JP2001173169A - Low reflective roof using transparent board and outer wall member - Google Patents

Low reflective roof using transparent board and outer wall member

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JP2001173169A
JP2001173169A JP35517599A JP35517599A JP2001173169A JP 2001173169 A JP2001173169 A JP 2001173169A JP 35517599 A JP35517599 A JP 35517599A JP 35517599 A JP35517599 A JP 35517599A JP 2001173169 A JP2001173169 A JP 2001173169A
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JP
Japan
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film
transparent
roof
refractive index
wall member
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Withdrawn
Application number
JP35517599A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Fujisawa
章 藤沢
Masahiro Hirata
昌宏 平田
Hodaka Norimatsu
穂高 乗松
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
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    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the roof of a dwelling and a member for a wall face low in reflectance from a light incident face used for the roof of the dwelling and the wall face, small in reflection glittering and excellent in productivity. SOLUTION: On the roof and the outer wall member laminating a transparent conductive film, a photoelectric conversion element and a rear face electrode in the order on the side on which a beam is incident and one main surface of the transparent board of the contrary side, the roof and the outer wall member forming a transparent intermediate film comprising at least two layers between the transparent board and the transparent conductive film are manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも2層の
膜が形成された透明基板を用いた屋根および外壁の部材
に関するものである。さらに詳しくは、光入射側の反射
率が低減されることで、反射のぎらつきが抑制された屋
根および外壁の部材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roof and outer wall members using a transparent substrate having at least two layers formed thereon. More specifically, the present invention relates to a member for a roof and an outer wall in which reflection glare is suppressed by reducing the reflectance on the light incident side.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、エネルギー特に電気エネルギーの
需要は増加している。石油や石炭を利用した火力発電
は、将来原燃料の枯渇の問題から、またウラン等を利用
した原子力発電は、昨今大きな問題となっている環境問
題等から、新たな発電所の建設は容易でない。
2. Description of the Related Art In recent years, demand for energy, particularly electric energy, has been increasing. Construction of new power plants is not easy due to thermal power generation using oil and coal due to the depletion of raw materials and fuel in the future, and nuclear power generation using uranium etc. due to environmental problems, which have recently become a major problem. .

【0003】そこで太陽光発電を初めとする新エネルギ
ーにより電力不足を補うことが政府によって検討されて
いる。国土の狭い日本においては、住宅の屋根や壁面に
太陽電池を設置した太陽光発電がメインとして計画され
た。今までは、こういった電力用の太陽電池としては、
結晶シリコンあるいは多結晶シリコンによるものが用い
られてきた。しかし大量に太陽電池を製造するとなる
と、原料となるシリコンが不足するという問題が懸念さ
れる。そこで、結晶シリコンあるいは多結晶シリコン太
陽電池に比べて、原料シリコンの使用量が少ない非晶質
シリコン太陽電池を使用することが検討されている。
[0003] Therefore, the government is examining to supplement the power shortage with new energy such as solar power generation. In Japan, where the land is small, solar power generation was mainly planned with solar cells installed on the roofs and walls of houses. Until now, such solar cells for power use
Crystalline or polycrystalline silicon has been used. However, when solar cells are manufactured in large quantities, there is a concern that silicon as a raw material is insufficient. Therefore, use of an amorphous silicon solar cell that uses less raw material silicon than a crystalline silicon or polycrystalline silicon solar cell is being studied.

【0004】ところで、従来非晶質シリコン太陽電池
は、電卓や時計の電源に多く用いられてきた。これらの
装置用の太陽電池は住宅の屋根等の屋外でなくまた小面
積で十分なため、太陽電池の光入射面からの反射のぎら
つき等はほとんど問題となっていなかった。
[0004] Conventionally, amorphous silicon solar cells have often been used as power supplies for calculators and watches. Since the solar cells for these devices are not required to be outdoors, such as the roof of a house, and have a small area, the glare of reflection from the light incident surface of the solar cells has hardly been a problem.

【0005】しかし、住宅の屋根や壁面に使用した場合
には、大面積となり目に付きやすく太陽光線の反射によ
る近隣の住居への光害が問題となる。特に北隣の住居の
窓が、太陽電池の設置位置よりも高い場合、この北隣の
住人に大いなる不快感を与えることになる。
[0005] However, when used on the roof or wall of a house, the area becomes large and easily noticeable, which causes a problem of light pollution to nearby houses due to reflection of sunlight. In particular, if the window of the house next to the north is higher than the installation position of the solar cell, this will give a great deal of discomfort to the residents next to the north.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術が
有していた前述の欠点を解決すべくなされたものであっ
て、住宅の屋根や壁面用に使われる光入射面からの反射
率が低く、反射ぎらつきの少ない、生産性に優れた光起
電力機能を有する住宅の屋根や壁面用の部材を提供する
ことを目的とする。前述したように太陽電池等の光起電
力素子を屋根や外壁部材として用いることが、近年多く
なってきたが、このような用途に用いた場合には、光起
電力素子としての変換効率等の特性のみならず外観およ
び近隣への反射光の影響が大きな問題となるが、こうい
った問題はほとんど解決されていないのが現状である。
太陽電池等の光起電力素子において、いわゆる無反射条
件に従った被膜を光入射側に成膜することで、光起電力
素子の変換効率を高めることは古くから知られた技術で
ある。ただし、この場合においては変換効率の向上を目
的としているため、反射率が最低となる波長は光起電力
素子の分光感度が最大となるところに合わせられてい
た。つまり特定の波長の反射率を低減させたものであっ
て、全体の波長の反射率を低下させたものではなかっ
た。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and it is intended to improve the reflectance from a light incident surface used for a roof or a wall of a house. It is an object of the present invention to provide a member for a roof or a wall surface of a house having a photovoltaic function which has a low reflection, low reflection glare, and excellent productivity. As described above, the use of photovoltaic elements such as solar cells as roofs and outer wall members has increased in recent years, but when used for such applications, the conversion efficiency and the like as photovoltaic elements have been increased. The influence of reflected light not only on the characteristics but also on the appearance and the neighborhood is a major problem, but such a problem has hardly been solved at present.
It is a long-known technique to increase the conversion efficiency of a photovoltaic element such as a solar cell by forming a film according to a so-called non-reflection condition on the light incident side. However, in this case, since the purpose is to improve the conversion efficiency, the wavelength at which the reflectance is the lowest is adjusted to the location at which the spectral sensitivity of the photovoltaic element is the highest. That is, the reflectance of a specific wavelength is reduced, but the reflectance of the entire wavelength is not reduced.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、前述
の課題を解決すべくなされたものであり、請求項1記載
の発明は、光線が入射する側と反対側の透明基板の一方
の主表面上に、透明導電膜、光電変換素子および裏面電
極が順に積層された屋根および外壁部材において、、前
記透明基板と透明導電膜との間に少なくとも2層よりな
る透明中間膜が形成されている屋根および外壁部材であ
る。請求項2に記載の発明は、透明中間膜が屈折率と膜
厚を調整することで、透明中間膜がない場合よりも、光
線が入射する側からの平均反射率および反射干渉色が低
減されている屋根および外壁部材である。請求項3に記
載の発明は、前記透明基板の光線が入射するもう一方の
主表面上に少なくとも1層よりなる透明被膜が形成され
ている屋根および外壁部材である。請求項4に記載の発
明は、透明被膜が屈折率と膜厚を調整することで、透明
被膜がない場合よりも、光線が入射する側からの平均反
射率が低減されている屋根および外壁部材である。請求
項5に記載の発明は、透明基板の光線が入射する側が、
入射光が乱反射するように防眩処理が施されている屋根
および外壁部材である。請求項6に記載の発明は、透明
中間膜が、透明基板側に1.7〜2.5の屈折率、5〜
50nmの膜厚である第1の透明中間膜、その上に1.
45〜1.8の屈折率、5〜50nmの膜厚である第2
の透明中間膜で、かつ、前記第1の透明中間膜の屈折率
が前記第2の透明中間膜の屈折率よりも大きい被膜であ
る屋根および外壁部材である。請求項7に記載の発明
は、透明被膜が、実質的に1.2〜1.45の屈折率、
50〜200nmの膜厚である被膜である屋根及び外壁
部材である。請求項8に記載の発明は、透明被膜が、透
明基板側の透明被膜の屈折率が1.6〜2.0、膜厚が
50〜200nmで、その上に形成された透明被膜の屈折
率が1.25〜1.8、膜厚が30〜150nmの2層の
被膜である屋根および外壁部材である。
That is, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the present invention according to claim 1 is directed to one of the transparent substrates on the side opposite to the side on which light rays are incident. In a roof and an outer wall member in which a transparent conductive film, a photoelectric conversion element, and a back electrode are sequentially laminated on a surface, a transparent intermediate film composed of at least two layers is formed between the transparent substrate and the transparent conductive film. Roof and outer wall members. According to the second aspect of the invention, by adjusting the refractive index and the film thickness of the transparent intermediate film, the average reflectance and the reflection interference color from the light incident side are reduced as compared with the case where the transparent intermediate film is not provided. Roof and outer wall members. According to a third aspect of the present invention, there is provided a roof and an outer wall member in which at least one transparent coating is formed on the other main surface of the transparent substrate on which light rays are incident. The invention according to claim 4 is a roof and an outer wall member in which the average reflectance from the light incident side is reduced by adjusting the refractive index and the film thickness of the transparent film as compared with the case where the transparent film is not provided. It is. According to a fifth aspect of the present invention, the side of the transparent substrate where the light beam enters is
A roof and an outer wall member that have been subjected to an anti-glare treatment so that incident light is irregularly reflected. In the invention according to claim 6, the transparent intermediate film has a refractive index of 1.7 to 2.5,
A first transparent interlayer having a thickness of 50 nm, and
A second having a refractive index of 45 to 1.8 and a film thickness of 5 to 50 nm;
And a roof and outer wall member, wherein the first transparent intermediate film has a refractive index higher than the refractive index of the second transparent intermediate film. In the invention according to claim 7, the transparent film has a refractive index of substantially 1.2 to 1.45,
A roof and an outer wall member which are a coating having a thickness of 50 to 200 nm. The transparent film formed on the transparent substrate has a refractive index of 1.6 to 2.0, a thickness of 50 to 200 nm, and a transparent film formed thereon. Is a roof and an outer wall member, which are two-layer coatings having a thickness of 1.25 to 1.8 and a thickness of 30 to 150 nm.

