side of the transfer chamber 1.
And the other end of the first arm 61 is a second arm 62 having a length twice as long as the first arm 61.
Is rotatably connected to a half of the length direction.
One end of each of the third and fourth arms 63 and 64 is rotatably connected to positions L 5 and L 6 having the same length as L 4 from the connection point of the second arm 62 with the first arm 61. Have been. The first and second transfer tables 24a and 24b are integrally fixed to the ends of the third and fourth arms 63 and 64, respectively.
【0053】この実施の形態では第2のアーム62が直
線状になっていること、及びL4=L5=L6であるこ
とにより、第3・第4のアーム63,64を第1のアー
ム61の回転中心を通るように配置することにより、両
搬送台24a,24bの配置角αは90゜になる。そし
て、第1のアーム61を第2のアーム62に対して直交
した姿勢では、第1のアーム61は第3・第4のアーム
63,64に対して45゜の姿勢になり、第2のアーム
62は第1のアーム61の回転中心を頂点とする2等辺
三角形の底辺となる。In this embodiment, since the second arm 62 is linear and L 4 = L 5 = L 6 , the third and fourth arms 63 and 64 are connected to the first arm. By arranging the arm so as to pass through the center of rotation of the arm 61, the arrangement angle α of both the carriages 24a and 24b becomes 90 °. When the first arm 61 is at right angles to the second arm 62, the first arm 61 is at 45 ° with respect to the third and fourth arms 63 and 64, and The arm 62 is the base of an isosceles triangle with the vertex at the center of rotation of the first arm 61.
【0054】第1のアーム61の回転基端には第1のプ
ーリ65が、また第1のアーム61の先端には第2のプ
ーリ66がそれぞれ第1のアーム61に対して回転自在
に支持されており、この間にベルト65aが巻き掛けて
ある。そして第1のプーリ65の径をD1、第2のプー
リ66の径をD2としたときに、D1:D2=1:0.
5となっている。A first pulley 65 is supported at the base end of rotation of the first arm 61, and a second pulley 66 is supported at the tip of the first arm 61 so as to be rotatable with respect to the first arm 61. In the meantime, the belt 65a is wound around. When the diameter of the first pulley 65 is D 1 and the diameter of the second pulley 66 is D 2 , D 1 : D 2 = 1: 0.
It is 5.
【0055】上記第1のプーリ65は第1のアーム61
のボス部61aを貫通してフレーム1a側に支承された
第1の支軸67の先端に固着されている。そしてこの第
1の支軸67の他端部にベルト68aを巻き掛けた旋回
用プーリ69が固着してある。The first pulley 65 is connected to the first arm 61
And is fixed to the tip of a first support shaft 67 supported on the frame 1a side through the boss portion 61a. A turning pulley 69 around which a belt 68a is wound is fixed to the other end of the first support shaft 67.
【0056】第1のアーム61のボス部61aに出没用
のプーリ70が固着されており、このプーリ70にベル
ト68bが巻き掛けてあり、このベルト68bを駆動源
にて走行させることによりプーリ70を介して第1のア
ーム61が回転されるようになっている。A pulley 70 for projection is fixed to the boss portion 61a of the first arm 61, and a belt 68b is wound around the pulley 70. By driving the belt 68b by a driving source, the pulley 70 , The first arm 61 is rotated.
【0057】第1のアーム61の第2のプーリ66は第
1のアーム61に固着された第2の支軸71に回転自在
に支持されている。そして第2のプーリ66のボス部6
6aは第1のアーム61の上方へ突出していて、これに
第2のアーム62が固着されており、第2のアーム62
は第1のアーム61に対して第2のプーリ66と一体状
に回転するようになっている。The second pulley 66 of the first arm 61 is rotatably supported by a second support shaft 71 fixed to the first arm 61. Then, the boss 6 of the second pulley 66
6a protrudes above the first arm 61, to which the second arm 62 is fixed.
Is configured to rotate integrally with the second pulley 66 with respect to the first arm 61.
