JP2001167545A - Head suspension assembly - Google Patents

Head suspension assembly

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JP2001167545A
JP2001167545A JP35017399A JP35017399A JP2001167545A JP 2001167545 A JP2001167545 A JP 2001167545A JP 35017399 A JP35017399 A JP 35017399A JP 35017399 A JP35017399 A JP 35017399A JP 2001167545 A JP2001167545 A JP 2001167545A
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magnetic head
head slider
fixed
suspension
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城一朗 江▲崎▼
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
Takeshi Wada
健 和田
Takashi Honda
隆 本田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head suspension assembly which has high impact resistance of its actuator and furthermore never impedes the operation of the actuator. SOLUTION: This head suspension assembly is provided with an actuator which performs its positioning by means of a piezoelectric phenomenon and with relative displacement between its 1st and 2nd parts which are located at different positions on a plane, a suspension to which the 1st part of the actuator is fixed and a magnetic head slider which is fixed to the 2nd part of the actuator and has at last one thin film magnetic head element. The point of load of the suspension is set at the 1st position of the actuator.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュ
エータを備えたヘッドサスペンションアセンブリに関す
る。The present invention relates to a head suspension assembly provided with an actuator for positioning a thin-film magnetic head element used in a magnetic disk drive.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置では、ヘッドサスペン
ションアセンブリのサスペンションの先端部に取り付け
られた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの
表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライ
ダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスク
への記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われ
る。2. Description of the Related Art In a magnetic disk drive, a magnetic head slider attached to the tip of a suspension of a head suspension assembly is levitated from the surface of a rotating magnetic disk, and in this state, a thin film mounted on the magnetic head slider is mounted. Recording to and / or reproduction from the magnetic disk is performed by the magnetic head element.

【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。In recent years, with the increase in capacity and recording density of magnetic disk drives, the density in the disk radial direction (track width direction) has been increasing, and a conventional voice coil motor (hereinafter referred to as VCM) has been developed. ), It is becoming difficult to accurately adjust the position of the magnetic head.

【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行なう技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。As one of means for realizing precise positioning of a magnetic head, another actuator mechanism is mounted on the magnetic head slider side in addition to the conventional VCM, so that a fine VCM that cannot be completely followed. This is a technique in which precise positioning is performed by the actuator (for example, JP-A-6-259905, JP-A-6-259905).
309822, JP-A-8-180623).

【０００５】図１は本出願人が既に提案したヘッドサス
ペンションアセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダ部分の構造を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing the structure of an actuator and a magnetic head slider in a head suspension assembly already proposed by the present applicant.

【０００６】同図において、１１は磁気ヘッド素子の精
密位置決めを行うためのアクチュエータ、１２は磁気ヘ
ッド素子を有する磁気ヘッドスライダ、１３及び１４は
サスペンションのフレクシャ及びロードビーム、１６は
ロードビーム１４に設けられておりサスペンションの荷
重点となっている突起をそれぞれ示している。In FIG. 1, reference numeral 11 denotes an actuator for precisely positioning a magnetic head element, 12 denotes a magnetic head slider having a magnetic head element, 13 and 14 denote suspension flexures and load beams, and 16 denotes a load beam 14. Each of the projections indicates a load point of the suspension.

【０００７】アクチュエータ１１はその後端部１１ａに
おいてフレクシャ１３に固着されており、その先端部１
１ｂにおいて磁気ヘッドスライダ１２に固着されてい
る。このフレクシャ１３に固着された後端部１１ａがア
クチュエータの固定部となり、先端部１１ｂが可動部と
なって磁気ヘッドスライダ１２を左右に揺動させること
によって磁気ヘッド素子の精密位置決めが行なわれる。The actuator 11 is fixed to the flexure 13 at its rear end 11a.
At 1b, it is fixed to the magnetic head slider 12. The rear end portion 11a fixed to the flexure 13 serves as a fixed portion of the actuator, and the front end portion 11b serves as a movable portion to swing the magnetic head slider 12 right and left, thereby performing precise positioning of the magnetic head element.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造によると、ロードビーム１４の突起１６の位
置、即ちサスペンションの荷重点がアクチュエータ１１
の変位部分に位置しているため、耐衝撃性が低く、また
荷重がかかるとアクチュエータ１１とフレクシャ１３と
の間に摩擦が生じてアクチュエータの動きを阻害してし
まう。However, according to such a structure, the position of the projection 16 of the load beam 14, that is, the load point of the suspension,
, The impact resistance is low, and when a load is applied, friction occurs between the actuator 11 and the flexure 13 to hinder the movement of the actuator.

【０００９】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
の耐衝撃性が高く、しかもその動作を阻害することがな
い薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータを備
えたヘッドサスペンションアセンブリを提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object to position a thin-film magnetic head element which has high shock resistance of an actuator and does not hinder its operation. An object of the present invention is to provide a head suspension assembly including an actuator.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電現
象を利用しており、平面上で互いに異なる位置にある第
１の部分と第２の部分とが相対的に変位することによっ
て位置決めを行うためのアクチュエータと、このアクチ
ュエータの第１の部分が固着されているサスペンション
と、アクチュエータの第２の部分に固着されており少な
くとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドス
ライダとを備えており、サスペンションの荷重点がアク
チュエータの第１の部分に位置しているヘッドサスペン
ションアセンブリが提供される。According to the present invention, a piezoelectric element is used, and a first portion and a second portion located at different positions on a plane are relatively displaced to position each other. And a suspension to which a first portion of the actuator is fixed, and a magnetic head slider to be fixed to a second portion of the actuator and having at least one thin-film magnetic head element. , A head suspension assembly is provided wherein the load point of the suspension is located on a first portion of the actuator.

【００１１】サスペンションの荷重点がアクチュエータ
の固定部である第１の部分に位置している。従って、ア
クチュエータに衝撃が印加された際の耐性が高くなり、
しかも、アクチュエータに荷重が印加された際にもアク
チュエータとサスペンションとの間に摩擦がほとんど発
生せず、アクチュエータの動きが阻害されることはな
い。The load point of the suspension is located at a first portion which is a fixed portion of the actuator. Therefore, the resistance when an impact is applied to the actuator increases,
Moreover, even when a load is applied to the actuator, almost no friction occurs between the actuator and the suspension, and the movement of the actuator is not hindered.

【００１２】サスペンションの荷重点が、磁気ヘッドス
ライダの中心点にほぼ一致していることが好ましい。こ
れによって、磁気ヘッドスライダの浮上特性が安定化す
る。It is preferable that the load point of the suspension substantially coincides with the center point of the magnetic head slider. Thereby, the flying characteristics of the magnetic head slider are stabilized.

【００１３】アクチュエータの第１の部分（固定部）及
び第２の部分（可動部）がアクチュエータのサスペンシ
ョンにおける先端側及び基端側の位置にそれぞれ存在し
ているか、又はアクチュエータの第１の部分（固定部）
がアクチュエータのサスペンションにおける先端側の位
置に、第２の部分（可動部）がアクチュエータの中間部
の位置にそれぞれ存在しており、しかも磁気ヘッドスラ
イダが磁気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部に
おいてアクチュエータの第２の部分に固着されているこ
とが好ましい。この場合、磁気ヘッドスライダの薄膜磁
気ヘッド素子が、アクチュエータの第１の部分よりサス
ペンションにおける先端側である前方に位置しているこ
とがより好ましい。このように磁気ヘッドスライダの磁
気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部がアクチュ
エータの可動部に固着されており、かつアクチュエータ
の支点（固定部）を越えて磁気ヘッドスライダの磁気ヘ
ッド素子の端が位置しているため、アクチュエータの変
位量に対する磁気ヘッド素子の変位量をかなり大きくな
り、ストロークが大きくなる。The first portion (fixed portion) and the second portion (movable portion) of the actuator are respectively located at the distal and proximal positions in the suspension of the actuator, or the first portion (movable portion) of the actuator. Fixed part)
Are located at the tip end side of the actuator suspension, and the second part (movable part) is located at the middle part of the actuator, and the magnetic head slider is located on the opposite side to the end where the magnetic head element is located. It is preferably fixed at the end to the second part of the actuator. In this case, it is more preferable that the thin-film magnetic head element of the magnetic head slider is located in front of the first portion of the actuator, that is, on the distal end side of the suspension. As described above, the end of the magnetic head slider opposite to the end where the magnetic head element exists is fixed to the movable part of the actuator, and extends beyond the fulcrum (fixed part) of the actuator. , The displacement of the magnetic head element with respect to the displacement of the actuator becomes considerably large, and the stroke becomes large.

【００１４】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面が平坦な面に形成されており、この平坦な面がアクチ
ュエータの第２の部分に固着されていることが好まし
い。この場合、磁気ヘッドスライダが、その平坦な面の
全面に渡って厚みが薄くなるように構成されていること
がヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図るためにも好ましい。Preferably, the surface of the magnetic head slider opposite to the flying surface is formed as a flat surface, and the flat surface is fixed to the second portion of the actuator. In this case, the magnetic head slider is configured to have a small thickness over the entire flat surface in order to reduce the height of the entire head suspension assembly and reduce the thickness of the magnetic disk device. Is also preferred.

【００１５】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面に平坦な底面を有する凹部が形成されており、この凹
部の底面がアクチュエータの第２の部分に固着されてい
ることも好ましい。このように磁気ヘッドスライダに設
けられた凹部内にアクチュエータが取り付けられている
ため、磁気ヘッドスライダ全体の厚みを薄くすることな
くヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能となる。
また、アクチュエータと磁気ヘッドスライダとを組み立
てる際の位置決めが非常に容易となる。It is also preferable that a recess having a flat bottom surface is formed on the surface of the magnetic head slider opposite to the flying surface, and the bottom surface of the recess is fixed to the second portion of the actuator. As described above, since the actuator is mounted in the recess provided in the magnetic head slider, the height of the entire head suspension assembly is reduced without reducing the thickness of the entire magnetic head slider, and the thickness of the magnetic disk drive is reduced. It becomes possible to plan.
Further, positioning when assembling the actuator and the magnetic head slider becomes very easy.