【0008】以下、本発明を詳細に説明する。上記のよ
うに本発明者は、透明基板と透明導電膜の間に透明中間
膜を形成することにより、光線入射側からの平均反射率
および反射干渉色が低減され、透明基板の光入射側に透
明被膜を形成した場合に、光入射側の可視光全域の反射
率が低減され、光起電力素子の変換効率が向上するとと
もに、光入射側からの反射のぎらつきが大きく低減され
る。この光起電力素子である太陽電池を住居の屋根に設
置した場合、反射光害が減り、反射光から受ける不快感
を少なくすることが可能であることを見いだした。さら
に、反射によるぎらつきをなお一層低減するために、光
入射側の透明基板の表面に防眩処理を施すのが好まし
い。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. As described above, the present inventor has found that by forming a transparent intermediate film between a transparent substrate and a transparent conductive film, the average reflectance and the reflection interference color from the light incident side are reduced, and the light is incident on the light incident side of the transparent substrate. When the transparent film is formed, the reflectance of the entire visible light region on the light incident side is reduced, the conversion efficiency of the photovoltaic element is improved, and the glare of the reflection from the light incident side is greatly reduced. When the solar cell, which is a photovoltaic element, is installed on the roof of a house, it has been found that reflected light pollution is reduced, and that discomfort caused by reflected light can be reduced. Furthermore, in order to further reduce glare due to reflection, it is preferable to perform an anti-glare treatment on the surface of the transparent substrate on the light incident side.

【0009】これを実現するための透明中間膜は、透明
基板側に1.7〜2.5の屈折率、5〜50nmの膜厚
である第1の透明中間膜、その上に1.45〜1.8の
屈折率、5〜50nmの膜厚である第2の透明中間膜を
用いた少なくとも2層構成であり、前記第1の透明中間
膜の屈折率が前記第2の透明中間膜の屈折率よりも大き
い被膜である。
A transparent intermediate film for realizing this is a first transparent intermediate film having a refractive index of 1.7 to 2.5 and a film thickness of 5 to 50 nm on the transparent substrate side, and 1.45 on the first transparent intermediate film. A second transparent intermediate film using a second transparent intermediate film having a refractive index of ~ 1.8 and a film thickness of 5-50 nm, wherein the refractive index of the first transparent intermediate film is the second transparent intermediate film Is a coating having a refractive index larger than

【0010】屈折率1.45〜1.8の薄膜としては、酸化シ
リコン、炭素や窒素を含んだ酸 化シリコン、酸化アル
ミニウム、シリコンやアルミニウムを主体とした金属酸
化物膜などが挙げられる。成膜が容易に行えるという観
点から判断すると、後述するCVD法を用いる場合で
は、酸化シリコン、炭素や窒素を含んだ酸化シリコン、
および酸化アルミニウムが好ましい。
Examples of the thin film having a refractive index of 1.45 to 1.8 include silicon oxide, silicon oxide containing carbon or nitrogen, aluminum oxide, and a metal oxide film mainly containing silicon or aluminum. Judging from the viewpoint that film formation can be easily performed, when a CVD method described later is used, silicon oxide, silicon oxide containing carbon or nitrogen,
And aluminum oxide are preferred.

【0011】屈折率1.8〜2.5の薄膜としては、酸化錫、
酸化インジウム、酸化亜鉛および酸化チタンなどが挙げ
られるが、CVD法では、入手が容易な、成膜が容易
な、および比較的安価な原料といった点から酸化錫ある
いは酸化チタンが好ましい。
As a thin film having a refractive index of 1.8 to 2.5, tin oxide,
Indium oxide, zinc oxide, titanium oxide and the like can be mentioned. In the CVD method, tin oxide or titanium oxide is preferable from the viewpoint of easy availability, easy film formation, and relatively inexpensive raw materials.

【0012】これら透明中間膜の膜厚は前記を外れて薄
すぎると、透明基板上に均一な成膜が行われず、反射率
低減効果が得られなかったりする。逆に前記を外れて厚
くすると、反射干渉色が低減されないのみならず、原料
を多く必要として製造コストが高くなる、また成膜速度
が遅くなって時間がかかり、生産性が悪くなって製造コ
ストが高くなるといった問題が生じる。従って、透明中
間膜の膜厚は5〜50nmが好ましい。
If the thickness of these transparent intermediate films deviates from the above and is too thin, a uniform film cannot be formed on the transparent substrate, and the effect of reducing the reflectance may not be obtained. Conversely, if the thickness is deviated from the above, not only the reflection interference color will not be reduced, but also the production cost will increase due to the need for a large amount of raw materials, and the film formation rate will be slow and time-consuming, and the productivity will deteriorate, resulting in a low production cost Problem arises. Therefore, the thickness of the transparent intermediate film is preferably 5 to 50 nm.

【0013】前記透明中間膜の膜厚の範囲内で、前記第
1の透明中間膜の屈折率を前記第2の透明中間膜の屈折
率よりも大きくする理由は、反射干渉色を低減するため
である。
The reason why the refractive index of the first transparent intermediate film is made larger than the refractive index of the second transparent intermediate film within the range of the thickness of the transparent intermediate film is to reduce the reflection interference color. It is.