【0058】第2のプーリ66を回転自在に支承する第
2の支軸71は第1のアーム61に固着されている。そ
してこの支軸71は第2のアーム62内に延長されてい
て、この部分に第3・第4のプーリ72,73が固着し
てある。また第2のアーム62の両端部に回転自在に支
持される第3・第4の支軸74,75に第5・第6のプ
ーリ76,77が固着されており、第3と第5のプーリ
72,76間と、第4と第6のプーリ73,77間のそ
れぞれにベルト78a,78bが巻き掛けられている。
上記第3・第4のプーリ72,73の径は同径のD3、
第5・第6のプーリ76,77の径は同径のD4となっ
ており、D3:D4=1:2となっている。A second support shaft 71 for rotatably supporting the second pulley 66 is fixed to the first arm 61. The support shaft 71 extends into the second arm 62, and third and fourth pulleys 72 and 73 are fixed to this portion. Fifth and sixth pulleys 76 and 77 are fixed to third and fourth support shafts 74 and 75 rotatably supported at both ends of the second arm 62, respectively. Belts 78a and 78b are wound between the pulleys 72 and 76 and between the fourth and sixth pulleys 73 and 77, respectively.
The third and fourth pulleys 72 and 73 have the same diameter D 3 ,
Diameter of the 5-sixth pulley 76, 77 has a D 4 of the same diameter, D 3: D 4 = 1 : has a 2.
【0059】第3・第4の両アーム63,64の長さL
7,L8は同長になっていると共に、その長さL7,L
8は、図18に示すように最没入状態でそれぞれの先端
に固着された搬送台24a,24bが互いに干渉しない
長さになっている。この実施の形態では両搬送台24
a,24bは90゜開いた状態(配置角が90゜)で配
置される。The length L of the third and fourth arms 63 and 64
7 and L 8 have the same length, and their lengths L 7 and L 8
As shown in FIG. 18, reference numeral 8 denotes a length which does not interfere with the transfer tables 24a and 24b fixed to the respective ends in the most submerged state. In this embodiment, both transfer tables 24
a and 24b are arranged in a state of being opened by 90 ° (the arrangement angle is 90 °).
【0060】第2のアーム62は第1のアーム61の上
側に隙間Sをあけて設けてあり、第3のアーム63は第
2のアーム62の下側で、この隙間S内に配置されてい
る。また第4のアーム64は第2のアーム62の上側に
配置されている。上記第3のアーム63は、これの回転
により第2のプーリ66の軸部と干渉するので、これを
防ぐために側方へ湾曲されている。The second arm 62 is provided above the first arm 61 with a gap S therebetween, and the third arm 63 is disposed below and below the second arm 62 in the gap S. I have. Further, the fourth arm 64 is arranged above the second arm 62. Since the third arm 63 interferes with the shaft of the second pulley 66 due to its rotation, the third arm 63 is bent laterally to prevent this.
【0061】また、図19に示した構成では、搬送台2
4a,24bは上下にずれた状態で示したが、図中鎖線
で示すように、第3・第4のアーム63,64を上下に
折り曲げて両搬送台24a,24bを同一のレベルにし
てもよい。この場合、第2のアーム62の端部が搬送台
24a,24bと干渉しないように、この第2のアーム
62の端部を鎖線で示すように切り欠く。In the configuration shown in FIG.
4a and 24b are shown as being displaced up and down, but as shown by the dashed line in the figure, the third and fourth arms 63 and 64 are bent up and down so that the two carriers 24a and 24b are at the same level. Good. In this case, the end of the second arm 62 is cut out as shown by a chain line so that the end of the second arm 62 does not interfere with the transfer tables 24a and 24b.
【0062】第4の実施の形態の作用を図20から図2
5を参照して説明する。図20は図18で示した状態で
両搬送台24a,24bが没入動した待機状態である。
この状態で旋回用のプーリ69を回転しないように固定
した状態で出没用のプーリ70を回転して第1のアーム
61を例えば右方向に回転すると、第1のアーム61の
第2のプーリ66が第1のアーム61の回転角の2倍だ
け左方向に回転し、図21に示すように、この第2のプ
ーリ66と一体になっている第2のアーム62は第1の
アーム61と重なる方向に回転する。The operation of the fourth embodiment will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 20 shows a standby state in which both of the carriages 24a and 24b are immersed in the state shown in FIG.
In this state, when the pulley 70 for emergence is rotated while the pulley 69 for rotation is fixed so as not to rotate, and the first arm 61 is rotated, for example, rightward, the second pulley 66 of the first arm 61 is rotated. Rotates to the left by twice the rotation angle of the first arm 61, and the second arm 62 integrated with the second pulley 66 is connected to the first arm 61 as shown in FIG. Rotate in overlapping directions.
