JP2001176232A - Magnetic head slider and magnetic disk device - Google Patents

Magnetic head slider and magnetic disk device

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JP2001176232A
JP2001176232A JP35256199A JP35256199A JP2001176232A JP 2001176232 A JP2001176232 A JP 2001176232A JP 35256199 A JP35256199 A JP 35256199A JP 35256199 A JP35256199 A JP 35256199A JP 2001176232 A JP2001176232 A JP 2001176232A
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JP
Japan
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pad
slider
magnetic head
head slider
air
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Application number
JP35256199A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryuji Tsuchiyama
龍司 土山
Kinkoku Jo
鈞国 徐
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease floating variations and the fluctuations in a flying height, to satisfy the floating characteristics at which a floating profile is made constant and to prevent the dust infiltrating between a slider and a medium from being adhered to a recording and reproducing element. SOLUTION: A central pad 14 which can be an air bearing surface is disposed in front of the air inflow direction of an outflow pad 13 mounted with the recording and reproducing element 16, by which head crush damaging a medium surface is prevented and the magnetic head slider excellent in high recording density and high reliability and the magnetic head device may be effectively provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドスライダ
および磁気ディスク装置に係り、特に高記録密度化、高
信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダおよび磁気ディス
ク装置に関する。
The present invention relates to a magnetic head slider and a magnetic disk drive, and more particularly to a magnetic head slider and a magnetic disk drive excellent in high recording density and high reliability.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置において、高記
録密度化に対応した数々の革新的技術の導入が加速され
ている。
2. Description of the Related Art In recent years, the introduction of various innovative technologies corresponding to higher recording density has been accelerated in magnetic disk devices.

【0003】例えば、高感度でディスク小径化に適した
磁気抵抗効果型ヘッド(MRヘッド)に比べて、再生出
力がさらに約3〜5倍と大きい巨大磁気抵抗効果型ヘッ
ド(GMRヘッド)が現在実用化され始めている。ま
た、記憶容量を増大させるために、ディスクの内外周に
おける線記録密度を同じにする方式が採用されている。
For example, a giant magnetoresistive head (GMR head) having a reproduction output that is about 3 to 5 times larger than that of a magnetoresistive head (MR head) which is highly sensitive and suitable for reducing the diameter of a disk is currently available. It is starting to be put to practical use. Further, in order to increase the storage capacity, a method is adopted in which the linear recording densities at the inner and outer circumferences of the disk are the same.

【0004】これらの方式や再生波形が周速に依存しな
いMRヘッドおよびGMRヘッドを実用化するために
は、周速変化に対して浮上量が変化しない浮上特性を満
足させ、浮上プロファイル(ディスク最内周から最外周
までの浮上量の軌跡)が一定となる磁気ヘッドスライダ
が必要となる。
In order to put these systems and MR heads and GMR heads whose reproduced waveforms do not depend on the peripheral speed into practical use, the flying characteristics in which the flying height does not change with changes in the peripheral speed are satisfied, and the flying profile (disk A magnetic head slider having a constant flying height trace from the inner periphery to the outermost periphery is required.

【0005】磁気ディスク装置の高記録密度化の要求に
伴い、ヘッド・ディスクインターフェイスに対する高信
頼性、極微小浮上量化の要求もますます厳しいものとな
ってきている。
[0005] With the demand for higher recording density of magnetic disk drives, demands for higher reliability and extremely small flying height of the head-disk interface have become more and more severe.

【0006】磁気ヘッドスライダ(単にスライダとも言
う)の浮上量は、加工組立公差や振動および気圧、温度
等の環境変化の各要因により変動する。その下限の浮上
量が、スライダと媒体面とが接触を開始する浮上量より
小さくなった場合、スライダは媒体面と間欠接触あるい
は連続接触走行する可能性がある。
[0006] The flying height of a magnetic head slider (also simply referred to as a slider) fluctuates due to various factors such as processing and assembly tolerances, vibrations, and environmental changes such as atmospheric pressure and temperature. If the lower limit of the flying height is smaller than the flying height at which the slider and the medium surface start contacting, the slider may intermittently or continuously contact the medium surface.

【0007】したがって、低浮上量化のためには、上記
要因による浮上バラツキおよび浮上量変動を低減化する
必要があるが、上記要因の中で最も浮上量変動が大きい
要因は、スライダ周辺の気圧変化による浮上量低下であ
る。
Therefore, in order to reduce the flying height, it is necessary to reduce flying variations and flying height fluctuations caused by the above factors. Among the above factors, the largest flying height fluctuations are caused by changes in air pressure around the slider. Is a decrease in flying height.

【0008】そのため、従来の磁気ヘッドスライダで
は、上記要因による浮上バラツキおよび浮上量変動、特
に気圧変化による浮上量低下を低減化するために、負圧
力利用により、空気膜剛性を高くしている。
For this reason, in the conventional magnetic head slider, the air film rigidity is increased by using a negative pressure in order to reduce flying variations and flying height fluctuations due to the above factors, particularly to reduce flying height reduction due to atmospheric pressure change.

【0009】しかし、外部から磁気ディスク装置に入り
込んだり、装置内部から発塵する塵埃が媒体面とスライ
ダとの間に侵入し、その塵埃がスライダ浮上面に付着し
た場合、スライダ姿勢不安定、浮上量低下、浮上量変動
増大、接触頻度が増し、スライダが連続摺動して媒体面
が損傷するヘッドクラッシュが発生する。
However, if dust entering the magnetic disk device from the outside or dust generated from inside the device enters between the medium surface and the slider, and the dust adheres to the slider floating surface, the slider attitude becomes unstable and the slider flies. As a result, a head crash occurs in which the slider is continuously slid and the medium surface is damaged due to a decrease in flying height, an increase in flying height fluctuation, and an increase in contact frequency.

【0010】このヘッドクラッシュに至る最も確率の高
い場合が、空気の流れに沿って移動し、流出端浮上量よ
り微少な塵埃が最小浮上量となる記録再生素子に付着す
ることである。
The most probable case of the head crash is that the dust moves along the flow of air and dust smaller than the floating amount at the outflow end adheres to the recording / reproducing element having the minimum floating amount.