【0014】次に、屈折率1.2〜1.45の透明被膜
はポーラスな酸化シリコンおよび酸化シリコンを主体と
する被膜が挙げられ、好ましい厚さは、50〜200n
mである。この理由は、50nm未満であると反射低減
の効果がほとんどなく、200nmを越えると太陽電池
に有効な波長での反射低減の効果が少なくなり、また生
産性が悪くなり、製造コストが高くなる為である。この
反射低減層である透明被膜は2層以上の多層膜によって
形成してもよく、この場合、反射率を低減させるため
に、透明基板側の透明被膜の屈折率が、その上に形成さ
れた透明被膜の屈折率よりも大きくすることが好まし
い。
Next, the transparent film having a refractive index of 1.2 to 1.45 may be a porous silicon oxide or a film mainly composed of silicon oxide. The preferable thickness is 50 to 200 n.
m. The reason for this is that if it is less than 50 nm, there is almost no effect of reducing reflection, and if it exceeds 200 nm, the effect of reducing reflection at a wavelength effective for the solar cell is reduced, and the productivity is lowered and the production cost is increased. It is. The transparent coating as the reflection reducing layer may be formed by a multilayer film of two or more layers. In this case, in order to reduce the reflectance, the refractive index of the transparent coating on the transparent substrate side is formed on the transparent coating. It is preferable that the refractive index be larger than the refractive index of the transparent film.

【0015】ここでそれぞれの被膜層の屈折率にあった
それぞれの膜厚を調整することが必要となるが、透明被
膜の屈折率が1.6〜2.0、膜厚が50〜200nm
で、その上に形成された透明被膜の屈折率が1.25〜
1.8、膜厚が30〜150nmであることが望ましい。
Here, it is necessary to adjust the respective film thicknesses corresponding to the refractive indices of the respective coating layers. The refractive index of the transparent film is 1.6 to 2.0, and the film thickness is 50 to 200 nm.
Thus, the refractive index of the transparent film formed thereon is 1.25 to
It is preferable that the thickness be 1.8 to 30 to 150 nm.

【0016】屈折率が1.6〜2.0の透明被膜として
は、例えば酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸
化シリコンを主体とする被膜およびこれらの混合被膜が挙げ
られる。屈折率が1.25〜1.8の透明被膜として
は、これら酸化物特に酸化シリコンおよび酸化アルミニウム
および、これらの混合被膜において酸化シリコンおよび
酸化アルミニウムの比率が高いものおよびポーラスな酸
化シリコン被膜等が挙げられる。
The transparent film having a refractive index of 1.6 to 2.0 includes, for example, a film mainly composed of titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide and silicon oxide, and a mixed film thereof. Examples of the transparent film having a refractive index of 1.25 to 1.8 include these oxides, particularly silicon oxide and aluminum oxide, those having a high ratio of silicon oxide and aluminum oxide in a mixed film thereof, and porous silicon oxide film. No.

【0017】前記透明基板としては透明樹脂等も考えら
れるが、太陽電池を住宅の屋根等に用いる場合には、耐
火性や耐久性及び耐衝撃性等の点からガラス板が望まし
い。
Although the transparent substrate may be a transparent resin or the like, when a solar cell is used for a roof of a house or the like, a glass plate is preferable in terms of fire resistance, durability and impact resistance.

【0018】また透明導電膜としては、フッ素、塩素あ
るいはアンチモンが添加された酸化錫、錫が添加された
酸化インジウム、アルミニウムあるいはインジウムが添
加された酸化亜鉛などが挙げられるが、CVD法での成
膜原料の問題から酸化錫を用いるのが好ましい。更に
は、フッ素、塩素およびアンチモンから選ばれる少なく
とも1つを含む酸化錫が好ましい。
Examples of the transparent conductive film include tin oxide to which fluorine, chlorine or antimony is added, indium oxide to which tin is added, and zinc oxide to which aluminum or indium is added. It is preferable to use tin oxide from the viewpoint of film material. Further, tin oxide containing at least one selected from fluorine, chlorine and antimony is preferable.

【0019】またこれらの薄膜の形成方法としては、各
金属や各金属酸化物を使った真空蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法などのいわゆる物理的方
法や、各金属化合物のガス状の蒸気を加熱したガラス基
板に吹きつけて成膜する化学気相法(CVD法)や、各
金属化合物を溶解させた溶液の液滴を加熱したガラス基
板に吹きつけるスプレー法や、金属化合物からなる粉体
を噴霧させる粉末スプレー法などのいわゆる化学的方法
が挙げられる。
As a method for forming these thin films, a so-called physical method such as a vacuum evaporation method using each metal or each metal oxide, a sputtering method, an ion plating method, or a gaseous vapor of each metal compound is used. Chemical vapor deposition method (CVD method) in which a film is sprayed on a heated glass substrate, a spray method in which droplets of a solution in which each metal compound is dissolved are sprayed on a heated glass substrate, or a powder made of a metal compound. A so-called chemical method such as a powder spray method for spraying a body may be used.

【0020】これらのうち物理的方法による成膜は、膜
厚の均一性には優れているものの、切断されたガラスを
洗浄して真空装置において成膜させるという点から量産
性に難がある。またガラス基板の大型化への対応という
点から、化学的方法の方が優れている。
Among these, film formation by a physical method is excellent in uniformity of film thickness, but is difficult in mass productivity in that the cut glass is washed and formed in a vacuum apparatus. In addition, the chemical method is superior in terms of responding to an increase in the size of the glass substrate.

【0021】また、化学的方法のうちスプレー法は、方
法が簡便であるため安価に成膜が行えるという利点があ
る。しかし、吹きつける液滴の制御や、反応生成物及び
未分解生成物などの排気されるべき生成物の制御が難し
いため、膜厚の均一性が得にくい。さらにガラスの歪も
大きくなる等の欠点を有している。以上より、透明導電
膜や透明薄膜の製法としては、CVD法の方が適してい
る。
In addition, among the chemical methods, the spray method has an advantage that the film can be formed at low cost because the method is simple. However, it is difficult to control droplets to be sprayed and to control products to be evacuated such as reaction products and undecomposed products, so that it is difficult to obtain uniform film thickness. Further, it has a drawback that the distortion of the glass becomes large. As described above, the CVD method is more suitable as a method for producing a transparent conductive film or a transparent thin film.

【0022】CVD法で各金属酸化物膜を形成する場
合、一般に500mm角程度に切断されたガラス基板を
加熱し、ガス状の金属化合物を吹きつけて成膜してい
る。しかし最近では、こういった各種の薄膜が形成され
た透明導電膜付きガラス基板を非晶質太陽電池用として
住宅の屋根等に用いる場合、そのガラス基板をさらに大
きくする必要が生じてきている。
When each metal oxide film is formed by the CVD method, a glass substrate cut to about 500 mm square is generally heated and sprayed with a gaseous metal compound to form a film. However, recently, when a glass substrate with a transparent conductive film on which such various thin films are formed is used for a roof of a house or the like for an amorphous solar cell, it is necessary to further increase the size of the glass substrate.

【0023】大面積の切断されたガラス基板を加熱し
て、ガス状金属化合物を吹きつけて成膜するとなると、
加熱にさいして熱エネルギーを多く必要とする。このた
め大面積の透明導電膜形成ガラス基板を得る場合には、
ガラス成形時の熱エネルギーを利用して、高温ガラスリ
ボン上でCVD法により連続で成膜を行うことが、製造
コスト及び品質等の面から望ましい。
When a large-area cut glass substrate is heated and sprayed with a gaseous metal compound to form a film,
Heating requires a lot of heat energy. For this reason, when obtaining a transparent conductive film forming glass substrate having a large area,
It is desirable from the viewpoint of manufacturing cost, quality, and the like, to continuously form a film on a high-temperature glass ribbon by a CVD method using thermal energy during glass molding.