【0063】このとき、第2のアーム62の中間部に位
置する第3・第4のプーリ72,73は第2のアーム6
2に対して相対的に回転し、これの1/2倍の回転角が
ベルト78a,78bを介して第5・第6のプーリ7
6,77に伝わり、これにより第4のアーム64が同一
姿勢を保った状態で突出動され、第3のアーム63が同
一姿勢を保った状態で没入動される。このとき、第1の
アーム61と第2のアーム62及び第3のアーム63の
作用線とが直線状に重なった状態で第3のアーム63が
最も没入動され、従ってこれに固着されている第1の搬
送台24aが最没入状態となる。At this time, the third and fourth pulleys 72 and 73 located at the intermediate portion of the second arm 62
, The rotation angle of which is 1/2 times the rotation angle of the fifth and sixth pulleys 7 via the belts 78a and 78b.
6, 77, whereby the fourth arm 64 is protruded and moved while maintaining the same posture, and the third arm 63 is immersed and moved while maintaining the same posture. At this time, the third arm 63 is most immersed in a state where the action lines of the first arm 61, the second arm 62, and the third arm 63 are linearly overlapped, and thus are fixed to the third arm 63. The first transfer table 24a is in the most immersive state.
【0064】この状態から、第2の搬送台24bをさら
に突出させるために、第1のアーム61を右方向に回転
する。図22はその終端状態を示すもので、第1・第2
のアーム61,62は図20で示した待機状態の姿勢と
対称状態になる。このとき第1のアーム61と第2のア
ーム62との連結部が搬送台24bの突出方向側へ移動
するが、この第3のアーム63は湾曲しているので干渉
しない。From this state, the first arm 61 is rotated clockwise to further protrude the second transfer table 24b. FIG. 22 shows the terminal state, and the first and second states are shown.
Arms 61 and 62 are in a symmetric state with the posture in the standby state shown in FIG. At this time, the connecting portion between the first arm 61 and the second arm 62 moves in the protruding direction side of the carrier 24b, but the third arm 63 does not interfere because it is curved.
【0065】また、上記第2の搬送台24bの突出終端
状態では、第1のアーム61が第2のアーム62と重な
り合う位置からさらに搬送台24bの突出方向に移動す
ることにより、第2のアーム62は再び第3のアーム6
3の作用線からずれて傾斜されることになり、これの傾
斜分だけ第1の搬送台24aは再び突出動される。In the projecting end state of the second transfer table 24b, the first arm 61 is further moved in the direction in which the transfer table 24b protrudes from the position where the first arm 61 overlaps the second arm 62. 62 is the third arm 6 again
As a result, the first transfer table 24a is protruded again by an amount corresponding to the inclination.
【0066】図20に示す待機状態から、今度は第1の
搬送台24aを突出動させるには、この第1の搬送台2
4aを所定の方向へ向けてから突出動を行う。この搬送
台24aの向きの変更は搬送用ロボットの全体を一体状
に回転することによって行う。In order to move the first transfer table 24a from the standby state shown in FIG.
The protruding movement is performed after the 4a is directed in a predetermined direction. The change of the direction of the transfer table 24a is performed by integrally rotating the transfer robot.
【0067】すなわち、旋回用のプーリ69と出没用の
プーリ70を同一方向に同一角度だけ回転することによ
り搬送用ロボットが回転される。そしてこの回転を上記
第1の搬送台24aが所定の方向、例えば上記第2の搬
送台24bの突出方向と同じ方向に向くまで行い、その
後旋回用プーリ69を固定する。That is, the transport robot is rotated by rotating the turning pulley 69 and the retracting pulley 70 in the same direction by the same angle. This rotation is performed until the first transfer table 24a is oriented in a predetermined direction, for example, the same direction as the direction in which the second transfer table 24b projects, and then the turning pulley 69 is fixed.
【0068】この状態で出没用プーリ70を上記の場合
と逆方向の左方向に回転して第1のアーム61を左方向
に回転する。これにより第2のアーム62、第3のアー
ム63は上記の場合と同様の作用を行い、図23、図2
4、図25に示すように第1の搬送台24aは突出動
し、第2の搬送台24bは没入動する。このときも上記
の場合と同様に、没入動する第2の搬送台24bは第1
のアーム61が第4のアーム64と重なった状態で最没
入状態となり、第1のアーム61をさらに第1の搬送台
24aの突出方向へ回転することにより、第2の搬送台
24bは再び少し突出動される。In this state, the retractable pulley 70 is rotated leftward in a direction opposite to the above case, and the first arm 61 is rotated leftward. As a result, the second arm 62 and the third arm 63 perform the same operation as in the above case.