【0011】従来の磁気ヘッドスライダの公知例とし
て、空気流入部から流出部まで延びる一対の細長いスラ
イダレールが浮上面の両側に沿って平行に設けられ、前
記レールの流入部に段差部を介して微小のステップ面を
有する正圧力利用型スライダが知られている。(例え
ば、特開平6−259912号公報参照)これらのレー
ル面とステップ面との高さをそれぞれリセス深さ、ステ
ップ深さとすると、リセス深さは、一対の細長いスライ
ダレールに発生する圧力が、大気圧との差が正になるよ
うに十分大きな値である。
As a well-known example of a conventional magnetic head slider, a pair of elongated slider rails extending from an air inflow portion to an air outflow portion are provided in parallel along both sides of a floating surface, and a step portion is provided at an inflow portion of the rail via a step portion. 2. Description of the Related Art A positive pressure slider having a minute step surface is known. (See, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-259912) If the height of the rail surface and the step surface are respectively a recess depth and a step depth, the recess depth is such that the pressure generated in a pair of elongated slider rails is This is a sufficiently large value so that the difference from the atmospheric pressure becomes positive.

【0012】さらに、前記公知例では、2レールステッ
プスライダの空気流入方向前方に、塵埃を捕獲するため
の捕獲用パッドを設けている。このスライダ浮上面の特
徴として、1本のスライダレールに正圧力ピークがステ
ップ部と流出端近傍の2点あり、計4点の正圧力ピーク
で磁気ヘッドスライダを保持している。
Furthermore, in the above-mentioned known example, a catch pad for catching dust is provided in front of the two-rail step slider in the air inflow direction. As a feature of this slider floating surface, one slider rail has two positive pressure peaks near the step portion and near the outflow end, and the magnetic head slider is held at a total of four positive pressure peaks.

【0013】さらに、塵埃が空気流入口に侵入した場
合、2レールステップスライダの前方に設けているパッ
ドが塵埃を捕獲し、直接スライダ浮上面に塵埃を付着さ
せない構造になっている。
Further, when dust enters the air inlet, a pad provided in front of the two-rail step slider captures the dust and does not directly attach the dust to the slider floating surface.

【0014】しかしながら、前記公知例では、浮上面に
は負圧力は発生していないために、浮上バラツキおよび
浮上量変動は大きくなる。リセス深さを小さくすると、
捕獲用のパッド流出端近傍で負圧力が発生するが、スラ
イダの流入側が下がる浮上姿勢となり、捕獲用のパッド
が浮上特性に悪影響を及ぼす。
However, in the above-mentioned known example, since no negative pressure is generated on the flying surface, the variation in the flying height and the variation in the flying height are large. When the recess depth is reduced,
Negative pressure is generated near the outflow end of the capturing pad, but the flying side of the slider is lowered so that the capturing pad adversely affects the flying characteristics.

【0015】また、他の従来例として、磁気ヘッドスラ
イダの浮上面に、一対のサイドレールが両側に沿って形
成され、空気流入側端部のほぼ全幅にわたって正圧を発
生させる横レール(クロスレール)が形成されているも
のがある。(例えば、特開平10−144026号公報
参照)また、空気流出端に近い側の中央部には、センタ
ーパッドが配設され、このセンターパッドに記録再生素
子が保持されている。さらに、クロスレールの流入端側
に傾斜面あるいはステップ面が形成され、クロスレール
中央部には、クロスレールを分断するスリットが設けら
れている。
As another conventional example, a pair of side rails are formed along the air bearing surface of a magnetic head slider along both sides to generate a positive pressure over substantially the entire width of the air inflow side end (cross rail). ) Are formed. (See, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-144046) A center pad is provided at the center near the air outflow end, and the recording / reproducing element is held on the center pad. Further, an inclined surface or a step surface is formed on the inflow end side of the cross rail, and a slit for dividing the cross rail is provided at the center of the cross rail.

【0016】また、本例には、センターパッドの空気流
入側には、塵埃防御壁が設けられている。しかし、サイ
ドレールの高さをリセス深さとすると、塵埃防御壁の高
さもリセス深さと同等に設定されているため、塵埃防御
壁の流出端近傍で負圧力が発生し、塵埃防御壁が浮上特
性に悪影響を及ぼす。
In the present embodiment, a dust protection wall is provided on the air inflow side of the center pad. However, assuming that the height of the side rail is the recess depth, the height of the dust protection wall is also set to be equal to the recess depth, so a negative pressure is generated near the outflow end of the dust protection wall, and the dust protection wall has a floating characteristic. Adversely affect

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の正圧力利用
型の磁気ヘッドスライダ、例えば特開平6−25991
2号公報記載のものは、浮上面には負圧力は発生してい
ないために、浮上バラツキおよび浮上量変動は大きくな
る。リセス深さを小さくすると、塵埃捕獲用のパッド流
出端近傍で負圧力が発生するが、スライダの流入側が下
がる浮上姿勢となり、塵埃捕獲用のパッドがスライダの
浮上特性に悪影響を及ぼす。
The above-mentioned conventional positive pressure utilizing type magnetic head slider, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-25991.
In the device described in Japanese Patent Publication No. 2, no negative pressure is generated on the air bearing surface, so that the floating variation and the floating amount fluctuation are large. If the recess depth is reduced, a negative pressure is generated near the outflow end of the dust capturing pad, but the slider is in a floating attitude in which the inflow side is lowered, and the dust capturing pad adversely affects the flying characteristics of the slider.

【0018】また、上記従来の負圧力利用型の磁気ヘッ
ドスライダ、例えば特開平10−144026号公報記
載のものは、塵埃防御壁の流出端近傍で負圧力が発生
し、塵埃防御壁が浮上特性に悪影響を及ぼすことにな
り、ヘッド・ディスク・インターフェイスに対する信頼
性に問題が生ずる恐れがある。
In the above-mentioned conventional negative pressure utilizing magnetic head slider, for example, the one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-144026, a negative pressure is generated near the outflow end of the dust protection wall, and the dust protection wall has a floating characteristic. And adversely affect the reliability of the head-disk interface.

【0019】ここで、上記特開平10−144026号
公報に記載された磁気ヘッドスライダについて、図17
を用いて説明する。磁気ヘッドスライダ30は、一対の
サイドレール31が両側に沿って形成され、空気流入側
端部のほぼ全幅にわたって正圧を発生させる横レール
(クロスレール)32が形成されている。
FIG. 17 shows a magnetic head slider described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-144046.
This will be described with reference to FIG. The magnetic head slider 30 has a pair of side rails 31 formed along both sides, and a horizontal rail (cross rail) 32 for generating a positive pressure over substantially the entire width of the air inflow side end.

【0020】また、空気流出端に近い側の中央部には、
センターパッド33が配設され、このセンターパッド3
3に記録再生素子1bが保持されている。クロスレール
32の流入端側に、傾斜面34あるいはステップ面35
が形成されている。稼動時には、サイドレール部で正圧
が発生し、クロスレールの流出端近傍15に負圧が発生
する。負圧力部20はクロスレール中央部に1つ発生す
る。
In the center near the air outflow end,
A center pad 33 is provided.
3 holds a recording / reproducing element 1b. An inclined surface 34 or a step surface 35 is provided on the inflow end side of the cross rail 32.
Are formed. During operation, a positive pressure is generated in the side rail portion, and a negative pressure is generated near the outflow end 15 of the cross rail. One negative pressure portion 20 is generated at the center of the cross rail.