【0024】CVD法で形成されるシリコン酸化物のシ
リコン原料としては、モノシラン、ジシラン、トリシラ
ン、モノクロロシラン、ジクロロシラン、1,2-ジメチル
シラン、1,1,2-トリメチルジシラン、1,1,2,2-テトラメ
チルジシランなどが、酸化剤としては、酸素、水蒸気、
乾燥空気、二酸化炭素、一酸化炭素、二酸化窒素などが
挙げられる。
The silicon source of the silicon oxide formed by the CVD method includes monosilane, disilane, trisilane, monochlorosilane, dichlorosilane, 1,2-dimethylsilane, 1,1,2-trimethyldisilane, 1,1, 2,2-tetramethyldisilane, etc., as oxidizing agents, oxygen, steam,
Dry air, carbon dioxide, carbon monoxide, nitrogen dioxide and the like can be mentioned.

【0025】また、シランを使用した場合にガラス表面
に達するまでの酸化を防止する目的と、得られる酸化シ
リコン膜の屈折率制御のため、エチレン、アセチレン、
トルエン等の不飽和炭化水素ガスを添加してもかまわな
い。
Further, when silane is used, ethylene, acetylene, and the like are used for the purpose of preventing oxidation until reaching the glass surface and controlling the refractive index of the obtained silicon oxide film.
An unsaturated hydrocarbon gas such as toluene may be added.

【0026】アルミニウム酸化物のアルミニウム原料と
しては、トリメチルアルミニウム、アルミニウムトリイ
ソプロポキサイド、塩化ジエチルアルミニウム、アルミ
ニウムアセチルアセトネート、塩化アルミニウムなどが
挙げられる。
Examples of the aluminum raw material for the aluminum oxide include trimethylaluminum, aluminum triisopropoxide, diethylaluminum chloride, aluminum acetylacetonate, and aluminum chloride.

【0027】CVD法で形成される酸化チタンのチタン
原料としては、四塩化チタン、チタンイソプロポキシド
などが挙げられる。
As the titanium raw material of titanium oxide formed by the CVD method, titanium tetrachloride, titanium isopropoxide and the like can be mentioned.

【0028】CVD法に使われる錫化合物原料として
は、四塩化錫、ジメチル錫ジクロライド、ジブチル錫ジ
クロライド、テトラブチル錫、テトラメチル錫、ジオク
チル錫ジクロライド、モノブチル錫トリクロライドなど
が、酸化錫を得るための酸化剤としては、酸素、水蒸
気、乾燥空気などが挙げられる。
As tin compound raw materials used in the CVD method, tin tetrachloride, dimethyltin dichloride, dibutyltin dichloride, tetrabutyltin, tetramethyltin, dioctyltin dichloride, monobutyltin trichloride, etc. are used to obtain tin oxide. Examples of the oxidizing agent include oxygen, steam, and dry air.

【0029】また、酸化錫の導電性を増加させるため
に、フッ化水素、トリフルオロ酢酸、ブロモトリフルオ
ロメタン、クロルジフルオロメタンなどによるフッ素の
添加や、五塩化アンチモン、三塩化アンチモンなどによ
るアンチモンの添加等が行われる。
Further, in order to increase the conductivity of tin oxide, the addition of fluorine with hydrogen fluoride, trifluoroacetic acid, bromotrifluoromethane, chlorodifluoromethane or the like, or the addition of antimony with antimony pentachloride or antimony trichloride, etc. Etc. are performed.

【0030】なお、上記元素の他に諸特性を改善するた
めに、シリコン、アルミニウム、亜鉛、銅、インジウ
ム、ビスマス、ガリウム、ホウ素、バナジウム、マンガ
ン、ジルコニウム等を、シート抵抗があまり大きくなら
ない範囲で適宜添加してもよい。
In order to improve various characteristics other than the above-mentioned elements, silicon, aluminum, zinc, copper, indium, bismuth, gallium, boron, vanadium, manganese, zirconium, etc. are added in a range where the sheet resistance is not so large. You may add suitably.

【0031】透明導電膜である酸化錫被膜と、透明基板
の間に形成される酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜
等は、ガラス中のナトリウムが酸化錫被膜に侵入して導
電性を低下させるのを防止する目的(いわゆるアルカリ
バリアー層)も併せもつ。
The tin oxide film, which is a transparent conductive film, and the silicon oxide film, the aluminum oxide film and the like formed between the transparent substrates prevent sodium in the glass from penetrating into the tin oxide film and lowering the conductivity. It also has the purpose of preventing (so-called alkali barrier layer).

【0032】次に非晶質シリコン膜を形成する方法とし
ては、プラズマエネルギーを利用したプラズマCVD法
が一般的であり、このプラズマCVD法で成膜する場合
の原料としては、モノシランやジシラン等を用いるのが
一般的である。
Next, as a method for forming an amorphous silicon film, a plasma CVD method using plasma energy is generally used. As a material for forming a film by the plasma CVD method, monosilane, disilane, or the like is used. It is generally used.

【0033】非晶質シリコン太陽電池を形成する場合に
は、非晶質シリコンのp型およびn型半導体層を設ける
必要がある。p型半導体層を得るときにはモノシラン等
にジボラン等を添加させるのが一般的であり、n型半導
体層を得るにはフォスフィン等を添加させるのが一般的
である。
When forming an amorphous silicon solar cell, it is necessary to provide p-type and n-type semiconductor layers of amorphous silicon. When obtaining a p-type semiconductor layer, it is common to add diborane or the like to monosilane or the like, and to obtain an n-type semiconductor layer, it is common to add phosphine or the like.

【0034】さらに半導体薄膜として非晶質シリコン層
に加え、反射色ムラ低減および反射色調整の目的で酸化
亜鉛等の酸化物半導体薄膜を形成することもより好まし
いことである。
In addition to the amorphous silicon layer as the semiconductor thin film, it is more preferable to form an oxide semiconductor thin film such as zinc oxide for the purpose of reducing reflection color unevenness and adjusting reflection color.

【0035】非晶質シリコン膜あるいは酸化亜鉛膜上に
形成する金属電極膜としては、アルミニウム、銀などが
一般的である。これらの金属電極膜の形成方法として
は、これら金属ターゲットを利用した真空蒸着法やスパ
ッタリング法等のいわゆる物理的方法が一般的である。
As a metal electrode film formed on an amorphous silicon film or a zinc oxide film, aluminum, silver or the like is generally used. As a method for forming these metal electrode films, a so-called physical method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method using these metal targets is generally used.

【0036】本発明の屋根および外壁部材は、1例とし
てガラス基板上にCVD法で、酸化シリコン膜、酸化錫
膜、酸化チタン膜等からなる透明薄膜をを積層した後、
その上に透明導電膜である酸化錫被膜を積層し、この上
に半導体薄膜として非晶質シリコン膜あるいは非晶質シ
リコン膜に酸化亜鉛膜を形成し、次に金属電極膜として
アルミニウム膜を積層してなるものである。膜形成方法
は、前記真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法およ
びスプレー法等のその他の方法を組み合わせたものでも
もよい。
The roof and the outer wall member of the present invention are formed, for example, by stacking a transparent thin film made of a silicon oxide film, a tin oxide film, a titanium oxide film or the like on a glass substrate by a CVD method.
A tin oxide film, which is a transparent conductive film, is laminated thereon, an amorphous silicon film as a semiconductor thin film or a zinc oxide film is formed on the amorphous silicon film, and then an aluminum film is laminated as a metal electrode film. It is made. The film forming method may be a combination of other methods such as the vacuum evaporation method, the sputtering method, the CVD method, and the spray method.

【0037】[0037]

【発明の実施の形態】以下に実施例及び比較例により、
本発明をさらに詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, Examples and Comparative Examples
The present invention will be described in more detail.

【0038】(実施例1〜2、実施例4)通常のソーダ
石灰シリカガラスを溶融窯にて溶融し、溶融素地を錫槽
に流し込み、いわゆるフロート製法でガラスを板状に成
形した。この板状ガラスの厚みは3mmに調整した。錫
槽の雰囲気ガス組成は、98体積%の窒素と2体積%の
水素よりなり、その圧は周囲より少し正圧に保持され
た。
(Examples 1 and 2 and Example 4) Ordinary soda-lime-silica glass was melted in a melting furnace, the molten material was poured into a tin bath, and the glass was formed into a plate by a so-called float manufacturing method. The thickness of the sheet glass was adjusted to 3 mm. The atmosphere gas composition of the tin bath consisted of 98% by volume of nitrogen and 2% by volume of hydrogen, the pressure of which was maintained at a slightly more positive pressure than the surroundings.