【００１６】凹部の内壁とアクチュエータとの間が空隙
であってもよいし、凹部の内壁とアクチュエータとの間
に弾性樹脂が充填されていてもよい。後者の場合、アク
チュエータを補強することができ、アクチュエータ構造
の微細化を図ることができるので、アクチュエータ自体
の変位量を増大させることが可能となる。しかも、アク
チュエータの耐衝撃性を向上させることができ、また、
脱粒を多少なりとも防止できる。A gap may be provided between the inner wall of the recess and the actuator, or an elastic resin may be filled between the inner wall of the recess and the actuator. In the latter case, the actuator can be reinforced and the actuator structure can be miniaturized, so that the displacement of the actuator itself can be increased. Moreover, the impact resistance of the actuator can be improved, and
Shattering can be prevented at all.

【００１７】凹部が溝であることも好ましい。It is also preferred that the recess is a groove.

【００１８】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面に、アクチュエータに係合する位置決め用凸部が形成
されていることも好ましい。このような凸部を設けるこ
とにより、組み立て時の位置決めが非常に容易となる。It is also preferable that a positioning protrusion engaging with the actuator is formed on the surface of the magnetic head slider opposite to the flying surface. By providing such a convex part, positioning at the time of assembly becomes very easy.

【００１９】本発明の実施形態においては、アクチュエ
ータの第１の部分の固着面積と第２の部分の固着面積と
がほぼ等しいか、アクチュエータの第１の部分の固着面
積が第２の部分の固着面積より大きいか、又はアクチュ
エータの第２の部分の固着面積が第１の部分の固着面積
より大きい。In the embodiment of the present invention, the fixed area of the first portion of the actuator is substantially equal to the fixed area of the second portion, or the fixed area of the first portion of the actuator is fixed to the second portion. Either larger than the area or the fixed area of the second part of the actuator is larger than the fixed area of the first part.

【００２０】[0020]

【発明の実施の形態】図２は本発明の一実施形態とし
て、ヘッドサスペンションアセンブリの全体をスライダ
側から見た平面図であり、図３は図２の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャ
への取り付け構造を示す側面図であり、図４は図２の実
施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の構造を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエー
タ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）は
アクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を
示す斜視図である。FIG. 2 is a plan view of the entire head suspension assembly as viewed from the slider side according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a flexure of the actuator and the magnetic head slider in the embodiment of FIG. FIG. 4 is a side view showing a structure for mounting the actuator and the magnetic head slider in the embodiment of FIG. 2, and FIG. 4A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider. FIG. 2B is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to the magnetic head slider.

【００２１】これらの図に示すように、ヘッドサスペン
ションアセンブリは、サスペンション２０の先端部に磁
気ヘッド素子の精密位置決めを行うためのアクチュエー
タ２１を取り付け、そのアクチュエータ２１に磁気ヘッ
ド素子を有するスライダ２２を固着して構成される。As shown in these figures, in the head suspension assembly, an actuator 21 for precisely positioning a magnetic head element is attached to the tip of a suspension 20, and a slider 22 having a magnetic head element is fixed to the actuator 21. It is composed.

【００２２】周知のように、磁気ディスク駆動装置に
は、このようなヘッドサスペンションアセンブリを取り
付けた駆動アームを変位させてアセンブリ全体を動かす
主アクチュエータ（ＶＣＭ）が設けられている。アクチ
ュエータ２１は、そのような主アクチュエータでは駆動
できない微細な変位を可能にするために設けられてい
る。As is well known, a magnetic disk drive is provided with a main actuator (VCM) for displacing a drive arm to which such a head suspension assembly is attached and moving the entire assembly. The actuator 21 is provided to enable a minute displacement that cannot be driven by such a main actuator.

【００２３】このアクチュエータ２１は、後述するよう
に、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料層を含む多層構造であり、磁気ヘッドスライダ２２
とは機械的に、サスペンション２０とは電気的及び機械
的に接続されている。その大きさは、例えば、１．２５
ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍの磁気ヘッドスライダ２
２とほぼ同等の大きさである。The actuator 21 has a multilayer structure including a piezoelectric / electrostrictive material layer which expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect, as will be described later.
Is electrically connected to the suspension 20 electrically and mechanically. Its size is, for example, 1.25
Magnetic head slider 2 mm × 1.0 mm × 0.3 mm
The size is almost equal to 2.

【００２４】本実施形態では、アクチュエータ２１及び
磁気ヘッドスライダ２２が、共に、磁気ディスク媒体の
表面に対向するように、サスペンション２０の磁気ディ
スク媒体と対向する側の面上に取り付けられている。な
お、図示されていないが、サスペンション２０の途中に
ヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。In the present embodiment, the actuator 21 and the magnetic head slider 22 are mounted on the surface of the suspension 20 facing the magnetic disk medium so as to face the surface of the magnetic disk medium. Although not shown, a head driving IC chip may be mounted in the middle of the suspension 20.

【００２５】サスペンション２０は、アクチュエータ２
１を介してスライダ２２を一方の端部に設けられた舌部
で担持する弾性を有するフレクシャ２３と、フレクシャ
２３を支持固着しておりこれも弾性を有するロードビー
ム２４と、ロードビーム２４の基部に設けられたベース
プレート２５とから主として構成されている。The suspension 20 includes the actuator 2
1, a flexure 23 having elasticity for supporting a slider 22 with a tongue provided at one end thereof, a load beam 24 supporting and fixing the flexure 23 and also having elasticity, and a base of the load beam 24 And a base plate 25 provided in the main body.

【００２６】ロードビーム２４には、点荷重を行うため
の突起（ディンプルに対応する）２６が設けられてお
り、この突起２６がフレクシャ２３を介してさらにアク
チュエータ２１を介して磁気ヘッドスライダ２２を押圧
することによりサスペンションからの荷重が行なわれ
る。従ってこの突起２６の位置が荷重点となる。なお、
ロードビーム２４は、アクチュエータ２１を介してスラ
イダ２２を磁気ディスク方向に押さえつけるための弾性
を持っている。The load beam 24 is provided with a projection (corresponding to a dimple) 26 for applying a point load, and the projection 26 presses the magnetic head slider 22 via the flexure 23 and the actuator 21. As a result, a load is applied from the suspension. Therefore, the position of the projection 26 is a load point. In addition,
The load beam 24 has elasticity for pressing the slider 22 via the actuator 21 toward the magnetic disk.

【００２７】フレクシャ２３は、ロードビーム２４に設
けられた突起２６に押圧される軟らかい舌部を持ち、こ
の舌部でアクチュエータ２１を介してスライダ２２を柔
軟に支えるような弾性を持っている。本実施形態のよう
に、フレクシャ２３とロードビーム２４とが独立した部
品である３ピース構造のサスペンションでは、フレクシ
ャ２３の剛性はロードビーム２４の剛性より低くなって
いる。The flexure 23 has a soft tongue pressed by a projection 26 provided on the load beam 24, and has elasticity such that the tongue flexibly supports the slider 22 via the actuator 21. In a three-piece suspension in which the flexure 23 and the load beam 24 are independent components as in the present embodiment, the rigidity of the flexure 23 is lower than the rigidity of the load beam 24.

【００２８】フレクシャ２３は、本実施形態では、厚さ
約２５μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４Ｔ
Ａ）によって構成されている。後述するように、フレク
シャ２３の先端部２３ａは、このフレクシャ２３の他の
部分２３ｂから分離独立して形成されている。In this embodiment, the flexure 23 is made of a stainless steel plate (for example, SUS304T) having a thickness of about 25 μm.
A). As will be described later, the tip portion 23a of the flexure 23 is formed separately from and independent of the other portion 23b of the flexure 23.

【００２９】フレクシャ２３上及びフレクシャ２３が存
在しない空間上には、積層薄膜パターンによる複数のリ
ード導体を含む可撓性の配線部材２７が形成されてい
る。即ち、配線部材２７は、フレクシブルプリント回路
（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉｒｃｕｉｔ、Ｆ
ＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するの
と同じ公知のパターニング方法で形成されている。例え
ば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１
の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ
層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の
樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレク
シャ２３側から順次積層することによって形成される。
ただし、磁気ヘッド素子及び外部回路と接続するための
接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成され
ており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。On the flexure 23 and on the space where the flexure 23 does not exist, a flexible wiring member 27 including a plurality of lead conductors in a laminated thin film pattern is formed. That is, the wiring member 27 is formed of a flexible printed circuit (FLEXIBLE PRINT CIRCUIT, F
It is formed by the same known patterning method as that for forming a printed circuit board on a thin metal plate like PC). For example, a first resin material such as polyimide having a thickness of about 5 μm is used.
Insulating material layer, patterned Cu having a thickness of about 4 μm
A layer (lead conductor layer) and a second insulating material layer of a resin material such as polyimide having a thickness of about 5 μm are sequentially laminated in this order from the flexure 23 side.
However, in the portion of the connection pad for connecting to the magnetic head element and the external circuit, the Au layer is formed on the Cu layer, and the insulating material layer is not formed thereon.

【００３０】本実施形態においてこの配線部材２７は、
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２７ａと、アクチュエ
ータ２１に接続される片側２本、両側で計４本のリード
導体を含む第２の配線部材２７ｂとから構成されてい
る。In this embodiment, the wiring member 27 is
A first wiring member 27a including two lead conductors on one side connected to the magnetic head element and a total of four lead conductors on both sides, and a first wiring member 27a connected on two sides to the actuator 21 and a total of four lead conductors on both sides. And two wiring members 27b.