4. As shown in FIG. 25, the first transfer table 24a protrudes and the second transfer table 24b retreats. At this time, similarly to the above case, the second transfer table 24b which is immersed and moved is the first transfer table 24b.
When the first arm 61 is further immersed in the state in which the second arm 24b is overlapped with the fourth arm 64 and the first arm 61 is further rotated in the protruding direction of the first carrier 24a, the second carrier 24b is slightly moved again. It is protruded.
【0069】図18から図25に示した第4の実施の形
態において、第3のアーム63を湾曲して、このアーム
63が第2のアーム62を支持するボス部66aに干渉
しないようにした例を示したが、第3のアーム63がこ
のボス部66aに干渉しない範囲でロボットリンク機構
が作用する場合には図18で鎖線で示したように直線状
にした構成とする。また、第3のアーム63を第2のア
ーム62及び第4のアーム64の上側に位置させること
によりこの第3のアーム63を直線状にすることができ
る。In the fourth embodiment shown in FIGS. 18 to 25, the third arm 63 is curved so that this arm 63 does not interfere with the boss 66a supporting the second arm 62. Although an example is shown, when the robot link mechanism operates within a range in which the third arm 63 does not interfere with the boss portion 66a, the configuration is made linear as shown by a chain line in FIG. Further, by positioning the third arm 63 above the second arm 62 and the fourth arm 64, the third arm 63 can be made linear.
【0070】図26、図27は本発明の第5の実施の形
態を示すもので、これは、上記した第4の実施の形態に
おける第2のアーム62を第1のアーム61との連結点
で、この連結点が谷状になるように折り曲げてV字状に
形成した以外は第4の実施の形態と同一構成になってい
る。従って、第2のアーム以外は第4の実施の形態のも
のと同一符号を付してその作用を説明する。FIGS. 26 and 27 show a fifth embodiment of the present invention. The fifth embodiment is different from the fourth embodiment in that the second arm 62 is connected to the first arm 61 at the connection point. The structure is the same as that of the fourth embodiment except that the connection point is bent so as to form a valley and formed in a V-shape. Therefore, the operation is described with the same reference numerals as those of the fourth embodiment except for the second arm.
【0071】この実施の形態においても、第1のアーム
61の長さがL4である場合には、第2のアーム62a
の第1のアーム61との連結点をa、第2のアーム62
aと第3・第4のアーム63,64との連結点をb,c
としたときに、a−b、a−cの長さL5,L6はL4
=L5=L6になっている。そして第3・第4のアーム
63,64を第1のアーム61の回転中心を通るように
配置することにより、両搬送台24a,24bの配置角
αはα<90゜となる。[0071] Also in this embodiment, if the length of the first arm 61 is L 4 are, the second arm 62a
A is a connection point with the first arm 61, and the second arm 62
a and the connecting points of the third and fourth arms 63 and 64 are b and c
And the lengths L 5 and L 6 of ab and ac are L 4
= It has become L 5 = L 6. By arranging the third and fourth arms 63 and 64 so as to pass through the center of rotation of the first arm 61, the arrangement angle α of both transfer tables 24a and 24b becomes α <90 °.
【0072】図26に示す状態は両搬送台24a,24
bを没入動した待機状態であり、この状態から第1のア
ーム61を図中右方向に回転すると、c点が第4のアー
ム64の配置線に沿って移動し、図27に示すように第
2の搬送台24bが突出動される。一方このときb点は
a点が第3のアーム63の配置線を横切るまでは第1の
アーム61の回転中心から遠ざかる(没入動)が、a点
が第3のアーム63の配置線を横切ってさらに回転する
ことにより、逆に第1のアーム61の回転中心に近づく
(突出動)。従ってこのときの第1の搬送台24aは図
26に示す状態から再び少し没入動してから少し突出動
し、図27に示すように、待機状態からは少し突出動し
た状態となる。The state shown in FIG. 26 corresponds to the two carriages 24a, 24
When the first arm 61 is rotated rightward in the drawing from this state, the point c moves along the arrangement line of the fourth arm 64, as shown in FIG. The second transfer table 24b is protruded. On the other hand, at this time, the point b moves away from the center of rotation of the first arm 61 until the point a crosses the arrangement line of the third arm 63 (immersion movement), but the point a crosses the arrangement line of the third arm 63. Further rotation causes the arm to approach the center of rotation of the first arm 61 (protruding movement). Therefore, at this time, the first transfer table 24a slightly retreats from the state shown in FIG. 26 and then slightly protrudes, and as shown in FIG. 27, slightly protrudes from the standby state.