【0039】上記板状ガラスは、図2に示す錫槽内にあ
る前半の複数の成膜ノズル15の下方を通過する際にジ
メチル錫ジクロライドの蒸気、酸素、水蒸気、ヘリウム
および窒素からなる混合ガスを用いて、酸化錫からなる
被膜を板状ガラス上に形成した。次の成膜ノズル16の
下方を通過する際にモノシラン、エチレン、酸素および
窒素からなる混合ガスによって処理され、このとき主と
して酸化シリコンからなる被膜が形成された。
When the sheet glass passes below the plurality of film forming nozzles 15 in the first half in the tin bath shown in FIG. 2, a mixed gas comprising vapor of dimethyltin dichloride, oxygen, water vapor, helium and nitrogen Was used to form a coating made of tin oxide on a sheet glass. When passing below the film-forming nozzle 16, it was treated with a mixed gas composed of monosilane, ethylene, oxygen and nitrogen, and a film mainly composed of silicon oxide was formed.

【0040】次いで後半の複数のノズル18の下方を通
過する際に、ジメチル錫ジクロライドの蒸気、酸素、水
蒸気、窒素およびフッ化水素からなる混合ガスによって
処理され、この時酸化シリコン被膜の上に酸化錫からな
る被膜が約750nmの膜厚で形成された。各被膜の膜
厚は、使用原料の濃度を変化させて制御した。この板状
ガラスは、徐冷工程を経てカッティング工程で450m
m×450mm寸法のガラス板に切断された。
Next, when passing under the plurality of nozzles 18 in the latter half, it is treated with a mixed gas consisting of vapor of dimethyltin dichloride, oxygen, water vapor, nitrogen and hydrogen fluoride. A tin film was formed with a thickness of about 750 nm. The thickness of each coating was controlled by changing the concentration of the raw materials used. This sheet glass is 450 m in a cutting process after a slow cooling process.
It was cut into a glass plate measuring mx 450 mm.

【0041】次にこの酸化錫被膜が形成された前記ガラ
ス板を十分に洗浄乾燥した後、水素およびモノシランガ
ス等を成分とする混合ガスを用いて、170Pa程度の
圧力下で容量結合型高周波グロー放電装置を用いて、非
晶質シリコン太陽電池を形成した。非晶質シリコン太陽
電池の構成は、以下に示すとおりである。 上記ガラス基板温度は、220℃とした。非晶質シリコ
ン膜の膜厚は、成膜時間によって制御した。
Next, the glass plate on which the tin oxide film is formed is sufficiently washed and dried, and then a capacitively coupled high-frequency glow discharge is performed under a pressure of about 170 Pa using a mixed gas containing hydrogen and monosilane gas. An amorphous silicon solar cell was formed using the apparatus. The configuration of the amorphous silicon solar cell is as shown below. The glass substrate temperature was 220 ° C. The thickness of the amorphous silicon film was controlled by the film formation time.

【0042】以上の手順に従って形成された非晶質シリ
コン上に、裏面電極としてアルミニウム層を10-4Pa
程度の圧力下で約300nmの膜厚になるよう真空蒸着
で形成し、太陽電池とし、このガラスを430mm×4
30mmの大きさに切断した。
On the amorphous silicon formed according to the above procedure, an aluminum layer is formed as a back electrode at 10 -4 Pa.
A solar cell was formed by vacuum evaporation to a thickness of about 300 nm under a moderate pressure, and this glass was 430 mm × 4
It was cut into a size of 30 mm.

【0043】また、透明薄膜および透明導電膜の成膜に
おいて、これらの多層膜形成を行った前後に、単層膜の
みを形成させる成膜を行い、これらの単層膜を用いて、
以下の方法で透明薄膜の屈折率および膜厚、また透明導
電膜の膜厚を求めた。
In the formation of the transparent thin film and the transparent conductive film, before and after forming these multilayer films, a film formation for forming only a single layer film is performed.
The refractive index and thickness of the transparent thin film and the thickness of the transparent conductive film were determined by the following methods.

【0044】酸化シリコン被膜の屈折率は、エリプソメ
トリーを使って、波長633nmでの値を求めた(酸化
アルミニウム、酸化錫、酸化チタンの屈折率も同じ方法
で求めた)。
The refractive index of the silicon oxide film was determined at a wavelength of 633 nm using ellipsometry (the refractive index of aluminum oxide, tin oxide and titanium oxide was also determined by the same method).

【0045】酸化シリコンの膜厚は、エリプソメトリー
による屈折率測定時に、被膜の消衰係数を0として求め
た(酸化アルミニウムの膜厚も同じ方法で求めた)。
The thickness of the silicon oxide was determined by setting the extinction coefficient of the coating to 0 when the refractive index was measured by ellipsometry (the thickness of the aluminum oxide was also determined by the same method).

【0046】酸化錫の膜厚は、テープでマスクされた酸
化錫膜に亜鉛の粉末を付け、その上から希塩酸を注ぐ方
法により被膜をエッチングし、触針計を使って求めた
(酸化チタンの膜厚も同じ方法で求めた)。
The thickness of the tin oxide was determined by applying a zinc powder to the tin oxide film masked with a tape, pouring dilute hydrochloric acid on the tin powder, etching the coating, and using a stylus meter (of titanium oxide). The film thickness was determined by the same method).

【0047】次に得られた非晶質シリコン太陽電池の可
視光反射色を、JIS Z 8722−1982に従っ
て、日立製330型分光光度計により測定して表1の値
を求めた。
Next, the visible light reflection color of the obtained amorphous silicon solar cell was measured with a Hitachi 330 type spectrophotometer according to JIS Z 8722-1982 to obtain the values shown in Table 1.

【0048】反射干渉色の有無および反射のぎらつき
は、白色壁に上記作製した非晶質シリコン太陽電池サン
プルを膜の積層されていない面を表側にして立てかけ
て、この表側に光を当て1m離れたところから見ての目
視判断によった。結果は表1に示した
The presence or absence of the reflection interference color and the glare of the reflection can be determined by placing the amorphous silicon solar cell sample prepared above on a white wall with the surface on which the film is not laminated facing up, and irradiating the surface with light for 1 m. It was based on visual judgment from a distance. The results are shown in Table 1.

【0049】(実施例3)450mm×450mmの大
きさに切断された約1ミリの厚みの通常のソーダ石灰シ
リカガラス板を、メッシュベルトに載せて加熱炉を通し
て約570℃まで加熱した。
Example 3 An ordinary soda-lime-silica glass plate having a thickness of about 1 mm cut into a size of 450 mm × 450 mm was placed on a mesh belt and heated to about 570 ° C. through a heating furnace.

【0050】このガラス板を、第1番目の成膜ノズルの
下方を通過させてチタンイソプロポキシド、酸素および
窒素からなる混合ガスを用いて、ガラス上に酸化チタン
からなる被膜を形成した。一旦徐冷工程を経てこの被膜
が形成されたガラス板を取り出した後、このガラス板を
再度、メッシュベルトに載せて加熱炉を通して約600
℃まで加熱した後、複数の成膜ノズルの下方を通過させ
てアルミニウムイソプロポキシド、酸素、窒素からなる
混合ガスを用いて、ガラス板上に主として酸化アルミニ
ウムからなる被膜を形成した。次にこのガラス板を徐冷
・取り出し・600℃再加熱後、複数の成膜ノズルの下
方を通過させてモノブチル錫トリクロライドの蒸気、酸
素、水蒸気、窒素およびトリフルオロ酢酸からなる混合
ガスによって処理し、酸化錫からなる被膜を約750n
m形成した。
The glass plate was passed under the first film-forming nozzle to form a film made of titanium oxide on the glass using a mixed gas consisting of titanium isopropoxide, oxygen and nitrogen. Once the glass plate on which this coating was formed was taken out through a slow cooling step, the glass plate was placed on a mesh belt again and passed through a heating furnace for about 600 hours.
After heating to ° C, a film mainly composed of aluminum oxide was formed on a glass plate using a mixed gas composed of aluminum isopropoxide, oxygen, and nitrogen by passing below a plurality of film forming nozzles. Next, the glass plate is gradually cooled, taken out, and reheated at 600 ° C., and then passed under a plurality of film forming nozzles to be treated with a mixed gas consisting of monobutyltin trichloride vapor, oxygen, water vapor, nitrogen and trifluoroacetic acid. And a coating of tin oxide of about 750 n
m was formed.