【0021】また、クロスレール中央部には、クロスレ
ールを分断するスリット36が設けられている。そし
て、センターパッド33の空気流入側には、所定間隔を
隔てて半円弧形の凹状の塵埃防御壁37が設けられてい
る。サイドレールの高さをリセス深さとすると、塵埃防
御壁の高さもリセス深さと同等に設定されている。
A slit 36 for dividing the cross rail is provided at the center of the cross rail. On the air inflow side of the center pad 33, a semicircular concave dust protection wall 37 is provided at a predetermined interval. Assuming that the height of the side rail is the recess depth, the height of the dust protection wall is also set to be equal to the recess depth.

【0022】しかしながら、浮上バラツキおよび浮上量
変動をより小さくするためには、リセス深さを浅くし
て、負圧力を大きくする必要があるが、リセス深さを浅
くすると、塵埃防御壁の流出端近傍で負圧力が発生し、
塵埃防御壁が浮上特性に悪影響を及ぼすことになる。
However, it is necessary to reduce the depth of the recess and increase the negative pressure in order to further reduce the variation in the flying height and the variation in the flying height. However, if the depth of the recess is reduced, the outflow end of the dust protection wall is required. Negative pressure is generated in the vicinity,
The dust barrier will adversely affect the flying characteristics.

【0023】本発明の課題は、浮上バラツキおよび浮上
量変動を低減し、浮上プロファイルが一定となる浮上特
性を満足し、かつスライダと記録媒体間に侵入する塵埃
を記録再生素子に付着させないようにすることである。
It is an object of the present invention to reduce flying variations and flying height fluctuations, satisfy flying characteristics in which a flying profile is constant, and prevent dust entering between a slider and a recording medium from adhering to a recording / reproducing element. It is to be.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記課題は、負圧利用型
スライダにおいて、記録再生素子を搭載したパッドの空
気流入方向の前方に、空気軸受面になりうるパッドを設
けることによって解決される。
The above-mentioned object is achieved by providing a pad which can serve as an air bearing surface in the negative pressure type slider in front of the pad on which the recording / reproducing element is mounted in the air inflow direction.

【0025】すなわち、記録再生素子の空気流入側前方
のスライダ浮上面に形成された空気軸受面を有する中央
部パッドと、前記中央部パッドの両側に形成された負圧
部とを備えた。これにより、塵埃捕獲用の中央部パッド
によってスライダ流入側の浮上が保持され、かつ、負圧
部に塵埃を捕集できるので、その後の塵埃の処理が容易
になる。
That is, a central pad having an air bearing surface formed on the slider flying surface in front of the air inflow side of the recording / reproducing element, and negative pressure portions formed on both sides of the central pad are provided. As a result, the floating on the slider inflow side is held by the dust capturing center pad and the dust can be collected by the negative pressure portion, so that the subsequent processing of the dust is facilitated.

【0026】なお、中央部パッドの両側に空気軸受面を
有する2つの両側部パッドを形成し、中央部パッドと両
側部パッドそれぞれとの間に負圧部を形成してもよい。
また、両側部パッドや、スライダ浮上面の両外側に沿っ
て形成されたサイドレール、スライダの空気流出端側に
設置された記録再生素子搭載パッドなどに囲まれた凹部
に、前記記録再生素子搭載パッドの空気流入方向の前方
に、前記中央部パッドを形成し、空気流入時には前記凹
部に2つの負圧力部が発生するようにしても効果があ
る。
It should be noted that two side pads having air bearing surfaces may be formed on both sides of the center pad, and a negative pressure portion may be formed between the center pad and the both side pads.
The recording / reproducing element is mounted in a recess surrounded by pads on both sides, side rails formed along both outer sides of the slider flying surface, and recording / reproducing element mounting pads provided on the air outflow end side of the slider. It is also effective that the central pad is formed in front of the pad in the air inflow direction, so that two negative pressure portions are generated in the concave portion when air flows in.

【0027】また、前記中央部パッドは、空気流入方向
に鋭角を有する3角形の形状にしたり、空気軸受面の空
気流入方向に細長い溝を形成したり、表面エネルギの小
さい材料を表面に付着させたりすると、スライダの振動
の減衰効果によって、浮上量変動を抑制できる。
The central pad may be formed in a triangular shape having an acute angle in the air inflow direction, a long and narrow groove in the air inflow direction of the air bearing surface, or a material having a small surface energy may be adhered to the surface. In this case, the fluctuation of the flying height can be suppressed by the damping effect of the vibration of the slider.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0029】図1に本発明の実施形態1の磁気ヘッドス
ライダの浮上面を示す。
FIG. 1 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 1 of the present invention.

【0030】本実施形態のスライダ1には、空気軸受面
になりうる(すなわち空気軸受面を有する)両側部パッ
ド11(以後、流入パッドと記す)が、流入側に2つ
(一対)形成され、さらに、両側に沿って形成された一
対のサイドレール12と、流出側に形成された1つの空
気軸受面になりうるパッド13(流出パッド)などから
構成される。
In the slider 1 of the present embodiment, two (one pair) two-side pads 11 (hereinafter, referred to as inflow pads) that can be air bearing surfaces (that is, have air bearing surfaces) are formed on the inflow side. Further, it is composed of a pair of side rails 12 formed along both sides and a pad 13 (outflow pad) formed on the outflow side, which can be one air bearing surface.

【0031】また、流出パッド13の流出端に、再生用
MRヘッドのMR素子の露出部と記録用電磁誘導型磁気
ヘッドのギャップ部とから構成する記録再生素子1bが
搭載され、スライダ1の側面に磁気ヘッド1cおよび接
続端子1dが設けられている。
On the outflow end of the outflow pad 13, a recording / reproducing element 1b comprising an exposed portion of the MR element of the reproducing MR head and a gap of the electromagnetic induction type magnetic head for recording is mounted. Is provided with a magnetic head 1c and a connection terminal 1d.

【0032】さらに、本実施形態では、流出パッド13
の空気の流入方向の前方に、空気軸受面になりうる中央
部パッド(塵埃捕獲用パッド)14を設置する。図1に
示したスライダ1は、流入パッド11および中央部パッ
ド14と、サイドレール12から囲まれた2つの凹部1
5に、負圧力のピークが発生する負圧力利用型スライダ
である。
Further, in the present embodiment, the outflow pad 13
A central pad (dust capturing pad) 14, which can be an air bearing surface, is provided in front of the air inflow direction. The slider 1 shown in FIG. 1 has two recesses 1 surrounded by an inflow pad 11 and a center pad 14 and a side rail 12.
5 is a negative pressure utilization type slider in which a negative pressure peak occurs.