【００３１】第１の配線部材２７ａのリード導体の一端
は、フレクシャ２３の分離独立した先端部２３ａ上に設
けられた接続パッド２８に接続されており、接続パッド
２８は、図３に示すように、磁気ヘッドスライダ２２の
端子電極に金ボール３１でボールボンディングされてい
る。第１の配線部材２７ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための接続パッド２９に接続されている。
従って、この第１の配線部材２７ａは、フレクシャの他
の部分２３ｂ上に積層されている部分と、アクチュエー
タ２１及び磁気ヘッドスライダ２２の両側で空中に浮動
している部分と、フレクシャの分離独立した先端部２３
ａ上に積層されている部分とから構成されることとな
る。フレクシャのこの先端部２３ａと、他の部分２３ｂ
とは、互いに異なる平面内に存在しているが、第１の配
線部材２７ａのこの空中に浮動している部分が自由に湾
曲することによって、分離独立した先端部２３ａにスト
レスを与えることなく磁気ヘッド素子との電気的接続が
確保される。One end of the lead conductor of the first wiring member 27a is connected to a connection pad 28 provided on a separate and independent end portion 23a of the flexure 23. As shown in FIG. The ball electrodes 31 are ball-bonded to the terminal electrodes of the magnetic head slider 22. The other end of the lead conductor of the first wiring member 27a is connected to a connection pad 29 for connecting to an external circuit.
Therefore, the first wiring member 27a is separated from the portion laminated on the other portion 23b of the flexure, the portion floating in the air on both sides of the actuator 21 and the magnetic head slider 22, and the flexure is separated and independent. Tip 23
and a portion laminated on the substrate a. This tip portion 23a of the flexure and another portion 23b
Means that the parts floating in the air of the first wiring member 27a are freely curved, so that the first and second wiring members 27a can be magnetically applied without stress to the separated and independent end portions 23a. Electrical connection with the head element is ensured.

【００３２】なお、ボールボンディングに代えて、ステ
ッチボンディングにより、接続パッド２８と磁気ヘッド
スライダ２２の端子電極とを接続してもよい。The connection pads 28 and the terminal electrodes of the magnetic head slider 22 may be connected by stitch bonding instead of ball bonding.

【００３３】第２の配線部材２７ｂのリード導体の一端
は、フレクシャ２３の舌部に形成された接続パッドに接
続されており、この接続パッドはアクチュエータ２１の
端子電極に接続されている。第２の配線部材２７ｂのリ
ード導体の他端は外部回路と接続するための接続パッド
２９に接続されている。One end of the lead conductor of the second wiring member 27b is connected to a connection pad formed on the tongue of the flexure 23, and this connection pad is connected to a terminal electrode of the actuator 21. The other end of the lead conductor of the second wiring member 27b is connected to a connection pad 29 for connecting to an external circuit.

【００３４】ロードビーム２４は、先端に向けて幅が狭
くなる形状の約６０〜６５μｍ厚の弾性を有するステン
レス鋼板で構成されており、フレクシャ２３をその全長
に渡って支持している。ただし、フレクシャ２３とロー
ドビーム２４との固着は、複数の溶接点によるピンポイ
ント固着によってなされている。The load beam 24 is formed of an elastic stainless steel plate having a thickness of about 60 to 65 μm and having a shape narrowing toward the distal end, and supports the flexure 23 over its entire length. However, the flexure 23 and the load beam 24 are fixed by pinpoint fixing by a plurality of welding points.

【００３５】ベースプレート２５は、ステンレス鋼又は
鉄で構成されており、ロードビーム２４の基部に溶接に
よって固着されている。このベースプレート２５を取り
付け部３０で固定することによって、サスペンション２
０の可動アーム（図示なし）への取り付けが行われる。
なお、フレクシャ２３とロードビーム２４とを別個に設
けず、ベースプレートとフレクシャ−ロードビームとの
２ピース構造のサスペンションとしてもよい。The base plate 25 is made of stainless steel or iron, and is fixed to the base of the load beam 24 by welding. By fixing the base plate 25 with the mounting portion 30, the suspension 2
0 is attached to a movable arm (not shown).
Note that the flexure 23 and the load beam 24 may not be separately provided, and a suspension having a two-piece structure of a base plate and a flexure load beam may be used.

【００３６】図４に示すように、アクチュエータ２１
は、フレクシャ２３に固着される第１の部分（以下固定
部と称する）２１ａ及び磁気ヘッドスライダ２２に固着
される第２の部分（以下可動部と称する）２１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
２１ｃ及び２１ｄを有する。変位発生部２１ｃ及び２１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部２１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極２１ｅ〜２１ｇが形
成されている。As shown in FIG.
Has a first portion (hereinafter, referred to as a fixed portion) 21a fixed to the flexure 23 and a second portion (hereinafter, referred to as the movable portion) 21b fixed to the magnetic head slider 22, and further connects them. It has two rod-shaped displacement generating parts 21c and 21d. Displacement generators 21c and 21
d has at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixed portion 21a is formed with three terminal electrodes 21e to 21g connected to the above-described electrode layers.

【００３７】図３から明らかのように、フレクシャ２３
には、アクチュエータ２１の固定部２１ａの上面及び／
又は側面が接着剤３２によって固着されている。この場
合、アクチュエータ２１の固定部２１ａがこのアクチュ
エータ２１のサスペンションにおける先端側に位置し、
かつロードビーム２４に設けられた突起２６が固定部２
１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように固
着されている。As is clear from FIG. 3, the flexure 23
The upper surface of the fixed portion 21a of the actuator 21 and / or
Alternatively, the side surface is fixed by an adhesive 32. In this case, the fixed portion 21a of the actuator 21 is located on the distal end side of the suspension of the actuator 21,
Further, the projection 26 provided on the load beam 24 is
1a, it is preferably fixed so as to be located near its center.

【００３８】このように、本実施形態では、サスペンシ
ョン１０の荷重点がアクチュエータ２１の固定部２１ａ
に位置している。従って、アクチュエータ２１に衝撃が
印加された際のこれが変位部に印加されず固定部に印加
されるので耐衝撃性が高くなる。しかも、面外荷重を変
位部からはずすことができるので、アクチュエータ２１
とサスペンション１０との間に摩擦がほとんど発生せ
ず、アクチュエータ２１の動きが阻害されることはな
い。As described above, in the present embodiment, the load point of the suspension 10 is
It is located in. Therefore, when an impact is applied to the actuator 21, the impact is applied to the fixed portion instead of the displacement portion, so that the impact resistance is improved. Moreover, since the out-of-plane load can be removed from the displacement portion, the actuator 21
Almost no friction occurs between the suspension and the suspension 10, and the movement of the actuator 21 is not hindered.

【００３９】アクチュエータ２１の固着方法としては、
接着剤による接着の他に、アクチュエータ２１の固定部
２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇをフレクシ
ャ２３に形成された接続パッドにハンダ接続すること、
又は固定部２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇ
をフレクシャ２３に形成された接続パッドに導電接着剤
を用いて接着することであってもよい。The fixing method of the actuator 21 is as follows.
In addition to bonding with an adhesive, soldering the terminal electrodes 21e to 21g provided on the fixing portion 21a of the actuator 21 to connection pads formed on the flexure 23;
Alternatively, terminal electrodes 21e to 21g provided on the fixed portion 21a
May be bonded to a connection pad formed on the flexure 23 using a conductive adhesive.

【００４０】一方、図３及び図４から明らかのように、
アクチュエータ２１の可動部２１ｂは、磁気ヘッドスラ
イダ２２の浮上面（ＡＢＳ）とは反対側の平坦な面上で
あって磁気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部
に、その下面が接着剤３３により接着されることによっ
て固着されている。この場合、アクチュエータ２１の可
動部２１ｂがこのアクチュエータ２１の後端部（サスペ
ンションにおける後端側）に位置するように設定されて
いる。On the other hand, as is apparent from FIGS. 3 and 4,
The lower surface of the movable portion 21b of the actuator 21 is adhered to an end of the magnetic head slider 22 on a flat surface opposite to the air bearing surface (ABS) and opposite to the end where the magnetic head element exists. It is fixed by being adhered by the agent 33. In this case, the movable portion 21b of the actuator 21 is set to be located at the rear end of the actuator 21 (at the rear end of the suspension).

【００４１】上述のごとく、変位発生部２１ｃ及び２１
ｄの一端は固定部２１ａを介してフレクシャ２３に連結
され、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの他端は可動部２１
ｂを介して磁気ヘッドスライダ２２に連結されている。
従って、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの伸縮により磁気
ヘッドスライダ２２が変位して、磁気ヘッド素子が磁気
ディスクの記録トラックと交差するように弧状に変位す
る。特に、本実施形態では、磁気ヘッドスライダ２２の
磁気ヘッド素子が存在する端２２ａとは反対側の端部が
アクチュエータ２１の可動部２１ｂに固着されており、
かつアクチュエータ２１の固定部２１ａと可動部２１ｂ
との間の距離に比して磁気ヘッドスライダ２２のアクチ
ュエータ２１への固着部と磁気ヘッド素子が存在する端
２２ａとの間の距離が大きいため、換言すれば、磁気ヘ
ッド素子が存在する端２２ａがアクチュエータ２１の固
定部２１ａより前方に位置しているため、アクチュエー
タ２１の変位量に対する磁気ヘッド素子部分の変位量が
かなり大きくなり、ストロークが大きくなる。As described above, the displacement generators 21c and 21c
d is connected to the flexure 23 via the fixed portion 21a, and the other ends of the displacement generating portions 21c and 21d are connected to the movable portion 21.
b, it is connected to the magnetic head slider 22.
Therefore, the magnetic head slider 22 is displaced by the expansion and contraction of the displacement generating parts 21c and 21d, and the magnetic head element is displaced in an arc shape so as to intersect the recording track of the magnetic disk. In particular, in the present embodiment, the end of the magnetic head slider 22 opposite to the end 22 a where the magnetic head element exists is fixed to the movable portion 21 b of the actuator 21.
And a fixed portion 21a and a movable portion 21b of the actuator 21.
In other words, the distance between the fixed portion of the magnetic head slider 22 to the actuator 21 and the end 22a where the magnetic head element exists is larger than the distance between the end 22a where the magnetic head element exists. Is located forward of the fixed portion 21a of the actuator 21, the displacement of the magnetic head element portion with respect to the displacement of the actuator 21 becomes considerably large, and the stroke becomes large.

【００４２】以下、アクチュエータ２１の構造について
より詳しく説明する。Hereinafter, the structure of the actuator 21 will be described in more detail.