【0051】得られたガラス基板を使って実施例1と同
様の方法で非晶質シリコン太陽電池を作成し、430m
m×430mmのサイズに切断後、実施例1と同様の評
価を行った。結果は表1に示したとおりであった。
Using the obtained glass substrate, an amorphous silicon solar cell was formed in the same manner as in Example 1, and 430 m
After cutting to a size of mx 430 mm, the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0052】(実施例5)実施例1と同様にして、ガラ
ス板の表面に酸化錫膜、酸化シリコン膜および膜厚約7
50nmの酸化錫膜をこの順に成膜して透明導電膜を形
成した。これらの被膜が形成された板状ガラスは、徐冷
工程を経てカッティング工程で450mm×450mm
寸法のガラス板に切断された。次に上記ガラス板を用い
て、透明導電膜が形成されていないもう一方のガラス主
表面上に反射率を低減させる目的の透明被膜を以下のよ
うに形成した。
(Example 5) In the same manner as in Example 1, a tin oxide film, a silicon oxide film and a film thickness of about 7
A 50 nm thick tin oxide film was formed in this order to form a transparent conductive film. The sheet glass on which these coatings are formed is 450 mm × 450 mm in a cutting process through a slow cooling process.
Cut into glass plates of dimensions. Next, using the above-mentioned glass plate, a transparent film for reducing the reflectance was formed on the other glass main surface on which the transparent conductive film was not formed as follows.

【0053】前記透明導電膜を形成したガラス板の表面
をマスクした後、このガラス板を0.05モルのホウ酸
および0.008モルの弗化カリウムを添加した濃度
1.25モル/リットルの珪弗化水素酸のシリカ過飽和
水溶液に2時間浸漬した。さらにガラス板を取り出し、
マスクを除去し、洗浄、乾燥することにより、透明導電
膜が形成されていないもう一方のガラス主表面上に酸化
シリコン膜を形成した。この膜は実質的な屈折率が1.
28のポーラスな酸化シリコン膜で、厚さが100nm
であった。
After masking the surface of the glass plate on which the transparent conductive film was formed, the glass plate was treated with 0.05 mol of boric acid and 0.008 mol of potassium fluoride at a concentration of 1.25 mol / l. It was immersed in a supersaturated aqueous solution of hydrosilicofluoric acid for 2 hours. Take out the glass plate further,
By removing the mask, washing and drying, a silicon oxide film was formed on the other glass main surface where the transparent conductive film was not formed. This film has a substantial refractive index of 1.
28 porous silicon oxide film with a thickness of 100 nm
Met.

【0054】次いでこの板の透明導電膜が形成された面
に実施例1と同様な方法で非晶質シリコン層を形成し、
次に非晶質シリコン層上に公知であるスパッタリング法
を用いて酸化亜鉛層を形成した。さらにこの上に裏面電
極としてAl層を実施例1と同様の方法で形成して、太
陽電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果
は表1に示したとおりであった。
Next, an amorphous silicon layer was formed on the surface of the plate on which the transparent conductive film was formed in the same manner as in Example 1.
Next, a zinc oxide layer was formed on the amorphous silicon layer by a known sputtering method. Further, an Al layer was formed thereon as a back electrode in the same manner as in Example 1 to produce a solar cell, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0055】(実施例6〜7)実施例1と同様にして、
ガラス板の表面に酸化錫膜、酸化シリコン膜および膜厚
約750nmの酸化錫膜をこの順に成膜して透明導電膜
を形成した。これらの被膜が形成された板状ガラスは、
徐冷工程を経てカッティング工程で450mm×450
mm寸法のガラス板に切断された。次に上記ガラス板を
用いて、透明導電膜が形成されていないもう一方のガラ
ス主表面上に反射率を低減させる目的の透明被膜を以下
のように形成した。
(Examples 6 and 7) In the same manner as in Example 1,
A transparent conductive film was formed by forming a tin oxide film, a silicon oxide film, and a tin oxide film having a thickness of about 750 nm in this order on the surface of the glass plate. Sheet glass with these coatings formed,
450mm x 450 in cutting process after slow cooling process
It was cut into a glass plate having a size of mm. Next, using the above-mentioned glass plate, a transparent film for reducing the reflectance was formed on the other glass main surface on which the transparent conductive film was not formed as follows.

【0056】ガラス面上にまず酸化チタンと酸化シリコ
ンの混合酸化物膜を公知のゾルゲル法で形成し、その上
に酸化シリコンと酸化錫の混合酸化物膜を同じく公知の
ゾルゲル法で形成した。実施例6および7においては、
それぞれの混合酸化物中の各酸化物の割合を変えること
で屈折率を調整した。すなわち、酸化チタンと酸化シリ
コンの混合酸化物においては酸化チタンの割合を高くす
ることで屈折率を高くできる。酸化シリコンと酸化錫の
混合酸化物においては、酸化シリコンの割合を高くする
ことで屈折率を低くできる。
First, a mixed oxide film of titanium oxide and silicon oxide was formed on a glass surface by a known sol-gel method, and a mixed oxide film of silicon oxide and tin oxide was formed thereon by a known sol-gel method. In Examples 6 and 7,
The refractive index was adjusted by changing the ratio of each oxide in each mixed oxide. That is, in a mixed oxide of titanium oxide and silicon oxide, the refractive index can be increased by increasing the proportion of titanium oxide. In a mixed oxide of silicon oxide and tin oxide, the refractive index can be reduced by increasing the proportion of silicon oxide.

【0057】次いでこの板の透明導電膜が形成された面
に実施例1と同様な方法で非晶質シリコン層を形成し、
次に非晶質シリコン層上に公知であるスパッタリング法
を用いて酸化亜鉛層を形成した。さらにこの上に裏面電
極としてAl層を実施例1と同様の方法で形成して、太
陽電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果
は表1に示したとおりであった。 (実施例8)実施例1と同様にして、ガラス板の表面に
酸化錫膜、酸化シリコン膜および膜厚約750nmの酸
化錫膜をこの順に成膜して透明導電膜を形成した。これ
らの被膜が形成された板状ガラスは、徐冷工程を経てカ
ッティング工程で450mm×450mm寸法のガラス
板に切断された。次に上記ガラス板を用いて、透明導電
膜が形成されていないもう一方のガラス主表面上に反射
率を低減させる目的の透明被膜を以下のように形成し
た。
Next, an amorphous silicon layer was formed on the surface of the plate on which the transparent conductive film was formed in the same manner as in Example 1.
Next, a zinc oxide layer was formed on the amorphous silicon layer by a known sputtering method. Further, an Al layer was formed thereon as a back electrode in the same manner as in Example 1 to produce a solar cell, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1. Example 8 A transparent conductive film was formed in the same manner as in Example 1 by forming a tin oxide film, a silicon oxide film and a tin oxide film having a thickness of about 750 nm in this order on the surface of a glass plate. The sheet glass on which these coatings were formed was cut into glass plates having dimensions of 450 mm × 450 mm in a cutting step after a slow cooling step. Next, using the above-mentioned glass plate, a transparent film for reducing the reflectance was formed on the other glass main surface on which the transparent conductive film was not formed as follows.