【0033】しかも、負圧力のピークが発生する凹部1
5の両側には、スライダ1を浮上させる正圧力が発生す
るので、負圧力と正圧力とが釣り合い、低浮上量におい
て安定した浮上姿勢を保つことができる。
Moreover, the concave portion 1 where the peak of the negative pressure is generated
Since a positive pressure for causing the slider 1 to fly is generated on both sides of the slider 5, the negative pressure and the positive pressure are balanced, and a stable flying posture can be maintained at a low flying height.

【0034】図2、図3および図4に、それぞれ流入パ
ッド11とサイドレール12、流出パッド13および流
入パッド14(中央部パッド)を示す。これらは、共に
ディスク停止時に媒体面と接触するパッド面21(コン
タクト面)と、空気流入方向に段差部22を介して設け
た段差面24(ステップ面)、段差部23を介して設け
た段差面25(リセス面)などから構成する。
FIGS. 2, 3 and 4 show the inflow pad 11, side rail 12, outflow pad 13 and inflow pad 14 (central pad), respectively. These are a pad surface 21 (contact surface) which comes into contact with the medium surface when the disk is stopped, a step surface 24 (step surface) provided via the step 22 in the air inflow direction, and a step provided via the step 23. It is composed of a surface 25 (recess surface) or the like.

【0035】図中、δs、δrは、それぞれ、パッド面
21に対する段差面24の深さ(ステップ深さ)、パッ
ド面21に対する段差面23の深さ(リセス深さ)を示
す。塵埃捕獲用のパッド14のステップ深さは、流入パ
ッド11および流出パッドのステップ深さと同じであ
る。
In the drawing, δs and δr indicate the depth of the step surface 24 with respect to the pad surface 21 (step depth) and the depth of the step surface 23 with respect to the pad surface 21 (recess depth), respectively. The step depth of the dust capturing pad 14 is the same as the step depth of the inflow pad 11 and the outflow pad.

【0036】図5に、実施形態1の磁気ヘッドスライダ
浮上面の圧力分布を示す。図1で示した流入パッド11
およびパッド14とサイドレール12から囲まれた2つ
の凹部15に、負圧力部が発生していることが分かる。
FIG. 5 shows a pressure distribution on the air bearing surface of the magnetic head slider according to the first embodiment. Inflow pad 11 shown in FIG.
Further, it can be seen that a negative pressure portion is generated in the two concave portions 15 surrounded by the pad 14 and the side rail 12.

【0037】負圧力は押付荷重と同じ方向に作用するた
め、実質的に荷重および空気膜剛性が大きくなり、浮上
バラツキおよび浮上量変動を低減化する作用として働
く。また、ディスク周速が速いと負圧力が大きくなるた
め、ディスク内外周での浮上量が均一化し、浮上プロフ
ァイルが一定となる。
Since the negative pressure acts in the same direction as the pressing load, the load and the air film rigidity are substantially increased, and the negative pressure acts to reduce variations in flying height and fluctuations in flying height. Further, when the disk peripheral speed is high, the negative pressure increases, so that the floating amount on the inner and outer circumferences of the disk becomes uniform, and the floating profile becomes constant.

【0038】次に、図6を参照して、実施形態1の磁気
ヘッドスライダの効果を説明する。図6の(a)はスラ
イダ浮上面の立体斜視図、(b)はスライダ浮上面の正
面図である。
Next, the effect of the magnetic head slider of the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6A is a three-dimensional perspective view of the slider floating surface, and FIG. 6B is a front view of the slider floating surface.

【0039】図6において、凹部15に負圧力部20が
発生する理由は、空気の体積が凹部15で急激に増える
ためである。したがって、空気の流れに沿って移動する
微小な塵埃16は、凹部15に集められた後、流出端近
傍に流れる。このとき、図中2本の矢印で示した空気流
線の流出端近傍と、記録再生素子1bとは離れているた
めに、微小な塵埃16は記録再生素子1bには付着しな
い。
In FIG. 6, the reason why the negative pressure portion 20 is generated in the concave portion 15 is that the volume of the air rapidly increases in the concave portion 15. Therefore, the fine dust 16 moving along the flow of the air is collected in the concave portion 15 and then flows near the outflow end. At this time, the minute dust 16 does not adhere to the recording / reproducing element 1b because the vicinity of the outflow end of the air streamline indicated by two arrows in the drawing is separated from the recording / reproducing element 1b.

【0040】さらに、空気流によっても移動しないよう
な大きな塵埃や、例えば流出端浮上量と同等な大きさの
塵埃が侵入しても、流出パッド13の空気の流入方向の
前方に設置したパッド14が塵埃を捕獲して、直接記録
再生素子に塵埃を付着させない。したがって、実施形態
1の磁気ヘッドスライダによれば、低浮上量において安
定した浮上姿勢を保つことができる。
Further, even if large dust which does not move even by the air flow or dust having a size equivalent to, for example, the flying height of the outflow end enters, the pad 14 installed in front of the outflow pad 13 in the air inflow direction. Captures dust and does not directly attach the dust to the recording / reproducing element. Therefore, according to the magnetic head slider of the first embodiment, a stable flying attitude can be maintained at a low flying height.

【0041】図7に、本発明の実施形態2の磁気ヘッド
スライダの浮上面を示す。スライダ1は、両側部の流入
パッド11および中央部のパッド14と、サイドレール
12とから囲まれた2つの凹部15に、負圧力部20が
発生する負圧力利用型スライダである。
FIG. 7 shows the flying surface of the magnetic head slider according to the second embodiment of the present invention. The slider 1 is a negative pressure utilizing slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15 surrounded by an inflow pad 11 on both sides and a pad 14 at a central portion, and a side rail 12.

【0042】空気の流れに沿って移動する微少な塵埃、
および空気の流れに沿って移動しない、流出端浮上量と
同等な大きさの塵埃が、パッド14に接近しても、流入
部のステップ面24に付着しないように、流入部のステ
ップ面24を無くしてある。
Minute dust moving along the flow of air,
The stepped surface 24 of the inflow portion is designed to prevent dust, which does not move along the flow of air, and has the same size as the floating amount at the outflow end from adhering to the pad 14 even when approaching the pad 14. I lost it.