【００４３】変位発生部２１ｃ及び２１ｄにおける圧電
・電歪材料層がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成さ
れている場合、この圧電・電歪材料層には、通常、変位
性能向上のための分極処理が施されている。この分極処
理による分極方向は、アクチュエータ２１の厚さ方向で
ある。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極
方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はそ
の厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では
収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向
と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収
縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効
果）する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一
方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比
率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエー
タ２１の面内において同方向に撓む。この撓みによっ
て、固定部２１ａに対し可動部２１ｂが、電圧無印加時
の位置を中央として図４の矢印３４の方向に揺動するこ
とになる。この揺動は、可動部２１ｂが、変位発生部２
１ｃ及び２１ｄの伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧
状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータ
の面内に存在する。従って、磁気ヘッド素子も図４の矢
印３５に示すようにより大きな弧状の軌跡を描いて揺動
することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じ
なので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両
変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長さ
せるものであっても、同様な揺動が生じる。When the piezoelectric / electrostrictive material layers in the displacement generating portions 21c and 21d are made of a so-called piezoelectric material such as PZT, the piezoelectric / electrostrictive material layers are usually provided with a polarization treatment for improving the displacement performance. Is given. The polarization direction by this polarization processing is the thickness direction of the actuator 21. When the direction of the electric field when a voltage is applied to the electrode layer matches the polarization direction, the piezoelectric / electrostrictive material layer between the two electrodes expands in the thickness direction (piezoelectric longitudinal effect) and contracts in the in-plane direction. (Piezoelectric lateral effect). On the other hand, when the direction of the electric field is opposite to the polarization direction, the piezoelectric / electrostrictive material layer contracts in its thickness direction (piezoelectric longitudinal effect) and elongates in its in-plane direction (piezoelectric transverse effect). When a voltage that causes contraction is alternately applied to one of the displacement generators and the other displacement generator, the ratio of the length of one displacement generator to the length of the other displacement generator changes. As a result, the two displacement generating portions bend in the same direction in the plane of the actuator 21. Due to this bending, the movable portion 21b swings with respect to the fixed portion 21a in the direction of the arrow 34 in FIG. 4 around the position where no voltage is applied. This swing is caused by the movable part 21b being displaced by the displacement generating part 2.
The displacement describes an arc-shaped trajectory in a direction substantially perpendicular to the expansion and contraction directions of 1c and 21d, and the swing direction exists in the plane of the actuator. Accordingly, the magnetic head element also swings along a larger arc-shaped trajectory as shown by the arrow 35 in FIG. At this time, since the direction of the voltage is the same as that of the polarization, there is no fear of the polarization decay, which is preferable. Even if the voltage applied alternately to the two displacement generating portions causes the displacement generating portions to extend, similar swinging occurs.

【００４４】アクチュエータ２１としては、両変位発生
部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加
してもよい。即ち、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮
したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加し
てもよい。このときの可動部２１ｂの揺動は、電圧無印
加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電
圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加
する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一
方の側では変位発生部を伸長させることになり、このと
きの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加
電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧
電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、
分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えてお
き、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを
駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向
きと逆になることがないようにする。この場合の揺動
は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とす
るものとなる。The actuator 21 may simultaneously apply voltages to both of the displacement generators so as to cause displacements opposite to each other. That is, an alternating voltage may be simultaneously applied to one displacement generating unit and the other displacement generating unit such that when one expands, the other contracts, and when one contracts, the other expands. At this time, the swing of the movable portion 21b is centered on the position where no voltage is applied. In this case, the amplitude of the swing when the drive voltage is the same is about twice as large as when the voltage is applied alternately. However, in this case, the displacement generating portion is extended on one side of the swing, and the driving voltage at this time is opposite to the direction of the polarization. Therefore, when the applied voltage is high or when the voltage is continuously applied, the polarization of the piezoelectric / electrostrictive material may be attenuated. Therefore,
By applying a constant DC bias voltage in the same direction as the polarization and superimposing the alternating voltage on the bias voltage as the drive voltage, the direction of the drive voltage does not reverse to the direction of the polarization. To In this case, the swing is centered on the position when only the bias voltage is applied.

【００４５】アクチュエータ２１は、所定箇所に電極層
を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠き
を形成することにより、変位発生部２１ｃ及び２１ｄ、
固定部２１ａ並びに可動部２１ｂを一体的に形成した構
造となっている。従って、アクチュエータの剛性および
寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。ま
た、アクチュエータ自体の製造に接着剤を用いないた
め、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着
剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロス
や、接着強度の経年変化などの問題も生じない。The actuator 21 is formed by forming holes and cutouts in a plate of a piezoelectric / electrostrictive material provided with an electrode layer at a predetermined position, so that displacement generating parts 21c and 21d,
It has a structure in which the fixed portion 21a and the movable portion 21b are integrally formed. Therefore, the rigidity and dimensional accuracy of the actuator can be increased, and there is no fear that an assembly error occurs. Further, since no adhesive is used for manufacturing the actuator itself, no adhesive layer is present in a portion where stress is generated by deformation of the displacement generating portion. Therefore, problems such as transmission loss due to the adhesive layer and aging of the adhesive strength do not occur.

【００４６】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。The term "piezoelectric / electrostrictive material" means a material that expands and contracts due to an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The piezoelectric / electrostrictive material may be any material as long as it can be applied to the displacement generating portion of the actuator as described above. However, because of its high rigidity, PZT [Pb (Zr, Ti) is usually used.
O 3 ], PT (PbTiO 3 ), PLZT [(Pb, L
a) (Zr, Ti) O 3 ], barium titanate (BaT)
Ceramic piezoelectric / electrostrictive materials such as iO 3 ) are preferred.

【００４７】図５は本発明の他の実施形態におけるアク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。FIG. 5 shows the structure of an actuator and a magnetic head slider according to another embodiment of the present invention. FIG. 5A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the is fixed to a magnetic head slider.

【００４８】図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ５１は、固定部５１ａ及び可動部５１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
５１ｃ及び５１ｄを有する。変位発生部５１ｃ及び５１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部５１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極５１ｅ〜５１ｇが形
成されている。As shown in FIGS. 5A and 5B, the actuator 51 has a fixed part 51a and a movable part 51b, and further includes two rod-shaped displacement generating parts 51c and 51d connecting these parts. Have. Displacement generators 51c and 51
d has at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixed portion 51a has three terminal electrodes 51e to 51g connected to the above-described electrode layers.

【００４９】本実施形態では、特に、アクチュエータ５
１の固定部５１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ５２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ５１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。In this embodiment, in particular, the actuator 5
The one fixing portion 51a is formed in a shape such that the fixing area with the suspension is increased. For this reason, despite the structural, shape and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 52, it is possible to obtain a sufficient fixing strength between the suspension and the actuator 51. It becomes possible.

【００５０】本実施形態における、アクチュエータ５１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。In this embodiment, the actuator 51
Since the other configuration and operation and effect except for the structure are completely the same as those of the embodiment of FIG. 2, the description is omitted.

【００５１】図６は本発明のさらに他の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。FIG. 6 shows the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 6A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to a magnetic head slider.

【００５２】図６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ６１は、固定部６１ａ及び可動部６１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
６１ｃ及び６１ｄを有する。変位発生部６１ｃ及び６１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部６１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極６１ｅ〜６１ｇが形
成されている。As shown in FIGS. 6A and 6B, the actuator 61 has a fixed part 61a and a movable part 61b, and further includes two rod-shaped displacement generating parts 61c and 61d connecting these parts. Have. Displacement generators 61c and 61
d has at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixed portion 61a is formed with three terminal electrodes 61e to 61g connected to the above-described electrode layers.

【００５３】本実施形態では、特に、アクチュエータ６
１の固定部６１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されているため、ため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ６２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ６１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。In this embodiment, in particular, the actuator 6
Since the first fixing portion 61a is formed in a shape having a large area for fixing to the suspension, the structure, shape and dimensions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 62 are reduced. Despite the restrictions, it is possible to obtain a sufficient fixing strength between the suspension and the actuator 61.

【００５４】さらに、磁気ヘッドスライダ６２が例えば
図５の実施形態のごとき通常の場合より薄く形成されて
いため、ヘッドサスペンションアセンブリ全体の厚みが
減少し、磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能と
なる。また、ヘッドサスペンションアセンブリの厚みを
減少させる必要のない場合には、磁気ヘッドスライダ６
２を薄くした分、アクチュエータ６１の厚みを増大させ
てその耐衝撃性を向上させることが可能となる。Further, since the magnetic head slider 62 is formed thinner than a normal case such as the embodiment of FIG. 5, it is possible to reduce the thickness of the entire head suspension assembly and reduce the thickness of the magnetic disk drive. Become. If it is not necessary to reduce the thickness of the head suspension assembly, the magnetic head slider 6
As a result of reducing the thickness of 2, the thickness of the actuator 61 can be increased and its shock resistance can be improved.

【００５５】本実施形態における、アクチュエータ６１
及び磁気ヘッドスライダ６２の構造を除くその他の構成
及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様である
ため、説明を省略する。In the present embodiment, the actuator 61
Other configurations and operational effects other than the structure of the magnetic head slider 62 are exactly the same as those of the embodiment of FIG.

【００５６】図７は、本発明のまたさらに他の実施形態
におけるサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの取り付け構造を示しており、同図（Ａ）は
これらサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダを互いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）は
その底面図である。また、図８は図７の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。FIG. 7 shows a mounting structure of a suspension, an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 7A shows the suspension, the actuator and the magnetic head slider fixed to each other. The side view of the state, and FIG. FIG. 8 shows the structure of the actuator and the magnetic head slider in the embodiment of FIG. 7. FIG. 8A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. It is a perspective view showing the state where it was fixed to the slider.

【００５７】これらの図において、７０はフレクシャ７
３、これを支持するロードビーム７４及びこのロードビ
ーム７４の基部に設けられたベースプレート（図示な
し）とから主として構成されているサスペンション、７
１はフレクシャ７３の舌部７３ｃに固着されたアクチュ
エータ、７２はアクチュエータ７１に固着された磁気ヘ
ッドスライダ、７６はロードビーム２４に設けられた点
荷重を行うための突起（ディンプルに対応する）、７７
ａ及び７７ｂは複数のリード導体を含む可撓性の第１及
び第２の配線部材、７８はフレクシャ７３の分離独立し
た先端部７３ａ上に設けられた接続パッドをそれぞれ示
している。In these figures, 70 is a flexure 7
3. a suspension mainly composed of a load beam 74 supporting the load beam and a base plate (not shown) provided at the base of the load beam 74;
1 is an actuator fixed to the tongue 73c of the flexure 73, 72 is a magnetic head slider fixed to the actuator 71, 76 is a projection (corresponding to a dimple) provided on the load beam 24 for applying a point load, 77
Reference numerals a and 77b denote first and second flexible wiring members including a plurality of lead conductors, and reference numeral 78 denotes a connection pad provided on a separate and independent end portion 73a of the flexure 73.