【0073】図26に示す状態から第1のアーム61を
左方向に回転すると、上記とは逆に、第1の搬送台24
aが突出動し、第2の搬送台24bは図26に示す待機
状態から少し没入動してから再び少し突出動される。When the first arm 61 is rotated leftward from the state shown in FIG. 26, the first transfer table 24
a is protruded and the second transfer table 24b is slightly retracted from the standby state shown in FIG. 26 and then slightly protruded again.
【0074】この実施の形態において、第3・第4のア
ーム63,64の長さを、これらの先端に結合した搬送
台24a,24bが相互に干渉しない長さにしておくこ
とにより、両搬送台24a,24bの突出、没入の各動
作において、この搬送台24a,24bの上方を他の部
材が横切ることはない。In this embodiment, the lengths of the third and fourth arms 63 and 64 are set so that the transfer tables 24a and 24b connected to their distal ends do not interfere with each other. In each operation of projecting and immersing the tables 24a and 24b, no other members cross over the transfer tables 24a and 24b.
【0075】なおこの実施の形態において、アーム6
1,62,63,64の連結部が他の部材と干渉しない
ように構成されている。In this embodiment, the arm 6
The connecting portions of 1, 62, 63, and 64 are configured so as not to interfere with other members.
【0076】図28、図29は本発明の第6の実施の形
態を示すもので、これは上記した第4の実施の形態にお
ける第2のアーム62を上記第5の実施の形態とは逆
に、第1のアーム61との連結点で、この連結点が山状
になるように折り曲げた逆V字状に形成した以外は第4
の実施の形態と同一構成になっている。従って第4の実
施の形態のように、第2のアーム62b以外は第4の実
施の形態のものと同一符号を付して説明する。FIGS. 28 and 29 show a sixth embodiment of the present invention, in which the second arm 62 of the fourth embodiment is reversed from that of the fifth embodiment. The fourth point is that the connection point with the first arm 61 is formed in an inverted V-shape which is bent so that the connection point has a mountain shape.
It has the same configuration as that of the embodiment. Therefore, the same reference numerals as in the fourth embodiment denote the same parts as those in the fourth embodiment, except for the second arm 62b, as in the fourth embodiment.
【0077】この実施の形態においても、第1のアーム
61の長さがL4である場合に、第2のアーム62bの
第1のアーム61との連結点をa、第2のアーム62b
と第3・第4のアーム63,64との連結点をb,cと
したときに、a−b、a−cの長さL5,L6はL4=
L5=L6になっている。そして第3・第4のアーム6
3,64を第1のアーム61の回転中心を通るように配
置することにより、両搬送台24a,24bの配置する
角αはα>90゜となる。[0077] Also in this embodiment, if the length of the first arm 61 is L 4, the connection point between the first arm 61 of the second arm 62b a, a second arm 62b
When the point of attachment to the third and fourth arms 63, 64 b, when a c, a-b, the length of the a-c L 5, L 6 is L 4 =
It has become L 5 = L 6. And the third and fourth arms 6
By arranging 3, 64 so as to pass through the rotation center of the first arm 61, the angle α at which the two transfer tables 24a and 24b are arranged becomes α> 90 °.