【0043】したがって、本実施形態2の磁気ヘッドス
ライダにより、空気の流れに沿って移動する微少な塵埃
を記録再生素子に接近させないようにし、かつ空気の流
れに沿って移動しない、流出端浮上量と同等な大きさの
塵埃が進入しても、流入部のステップ面および直接記録
再生素子に塵埃を付着させないようにすることができる
ため、低浮上量においても媒体面が損傷するヘッドクラ
ッシュを防止できる。
Therefore, the magnetic head slider according to the second embodiment prevents the fine dust moving along the flow of air from approaching the recording / reproducing element, and does not move along the flow of air. Even if dust of the same size enters, the dust can be prevented from adhering to the step surface of the inflow section and the direct read / write element, preventing head crash which damages the media surface even at low flying height. it can.

【0044】図8に、本発明の実施形態3の磁気ヘッド
スライダの浮上面を示す。スライダ1は、流入パッド1
1およびパッド14とサイドレール12から囲まれた2
つの凹部15に、負圧力部20が発生する負圧力利用型
スライダである。
FIG. 8 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 3 of the present invention. The slider 1 has an inflow pad 1
1 and 2 surrounded by pads 14 and side rails 12
A negative pressure utilizing type slider in which a negative pressure portion 20 is generated in one concave portion 15.

【0045】空気の流れに沿って移動する微少な塵埃、
および、空気の流れに沿って移動しない流出端浮上量と
同等な大きさの塵埃が、パッド14に接近しても、ステ
ップ面24に付着し難いように、パッド14のコンタク
ト面を、鋭角部を流入方向に向けた三角形の形状にし
た。
Minute dust moving along the flow of air,
Also, the contact surface of the pad 14 is formed with an acute angle portion so that dust having the same size as the floating amount at the outflow end that does not move along with the flow of air will not easily adhere to the step surface 24 even when approaching the pad 14. Has a triangular shape oriented in the inflow direction.

【0046】本実施形態3のスライダのパッド14は、
空気軸受面となるため、本実施形態3の磁気ヘッドスラ
イダは、実施形態2の磁気ヘッドスライダと同等な効果
が得られ、かつ実施形態2の磁気ヘッドスライダに比べ
て、パッド14の浮上特性に及ぼす悪影響は小さい。
The pad 14 of the slider of the third embodiment is
Since the magnetic head slider according to the third embodiment has an air bearing surface, the same effect as the magnetic head slider according to the second embodiment can be obtained, and the flying characteristics of the pad 14 can be improved as compared with the magnetic head slider according to the second embodiment. The adverse effects are small.

【0047】図9に、本発明の実施形態4の磁気ヘッド
スライダの浮上面を示す。スライダ1は、流入パッド1
1およびパッド14とサイドレール12から囲まれた2
つの凹部15に、負圧力部20が発生する負圧力利用型
スライダである。
FIG. 9 shows the flying surface of the magnetic head slider according to the fourth embodiment of the present invention. The slider 1 has an inflow pad 1
1 and 2 surrounded by pads 14 and side rails 12
A negative pressure utilizing type slider in which a negative pressure portion 20 is generated in one concave portion 15.

【0048】実施形態4のスライダのパッド14は、実
施形態1に比べて流出パッド側に設けている。さらに、
実施形態4の塵埃捕獲用パッド14のステップ深さは、
実施形態1の塵埃捕獲用パッド14のステップ深さに比
べて大きく設定されている。
The pad 14 of the slider of the fourth embodiment is provided on the outflow pad side as compared with the first embodiment. further,
The step depth of the dust capturing pad 14 of the fourth embodiment is:
The depth is set to be larger than the step depth of the dust capturing pad 14 of the first embodiment.

【0049】図10を用いて、本実施形態4の磁気ヘッ
ドスライダの効果を説明する。図(a)に実施形態1の
磁気ヘッドスライダ、図(b)に実施形態4の磁気ヘッ
ドスライダの浮上走行時の側面図を示す。
The effect of the magnetic head slider of the fourth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 7A is a side view of the magnetic head slider according to the first embodiment, and FIG.

【0050】流出端浮上量h0、流入端浮上量h1を一定
とすると、塵埃が空気流入方向からスライダ1に接近す
る場合、実施形態4の塵埃捕獲用パッド14のステップ
深さδs1が、実施形態1の塵埃捕獲用パッド14のス
テップ深さδsに比べて大きい。
Assuming that the flying height h0 at the outflow end and the flying height h1 at the inflow end are constant, when the dust approaches the slider 1 from the air inflow direction, the step depth δs1 of the dust capturing pad 14 in the fourth embodiment is equal to the step depth δs1 in the fourth embodiment. It is larger than the step depth δs of the dust capturing pad 14 of FIG.

【0051】そのために、スライダ1と磁気記録媒体3
との間の塵埃侵入口高さhsは、実施形態4の磁気ヘッ
ドスライダの方が実施形態1の磁気ヘッドスライダに比
べて小さくなり、実施形態4の磁気ヘッドスライダは、
実施形態1の磁気ヘッドスライダに比べて記録再生素子
への塵埃付着を防止できる効果が大きい。
For this purpose, the slider 1 and the magnetic recording medium 3
The height hs of the dust entrance between them is smaller in the magnetic head slider of the fourth embodiment than in the magnetic head slider of the first embodiment.
The effect of preventing dust from adhering to the recording / reproducing element is greater than that of the magnetic head slider of the first embodiment.

【0052】図11に、本発明の実施形態5の磁気ヘッ
ドスライダの浮上面を示す。スライダ1は、流入パッド
11およびパッド14とサイドレール12から囲まれた
2つの凹部15に負圧力部20が発生する負圧力利用型
スライダである。
FIG. 11 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 5 of the present invention. The slider 1 is a negative pressure type slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15 surrounded by the inflow pads 11 and the pads 14 and the side rails 12.

【0053】磁気記録媒体の任意の半径位置に位置決め
するシーク動作によって、空気流入方向は、図11に示
すように、スライダ1の中心線9に対してヨー角度を持
つようになる。
By a seek operation for positioning the magnetic recording medium at an arbitrary radial position, the air inflow direction has a yaw angle with respect to the center line 9 of the slider 1 as shown in FIG.

【0054】本実施形態5のスライダ1のパッド14の
幅W14を、流出パッド13の幅W13より大きくする
ことによって、空気が最大のヨー角度Ygで流入した場
合、空気の流れに沿って移動する微少な塵埃16は、凹
部15で優先的に集まり、流出端近傍に流れる。しか
し、その流線の流出端近傍と記録再生素子1bとは離れ
ているために、微少な塵埃は記録再生素子1bに付着し
ない。
By making the width W14 of the pad 14 of the slider 1 of the fifth embodiment larger than the width W13 of the outflow pad 13, when air flows in at the maximum yaw angle Yg, it moves along the flow of air. The fine dust 16 preferentially collects in the recess 15 and flows near the outflow end. However, since the vicinity of the outflow end of the streamline is separated from the recording / reproducing element 1b, minute dust does not adhere to the recording / reproducing element 1b.