【００５８】第１の配線部材７７ａは磁気ヘッド素子に
接続されるリード導体を含んでおり、第２の配線部材７
７ｂはアクチュエータ７１に接続されるリード導体を含
んでいる。第１の配線部材７７ａのリード導体の一端は
７８に接続されており、これら接続パッド７８は磁気ヘ
ッドスライダ７２の端子電極に金ボール８１でボールボ
ンディングされている。The first wiring member 77a includes a lead conductor connected to the magnetic head element, and the second wiring member 77a
7b includes a lead conductor connected to the actuator 71. One end of the lead conductor of the first wiring member 77a is connected to 78, and these connection pads 78 are ball-bonded to the terminal electrodes of the magnetic head slider 72 with gold balls 81.

【００５９】フレクシャ７３の舌部７３ｃには、アクチ
ュエータ７１の固定部７１ａの上面及び側面が接着剤８
２によって固着されている。この場合、アクチュエータ
７１の固定部７１ａがこのアクチュエータ７１のサスペ
ンションにおける先端側に位置し、かつロードビーム７
４に設けられた突起７６が固定部７１ａ内に、望ましく
はその中心近傍に位置するように固着されている。The tongue portion 73c of the flexure 73 has an adhesive 8 on the top and side surfaces of the fixed portion 71a of the actuator 71.
2 fixed. In this case, the fixed portion 71a of the actuator 71 is located on the distal end side of the suspension of the actuator 71, and the load beam 7
4 is fixed to the fixing portion 71a so as to be located preferably near the center thereof.

【００６０】アクチュエータ７１の可動部７１ｂは、磁
気ヘッドスライダ７２の磁気ヘッド素子が存在する端と
は反対側の端部にその下面が接着剤８３により接着され
ることによって固着されている。本実施形態において
は、アクチュエータ７１のこの可動部７１ｂは、このア
クチュエータ７１の後端部（サスペンションにおける後
端側）から折り返した中間部に位置している。The movable portion 71b of the actuator 71 is fixed to the end of the magnetic head slider 72 opposite to the end where the magnetic head element is present by bonding the lower surface thereof with an adhesive 83. In the present embodiment, the movable portion 71b of the actuator 71 is located at an intermediate portion folded from the rear end of the actuator 71 (the rear end of the suspension).

【００６１】アクチュエータ７１は、固定部７１ａ及び
可動部７１ｂから折り返した後端部を接続する２本の棒
状の変位発生部７１ｃ及び７１ｄを有する。変位発生部
７１ｃ及び７１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部７１ａに
は、上述の電極層に接続されている３つの端子電極７１
ｅ〜７１ｇが形成されている。The actuator 71 has two rod-shaped displacement generating portions 71c and 71d that connect the rear end portions folded from the fixed portion 71a and the movable portion 71b. The displacement generating portions 71c and 71d have piezoelectric / electrode layers having electrode layers on both sides.
At least one electrostrictive material layer is provided, and expansion and contraction are generated by applying a voltage to the electrode layer. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixing portion 71a has three terminal electrodes 71 connected to the above-described electrode layers.
e to 71 g are formed.

【００６２】本実施形態では、特に、アクチュエータ７
１の可動部７１ｂが、その後端部から折り返した位置に
あり、磁気ヘッドスライダ７２との固着面積が大きくな
るような形状に形成されている。このため、サスペンシ
ョン７０と磁気ヘッドスライダ７２との間にアクチュエ
ータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約が
あるにもかかわらず、磁気ヘッドスライダ７２とアクチ
ュエータ７１との間で十分な固着強度を得ることが可能
となる。In this embodiment, in particular, the actuator 7
One movable portion 71b is located at a position turned back from the rear end portion, and is formed in a shape such that an area secured to the magnetic head slider 72 is increased. For this reason, despite the structural, shape, and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension 70 and the magnetic head slider 72, sufficient fixing strength is provided between the magnetic head slider 72 and the actuator 71. Can be obtained.

【００６３】本実施形態における、アクチュエータ７１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。In this embodiment, the actuator 71
Since the other configuration and operation and effect except for the structure are completely the same as those of the embodiment of FIG. 2, the description is omitted.

【００６４】図９は本発明のさらに他の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。FIG. 9 shows the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 9A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to a magnetic head slider.

【００６５】図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ９１は、固定部９１ａ及び可動部９１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
９１ｃ及び９１ｄを有する。変位発生部９１ｃ及び９１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部９１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極９１ｅ〜９１ｇが形
成されている。As shown in FIGS. 9A and 9B, the actuator 91 has a fixed portion 91a and a movable portion 91b, and further includes two rod-shaped displacement generating portions 91c and 91d connecting these. Have. Displacement generators 91c and 91
d has at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixed portion 91a has three terminal electrodes 91e to 91g connected to the above-described electrode layers.

【００６６】本実施形態では、特に、アクチュエータ９
１の固定部９１ａ及び可動部９１ｂが、サスペンション
及び磁気ヘッドスライダ９２との固着面積がそれぞれ大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ９２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ９１、並びに磁気ヘッドスライダ９２とアクチュエー
タ９１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。In this embodiment, in particular, the actuator 9
The first fixed portion 91a and the movable portion 91b are formed in such a shape that the area of fixation to the suspension and the magnetic head slider 92 is increased. For this reason, despite the structural, shape, and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 92, the suspension and the actuator 91, and the magnetic head slider 92 and the actuator 91, are restricted. Thus, it is possible to obtain a sufficient fixing strength.

【００６７】本実施形態における、アクチュエータ９１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。In the present embodiment, the actuator 91
Since the other configuration and operation and effect except for the structure are completely the same as those of the embodiment of FIG. 2, the description is omitted.

【００６８】図１０は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレ
クシャへの取り付け構造を示す側面図であり、図１１は
図１０の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこれらア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同
図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着
した状態を示す斜視図である。FIG. 10 is a side view showing a structure for attaching an actuator and a magnetic head slider to a flexure according to still another embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a structure of the actuator and the magnetic head slider in the embodiment of FIG. FIG. 2A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. 2B is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to the magnetic head slider.

【００６９】これらの図において、１００はフレクシャ
１０３、これを支持するロードビーム１０４及びこのロ
ードビーム１０４の基部に設けられたベースプレート
（図示なし）とから主として構成されているサスペンシ
ョン、１０１はフレクシャ１０３の舌部に固着されたア
クチュエータ、１０２はアクチュエータ１０１に固着さ
れた磁気ヘッドスライダ、１０６はロードビーム１０４
に設けられた点荷重を行うための突起（ディンプルに対
応する）、１０３ａはフレクシャ１０３の分離独立した
先端部をそれぞれ示している。In these figures, reference numeral 100 denotes a suspension mainly composed of a flexure 103, a load beam 104 for supporting the same, and a base plate (not shown) provided at the base of the load beam 104; An actuator fixed to the tongue, a magnetic head slider 102 fixed to the actuator 101, and a load beam 104
The projections (corresponding to the dimples) 103a provided for the point load are provided at the end portions of the flexure 103 separately and independently.

【００７０】フレクシャ１０３の先端部１０３ａには、
磁気ヘッドスライダ１０２の端子電極に金ボール１１１
でボールボンディングされる接続パッドが設けられてい
る。At the tip 103a of the flexure 103,
Gold balls 111 are used for the terminal electrodes of the magnetic head slider 102.
And connection pads to be ball-bonded.

【００７１】フレクシャ１０３の舌部には、アクチュエ
ータ１０１の固定部１０１ａの上面及び／又は側面が接
着剤１１２によって固着されている。この場合、アクチ
ュエータ１０１の固定部１０１ａがこのアクチュエータ
１０１のサスペンションにおける先端側に位置し、かつ
ロードビーム１０４に設けられた突起１０６が固定部１
０１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように
固着されている。The upper surface and / or the side surface of the fixed portion 101 a of the actuator 101 is fixed to the tongue portion of the flexure 103 with an adhesive 112. In this case, the fixing portion 101a of the actuator 101 is located on the distal end side of the suspension of the actuator 101, and the projection 106 provided on the load beam 104 is
01a, so that it is desirably located near the center thereof.

【００７２】磁気ヘッドスライダ１０２の浮上面（ＡＢ
Ｓ）と反対側の面には、底面が平坦な溝１０２ｂが形成
されており、この溝１０２ｂ内にアクチュエータ１０１
の可動部１０１ｂがその下面が接着剤１１３により接着
されることによって固着されている。可動部１０１ｂの
固着位置は、磁気ヘッドスライダ１０２の磁気ヘッド素
子が存在する端１０２ａとは反対側の端部近傍の溝１０
２ｂ内である。この場合、アクチュエータ１０１の可動
部１０１ｂがこのアクチュエータ１０１の後端部（サス
ペンションにおける後端側）に位置するように設定され
ている。The flying surface (AB) of the magnetic head slider 102
A groove 102b having a flat bottom surface is formed on the surface opposite to S), and the actuator 101 is formed in the groove 102b.
Is fixed by bonding the lower surface thereof with an adhesive 113. The fixed position of the movable portion 101b is determined by the groove 10 near the end opposite to the end 102a of the magnetic head slider 102 where the magnetic head element exists.
2b. In this case, the movable portion 101b of the actuator 101 is set to be located at the rear end of the actuator 101 (at the rear end of the suspension).

【００７３】アクチュエータ１０１は、固定部１０１ａ
及び可動部１０１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１０１ｃ及び１０１ｄを有する。変位発生部１０１ｃ及
び１０１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１０１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１０１ｅ
〜１０１ｇが形成されている。The actuator 101 has a fixed portion 101a
And two rod-shaped displacement generating units 101c and 101d connecting the movable unit 101b. The displacement generating units 101c and 101d are provided with at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and are configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers.
The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. In the fixed part 101a,
Three terminal electrodes 101e connected to the above-described electrode layers
〜１０101 g are formed.