【0078】図28に示す状態は両搬送台24a,24
bを没入動した待機状態であり、この状態から第1のア
ーム61を図中右方向に回転すると、c点が第4のアー
ム64の配置線に沿って移動し、図29に示すように第
2の搬送台24bが突出動される。一方このときb点は
a点が第3のアーム63の配置線を横切るまでは第1の
アーム61の回転中心から遠ざかる(没入動)が、a点
が第3のアーム63の配置線を横切ってさらに回転する
ことにより、逆に第1のアーム61の回転中心に近づく
(突出動)。従ってこのときの第1の搬送台24aは図
28に示す状態から再び少し没入動してから少し突出動
し、図31に示すように、待機状態からは少し没入動し
た状態となる。The state shown in FIG. 28 corresponds to the two carriages 24a, 24
When the first arm 61 is rotated rightward in the drawing from this state, the point c moves along the arrangement line of the fourth arm 64, as shown in FIG. The second transfer table 24b is protruded. On the other hand, at this time, the point b moves away from the center of rotation of the first arm 61 until the point a crosses the arrangement line of the third arm 63 (immersion movement), but the point a crosses the arrangement line of the third arm 63. Further rotation causes the arm to approach the center of rotation of the first arm 61 (protruding movement). Therefore, at this time, the first transfer table 24a slightly retreats from the state shown in FIG. 28 and then slightly protrudes, and as shown in FIG. 31, the first transfer table 24a is slightly retracted from the standby state.
【0079】図28に示す状態から第1のアーム61を
左方向に回転すると、上記とは逆に、第1の搬送台24
aが突出動し、第2の搬送台24bは少し没入動してか
ら再び少し突出動される。When the first arm 61 is rotated leftward from the state shown in FIG. 28, the first transfer table 24
a protrudes, the second carrier 24b is slightly immersed and then slightly protruded again.
【0080】この実施の形態においても、第3・第4の
アーム63,64の長さを、これらの先端に結合した搬
送台24a,24bが相互に干渉しない長さにしておく
ことにより、両搬送台24a,24bの突出、没入の各
動作において、この搬送台24a,24bの上方を他の
部材が横切ることはない。Also in this embodiment, the lengths of the third and fourth arms 63 and 64 are set so that the transfer tables 24a and 24b connected to their ends do not interfere with each other. In each of the operations of projecting and immersing the carriages 24a, 24b, no other members cross over the carriages 24a, 24b.
【0081】なおこの実施の形態においても、アーム6
1,62b,63,64の連結部が他の部材と干渉しな
いように構成されている。In this embodiment, the arm 6
The connecting portions 1, 62b, 63, 64 are configured so as not to interfere with other members.
【図1】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing apparatus which is an example of a multi-chamber type manufacturing apparatus.
【図2】トランスファチャンバと従来の搬送用ロボット
の関係を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a relationship between a transfer chamber and a conventional transfer robot.
【図3】従来装置における搬送台姿勢保持機構を示す説
明図である。FIG. 3 is an explanatory view showing a carriage attitude holding mechanism in a conventional apparatus.
【図4】従来の搬送用ロボットの作用説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an operation of a conventional transfer robot.
【図5】従来の搬送用ロボットの作用説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an operation of a conventional transfer robot.
【図6】従来の搬送用ロボットの作用説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory view of a conventional transfer robot.
【図7】本発明の第1の実施の形態を示す平面図であ
る。FIG. 7 is a plan view showing the first embodiment of the present invention.
【図8】本発明の第1の実施の形態を示す一部破断正面
図である。FIG. 8 is a partially cutaway front view showing the first embodiment of the present invention.
【図9】本発明の第1の実施の形態を模式的に示す分解
斜視図である。FIG. 9 is an exploded perspective view schematically showing the first embodiment of the present invention.
【図10】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 11 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment of the present invention.
【図12】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 12 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment of the present invention.
【図13】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 13 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment of the present invention.
【図14】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 14 is an operation explanatory diagram according to the first embodiment of the present invention.
【図15】本発明の第1の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 15 is an operation explanatory view in the first embodiment of the present invention.
【図16】本発明の第2の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 16 is a plan view schematically showing a second embodiment of the present invention.
【図17】本発明の第3の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 17 is a plan view schematically showing a third embodiment of the present invention.
【図18】本発明の第4の実施の形態を概略的に示す斜
視図である。FIG. 18 is a perspective view schematically showing a fourth embodiment of the present invention.
【図19】本発明の第4の実施の形態の構成を概略的に
示す断面図である。FIG. 19 is a sectional view schematically showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention.
【図20】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 20 is an operation explanatory view according to the fourth embodiment of the present invention.
【図21】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 21 is an operation explanatory view of the fourth embodiment of the present invention.
【図22】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 22 is an explanatory diagram of an operation in the fourth embodiment of the present invention.
【図23】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 23 is an operation explanatory view according to the fourth embodiment of the present invention.
【図24】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 24 is an operation explanatory view in the fourth embodiment of the present invention.
【図25】本発明の第4の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 25 is an operation explanatory view in the fourth embodiment of the present invention.