【0058】ガラス面上にまず酸化シリコンと酸化錫の
混合酸化物膜を同じく公知のゾルゲル法で形成した。そ
の上に実施例5と同様にしてポーラスな酸化シリコン膜
を形成した。
First, a mixed oxide film of silicon oxide and tin oxide was formed on a glass surface by a known sol-gel method. A porous silicon oxide film was formed thereon in the same manner as in Example 5.

【0059】次いでこの板の透明導電膜が形成された面
に実施例1と同様な方法で非晶質シリコン層を形成し、
次に非晶質シリコン層上に公知であるスパッタリング法
を用いて酸化亜鉛層を形成した。さらにこの上に裏面電
極としてAl層を実施例1と同様の方法で形成して、太
陽電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果
は表1に示したとおりであった。
Next, an amorphous silicon layer is formed on the surface of the plate on which the transparent conductive film is formed in the same manner as in Example 1.
Next, a zinc oxide layer was formed on the amorphous silicon layer by a known sputtering method. Further, an Al layer was formed thereon as a back electrode in the same manner as in Example 1 to produce a solar cell, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0060】(実施例9)実施例1と同様にして、ガラ
ス板の表面に酸化錫膜、酸化シリコン膜および膜厚が約
750nmの酸化錫膜をこの順に成膜して透明導電膜を
形成した。これらの被膜が形成された板状ガラスは、徐
冷工程を経てカッティング工程で450mm×450m
m寸法のガラス板に切断された。次に上記ガラス板を用
いて、透明導電膜が形成されていないもう一方のガラス
主表面上を、防眩効果を出す目的でサンドブラストによ
り表面状態を凹凸形状のとする処理を行った。
Embodiment 9 In the same manner as in Embodiment 1, a tin oxide film, a silicon oxide film and a tin oxide film having a thickness of about 750 nm are formed in this order on the surface of a glass plate to form a transparent conductive film. did. The sheet glass on which these coatings are formed is 450 mm × 450 m
It was cut into glass plates of m dimensions. Next, using the above-mentioned glass plate, the surface of the other glass surface on which the transparent conductive film was not formed was subjected to a process of making the surface state uneven by sandblasting in order to obtain an antiglare effect.

【0061】次いでこの板の透明導電膜が形成された面
に実施例1と同様な方法で非晶質シリコン層を形成し、
次に非晶質シリコン層上に公知であるスパッタリング法
を用いて酸化亜鉛層を形成した。さらにこの上に裏面電
極としてAl層を実施例1と同様の方法で形成して、太
陽電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果
は表1に示したとおりであった。
Next, an amorphous silicon layer was formed on the surface of the plate on which the transparent conductive film was formed, in the same manner as in Example 1.
Next, a zinc oxide layer was formed on the amorphous silicon layer by a known sputtering method. Further, an Al layer was formed thereon as a back electrode in the same manner as in Example 1 to produce a solar cell, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0062】(実施例10)実施例9と同様に、透明導
電膜が形成されていないもう一方のガラス主表面上に防
眩処理を行った。この防眩処理を行ったガラス主表面上
に実施例6と同様にしてゾルゲル法で混合酸化物被膜を
形成した。
Example 10 As in Example 9, an antiglare treatment was performed on the other glass main surface on which the transparent conductive film was not formed. A mixed oxide film was formed on the glass main surface subjected to the antiglare treatment by the sol-gel method in the same manner as in Example 6.

【0063】次いでこの板の透明導電膜が形成された面
に実施例1と同様な方法で非晶質シリコン層を形成し、
次に非晶質シリコン層上に公知であるスパッタリング法
を用いて酸化亜鉛層を形成した。さらにこの上に裏面電
極としてAl層を実施例1と同様の方法で形成して、太
陽電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果
は表1に示したとおりであった。
Next, an amorphous silicon layer was formed on the surface of the plate on which the transparent conductive film was formed in the same manner as in Example 1.
Next, a zinc oxide layer was formed on the amorphous silicon layer by a known sputtering method. Further, an Al layer was formed thereon as a back electrode in the same manner as in Example 1 to produce a solar cell, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0064】(比較例1)実施例3と同寸法、同材質の
ガラス板を用いて、同様の方法で、モノブチル錫トリク
ロライドの蒸気等の混合ガスを用いて、膜厚が約750
nmの酸化錫からなる被膜を形成した。
(Comparative Example 1) A glass plate of the same dimensions and the same material as in Example 3 was used, and in the same manner, using a mixed gas such as vapor of monobutyltin trichloride to obtain a film thickness of about 750.
A film made of tin oxide having a thickness of nm was formed.

【0065】次に実施例1と同様に非晶質シリコン太陽
電池を作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果は
表1に示したとおりであった。
Next, an amorphous silicon solar cell was prepared in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results were as shown in Table 1.

【0066】[0066]

【表1】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明中間膜 透明被膜 防眩 平均 干渉色 ぎらつき 屈折率/膜厚(nm) 屈折率/膜厚(nm) 反射率 1層目 2層目 1層目 2層目 (%) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例1 1.90/35 1.46/15 − − − 8.44 ○ ○ 実施例2 2.02/25 1.50/20 − − − 8.52 ○ ○ 実施例3 2.19/25 1.68/20 − − − 9.25 ○ ○ 実施例4 1.82/45 1.46/25 − − − 8.42 ○ ○ 実施例5 1.90/40 1.48/20 1.28/100 − − 5.12 ○ ○ 実施例6 1.90/25 1.48/10 1.79/130 1.50/80 − 6.58 ○ ○ 実施例7 1.90/35 1.48/15 1.95/100 1.72/60 − 7.05 ○ ○ 実施例8 1.90/40 1.50/20 1.64/170 1.28/100 − 4.88 ○ ○ 実施例9 1.90/45 1.50/20 − − 有り 8.22 ○ ◎ 実施例10 1.90/40 1.46/25 1.80/120 1.48/90 有り 6.36 ○ ◎ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 比較例1 − − − − − 12.29 × × −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− (注)表1の言葉の意味 ・1層目:透明基板側 ・◎:無い、○:ほとんどない、×:強いTable 1----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- Glare Refractive index / thickness (nm) Refractive index / thickness (nm) Reflectivity First layer Second layer First layer Second layer (%) ---------------------- −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Example 1 1.90 / 35 1.46 / 15 − − − 8.44 ○ ○ Example 2 2.02 / 25 1.50 / 20 − − − 8.52 ○ ○ Example 3 2.19 / 25 1.68 / 20 − − − 9.25 ○ ○ Example 4 1.82 / 45 1.46 / 25 − − − 8.42 ○ ○ Example 5 1.90 / 40 1.48 / 20 1.28 / 100 − − 5.12 ○ ○ Example 6 1.90 / 25 1.48 / 10 1.79 / 130 1.50 / 80 − 6.58 ○ ○ Example 7 1.90 / 35 1.48 / 15 1.95 / 100 1.72 / 60 − 7.05 ○ ○ Example 8 1.90 / 40 1.50 / 20 1.64 / 170 1.28 / 100 − 4.88 ○ ○ Example 9 1.90 / 45 1.50 / 20 − − Yes 8.22 ○ ◎ Example 10 1.90 / 40 1.46 / 25 1.80 / 120 1.48 / 90 Yes 6.36 ○ ◎ −−−−−− −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Comparative Example 1 − − − − − 12.29 × × −−−−−−−−−−− −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− (Note) Meanings of words in Table 1 ・ First layer: transparent substrate side ・ ◎: None, ○: Almost none, ×: strong

【0067】実施例ではどの場合でも干渉色はほとんど
なく、反射ぎらつきもほとんど認められない。これに対
し、透明中間膜、透明被膜のない比較例では干渉色、ぎ
らつきとも非常に強く認められた。又反射率においても
比較例は実施例の約1.5倍から約2.3倍と高い。
In each of the examples, there is almost no interference color and almost no reflection glare. On the other hand, in the comparative example having no transparent interlayer film and no transparent coating film, very strong interference color and glare were recognized. Also, the reflectance of the comparative example is about 1.5 times to about 2.3 times higher than that of the example.