【００７４】このように本実施形態では、磁気ヘッドス
ライダ１０２に設けられた溝１０２ｂ内にアクチュエー
タ１０１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライ
ダ１０２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペン
ションアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装
置の薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１０
２ｂにより、アクチュエータ１０１と磁気ヘッドスライ
ダ１０２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易とな
る。As described above, in this embodiment, since the actuator 101 is mounted in the groove 102b provided in the magnetic head slider 102, the height of the entire head suspension assembly can be reduced without reducing the thickness of the entire magnetic head slider 102. The thickness of the magnetic disk device can be reduced by reducing the thickness. Also, this groove 10
2b greatly facilitates positioning when assembling the actuator 101 and the magnetic head slider 102.

【００７５】本実施形態における、磁気ヘッドスライダ
１０２の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の
実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略す
る。In the present embodiment, the other configuration except for the structure of the magnetic head slider 102 and the operation and effect are exactly the same as those of the embodiment of FIG.

【００７６】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１０の実施形態にお
ける溝付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも本
発明の一実施形態である。It is an embodiment of the present invention to combine the actuator having the shape as used in the embodiment of FIG. 7 or FIG. 9 with the grooved magnetic head slider in the embodiment of FIG.

【００７７】図１２は本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示
しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエ
ータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図
である。FIG. 12 shows the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 12A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to a magnetic head slider.

【００７８】図１２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、磁
気ヘッドスライダ１２２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
面には、底面が平坦な溝１２２ｂが形成されており、こ
の溝１２２ｂ内にアクチュエータ１２１の可動部１２１
ｂが固着されている。可動部１２１ｂの固着位置は、磁
気ヘッドスライダ１２２の磁気ヘッド素子が存在する端
１２２ａとは反対側の端部近傍の溝１２２ｂ内である。
この場合、アクチュエータ１２１の可動部１２１ｂがこ
のアクチュエータ１２１の後端部（サスペンションにお
ける後端側）に位置するように設定されている。As shown in FIGS. 12A and 12B, a groove 122b having a flat bottom surface is formed on the surface of the magnetic head slider 122 opposite to the air bearing surface (ABS). The movable part 121 of the actuator 121
b is fixed. The fixed position of the movable portion 121b is in the groove 122b near the end opposite to the end 122a of the magnetic head slider 122 where the magnetic head element exists.
In this case, the movable portion 121b of the actuator 121 is set so as to be located at the rear end of the actuator 121 (at the rear end of the suspension).

【００７９】また、アクチュエータ１２１は、固定部１
２１ａ及び可動部１２１ｂを接続する２本の棒状の変位
発生部１２１ｃ及び１２１ｄを有する。変位発生部１２
１ｃ及び１２１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１２１ａ
には、上述の電極層に接続されている３つの端子電極１
２１ｅ〜１２１ｇが形成されている。Also, the actuator 121 is
It has two rod-shaped displacement generating parts 121c and 121d connecting the moving part 21a and the movable part 121b. Displacement generator 12
1c and 121d have piezoelectric layers having electrode layers on both sides.
At least one electrostrictive material layer is provided, and expansion and contraction are generated by applying a voltage to the electrode layer. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. Fixed part 121a
Has three terminal electrodes 1 connected to the above-described electrode layers.
21e to 121g are formed.

【００８０】本実施形態では、特に、磁気ヘッドスライ
ダ１２２に設けられた溝１２２ｂ内にアクチュエータ１
２１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１
２２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンショ
ンアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の
薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１２２ｂ
により、アクチュエータ１２１と磁気ヘッドスライダ１
２２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。In this embodiment, in particular, the actuator 1 is provided in the groove 122 b provided in the magnetic head slider 122.
21, the magnetic head slider 1
The thickness of the magnetic disk device can be reduced by reducing the height of the entire head suspension assembly without reducing the overall thickness of the magnetic disk drive. Also, this groove 122b
Thus, the actuator 121 and the magnetic head slider 1
22 can be very easily positioned when assembled.

【００８１】さらに、アクチュエータ１２１の固定部１
２１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１２２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１２１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。Further, the fixed part 1 of the actuator 121
21a is formed in such a shape as to increase the area secured to the suspension. Therefore, despite the structural, shape and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 122, the suspension and the actuator 121
And sufficient fixing strength can be obtained.

【００８２】本実施形態における、アクチュエータ１２
１及び磁気ヘッドスライダ１２２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。In this embodiment, the actuator 12
Other configurations and operational effects except for the structure of the magnetic head slider 1 and the magnetic head slider 122 are exactly the same as those of the embodiment of FIG.

【００８３】図１３は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着し
た状態を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a state in which an actuator according to still another embodiment of the present invention is fixed to a magnetic head slider.

【００８４】図１３に示すように、磁気ヘッドスライダ
１３２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１３２ｂが形成されており、この溝１３２ｂ内に
アクチュエータ１３１の可動部１３１ｂが固着されてい
る。可動部１３１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１３２の磁気ヘッド素子が存在する端１３２ａとは反対
側の端部近傍の溝１３２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１３１の可動部１３１ｂがこのアクチュエータ
１３１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。As shown in FIG. 13, a groove 132b having a flat bottom surface is formed on the surface of the magnetic head slider 132 opposite to the air bearing surface (ABS), and the movable portion of the actuator 131 is formed in the groove 132b. 131b is fixed. The fixed position of the movable portion 131b is in the groove 132b near the end opposite to the end 132a of the magnetic head slider 132 where the magnetic head element exists. In this case, the movable portion 131b of the actuator 131 is set to be located at the rear end of the actuator 131 (at the rear end of the suspension).

【００８５】特に本実施形態では、磁気ヘッドスライダ
１３２の溝１３２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１３１との間隙に弾性樹脂１３９が充填されている。In this embodiment, the gap between the inner wall and the actuator 131 in the groove 132b of the magnetic head slider 132 is filled with the elastic resin 139.

【００８６】アクチュエータ１３１は、固定部１３１ａ
及び可動部１３１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１３１ｃ及び１３１ｄを有する。変位発生部１３１ｃ及
び１３１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１３１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１３１ｅ
〜１３１ｇが形成されている。The actuator 131 has a fixed part 131a.
And two rod-shaped displacement generating units 131c and 131d connecting the movable unit 131b. Each of the displacement generating units 131c and 131d is provided with at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers.
The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. In the fixing portion 131a,
Three terminal electrodes 131e connected to the above-described electrode layers
~ 131 g are formed.

【００８７】本実施形態では、磁気ヘッドスライダ１３
２に設けられた溝１３２ｂ内にアクチュエータ１３１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１３２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１３２ｂによ
り、アクチュエータ１３１と磁気ヘッドスライダ１３２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。In this embodiment, the magnetic head slider 13
Since the actuator 131 is mounted in the groove 132b provided in the magnetic head slider 2, the height of the entire head suspension assembly is reduced without reducing the thickness of the entire magnetic head slider 132, and the thickness of the magnetic disk drive is reduced. Becomes possible. The groove 132b allows the actuator 131 and the magnetic head slider 132
Positioning when assembling is greatly facilitated.

【００８８】特に、内壁とアクチュエータ１３１との間
に弾性樹脂１３９が充填されているので、アクチュエー
タ１３１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１３１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１３１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１３１の動
きを阻害することもない。In particular, since the elastic resin 139 is filled between the inner wall and the actuator 131, the actuator 131 can be reinforced and the actuator structure can be miniaturized.
It is possible to increase the displacement amount of itself. Moreover,
The impact resistance of the actuator 131 can be improved, and at the same time, particle shedding can be prevented to some extent. By injecting the elastic resin into the groove portion, the outflow is prevented.
Moreover, since the actuator 131 has elasticity, the movement of the actuator 131 is not hindered.

【００８９】本実施形態における、アクチュエータ１３
１、磁気ヘッドスライダ１３２及び弾性樹脂１３９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。In the present embodiment, the actuator 13
1, the configuration and operation and effects other than the structure of the magnetic head slider 132 and the elastic resin 139 are completely the same as those of the embodiment of FIG.

【００９０】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１３の実施形態にお
ける弾性樹脂の充填された溝付の磁気ヘッドスライダに
組み合わせることも本発明の一実施形態である。An embodiment of the present invention is also possible in which the actuator having the shape as used in the embodiment of FIG. 7 or FIG. 9 is combined with the grooved magnetic head slider filled with the elastic resin in the embodiment of FIG. It is.

【００９１】図１４は本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状
態を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing a state in which an actuator according to still another embodiment of the present invention is fixed to a magnetic head slider.

【００９２】図１４に示すように、磁気ヘッドスライダ
１４２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１４２ｂが形成されており、この溝１４２ｂ内に
アクチュエータ１４１の可動部１４１ｂが固着されてい
る。可動部１４１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１４２の磁気ヘッド素子が存在する端１４２ａとは反対
側の端部近傍の溝１４２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１４１の可動部１４１ｂがこのアクチュエータ
１４１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。As shown in FIG. 14, a groove 142b having a flat bottom is formed on the surface of the magnetic head slider 142 opposite to the air bearing surface (ABS), and the movable portion of the actuator 141 is formed in the groove 142b. 141b is fixed. The fixed position of the movable portion 141b is in the groove 142b near the end opposite to the end 142a of the magnetic head slider 142 where the magnetic head element exists. In this case, the movable portion 141b of the actuator 141 is set to be located at the rear end of the actuator 141 (at the rear end of the suspension).

【００９３】特に本実施形態では、磁気ヘッドスライダ
１４２の溝１４２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１４１との間隙に弾性樹脂１４９が充填されている。In this embodiment, the gap between the inner wall and the actuator 141 in the groove 142b of the magnetic head slider 142 is filled with the elastic resin 149.

【００９４】アクチュエータ１４１は、固定部１４１ａ
及び可動部１４１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１４１ｃ及び１４１ｄを有する。変位発生部１４１ｃ及
び１４１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１４１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１４１ｅ
〜１４１ｇが形成されている。The actuator 141 has a fixed part 141a.
And two rod-shaped displacement generating parts 141c and 141d connecting the movable part 141b. At least one piezoelectric / electrostrictive material layer having electrode layers on both sides is provided in each of the displacement generating sections 141c and 141d, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layers.
The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. In the fixing part 141a,
Three terminal electrodes 141e connected to the above-described electrode layers
~ 141 g are formed.