【図26】本発明の第5の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 26 is a plan view schematically showing a fifth embodiment of the present invention.
【図27】本発明の第5の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 27 is an operation explanatory view of the fifth embodiment of the present invention.
【図28】本発明の第6の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 28 is a plan view schematically showing a sixth embodiment of the present invention.
【図29】本発明の第6の実施の形態における作用説明
図である。FIG. 29 is an explanatory diagram of an operation in the sixth embodiment of the present invention.
1…トランスファチャンバ 2a,2b,2c,2d,2e…プロセスチャンバステ
ーション 3,4…ワーク受け渡しステーション 5…仕切り壁 6…ゲート 7…搬送台姿勢保持機構 7a,7b…歯車 8a,8b,24a,24b…搬送台 9a,9b…リング状ボス 10a〜10d…アーム 11a〜11d…リンク 20a,20b…回転部材 21a,21b,31a,31b,41a,41b,5
1b…主アーム 22a,22b,32b,42a,42b,52b…補
助アーム 23a,23b,33a,33b,43a,43b,5
3b…主リンク 25a,25b,55a,67,71,74,75…支
軸 26a,26b,65,66,69,70,72,7
3,76,77…プーリ 27,65a,68a,68b,78a,78b…ベル
ト 28a,28b,38a,38b,48a,48b,5
8a…補助リンク 39a,39b,39c…ブラケット 56a,56b…歯車 57a,57b…レバー 57c…リンク 61…第1アーム 61a,66a…ボス部 62,62a,62b…第2アーム 63…第3アーム 64…第4のアーム A1,A2…搬送用ロボット B1,B2,C1,C2,D1,D2,E1,E2…ロ
ボットリンク機構 W1,W2…ワークDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transfer chamber 2a, 2b, 2c, 2d, 2e ... Process chamber station 3,4 ... Work transfer station 5 ... Partition wall 6 ... Gate 7 ... Transfer stand attitude holding mechanism 7a, 7b ... Gears 8a, 8b, 24a, 24b ... Transfer tables 9a, 9b ... Ring-shaped bosses 10a-10d ... Arms 11a-11d ... Links 20a, 20b ... Rotating members 21a, 21b, 31a, 31b, 41a, 41b, 5
1b: Main arm 22a, 22b, 32b, 42a, 42b, 52b: Auxiliary arm 23a, 23b, 33a, 33b, 43a, 43b, 5
3b: Main link 25a, 25b, 55a, 67, 71, 74, 75: Support shaft 26a, 26b, 65, 66, 69, 70, 72, 7
3, 76, 77 ... pulleys 27, 65a, 68a, 68b, 78a, 78b ... belts 28a, 28b, 38a, 38b, 48a, 48b, 5
8a ... Auxiliary link 39a, 39b, 39c ... Bracket 56a, 56b ... Gear 57a, 57b ... Lever 57c ... Link 61 ... First arm 61a, 66a ... Boss part 62, 62a, 62b ... Second arm 63 ... Third arm 64 ... fourth arm a 1, a 2 ... transfer robot B 1, B 2, C 1 , C 2, D 1, D 2, E 1, E 2 ... robot linkage W 1, W 2 ... work
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 正暢 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 徳田 峰男 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masanobu Seki 1200 Manda, Manda, Hiratsuka-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Komatsu Seisakusho Laboratories (72) Inventor Mineo Tokuda 1200, Manda, Hiratsuka-shi, Kanagawa Pref.
Claims (4)
た複数の回転部材と、 1つの回転部材に設けたリンク機構と他の回転部材に設
けたリンク機構とを連結すると共に、搬送台を連結し、
各回転部材の回転により、各搬送台が回転部材の軸直角
方向に交互に出没動するようにした複数のロボットリン
ク機構とからなり、 少なくとも一方のロボットリンク機構の搬送台が突出動
したときに、他方のロボットリンク機構の搬送台が、両
搬送台が没入動した待機状態からさらに没入動してから
再び突出動するようにし、 また、この各搬送台の出没動時に、各搬送台の上方に他
の搬送台及びリンク機構が通過しないようにしたことを
特徴とする搬送用ロボット。1. A plurality of concentrically provided rotating members which are displaced in the vertical direction, a link mechanism provided on one rotating member and a link mechanism provided on another rotating member are connected, and a transfer table is provided. Concatenate,
A plurality of robot linkages are arranged so that each carriage moves alternately in the direction perpendicular to the axis of the rotation member by rotation of each rotating member, and when at least one of the robot linkages protrudes and moves, The carriage of the other robot link mechanism is further immersed from the standby state in which both carriages are immersed and moved again and protrudes again. A transfer robot, wherein another transfer table and a link mechanism are not passed through the transfer robot.