【0068】[0068]

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
透明基板と透明導電膜の間に透明中間膜を形成すること
により、光線入射側からの平均反射率および反射干渉色
が低減され、透明基板の光入射側に透明被膜を形成した
場合に、光入射側の可視光全域の反射率が低減され、光
入射側からの反射のぎらつきが大きく低減される。この
光起電力素子である太陽電池を住居の屋根に設置した場
合、光起電力素子の変換効率が向上するとともに、反射
光害が減り、反射光から受ける不快感を少なくすること
ができる。
According to the present invention as described above,
By forming a transparent intermediate film between the transparent substrate and the transparent conductive film, the average reflectance and the reflection interference color from the light incident side are reduced, and when the transparent film is formed on the light incident side of the transparent substrate, The reflectance of the entire visible light region on the incident side is reduced, and the glare of reflection from the light incident side is greatly reduced. When the solar cell, which is the photovoltaic element, is installed on the roof of a house, the conversion efficiency of the photovoltaic element is improved, reflected light pollution is reduced, and discomfort from reflected light can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る光起電力素子用基板の拡大断面
図。
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a substrate for a photovoltaic device according to the present invention.

【図2】本発明に係る光起電力素子用基板の製造用フロ
ートガラス製造ラインでの成膜装置の配置を示す概略
図。
FIG. 2 is a schematic view showing an arrangement of a film forming apparatus in a float glass manufacturing line for manufacturing a substrate for a photovoltaic element according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 屈折率1.7〜2.5の膜(酸化錫膜) 3 屈折率1.45〜1.8の膜(酸化シリコ
ン膜) 4 透明導電膜(酸化錫膜) 5 屈折率1.2〜1.45の膜(酸化シリコ
ン膜) 11 ガラス 12 溶融窯 13 フロートバス 14 徐冷部 15〜19 成膜装置
Reference Signs List 1 glass substrate 2 film with refractive index of 1.7 to 2.5 (tin oxide film) 3 film with refractive index of 1.45 to 1.8 (silicon oxide film) 4 transparent conductive film (tin oxide film) 5 refractive index 1 .2 to 1.45 film (silicon oxide film) 11 Glass 12 Melting furnace 13 Float bath 14 Slow cooling unit 15 to 19 Film forming device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/04 H01L 31/04 F 31/042 R (72)発明者 乗松 穂高 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 Fターム(参考) 2E108 CC09 CC18 GG16 KK00 LL01 MM00 NN07 2E110 AA04 AB02 AB04 BA05 BA12 BB05 GA33W GB32W GB53W 4F100 AA20C AA28B AA28D AB11A AG00E BA05 BA07 BA10A BA10E BA26 EA02 GB07 JA12A JG01B JN01A JN01B JN01C JN01D JN01E JN06 JN18B JN18C JN18D JN30 YY00B YY00C YY00D 5F051 BA03 BA11 FA02 FA03 GA03 GA06 GA11 GA20 HA20 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 31/04 H01L 31/04 F 31/042 R (72) Inventor Norimatsu Hodaka Michio, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 3-5-11, Nippon Sheet Glass Co., Ltd. F-term (reference) 2E108 CC09 CC18 GG16 KK00 LL01 MM00 NN07 2E110 AA04 AB02 AB04 BA05 BA12 BB05 GA33W GB32W GB53W 4F100 AA20C AA28B AA28D AB11A AG12 BA10 BA01 BA01 BA10 JN01A JN01B JN01C JN01D JN01E JN06 JN18B JN18C JN18D JN30 YY00B YY00C YY00D 5F051 BA03 BA11 FA02 FA03 GA03 GA06 GA11 GA20 HA20

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光線が入射する側と反対側の透明基板の
一方の主表面上に、透明導電膜、光電変換素子および裏
面電極が順に積層された屋根および外壁部材において、
前記透明基板と透明導電膜との間に少なくとも2層より
なる透明中間膜が形成されていることを特徴とする屋根
および外壁部材。
1. A roof and an outer wall member in which a transparent conductive film, a photoelectric conversion element, and a back electrode are sequentially laminated on one main surface of a transparent substrate on a side opposite to a side on which light rays are incident,
A roof and an outer wall member, wherein a transparent intermediate film composed of at least two layers is formed between the transparent substrate and the transparent conductive film.
【請求項2】 前記透明中間膜が屈折率と膜厚を調整す
ることで、透明中間膜がない場合よりも、光線が入射す
る側からの平均反射率および反射干渉色が低減されてい
ることを特徴とする請求項1記載の屋根および外壁部
材。
2. The refractive index and the film thickness of the transparent intermediate film are adjusted so that the average reflectance and the reflection interference color from the light incident side are reduced as compared with the case where the transparent intermediate film is not provided. The roof and outer wall member according to claim 1, characterized in that:
【請求項3】 前記透明基板の光線が入射するもう一方
の主表面上に少なくとも1層よりなる透明被膜が形成さ
れていることを特徴とする請求項1に記載の屋根および
外壁部材。
3. The roof and outer wall member according to claim 1, wherein at least one transparent coating is formed on the other main surface of the transparent substrate on which light rays are incident.
【請求項4】 前記透明被膜が屈折率と膜厚を調整する
ことで、透明被膜がない場合よりも、光線が入射する側
からの平均反射率が低減されていることを特徴とする請
求項3に記載の屋根および外壁部材。
4. An average reflectance from a light incident side is reduced by adjusting the refractive index and the film thickness of the transparent film as compared with a case where the transparent film is not provided. 4. The roof and outer wall member according to 3.
【請求項5】 前記透明基板の光線が入射する側が、入
射光が乱反射するように防眩処理が施されていることを
特徴とする請求項3ないし4に記載の屋根および外壁部
材。
5. The roof and outer wall member according to claim 3, wherein an anti-glare treatment is performed on a side of the transparent substrate on which light rays are incident so that incident light is irregularly reflected.
【請求項6】 前記透明中間膜が、透明基板側に1.7
〜2.5の屈折率、5〜50nmの膜厚である第1の透
明中間膜、その上に1.45〜1.8の屈折率、5〜5
0nmの膜厚である第2の透明中間膜で、かつ、前記第
1の透明中間膜の屈折率が前記第2の透明中間膜の屈折
率よりも大きい被膜であることを特徴とする請求項1な
いし2に記載の屋根および外壁部材。
6. The transparent intermediate film having a thickness of 1.7 on the transparent substrate side.
A first transparent intermediate film having a refractive index of 2.5 to 2.5 nm and a film thickness of 5 to 50 nm, and a refractive index of 1.45 to 1.8 on the first transparent intermediate film;
The second transparent intermediate film having a film thickness of 0 nm, and a refractive index of the first transparent intermediate film is larger than a refractive index of the second transparent intermediate film. 3. The roof and outer wall member according to 1 or 2.
【請求項7】 前記透明被膜が、実質的に1.2〜1.
45の屈折率、50〜200nmの膜厚である被膜であ
ることを特徴とする請求項3ないし4に記載の屋根およ
び外壁部材。
7. The method according to claim 7, wherein the transparent coating is substantially 1.2 to 1.
5. The roof and outer wall member according to claim 3, wherein the coating has a refractive index of 45 and a film thickness of 50 to 200 nm.
【請求項8】 前記透明被膜が、透明基板側の透明被膜
の屈折率が1.6〜2.0、膜厚が50〜200nmで、
その上に形成された透明被膜の屈折率が1.25〜1.
8、膜厚が30〜150nmの2層の被膜であることを特
徴とする請求項3ないし4に記載の屋根および外壁部
材。
8. The transparent film, wherein the transparent film on the transparent substrate side has a refractive index of 1.6 to 2.0 and a thickness of 50 to 200 nm,
The transparent film formed thereon has a refractive index of 1.25 to 1.
8. The roof and outer wall member according to claim 3, which is a two-layer film having a thickness of 30 to 150 nm.
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