【0055】さらに、空気の流れに沿って移動しないよ
うな流出端浮上量と同様な大きさの塵杯が侵入しても、
流出パッド13の空気の流入方向の前方に、空機軸受け
面になりうるパッド14が塵埃を捕獲して、直接記録再
生素子に塵埃を付着させない。したがって、本実施形態
5の磁気ヘッドスライダにより、シーク動作においても
低浮上量において安定した負像姿勢を保つことができ
る。
Further, even if a dust cup having the same size as the floating height at the outflow end that does not move along the flow of air enters,
In front of the outflow pad 13 in the air inflow direction, a pad 14 that can be an air bearing surface captures dust and does not directly attach the dust to the recording / reproducing element. Therefore, the magnetic head slider according to the fifth embodiment can maintain a stable negative image attitude at a low flying height even in a seek operation.

【0056】図12に、本発明の実施形態6の磁気ヘッ
ドスライダの浮上面を示す。スライダ1は、流入パッド
11およびパッド14とサイドレール12とから囲まれ
た二つの凹部15に、負圧力部20が発生する負圧力利
用型スライダである。パッド14の幅W14を流出パッ
ド13の幅W13より大きくし、かつ形状をVの字する
ことによって、凹部15に負圧力部20が発生する。
FIG. 12 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 6 of the present invention. The slider 1 is a negative pressure utilizing slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15 surrounded by the inflow pads 11 and the pads 14 and the side rails 12. By making the width W14 of the pad 14 larger than the width W13 of the outflow pad 13 and forming a V-shape, a negative pressure portion 20 is generated in the recess 15.

【0057】したがって、実施形態6の磁気ヘッドスラ
イダは、実施形態5の磁気ヘッドスライダと同等な効果
が得られ、かつ発生する負圧力が大きくなり、実施形態
5の磁気ヘッドスライダに比べて、気圧変化による浮上
量低下を低減化できる。
Therefore, the magnetic head slider according to the sixth embodiment has the same effect as the magnetic head slider according to the fifth embodiment, and generates a larger negative pressure. A decrease in the flying height due to the change can be reduced.

【0058】図13(a)(b)に、それぞれ本発明の
実施形態7の磁気ヘッドスライダの立体図、正面図を示
す。スライダ1は、流入パッド11およびパッド14と
サイドレール12から囲まれた2つの凹部15に負圧力
部20が発生する負圧力利用型スライダである。
FIGS. 13A and 13B are a three-dimensional view and a front view, respectively, of a magnetic head slider according to Embodiment 7 of the present invention. The slider 1 is a negative pressure type slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15 surrounded by the inflow pads 11 and the pads 14 and the side rails 12.

【0059】パッド14の幅W14を流出パッド13の
幅W13より大きくし、かつ形状をVの字することによ
って、凹部15に負圧力部20が発生する。さらに、流
入パッド11をスライダ1の中心線9に対して角度を設
け、かつ一対の流入パッド11およびパッド14の幅W
11をスライダ幅Wより小さくしてある。
By making the width W 14 of the pad 14 larger than the width W 13 of the outflow pad 13 and forming a V-shape, a negative pressure portion 20 is generated in the recess 15. Further, the inflow pad 11 is formed at an angle with respect to the center line 9 of the slider 1 and the width W of the pair of inflow pad 11 and pad 14 is set.
11 is smaller than the slider width W.

【0060】これによって、空気の流れに沿って移動す
る微少な塵埃16、および空気の流れに沿って移動しな
い流出端浮上量と同等な大きさの塵埃が、スライダ1の
全浮上面から侵入することなく排除されかつ侵入して
も、付着し難くなる。
As a result, the fine dust 16 moving along the flow of air and the dust having the same size as the floating amount at the outflow end that does not move along the flow of air enter from the entire floating surface of the slider 1. Even if it is eliminated and penetrated without being adhered, it is hard to adhere.

【0061】したがって、実施形態7の磁気ヘッドスラ
イダは、実施形態6の磁気ヘッドスライダと同等な効果
が得られ、かつ実施形態6の磁気ヘッドスライダに比べ
て流入パッドおよび記録再生素子への塵埃付着を防止で
きる効果が大きい。
Therefore, the magnetic head slider according to the seventh embodiment has the same effect as the magnetic head slider according to the sixth embodiment, and has more dust adhesion to the inflow pad and the recording / reproducing element than the magnetic head slider according to the sixth embodiment. The effect that can prevent is large.

【0062】図14に、本発明の実施形態8の磁気ヘッ
ドスライダの浮上面を示す。パッド14を、2つの凹部
15に負圧力部20が発生する負圧力利用型スライダで
ある。流入パッド11およびパッド14の連結部の平面
40が、リセス面25と同一平面上になっている。
FIG. 14 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 8 of the present invention. The pad 14 is a negative pressure utilizing slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15. The plane 40 of the connecting portion between the inflow pad 11 and the pad 14 is flush with the recess surface 25.

【0063】こうすることによって、空気の流れに沿っ
て移動する微少な塵埃16、および、特に空気の流れに
沿って移動しない流出端浮上量と同等な大きさの塵埃
が、スライダ1の全浮上面から侵入することなく排除さ
れ、かつ侵入しても、付着し難くなる。
By doing so, the fine dust 16 moving along the flow of air, and particularly the dust having the same size as the floating amount at the outflow end that does not move along the flow of air, are completely lifted by the slider 1. It is eliminated without invading from the surface, and even if invading, it is hard to adhere.

【0064】したがって、実施形態8の磁気ヘッドスラ
イダは、実施形態7の磁気ヘッドスライダと同等な効果
が得られ、かつ実施形態7の磁気ヘッドスライダに比べ
て流入パッドおよび記録再生素子への塵埃付着を防止で
きる効果が大きい。
Therefore, the magnetic head slider according to the eighth embodiment has the same effect as the magnetic head slider according to the seventh embodiment, and has more dust adhesion to the inflow pad and the recording / reproducing element than the magnetic head slider according to the seventh embodiment. The effect that can prevent is large.

【0065】図15に、本発明の実施形態9の磁気ヘッ
ドスライダの浮上面を示す。スライダ1は、流入パッド
11およびパッド14とサイドレール12から囲まれた
2つの凹部15に、負圧力部20が発生する負圧力利用
型スライダである。パッド14の中心部に、空気流入方
向に平行でかつ細長い少なくとも1つの溝41が設けら
れている。
FIG. 15 shows the flying surface of a magnetic head slider according to Embodiment 9 of the present invention. The slider 1 is a negative pressure utilizing slider in which a negative pressure portion 20 is generated in two concave portions 15 surrounded by the inflow pads 11 and the pads 14 and the side rails 12. At least one elongated groove 41 parallel to the air inflow direction is provided in the center of the pad 14.