た2つの回転部材と、 一方の回転部材に固着された主アームと、この主アーム
の先端部に回転自在に連結された主リンクと、この主リ
ンクに連結した搬送台と、他方の回転部材に固着された
補助アームと、一端をこの補助アームの先端部に他端を
上記主リンクにそれぞれ回転自在に連結した補助リンク
とからなる第1のロボットリンク機構と、 この第1のロボットリンク機構とはそれぞれ逆の回転部
材に主アームと補助アームを固着した上記第1のロボッ
トリンク機構と同一構成の第2のロボットリンク機構と
からなり、 各搬送台相互が上下方向に重複しないようにしたことを
特徴とする搬送用ロボット。2. A main body fixed to one of the rotating members, a main arm fixed to one of the rotating members, and a main link rotatably connected to a distal end portion of the main arm. A transfer table connected to the main link, an auxiliary arm fixed to the other rotating member, and an auxiliary link having one end rotatably connected to the distal end of the auxiliary arm and the other end to the main link. A first robot link mechanism, and a second robot link mechanism having the same configuration as the first robot link mechanism in which a main arm and an auxiliary arm are fixed to rotating members opposite to each other. A transfer robot, wherein each transfer table does not overlap in the vertical direction.
ムの回転部材の中心からの長さと主リンクの長さが同一
であり、また搬送台姿勢保持機構を、主アームに対する
主リンクの回転角に対して搬送台を1/2だけ逆方向に
回転する回転伝達機構にて構成したことを特徴とする請
求項2記載の搬送用ロボット。3. In each robot link mechanism, the length of the main arm from the center of the rotating member and the length of the main link are the same, and the transfer table attitude holding mechanism is provided with respect to the rotation angle of the main link with respect to the main arm. 3. The transfer robot according to claim 2, wherein the transfer table comprises a rotation transmission mechanism that rotates the transfer table in a reverse direction by half.
れた第1のアームと、第2のアームと、先端側に搬送台
を固着した第3・第4のアームとからなり、 第1のアームの先端部に回転部材を回転自在に設け、 第1のアームの上記回転部材を第2のアームの略中間位
置に固着してこの回転部材を介して第2のアームの略中
間点を第1のアームの先端側に回転自在に支持し、 第2のアームの略中間位置に2つのプーリを同心状にし
て回転自在に設け、また両端部にプーリをそれぞれ回転
自在に設けると共に、それぞれ対向するプーリ相互にベ
ルトを巻き掛け、 第2のアームの両端部に設けた一方のプーリに第3のア
ームの基端部を固着し、他方のプーリに第4のアームの
基端部を固着し、各搬送台相互を上下方向に重複しない
ようにし、 上記第1のアームを回転する軸部に1つの駆動源を連結
し、また第1のアームの先端部に設けた第2のアームを
回転する回転部材に、1つの駆動源を連結したことを特
徴とする搬送用ロボット。4. A first arm having a base end rotatably supported on a frame side, a second arm, and third and fourth arms having a transfer table fixed to a distal end side. A rotatable member is rotatably provided at the distal end of one arm, and the rotatable member of the first arm is fixed to a substantially intermediate position of the second arm, and a substantially intermediate point of the second arm is provided via the rotatable member. Is rotatably supported on the distal end side of the first arm, two pulleys are concentrically provided at a substantially intermediate position of the second arm and are rotatably provided, and pulleys are provided rotatably at both ends, respectively. A belt is wound around the pulleys facing each other, the base end of the third arm is fixed to one of the pulleys provided at both ends of the second arm, and the base end of the fourth arm is fixed to the other pulley. Adhere to each other so that they do not overlap each other in the vertical direction. One drive source is connected to a shaft part that rotates one arm, and one drive source is connected to a rotating member that rotates a second arm provided at the tip of the first arm. Transfer robot.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2000
- 2000-01-20 JP JP2000011510A patent/JP2001198866A/en active Pending
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US9272413B2 (en) | 2012-01-31 | 2016-03-01 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Conveying system |
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