【００９５】本実施形態では、磁気ヘッドスライダ１４
２に設けられた溝１４２ｂ内にアクチュエータ１４１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１４２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１４２ｂによ
り、アクチュエータ１４１と磁気ヘッドスライダ１４２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。In this embodiment, the magnetic head slider 14
Since the actuator 141 is mounted in the groove 142b provided in the magnetic head slider 2, the height of the entire head suspension assembly is reduced without reducing the thickness of the entire magnetic head slider 142, and the magnetic disk drive is made thinner. Becomes possible. The groove 142b allows the actuator 141 and the magnetic head slider 142
Positioning when assembling is greatly facilitated.

【００９６】しかも、アクチュエータ１４１の固定部１
４１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１４２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１４１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。Moreover, the fixed part 1 of the actuator 141
41a is formed in such a shape as to increase the area secured to the suspension. Therefore, despite the structural, shape, and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 142, the suspension and the actuator 141
And sufficient fixing strength can be obtained.

【００９７】特に、内壁とアクチュエータ１４１との間
に弾性樹脂１４９が充填されているので、アクチュエー
タ１４１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１４１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１４１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１４１の動
きを阻害することもない。In particular, since the elastic resin 149 is filled between the inner wall and the actuator 141, the actuator 141 can be reinforced and the actuator structure can be miniaturized.
It is possible to increase the displacement amount of itself. Moreover,
The impact resistance of the actuator 141 can be improved, and at the same time, shedding of particles can be prevented. By injecting the elastic resin into the groove portion, the outflow is prevented.
In addition, since it has elasticity, the movement of the actuator 141 is not hindered.

【００９８】本実施形態における、アクチュエータ１４
１、磁気ヘッドスライダ１４２及び弾性樹脂１４９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。In this embodiment, the actuator 14
1. The other configurations, functions and effects except for the structures of the magnetic head slider 142 and the elastic resin 149 are completely the same as those of the embodiment of FIG.

【００９９】図１５は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造
を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び
磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。FIG. 15 shows the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 15A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 4 is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to the magnetic head slider.

【０１００】図１５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、磁
気ヘッドスライダ１５２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
平坦な面１５２ｃ上には、凸部１５２ｄが形成されてい
る。この凸部１５２ｄがアクチュエータ１５１の一部と
係合することにより、アクチュエータ１５１と磁気ヘッ
ドスライダ１５２との位置決めが行われ、アクチュエー
タ１５１の可動部１５１ｂが磁気ヘッドスライダ１５２
に固着されている。可動部１５１ｂの固着位置は、磁気
ヘッドスライダ１５２の磁気ヘッド素子が存在する端１
５２ａとは反対側の端部である。この場合、アクチュエ
ータ１５１の可動部１５１ｂがこのアクチュエータ１５
１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位置す
るように設定されている。As shown in FIGS. 15A and 15B, a protrusion 152d is formed on a flat surface 152c of the magnetic head slider 152 opposite to the air bearing surface (ABS). The projection 152d engages with a part of the actuator 151 to position the actuator 151 and the magnetic head slider 152, and the movable part 151b of the actuator 151 is moved to the magnetic head slider 152.
It is stuck to. The fixed position of the movable portion 151b is determined by the end 1 of the magnetic head slider 152 where the magnetic head element exists.
52a is the opposite end. In this case, the movable part 151b of the actuator 151
1 (the rear end side of the suspension).

【０１０１】また、アクチュエータ１５１は、サスペン
ションに固着される固定部１５１ａと可動部１５１ｂと
を接続する２本の棒状の変位発生部１５１ｃ及び１５１
ｄを有する。変位発生部１５１ｃ及び１５１ｄには、両
側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１
層設けられており、電極層に電圧を印加することにより
伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層
は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料からなる。固定部１５１ａには、上述の電極層に接
続されている３つの端子電極１５１ｅ〜１５１ｇが形成
されている。The actuator 151 has two rod-shaped displacement generating parts 151c and 151 connecting the fixed part 151a fixed to the suspension and the movable part 151b.
d. Each of the displacement generating units 151c and 151d has at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having an electrode layer on both sides.
A layer is provided, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layer. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The fixed portion 151a is formed with three terminal electrodes 151e to 151g connected to the above-described electrode layers.

【０１０２】本実施形態では、特に、磁気ヘッドスライ
ダ１５２上に設けられた凸部１５２ｄにアクチュエータ
１５１が係合しているため、アクチュエータ１５１と磁
気ヘッドスライダ１５２とを組み立てる際の位置決めが
非常に容易となる。In this embodiment, since the actuator 151 is engaged with the projection 152d provided on the magnetic head slider 152, positioning when the actuator 151 and the magnetic head slider 152 are assembled is very easy. Becomes

【０１０３】さらに、アクチュエータ１５１の固定部１
５１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１５２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１５１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。Further, the fixed part 1 of the actuator 151
51a is formed in such a shape as to increase the area secured to the suspension. Therefore, despite the structural, shape, and dimensional restrictions of providing an actuator between the suspension and the magnetic head slider 152, the suspension and the actuator 151
And sufficient fixing strength can be obtained.

【０１０４】本実施形態における、アクチュエータ１５
１及び磁気ヘッドスライダ１５２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。In this embodiment, the actuator 15
Other configurations and operational effects except for the structure of the magnetic head slider 1 and the magnetic head slider 152 are completely the same as those of the embodiment of FIG.

【０１０５】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１５の実施形態にお
ける凸部付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも
本発明の一実施形態である。It is an embodiment of the present invention to combine the actuator having the shape as used in the embodiment of FIG. 7 or FIG. 9 with the magnetic head slider having the convex portion in the embodiment of FIG.

【０１０６】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。The embodiments described above all show the present invention by way of example and not by way of limitation, and the present invention can be embodied in other various modifications and alterations. Therefore, the scope of the present invention is defined only by the appended claims and their equivalents.

【０１０７】[0107]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、サスペンションの荷重点がアクチュエータの固定部
である第１の部分に位置している。従って、アクチュエ
ータに衝撃が印加された際の耐性が高くなり、しかも、
アクチュエータに荷重が印加された際にもアクチュエー
タとサスペンションとの間に摩擦がほとんど発生せず、
アクチュエータの動きが阻害されることはない。As described above in detail, according to the present invention, the load point of the suspension is located at the first portion which is the fixed portion of the actuator. Therefore, the resistance when an impact is applied to the actuator is increased, and moreover,
Even when a load is applied to the actuator, little friction occurs between the actuator and the suspension,
The movement of the actuator is not hindered.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本出願人が既に提案したヘッドサスペンション
アセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダ部分の構造を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing the structure of an actuator and a magnetic head slider in a head suspension assembly already proposed by the present applicant.

【図２】本発明の一実施形態として、ヘッドサスペンシ
ョンアセンブリの全体をスライダ側から見た平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view of the entire head suspension assembly as viewed from the slider side, as one embodiment of the present invention;

【図３】図２の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す
側面図である。FIG. 3 is a side view showing a structure for attaching an actuator and a magnetic head slider to a flexure in the embodiment of FIG. 2;

【図４】図２の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。4A and 4B show the structure of an actuator and a magnetic head slider in the embodiment of FIG. 2, wherein FIG. 4A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. It is a perspective view showing the state where it was fixed to.

【図５】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータ
及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図
（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッ
ドスライダに固着した状態を示す斜視図である。5A and 5B show the structure of an actuator and a magnetic head slider according to another embodiment of the present invention. FIG. 5A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 4 is a perspective view showing a state where the head slider is fixed to the head slider.

【図６】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュ
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。6A and 6B show the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 6A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the magnetic head slider is fixed to a slider.

【図７】本発明のまたさらに他の実施形態におけるサス
ペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの
取り付け構造を示しており、同図（Ａ）はこれらサスペ
ンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダを互
いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）はその底面図で
ある。FIG. 7 shows a mounting structure of a suspension, an actuator, and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 7A shows a side view of a state in which the suspension, the actuator, and the magnetic head slider are fixed to each other. FIG. 2B is a bottom view of the same.

【図８】図７の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。8A and 8B show the structure of the actuator and the magnetic head slider in the embodiment shown in FIG. 7. FIG. 8A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. It is a perspective view showing the state where it was fixed to.

【図９】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュ
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。9A and 9B show the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 9A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the magnetic head slider is fixed to a slider.

【図１０】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの
取り付け構造を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing a structure for attaching an actuator and a magnetic head slider to a flexure according to still another embodiment of the present invention.

【図１１】図１０の実施形態におけるアクチュエータ及
び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）
はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解
斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスラ
イダに固着した状態を示す斜視図である。11 shows the structure of the actuator and the magnetic head slider in the embodiment of FIG. 10, and is the same as FIG.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. 2B is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to the magnetic head slider.

【図１２】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、
同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気
ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。FIG. 12 shows a structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention,
FIG. 2A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. 2B is a perspective view showing a state where the actuator is fixed to the magnetic head slider.

【図１３】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示
す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a state in which an actuator according to still another embodiment of the present invention is fixed to a magnetic head slider.

【図１４】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。FIG. 14 is a perspective view showing a state in which an actuator according to still another embodiment of the present invention is fixed to a magnetic head slider.