【0066】溝41を設けることによって、空気膜の減
衰係数を大きくできる。そのため、実施形態9の磁気ヘ
ッドスライダは、実施形態5の磁気ヘッドスライダと同
等な効果が得られ、かつ実施形態6の磁気ヘッドスライ
ダに比べて、磁気記録媒体と接触した時のスライダ振動
の減衰が早くなり浮上量変動を小さくできる。
By providing the groove 41, the damping coefficient of the air film can be increased. Therefore, the magnetic head slider according to the ninth embodiment has the same effect as the magnetic head slider according to the fifth embodiment, and has a lower damping of the slider vibration when coming into contact with the magnetic recording medium than the magnetic head slider according to the sixth embodiment. And the fluctuation of the flying height can be reduced.

【0067】スライダ1の材質は、従来使用している材
質と同様に、アルミナチタンカ−バイト等のセラミック
材とした。さらに、パット14の表面にフッ素等の表面
エネルギの小さい材料を付着させることによって、パッ
ト14にも塵埃が付着しにくくなり、本発明の実施形態
1〜9の磁気ヘッドスライダの効果は、さらに大きくな
る。
The material of the slider 1 was a ceramic material such as alumina titanium carbide, similarly to the conventionally used material. Further, by adhering a material having a small surface energy, such as fluorine, to the surface of the pad 14, dust is less likely to adhere to the pad 14, and the effect of the magnetic head slider according to the first to ninth embodiments of the present invention is further enhanced. Become.

【0068】図16に、本発明よりなる磁気ディスク装
置の一実施形態を示す。図(a)および(b)は、それ
ぞれ、磁気記録媒体面3に浮上した状態でスライダ1が
走行およびシ−ク動作をしている状態の平面図および側
面図である。
FIG. 16 shows an embodiment of the magnetic disk drive according to the present invention. FIGS. 3A and 3B are a plan view and a side view, respectively, showing a state in which the slider 1 is running and performing a seek operation while flying above the surface 3 of the magnetic recording medium.

【0069】磁気ディスク装置50は、磁気記録媒体3
とこれを回転させる駆動部51、本発明の上記実施形態
の磁気ヘッドスライダ1、その支持体2、位置決めする
支持ア−ム52とこれの駆動部53、スライダ1に搭載
された磁気ヘッドの記録再生信号を処理する回路54な
どから構成される。
The magnetic disk device 50 has a magnetic recording medium 3
And a drive unit 51 for rotating the slider, the magnetic head slider 1 of the above embodiment of the present invention, its support 2, a support arm 52 for positioning and a drive unit 53 thereof, and recording of a magnetic head mounted on the slider 1. It is composed of a circuit 54 for processing a reproduced signal.

【0070】この構成により、低浮上量において安定し
た浮上姿勢を保つことができるため、磁気記録媒体3は
平滑媒体が使用可能となる。使用する平滑媒体の面粗さ
は、中心線平均面粗さRaが1nm以下、中心線最大高
さRpが5nm以下が必要である。
With this configuration, since a stable flying posture can be maintained at a low flying height, a smooth medium can be used for the magnetic recording medium 3. As for the surface roughness of the smoothing medium to be used, the center line average surface roughness Ra needs to be 1 nm or less, and the center line maximum height Rp needs to be 5 nm or less.

【0071】[0071]

【発明の効果】本発明によれば、浮上バラツキおよび浮
上量変動を低減し、浮上プロファイルが一定となる浮上
特性を満足し、かつ空気の流れに沿って移動する微小な
塵埃を記録再生素子に接近させないようにし、かつ空気
の流れに沿って移動しない流出端浮上量と同等な大きさ
の塵埃が侵入しても、直接記録再生素子に塵埃を付着さ
せないようにすることができる。
According to the present invention, variations in flying height and fluctuations in flying height are reduced, the flying characteristics satisfying a constant flying profile are satisfied, and minute dust moving along the flow of air is transferred to the recording / reproducing element. Even if dust of the same size as the flying height of the outflow end that does not move along with the flow of air enters, dust can be prevented from directly adhering to the recording / reproducing element.

【0072】そのため、低浮上量においても、媒体面が
損傷するヘッドクラッシュを防止でき、高記録密度化、
高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダおよび磁気ディ
スク装置を提供することができる。
Therefore, even at a low flying height, it is possible to prevent a head crash in which the medium surface is damaged, to increase the recording density,
It is possible to provide a magnetic head slider and a magnetic disk device that are excellent in reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1の磁気ヘッドスライダの浮
上面を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a flying surface of a magnetic head slider according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態1の流入パッドとサイドレー
ルを示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an inflow pad and a side rail according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態1の流出パッドを示す図であ
る。
FIG. 3 is a view showing an outflow pad according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施形態1の塵埃捕獲用パッドを示す
図である。
FIG. 4 is a view showing a dust capturing pad according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態1のスライダ浮上面の圧力分
布を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a pressure distribution on a slider flying surface according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態1の効果を説明する図であ
る。
FIG. 6 is a diagram illustrating the effect of the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態2の磁気ヘッドスライダの浮
上面を示す図である。
FIG. 7 is a view showing a floating surface of a magnetic head slider according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態3の磁気ヘッドスライダの浮
上面を示す図である。
FIG. 8 is a view showing a floating surface of a magnetic head slider according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施形態4の磁気ヘッドスライダの浮
上面を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a flying surface of a magnetic head slider according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施形態4の効果を説明する図であ
る。
FIG. 10 is a diagram illustrating an effect of the fourth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の実施形態5の磁気ヘッドスライダの
浮上面を示す図である。
FIG. 11 is a view showing a floating surface of a magnetic head slider according to a fifth embodiment of the present invention.

【図12】本発明の実施形態6の磁気ヘッドスライダの
浮上面を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a floating surface of a magnetic head slider according to a sixth embodiment of the present invention.

【図13】本発明の実施形態7の磁気ヘッドスライダの
浮上面を示す図である。
FIG. 13 is a view showing a floating surface of a magnetic head slider according to a seventh embodiment of the present invention.

【図14】本発明の実施形態8の磁気ヘッドスライダの
浮上面を示す図である。
FIG. 14 is a view showing a floating surface of a magnetic head slider according to an eighth embodiment of the present invention.

【図15】本発明の実施形態9の磁気ヘッドスライダの
浮上面を示す図である。
FIG. 15 is a diagram showing a flying surface of a magnetic head slider according to a ninth embodiment of the present invention.