【図１５】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。15A and 15B show the structure of an actuator and a magnetic head slider according to still another embodiment of the present invention. FIG. 15A is an exploded perspective view of the actuator and the magnetic head slider, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a state where the is fixed to a magnetic head slider.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２０、７０、１００ サスペンション ２１、５１、６１、７１、９１、１０１、１２１、１３
１、１４１、１５１アクチュエータ ２２ａ、５１ａ、６１ａ、７１ａ、９１ａ、１０１ａ、
１２１ａ、１３１ａ、１４１ａ、１５１ａ 固定部 ２１２ｂ、５１ｂ、６１ｂ、７１ｂ、９１ｂ、１０１
ｂ、１２１ｂ、１３１ｂ、１４１ｂ、１５１ｂ 可動部 ２１ｃ、２１ｄ、５１ｃ、５１ｄ、６１ｃ、６１ｄ、７
１ｃ、７１ｄ、９１ｃ、９１ｄ、１０１ｃ、１０１ｄ、
１２１ｃ、１２１ｄ、１３１ｃ、１３１ｄ、１４１ｃ、
１４１ｄ、１５１ｃ、１５１ｄ 変位発生部 ２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、５１ｅ、５１ｆ、５１ｇ、６
１ｅ、６１ｆ、６１ｇ、７１ｅ、７１ｆ、７１ｇ、９１
ｅ、９１ｆ、９１ｇ、１０１ｅ、１０１ｆ、１０１ｇ、
１２１ｅ、１２１ｆ、１２１ｇ、１３１ｅ、１３１ｆ、
１３１ｇ、１４１ｅ、１４１ｆ、１４１ｇ、１５１ｅ、
１５１ｆ、１５１ｇ 端子電極 ２２、５２、６２、７２、９２、１０２、１２２、１３
２、１４２、１５２磁気ヘッドスライダ ２２ａ、１０２ａ、１２２ａ、１３２ａ、１４２ａ、１
５２ａ 端 ２３、７３、１０１ フレクシャ ２３ａ、７３ａ、１０３ａ 先端部 ２４、７４、１０４ ロードビーム ２５ ベースプレート ２６、７６、１０６ 突起 ２７ 配線部材 ２７ａ、７７ａ 第１の配線部材 ２７ｂ、７７ｂ 第２の配線部材 ２８、２９、７８ 接続パッド ３０ 取り付け部 ３１、８１、１１１ 金ボール ３２、３３、８２、８３、１１２、１１３ 接着剤 ７３ｃ 舌部 １０２ｂ、１２２ｂ、１３２ｂ、１４２ｂ 溝 １３９、１４９ 弾性樹脂 １５２ｃ 上面 １５２ｄ 凸部20, 70, 100 Suspension 21, 51, 61, 71, 91, 101, 121, 13
1, 141, 151 actuators 22a, 51a, 61a, 71a, 91a, 101a,
121a, 131a, 141a, 151a Fixed part 212b, 51b, 61b, 71b, 91b, 101
b, 121b, 131b, 141b, 151b Movable parts 21c, 21d, 51c, 51d, 61c, 61d, 7
1c, 71d, 91c, 91d, 101c, 101d,
121c, 121d, 131c, 131d, 141c,
141d, 151c, 151d Displacement generators 21e, 21f, 21g, 51e, 51f, 51g, 6
1e, 61f, 61g, 71e, 71f, 71g, 91
e, 91f, 91g, 101e, 101f, 101g,
121e, 121f, 121g, 131e, 131f,
131g, 141e, 141f, 141g, 151e,
151f, 151g Terminal electrode 22, 52, 62, 72, 92, 102, 122, 13
2, 142, 152 magnetic head sliders 22a, 102a, 122a, 132a, 142a, 1
52a End 23, 73, 101 Flexure 23a, 73a, 103a Tip 24, 74, 104 Load beam 25 Base plate 26, 76, 106 Projection 27 Wiring member 27a, 77a First wiring member 27b, 77b Second wiring member 28 , 29, 78 Connection pad 30 Mounting part 31, 81, 111 Gold ball 32, 33, 82, 83, 112, 113 Adhesive 73c Tongue 102b, 122b, 132b, 142b Groove 139, 149 Elastic resin 152c Upper surface 152d Convex portion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 健 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 本田 隆 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 MA15 5D059 AA01 BA01 CA21 DA02 DA19 DA24 DA26 EA07 5D096 NN03 NN07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Ken Wada 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDC Corporation (72) Inventor Takashi Honda 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK F term in reference (reference) 5D042 MA15 5D059 AA01 BA01 CA21 DA02 DA19 DA24 DA26 EA07 5D096 NN03 NN07

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 圧電現象を利用しており、平面上で互い
に異なる位置にある第１の部分と第２の部分とが相対的
に変位することによって位置決めを行うためのアクチュ
エータと、該アクチュエータの前記第１の部分が固着さ
れているサスペンションと、前記アクチュエータの前記
第２の部分に固着されており少なくとも１つの薄膜磁気
ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダとを備えてお
り、前記サスペンションの荷重点が前記アクチュエータ
の前記第１の部分に位置していることを特徴とするヘッ
ドサスペンションアセンブリ。1. An actuator that utilizes a piezoelectric phenomenon to perform positioning by relatively displacing a first portion and a second portion at different positions on a plane, and an actuator for the actuator. A suspension having the first portion fixed thereto, and a magnetic head slider having at least one thin-film magnetic head element fixed to the second portion of the actuator, wherein the suspension has a load point. A head suspension assembly located at the first portion of the actuator. 【請求項２】 前記サスペンションの前記荷重点が、前
記磁気ヘッドスライダの中心点にほぼ一致していること
を特徴とする請求項１に記載のヘッドサスペンションア
センブリ。2. The head suspension assembly according to claim 1, wherein said load point of said suspension substantially coincides with a center point of said magnetic head slider. 【請求項３】 前記アクチュエータの前記第１の部分及
び前記第２の部分が該アクチュエータの前記サスペンシ
ョンにおける先端側及び基端側の位置にそれぞれ存在し
ており、前記磁気ヘッドスライダが前記薄膜磁気ヘッド
素子が存在する端とは反対側の端部において前記アクチ
ュエータの前記第２の部分に固着されていることを特徴
とする請求項１又は２に記載のヘッドサスペンションア
センブリ。3. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the first portion and the second portion of the actuator are respectively located at a distal end and a proximal end of the suspension of the actuator. 3. The head suspension assembly according to claim 1, wherein an end of the actuator opposite to the end where the element is located is fixed to the second portion of the actuator. 【請求項４】 前記アクチュエータの前記第１の部分が
該アクチュエータの前記サスペンションにおける先端側
の位置に、前記第２の部分が該アクチュエータの中間部
の位置にそれぞれ存在しており、前記磁気ヘッドスライ
ダが前記薄膜磁気ヘッド素子が存在する端とは反対側の
端部において前記アクチュエータの前記第２の部分に固
着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。4. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the first portion of the actuator is located at a position on the distal end side of the suspension of the actuator, and the second portion is located at a position of an intermediate portion of the actuator. 3. The head suspension assembly according to claim 1, wherein an end of the head suspension is fixed to the second portion of the actuator at an end opposite to an end where the thin-film magnetic head element exists. 【請求項５】 前記磁気ヘッドスライダの前記薄膜磁気
ヘッド素子が、前記アクチュエータの前記第１の部分よ
り前記サスペンションにおける先端側である前方に位置
していることを特徴とする請求項３又は４に記載のヘッ
ドサスペンションアセンブリ。5. The suspension according to claim 3, wherein the thin-film magnetic head element of the magnetic head slider is located forward of the first portion of the actuator, which is a tip side of the suspension. A head suspension assembly as described. 【請求項６】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは反
対側の面が平坦な面に形成されており、該平坦な面が前
記アクチュエータの前記第２の部分に固着されているこ
とを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。6. The magnetic head slider according to claim 1, wherein a surface of the magnetic head slider opposite to the flying surface is formed as a flat surface, and the flat surface is fixed to the second portion of the actuator. The head suspension assembly according to any one of claims 1 to 5, wherein 【請求項７】 前記磁気ヘッドスライダが、前記平坦な
面の全面に渡って厚みが薄くなるように構成されている
ことを特徴とする請求項６に記載のヘッドサスペンショ
ンアセンブリ。7. The head suspension assembly according to claim 6, wherein the magnetic head slider is configured to have a reduced thickness over the entire flat surface. 【請求項８】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは反
対側の面に平坦な底面を有する凹部が形成されており、
該凹部の底面が前記アクチュエータの前記第２の部分に
固着されていることを特徴とする請求項１から５のいず
れか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。8. A recess having a flat bottom surface is formed on the surface of the magnetic head slider opposite to the floating surface,
The head suspension assembly according to claim 1, wherein a bottom surface of the recess is fixed to the second portion of the actuator. 【請求項９】 前記凹部の内壁と前記アクチュエータと
の間が空隙であることを特徴とする請求項８に記載のヘ
ッドサスペンションアセンブリ。9. The head suspension assembly according to claim 8, wherein a gap is provided between an inner wall of the recess and the actuator. 【請求項１０】 前記凹部の内壁と前記アクチュエータ
との間に弾性樹脂が充填されていることを特徴とする請
求項８に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。10. The head suspension assembly according to claim 8, wherein an elastic resin is filled between an inner wall of the recess and the actuator. 【請求項１１】 前記凹部が溝であることを特徴とする
請求項９から１０のいずれか１項に記載のヘッドサスペ
ンションアセンブリ。11. The head suspension assembly according to claim 9, wherein the recess is a groove. 【請求項１２】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは
反対側の面に、前記アクチュエータに係合する位置決め
用凸部が形成されていることを特徴とする請求項１から
５のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセン
ブリ。12. The magnetic head slider according to claim 1, wherein a positioning projection engaging with the actuator is formed on a surface of the slider opposite to a flying surface. A head suspension assembly according to item 1. 【請求項１３】 前記アクチュエータの前記第１の部分
の固着面積と前記第２の部分の固着面積とがほぼ等しい
ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記
載のヘッドサスペンションアセンブリ。13. The head suspension assembly according to claim 1, wherein the fixed area of the first portion and the fixed area of the second portion of the actuator are substantially equal. . 【請求項１４】 前記アクチュエータの前記第１の部分
の固着面積が前記第２の部分の固着面積より大きいこと
を特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。14. The head suspension assembly according to claim 1, wherein a fixing area of the first portion of the actuator is larger than a fixing area of the second portion. 【請求項１５】 前記アクチュエータの前記第２の部分
の固着面積が前記第１の部分の固着面積より大きいこと
を特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。15. The head suspension assembly according to claim 1, wherein a fixing area of the second portion of the actuator is larger than a fixing area of the first portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016504704A (en) * 2012-12-17 2016-02-12 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ Disc drive suspension with motor reinforcement

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JP2016504704A (en) * 2012-12-17 2016-02-12 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ Disc drive suspension with motor reinforcement

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