【図16】本発明より成る磁気ディスク装置の一実施形
態を示す図である。
FIG. 16 is a diagram showing an embodiment of a magnetic disk drive according to the present invention.

【図17】従来の磁気ヘッドスライダの浮上面を示す図
である。
FIG. 17 is a view showing a floating surface of a conventional magnetic head slider.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ヘッドスライダ 1b 記録再生素子 1c 磁気ヘッド 1d 接続端子 11 流入パッド 12 サイドレール 13 流出パッド 14 パッド 15 負圧力が発生する凹部 16 空気の流れに沿って移動する微小な塵埃 20 負圧力部 21 コンタクト面 22、23 段差部 24 ステップ面 25 リセス面 30 従来の磁気ヘッドスライダ 31 サイドレール 32 クロスレール 33 センターパッド 34 クロスレール32に設けた傾斜面 35 クロスレール32に設けたステップ面 36 クロスレール中央部に設けたクロスレールを分断
するスリット 37 半円弧形の凹状の塵埃防御壁 40 流入パッド11およびパッド14の連結部の平面 41 溝 δs ステップ深さ δr リセス深さ hs スライダ1と磁気記録媒体3との間の塵埃侵入口
高さ h0 流出端浮上量 h1 流入端浮上量 δs1 実施形態4の塵埃捕獲用パッド14のステップ
深さ W14 パッド14の幅 W13 流出パッド13の幅 Yg 最大のヨー角度
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic head slider 1b Recording / reproducing element 1c Magnetic head 1d Connection terminal 11 Inflow pad 12 Side rail 13 Outflow pad 14 Pad 15 Negative pressure generating concave part 16 Fine dust moving along air flow 20 Negative pressure part 21 Contact Surface 22, 23 Step portion 24 Step surface 25 Recess surface 30 Conventional magnetic head slider 31 Side rail 32 Cross rail 33 Center pad 34 Inclined surface provided on cross rail 32 35 Step surface provided on cross rail 32 36 Cross rail center 37, a semicircular concave dust protection wall 40, a flat surface of a connecting portion between the inflow pad 11 and the pad 14, a groove δs, a step depth δr, a recess depth hs, a slider 1 and a magnetic recording medium 3. Dust entrance height between h0 Width Yg maximum yaw angle of the Extension end flying height h1 inflow end floating amount δs1 width W13 trailing pad 13 in step depth W14 pad 14 of the dust capturing pad 14 embodiment 4

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録再生素子の空気流入側前方のスライ
ダ浮上面に形成された空気軸受面を有する中央部パッド
と、前記中央部パッドの両側に形成された負圧部とを備
えてなる磁気ヘッドスライダ。
1. A magnetic device comprising: a center pad having an air bearing surface formed on a slider floating surface in front of an air inflow side of a recording / reproducing element; and negative pressure portions formed on both sides of the center pad. Head slider.
【請求項2】 スライダ中心軸の空気流出端側に設置さ
れた記録再生素子と、前記記録再生素子の空気流入側前
方の、スライダ浮上面に配置された空気軸受面を有する
中央部パッドと、前記中央部パッドの両側に形成された
空気軸受面を有する2つの両側部パッドと、前記中央部
パッドと前記両側部パッドそれぞれとの間に形成された
2つの負圧部とを備えてなる磁気ヘッドスライダ。
2. A recording / reproducing element provided on an air outflow end side of a slider center axis, a central pad having an air bearing surface disposed on a slider floating surface in front of the recording / reproducing element on an air inflow side, A magnetic comprising: two side pads having air bearing surfaces formed on both sides of the center pad; and two negative pressure portions formed between the center pad and the both side pads, respectively. Head slider.
【請求項3】 スライダ浮上面の空気流入側に設置され
た一対の空気軸受面を有する2つの両側部パッドと、前
記スライダ浮上面の両外側に沿って形成されたサイドレ
ールと、前記スライダ浮上面の空気流出端側に設置さ
れ、記録再生素子を搭載した空気軸受面を有するパッド
とによって囲まれた凹部に、負圧力が発生する負圧力利
用型の磁気ヘッドスライダにおいて、前記両側部パッド
同士の間で、かつ、前記記録再生素子を搭載したパッド
の空気流入方向の前方に、空気軸受面を有する中央部パ
ッドを有するとともに、空気流入時には前記凹部に2つ
の負圧力部が発生することを特徴とする磁気ヘッドスラ
イダ。
3. A two-sided pad having a pair of air bearing surfaces provided on an air inflow side of a slider floating surface, a side rail formed along both outer sides of the slider floating surface, and the slider floating. In a magnetic head slider of a negative pressure utilizing type in which a negative pressure is generated in a concave portion surrounded by a pad having an air bearing surface on which a recording / reproducing element is mounted, And a central pad having an air bearing surface in front of the pad on which the recording / reproducing element is mounted in the air inflow direction, and that two negative pressure portions are generated in the recess when air flows in. Characteristic magnetic head slider.
【請求項4】 請求項1、2または3に記載の磁気ヘッ
ドスライダにおいて、前記中央部パッドは、空気流入方
向に鋭角を有する3角形の形状であることを特徴とする
磁気ヘッドスライダ。
4. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the central pad has a triangular shape having an acute angle in an air inflow direction.
【請求項5】 請求項1ないし4のうちいずれかに記載
の磁気ヘッドスライダにおいて、前記中央部パッドは、
空気軸受面の空気流入方向に細長い溝を有することを特
徴とする磁気ヘッドスライダ。
5. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the central pad is:
A magnetic head slider having an elongated groove in an air inflow direction of an air bearing surface.
【請求項6】 請求項1ないし5のうちいずれかに記載
の磁気ヘッドスライダにおいて、前記中央部パッドは、
表面エネルギの小さい材料を表面に付着させたことを特
徴とする磁気ヘッドスライダ。
6. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the central pad is:
A magnetic head slider characterized in that a material having low surface energy is adhered to the surface.
【請求項7】 請求項1ないし6に記載の磁気ヘッドス
ライダを備えてなる磁気ディスク装置。
7. A magnetic disk drive comprising the magnetic head slider according to claim 1.
【請求項8】 請求項7に記載の磁気ディスク装置にお
いて、前記磁気ヘッドスライダが対向する磁気記録媒体
は、中心線平均面粗さRaが1nm以下、中心線最大高
さRpが5nm以下であることを特徴とする磁気ディス
ク装置。
8. The magnetic disk drive according to claim 7, wherein the magnetic recording medium facing the magnetic head slider has a center line average surface roughness Ra of 1 nm or less and a center line maximum height Rp of 5 nm or less. A magnetic disk drive characterized by the above-mentioned.
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